JP2011012904A - Cold source device for free cooling, cooling system and cooling method - Google Patents

Cold source device for free cooling, cooling system and cooling method Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cold source device for free cooling, a cooling system and a cooling method appropriately cooling cold water even in a condition of low outside temperature or low cooling load.SOLUTION: The cold source device 40 for free cooling includes: a cooling tower 1; a first heat exchanger 11 for exchanging heat between cooling water cooled by the cooling tower 1 and cold water for cooling cooling load; circulating piping 31 for interconnecting the cooling tower 1 and the first heat exchanger 11; and a cooling water pump 2 for circulating the cooling water. The cold source device 40 further includes: first bypass piping 34 for returning the cooling water having passed through the cooling tower 1 to the cooling tower 1 while the first heat exchanger 11 is not interposed; and a first flow rate control means 83 for controlling a cooling water flow rate of the first bypass piping 34. Thus, by returning unnecessary cooling water to the cooling tower 1 via the first bypass piping 34, a flow rate of cooling water made to flow in the first heat exchanger 11 can be controlled.

Description

本発明は、フリークーリング用の冷熱源装置並びに冷却システム及び冷却方法に係り、例えば、クリーンルームやデータセンタ等の空調に用いる冷熱源装置並びに冷却システム及び冷却方法に関する。   The present invention relates to a cooling source device, a cooling system, and a cooling method for free cooling, for example, a cooling source device, a cooling system, and a cooling method used for air conditioning in a clean room, a data center, and the like.

クリーンルームやデータセンタ等の施設では、一年を通じて冷房運転が行われる。このため、これらの設備の冷却システムにおいて、省エネルギーが重要な課題であり、近年ではフリークーリングの利用が提案されている。ここで、フリークーリングとは、消費電力が高い冷凍機を使用せずに、外気との熱交換を利用した冷却塔を冷熱源として空調を行う運転方式をいう。   In facilities such as clean rooms and data centers, cooling operation is performed throughout the year. For this reason, energy saving is an important issue in the cooling system of these facilities, and in recent years, the use of free cooling has been proposed. Here, free cooling refers to an operation method in which air conditioning is performed using a cooling tower using heat exchange with outside air without using a refrigerator with high power consumption.

例えば、特許文献1には、冷凍機を冷熱源とする冷凍機運転と、冷却塔を冷熱源とするフリークーリング運転とを切り替えることができる冷却システムが記載されている。この冷却システムによれば、冷却塔の冷却能力が高い冬季に、冷凍機を使用しないフリークーリング運転を行うことで、エネルギーを大幅に削減することができる。   For example, Patent Document 1 describes a cooling system capable of switching between a refrigerator operation using a refrigerator as a cold heat source and a free cooling operation using a cooling tower as a cold heat source. According to this cooling system, energy can be significantly reduced by performing free cooling operation without using a refrigerator in the winter when the cooling capacity of the cooling tower is high.

特開2004−132651号公報JP 2004-132651 A

フリークーリング運転では、冷却塔において冷却した冷却水を、冷却水ポンプにより熱交換器に送り、当該熱交換器において、冷却負荷を冷却する冷水と熱交換させるのが一般的である。   In the free cooling operation, the cooling water cooled in the cooling tower is generally sent to a heat exchanger by a cooling water pump, and in the heat exchanger, heat is exchanged with cold water for cooling the cooling load.

ここで、冷却塔出口における冷却水の温度は、外気温度の変化に応じて変動してしまうため、熱交換器において冷水を適度に冷却するには、冷却水ポンプの回転数の制御により、熱交換器に流入する冷却水の流量を調節することで省エネとなる。例えば、外気温度が低く、冷却塔出口における冷却水の温度が過剰に低い場合、冷却水ポンプの回転数を低くして、熱交換器に流入する冷却水の流量を少なくする必要がある。   Here, since the temperature of the cooling water at the outlet of the cooling tower fluctuates according to the change in the outside air temperature, in order to cool the cooling water appropriately in the heat exchanger, the heat is controlled by controlling the number of rotations of the cooling water pump. Energy is saved by adjusting the flow rate of the cooling water flowing into the exchanger. For example, when the outside air temperature is low and the temperature of the cooling water at the cooling tower outlet is excessively low, it is necessary to reduce the flow rate of the cooling water flowing into the heat exchanger by reducing the rotation speed of the cooling water pump.

しかしながら、冷却水ポンプは構造上の理由から運転可能な回転数の下限値が定められているため、冷却水ポンプの回転数のみにより、熱交換器に流入する冷却水の流量を調節することができない場合がある。特に、外気温度が低い場合や、冷却負荷が小さい場合は、冷却水の冷却能力が冷却負荷に対して過剰になりやすく、冷水の適度な冷却を行うことが難しい。したがって、冷却塔による冷水製造において、冷却ポンプの回転数の制御が重要となる。   However, since the cooling water pump has a lower limit value for the operable speed for structural reasons, the flow rate of the cooling water flowing into the heat exchanger can be adjusted only by the rotational speed of the cooling water pump. There are cases where it is not possible. In particular, when the outside air temperature is low or the cooling load is small, the cooling capacity of the cooling water tends to be excessive with respect to the cooling load, and it is difficult to appropriately cool the cold water. Therefore, in the production of cold water by the cooling tower, it is important to control the rotation speed of the cooling pump.

本発明は上述の事情に鑑みてなされたものであり、低外気温度あるいは低冷却負荷の条件下でも、冷水の適度な冷却を行うことができるフリークーリング用の冷熱源装置並びに冷却システム及び冷却方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and provides a free cooling cooling heat source apparatus, a cooling system, and a cooling method capable of appropriately cooling cold water even under conditions of a low outside air temperature or a low cooling load. The purpose is to provide.

本発明の一態様に係るフリークーリング用の冷熱源装置は、フリークーリングにより冷却負荷の冷却を行う冷熱源装置であって、外気により冷却水を冷却する冷却塔と、前記冷却塔により冷却された前記冷却水と、前記冷却負荷を冷却する冷水とを熱交換する熱交換器と、前記冷却塔と前記熱交換器とを連結する循環配管と、前記循環配管を通じて、前記冷却塔と前記熱交換器との間で前記冷却水を循環させる冷却水ポンプと、前記冷却塔を通過した前記冷却水を、前記熱交換器を介さずに前記冷却塔に返送する第1バイパス配管と、前記第1バイパス配管を流れる前記冷却水の流量を調節する第1流量調節手段と、前記熱交換器の出口における前記冷水の温度に基づいて、前記第1流量調節手段を制御する制御手段とを備えることを特徴とする。   A cooling source apparatus for free cooling according to an aspect of the present invention is a cooling source apparatus that cools a cooling load by free cooling, and is cooled by a cooling tower that cools cooling water using outside air and the cooling tower. A heat exchanger that exchanges heat between the cooling water and the cooling water that cools the cooling load, a circulation pipe that connects the cooling tower and the heat exchanger, and the heat exchange with the cooling tower through the circulation pipe A cooling water pump that circulates the cooling water to and from a cooler, a first bypass pipe that returns the cooling water that has passed through the cooling tower to the cooling tower without passing through the heat exchanger, and the first First flow rate adjusting means for adjusting the flow rate of the cooling water flowing through the bypass pipe, and control means for controlling the first flow rate adjusting means based on the temperature of the cold water at the outlet of the heat exchanger. Features and That.

ここで、「冷却負荷を冷却する」は、冷却負荷を冷水で直接冷却する態様だけでなく、別の冷却媒体を介して冷却負荷を間接的に冷却する態様も含む。   Here, “cooling the cooling load” includes not only a mode in which the cooling load is directly cooled with cold water but also a mode in which the cooling load is indirectly cooled through another cooling medium.

上記フリークーリング用の冷熱源装置によれば、熱交換器出口における冷水温度(冷水往温度)に基づいて、第1バイパス配管を介して不要な冷却水を冷却塔に返送することで、熱交換器に流入する冷却水の流量を調節することができる。これにより、冷却水の冷却能力が冷却負荷に対して過剰になりやすい条件下、すなわち低外気温度あるいは低冷却負荷の条件下においても、冷水の適度な冷却を行うことができる。   According to the cold cooling source device for free cooling, heat exchange is performed by returning unnecessary cooling water to the cooling tower via the first bypass pipe based on the cold water temperature (cold water going temperature) at the heat exchanger outlet. The flow rate of the cooling water flowing into the vessel can be adjusted. Accordingly, it is possible to appropriately cool the cold water even under a condition where the cooling capacity of the cooling water tends to be excessive with respect to the cooling load, that is, under a condition of a low outside air temperature or a low cooling load.

上記フリークーリング用の冷熱源装置において、前記制御手段は、前記冷却水ポンプの回転数ωが前記冷却水ポンプの下限回転数ωMINであり、前記熱交換器の出口における前記冷水の温度が目標値よりも低い場合に、前記冷却水の少なくとも一部を前記第1バイパス配管に流すように前記第1流量調節手段を制御することが好ましい。 In the free cooling cold heat source apparatus, the control means is configured such that the rotation speed ω of the cooling water pump is the lower limit rotation speed ω MIN of the cooling water pump, and the temperature of the cooling water at the outlet of the heat exchanger is a target. When the value is lower than the value, it is preferable to control the first flow rate adjusting means so that at least a part of the cooling water flows through the first bypass pipe.

これにより、冷却水ポンプを下限回転数ωMINに設定しても、冷水の温度(冷水往温度)が目標値よりも低くなってしまう場合であっても、第1流量調節手段により熱交換器に流入する冷却水の流量を調節して、冷水の適度な冷却を行うことができる。 As a result, even if the cooling water pump is set to the lower limit rotation speed ω MIN , even if the temperature of the cold water (cold water going temperature) becomes lower than the target value, the heat exchanger is used by the first flow rate adjusting means. By adjusting the flow rate of the cooling water flowing into the water, it is possible to appropriately cool the cold water.

本発明の別の態様に係るフリークーリング用の冷熱源装置は、フリークーリングにより冷却負荷の冷却を行う冷熱源装置であって、外気により冷却水を冷却する冷却塔と、前記冷却塔により冷却された前記冷却水と、前記冷却負荷を冷却する冷水とを熱交換する熱交換器と、前記冷却塔と前記熱交換器とを連結する循環配管と、前記循環配管を通じて、前記冷却塔と前記熱交換器との間で前記冷却水を循環させる冷却水ポンプと、前記冷却塔を通過した前記冷却水を、前記熱交換器を介さずに前記冷却塔に返送する第1バイパス配管と、前記第1バイパス配管を流れる前記冷却水の流量を調節する第1流量調節手段と、前記熱交換器における熱交換量に基づいて、前記第1流量調節手段を制御する制御手段とを備えることを特徴とする。   A cooling source device for free cooling according to another aspect of the present invention is a cooling source device that cools a cooling load by free cooling, and is cooled by a cooling tower that cools cooling water using outside air, and the cooling tower. A heat exchanger that exchanges heat between the cooling water and the cooling water that cools the cooling load; a circulation pipe that connects the cooling tower and the heat exchanger; and the cooling tower and the heat through the circulation pipe. A cooling water pump that circulates the cooling water to and from the exchanger, a first bypass pipe that returns the cooling water that has passed through the cooling tower to the cooling tower without passing through the heat exchanger, and the first 1st flow volume adjustment means which adjusts the flow volume of the cooling water which flows through 1 bypass piping, and control means which controls the 1st flow volume adjustment means based on the amount of heat exchange in the heat exchanger, To do.

上記フリークーリング用の冷熱源装置によれば、熱交換器における熱交換量に基づいて、第1バイパス配管を介して不要な冷却水を冷却塔に返送することで、熱交換器に流入する冷却水の流量を調節することができる。これにより、冷却水の冷却能力が冷却負荷に対して過剰になりやすい条件下、すなわち低外気温度あるいは低冷却負荷の条件下においても、冷水の適度な冷却を行うことができる。   According to the cooling source device for free cooling, cooling that flows into the heat exchanger by returning unnecessary cooling water to the cooling tower via the first bypass pipe based on the heat exchange amount in the heat exchanger. The water flow rate can be adjusted. Accordingly, it is possible to appropriately cool the cold water even under a condition where the cooling capacity of the cooling water tends to be excessive with respect to the cooling load, that is, under a condition of a low outside air temperature or a low cooling load.

