JP2010284861A - Thermal head, and method for driving the same - Google Patents

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Tatsuya Soma
達也 相馬
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a structure that can sublimate a transfer material over the longitudinal direction of a heating resistor layer while keeping voltage applied between electrodes lower than the prior art when sublimating the transfer material by causing heat generation of the heating resistor layer formed in long-sized shape. <P>SOLUTION: This thermal head includes: an insulating substrate 12; the heating resistor layer 13 formed in long-sized shape on the substrate 12; n-number (n is a natural number of 3 or more) of electrodes 14 provided spaced from one another in the longitudinal direction of the heating resistor layer in a state of being electrically connected to the heating resistor layer; and a driving means for applying voltage individually between two electrodes for every pair with two electrodes, provided in different positions in the longitudinal direction of the heating resistor layer, as a pair with respect to the n-number of electrodes. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、サーマルヘッドとその駆動方法に関するものである。   The present invention relates to a thermal head and a driving method thereof.

一般に、サーマルヘッドは、薄膜の発熱抵抗体層の一方と他方に、それぞれ発熱抵抗体層に重なるように2つの電極を配置した構成となっている。そして、2つの電極間に電圧を印加することにより、発熱抵抗体層に電流を流してジュール熱を発生させる仕組みになっている(例えば、特許文献1を参照)。   In general, the thermal head has a configuration in which two electrodes are disposed on one and the other of the thin heating resistor layers so as to overlap the heating resistor layers, respectively. Then, by applying a voltage between the two electrodes, a current is passed through the heating resistor layer to generate Joule heat (see, for example, Patent Document 1).

特開昭57−208274号公報JP-A-57-208274

サーマルヘッドを用いて転写材料を昇華させる場合は、転写材料の昇華温度(昇華点)以上に発熱抵抗体層を発熱させる必要がある。一方、2つの電極間に電圧を印加して発熱抵抗体層を発熱させる場合は、2つの電極間の距離(発熱抵抗体層が発熱する範囲)が長くなるほど、電圧降下の影響で発熱温度にばらつきが生じやすくなる。このため、長尺状に形成された発熱抵抗体層を均一な温度で発熱させるには、印加電圧を十分に高く設定する必要がある。   When sublimating a transfer material using a thermal head, it is necessary to cause the heating resistor layer to generate heat above the sublimation temperature (sublimation point) of the transfer material. On the other hand, when a voltage is applied between two electrodes to cause the heating resistor layer to generate heat, the longer the distance between the two electrodes (the range in which the heating resistor layer generates heat), the higher the heating temperature due to the voltage drop. Variation tends to occur. For this reason, it is necessary to set the applied voltage sufficiently high in order to cause the heating resistor layer formed in a long shape to generate heat at a uniform temperature.

本発明は、長尺状に形成された発熱抵抗体層を発熱させて転写材料を昇華させる場合に、従来よりも電極間に印加する電圧を低く抑えながら、発熱抵抗体層の長手方向にわたって転写材料を昇華させることができる仕組みを提供することを目的とする。   In the present invention, when the transfer resistor is sublimated by generating heat from the elongated heating resistor layer, the voltage is applied across the longitudinal direction of the heating resistor layer while keeping the voltage applied between the electrodes lower than before. An object is to provide a mechanism capable of sublimating a material.

本発明に係るサーマルヘッドは、絶縁性の基板と、前記基板上に長尺状に形成された発熱抵抗体層と、前記発熱抵抗体層に電気的に接続する状態で、前記発熱抵抗体層の長手方向に互いに距離を隔てて設けられたn個(nは3以上の自然数)の電極と、前記n個の電極に対して、前記発熱抵抗体層の長手方向の異なる位置に設けられた2つの電極を1つの組として、各組ごとに2つの電極間に個別に電圧を印加する駆動手段とを備えた構成となっている。   The thermal head according to the present invention includes an insulating substrate, a heating resistor layer formed in an elongated shape on the substrate, and the heating resistor layer in a state of being electrically connected to the heating resistor layer. N electrodes (n is a natural number of 3 or more) provided at a distance from each other in the longitudinal direction of the heating resistor layer and the n electrodes at different positions in the longitudinal direction of the heating resistor layer. The two electrodes are combined into one set, and each set includes a driving unit that individually applies a voltage between the two electrodes.

上記構成のサーマルヘッドにおいては、発熱抵抗体層の長手方向に設けられたn個の電極により、発熱抵抗体層が複数の領域に分割され、当該分割された各々の領域に、各組に属する2つの電極を用いて、個別に電圧が印加される。このため、長尺状の発熱抵抗体層を従来のように1回の電圧の印加により一括して発熱させる場合に比較して、予め設定された温度まで発熱抵抗体層を発熱させるために必要な電圧が低くなる。したがって、単位面積当たり同一の発熱量を得るための最大電圧を抑制することが可能となる。   In the thermal head having the above configuration, the heating resistor layer is divided into a plurality of regions by n electrodes provided in the longitudinal direction of the heating resistor layer, and each of the divided regions belongs to each set. A voltage is individually applied using two electrodes. For this reason, it is necessary for heating the heating resistor layer to a preset temperature as compared to the case where the long heating resistor layer is heated collectively by applying a single voltage as in the prior art. The voltage becomes low. Therefore, it is possible to suppress the maximum voltage for obtaining the same calorific value per unit area.

本発明によれば、長尺状に形成された発熱抵抗体層を発熱させて転写材料を昇華させる場合に、従来よりも電極間に印加する電圧を低く抑えながら、発熱抵抗体層の長手方向にわたって転写材料を昇華させることができる。   According to the present invention, when the transfer resistor is sublimated by generating heat in the elongated heating resistor layer, the longitudinal direction of the heating resistor layer is suppressed while keeping the voltage applied between the electrodes lower than in the past. The transfer material can be sublimated over the entire area.

本発明の第1の実施の形態に係るサーマルヘッドの主要部の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the principal part of the thermal head which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係るサーマルヘッドの構成例を示す概略図である。It is the schematic which shows the structural example of the thermal head which concerns on embodiment of this invention. 本発明の第1の実施の形態に係るサーマルヘッドの駆動方法の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the drive method of the thermal head which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施の形態に係るサーマルヘッドの主要部の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the principal part of the thermal head which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施の形態に係るサーマルヘッドの駆動方法の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the drive method of the thermal head which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. サーマルヘッドにおける電極配列の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the electrode arrangement | sequence in a thermal head. 第1の駆動方法に適用される電極の組み合わせ事例を示す図である。It is a figure which shows the example of a combination of the electrodes applied to a 1st drive method. 第1の駆動方法に基づくサーマルヘッドの駆動例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the example of a drive of the thermal head based on a 1st drive method. 図8の駆動例に対応した発熱抵抗体層の発熱範囲を示す図である。FIG. 9 is a diagram illustrating a heat generation range of a heating resistor layer corresponding to the driving example of FIG. 8. 第1の駆動方法に基づくサーマルヘッドの他の駆動例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the other drive example of the thermal head based on a 1st drive method. 図10の駆動例に対応した発熱抵抗体層の発熱範囲を示す図である。FIG. 11 is a diagram illustrating a heat generation range of a heat generation resistor layer corresponding to the driving example of FIG. 10. 第2の駆動方法に適用される電極の組み合わせ事例を示す図である。It is a figure which shows the example of a combination of the electrodes applied to the 2nd drive method. 第2の駆動方法に基づくサーマルヘッドの駆動例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the drive example of the thermal head based on the 2nd drive method. 図13の駆動例に対応した発熱抵抗体層の発熱範囲を示す図(その1)である。FIG. 14 is a diagram (No. 1) illustrating a heat generation range of a heating resistor layer corresponding to the driving example of FIG. 13; 図13の駆動例に対応した発熱抵抗体層の発熱範囲を示す図(その2)である。It is FIG. (2) which shows the heat-generation range of the heat-generating resistor layer corresponding to the drive example of FIG.

以下、本発明の具体的な実施の形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、本発明の技術的範囲は以下に記述する実施の形態に限定されるものではなく、発明の構成要件やその組み合わせによって得られる特定の効果を導き出せる範囲において、種々の変更や改良を加えた形態も含む。   Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. It should be noted that the technical scope of the present invention is not limited to the embodiments described below, and various modifications and improvements have been made within the scope of deriving specific effects obtained by the constituent requirements of the invention and combinations thereof. Including form.

本発明の実施の形態については、以下の順序で説明する。
1.第1の実施の形態(サーマルヘッドの構造、サーマルヘッドの製造方法、サーマルヘッドの駆動方法)
2.第2の実施の形態(サーマルヘッドのヘッド構造、サーマルヘッドの製造方法、サーマルヘッドの駆動方法)
Embodiments of the present invention will be described in the following order.
1. First embodiment (thermal head structure, thermal head manufacturing method, thermal head driving method)
2. Second Embodiment (Head Structure of Thermal Head, Thermal Head Manufacturing Method, Thermal Head Driving Method)

<第1の実施の形態>
(サーマルヘッドの構造)
図1は本発明の第1の実施の形態に係るサーマルヘッドの主要部の構成を示すもので、(A)は平面図、(B)は(A)のx1−x1断面図、(C)は(A)のy1−y1断面図、(D)は(A)のy2−y2断面図である。サーマルヘッド11は、基板12と、発熱抵抗体層13と、複数の電極14と、絶縁層15とを備えた構成となっている。
<First Embodiment>
(Structure of thermal head)
1A and 1B show a configuration of a main part of a thermal head according to a first embodiment of the present invention. FIG. 1A is a plan view, FIG. 1B is a sectional view taken along line x1-x1 in FIG. (Y) sectional view of y1-y1 of (A), (D) is a y2-y2 sectional view of (A). The thermal head 11 includes a substrate 12, a heating resistor layer 13, a plurality of electrodes 14, and an insulating layer 15.

基板12は、絶縁性の基板であって、例えば、ガラス基板を用いて構成されている。基板12は、平面視長方形の平板状に形成されている。   The board | substrate 12 is an insulating board | substrate, Comprising: For example, it is comprised using the glass substrate. The substrate 12 is formed in a flat plate shape that is rectangular in plan view.

発熱抵抗体層13は、基板12の一方の主面上に長尺状に形成されている。発熱抵抗体層13は、例えば、モリブデンなどの金属材料によって形成されるものである。発熱抵抗体層13は、電気的に所望の抵抗値となるように、例えば、厚さが数十nmの薄膜状に形成されている。発熱抵抗体層13は、一方向に帯状に延在する状態で長尺状に形成されている。   The heating resistor layer 13 is formed in a long shape on one main surface of the substrate 12. The heating resistor layer 13 is formed of a metal material such as molybdenum, for example. The heating resistor layer 13 is formed in a thin film shape having a thickness of several tens of nanometers, for example, so as to have an electrically desired resistance value. The heating resistor layer 13 is formed in a long shape in a state extending in a strip shape in one direction.

ここでは、発熱抵抗体層13を1つしか表示しないが、発熱抵抗体層13の数は1つに限らず、必要に応じて複数形成されるものである。その場合、図示はしないが、複数の発熱抵抗体層13を、当該発熱抵抗体層13の幅方向(図1(A)の上下方向)に並べて配列してもよいし、当該発熱抵抗体層13の長手方向(図1(A)の左右方向)に並べて配列してもよい。また、複数の発熱抵抗体層13を、当該発熱抵抗体層13の幅方向及び長手方向(長さ方向)の両方向に並べて配列してもよい。   Here, only one heating resistor layer 13 is displayed, but the number of heating resistor layers 13 is not limited to one, and a plurality of heating resistor layers 13 may be formed as necessary. In that case, although not shown, a plurality of heating resistor layers 13 may be arranged side by side in the width direction of the heating resistor layer 13 (vertical direction in FIG. 1A), or the heating resistor layer You may arrange in 13 longitudinal directions (left-right direction of FIG. 1 (A)). Further, the plurality of heating resistor layers 13 may be arranged side by side in both the width direction and the longitudinal direction (length direction) of the heating resistor layer 13.

発熱抵抗体層13の長手方向においては、発熱抵抗体層13の一部13aが、絶縁層15よりも外側にはみ出すように引き出されている。発熱抵抗体層13の一部13aは、絶縁層15の長辺部から外側に外れたところで電極14の上に覆い被さっている。発熱抵抗体層13は、その一部13aを除いて、一様な幅で連続した帯状に形成されている。   In the longitudinal direction of the heating resistor layer 13, a part 13 a of the heating resistor layer 13 is drawn out so as to protrude outside the insulating layer 15. A part 13 a of the heating resistor layer 13 covers the electrode 14 at a position outside the long side portion of the insulating layer 15. The heating resistor layer 13 is formed in a continuous band shape with a uniform width except for a part 13a thereof.

