JP2011004381A - Semiconductor relay module - Google Patents

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Shinsuke Ko
真祐 高
Naritoshi Hoshino
就俊 星野
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor relay module for facilitating the maintenance of the shape of a translucent resin, which enhances high-frequency characteristics, and seals a luminous element and a control element, in a desired form.SOLUTION: The semiconductor relay module A is equipped with: a semiconductor switch 1 which consists of MOSFETS 11, 12 having source electrodes connected to each other and is provided on the middle of a signal transmission path 110 for a high-frequency signal; a light emitting diode 31 for emitting an optical signal in response to an input signal; a control IC 32 that has a photoreceptor for receiving an optical signal from the light emitting diode 31 and controls ON and OFF of the MOSFETS 11, 12 in response to the output of the photoreceptor; and a translucent resin 8 for resin sealing the photoreceptor of the control IC 32 and the light emitting diode 31 while they are optically connected. The control IC 32 is disposed on a land 132 that diverges from a conductor pattern 113 that constitutes the signal transmission path 110, and an LPF 4 is inserted between the conductor pattern 113 and the land 132.

Description

本発明は、半導体リレーモジュールに関するものである。   The present invention relates to a semiconductor relay module.

従来、図9に示す回路構成を有する半導体リレーモジュールが提供されていた(例えば特許文献1参照)。この半導体リレーモジュールAは、ゲート電極同士およびソース電極同士がそれぞれ接続されるとともにドレイン電極が接続端子T11,T12にそれぞれ接続された一対のMOSFET11,12と、入力信号に応じて光信号を発光する発光ダイオード(発光素子)31と、発光ダイオード31からの光信号を受光するとMOSFET11,12を導通させる制御IC32とを備えている。制御IC32は、フォトダイオードアレイ33と充放電回路34とを主要な構成として備え、フォトダイオードアレイ33および充放電回路34が1つのパッケージ内に収納されて構成される。フォトダイオードアレイ33は、複数個のフォトダイオードが直列接続されてなり、発光ダイオード31の光信号を受光して光起電力を発生する。フォトダイオードアレイ33が光起電力を発生しているときは、充放電回路34がMOSFET11,12のゲート−ソース電極間に効率よく電荷を充電するよう制御することで、MOSFET11,12のドレイン−ソース電極間を低インピーダンス状態とする。またフォトダイオードアレイ33が光起電力を発生していないときは、充放電回路34がMOSFET11,12のゲート−ソース電極間に充電された電荷の放電経路となることで、MOSFET11,12のドレイン−ソース電極間を高インピーダンス状態とする。すなわち、フォトダイオードアレイ33が光起電力を発生している時と光起電力を発生していない時とで、充放電回路34が、MOSFET11,12のドレイン−ソース電極間のインピーダンスを変化させ、接続端子T11,T12間の信号伝送を許可又は遮断している。   Conventionally, a semiconductor relay module having the circuit configuration shown in FIG. 9 has been provided (see, for example, Patent Document 1). This semiconductor relay module A emits an optical signal in response to an input signal and a pair of MOSFETs 11 and 12 having gate electrodes and source electrodes connected to each other and drain electrodes connected to connection terminals T11 and T12, respectively. A light emitting diode (light emitting element) 31 and a control IC 32 for conducting the MOSFETs 11 and 12 when receiving an optical signal from the light emitting diode 31 are provided. The control IC 32 includes a photodiode array 33 and a charge / discharge circuit 34 as main components, and the photodiode array 33 and the charge / discharge circuit 34 are housed in one package. The photodiode array 33 is composed of a plurality of photodiodes connected in series, and receives an optical signal from the light emitting diode 31 to generate photovoltaic power. When the photodiode array 33 is generating photovoltaic power, the charge / discharge circuit 34 is controlled so as to efficiently charge charges between the gate and source electrodes of the MOSFETs 11 and 12, whereby the drain and source of the MOSFETs 11 and 12 are controlled. A low impedance state is set between the electrodes. Further, when the photodiode array 33 does not generate photovoltaic power, the charge / discharge circuit 34 becomes a discharge path of charges charged between the gate and source electrodes of the MOSFETs 11 and 12, so that the drains of the MOSFETs 11 and 12 are drained. A high impedance state is set between the source electrodes. That is, the charge / discharge circuit 34 changes the impedance between the drain and source electrodes of the MOSFETs 11 and 12 when the photodiode array 33 generates photovoltaic power and when it does not generate photovoltaic power. Signal transmission between the connection terminals T11 and T12 is permitted or blocked.

この半導体リレーモジュールAは、上述した各回路部品を誘電体基板の表面に形成された回路パターン上に配置してある。図10は誘電体基板100への各回路部品の実装状態を示す要部拡大図であり、誘電体基板100の表面には、接続端子T11とMOSFET11のドレイン電極との間を接続する導体パターン111と、接続端子T12とMOSFET12のドレイン電極との間を接続する導体パターン112とが、所定の隙間を開けて、略同一直線上に並ぶように形成されている。また誘電体基板100の表面には、導体パターン111,112の近傍に制御IC32を実装するためのランド101が形成されるとともに、このランド101の近傍に発光ダイオード用の導体パターン121,122が形成されている。   In the semiconductor relay module A, the above-described circuit components are arranged on a circuit pattern formed on the surface of a dielectric substrate. FIG. 10 is an enlarged view of a main part showing the mounting state of each circuit component on the dielectric substrate 100. On the surface of the dielectric substrate 100, a conductor pattern 111 that connects between the connection terminal T11 and the drain electrode of the MOSFET 11 is shown. The conductor pattern 112 that connects between the connection terminal T12 and the drain electrode of the MOSFET 12 is formed so as to be arranged on substantially the same straight line with a predetermined gap. A land 101 for mounting the control IC 32 is formed in the vicinity of the conductor patterns 111 and 112 on the surface of the dielectric substrate 100, and conductor patterns 121 and 122 for light emitting diodes are formed in the vicinity of the land 101. Has been.

発光ダイオード31は上下両面にそれぞれ電極(アノード電極およびカソード電極)を有しており、一方の導体パターン121にダイボンディングされて、下面電極が導体パターン121に電気的に接続されると共に、導電性の良好な金などの金属細線からなるボンディングワイヤ200を介して上面電極が他方の導体パターン122に電気的に接続されている。   The light emitting diode 31 has electrodes (anode electrode and cathode electrode) on both upper and lower surfaces, and is die-bonded to one conductor pattern 121 so that the lower surface electrode is electrically connected to the conductor pattern 121 and is electrically conductive. The upper electrode is electrically connected to the other conductor pattern 122 through a bonding wire 200 made of a fine metal wire such as gold.

制御IC32は、MOSFET11,12のゲート電極Gにそれぞれ接続される一対の出力電極32a,32bと、MOSFET11,12のソース電極Sに共通接続される電極32cとを上面に有している。この制御IC32はランド101上にダイボンディングされ、制御IC32の電極32cはボンディングワイヤ200を介してランド101に接続されている。ここで、制御IC32の備えるフォトダイオードアレイ33が発光ダイオード31からの光信号を受光できるように、制御IC32と発光ダイオード31が配置されている。また、発光ダイオード31および制御IC32は、図示しない透光性樹脂で封止されることによって光学的に結合されるとともに、透光性樹脂の表面が遮光性を有する部材で覆われることによって、外乱光の入射を防止している。   The control IC 32 has a pair of output electrodes 32a and 32b connected to the gate electrodes G of the MOSFETs 11 and 12, respectively, and an electrode 32c commonly connected to the source electrode S of the MOSFETs 11 and 12 on the upper surface. The control IC 32 is die-bonded on the land 101, and the electrode 32 c of the control IC 32 is connected to the land 101 via the bonding wire 200. Here, the control IC 32 and the light emitting diode 31 are arranged so that the photodiode array 33 included in the control IC 32 can receive an optical signal from the light emitting diode 31. Further, the light emitting diode 31 and the control IC 32 are optically coupled by being sealed with a light-transmitting resin (not shown), and the surface of the light-transmitting resin is covered with a light-shielding member, thereby causing disturbance. Prevents light from entering.

MOSFET11,12は、いずれも裏面にドレイン電極を備えるとともに、表面にソース電極S及びゲート電極Gを備えている。そして、MOSFET11,12をそれぞれ導体パターン111,112にダイボンディングすることによって、各々のドレイン電極が導体パターン111,112に電気的に接続されている。またMOSFET11,12のゲート電極G,Gはそれぞれボンディングワイヤ200,200を介して制御IC32の電極32a,32bに電気的に接続されている。またMOSFET11,12のソース電極S,S間はボンディングワイヤ200を介して電気的に接続されると共に、一方のMOSFET12のソース電極Sがボンディングワイヤ200を介してランド101に電気的に接続されることによって、制御IC32の電極32cとMOSFET11,12のソース電極S,Sとの間がボンディングワイヤ200およびランド101を介して電気的に接続されている。   Each of the MOSFETs 11 and 12 includes a drain electrode on the back surface and a source electrode S and a gate electrode G on the surface. The drain electrodes are electrically connected to the conductor patterns 111 and 112 by die bonding the MOSFETs 11 and 12 to the conductor patterns 111 and 112, respectively. The gate electrodes G and G of the MOSFETs 11 and 12 are electrically connected to the electrodes 32a and 32b of the control IC 32 via bonding wires 200 and 200, respectively. The source electrodes S and S of the MOSFETs 11 and 12 are electrically connected via the bonding wire 200, and the source electrode S of one MOSFET 12 is electrically connected to the land 101 via the bonding wire 200. Thus, the electrode 32 c of the control IC 32 and the source electrodes S and S of the MOSFETs 11 and 12 are electrically connected via the bonding wire 200 and the land 101.

この半導体リレーモジュールAでは、導体パターン111,112を高周波信号の信号伝送線路として用い、MOSFET11,12により信号の通過又は遮断を切り替えるようにした場合、MOSFET11,12の導通時にはドレイン−ソース電極間のインピーダンスが低下するために、制御IC32の電極32cと導体パターン111,112との間が電気的に導通した状態となり、その結果、導体パターン111,112と電極32cの間を接続するボンディングワイヤ200やランド101がスタブとなって、高周波信号線路のインピーダンス整合が乱れ、使用可能な周波数帯域が狭くなるという問題があった。   In this semiconductor relay module A, when the conductor patterns 111 and 112 are used as signal transmission lines for high-frequency signals, and the MOSFETs 11 and 12 are switched to pass or block signals, when the MOSFETs 11 and 12 are turned on, the drain-source electrodes are connected. Since the impedance is lowered, the electrode 32c of the control IC 32 and the conductor patterns 111 and 112 are electrically connected. As a result, the bonding wire 200 connecting the conductor patterns 111 and 112 and the electrode 32c There is a problem that the land 101 becomes a stub, impedance matching of the high-frequency signal line is disturbed, and a usable frequency band is narrowed.

