JP2010283012A - 生産ライン制御システムおよび生産ライン制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】既に存在する基幹生産ラインをモデルとした新規生産ラインの検査装置の台数を必要最小限にする。
【解決手段】生産ライン制御装置Ｓは、既存の基幹生産ラインＡを制御する際に、データグループ作成部５で、基幹生産ラインＡ用の第１プロセスレシピ１とプロセスデータ２と検査データ３とを対応付けてデータベース８に蓄積する。また、新たに設置された新規生産ラインＢを制御する際には、第２プロセスレシピ抽出部７で、蓄積された第１プロセスレシピ１から最適なものを抽出し、新規生産ラインＢ用の第２プロセスレシピ９として出力する。こうして、安定して生産している基幹生産ラインＡの第１プロセスレシピ１を新規生産ラインＢ用の第２プロセスレシピ９とすることにより、新規生産ラインＢの生産を安定させて製品の品質が基準値を満たすようにする。その結果、新規生産ラインＢに検査装置を設ける必要がなく、製造コストを下げることができる。
【選択図】図１

Description

この発明は、例えば半導体デバイス,液晶モジュールおよび太陽電池モジュール等の既存の生産ラインとは遠隔に配置されると共に、上記既存の生産ラインと同じプロセス装置で構成された新たな生産ラインを稼働する場合に、上記新たな生産ラインにおける検査装置の数を最小限にすることができる生産ライン制御システムおよび生産ライン制御方法に関する。

電子機器の小型化・高機能化や、表示機器の薄型化・大型化・高画質化や、環境問題がクローズアップされる中での高効率太陽光発電機の開発・製造が、加速されている。そのような環境下において、最近では、半導体デバイス,液晶パネルあるいは太陽電池セルの生産ラインに対して巨額の投資が進められている。

上述の生産ラインにおいては、数多くのプロセス装置が配置されており、これらのプロセス装置によって、高性能・高機能な制御機器の制御ソフトによる制御の下に、効率良く日々絶え間なく生産が行われている。このように、巨額投資を実施して生産が行われる生産ラインにおいては、その投資を回収するために常に動かすことが求められている。したがって、上記生産ラインでは、これら多くのプロセス装置を常時監視し、不具合や異常が発生した場合には直ぐに対処できるような体制を取るように配慮されている。

半導体デバイス,液晶パネルおよび太陽電池セルに代表される半導体を利用した半導体電子デバイス機器の生産ラインは、自動化された複数のプロセス装置と、生産途中あるいは生産完了時に生産品を検査するための検査装置とで構成されている。このような生産ラインにおいては、常に、上記プロセス装置および上記検査装置の各装置の動作を制御したり、生産情報を収集して管理したりする必要がある。そのために、上記動作制御や上記情報収集を、生産ライン毎に集中管理するシステムを設けることが多い。その場合には、生産ラインにおける上記各装置の状態や異常についても、この集中管理システムによって効率的に収集し対処することを可能にしている。但し、上記各装置の保守や異常対処については生産ライン毎に配置された作業員が行っている。

現在、上記半導体デバイス,液晶パネルおよび太陽電池セル等の生産ラインが、既存の生産ラインをコピーして、国内各地だけでなく海外各地にも設置されている。このようにばらばらに多数存在する生産ラインの保守や異常対処を行うには、各生産ライン毎に作業員を配置する必要があり、生産ラインの増加に併せて作業員の増員が求められるという問題がある。従来、このような問題に対する対処方として、特許第３９１９２９４号(特許文献１)に開示された「産業用機器の遠隔保守システム」がある。

