JP2011002401A - Correction coefficient calculating method in luminance measuring apparatus, and luminance measuring apparatus - Google Patents

Correction coefficient calculating method in luminance measuring apparatus, and luminance measuring apparatus Download PDF

Info

Publication number
JP2011002401A
JP2011002401A JP2009147231A JP2009147231A JP2011002401A JP 2011002401 A JP2011002401 A JP 2011002401A JP 2009147231 A JP2009147231 A JP 2009147231A JP 2009147231 A JP2009147231 A JP 2009147231A JP 2011002401 A JP2011002401 A JP 2011002401A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pixel
sensitivity
correction coefficient
sensitivity ratio
imaging
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2009147231A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Minoru Akutsu
実 阿久津
Kazuaki Uehata
一晃 上畠
Yasushi Ichizawa
康史 市沢
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP2009147231A priority Critical patent/JP2011002401A/en
Publication of JP2011002401A publication Critical patent/JP2011002401A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To create precise correction data without using any expensive surface light source in a luminance measuring apparatus.SOLUTION: A correction coefficient calculating method in the luminance measuring apparatus having an imaging element equipped with a plurality of pixels is provided which includes: the step of photographing an object at a reference position; the step of photographing the object at a position shifted by at least one pixel from the reference position; the sensitivity ratio calculating step of calculating a sensitivity ratio of each pixel with respect to a prescribed reference pixel, based on a result of above photographing operations; and the sensitivity correction coefficient calculating step of calculating a sensitivity correction coefficient of each pixel, based on the sensitivity ratio.

Description

本発明は、輝度測定装置に係り、特に、輝度測定装置に備えられた撮像素子の感度特性補正技術に関する。   The present invention relates to a luminance measuring apparatus, and more particularly, to a sensitivity characteristic correction technique for an image sensor provided in the luminance measuring apparatus.

検査対象物の輝度を測定する輝度測定装置が知られている。図7は、従来の輝度測定装置の構成例を示すブロック図である。本図に示すように検査対象物700の輝度および輝度分布を測定する輝度測定装置600は、撮像装置610と制御装置620とを備えて構成される。なお、検査対象物700は、例えば、フラットパネルディスプレイ装置、平面光源等とすることができる。   A luminance measuring device for measuring the luminance of an inspection object is known. FIG. 7 is a block diagram illustrating a configuration example of a conventional luminance measuring apparatus. As shown in the figure, a luminance measuring device 600 that measures the luminance and luminance distribution of the inspection object 700 includes an imaging device 610 and a control device 620. The inspection object 700 can be, for example, a flat panel display device, a flat light source, or the like.

撮像装置610は、レンズ、絞り機構等を備えた光学系611と、CCD、CMOS等の撮像素子612と、露出、撮像タイミング等の撮像装置610における撮像処理を制御し、撮像した画像データを出力する撮像制御部613とを備えている。   The imaging device 610 controls imaging processing in the imaging device 610 such as an optical system 611 including a lens, a diaphragm mechanism, an imaging element 612 such as a CCD and a CMOS, and exposure and imaging timing, and outputs captured image data. An imaging control unit 613.

制御装置620は、画像データを入力する画像入力部621と、画像補正部622と、画像処理部623と、結果表示部624と、補正データ作成部625とを備えている。画像処理部623は、画像データに対して強調処理、2値化処理、特徴量計算処理や識別処理等の判定処理等を行ない、検査対象物の表示素子ごとの輝度および輝度分布を評価する。結果表示部624は、評価結果等を画像表示したり、ファイル出力したりする。   The control device 620 includes an image input unit 621 for inputting image data, an image correction unit 622, an image processing unit 623, a result display unit 624, and a correction data creation unit 625. The image processing unit 623 performs determination processing such as enhancement processing, binarization processing, feature amount calculation processing, and identification processing on the image data, and evaluates the luminance and luminance distribution of each display element of the inspection target. The result display unit 624 displays an evaluation result or the like as an image or outputs a file.

一般に、撮像装置610が出力する画像データは、光学系611の特性である周辺減光や、撮像素子612毎の感度特性のバラツキ等によって、検査対象物の真の輝度分布ではなく、輝度ムラを含んでいる。画像補正部622は、この輝度ムラを補正して検査対象物の真の輝度分布を示す画像にする補正を行なう。この補正は、補正データ作成部625が作成する補正データを用いて行なう。   In general, the image data output from the imaging device 610 is not the true luminance distribution of the inspection object but the luminance unevenness due to the peripheral dimming that is the characteristic of the optical system 611 and the variation in the sensitivity characteristic of each imaging element 612. Contains. The image correction unit 622 corrects the luminance unevenness to make an image showing the true luminance distribution of the inspection object. This correction is performed using correction data created by the correction data creation unit 625.

補正データの作成は、以下のように行なうことができる。すなわち、一様な輝度分布を持つ基準面光源を用意し、撮像装置610で基準面光源を撮像する。この画像データの輝度分布は、撮像装置610の特性に基づくため、撮像素子612の各画素の輝度値の逆数を算出して、補正データとする。この際に、Median処理、平滑化処理等を行なうようにしてもよい。   The correction data can be created as follows. That is, a reference surface light source having a uniform luminance distribution is prepared, and the image capturing device 610 images the reference surface light source. Since the luminance distribution of the image data is based on the characteristics of the imaging device 610, the reciprocal of the luminance value of each pixel of the imaging element 612 is calculated and used as correction data. At this time, Median processing, smoothing processing, and the like may be performed.

特開2008−76203号公報JP 2008-76203 A

一様な輝度分布を持つ基準面光源は、積分球等が用いられるが、補正データによる補正精度は、基準面光源の面内輝度分布の精度に依存することになる。したがって、補正データによる補正精度を高めるためには、面内輝度分布が均一な高精度の基準面光源を用意しなければならない。しかしながら、大型で高精度の基準面光源は、一般に高価である。   An integrating sphere or the like is used as the reference surface light source having a uniform luminance distribution, but the correction accuracy based on the correction data depends on the accuracy of the in-plane luminance distribution of the reference surface light source. Therefore, in order to improve the correction accuracy based on the correction data, it is necessary to prepare a highly accurate reference surface light source having a uniform in-plane luminance distribution. However, large and highly accurate reference surface light sources are generally expensive.

そこで、本発明は、輝度測定装置において、高価な面光源を用いることなく高精度の補正データを作成することを目的とする。   Accordingly, an object of the present invention is to create highly accurate correction data without using an expensive surface light source in a luminance measuring apparatus.

