JP2010508511A - 偏角を自己補償する実質的にアクロマティックなリターダー - Google Patents
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Abstract
Description
Thompsonらへの(特許文献2)、
Johsらへの(特許文献1)、
Johsらへの(特許文献3)、
Johsらへの(特許文献4)
Herzingerらへの(特許文献5)、
Johsらへの(特許文献6)、
Johsらへの(特許文献7)、
Johsらへの(特許文献8)、
Herzingerらへの(特許文献5)
最近のものでは、2007年6月28日公開の(特許文献9)がある。
a)電磁放射線源;
b)偏光子;
c)サンプル支持台;
d)検光子;及び
e)検出器;
を含む、エリプソメーター又はポラリメーターシステムに適用できる点につき述べる。
前記電磁放射線源と前記サンプル支持台との間;及び
前記サンプル支持台と前記検出器との間;
からなる群から選択される少なくとも1箇所に存在する少なくとも1つの回転可能補償子型システムをさらに含み、
前記少なくとも1つの回転可能補償子が、互いに向きを定めて置かれた少なくとも2つのシーケンシャルなすなわち順次の素子(elements)を含んでいて、前記入射した電磁ビームが各素子のそれぞれにおいて少なくとも1回は内部全反射するようにし、これらの素子の順序、向き、ジオメトリ、及び対称性は、システムが平行移動することによって、出射ビームの経路(locus:ローカス)(以下、ビーム線または軌跡ともいう)が入射ビームの経路から実質的にずれずすなわち逸れず(undeviated)、かつシステムが回転することによって、出射ビームの出射する角度の経路が入射ビームの経路から実質的にずれないすなわち逸れていない状態にされている。
これら素子の順序、向き、ジオメトリ、及び対称性は、システムが平行移動することによって、出射ビームの位置がずれず、かつシステムが回転することによって、出射ビームの出射する角度がずれないようにされている。
両者間のなす角度が90度より大きな角度で互いに張り出している、同じ長さの第1の辺(side)(又は面とも言う。以下同様)及び第2の辺、及び
この90度より大きな角度の角に対向した第3の辺、
を有しており、
前記少なくとも2つの同様の三角形形状のプリズムは、それぞれの第3の辺が実質的に共通の直線上にあるように、互いに向きを定めて置かれており;
これらプリズムのうちの第1のプリズムの第1の面(side)に、この面に対し垂直とは異なる角度で入射するようにされた電磁放射線のビームは、このビームが第1のプリズムの第3の面で内部反射され、続いて、第1のプリズムの第2の面から出射するように、屈折される。このビームの出射の方向は、このビームが、第2のプリズムの第1の面に、それに対して垂直とは異なる角度で入射して、このビームがこの第2のプリズムの第3の面で内部反射され、続いて、第2のプリズムの第2の面から出射するように、屈折される方向である。三角プリズムの角度を26、128、及び26度とし、プリズムを溶融石英製とし得る。
前記少なくとも2つの平行四辺形状の菱面体は、それらの第2の辺(side)が実質的に共通の直線上にあり、かつそれらの第4の辺(side)が実質的に共通の直線上にあるように、向きを定めて置かれており;
それらの第1の菱面体の第1の面に垂直とは異なる角度で入射するようにされた電磁放射線のビームは、このビームが、第1の菱面体の前記第4の面及び第2の面で内部反射され、続いて、第1の菱面体の前記第3の面から出射するように屈折される。このビームの出射の方向は、このビームが、第2の菱面体の第1の面に、この面に対して垂直とは異なる角度で入射して、このビームが第2の菱面体の前記第2の面及び第4の面で内部反射され、続いて、第2の菱面体の前記第3の面から出射するように、屈折される方向である。平行四辺形状の菱面体の角度を36、144、36及び144度、又は45、135、45及び135度とし、溶融石英製とし得る。
前記少なくとも2つの平行四辺形状の菱面体は、第1の面及び第3の面が実質的に互いに平行となるように向きを定めて置かれており;
第1の菱面体の第1の面に実質的に垂直に入射するようにされた電磁放射線のビームは、このビームが、第1の菱面体の前記第4の面及び第2の面で内部反射され、続いて、第1の菱面体の前記第3の面から出射するように、進む。このビームの出射の方向は、このビームが、もう一方の菱面体の第1の面に、この面に対して実質的に垂直に入射し、続いてこのもう一方の菱面体の前記第2の面及び第4の面で内部反射され、続いて、このもう一方の菱面体の前記第3の面から出射するように、進む方向であり;