このような制御ICと信号伝送線路との間の配線による高周波特性への悪影響を低減するため、本発明者らは図11に示すような構成の半導体リレーモジュールを提案している(特願2008−9831号参照)。この半導体リレーモジュールでは、導体パターン111,112の間に、制御IC32を実装するためのランド101が設けられ、このランド101上に、高周波信号の伝送方向に沿ってMOSFET11,12と一列に並ぶように制御IC32が配置されている。したがって、制御IC32とMOSFET11,12との間を接続するボンディングワイヤ200が信号の伝送方向に沿って配線されることになり、これらのボンディングワイヤ200によってスタブが形成されることはないから、スタブの影響による高周波特性の悪化を防止もしくは低減することができる。   In order to reduce the adverse effect on the high frequency characteristics due to the wiring between the control IC and the signal transmission line, the present inventors have proposed a semiconductor relay module having a configuration as shown in FIG. 11 (Japanese Patent Application No. 2008). -9831). In this semiconductor relay module, a land 101 for mounting the control IC 32 is provided between the conductor patterns 111 and 112, and arranged on the land 101 in a line with the MOSFETs 11 and 12 along the high-frequency signal transmission direction. The control IC 32 is disposed in the area. Therefore, the bonding wires 200 connecting the control IC 32 and the MOSFETs 11 and 12 are wired along the signal transmission direction, and the stubs are not formed by these bonding wires 200. It is possible to prevent or reduce the deterioration of the high frequency characteristics due to the influence.

特開2005−5779号公報JP-A-2005-5779

上述した後者の半導体リレーモジュールでは、MOSFET11,12の間に制御IC32が配置されるため、制御IC32とMOSFET11,12との間を接続するボンディングワイヤ200がスタブとなることはないが、制御IC32が実装されるランド101は導体パターン111,112に比べて幅広に形成されているので、このランド101や制御IC32がスタブとなって、高周波特性が悪化するという問題があった。   In the latter semiconductor relay module described above, since the control IC 32 is disposed between the MOSFETs 11 and 12, the bonding wire 200 connecting the control IC 32 and the MOSFETs 11 and 12 does not become a stub. Since the land 101 to be mounted is formed wider than the conductor patterns 111 and 112, the land 101 and the control IC 32 become stubs, and there is a problem that high frequency characteristics deteriorate.

また制御IC32は発光ダイオード31とともに透光性樹脂8で封止され、制御IC32が備えるフォトダイオードアレイ33と発光ダイオード31とが光学的に結合されるのであるが、透光性樹脂8は流動性を有しているので、この透光性樹脂8が制御IC32の近傍に配置されたMOSFET11,12まで流れ出てしまい、透光性樹脂8の形状を所望の形状に保持するのが困難であった。   The control IC 32 is sealed together with the light-emitting diode 31 with the light-transmitting resin 8, and the photodiode array 33 provided in the control IC 32 and the light-emitting diode 31 are optically coupled. The light-transmitting resin 8 is fluid. Therefore, the translucent resin 8 flows out to the MOSFETs 11 and 12 disposed in the vicinity of the control IC 32, and it is difficult to maintain the translucent resin 8 in a desired shape. .

本発明は上記問題点に鑑みて為されたものであり、その目的とするところは、高周波特性を向上させるとともに、発光素子と制御素子を封止する透光性樹脂の形状を所望の形状に保持しやすい半導体リレーモジュールを提供することにある。   The present invention has been made in view of the above problems, and its object is to improve the high frequency characteristics and to change the shape of the translucent resin that seals the light emitting element and the control element to a desired shape. An object of the present invention is to provide a semiconductor relay module that is easy to hold.

請求項1の発明は、基板の表面に設けられた信号伝送線路の途中に設けられて、信号を通過又は遮断する半導体スイッチと、入力信号に応じて光信号を発光する発光素子と、発光素子からの光信号を受光する受光素子を有し当該受光素子の出力に応じて半導体スイッチのオン/オフを制御する制御素子と、制御素子が備える受光素子および発光素子を光学的に結合させた状態で樹脂封止する透光性樹脂とを備え、制御素子は、信号伝送線路から分岐させたランド上に配置され、信号伝送線路とランドとの間に低域通過フィルタが挿入されたことを特徴とする。   The invention of claim 1 is provided in the middle of a signal transmission line provided on a surface of a substrate, a semiconductor switch that passes or blocks a signal, a light emitting element that emits an optical signal according to an input signal, and a light emitting element A control element that has a light receiving element that receives an optical signal from the light receiving element and controls on / off of the semiconductor switch according to the output of the light receiving element, and a light receiving element and a light emitting element provided in the control element are optically coupled The control element is arranged on a land branched from the signal transmission line, and a low-pass filter is inserted between the signal transmission line and the land. And

請求項2の発明は、請求項1の発明において、半導体スイッチは、ソース電極同士が電気的に接続される一対のMOSFETからなり、信号伝送線路は、各MOSFETが配置されて各MOSFETのドレイン電極にそれぞれ電気的に接続される第1及び第2の導体パターンと、第1及び第2の導体パターンの間に配置されて各MOSFETのソース電極が共通接続される第3の導体パターンとを有し、制御素子は、第3の導体パターンから分岐されたランド上に配置されるとともに、出力電極が各MOSFETのゲート電極に金属細線を介して電気的に接続され、各MOSFETのゲート−ソース電極間に制御電圧を印加することで各MOSFETのドレイン−ソース電極間のインピーダンスを変化させており、ランドと第3の導体パターンとの間に低域通過フィルタが挿入されたことを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the semiconductor switch includes a pair of MOSFETs whose source electrodes are electrically connected to each other, and the signal transmission line includes the respective MOSFETs and the drain electrodes of the respective MOSFETs. First and second conductor patterns electrically connected to the first and second conductor patterns, respectively, and a third conductor pattern disposed between the first and second conductor patterns and commonly connected to the source electrodes of the MOSFETs. The control element is disposed on the land branched from the third conductor pattern, and the output electrode is electrically connected to the gate electrode of each MOSFET through a thin metal wire, and the gate-source electrode of each MOSFET. The impedance between the drain and source electrodes of each MOSFET is changed by applying a control voltage between the land and the third conductor pattern. Wherein the low-pass filter is inserted between the.

請求項3の発明は、請求項1の発明において、半導体スイッチは、ドレイン電極同士が電気的に接続される一対のMOSFETからなり、信号伝送線路は、一対のMOSFETが信号の伝送方向に沿って配置され、各MOSFETのドレイン電極に電気的に接続される第1の導体パターンと、伝送方向において第1の導体パターンの両側にそれぞれ配置され、それぞれ対応するMOSFETのソース電極に電気的に接続される第2及び第3の導体パターンとを有し、制御素子は、第2及び第3の導体パターンから分岐されたランド上に配置されるとともに、出力電極が各MOSFETのゲート電極に金属細線を介して電気的に接続され、各MOSFETのゲート−ソース電極間に制御電圧を印加することで各MOSFETのドレイン−ソース電極間のインピーダンスを変化させており、第2及び第3の導体パターンとランドとの間にそれぞれ低域通過フィルタが挿入されたことを特徴とする。   According to a third aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the semiconductor switch includes a pair of MOSFETs whose drain electrodes are electrically connected to each other, and the signal transmission line includes a pair of MOSFETs along the signal transmission direction. A first conductor pattern disposed and electrically connected to the drain electrode of each MOSFET, and disposed on both sides of the first conductor pattern in the transmission direction, and electrically connected to the source electrode of the corresponding MOSFET, respectively. And the control element is disposed on the land branched from the second and third conductor patterns, and the output electrode is provided with a thin metal wire on the gate electrode of each MOSFET. The drain and the source of each MOSFET are electrically connected to each other by applying a control voltage between the gate and source electrodes of each MOSFET. And by changing the impedance of the machining gap, each low-pass filter between the second and third conductor pattern and the land is equal to or inserted.

請求項4の発明は、請求項2又は3の発明において、基板の表面において各MOSFETの実装部位付近から制御素子の実装部位付近まで中継用の導体パターンが設けられ、各MOSFETのゲート電極および制御素子の出力電極がそれぞれ金属細線を介して中継用の導体パターンに接続されたことを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, in the second or third aspect of the invention, a conductor pattern for relay is provided on the surface of the substrate from the vicinity of the mounting portion of each MOSFET to the vicinity of the mounting portion of the control element. The output electrodes of the element are each connected to a conductor pattern for relay via a thin metal wire.

請求項5の発明は、請求項4の発明において、中継用の導体パターンの途中に低域通過フィルタが挿入されたことを特徴とする。   The invention of claim 5 is characterized in that, in the invention of claim 4, a low-pass filter is inserted in the middle of the relay conductor pattern.

請求項1の発明によれば、制御素子が配置されるランドと信号伝送線路との間に低域通過フィルタが挿入されているので、信号伝送線路から分岐されたランドや当該ランドに配置された制御素子がスタブとなることはなく、スタブにより信号伝送線路のインピーダンス整合が乱れて、高周波特性が悪化するのを防止できるという効果がある。しかも、発光素子とともに透光性樹脂で封止される制御素子は、信号伝送線路から分岐させたランド上に配置されているので、発光素子および制御素子を封止する封止部の配置を自由に設計できる。したがって、信号伝送線路の途中に設けられた半導体スイッチや他の回路部品とは離れた位置に封止部を配置することができ、流動性を有する透光性樹脂が半導体スイッチや他の回路部品の実装部位に流れていきにくくなるから、透光性樹脂の形状を所望の形状に保つことが容易になるという効果がある。   According to the first aspect of the present invention, since the low-pass filter is inserted between the land where the control element is arranged and the signal transmission line, the land branched from the signal transmission line or the land is arranged. The control element does not become a stub, and there is an effect that the impedance matching of the signal transmission line is disturbed by the stub and the high frequency characteristics can be prevented from deteriorating. In addition, since the control element sealed with the light-transmitting resin together with the light emitting element is disposed on the land branched from the signal transmission line, the arrangement of the sealing portion for sealing the light emitting element and the control element is free. Can be designed. Accordingly, the sealing portion can be disposed at a position away from the semiconductor switch and other circuit components provided in the middle of the signal transmission line, and the translucent resin having fluidity is used for the semiconductor switch and other circuit components. Therefore, there is an effect that it is easy to keep the shape of the translucent resin in a desired shape.