電極14は、1つの発熱抵抗体層13につき少なくとも3つ設けられるものである。電極14の個数は、必要に応じて増やすことができるが、ここでは簡単のため1つの発熱抵抗体層13に対して3つの電極14を設けている。電極14は、例えば、アルミニウムなどの電極材料によって形成されるものである。電極14のシート抵抗は、発熱抵抗体層13のシート抵抗に比較して十分に小さいものとなっている。例えば、電極14のシート抵抗は、0.1Ω/□以下、発熱抵抗体層13のシート抵抗は、数Ω/□程度となっている。3つの電極14は、発熱抵抗体層13の長手方向に均一な距離を隔てて配置されている。具体的には、発熱抵抗体層13の長手方向の両端部付近に1つずつ電極14が設けられるとともに、発熱抵抗体層13の長手方向の中間部に1つの電極14が設けられている。   At least three electrodes 14 are provided for one heating resistor layer 13. The number of electrodes 14 can be increased as necessary, but here, for simplicity, three electrodes 14 are provided for one heating resistor layer 13. The electrode 14 is formed of an electrode material such as aluminum. The sheet resistance of the electrode 14 is sufficiently smaller than the sheet resistance of the heating resistor layer 13. For example, the sheet resistance of the electrode 14 is 0.1Ω / □ or less, and the sheet resistance of the heating resistor layer 13 is about several Ω / □. The three electrodes 14 are arranged at a uniform distance in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13. Specifically, one electrode 14 is provided in the vicinity of both ends in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13, and one electrode 14 is provided in an intermediate portion in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13.

電極14は、発熱抵抗体層13に電気的に接続する状態で設けられている。電極14は、発熱抵抗体層13の長手方向に対して、それと交差(より具体的には直交)する向きで平面視長方形に形成されている。電極14の一部14aは、前述した発熱抵抗体層13の一部13aと同じ位置(平面的に重なる位置)で、絶縁層15よりも外側にはみ出すように引き出されている。電極14の一部14aは、発熱抵抗体層13の一部13aよりも外側に大きく引き出されている。電極14の他部は、図例のように絶縁層15よりも外側にはみ出すようにしてもよいし、絶縁層15の長辺部と位置を揃えてもよい。   The electrode 14 is provided in a state of being electrically connected to the heating resistor layer 13. The electrode 14 is formed in a rectangular shape in plan view in a direction intersecting (more specifically, orthogonal) to the longitudinal direction of the heating resistor layer 13. A part 14 a of the electrode 14 is drawn out so as to protrude outward from the insulating layer 15 at the same position (a position overlapping in plan) as the part 13 a of the heating resistor layer 13 described above. A part 14 a of the electrode 14 is greatly drawn outward from a part 13 a of the heating resistor layer 13. The other part of the electrode 14 may protrude beyond the insulating layer 15 as shown in the figure, or may be aligned with the long side part of the insulating layer 15.

絶縁層15は、発熱抵抗体層13と同様に一方向に長い長尺状に形成されている。絶縁層15は、例えば、窒化シリコンなどの絶縁材料によって形成されるものである。絶縁層15は、発熱抵抗体層13の一部13aを除いて、発熱抵抗体層13よりも幅の広い帯状に形成されている。このため、発熱抵抗体層13は、基板12の一主面上で絶縁層15の上に積層されている。絶縁層15は、発熱抵抗体層13よりも長く形成されている。絶縁層15は、電極14の一部14aを除いて、電極14を覆う状態で基板12の一主面上に形成されている。   The insulating layer 15 is formed in a long shape in one direction, like the heating resistor layer 13. The insulating layer 15 is formed of an insulating material such as silicon nitride, for example. The insulating layer 15 is formed in a strip shape wider than the heating resistor layer 13 except for a part 13 a of the heating resistor layer 13. For this reason, the heating resistor layer 13 is laminated on the insulating layer 15 on one main surface of the substrate 12. The insulating layer 15 is formed longer than the heating resistor layer 13. The insulating layer 15 is formed on one main surface of the substrate 12 so as to cover the electrode 14 except for a part 14 a of the electrode 14.

このため、基板12の一主面上で電極14が形成されている部分では、基板12側から順に、電極14、絶縁層15及び発熱抵抗体層13が積み重なっている。また、基板12の一主面上で電極14が形成されていない部分では、基板12側から順に、絶縁層15及び発熱抵抗体層13が積み重なっている。   For this reason, in the part in which the electrode 14 is formed on one main surface of the substrate 12, the electrode 14, the insulating layer 15, and the heating resistor layer 13 are stacked in order from the substrate 12 side. In addition, in the portion where the electrode 14 is not formed on one main surface of the substrate 12, the insulating layer 15 and the heating resistor layer 13 are stacked in order from the substrate 12 side.

絶縁層15は、発熱抵抗体層13の長手方向で、少なくとも発熱抵抗体層13と電極14とが重なり合う領域に形成されるものである。ただし、本実施の形態においては、絶縁層15の上に積層される発熱抵抗体層13を段差なく形成するために、発熱抵抗体層13と電極14とが重なり合う領域を含めて、絶縁層15を長尺状に長く形成している。発熱抵抗体層13と電極14とが重なり合う領域とは、両者の物理的な接触の有無にかかわらず、基板12を平面的に見たときに、両者(13,14)が重なり合う領域をいう。   The insulating layer 15 is formed in a region where at least the heating resistor layer 13 and the electrode 14 overlap in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13. However, in the present embodiment, in order to form the heating resistor layer 13 laminated on the insulating layer 15 without a step, the insulating layer 15 includes a region where the heating resistor layer 13 and the electrode 14 overlap. Is formed long and long. The region where the heating resistor layer 13 and the electrode 14 overlap refers to a region where both (13, 14) overlap when the substrate 12 is viewed in a plane regardless of the physical contact between the two.

絶縁層15は、発熱抵抗体層13と電極14とが重なり合う領域に、基板12の厚み方向で発熱抵抗体層13と電極14の間に介在する状態で形成されている。また、発熱抵抗体層13と電極14とが重なり合う領域では、発熱抵抗体層13の一部13aと電極14の一部14aが、それぞれ絶縁層15の一方の長辺部よりも外側にはみ出しており、このはみ出し部分(13a,14a)で発熱抵抗体層13と電極14が物理的に接触している。そして、この物理的な接触によって電極14が発熱抵抗体層13に電気的に接続している。   The insulating layer 15 is formed in a region where the heating resistor layer 13 and the electrode 14 overlap with each other so as to be interposed between the heating resistor layer 13 and the electrode 14 in the thickness direction of the substrate 12. Further, in the region where the heating resistor layer 13 and the electrode 14 overlap, a part 13a of the heating resistor layer 13 and a part 14a of the electrode 14 protrude beyond the one long side part of the insulating layer 15, respectively. The heating resistor layer 13 and the electrode 14 are in physical contact with each other at the protruding portions (13a, 14a). The electrode 14 is electrically connected to the heating resistor layer 13 by this physical contact.

(サーマルヘッドの製造方法)
次に、本発明の第1の実施の形態に係るサーマルヘッド11の製造方法の一例について説明する。
(Method for manufacturing thermal head)
Next, an example of a method for manufacturing the thermal head 11 according to the first embodiment of the present invention will be described.

まず、基板12の一主面に例えば蒸着法によってアルミニウムの膜を形成した後、当該アルミニウムの膜をフォトリソグラフィ法及びエッチング法によりパターニングすることにより、アルミニウムからなる複数の電極14を形成する。   First, after forming an aluminum film on one main surface of the substrate 12 by, for example, vapor deposition, the aluminum film is patterned by photolithography and etching to form a plurality of electrodes 14 made of aluminum.

次に、基板12の主面上に複数の電極14を覆うように窒化シリコンの膜をCVD(化学気相成長(Chemical Vapor Deposition))法によって形成する。このとき、窒化シリコンの膜の表面に段差が生じる場合は、CMP(化学的機械研磨)法等によって膜の表面を平坦化しておく。次に、窒化シリコンの膜をフォトリソグラフィ法及びエッチング法によりパターニングすることにより、窒化シリコンからなる絶縁層15を形成する。   Next, a silicon nitride film is formed on the main surface of the substrate 12 so as to cover the plurality of electrodes 14 by a CVD (Chemical Vapor Deposition) method. At this time, if a step is generated on the surface of the silicon nitride film, the surface of the film is flattened by a CMP (chemical mechanical polishing) method or the like. Next, the insulating layer 15 made of silicon nitride is formed by patterning the silicon nitride film by photolithography and etching.

次に、基板12の主面上に絶縁層15を覆う状態でモリブデンの膜をスパッタリング法により形成した後、当該モリブデンの膜をフォトリソグラフィ法及びエッチング法によりパターニングすることにより、モリブデンからなる発熱抵抗体層13を形成する。   Next, after forming a molybdenum film on the main surface of the substrate 12 by a sputtering method so as to cover the insulating layer 15, the molybdenum film is patterned by a photolithography method and an etching method, whereby a heating resistor made of molybdenum is formed. The body layer 13 is formed.

(サーマルヘッドの駆動方法)
次に、本発明の第1の実施の形態に係るサーマルヘッド11に適用可能な駆動方法の一例について説明する。本発明の実施の形態で記述する「サーマルヘッドの駆動方法」は、例えば、図2に示すような構成によって実現されるものである。いま、サーマルヘッド11の構成として、長尺状の発熱抵抗体層13に対し合計n個(1〜n)の電極14が設けられているものとする。各々の電極14につながる配線は、駆動部20に引き込まれている。
(Thermal head drive method)
Next, an example of a driving method applicable to the thermal head 11 according to the first embodiment of the present invention will be described. The “thermal head driving method” described in the embodiment of the present invention is realized by, for example, a configuration as shown in FIG. Now, as a configuration of the thermal head 11, a total of n (1 to n) electrodes 14 are provided for the elongated heating resistor layer 13. The wiring connected to each electrode 14 is drawn into the drive unit 20.

駆動部20は、発熱抵抗体層13に導通する2つの電極(14,14)間に電圧を印加により、発熱抵抗体層13を発熱させるように駆動するものである。その際、駆動部20は、発熱抵抗体層13の長手方向の異なる位置に設けられた2つの電極14を1つの組として、各組ごとに2つの電極間に個別に電圧を印加するように駆動する。駆動部20は、電源回路部21とスイッチング回路部22とを備えている。電源回路部21は、サーマルヘッド11を駆動するための電源を供給するものである。スイッチング回路部22は、電源回路部21から供給される電源を用いて、予め設定された駆動方法(後述)に基づくスイッチング動作により、n個の電極14に選択的に電圧を印加するものである。電源回路部21が供給する電源は直流電源であっても交流電源であってもよいが、ここでは一例として直流電源を供給するものとする。また、図2においては、簡単のため発熱抵抗体層13を1つしか表示していないが、発熱抵抗体層13は、所望する転写材料の転写パターンに応じて複数設けられるものである。   The drive unit 20 drives the heating resistor layer 13 to generate heat by applying a voltage between the two electrodes (14, 14) conducted to the heating resistor layer 13. At that time, the drive unit 20 sets two electrodes 14 provided at different positions in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13 as one set, and individually applies a voltage between the two electrodes for each set. To drive. The drive unit 20 includes a power supply circuit unit 21 and a switching circuit unit 22. The power supply circuit unit 21 supplies power for driving the thermal head 11. The switching circuit unit 22 uses the power supplied from the power circuit unit 21 to selectively apply voltage to the n electrodes 14 by a switching operation based on a preset driving method (described later). . The power supply supplied by the power supply circuit unit 21 may be a DC power supply or an AC power supply, but here, as an example, a DC power supply is supplied. In FIG. 2, only one heating resistor layer 13 is shown for simplicity, but a plurality of heating resistor layers 13 are provided according to the transfer pattern of the desired transfer material.

転写材料は、サーマルヘッド11を駆動するにあたって、発熱抵抗体層13に近接(又は接触)して配置されるものである。転写材料は、加熱により昇華して、図示しない被転写部に転写される。転写材料は、発熱抵抗体層13の発熱によって加熱されたときに昇華する材料であれば、どのような材料であってもよい。   When the thermal head 11 is driven, the transfer material is disposed close to (or in contact with) the heating resistor layer 13. The transfer material is sublimated by heating and transferred to a transfer target (not shown). The transfer material may be any material as long as it sublimes when heated by the heat generated by the heating resistor layer 13.