上記課題を解決するため、本発明の第1の態様である補正係数算出方法は、複数の画素を備えた撮像素子を有する輝度測定装置における補正係数算出方法であって、基準位置で対象物を撮像するステップと、前記基準位置に対して少なくとも1画素分ずらして前記対象物を撮像するステップと、前記撮像結果に基づいて、所定の基準画素に対する画素毎の感度比率を算出する感度比率算出ステップと、前記感度比率に基づいて画素毎の感度補正係数を算出する感度補正係数算出ステップとを有する。   In order to solve the above-described problem, a correction coefficient calculation method according to a first aspect of the present invention is a correction coefficient calculation method in a luminance measurement apparatus having an imaging device having a plurality of pixels, and an object is detected at a reference position. A step of imaging, a step of imaging the object by shifting by at least one pixel with respect to the reference position, and a sensitivity ratio calculating step of calculating a sensitivity ratio for each pixel with respect to a predetermined reference pixel based on the imaging result And a sensitivity correction coefficient calculation step of calculating a sensitivity correction coefficient for each pixel based on the sensitivity ratio.

本発明では、対象物の同一の領域を異なる画素で撮像することにより、画素毎の感度比率を算出するため、面内輝度分布が均一な高精度の基準面光源を用いることなく高精度の補正データを作成することができるようになる。   In the present invention, since the sensitivity ratio for each pixel is calculated by imaging the same area of the object with different pixels, high-precision correction is performed without using a high-precision reference surface light source with a uniform in-plane luminance distribution. Data can be created.

より具体的には、前記感度比率算出ステップは、前記基準画素のずらし方向側の画素を順次注目画素として、前記基準位置で撮像した場合に注目画素で取得された輝度値と、少なくとも1画素分ずらして撮像した場合に前記注目画素の基準画素側の画素(「第1比較画素」と称する)で取得された輝度値との比と、前記第1比較画素の感度比率との積を前記注目画素の感度比率とすることができる。   More specifically, the sensitivity ratio calculation step includes at least one pixel value corresponding to the luminance value acquired at the reference pixel when the pixels on the shift direction side of the reference pixel are sequentially set as the target pixel and imaged at the reference position. The product of the ratio of the luminance value acquired at the reference pixel side pixel (referred to as the “first comparison pixel”) of the target pixel and the sensitivity ratio of the first comparison pixel when the images are shifted and captured. It can be the sensitivity ratio of the pixel.

また、前記感度比率算出ステップは、前記基準画素のずらし方向と反対側の画素を順次注目画素として、少なくとも1画素分ずらして撮像した場合に注目画素で取得された輝度値と、前記基準位置で撮像した場合に前記注目画素の基準画素側の画素(「第2比較画素」と称する)で取得された輝度値との比と、前記第2比較画素の感度比率との積を前記注目画素の感度比率とすることができる。   In the sensitivity ratio calculation step, the pixels on the side opposite to the shifting direction of the reference pixel are sequentially set as the target pixel, and the luminance value acquired by the target pixel when the image is shifted by at least one pixel, and the reference position The product of the ratio of the luminance value acquired at the reference pixel side pixel (referred to as “second comparison pixel”) of the target pixel and the sensitivity ratio of the second comparison pixel when the image is captured It can be a sensitivity ratio.

さらに、前記感度補正係数算出ステップは、前記感度比率の逆数を算出して感度補正係数とすることができる。   Furthermore, the sensitivity correction coefficient calculation step can calculate a reciprocal of the sensitivity ratio to obtain a sensitivity correction coefficient.

また、前記対象物を撮像するステップは、水平方向に少なくとも1画素分ずらして撮像する処理と、鉛直方向に少なくとも1画素分ずらして撮像する処理とを含み、前記感度比率算出ステップは、水平方向および鉛直方向について画素毎の感度比率を算出するようにしてもよい。   In addition, the step of imaging the object includes a process of imaging by shifting at least one pixel in the horizontal direction and a process of imaging by shifting by at least one pixel in the vertical direction, and the sensitivity ratio calculating step includes: Alternatively, the sensitivity ratio for each pixel may be calculated in the vertical direction.

あるいは、前記対象物を撮像するステップは、対象物の輝度を異ならせて撮像する処理を含み、前記感度比率算出ステップは、輝度変化に対応した補正係数を備えるために、対象物の輝度ごとに前記感度比率を算出するようにしてもよい。   Alternatively, the step of imaging the object includes a process of imaging with different brightness of the object, and the sensitivity ratio calculating step includes a correction coefficient corresponding to a change in brightness for each brightness of the object. The sensitivity ratio may be calculated.

上記課題を解決するため、本発明の第2の態様である輝度測定装置は、複数の画素を備えた撮像素子を有する輝度測定装置であって、基準位置に対して少なくとも1画素分ずらして前記撮像素子を移動させる微動機構と、基準位置で対象物を撮像し、前記基準位置に対して少なくとも1画素分ずらして前記対象物を撮像し、前記撮像結果に基づいて、所定の基準画素に対する画素毎の感度比率を算出し、前記感度比率に基づいて画素毎の感度補正係数を算出する補正データ作成部と、前記感度補正係数を用いて前記撮像素子が撮像した画像データを補正する画像補正部と、を備える。   In order to solve the above-described problem, a luminance measuring apparatus according to a second aspect of the present invention is a luminance measuring apparatus having an imaging device including a plurality of pixels, and is shifted by at least one pixel from a reference position. A fine movement mechanism for moving an image sensor, and an image of an object at a reference position, an image of the object that is shifted by at least one pixel with respect to the reference position, and a pixel corresponding to a predetermined reference pixel based on the imaging result A correction data creation unit that calculates a sensitivity ratio for each pixel, calculates a sensitivity correction coefficient for each pixel based on the sensitivity ratio, and an image correction unit that corrects image data captured by the image sensor using the sensitivity correction coefficient And comprising.

本発明によれば、輝度測定装置において、高価な面光源を用いることなく高精度の補正データを作成することができる。   According to the present invention, it is possible to create highly accurate correction data without using an expensive surface light source in the luminance measuring apparatus.

本実施形態に係る輝度測定装置の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the brightness | luminance measuring apparatus which concerns on this embodiment. 補正データ作成手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the correction data creation procedure. 画素ずらしの位置を説明する図である。It is a figure explaining the position of pixel shift. 画素をずらした3箇所での撮像結果を示す図である。It is a figure which shows the imaging result in three places which shifted the pixel. 感度比率の算出領域と算出結果とを示す図である。It is a figure which shows the calculation area | region and calculation result of a sensitivity ratio. 補正データである輝度補正係数の算出結果を示す図である。It is a figure which shows the calculation result of the brightness | luminance correction coefficient which is correction data. 従来の輝度測定装置の構成例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structural example of the conventional brightness | luminance measuring apparatus.