上記特許文献１に開示された産業用機器の遠隔保守システムにおいては、任意の一箇所に監視場所を設け、その監視場所から離れて設置された生産ラインのプロセス装置の状態を、上記監視場所からインターネット等の通信網を介して監視する。そして、上記状態が予め準備されたデータベースとの照合によって異常であるか否かを判定し、異常である場合にはその異常についての詳細内容を上記プロセス装置側に再度上記通信網を介して知らせるようにしている。こうすることによって、各プロセス装置の保守や異常対処に必要な時間を短縮できるという効果を奏することができ、生産ライン毎に配置する作業員の人数を削減することが可能になる。その結果、上述した作業員の増員という問題を解決することができる。

しかしながら、上記従来の特許文献１に開示された産業用機器の遠隔保守システムにおいては、以下のような問題がある。

すなわち、上記監視場所から上記通信網を介して各プロセス装置の状態を把握することによって、異常状態を回避することはできる。しかしながら、複数の生産ラインの総てにおける生産品の品質を一定に保つことは難しく、最悪の場合では生産品の不良に至ることが予想される。

例えば、上記太陽電池セルにおいて、異常状態ではない成膜装置(プロセス装置)で発電層を形成したとして、その成膜装置でのプロセスレシピが太陽電池モジュールの発電特性に影響を与えることが知られている。したがって、上記従来の特許文献１に開示された産業用機器の遠隔保守システムのような生産ラインの異常状態の把握だけではなく、生産品の検査を行う検査装置を上記生産ラインに設けることによって、生産品の品質を確認しながら生産を行うことが一般的とされている。

但し、その場合、複数の生産ラインに上記検査装置を数多く設けることによって、生産品の品質を安定させ、不良品の発生を回避することはできる。ところが、検査装置のコスト負担が大きくなるという問題がある。また、過剰な検査装置によって検査を行うことによって多くの検査時間を必要とし、生産リードタイムが長くなるという問題もある。

特許第３９１９２９４号

そこで、この発明の課題は、基幹生産ラインが既に存在しており、その基幹生産ラインをモデルとした新規生産ラインを構築するに当たって、その新規生産ラインにおける検査装置の台数を必要最小限にすることができる生産ライン制御システム、および、生産ライン制御方法を提供することにある。

上記課題を解決するため、この発明の生産ライン制御システムは、
プロセスレシピに従って基材にプロセス処理を施す複数のプロセス装置と、上記プロセス処理が施された上記基材に対する上記プロセス処理の成否を検査する一つあるいは複数の検査装置とを含む基幹生産ラインと、
上記基幹生産ラインとは遠隔に配置されると共に、上記基幹生産ラインの上記複数のプロセス装置のうちの何れかと同じ一つあるいは複数のプロセス装置を含む新規生産ラインと、
当初は上記基幹生産ラインのみの制御を行い、上記基幹生産ラインが安定生産に入った後に上記新規生産ラインの制御をも行う生産ライン制御装置と
を備え、
上記生産ライン制御装置は、
少なくとも上記プロセスレシピを複数蓄積しているデータベースと、
上記基幹生産ラインを制御する場合に、上記蓄積された複数のプロセスレシピの中から上記基幹生産ライン用の第１プロセスレシピを抽出して、上記基幹生産ラインの上記各プロセス装置に送出する第１プロセスレシピ抽出部と、
上記基幹生産ラインを制御する場合に、上記各プロセス装置に送出した上記第１プロセスレシピと、上記各プロセス装置から送出されると共に、上記各プロセス装置の状態を示すプロセスデータと、上記検査装置から送出されると共に、上記プロセス処理の成否を表す検査データとを互いに対応付けて成るデータグループを作成して、上記データベースに蓄積するデータグループ作成部と、
上記新規生産ラインを制御する場合に、上記データベースに蓄積された上記データグループの中から上記新規生産ライン用のプロセスレシピとして最適な上記第１プロセスレシピを含むデータグループを抽出し、この抽出されたデータグループに含まれている上記第１プロセスレシピを上記新規生産ライン用の第２プロセスレシピとして上記新規生産ラインに送出する第２プロセスレシピ抽出部と
を備えたことを特徴としている。