次に、図2に示す構成を用いて実現されるサーマルヘッド11の具体的な駆動方法について説明する。まず、図3(A),(B)に示すように、発熱抵抗体層13の長手方向に並ぶ3つの電極14を、第1電極14−1、第2電極14−2及び第3電極14−3と区別する。第1電極14−1及び第3電極14−3は、発熱抵抗体層13の長手方向の両端部に配置されたもので、第2電極14−2は、発熱抵抗体層13の長手方向の中間部に配置されたものである。   Next, a specific driving method of the thermal head 11 realized using the configuration shown in FIG. 2 will be described. First, as shown in FIGS. 3A and 3B, three electrodes 14 arranged in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13 are connected to the first electrode 14-1, the second electrode 14-2, and the third electrode 14. -3. The first electrode 14-1 and the third electrode 14-3 are arranged at both ends in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13, and the second electrode 14-2 is arranged in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13. It is arranged in the middle part.

そうした場合、第1電極14−1と第2電極14−2を1つの組として、これら2つの電極間に電圧を印加すると、第1電極14−1と第2電極14−2の間で発熱抵抗体層13に電流が流れる。このとき、例えば、第2電極14−2が形成されている部分では、第2電極14−2と発熱抵抗体層13との電気的な接続が、絶縁層15を外れたところでなされている。このため、発熱抵抗体層13と電極14とが重なり合う領域で、かつそれらの間に絶縁層15が介在する領域では、シート抵抗が相対的に低い電極14には電流が流れず、シート抵抗が相対的に高い発熱抵抗体層13に電流が流れる。こうした現象は、第1電極14−1が形成されている部分でも同様に発生する。このため、図3(A)に示すように、第1電極14−1と第2電極14−2の間に電圧を印加した場合は、発熱抵抗体層13の長手方向において、図中Lh1の範囲で発熱抵抗体層13に電流が流れる。発熱抵抗体層13に電流が流れるとジュール熱が発生する。したがって、図中Lh1の範囲で発熱抵抗体層13が発熱することになる。   In such a case, when the first electrode 14-1 and the second electrode 14-2 are taken as one set and a voltage is applied between the two electrodes, heat is generated between the first electrode 14-1 and the second electrode 14-2. A current flows through the resistor layer 13. At this time, for example, in the portion where the second electrode 14-2 is formed, the electrical connection between the second electrode 14-2 and the heating resistor layer 13 is made when the insulating layer 15 is removed. Therefore, in the region where the heating resistor layer 13 and the electrode 14 overlap and the region where the insulating layer 15 is interposed between them, no current flows through the electrode 14 having a relatively low sheet resistance, and the sheet resistance is low. A current flows through the relatively high heating resistor layer 13. Such a phenomenon also occurs in a portion where the first electrode 14-1 is formed. Therefore, as shown in FIG. 3A, when a voltage is applied between the first electrode 14-1 and the second electrode 14-2, in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13, Lh1 in the figure. A current flows through the heating resistor layer 13 in the range. When current flows through the heating resistor layer 13, Joule heat is generated. Therefore, the heating resistor layer 13 generates heat in the range of Lh1 in the drawing.

これに対して、第2電極14−2と第3電極14−3を1つの組として、これら2つの電極間に電圧を印加すると、第2電極14−2と第3電極14−3の間で発熱抵抗体層13に電流が流れる。そして、第3電極14−3が形成されている部分では、前述した第2電極14−2が形成されている部分と同様の現象が発生する。このため、図3(B)に示すように、第2電極14−2と第3電極14−3の間に電圧を印加した場合は、発熱抵抗体層13の長手方向において、図中Lh2の範囲で発熱抵抗体層13に電流が流れる。したがって、図中Lh2の範囲で発熱抵抗体層13が発熱することになる。   On the other hand, when a voltage is applied between the two electrodes 14-2 and the third electrode 14-3 as a set, the gap between the second electrode 14-2 and the third electrode 14-3. Thus, a current flows through the heating resistor layer 13. In the portion where the third electrode 14-3 is formed, the same phenomenon as in the portion where the second electrode 14-2 is formed occurs. Therefore, as shown in FIG. 3B, when a voltage is applied between the second electrode 14-2 and the third electrode 14-3, in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13, Lh2 in the figure. A current flows through the heating resistor layer 13 in the range. Therefore, the heating resistor layer 13 generates heat in the range of Lh2 in the drawing.

実際にサーマルヘッド11を駆動する場合は、第1電極14−1と第2電極14−2の間に電圧を印加する期間と、第2電極14−2と第3電極14−3の間に電圧を印加する期間を、時間軸上でタイミングをずらして設定する。そして、第1の駆動期間では、第1電極14−1と第2電極14−2の間に電圧を印加し、第2の駆動期間では、第2電極14−2と第3電極14−3の間に電圧を印加する。また、これと逆に、第1の駆動期間では、第2電極14−2と第3電極14−3の間に電圧を印加し、第2の駆動期間では、第1電極14−1と第2電極14−2の間に電圧を印加してもよい。   When the thermal head 11 is actually driven, a period in which a voltage is applied between the first electrode 14-1 and the second electrode 14-2, and between the second electrode 14-2 and the third electrode 14-3. The period for applying the voltage is set by shifting the timing on the time axis. In the first driving period, a voltage is applied between the first electrode 14-1 and the second electrode 14-2, and in the second driving period, the second electrode 14-2 and the third electrode 14-3 are applied. A voltage is applied during Conversely, in the first driving period, a voltage is applied between the second electrode 14-2 and the third electrode 14-3, and in the second driving period, the first electrode 14-1 and the first electrode 14-1 A voltage may be applied between the two electrodes 14-2.

これにより、第1の駆動期間と第2の駆動期間を合わせると、発熱抵抗体層13の長手方向では、各々の駆動期間で発熱抵抗体層13が発熱する範囲が相互につながることになる。このため、第1の駆動期間と第2の駆動期間に分けて駆動しても、第1電極14−1から第2電極14−2を経由して第3電極14−3に至る範囲で、発熱抵抗体層13が通電によるジュール熱で発熱する。また、発熱抵抗体層13は自身の長手方向で複数の領域に分割され、当該分割された各々の領域に、各組に属する2つの電極14を用いて、個別に電圧が印加される。このため、長尺状の発熱抵抗体層13を従来のように1回の電圧の印加(通電)により一括して発熱させる場合に比較して、予め設定された温度(以下、「規定の温度」とも記す)まで発熱抵抗体層13を発熱させるために必要な電圧が低くなる。したがって、単位面積当たり同一の発熱量を得るための最大電圧を抑制することができる。その結果、長尺状に形成された発熱抵抗体層13を発熱させて転写材料を昇華させる場合に、従来よりも電極間に印加する電圧を低く抑えながら、発熱抵抗体層13の長手方向にわたって転写材料を昇華させることができる。   Thus, when the first driving period and the second driving period are combined, in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13, the range in which the heating resistor layer 13 generates heat in each driving period is connected to each other. For this reason, even if the driving is divided into the first driving period and the second driving period, in the range from the first electrode 14-1 to the third electrode 14-3 via the second electrode 14-2, The heating resistor layer 13 generates heat due to Joule heat generated by energization. Further, the heating resistor layer 13 is divided into a plurality of regions in its longitudinal direction, and a voltage is individually applied to each of the divided regions using two electrodes 14 belonging to each set. For this reason, compared with the case where the elongated heating resistor layer 13 is heated collectively by applying a single voltage (energization) as in the prior art, a preset temperature (hereinafter referred to as “specified temperature”). The voltage required to generate heat in the heating resistor layer 13 is also reduced until " Therefore, the maximum voltage for obtaining the same calorific value per unit area can be suppressed. As a result, when the heating resistor layer 13 formed in a long shape is heated to sublimate the transfer material, the voltage applied between the electrodes is kept lower than in the prior art, and the longitudinal direction of the heating resistor layer 13 is reduced. The transfer material can be sublimated.

また、発熱抵抗体層13と電極14とが重なり合う領域では、絶縁層15の介在によって電極14と電気的に分離された発熱抵抗体層13に電流が流れる。このため、発熱抵抗体層13と電極14とが重なり合う領域であっても、発熱抵抗体層13を規定の温度まで発熱させることができる。したがって、発熱抵抗体層13の長手方向で転写材料をシームレスに昇華させることができる。その結果、発熱抵抗体層13の発熱によって昇華させた転写材料を、連続したライン状のパターンで被転写部に転写(熱転写)することが可能となる。   In the region where the heating resistor layer 13 and the electrode 14 overlap, a current flows through the heating resistor layer 13 that is electrically separated from the electrode 14 by the interposition of the insulating layer 15. For this reason, even in the region where the heating resistor layer 13 and the electrode 14 overlap, the heating resistor layer 13 can be heated to a specified temperature. Therefore, the transfer material can be sublimated seamlessly in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13. As a result, it becomes possible to transfer (thermal transfer) the transfer material sublimated by the heat generation of the heating resistor layer 13 to the transfer target portion in a continuous line pattern.

ちなみに、発熱抵抗体層13と電極14とが重なり合う領域で、仮に、絶縁層15を介在させずに、発熱抵抗体層13と電極14を直に接触させた場合は、シート抵抗が相対的に小さい電極14に電流が流れ、シート抵抗が相対的に大きい発熱抵抗体層13には電流がほとんど流れない。このため、発熱抵抗体層13の長手方向において、電極14と重なり合う部分では発熱抵抗体層13の発熱量が非常に小さくなり、実質的に発熱する範囲が狭くなる。   Incidentally, in the region where the heating resistor layer 13 and the electrode 14 overlap, if the heating resistor layer 13 and the electrode 14 are brought into direct contact without interposing the insulating layer 15, the sheet resistance is relatively low. A current flows through the small electrode 14, and almost no current flows through the heating resistor layer 13 having a relatively large sheet resistance. For this reason, in the longitudinal direction of the heat generating resistor layer 13, the heat generation amount of the heat generating resistor layer 13 becomes very small at the portion overlapping with the electrode 14, and the range in which heat is substantially generated becomes narrow.

したがって、絶縁層15が介在しない構成では、第1の駆動期間と第2の駆動期間に分けて、第1電極14−1と第2電極14−2の間、及び、第2電極14−2と第3電極14−3の間に、それぞれ電圧を印加した場合に、第2電極14−2と重なり合う部分では発熱抵抗体層13が規定の温度まで発熱しない。このため、発熱抵抗体層13の長手方向で転写材料をシームレスに昇華させることができなくなる。   Therefore, in the configuration in which the insulating layer 15 is not interposed, it is divided into the first driving period and the second driving period, and between the first electrode 14-1 and the second electrode 14-2 and the second electrode 14-2. When a voltage is applied between the first electrode 14-3 and the third electrode 14-3, the heating resistor layer 13 does not generate heat up to a specified temperature in a portion overlapping the second electrode 14-2. For this reason, the transfer material cannot be sublimated seamlessly in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13.

<第2の実施の形態>
(サーマルヘッドの構造)
図4は本発明の第2の実施の形態に係るサーマルヘッドの主要部の構成を示すもので、(A)は平面図、(B)は(A)のx1−x1断面図、(C)は(A)のy1−y1断面図、(D)は(A)のy2−y2断面図である。なお、本発明の第2の実施の形態においては、上記第1の実施の形態で挙げた構成部分と同様の部分に同じ符号を付して説明する。サーマルヘッド11は、基板12と、発熱抵抗体層13と、複数の電極14と、絶縁層15とを備えた構成となっている。
<Second Embodiment>
(Structure of thermal head)
4A and 4B show the configuration of the main part of the thermal head according to the second embodiment of the present invention. FIG. 4A is a plan view, FIG. 4B is a sectional view taken along line x1-x1 in FIG. (Y) sectional view of y1-y1 of (A), (D) is a y2-y2 sectional view of (A). Note that, in the second embodiment of the present invention, the same reference numerals are given to the same components as those described in the first embodiment. The thermal head 11 includes a substrate 12, a heating resistor layer 13, a plurality of electrodes 14, and an insulating layer 15.

