JP2011002689A - Active matrix organic el panel - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an active matrix organic EL panel using an oxide, which has uniform optical effect in a pixel.SOLUTION: In one pixel P, at least a semiconductor layer 6 in an element forming area A1 where an active element 3 is formed, is formed of a transparent metal oxide, and a transparent metal oxide layer 16 is formed on the semiconductor layer 6 side of a non-element formation area A2 where no active element 3 is formed.

Description

この発明は、酸化物TFTを用いたアクティブマトリックス有機ELパネルに関するものである。   The present invention relates to an active matrix organic EL panel using an oxide TFT.

有機EL(Electro Luminescence)(OLED;Organic Light-Emitting Diode)パネルのうち、発光層の光取出し方向が下部基板側であるボトムエミッション(BE)構造のアクティブマトリックス(AM)駆動方式の有機ELパネルでは、アクティブ素子を動作させるために、一画素(各副画素)につき複数個のアクティブ素子の設定が必要であり、一画素内にアクティブ素子の占める割合が大きい。   Among organic EL (Electro Luminescence) (OLED: Organic Light-Emitting Diode) panels, active matrix (AM) driven organic EL panels with a bottom emission (BE) structure in which the light extraction direction of the light emitting layer is on the lower substrate side In order to operate the active elements, it is necessary to set a plurality of active elements per pixel (each sub-pixel), and the proportion of the active elements in one pixel is large.

また、半導体層は不透明であり、ボトムエミッション構造では、アクティブ素子の存在しない領域しか発光画素にならないため、開口率が低い。   In addition, the semiconductor layer is opaque, and the bottom emission structure has a low aperture ratio because only a region where no active element exists is a light emitting pixel.

そこで、特許文献1には、薄膜トランジスタ(TFT;Thin Film Transistor)と、該薄膜トランジスタと電気的接点を有するソース配線やゲート配線等からなる駆動回路とを透明な金属酸化物(ITO;Indium-Tin-Oxide:インジウム酸化スズ)で形成することにより、開口率を高めるようにしたアクティブマトリックス有機ELパネルが開示されている。   Therefore, Patent Document 1 discloses a thin film transistor (TFT) and a driving circuit including a source wiring and a gate wiring having an electrical contact with the thin film transistor as a transparent metal oxide (ITO; Indium-Tin-). An active matrix organic EL panel in which the aperture ratio is increased by being formed of Oxide (indium tin oxide) is disclosed.

特開2004−14982号公報(段落0043欄、図4)JP 2004-14982 A (paragraph 0043 column, FIG. 4)

しかし、上記の特許文献1では、開口率を高めることができるものの、一画素内において、アクティブ素子が形成されている素子形成領域は、透明な金属酸化物で形成され、一方、平坦化層(層間絶縁膜)等、アクティブ素子が形成されていない非素子形成領域は、ポリメチルメタクリレート(PMMA)からなる透明な樹脂材で形成されていて、両領域では発光層から発した光が透過する構成が異なるため、光学効果の影響によってスペクトルが異なってしまう。そのため、実際に観察される光は、複数のスペクトルの混合スペクトルであり、色純度の低下を招く。   However, in Patent Document 1 described above, although the aperture ratio can be increased, an element formation region in which an active element is formed in one pixel is formed of a transparent metal oxide, while a planarization layer ( A non-element formation region where no active element is formed, such as an interlayer insulating film, is formed of a transparent resin material made of polymethyl methacrylate (PMMA), and light emitted from the light emitting layer is transmitted through both regions. Therefore, the spectrum differs due to the influence of the optical effect. Therefore, the light actually observed is a mixed spectrum of a plurality of spectra, which causes a decrease in color purity.

図8はアクティブマトリックス有機ELパネルの断面構成を示し、図中、A1は素子形成領域、A2は非素子形成領域、B1は上記素子形成領域A1を透過する光、B2は上記非素子形成領域A2を透過する光である。101は透明なベース板であるガラス基板、102はアクティブ素子、103はゲート絶縁膜、104は平坦化層(層間絶縁膜)、105は透明電極(画素電極)、106は有機EL層、107は上部電極である。   FIG. 8 shows a cross-sectional configuration of the active matrix organic EL panel, in which A1 is an element formation region, A2 is a non-element formation region, B1 is light transmitted through the element formation region A1, and B2 is a non-element formation region A2. It is the light that passes through. 101 is a glass substrate which is a transparent base plate, 102 is an active element, 103 is a gate insulating film, 104 is a planarization layer (interlayer insulating film), 105 is a transparent electrode (pixel electrode), 106 is an organic EL layer, 107 is Upper electrode.

この発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、画素内において光学効果の均一化を図るようにしたことである。   The present invention has been made in view of such a point, and an object of the invention is to make the optical effect uniform in the pixel.

