JP2011051247A - Metal foil with thermosetting resin composition layer, metal clad laminated plate, and printed wiring board - Google Patents

Metal foil with thermosetting resin composition layer, metal clad laminated plate, and printed wiring board Download PDF

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JP2011051247A
JP2011051247A JP2009202526A JP2009202526A JP2011051247A JP 2011051247 A JP2011051247 A JP 2011051247A JP 2009202526 A JP2009202526 A JP 2009202526A JP 2009202526 A JP2009202526 A JP 2009202526A JP 2011051247 A JP2011051247 A JP 2011051247A
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Hitoshi Onozeki
仁 小野関
Takahiro Tanabe
貴弘 田邉
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Showa Denko Materials Co Ltd
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Hitachi Chemical Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide metal foil with a thermosetting resin composition layer enabling fine wiring and enabling the formation of a fine surface having surface roughness (Rz) below 3 μm in the case of roughening a resin surface, and to provide a metal clad laminated plate and a printed wiring board. <P>SOLUTION: The metal foil with the thermosetting resin composition layer includes a 1.0 to 5.0 μm thick layer of the thermosetting resin composition containing an epoxy resin (A), at least one kind (B) selected from a polyvinyl acetal resin and a carboxylic acid-modified polyvinyl acetal resin, an epoxy resin curing agent (C), a curing accelerator (D), and a nano particle filler (E) having a central particle diameter of 10 to 50 nm and the maximum particle diameter of ≤100 nm on the metal foil having a ten-point average roughness (Rz) of ≤2.0 μm. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、熱硬化性樹脂組成物層付き金属箔、それを用いた金属張積層板及びプリント配線板に関する。   The present invention relates to a metal foil with a thermosetting resin composition layer, a metal-clad laminate using the same, and a printed wiring board.

近年、電子機器の小型化、軽量化、多機能化に伴い、プリント配線板における電子部品等の実装密度向上の傾向にあり、多層プリント配線板の微細配線化が急速に進んでいる。電子部品等の実装密度の高い多層プリント配線板を形成するための有効な手法の一つとして、セミアディティブ工法が用いられている。この方法は、樹脂板の表面を粗化して無電解銅めっきを行うためのPd触媒を付与し、無電解銅めっきして回路下地層を形成した後、パターン電気めっきレジストを形成してパターン電気めっきによって回路形成後、レジスト及び回路以外の部分に存在する回路下地層を除去するという方法であり、従来のサブトラクティブ法に比べ、より微細な配線形成を可能とする。前記方法において、樹脂板は通常積層板と呼ばれるガラスクロス等の繊維基材を含んだ樹脂の硬化物である。樹脂板と回路下地層の間に樹脂層を設けている例もある(例えば特許文献1参照)。エッチングによる回路下地層除去の際には、回路下地層と樹脂板の接着界面における樹脂板の凹部に入り込んだめっき金属の残部やPd触媒をほぼ完全に除去しておくことが、配線板にしたときの耐絶縁性の観点から必要である。したがって、前記粗化工程において、樹脂板の表面粗さ(Rz)が3μm以上に大きくなり過ぎると、樹脂の凹部にある金属やPd触媒をきれいに除去するためには、回路部分のエッチングに必要な時間以上にエッチングしなければならず、必要以上にエッチングすることによって、逆に回路下地層部分が過剰にエッチングされてしまう不都合があった。   In recent years, along with the downsizing, weight reduction, and multifunctionalization of electronic devices, there is a tendency to increase the mounting density of electronic components and the like on a printed wiring board, and the fine wiring of multilayer printed wiring boards is rapidly progressing. As one effective method for forming a multilayer printed wiring board having a high mounting density such as electronic parts, a semi-additive construction method is used. In this method, the surface of the resin plate is roughened to give a Pd catalyst for performing electroless copper plating, and after the electroless copper plating to form a circuit underlayer, a pattern electroplating resist is formed to form a pattern electroplating resist. After the circuit is formed by plating, the method is to remove the circuit base layer existing in portions other than the resist and the circuit, and enables finer wiring formation as compared with the conventional subtractive method. In the above method, the resin plate is a cured product of a resin including a fiber substrate such as a glass cloth, which is usually called a laminated plate. There is also an example in which a resin layer is provided between the resin plate and the circuit base layer (see, for example, Patent Document 1). When removing the circuit underlayer by etching, it was possible to remove the remaining part of the plating metal and the Pd catalyst that had entered the concave portion of the resin plate at the bonding interface between the circuit underlayer and the resin plate. It is necessary from the viewpoint of insulation resistance. Therefore, in the roughening step, if the surface roughness (Rz) of the resin plate becomes too large to 3 μm or more, it is necessary to etch the circuit portion in order to cleanly remove the metal and Pd catalyst in the resin recess. Etching must be performed for more than a certain amount of time, and if the etching is performed more than necessary, the circuit underlayer part is excessively etched.

特開2003−158364号公報JP 2003-158364 A

したがって本発明の目的は、微細配線形成可能で、且つ樹脂表面を粗化した際に表面粗さ(Rz)が3μm未満の微細な表面を形成できる多層印刷プリント配線板用材料を提供することであり、より具体的には、熱硬化性樹脂組成物層付き金属箔、金属張積層板及びプリント配線板を提供することである。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a material for a multilayer printed wiring board that can form a fine wiring and can form a fine surface having a surface roughness (Rz) of less than 3 μm when the resin surface is roughened. Yes, more specifically, to provide a metal foil with a thermosetting resin composition layer, a metal-clad laminate, and a printed wiring board.

本発明は、以下に関する。即ち、
(1)十点平均粗さ(Rz)が2.0μm以下の金属箔の表面に、(A)エポキシ樹脂、(B)ポリビニルアセタール樹脂、カルボン酸変性ポリビニルアセタール樹脂から選択される少なくとも一種、(C)エポキシ樹脂硬化剤、(D)硬化促進剤及び(E)中心粒径が10nm〜50nm、最大粒径100nm以下のナノ粒子フィラーを含有する熱硬化性樹脂組成物の層を1.0〜5.0μmの厚みで備えることを特徴とする熱硬化性樹脂組成物層付き金属箔に関する。
また、本発明は、
(2)前記(1)記載の熱硬化性樹脂組成物層付き金属箔と、少なくとも1枚以上のプリプレグとを重ね、加熱加圧して得られることを特徴とする金属張積層板に関する。
さらに本発明は、
(3)前記(2)記載の金属張積層板の金属箔に配線加工を施して得られることを特徴とするプリント配線板に関する。
本発明における熱硬化性樹脂組成物層付き金属箔の熱硬化性樹脂組成物層はBステージ(半硬化)状態である。また本発明における金属張積層板中の樹脂はCステージ(硬化)状態である。
The present invention relates to the following. That is,
(1) At least one selected from (A) an epoxy resin, (B) a polyvinyl acetal resin, and a carboxylic acid-modified polyvinyl acetal resin on the surface of a metal foil having a ten-point average roughness (Rz) of 2.0 μm or less; C) a layer of a thermosetting resin composition containing an epoxy resin curing agent, (D) a curing accelerator, and (E) a nanoparticle filler having a center particle size of 10 nm to 50 nm and a maximum particle size of 100 nm or less. The present invention relates to a metal foil with a thermosetting resin composition layer, characterized by having a thickness of 5.0 μm.
The present invention also provides:
(2) The present invention relates to a metal-clad laminate obtained by stacking and heating and pressing the metal foil with a thermosetting resin composition layer according to (1) above and at least one prepreg.
Furthermore, the present invention provides
(3) The present invention relates to a printed wiring board obtained by performing wiring processing on the metal foil of the metal-clad laminate according to (2).
The thermosetting resin composition layer of the metal foil with a thermosetting resin composition layer in the present invention is in a B-stage (semi-cured) state. The resin in the metal-clad laminate in the present invention is in the C stage (cured) state.

本発明により、微細配線形成可能で、且つ樹脂表面を粗化した際に表面粗さ(Rz)が3μm未満の微細な表面を形成できる、熱硬化性樹脂組成物層付き金属箔、金属張積層板及びプリント配線板を提供することが可能となった。   According to the present invention, a metal foil with a thermosetting resin composition layer and a metal-clad laminate capable of forming a fine surface having a surface roughness (Rz) of less than 3 μm when a fine wiring can be formed and the resin surface is roughened. Boards and printed wiring boards can be provided.