前記システムは、少なくとも1つの平行四辺形状の菱面体の面の少なくとも1つがその面上に、対応する前記平行四辺形状の菱面体を構成する材料とは異なる(例えば、低い)屈折率を有するコーティングを有することを特徴とする。平行四辺形状の菱面体の角度を、36、144、36及び144度、又は45、135、45及び135度とし、かつ菱面体を溶融石英製とし、コーティングをMgF2とし得る。
シーケンシャルな素子の少なくとも1つが、出射ビームを前記入射ビームから実質的にずれないようにシステムを調整する目的のために、その素子を平行移動及び/又は傾斜させる機構を有していること;
シーケンシャルな素子の少なくとも1つが、その素子の、電磁放射線のビームの内部反射が起こる面上にコーティングを有し、前記コーティングは対応する前記素子を構成する材料とは異なる屈折率を有すること;
シーケンシャルな素子の少なくとも1つが、その素子の、電磁放射線のビームが入出射する面上にコーティングを有し、前記コーティングは対応する前記素子を構成する材料とは異なる屈折率を有すること;
電磁ビームの直交偏光成分に相対的位相リターデーションを導入するための、前記システムには、追加的なシーケンシャルの複数の楔で構成された楔システムが設けられていて、出射ビームを前記入射ビームから実質的にずれないようにシステムを調整する目的のために、前記楔の1つをそのもう一方の楔に対して回転させることができて及び/又は両楔を同時に回転できること;
である。
前記方法は、:
a)電磁ビームの直交偏光成分に相対的位相リターデーションを導入するためのシステムを用意するステップであり、前記システムは、少なくとも2つのシーケンシャルな素子を含み、前記ビームを、これら素子のそれぞれにおいて少なくとも1回は内部全反射させるステップ;
b)電磁放射線のビームを、前記少なくとも2つのシーケンシャルな素子の第1の素子を介して前記システムに入射させて、前記少なくとも2つのシーケンシャルな素子を、それぞれにおいて少なくとも1回は内部全反射させながら、通過させるステップ;
を含み、
出射ビームに、前記内部反射によってリターデーションを生じさせて、この出射ビームの経路が入射ビームの経路から実質的にずれないようにする。
N=cos(2Ψ);
C=sin(2Ψ)cos(Δ);及び
S=sin(2Ψ)sin(Δ)
における二乗平均平方根(RMS)雑音を示す。図13は、図示の補償子(C)、(C’)(C”)の1つ又は2つを備える回転補償子型エリプソメーター(RCE)の提示しようとしている構成を示す。さらに、この回転補償子型エリプソメーター(RCE)構造の場合には、リターダンスを80〜160度の間に維持することが、相対的なRMS N、C、S雑音を2.0未満に維持するので、有益であることにつき説明する。その点について、デュアルRCE構造のリターダンス範囲は、60〜160度とわずかに広い。図1及び2は、電磁放射線のビームを通過させる複屈折波長板を、広スペクトル域の回転補償子型エリプソメーターシステムに使用することは、システムの雑音性能に関しては妥協して解決することを示していると理解されたい。
両者間のなす角度が90度より大きな角度で互いに張り出している、同じ長さの第1の面(side)(TS1)及び第2の面(side)(TS2)、及び
上述の90度より大きな角度の角に対向した第3の面(side)(TS3)
を有する。上述の少なくとも2つの同様の三角形状のプリズムは、それぞれの第3の辺(TS3)が実質的に共通の直線上にあるように互いに向きを定めて置かれており;
これらのプリズムのうち第1のプリズムの第1の面(side)に、この面に対して垂直とは異なる角度で入射するようにされた電磁放射線のビームは、このビームが第1のプリズムの前記第3の面で内部反射され、続いて、第1のプリズムの第2の面(side)から出射するように、屈折される。このビームの出射方向は、このビームが第2のプリズムの第1の面(side)に垂直とは異なる角度で入射し、この第2のプリズムの第3の面(side)で内部反射され、続いて、第2のプリズムの第2の面(side)から出射するように、屈折される方向である。プリズムを溶融石英製とし得る。
Tp/Ts=tan(Ψ)ei(Δ)
ビーム入射角=+1度、(Ψ)=56.953、(Δ)=70.425;
ビーム入射角=0度、 (Ψ)=56.940、(Δ)=70.419;
ビーム入射角=−1度、(Ψ)=56.953、(Δ)=70.425;
ビーム入射角=+1度、(Ψ)=52.357、(Δ)=114.232;
ビーム入射角=0度、 (Ψ)=52.349、(Δ)=114.221;