本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は、本実施形態に係る輝度測定装置の構成を示すブロック図である。本図に示すように検査対象物200の表示素子ごとの輝度および輝度分布を測定する輝度測定装置100は、撮像装置110と、制御装置120と、微動機構130とを備えて構成される。なお、検査対象物200は、例えば、フラットパネルディスプレイ装置、面光源等とすることができる。   Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram illustrating a configuration of a luminance measuring apparatus according to the present embodiment. As shown in this figure, the luminance measuring apparatus 100 that measures the luminance and the luminance distribution for each display element of the inspection object 200 includes an imaging device 110, a control device 120, and a fine movement mechanism 130. The inspection object 200 can be, for example, a flat panel display device, a surface light source, or the like.

撮像装置110は、レンズ、絞り等を備えた光学系111と、CCD、CMOS等の撮像素子112と、露出、撮像タイミング等の撮像装置110における撮像処理を制御し、撮像した画像データを出力する撮像制御部113とを備えている。ただし、撮像処理の制御は制御装置120側で行なうようにしてもよい。   The imaging device 110 controls imaging processing in the imaging device 110 such as an optical system 111 including a lens, a diaphragm, an imaging element 112 such as a CCD and a CMOS, and exposure and imaging timing, and outputs captured image data. An imaging control unit 113. However, the imaging process may be controlled on the control device 120 side.

制御装置120は、画像データを入力する画像入力部121と、画像補正部122と、画像処理部123と、結果表示部124と、補正データ作成部125とを備えている。制御装置120は、PC等の情報処理装置を用いることができる。   The control device 120 includes an image input unit 121 for inputting image data, an image correction unit 122, an image processing unit 123, a result display unit 124, and a correction data creation unit 125. The control device 120 can use an information processing device such as a PC.

画像補正部122は、補正データ作成部125が作成した補正データを用いて撮像装置110が撮像した画像データの輝度ムラを補正する。ここで、補正データは、撮像素子112の画素毎に輝度補正係数が定められたデータであり、画像補正部122は、画像データの各画素の輝度値に対して、対応する輝度補正係数を乗じることにより輝度ムラの補正を行なう。   The image correction unit 122 corrects the luminance unevenness of the image data captured by the imaging apparatus 110 using the correction data generated by the correction data generation unit 125. Here, the correction data is data in which a luminance correction coefficient is determined for each pixel of the image sensor 112, and the image correction unit 122 multiplies the luminance value of each pixel of the image data by the corresponding luminance correction coefficient. Thus, the luminance unevenness is corrected.

画像処理部123は、画像データに対して強調処理、2値化処理、特徴量計算処理や識別処理等の判定処理等を行ない、検査対象物の表示素子ごとの輝度および輝度分布を評価する。結果表示部124は、評価結果等を画像表示したり、ファイル出力したりする。   The image processing unit 123 performs determination processing such as enhancement processing, binarization processing, feature amount calculation processing, and identification processing on the image data, and evaluates the luminance and luminance distribution of each display element of the inspection target. The result display unit 124 displays an evaluation result or the like as an image or outputs a file.

補正データ作成部125は、基準面光源を基準位置および基準位置に対して少なくとも1画素分ずらした位置で撮像された撮像結果に基づいて、所定の基準画素に対する画素毎の感度比率を算出し、感度比率に基づいて画素毎の感度補正係数を算出することにより補正データを作成する。   The correction data creation unit 125 calculates a sensitivity ratio for each pixel with respect to a predetermined reference pixel based on an imaging result obtained by imaging the reference surface light source at a position shifted by at least one pixel from the reference position and the reference position. Correction data is created by calculating a sensitivity correction coefficient for each pixel based on the sensitivity ratio.

より具体的に説明すると、感度比率の算出に際しては、基準画素のずらし方向側の画素を順次注目画素として、基準位置で撮像した場合に注目画素で取得された輝度値と、少なくとも1画素分ずらして撮像した場合に注目画素の基準画素側の画素(「第1比較画素」と称する)で取得された輝度値との比と、第1比較画素の感度比率との積を注目画素の感度比率とする。   More specifically, when calculating the sensitivity ratio, the pixels on the reference pixel shift direction side are sequentially used as the target pixel, and the luminance value acquired at the target pixel when the image is captured at the reference position is shifted by at least one pixel. The sensitivity ratio of the target pixel is the product of the ratio of the luminance value acquired by the pixel on the reference pixel side of the target pixel (referred to as “first comparison pixel”) and the sensitivity ratio of the first comparison pixel. And

また、基準画素のずらし方向と反対側の画素を順次注目画素として、少なくとも1画素分ずらして撮像した場合に注目画素で取得された輝度値と、基準位置で撮像した場合に注目画素の基準画素側の画素(「第2比較画素」と称する)で取得された輝度値との比と、第2比較画素の感度比率との積を注目画素の感度比率とする。   In addition, the pixel on the opposite side of the reference pixel shift direction is sequentially set as the target pixel, and the luminance value acquired at the target pixel when the image is shifted by at least one pixel, and the reference pixel of the target pixel when the image is captured at the reference position The product of the ratio of the luminance value acquired by the pixel on the side (referred to as “second comparison pixel”) and the sensitivity ratio of the second comparison pixel is defined as the sensitivity ratio of the target pixel.

微動機構130は、補正データ作成部125の制御にしたがって撮像装置110の撮像位置を水平方向および鉛直方向に画素単位で移動させる。いわゆる画素ずらし画像を撮像する場合は、撮像素子の1/2、1/3、1/4といった1画素に満たない移動量で微動させて撮像素子の不感帯を補うものであるが、本発明の微動機構130は、撮像装置110の撮像位置を画素単位で移動させるものであり、少なくとも1画素以上の移動を行なう。微動機構130は、例えば、特開2008−98968号公報に記載されている微動ステージにおけるアクチュエータを用いて構成することができる。   The fine movement mechanism 130 moves the imaging position of the imaging device 110 in the horizontal direction and the vertical direction in units of pixels under the control of the correction data creation unit 125. When a so-called pixel-shifted image is captured, the dead zone of the image sensor is compensated by finely moving the image sensor by a movement amount that is less than one pixel such as 1/2, 1/3, or 1/4. The fine movement mechanism 130 moves the imaging position of the imaging device 110 in units of pixels, and moves at least one pixel. The fine movement mechanism 130 can be configured using, for example, an actuator in a fine movement stage described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2008-98968.