本発明で用いる金属箔の接着補助剤に用いる熱硬化性樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂、(B)ポリビニルアセタール樹脂、カルボン酸変性ポリビニルアセタール樹脂から選択される少なくとも一種のポリビニルアセタール樹脂、(C)エポキシ樹脂硬化剤、(D)硬化促進剤及び(E)中心粒径が10nm〜50nm、最大粒径100nm以下のナノ粒子フィラーを含むものであり、該樹脂組成物を接着補助層として用いた金属箔は、少なくとも1枚以上のプリプレグを重ね、加熱加圧にすることにより、銅箔とプリプレグの間に極薄のセミアディティブ対応可能な接着層を設けられるため、プリプレグの低熱膨脹、高弾性率と接着層のセミアディティブ工法による微細配線化を併せ持つ金属張積層板を作製できる。
また、前記熱硬化性樹脂組成物からなる接着補助層(接着層)が形成される金属箔の表面は、十点平均粗さ(Rz)が2.0μm以下であり、1.5μm以下が好ましく、1.2μm以下がより好ましい。また、接着補助層(接着層)の厚みは、1〜5μmである。
The thermosetting resin composition used for the metal foil adhesion aid used in the present invention is (A) an epoxy resin, (B) at least one polyvinyl acetal resin selected from a polyvinyl acetal resin, a carboxylic acid-modified polyvinyl acetal resin, (C) An epoxy resin curing agent, (D) a curing accelerator, and (E) a nanoparticle filler having a center particle size of 10 nm to 50 nm and a maximum particle size of 100 nm or less, and using the resin composition as an adhesion auxiliary layer Since the metal foil used can be provided with an ultra-thin semi-additive adhesive layer between the copper foil and the prepreg by stacking at least one prepreg and heating and pressurizing, low thermal expansion of the prepreg, A metal-clad laminate having both high elastic modulus and fine wiring by the semi-additive method of adhesive layer can be produced.
The surface of the metal foil on which the adhesion auxiliary layer (adhesion layer) made of the thermosetting resin composition is formed has a ten-point average roughness (Rz) of 2.0 μm or less, preferably 1.5 μm or less. 1.2 μm or less is more preferable. Moreover, the thickness of an adhesion auxiliary layer (adhesion layer) is 1 to 5 μm.

(A)成分のエポキシ樹脂としては、エポキシ樹脂やエポキシ基を有する化合物である多官能エポキシ化合物が挙げられ、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、ナフタレン骨格含有エポキシ樹脂、アラルキレン骨格含有エポキシ樹脂、フェノールビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、フェノールサリチルアルデヒドノボラック型エポキシ樹脂、低級アルキル基置換フェノールサリチルアルデヒドノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン骨格含有エポキシ樹脂、多官能グリシジルアミン型エポキシ樹脂及び多官能脂環式エポキシ樹脂等が例示でき、これらの1種又は2種以上を用いることができる。   Examples of the epoxy resin of component (A) include epoxy resins and polyfunctional epoxy compounds that are compounds having an epoxy group, such as bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, and biphenyl type epoxy resin. , Phenol novolac type epoxy resin, cresol novolak type epoxy resin, bisphenol A novolak type epoxy resin, naphthalene skeleton containing epoxy resin, aralkylene skeleton containing epoxy resin, phenol biphenyl aralkyl type epoxy resin, phenol salicylaldehyde novolak type epoxy resin, lower alkyl group Substituted phenol salicylaldehyde novolak type epoxy resin, dicyclopentadiene skeleton-containing epoxy resin, polyfunctional glycidylamine type epoxy resin and It can be exemplified functional alicyclic epoxy resins and the like, can be used alone or in combination of two or more thereof.

市販品としては、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂としては日本化薬株式会社製のNC−3000H、NC−3000S、リン含有エポキシ樹脂としては東都化成株式会社製のZX−1548、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂としては大日本インキ株式会社製のEPICLON N−660、ビスフェノールA型エポキシ樹脂としてはジャパンエポキシレジン株式会社製のEP−828などが挙げられる。   Commercially available products include NC-3000H and NC-3000S manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. as biphenylaralkyl type epoxy resins, ZX-1548 manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd. as a phosphorus-containing epoxy resin, and cresol novolac type epoxy resins Examples of EPICLON N-660 manufactured by Dainippon Ink and EP-828 manufactured by Japan Epoxy Resin Co.

これらの中で、ノボラック型エポキシ樹脂、又はノボラック型エポキシ樹脂を含むことが望ましい。本発明におけるノボラック型エポキシ樹脂は、ビフェニル構造を有するノボラック型エポキシ樹脂であることが好ましい。ビフェニル構造を有するノボラック型エポキシ樹脂とは、分子中にビフェニル誘導体の芳香族環を含有したノボラック型のエポキシ樹脂をいい、例えば、式(1):   Among these, it is desirable to include a novolac type epoxy resin or a novolac type epoxy resin. The novolac type epoxy resin in the present invention is preferably a novolac type epoxy resin having a biphenyl structure. The novolak-type epoxy resin having a biphenyl structure refers to a novolak-type epoxy resin containing an aromatic ring of a biphenyl derivative in the molecule, for example, the formula (1):

Figure 2011051247
(式中、pは、1〜5を示す)で示されるエポキシ樹脂が挙げられる。
Figure 2011051247
(Wherein, p represents 1 to 5).

市販品としては、日本化薬株式会社製のNC−3000(pが1.7の式(1)のエポキシ樹脂)、NC−3000−H(pが2.8の式(1)のエポキシ樹脂)が挙げられる。   Commercially available products include NC-3000 (epoxy resin of formula (1) where p is 1.7) and NC-3000-H (epoxy resin of formula (1) where p is 2.8) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. ).

(A)成分のエポキシ樹脂は、ゴム変性エポキシ樹脂と併用して使用することも出来る。ゴム変性エポキシ樹脂は、接着剤用または塗料用として市販されている製品であれば、とくに制限なく使用することができる。   The (A) component epoxy resin can also be used in combination with a rubber-modified epoxy resin. The rubber-modified epoxy resin can be used without particular limitation as long as it is a product marketed for adhesives or paints.

市販品としては、大日本インキ株式会社製のEPICLON TSR−960や、東都化成株式会社製のEPOTOHTO YR−102や、住友化学株式会社製のスミエポキシ ESC−500などが挙げられる。   Examples of commercially available products include EPICLON TSR-960 manufactured by Dainippon Ink Co., Ltd., EPOTOOHTO YR-102 manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd., and Sumiepoxy ESC-500 manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.

併用するゴム変性エポキシ樹脂の含有量は、全エポキシ樹脂の10〜80質量%が好ましい。ゴム変性エポキシ樹脂を配合すると、硬化時の伸びが大きくなる他、銅箔表面への接着性が向上する。しかしながら、10質量%未満では、その効果を十分に発揮することができず、80質量%を超えると、耐熱性に劣る。30〜70質量%の範囲がより好ましい。
また、ゴム変性エポキシ樹脂は、2種類以上を使用してもよいが、その総量は前述の範囲内であることが好ましい。
The content of the rubber-modified epoxy resin used in combination is preferably 10 to 80% by mass of the total epoxy resin. When a rubber-modified epoxy resin is blended, the elongation at the time of curing is increased, and the adhesion to the copper foil surface is improved. However, if it is less than 10% by mass, the effect cannot be sufficiently exhibited, and if it exceeds 80% by mass, the heat resistance is poor. The range of 30-70 mass% is more preferable.
Two or more rubber-modified epoxy resins may be used, but the total amount is preferably within the above-mentioned range.

(B)成分としては、ポリビニルアセタール樹脂、カルボン酸変性ポリビニルアセタール樹脂から選択される少なくとも一種である。
ポリビニルアセタール樹脂の種類、水酸基量、アセチル基量は特に限定されないが、重合度は1000〜2500のものが好ましい。この範囲にあると、はんだ耐熱性が確保でき、また、ワニスの粘度、取り扱い性も良好である。ここでポリビニルアセタール樹脂の数平均重合度は、例えば、その原料であるポリ酢酸ビニルの数平均分子量(ゲルパーミエーションクロマトグラフィによる標準ポリスチレンの検量線を用いて測定する)から決定することができる。また、カルボン酸変性品などを用いることもできる。
The component (B) is at least one selected from polyvinyl acetal resins and carboxylic acid-modified polyvinyl acetal resins.
Although the kind of polyvinyl acetal resin, the amount of hydroxyl groups, and the amount of acetyl groups are not particularly limited, those having a polymerization degree of 1000 to 2500 are preferred. Within this range, solder heat resistance can be secured, and the viscosity and handling properties of the varnish are good. Here, the number average degree of polymerization of the polyvinyl acetal resin can be determined, for example, from the number average molecular weight of polyvinyl acetate as a raw material (measured using a standard polystyrene calibration curve by gel permeation chromatography). Moreover, a carboxylic acid modified product etc. can also be used.