請求項2の発明によれば、信号伝送線路を構成する第3の導体パターンと、第3の導体パターンから分岐されて制御素子が配置されるランドとの間に低域通過フィルタが挿入されているので、信号伝送線路から分岐されたランドや当該ランドに配置された制御素子がスタブとなることはなく、スタブにより信号伝送線路のインピーダンス整合が乱れて、高周波特性が悪化するのを防止できるという効果がある。   According to invention of Claim 2, a low-pass filter is inserted between the 3rd conductor pattern which comprises a signal transmission line, and the land branched from the 3rd conductor pattern, and a control element is arrange | positioned. Therefore, the land branched from the signal transmission line and the control element arranged in the land do not become a stub, and the impedance matching of the signal transmission line is disturbed by the stub, and the high frequency characteristics can be prevented from deteriorating. effective.

請求項3の発明によれば、信号伝送線路を構成する第2及び第3の導体パターンと、第2及び第3の導体パターンから分岐されて制御素子が配置されるランドとの間に低域通過フィルタが挿入されているので、信号伝送線路から分岐されたランドや当該ランドに配置された制御素子がスタブとなることはなく、スタブにより信号伝送線路のインピーダンス整合が乱れて、高周波特性が悪化するのを防止できるという効果がある。   According to invention of Claim 3, it is a low region between the 2nd and 3rd conductor pattern which comprises a signal transmission line, and the land branched from the 2nd and 3rd conductor pattern, and a control element is arrange | positioned. Since the pass filter is inserted, the land branched from the signal transmission line and the control element arranged in the land do not become stubs, and the impedance matching of the signal transmission line is disturbed by the stubs, and the high frequency characteristics are deteriorated. There is an effect that can be prevented.

請求項4の発明によれば、各MOSFETのゲート電極と制御素子の出力電極との間を電気的に接続する導電路の一部が、基板の表面に形成された中継用の導体パターンで構成されているので、ゲート電極と出力電極との間を金属細線で直接接続する場合に比べて、金属細線の長さを短くでき、金属細線の形状を保ちやすくなるとともに、断線の可能性を低減できるという効果がある。   According to the invention of claim 4, a part of the conductive path that electrically connects between the gate electrode of each MOSFET and the output electrode of the control element is constituted by a conductor pattern for relay formed on the surface of the substrate. Therefore, compared to the case where the gate electrode and the output electrode are directly connected with a thin metal wire, the length of the fine metal wire can be shortened, the shape of the fine metal wire can be easily maintained, and the possibility of disconnection is reduced. There is an effect that can be done.

請求項5の発明によれば、中継用の導体パターンの途中に低域通過フィルタを挿入することによって、中継用の導体パターンや、MOSFETのゲート電極や制御素子の出力電極と中継用の導体パターンとの間を接続する金属細線がスタブとなるのを防止でき、スタブにより信号伝送線路のインピーダンス整合が乱れて、高周波特性が悪化するのを防止できるという効果がある。   According to the invention of claim 5, by inserting a low-pass filter in the middle of the relay conductor pattern, the relay conductor pattern, the MOSFET gate electrode, the output electrode of the control element, and the relay conductor pattern There is an effect that it is possible to prevent the metal thin wire connecting the two from becoming a stub and to prevent the impedance matching of the signal transmission line from being disturbed by the stub and deteriorating the high frequency characteristics.

実施形態1を示し、パッケージ前のMOSFET付近の平面図である。FIG. 4 is a plan view of the vicinity of the MOSFET before the package according to the first embodiment. 同上の概略構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows schematic structure same as the above. 同上の詳細な回路図である。It is a detailed circuit diagram same as the above. 実施形態2を示し、パッケージ前のMOSFET付近の平面図である。FIG. 10 is a plan view of the vicinity of a MOSFET before the package according to the second embodiment. 実施形態3を示し、パッケージ前のMOSFET付近の平面図である。FIG. 10 is a plan view of the vicinity of a MOSFET before a package according to a third embodiment. 同上の回路図である。It is a circuit diagram same as the above. 実施形態4を示し、パッケージ前のMOSFET付近の平面図である。FIG. 9 is a plan view of the vicinity of a MOSFET before a package according to a fourth embodiment. 同上の回路図である。It is a circuit diagram same as the above. 従来の半導体リレーモジュールのブロック回路図である。It is a block circuit diagram of the conventional semiconductor relay module. 同上のパッケージ前のMOSFET付近の平面図である。It is a top view of MOSFET vicinity before a package same as the above. 従来の別の半導体リレーモジュールを示し、パッケージ前のMOSFET付近の平面図である。FIG. 9 is a plan view of the vicinity of a MOSFET before packaging, showing another conventional semiconductor relay module.

以下に、本発明の技術思想を、高周波信号の伝送を許可又は遮断する半導体リレーモジュールに適用した実施形態について、図面を参照して説明する。   Hereinafter, an embodiment in which the technical idea of the present invention is applied to a semiconductor relay module that permits or blocks transmission of a high-frequency signal will be described with reference to the drawings.

(実施形態1)
本発明の実施形態1を図1〜図3に基づいて説明する。図2は本実施形態の半導体リレーモジュールAの概略的な回路図であり、この半導体リレーモジュールAは、高周波信号用の接続端子T1,T2と、低周波信号用の接続端子T3とを備える。
(Embodiment 1)
Embodiment 1 of this invention is demonstrated based on FIGS. 1-3. FIG. 2 is a schematic circuit diagram of the semiconductor relay module A according to the present embodiment. The semiconductor relay module A includes high-frequency signal connection terminals T1 and T2 and a low-frequency signal connection terminal T3.

高周波信号用の接続端子T1,T2間を接続する信号伝送線路110の途中には半導体スイッチ(以下、スイッチと略称す。)1が接続されている。このスイッチ1は制御回路3によってオン/オフが制御され、制御回路3の出力端とスイッチ1との間には、高周波帯域の信号に減衰を与える低域通過フィルタ(LPF)4が挿入されている。尚、LPF4は、カットオフ周波数の異なる2つのLPF41,42で構成されている。   A semiconductor switch (hereinafter abbreviated as a switch) 1 is connected in the middle of the signal transmission line 110 connecting the connection terminals T1 and T2 for high-frequency signals. The switch 1 is turned on / off by the control circuit 3, and a low-pass filter (LPF) 4 that attenuates a high frequency band signal is inserted between the output terminal of the control circuit 3 and the switch 1. Yes. The LPF 4 is composed of two LPFs 41 and 42 having different cutoff frequencies.

また、高周波信号用の接続端子T2とスイッチ1との間を接続する信号伝送線路110と、低周波信号用の接続端子T3との間には、高周波帯域の信号に減衰を与える低域通過フィルタ(以下、LPFと略称す。)6を介して半導体スイッチ(以下、スイッチと略称す。)2が接続されている。このスイッチ2は制御回路5によってオン/オフが制御される。   Further, a low-pass filter that attenuates a high-frequency band signal is provided between the signal transmission line 110 connecting the connection terminal T2 for high-frequency signals and the switch 1 and the connection terminal T3 for low-frequency signals. A semiconductor switch (hereinafter abbreviated as a switch) 2 is connected via a 6 (hereinafter abbreviated as LPF). The switch 2 is controlled to be turned on / off by the control circuit 5.

次に、図3に示すより詳細な回路図を参照して半導体リレーモジュールAの各構成要素について説明を行う。   Next, each component of the semiconductor relay module A will be described with reference to a more detailed circuit diagram shown in FIG.

高周波の信号伝送線路110に設けられたスイッチ1は、ソース電極同士が互いに接続されるとともに、ドレイン電極が接続端子T1,T2にそれぞれ接続された一対のMOSFET11,12からなる。   The switch 1 provided in the high-frequency signal transmission line 110 includes a pair of MOSFETs 11 and 12 having source electrodes connected to each other and drain electrodes connected to connection terminals T1 and T2, respectively.

スイッチ1のオン/オフを制御する制御回路3は、端子T4,T5を介して入力される入力信号に応じて光信号を発光する発光ダイオード(発光素子)31と、発光ダイオード31からの光信号を受光する受光素子を有し受光素子の出力に応じてMOSFET11,12をオン/オフする制御IC32(制御素子)とを備える。なお制御IC32は、図10で説明したものと同様の構成を有しており、発光ダイオード31の光信号を受光して光起電力を発生するフォトダイオードアレイ33(受光素子)と、フォトダイオードアレイ33が光起電力を発生しているときは、MOSFET11,12のゲート−ソース電極間に効率よく電荷を充電するよう制御するとともに、フォトダイオードアレイ33が光起電力を発生していないときはゲート−ソース電極間に充電された電荷の放電経路となることで、MOSFET11,12のドレイン−ソース間のインピーダンスを変化させる充放電回路34とで構成される。そして、制御IC32は、フォトダイオードアレイ33と充放電回路34とを含む回路を1つのパッケージ内に収納して構成されている。   The control circuit 3 that controls on / off of the switch 1 includes a light emitting diode (light emitting element) 31 that emits an optical signal in accordance with an input signal input via terminals T4 and T5, and an optical signal from the light emitting diode 31. And a control IC 32 (control element) for turning on / off the MOSFETs 11 and 12 in accordance with the output of the light receiving element. The control IC 32 has the same configuration as that described with reference to FIG. 10, and includes a photodiode array 33 (light receiving element) that receives a light signal of the light emitting diode 31 and generates a photovoltaic power, and a photodiode array. Control is performed so that charges are efficiently charged between the gate and source electrodes of the MOSFETs 11 and 12 when the photovoltaic device 33 generates photovoltaic power, and the gates when the photodiode array 33 does not generate photovoltaic power. A charge / discharge circuit 34 that changes the impedance between the drain and source of the MOSFETs 11 and 12 by forming a discharge path for the charge charged between the source electrodes. The control IC 32 is configured by housing a circuit including the photodiode array 33 and the charge / discharge circuit 34 in one package.

また、低周波信号用のスイッチ2は、上述したスイッチ1と同様、ソース電極同士が互いに接続された一対のMOSFET21,22からなり、一方のMOSFET21のドレイン電極Dは接続端子T3に接続され、他方のMOSFET22のドレイン電極DはLPF6を介して信号伝送線路110に接続されている。   Similarly to the switch 1 described above, the low-frequency signal switch 2 includes a pair of MOSFETs 21 and 22 whose source electrodes are connected to each other, the drain electrode D of one MOSFET 21 is connected to the connection terminal T3, and the other The drain electrode D of the MOSFET 22 is connected to the signal transmission line 110 through the LPF 6.

スイッチ2のオン/オフを制御する制御回路5は、端子T6,T7を介して入力される入力信号に応じて光信号を発光する発光ダイオード(発光素子)51と、発光ダイオード51からの光信号を受光する受光素子を有し受光素子の出力に応じてMOSFET21,22をオン/オフする制御IC52とを備えている。なお制御IC52は、上述の制御IC32と同様の構成を有しているので、その説明は省略する。   The control circuit 5 that controls on / off of the switch 2 includes a light emitting diode (light emitting element) 51 that emits an optical signal in response to an input signal input via terminals T6 and T7, and an optical signal from the light emitting diode 51. And a control IC 52 for turning on / off the MOSFETs 21 and 22 in accordance with the output of the light receiving element. Since the control IC 52 has the same configuration as the control IC 32 described above, the description thereof is omitted.