ビーム入射角=−1度、(Ψ)=52.357、(Δ)=114.232
を示すことに留意されたい。
三角プリズム:
(Ψ)=56.382〜59.286;
(Δ)=67.801〜81.290;
平行四辺形菱面体:
(Ψ)=51.976〜54.271
(Δ)=109.795〜135.7010
1.システムが平行移動することでビームの経路がそらされないすなわちずれないこと;
2.システムが回転することでビーム軌跡の角度がずれないこと;
3.偏光特性の変化が、入射ビームの入射角の変化に対しては最小であること。
一方の楔を他方の楔に対して相対的に回転させ、及び/又は楔を組み合わせて回転させて、出射ビームが上述の入射ビームから実質的にずれないようにシステムを調整することができる、シーケンシャルな2つの楔で構成された追加のシステムがあること。
a)電磁放射線源(LS);
b)偏光子(P);
c)サンプル(MS)を支持するための支持台(STG);
d)検光子(アナライザ)(A);及び
e)検出器(DET);
を含む。上述のエリプソメーター又はポラリメーターシステムは、さらに
上述の電磁放射線源(LS)と上述のサンプル(MS)を支持するための支持台(STG)との間;及び
上述のサンプル(MS)を支持するための支持台(STG)と上述の検出器(DET)との間;
からなる群から選択される少なくとも1箇所に存在する少なくとも1つの回転可能補償子(C)(C’)(C”)を含み、
上述の少なくとも1つの回転可能補償子(C)(C’)(C”)は、上述の入射した電磁ビームが素子のそれぞれにおいて少なくとも1回は内部全反射するように、向きを定められて置かれた少なくとも2つのシーケンシャルな素子を含み、これら素子の向き、ジオメトリ、及び対称性は、システムが平行移動することによって、出射ビームの位置がずれず、かつシステムが回転することによって、出射ビームの出射する角度がずれないような状態になっている。さらに、ある実施形態では、これらの素子に2つの三角形状のプリズムを使用する。好ましい設計によれば、三角プリズムの角度を26、128、及び26度とし、かつプリズムを溶融石英製とし得る。別の実施形態では、これら素子に2つの平行四辺形状の菱面体を使用する。好ましい設計によれば、平行四辺形状の菱面体の角度を36、144、36及び144度とし、ここでも、平行四辺形の構造体を溶融石英とし得る。また、上述したように、他の実施形態では、1つ以上の三角形状のプリズム及び1つ以上の平行四辺形状の菱面体などを含み得る。さらに、これら素子の少なくとも1つは、出射ビームの経路が入射ビームの経路から位置及び角度において実質的にずれないようにシステムを調整するために、これら素子の少なくとも1つを平行移動及び/又は傾斜させる機構を有することができる。
a)電磁放射線源(LS);
b)偏光子(P);
c)サンプル(MS)を支持するための支持台(STG);
d)検光子(A);及び
e)検出器(DET);
を含むことができ、上述のエリプソメーター又はポラリメーターシステムは、
上述の電磁放射線源(LS)と上述のサンプル(MS)を支持するための支持台(STG)との間;及び
上述のサンプル(MS)を支持するための支持台(STG)と上述の検出器(DET)との間;
からなる群から選択される少なくとも1箇所に存在する少なくとも1つの回転可能補償子(C)(C’)(C”)をさらに含み、
上述の少なくとも1つの回転可能補償子(C)(C’)(C”)は、上述の入射した電磁ビームが素子のそれぞれにおいて少なくとも1回は内部全反射するように、互いに向きが定められて置かれた少なくとも2つのシーケンシャルな素子を含み、これら素子の向き、ジオメトリ、及び対称性が、システムが平行移動することによって、出射ビームの位置がずれず、かつシステムが回転することによって、出射ビームの出射する角度がずれないような状態になっている。ここでも、一実施形態では、これら素子に2つの三角形状のプリズムを使用する。好ましい設計では、三角プリズムの角度を26、128及び26度とし、プリズムを溶融石英とし得る。別の実施形態では、これら素子に2つの平行四辺形状の菱面体を使用する。好ましい設計では、平行四辺形状の菱面体の角度を36、144、36及び144度とし、ここでも、平行四辺形を溶融石英とし得る。また、上述したように、他の実施形態では、1つ以上の三角形状のプリズム及び1つ以上の平行四辺形状菱面体などを含むことができる。さらに、これら素子の少なくとも1つは、出射ビームの経路を、入射ビームの経路から位置及び角度において、実質的にずれないようにシステムを調整するために、これら素子の少なくとも1つを平行移動及び/又は傾斜させる機構を有することができる。