ポリビニルアセタール樹脂は、例えば、積水化学工業株式会社製の商品名、エスレックBX−1、BX−2、BX−5、BX−55、BX−7、BH−3、BH−S、KS−3Z、KS−5、KS−5Z、KS−8、KS−23Z、電気化学工業株式会社製の商品名、電化ブチラール4000−2、5000A、6000C、6000EP等を使用することができる。これらの樹脂は単独で、または2種類以上混合して用いることもできる。   Polyvinyl acetal resin is, for example, trade names manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd., ESREC BX-1, BX-2, BX-5, BX-55, BX-7, BH-3, BH-S, KS-3Z, KS-5, KS-5Z, KS-8, KS-23Z, trade names made by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd., electrified butyral 4000-2, 5000A, 6000C, 6000EP, and the like can be used. These resins can be used alone or in admixture of two or more.

(A)成分の100質量部に対し、(B)成分が0.5〜30質量部であることが好ましい。(B)成分が0.5質量部未満では、ピール強度や化学粗化後の無電解めっきのピール強度が低く、30質量部を超えるとはんだ耐熱性等や絶縁信頼性が低下するため、好ましくない。特に架橋ゴム粒子を1質量部以上併用した場合、ポリビニルアセタール樹脂の配合量が1質量部以上であると、銅箔の引き剥がし強さや化学粗化後の無電解めっきの引き剥がし強さが向上し、さらに好ましい。   (A) It is preferable that (B) component is 0.5-30 mass parts with respect to 100 mass parts of (A) component. If the component (B) is less than 0.5 parts by mass, the peel strength and the peel strength of the electroless plating after chemical roughening are low, and if it exceeds 30 parts by mass, the solder heat resistance and the insulation reliability are reduced. Absent. Particularly when 1 part by mass or more of crosslinked rubber particles is used in combination, the peel strength of the copper foil or the electroless plating after chemical roughening is improved when the blending amount of the polyvinyl acetal resin is 1 part by mass or more. And more preferred.

(C)成分のエポキシ樹脂硬化剤は、複数のフェノール性水酸基を分子内に持つ化合物であれば特に制限はないが、ヒドロキノン等の1つのフェニル基に2つ以上の水酸基を有した化合物や、フェノール樹脂、クレゾール樹脂等の1つの分子にフェノール環又はクレゾール環を複数個含んだ化合物が例示できる。   The epoxy resin curing agent of component (C) is not particularly limited as long as it is a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in the molecule, but a compound having two or more hydroxyl groups in one phenyl group such as hydroquinone, Examples thereof include compounds containing a plurality of phenol rings or cresol rings in one molecule such as phenol resin and cresol resin.

市販品としては、アミノトリアジン変性ノボラック樹脂として大日本インキ化学工業株式会社製のフェノライト LA−1356、LA−3018、ビフェニルノボラック樹脂として明和化成株式会社製のMEH−7851などが挙げられる。
これらの中で(C)成分としてノボラック型フェノール樹脂であることが好ましく、トリアジン環含有ノボラック型フェノール樹脂であると銅箔の引き剥がし強さや化学粗化後の無電解めっきの引き剥がし強さが向上し、さらに好ましい。
Examples of commercially available products include Phenolite LA-1356 and LA-3018 manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc. as aminotriazine-modified novolak resins, and MEH-7851 manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd. as biphenyl novolak resins.
Among these, a novolak type phenolic resin is preferable as the component (C), and a triazine ring-containing novolak type phenolic resin has a peeling strength of copper foil and a peeling strength of electroless plating after chemical roughening. It is improved and more preferable.

本発明における、トリアジン環含有ノボラック型フェノール樹脂とは、ノボラック型フェノール樹脂の主鎖にトリアジン環を含むノボラック型フェノール樹脂を示し、トリアジン環を含むクレゾールノボラック型フェノール樹脂でも構わない。窒素含有量は、トリアジン環含有ノボラック型フェノール樹脂中、10〜25質量%が好ましく、より好ましくは12〜19質量%である。分子中の窒素含有量がこの範囲内にあると、誘電損失が大きくなりすぎることもなく、接着剤をワニスとする場合に、溶剤への溶解度が適切で、未溶解物の残存量が抑えられる。トリアジン環含有ノボラック型フェノール樹脂は、数平均分子量が、500〜600であるものを用いることができる。これらは単独でも、2種以上を組み合せて用いてもよい。   In the present invention, the triazine ring-containing novolak type phenol resin means a novolak type phenol resin containing a triazine ring in the main chain of the novolak type phenol resin, and may be a cresol novolak type phenol resin containing a triazine ring. The nitrogen content is preferably 10 to 25% by mass, more preferably 12 to 19% by mass in the triazine ring-containing novolac type phenol resin. When the nitrogen content in the molecule is within this range, the dielectric loss does not become too large, and when the adhesive is used as a varnish, the solubility in the solvent is appropriate and the remaining amount of undissolved material can be suppressed. . As the triazine ring-containing novolac type phenol resin, one having a number average molecular weight of 500 to 600 can be used. These may be used alone or in combination of two or more.

なお、トリアジン環含有ノボラック型フェノール樹脂は、フェノールとアルデヒドとトリアジン環含有化合物を、pH5〜9の条件下で反応させて得ることができる。フェノールに替えてクレゾールを用いるとトリアジン環含有クレゾールノボラック型フェノール樹脂となる。クレゾールは、o−、m−、p−クレゾールのいずれも使用することができ、トリアジン環含有化合物としてはメラミン、グアナミン及びその誘導体、シアヌル酸及びその誘導体などを使用することができる。   The triazine ring-containing novolak type phenol resin can be obtained by reacting phenol, an aldehyde, and a triazine ring-containing compound under conditions of pH 5-9. When cresol is used instead of phenol, a triazine ring-containing cresol novolac type phenol resin is obtained. As the cresol, any of o-, m-, and p-cresol can be used. As the triazine ring-containing compound, melamine, guanamine and derivatives thereof, cyanuric acid and derivatives thereof, and the like can be used.

市販品としては、大日本インキ化学工業株式会社製のトリアジン環含有クレゾールノボラック型フェノール樹脂フェノライトLA−3018(窒素含有量18質量%)が挙げられる。   As a commercially available product, Dainippon Ink & Chemicals, Inc., a triazine ring-containing cresol novolac type phenol resin phenolite LA-3018 (nitrogen content 18% by mass) can be mentioned.

(D)成分の硬化促進剤として、どのようなものを用いても構わないが、潜在性の熱硬化剤である各種イミダゾール類やBFアミン錯体を配合することが好ましい。熱硬化性樹脂組成物(接着剤)の保存安定性、Bステージにした際の取り扱い性及びはんだ耐熱性の点から、2−フェニルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテートが好ましい。 (D) Any curing accelerator may be used as the component, but it is preferable to blend various imidazoles and BF 3 amine complexes which are latent thermosetting agents. 2-phenylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2 from the viewpoints of storage stability of the thermosetting resin composition (adhesive), handleability in B-stage and solder heat resistance -Phenylimidazolium trimellitate is preferred.

(D)成分の配合量は、熱硬化性樹脂組成物中の(A)エポキシ樹脂100質量部に対して、0.1〜5質量部の範囲が好ましく、0.3〜1質量部の範囲がより好ましい。これらの範囲にあると、十分なはんだ耐熱性、良好な保存安定性及びBステージにした際の良好な取り扱い性が得られる。   (D) The compounding quantity of a component has the preferable range of 0.1-5 mass parts with respect to 100 mass parts of (A) epoxy resins in a thermosetting resin composition, and the range of 0.3-1 mass parts. Is more preferable. Within these ranges, sufficient solder heat resistance, good storage stability, and good handleability when using the B stage can be obtained.