この半導体リレーモジュールAは、図3の回路を構成する回路部品を、誘電体基板の表面に形成された回路パターン上に配置してある。図1は、MOSFET11,12およびその周辺部品を誘電体基板100に実装した状態を示すパッケージ前の平面図であり、図1を参照してMOSFET11,12近傍の実装状態を説明する。   In this semiconductor relay module A, circuit components constituting the circuit of FIG. 3 are arranged on a circuit pattern formed on the surface of a dielectric substrate. FIG. 1 is a plan view before packaging showing a state in which the MOSFETs 11 and 12 and their peripheral components are mounted on the dielectric substrate 100. The mounting state in the vicinity of the MOSFETs 11 and 12 will be described with reference to FIG.

誘電体基板100の表面には、制御IC32が配置される実装用パターン131を分岐させた短冊状の第3の導体パターン(以下、導体パターンと略称す。)113が形成されるとともに、この導体パターン113を間にして左右方向の両側に帯状の第1及び第2の導体パターン(以下、導体パターンと略称す。)111,112が形成されている。これら導体パターン111,112,113は同一直線上に並ぶように配置されており、導体パターン111,112,113や、導体パターン111,112に実装されたMOSFET11,12のソース電極と導体パターン113の間を接続する後述のボンディングワイヤ200などから高周波信号の信号伝送線路110が構成されている。なお誘電体基板100には高周波信号の伝送方向(図1における左右方向)に沿って上記導体パターン111,112,113とともにマイクロストリップラインを構成するグランドライン(図示せず)が形成されている。   On the surface of the dielectric substrate 100, a strip-shaped third conductor pattern (hereinafter abbreviated as a conductor pattern) 113 is formed by branching a mounting pattern 131 on which the control IC 32 is arranged. Strip-shaped first and second conductor patterns (hereinafter abbreviated as conductor patterns) 111 and 112 are formed on both sides in the left-right direction with the pattern 113 interposed therebetween. These conductor patterns 111, 112, and 113 are arranged so as to be aligned on the same straight line. The conductor patterns 111, 112, and 113, the source electrodes of the MOSFETs 11 and 12 mounted on the conductor patterns 111 and 112, and the conductor pattern 113 are arranged. A signal transmission line 110 for high-frequency signals is constituted by a bonding wire 200 and the like which will be described later. The dielectric substrate 100 is formed with a ground line (not shown) constituting a microstrip line along with the conductor patterns 111, 112, 113 along the transmission direction of the high-frequency signal (left-right direction in FIG. 1).

実装用パターン131は、制御IC32が接続されるランド132と、LPF42の一端側が接続されるランド133と、ランド132,133間を接続する幅狭の導体パターン134とが連続一体に形成されて構成されている。この実装用パターン131と導体パターン113との間には、LPF42の他端側およびLPF41の一端側がそれぞれ接続される実装用パターン135が設けられている。実装用パターン135は、LPF42の他端側が接続されるランド136と、LPF41の一端側が接続されるランド137と、ランド136,137間を接続する幅狭のパターン138とが連続一体に形成されて構成されている。ここで、実装用パターン135,131は、高周波信号の伝送方向(図1における左右方向)と直交する方向(図1における上下方向)に向かって導体パターン113から延出するように設けられている。   The mounting pattern 131 is formed by continuously and integrally forming a land 132 to which the control IC 32 is connected, a land 133 to which one end of the LPF 42 is connected, and a narrow conductor pattern 134 to connect the lands 132 and 133. Has been. Between the mounting pattern 131 and the conductor pattern 113, a mounting pattern 135 to which the other end side of the LPF 42 and one end side of the LPF 41 are connected is provided. In the mounting pattern 135, a land 136 to which the other end of the LPF 42 is connected, a land 137 to which one end of the LPF 41 is connected, and a narrow pattern 138 that connects the lands 136 and 137 are continuously formed integrally. It is configured. Here, the mounting patterns 135 and 131 are provided to extend from the conductor pattern 113 in a direction (vertical direction in FIG. 1) orthogonal to the transmission direction of the high-frequency signal (horizontal direction in FIG. 1). .

また誘電体基板100の表面には、制御IC32が配置されるランド132の近傍に、LED用の導体パターン121,122が形成されている。   On the surface of the dielectric substrate 100, LED conductor patterns 121 and 122 are formed in the vicinity of the land 132 where the control IC 32 is disposed.

発光ダイオード31は上下両面にそれぞれ電極(アノード電極およびカソード電極)を有しており、上述した導体パターン121,122のうち、一方の導体パターン121にダイボンディングされて、下面電極が導体パターン121に電気的に接続されている。また発光ダイオード31の上面電極は、導電性の良好な金などの金属細線からなるボンディングワイヤ200を介して他方の導体パターン122に電気的に接続されている。   The light emitting diode 31 has electrodes (anode electrode and cathode electrode) on both the upper and lower surfaces, and is die-bonded to one of the conductor patterns 121 and 122 described above, and the lower electrode is connected to the conductor pattern 121. Electrically connected. The upper electrode of the light emitting diode 31 is electrically connected to the other conductor pattern 122 via a bonding wire 200 made of a fine metal wire such as gold having good conductivity.

制御IC32は、MOSFET11,12のゲート電極G,Gにそれぞれ接続される一対の電極32a,32bと、MOSFET11,12のソース電極S,Sに共通接続される電極32cを表面に備えている。この制御IC32は、ランド132上にダイボンディングされており、電極32cはボンディングワイヤ200を介してランド132に電気的に接続されている。   The control IC 32 includes a pair of electrodes 32a and 32b connected to the gate electrodes G and G of the MOSFETs 11 and 12, respectively, and an electrode 32c commonly connected to the source electrodes S and S of the MOSFETs 11 and 12 on the surface. The control IC 32 is die-bonded on the land 132, and the electrode 32 c is electrically connected to the land 132 via the bonding wire 200.

LPF42は表面実装タイプのフィルタであり、両端に電極を有し、一端側の電極が実装用パターン131のランド133に接続され、他端側の電極が実装用パターン135のランド136に接続されるようにして両パターン131,135間に実装されている。またLPF41も表面実装タイプのフィルタからなり、両端に電極を有し、一端側の電極が実装用パターン135のランド137に接続され、他端側の電極が導体パターン113に接続されるように、両パターン135,113間に実装されている。   The LPF 42 is a surface mount type filter having electrodes at both ends, one end electrode connected to the land 133 of the mounting pattern 131, and the other end electrode connected to the land 136 of the mounting pattern 135. In this way, it is mounted between both patterns 131 and 135. The LPF 41 is also composed of a surface mount type filter, has electrodes at both ends, the electrode on one end side is connected to the land 137 of the mounting pattern 135, and the electrode on the other end side is connected to the conductor pattern 113. It is mounted between both patterns 135 and 113.

またMOSFET11,12は、裏面にドレイン電極Dを備えるとともに、表面にソース電極Sおよびゲート電極Gを備えており、裏面のドレイン電極Dが導体パターン111,112にそれぞれ直接面接着されて、電気的に接続されている。MOSFET11,12のソース電極Sは、ボンディングワイヤ200を介して導体パターン113に電気的に接続されている。またMOSFET11,12のゲート電極G,Gは、それぞれ、ランド132上に実装された制御IC32の電極32a,32bにボンディングワイヤ200を介して電気的に接続されている。なお、制御IC32の共通電極32cは、ボンディングワイヤ200を介してランド132に接続されているので、LPF41,42および導体パターン113などを介して制御IC32の共通電極32cがMOSFET11,12のソース電極S,Sと電気的に接続されることになる。   The MOSFETs 11 and 12 include a drain electrode D on the back surface and a source electrode S and a gate electrode G on the front surface, and the drain electrode D on the back surface is directly surface-bonded to the conductor patterns 111 and 112, respectively. It is connected to the. The source electrodes S of the MOSFETs 11 and 12 are electrically connected to the conductor pattern 113 through the bonding wires 200. The gate electrodes G and G of the MOSFETs 11 and 12 are electrically connected to the electrodes 32 a and 32 b of the control IC 32 mounted on the land 132 via bonding wires 200, respectively. Since the common electrode 32c of the control IC 32 is connected to the land 132 via the bonding wire 200, the common electrode 32c of the control IC 32 becomes the source electrode S of the MOSFETs 11 and 12 via the LPFs 41 and 42, the conductor pattern 113, and the like. , S are electrically connected.

ここで、制御IC32の備えるフォトダイオードアレイ33が発光ダイオード31からの光信号を受光できるように、制御IC32と発光ダイオード31が配置されている。そして、発光ダイオード31と制御IC32とが透光性樹脂8で封止されることによって、発光ダイオード31とフォトダイオードアレイ33とが光学的に結合されており、さらに透光性樹脂8の表面が遮光性を有する部材で覆われることで、外乱光の入射が防止されるようになっている。   Here, the control IC 32 and the light emitting diode 31 are arranged so that the photodiode array 33 included in the control IC 32 can receive an optical signal from the light emitting diode 31. The light emitting diode 31 and the control IC 32 are sealed with the translucent resin 8, so that the light emitting diode 31 and the photodiode array 33 are optically coupled, and the surface of the translucent resin 8 is Covering with a light-shielding member prevents disturbance light from entering.

上述のように本実施形態では、信号伝送線路110を構成する導体パターン113から、制御IC32が実装されるランド132を分岐させるとともに、導体パターン113とランド132との間にLPF4が挿入されているので、LPF4が高周波帯域の信号に減衰を与えることで、信号伝送線路110から分岐されたランド132(実装用パターン131)やこのランド132に配置された制御IC32がスタブとなって共振が発生するのを防止できる。したがって、スタブで共振が発生することにより、共振周波数付近でインサーションロスが増加して使用周波数帯域が狭くなるのを防止でき、スタブによって生じる高周波特性の悪化を防止することができる。   As described above, in this embodiment, the land 132 on which the control IC 32 is mounted is branched from the conductor pattern 113 constituting the signal transmission line 110, and the LPF 4 is inserted between the conductor pattern 113 and the land 132. Therefore, when the LPF 4 attenuates the signal in the high frequency band, the land 132 (mounting pattern 131) branched from the signal transmission line 110 and the control IC 32 arranged on the land 132 become stubs and resonance occurs. Can be prevented. Therefore, when resonance occurs in the stub, it is possible to prevent an insertion loss from increasing near the resonance frequency and narrow the use frequency band, and it is possible to prevent deterioration of high frequency characteristics caused by the stub.