環境チャンバが、上述の材料系の前段の構成部品を含む偏光状態発生器(PSG)、上述の材料系(MS)、及び上述の材料系の後段の構成部品を含む偏光状態検出器(PSD)が存在する少なくとも1つのチャンバ領域を含むこと;
環境チャンバが、少なくとも3つのチャンバ領域を含み、その1つに、上述の材料系(MS)の前段の構成部品を含む偏光状態発生器(PSG)が存在し、その2つ目に材料系(MS)が存在し、及びその3つ目に、上述の材料系(MS)の後段の構成部品を含む偏光状態検出器(PSD)が存在すること;
環境チャンバが、少なくとも2つのチャンバ領域を含み、その1つに、上述の材料系(MS)の前段の構成部品を含む偏光状態発生器(PSG)及び上述の材料系(MS)が存在し、その2つ目に材料系(MS)の後段の構成部品を含む偏光状態検出器(PSD)が存在すること;
環境チャンバが、少なくとも2つのチャンバ領域を含み、その1つに、上述の材料系の前段の構成部品を含む偏光状態発生器が存在し、その2つ目に上述の材料系の後段の構成部品を含む偏光状態検出器及び上述の材料系が存在すること;
からなる。
Claims (34)
- 入射電磁ビームの直交偏光成分に相対的位相リターデーションを導入するためのシステムであって、前記システムが、前記入射電磁ビームが少なくとも2つの素子のそれぞれにおいて少なくとも1回は内部全反射するように、互いに向きを定めて置かれた少なくとも2つのシーケンシャルな素子で構成されており、
これら素子の順序、向き、ジオメトリ、及び対称性は、前記システムが平行移動することによって、出射ビームの位置が実質的にずれず、かつ前記システムが回転することによって、出射ビームの出射する角度が実質的にずれないようになっている、システム。 - 少なくとも2つの同様の三角形状のプリズムがこれら素子として存在し、該三角形状の素子がそれぞれ、
両者間のなす角度が90度より大きな角度で互いに張り出している、同じ長さの第1の辺TS1及び第2の辺TS2、及び
前記90度より大きな角度の角に対向した第3の辺TS3
を有しており、
前記少なくとも2つの同様の三角形状のプリズムは、それぞれの第3の辺が実質的に共通の直線上にあるように互いに向きを定めて置かれており、
これらプリズムのうち第1のプリズムの第1の面TS1に、この面に対し垂直とは異なる角度で入射するようにされた電磁放射線のビームは、このビームが、前記第1のプリズムの第3の面TS3で内部反射され、続いて、該第1のプリズムの第2の面TS2から出射するように、屈折され、このビームの出射方向は、このビームが第2のプリズムの第1の面TS1に、この面に対して垂直とは異なる角度で入射して、このビームが該第2のプリズムの第3の面TS3で内部反射され、続いて、該第2のプリズムの第2の面TS2から出射するように屈折される方向である、請求項1に記載のシステム。 - 前記三角プリズムの角度が26、128及び26度である、請求項2に記載のシステム。
- 前記プリズムが溶融石英製である、請求項2に記載のシステム。
- 少なくとも2つの平行四辺形状の菱面体がこれら素子として存在し、各前記菱面体が、第1の面RS1、第2の面RS2、第3の面RS3及び第4の面RS4を有しており、前記第1の面RS1及び第3の面RS3は互いに平行であり、前記第2の面RS2及び第4の面RS4は互いに平行であり、前記第1の平行四辺形状の菱面体の前記第1の面RS1及び第2の面RS2、ならびに前記第2の平行四辺形状の菱面体の前記第2の面RS2及び第3の面RS3は、それら面間のなす角度が90度より大きな角度で交わり、前記第1の平行四辺形状の菱面体の前記第2の面RS2及び第3の面RS3、ならびに前記第2の平行四辺形状の菱面体の前記第1の面RS1及び第2の面RS2は、それら面間のなす角度が90度より小さな角度で交わり;
前記少なくとも2つの平行四辺形状の菱面体は、それらの第2の辺RS2が実質的に共通の直線上にあり、かつそれらの第4の辺(RS4)が実質的に共通の直線上にあるように向きを定めて置かれており;
前記第1の平行四辺形状の菱面体の前記第1の面RS1に、該面に対して垂直とは異なる角度で入射されるようにされた電磁放射線のビームは、このビームが、前記第1の菱面体の前記第4の面RS4及び第2の面RS2で内部反射され、続いて、該第1の菱面体の前記第3の面RS3から出射するように屈折され、このビームの出射方向は、このビームが、前記第2の菱面体の前記第1の面RS1に、この面に対して垂直とは異なる角度で入射して、このビームが前記第2の菱面体で内部反射され、かつその前記第2の面RS2及び第4の面RS4で反射されてから、その前記第3の面RS3から出射するように屈折されてる方向である、請求項1に記載のシステム。 - 前記平行四辺形状の菱面体の角度が、36、144、36及び144度である、請求項5に記載のシステム。