上記構成によれば、上記生産ライン制御装置によって、上記第２プロセスレシピ抽出部で上記データベースに蓄積された上記データグループの中から上記新規生産ライン用のプロセスレシピとして最適な上記第１プロセスレシピを抽出し、この抽出された上記第１プロセスレシピを上記新規生産ライン用の第２プロセスレシピとして上記新規生産ラインを制御するようにしている。したがって、上記新規生産ライン用の生産ライン制御部を新たに設ける必要がなく、コストダウンを図ることができるのである。

さらに、上記生産ライン制御装置によって上記新規生産ラインを制御する場合には、安定的に生産が行われている上記基幹生産ライン用の第１プロセスレシピから最適なものを抽出して、上記新規生産ライン用の第２プロセスレシピとして用いている。したがって、上記新規生産ラインによって生産される製品の品質が予め設定されている基準値を満たしていることを十分予測でき、上記検査装置を設けて上記各プロセス装置によるプロセス処理の成否を検査する必要がない。すなわち、この発明によれば、上記新規生産ラインの製造コストを、上記検査装置が不要な分だけ下げることができるのである。

また、１実施の形態の生産ライン制御システムでは、
上記第２プロセスレシピ抽出部は、
上記データベースに蓄積された上記データグループの中から、上記プロセス処理が成功したと判定された検査データが含まれる第１のデータグループを抽出し、
抽出された上記第１のデータグループに関して、略同値の上記プロセスデータが含まれたデータグループに分類し、上記略同値の上記プロセスデータの数が最も多いデータグループを第２のデータグループとして抽出し、
抽出された上記第２のデータグループに関して、略同値の上記第１プロセスレシピが含まれるデータグループに分類し、上記略同値の上記第１プロセスレシピの数が最も多い第３のデータグループを抽出し、この抽出された上記第３のデータグループに含まれる上記第１プロセスレシピを上記第２プロセスレシピとする
ようになっている。

この実施の形態によれば、抽出された上記第２プロセスレシピは、上記新規生産ラインで製造された製品の特性を上記検査装置で測定した場合には、上記プロセス処理が成功したと判定される検査データが得られる可能性が一番高い上記第１プロセスレシピと同じであり、上記新規生産ライン用の上記第２プロセスレシピとして最適なプロセスレシピである。

また、１実施の形態の生産ライン制御システムでは、
上記生産ライン制御装置を、上記基幹生産ラインと上記新規生産ラインとのうち上記基幹生産ライン側に設置している。

上記生産ライン制御装置は、上記新規生産ラインの制御を始めるに先立って、安定した生産を行っている上記基幹生産ラインの制御を行って、上記データグループを収集して上記データベースに蓄積する。その場合、常に大量のデータが上記基幹生産ラインから上記生産ライン制御装置に送出される。

この実施の形態によれば、上記生産ライン制御装置を、上記基幹生産ライン側、例えば上記基幹生産ラインと同じ建物階や同じ工場内に設置している。したがって、上記生産ライン制御装置と上記基幹生産ラインとの間に高速通信設備を設置する必要がない。そのため、上記高速通信設備の設置に必要なコストを削減することができる。

また、１実施の形態の生産ライン制御システムでは、
上記新規生産ラインに設けられると共に、上記新規生産ラインの生産管理と、上記生産ライン制御装置への上記第２プロセスレシピの送出要求信号の出力と、受け取った上記第２プロセスレシピの各プロセス装置への送出とを行う管理部と、
上記生産ライン制御装置に設けられると共に、上記新規生産ラインの上記管理部からの上記第２プロセスレシピの送出要求信号を受けて、上記第１プロセスレシピ抽出部,上記データグループ作成部および上記第２プロセスレシピ抽出部を含むプロセス処理部が、上記送出要求に応答可能になるまで保持するデータ保持部と
備えている。