上記フリークーリング用の冷熱源装置において、前記制御手段は、前記熱交換器における前記熱交換量が目標値になる前記冷却水ポンプの回転数ωを算出して、算出された前記回転数ωが前記冷却水ポンプの下限回転数ωMINを下回る場合に、前記冷却水の少なくとも一部を前記第1バイパス配管に流すように前記第1流量調節手段を制御することが好ましい。 In the free cooling cold heat source apparatus, the control means calculates the number of revolutions ω of the cooling water pump at which the heat exchange amount in the heat exchanger reaches a target value, and the calculated number of revolutions ω It is preferable to control the first flow rate adjusting means so that at least a part of the cooling water flows to the first bypass pipe when the lower limit rotation speed ω MIN of the cooling water pump is below.

これにより、熱交換量の目標値から算出した冷却水ポンプの回転数が下限回転数ωMINよりも低くなってしまう場合であっても、第1流量調節手段により熱交換器に流入する冷却水の流量を調節して、冷水の適度な冷却を行うことができる。 Thereby, even if the rotation speed of the cooling water pump calculated from the target value of the heat exchange amount becomes lower than the lower limit rotation speed ω MIN , the cooling water flowing into the heat exchanger by the first flow rate adjusting means. By adjusting the flow rate of the water, it is possible to appropriately cool the cold water.

上記二態様に係るフリークーリング用の冷熱源装置において、前記第1流量調節手段は、二方弁又は三方弁であってもよい。中でも、三方弁は、熱交換器に流入する冷却水の流量をゼロまで調節することができる点で好ましい。   In the cooling source device for free cooling according to the above two aspects, the first flow rate adjusting means may be a two-way valve or a three-way valve. Especially, a three-way valve is preferable at the point which can adjust the flow volume of the cooling water which flows in into a heat exchanger to zero.

上記二態様に係るフリークーリング用の冷熱源装置において、前記熱交換器又は前記第1バイパス配管を通過した前記冷却水を、前記冷却塔を介さずに前記熱交換器又は前記第1バイパス配管に返送する第2バイパス配管と、前記第2バイパス配管を流れる前記冷却水の流量を調節する第2流量調節手段とをさらに備え、前記制御手段は、前記熱交換器の出口における前記冷水の温度又は前記熱交換器における熱交換量に基づいて、前記第2流量調節手段を制御することが好ましい。   In the cooling source device for free cooling according to the above two aspects, the cooling water that has passed through the heat exchanger or the first bypass pipe is transferred to the heat exchanger or the first bypass pipe without passing through the cooling tower. And a second flow rate adjusting means for adjusting a flow rate of the cooling water flowing through the second bypass pipe, and the control means includes a temperature of the cold water at an outlet of the heat exchanger or It is preferable to control the second flow rate adjusting means based on the heat exchange amount in the heat exchanger.

外気温度が特に低い条件や、冷却負荷が特に小さい条件では、冷却塔のファンを停止しても、冷却塔出口における冷却水温度が必要以上に低く、冷却水の冷却能力が冷却負荷に対して過剰になる場合がある。このような場合に、第2バイパス配管及び第2流量調節手段により、冷却塔に流入する冷却水の流量を調節することで、熱交換器に流入する冷却水の温度が過度に低くなることを防止することができる。   Under conditions where the outside air temperature is particularly low or the cooling load is particularly low, the cooling water temperature at the outlet of the cooling tower is lower than necessary even when the cooling tower fan is stopped, and the cooling capacity of the cooling water is less than the cooling load. May be excessive. In such a case, the temperature of the cooling water flowing into the heat exchanger is excessively lowered by adjusting the flow rate of the cooling water flowing into the cooling tower by the second bypass pipe and the second flow rate adjusting means. Can be prevented.

本発明に係る冷却システムは、上述のフリークーリング用の冷熱源装置を用いて冷却した前記冷水により、前記冷却負荷を冷却するフリークーリング運転用ラインと、冷凍機を用いて冷却した冷水により、前記冷却負荷を冷却する冷凍機運転用ラインと、外気条件及び前記冷却負荷の少なくとも一方に基づいて、前記フリークーリング運転用ラインと前記冷凍機運転用ラインとを切り換える切換手段とを備えることを特徴とする。   The cooling system according to the present invention includes a free cooling operation line that cools the cooling load with the cold water cooled by using the above-described free cooling cold heat source device, and a cold water cooled by using a refrigerator, A refrigerator operating line that cools the cooling load; and a switching unit that switches between the free cooling operation line and the refrigerator operating line based on at least one of an outside air condition and the cooling load. To do.

ここで、「冷却負荷を冷却する」は、冷却負荷を冷水で直接冷却する態様だけでなく、別の冷却媒体を介して冷却負荷を間接的に冷却する態様も含む。   Here, “cooling the cooling load” includes not only a mode in which the cooling load is directly cooled with cold water but also a mode in which the cooling load is indirectly cooled through another cooling medium.

本発明の一態様に係る冷却方法は、外気により冷却水を冷却する冷却塔と、前記冷却塔により冷却された前記冷却水と、前記冷却負荷を冷却する冷水とを熱交換する熱交換器と、前記冷却塔と前記熱交換器とを連結する循環配管と、前記循環配管を通じて、前記冷却塔と前記熱交換器との間で前記冷却水を循環させる冷却水ポンプと、前記冷却塔を通過した前記冷却水を、前記熱交換器を介さずに前記冷却塔に返送する第1バイパス配管と、前記第1バイパス配管を流れる前記冷却水の流量を調節する第1流量調節手段とを備えるフリークーリング用の冷熱源装置を用いる冷却方法であって、前記冷却水ポンプの回転数ωを測定する工程と、前記熱交換器の出口における前記冷水の温度を測定する工程と、測定された前記回転数ωが前記冷却水ポンプの下限回転数ωMINであり、測定された前記冷水の温度が目標値よりも低い場合に、前記冷却水の少なくとも一部を前記第1バイパス配管に流すように前記第1流量調節手段を制御する工程とを備えることを特徴とする。 A cooling method according to an aspect of the present invention includes a cooling tower that cools cooling water using outside air, the cooling water that is cooled by the cooling tower, and a heat exchanger that performs heat exchange between the cooling water that cools the cooling load. A circulation pipe connecting the cooling tower and the heat exchanger, a cooling water pump for circulating the cooling water between the cooling tower and the heat exchanger through the circulation pipe, and passing through the cooling tower A first bypass pipe that returns the cooled water to the cooling tower without passing through the heat exchanger, and a first flow rate adjusting means that adjusts the flow rate of the cooling water flowing through the first bypass pipe. A cooling method using a cooling heat source device for cooling, the step of measuring the rotational speed ω of the cooling water pump, the step of measuring the temperature of the cold water at the outlet of the heat exchanger, and the measured rotation The number ω is the cooling water The first flow rate adjusting means is configured to cause at least a part of the cooling water to flow to the first bypass pipe when the lower limit rotation speed ω MIN of the pump and the measured temperature of the cooling water is lower than a target value. And a step of controlling.

本発明の別の態様に係る冷却方法は、外気により冷却水を冷却する冷却塔と、前記冷却塔により冷却された前記冷却水と、前記冷却負荷を冷却する冷水とを熱交換する熱交換器と、前記冷却塔と前記熱交換器とを連結する循環配管と、前記循環配管を通じて、前記冷却塔と前記熱交換器との間で前記冷却水を循環させる冷却水ポンプと、前記冷却塔を通過した前記冷却水を、前記熱交換器を介さずに前記冷却塔に返送する第1バイパス配管と、前記第1バイパス配管を流れる前記冷却水の流量を調節する第1流量調節手段とを備えるフリークーリング用の冷熱源装置を用いる冷却方法であって、前記熱交換器における熱交換量が目標値になる前記冷却水ポンプの回転数ωを算出する工程と、算出された前記回転数ωが前記冷却水ポンプの下限回転数ωMINを下回る場合に、前記冷却水の少なくとも一部を前記第1バイパス配管に流すように前記第1流量調節手段を制御する工程とを備えることを特徴とする。 A cooling method according to another aspect of the present invention is a heat exchanger that performs heat exchange between a cooling tower that cools cooling water using outside air, the cooling water that is cooled by the cooling tower, and cold water that cools the cooling load. A circulation pipe connecting the cooling tower and the heat exchanger, a cooling water pump for circulating the cooling water between the cooling tower and the heat exchanger through the circulation pipe, and the cooling tower A first bypass pipe for returning the passed cooling water to the cooling tower without passing through the heat exchanger; and a first flow rate adjusting means for adjusting a flow rate of the cooling water flowing through the first bypass pipe. A cooling method using a cooling source device for free cooling, the step of calculating the rotational speed ω of the cooling water pump at which the heat exchange amount in the heat exchanger becomes a target value, and the calculated rotational speed ω Lower limit of the cooling water pump And a step of controlling the first flow rate adjusting means so that at least a part of the cooling water flows to the first bypass pipe when the rotational speed is less than the rotation number ω MIN .

本発明によれば、熱交換器出口における冷水温度(冷水往温度)又は熱交換器における熱交換量に基づいて、第1バイパス配管を介して不要な冷却水を冷却塔に返送することで、熱交換器に流入する冷却水の流量を調節することができる。これにより、冷却水の冷却能力が冷却負荷に対して過剰になりやすい条件下、すなわち低外気温度あるいは低冷却負荷の条件下においても、冷水の適度な冷却を行うことができる。   According to the present invention, based on the cold water temperature at the outlet of the heat exchanger (cold water going temperature) or the heat exchange amount in the heat exchanger, by returning unnecessary cooling water to the cooling tower via the first bypass pipe, The flow rate of the cooling water flowing into the heat exchanger can be adjusted. Accordingly, it is possible to appropriately cool the cold water even under a condition where the cooling capacity of the cooling water tends to be excessive with respect to the cooling load, that is, under a condition of a low outside air temperature or a low cooling load.

フリークーリング用の冷熱源装置の一例を示す構成図である。It is a block diagram which shows an example of the cold heat source apparatus for free cooling. フリークーリング用の冷熱源装置の他の例を示す構成図である。It is a block diagram which shows the other example of the cold heat source apparatus for free cooling. フリークーリング用の冷熱源装置の他の例を示す構成図である。It is a block diagram which shows the other example of the cold heat source apparatus for free cooling. 第1流量調節手段の制御方法の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of the control method of a 1st flow volume adjustment means. 第1流量調節手段の制御方法の他の例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the other example of the control method of a 1st flow volume adjustment means. 第2バイパス配管を備えるフリークーリング用の冷熱源装置の一例を示す構成図である。It is a block diagram which shows an example of the cold heat source apparatus for free cooling provided with 2nd bypass piping. フリークーリング用の冷熱源装置を含む冷却システムの一例を示す構成図である。It is a block diagram which shows an example of the cooling system containing the cold-heat-source apparatus for free cooling. 冷却システムの運転方式の決定に用いるテーブルの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the table used for determination of the driving | operation system of a cooling system. 冷却システムのフリークーリング運転用ラインの一例を示す構成図である。It is a block diagram which shows an example of the line for free cooling driving | operation of a cooling system. 第1の変形例に係る冷却システムを示す構成図である。It is a block diagram which shows the cooling system which concerns on a 1st modification. 第2の変形例に係る冷却システムを示す構成図である。It is a block diagram which shows the cooling system which concerns on a 2nd modification.

以下図面を用いて本発明の実施の形態を詳細に説明する。
(冷熱源装置)
図1は、フリークーリング用の冷熱源装置の一例を示す構成図である。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
(Cooling heat source device)
FIG. 1 is a configuration diagram illustrating an example of a cooling source device for free cooling.

フリークーリング用の冷熱源装置40(以下、「冷熱源装置40」と呼ぶ。)は、外気により冷却水を冷却する冷却塔1と、冷却塔1で冷却された冷却水を、冷却負荷を冷却する冷水と熱交換する第1熱交換器11と、冷却塔1と第1熱交換器11とを連結する循環配管31と、冷却水を循環させる冷却水ポンプ2とを含む。   The cooling source device 40 for free cooling (hereinafter referred to as “cold source device 40”) cools the cooling water by cooling the cooling tower 1 that cools the cooling water by the outside air, and cools the cooling load. The 1st heat exchanger 11 which heat-exchanges with the cold water to perform, the circulation piping 31 which connects the cooling tower 1 and the 1st heat exchanger 11, and the cooling water pump 2 which circulates cooling water are included.