- 前記菱面体が溶融石英製である、請求項5に記載のシステム。
- 少なくとも2つの平行四辺形状の菱面体がこれら素子として存在し、各前記菱面体が第1の面RS1、第2の面RS2、第3の面RS3及び第4の面RS4を有しており、前記第1の面RS1及び第3の面RS3は互いに平行であり、前記第2の面RS2及び第4の面RS4は互いに平行であり、前記第1の平行四辺形状の菱面体の前記第1の面RS1及び第2の面RS2、ならびに前記第2の平行四辺形状の菱面体の前記第2の面RS2及び第3の面RS3は、それら面間のなす角度が90度より大きな角度で交わり、前記第1の平行四辺形状の菱面体の前記第2の面RS2及び第3の面RS3、ならびに前記第2の平行四辺形状の菱面体の前記第1の面RS1及び第2の面RS2は、それら面間のなす角度が90度より小さな角度で交わり、
前記少なくとも2つの平行四辺形状の菱面体は、それらの第1の面及び第3の面が実質的に互いに平行であるように向きを定めて置かれており;
それらの一方の菱面体の前記第1の面RS1に、その面に対して実質的に垂直に入射するようにされた電磁放射線のビームは、このビームが、前記一方の菱面体の前記第4の面RS4及び第2の面RS2で内部反射され、続いて、該一方の菱面体の前記第3の面RS3から出射するように進み、このビームの出射方向は、このビームがもう一方の菱面体の前記第1の面RS1に、この面に対して実質的に垂直に入射し、続いて、このビームが前記平行四辺形状の菱面体の前記第2の面RS2及び第4の面RS4で内部反射されて、該もう一方の菱面体の前記第3の面RS3から出射するように進む方向である、システムにおいて、
該システムは、少なくとも1つの前記平行四辺形状の菱面体の前記第2の面RS2及び第4の面RS4の少なくとも1つが、その面上に、対応する前記平行四辺形状の菱面体を構成する材料とは異なる屈折率を有するコーティングを有していることを特徴とする、請求項1に記載のシステム。 - 前記平行四辺形状の菱面体の角度が、36、144、36及び144度、又は45、135、45及び135度である、請求項8に記載のシステム。
- 前記菱面体が溶融石英製であり、コーティングがMgF2である、請求項8に記載のシステム。
- 少なくとも4つのシーケンシャルな素子ra、rb、rc、rdを含み、前記ビームがこれら素子のそれぞれにおいて1回は内部全反射する前記システムにおいて、
前記少なくとも4つの素子ra、rb、rc、rdのそれぞれが、その直角の角に隣接した直角面及びその直角の角に対向する面ha、hb、hc、hdを有する直角プリズムであり;これら直角プリズムは、側面側から見たとき、第1の直角プリズムraを、その直角の角に対向する面haが右下を向き、かつ、該第1の直角プリズムraの真上に第2の直角プリズムrbがあるように、位置決めし、該第2の直角プリズムを、その直角の角に対向する面hbが左上を向くように向け、かつ該第2の直角プリズムrbの直ぐ右横に第3の直角プリズムrcがあるように、向きを定めて置き、該第3の直角プリズムを、その直角の角に対向する面hcが右上を向くように向け、かつ該第3の直角プリズムrcの真下に第4の直角プリズムrdを位置決めし、該第4の直角プリズムを、その直角の角に対向する面hdが左下を向くように向きを定めて置くように、互いに向きを定めて置かれていることを特徴とする、請求項1に記載のシステム。 - 前記直角プリズムの角度が45、90及び45度である、請求項11に記載のシステム。
- 前記直角プリズムが溶融石英製である、請求項11に記載のシステム。
- 前記シーケンシャルな素子の少なくとも1つが、出射ビームを入射ビームから実質的にずれないようにシステムを調整する目的のために、前記素子を平行移動及び/又は傾斜させる機構を有すること
前記シーケンシャルな素子の少なくとも1つが、その素子の、電磁放射線のビームの内部反射が起こる面上にコーティングを有し、該コーティングは対応する前記素子を構成する材料とは異なる屈折率を有すること;
前記シーケンシャルな素子の少なくとも1つが、その素子の、電磁放射線のビームが入出射する面上にコーティングを有し、該コーティングは対応する前記素子を構成する材料とは異なる屈折率を有すること;
電磁ビームの直交偏光成分に相対的位相リターデーションを導入するための、前記システムには、追加的なシーケンシャルな複数の楔のシステムが設けられていて、出射ビームを入射ビームから実質的にずれないようにシステムを調整する目的のために、前記楔の1つW1をもう一方の楔W2に対して回転させることができて及び/又は両楔W1、W2を同時に回転できること、