(E)成分のナノ粒子フィラーは、特に限定されないが、シリカ、溶融シリカ、タルク、アルミナ、水酸化アルミニウム、硫酸バリウム、水酸化カルシウム、アエロジル及び炭酸カルシウム等が挙げられる。ナノ粒子フィラーには、分散性を高める等の目的で、これらをシランカップリング剤等の各種カップリング剤で処理したものを含んでいてもよい。これらは、単独でも、2種以上を組み合せて用いてもよい。なお、誘電特性や低熱膨張の点からシリカが好ましい。   The nanoparticle filler of component (E) is not particularly limited, and examples thereof include silica, fused silica, talc, alumina, aluminum hydroxide, barium sulfate, calcium hydroxide, aerosil, and calcium carbonate. The nanoparticle filler may contain those treated with various coupling agents such as a silane coupling agent for the purpose of enhancing dispersibility. These may be used alone or in combination of two or more. Silica is preferred from the viewpoint of dielectric properties and low thermal expansion.

(E)成分のナノ粒子フィラーは中心粒径が10nm〜50nm、最大粒径100nm以下であり、これより中心粒径及び最大粒径が大きくなると、積層板の耐電圧の低下、デスミア処理時に粗化形状が大きくなるといった問題がある。
本発明で規定する中心粒径とは、粒度分布測定装置(本発明では日機装株式会社製、超高感度ナノ粒度分布測定装置UPA−UT151を使用した)を用いて測定される累積平均径の中心径(D50)及び最大粒径(D100)をそれぞれ中心粒径及び最大粒径とする。
The nanoparticle filler of component (E) has a center particle size of 10 nm to 50 nm and a maximum particle size of 100 nm or less. When the center particle size and the maximum particle size are larger than this, the withstand voltage of the laminate is reduced and roughened during desmear treatment. There is a problem that the conversion shape becomes large.
The center particle size defined in the present invention is the center of the cumulative average diameter measured using a particle size distribution measuring device (in the present invention, manufactured by Nikkiso Co., Ltd., using an ultrasensitive nano particle size distribution measuring device UPA-UT151). Let the diameter (D 50 ) and the maximum particle size (D 100 ) be the center particle size and the maximum particle size, respectively.

(E)成分であるナノ粒子フィラーの配合量は、(A)〜(E)成分の容積の合計中、5〜35容積%の範囲内にあることが好ましく、より好ましくは、10〜30容積%である。配合量がこの範囲内にあると、熱膨張係数と誘電損失が大きくなることもなく、絶縁層を内層回路上に形成するのに十分なフローが得られる。なお、熱硬化性樹脂組成物にナノ粒子フィラーを分散させるには、例えばニーダー、ボールミル、ビーズミル、3本ロール等既知の混練方法を用いることができる。   The compounding amount of the nanoparticle filler that is the component (E) is preferably in the range of 5 to 35% by volume, more preferably 10 to 30 volumes, in the total volume of the components (A) to (E). %. When the blending amount is within this range, the thermal expansion coefficient and the dielectric loss are not increased, and a flow sufficient for forming the insulating layer on the inner layer circuit can be obtained. In order to disperse the nanoparticle filler in the thermosetting resin composition, a known kneading method such as a kneader, a ball mill, a bead mill, or a three roll can be used.

熱硬化性樹脂組成物には難燃性を向上させるため、さらに(F)フェノール性水酸基含有リン化合物を含有させてもよい。
(F)フェノール性水酸基含有リン化合物は、下記式(2)で示されるような、フェノール性水酸基を含有するリン化合物である。これらは、単独でも、2種以上を組み合せて用いてもよい。
In order to improve flame retardancy, the thermosetting resin composition may further contain (F) a phenolic hydroxyl group-containing phosphorus compound.
(F) The phenolic hydroxyl group-containing phosphorus compound is a phosphorus compound containing a phenolic hydroxyl group as represented by the following formula (2). These may be used alone or in combination of two or more.

Figure 2011051247
(式(2)中、nが1の場合、Rは、水素原子、直鎖状のアルキル基、分枝状のアルキル基、シクロアルキル基、アリール基又はアラルキル基であり、nが2の場合、それぞれのRは独立して、水素原子、直鎖状のアルキル基、分枝状のアルキル基、シクロアルキル基、アリール基又はアラルキル基であるか、2つのRは、それぞれが結合している炭素原子と一緒になって、非置換又はアルキル基若しくはシクロアルキル基で置換されているベンゼン環を形成し、xは、2以上の自然数である)
Figure 2011051247
(In the formula (2), when n is 1, R 4 is a hydrogen atom, a linear alkyl group, a branched alkyl group, a cycloalkyl group, an aryl group or an aralkyl group; Each R 4 independently represents a hydrogen atom, a linear alkyl group, a branched alkyl group, a cycloalkyl group, an aryl group or an aralkyl group, or two R 4 s are bonded to each other. Together with the carbon atom in question, forms a benzene ring which is unsubstituted or substituted with an alkyl or cycloalkyl group, x being a natural number of 2 or more)

式(2)において、Rが直鎖状若しくは分枝状のアルキル基の場合、炭素数1〜6のアルキル基が好ましく、シクロアルキル基の場合は、炭素数6〜8のシクロアルキル基が好ましい。アリール基の場合、フェニル基が好ましく、アラルキル基の場合、炭素数7〜10のアラルキル基が好ましい。xは、2が好ましい。また、式(2)において、nが2であり、2つのRが、それぞれが結合している炭素原子と一緒になって、2つのRは、それぞれが結合している炭素原子と一緒になって、非置換又はアルキル基若しくはシクロアルキル基で置換されているベンゼン環を形成する場合は、非置換又は炭素数1〜4のアルキル基若しくは炭素数6〜8のシクロアルキル基で置換されているベンゼン環が好ましい。 In the formula (2), when R 4 is a linear or branched alkyl group, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms is preferable, and in the case of a cycloalkyl group, a cycloalkyl group having 6 to 8 carbon atoms is preferable. In the case of an aryl group, a phenyl group is preferable, and in the case of an aralkyl group, an aralkyl group having 7 to 10 carbon atoms is preferable. x is preferably 2. Also, in formula (2), n is 2, and two R 4 are together with the carbon atom to which each is bonded, and two R 4 are together with the carbon atom to which each is bonded. To form a benzene ring which is unsubstituted or substituted with an alkyl group or a cycloalkyl group, it is unsubstituted or substituted with an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or a cycloalkyl group having 6 to 8 carbon atoms. The benzene ring is preferred.

具体的には、式(3)又は式(4)で示されるリン化合物が挙げられる。   Specifically, the phosphorus compound shown by Formula (3) or Formula (4) is mentioned.

Figure 2011051247
(式中、Rは、水素原子、メチル、エチル、n−プロピル、イソプロピル、n−ブチル、イソブチル、sec−ブチル、tert−ブチル基、シクロヘキシル基を表す)
Figure 2011051247
(Wherein R 5 represents a hydrogen atom, methyl, ethyl, n-propyl, isopropyl, n-butyl, isobutyl, sec-butyl, tert-butyl group, or cyclohexyl group)

特に、10−(2,5−ジヒドロキシフェニル)−9,10−ジヒドロ−9−オキサ−10−ホスファフェナントレン−10−オキシド及びそれらの誘導体が好ましい。
市販品としては、三光株式会社製のHCA−HQが挙げられる。
In particular, 10- (2,5-dihydroxyphenyl) -9,10-dihydro-9-oxa-10-phosphaphenanthrene-10-oxide and derivatives thereof are preferred.
As a commercial item, Sanko Co., Ltd. HCA-HQ is mentioned.

難燃性を付与する場合、熱硬化性樹脂組成物における、(F)フェノール性水酸基含有リン化合物の配合量は、(A)〜(E)成分の質量の合計中、リン原子換算で、好ましくは1.5〜3.5質量%の範囲であり、より好ましくは1.8〜2.5質量%の範囲である。配合量がこの範囲にあると、難燃性が良好で、絶縁信頼性に優れ、かつ硬化塗膜のTgが低すぎることもない。   In the case of imparting flame retardancy, the compounding amount of the (F) phenolic hydroxyl group-containing phosphorus compound in the thermosetting resin composition is preferably in terms of phosphorus atoms in the total mass of the components (A) to (E). Is in the range of 1.5 to 3.5 mass%, more preferably in the range of 1.8 to 2.5 mass%. When the blending amount is within this range, the flame retardancy is good, the insulation reliability is excellent, and the Tg of the cured coating film is not too low.