冷却塔1には、冷却水を散水する散水管18と、外気の上昇気流を塔内に形成するためのファン10とが設けられている。これにより、散水管18から散水された冷却水を、外気との接触により、冷却することができる。   The cooling tower 1 is provided with a sprinkling pipe 18 for sprinkling cooling water and a fan 10 for forming a rising airflow of outside air in the tower. Thereby, the cooling water sprayed from the water spray pipe 18 can be cooled by contact with outside air.

第1熱交換器11は、冷却塔1を通過した冷却水を用いて、クリーンルーム等の冷却負荷側に循環させる冷水を冷却する熱交換器であり、プレート式、スパイラル式や、多管円筒式等の公知の熱交換器を使用することができる。なお、第1熱交換器11において冷却された冷水は、冷水ポンプ4の動力により、冷水配管32を介して、冷却負荷側に送られる。   The 1st heat exchanger 11 is a heat exchanger which cools the cold water circulated to the cooling load side, such as a clean room, using the cooling water which passed the cooling tower 1, and is a plate type, a spiral type, and a multi-tubular cylindrical type A known heat exchanger such as can be used. The cold water cooled in the first heat exchanger 11 is sent to the cooling load side via the cold water pipe 32 by the power of the cold water pump 4.

また、冷熱源装置40を含む冷却システムの各部を制御する制御装置50が、ネットワーク55を介して、インバータ70、71及び72と、冷却水往温度センサ21及び冷水往温度センサ22とに接続されている。必要に応じて冷水還温度センサ27、及び流量計29が設けられる。制御装置50が、ネットワーク55を介して、冷水還温度センサ27に接続される。   Also, a control device 50 that controls each part of the cooling system including the cold heat source device 40 is connected to the inverters 70, 71, and 72, the coolant temperature sensor 21, and the coolant temperature sensor 22 via the network 55. ing. A cold water return temperature sensor 27 and a flow meter 29 are provided as necessary. The control device 50 is connected to the cold water return temperature sensor 27 via the network 55.

制御装置50は、ネットワーク55を介して、冷却水往温度センサ21及び冷水往温度センサ22の測定結果を取得し、当該測定結果に基づいて、インバータ70、71及び72の周波数(インバータ周波数)を調節することで、ファン10、冷却水ポンプ2及び冷水ポンプ4の制御を行う。   The control device 50 acquires the measurement results of the coolant temperature sensor 21 and the coolant temperature sensor 22 via the network 55, and based on the measurement results, determines the frequencies (inverter frequencies) of the inverters 70, 71, and 72. By adjusting, the fan 10, the cooling water pump 2, and the cold water pump 4 are controlled.

例えば、シミュレータ51による演算結果に基づいて、冷却水往温度及び冷水往温度の目標値を算出し、冷却水往温度センサ21及び冷水往温度センサ22の測定結果が上記目標値に近づくように、インバータ70、71及び72の周波数を調節してもよい。この場合、シミュレータ51により、冷却システム全体の消費電力を算出し、この消費電力が最小になるような冷却水往温度及び冷水往温度の組み合わせを求め、当該組み合わせに基づいて、インバータ70、71及び72の周波数を調節することが好ましい。なお、シミュレータ51による演算については、後で詳細に説明する。   For example, based on the calculation result by the simulator 51, the target values of the coolant temperature and the coolant temperature are calculated, and the measurement results of the coolant temperature sensor 21 and the coolant temperature sensor 22 are close to the target values. The frequency of the inverters 70, 71 and 72 may be adjusted. In this case, the power consumption of the entire cooling system is calculated by the simulator 51, a combination of the cooling water temperature and the cooling water temperature that minimizes the power consumption is obtained, and based on the combination, the inverters 70, 71 and It is preferable to adjust the frequency of 72. The calculation by the simulator 51 will be described later in detail.

ところで、外気温度が低い場合、冷却塔1の冷却水出口1aにおける冷却水の温度(冷却水往温度)が必要以上に低下して、第1熱交換器11の冷水出口11aにおける冷水の温度(冷水往温度)が目標値を下回る傾向がある。この場合、通常は、制御装置50により、冷却水ポンプ2の回転数を少なくして、第1熱交換器11に流入する冷却水の流量を減らすことで、冷水往温度を目標値に近づけることができる。しかし、冷却水ポンプ2には、運転可能な回転数の下限値が定められているため、外気温度が著しく低い場合、冷却水ポンプ2の回転数調節だけでは冷水の適度な冷却を行うことができない。また、冷却負荷が小さい場合も、冷却水の冷却能力が冷却負荷に対して過剰である点で低外気温度の場合と同様であり、冷却水ポンプ2の回転数調節だけでは冷水を適度に冷却することができないという問題がある。   By the way, when the outside air temperature is low, the temperature of the cooling water at the cooling water outlet 1a of the cooling tower 1 (cooling water going temperature) decreases more than necessary, and the temperature of the cooling water at the cooling water outlet 11a of the first heat exchanger 11 ( The cold water temperature) tends to be lower than the target value. In this case, normally, the control device 50 reduces the number of rotations of the cooling water pump 2 to reduce the flow rate of the cooling water flowing into the first heat exchanger 11, thereby bringing the cold water going temperature closer to the target value. Can do. However, since the cooling water pump 2 has a lower limit value of the operable rotational speed, when the outside air temperature is extremely low, the cooling water pump 2 can be appropriately cooled only by adjusting the rotational speed of the cooling water pump 2. Can not. In addition, even when the cooling load is small, the cooling water cooling capacity is excessive with respect to the cooling load, as in the case of the low outside air temperature. Cooling water is appropriately cooled only by adjusting the rotation speed of the cooling water pump 2. There is a problem that you can not.

そこで、本実施形態では、冷却塔1を通過した冷却水を、第1熱交換器11を介さずに冷却塔1に返送する第1バイパス配管34と、第1バイパス配管34を流れる冷却水の流量を調節する第1流量調節手段83とを設けている。これにより、第1バイパス配管34を介して、不要な冷却水を冷却塔1に返送することで、第1熱交換器11に流入する冷却水の流量を調節することができる。したがって、冷却水の冷却能力が冷却負荷に対して過剰になりやすい条件下、すなわち低外気温度あるいは低冷却負荷の条件下においても、冷水の適度な冷却を行うことができる。   Therefore, in the present embodiment, the cooling water that has passed through the cooling tower 1 is returned to the cooling tower 1 without going through the first heat exchanger 11, and the cooling water that flows through the first bypass pipe 34. First flow rate adjusting means 83 for adjusting the flow rate is provided. Thereby, the flow rate of the cooling water flowing into the first heat exchanger 11 can be adjusted by returning unnecessary cooling water to the cooling tower 1 via the first bypass pipe 34. Therefore, the cooling water can be appropriately cooled even under the condition that the cooling capacity of the cooling water tends to be excessive with respect to the cooling load, that is, under the condition of low outside air temperature or low cooling load.

第1流量調節手段83は、第1バイパス配管34を流れる冷却水の水量を調節可能な構成であれば特に限定されず、例えば、図1に示すように第1バイパス配管34に配置される二方弁であってもよいし、図2に示すように第1バイパス配管34と循環配管31との合流点に配置される三方弁であってもよい。中でも、三方弁は、第1熱交換器11に流入する冷却水の流量をゼロまで調節することができる点で好ましい。なお、図3に示すように、第1流量調節手段83として、第1バイパス配管34及び循環配管31に二方弁を一つずつ配置することで、三方弁と同様に、第1熱交換器11に流入する冷却水の流量をゼロまで調節することができる。   The first flow rate adjusting means 83 is not particularly limited as long as it can adjust the amount of cooling water flowing through the first bypass pipe 34. For example, as shown in FIG. A way valve may be sufficient and the three-way valve arrange | positioned at the junction of the 1st bypass piping 34 and the circulation piping 31 may be sufficient as shown in FIG. Especially, a three-way valve is preferable at the point which can adjust the flow volume of the cooling water which flows in into the 1st heat exchanger 11 to zero. As shown in FIG. 3, as the first flow rate adjusting means 83, one two-way valve is arranged in each of the first bypass pipe 34 and the circulation pipe 31, so that the first heat exchanger is similar to the three-way valve. The flow rate of the cooling water flowing into 11 can be adjusted to zero.

また、第1流量調節手段83の制御は、第1熱交換器11の冷水出口11aにおける冷水の温度(冷水往温度)及び第1熱交換器11の熱交換量の少なくとも一方に基づいて行われる。   The control of the first flow rate adjusting means 83 is performed based on at least one of the temperature of cold water (cold water going temperature) at the cold water outlet 11a of the first heat exchanger 11 and the heat exchange amount of the first heat exchanger 11. .

第1流量調節手段83の制御方法の具体例について説明する。図4は、冷水往温度に基づいて第1バイパス配管34の冷却水循環を開始する場合の制御方法の一例を示すフローチャートである。また図5は、第1熱交換器11の熱交換量に基づいて第1バイパス配管34の冷却水循環を開始する場合の制御方法の一例を示すフローチャートである。   A specific example of the control method of the first flow rate adjusting means 83 will be described. FIG. 4 is a flowchart illustrating an example of a control method when cooling water circulation in the first bypass pipe 34 is started based on the cold water going temperature. FIG. 5 is a flowchart illustrating an example of a control method when cooling water circulation of the first bypass pipe 34 is started based on the heat exchange amount of the first heat exchanger 11.

冷水往温度に基づいて第1バイパス配管34の冷却水循環を開始する場合(図4参照)、まず、シミュレータ51の演算結果に基づいて、第1熱交換器11の冷水出口11aにおける冷水の温度の目標値(冷水往温度目標値τ)を算出する(ステップS1)。例えば、シミュレータ51により冷却システム全体の消費電力を算出し、この消費電力が最小となるような冷水往温度を求めて、目標値τとしてもよい。この後、冷水往温度センサ22により、第1熱交換器11の冷水出口11aにおける冷水の温度(冷水往温度T)を測定する(ステップS2)。   When cooling water circulation of the first bypass pipe 34 is started based on the chilled water temperature (see FIG. 4), first, based on the calculation result of the simulator 51, the temperature of the chilled water at the chilled water outlet 11a of the first heat exchanger 11 is changed. A target value (cold water going temperature target value τ) is calculated (step S1). For example, the power consumption of the cooling system as a whole may be calculated by the simulator 51, and the chilled water temperature that minimizes the power consumption may be obtained as the target value τ. Thereafter, the temperature of the cold water (cold water temperature T) at the cold water outlet 11a of the first heat exchanger 11 is measured by the cold water temperature sensor 22 (step S2).

次に、測定された冷水往温度Tと冷水往温度目標値τとを比較し(ステップS3)、冷水往温度Tが冷水往温度目標値τよりも低い場合には、ステップS4に移行する。一方、冷水往温度Tが冷水往温度目標値τ以上である場合には、冷却水ポンプ2の回転数ωが大きくなるようにインバータ71のインバータ周波数を変更する(ステップS5)。   Next, the measured chilled water temperature T is compared with the chilled water temperature value τ (step S3). If the chilled water temperature T is lower than the chilled water temperature value τ, the process proceeds to step S4. On the other hand, when the chilled water going temperature T is equal to or higher than the chilled water going temperature target value τ, the inverter frequency of the inverter 71 is changed so that the rotational speed ω of the cooling water pump 2 is increased (step S5).

ステップS4では、冷却水ポンプ2の回転数ωと、冷却水ポンプ2の下限回転数ωMINとを比較する。その結果、回転数ωが下限回転数ωMINである場合には、少なくとも一部の冷却水を第1バイパス配管34に流す制御を開始し(ステップS6)、ステップ7に移行する。一方、ステップS4において、回転数ωが下限回転数ωMINではない場合(すなわち、ω>ωMINの場合)には、冷却水ポンプ2の回転数ωが小さくなるようにインバータ71のインバータ周波数を変更する(ステップS8)。 In step S4, the rotational speed ω of the cooling water pump 2 is compared with the lower limit rotational speed ω MIN of the cooling water pump 2. As a result, when the rotational speed ω is the lower limit rotational speed ω MIN , control for flowing at least part of the cooling water to the first bypass pipe 34 is started (step S6), and the process proceeds to step 7. On the other hand, in step S4, when the rotational speed ω is not the lower limit rotational speed ω MIN (that is, when ω> ω MIN ), the inverter frequency of the inverter 71 is set so that the rotational speed ω of the cooling water pump 2 becomes small. Change (step S8).