この実施の形態によれば、上記新規生産ラインに、上記新規生産ラインの生産管理と、上記第２プロセスレシピの送出要求信号の出力と、受け取った上記第２プロセスレシピの各プロセス装置への送出とを行う管理部を設けている。したがって、上記生産ライン制御装置を上記新規生産ラインの生産管理から開放することができ、上記新規生産ラインからの上記第２プロセスレシピの送出要求信号を受信した場合に、上記第２プロセスレシピを抽出して上記新規生産ラインに送信するだけでよい。したがって、その後は、上記基幹生産ラインの制御と上記データグループの収集とに専念することができる。

さらに、上記生産ライン制御装置に、上記新規生産ラインの上記管理部からの上記第２プロセスレシピの送出要求信号を受けて、上記プロセス処理部が上記送出要求に応答可能になるまで保持するデータ保持部を設けている。したがって、上記生産ライン制御装置の上記プロセス処理部が上記送出要求を直接受けた場合に生ずる上記基幹生産ラインの制御に対する混乱や遅延を防止して、上記基幹生産ラインの安定した生産を継続することができる。

また、１実施の形態の生産ライン制御システムでは、
上記生産ライン制御装置の上記データ保持部と上記新規生産ラインの上記管理部とは、インターネット回線あるいはイントラネット回線あるいは専用通信回線を介して互いに接続されている。

この実施の形態によれば、上記新規生産ラインと上記生産ライン制御装置とは、上記管理部および上記データ保持部を介して、インターネット回線あるいはイントラネット回線あるいは専用通信回線で接続されている。したがって、上記インターネット回線あるいは上記イントラネット回線あるいは上記専用通信回線が正常であることを確認した後に、上記第２プロセスレシピの送出要求信号あるいは上記第２プロセスレシピを送信することができる。その結果、上記生産ライン制御装置側では、確実に上記第２プロセスレシピの送出要求を受信することができる一方、上記新規生産ライン側では、確実に上記第２プロセスレシピを受信することができる。

また、１実施の形態の生産ライン制御システムでは、
上記新規生産ラインにおける上記各プロセス装置は互いに直接接続されており、上記各プロセス装置の間には上記検査装置が配置されてはいない。

この実施の形態によれば、上記生産ライン制御装置によって、安定して生産が行われている上記基幹生産ラインの上記第１プロセスレシピの中から上記新規生産ライン用のプロセスレシピとして最適な上記第１プロセスレシピを抽出して、上記新規生産ライン用の最適な上記第２プロセスレシピとしている。したがって、上記新規生産ラインの各プロセス装置によるプロセス処理の成功が十分に期待できる。そのため、上記各プロセス装置の間に配置されて上記プロセス処理の成否を検査する上記検査装置が不必要になる。したがって、上記新規生産ラインの製造コストを下げることができる。

また、この発明の生産ライン制御方法は、
生産ライン制御装置によって、
当初は、プロセスレシピに従って基材にプロセス処理を施す複数のプロセス装置と、上記プロセス処理が施された上記基材に対する上記プロセス処理の成否を検査する一つあるいは複数の検査装置とを含む基幹生産ラインのみの制御を行い、
上記基幹生産ラインが安定生産に入った後に、上記基幹生産ラインとは遠隔に配置されると共に、上記基幹生産ラインの上記複数のプロセス装置のうちの何れかと同じ一つあるいは複数のプロセス装置を含む新規生産ラインの制御をも行う
生産ライン制御方法であって、
上記生産ライン制御装置が上記基幹生産ラインを制御する場合には、
先ず、上記生産ライン制御装置の第１プロセスレシピ抽出部によって、データベースに蓄積されている複数のプロセスレシピの中から上記基幹生産ライン用の第１プロセスレシピを抽出して、上記基幹生産ラインの上記各プロセス装置に送出し、
次に、上記生産ライン制御装置のデータグループ作成部によって、上記各プロセス装置に送出した上記第１プロセスレシピと、上記各プロセス装置から送出されると共に、上記各プロセス装置の状態を示すプロセスデータと、上記検査装置から送出されると共に、上記プロセス処理の成否を表す検査データとを互いに対応付けて成るデータグループを作成して、上記データベースに蓄積し、
上記生産ライン制御装置が上記新規生産ラインを制御する場合には、
上記生産ライン制御装置の第２プロセスレシピ抽出部によって、上記データベースに蓄積された上記データグループの中から、上記新規生産ライン用のプロセスレシピとして最適な上記第１プロセスレシピを含むデータグループを抽出し、この抽出されたデータグループに含まれている上記第１プロセスレシピを上記新規生産ライン用の第２プロセスレシピとして上記新規生産ラインに送出する
ことを特徴としている。