本発明における熱硬化性樹脂組成物には、可とう性向上のため、さらに(G)熱可塑性樹脂を含有していてもよい。
本発明における、(G)熱可塑性樹脂としては、フッ素樹脂、ポリフェニレンエーテル、変性ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンスルフィド、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリアリレート、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリブタジエンなどが例示されるが、これらに限定されるわけではない。熱可塑性樹脂は、1種類のものを単独で用いてもよいし、2種類以上を混合して用いてもよい。
The thermosetting resin composition in the present invention may further contain (G) a thermoplastic resin in order to improve flexibility.
Examples of the thermoplastic resin (G) in the present invention include fluororesin, polyphenylene ether, modified polyphenylene ether, polyphenylene sulfide, polycarbonate, polyetherimide, polyetheretherketone, polyarylate, polyamide, polyamideimide, and polybutadiene. However, it is not limited to these. One type of thermoplastic resin may be used alone, or two or more types may be mixed and used.

熱可塑性樹脂の中でも、ポリフェニレンエーテルおよび変性ポリフェニレンエーテルを配合すると、硬化物の誘電特性が向上するので有用である。ポリフェニレンエーテルおよび変性ポリフェニレンエーテルとしては、例えば、ポリ(2,6−ジメチル−1,4−フェニレン)エーテル、ポリ(2,6−ジメチル−1,4−フェニレン)エーテルとポリスチレンのアロイ化ポリマ、ポリ(2,6−ジメチル−1,4−フェニレン)エーテルとスチレン−ブタジエンコポリマのアロイ化ポリマ、ポリ(2,6−ジメチル−1,4−フェニレン)エーテルとスチレン−無水マレイン酸コポリマのアロイ化ポリマ、ポリ(2,6−ジメチル−1,4−フェニレン)エーテルとポリアミドのアロイ化ポリマ、ポリ(2,6−ジメチル−1,4−フェニレン)エーテルとスチレン−ブタジエン−アクリロニトリルコポリマのアロイ化ポリマなどが挙げられる。また、ポリフェニレンエーテルに反応性、重合性を付与するために、ポリマー鎖末端にアミノ基、エポキシ基、カルボキシル基、スチリル基、メタクリル基などの官能基を導入したり、ポリマー鎖側鎖にアミノ基、エポキシ基、カルボキシル基、スチリル基、メタクリル基などの官能基を導入したりしてもよい。   Among thermoplastic resins, blending polyphenylene ether and modified polyphenylene ether is useful because it improves the dielectric properties of the cured product. Examples of polyphenylene ether and modified polyphenylene ether include poly (2,6-dimethyl-1,4-phenylene) ether, poly (2,6-dimethyl-1,4-phenylene) ether and polystyrene alloyed polymer, poly Alloyed polymer of (2,6-dimethyl-1,4-phenylene) ether and styrene-butadiene copolymer, Alloyed polymer of poly (2,6-dimethyl-1,4-phenylene) ether and styrene-maleic anhydride copolymer Alloyed polymer of poly (2,6-dimethyl-1,4-phenylene) ether and polyamide, alloyed polymer of poly (2,6-dimethyl-1,4-phenylene) ether and styrene-butadiene-acrylonitrile copolymer, etc. Is mentioned. In addition, in order to impart reactivity and polymerizability to polyphenylene ether, functional groups such as amino groups, epoxy groups, carboxyl groups, styryl groups, and methacryl groups are introduced at the ends of polymer chains, or amino groups are introduced into the side chains of polymer chains. In addition, a functional group such as an epoxy group, a carboxyl group, a styryl group, or a methacryl group may be introduced.

熱可塑性樹脂の中でも、ポリアミドイミド樹脂は、耐熱性、耐湿性に優れることに加え、金属に対する接着性が良好であるので有用である。ポリアミドイミドの原料のうち、酸成分としては、無水トリメリット酸、無水トリメリット酸モノクロライド、アミン成分としては、メタフェニレンジアミン、パラフェニレンジアミン、4,4’‐ジアミノジフェニルエーテル、4,4’‐ジアミノジフェニルメタン、ビス[4‐(アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、2,2’‐ビス[4‐(4‐アミノフェノキシ)フェニル]プロパンなどが例示されるが、これに限定されるわけではない。乾燥性を向上させるためにシロキサン変性としても良く、この場合、アミノ成分にシロキサンジアミンが用いられる。フィルム加工性を考慮すると、分子量は5万以上のものを用いるのが好ましい。
熱硬化性樹脂組成物には、必要に応じて、顔料、レベリング剤、消泡剤、イオントラップ剤等の添加剤を配合してもよい。
Among thermoplastic resins, polyamideimide resin is useful because it has excellent heat resistance and moisture resistance, and also has good adhesion to metal. Among the raw materials for polyamideimide, trimellitic anhydride, trimellitic anhydride monochloride, as the acid component, and metaphenylenediamine, paraphenylenediamine, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'- as the amine component Examples include, but are not limited to, diaminodiphenylmethane, bis [4- (aminophenoxy) phenyl] sulfone, 2,2′-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, and the like. In order to improve drying property, it may be modified with siloxane. In this case, siloxane diamine is used as the amino component. In consideration of film processability, it is preferable to use a molecular weight of 50,000 or more.
You may mix | blend additives, such as a pigment, a leveling agent, an antifoamer, and an ion trap agent, with a thermosetting resin composition as needed.

以上のように説明した熱硬化性樹脂組成物の各成分は溶剤に溶解ないし分散してワニスにして、金属箔(例えば、銅箔)の片面に塗工し、半硬化させることにより、熱硬化性樹脂組成物層付き金属箔(接着層付銅箔)が完成する。
溶剤としては、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、ベンゼン、キシレン、トルエン等の芳香族炭化水素類、エチレングリコールモノエチルエーテル等のアルコール類、エチルエトキシプロピオネート等のエステル類、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド等のアミド類が挙げられる。これらの溶剤は、単独でも、2種以上を混合して用いてもよい。熱硬化性樹脂組成物(接着補助剤)に対する溶剤の使用量は、特に限定されず、従来から使用されている量とすることができる。
Each component of the thermosetting resin composition described above is dissolved or dispersed in a solvent to form a varnish, which is applied to one side of a metal foil (for example, copper foil) and semi-cured, thereby thermosetting. Metal foil with adhesive resin composition layer (copper foil with adhesive layer) is completed.
Solvents include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, aromatic hydrocarbons such as benzene, xylene, and toluene, alcohols such as ethylene glycol monoethyl ether, esters such as ethyl ethoxypropionate, N, N -Amides such as dimethylformamide and N, N-dimethylacetamide. These solvents may be used alone or in combination of two or more. The usage-amount of the solvent with respect to a thermosetting resin composition (adhesion adjuvant) is not specifically limited, It can be made into the quantity conventionally used.

熱硬化性樹脂組成物(接着補助剤または接着剤とも表す)をワニスとして、コンマコータやグラビアコータで銅箔に塗布する場合は、熱硬化性樹脂組成物(接着補助剤)の全固形分量が、10〜30質量%となるように溶剤の使用量を調節することが好ましいが、またフィルム形成用の設備にあわせて量を調整することもできる。   When a thermosetting resin composition (also referred to as an adhesion aid or adhesive) is used as a varnish and applied to a copper foil with a comma coater or gravure coater, the total solid content of the thermosetting resin composition (adhesion aid) The amount of the solvent used is preferably adjusted so as to be 10 to 30% by mass, but the amount can also be adjusted according to the equipment for film formation.

このときの樹脂層の厚みは、1.0〜5.0μmである。1.0μm未満では、デスミア処理時に接着層がなくなってしまい、セミアディティブ工法の際にめっき銅との高い接着強度を確保できなくなってしまう恐れがある。また、5.0μmを超える場合には、成形時に用いるプリプレグの特性が悪くなる恐れがある。例えば、加熱加圧後の基板としての弾性率や、Tgなどを著しく低下させる恐れがある。プリプレグの特性を十分に発揮するためには、樹脂層が2.0〜4.0μmの範囲内にあることが好ましい。   The thickness of the resin layer at this time is 1.0 to 5.0 μm. If the thickness is less than 1.0 μm, the adhesive layer is lost during the desmear treatment, and high adhesive strength with the plated copper may not be ensured during the semi-additive method. Moreover, when it exceeds 5.0 micrometers, there exists a possibility that the characteristic of the prepreg used at the time of shaping | molding may worsen. For example, there is a possibility that the elastic modulus as a substrate after heating and pressurization, Tg, and the like are significantly reduced. In order to sufficiently exhibit the characteristics of the prepreg, the resin layer is preferably in the range of 2.0 to 4.0 μm.