ステップS7では、冷水往温度センサ22により、第1熱交換器11の冷水出口11aにおける冷水の温度(冷水往温度T)を再び測定する。そして、測定された冷水往温度Tと冷水往温度目標値τとを比較し(ステップS9)、冷水往温度Tが冷水往温度目標値τよりも低い場合には、第1バイパス配管34の冷却水流量が増えるように第1流量調節手段83を制御し(ステップS10)、ステップS7に戻る。一方、ステップS9において、冷水往温度Tが冷水往温度目標値τ以上である場合には、第1バイパス配管34の冷却水流量が減るように第1流量調節手段83を制御し(ステップS11)、ステップS7に戻る。   In step S <b> 7, the temperature of cold water (cold water temperature T) at the cold water outlet 11 a of the first heat exchanger 11 is again measured by the cold water temperature sensor 22. Then, the measured chilled water temperature T is compared with the chilled water temperature value τ (step S9). If the chilled water temperature T is lower than the chilled water temperature value τ, the first bypass pipe 34 is cooled. The first flow rate adjusting means 83 is controlled so that the water flow rate increases (step S10), and the process returns to step S7. On the other hand, in step S9, when the cold water going temperature T is equal to or higher than the cold water going temperature target value τ, the first flow rate adjusting means 83 is controlled so that the cooling water flow rate of the first bypass pipe 34 is reduced (step S11). Return to step S7.

また、第1熱交換器11の熱交換量に基づいて第1バイパス配管34の冷却水循環を開始する場合(図5参照)、まず、シミュレータ51の演算結果に基づいて、第1熱交換器11の熱交換量の目標値を算出する(ステップS21)。例えば、シミュレータ51の演算結果に基づいて、冷却システム全体の消費電力が最小となるような第1熱交換器11の熱交換量を算出してもよい。そして、算出された熱交換量に基づいて、冷却水ポンプ2の回転数ωを算出する(ステップS22)。熱交換量の算出は、例えば、図10において、熱交換器11が多数設置される場合に行なわれる。熱交換量は、図1に示す冷水往温度センサ22、冷水還温度センサ27及び流量計29によって測定される熱交換器出口温度、熱交換器入口温度及び流量から算出される。   Further, when cooling water circulation of the first bypass pipe 34 is started based on the heat exchange amount of the first heat exchanger 11 (see FIG. 5), first, the first heat exchanger 11 is based on the calculation result of the simulator 51. The target value of the heat exchange amount is calculated (step S21). For example, the heat exchange amount of the first heat exchanger 11 that minimizes the power consumption of the entire cooling system may be calculated based on the calculation result of the simulator 51. Then, the rotational speed ω of the cooling water pump 2 is calculated based on the calculated heat exchange amount (step S22). The calculation of the heat exchange amount is performed, for example, when a large number of heat exchangers 11 are installed in FIG. The heat exchange amount is calculated from the heat exchanger outlet temperature, the heat exchanger inlet temperature, and the flow rate measured by the cold water going temperature sensor 22, the cold water return temperature sensor 27, and the flow meter 29 shown in FIG.

次に、算出された冷却水ポンプ2の回転数ωと、冷却水ポンプ2の下限回転数ωMINとを比較し(ステップS23)、回転数ωが下限回転数ωMINよりも小さい場合には、少なくとも一部の冷却水を第1バイパス配管34に流す制御を開始して(ステップS24)、ステップS26に移行する。一方、ステップS23において、回転数ωが下限回転数ωMIN以上である場合には、冷却水ポンプ2の回転数がωになるようにインバータ71のインバータ周波数を設定する(ステップS25)。 Next, the calculated rotation speed ω of the cooling water pump 2 is compared with the lower limit rotation speed ω MIN of the cooling water pump 2 (step S23), and when the rotation speed ω is smaller than the lower limit rotation speed ω MIN. Then, control for flowing at least part of the cooling water to the first bypass pipe 34 is started (step S24), and the process proceeds to step S26. On the other hand, when the rotational speed ω is equal to or higher than the lower limit rotational speed ω MIN in step S23, the inverter frequency of the inverter 71 is set so that the rotational speed of the cooling water pump 2 becomes ω (step S25).

ステップS26では、シミュレータ51の演算結果に基づいて、第1熱交換器11の冷水出口11aにおける冷水の温度の目標値(冷水往温度目標値τ)を算出する。例えば、シミュレータ51により冷却システム全体の消費電力を算出し、この消費電力が最小となるような冷水往温度を求めて、目標値τとしてもよい。   In step S26, based on the calculation result of the simulator 51, the target value (cold water going temperature target value τ) of the cold water at the cold water outlet 11a of the first heat exchanger 11 is calculated. For example, the power consumption of the cooling system as a whole may be calculated by the simulator 51, and the chilled water temperature that minimizes the power consumption may be obtained as the target value τ.

この後、冷水往温度センサ22により、第1熱交換器11の冷水出口11aにおける冷水の温度(冷水往温度T)を測定する(ステップS27)。そして、測定された冷水往温度Tと冷水往温度目標値τとを比較し(ステップS28)、冷水往温度Tが冷水往温度目標値τよりも低い場合には、第1バイパス配管34の冷却水流量が増えるように第1流量調節手段83を制御し(ステップS29)、ステップS27に戻る。一方、ステップS28において、冷水往温度Tが冷水往温度目標値τ以上である場合には、第1バイパス配管34の冷却水流量が減るように第1流量調節手段83を制御し(ステップS30)、ステップS27に戻る。   Thereafter, the cold water temperature sensor 22 measures the temperature of the cold water (cold water temperature T) at the cold water outlet 11a of the first heat exchanger 11 (step S27). Then, the measured chilled water temperature T and the chilled water temperature temperature target value τ are compared (step S28). If the chilled water temperature temperature T is lower than the chilled water temperature temperature target value τ, the first bypass pipe 34 is cooled. The first flow rate adjusting means 83 is controlled so that the water flow rate increases (step S29), and the process returns to step S27. On the other hand, in step S28, when the chilled water going temperature T is equal to or higher than the chilled water going temperature target value τ, the first flow rate adjusting means 83 is controlled so that the cooling water flow rate in the first bypass pipe 34 is reduced (step S30). Return to step S27.

上述のように、本実施形態に係る冷熱源装置40によれば、第1バイパス配管34を介して、不要な冷却水を冷却塔1に返送することで、第1熱交換器11に流入する冷却水の流量を調節することができる。したがって、冷却水の冷却能力が冷却負荷に対して過剰になりやすい条件下、すなわち低外気温度あるいは低冷却負荷の条件下においても、冷水の適度な冷却を行うことができる。   As described above, according to the cold heat source device 40 according to the present embodiment, unnecessary cooling water is returned to the cooling tower 1 via the first bypass pipe 34 and flows into the first heat exchanger 11. The flow rate of the cooling water can be adjusted. Therefore, the cooling water can be appropriately cooled even under the condition that the cooling capacity of the cooling water tends to be excessive with respect to the cooling load, that is, under the condition of the low outside air temperature or the low cooling load.

以上、本発明の実施形態に係る冷却システムおよび冷却方法について説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはいうまでもない。   Although the cooling system and the cooling method according to the embodiment of the present invention have been described above, the present invention is not limited to this, and various improvements and modifications may be made without departing from the scope of the present invention. Needless to say.

例えば、上述の実施形態では、第1熱交換器11をバイパスする第1バイパス配管34を備える冷熱源装置の例について説明したが、第1バイパス配管34に加えて、冷却塔1をバイパスする第2バイパス配管35を設けてもよい。   For example, in the above-described embodiment, the example of the cold heat source device including the first bypass pipe 34 that bypasses the first heat exchanger 11 has been described. However, in addition to the first bypass pipe 34, the cooling tower 1 that bypasses the cooling tower 1 is used. Two bypass pipes 35 may be provided.

図6は、第2バイパス配管35を備える冷熱源装置の一例を示す構成図である。なお図6において、上述の冷熱源装置40と共通する構成要素には同一の符号を付しており、ここではその説明を省略する。   FIG. 6 is a configuration diagram illustrating an example of a cold heat source device including the second bypass pipe 35. In FIG. 6, the same reference numerals are given to components common to the above-described cold heat source device 40, and the description thereof is omitted here.

冷熱源装置42は、第1熱交換器11又は第1バイパス配管34を通過した冷却水を、冷却塔1を介さずに第1熱交換器11又は第1バイパス配管34に返送する第2バイパス配管35と、第2バイパス配管35の冷却水流量を調節する第2流量調節手段84とを備える。また、第2流量調節手段84は、ネットワーク55を介して制御装置50と接続され、制御装置50の指示に従って、第2バイパス配管35の冷却水流量を調節する。例えば、図4及び5に示した第1流量調節手段83の制御方法と同様に、第1熱交換器11の冷水出口11aにおける冷水の温度(冷水往温度)及び第1熱交換器11の熱交換量の少なくとも一方に基づいて、第2流量調節手段84を制御することができる。   The cold heat source device 42 returns the cooling water that has passed through the first heat exchanger 11 or the first bypass pipe 34 to the first heat exchanger 11 or the first bypass pipe 34 without passing through the cooling tower 1. The piping 35 and the 2nd flow volume adjustment means 84 which adjust the cooling water flow rate of the 2nd bypass piping 35 are provided. The second flow rate adjusting means 84 is connected to the control device 50 via the network 55 and adjusts the cooling water flow rate of the second bypass pipe 35 in accordance with instructions from the control device 50. For example, similarly to the control method of the first flow rate adjusting means 83 shown in FIGS. 4 and 5, the temperature of the cold water at the cold water outlet 11 a of the first heat exchanger 11 (the cold water going temperature) and the heat of the first heat exchanger 11. The second flow rate adjusting means 84 can be controlled based on at least one of the exchange amounts.

外気温度が特に低い条件や、冷却負荷が特に小さい条件では、冷却塔1のファン10を停止しても、冷却塔1の出口における冷却水温度が必要以上に低く、冷却水の冷却能力が冷却負荷に対して過剰になる場合がある。このような場合に、上記構成の冷熱源装置42を用いれば、第2バイパス配管35及び第2流量調節手段84により、冷却塔1に流入する冷却水の流量を調節して、第1熱交換器11に流入する冷却水の温度が過度に低くなることを防止することができる。   Under conditions where the outside air temperature is particularly low or the cooling load is particularly small, the cooling water temperature at the outlet of the cooling tower 1 is lower than necessary even when the fan 10 of the cooling tower 1 is stopped, and the cooling capacity of the cooling water is cooled. May be excessive for the load. In such a case, if the cold heat source device 42 having the above-described configuration is used, the flow rate of the cooling water flowing into the cooling tower 1 is adjusted by the second bypass pipe 35 and the second flow rate adjusting means 84, and the first heat exchange is performed. It is possible to prevent the temperature of the cooling water flowing into the vessel 11 from becoming excessively low.

なお、図6には、第2流量調節手段84の一例として、第2バイパス配管35に設けられた二方弁を示したが、第2流量調節手段84は、第2バイパス配管35の冷却水流量を調節可能な構成であれば、この例に限定されない。例えば、第2流量調節手段84として、第2バイパス配管35と循環配管31との合流点に配置される三方弁を用いてもよいし、第2バイパス配管35及び循環配管31に一つずつ配置される2個の二方弁であってもよい。
(冷却システム)
次に、上述のフリークーリング用の冷熱源装置を含む冷却システムについて説明する。なお、以下では、冷却システムが上述の冷熱源装置40を備える例について説明するが、冷熱源装置40の代わりに冷熱源装置42を設けてもよいことはいうまでもない。
6 shows a two-way valve provided in the second bypass pipe 35 as an example of the second flow rate adjusting means 84, the second flow rate adjusting means 84 is a cooling water for the second bypass pipe 35. The configuration is not limited to this example as long as the flow rate can be adjusted. For example, a three-way valve arranged at the junction of the second bypass pipe 35 and the circulation pipe 31 may be used as the second flow rate adjusting means 84, or arranged one by one in the second bypass pipe 35 and the circulation pipe 31. It may be two two-way valves.
(Cooling system)
Next, a cooling system including the above-described free cooling cold heat source device will be described. In the following, an example in which the cooling system includes the above-described cold heat source device 40 will be described, but it goes without saying that the cold heat source device 42 may be provided instead of the cold heat source device 40.