上記の目的を達成するため、この発明は、上記特許文献1において、アクティブ素子が形成されていない非素子形成領域に透明な金属酸化物からなる層を介在させたことを特徴とする。   In order to achieve the above object, the present invention is characterized in that, in Patent Document 1, a layer made of a transparent metal oxide is interposed in a non-element forming region where no active element is formed.

具体的には、この発明は、透明なベース板上にアクティブ素子が形成されたトランジスタ基板と、該トランジスタ基板に積層された有機EL層とを備え、該有機EL層に上記アクティブ素子の動作により電圧を印加して上記ベース基板側から光を取り出すボトムエミッション構造のアクティブマトリックス有機ELパネルを対象とし、次のような解決手段を講じた。   Specifically, the present invention includes a transistor substrate in which an active element is formed on a transparent base plate, and an organic EL layer stacked on the transistor substrate, and the organic EL layer is operated by the operation of the active element. The following solution was taken for an active matrix organic EL panel having a bottom emission structure in which voltage is applied to extract light from the base substrate side.

すなわち、第1の発明は、一画素内において、上記アクティブ素子が形成されている素子形成領域の少なくとも半導体層は、透明な金属酸化物で形成され、上記アクティブ素子が形成されていない非素子形成領域の上記半導体層側方には、透明な金属酸化物層が形成されていることを特徴とする。   That is, in the first invention, in one pixel, at least a semiconductor layer in an element formation region where the active element is formed is formed of a transparent metal oxide, and a non-element formation in which the active element is not formed A transparent metal oxide layer is formed on the side of the semiconductor layer in the region.

第2の発明は、第1の発明において、上記ベース基板とアクティブ素子及び金属酸化物層との間には、カラーフィルタ層が介在されていることを特徴とする。   According to a second invention, in the first invention, a color filter layer is interposed between the base substrate, the active element, and the metal oxide layer.

第3の発明は、第1の発明において、上記半導体層の可視光領域における平均透過率が70%以上であることを特徴とすることを特徴とする。   According to a third aspect, in the first aspect, the average transmittance in the visible light region of the semiconductor layer is 70% or more.

第4の発明は、第1の発明において、上記一画素は、少なくとも3つの副画素からなり、上記カラーフィルタ層は、上記副画素に合わせて少なくとも3つに区画されて該副画素毎に異なる吸収特性を有し、上記有機EL層は、上記カラーフィルタ層と重なる副画素の吸収特性に合わせるように上記副画素毎に異なる発光波長を発光させることを特徴とする。   In a fourth aspect based on the first aspect, the one pixel is composed of at least three sub-pixels, and the color filter layer is divided into at least three in accordance with the sub-pixels, and is different for each sub-pixel. The organic EL layer has an absorption characteristic, and emits light having a different emission wavelength for each sub-pixel so as to match the absorption characteristic of the sub-pixel overlapping the color filter layer.

第5の発明は、第1の発明において、上記一画素は、少なくとも3つの副画素からなり、上記カラーフィルタ層は、上記副画素に合わせて少なくとも3つに区画化されて該副画素毎に異なる吸収特性を有し、上記有機EL層は、少なくとも2つの発光ピークを備えた白色発光素子であることを特徴とする。   In a fifth aspect based on the first aspect, the one pixel includes at least three subpixels, and the color filter layer is partitioned into at least three according to the subpixels. The organic EL layer having different absorption characteristics is a white light-emitting element having at least two emission peaks.

第6の発明は、第1の発明において、上記アクティブ素子と電気的接点を有する駆動回路の画素内に位置する部分は、透明に形成されていることを特徴とする。   According to a sixth invention, in the first invention, a portion located in a pixel of the driving circuit having an electrical contact with the active element is formed to be transparent.

第1の発明によれば、有機EL層の発光層から発する光は、素子形成領域では透明な金属酸化物からなる半導体層を透過し、一方、非素子形成領域では上記半導体層側方の透明な金属酸化物層を透過する。   According to the first invention, the light emitted from the light emitting layer of the organic EL layer is transmitted through the semiconductor layer made of a transparent metal oxide in the element forming region, while being transparent on the side of the semiconductor layer in the non-element forming region. A transparent metal oxide layer.

このように、素子形成領域及び非素子形成領域を透過する光は共に、透明な金属酸化物からなる層を通して観察されるので、光が半導体層を透過して取り出されるか否かにかかわらず発光スペクトルの違いがほとんどなく、混色のない発光素子とすることができて色純度が向上するというメリットを有する。   As described above, since the light transmitted through the element formation region and the non-element formation region are both observed through the transparent metal oxide layer, the light is emitted regardless of whether the light is extracted through the semiconductor layer. There is almost no difference in spectrum, and a light-emitting element having no color mixture can be obtained, which has an advantage that color purity is improved.