本発明に用いる金属箔としては、特に限定されるものではないが、例えば銅箔、ニッケル箔、アルミ箔などを用いることができ、通常は銅箔を使用する。銅箔の種類は電解銅箔、圧延銅箔など特に限定されるものではない。また、使用する金属箔の厚みについても、特に限定されるものではない。一般にプリント配線板に用いられている、厚み105μm以下の金属箔で構わないし、ピーラブルタイプの金属箔を用いることもできる。なお、ピーラブルタイプの代わりに、アルミキャリアやニッケルキャリアを有するようなエッチャブルタイプの金属箔を用いることもできる。使用する金属箔の接着層と接する面の表面粗さは、微細配線形成の点から、粗化処理が施されてなく、十点平均粗さ(Rz)が2.0μm以下である。粗さがこれ以上粗くなると、デスミアによる微細な粗化形状を作ることが困難になるため、微細配線形成ができない。なお、表面粗さは、JIS B601により規定されており、十点平均粗さ(Rz)はそれによる。   Although it does not specifically limit as metal foil used for this invention, For example, copper foil, nickel foil, aluminum foil etc. can be used, and copper foil is normally used. The type of copper foil is not particularly limited, such as electrolytic copper foil or rolled copper foil. Further, the thickness of the metal foil to be used is not particularly limited. A metal foil having a thickness of 105 μm or less, which is generally used for a printed wiring board, may be used, and a peelable type metal foil may be used. Instead of the peelable type, an etchable type metal foil having an aluminum carrier or a nickel carrier can also be used. The surface roughness of the surface in contact with the adhesive layer of the metal foil to be used is not subjected to roughening treatment from the viewpoint of fine wiring formation, and the ten-point average roughness (Rz) is 2.0 μm or less. If the roughness becomes rougher than this, it becomes difficult to form a fine roughened shape by desmear, so fine wiring cannot be formed. The surface roughness is defined by JIS B601, and the ten-point average roughness (Rz) is based on it.

市販品としては、電解銅箔では古河サーキットフォイル株式会社製のF0−WS箔、株式会社日鉱マテリアルズのHLPB箔、圧延銅箔ではマイクロハード株式会社のZSPC箔などが挙げられる。   Examples of commercially available products include F0-WS foil manufactured by Furukawa Circuit Foil Co., Ltd. for electrolytic copper foil, HLPB foil manufactured by Nikko Materials Co., Ltd., and ZSPC foil manufactured by Microhardware Co., Ltd. for rolled copper foil.

本発明に用いる金属箔には、一般的な金属箔の絶縁層接着面に行う防錆処理がなされていることが好ましい。防錆処理は、ニッケル、錫、亜鉛、クロム、モリブデン、コバルトのいずれか、若しくはそれらの合金を用いて行うことができるが、亜鉛及びクロムから選択される少なくとも一種により行われることが好ましい。防錆処理金属の量は、金属の種類によって異なるが、合計で10〜2000μg/dmが好適である。防錆処理が前記上限より厚すぎるとエッチング阻害と電気特性の低下を引き起こし、前記下限より薄すぎると樹脂との密着強度低下の要因となりうる。 The metal foil used in the present invention is preferably subjected to a rust prevention treatment performed on an insulating layer adhesion surface of a general metal foil. The rust prevention treatment can be performed using any of nickel, tin, zinc, chromium, molybdenum, cobalt, or an alloy thereof, but is preferably performed by at least one selected from zinc and chromium. The amount of the rust-proofing metal varies depending on the type of metal, but is preferably 10 to 2000 μg / dm 2 in total. If the rust prevention treatment is too thick above the upper limit, it may cause etching inhibition and a decrease in electrical characteristics.

さらに、防錆処理上にクロメート処理層が形成されていると樹脂とのピール強度低下を抑制できるため有用である。具体的には六価クロムイオンを含む水溶液を用いて行われる。クロメート処理は単純な浸漬処理でも可能であるが、好ましくは陰極処理で行う。重クロム酸ナトリウム0.1〜50g/L、pH1〜13、浴温0〜60℃、電流密度0.1〜5A/dm、電解時間0.1〜100秒の条件で行うのがよい。重クロム酸ナトリウムの替わりにクロム酸或いは重クロム酸カリウムを用いて行うことも出来る。 Furthermore, if a chromate treatment layer is formed on the rust prevention treatment, it is useful because a reduction in peel strength with the resin can be suppressed. Specifically, it is performed using an aqueous solution containing hexavalent chromium ions. The chromate treatment can be performed by a simple immersion treatment, but is preferably performed by a cathode treatment. Sodium dichromate 0.1-50 g / L, pH 1-13, bath temperature 0-60 ° C., current density 0.1-5 A / dm 2 , electrolysis time 0.1-100 seconds are preferable. It can also be performed using chromic acid or potassium dichromate instead of sodium dichromate.

本発明においては、銅箔の最外層にさらにシランカップリング剤が吸着していることが好ましい。シランカップリング剤としては例えば、3‐グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、2‐(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン等のエポキシ官能性シラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−2−(アミノエチル)3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン等のアミノ官能性シラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルフェニルトリメトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン等のオレフィン官能性シラン、3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン等のアクリル官能性シラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン等のメタクリル官能性シラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等のメルカプト官能性シランなどが用いられる。後に塗工する接着補助剤との相性を考えると、分子内にエポキシ基あるいはアミノ基を有することが望ましい。これらは単独で用いることもできるし、複数を混合して用いてもよい。   In the present invention, it is preferable that a silane coupling agent is further adsorbed on the outermost layer of the copper foil. Examples of silane coupling agents include 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, epoxy-functional silanes such as 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxysilane, and N-2. Amino-functional silanes such as-(aminoethyl) 3-aminopropyltrimethoxysilane, N-2- (aminoethyl) 3-aminopropylmethyldimethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, vinylphenyltrimethoxysilane, vinyltris (2- Olefin functional silane such as methoxyethoxy) silane, acrylic functional silane such as 3-acryloxypropyltrimethoxysilane, methacryl functional silane such as 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane Such as mercapto functional silane is used. Considering compatibility with an adhesion aid to be applied later, it is desirable to have an epoxy group or an amino group in the molecule. These may be used alone or in combination.

以上のような熱硬化性樹脂組成物層付き金属箔(接着層付き銅箔)を用いた金属張積層板の製造方法としては、熱硬化性樹脂組成物層付き金属箔と少なくとも1枚以上のプリプレグとが従来公知の方法により積層一体化され、加熱加圧されて積層板を得ることができる。
加熱加圧の条件は,プリプレグの樹脂によって異なり,例えば,ガラス布基材エポキシ樹脂プリプレグを用いるときは温度150〜250℃,圧力0.5〜8.0MPaとされている。
As a method for producing a metal-clad laminate using a metal foil with a thermosetting resin composition layer (copper foil with an adhesive layer) as described above, at least one metal foil with a thermosetting resin composition layer and at least one sheet A prepreg can be laminated and integrated by a conventionally known method, and heated and pressed to obtain a laminated plate.
The conditions for heating and pressing differ depending on the prepreg resin. For example, when a glass cloth base epoxy resin prepreg is used, the temperature is 150 to 250 ° C. and the pressure is 0.5 to 8.0 MPa.

その後,公知の方法で、金属張積層板の金属箔面に対し,配線加工を行い,プリント配線板とする。なお、前記配線加工においては、エッチング工法、セミアディティブ工法いずれを行ってもよい。   Thereafter, by a known method, wiring processing is performed on the metal foil surface of the metal-clad laminate to obtain a printed wiring board. In the wiring processing, either an etching method or a semi-additive method may be performed.