基板12は、絶縁性の基板であって、例えば、ガラス基板を用いて構成されている。基板12は、平面視長方形の平板状に形成されている。基板12は導通部16を一体に有している。導通部16は、基板12に埋め込まれた状態で設けられている。導通部16は、電極14の数に合わせて4つ設けられている。4つの導通部16は、発熱抵抗体層13の長手方向に均等な間隔を隔てて設けられている。各々の導通部16は、発熱抵抗体層13と電極14とが重なり合う領域内に、基板12を貫通する状態で設けられている。基板12の厚み方向において、導通部16の一方は基板12の一方の主面に露出し、導通部16の他方は基板12の他方の主面に露出している。各々の導通部16は、例えば、基板12に貫通孔を設け、この貫通孔を例えばモリブデンなどの導電性材料で埋め込むことにより基板12に設けられている。基板12に設けられた貫通孔を導電性材料で埋め込む方法としては、例えば、めっき法、蒸着法などの手法を用いることが可能である。   The board | substrate 12 is an insulating board | substrate, Comprising: For example, it is comprised using the glass substrate. The substrate 12 is formed in a flat plate shape that is rectangular in plan view. The substrate 12 has a conducting portion 16 integrally. The conduction part 16 is provided in a state of being embedded in the substrate 12. Four conducting portions 16 are provided in accordance with the number of electrodes 14. The four conducting portions 16 are provided at equal intervals in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13. Each conducting portion 16 is provided in a state of penetrating the substrate 12 in a region where the heating resistor layer 13 and the electrode 14 overlap. In the thickness direction of the substrate 12, one of the conductive portions 16 is exposed on one main surface of the substrate 12, and the other of the conductive portions 16 is exposed on the other main surface of the substrate 12. Each conductive portion 16 is provided in the substrate 12 by, for example, providing a through hole in the substrate 12 and embedding the through hole with a conductive material such as molybdenum. As a method for embedding the through hole provided in the substrate 12 with a conductive material, for example, a method such as a plating method or a vapor deposition method can be used.

発熱抵抗体層13は、基板12の一方の主面上に長尺状に形成されている。発熱抵抗体層13は、例えば、モリブデンなどの金属材料によって形成されるものである。発熱抵抗体層13は、電気的に所望の抵抗値となるように、例えば、厚さが数十nmの薄膜状に形成されている。発熱抵抗体層13は、一方向に帯状に延在する状態で長尺状に形成されている。発熱抵抗体層13の数は1つに限らず、必要に応じて複数形成されるものである。   The heating resistor layer 13 is formed in a long shape on one main surface of the substrate 12. The heating resistor layer 13 is formed of a metal material such as molybdenum, for example. The heating resistor layer 13 is formed in a thin film shape having a thickness of several tens of nanometers, for example, so as to have an electrically desired resistance value. The heating resistor layer 13 is formed in a long shape in a state extending in a strip shape in one direction. The number of the heating resistor layers 13 is not limited to one, and a plurality of heating resistor layers 13 are formed as necessary.

発熱抵抗体層13の長手方向には4箇所にわたってコンタクト部17が設けられている。コンタクト部17は、発熱抵抗体層13の一部として形成してもよいし、発熱抵抗体層13とは別に形成してもよい。コンタクト部17を発熱抵抗体層13の一部として形成する場合は、発熱抵抗体層13とコンタクト部17が同じ材料(例えば、モリブデンなど)で形成されることになる。コンタクト部17は、発熱抵抗体層13と電極14とが重なり合う領域に、絶縁層15を貫通する状態で設けられている。前述した導通部16は、基板12の一方の主面側において、コンタクト部17に物理的に接触することにより、当該コンタクト部17に導通する状態で設けられている。   Four contact portions 17 are provided in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13. The contact portion 17 may be formed as a part of the heating resistor layer 13 or may be formed separately from the heating resistor layer 13. When the contact portion 17 is formed as a part of the heating resistor layer 13, the heating resistor layer 13 and the contact portion 17 are formed of the same material (for example, molybdenum). The contact portion 17 is provided in a state of penetrating the insulating layer 15 in a region where the heating resistor layer 13 and the electrode 14 overlap. The conductive portion 16 described above is provided on the one main surface side of the substrate 12 so as to be electrically connected to the contact portion 17 by physically contacting the contact portion 17.

電極14は、1つの発熱抵抗体層13につき4つ設けられている。電極14の個数は、必要に応じて増やすことができるが、ここでは簡単のため1つの発熱抵抗体層13に対して4つの電極14を設けている。電極14は、例えば、アルミニウムなどの電極材料によって形成されるものである。電極14と発熱抵抗体層13のシート抵抗の関係は、上記第1の実施の形態と同様である。4つの電極14は、発熱抵抗体層13の長手方向に均一な距離を隔てて配置されている。具体的には、発熱抵抗体層13の長手方向の両端部付近に1つずつ電極14が設けられるとともに、発熱抵抗体層13の長手方向の中間部から左右均等な位置に1つずつ電極14が設けられている。   Four electrodes 14 are provided for one heating resistor layer 13. The number of electrodes 14 can be increased as necessary, but here, for simplicity, four electrodes 14 are provided for one heating resistor layer 13. The electrode 14 is formed of an electrode material such as aluminum. The relationship between the sheet resistance of the electrode 14 and the heating resistor layer 13 is the same as that in the first embodiment. The four electrodes 14 are arranged at a uniform distance in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13. Specifically, one electrode 14 is provided in the vicinity of both ends in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13, and one electrode 14 is placed at an equal left and right position from the middle portion in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13. Is provided.

上記4つの電極14は、基板12の発熱抵抗体層13が形成されている側とは反対側の面に、導通部16に導通する状態で設けられている。すなわち、発熱抵抗体層13は、基板12の一方の主面側に設けられ、4つの電極14は、基板12の他方の主面側に設けられている。つまり、発熱抵抗体層13と電極14は、基板12の表裏面に裏表の位置関係で設けられている。このような位置関係で発熱抵抗体層13と電極14を形成した場合は、基板12の一方の主面上に発熱抵抗体層13と電極14をまとめて形成する場合に比べて、それらの占有面積を削減することができる。このため、サーマルヘッドの小型化を図ることが可能となる。   The four electrodes 14 are provided on the surface of the substrate 12 opposite to the side on which the heating resistor layer 13 is formed, in a state where the four electrodes 14 are electrically connected to the conductive portion 16. That is, the heating resistor layer 13 is provided on one main surface side of the substrate 12, and the four electrodes 14 are provided on the other main surface side of the substrate 12. That is, the heat generating resistor layer 13 and the electrode 14 are provided on the front and back surfaces of the substrate 12 in a front-back positional relationship. When the heating resistor layer 13 and the electrode 14 are formed in such a positional relationship, the heating resistor layer 13 and the electrode 14 are occupied as compared with the case where the heating resistor layer 13 and the electrode 14 are collectively formed on one main surface of the substrate 12. The area can be reduced. For this reason, it is possible to reduce the size of the thermal head.

電極14は、基板12の他方の主面側において、導通部16に物理的に接触することにより、当該導通部16に導通する状態で設けられている。また、基板12を平面的にみて、電極14が形成されている部分では、基板12の厚み方向に、電極14、基板12の導通部16、コンタクト部17及び発熱抵抗体層13が順に積層されている。このため、電極14は、導通部16及びコンタクト部17を介して、発熱抵抗体層13に電気的に接続されている。   The electrode 14 is provided on the other main surface side of the substrate 12 so as to be electrically connected to the conductive portion 16 by physically contacting the conductive portion 16. In addition, when the substrate 12 is viewed in plan, the electrode 14, the conductive portion 16 of the substrate 12, the contact portion 17, and the heating resistor layer 13 are sequentially stacked in the thickness direction of the substrate 12 in the portion where the electrode 14 is formed. ing. For this reason, the electrode 14 is electrically connected to the heating resistor layer 13 via the conduction portion 16 and the contact portion 17.

絶縁層15は、コンタクト部17が形成されている部分を除いて、基板12の厚み方向で発熱抵抗体層13と電極14の間に介在する状態で形成されている。絶縁層15は、基板12の一方の主面上、当該主面に接触する状態で形成されている。絶縁層15は、平面的にみて発熱抵抗体層13と重なり合うように長尺状に形成されている。また、基板12の一方の主面には、絶縁層15を介して発熱抵抗体層13が積層されている。ただし、コンタクト部17が形成されている部分には、絶縁層15が発熱抵抗体層13の長手方向で途切れている。   The insulating layer 15 is formed so as to be interposed between the heating resistor layer 13 and the electrode 14 in the thickness direction of the substrate 12 except for the portion where the contact portion 17 is formed. The insulating layer 15 is formed on one main surface of the substrate 12 so as to be in contact with the main surface. The insulating layer 15 is formed in a long shape so as to overlap the heating resistor layer 13 in plan view. A heating resistor layer 13 is laminated on one main surface of the substrate 12 with an insulating layer 15 interposed therebetween. However, the insulating layer 15 is interrupted in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13 in the portion where the contact portion 17 is formed.

(サーマルヘッドの製造方法)
次に、本発明の第2の実施の形態に係るサーマルヘッド11の製造方法の一例について説明する。
(Method for manufacturing thermal head)
Next, an example of a method for manufacturing the thermal head 11 according to the second embodiment of the present invention will be described.

まず、導通部16が設けられた状態の基板12を用意して、当該基板12の一方の主面に、導通部16の露出部分を覆う状態で、窒化シリコンの膜をCVD法によって形成する。次に、窒化シリコンの膜をフォトリソグラフィ法及びエッチング法によりパターニングすることにより、窒化シリコンからなる絶縁層15を形成する。このとき、コンタクト部17が形成される部分(導通部16の形成領域内)で絶縁層15を途切れさせておく。   First, the substrate 12 having the conductive portion 16 is prepared, and a silicon nitride film is formed on one main surface of the substrate 12 by a CVD method so as to cover the exposed portion of the conductive portion 16. Next, the insulating layer 15 made of silicon nitride is formed by patterning the silicon nitride film by photolithography and etching. At this time, the insulating layer 15 is interrupted at the portion where the contact portion 17 is formed (in the region where the conductive portion 16 is formed).

次に、基板12の一方の主面上に絶縁層15を覆う状態でモリブデンの膜をスパッタリング法により形成した後、当該モリブデンの膜をフォトリソグラフィ法及びエッチング法によりパターニングすることにより、モリブデンからなる発熱抵抗体層13を形成する。このとき、絶縁層15の途切れ部分にもモリブデンを付着させることにより、発熱抵抗体層13と一体にコンタクト部17を形成する。   Next, a molybdenum film is formed by sputtering on one main surface of the substrate 12 so as to cover the insulating layer 15, and then the molybdenum film is patterned by photolithography and etching, thereby forming the molybdenum film. A heating resistor layer 13 is formed. At this time, the contact portion 17 is formed integrally with the heating resistor layer 13 by attaching molybdenum to the discontinuous portion of the insulating layer 15.

なお、コンタクト部17を発熱抵抗体層13と別に形成する場合は、前述したように窒化シリコンの膜をCVD法によって形成した後、フォトリソグラフィ法及びエッチング法により、コンタクト部17の形成部位に対応して窒化シリコンの膜に貫通孔を形成する。次に、その貫通孔を埋め込むように、例えば、蒸着法により窒化シリコンの膜を覆う状態で金属膜を形成した後、余分な金属材料をCMP法等により除去することにより、コンタクト部17を形成する。次に、窒化シリコンの膜を、コンタクト部17を残すように、フォトリソグラフィ法及びエッチング法によりパターニングすることにより、窒化シリコンからなる絶縁層15を形成する。   When the contact portion 17 is formed separately from the heating resistor layer 13, after the silicon nitride film is formed by the CVD method as described above, the contact portion 17 is formed by the photolithography method and the etching method. Then, a through hole is formed in the silicon nitride film. Next, for example, a metal film is formed so as to cover the silicon nitride film by vapor deposition so as to fill the through hole, and then the excess metal material is removed by CMP or the like to form the contact portion 17. To do. Next, the insulating layer 15 made of silicon nitride is formed by patterning the silicon nitride film by photolithography and etching so as to leave the contact portion 17.

次に、基板12の他方の主面上に、導通部16の露出部分を覆う状態で、例えば蒸着法によってアルミニウムの膜を形成した後、当該アルミニウムの膜をフォトリソグラフィ法及びエッチング法によりパターニングすることにより、アルミニウムからなる複数の電極14を形成する。なお、電極14の形成は、発熱抵抗体層13、絶縁層15及びコンタクト部17を形成する前に行なってもよい。   Next, an aluminum film is formed on the other main surface of the substrate 12 so as to cover the exposed portion of the conductive portion 16, for example, by vapor deposition. Then, the aluminum film is patterned by photolithography and etching. Thus, a plurality of electrodes 14 made of aluminum are formed. The electrode 14 may be formed before the heating resistor layer 13, the insulating layer 15, and the contact portion 17 are formed.