図7は、フリークーリング用の冷熱源装置を含む冷却システムの一例を示す構成図である。冷却システム100は、冷熱源装置40を用いて冷却した冷水により、生産装置の発熱や照明等の発熱を冷却する熱交換器(冷却負荷)6を冷却するフリークーリング運転用ラインAと、冷凍機91を用いて冷却した冷水により、熱交換器6を冷却する冷凍機運転用ラインBと、冷却システム100の各部を制御する制御装置50とを含む。なお、図は1系統を示しているが複数系統でもよい。   FIG. 7 is a configuration diagram illustrating an example of a cooling system including a cooling source device for free cooling. The cooling system 100 includes a free cooling operation line A that cools a heat exchanger (cooling load) 6 that cools the heat generated by the production apparatus and the heat generated by the lighting using the cold water cooled by the cold heat source device 40, and a refrigerator. The refrigerator operating line B that cools the heat exchanger 6 with the cold water cooled using 91 and the control device 50 that controls each part of the cooling system 100 are included. Although the figure shows one system, a plurality of systems may be used.

フリークーリング運転用ラインAと冷凍機運転用ラインBとは、制御装置50により第1バルブ81及び第2バルブ82の開閉状態を制御することにより、互いに切り換えることができる。   The free cooling operation line A and the refrigerator operation line B can be switched to each other by controlling the opening / closing states of the first valve 81 and the second valve 82 by the control device 50.

例えば、外気湿球温度が低い冬期には、第1バルブ81を閉状態、第2バルブ82を開状態として、フリークーリング運転用ラインAによる冷却を行う。すなわち、冷熱源装置40の冷却塔1にて冷却された冷却水を、冷却水ポンプ2により、冷却塔1と第1熱交換器11との間で循環させるとともに、フリークーリング利用時用の冷水ポンプ4により、第1熱交換器11と第2熱交換器12との間で冷水を循環させる。また、熱交換器冷却水ポンプ5により、第2熱交換器12と熱交換器6との間で、熱交換器冷却水を循環させる。これにより、第1熱交換器11、第2熱交換器12および熱交換器6を介して冷熱源装置40と間接的に連結されたクリーンルーム60内の空気が冷却される。また、クリーンルーム60を生産装置と考えて、熱交換器6で冷却してもよい。   For example, in winter when the temperature of the outside air wet bulb is low, the first valve 81 is closed and the second valve 82 is opened, and cooling is performed by the free cooling operation line A. In other words, the cooling water cooled in the cooling tower 1 of the cold heat source device 40 is circulated between the cooling tower 1 and the first heat exchanger 11 by the cooling water pump 2, and at the same time, cold water for free cooling use is used. Cold water is circulated between the first heat exchanger 11 and the second heat exchanger 12 by the pump 4. Further, the heat exchanger cooling water pump 5 circulates the heat exchanger cooling water between the second heat exchanger 12 and the heat exchanger 6. Thereby, the air in the clean room 60 indirectly connected to the cold heat source device 40 via the first heat exchanger 11, the second heat exchanger 12, and the heat exchanger 6 is cooled. Further, the clean room 60 may be considered as a production apparatus and cooled by the heat exchanger 6.

一方、外気湿球温度が高い夏期には、第1バルブ81を開状態、第2バルブ82を閉状態として、冷凍機運転用ラインBによる冷却を行う。すなわち、冷凍機91にて冷却された冷水を、冷凍機運転時用の冷水ポンプ94により、冷凍機91と第2熱交換器12との間で循環させる。また、ドライコイル冷却水ポンプ5により、第2熱交換器12と熱交換器6との間で、ドライコイル冷却水を循環させる。これにより、第2熱交換器12および熱交換器6を介して冷凍機91と間接的に連結されたクリーンルーム60内の空気が冷却される。なお、冷凍機運転時は、冷凍機運転時用の冷却水ポンプ92により、冷凍機運転用ラインBの冷却塔1と冷凍機91の凝縮器との間で冷却水が循環される。   On the other hand, in the summer when the outside air wet bulb temperature is high, the first valve 81 is opened and the second valve 82 is closed, and cooling by the refrigerator operating line B is performed. That is, the cold water cooled by the refrigerator 91 is circulated between the refrigerator 91 and the second heat exchanger 12 by the cold water pump 94 for operating the refrigerator. Further, the dry coil cooling water pump 5 circulates the dry coil cooling water between the second heat exchanger 12 and the heat exchanger 6. Thereby, the air in the clean room 60 indirectly connected to the refrigerator 91 via the second heat exchanger 12 and the heat exchanger 6 is cooled. During the operation of the refrigerator, the cooling water is circulated between the cooling tower 1 of the refrigerator operation line B and the condenser of the refrigerator 91 by the cooling water pump 92 for operating the refrigerator.

なお、中間期には、第1バルブ81及び第2バルブ82の両方を開状態として、フリークーリング運転用ラインAと冷凍機運転用ラインBとを併用してもよい。   In the intermediate period, both the first valve 81 and the second valve 82 may be opened, and the free cooling operation line A and the refrigerator operation line B may be used in combination.

フリークーリング運転用ラインAと冷凍機運転用ラインBとの切り換えは、外気条件及び冷却負荷の少なくとも一方に基づいて行われることが好ましい。例えば、制御装置50が、フリークーリング運転用ラインA及び冷凍機運転用ラインBについて、現在の外気条件(例えば、外気湿球温度や外気比エンタルピー)及び冷却負荷における全消費電力をシミュレータ51により算出して、全消費電力が小さい方の運転方式を選択することができる。あるいは、シミュレータ51の演算を種々の外気条件及び冷却負荷について予め行って、全消費電力が小さい運転方式をテーブル(図8参照)として不図示の記憶手段に記憶しておき、当該テーブルに基づいて運転方式を選択してもよい。   The switching between the free cooling operation line A and the refrigerator operation line B is preferably performed based on at least one of the outside air condition and the cooling load. For example, for the free cooling operation line A and the refrigerator operation line B, the control device 50 calculates the current outside air conditions (for example, the outside air wet bulb temperature and the outside air specific enthalpy) and the total power consumption under the cooling load by the simulator 51. Thus, it is possible to select an operation method with a smaller total power consumption. Alternatively, the calculation of the simulator 51 is performed in advance for various outside air conditions and cooling loads, and an operation method with a small total power consumption is stored in a storage unit (not shown) as a table (see FIG. 8). A driving method may be selected.

次に、フリークーリング運転用ラインAを例にとって、シミュレータ51による演算について説明する。図9は、冷却システム100のフリークーリング運転用ラインAの一例を示す構成図である。なお図9では、冷凍機運転用ラインBを省略して、フリークーリング運転用ラインAのみを図示している。   Next, the calculation by the simulator 51 will be described taking the free cooling operation line A as an example. FIG. 9 is a configuration diagram illustrating an example of a free cooling operation line A of the cooling system 100. In FIG. 9, the refrigerator operating line B is omitted, and only the free cooling operation line A is illustrated.

既に説明したように、冷却塔1は、外気を吸気する冷却塔ファン10を有し、外気湿球温度が低い期間に低温の外気を利用して、冷却水を冷却する。第1熱交換器11は、冷却塔1で冷却された冷却水と冷水とを熱交換して、冷水を冷却する。第2熱交換器12は、第1熱交換器11で冷却された冷水と熱交換器冷却水とを熱交換して、熱交換器冷却水を冷却する。熱交換器6は、第2熱交換器12で冷却された熱交換器冷却水と空気とを熱交換して空気を冷却し、その低温の空気をクリーンルーム60に送る。クリーンルーム60内の空気は、空気循環用ファン7によって熱交換器6へ戻される。   As already described, the cooling tower 1 includes the cooling tower fan 10 that sucks outside air, and cools the cooling water by using low-temperature outside air during a period when the outside air wet bulb temperature is low. The first heat exchanger 11 cools the cold water by exchanging heat between the cooling water cooled by the cooling tower 1 and the cold water. The second heat exchanger 12 exchanges heat between the cold water cooled by the first heat exchanger 11 and the heat exchanger cooling water to cool the heat exchanger cooling water. The heat exchanger 6 exchanges heat between the heat exchanger cooling water cooled by the second heat exchanger 12 and the air to cool the air, and sends the low-temperature air to the clean room 60. The air in the clean room 60 is returned to the heat exchanger 6 by the air circulation fan 7.

冷却水ポンプ2は、循環配管31に配設され、冷却塔1と第1熱交換器11との間で冷却水を循環させる。冷水ポンプ4は、冷水配管32に配設され、第1熱交換器11と第2熱交換器12との間で冷水を循環させる。熱交換器冷却水ポンプ5は、熱交換器冷却配管33に配設され、第1熱交換器11と熱交換器6との間で熱交換器冷却水を循環させる。   The cooling water pump 2 is disposed in the circulation pipe 31 and circulates the cooling water between the cooling tower 1 and the first heat exchanger 11. The cold water pump 4 is disposed in the cold water pipe 32 and circulates cold water between the first heat exchanger 11 and the second heat exchanger 12. The heat exchanger cooling water pump 5 is disposed in the heat exchanger cooling pipe 33 and circulates the heat exchanger cooling water between the first heat exchanger 11 and the heat exchanger 6.

外気温湿度センサ20は、外気の湿球温度と乾球温度(あるいは外気の温度と湿度)を計測する。冷却水往温度センサ23は、第2熱交換器12の熱交換器冷却水出口12aでの熱交換器冷却水の温度を計測する。室内温度センサ24は、クリーンルーム60内の温度(以下「室内温度」という)を計測する。冷却水還温度センサ25は、第2熱交換器12の熱交換器冷却水入口12bでの熱交換器冷却水の温度を計測する。冷却水流量センサ26は、熱交換器冷却配管33での熱交換器冷却水の流量を計測する。   The outside air temperature / humidity sensor 20 measures the wet bulb temperature and the dry bulb temperature (or the outside air temperature and humidity) of the outside air. The coolant temperature sensor 23 measures the temperature of the heat exchanger coolant at the heat exchanger coolant outlet 12 a of the second heat exchanger 12. The room temperature sensor 24 measures the temperature in the clean room 60 (hereinafter referred to as “room temperature”). The cooling water return temperature sensor 25 measures the temperature of the heat exchanger cooling water at the heat exchanger cooling water inlet 12 b of the second heat exchanger 12. The cooling water flow sensor 26 measures the flow rate of the heat exchanger cooling water in the heat exchanger cooling pipe 33.

なお、冷水往ヘッダ8と冷水還ヘッダ9は、図7の冷凍機91と、所定の配管を通して接続されている。   The cold water return header 8 and the cold water return header 9 are connected to the refrigerator 91 of FIG. 7 through a predetermined pipe.

冷却塔ファン10、冷却水ポンプ2、冷水ポンプ4、熱交換器冷却水ポンプ5には、それぞれインバータ70、71、72、73が接続されており、インバータ周波数によりポンプ回転数を調節できる構成になっている。なお、インバータ70、71、72、73のインバータ周波数の設定は、制御装置50の制御値設定部53によって行われる。   The cooling tower fan 10, the cooling water pump 2, the cooling water pump 4, and the heat exchanger cooling water pump 5 are connected to inverters 70, 71, 72, and 73, respectively, so that the pump rotation speed can be adjusted by the inverter frequency. It has become. The inverter frequency of the inverters 70, 71, 72 and 73 is set by the control value setting unit 53 of the control device 50.

制御装置50は、シミュレータ51、最適値取得部52、制御値設定部53および記憶部54を含んで構成されている。制御装置50は、具体的には、CPU(Central Processing Unit)およびメモリを含んで構成されている。   The control device 50 includes a simulator 51, an optimum value acquisition unit 52, a control value setting unit 53, and a storage unit 54. Specifically, the control device 50 includes a CPU (Central Processing Unit) and a memory.

制御装置50は、冷却システムを構成する制御対象機器(70〜73、81、82)およびセンサ(20〜26)と、ネットワーク55を通して接続されている。制御装置50の制御値設定部53は、ネットワーク55を通して、センサ20〜26の計測値と、制御対象機器(70〜73、81、82)の運転状態とを読み込み、その制御対象機器に制御値を送る。   The control device 50 is connected to devices to be controlled (70 to 73, 81 and 82) and sensors (20 to 26) constituting the cooling system through a network 55. The control value setting unit 53 of the control device 50 reads the measured values of the sensors 20 to 26 and the operation state of the control target devices (70 to 73, 81, 82) through the network 55, and controls the control target devices with the control values. Send.