からなる群から選択される少なくとも1つを含むことをさらに特徴とする、請求項1〜13のいずれか一項に記載のシステム。 - a)電磁放射線源LS
b)偏光子P;
c)サンプル支持台STG;
d)検光子A;及び
e)検出器DET;
をさらに含み、
前記電磁放射線源LSと前記サンプル支持台STGとの間;及び
前記サンプル支持台STGと前記検出器DETとの間;
からなる群から選択される少なくとも1箇所に存在する少なくとも1つの回転可能補償子C、C’、C”を備えるシステムをさらに含み、
前記少なくとも1つの回転可能補償子C、C’、C”が、互いに向きを定めて置かれた少なくとも2つのシーケンシャルな素子を含んでいて、前記入射電磁ビームが前記素子のそれぞれにおいて少なくとも1回は内部全反射するようにし、これら素子の順序、向き、ジオメトリ、及び対称性は、前記システムが平行移動することによって、出射ビームの経路が入射ビームの経路から実質的にずれず、かつ前記システムが回転することによって、前記出射ビームの出射する角度の経路が前記入射ビームの経路から実質的にずれない状態にされており;
前記システムはエリプソメーター又はポラリメータ−システムである、
請求項1に記載の入射電磁ビームの直交偏光成分に相対的位相リターデーションを導入するためのシステム。 - 少なくとも2つの類似の三角形状のプリズムがこれら素子として存在しており、前記三角形状の素子がそれぞれ、
両者間のなす角度が90度より大きな角度で互いに張り出している、同じ長さの第1の辺TS1及び第2の辺TS2と
前記90度より大きな角度の角に対向した第3の辺TS3と
を有し、
前記少なくとも2つの類似の三角形状のプリズムは、それぞれの第3の辺が実質的に共通の直線上にあるように互いに向きを定めて置かれており;
第1のプリズムの第1の面TS1に、この面に対して垂直とは異なる角度で入射するようにされた電磁放射線のビームは、このビームが該第1のプリズムの第3の面TS3で内部反射され、続いて、該第1のプリズムの第2の面TS2から出射するように、屈折され、このビームの出射方向は、そのもう一方のプリズムの第1の面TS1に、この面に対して垂直とは異なる角度で入射して、該もう一方のプリズムの第3の面TS3で内部反射され、続いて、該もう一方のプリズムの第2の面TS2を出射するように屈折される方向である、請求項15に記載のシステム。 - 前記三角プリズムの角度が26、128及び26度である、請求項16に記載のシステム。
- 前記プリズムが溶融石英製である、請求項16に記載のシステム。
- 少なくとも2つの平行四辺形状の菱面体がこれら素子として存在しており、各前記菱面体が第1の面RS1、第2の面RS2、第3の面RS3及び第4の面RS4を有しており、前記第1の面RS1及び第3の面RS3は互いに平行であり、前記第2の面RS2及び第4の面RS4は互いに平行であり、前記第1の平行四辺形状の菱面体の前記第1の面RS1及び第2の面RS2、ならびに前記第2の平行四辺形状の菱面体の前記第2の面RS2及び第3の面RS3は、それら面間のなす角度が90度より大きな角度で交わり、かつ前記第1の平行四辺形状の菱面体の前記第2の面RS2及び第3の面RS3、ならびに前記第2の平行四辺形状の菱面体の前記第1の面RS1及び第2の面RS2は、それらら面間のなす角度が90度より小さな角度で交わっており;
前記少なくとも2つの平行四辺形状の菱面体は、それらの第2の辺RS2が実質的に共通の直線上にあり、それらの第4の辺(RS4)が実質的に共通の直線上にあるように、向きを定めて置かれており;
前記第1の平行四辺形状の菱面体の前記第1の面RS1に、この面に対し垂直とは異なる角度で入射するようにされた電磁放射線のビームは、このビームが第1の菱面体の前記第4の面RS4及び第2の面RS2で内部反射され、続いて、該第1の菱面体の前記第3の面RS3から出射するように、屈折され、このビームの出射方向は、このビームが第2の平行四辺形状の菱面体の前記第1の面RS1に、この面に対して垂直とは異なる角度で入射して、前記第2の平行四辺形状の菱面体で内部反射され、かつその前記第2の面RS2及び第4の面RS4で内部反射し、続いて、前記第2の菱面体の前記第3の面RS3から出射するように屈折される方向である、請求項15に記載のシステム。 - 前記平行四辺形状の菱面体の角度が、36、144、36及び144度、又は45、135、45及び135度である、請求項19に記載のシステム。
- それぞれの菱面体が溶融石英製であり、かつ該菱面体の少なくとも1つが、任意に、その少なくとも1つの面上に、該菱面体を構成する材料とは屈折率が異なる材料のコーティングを有する請求項19に記載のシステム。