(サーマルヘッドの駆動方法)
次に、本発明の第2の実施の形態に係るサーマルヘッド11に適用可能な駆動方法の一例について説明する。ここで記述する駆動方法は、上記第1の実施の形態と同様に、上記図2に示す構成を用いて実現されるものである。
(Thermal head drive method)
Next, an example of a driving method applicable to the thermal head 11 according to the second embodiment of the present invention will be described. The driving method described here is realized by using the configuration shown in FIG. 2 as in the first embodiment.

まず、図5(A)〜(D)に示すように、発熱抵抗体層13の長手方向に並ぶ4つの電極14を、第1電極14−1、第2電極14−2及び第3電極14−3と第4電極14−4と区別する。第1電極14−1及び第4電極14−3は、発熱抵抗体層13の長手方向の両端部に配置されたもので、第2電極14−2及び第3電極14−3は、第1電極14−1及び第4電極14−3よりも発熱抵抗体層13の長手方向の内側に配置されたものである。   First, as shown in FIGS. 5A to 5D, four electrodes 14 arranged in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13 are connected to the first electrode 14-1, the second electrode 14-2, and the third electrode 14. -3 and the fourth electrode 14-4. The 1st electrode 14-1 and the 4th electrode 14-3 are arrange | positioned at the both ends of the longitudinal direction of the heating resistor layer 13, and the 2nd electrode 14-2 and the 3rd electrode 14-3 are 1st. The heating resistor layer 13 is arranged on the inner side in the longitudinal direction of the electrode 14-1 and the fourth electrode 14-3.

そうした場合、第1電極14−1と第3電極14−3を1つの組として、これら2つの電極間に電圧を印加すると、第1電極14−1と第3電極14−3の間で発熱抵抗体層13に電流が流れる。このとき、例えば、第3電極14−3が形成されている部分では、第3電極14−3と発熱抵抗体層13との電気的な接続が、導通部16及びコンタクト部17を介してなされている。このため、コンタクト部17が形成されている部分を含めて発熱抵抗体層13に電流が流れる。この現像は、第1電極14−1が形成されている部分でも同様に発生する。このため、図5(A),(B)に示すように、第1電極14−1と第3電極14−3の間に電圧を印加した場合は、発熱抵抗体層13の長手方向において、コンタクト部17の形成部位を含めて図中Lh1の範囲で発熱抵抗体層13に電流が流れる。発熱抵抗体層13に電流が流れるとジュール熱が発生する。したがって、図中Lh1の範囲で発熱抵抗体層13が発熱することになる。   In such a case, when the first electrode 14-1 and the third electrode 14-3 are combined into one set and a voltage is applied between the two electrodes, heat is generated between the first electrode 14-1 and the third electrode 14-3. A current flows through the resistor layer 13. At this time, for example, in the portion where the third electrode 14-3 is formed, the third electrode 14-3 and the heating resistor layer 13 are electrically connected via the conduction portion 16 and the contact portion 17. ing. For this reason, a current flows through the heating resistor layer 13 including the portion where the contact portion 17 is formed. This development occurs in the same manner at the portion where the first electrode 14-1 is formed. Therefore, as shown in FIGS. 5A and 5B, when a voltage is applied between the first electrode 14-1 and the third electrode 14-3, in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13, A current flows through the heating resistor layer 13 in the range of Lh1 in the drawing including the site where the contact portion 17 is formed. When current flows through the heating resistor layer 13, Joule heat is generated. Therefore, the heating resistor layer 13 generates heat in the range of Lh1 in the drawing.

これに対して、第2電極14−2と第4電極14−4を1つの組として、これら2つの電極間に電圧を印加すると、第2電極14−2と第4電極14−4の間で発熱抵抗体層13に電流が流れる。そして、第2電極14−2が形成されている部分と第4電極14−4が形成されている部分では、前述した第3電極14−3が形成されている部分と同様の現象が発生する。このため、図5(C),(D)に示すように、第2電極14−2と第4電極14−4の間に電圧を印加した場合は、発熱抵抗体層13の長手方向において、コンタクト部17の形成部位を含めて図中Lh2の範囲で発熱抵抗体層13に電流が流れる。したがって、図中Lh2の範囲で発熱抵抗体層13が発熱することになる。   On the other hand, when a voltage is applied between the two electrodes 14-2 and the fourth electrode 14-4 as a set, the gap between the second electrode 14-2 and the fourth electrode 14-4. Thus, a current flows through the heating resistor layer 13. In the portion where the second electrode 14-2 is formed and the portion where the fourth electrode 14-4 is formed, the same phenomenon as in the portion where the third electrode 14-3 is formed occurs. . Therefore, as shown in FIGS. 5C and 5D, when a voltage is applied between the second electrode 14-2 and the fourth electrode 14-4, in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13, A current flows through the heating resistor layer 13 in the range of Lh2 in the drawing including the site where the contact portion 17 is formed. Therefore, the heating resistor layer 13 generates heat in the range of Lh2 in the drawing.

実際にサーマルヘッド11を駆動する場合は、第1電極14−1と第3電極14−3の間に電圧を印加する期間と、第2電極14−2と第4電極14−4の間に電圧を印加する期間とを、時間軸上でタイミングをずらして設定する。そして、第1の駆動期間では、第1電極14−1と第3電極14−3の間に電圧を印加し、第2の駆動期間では、第2電極14−2と第4電極14−4の間に電圧を印加する。また、これと反対に、第1の駆動期間では、第2電極14−2と第4電極14−4の間に電圧を印加し、第2の駆動期間では、第1電極14−1と第3電極14−3の間に電圧を印加してもよい。   When the thermal head 11 is actually driven, a period in which a voltage is applied between the first electrode 14-1 and the third electrode 14-3, and between the second electrode 14-2 and the fourth electrode 14-4. The period for applying the voltage is set by shifting the timing on the time axis. In the first driving period, a voltage is applied between the first electrode 14-1 and the third electrode 14-3, and in the second driving period, the second electrode 14-2 and the fourth electrode 14-4. A voltage is applied during On the other hand, in the first driving period, a voltage is applied between the second electrode 14-2 and the fourth electrode 14-4, and in the second driving period, the first electrode 14-1 and the first electrode 14-1 A voltage may be applied between the three electrodes 14-3.

これにより、第1の駆動期間と第2の駆動期間を合わせると、発熱抵抗体層13の長手方向では、各々の駆動期間で発熱抵抗体層13が発熱する範囲が相互に重なり合うことになる。すなわち、発熱抵抗体層13の長手方向において、第2電極14−2と第3電極14−3との間の区間は、第1の駆動期間と第2の駆動期間の両方で共通に発熱する区間となる。このため、第1の駆動期間と第2の駆動期間に分けて駆動しても、第1電極14−1から第2電極14−2及び第3電極14−3を経由して第4電極14−4に至る範囲で、発熱抵抗体層13が通電によるジュール熱で発熱する。また、発熱抵抗体層13は自身の長手方向で複数の領域に分割され、当該分割された各々の領域、各組に属する2つの電極14を用いて、個別に電圧が印加される。このため、長尺状の発熱抵抗体層13を従来のように1回の電圧の印加(通電)により一括して発熱させる場合に比較して、規定の温度まで発熱抵抗体層13を発熱させるために必要な電圧が低くなる。したがって、単位面積当たり同一の発熱量を得るための最大電圧を抑制することができる。その結果、長尺状に形成された発熱抵抗体層13を発熱させて転写材料を昇華させる場合に、従来よりも電極間に印加する電圧を低く抑えながら、発熱抵抗体層13の長手方向にわたって転写材料を昇華させることが可能となる。   As a result, when the first driving period and the second driving period are combined, in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13, ranges in which the heating resistor layer 13 generates heat in each driving period overlap each other. That is, in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13, the section between the second electrode 14-2 and the third electrode 14-3 generates heat in both the first driving period and the second driving period. It becomes a section. For this reason, even if the driving is divided into the first driving period and the second driving period, the fourth electrode 14-1 passes through the second electrode 14-2 and the third electrode 14-3 from the first electrode 14-1. In the range up to -4, the heating resistor layer 13 generates heat due to Joule heat by energization. Further, the heating resistor layer 13 is divided into a plurality of regions in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13, and a voltage is individually applied using each of the divided regions and two electrodes 14 belonging to each set. Therefore, the heating resistor layer 13 is heated to a specified temperature as compared with the case where the long heating resistor layer 13 is heated collectively by applying a single voltage (energization) as in the prior art. Therefore, the voltage required for this is lowered. Therefore, the maximum voltage for obtaining the same calorific value per unit area can be suppressed. As a result, when the heating resistor layer 13 formed in a long shape is heated to sublimate the transfer material, the voltage applied between the electrodes is kept lower than in the prior art, and the longitudinal direction of the heating resistor layer 13 is reduced. The transfer material can be sublimated.

また、発熱抵抗体層13と電極14とが重なり合う領域では、電極14に導通するコンタクト部17を通して発熱抵抗体層13に電流が流れる。このため、発熱抵抗体層13と電極14とが重なり合う領域であっても、発熱抵抗体層13を発熱させることができる。したがって、発熱抵抗体層13の長手方向で転写材料をシームレスに昇華させることができる。その結果、発熱抵抗体層13の発熱によって昇華させた転写材料を、連続したライン状のパターンで被転写部に転写(熱転写)することが可能となる。   In the region where the heating resistor layer 13 and the electrode 14 overlap, a current flows through the heating resistor layer 13 through the contact portion 17 that is conductive to the electrode 14. For this reason, even in the region where the heating resistor layer 13 and the electrode 14 overlap, the heating resistor layer 13 can generate heat. Therefore, the transfer material can be sublimated seamlessly in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13. As a result, it becomes possible to transfer (thermal transfer) the transfer material sublimated by the heat generation of the heating resistor layer 13 to the transfer target portion in a continuous line pattern.

本発明の実施の形態に係るサーマルヘッドの駆動方法は、前述した駆動方法の一例を含めて、主に2つの方法がある。一つは、発熱抵抗体層の長手方向で隣り合う2つの電極を1つの組として、各組ごとに2つの電極間に個別に電圧を印加する方法(以下、「第1の駆動方法」)である。もう一つは、発熱抵抗体層の長手方向で隣り合う3つの電極のうちの両側の電極を1つの組として、各組ごとに2つの電極間に個別に電圧を印加する方法(以下、「第2の駆動方法」)である。   There are mainly two methods for driving the thermal head according to the embodiment of the present invention, including the example of the driving method described above. One is a method in which two electrodes adjacent to each other in the longitudinal direction of the heating resistor layer are taken as one set, and a voltage is individually applied between the two electrodes for each set (hereinafter referred to as “first driving method”). It is. The other is a method in which electrodes on both sides of the three electrodes adjacent in the longitudinal direction of the heating resistor layer are set as one set, and a voltage is individually applied between the two electrodes for each set (hereinafter, “ Second driving method ").

第1の駆動方法は、長尺状に形成された1つの発熱抵抗体層につき、発熱抵抗体層の長手方向に3個以上の電極が設けられている場合に適用可能である。第2の駆動方法は、長尺状に形成された1つの発熱抵抗体層につき、発熱抵抗体層の長手方向に4個以上の電極が設けられている場合に適用可能である。また、第1の駆動方法は、1つの発熱抵抗体層13に3つ以上の電極14が設けられていれば、上記図1及び図4に示す構成のサーマルヘッド11の両方に適用可能である。同様に、第2の駆動方法は、1つの発熱抵抗体層13に4つ以上の電極14が設けられていれば、上記図1及び図4に示す構成のサーマルヘッド11の両方に適用可能である。   The first driving method is applicable when three or more electrodes are provided in the longitudinal direction of the heating resistor layer for one heating resistor layer formed in a long shape. The second driving method is applicable when four or more electrodes are provided in the longitudinal direction of the heating resistor layer for one heating resistor layer formed in a long shape. The first driving method can be applied to both the thermal head 11 having the configuration shown in FIGS. 1 and 4 as long as three or more electrodes 14 are provided on one heating resistor layer 13. . Similarly, the second driving method can be applied to both the thermal head 11 having the configuration shown in FIGS. 1 and 4 as long as four or more electrodes 14 are provided on one heating resistor layer 13. is there.