上記の構成において、補正データ作成部125が補正データを作成する際には、検査対象物200に代えて、図示しない基準面光源を撮像する。本実施形態では、基準面光源の輝度分布は、従来の構成で要求されるほど一様でなくてもよく、概ね均一な輝度分布を持つ面光源、スクリーン、白基準板等とすることができる。このため、高価な基準面光源を用いずに補正データを作成することができる。   In the above configuration, when the correction data creation unit 125 creates correction data, a reference surface light source (not shown) is imaged instead of the inspection object 200. In this embodiment, the luminance distribution of the reference surface light source does not have to be as uniform as required in the conventional configuration, and can be a surface light source, a screen, a white reference plate, or the like having a substantially uniform luminance distribution. . Therefore, correction data can be created without using an expensive reference surface light source.

本実施形態における補正データ作成手順について図2のフローチャートを参照して説明する。まず、撮像装置110により、基準面光源を基準位置Aで撮像する(S101)。ここで、基準位置Aは、撮像素子112の各画素が基準面光源を撮影できるような任意の位置とすることができる。   The correction data creation procedure in this embodiment will be described with reference to the flowchart of FIG. First, the imaging device 110 images the reference surface light source at the reference position A (S101). Here, the reference position A can be an arbitrary position at which each pixel of the image sensor 112 can photograph the reference surface light source.

次に、微動機構130を動作させ、撮像装置110を水平方向に1画素分移動させた位置Bに移動させる(S102)。ここでは、図3に示すように、撮像装置110を1画素分右側に移動させた位置を位置Bとする。そして、基準面光源を位置Bで撮像する(S103)。   Next, the fine movement mechanism 130 is operated to move the imaging device 110 to a position B that has been moved by one pixel in the horizontal direction (S102). Here, as shown in FIG. 3, a position where the imaging device 110 is moved to the right by one pixel is defined as a position B. Then, the reference plane light source is imaged at position B (S103).

位置Bで基準面光源を撮像すると、微動機構130を動作させ、撮像装置110を基準位置Aに対して鉛直方向に1画素分移動させた位置Cに移動させる(S105)。ここでは、図3に示すように、撮像装置110を基準位置Aに対して1画素分上側に移動させた位置を位置Cとする。そして、基準面光源を位置Cで撮像する(S105)。   When the reference surface light source is imaged at the position B, the fine movement mechanism 130 is operated to move the imaging device 110 to the position C moved by one pixel in the vertical direction with respect to the reference position A (S105). Here, as illustrated in FIG. 3, a position where the imaging apparatus 110 is moved upward by one pixel with respect to the reference position A is defined as a position C. Then, the reference plane light source is imaged at position C (S105).

なお、水平方向、鉛直方向とも1画素分ずらして撮像する理由は、基準面光源上の同一の領域を異なる画素で撮像することになり、画素毎の感度比率を算出できるようになることと、1画素程度分の移動では、基準面光源の均一性が保たれ、感度比率の算出において周辺減光等の影響を少なくすることができるからである。ただし、ずらし量は1画素に限られず、2以上の数画素分であってもよい。この場合、後述する感度比率の算出において、比較対象となる画素の位置をずらし量に対応させて調整するようにする。   The reason why the horizontal direction and the vertical direction are shifted by one pixel is that the same area on the reference plane light source is captured with different pixels, and the sensitivity ratio for each pixel can be calculated. This is because the movement of about one pixel keeps the uniformity of the reference surface light source, and the influence of peripheral light reduction or the like can be reduced in the calculation of the sensitivity ratio. However, the shift amount is not limited to one pixel, and may be two or more pixels. In this case, in the calculation of the sensitivity ratio described later, the position of the pixel to be compared is adjusted according to the shift amount.

画素をずらした3箇所での撮像を終えると、水平方向感度比率を算出し(S106)、さらに、鉛直方向感度比率を算出する(S107)。   When the imaging at the three positions where the pixels are shifted is finished, the horizontal direction sensitivity ratio is calculated (S106), and further the vertical direction sensitivity ratio is calculated (S107).

ここで、水平方向感度比率および鉛直方向感度比率は、撮像素子612を構成する画素の中から基準画素を定め、他のそれぞれの画素が、基準面光源の撮像結果において、基準画素と比較してどの程度の感度特性を有しているかを示す値である。   Here, the horizontal direction sensitivity ratio and the vertical direction sensitivity ratio determine the reference pixel from among the pixels constituting the image sensor 612, and each other pixel is compared with the reference pixel in the imaging result of the reference surface light source. This is a value indicating how much sensitivity characteristic is provided.

水平方向感度比率と鉛直方向感度比率の算出方法について図4および図5を参照して説明する。ここでは説明を簡単にするため、撮像素子612は、水平方向について1〜9の9個の画素、鉛直方向について1〜9の9個の画素で、合計81個の画素から構成されているものとする。また、基準画素は、中心の(5,5)の画素とする。   A method of calculating the horizontal direction sensitivity ratio and the vertical direction sensitivity ratio will be described with reference to FIGS. Here, for the sake of simplicity of explanation, the image sensor 612 includes nine pixels 1 to 9 in the horizontal direction and nine pixels 1 to 9 in the vertical direction, and is configured by a total of 81 pixels. And The reference pixel is the center (5, 5) pixel.

図4は、基準位置Aでの撮像結果、位置Bでの撮像結果、位置Cでの撮像結果を示しており、それぞれ各画素の輝度値を示している。まず、基準位置Aでの撮像結果と位置Bでの撮像結果とを用いて、水平方向感度比率を算出する。水平方向感度比率の算出は、基準画素を含む水平方向の各画素(1,5)〜(9,5)について感度比率を算出する。なお、感度比率は、基準画素(5,5)に対する比率とするため、基準画素(5,5)の比率は1.0とする。   FIG. 4 shows the imaging result at the reference position A, the imaging result at the position B, and the imaging result at the position C, and shows the luminance value of each pixel. First, the horizontal direction sensitivity ratio is calculated using the imaging result at the reference position A and the imaging result at the position B. In calculating the horizontal direction sensitivity ratio, the sensitivity ratio is calculated for each of the horizontal pixels (1, 5) to (9, 5) including the reference pixel. Since the sensitivity ratio is the ratio to the reference pixel (5, 5), the ratio of the reference pixel (5, 5) is 1.0.

水平方向感度比率では、図5の領域2が示す基準画素から左側の画素(4,5)〜(1,5)と、領域1が示す基準画素から右側の画素(6,5)〜(9,5)とで、算出方法が異なる。   In the horizontal direction sensitivity ratio, the pixels (4, 5) to (1, 5) on the left side from the reference pixel indicated by the area 2 in FIG. 5 and the pixels (6, 5) to (9) on the right side from the reference pixel indicated in the area 1 are displayed. , 5) and the calculation method is different.

