JP2011033605A - センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査装置1は、直列に接続された2つのCR並列回路と、前記2つのCR並列回路に矩形波電圧を印加する電源回路部と、前記2つのCR並列回路の接続部の電圧を検出する電圧検出部5と、を備えており、前記2つのCR並列回路のうち少なくとも一方の前記CR並列回路は、試料を挟んで対向する電極対11、12であることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
2 センサ
3 矩形波発生器
4 制御部
5 電圧検出部
11、12 電極対
13、14 試料
32 判断部
Claims (10)
- 直列に接続された2つのCR並列回路と、
前記2つのCR並列回路に矩形波電圧を印加する電源回路部と、
前記2つのCR並列回路の接続部の電圧を検出する電圧検出部と、を備えており、
前記2つのCR並列回路のうち少なくとも一方の前記CR並列回路は、試料を挟んで対向する電極対であることを特徴とするセンサ。 - 前記2つのCR並列回路のうち、一方の前記CR並列回路のみが前記電極対であり、前記電極対ではない他方の前記CR並列回路の抵抗及び静電容量が固定されていることを特徴とする請求項1に記載のセンサ。
- 前記2つのCR並列回路のうち、一方の前記CR並列回路のみが前記電極対であり、前記電極対ではない他方の前記CR並列回路の抵抗及び静電容量が可変であることを特徴とする請求項1に記載のセンサ。
- 前記2つのCR並列回路は、どちらも試料を挟んで対向する電極対で構成されていることを特徴とする請求項1に記載のセンサ。
- 2つの電極対のうち、一方の電極対は、流体が流れる流路の上流側に配置され、他方の電極対は前記流路の下流側に配置されていることを特徴とする請求項4に記載のセンサ。
- 前記電極対は、所定間隔をあけて配置された2枚の平板状電極からなることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のセンサ。
- 前記電圧検出部によって検出される電圧の特性を分析する特性分析手段と、
前記特性分析手段の結果に基づき、前記試料の状態を判断する試料判断手段と、をさらに備えていることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに1項に記載のセンサ。 - 前記特性分析手段は、前記電圧検出部によって検出される電圧の立ち上がり、立ち下がり、立ち上がりまたは立ち下がり状況、電圧印加時の初期電圧値、定常時における電圧値、フラットな電圧値のいずれか1つ、または、複数の組合せから特性を分析することを特徴とする請求項7に記載のセンサ。
- 前記特性分析手段によって、前記電圧検出部によって検出される電圧が、前記印加される電圧を1/2にした矩形波の電圧であると分析された場合には、前記試料判断手段が、前記2つのCR並列回路の静電容量及び抵抗の両方が互いに同じであると判断することを特徴とする請求項7に記載のセンサ。
- 少なくとも一方は試料を挟んで対向する電極対である、直列に接続された2つのCR並列回路と、
前記2つのCR並列回路に矩形波電圧を印加する電源回路部と、
前記2つのCR並列回路の接続部の電圧を検出する電圧検出部と、
前記2つのCR並列回路に印加された矩形波電圧を1/2に降圧して出力する電圧降圧回路と、
前記電圧降圧回路によって1/2になった電圧と、前記電圧検出部によって検出される電圧とを比較して、その差の電圧を出力する比較回路と、
前記比較回路から出力される電圧に基づいて、前記2つのCR並列回路の静電容量及び抵抗の両方が互いに同じか否かを判断する判断手段と、を備えていることを特徴とするセンサ。
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