ここでは一例として、図6に示すように、発熱抵抗体層13の長手方向に均等な間隔を隔てて合計7つの電極14が形成されている場合を想定する。7つの電極14は、発熱抵抗体層13の長手方向の一端(図の左端)から他端(図の右端)に向かって1番目から7番目まで順に並んでいる。このため、発熱抵抗体層13の長手方向の一端側から数えて、1番目の電極14、2番目の電極14、3番目の電極14、4番目の電極14、5番目の電極14、6番目の電極14、7番目の電極14と区別する。   Here, as an example, as shown in FIG. 6, it is assumed that a total of seven electrodes 14 are formed at equal intervals in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13. The seven electrodes 14 are arranged in order from the first to the seventh from one end (left end in the figure) to the other end (right end in the figure) of the heating resistor layer 13 in the longitudinal direction. Therefore, the first electrode 14, the second electrode 14, the third electrode 14, the fourth electrode 14, the fifth electrode 14, the sixth electrode are counted from one end side in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13. These electrodes 14 are distinguished from the seventh electrode 14.

(第1の駆動方法)
第1の駆動方法においては、電圧を印加する対象となる2つの電極の組み合わせを変えた第1の駆動条件と第2の駆動条件を適用して、各組ごとに2つの電極間に個別に電圧を印加する。
(First driving method)
In the first driving method, by applying the first driving condition and the second driving condition in which the combination of two electrodes to which a voltage is applied is changed, each pair is individually connected between the two electrodes. Apply voltage.

第1の駆動条件では、発熱抵抗体層13の一端側から数えて、奇数番目の電極と、当該奇数番目の電極に隣り合いかつ当該奇数番目の電極よりも発熱抵抗体層の長手方向の他端側に配置された偶数番目の電極と、を1つの組とする。第2の駆動条件では、発熱抵抗体層13の長手方向の一端側から数えて、偶数番目の電極と、当該偶数番目の電極に隣り合いかつ当該偶数番目の電極よりも発熱抵抗体層の長手方向の他端側に配置された奇数番目の電極と、を1つの組とする。   Under the first driving condition, counting from the one end side of the heating resistor layer 13, the odd-numbered electrode and the other in the longitudinal direction of the heating resistor layer adjacent to the odd-numbered electrode and from the odd-numbered electrode. The even-numbered electrodes arranged on the end side are set as one set. Under the second driving condition, the even-numbered electrode and the length of the heating resistor layer adjacent to the even-numbered electrode and from the even-numbered electrode are counted from one end in the longitudinal direction of the heat-generating resistor layer 13. An odd-numbered electrode arranged on the other end side in the direction is taken as one set.

前述した7つの電極14に当てはめて考えると、第1の駆動条件では、図7(A)に示すように、発熱抵抗体層13の長手方向の一端側から数えて、1番目の電極14と2番目の電極14、3番目の電極14と4番目の電極14、5番目の電極14と6番目の電極14を、それぞれ1つの組とする。また、第2の駆動条件では、図7(B)に示すように、発熱抵抗体層13の長手方向の一端側から数えて、2番目の電極14と3番目の電極14、4番目の電極14と5番目の電極14、6番目の電極14と7番目の電極14を、それぞれ1つの組とする。   When applied to the seven electrodes 14 described above, under the first driving condition, as shown in FIG. 7A, the first electrode 14 counted from one end in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13 The second electrode 14, the third electrode 14 and the fourth electrode 14, and the fifth electrode 14 and the sixth electrode 14 are each set as one set. In the second driving condition, as shown in FIG. 7B, the second electrode 14, the third electrode 14, and the fourth electrode are counted from one end in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13. The 14th and 5th electrodes 14, the 6th electrode 14 and the 7th electrode 14 are made into one set.

そして、複数の駆動期間に分けて、各組に属する2つの電極間に電圧を印加する。例えば、第1の駆動期間では、図8(A)に示すように、第1の駆動条件で1つの組とした、1番目の電極14と2番目の電極14の間、3番目の電極14と4番目の電極14の間、5番目の電極14と6番目の電極14の間に、それぞれ個別に電圧を印加する。また、第1の駆動期間では、1番目の電極14と2番目の電極14の間、3番目の電極14と4番目の電極14の間、5番目の電極14と6番目の電極14の間に、それぞれ同時に電圧を印加する。   Then, a voltage is applied between two electrodes belonging to each set in a plurality of driving periods. For example, in the first driving period, as shown in FIG. 8A, the first electrode 14 and the second electrode 14 are combined into one set under the first driving condition. A voltage is individually applied between the first electrode 14 and the fourth electrode 14, and between the fifth electrode 14 and the sixth electrode 14. In the first driving period, between the first electrode 14 and the second electrode 14, between the third electrode 14 and the fourth electrode 14, and between the fifth electrode 14 and the sixth electrode 14. In addition, a voltage is applied simultaneously.

次に、第2の駆動期間では、図8(B)に示すように、第2の駆動条件で1つの組とした、2番目の電極14と3番目の電極14の間、4番目の電極14と5番目の電極14の間、6番目の電極14と7番目の電極14の間に、それぞれ個別に電圧を印加する。また、第2の駆動期間では、2番目の電極14と3番目の電極14の間、4番目の電極14と5番目の電極14の間、6番目の電極14と7番目の電極14の間に、それぞれ同時に電圧を印加する。   Next, in the second driving period, as shown in FIG. 8B, the fourth electrode is formed between the second electrode 14 and the third electrode 14 in one set under the second driving condition. Voltages are individually applied between the 14th and 5th electrodes 14, and between the 6th electrode 14 and the 7th electrode 14, respectively. Further, in the second driving period, between the second electrode 14 and the third electrode 14, between the fourth electrode 14 and the fifth electrode 14, and between the sixth electrode 14 and the seventh electrode 14. In addition, a voltage is applied simultaneously.

これにより、例えば上記第1の実施の形態に係るサーマルヘッド11の基本構成を例にとると、第1の駆動期間では、図9(A)に示すように、発熱抵抗体層13の長手方向において、1番目の電極14と2番目の電極14の間、3番目の電極14と4番目の電極14の間、5番目の電極14と6番目の電極14の間で、それぞれ、一方の電極から他方の電極に至る範囲内で発熱抵抗体層13が発熱する。また、第2の駆動期間では、図9(B)に示すように、発熱抵抗体層13の長手方向において、2番目の電極14と3番目の電極14の間、4番目の電極14と5番目の電極14の間、6番目の電極14と7番目の電極14の間で、それぞれ、一方の電極から他方の電極に至る範囲内で発熱抵抗体層13が発熱する。   Thus, for example, taking the basic configuration of the thermal head 11 according to the first embodiment as an example, in the first driving period, as shown in FIG. One electrode between the first electrode 14 and the second electrode 14, between the third electrode 14 and the fourth electrode 14, and between the fifth electrode 14 and the sixth electrode 14, respectively. The heating resistor layer 13 generates heat within a range from the first electrode to the other electrode. Further, in the second driving period, as shown in FIG. 9B, in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13, between the second electrode 14 and the third electrode 14, the fourth electrodes 14 and 5 are arranged. The heating resistor layer 13 generates heat within the range from one electrode to the other electrode between the sixth electrode 14 and between the sixth electrode 14 and the seventh electrode 14.

また、上記とは逆に、第1の駆動期間では、第2の駆動条件で1つの組とした、2番目の電極14と3番目の電極14の間、4番目の電極14と5番目の電極14の間、6番目の電極14と7番目の電極14の間に、それぞれ個別にかつ同時に電圧を印加し、第2の駆動期間では、第1の駆動条件で1つの組とした、1番目の電極14と2番目の電極14の間、3番目の電極14と4番目の電極14の間、5番目の電極14と6番目の電極14の間に、それぞれ個別にかつ同時に電圧を印加してもよい。   Contrary to the above, in the first driving period, the fourth electrode 14 and the fifth electrode are arranged between the second electrode 14 and the third electrode 14 in one set under the second driving condition. A voltage is applied individually and simultaneously between the electrodes 14 and between the sixth electrode 14 and the seventh electrode 14, and in the second driving period, one set is made under the first driving condition. A voltage is applied individually and simultaneously between the first electrode 14 and the second electrode 14, between the third electrode 14 and the fourth electrode 14, and between the fifth electrode 14 and the sixth electrode 14. May be.

このようにサーマルヘッド11を駆動する場合は、2回の駆動期間で、すべての組の電極間に電圧を印加することが可能となる。ただし、本発明はこれに限らず、例えば、次のような手順で電圧を印加してもよい。   When the thermal head 11 is driven in this way, it is possible to apply a voltage between all pairs of electrodes in two drive periods. However, the present invention is not limited to this. For example, the voltage may be applied in the following procedure.

すなわち、第1の駆動期間では、図10(A)に示すように、第1の駆動条件で1つの組とした1番目の電極14と2番目の電極14の間に電圧を印加する。次に、第2の駆動期間では、図10(B)に示すように、第2の駆動条件で1つの組とした2番目の電極14と3番目の電極14の間に電圧を印加する。次に、第3の駆動期間では、図10(C)に示すように、第1の駆動条件で1つの組とした3番目の電極14と4番目の電極14の間に電圧を印加する。次に、第4の駆動期間では、図10(D)に示すように、第2の駆動条件で1つの組とした4番目の電極14と5番目の電極14の間に電圧を印加する。次に、第5の駆動期間では、図10(E)に示すように、第1の駆動条件で1つの組とした5番目の電極14と6番目の電極14の間に電圧を印加する。次に、第6の駆動期間では、図10(F)に示すように、第2の駆動条件で1つの組とした6番目の電極14と7番目の電極14の間に電圧を印加する。つまり、1回の駆動期間ごとに1組ずつ電圧を印加する。   That is, in the first driving period, as shown in FIG. 10A, a voltage is applied between the first electrode 14 and the second electrode 14 that form one set under the first driving condition. Next, in the second driving period, as shown in FIG. 10B, a voltage is applied between the second electrode 14 and the third electrode 14 in one set under the second driving condition. Next, in the third driving period, as shown in FIG. 10C, a voltage is applied between the third electrode 14 and the fourth electrode 14 in one set under the first driving condition. Next, in the fourth driving period, as shown in FIG. 10D, a voltage is applied between the fourth electrode 14 and the fifth electrode 14 in one set under the second driving condition. Next, in the fifth driving period, as shown in FIG. 10E, a voltage is applied between the fifth electrode 14 and the sixth electrode 14 in one set under the first driving condition. Next, in the sixth driving period, as shown in FIG. 10F, a voltage is applied between the sixth electrode 14 and the seventh electrode 14 in one set under the second driving condition. That is, one set of voltages is applied for each driving period.

これにより、例えば上記第1の実施の形態に係るサーマルヘッド11の基本構成を例にとると、第1の駆動期間では、図11(A)に示すように、発熱抵抗体層13の長手方向において、1番目の電極14と2番目の電極14の間の範囲内で、発熱抵抗体層13が発熱する。まだ、第2の駆動期間では、図11(B)に示すように、発熱抵抗体層13の長手方向において、2番目の電極14と3番目の電極14の間の範囲内で、発熱抵抗体層13が発熱する。以降の駆動期間でも、同様に発熱抵抗体層13が発熱する。そして、第6の駆動期間では、図11(C)に示すように、発熱抵抗体層13の長手方向において、6番目の電極14と7番目の電極14の間の範囲内で、発熱抵抗体層13が発熱する。   Thus, for example, taking the basic configuration of the thermal head 11 according to the first embodiment as an example, in the first driving period, as shown in FIG. The heating resistor layer 13 generates heat within the range between the first electrode 14 and the second electrode 14. In the second driving period, as shown in FIG. 11B, the heating resistor is within the range between the second electrode 14 and the third electrode 14 in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13. Layer 13 generates heat. In the subsequent driving period, the heating resistor layer 13 similarly generates heat. In the sixth driving period, as shown in FIG. 11C, the heating resistor is within the range between the sixth electrode 14 and the seventh electrode 14 in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13. Layer 13 generates heat.

なお、ここでは一例として、発熱抵抗体層13の一端側から他端側に向かって、電圧印加の対象となる2つの電極14の位置を順に遷移させるようにしているが、電圧を印加する順番は任意に変更可能である。例えば、第1の駆動期間で、1番目の電極14と2番目の電極14の間に電圧を印加し、次の第2の駆動期間で、5番目の電極14と6番目の電極14の間に電圧を印加し、次の第3の駆動期間で、2番目の電極14と3番目の電極14の間に電圧を印加し、…といった具合に、任意に変更可能である。   Here, as an example, the positions of the two electrodes 14 to be applied with voltage are sequentially shifted from one end side to the other end side of the heating resistor layer 13. Can be arbitrarily changed. For example, a voltage is applied between the first electrode 14 and the second electrode 14 in the first driving period, and between the fifth electrode 14 and the sixth electrode 14 in the next second driving period. The voltage can be applied between the second electrode 14 and the third electrode 14 in the next third driving period, and so on.