上記構成によれば、上記生産ライン制御装置によって、上記データベースに蓄積された上記データグループの中から上記新規生産ライン用のプロセスレシピとして最適な上記第１プロセスレシピを抽出し、この抽出された上記第１プロセスレシピを上記新規生産ライン用の第２プロセスレシピとして上記新規生産ラインを制御するようにしている。したがって、上記新規生産ライン用の生産ライン制御部を新たに設ける必要がなく、コストダウンを図ることができる。

さらに、上記生産ライン制御装置によって上記新規生産ラインを制御する場合には、安定的に生産が行われている上記基幹生産ライン用の第１プロセスレシピから最適なものを抽出して、上記新規生産ライン用の第２プロセスレシピとして用いている。したがって、上記新規生産ラインによって生産される製品の品質が予め設定されている基準値を満たしていることを十分予測でき、上記検査装置を設けて上記各プロセス装置によるプロセス処理の成否を検査する必要がない。すなわち、この発明によれば、上記新規生産ラインの製造コストを、上記検査装置が不要な分だけ下げることができる。

また、１実施の形態の生産ライン制御方法では、
上記第２プロセスレシピ抽出部による上記第２プロセスレシピの抽出は、
先ず、上記データベースに蓄積された上記データグループの中から、上記プロセス処理が成功したと判定された検査データが含まれる第１のデータグループを抽出し、
次に、抽出された上記第１のデータグループに関して、略同値の上記プロセスデータが含まれたデータグループに分類し、上記略同値の上記プロセスデータの数が最も多いデータグループを第２のデータグループとして抽出し、
次に、抽出された上記第２のデータグループに関して、略同値の上記第１プロセスレシピが含まれるデータグループに分類し、上記略同値の上記第１プロセスレシピの数が最も多い第３のデータグループを抽出し、この抽出された上記第３のデータグループに含まれる上記第１プロセスレシピを上記第２プロセスレシピとする
ことによって行う。

この実施の形態によれば、抽出された上記第２プロセスレシピは、上記新規生産ラインで製造された製品の特性を上記検査装置で測定した場合には、上記プロセス処理が成功したと判定される検査データが得られる可能性が一番高い上記第１プロセスレシピと同じであり、上記新規生産ライン用の上記第２プロセスレシピとして最適なプロセスレシピである。

また、１実施の形態の生産ライン制御方法では、
上記生産ライン制御装置のデータ保持部によって、上記新規生産ラインからの上記第２プロセスレシピの送出要求信号を、上記第１プロセスレシピ抽出部,上記データグループ作成部および上記第２プロセスレシピ抽出部を含むプロセス処理部が上記送出要求に応答可能になるまで保持し、プロセス処理部が上記送出要求に応答可能になったことを確認した後に、上記保持している上記第２プロセスレシピの送出要求信号を上記プロセス処理部に送出する
ようにしている。

この実施の形態によれば、上記生産ライン制御装置のデータ保持部によって、上記新規生産ラインからの上記第２プロセスレシピの送出要求信号を受けて、上記プロセス処理部が上記送出要求に応答可能になるまで保持するようにしている。したがって、上記プロセス処理部が上記送出要求を直接受けた場合に生ずる上記基幹生産ラインの制御に対する混乱や遅延を防止して、上記基幹生産ラインの安定した生産を継続することができる。