特に、第2の発明によれば、金属酸化物材料は蒸着もしくはスパッタするだけで10〜20cm/Vmの電子移動度を有する膜が形成できるので、高温の加熱処理が不要でカラーフィルタ層上にも問題なく成膜することができ、大型パネル化しても有機ELを駆動させることができる。 In particular, according to the second invention, since the metal oxide material can form a film having an electron mobility of 10 to 20 cm / Vm 2 only by vapor deposition or sputtering, a high-temperature heat treatment is unnecessary and the film is formed on the color filter layer. In addition, the film can be formed without any problem, and the organic EL can be driven even when a large panel is formed.

つまり、有機ELは電流素子であるため、駆動させるためには、大電流を流すだけの電子移動度を有するアクティブ素子を作製する必要であり、このことはパネルが大型化するほど顕著になる。そのため、電子移動度を単結晶並みに高速化できるポリシリコンや連続粒界結晶シリコン(CGS;Continuous Grain Silicon)等が半導体層として用いられているが、電子移動度の高速化を図るためにポリシリコンやCGS等を半導体層として用いる場合には、Si結晶体を作製するのにレーザーアリールを初めとする加熱処理が必要であるため、樹脂で形成されるカラーフィルタ層の上にこれらのアクティブ素子を形成するのは困難である。本発明では、上述の如く半導体層が金属酸化物であるため、このような制約はない。   In other words, since the organic EL is a current element, it is necessary to produce an active element having an electron mobility sufficient to flow a large current in order to drive it. This becomes more significant as the panel becomes larger. For this reason, polysilicon and continuous grain silicon (CGS) that can increase the electron mobility as high as a single crystal are used as a semiconductor layer. However, in order to increase the electron mobility, polysilicon is used. When silicon, CGS, or the like is used as a semiconductor layer, a heat treatment such as laser aryl is required to produce a Si crystal, so that these active elements are formed on the color filter layer formed of resin. Is difficult to form. In the present invention, since the semiconductor layer is a metal oxide as described above, there is no such limitation.

また、有機ELでは、アクティブ素子の膜厚が光学干渉による影響を強く受けて視野角によって発光色が変化するが、カラーフィルタ層を用いて色度を調整することで、視野角依存性のないパネルとすることができる。   In organic EL, the thickness of the active element is strongly influenced by optical interference, and the emission color changes depending on the viewing angle. However, by adjusting the chromaticity using the color filter layer, there is no viewing angle dependency. Can be a panel.

さらに、上述の如く素子形成領域及び非素子形成領域を透過する光は、発光スペクトルの違いがほとんどないため、カラーフィルタ層を通過する光量が増加して発光効率が向上するというメリットを有する。   Furthermore, as described above, the light transmitted through the element formation region and the non-element formation region has almost no difference in emission spectrum, and thus has the advantage that the amount of light passing through the color filter layer is increased and the light emission efficiency is improved.

第3の発明によれば、半導体層の可視光領域における平均透過率が70%以上であることにより、光学干渉効果が抑えられ、発光材料そのものの発光色を画素内で均一に取り出すことができる。また、スペクトルの角度依存性を抑えることができる。   According to the third invention, when the average transmittance in the visible light region of the semiconductor layer is 70% or more, the optical interference effect can be suppressed, and the luminescent color of the luminescent material itself can be extracted uniformly within the pixel. . Moreover, the angular dependence of the spectrum can be suppressed.

第4の発明によれば、有機EL層をRGB塗り分けし、かつカラーフィルタ層と色合わせすることで、発光効率を低下させることなくカラー表示させることができる。また、カラーフィルタ層を透過させることによって、色純度を向上させたり、色純度の視野角依存性を低減させることができる。   According to the fourth aspect of the invention, the organic EL layer is color-separated with RGB and color-matched with the color filter layer, so that color display can be performed without reducing the light emission efficiency. Further, by passing through the color filter layer, the color purity can be improved and the viewing angle dependency of the color purity can be reduced.

第5の発明によれば、有機EL層が2つの発光ピークを備えた白色発光素子であっても、発光効率を低下させることなくカラー表示させることができる。   According to the fifth aspect of the invention, even if the organic EL layer is a white light emitting element having two light emission peaks, color display can be performed without reducing the light emission efficiency.

第6の発明によれば、駆動回路の配線部分の画素部分への引き回し領域を透明な金属酸化物に変えることで、画素の開口率を上げ輝度を高めることができる。   According to the sixth invention, the aperture ratio of the pixel can be increased and the luminance can be increased by changing the wiring region of the wiring portion of the drive circuit to the pixel portion to the transparent metal oxide.