第1の駆動方法を適用してサーマルヘッド11を駆動した場合は、ある組に属する2つの電極間の範囲で発熱する発熱抵抗体層13の発熱範囲と、それと別の組に属する2つの電極間の範囲で発熱する発熱抵抗体層13の発熱範囲を、発熱抵抗体層13の長手方向で相互につなぎあわせることが可能となる。また、単位面積当たり同一の発熱量を得るための最大電圧を最小限に抑えることが可能となる。   When the thermal head 11 is driven by applying the first driving method, the heating range of the heating resistor layer 13 that generates heat in the range between two electrodes belonging to a certain set, and two electrodes belonging to another set. The heat generation range of the heat generating resistor layer 13 that generates heat in the intermediate range can be connected to each other in the longitudinal direction of the heat generating resistor layer 13. In addition, it is possible to minimize the maximum voltage for obtaining the same amount of heat generation per unit area.

また、第1の駆動条件で電圧が印加される2つの電極間で発熱する発熱抵抗体層13の発熱範囲と、第2の駆動条件で電圧が印加される2つの電極間で発熱する発熱抵抗体層13の発熱範囲を、発熱抵抗体層13の長さ方向で相互につなぎあわせることが可能となる。このため、発熱抵抗体層13が発熱する範囲を相互につなぎあわせた状態で、発熱抵抗体層13を長手方向にわたって発熱させることができる。   Further, the heating range of the heating resistor layer 13 that generates heat between two electrodes to which a voltage is applied under the first driving condition, and the heating resistor that generates heat between two electrodes to which a voltage is applied under the second driving condition. The heat generation range of the body layer 13 can be connected to each other in the length direction of the heating resistor layer 13. For this reason, the heating resistor layer 13 can be made to generate heat in the longitudinal direction in a state where the heating resistor layers 13 generate heat together.

(第2の駆動方法)
第2の駆動方法においても、上記第1の駆動方法と同様に、電圧を印加する対象となる2つの電極の組み合わせを変えた第1の駆動条件と第2の駆動条件を適用して、各組ごとに2つの電極間に電圧を印加する。ただし、電圧を印加する対象となる電極の組み合わせ方式が、第1の駆動方法とは異なる。
(Second driving method)
In the second driving method, similarly to the first driving method, each of the first driving condition and the second driving condition in which the combination of two electrodes to which a voltage is applied is changed is applied. A voltage is applied between two electrodes for each set. However, the combination method of the electrodes to which the voltage is applied is different from the first driving method.

すなわち、第1の駆動条件では、発熱抵抗体層13の一端側から数えて、奇数番目の電極と、当該奇数番目の電極との間に偶数番目の電極を挟んで当該偶数番目の電極に隣り合いかつ当該偶数番目の電極よりも発熱抵抗体層の長手方向の他端側に配置された奇数番目の電極と、を1つの組とする。第2の駆動条件では、発熱抵抗体層13の長手方向の一端側から数えて、偶数番目の電極と、当該偶数番目の電極との間に奇数番目の電極を挟んで当該奇数番目の電極に隣り合いかつ当該奇数番目の電極よりも発熱抵抗体層の長手方向の他端側に配置された偶数番目の電極と、を1つの組とする。   In other words, under the first driving condition, the even-numbered electrode is sandwiched between the odd-numbered electrode and the odd-numbered electrode, counting from one end side of the heating resistor layer 13, and adjacent to the even-numbered electrode. The odd-numbered electrodes arranged on the other end side in the longitudinal direction of the heating resistor layer with respect to the even-numbered electrodes are combined into one set. Under the second driving condition, the odd-numbered electrode is sandwiched between the even-numbered electrode and the even-numbered electrode, counting from one end in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13. The even-numbered electrodes arranged adjacent to each other and on the other end side in the longitudinal direction of the heating resistor layer than the odd-numbered electrodes are taken as one set.

前述した7つの電極14に当てはめて考えると、第1の駆動条件では、図12(A)に示すように、発熱抵抗体層13の長手方向の一端側から数えて、1番目の電極14と3番目の電極14、3番目の電極14と5番目の電極14、5番目の電極14と7番目の電極14を、それぞれ1つの組とする。また、第2の駆動条件では、図12(B)に示すように、発熱抵抗体層13の長手方向の一端側から数えて、2番目の電極14と4番目の電極14、4番目の電極14と6番目の電極14を、それぞれ1つの組とする。   When applied to the seven electrodes 14 described above, under the first driving condition, as shown in FIG. 12A, the first electrode 14 counted from one end side in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13 The third electrode 14, the third electrode 14 and the fifth electrode 14, and the fifth electrode 14 and the seventh electrode 14 are set as one set. In the second driving condition, as shown in FIG. 12B, the second electrode 14, the fourth electrode 14, and the fourth electrode are counted from one end in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13. Each of the 14th electrode and the sixth electrode 14 is set as one set.

そして、複数の駆動期間に分けて、各組に属する2つの電極間に電圧を印加する。例えば、第1の駆動期間では、図13(A)に示すように、第1の駆動条件で1つの組とした1番目の電極14と3番目の電極14の間に電圧を印加する。次に、第2の駆動期間では、図13(B)に示すように、第2の駆動条件で1つの組とした2番目の電極14と4番目の電極14の間に電圧を印加する。次に、第3の駆動期間では、図13(C)に示すように、第1の駆動条件で1つの組とした3番目の電極14と5番目の電極14の間に電圧を印加する。次に、第4の駆動期間では、図13(D)に示すように、第2の駆動条件で1つの組とした4番目の電極14と6番目の電極14の間に電圧を印加する。次に、第5の駆動期間では、図13(E)に示すように、第1の駆動条件で1つの組とした5番目の電極14と7番目の電極14の間に電圧を印加する。   Then, a voltage is applied between two electrodes belonging to each set in a plurality of driving periods. For example, in the first driving period, as shown in FIG. 13A, a voltage is applied between the first electrode 14 and the third electrode 14 that form one set under the first driving condition. Next, in the second driving period, as shown in FIG. 13B, a voltage is applied between the second electrode 14 and the fourth electrode 14 that form one set under the second driving condition. Next, in the third driving period, as shown in FIG. 13C, a voltage is applied between the third electrode 14 and the fifth electrode 14 in one set under the first driving condition. Next, in the fourth driving period, as shown in FIG. 13D, a voltage is applied between the fourth electrode 14 and the sixth electrode 14 in one set under the second driving condition. Next, in the fifth driving period, as shown in FIG. 13E, a voltage is applied between the fifth electrode 14 and the seventh electrode 14 in one set under the first driving condition.

これにより、例えば上記第1の実施の形態に係るサーマルヘッド11の基本構成を例にとると、第1の駆動期間では、図14(A)に示すように、発熱抵抗体層13の長手方向において、1番目の電極14と3番目の電極14の間の範囲内で、発熱抵抗体層13が発熱する。また、第2の駆動期間では、図14(B)に示すように、発熱抵抗体層13の長手方向において、2番目の電極14と4番目の電極14の間の範囲内で、発熱抵抗体層13が発熱する。まだ、第3の駆動期間では、図14(C)に示すように、発熱抵抗体層13の長手方向において、3番目の電極14と5番目の電極14の間の範囲内で、発熱抵抗体層13が発熱する。   Thus, for example, taking the basic configuration of the thermal head 11 according to the first embodiment as an example, in the first driving period, as shown in FIG. The heating resistor layer 13 generates heat within the range between the first electrode 14 and the third electrode 14. In the second driving period, as shown in FIG. 14B, the heating resistor is within the range between the second electrode 14 and the fourth electrode 14 in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13. Layer 13 generates heat. In the third driving period, as shown in FIG. 14C, the heating resistor is within the range between the third electrode 14 and the fifth electrode 14 in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13. Layer 13 generates heat.

また、第4の駆動期間では、図15(A)に示すように、発熱抵抗体層13の長手方向において、4番目の電極14と6番目の電極14の間の範囲内で、発熱抵抗体層13が発熱する。また、第5の駆動期間では、図15(B)に示すように、発熱抵抗体層13の長手方向において、5番目の電極14と7番目の電極14の間の範囲内で、発熱抵抗体層13が発熱する。   Further, in the fourth drive period, as shown in FIG. 15A, the heating resistor is within the range between the fourth electrode 14 and the sixth electrode 14 in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13. Layer 13 generates heat. In the fifth driving period, as shown in FIG. 15B, the heating resistor is within the range between the fifth electrode 14 and the seventh electrode 14 in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13. Layer 13 generates heat.

このようにサーマルヘッド11を駆動すれば、今回の駆動期間で発熱抵抗体層13の発熱する範囲と、次回の駆動期間で発熱抵抗体層13の発熱する範囲とが、発熱抵抗体層13の長手方向で隣り合う位置関係で相互に重なり合うことになる。例えば、今回の駆動期間が第2の駆動期間で、次回の駆動期間が第3の駆動期間であると仮定すると、上記図14(B),(C)に示すように、第2の駆動期間で発熱抵抗体層13が発熱する範囲と、第3の駆動期間で発熱抵抗体層13が発熱する範囲とが、部分的に重なり合うことになる。こうした発熱範囲の部分的な重なりは、第1の駆動期間から第2の駆動期間に遷移する場合や、第3の駆動期間から第4の駆動期間に遷移する場合、さらには第4の駆動期間から第5の駆動期間に遷移する場合にも、同様に生じる。   If the thermal head 11 is driven in this way, the range in which the heating resistor layer 13 generates heat in the current driving period and the range in which the heating resistor layer 13 generates heat in the next driving period are determined by the heating resistor layer 13. They overlap each other in the positional relationship adjacent in the longitudinal direction. For example, assuming that the current drive period is the second drive period and the next drive period is the third drive period, as shown in FIGS. 14B and 14C, the second drive period. Thus, the range in which the heating resistor layer 13 generates heat and the range in which the heating resistor layer 13 generates heat in the third driving period partially overlap. Such partial overlap of the heat generation range occurs when the first driving period transits to the second driving period, when the third driving period transits to the fourth driving period, and further, the fourth driving period. The same occurs when transitioning from to the fifth drive period.

このため、発熱抵抗体層13の発熱範囲を相互に重ね合わせるように、複数の駆動期間にわけてサーマルヘッド11を駆動することができる。また、発熱抵抗体層13の発熱範囲が各々の駆動期間で相互に重なり合うようにサーマルヘッド11を駆動することにより、発熱抵抗体層13を発熱させて転写材料を昇華させる場合に、発熱抵抗体層13の長手方向にわたって転写材料を残らず確実に昇華させることができる。さらに、今回の駆動期間で発熱させた発熱抵抗体層13の発熱量を、次回の駆動期間に有効に利用することができる。   For this reason, the thermal head 11 can be driven in a plurality of drive periods so that the heating ranges of the heating resistor layers 13 are overlapped with each other. Further, when the thermal head 11 is driven so that the heat generating ranges of the heat generating resistor layer 13 overlap each other in each driving period, the heat generating resistor layer 13 generates heat and the transfer material is sublimated. The transfer material can be surely sublimated without remaining in the longitudinal direction of the layer 13. Furthermore, the heat generation amount of the heating resistor layer 13 that has generated heat during the current driving period can be effectively used for the next driving period.

ただし、電圧を印加する順番は、上記の順番に限らず、任意に変更可能である。例えば、第1の駆動期間では、1番目の電極14と3番目の電極14の間に電圧を印加し、第2の駆動期間では、3番目の電極14と5番目の電極14の間に電圧を印加し、第3の駆動期間では、5番目の電極14と7番目の電極14の間に電圧を印加する。さらに、第4の駆動期間では、2番目の電極14と4番目の電極14の間に電圧を印加し、第5の駆動期間では、4番目の電極14と6番目の電極14の間に電圧を印加する、といった具合に変更可能である。   However, the order in which the voltages are applied is not limited to the above order, and can be arbitrarily changed. For example, a voltage is applied between the first electrode 14 and the third electrode 14 in the first driving period, and a voltage is applied between the third electrode 14 and the fifth electrode 14 in the second driving period. In the third driving period, a voltage is applied between the fifth electrode 14 and the seventh electrode 14. Further, a voltage is applied between the second electrode 14 and the fourth electrode 14 in the fourth driving period, and a voltage is applied between the fourth electrode 14 and the sixth electrode 14 in the fifth driving period. Can be changed.