ここにおいて、導体パターン113とランド132との間に挿入されるLPF4には、広帯域で減衰特性を持たせる必要があるが、本実施形態では、カットオフ周波数の異なる2つのLPF41,42を直列に接続してLPF4を構成することで、LPF4の広帯域化を図っている。なお、相対的に高い周波数の信号をカットするLPF42が、相対的に低い周波数の信号をカットするLPF41よりも導体パターン113に近い位置に配置された場合は、LPF42やそのフットパターン(実装用パターン135)がスタブとなってLPF41でカットできない周波数の共振が発生するため、高周波特性が悪化する可能性がある。したがって、本実施形態では、相対的に低い周波数の信号をカットするLPF41を、相対的に高い周波数の信号をカットするLPF42よりも導体パターン113に近い位置に配置しており、LPF41およびそのフットパターン(実装用パターン135)がスタブとなって共振が発生したとしても、その発振をLPF42でカットできるため、高周波特性を向上させることができる。また導体パターン113にはLPF41を接続するためのスタブが設けられておらず、LPF41は導体パターン113に直接実装されており、スタブとなるフットパターンを無くすことで、高周波特性の悪化を防止して、さらなる広帯域化を図ることができる。   Here, the LPF 4 inserted between the conductor pattern 113 and the land 132 needs to have an attenuation characteristic in a wide band, but in this embodiment, two LPFs 41 and 42 having different cutoff frequencies are connected in series. By connecting and configuring the LPF 4, the LPF 4 has a wider bandwidth. When the LPF 42 that cuts a signal having a relatively high frequency is disposed closer to the conductor pattern 113 than the LPF 41 that cuts a signal having a relatively low frequency, the LPF 42 and its foot pattern (mounting pattern) are arranged. 135) becomes a stub and a resonance of a frequency that cannot be cut by the LPF 41 occurs, so that the high frequency characteristics may be deteriorated. Therefore, in the present embodiment, the LPF 41 that cuts a signal with a relatively low frequency is disposed closer to the conductor pattern 113 than the LPF 42 that cuts a signal with a relatively high frequency, and the LPF 41 and its foot pattern are arranged. Even if the (mounting pattern 135) becomes a stub and resonance occurs, the oscillation can be cut by the LPF 42, so that the high frequency characteristics can be improved. The conductor pattern 113 is not provided with a stub for connecting the LPF 41, and the LPF 41 is directly mounted on the conductor pattern 113. By eliminating the foot pattern serving as the stub, deterioration of the high frequency characteristics is prevented. Therefore, it is possible to further increase the bandwidth.

また、発光ダイオード31(発光素子)とともに透光性樹脂8で封止される制御IC32は、信号伝送線路110から分岐させたランド132上に配置されているので、発光ダイオード31および制御IC32を封止する封止部の配置を自由に設計できる。したがって、信号伝送線路110の途中に設けられたスイッチ1や他の回路部品とは離れた位置に封止部を配置することができ、流動性を有する透光性樹脂8がスイッチ1や他の回路部品の実装部位に流れていきにくくなるから、透光性樹脂8の形状を所望の形状に保つことが容易になる。   Further, since the control IC 32 sealed with the light-transmitting resin 8 together with the light-emitting diode 31 (light-emitting element) is disposed on the land 132 branched from the signal transmission line 110, the light-emitting diode 31 and the control IC 32 are sealed. The arrangement of the sealing part to be stopped can be designed freely. Therefore, the sealing portion can be disposed at a position away from the switch 1 and other circuit components provided in the middle of the signal transmission line 110, and the translucent resin 8 having fluidity is used for the switch 1 and other circuit components. Since it becomes difficult to flow to the mounting part of a circuit component, it becomes easy to maintain the shape of the translucent resin 8 in a desired shape.

次に、この半導体リレーモジュールAの動作について説明する。端子T6,T7間に信号が入力されていない状態では、発光ダイオード51が消灯しているので、制御IC52がスイッチ2(MOSFET21,22)をオフさせており、接続端子T3を介しての低周波信号の入出力が遮断される。   Next, the operation of the semiconductor relay module A will be described. When no signal is input between the terminals T6 and T7, the light-emitting diode 51 is extinguished, so that the control IC 52 turns off the switch 2 (MOSFETs 21 and 22), and the low frequency via the connection terminal T3. Signal input / output is blocked.

そして、スイッチ2のオフ時に、端子T4,T5に信号が入力されていない状態では、発光ダイオード31が消灯しているので、制御IC32の充放電回路34がMOSFET11,12のゲート−ソース電極間に充電された電荷の放電経路になることで、MOSFET11,12のドレイン−ソース電極間を高インピーダンス状態とし、接続端子T1,T2間の信号伝送を遮断する。また、スイッチ2のオフ時に端子T4,T5間に信号が入力されると、発光ダイオード31が点灯し、発光ダイオード31の発光を受けて、制御IC32の充放電回路34がMOSFET11,12のゲート−ソース電極間に電荷を充電するよう制御することで、MOSFET11,12のドレイン−ソース電極間が低インピーダンス状態となるので、接続端子T1,T2間で高周波信号の伝送が許可される。而して、端子T4,T5間への信号入力の有無に応じて接続端子T1,T2間での高周波信号の伝送が許可又は遮断される。   When the switch 2 is turned off and the signal is not input to the terminals T4 and T5, the light emitting diode 31 is turned off, so that the charge / discharge circuit 34 of the control IC 32 is connected between the gate and source electrodes of the MOSFETs 11 and 12. By becoming a discharge path for the charged charges, the drain-source electrodes of the MOSFETs 11 and 12 are brought into a high impedance state, and signal transmission between the connection terminals T1 and T2 is cut off. Further, when a signal is input between the terminals T4 and T5 when the switch 2 is turned off, the light emitting diode 31 is turned on, receives light emission from the light emitting diode 31, and the charge / discharge circuit 34 of the control IC 32 causes the gates of the MOSFETs 11 and 12 to By controlling the electric charge to be charged between the source electrodes, the drain-source electrodes of the MOSFETs 11 and 12 are in a low impedance state, so that transmission of high-frequency signals is permitted between the connection terminals T1 and T2. Thus, transmission of a high-frequency signal between the connection terminals T1 and T2 is permitted or blocked depending on whether or not a signal is input between the terminals T4 and T5.

また、制御IC32がスイッチ1をオフさせた状態で、端子T6,T7間に信号が入力されると、発光ダイオード51の発光を受けて制御IC52が、MOSFET21,22のゲート−ソース電極間に電荷を充電するよう制御することによって、MOSFET21,22のドレイン−ソース電極間が低インピーダンス状態とされるので、接続端子T3に入力された低域の信号(低周波信号乃至直流信号)を接続端子T2に接続される機器(図示せず)に供給したり、接続端子T2に接続される機器から接続端子T2に入力された低域信号を接続端子T3から取り出すことができる。   Further, when a signal is input between the terminals T6 and T7 with the control IC 32 turned off, the control IC 52 receives the light emitted from the light emitting diode 51, and the control IC 52 charges between the gate and source electrodes of the MOSFETs 21 and 22. Since the drain-source electrodes of the MOSFETs 21 and 22 are in a low impedance state by controlling to charge the low-frequency signal (low frequency signal or DC signal) input to the connection terminal T3, the connection terminal T2 The low-frequency signal supplied to the connection terminal T2 can be taken out from the connection terminal T3 from the apparatus connected to the connection terminal T2 (not shown).

(実施形態2)
本発明の実施形態2について図4を参照して説明する。尚、MOSFET11,12のゲート電極G,Gと、制御IC32の電極32a,32bとの間を電気的に接続する構成以外は、実施形態1と同様であるので、共通する構成要素には同一の符号を付して、その説明は省略する。
(Embodiment 2)
A second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In addition, since it is the same as that of Embodiment 1 except the structure which electrically connects between the gate electrodes G and G of MOSFET11 and 12 and the electrodes 32a and 32b of control IC32, it is the same as that of a common component. A reference numeral is attached and the description thereof is omitted.

上述の実施形態1では、信号伝送線路110を構成する導体パターン111,112上にMOSFET11,12をそれぞれ配置して、信号伝送線路110を構成する導体パターン113から分岐させたランド132上に制御IC32を配置するとともに、MOSFET11のゲート電極Gと制御IC32の電極32aの間、MOSFET12のゲート電極Gと制御IC32の電極32bの間をそれぞれボンディングワイヤ200を介して直接接続しているため、ゲート電極G,Gと電極32a,32bの間を接続するボンディングワイヤ200の全長が長く、その形状が保ちにくくなっている。   In the first embodiment described above, the MOSFETs 11 and 12 are arranged on the conductor patterns 111 and 112 constituting the signal transmission line 110, respectively, and the control IC 32 is placed on the land 132 branched from the conductor pattern 113 constituting the signal transmission line 110. And the gate electrode G of the MOSFET 11 and the electrode 32a of the control IC 32 and the gate electrode G of the MOSFET 12 and the electrode 32b of the control IC 32 are directly connected via the bonding wires 200, respectively. , G and the electrodes 32a, 32b have a long total length of the bonding wire 200, and the shape thereof is difficult to maintain.

そこで、本実施形態では、図4に示すように誘電体基板100の表面においてMOSFET11,12の実装部位付近から制御IC32の実装部位付近まで、中継用の導体パターン141,142がそれぞれ形成されており、MOSFET11,12のゲート電極G,Gおよび制御IC32の電極32a,32bは、それぞれ、ボンディングワイヤ200を介して対応する導体パターン141,142に電気的に接続されている。すなわち、MOSFET11,12のゲート電極G,Gと、制御IC32の電極32a,32bとの間を電気的に接続する導電路の一部が、誘電体基板100の表面に形成された中継用の導体パターンで構成されているので、ゲート電極G,Gと出力電極32a,32bとの間をボンディングワイヤ200で直接接続する場合に比べて、ゲート電極G,Gと導体パターン141,142の間を接続するボンディングワイヤ200の長さや、電極32a,32bと導体パターン141,142の間を接続するボンディングワイヤ200の長さを短くでき、長さを短くすることでボンディングワイヤ200の形状を保ちやすくなるととともに、断線の可能性を低減することもできる。   Therefore, in the present embodiment, as shown in FIG. 4, relay conductor patterns 141 and 142 are formed on the surface of the dielectric substrate 100 from the vicinity of the mounting portions of the MOSFETs 11 and 12 to the vicinity of the mounting portion of the control IC 32, respectively. The gate electrodes G and G of the MOSFETs 11 and 12 and the electrodes 32a and 32b of the control IC 32 are electrically connected to corresponding conductor patterns 141 and 142 through bonding wires 200, respectively. In other words, a part of the conductive path that electrically connects the gate electrodes G and G of the MOSFETs 11 and 12 and the electrodes 32 a and 32 b of the control IC 32 is formed on the surface of the dielectric substrate 100. Since the pattern is configured, the gate electrodes G, G and the conductor patterns 141, 142 are connected as compared with the case where the gate electrodes G, G and the output electrodes 32a, 32b are directly connected by the bonding wire 200. The length of the bonding wire 200 and the length of the bonding wire 200 connecting the electrodes 32a and 32b and the conductor patterns 141 and 142 can be shortened. By shortening the length, the shape of the bonding wire 200 can be easily maintained. The possibility of disconnection can also be reduced.