実施形態1に係るアクティブマトリックス有機ELパネルの断面構成図である。1 is a cross-sectional configuration diagram of an active matrix organic EL panel according to Embodiment 1. FIG. 実施形態1における副画素の平面図である。FIG. 3 is a plan view of subpixels in the first embodiment. 実施形態1におけるアクティブ素子の等価回路図である。FIG. 3 is an equivalent circuit diagram of an active element in the first embodiment. 実施形態2の図1相当図である。FIG. 3 is a diagram corresponding to FIG. 実施形態3の図2相当図である。FIG. 6 is a view corresponding to FIG. 2 of the third embodiment. 実施形態3において画素電極を取り除いた状態の平面図である。FIG. 10 is a plan view of a state where pixel electrodes are removed in the third embodiment. 図6のVII −VII 線における断面図である。It is sectional drawing in the VII-VII line of FIG. 従来例の図1相当図である。It is a figure equivalent to FIG. 1 of a conventional example.

以下、この発明の実施形態について図面に基づいて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(実施形態1)
図1は実施形態1に係るアクティブマトリックス有機ELパネルの断面構成図を示す。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a cross-sectional configuration diagram of an active matrix organic EL panel according to the first embodiment.

図1において、1は透明なベース板であるガラス基板であり、該ガラス基板1上には、レッド(R)、グリーン(G)、ブルー(B)の3原色の色層からなるカラーフィルタ(CF:Color Filter)層2が形成され、その上にアクティブ素子3が形成されている。該アクティブ素子3は、上記カラーフィルタ層2上に形成されゲート絶縁膜4で覆われたゲート電極5、上記ゲート絶縁膜4上に形成されたスイッチング素子としての薄膜トランジスタ(TFT:Thin Film Transistor)からなる半導体層6、該半導体層6の両側に形成されたソース電極7及びドレイン電極8、該ソース電極7及びドレイン電極8間に位置して上記半導体層6を覆うチャネル保護膜9からなり、これらはスルーホール10aを有する平坦化層(層間絶縁膜)10で覆われ、これらによりトランジスタ基板11が構成されている。該トランジスタ基板11の平坦化層10上には、ITO(Indium-Tin-Oxide:インジウム酸化スズ)からなる透明電極(画素電極)12が積層され、上記アクティブ素子3のドレイン電極8との間でスルーホール10aを介してコンタクトを取るようにしている。上記透明電極12上には白色発光層を有する有機EL層13が積層され、さらにその上に上部電極14が積層されている。つまり、実施形態1では、発光層を全画素白色発光材料で構成している。これにより、上記有機EL層13に上記アクティブ素子3の動作により電圧を印加して上記ガラス基板1側から光を取り出すボトムエミッション構造のアクティブマトリックス有機ELパネルが構成されている。   In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a glass substrate which is a transparent base plate. On the glass substrate 1, a color filter comprising three primary color layers (red (R), green (G) and blue (B)) ( A CF (Color Filter) layer 2 is formed, and an active element 3 is formed thereon. The active element 3 includes a gate electrode 5 formed on the color filter layer 2 and covered with a gate insulating film 4, and a thin film transistor (TFT) as a switching element formed on the gate insulating film 4. A semiconductor layer 6, a source electrode 7 and a drain electrode 8 formed on both sides of the semiconductor layer 6, a channel protective film 9 located between the source electrode 7 and the drain electrode 8 and covering the semiconductor layer 6. Is covered with a planarizing layer (interlayer insulating film) 10 having a through hole 10a, which constitutes a transistor substrate 11. On the planarizing layer 10 of the transistor substrate 11, a transparent electrode (pixel electrode) 12 made of ITO (Indium-Tin-Oxide) is laminated, and between the drain electrode 8 of the active element 3. Contact is made through the through hole 10a. An organic EL layer 13 having a white light emitting layer is laminated on the transparent electrode 12, and an upper electrode 14 is further laminated thereon. That is, in the first embodiment, the light emitting layer is made of the all-pixel white light emitting material. Thereby, an active matrix organic EL panel having a bottom emission structure in which a voltage is applied to the organic EL layer 13 by the operation of the active element 3 to extract light from the glass substrate 1 side is configured.

上記透明電極12は、3つに区画された副画素p1,p2,p3を一単位とする画素Pがマトリックス状に多数配列されてなり、上記カラーフィルタ層2の画素サイズに合わせた大きさにパターニングされている。つまり、上記カラーフィルタ層2の各色層は、ブラックマトリクス(BM)層15でコントラストを得るために縁取られ、該カラーフィルタ層2は、上記副画素p1,p2,p3に合わせて3つに区画化されて該副画素p1,p2,p3毎に異なる吸収特性を有している。   The transparent electrode 12 includes a large number of pixels P, each of which is divided into three subpixels p1, p2, and p3, arranged in a matrix, and has a size that matches the pixel size of the color filter layer 2. Patterned. That is, each color layer of the color filter layer 2 is bordered in order to obtain contrast in the black matrix (BM) layer 15, and the color filter layer 2 is divided into three in accordance with the sub-pixels p1, p2, and p3. So that the subpixels p1, p2, and p3 have different absorption characteristics.