ところで、第2熱交換器12の熱交換器冷却水出口12aでの熱交換器冷却水温度、および、熱交換器6の空気出口6aでの空気温度は、一定の設定値である。その一方で、冷却塔1の冷却水出口1aでの冷却水温度(冷却水往温度センサ21で計測)、および、第1熱交換器11の冷水出口11aでの冷水温度(冷水往温度センサ22で計測)は、ある範囲内で変化させても、熱交換器6の空気出口6aでの空気温度と第2熱交換器12の熱交換器冷却水出口12aでの熱交換器冷却水の温度とを、一定の設定値に制御できる。つまり、外気状態(例えば、外気の温度と湿度、または、外気の乾球温度と湿球温度、または、外気の湿球温度)などの環境条件に応じてクリーンルーム60内の室内温度が目標値となるように制御する際に、選択可能な冷却水温度と冷水温度との組み合わせは、複数存在する。シミュレータ51は、これら複数の冷却水温度及び冷水温度の組み合わせについて、冷却システム全体の消費電力を計算して、消費電力が最も小さい組み合わせを求める。   By the way, the heat exchanger cooling water temperature at the heat exchanger cooling water outlet 12a of the second heat exchanger 12 and the air temperature at the air outlet 6a of the heat exchanger 6 are constant set values. On the other hand, the coolant temperature at the coolant outlet 1a of the cooling tower 1 (measured by the coolant temperature sensor 21) and the coolant temperature at the coolant outlet 11a of the first heat exchanger 11 (the coolant temperature sensor 22). Is measured within a certain range, the air temperature at the air outlet 6a of the heat exchanger 6 and the temperature of the heat exchanger cooling water at the heat exchanger cooling water outlet 12a of the second heat exchanger 12 Can be controlled to a constant set value. That is, the room temperature in the clean room 60 is set to the target value according to environmental conditions such as the outside air condition (for example, the outside air temperature and humidity, or the outside air dry bulb temperature and wet bulb temperature, or the outside air wet bulb temperature). There are a plurality of combinations of cooling water temperatures and cooling water temperatures that can be selected. The simulator 51 calculates the power consumption of the entire cooling system for the combination of the plurality of cooling water temperatures and the cooling water temperatures, and obtains the combination with the smallest power consumption.

シミュレータ51による冷却システム全体の消費電力の計算は、例えば、次の(計算1)〜(計算7)の順で行われる。   The calculation of the power consumption of the entire cooling system by the simulator 51 is performed in the following order (calculation 1) to (calculation 7), for example.

(計算1)熱交換器冷却水ポンプ5に係る計算:熱交換器冷却水流量センサ26により計測された熱交換器冷却水流量を入力として、熱交換器冷却水ポンプ5のインバータ73の周波数と、熱交換器冷却水ポンプ5の消費電力とを計算する。   (Calculation 1) Calculation related to the heat exchanger cooling water pump 5: With the heat exchanger cooling water flow rate measured by the heat exchanger cooling water flow sensor 26 as an input, the frequency of the inverter 73 of the heat exchanger cooling water pump 5 and The power consumption of the heat exchanger cooling water pump 5 is calculated.

(計算2)第2熱交換器12に係る計算:第2熱交換器12の熱交換器冷却水出口12aでの熱交換器冷却水温度(熱交換器冷却水往温度)と、計測した第2熱交換器12の熱交換器冷却水入口12bでの熱交換器冷却水温度(熱交換器冷却水還温度)および熱交換器冷却水流量と、第1熱交換器11の冷水出口11aでの冷水温度(冷水往温度)とを入力として、第1熱交換器11の冷水入口11bでの冷水還温度と、冷水配管32の冷水流量とを計算する。   (Calculation 2) Calculation related to the second heat exchanger 12: the heat exchanger cooling water temperature (heat exchanger cooling water feed temperature) at the heat exchanger cooling water outlet 12a of the second heat exchanger 12, and the measured second 2 Heat exchanger cooling water temperature (heat exchanger cooling water return temperature) and heat exchanger cooling water flow rate at the heat exchanger cooling water inlet 12b of the heat exchanger 12, and the cold water outlet 11a of the first heat exchanger 11 The cold water return temperature at the cold water inlet 11b of the first heat exchanger 11 and the cold water flow rate of the cold water pipe 32 are calculated.

(計算3)冷水ポンプ4に係る計算:計算2で求めた冷水流量を入力として、冷水ポンプ4のインバータ72の周波数と、冷水ポンプ4の消費電力とを計算する。   (Calculation 3) Calculation related to the chilled water pump 4: The frequency of the inverter 72 of the chilled water pump 4 and the power consumption of the chilled water pump 4 are calculated using the chilled water flow rate obtained in the calculation 2 as an input.

(計算4)第1熱交換器11に係る計算:冷水温度(冷水往温度)と、計算2で求めた冷水還温度および冷水流量と、冷却塔1の冷却水出口1aでの冷却水温度(冷却水往温度)とを入力として、冷却塔1の冷却水入口1bでの冷却水還温度と、循環配管31の冷却水流量とを計算する。   (Calculation 4) Calculation relating to the first heat exchanger 11: cold water temperature (cool water forward temperature), cold water return temperature and cold water flow rate obtained in calculation 2, and cooling water temperature at the cooling water outlet 1a of the cooling tower 1 ( The cooling water return temperature) and the cooling water return temperature at the cooling water inlet 1b of the cooling tower 1 and the cooling water flow rate of the circulation pipe 31 are calculated.

(計算5)冷却水ポンプ2に係る計算:計算4で求めた冷却水流量を入力として、冷却水ポンプ2のインバータ71の周波数と、冷却水ポンプ2の消費電力とを計算する。   (Calculation 5) Calculation related to the cooling water pump 2: The frequency of the inverter 71 of the cooling water pump 2 and the power consumption of the cooling water pump 2 are calculated using the cooling water flow rate obtained in the calculation 4 as an input.

(計算6)冷却塔1に係る計算:冷却塔1の冷却水出口1aでの冷却水温度(冷却水往温度)と、計算4で求めた冷却水還温度および冷却水流量と、外気状態(例えば外気湿球温度)とを入力として、冷却塔ファン10により冷却塔1に導入される空気流量と、冷却塔ファン10のインバータ70の周波数と、冷却塔ファン10の消費電力とを計算する。   (Calculation 6) Calculation related to the cooling tower 1: Cooling water temperature (cooling water forward temperature) at the cooling water outlet 1a of the cooling tower 1, cooling water return temperature and cooling water flow rate obtained in calculation 4, and outside air state ( For example, the flow rate of air introduced into the cooling tower 1 by the cooling tower fan 10, the frequency of the inverter 70 of the cooling tower fan 10, and the power consumption of the cooling tower fan 10 are calculated.

(計算7)計算1で求めた熱交換器冷却水ポンプ5の消費電力と、計算3で求めた冷水ポンプ4の消費電力と、計算5で求めた冷却水ポンプ2の消費電力と、計算6で求めた冷却塔ファン10の消費電力とを合計し、消費電力合計値を求める。   (Calculation 7) The power consumption of the heat exchanger cooling water pump 5 obtained in the calculation 1, the power consumption of the cold water pump 4 obtained in the calculation 3, the power consumption of the cooling water pump 2 obtained in the calculation 5, and the calculation 6 The total power consumption of the cooling tower fan 10 obtained in step 1 is obtained.

ポンプ(熱交換器冷却水ポンプ5、冷水ポンプ4、冷却水ポンプ2)に係る計算1、計算3および計算5において、流量、圧力、消費電力は、インバータ周波数のそれぞれ、1乗、2乗、3乗に比例するものとし、さらに配管31、32、33の抵抗特性とポンプ2、4、5の特性を用いて前述の計算を行う。熱交換器11、12に係る計算2および計算4は、伝熱の方程式とエネルギー保存の方程式とを連立して行う。冷却塔1に係る計算6は、エンタルピー基準総括熱伝達率を用いた伝熱の方程式とエネルギー保存の方程式とを連立して行う。なお、計算1〜計算7の個々の計算方法の詳細については、周知の技術を用いればよいので、ここではその説明を省略する。   In calculation 1, calculation 3 and calculation 5 related to the pumps (heat exchanger cooling water pump 5, cooling water pump 4, cooling water pump 2), the flow rate, pressure, and power consumption are the first, second, The above calculation is performed using the resistance characteristics of the pipes 31, 32, 33 and the characteristics of the pumps 2, 4, 5. Calculations 2 and 4 related to the heat exchangers 11 and 12 are performed by simultaneously combining a heat transfer equation and an energy conservation equation. The calculation 6 related to the cooling tower 1 is performed by simultaneously combining an equation for heat transfer using an enthalpy standard overall heat transfer coefficient and an equation for energy conservation. In addition, about the detail of each calculation method of calculation 1-calculation 7, since a well-known technique should just be used, the description is abbreviate | omitted here.

なお、上記シミュレーション(計算1〜計算7)では、外気状態、熱交換器冷却水往温度、熱交換器冷却水還温度、熱交換器冷却水流量、冷却水往温度、および、冷水往温度を入力値として、消費電力合計値およびインバータ70〜73の周波数(インバータ周波数)を求めている。これらの入力値のうちで、熱交換器冷却水往温度は、予め設定した一定の設定値を用いる。この場合、シミュレータ51の入力値のうちで、変数は、外気状態、熱交換器冷却水還温度、熱交換器冷却水流量、冷却水往温度、および、冷水往温度の5つとなる。これらの変数のうちシミュレータ51で選択可能な独立変数は、冷却水往温度および冷水往温度の2つである。環境条件に従属する選択不可な従属変数は、外気状態、熱交換器冷却水還温度および熱交換器冷却水流量の3つである。   In the above simulations (calculations 1 to 7), the outside air state, heat exchanger cooling water flow temperature, heat exchanger cooling water return temperature, heat exchanger cooling water flow rate, cooling water flow temperature, and cold water flow temperature are determined. As input values, the total power consumption value and the frequencies of the inverters 70 to 73 (inverter frequency) are obtained. Among these input values, a predetermined preset value is used for the heat exchanger coolant temperature. In this case, among the input values of the simulator 51, there are five variables: the outside air state, the heat exchanger cooling water return temperature, the heat exchanger cooling water flow rate, the cooling water feed temperature, and the cold water feed temperature. Among these variables, two independent variables that can be selected by the simulator 51 are the cooling water flow temperature and the cooling water flow temperature. There are three dependent variables that cannot be selected depending on the environmental conditions: outside air condition, heat exchanger cooling water return temperature, and heat exchanger cooling water flow rate.

また、前述のシミュレーション(計算1〜計算7)は、外気状態、熱交換器冷却水還温度、熱交換器冷却水の冷却に対する冷却負荷、冷却水往温度、および、冷水往温度、を入力値として、消費電力合計値およびインバータ周波数を求めてもよい。   In addition, the above-described simulations (calculations 1 to 7) are input values of the outside air state, the heat exchanger cooling water return temperature, the cooling load for cooling the heat exchanger cooling water, the cooling water passing temperature, and the cooling water passing temperature. As above, the power consumption total value and the inverter frequency may be obtained.

制御装置50の最適値取得部52は、外気状態などの環境条件をシミュレータ51に入力した条件で、独立変数である冷却水往温度および冷水往温度の組み合わせを運転範囲内で変化させてシミュレータ51に入力し、シミュレーション(計算1〜計算7)を行わせる。ここで、独立変数(冷却水往温度および冷水往温度)を変更するごとに、シミュレータ51にシミュレーションを行わせて、消費電力合計値およびインバータ周波数を繰り返し計算する。室内温度が一定の場合には、独立変数を変化させてシミュレーションを繰り返す際に、計算1を省略できる。そして、冷却システム全体の消費電力合計値が最小となる冷却水往温度および冷水往温度の組み合わせ(またはインバータ周波数の組み合わせ)を、最適値として選択し、記憶部54に格納する。   The optimum value acquisition unit 52 of the control device 50 changes the combination of the cooling water flow temperature and the cooling water flow temperature, which are independent variables, within the operation range under the condition that environmental conditions such as the outside air state are input to the simulator 51. To perform simulation (calculation 1 to calculation 7). Here, every time the independent variables (cooling water going temperature and cooling water going temperature) are changed, the simulator 51 is made to perform simulation, and the power consumption total value and the inverter frequency are repeatedly calculated. When the room temperature is constant, calculation 1 can be omitted when the independent variable is changed and the simulation is repeated. Then, the combination of the cooling water temperature and the cooling water temperature that minimizes the total power consumption value of the entire cooling system (or the combination of inverter frequencies) is selected as the optimum value and stored in the storage unit 54.