まず、図5の領域1が示す基準画素から右側の画素(6,5)〜(9,5)の水平方向感度比率の算出方法について説明する。これらの画素は、基準画素のずらし方向側の画素である。まず、画素(6,5)を注目画素とする。この場合、画素(5,5)が第1比較画素となる。   First, a method of calculating the horizontal direction sensitivity ratio of the pixels (6, 5) to (9, 5) on the right side from the reference pixel indicated by the region 1 in FIG. 5 will be described. These pixels are pixels on the shifting direction side of the reference pixel. First, the pixel (6, 5) is set as a target pixel. In this case, the pixel (5, 5) is the first comparison pixel.

図4が示す基準位置Aでの撮像結果および位置Bでの撮像結果から分かるように、基準位置Aで画素(6,5)が撮像した基準面光源の領域は、位置Bでは、基準画素(5,5)が撮像していることになる。同一の領域を撮像したのにもかかわらず、画素(6,5)の輝度値は64であり、基準画素(5,5)の輝度値は48となっている。すなわち、画素(6,5)の感度は、基準画素(5,5)に対して、64/48=1.33となる。   As can be seen from the imaging result at the reference position A and the imaging result at the position B shown in FIG. 4, the area of the reference surface light source captured by the pixel (6, 5) at the reference position A is the reference pixel ( 5 and 5) are imaging. The luminance value of the pixel (6, 5) is 64 and the luminance value of the reference pixel (5, 5) is 48 even though the same region is imaged. That is, the sensitivity of the pixel (6, 5) is 64/48 = 1.33 with respect to the reference pixel (5, 5).

次に、画素(7,5)を注目画素とする。この場合、画素(6,5)が第1比較画素となる。画素(6,5)を注目画素とした場合と同様に、基準位置Aで画素(7,5)が撮像した基準面光源の領域は、位置Bでは、画素(6,5)が撮像していることになる。同一の領域を撮像したのにもかかわらず、画素(7,5)の輝度値は49であり、画素(6,5)の輝度値は56となっている。すなわち、画素(7,5)の感度は、画素(6,5)に対して、49/56=0.88となる。ここで、画素(6,5)の感度は基準画素(5,5)に対して1.33であるから、画素(7,5)の基準画素(5,5)に対する感度は、0.88×1.33=1.17となる。   Next, the pixel (7, 5) is set as a target pixel. In this case, the pixel (6, 5) is the first comparison pixel. Similarly to the case where the pixel (6, 5) is the target pixel, the area of the reference surface light source captured by the pixel (7, 5) at the reference position A is captured by the pixel (6, 5) at the position B. Will be. The luminance value of the pixel (7, 5) is 49 and the luminance value of the pixel (6, 5) is 56 even though the same area is imaged. That is, the sensitivity of the pixel (7, 5) is 49/56 = 0.88 with respect to the pixel (6, 5). Here, since the sensitivity of the pixel (6, 5) is 1.33 with respect to the reference pixel (5, 5), the sensitivity of the pixel (7, 5) to the reference pixel (5, 5) is 0.88. × 1.33 = 1.17.

以上から、領域1が示す基準画素から右側の画素(6,5)〜(9,5)における水平方向感度比率は、
感度比率(x,5)=位置A(x,5)/位置B(x−1,5)×感度比率(x−1,5)
で求めることができる。
From the above, the horizontal direction sensitivity ratio in the pixels (6, 5) to (9, 5) on the right side from the reference pixel indicated by the region 1 is
Sensitivity ratio (x, 5) = position A (x, 5) / position B (x−1, 5) × sensitivity ratio (x−1, 5)
Can be obtained.

次に、図5の領域2が示す基準画素から左側の画素(4,5)〜(1,5)の水平方向感度比率の算出方法について説明する。これらの画素は、基準画素のずらし方向と反対側の画素である。まず、画素(4,5)を注目画素とする。この場合、画素(5,5)が第2比較画素となる。   Next, a method of calculating the horizontal sensitivity ratio of the pixels (4, 5) to (1, 5) on the left side from the reference pixel indicated by the region 2 in FIG. 5 will be described. These pixels are pixels on the side opposite to the shifting direction of the reference pixel. First, the pixel (4, 5) is set as a target pixel. In this case, the pixel (5, 5) is the second comparison pixel.

図4が示す基準位置Aでの撮像結果および位置Bでの撮像結果から分かるように、基準位置Aで基準画素(5,5)が撮像した基準面光源の領域は、位置Bでは、画素(4,5)が撮像していることになる。同一の領域を撮像したのにもかかわらず、基準画素(5,5)の輝度値は60であり、画素(4,5)の輝度値は80となっている。すなわち、画素(4,5)の感度は、基準画素(5,5)に対して、80/60=1.33となる。   As can be seen from the imaging result at the reference position A and the imaging result at the position B shown in FIG. 4, the area of the reference surface light source captured by the reference pixel (5, 5) at the reference position A is the pixel ( 4 and 5) are imaging. The luminance value of the reference pixel (5, 5) is 60 and the luminance value of the pixel (4, 5) is 80 despite the image of the same region. That is, the sensitivity of the pixel (4, 5) is 80/60 = 1.33 with respect to the reference pixel (5, 5).

次に、画素(3,5)を注目画素とする。この場合、画素(4,5)が第2比較画素となる。画素(4,5)を注目画素とした場合と同様に、基準位置Aで画素(4,5)が撮像した基準面光源の領域は、位置Bでは、画素(3,5)が撮像していることになる。同一の領域を撮像したのにもかかわらず、画素(4,5)の輝度値は64であり、画素(3,5)の輝度値は56となっている。すなわち、画素(3,5)の感度は、画素(4,5)に対して、56/64=0.88となる。ここで、画素(4,5)の感度は基準画素(5,5)に対して1.33であるから、画素(3,5)の基準画素(5,5)に対する感度は、0.88×1.33=1.17となる。   Next, the pixel (3, 5) is set as a target pixel. In this case, the pixel (4, 5) is the second comparison pixel. As in the case where the pixel (4, 5) is the target pixel, the area of the reference surface light source captured by the pixel (4, 5) at the reference position A is captured by the pixel (3, 5) at the position B. Will be. The luminance value of the pixel (4, 5) is 64 and the luminance value of the pixel (3, 5) is 56 even though the same area is imaged. That is, the sensitivity of the pixel (3, 5) is 56/64 = 0.88 with respect to the pixel (4, 5). Here, since the sensitivity of the pixel (4, 5) is 1.33 with respect to the reference pixel (5, 5), the sensitivity of the pixel (3, 5) to the reference pixel (5, 5) is 0.88. × 1.33 = 1.17.

以上から、図5の領域2が示す基準画素から左側の画素(4,5)〜(1,5)における水平方向感度比率は、
感度比率(x,5)=位置B(x,5)/位置A(x+1,5)×感度比率(x+1,5)
で求めることができる。
From the above, the horizontal direction sensitivity ratio in the pixels (4, 5) to (1, 5) on the left side from the reference pixel indicated by the region 2 in FIG.
Sensitivity ratio (x, 5) = position B (x, 5) / position A (x + 1, 5) × sensitivity ratio (x + 1, 5)
Can be obtained.