一画素P内において、上記アクティブ素子3が形成されている素子形成領域A1の少なくともの半導体層6は、インジウムスズ酸化物(ITO)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化錫(SnO)等の透明な金属酸化物で形成され、上記アクティブ素子3が形成されていない非素子形成領域A2の上記半導体層6側方には、透明な金属酸化物層16が形成されている。これにより、上記ガラス基板1とアクティブ素子3及び金属酸化物層16との間には、上記カラーフィルタ層2が介在されている。 In one pixel P, at least the semiconductor layer 6 in the element formation region A1 where the active element 3 is formed is composed of indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), zinc oxide (ZnO), oxide A transparent metal oxide layer 16 is formed on the side of the semiconductor layer 6 in the non-element formation region A2 which is formed of a transparent metal oxide such as tin (SnO 2 ) and in which the active element 3 is not formed. ing. Thus, the color filter layer 2 is interposed between the glass substrate 1 and the active element 3 and the metal oxide layer 16.

ここで、上記アクティブ素子3を形成する半導体層(金属酸化物)6の可視光領域(400〜780nmの波長)における平均透過率は、70%以上である。   Here, the average transmittance in the visible light region (wavelength of 400 to 780 nm) of the semiconductor layer (metal oxide) 6 forming the active element 3 is 70% or more.

したがって、上記透明な金属酸化物は、透明電極12(画素P内)のほぼ全体に亘る広い領域に形成されている。   Therefore, the transparent metal oxide is formed in a wide area over almost the entire transparent electrode 12 (in the pixel P).

図2は実施形態1における副画素p1(p2,p3)の平面図であり、図中、17はデータ(ソース)線、18は走査(ゲート)線、19は電流供給線、Cはキャパシタであり、他の符号は図1の説明で用いた符号に対応している。   FIG. 2 is a plan view of the sub-pixel p1 (p2, p3) in the first embodiment, in which 17 is a data (source) line, 18 is a scanning (gate) line, 19 is a current supply line, and C is a capacitor. Yes, the other symbols correspond to the symbols used in the description of FIG.

図3は実施形態1におけるアクティブ素子3の等価回路の一例であり、図中、T1はスイッチング用TFT、T2は駆動用TFT、Cはキャパイタ、Oは有機EL素子である。ここでは、2トランジスタ(2Tr)+1コンデンサ(1C):2Tr1C構造の最小単位を例示しているが、この例に限らず、有機EL素子の動作均一性、アクティブ素子3自体の均一性を向上させるため、補償回路等を備えた複雑な回路構造としてもよい。この場合でも、上記透明な金属酸化物は、アクティブ素子3として用いる以外の領域にも成膜する。   FIG. 3 shows an example of an equivalent circuit of the active element 3 according to the first embodiment. In the figure, T1 is a switching TFT, T2 is a driving TFT, C is a capita, and O is an organic EL element. Here, the minimum unit of the structure of 2 transistors (2Tr) +1 capacitor (1C): 2Tr1C is illustrated, but not limited to this example, the operation uniformity of the organic EL element and the uniformity of the active element 3 itself are improved. Therefore, a complicated circuit structure including a compensation circuit may be used. Even in this case, the transparent metal oxide is formed in a region other than that used as the active element 3.

このように構成されたアクティブマトリックス有機ELパネルでは、有機EL層13の発光層から発する光は、素子形成領域A1では透明な金属酸化物からなる半導体層6を透過し、一方、非素子形成領域A2では上記半導体層6側方の透明な金属酸化物層16を透過する。   In the active matrix organic EL panel configured as described above, the light emitted from the light emitting layer of the organic EL layer 13 is transmitted through the semiconductor layer 6 made of a transparent metal oxide in the element formation region A1, while the non-element formation region. In A2, the transparent metal oxide layer 16 on the side of the semiconductor layer 6 is transmitted.

このように、素子形成領域A1及び非素子形成領域A2を透過する光は共に、透明な金属酸化物からなる層を通して観察されるので、光が半導体層6を透過して取り出されるか否かにかかわらず発光スペクトルの違いがほとんどなく、混色のない発光素子とすることができて色純度が向上するというメリットを有する。   As described above, since light transmitted through the element formation region A1 and the non-element formation region A2 is observed through the layer made of a transparent metal oxide, whether or not the light is transmitted through the semiconductor layer 6 and extracted. Regardless of this, there is almost no difference in emission spectrum, and there can be obtained a light-emitting element having no color mixture, which has the advantage that the color purity is improved.