また、１実施の形態の生産ライン制御方法では、
上記新規生産ラインにおける上記各プロセス装置は互いに直接接続されており、上記各プロセス装置の間には上記検査装置が配置されてはいない。

この実施の形態によれば、上記生産ライン制御装置によって、安定して生産が行われている上記基幹生産ラインの上記第１プロセスレシピの中から上記新規生産ライン用のプロセスレシピとして最適な上記第１プロセスレシピを抽出して、上記新規生産ライン用の最適な上記第２プロセスレシピとしている。したがって、上記新規生産ラインの各プロセス装置によるプロセス処理の成功が十分に期待できる。そのため、上記各プロセス装置の間に配置されて上記プロセス処理の成否を検査する上記検査装置が不必要になり、上記新規生産ラインの製造コストを下げることができる。

以上より明らかなように、この発明によれば、生産ライン制御装置によって、データベースに蓄積されたデータグループから新規生産ライン用のプロセスレシピとして最適な基幹生産ライン用の第１プロセスレシピを抽出し、この抽出された上記第１プロセスレシピを上記新規生産ライン用の第２プロセスレシピとして上記新規生産ラインを制御するようにしている。したがって、上記新規生産ライン用の生産ライン制御部を新たに設ける必要がなく、コストダウンを図ることができる。

さらに、上記生産ライン制御装置によって上記新規生産ラインを制御する場合には、安定的に生産が行われている上記基幹生産ライン用の第１プロセスレシピから最適なものを抽出して、上記新規生産ライン用の第２プロセスレシピとして用いている。したがって、上記新規生産ラインによって生産される製品の品質が予め設定されている基準値を満たしていることを十分予測でき、上記検査装置を設けて上記各プロセス装置によるプロセス処理の成否を検査する必要がない。すなわち、この発明によれば、上記新規生産ラインの製造コストを、上記検査装置が不要な分だけ下げることができる。

この発明の生産ライン制御システムにおける概略構成を示す図である。 図１とは異なる生産ライン制御システムにおける概略構成を示す図である。 図１および図２とは異なる生産ライン制御システムにおける概略構成を示す図である。

以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。

この発明は、電子デバイスや液晶パネルや太陽電池等の半導体デバイスの生産を行うために新しく設置する新規生産ラインの制御システムに関する。その場合、新しく設置する新規生産ラインよりも先に稼働している基幹生産ラインが既に存在しており、上記新規生産ラインのプロセス装置は、上記基幹生産ラインを構成するプロセス装置と同じプロセス装置のみで構成されている。また、上記基幹生産ラインでは既に安定的な生産が行われ、生産に係わるデータが日々収集されて大量の生産データが蓄積されている。この発明の生産ライン制御システムにおいては、上記蓄積された生産データを上記基幹生産ラインだけではなく上記新規生産ラインでも有効に利用することによって、生産の効率性や安定性の向上を図るのである。

尚、本実施の形態においては、上記基幹生産ラインおよび上記新規生産ラインとして、一般的な電子デバイスや液晶パネルや太陽電池等の半導体デバイスの生産ラインを例に上げて説明するが、例えば産業用機械等の生産ラインであっても良く、上記半導体デバイスの生産ラインに限定されるものではない。

・第１実施の形態
図１は、本実施の形態の生産ライン制御システムにおける概略構成を示す図である。以下、図１を用いて、本生産ライン制御システムを構成する基幹生産ラインおよび新規生産ラインの構成や生産時におけるデータの流れ等について詳細に説明する。

図１において、Ｓは生産ライン制御装置であり、Ａは既に安定的に稼働している基幹生産ラインであり、Ｂは基幹生産ラインＡよりも時間的に遅れて稼働する新規生産ラインである。

