JP2011041356A5 - - Google Patents

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本発明に係るモータ駆動装置は、モータを駆動するための指令値信号と、前記モータに供給される実電流に関する帰還信号との差を示す偏差信号を、同一の振幅及び線形勾配で繰り返される所定の波形と比較して得られる矩形波に基づいて前記モータを駆動するモータ駆動装置であって、前記所定の波形の振幅よりも小さい閾値を前記偏差信号が超えた場合に、前記偏差信号の前記閾値を超えた部分を前記閾値の範囲内に制限して出力するリミット回路を備えて構成される。

Claims (7)

  1. モータを駆動するための指令値信号と、前記モータに供給される実電流に関する帰還信号との差を示す偏差信号を、同一の振幅及び線形勾配で繰り返される所定の波形と比較して得られる矩形波に基づいて前記モータを駆動するモータ駆動装置であって、
    前記所定の波形の振幅よりも小さい閾値を前記偏差信号が超えた場合に、前記偏差信号の前記閾値を超えた部分を前記閾値の範囲内に制限して出力するリミット回路を備えることを特徴とするモータ駆動装置。
  2. 前記閾値は、前記所定の波形における振幅の変更に応じて変更可能であることを特徴とする請求項１に記載のモータ駆動装置。
  3. 前記閾値は、前記所定の波形の振幅よりも小さい上限値及び下限値として設定されることを特徴とする請求項１または２に記載のモータ駆動装置。
  4. 前記閾値を変更する閾値変更回路をさらに備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のモータ駆動装置。
  5. 前記所定の波形は、三角波であることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載のモータ駆動装置。
  6. 請求項１から５のいずれか一項に記載のモータ駆動装置によって駆動するモータ。
  7. 物体を載置し、請求項６に記載の前記モータの駆動によって移動するステージ装置。
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