また、金属酸化物材料は蒸着もしくはスパッタするだけで10〜20cm/Vmの電子移動度を有する膜が形成できるので、高温の加熱処理が不要でカラーフィルタ層上にも問題なく成膜することができ、大型パネル化しても有機ELを駆動させることができる。 In addition, since a film having an electron mobility of 10 to 20 cm / Vm 2 can be formed only by vapor deposition or sputtering, the metal oxide material can be formed on the color filter layer without any high temperature heat treatment. The organic EL can be driven even when a large panel is formed.

つまり、有機ELは電流素子であるため、駆動させるためには、大電流を流すだけの電子移動度を有するアクティブ素子3を作製する必要であり、このことはパネルが大型化するほど顕著になる。そのため、電子移動度を単結晶並みに高速化できるポリシリコンや連続粒界結晶シリコン(Continuous Grain Silicon;CGS)等が半導体層として用いられているが、電子移動度の高速化を図るためにポリシリコンやCGS等を半導体層6として用いる場合には、Si結晶体を作製するのにレーザーアリールを初めとする加熱処理が必要であるため、樹脂で形成されるカラーフィルタ層2の上にこれらのアクティブ素子3を形成するのは困難である。本発明では、上述の如く半導体層6が金属酸化物であるため、このような制約はない。   In other words, since the organic EL is a current element, in order to drive it, it is necessary to produce the active element 3 having an electron mobility that allows a large current to flow. This becomes more prominent as the panel becomes larger. . For this reason, polysilicon or continuous grain silicon (CGS) that can increase the electron mobility as high as that of a single crystal is used as a semiconductor layer. However, in order to increase the electron mobility, poly-silicon is used. When silicon, CGS, or the like is used as the semiconductor layer 6, a heat treatment such as laser aryl is required to produce the Si crystal, and therefore, these are formed on the color filter layer 2 formed of resin. It is difficult to form the active element 3. In the present invention, since the semiconductor layer 6 is a metal oxide as described above, there is no such limitation.

また、有機ELでは、アクティブ素子3の膜厚が光学干渉による影響を強く受けて視野角によって発光色が変化するが、カラーフィルタ層2を用いて色度を調整することで、視野角依存性のないパネルとすることができる。   In the organic EL, the film thickness of the active element 3 is strongly influenced by optical interference, and the emission color changes depending on the viewing angle. However, by adjusting the chromaticity by using the color filter layer 2, the viewing angle dependence is improved. It can be a panel without.

さらに、上述の如く素子形成領域A1及び非素子形成領域A2を透過する光B1,B2は、発光スペクトルの違いがほとんどないため、カラーフィルタ層2を通過する光量が増加して発光効率が向上するというメリットを有する。   Further, as described above, the lights B1 and B2 that pass through the element formation region A1 and the non-element formation region A2 have almost no difference in emission spectrum, so that the amount of light passing through the color filter layer 2 is increased and the light emission efficiency is improved. It has the merit that.

さらにまた、半導体層6の可視光領域における平均透過率が70%以上であることにより、光学干渉効果が抑えられ、発光材料そのものの発光色を画素P(副画素p1p2,p3)内で均一に取り出すことができる。また、スペクトルの角度依存性を抑えることができる。   Furthermore, since the average transmittance in the visible light region of the semiconductor layer 6 is 70% or more, the optical interference effect is suppressed, and the luminescent color of the luminescent material itself is made uniform within the pixel P (subpixels p1p2, p3). It can be taken out. Moreover, the angular dependence of the spectrum can be suppressed.

加えて、白色発光を用いることで、有機EL層13を塗り分けることなく全面塗布で成膜することで素子が完成し、カラーフィルタ層2と組み合わせることでカラー表示が可能であり、プロセス的に簡便にカラー表示素子を形成することが可能になる。   In addition, by using white light emission, the element is completed by forming the organic EL layer 13 by coating without coating the organic EL layer 13, and color display is possible by combining with the color filter layer 2 in terms of process. A color display element can be easily formed.

(実施形態2)
図4は実施形態2に係るアクティブマトリックス有機ELパネルの断面構成である。実施形態1との違いは、発光層を実施形態1では全画素白色発光材料を適用したが、実施形態2ではRGB塗り分けを行っていることを特徴としている。そのほかは実施形態1と同様であるので、同一構成箇所には同一の符号を付してその説明を省略している。
(Embodiment 2)
FIG. 4 is a cross-sectional configuration of an active matrix organic EL panel according to the second embodiment. The difference from the first embodiment is that the white light emitting material for all pixels is applied in the first embodiment to the light emitting layer, but in the second embodiment, RGB is separately applied. The other parts are the same as those in the first embodiment, and therefore, the same components are denoted by the same reference numerals and the description thereof is omitted.

つまり、実施形態1の白色+CFによるカラー表示方式では、各画素P(副画素p1p2,p3)の発光が全て白色であることから、CFによってほぼ3分の1の発光量がカットされることになり、発光効率の大幅な低下が起こる。   That is, in the color display method using white + CF according to the first embodiment, the light emission of each pixel P (sub-pixels p1p2, p3) is all white, so that approximately one third of the light emission amount is cut by the CF. As a result, the luminous efficiency is greatly reduced.