＜基幹生産ラインＡ＞
上記基幹生産ラインＡは、生産に必要な複数台のプロセス装置Ｍ１〜Ｍ３と複数台の検査装置Ｒ１,Ｒ２とで構成されている。ここで、プロセス装置Ｍ１〜Ｍ３(以下、プロセス装置Ｍ１〜Ｍ３を総称してプロセス装置Ｍと言う)は、素材に対してプロセス処理を施して製品を生産する。また、検査装置Ｒ１,Ｒ２(以下、検査装置Ｒ１,Ｒ２を総称して検査装置Ｒと言う)は、プロセス装置Ｍによって生産された製品の特性を測定する。図１においては、基幹生産ラインＡには、３台のプロセス装置Ｍと２台の検査装置Ｒとが設置されている。

但し、図１に示すプロセス装置Ｍ１,プロセス装置Ｍ２,検査装置Ｒ１,プロセス装置Ｍ３および検査装置Ｒ２は、基幹生産ラインＡの一部分を抜き出したものである。また、基幹生産ラインＡのプロセス装置Ｍおよび検査装置Ｒの配置や並びについては、図１に限定されるものではない。

図１に示す基幹生産ラインＡにおいては、矢印Ｙ１に沿って、上記素材としての半導体デバイス基板を流す。そして、プロセス装置Ｍ１よりも上流に配置されているプロセス装置Ｍ１〜Ｍ３とは異なるプロセス装置Ｍ(図示せず)、プロセス装置Ｍ１、プロセス装置Ｍ２、プロセス装置Ｍ３、プロセス装置Ｍ３よりも下流に配置されているプロセス装置Ｍ１〜Ｍ３とは異なるプロセス装置Ｍ(図示せず)の順に、上記半導体デバイス基板に対してプロセス処理を行うことによって、上記製品としての半導体デバイスが形成される。

また、半導体デバイスの生産ラインでは、上記半導体デバイス基板(以下、単に基板と言う)が正常にプロセス処理されているか否かを判定するために、製品の特性を測定する検査装置が設けられているのが一般的である。本基幹生産ラインＡにおいても、検査装置Ｒ１によってプロセス装置Ｍ１とプロセス装置Ｍ２とによる基板に対するプロセス処理の成否を判定し、検査装置Ｒ２によってプロセス装置Ｍ３による基板に対するプロセス処理の成否判定するようにしている。

上記基幹生産ラインＡでの生産は、生産ライン制御装置Ｓから生産毎に送られてくる基幹生産ラインＡ用の第１プロセスレシピ１に基づいて進められる。そして、生産時にプロセス装置Ｍ１〜Ｍ３から得られるプロセスデータ２と、検査装置Ｒ１,Ｒ２から得られる検査データ３との全てが、生産ライン制御装置Ｓに返される。

＜生産ライン制御装置Ｓ＞
上記生産ライン制御装置Ｓは、基幹生産ラインＡの稼働当初から設けられており、基幹生産ラインＡを制御することが可能である。

上記生産ライン制御装置Ｓは、プロセス処理部４およびデータベース８を有している。

上記プロセス処理部４は、データグループ作成部５と第１プロセスレシピ抽出部６とを有している。ここで、データグループ作成部５は、生産条件である第１プロセスレシピ１と、その第１プロセスレシピ１に基づいて生産を行った際のプロセス装置Ｍの状態を示すプロセスデータ２と、検査装置Ｒによる検査結果である検査データ３とを対応付けて、データグループを作成する処理機能を有している。また、第１プロセスレシピ抽出部６は、多数のプロセスレシピの中から基幹生産ラインＡ用の第１プロセスレシピ１を抽出して、基幹生産ラインＡの対応するプロセス装置Ｍに出力する処理機能を有している。

尚、上記第１プロセスレシピ１,プロセスデータ２および検査データ３の内容は各プロセス装置Ｍおよび各検査装置Ｒによって異なるが、本実施の形態では第１プロセスレシピ１,プロセスデータ２および検査データ３と総称する。