また本実施形態においても、表面実装タイプのLPF41は導体パターン113に直接実装されており、LPF41の接続されるフットパターンが導体パターン113に設けられていないので、スタブとなるフットパターンを無くすことで、高周波特性の悪化を防止することができる。   Also in this embodiment, the surface-mount type LPF 41 is directly mounted on the conductor pattern 113, and the foot pattern to which the LPF 41 is connected is not provided on the conductor pattern 113. Therefore, by eliminating the foot pattern as a stub, It is possible to prevent deterioration of the high frequency characteristics.

ここで、導体パターン113においてLPF41が実装される部位は、接続される回路部品(LPF41)の影響によってインピーダンスが低下するため、本実施形態では導体パターン113の一側辺(LPF41が接続される側と反対側)を凹ませることによって、他の部位よりもパターン幅の狭い幅狭部113aが設けられている。したがって、導体パターン113においてLPF41が接続される部位(幅狭部113a)のパターン幅が、信号伝送線路110における他の部位のパターン幅よりも幅狭に形成されるので、LPF41が実装される部位のインピーダンスの低下を抑制して、高周波特性を改善することができる。   Here, since the impedance of the portion of the conductor pattern 113 where the LPF 41 is mounted is lowered due to the influence of the circuit component (LPF 41) to be connected, in this embodiment, one side of the conductor pattern 113 (the side to which the LPF 41 is connected). The narrow part 113a having a narrower pattern width than other parts is provided. Therefore, since the pattern width of the portion (the narrow portion 113a) to which the LPF 41 is connected in the conductor pattern 113 is formed narrower than the pattern width of other portions in the signal transmission line 110, the portion where the LPF 41 is mounted. The high frequency characteristics can be improved by suppressing the decrease in impedance.

(実施形態3)
本発明の実施形態3について図5及び図6を参照して説明する。実施形態2の半導体リレーモジュールでは、MOSFET11,12のゲート電極G,Gと制御IC32の出力電極32a,32bとの間をそれぞれ接続する導電路の一部を、誘電体基板100の表面に形成された導体パターン141,142で構成したものであるが、本実施形態では、図5及び図6に示すように、MOSFET11,12のゲート電極G,Gと制御IC32の出力電極32a,32bの間を中継するために設けた導体パターンの途中に低域通過フィルタ(LPF)7a,7bを挿入してある。尚、低域通過フィルタ7,7以外の構成は実施形態2と同様であるので、共通する構成要素には同一の符号を付して、その説明は省略する。
(Embodiment 3)
Embodiment 3 of the present invention will be described with reference to FIGS. In the semiconductor relay module of the second embodiment, a part of the conductive path that connects between the gate electrodes G and G of the MOSFETs 11 and 12 and the output electrodes 32a and 32b of the control IC 32 is formed on the surface of the dielectric substrate 100. In this embodiment, as shown in FIGS. 5 and 6, the gap between the gate electrodes G and G of the MOSFETs 11 and 12 and the output electrodes 32a and 32b of the control IC 32 is formed. Low pass filters (LPF) 7a and 7b are inserted in the middle of the conductor pattern provided for relaying. In addition, since structures other than the low-pass filters 7 and 7 are the same as those of the second embodiment, common constituent elements are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.

低域通過フィルタ7a,7bは、それぞれ、2つのLPF71,72を直列に接続して構成されている。LPF71,72のカットオフ周波数は互いに異なっており、相対的に低い周波数の信号をカットするLPF71が、相対的に高い周波数の信号をカットするLPF72よりも導体パターン111,112に近い位置に配置されている。   The low-pass filters 7a and 7b are configured by connecting two LPFs 71 and 72 in series, respectively. The cut-off frequencies of the LPFs 71 and 72 are different from each other, and the LPF 71 that cuts a signal having a relatively low frequency is disposed closer to the conductor patterns 111 and 112 than the LPF 72 that cuts a signal having a relatively high frequency. ing.

誘電体基板100の表面には、図5に示すように、MOSFET11,12の実装部位の近傍に、LPF71の一端側の電極が接続されるランド143がそれぞれ形成されるとともに、制御IC32の実装部位の近傍(左右両側)に、LPF72の一端側の電極が接続される実装用パターン145がそれぞれ形成されている。さらに、誘電体基板100の表面において、ランド143と実装用パターン145の間には、LPF71,72の他端側の電極が共通接続される実装用パターン144がそれぞれ形成されている。   On the surface of the dielectric substrate 100, as shown in FIG. 5, lands 143 to which electrodes on one end side of the LPF 71 are connected are formed in the vicinity of the mounting portions of the MOSFETs 11 and 12, respectively, and the mounting portion of the control IC 32 is provided. The mounting patterns 145 to which the electrodes on one end side of the LPF 72 are connected are respectively formed in the vicinity (on both the left and right sides). Further, on the surface of the dielectric substrate 100, a mounting pattern 144 is formed between the land 143 and the mounting pattern 145 so that the electrodes on the other end of the LPFs 71 and 72 are connected in common.

ここで、MOSFET11,12のゲート電極G,Gはボンディングワイヤ200を介してランド143,143に接続され、制御IC32の電極32a,32bはボンディングワイヤ200を介して実装用パターン145,145に接続されており、ランド143と実装用パターン144との間にはLPF71が、実装用パターン144と実装用パターン145との間にはLPF72がそれぞれ接続されている。   Here, the gate electrodes G and G of the MOSFETs 11 and 12 are connected to the lands 143 and 143 through the bonding wires 200, and the electrodes 32 a and 32 b of the control IC 32 are connected to the mounting patterns 145 and 145 through the bonding wires 200. The LPF 71 is connected between the land 143 and the mounting pattern 144, and the LPF 72 is connected between the mounting pattern 144 and the mounting pattern 145.

而して、MOSFET11,12のゲート電極G,Gと、制御IC32の電極32a,32bとの間をそれぞれ接続する中継用の導体パターンの途中にLPF7(LPF71,72からなる)が挿入されることになり、中継用の導体パターンや、この導体パターンと制御IC32の出力電極32a,32bとの間を接続するボンディングワイヤ200がスタブとなるのを防止でき、スタブで共振が発生することによる高周波特性の悪化を防止することができる。   Thus, LPF 7 (consisting of LPFs 71 and 72) is inserted in the middle of the relay conductor pattern that connects between the gate electrodes G and G of the MOSFETs 11 and 12 and the electrodes 32a and 32b of the control IC 32, respectively. Therefore, the relay conductor pattern and the bonding wire 200 connecting the conductor pattern and the output electrodes 32a and 32b of the control IC 32 can be prevented from becoming stubs, and the high frequency characteristics due to the occurrence of resonance in the stubs. Can be prevented.

(実施形態4)
本発明の実施形態4について図7及び図8を参照して説明する。上述の実施形態1〜3では、ソース電極同士が電気的に接続された一対のMOSFET11,12でスイッチ1が構成されているのに対して、本実施形態では、図8に示すようにドレイン電極同士が電気的に接続された一対のMOSFET11,12でスイッチ1が構成されている。そして、各MOSFET11,12のソース電極が接続される第2及び第3の導体パターン(以下、導体パターンと略称す。)111,112と、導体パターン111,112から分岐されて制御IC32,32がそれぞれ配置されるランド132,132との間にそれぞれLPF4a,4bが挿入されている。尚、MOSFET11,12と制御IC32,32とLPF4a,4b以外の構成は実施形態1〜3で説明した半導体リレーモジュールAと同様であるので、共通する構成要素には同一の符号を付して、その説明は省略する。
(Embodiment 4)
Embodiment 4 of the present invention will be described with reference to FIGS. In the first to third embodiments described above, the switch 1 is composed of a pair of MOSFETs 11 and 12 in which the source electrodes are electrically connected to each other, whereas in this embodiment, the drain electrode is formed as shown in FIG. The switch 1 is composed of a pair of MOSFETs 11 and 12 that are electrically connected to each other. Then, second and third conductor patterns (hereinafter abbreviated as conductor patterns) 111 and 112 to which the source electrodes of the MOSFETs 11 and 12 are connected, and the control ICs 32 and 32 are branched from the conductor patterns 111 and 112. LPFs 4a and 4b are inserted between the lands 132 and 132, respectively. In addition, since structures other than MOSFET11,12, control IC32,32, and LPF4a, 4b are the same as that of the semiconductor relay module A demonstrated in Embodiment 1-3, the same code | symbol is attached | subjected to a common component, The description is omitted.

図7は、誘電体基板100への各回路部品の実装状態を示す要部拡大図であり、誘電体基板100の表面には、MOSFET11,12の実装される帯状の第1の導体パターン(以下、導体パターンと略称す。)113が形成されるとともに、この導体パターン113を間にして両側に帯状の導体パターン111,112が形成されている。これら導体パターン111,112,113は同一直線上に並ぶように配置されており、導体パターン111,112,113や、導体パターン113に配置されたMOSFET11,12のソース電極と導体パターン111,112の間をそれぞれ接続するボンディングワイヤ200などから高周波信号の信号伝送線路110が構成されている。なお誘電体基板100には高周波信号の伝送方向に沿って上記導体パターン111,112,113とともにマイクロストリップラインを構成するグランドライン(図示せず)が形成されている。   FIG. 7 is an enlarged view of a main part showing a mounting state of each circuit component on the dielectric substrate 100. On the surface of the dielectric substrate 100, a strip-shaped first conductor pattern (hereinafter referred to as MOSFET) 11 and 12 is mounted. , 113 is formed, and strip-like conductor patterns 111 and 112 are formed on both sides with the conductor pattern 113 in between. The conductor patterns 111, 112, and 113 are arranged so as to be aligned on the same straight line. The conductor patterns 111, 112, and 113, the source electrodes of the MOSFETs 11 and 12 arranged in the conductor pattern 113, and the conductor patterns 111 and 112 are arranged. A signal transmission line 110 for high-frequency signals is constituted by bonding wires 200 or the like that connect the respective parts. The dielectric substrate 100 is formed with a ground line (not shown) constituting a microstrip line along with the conductor patterns 111, 112, 113 along the transmission direction of the high frequency signal.