そこで、上述の如くRGB画素P(副画素p1p2,p3)を塗り分けし、各画素P(副画素p1p2,p3)の発光色と各画素P(副画素p1p2,p3)のカラーフィルタ層2の吸収色を合わせることで、各画素P(副画素p1p2,p3)の発光はほぼカラーフィルタ層2を通過し、発光効率を低下させることなくカラー表示させることができる。   Therefore, the RGB pixels P (sub-pixels p1p2, p3) are separately applied as described above, and the light emission color of each pixel P (sub-pixel p1p2, p3) and the color filter layer 2 of each pixel P (sub-pixel p1p2, p3). By matching the absorption colors, the light emission of each pixel P (sub-pixels p1p2, p3) almost passes through the color filter layer 2 and can be displayed in color without reducing the light emission efficiency.

また、有機ELの発光は有機材料の揺らぎによって発光色がブロード化するので、カラーフィルタ層2を透過させることによって色純度を向上させることができる。さらには、色純度の視野角依存性を低下させることができる。その他の効果については実施形態1と同様である。   Further, since the emission color of the organic EL light is broadened by the fluctuation of the organic material, the color purity can be improved by transmitting the color filter layer 2. Furthermore, the viewing angle dependence of color purity can be reduced. Other effects are the same as those of the first embodiment.

なお、有機EL層13を、少なくとも2つの発光ピークを備えた白色発光素子としてもよい。つまり、有機EL層13が2つの発光ピークを備えた白色発光素子であっても、発光効率を低下させることなくカラー表示させることができる。   The organic EL layer 13 may be a white light emitting element having at least two light emission peaks. That is, even if the organic EL layer 13 is a white light emitting element having two light emission peaks, color display can be performed without reducing the light emission efficiency.

(実施形態3)
図5〜図7は実施形態3におけるアクティブ素子3の等価回路図であり、基本構成は実施形態1と同様であるので、同一構成箇所には同一の符号を付してその説明を省略している。また、図示しないが、アクティブマトリックス有機ELパネルの断面構成も実施形態1,2と同様である。実施形態1との違いは以下の如くである。
(Embodiment 3)
5 to 7 are equivalent circuit diagrams of the active element 3 according to the third embodiment. Since the basic configuration is the same as that of the first embodiment, the same components are denoted by the same reference numerals and the description thereof is omitted. Yes. Although not shown, the cross-sectional configuration of the active matrix organic EL panel is the same as in the first and second embodiments. Differences from the first embodiment are as follows.

つまり、この実施形態3では、アクティブ素子3と電気的接点を有する駆動回路(データ(ソース)線17、走査(ゲート)線18、電流供給線19)の画素P(副画素p1p2,p3)内に位置する部分をも、ITO等の透明な金属酸化物で透明に形成することで、画素P(副画素p1p2,p3)内の開口部を更に増やしている。配線電極のうち、画素にかからない部分については、Al等の金属を用いる。各図において、点々を付した領域が実施形態3の最大の特徴とする画素P(副画素p1p2,p3)内の透明部分である。図7中、一点鎖線の右側が画素P(副画素p1p2,p3)領域である。   That is, in the third embodiment, in the pixel P (sub-pixels p1p2, p3) of the drive circuit (data (source) line 17, scanning (gate) line 18, current supply line 19) having electrical contacts with the active element 3. The portion located at is also made transparent with a transparent metal oxide such as ITO, thereby further increasing the opening in the pixel P (sub-pixels p1p2, p3). A metal such as Al is used for a portion of the wiring electrode that does not cover the pixel. In each drawing, a dotted area is a transparent portion in the pixel P (subpixels p1p2, p3) which is the most characteristic of the third embodiment. In FIG. 7, the right side of the alternate long and short dash line is a pixel P (subpixel p1p2, p3) region.

したがって、画素P(副画素p1p2,p3)内の全ての電極をITOとすることで、これまで僅かに残っていた配線抵抗の画素内への引き回しによる開口率の低下をなくし、開口率のさらなる向上を実現して輝度を高めることができる。その他の効果については実施形態1と同様である。   Therefore, by making all the electrodes in the pixel P (sub-pixels p1p2, p3) ITO, a decrease in the aperture ratio due to the routing of the wiring resistance that has been left slightly into the pixel is eliminated, and the aperture ratio is further increased. Improvement can be realized and luminance can be increased. Other effects are the same as those of the first embodiment.

この発明は、酸化物TFTを用いたアクティブマトリックス有機ELパネルについて有用である。   The present invention is useful for an active matrix organic EL panel using an oxide TFT.