- 少なくとも2つの平行四辺形状の菱面体がそれぞれ素子として存在し、各前記菱面体が第1の面RS1、第2の面RS2、第3の面RS3及び第4の面RS4を有しており、前記第1の面RS1及び第3の面RS3は互いに平行であり、前記第2の面RS2及び第4の面RS4は互いに平行であり、前記第1の平行四辺形状の菱面体の前記第1の面RS1及び第2の面RS2、ならびに前記第2の平行四辺形状の菱面体の前記第2の面RS2及び第3の面RS3は、それら面間のなす角度が90度より大きな角度で交わり、前記第1の平行四辺形状の菱面体の前記第2の面RS2及び第3の面RS3、ならびに前記第2の平行四辺形状の菱面体の前記第1の面RS1及び第2の面RS2は、それら面間のなす角度が90度より小さな角度で交わり、
前記少なくとも2つの平行四辺形状の菱面体はそれぞれの第1の面及び第3の面が実質的に互いに平行であるように、向きを定めて置かれており;
一方の菱面体の前記第1の面RS1に、この面に対して実質的に垂直に入射するようにされた電磁放射線のビームは、このビームが、第1の菱面体の前記第4の面RS4及び第2の面RS2で内部反射され、続いて、前記第1の菱面体の前記第3の面RS3から出射するように進み、このビームの出射する方向は、このビームが第2の菱面体の前記第1の面RS1へ、この面に対して実質的に垂直な角度で入射し、続いて、このビームが平行四辺形状の菱面体の前記第2の面RS2及びその第4の面RS4で内部反射され、続いて、前記第2の菱面体の前記第3の面RS3から出射するように進む方向である、請求項15に記載のシステムにおいて、
少なくとも1つの前記平行四辺形状の菱面体の前記第2の面RS2及び第4の面RS4の少なくとも1つがその面上に、対応する前記平行四辺形状の菱面体を構成する材料とは異なる屈折率を有するコーティングを有することを特徴とする、システム。 - 前記平行四辺形状の菱面体の角度が36、144、36及び144度、又は45、135、45及び135度である、請求項22に記載のシステム。
- 前記菱面体が溶融石英製であり、前記コーティングがMgF2である、請求項22に記載のシステム。
- 少なくとも4つのシーケンシャルな素子ra、rb、rc、rdを含み、前記ビームが前記素子のそれぞれにおいて1回は内部全反射する、請求項15に記載のシステムにおいて、
前記少なくとも4つの素子ra、rb、rc、rdがそれぞれ、その直角の角に隣接した直角面及びそれぞれその直角の角に対向する面ha、hb、hc、hdを有する直角プリズムであり;側面側から見たとき、第1の直角プリズムraを、その直角の角に対向する面haが右下を向き、かつ前記第1の直角プリズムraの真上に第2の直角プリズムrbがあるように、位置決めし、前記第2の直角プリズムを、その直角の角に対向する面hbが左上を向き、かつ前記第2の直角プリズムrbの直ぐ右横に第3の直角プリズムrcがあるように、向きを定めて置き、前記第3の直角プリズムを、その直角の角に対向する面hcが右上を向き、かつ前記第3の直角プリズムrcの真下に第4の直角プリズムrdを位置決めするように、向きを定めて置き、前記第4の直角プリズムを、その直角の角に対向する面面hdが左下を向くように、向きを定めて置くようにして、前記直角プリズムのそれぞれを互いに対して向きを定めて置いてあることを特徴とする、システム。 - 前記直角プリズムの角度が45、90及び45度である、請求項25に記載のシステム。
- 前記直角プリズムが溶融石英製であり、任意に、少なくとも1つのプリズムの少なくとも1つの面上にはMgF2のコーティングがある、請求項25に記載のシステム。
- 互いに向きを定めて置かれた少なくとも2つのシーケンシャルな素子を含む、補償子型のシステムであって、
入射した電磁ビームが、これら素子のそれぞれにおいて少なくとも1回は内部全反射するようにし、これら素子の順序、向き、ジオメトリ、及び対称性は、前記システムが平行移動することによって、前記システムからの出射ビームの経路が前記入射ビームの経路から実質的にずれず、かつ前記システムが回転することによって、前記出射ビームの出射する角度の経路が前記入射ビームの経路から実質的にずれないようになっている、補償子型のシステムを提供する方法であって、該方法は以下のステップ:
a)互いに向きを定めて置かれた少なくとも2つのシーケンシャルな素子を含んでいて、入射した電磁ビームがこれら素子のそれぞれにおいて少なくとも1回は内部全反射するようにし、これら素子の少なくとも1つの素子が、これら素子のもう一方の素子に対して平行移動及び/又は回転できるように搭載されているシステムを用意するステップ;