鉛直方向感度比率は、水平方向感度比率が算出された列(以下「基準列」と称する)を基準にして、基準位置Aでの撮像結果と、位置Cでの撮像結果とを用いて水平方向感度比率の算出と同様に算出することができる。   The vertical direction sensitivity ratio is determined in the horizontal direction using the imaging result at the reference position A and the imaging result at the position C with reference to the column (hereinafter referred to as “reference column”) from which the horizontal direction sensitivity ratio is calculated. It can be calculated in the same manner as the sensitivity ratio.

すなわち、ずらし方向側である図5の領域3が示す基準列から上側の画素(x,4)〜(x,1)と、ずらし方向と反対側である領域4が示す基準列から下側の画素(x,6)〜(x,9)とで、算出方法が異なる。なお、xは、1〜9それぞれについて基準列を基準にして鉛直方向感度比率を求めるようにする。   That is, the pixels (x, 4) to (x, 1) on the upper side from the reference column indicated by the region 3 in FIG. 5 which is the shifting direction side, and the lower side from the reference column indicated by the region 4 on the opposite side to the shifting direction. The calculation method is different for the pixels (x, 6) to (x, 9). Note that x is the vertical direction sensitivity ratio for each of 1 to 9 with reference to the reference column.

図5の領域3が示す基準列から上側の画素(x,4)〜(x,1)における鉛直方向感度比率は、
感度比率(x,y)=位置A(x,y)/位置C(x,y+1)×感度比率(x,y+1)
で求めることができる。
The vertical direction sensitivity ratios of the pixels (x, 4) to (x, 1) on the upper side from the reference column indicated by the region 3 in FIG.
Sensitivity ratio (x, y) = position A (x, y) / position C (x, y + 1) × sensitivity ratio (x, y + 1)
Can be obtained.

一方、図5の領域4が示す基準列から下側の画素(x,6)〜(x,9)における鉛直方向感度比率は、
感度比率(x,y)=位置C(x,y)/位置A(x,y−1)×感度比率(x,y−1)
で求めることができる。以上の結果、各画素の感度比率は、図5に示すような値となる。
On the other hand, the vertical direction sensitivity ratios of the pixels (x, 6) to (x, 9) below the reference column indicated by the region 4 in FIG.
Sensitivity ratio (x, y) = position C (x, y) / position A (x, y−1) × sensitivity ratio (x, y−1)
Can be obtained. As a result, the sensitivity ratio of each pixel becomes a value as shown in FIG.

以上の手順により、各画素について基準画素に対する感度比率を算出すると、補正データ作成部125は、補正データを生成する(S108)。ここで、補正データは、画素毎の輝度補正係数であり、感度比率の逆数で求めることができる。図6は、算出された輝度補正係数を示す図である。   When the sensitivity ratio with respect to the reference pixel is calculated for each pixel by the above procedure, the correction data creation unit 125 generates correction data (S108). Here, the correction data is a luminance correction coefficient for each pixel, and can be obtained by the reciprocal of the sensitivity ratio. FIG. 6 is a diagram showing the calculated luminance correction coefficient.

画像補正部122は、補正データ作成部125が作成した補正データにしたがって、撮像装置110が撮像した検査対象物200の画像データの各輝度値を補正することで、輝度ムラのない画像データを得ることができる。   The image correction unit 122 corrects each luminance value of the image data of the inspection object 200 imaged by the imaging device 110 in accordance with the correction data generated by the correction data generation unit 125, thereby obtaining image data without luminance unevenness. be able to.

なお、上述の例では、2次元の撮像素子を例に説明したが、本発明は、1次元のライン型の撮像素子を用いた場合にも適用することができる。ライン型の撮像素子を用いた場合は、水平方向あるいは鉛直方向のいずれか一方に対する感度比率算出処理および輝度補正係数算出処理を行なえばよい。   In the above-described example, a two-dimensional image sensor has been described as an example. However, the present invention can also be applied to a case where a one-dimensional line-type image sensor is used. When a line-type image sensor is used, a sensitivity ratio calculation process and a luminance correction coefficient calculation process for either the horizontal direction or the vertical direction may be performed.

また、基準画素(5,5)の感度比率を1.0としたが、他の撮像装置との特性差を考慮して定めるようにしてもよい。例えば、撮像装置Aが撮像装置Bと比較して、2倍の感度を有していれば、撮像装置Aにおける基準画素(5,5)の感度比率を1.0とし、撮像装置Bにおける基準画素(5,5)の感度比率を0.5と設定するようにしてもよい。撮像装置毎の感度差は同一対象物に対する基準画素の輝度を比較したり、所定領域の画素における平均輝度値を算出すること等で取得することができる。   Further, although the sensitivity ratio of the reference pixel (5, 5) is 1.0, the sensitivity ratio may be determined in consideration of a characteristic difference with other imaging devices. For example, if the imaging device A has twice the sensitivity as compared with the imaging device B, the sensitivity ratio of the reference pixel (5, 5) in the imaging device A is set to 1.0, and the reference in the imaging device B The sensitivity ratio of the pixel (5, 5) may be set to 0.5. The sensitivity difference between the imaging devices can be obtained by comparing the luminance of the reference pixel with respect to the same object, calculating the average luminance value of the pixels in the predetermined area, or the like.

また、撮像位置は1画素分ずらした3箇所としたが、縦横方向に撮像素子全面分移動し、それぞれの位置で撮像することで、撮像素子全面を補正するようにしてもよい。また、画像補正部122をハードウェアで構成するとともに撮像装置110側に設けて、リアルタイムで高速に補正処理を行なうようにしてもよい。   Further, although the imaging positions are set at three positions shifted by one pixel, the entire imaging element may be corrected by moving the entire imaging element in the vertical and horizontal directions and imaging at each position. Further, the image correction unit 122 may be configured by hardware and provided on the imaging device 110 side so as to perform correction processing at high speed in real time.

また、補正データ作成部125による補正データの作成は、輝度測定装置の出荷前のみならず、出荷後においてユーザが適宜行なったり、サービスマンがメンテナンス時に行なうことができる。   The correction data can be created by the correction data creation unit 125 not only before shipment of the luminance measuring apparatus but also after the shipment by the user, or by a service person during maintenance.

以上説明したように、本実施形態によれば、画素をずらして撮像し、画素毎の感度比率を算出することで補正データを作成しているため、高価な面光源を用いることなく高精度の補正データを作成することができるようになる。   As described above, according to the present embodiment, since the correction data is created by shifting the pixels and calculating the sensitivity ratio for each pixel, high accuracy can be achieved without using an expensive surface light source. Correction data can be created.