1 ガラス基板(ベース板)
2 カラーフィルタ層
3 アクティブ素子
11 トランジスタ基板
13 有機EL層
16 金属酸化物層
17 データ(ソース)線(駆動回路)
18 走査(ゲート)線(駆動回路)
19 電流供給線(駆動回路)
A1 素子形成領域
A2 非素子形成領域
P 画素
p1,p2,p3 副画素
1 Glass substrate (base plate)
2 Color filter layer 3 Active element 11 Transistor substrate 13 Organic EL layer 16 Metal oxide layer 17 Data (source) line (drive circuit)
18 Scanning (Gate) Line (Drive Circuit)
19 Current supply line (drive circuit)
A1 Element formation region A2 Non-element formation region P Pixel p1, p2, p3 Subpixel

Claims (6)

透明なベース板上にアクティブ素子が形成されたトランジスタ基板と、該トランジスタ基板のアクティブ素子側に積層された有機EL層とを備え、該有機EL層に上記アクティブ素子の動作により電圧を印加して上記ベース基板側から光を取り出すボトムエミッション構造のアクティブマトリックス有機ELパネルであって、
上記アクティブ素子の半導体層は、透明な金属酸化物で形成され、
一画素内において、上記アクティブ素子が形成されている素子形成領域の少なくとも半導体層は、透明な金属酸化物で形成され、上記アクティブ素子が形成されていない非素子形成領域の上記半導体層側方には、透明な金属酸化物層が形成されていることを特徴とするアクティブマトリックス有機ELパネル。
A transistor substrate having an active element formed on a transparent base plate and an organic EL layer laminated on the active element side of the transistor substrate, and applying a voltage to the organic EL layer by the operation of the active element An active matrix organic EL panel having a bottom emission structure for extracting light from the base substrate side,
The semiconductor layer of the active element is formed of a transparent metal oxide,
In one pixel, at least the semiconductor layer in the element formation region where the active element is formed is formed of a transparent metal oxide, and is located on the side of the semiconductor layer in the non-element formation region where the active element is not formed. Is an active matrix organic EL panel in which a transparent metal oxide layer is formed.
請求項1に記載のアクティブマトリックス有機ELパネルにおいて、
上記ベース基板とアクティブ素子及び金属酸化物層との間には、カラーフィルタ層が介在されていることを特徴とするアクティブマトリックス有機ELパネル。
The active matrix organic EL panel according to claim 1,
An active matrix organic EL panel, wherein a color filter layer is interposed between the base substrate, the active element, and the metal oxide layer.
請求項1に記載のアクティブマトリックス有機ELパネルにおいて、
上記半導体層の可視光領域における平均透過率が70%以上であることを特徴とすることを特徴とするアクティブマトリックス有機ELパネル。
The active matrix organic EL panel according to claim 1,
An active matrix organic EL panel, wherein the semiconductor layer has an average transmittance of 70% or more in a visible light region.
請求項1に記載のアクティブマトリックス有機ELパネルにおいて、
上記一画素は、少なくとも3つの副画素からなり、
上記カラーフィルタ層は、上記副画素に合わせて少なくとも3つに区画されて該副画素毎に異なる吸収特性を有し、
上記有機EL層は、上記カラーフィルタ層と重なる副画素の吸収特性に合わせるように上記副画素毎に異なる発光波長を発光させることを特徴とするアクティブマトリックス有機ELパネル。
The active matrix organic EL panel according to claim 1,
The one pixel is composed of at least three subpixels,
The color filter layer is divided into at least three according to the sub-pixel and has different absorption characteristics for each sub-pixel,
2. The active matrix organic EL panel according to claim 1, wherein the organic EL layer emits a different emission wavelength for each of the sub-pixels so as to match the absorption characteristics of the sub-pixel overlapping the color filter layer.
請求項1に記載のアクティブマトリックス有機ELパネルにおいて、
上記一画素は、少なくとも3つの副画素からなり、
上記カラーフィルタ層は、上記副画素に合わせて少なくとも3つに区画化されて該副画素毎に異なる吸収特性を有し、
上記有機EL層は、少なくとも2つの発光ピークを備えた白色発光素子であることを特徴とするアクティブマトリックス有機ELパネル。
The active matrix organic EL panel according to claim 1,
The one pixel is composed of at least three subpixels,
The color filter layer is divided into at least three according to the sub-pixel and has different absorption characteristics for each sub-pixel,
2. The active matrix organic EL panel according to claim 1, wherein the organic EL layer is a white light emitting element having at least two light emission peaks.
請求項1に記載のアクティブマトリックス有機ELパネルにおいて、
上記アクティブ素子と電気的接点を有する駆動回路の画素内に位置する部分は、透明に形成されていることを特徴とするアクティブマトリックス有機ELパネル。
The active matrix organic EL panel according to claim 1,
An active matrix organic EL panel, wherein a portion of the driving circuit having an electrical contact with the active element is formed transparent.
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