b)電磁放射線のビームを前記シーケンシャルな素子に対して入出射させるステップ、
c)これら素子のもう一方の素子に対して平行移動及び/又は回転できるように搭載されている前記素子を平行移動及び/又は回転させて、前記システムの平行移動及び/又は回転が、前記入射ビームの経路と比較して前記出射ビームの経路のずれを低減させるステップ
を含む方法。 - 少なくとも2つのシーケンシャルな素子を含むシステムを用意するステップが、その少なくとも1つの面上に、前記素子を構成する材料は異なる屈折率を有するコーティングを有する少なくとも1つの素子を用意するステップを含む、請求項26に記載の方法。
- 垂直でない入射角が約3度である、請求項2に記載のシステム。
- 垂直でない入射角が約3度である、請求項16に記載のシステム。
- 垂直でない入射角が約3度である、請求項19に記載のシステム。
- 前記エリプソメーターのポラリメータ−が機能的に含まれている環境制御室をさらに含む請求項15に記載のシステムにおいて、前記環境制御室が、
前記材料系の前段に構成部品を含む偏光状態発生器、前記材料系、及び前記材料系の後段に構成部品を含む偏光状態検出器が存在する少なくとも1つのチャンバ領域を含むこと;
少なくとも3つのチャンバ領域を含み、その1つのチャンバ領域に、前記材料系の前段に構成部品を含む偏光状態発生器が存在し、その2つ目のチャンバ領域に前記材料系が存在し、その3つ目のチャンバ領域に、前記材料系の後段に構成部品を含む偏光状態検出器が存在すること;
少なくとも2つのチャンバ領域を含み、その1つのチャンバ領域に、前記材料系の前段に構成部品を含む偏光状態発生器及び前記材料系が存在し、その2つ目のチャンバ領域に、前記材料系の後段に構成部品を含む偏光状態検出器が存在すること;
少なくとも2つのチャンバ領域を含み、その1つのチャンバ領域に、前記材料系の前段に構成部品を含む偏光状態発生器が存在し、その2つ目のチャンバ領域に、前記材料系の後段に構成部品を含む偏光状態検出器及び前記材料系が存在すること、
からなる群から選択される1つの構成を有することを特徴とするシステム。 - a)電磁放射線の多色性ビーム源、偏光子、材料系支持台、検光子、分散光学系(オプティクス)、及び複数の検知素子を含む少なくとも1つの検出器システムを備えるエリプソメーター又はポラリメータ−のシステムであって、
前記エリプソメーター又はポラリメータ−を使用して、前記材料系支持台に存在する材料系を調査する場合、前記電磁放射線の多色性ビーム源によって生成された電磁放射線の多色性ビームを、前記偏光子を通過させ及び前記材料系支持台上の材料系と相互作用させてから、前記検光子を通過させ、及び前記分散光学系と相互作用させて、複数の本質的に単一の波長が、前記少なくとも1つの検出器システム内の、対応する複数の検知素子に同時に入射するようにし;
前記エリプソメーター又はポラリメータ−システムが、前記エリプソメーター又はポラリメータ−を含む環境制御室をさらに含み、前記環境制御室が、
前記材料系の前段に構成部品を含む偏光状態発生器、前記材料系、及び前記材料系の後段に構成部品を含む偏光状態検出器が存在する少なくとも1つのチャンバ領域を含むこと;
少なくとも3つのチャンバ領域を含み、その1つのチャンバ領域に、前記材料系の前段に構成部品を含む偏光状態発生器が存在し、その2つ目のチャンバ領域に前記材料系が存在し、その3つ目に、前記材料系の後段に構成部品を含む偏光状態検出器が存在すること;
少なくとも2つのチャンバ領域を含み、その1つのチャンバ領域に、前記材料系の前段に構成部品を含む偏光状態発生器及び前記材料系が存在し、その2つ目のチャンバ領域に、前記材料系の後段に構成部品を含む偏光状態検出器が存在すること;
少なくとも2つのチャンバ領域を含み、その1つのチャンバ領域に前記材料系の前段に構成部品を含む偏光状態発生器が存在し、その2つ目のチャンバ領域に、前記材料系の後段に構成部品を含む偏光状態検出器及び前記材料系が存在すること
からなる群から選択される1つの構成を有することを特徴とする前記システムを用意するステップ、
b)前記材料系支持台に材料系を置いて、前記環境制御室を少なくとも部分的にパージ又は排出するステップ;
c)前記電磁放射線の多色性ビーム源に電磁放射線の多色性ビームを発生させ、前記ビームを前記材料系支持台上の前記材料系と相互作用させ、及び前記分散光学系と相互作用させて、複数の本質的に単一の波長を同時に、前記少なくとも1つの検出器システム内にある、対応する複数の検知素子に入射させるステップ
を含む方法。
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