また、1つの駆動期間では、1番目の電極14と3番目の電極14の間、及び、5番目の電極14と7番目の電極14の間に、それぞれ同時に電圧を印加することが可能である。さらに、1つの駆動期間では、1番目の電極14と3番目の電極14の間、及び、2番目の電極14と4番目の電極14の間に、それぞれ同時に電圧を印加することが可能である。また、これ以外の組み合わせでも、電圧を印加する対象となる電極14の位置が異なる組同士であれば、同時に電圧を印加することが可能である。   In one driving period, a voltage can be applied simultaneously between the first electrode 14 and the third electrode 14 and between the fifth electrode 14 and the seventh electrode 14. . Further, in one driving period, it is possible to apply a voltage simultaneously between the first electrode 14 and the third electrode 14 and between the second electrode 14 and the fourth electrode 14. . Further, even in other combinations, it is possible to apply a voltage at the same time as long as the pairs of electrodes 14 to which a voltage is applied are different from each other.

第2の駆動方法を適用してサーマルヘッド11を駆動した場合は、ある組に属する2つの電極間の範囲で発熱する発熱抵抗体層13の発熱範囲と、それと別の組に属する2つの電極間の範囲で発熱する発熱抵抗体層13の発熱範囲を、発熱抵抗体層13の長手方向で相互に重ね合わせることが可能となる。   When the thermal head 11 is driven by applying the second driving method, the heating range of the heating resistor layer 13 that generates heat in the range between two electrodes belonging to a certain set, and two electrodes belonging to another set. The heating range of the heating resistor layer 13 that generates heat in the intermediate range can be overlapped with each other in the longitudinal direction of the heating resistor layer 13.

また、第1の駆動条件で電圧が印加される2つの電極間で発熱する発熱抵抗体層13の発熱範囲と、第2の駆動条件で電圧が印加される2つの電極間で発熱する発熱抵抗体層13の発熱範囲を、発熱抵抗体層13の長手方向で相互に重ね合わせることが可能となる。このため、発熱抵抗体層13が発熱する範囲を相互に重ね合わせた状態で、発熱抵抗体層13を長手方向にわたって発熱させることができる。   Further, the heating range of the heating resistor layer 13 that generates heat between two electrodes to which a voltage is applied under the first driving condition, and the heating resistor that generates heat between two electrodes to which a voltage is applied under the second driving condition. The heat generation range of the body layer 13 can be overlapped with each other in the longitudinal direction of the heat generation resistor layer 13. For this reason, the heating resistor layer 13 can be caused to generate heat in the longitudinal direction in a state in which the ranges where the heating resistor layer 13 generates heat are overlapped with each other.

なお、上記図9、図11、図14、図15においては、上記第1の実施の形態で採用したサーマルヘッド11の基本構成を例に挙げて、発熱抵抗体層13の発熱範囲を模式的に示したが、第2の実施の形態で採用したサーマルヘッド11の基本構成でも同様の範囲で発熱抵抗体層13が発熱することは言うまでもない。   9, 11, 14, and 15, the basic structure of the thermal head 11 employed in the first embodiment is taken as an example, and the heat generation range of the heating resistor layer 13 is schematically illustrated. However, it goes without saying that the heating resistor layer 13 generates heat in the same range even in the basic configuration of the thermal head 11 employed in the second embodiment.

11…サーマルヘッド、12…基板、13…発熱抵抗体層、14…電極、15…絶縁層、16…導通部、17…コンタクト部、20…駆動部   DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Thermal head, 12 ... Board | substrate, 13 ... Heating resistor layer, 14 ... Electrode, 15 ... Insulating layer, 16 ... Conducting part, 17 ... Contact part, 20 ... Drive part

Claims (9)

絶縁性の基板と、
前記基板上に長尺状に形成された発熱抵抗体層と、
前記発熱抵抗体層に電気的に接続する状態で、前記発熱抵抗体層の長手方向に互いに距離を隔てて設けられたn個(nは3以上の自然数)の電極と、
前記n個の電極に対して、前記発熱抵抗体層の長手方向の異なる位置に設けられた2つの電極を1つの組として、各組ごとに2つの電極間に個別に電圧を印加する駆動手段と
を備えるサーマルヘッド。
An insulating substrate;
A heating resistor layer formed in an elongated shape on the substrate;
N electrodes (n is a natural number of 3 or more) provided at a distance from each other in the longitudinal direction of the heating resistor layer in a state of being electrically connected to the heating resistor layer;
Driving means for individually applying a voltage between the two electrodes for each group, with two electrodes provided at different positions in the longitudinal direction of the heating resistor layer as one set for the n electrodes And thermal head.
前記駆動手段は、前記発熱抵抗体層の長手方向で隣り合う2つの電極を1つの組として、各組ごとに2つの電極間に個別に電圧を印加する
請求項1記載のサーマルヘッド。
2. The thermal head according to claim 1, wherein the driving unit applies a voltage between the two electrodes for each set, with two electrodes adjacent in the longitudinal direction of the heating resistor layer as one set.
前記nが4以上であり、
前記駆動手段は、前記発熱抵抗体層の長手方向で隣り合う3つの電極のうちの両側2つの電極を1つの組として、各組ごとに2つの電極間に個別に電圧を印加する
請求項1記載のサーマルヘッド。
N is 4 or more,
2. The driving means applies two voltages individually between the two electrodes for each set, with two electrodes on both sides of the three electrodes adjacent in the longitudinal direction of the heating resistor layer as one set. The thermal head described.
前記駆動手段は、
前記発熱抵抗体層の長手方向の一端から他端に向かって1番目からn番目まで並んだ前記n個の電極のうち、
前記発熱抵抗体層の長手方向の一端側から数えて、奇数番目の電極と、当該奇数番目の電極に隣り合いかつ当該奇数番目の電極よりも前記発熱抵抗体層の長手方向の他端側に配置された偶数番目の電極と、を1つの組とする第1の駆動条件と、
前記発熱抵抗体層の長手方向の一端側から数えて、偶数番目の電極と、当該偶数番目の電極に隣り合いかつ当該偶数番目の電極よりも前記発熱抵抗体層の長手方向の他端側に配置された奇数番目の電極と、を1つの組とする第2の駆動条件と、
を適用して、各組ごとに2つの電極間に個別に電圧を印加する
請求項2記載のサーマルヘッド。
The driving means includes
Among the n electrodes arranged from the first to the nth from one end to the other end in the longitudinal direction of the heating resistor layer,
Counting from one end side in the longitudinal direction of the heating resistor layer, the odd-numbered electrode, adjacent to the odd-numbered electrode, and closer to the other end side in the longitudinal direction of the heating resistor layer than the odd-numbered electrode A first driving condition in which the even-numbered electrodes arranged are set as one set;
Counting from one end side in the longitudinal direction of the heating resistor layer, the even-numbered electrode, adjacent to the even-numbered electrode, and closer to the other end side in the longitudinal direction of the heating resistor layer than the even-numbered electrode A second driving condition in which the arranged odd-numbered electrodes are one set;
The thermal head according to claim 2, wherein a voltage is individually applied between two electrodes for each set.
前記駆動手段は、
前記発熱抵抗体層の長手方向の一端から他端に向かって1番目からn番目まで並んだ前記n個の電極のうち、
前記発熱抵抗体層の長手方向の一端側から数えて、奇数番目の電極と、当該奇数番目の電極との間に偶数番目の電極を挟んで当該偶数番目の電極に隣り合いかつ当該偶数番目の電極よりも前記発熱抵抗体層の長手方向の他端側に配置された奇数番目の電極と、を1つの組とする第1の駆動条件と、
前記発熱抵抗体層の長手方向の一端側から数えて、偶数番目の電極と、当該偶数番目の電極との間に奇数番目の電極を挟んで当該奇数番目の電極に隣り合いかつ当該奇数番目の電極よりも前記発熱抵抗体層の長手方向の他端側に配置された偶数番目の電極と、を1つの組とする第2の駆動条件と、
を適用して、各組ごとに2つの電極間に個別に電圧を印加する
請求項3記載のサーマルヘッド。
The driving means includes
Among the n electrodes arranged from the first to the nth from one end to the other end in the longitudinal direction of the heating resistor layer,
Counting from one end side in the longitudinal direction of the heating resistor layer, the even-numbered electrode is sandwiched between the odd-numbered electrode and the odd-numbered electrode, and the even-numbered electrode is adjacent to the even-numbered electrode. A first driving condition in which an odd-numbered electrode disposed on the other end side in the longitudinal direction of the heating resistor layer with respect to the electrode is one set;
Counting from one end side in the longitudinal direction of the heating resistor layer, the odd-numbered electrode is sandwiched between the even-numbered electrode and the even-numbered electrode, and the odd-numbered electrode is adjacent to the odd-numbered electrode. A second driving condition in which an even-numbered electrode disposed on the other end side in the longitudinal direction of the heating resistor layer with respect to the electrode is one set;
The thermal head according to claim 3, wherein a voltage is individually applied between two electrodes for each set.
前記発熱抵抗体層の長手方向で、少なくとも前記発熱抵抗体層と前記電極とが重なり合う領域に、前記基板の厚み方向で前記発熱抵抗体層と前記電極の間に介在する状態で絶縁層を形成するとともに、前記発熱抵抗体層の長手方向と交差する方向に前記絶縁層よりもはみ出す状態で前記発熱抵抗体層の一部と前記電極の一部を引き出し、当該引き出し部分で前記電極を前記発熱抵抗体層に電気的に接続してなる
請求項1〜5のいずれか1項に記載のサーマルヘッド。
An insulating layer is formed between the heating resistor layer and the electrode in the thickness direction of the substrate at least in a region where the heating resistor layer and the electrode overlap in the longitudinal direction of the heating resistor layer. In addition, a part of the heating resistor layer and a part of the electrode are pulled out in a state of protruding from the insulating layer in a direction intersecting with a longitudinal direction of the heating resistor layer, and the electrode is heated by the leading part. The thermal head according to claim 1, wherein the thermal head is electrically connected to the resistor layer.
前記発熱抵抗体層の長手方向で、少なくとも前記発熱抵抗体層と前記電極とが重なり合う領域に、前記基板の厚み方向で前記発熱抵抗体層と前記電極の間に介在する状態で絶縁層を形成するとともに、前記絶縁層を貫通する状態でコンタクト部を設け、このコンタクト部を介して前記電極を前記発熱抵抗体層に電気的に接続してなる
請求項1〜5のいずれか1項に記載のサーマルヘッド。
An insulating layer is formed between the heating resistor layer and the electrode in the thickness direction of the substrate at least in a region where the heating resistor layer and the electrode overlap in the longitudinal direction of the heating resistor layer. The contact part is provided in a state of penetrating the insulating layer, and the electrode is electrically connected to the heating resistor layer through the contact part. Thermal head.
前記基板は、前記発熱抵抗体層と前記電極とが重なり合う領域内に、前記基板を貫通しかつ前記コンタクト部に導通する導電部を有し、
前記電極は、前記基板の前記発熱抵抗体層が形成されている側とは反対側の面に、前記導電部に導通する状態で設けられている
請求項7記載のサーマルヘッド。
The substrate has a conductive portion that penetrates the substrate and is electrically connected to the contact portion in a region where the heating resistor layer and the electrode overlap.
The thermal head according to claim 7, wherein the electrode is provided on the surface of the substrate opposite to the side on which the heating resistor layer is formed in a state of being electrically connected to the conductive portion.
絶縁性の基板と、前記基板上に長尺状に形成された発熱抵抗体層と、前記発熱抵抗体層に電気的に接続する状態で、前記発熱抵抗体層の長手方向に互いに距離を隔てて設けられたn個(nは3以上の自然数)の電極とを備えるサーマルヘッドを駆動するにあたって、
前記n個の電極に対して、前記発熱抵抗体層の長手方向の異なる位置に設けられた2つの電極を1つの組として、各組ごとに2つの電極間に個別に電圧を印加する
サーマルヘッドの駆動方法。
An insulating substrate, a heating resistor layer formed in a long shape on the substrate, and a distance from each other in the longitudinal direction of the heating resistor layer while being electrically connected to the heating resistor layer In driving a thermal head provided with n electrodes (n is a natural number of 3 or more) provided,
A thermal head that individually applies a voltage between two electrodes for each set, with two electrodes provided at different positions in the longitudinal direction of the heating resistor layer as a set for the n electrodes. Driving method.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN113132570A (en) * 2019-12-31 2021-07-16 中芯集成电路(宁波)有限公司 Imaging module and electronic equipment

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