記憶部54に格納された冷却水温度および冷水温度の最適値の組み合わせは、制御値設定部53により冷却システム100(図7参照)に設定される。例えば、冷却塔ファン10、冷却水ポンプ2にそれぞれ対応するインバータ70、71の周波数を制御することにより、冷却水温度および冷水温度を最適値に設定する。   The combination of the cooling water temperature stored in the storage unit 54 and the optimum value of the cooling water temperature is set in the cooling system 100 (see FIG. 7) by the control value setting unit 53. For example, the cooling water temperature and the cooling water temperature are set to optimum values by controlling the frequencies of the inverters 70 and 71 corresponding to the cooling tower fan 10 and the cooling water pump 2, respectively.

冷却水温度および冷水温度の最適値を設定する場合の制御例を説明する。第1に、冷却水往温度センサ21で計測される冷却水温度が最適値よりも高い場合には、冷却塔ファン10のインバータ70の周波数を上げて冷却塔ファン10の回転数を上げる一方で、冷却水往温度センサ21で計測される冷却水温度が最適値よりも低い場合には、冷却塔ファン10のインバータ70の周波数を下げて冷却塔ファン10の回転数を下げる。これにより、冷却水往温度センサ21で計測される冷却水温度を最適値に設定する。第2に、冷水往温度センサ22で計測される冷水温度が最適値よりも高い場合には、冷却水ポンプ2のインバータ71の周波数を上げて冷却水ポンプ2の回転数を上げる一方で、冷水往温度センサ22で計測される冷水温度が最適値よりも低い場合には、冷却水ポンプ2のインバータ71の周波数を下げて冷却水ポンプ2の回転数を下げる。これにより、冷水往温度センサ22で計測される冷水温度を最適値に設定する。   A control example for setting the cooling water temperature and the optimum value of the cooling water temperature will be described. First, when the coolant temperature measured by the coolant temperature sensor 21 is higher than the optimum value, the frequency of the inverter 70 of the cooling tower fan 10 is increased to increase the rotation speed of the cooling tower fan 10. When the coolant temperature measured by the coolant temperature sensor 21 is lower than the optimum value, the frequency of the inverter 70 of the cooling tower fan 10 is lowered to lower the rotational speed of the cooling tower fan 10. As a result, the coolant temperature measured by the coolant temperature sensor 21 is set to an optimum value. Second, when the cold water temperature measured by the cold water temperature sensor 22 is higher than the optimum value, the frequency of the inverter 71 of the cooling water pump 2 is increased to increase the rotation speed of the cooling water pump 2, while When the chilled water temperature measured by the forward temperature sensor 22 is lower than the optimum value, the frequency of the inverter 71 of the cooling water pump 2 is lowered to lower the rotational speed of the cooling water pump 2. Thereby, the cold water temperature measured by the cold water temperature sensor 22 is set to an optimum value.

なお、ここでは、冷水温度および冷却水温度の最適値の組み合わせを求めて設定する場合を例に説明したが、冷却塔ファン10のインバータ70の周波数および冷却水ポンプ2のインバータ71の周波数の最適値の組み合わせを求めて、実際の冷却システムに設定するようにしてもよい。   Here, the case where the combination of the optimum value of the chilled water temperature and the cooling water temperature is obtained and set has been described as an example. However, the optimum frequency of the inverter 70 of the cooling tower fan 10 and the frequency of the inverter 71 of the cooling water pump 2 are optimal. A combination of values may be obtained and set in an actual cooling system.

また、シミュレータ51の上記演算により、環境条件(例えば、外気状態とドライコイル冷却水還温度と冷却負荷の組み合わせ)と、冷却水温度及び冷水温度の最適値の組み合わせとの対応関係を示すテーブル情報を、予め記憶部54に記憶しておいてもよい。この場合、最適値取得部52は、環境条件に基づいて、記憶部54内の上記テーブル情報から、冷却水温度及び冷水温度の最適値の組み合わせを取得する。これにより、制御装置50の計算負荷を削減することができる。   Moreover, the table information which shows the correspondence of environmental conditions (for example, combination of an outside air state, dry coil cooling water return temperature, and cooling load), and the combination of cooling water temperature and the optimal value of cooling water temperature by the said calculation of the simulator 51. May be stored in the storage unit 54 in advance. In this case, the optimum value acquisition unit 52 acquires the combination of the cooling water temperature and the optimum value of the cooling water temperature from the table information in the storage unit 54 based on the environmental conditions. Thereby, the calculation load of the control apparatus 50 can be reduced.

(冷却システムの変形例)
次に、上述の冷却システム100の変形例について説明する。図10は、第1の変形例に係る冷却システムを示す構成図であり、図11は、第2の変形例に係る冷却システムを示す構成図である。なお図10及び11では、冷凍機運転用ラインを省略して、フリークーリング運転用ラインのみを図示している。また図10及び11において、図9に示すフリークーリング運転用ラインと共通する構成要素は同一の符号を付し、ここではその説明を省略する。
(Modification of cooling system)
Next, a modified example of the cooling system 100 described above will be described. FIG. 10 is a configuration diagram illustrating a cooling system according to a first modification, and FIG. 11 is a configuration diagram illustrating a cooling system according to a second modification. 10 and 11, only the free cooling operation line is shown with the refrigerator operating line omitted. 10 and 11, the same components as those in the free cooling operation line shown in FIG. 9 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted here.

図10の冷却システム110は、主に、第2熱交換器12と製造装置96とを開放系の冷水回路で接続した点で、冷却システム100(図9参照)と異なる。すなわち、製造装置96と製造装置冷却水用のポンプ98との間に配設された水槽44内の冷却水を、ポンプ98により、第2熱交換器12と製造装置96との間で循環させる。   The cooling system 110 in FIG. 10 differs from the cooling system 100 (see FIG. 9) mainly in that the second heat exchanger 12 and the manufacturing apparatus 96 are connected by an open chilled water circuit. That is, the cooling water in the water tank 44 disposed between the manufacturing apparatus 96 and the manufacturing apparatus cooling water pump 98 is circulated between the second heat exchanger 12 and the manufacturing apparatus 96 by the pump 98. .

また、冷却配管93の還側(製造装置96と水槽44との間)に、開放端を有する開放管37が設けられており、開放管37と水槽44との落差を利用して、製造装置96を通過した後の冷却水が自然落下するような構成になっている。   In addition, an open pipe 37 having an open end is provided on the return side of the cooling pipe 93 (between the manufacturing apparatus 96 and the water tank 44), and a manufacturing apparatus using the drop between the open pipe 37 and the water tank 44 is provided. The cooling water after passing through 96 is configured to fall naturally.

なお、冷却配管93の熱負荷は、第2熱交換器12の入口12bにおける冷却水の温度と、第2熱交換器12の出口12aにおける冷却水の温度と、冷却配管93を流れる冷却水の流量とに基づいて算出される。   The heat load of the cooling pipe 93 includes the temperature of the cooling water at the inlet 12b of the second heat exchanger 12, the temperature of the cooling water at the outlet 12a of the second heat exchanger 12, and the cooling water flowing through the cooling pipe 93. It is calculated based on the flow rate.

また、上述の開放系の冷水回路を用いる場合、水槽44内の水温が変動しやすいため、水槽44から汲み取られた冷却水が第2熱交換器12において温調された後に製造装置96に流入する構成が好ましい。   In addition, when the above-described open-type chilled water circuit is used, the water temperature in the water tank 44 is likely to fluctuate, so that the temperature of the cooling water drawn from the water tank 44 is adjusted in the second heat exchanger 12 before the manufacturing apparatus 96. An inflow configuration is preferred.

図11の冷却システム120は、第2熱交換器12と製造装置96とを開放系の冷水回路で接続するとともに、冷凍機により冷却された冷水との熱交換を行う第3熱交換器を設けた点で、冷却システム100(図9参照)と異なる。   The cooling system 120 of FIG. 11 includes a third heat exchanger that connects the second heat exchanger 12 and the manufacturing apparatus 96 with an open chilled water circuit and performs heat exchange with the chilled water cooled by the refrigerator. This is different from the cooling system 100 (see FIG. 9).

すなわち、冷却配管93に配設された水槽44内の冷却水を、製造装置冷却水用のポンプ98により、第2熱交換器12と製造装置96との間で循環させる。さらに、水槽44と製造装置96との間に第3熱交換器13を設けて、不図示の冷凍機(冷凍機91であってもよい)により冷却された冷水が流れる冷水配管36と第3熱交換器13とを接続している。第3熱交換器13により、水槽44内の水温に変動があっても、熱交換器13の出口における冷却水の温度を一定に維持することができる。なお、熱交換器13の出口における冷却水の温度は、冷水配管36を流れる冷水の温度及び流量により調節することができる。また、冷水配管36にはバルブ85が設けられており、第3熱交換器13による熱交換が必要ない場合に、制御装置50の指示によりバルブ85が閉状態になる構成になっている。なお、第3熱交換器13は、ブリードイン方式であってもよい。   That is, the cooling water in the water tank 44 disposed in the cooling pipe 93 is circulated between the second heat exchanger 12 and the manufacturing apparatus 96 by the manufacturing apparatus cooling water pump 98. Furthermore, the 3rd heat exchanger 13 is provided between the water tank 44 and the manufacturing apparatus 96, and the cold water piping 36 and 3rd through which the cold water cooled by the refrigerator (not shown) may be sufficient. The heat exchanger 13 is connected. Even if the water temperature in the water tank 44 varies due to the third heat exchanger 13, the temperature of the cooling water at the outlet of the heat exchanger 13 can be kept constant. The temperature of the cooling water at the outlet of the heat exchanger 13 can be adjusted by the temperature and flow rate of the cold water flowing through the cold water pipe 36. Further, the chilled water pipe 36 is provided with a valve 85, and is configured such that the valve 85 is closed by an instruction from the control device 50 when heat exchange by the third heat exchanger 13 is not necessary. The third heat exchanger 13 may be a bleed-in method.

また、冷却配管93の還側(製造装置96と第2熱交換器12との間)に、開放端を有する開放管37が設けられており、開放管37と水槽44との落差を利用して、製造装置96を通過した後の冷却水が自然落下するような構成になっている。これにより、冷却配管93の往側に配設したポンプ98の揚程を削減することができる。特に、製造装置96が著しく高所にある場合、水槽44と開放管37との間に十分な高低差があるため、圧力損失が大きい第2熱交換器12に冷却水を送ることが容易になる。   An open pipe 37 having an open end is provided on the return side of the cooling pipe 93 (between the manufacturing apparatus 96 and the second heat exchanger 12), and a drop between the open pipe 37 and the water tank 44 is used. Thus, the cooling water after passing through the manufacturing device 96 is configured to fall naturally. Thereby, the head of the pump 98 disposed on the forward side of the cooling pipe 93 can be reduced. In particular, when the manufacturing apparatus 96 is extremely high, since there is a sufficient height difference between the water tank 44 and the open pipe 37, it is easy to send the cooling water to the second heat exchanger 12 having a large pressure loss. Become.

また、図11に示す冷却配管93、水槽44、第3熱交換器13及び冷水配管36のような既存の冷却システムに冷熱源装置40、冷水配管32及び第2熱交換器12を追加するだけで構築することができるため、フリークーリング運転用ラインの導入コストを削減することができる。   Further, the cold heat source device 40, the cold water pipe 32 and the second heat exchanger 12 are simply added to the existing cooling system such as the cooling pipe 93, the water tank 44, the third heat exchanger 13 and the cold water pipe 36 shown in FIG. Therefore, it is possible to reduce the introduction cost of the free cooling operation line.