(実施例1)
下記に示す熱硬化性樹脂組成物Aを作製した。
(熱硬化性樹脂組成物Aの作製)
・(A)成分:ビフェニル構造を有するノボラック型エポキシ樹脂、NC3000S−H(日本化薬株式会社製);35質量部
・(B)成分:カルボン酸変性ポリビニルアセタール樹脂、KS−23Z(積水化学工業株式会社製);5質量部
・(C)成分:トリアジン環含有クレゾールノボラック型フェノール樹脂、フェノライトLA−3018(窒素含有量18質量%、水酸基当量151、大日本インキ化学工業株式会社製);10質量部
・(D)成分:イミダゾール誘導体化合物、1−シアノエチル−2フェニルイミダゾリウムトリメリテート、2PZ−CNS(四国化成工業株式会社製);0.3質量部
・(E)成分:ナノシリカ1(平均粒径15nm、最大粒径40nm、球状、メチルエチルケトンスラリー、30質量%配合);50質量部
・溶剤、メチルエチルケトン;適量
Example 1
The thermosetting resin composition A shown below was produced.
(Preparation of thermosetting resin composition A)
-(A) component: Novolak type epoxy resin having a biphenyl structure, NC3000S-H (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.); 35 parts by mass-(B) component: carboxylic acid-modified polyvinyl acetal resin, KS-23Z (Sekisui Chemical Co., Ltd.) 5 parts by mass and (C) component: triazine ring-containing cresol novolac type phenol resin, phenolite LA-3018 (nitrogen content 18% by mass, hydroxyl group equivalent 151, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.); 10 parts by mass / component (D): imidazole derivative compound, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate, 2PZ-CNS (manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.); 0.3 parts by mass / component (E): nanosilica 1 (Average particle size 15 nm, maximum particle size 40 nm, spherical, methyl ethyl ketone slurry, 30% by mass); 5 Parts by weight solvent, methyl ethyl ketone; qs

(熱硬化性樹脂組成物層付き金属箔;接着層付銅箔の作製)
幅540mm、厚み12μmの電解銅箔(製品名F0−WS12:古河サーキットフォイル社製、Rz=1.2μm)の接着面に、上記熱硬化性樹脂組成物Aを塗布し接着層付銅箔を作製した。塗布後は残溶剤が5質量%以下になるように160℃で10分程度の乾燥を行った。塗布した熱硬化性樹脂組成物Aの層の厚み(接着剤厚み)は、3.0μmであった。
(Metal foil with thermosetting resin composition layer; preparation of copper foil with adhesive layer)
The above thermosetting resin composition A is applied to the adhesive surface of an electrolytic copper foil (product name F0-WS12: manufactured by Furukawa Circuit Foil, Rz = 1.2 μm) having a width of 540 mm and a thickness of 12 μm. Produced. After coating, drying was performed at 160 ° C. for about 10 minutes so that the residual solvent was 5% by mass or less. The thickness of the applied thermosetting resin composition A (adhesive thickness) was 3.0 μm.

日立化成工業株式会社製 ガラス布基材高Tgエポキシ樹脂プリプレグGEA−679FG(厚み0.1mm)4枚とその上下に熱硬化性樹脂組成物Aが塗布された面がプリプレグに接するように接着層付銅箔Aを積層し、180℃、3.0MPaの条件で1時間プレス成形し、銅張積層板を製造した。   Hitachi Chemical Co., Ltd. glass cloth base material high Tg epoxy resin prepreg GEA-679FG (thickness 0.1 mm) 4 and the adhesive layer so that the surface where the thermosetting resin composition A was applied to the top and bottom thereof is in contact with the prepreg The attached copper foil A was laminated and press molded at 180 ° C. and 3.0 MPa for 1 hour to produce a copper-clad laminate.

(実施例2)
実施例1において、ナノシリカ1を、ナノシリカ2(平均粒径30nm、最大粒径50nm、球状、メチルエチルケトンスラリー、30質量%配合)に変更したこと以外は実施例1と同様にして銅張積層板を作製した。
(Example 2)
In Example 1, except that nanosilica 1 was changed to nanosilica 2 (average particle size 30 nm, maximum particle size 50 nm, spherical, methyl ethyl ketone slurry, 30% by mass), a copper clad laminate was prepared in the same manner as in Example 1. Produced.

(比較例1)
実施例1において、ナノシリカ1を、ナノシリカ3(平均粒径100nm、最大粒径500nm、球状、メチルエチルケトンスラリー、30質量%配合)に変更したこと以外は実施例1と同様にして銅張積層板を作製した。
(Comparative Example 1)
A copper clad laminate was prepared in the same manner as in Example 1 except that nanosilica 1 was changed to nanosilica 3 (average particle size 100 nm, maximum particle size 500 nm, spherical, methyl ethyl ketone slurry, 30% by mass) in Example 1. Produced.

(比較例2)
実施例1において、熱硬化性樹脂組成物Aを10μmの厚み(接着剤厚み)に塗布した以外は、実施例1と同様にして銅張積層板を作製した。
(Comparative Example 2)
In Example 1, a copper clad laminate was prepared in the same manner as in Example 1 except that the thermosetting resin composition A was applied to a thickness (adhesive thickness) of 10 μm.

(比較例3)
実施例1において、F0−WS12箔の代わりにF3WS−12箔(古河サーキットフォイル社製:Rz=3.5μm)を用いたこと以外は実施例1と同様にして銅張積層板を作製した。
(Comparative Example 3)
A copper-clad laminate was prepared in the same manner as in Example 1 except that F3WS-12 foil (Furukawa Circuit Foil, Inc .: Rz = 3.5 μm) was used instead of F0-WS12 foil.

(比較例4)
実施例1において、F0−WS12箔に上記熱硬化性樹脂組成物Aを塗布しないこと以外は実施例1と同様にして銅張積層板を作製した。
(Comparative Example 4)
In Example 1, a copper-clad laminate was produced in the same manner as in Example 1 except that the thermosetting resin composition A was not applied to the F0-WS12 foil.

(微細配線形成評価)
実施例1、2、比較例1〜4で得られた両面銅張積層板を全面エッチングし、以下に示すセミアディティブ工法を用いて、最小回路導体幅/隣接回路導体間の間隔(L/S)=20/20μmとなるように回路パターンを形成した。
(Evaluation of fine wiring formation)
The double-sided copper-clad laminates obtained in Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 to 4 were entirely etched, and using the semi-additive method shown below, the minimum circuit conductor width / interval between adjacent circuit conductors (L / S ) = 20/20 μm A circuit pattern was formed.

全面エッチングした基板を粗化処理として、70℃に加温した溶剤膨潤液(シップレイ株式会社製、MLBコンディショナー211:商品名)に5分間、80℃に加温した過マンガン酸粗化液(シップレイ株式会社製、MLBプロモータ213:商品名)に10分間、硫酸ヒドロキシルアミン系中和液(シップレイ株式会社製、MLBニュートラライザー216−2:商品名)に5分間浸漬する。   As a roughening treatment for the substrate etched on the entire surface, a permanganic acid roughening solution (Shipley) heated to 80 ° C for 5 minutes in a solvent swelling solution (MLB conditioner 211: trade name, manufactured by Shipley Co., Ltd.) heated to 70 ° C. Immerse in a hydroxylamine sulfate neutralizing solution (manufactured by Shipley Co., Ltd., MLB Neutralizer 216-2: trade name) for 10 minutes in MLB Promoter 213 (trade name) manufactured by Co., Ltd.

次に、粗化処理を施した基板に、次に、コンディショナー(日立化成工業株式会社製、CLC−601(商品名)を使用)に60℃で5分間浸漬、60℃の湯による湯洗、水洗(常温(25℃)の水による、以下同じ)、無電解めっき用触媒液(日立化成工業株式会社製、HS−202B(商品名)を使用)に常温で10分間浸漬、常温の水による水洗、パラジウムの活性化処理液(日立化成工業株式会社製、ADP−401(商品名)を使用)に常温で5分間浸漬、水洗をこの順に行った。   Next, the substrate subjected to the roughening treatment is then immersed in a conditioner (made by Hitachi Chemical Co., Ltd., using CLC-601 (trade name)) at 60 ° C. for 5 minutes, washed with hot water at 60 ° C., Washed in water (normal temperature (25 ° C) water, the same shall apply hereinafter), electroless plating catalyst solution (made by Hitachi Chemical Co., Ltd., using HS-202B (trade name)) for 10 minutes at normal temperature, with normal temperature water It was washed with water and immersed in a palladium activation treatment solution (Hitachi Chemical Industry Co., Ltd., ADP-401 (trade name)) at room temperature for 5 minutes and washed in this order.