また、補正データの作成を2以上の異なる輝度で実施し、輝度分布の補正データのみならず、撮像素子ひとつひとつの感度の「傾き」と「切片」とを算出してもよい。すなわち、2つ以上の異なる輝度の基準面光源を用いて、輝度ごとに補正データを作成し、輝度による補正データに差異が生じる場合には、撮像素子の感度補正を行なう、もしくは、輝度に応じた補正係数項を備えることで、輝度変化に対しても補正が可能となる。また、撮像素子ごとの「傾き」、「切片」は別の手法で求め、本発明の輝度分布の補正を加えることで、さらに高精度の補正を行なうことができる。   Further, the correction data may be created with two or more different luminances, and not only the luminance distribution correction data but also the “inclination” and “intercept” of the sensitivity of each image sensor. That is, using two or more reference surface light sources with different luminances, correction data is created for each luminance, and if there is a difference in the correction data depending on the luminance, the sensitivity of the image sensor is corrected, or depending on the luminance By providing the correction coefficient term, it is possible to correct the luminance change. Further, “inclination” and “intercept” for each image sensor can be obtained by another method, and correction of the luminance distribution according to the present invention can be performed to perform correction with higher accuracy.

100…輝度測定装置
110…撮像装置
111…光学系
112…撮像素子
113…撮像制御部
120…制御装置
121…画像入力部
122…画像補正部
123…画像処理部
124…結果表示部
125…補正データ作成部
130…微動機構
200…検査対象物
600…輝度測定装置
610…撮像装置
611…光学系
612…撮像素子
613…撮像制御部
620…制御装置
621…画像入力部
622…画像補正部
623…画像処理部
624…結果表示部
625…補正データ作成部
700…検査対象物
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 ... Luminance measuring apparatus 110 ... Imaging device 111 ... Optical system 112 ... Imaging element 113 ... Imaging control part 120 ... Control apparatus 121 ... Image input part 122 ... Image correction part 123 ... Image processing part 124 ... Result display part 125 ... Correction data Creation unit 130 ... fine movement mechanism 200 ... inspection object 600 ... luminance measuring device 610 ... imaging device 611 ... optical system 612 ... imaging element 613 ... imaging control unit 620 ... control device 621 ... image input unit 622 ... image correction unit 623 ... image Processing unit 624 ... Result display unit 625 ... Correction data creation unit 700 ... Inspection object

Claims (7)

複数の画素を備えた撮像素子を有する輝度測定装置における補正係数算出方法であって、
基準位置で対象物を撮像するステップと、
前記基準位置に対して少なくとも1画素分ずらして前記対象物を撮像するステップと、
前記撮像結果に基づいて、所定の基準画素に対する画素毎の感度比率を算出する感度比率算出ステップと、
前記感度比率に基づいて画素毎の感度補正係数を算出する感度補正係数算出ステップとを有することを特徴とする補正係数算出方法。
A method for calculating a correction coefficient in a luminance measuring apparatus having an imaging device having a plurality of pixels,
Imaging a target object at a reference position;
Imaging the object with a shift of at least one pixel with respect to the reference position;
A sensitivity ratio calculating step of calculating a sensitivity ratio for each pixel with respect to a predetermined reference pixel based on the imaging result;
And a sensitivity correction coefficient calculation step of calculating a sensitivity correction coefficient for each pixel based on the sensitivity ratio.
請求項1に記載の補正係数算出方法であって、
前記感度比率算出ステップは、
前記基準画素のずらし方向側の画素を順次注目画素として、前記基準位置で撮像した場合に注目画素で取得された輝度値と、少なくとも1画素分ずらして撮像した場合に前記注目画素の基準画素側の画素(「第1比較画素」と称する)で取得された輝度値との比と、前記第1比較画素の感度比率との積を前記注目画素の感度比率とすることを特徴とする補正係数算出方法。
The correction coefficient calculation method according to claim 1,
The sensitivity ratio calculating step includes:
The pixel on the shift direction side of the reference pixel is sequentially set as the target pixel, and the luminance value acquired at the target pixel when imaged at the reference position and the reference pixel side of the target pixel when imaged at least one pixel apart A correction coefficient characterized in that a product of a ratio of a luminance value acquired at a pixel (referred to as a “first comparison pixel”) and a sensitivity ratio of the first comparison pixel is a sensitivity ratio of the target pixel. Calculation method.
請求項1または2に記載の補正係数算出方法であって、
前記感度比率算出ステップは、
前記基準画素のずらし方向と反対側の画素を順次注目画素として、少なくとも1画素分ずらして撮像した場合に注目画素で取得された輝度値と、前記基準位置で撮像した場合に前記注目画素の基準画素側の画素(「第2比較画素」と称する)で取得された輝度値との比と、前記第2比較画素の感度比率との積を前記注目画素の感度比率とすることを特徴とする補正係数算出方法。
The correction coefficient calculation method according to claim 1 or 2,
The sensitivity ratio calculating step includes:
The pixel on the side opposite to the shifting direction of the reference pixel is sequentially set as the target pixel, and the luminance value acquired at the target pixel when the image is shifted by at least one pixel, and the reference of the target pixel when the image is captured at the reference position. The product of the ratio of the luminance value acquired by the pixel on the pixel side (referred to as “second comparison pixel”) and the sensitivity ratio of the second comparison pixel is used as the sensitivity ratio of the target pixel. Correction coefficient calculation method.
請求項1〜3のいずれか1項に記載の補正係数算出方法であって、
前記感度補正係数算出ステップは、
前記感度比率の逆数を算出して感度補正係数とすることを特徴とする補正係数算出方法。
The correction coefficient calculation method according to any one of claims 1 to 3,
The sensitivity correction coefficient calculation step includes:
A correction coefficient calculation method comprising calculating a reciprocal of the sensitivity ratio to obtain a sensitivity correction coefficient.
請求項1〜4のいずれか1項に記載の補正係数算出方法であって、
前記対象物を撮像するステップは、水平方向に少なくとも1画素分ずらして撮像する処理と、鉛直方向に少なくとも1画素分ずらして撮像する処理とを含み、
前記感度比率算出ステップは、水平方向および鉛直方向について画素毎の感度比率を算出することを特徴とする補正係数算出方法。
A correction coefficient calculation method according to any one of claims 1 to 4,
The step of imaging the object includes a process of imaging by shifting at least one pixel in the horizontal direction and a process of imaging by shifting by at least one pixel in the vertical direction,
The sensitivity ratio calculating step calculates a sensitivity ratio for each pixel in the horizontal direction and the vertical direction.
請求項1〜5のいずれか1項に記載の補正係数算出方法であって、
前記対象物を撮像するステップは、対象物の輝度を異ならせて撮像する処理を含み、
前記感度比率算出ステップは、輝度変化に対応した補正係数を備えるために、対象物の輝度ごとに前記感度比率を算出することを特徴とする補正係数算出手段。
A correction coefficient calculation method according to any one of claims 1 to 5,
The step of imaging the object includes a process of imaging with different brightness of the object,
The correction factor calculation means characterized in that the sensitivity ratio calculation step calculates the sensitivity ratio for each luminance of the object in order to provide a correction factor corresponding to the luminance change.
複数の画素を備えた撮像素子を有する輝度測定装置であって、
基準位置に対して少なくとも1画素分ずらして前記撮像素子を移動させる微動機構と、
基準位置で対象物を撮像し、前記基準位置に対して少なくとも1画素分ずらして前記対象物を撮像し、前記撮像結果に基づいて、所定の基準画素に対する画素毎の感度比率を算出し、前記感度比率に基づいて画素毎の感度補正係数を算出する補正データ作成部と、
前記感度補正係数を用いて前記撮像素子が撮像した画像データを補正する画像補正部と、
を備えたことを特徴とする輝度測定装置。
A luminance measuring device having an imaging device including a plurality of pixels,
A fine movement mechanism that moves the image sensor with a shift of at least one pixel with respect to a reference position;
An object is imaged at a reference position, the object is imaged by shifting by at least one pixel with respect to the reference position, a sensitivity ratio for each pixel with respect to a predetermined reference pixel is calculated based on the imaging result, A correction data creation unit that calculates a sensitivity correction coefficient for each pixel based on the sensitivity ratio;
An image correction unit that corrects image data captured by the image sensor using the sensitivity correction coefficient;
A luminance measuring apparatus comprising:
JP2009147231A 2009-06-22 2009-06-22 Correction coefficient calculating method in luminance measuring apparatus, and luminance measuring apparatus Pending JP2011002401A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009147231A JP2011002401A (en) 2009-06-22 2009-06-22 Correction coefficient calculating method in luminance measuring apparatus, and luminance measuring apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009147231A JP2011002401A (en) 2009-06-22 2009-06-22 Correction coefficient calculating method in luminance measuring apparatus, and luminance measuring apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2011002401A true JP2011002401A (en) 2011-01-06