また誘電体基板100の表面には、制御IC32,32のそれぞれ実装される実装用パターン131,131が、導体パターン111,112から分岐させた形で形成されている。各実装用パターン131は、導体パターン113に対して信号伝送方向と直交する方向の片側に配置されて制御IC32が実装されるランド132と、ランド132において導体パターン113側の部位から信号伝送方向に沿って、互いに反対向きに延出し、LPF42の一方の電極が電気的に接続される接続パターン139とで形成されている。   On the surface of the dielectric substrate 100, mounting patterns 131 and 131 for mounting the control ICs 32 and 32, respectively, are formed so as to be branched from the conductor patterns 111 and 112. Each mounting pattern 131 is disposed on one side in a direction orthogonal to the signal transmission direction with respect to the conductor pattern 113, and the land 132 on which the control IC 32 is mounted, and the land 132 in the signal transmission direction from the portion on the conductor pattern 113 side. And a connection pattern 139 that extends in opposite directions and is electrically connected to one electrode of the LPF 42.

また誘電体基板100の表面には、制御IC32,32が実装されるランド132,132の近傍に、LED用導体パターン121,122が形成されている。   On the surface of the dielectric substrate 100, LED conductor patterns 121 and 122 are formed in the vicinity of the lands 132 and 132 on which the control ICs 32 and 32 are mounted.

MOSFET11,12は、いずれも裏面にドレイン電極を備えるとともに、表面にソース電極S及びゲート電極Gを備えている。そして、信号伝送線路110を構成する導体パターン113にMOSFET11,12をそれぞれダイボンディングすることによって、各々のドレイン電極が導体パターン113に電気的に接続されている。またMOSFET11,12のゲート電極G,Gはそれぞれボンディングワイヤ200を介して対応する制御IC32,32の電極32a又は32bに電気的に接続されている。またMOSFET11,12のソース電極S,Sは、それぞれボンディングワイヤ200を介して導体パターン111,112に電気的に接続されている。また導体パターン111(112)と、対応する実装用パターン135のランド137との間にはそれぞれLPF41が接続されており、さらに実装用パターン135のランド136と、対応するランド132から延出させた接続パターン139との間にはそれぞれLPF42が接続されている。   Each of the MOSFETs 11 and 12 includes a drain electrode on the back surface and a source electrode S and a gate electrode G on the surface. Then, the respective drain electrodes are electrically connected to the conductor pattern 113 by die-bonding the MOSFETs 11 and 12 to the conductor pattern 113 constituting the signal transmission line 110. The gate electrodes G and G of the MOSFETs 11 and 12 are electrically connected to the electrodes 32a or 32b of the corresponding control ICs 32 and 32 through bonding wires 200, respectively. The source electrodes S and S of the MOSFETs 11 and 12 are electrically connected to the conductor patterns 111 and 112 via bonding wires 200, respectively. The LPF 41 is connected between the conductor pattern 111 (112) and the land 137 of the corresponding mounting pattern 135, and is further extended from the land 136 of the mounting pattern 135 and the corresponding land 132. LPFs 42 are connected to the connection patterns 139, respectively.

このように本実施形態では、信号伝送線路110を構成する導体パターン111,112から、制御IC32,32が配置されるランド132,132を分岐させるとともに、導体パターン111,112とランド132,132との間にそれぞれLPF4a,4bが挿入されているので、LPF4a,4bが高周波帯域の信号に減衰を与えることで、信号伝送線路110から分岐されたランド132,132や各ランド132に配置された制御IC32がスタブとなって共振が発生するのを防止できる。したがって、スタブで共振が発生することにより、共振周波数付近でインサーションロスが増加して使用周波数帯域が狭くなるのを防止でき、スタブによって生じる高周波特性の悪化を防止することができる。   As described above, in the present embodiment, the lands 132 and 132 where the control ICs 32 and 32 are arranged are branched from the conductor patterns 111 and 112 constituting the signal transmission line 110, and the conductor patterns 111 and 112 and the lands 132 and 132 are Since LPFs 4a and 4b are respectively inserted between the LPFs 4a and 4b, the LPFs 4a and 4b attenuate the high-frequency band signals, so that the lands 132 and 132 branched from the signal transmission line 110 and the control disposed in each land 132 are provided. It is possible to prevent the IC 32 from becoming a stub and causing resonance. Therefore, when resonance occurs in the stub, it is possible to prevent an insertion loss from increasing near the resonance frequency and narrow the use frequency band, and it is possible to prevent deterioration of high frequency characteristics caused by the stub.

ここにおいて、導体パターン111,112とランド132,132との間にそれぞれ挿入されるLPF4a,4bには、広帯域で減衰特性を持たせる必要があるが、本実施形態では、カットオフ周波数の異なる2つのLPF41,42を直列に接続してLPF4a,4bをそれぞれ構成することで、LPF4a,4bの広帯域化を図っている。なお、相対的に高い周波数の信号をカットするLPF42が、相対的に低い周波数の信号をカットするLPF41よりも導体パターン111,112に近い位置に配置された場合は、LPF42やそのフットパターン(実装用パターン135)がスタブとなってLPF41でカットできない周波数の共振が発生するため、高周波特性が悪化する可能性がある。したがって、本実施形態では、相対的に低い周波数の信号をカットするLPF41を、相対的に高い周波数の信号をカットするLPF42よりも導体パターン111,112に近い位置に配置しており、LPF41およびそのフットパターン(実装用パターン135)がスタブとなって共振が発生したとしても、その発振をLPF42でカットできるため、高周波特性を向上させることができる。また表面実装タイプのLPF41は導体パターン113に直接実装されており、LPF41が接続されるフットパターンを導体パターン113に設けた場合に比べて、スタブとなるフットパターンを無くすことで、高周波特性の悪化を防止でき、さらなる広帯域化を図ることができる。   Here, the LPFs 4a and 4b inserted between the conductor patterns 111 and 112 and the lands 132 and 132, respectively, need to have an attenuation characteristic in a wide band. However, in this embodiment, two different cutoff frequencies are used. By connecting the two LPFs 41 and 42 in series to form the LPFs 4a and 4b, respectively, the LPFs 4a and 4b have a wider bandwidth. When the LPF 42 that cuts a signal having a relatively high frequency is arranged closer to the conductor patterns 111 and 112 than the LPF 41 that cuts a signal having a relatively low frequency, the LPF 42 and its foot pattern (mounting) Since the pattern 135) becomes a stub and resonance occurs at a frequency that cannot be cut by the LPF 41, the high frequency characteristics may be deteriorated. Therefore, in the present embodiment, the LPF 41 that cuts a signal with a relatively low frequency is arranged closer to the conductor patterns 111 and 112 than the LPF 42 that cuts a signal with a relatively high frequency. Even if the foot pattern (mounting pattern 135) becomes a stub and resonance occurs, the oscillation can be cut by the LPF 42, so that the high frequency characteristics can be improved. Further, the surface mount type LPF 41 is directly mounted on the conductor pattern 113, and the high frequency characteristics are deteriorated by eliminating the foot pattern as a stub as compared with the case where the foot pattern to which the LPF 41 is connected is provided in the conductor pattern 113. Can be prevented, and a wider band can be achieved.

また、発光ダイオード31(発光素子)とともに透光性樹脂8で封止される制御IC32,32は、信号伝送線路110から分岐されたランド132,132上に配置されているので、発光ダイオード31および制御IC32,32を封止する封止部の配置を自由に設計できる。したがって、信号伝送線路100の途中に設けられたスイッチ1や他の回路部品とは離れた位置に封止部を配置することができ、流動性を有する透光性樹脂8がスイッチ1や他の回路部品の実装部位に流れていきにくくなるから、透光性樹脂8の形状を所望の形状に保つことが容易になる。   Further, since the control ICs 32 and 32 sealed with the light-transmitting resin 8 together with the light-emitting diode 31 (light-emitting element) are disposed on the lands 132 and 132 branched from the signal transmission line 110, the light-emitting diode 31 and The arrangement of the sealing portion for sealing the control ICs 32 and 32 can be freely designed. Therefore, the sealing portion can be disposed at a position away from the switch 1 and other circuit components provided in the middle of the signal transmission line 100, and the translucent resin 8 having fluidity is used for the switch 1 and other circuit components. Since it becomes difficult to flow to the mounting part of a circuit component, it becomes easy to maintain the shape of the translucent resin 8 in a desired shape.

尚、本実施形態においても実施形態2で説明したように、誘電体基板100の表面においてMOSFET11,12の実装部位付近から対応する制御IC32,32の実装部位付近まで、中継用の導体パターンを形成し、MOSFET11,12のゲート電極G,Gおよび制御IC32,32の電極32a,32bをそれぞれボンディングワイヤ200を介して中継用の導体パターンに接続してもよい。この場合、MOSFET11,12のゲート電極Gと制御IC32,32の電極32a,32bの間をボンディングワイヤ200で直接接続する場合に比べて、ボンディングワイヤ200の全長を短くできるので、ボンディングワイヤ200の形状を保ちやすくなり、また全長を短くすることで断線の可能性を少なくできるという利点もある。   In this embodiment as well, as described in the second embodiment, a relay conductor pattern is formed on the surface of the dielectric substrate 100 from the vicinity of the mounting portion of the MOSFETs 11 and 12 to the vicinity of the corresponding mounting portion of the control ICs 32 and 32. The gate electrodes G and G of the MOSFETs 11 and 12 and the electrodes 32a and 32b of the control ICs 32 and 32 may be connected to the relay conductor pattern via the bonding wires 200, respectively. In this case, since the total length of the bonding wire 200 can be shortened as compared with the case where the bonding wire 200 directly connects the gate electrodes G of the MOSFETs 11 and 12 and the electrodes 32a and 32b of the control ICs 32 and 32, the shape of the bonding wire 200 can be reduced. There is also an advantage that the possibility of disconnection can be reduced by shortening the overall length.

また実施形態3で説明したように、MOSFET11,12のゲート電極G,Gと制御IC32,32の電極32a,32bとの間を中継接続するために設けられた中継用の導体パターンの途中に低域通過フィルタを挿入することも好ましく、中継用の導体パターンや、制御IC32,32の電極32a,32bと中継用の導体パターンとの間を接続するボンディングワイヤ200がスタブとなるのを防止して、高周波特性の悪化を抑制することができる。   Further, as described in the third embodiment, the relay conductor pattern provided for relay connection between the gate electrodes G and G of the MOSFETs 11 and 12 and the electrodes 32a and 32b of the control ICs 32 and 32 is low in the middle. It is also preferable to insert a band-pass filter to prevent the bonding conductor pattern for the relay and the bonding wires 200 connecting the electrodes 32a and 32b of the control ICs 32 and 32 and the conductor pattern for the relay from becoming stubs. The deterioration of the high frequency characteristics can be suppressed.