次に、無電解銅めっき液(日立化成工業株式会社製、CUST201(商品名)を使用)に常温で15分間浸漬し、水洗、80℃、10分間乾燥を行い、無電解めっき薄付け(無電解めっき層、1μm)を行った。
次に、ドライフィルムフォトレジストであるRY−3325(日立化成工業株式会社製、商品名)を、無電解めっき層の表面にラミネートし、電解銅めっきを行う箇所をマスクしたフォトマスクを介して紫外線を露光し、さらに現像してめっきレジストを形成した。
次に、硫酸銅浴を用いて、液温25℃、電流密度1.0A/dmの条件で、電解銅めっきを20μmほど行い、回路形成を行った。さらに、めっきレジストを剥離後、下地銅である薄付け無電解めっき層を、過酸化水素系のクイックエッチングより除去した。
Next, it is immersed in an electroless copper plating solution (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., CUST201 (trade name)) at room temperature for 15 minutes, washed with water, dried at 80 ° C. for 10 minutes, and electroless plating thinned (no Electrolytic plating layer, 1 μm) was performed.
Next, RY-3325 (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), which is a dry film photoresist, is laminated on the surface of the electroless plating layer, and ultraviolet rays are passed through a photomask that masks a place where electrolytic copper plating is performed. Was exposed and further developed to form a plating resist.
Next, using a copper sulfate bath, electrolytic copper plating was performed for about 20 μm under conditions of a liquid temperature of 25 ° C. and a current density of 1.0 A / dm 2 to form a circuit. Further, after removing the plating resist, the thin electroless plating layer as the base copper was removed by hydrogen peroxide-based quick etching.

(回路形成性)
次に、回路パターンが確実に形成されているかを、顕微鏡と抵抗計を用いて評価した。
L/S=20μm/20μmの部分で、ライン幅が目標値の10%以内、かつ、ライン間の絶縁抵抗が1010Ω以上の場合を良好(○)とし、ライン幅が目標値の10%超、あるいは、絶縁抵抗が1010Ω未満の場合を不良(×)とした。
(Circuit formability)
Next, it was evaluated using a microscope and an ohmmeter whether the circuit pattern was reliably formed.
When L / S = 20μm / 20μm, the line width is within 10% of the target value, and the insulation resistance between the lines is 10 10 Ω or more, good (◯), and the line width is 10% of the target value A case of exceeding or having an insulation resistance of less than 10 10 Ω was regarded as defective (×).

(めっきピールの測定)
実施例1、2、比較例1〜4における微細配線形成評価用の回路パターンの一部を用いて、評価サンプルの導体引き剥がし強さを測定した。引き剥がしは垂直引き剥がし強さを測定した。測定は常に20℃で行った。測定方法は、JIS−C−6481に準じた。
(Measurement of plating peel)
Using part of the circuit pattern for fine wiring formation evaluation in Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 to 4, the conductor peeling strength of the evaluation sample was measured. For peeling, the vertical peeling strength was measured. Measurements were always made at 20 ° C. The measuring method was based on JIS-C-6482.

(吸湿耐熱試験)
実施例1、2、比較例1〜4用基板の吸湿耐熱試験を行った。基板の試験は各サンプルを121℃、湿度100%、2気圧の条件で2時間処理し、その後288℃のはんだ浴に20秒浸漬して、基板に膨れ等が発生しないかどうかの確認試験を行った。試験には平山製作所製飽和型PCT装置PC−242を用いた。
(Hygroscopic heat resistance test)
The moisture absorption heat test of the substrates for Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 to 4 was performed. The test of the substrate was performed by treating each sample for 2 hours under the conditions of 121 ° C, 100% humidity and 2 atmospheres, and then immersed in a solder bath at 288 ° C for 20 seconds to check whether the substrate was swollen or not. went. A saturation type PCT apparatus PC-242 manufactured by Hirayama Seisakusho was used for the test.

(試験結果)
試験結果を表1に示した。実施例1、2で作製した基板は、微細配線形成にも優れ、めっきピールも高く、めっき銅との密着性に優れていることが分かった。また、基板の吸湿耐熱性も良好であった。本発明において、ナノ粒子フィラーの粒径が、非常に小さいので、ごく薄い接着剤層であっても、接着剤層は平滑な表面を維持できた。比較例1、3については、密着性は良好であった。しかし、ナノ粒子フィラーの粒径が大きいことでデスミア処理面が粗くなったこと、銅箔の粗化が大きいことで微細配線形成が困難であった。比較例2は接着剤層が厚くなったため、吸湿耐熱性試験でふくれが発生した。比較例4は接着剤層がないため、めっき銅との密着性が悪く、回路形成時にライン剥れが発生し、微細配線形成が困難であった。
(Test results)
The test results are shown in Table 1. It turned out that the board | substrate produced in Example 1, 2 was excellent also in fine wiring formation, the plating peel was high, and was excellent in adhesiveness with plated copper. Moreover, the moisture absorption heat resistance of the substrate was also good. In the present invention, since the particle size of the nanoparticle filler is very small, the adhesive layer could maintain a smooth surface even with a very thin adhesive layer. For Comparative Examples 1 and 3, the adhesion was good. However, the desmear-treated surface has become rough due to the large particle size of the nanoparticle filler, and the formation of fine wiring has been difficult due to the large roughening of the copper foil. In Comparative Example 2, since the adhesive layer became thick, blistering occurred in the moisture absorption heat resistance test. Since Comparative Example 4 did not have an adhesive layer, adhesion with the plated copper was poor, line peeling occurred during circuit formation, and fine wiring formation was difficult.

Figure 2011051247
Figure 2011051247

本発明の熱硬化性樹脂組成物層付き金属箔(接着補助剤付金属箔)を、少なくとも1枚以上のプリプレグを重ね、加熱加圧することで、銅箔とプリプレグの間に極薄のセミアディティブ対応可能な接着層を設けた銅張積層板が得られる。このため、プリプレグの低熱膨脹、高弾性率と接着層のセミアディティブ工法による微細配線化を併せ持つ配線板を作製することができる。   The metal foil with the thermosetting resin composition layer of the present invention (metal foil with an adhesion aid) is laminated with at least one prepreg and heated and pressed to form a very thin semi-additive between the copper foil and the prepreg. A copper-clad laminate provided with a compatible adhesive layer is obtained. For this reason, it is possible to produce a wiring board having both the low thermal expansion of the prepreg, the high elastic modulus and the fine wiring by the semi-additive method of the adhesive layer.

Claims (3)

十点平均粗さ(Rz)が2.0μm以下の金属箔の表面に、(A)エポキシ樹脂、(B)ポリビニルアセタール樹脂、カルボン酸変性ポリビニルアセタール樹脂から選択される少なくとも一種、(C)エポキシ樹脂硬化剤、(D)硬化促進剤及び(E)中心粒径が10nm〜50nm、最大粒径100nm以下のナノ粒子フィラーを含有する熱硬化性樹脂組成物の層を1.0〜5.0μmの厚みで備えることを特徴とする熱硬化性樹脂組成物層付き金属箔。   On the surface of a metal foil having a ten-point average roughness (Rz) of 2.0 μm or less, at least one selected from (A) an epoxy resin, (B) a polyvinyl acetal resin, and a carboxylic acid-modified polyvinyl acetal resin, (C) an epoxy A layer of a thermosetting resin composition containing a resin curing agent, (D) a curing accelerator, and (E) a nanoparticle filler having a center particle size of 10 nm to 50 nm and a maximum particle size of 100 nm or less is 1.0 to 5.0 μm. A metal foil with a thermosetting resin composition layer characterized by comprising 請求項1記載の熱硬化性樹脂組成物層付き金属箔と、少なくとも1枚以上のプリプレグとを重ね、加熱加圧して得られることを特徴とする金属張積層板。   A metal-clad laminate obtained by stacking the metal foil with a thermosetting resin composition layer according to claim 1 and at least one prepreg and heating and pressing. 請求項2に記載の金属張積層板の金属箔に配線加工を施して得られることを特徴とするプリント配線板。   A printed wiring board obtained by performing wiring processing on the metal foil of the metal-clad laminate according to claim 2.
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