Family

ID=43560457

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009147231A Pending JP2011002401A (en) 2009-06-22 2009-06-22 Correction coefficient calculating method in luminance measuring apparatus, and luminance measuring apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2011002401A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101488090B1 (en) * 2013-06-28 2015-02-06 한경대학교 산학협력단 Portable luminance meter
WO2020194529A1 (en) * 2019-03-26 2020-10-01 日本電気株式会社 Interest determination device, interest determination system, interest determination method, and non-transitory computer-readable medium having program stored therein
KR20220122060A (en) * 2021-02-26 2022-09-02 (주)이즈소프트 Surface luminance meter measuring device for light pollution evaluation and calibration method of surface luminance meter
KR20220122059A (en) * 2021-02-26 2022-09-02 한국광기술원 Light pollution measurement integrated inquiry method and system

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101488090B1 (en) * 2013-06-28 2015-02-06 한경대학교 산학협력단 Portable luminance meter
WO2020194529A1 (en) * 2019-03-26 2020-10-01 日本電気株式会社 Interest determination device, interest determination system, interest determination method, and non-transitory computer-readable medium having program stored therein
JPWO2020194529A1 (en) * 2019-03-26 2020-10-01
JP7207520B2 (en) 2019-03-26 2023-01-18 日本電気株式会社 Interest determination device, interest determination system, interest determination method and program
US11887349B2 (en) 2019-03-26 2024-01-30 Nec Corporation Interest determination apparatus, interest determination system, interest determination method, and non-transitory computer readable medium storing program
KR20220122060A (en) * 2021-02-26 2022-09-02 (주)이즈소프트 Surface luminance meter measuring device for light pollution evaluation and calibration method of surface luminance meter
KR20220122059A (en) * 2021-02-26 2022-09-02 한국광기술원 Light pollution measurement integrated inquiry method and system
KR102533767B1 (en) * 2021-02-26 2023-05-18 (주)이즈소프트 Surface luminance meter measuring device for light pollution evaluation and calibration method of surface luminance meter
KR102536419B1 (en) * 2021-02-26 2023-05-26 한국광기술원 Light pollution measurement integrated inquiry method and system

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5443303B2 (en) Appearance inspection apparatus and appearance inspection method
JP4581927B2 (en) Display device glare measuring method and device
CN102422124A (en) Imaging device, imaging means and program
US20120307047A1 (en) Imaging system and control method thereof
JP2007071769A (en) Method for detecting deviation, pattern rotation, distortion, and positional deviation by using moire fringe
JP6027220B1 (en) 3D measuring device
JP2016045019A (en) Teaching device for substrate inspection device, and teaching method
JP7088530B2 (en) 3D method and device for projecting measurement result-related information on the surface of an object to be measured
US20090268212A1 (en) Moire shape measurement apparatus using liquid crystal display panel
JP2014035261A (en) Information processing method, information processor, program, imaging apparatus, inspection method, inspection device, and method of manufacturing substrate
JP2011002401A (en) Correction coefficient calculating method in luminance measuring apparatus, and luminance measuring apparatus
JP6479178B2 (en) Image processing apparatus, imaging apparatus, microscope system, image processing method, and image processing program
JP2011075336A (en) Three-dimensional shape measuring instrument and method
JP2008180602A (en) Inspection apparatus, testing method, inspection program, and computer readable medium
JP2012237613A (en) Shape measuring device and shape measuring method
JP2015119344A (en) Device for measuring sensitivity distribution of imaging element and its control method, and calibration device of image display device and its control method
JP2006084286A (en) Three-dimensional measuring method and its measuring device
JP2013192240A (en) Projector, program, information storage medium, and trapezoidal distortion correction method
JP2010177832A (en) Image processing apparatus and image processing method
JP4644595B2 (en) Display evaluation apparatus, evaluation method, and program
KR101653649B1 (en) 3D shape measuring method using pattern-light with uniformity compensation
WO2021053852A1 (en) Appearance inspection device, appearance inspection device calibration method, and program
JP2015115726A (en) Luminance measuring method, luminance measuring device and image quality adjustment technology employing the same
JP2013130529A (en) Inspection device, inspection system, inspection method, program for making computer function as inspection device, program for making computer function as inspection system and computer readable non volatile data recording medium storing the programs
JP6748563B2 (en) Stereoscopic image measuring device and stereoscopic image measuring method