1…冷却塔、2…冷却水ポンプ、4…冷水ポンプ、5…熱交換器冷却水ポンプ、6…熱交換器、10…冷却塔ファン、11…第1熱交換器、12…第2熱交換器、13…第3熱交換器、20…外気温湿度センサ(外気状態センサ)、21…冷却水往温度センサ、22…冷水往温度センサ、23…冷却水往温度センサ、24…室内温度センサ、25…冷却水還温度センサ、26…冷却水流量センサ、31…循環配管、32…冷水配管、33…ドライコイル冷却水配管、34…第1バイパス配管、35…第2バイパス配管、40、42…冷熱源装置、44…水槽、50…制御装置、51…シミュレータ、52…最適値取得部、53…制御値設定部、54…記憶部、55…ネットワーク、60…クリーンルーム、70,71,72、73…インバータ、81…第1バルブ、82…第2バルブ、83…第1流量調節手段、84…第2流量調節手段、100、110、120…冷却システム   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Cooling tower, 2 ... Cooling water pump, 4 ... Cold water pump, 5 ... Heat exchanger cooling water pump, 6 ... Heat exchanger, 10 ... Cooling tower fan, 11 ... 1st heat exchanger, 12 ... 2nd heat Exchanger, 13 ... third heat exchanger, 20 ... outside air temperature / humidity sensor (outside air state sensor), 21 ... cooling water passing temperature sensor, 22 ... chilled water passing temperature sensor, 23 ... cooling water passing temperature sensor, 24 ... room temperature Sensor: 25 ... Cooling water return temperature sensor, 26 ... Cooling water flow rate sensor, 31 ... Circulating pipe, 32 ... Cooling water pipe, 33 ... Dry coil cooling water pipe, 34 ... First bypass pipe, 35 ... Second bypass pipe, 40 , 42 ... Cold heat source device, 44 ... Water tank, 50 ... Control device, 51 ... Simulator, 52 ... Optimal value acquisition unit, 53 ... Control value setting unit, 54 ... Storage unit, 55 ... Network, 60 ... Clean room, 70, 71 , 72, 73 ... Invar , 81 ... first valve, 82 ... second valve, 83 ... first flow rate control means, 84 ... second flow rate control means, 100, 110, 120 ... cooling system

Claims (10)

フリークーリングにより冷却負荷の冷却を行う冷熱源装置であって、
外気により冷却水を冷却する冷却塔と、
前記冷却塔により冷却された前記冷却水と、前記冷却負荷を冷却する冷水とを熱交換する熱交換器と、
前記冷却塔と前記熱交換器とを連結する循環配管と、
前記循環配管を通じて、前記冷却塔と前記熱交換器との間で前記冷却水を循環させる冷却水ポンプと、
前記冷却塔を通過した前記冷却水を、前記熱交換器を介さずに前記冷却塔に返送する第1バイパス配管と、
前記第1バイパス配管を流れる前記冷却水の流量を調節する第1流量調節手段と、
前記熱交換器の出口における前記冷水の温度に基づいて、前記第1流量調節手段を制御する制御手段と、を備えるフリークーリング用の冷熱源装置。
A cold heat source device that cools a cooling load by free cooling,
A cooling tower for cooling the cooling water by outside air;
A heat exchanger for exchanging heat between the cooling water cooled by the cooling tower and the cooling water for cooling the cooling load;
A circulation pipe connecting the cooling tower and the heat exchanger;
A cooling water pump for circulating the cooling water between the cooling tower and the heat exchanger through the circulation pipe;
A first bypass pipe that returns the cooling water that has passed through the cooling tower to the cooling tower without going through the heat exchanger;
First flow rate adjusting means for adjusting the flow rate of the cooling water flowing through the first bypass pipe;
And a control means for controlling the first flow rate adjusting means based on the temperature of the cold water at the outlet of the heat exchanger.
前記制御手段は、前記冷却水ポンプの回転数ωが前記冷却水ポンプの下限回転数ωMINであり、前記熱交換器の出口における前記冷水の温度が目標値よりも低い場合に、前記冷却水の少なくとも一部を前記第1バイパス配管に流すように前記第1流量調節手段を制御することを特徴とする請求項1に記載のフリークーリング用の冷熱源装置。 The control means is configured such that the cooling water pump rotation speed ω is a lower limit rotation speed ω MIN of the cooling water pump and the temperature of the cooling water at the outlet of the heat exchanger is lower than a target value. 2. The cold heat source device for free cooling according to claim 1, wherein the first flow rate adjusting unit is controlled so that at least a part of the first flow rate flows through the first bypass pipe. フリークーリングにより冷却負荷の冷却を行う冷熱源装置であって、
外気により冷却水を冷却する冷却塔と、
前記冷却塔により冷却された前記冷却水と、前記冷却負荷を冷却する冷水とを熱交換する熱交換器と、
前記冷却塔と前記熱交換器とを連結する循環配管と、
前記循環配管を通じて、前記冷却塔と前記熱交換器との間で前記冷却水を循環させる冷却水ポンプと、
前記冷却塔を通過した前記冷却水を、前記熱交換器を介さずに前記冷却塔に返送する第1バイパス配管と、
前記第1バイパス配管を流れる前記冷却水の流量を調節する第1流量調節手段と、
前記熱交換器における熱交換量に基づいて、前記第1流量調節手段を制御する制御手段と、を備えるフリークーリング用の冷熱源装置。
A cold heat source device that cools a cooling load by free cooling,
A cooling tower for cooling the cooling water by outside air;
A heat exchanger for exchanging heat between the cooling water cooled by the cooling tower and the cooling water for cooling the cooling load;
A circulation pipe connecting the cooling tower and the heat exchanger;
A cooling water pump for circulating the cooling water between the cooling tower and the heat exchanger through the circulation pipe;
A first bypass pipe that returns the cooling water that has passed through the cooling tower to the cooling tower without going through the heat exchanger;
First flow rate adjusting means for adjusting the flow rate of the cooling water flowing through the first bypass pipe;
And a control means for controlling the first flow rate adjusting means based on a heat exchange amount in the heat exchanger.
前記制御手段は、前記熱交換器における前記熱交換量が目標値になる前記冷却水ポンプの回転数ωを算出して、算出された前記回転数ωが前記冷却水ポンプの下限回転数ωMINを下回る場合に、前記冷却水の少なくとも一部を前記第1バイパス配管に流すように前記第1流量調節手段を制御することを特徴とする請求項3に記載のフリークーリング用の冷熱源装置。 The control means calculates a rotation speed ω of the cooling water pump at which the heat exchange amount in the heat exchanger becomes a target value, and the calculated rotation speed ω is a lower limit rotation speed ω MIN of the cooling water pump. The free-cooling cold heat source apparatus according to claim 3, wherein the first flow rate adjusting means is controlled so that at least a part of the cooling water flows through the first bypass pipe when the temperature is lower than. 前記第1流量調節手段が、前記第1バイパス配管に設けられた二方弁であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のフリークーリング用の冷熱源装置。   The cold heat source device for free cooling according to any one of claims 1 to 4, wherein the first flow rate adjusting means is a two-way valve provided in the first bypass pipe. 前記第1流量調節手段が、前記第1バイパス配管と前記循環配管との合流点に設けられた三方弁であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のフリークーリング用の冷熱源装置。   5. The free cooling use according to claim 1, wherein the first flow rate adjusting means is a three-way valve provided at a junction of the first bypass pipe and the circulation pipe. Cold heat source device. 前記熱交換器又は前記第1バイパス配管を通過した前記冷却水を、前記冷却塔を介さずに前記熱交換器又は前記第1バイパス配管に返送する第2バイパス配管と、
前記第2バイパス配管を流れる前記冷却水の流量を調節する第2流量調節手段とをさらに備え、
前記制御手段は、前記熱交換器の出口における前記冷水の温度又は前記熱交換器における熱交換量に基づいて、前記第2流量調節手段を制御することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載のフリークーリング用の冷熱源装置。
A second bypass pipe that returns the cooling water that has passed through the heat exchanger or the first bypass pipe to the heat exchanger or the first bypass pipe without going through the cooling tower;
A second flow rate adjusting means for adjusting the flow rate of the cooling water flowing through the second bypass pipe;
The said control means controls the said 2nd flow volume adjustment means based on the temperature of the said cold water in the exit of the said heat exchanger, or the heat exchange amount in the said heat exchanger, The any one of Claim 1 thru | or 6 characterized by the above-mentioned. A cold heat source device for free cooling according to claim 1.
請求項1乃至7のいずれか一項に記載のフリークーリング用の冷熱源装置を用いて冷却した前記冷水により、前記冷却負荷を冷却するフリークーリング運転用ラインと、
冷凍機を用いて冷却した冷水により、前記冷却負荷を冷却する冷凍機運転用ラインと、
外気条件及び前記冷却負荷の少なくとも一方に基づいて、前記フリークーリング運転用ラインと前記冷凍機運転用ラインとを切り換える切換手段と、を備える冷却システム。
A free cooling operation line that cools the cooling load with the cold water cooled by using the cold heat source device for free cooling according to any one of claims 1 to 7,
A refrigerator operating line that cools the cooling load with cold water cooled using a refrigerator;
A cooling system comprising switching means for switching between the free cooling operation line and the refrigerator operation line based on at least one of an outside air condition and the cooling load.
外気により冷却水を冷却する冷却塔と、前記冷却塔により冷却された前記冷却水と、前記冷却負荷を冷却する冷水とを熱交換する熱交換器と、前記冷却塔と前記熱交換器とを連結する循環配管と、前記循環配管を通じて、前記冷却塔と前記熱交換器との間で前記冷却水を循環させる冷却水ポンプと、前記冷却塔を通過した前記冷却水を、前記熱交換器を介さずに前記冷却塔に返送する第1バイパス配管と、前記第1バイパス配管を流れる前記冷却水の流量を調節する第1流量調節手段とを備えるフリークーリング用の冷熱源装置を用いる冷却方法であって、
前記冷却水ポンプの回転数ωを測定する工程と、
前記熱交換器の出口における前記冷水の温度を測定する工程と、
測定された前記回転数ωが前記冷却水ポンプの下限回転数ωMINであり、測定された前記冷水の温度が目標値よりも低い場合に、前記冷却水の少なくとも一部を前記第1バイパス配管に流すように前記第1流量調節手段を制御する工程と、を備える冷却方法。
A cooling tower that cools cooling water using outside air, a heat exchanger that exchanges heat between the cooling water cooled by the cooling tower, and cold water that cools the cooling load, and the cooling tower and the heat exchanger. A circulation pipe to be connected; a cooling water pump for circulating the cooling water between the cooling tower and the heat exchanger through the circulation pipe; and the cooling water that has passed through the cooling tower, the heat exchanger A cooling method using a cooling source device for free cooling, comprising: a first bypass pipe that returns to the cooling tower without intervention; and a first flow rate adjusting means that adjusts the flow rate of the cooling water flowing through the first bypass pipe. There,
Measuring the rotational speed ω of the cooling water pump;
Measuring the temperature of the cold water at the outlet of the heat exchanger;
When the measured rotational speed ω is the lower limit rotational speed ω MIN of the cooling water pump and the measured temperature of the cold water is lower than a target value, at least a part of the cooling water is supplied to the first bypass pipe. And a step of controlling the first flow rate adjusting means so as to flow through.
外気により冷却水を冷却する冷却塔と、前記冷却塔により冷却された前記冷却水と、前記冷却負荷を冷却する冷水とを熱交換する熱交換器と、前記冷却塔と前記熱交換器とを連結する循環配管と、前記循環配管を通じて、前記冷却塔と前記熱交換器との間で前記冷却水を循環させる冷却水ポンプと、前記冷却塔を通過した前記冷却水を、前記熱交換器を介さずに前記冷却塔に返送する第1バイパス配管と、前記第1バイパス配管を流れる前記冷却水の流量を調節する第1流量調節手段とを備えるフリークーリング用の冷熱源装置を用いる冷却方法であって、
前記熱交換器における熱交換量が目標値になる前記冷却水ポンプの回転数ωを算出する工程と、
算出された前記回転数ωが前記冷却水ポンプの下限回転数ωMINを下回る場合に、前記冷却水の少なくとも一部を前記第1バイパス配管に流すように前記第1流量調節手段を制御する工程と、を備える冷却方法。
A cooling tower that cools cooling water using outside air, a heat exchanger that exchanges heat between the cooling water cooled by the cooling tower, and cold water that cools the cooling load, and the cooling tower and the heat exchanger. A circulation pipe to be connected; a cooling water pump for circulating the cooling water between the cooling tower and the heat exchanger through the circulation pipe; and the cooling water that has passed through the cooling tower, the heat exchanger A cooling method using a cooling source device for free cooling, comprising: a first bypass pipe that returns to the cooling tower without intervention; and a first flow rate adjusting means that adjusts the flow rate of the cooling water flowing through the first bypass pipe. There,
Calculating the number of revolutions ω of the cooling water pump at which a heat exchange amount in the heat exchanger becomes a target value;
Controlling the first flow rate adjusting means so that at least a part of the cooling water flows to the first bypass pipe when the calculated rotation speed ω is lower than a lower limit rotation speed ω MIN of the cooling water pump. And a cooling method comprising:
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