また本実施形態においても、実施形態2で説明したように、導体パターン111,112においてLPF41が実装される部位のパターン幅を他の部位に比べて幅狭に形成しても良く、導体パターン111,112に接続されたLPF41の影響で配線路のインピーダンスが低下するのを抑制して、インピーダンス整合が乱れるのを防止することができる。   Also in the present embodiment, as described in the second embodiment, the pattern width of the portion where the LPF 41 is mounted in the conductor patterns 111 and 112 may be formed narrower than other portions. , 112 can be prevented from lowering the impedance of the wiring path due to the influence of the LPF 41 connected to each other, thereby preventing the impedance matching from being disturbed.

次に、この半導体リレーモジュールAの動作について説明する。端子T6,T7間に信号が入力されていない状態では、発光ダイオード51が消灯しているので、制御IC52がスイッチ2(MOSFET21,22)をオフさせており、接続端子T3を介しての低周波信号の入出力が遮断される。   Next, the operation of the semiconductor relay module A will be described. When no signal is input between the terminals T6 and T7, the light-emitting diode 51 is extinguished, so that the control IC 52 turns off the switch 2 (MOSFETs 21 and 22), and the low frequency via the connection terminal T3. Signal input / output is blocked.

そして、スイッチ2のオフ時に、端子T4,T5に信号が入力されていない状態では、発光ダイオード31が消灯しているので、制御IC32,32がMOSFET11,12のゲート−ソース電極間に充電された電荷の放電経路になることで、MOSFET11,12のドレイン−ソース電極間を高インピーダンス状態とし、接続端子T1,T2間の信号伝送を遮断する。また、スイッチ2のオフ時に端子T4,T5間に信号が入力されると、発光ダイオード31が点灯し、発光ダイオード31の発光を受けて、制御IC32,32の充放電回路がMOSFET11,12のゲート−ソース電極間に電荷を充電するよう制御することで、MOSFET11,12のドレイン−ソース電極間が低インピーダンス状態となるので、接続端子T1,T2間で高周波信号の伝送が許可される。而して、端子T4,T5間への信号入力の有無に応じて接続端子T1,T2間での高周波信号の伝送が許可又は遮断される。   When the switch 2 is turned off and the signal is not input to the terminals T4 and T5, the light emitting diode 31 is turned off, so that the control ICs 32 and 32 are charged between the gate-source electrodes of the MOSFETs 11 and 12. By becoming a discharge path for electric charges, the drain-source electrodes of the MOSFETs 11 and 12 are brought into a high impedance state, and signal transmission between the connection terminals T1 and T2 is cut off. Further, when a signal is input between the terminals T4 and T5 when the switch 2 is turned off, the light emitting diode 31 is turned on, receives light emission from the light emitting diode 31, and the charging / discharging circuit of the control ICs 32 and 32 is connected to the gates of the MOSFETs 11 and 12. By controlling to charge between the source electrodes, the drain and source electrodes of the MOSFETs 11 and 12 are in a low impedance state, so that transmission of a high-frequency signal is permitted between the connection terminals T1 and T2. Thus, transmission of a high-frequency signal between the connection terminals T1 and T2 is permitted or blocked depending on whether or not a signal is input between the terminals T4 and T5.

また、制御IC32,32がスイッチ1をオフさせた状態で、端子T6,T7間に信号が入力されると、発光ダイオード51の発光を受けて制御IC52が、MOSFET21,22のゲート−ソース電極間に電荷を充電するよう制御することによって、MOSFET21,22のドレイン−ソース電極間が低インピーダンス状態とされるので、接続端子T3に入力された低域の信号(低周波信号乃至直流信号)を接続端子T2に接続される機器(図示せず)に供給したり、接続端子T2に接続される機器から接続端子T2に入力された低域信号を接続端子T3から取り出すことができる。   Further, when a signal is input between the terminals T6 and T7 with the control ICs 32 and 32 turned off, the light emission of the light emitting diode 51 is received and the control IC 52 is connected between the gate and source electrodes of the MOSFETs 21 and 22. By controlling the charge to be charged, the drain-source electrodes of the MOSFETs 21 and 22 are brought into a low impedance state, so that a low-frequency signal (low frequency signal or DC signal) input to the connection terminal T3 is connected. A low-frequency signal that is supplied to a device (not shown) connected to the terminal T2 or input to the connection terminal T2 from a device connected to the connection terminal T2 can be taken out from the connection terminal T3.

尚、図8の回路図では、端子T4,T5と端子T6,T7のY方向位置をずらして表記しているが、端子T4,T5と端子T6,T7のY方向位置が同じ位置となっていてもよい。   In the circuit diagram of FIG. 8, the Y-direction positions of the terminals T4 and T5 and the terminals T6 and T7 are shifted, but the Y-direction positions of the terminals T4 and T5 and the terminals T6 and T7 are the same position. May be.

A 半導体リレーモジュール
1 半導体スイッチ
4 LPF(低域通過フィルタ)
8 透光性樹脂
11,12 MOSFET
31 発光ダイオード(発光素子)
32 制御IC(制御素子)
33 フォトダイオードアレイ(受光素子)
34 充放電回路
100 誘電体基板
110 信号伝送線路
111〜113 導体パターン
132 ランド
A Semiconductor relay module 1 Semiconductor switch 4 LPF (low pass filter)
8 Translucent resin 11, 12 MOSFET
31 Light Emitting Diode (Light Emitting Element)
32 Control IC (Control element)
33 Photodiode array (light receiving element)
34 Charging / Discharging Circuit 100 Dielectric Substrate 110 Signal Transmission Line 111-113 Conductor Pattern 132 Land

Claims (5)

基板の表面に設けられた信号伝送線路の途中に設けられて、信号を通過又は遮断する半導体スイッチと、
入力信号に応じて光信号を発光する発光素子と、
前記発光素子からの光信号を受光する受光素子を有し当該受光素子の出力に応じて前記半導体スイッチのオン/オフを制御する制御素子と、
前記制御素子が備える前記受光素子および前記発光素子を光学的に結合させた状態で樹脂封止する透光性樹脂とを備え、
前記制御素子は、前記信号伝送線路から分岐させたランド上に配置され、
前記信号伝送線路と前記ランドとの間に低域通過フィルタが挿入されたことを特徴とする半導体リレーモジュール。
A semiconductor switch that is provided in the middle of the signal transmission line provided on the surface of the substrate and that passes or blocks the signal;
A light emitting element that emits an optical signal in response to an input signal;
A control element having a light receiving element for receiving an optical signal from the light emitting element and controlling on / off of the semiconductor switch in accordance with an output of the light receiving element;
A light-transmitting resin that is resin-sealed in a state in which the light-receiving element and the light-emitting element included in the control element are optically coupled, and
The control element is disposed on a land branched from the signal transmission line,
A semiconductor relay module, wherein a low-pass filter is inserted between the signal transmission line and the land.
前記半導体スイッチは、ソース電極同士が電気的に接続される一対のMOSFETからなり、
前記信号伝送線路は、各MOSFETが配置されて各MOSFETのドレイン電極にそれぞれ電気的に接続される第1及び第2の導体パターンと、第1及び第2の導体パターンの間に配置されて各MOSFETのソース電極が共通接続される第3の導体パターンとを有し、
前記制御素子は、前記第3の導体パターンから分岐された前記ランド上に配置されるとともに、出力電極が各MOSFETのゲート電極に金属細線を介して電気的に接続され、各MOSFETのゲート−ソース電極間に制御電圧を印加することで各MOSFETのドレイン−ソース電極間のインピーダンスを変化させており、
前記ランドと前記第3の導体パターンとの間に前記低域通過フィルタが挿入されたことを特徴とする請求項1記載の半導体リレーモジュール。
The semiconductor switch is composed of a pair of MOSFETs whose source electrodes are electrically connected to each other,
The signal transmission line is disposed between the first and second conductor patterns and the first and second conductor patterns in which each MOSFET is disposed and electrically connected to the drain electrode of each MOSFET, respectively. A third conductor pattern commonly connected to the source electrodes of the MOSFETs,
The control element is disposed on the land branched from the third conductor pattern, and an output electrode is electrically connected to a gate electrode of each MOSFET through a thin metal wire, and a gate-source of each MOSFET The impedance between the drain and source electrodes of each MOSFET is changed by applying a control voltage between the electrodes,
2. The semiconductor relay module according to claim 1, wherein the low-pass filter is inserted between the land and the third conductor pattern.
前記半導体スイッチは、ドレイン電極同士が電気的に接続される一対のMOSFETからなり、
前記信号伝送線路は、前記一対のMOSFETが信号の伝送方向に沿って配置され、各MOSFETのドレイン電極に電気的に接続される第1の導体パターンと、前記伝送方向において第1の導体パターンの両側にそれぞれ配置され、それぞれ対応するMOSFETのソース電極に電気的に接続される第2及び第3の導体パターンとを有し、
前記制御素子は、前記第2及び第3の導体パターンから分岐された前記ランド上に配置されるとともに、出力電極が各MOSFETのゲート電極に金属細線を介して電気的に接続され、各MOSFETのゲート−ソース電極間に制御電圧を印加することで各MOSFETのドレイン−ソース電極間のインピーダンスを変化させており、
第2及び第3の導体パターンと前記ランドとの間にそれぞれ前記低域通過フィルタが挿入されたことを特徴とする請求項1記載の半導体リレーモジュール。
The semiconductor switch comprises a pair of MOSFETs whose drain electrodes are electrically connected to each other,
The signal transmission line includes a first conductor pattern in which the pair of MOSFETs are arranged along a signal transmission direction and electrically connected to a drain electrode of each MOSFET, and a first conductor pattern in the transmission direction. Second and third conductor patterns respectively disposed on both sides and electrically connected to the corresponding source electrode of the MOSFET,
The control element is disposed on the land branched from the second and third conductor patterns, and the output electrode is electrically connected to the gate electrode of each MOSFET via a thin metal wire. The impedance between the drain and source electrodes of each MOSFET is changed by applying a control voltage between the gate and source electrodes,
2. The semiconductor relay module according to claim 1, wherein the low-pass filter is inserted between the second and third conductor patterns and the land.
前記基板の表面において前記各MOSFETの実装部位付近から前記制御素子の実装部位付近まで中継用の導体パターンが設けられ、各MOSFETのゲート電極および前記制御素子の出力電極がそれぞれ金属細線を介して中継用の導体パターンに接続されたことを特徴とする請求項2又は3の何れか1項に記載の半導体リレーモジュール。   On the surface of the substrate, a conductor pattern for relay is provided from the vicinity of the mounting portion of each MOSFET to the vicinity of the mounting portion of the control element, and the gate electrode of each MOSFET and the output electrode of the control element are respectively relayed through thin metal wires. 4. The semiconductor relay module according to claim 2, wherein the semiconductor relay module is connected to a conductor pattern. 前記中継用の導体パターンの途中に低域通過フィルタが挿入されたことを特徴とする請求項4記載の半導体リレーモジュール。   5. The semiconductor relay module according to claim 4, wherein a low-pass filter is inserted in the middle of the conductor pattern for relay.
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