また、上記データベース８には、プロセス処理部４によって作成された上記データグループが蓄積されている。

ここで、上記生産ライン制御装置Ｓが制御する生産ラインは、新規生産ラインＢが稼働するまでは基幹生産ラインＡのみである。そして、新規生産ラインＢが稼働するまでは、安定的に生産を行っている基幹生産ラインＡから得られた多くの上記データグループをデータベース８に蓄積し続けることになる。

また、上記プロセス処理部４は、基幹生産ラインＡよりも後に稼働する新規生産ラインＢの制御を可能にするために、当初から新規生産ラインＢとの通信機能を有している。

次に、上記プロセス処理部４の第１プロセスレシピ抽出部６によって行われるプロセスレシピ抽出・出力処理機能について、より詳しく説明する。

上記基幹生産ラインＡによって上記基板に対するプロセス処理を開始する前に、各プロセス装置Ｍに対してどのような処理条件でプロセス処理を実行するのかを指示するため、プロセス装置Ｍ１,プロセス装置Ｍ２およびプロセス装置Ｍ３夫々の記憶部に対応する第１プロセスレシピ１を格納しておく必要がある。ここで言う第１プロセスレシピ１とは、例えば時間,温度,電力,圧力,ガス流量および真空度等である。そこで、各プロセス装置Ｍ１〜Ｍ３に格納される第１プロセスレシピ１として、プロセス処理部４の第１プロセスレシピ抽出部６により、データベース８から生産毎に最適なプロセスレシピが抽出される。

上述のようにして上記第１プロセスレシピ１が各プロセス装置Ｍに格納されると、基幹生産ラインＡの生産準備が整う。そして、各プロセス装置Ｍは、矢印Ｙ１に沿って移動してくる上記基板が装着されると、第１プロセスレシピ１に基づいて上記基板に対するプロセス処理の実行が開始される。そして、プロセス処理が実行されると、各プロセス装置Ｍに備えられた計測器によってプロセス装置Ｍの状態が計測され、計測結果がプロセスデータ２としてプロセス処理部４に送出される。ここで、プロセスデータ２とは、例えば時間,温度,電力,圧力,ガス流量および真空度等が挙げられる。

また、上記プロセス装置Ｍ２およびプロセス装置Ｍ３による上記基板に対するプロセス処理が終了すると、検査装置Ｒ１および検査装置Ｒ２によって、得られた上記半導体デバイスに対してプロセス処理の成否が検査され、検査結果が検査データ３としてプロセス処理部４に送出される。

＜新規生産ラインＢ＞
上記新規生産ラインＢとしては、例えば基幹生産ラインＡの生産能力では生産能力が不足する場合等に新たに設置する生産ラインという位置づけが考えられ、基幹生産ラインＡで生産される半導体デバイスと同じ半導体デバイスを生産することが可能になっている。また、グローバル生産の必要性の観点から、例えば基幹生産ラインＡが日本に在って、新規生産ラインＢは米国や欧州や中国等に新たに構築される場合もある。

図１において、プロセス装置Ｍ４,プロセス装置Ｍ５およびプロセス装置Ｍ６は、新規生産ラインＢの一部分を抜き出したものである。但し、新規生産ラインＢのプロセス装置Ｍの配置や並びについては、図１に限定されるものではない。また、図１においては、新規生産ラインＢは一つだけ図示されているが、複数の新規生産ラインＢが存在していてもよい。その場合には、複数の新規生産ラインＢの夫々は、生産ライン制御装置Ｓと並列に接続されることになる。

上記生産ライン制御装置Ｓのプロセス処理部４は、上記基幹生産ラインＡに対する第１プロセスレシピ１の抽出・出力を行う第１プロセスレシピ抽出部６に加えて、新規生産ラインＢに対するプロセスレシピの抽出・出力を行う第２プロセスレシピ抽出部７をも有している。そして、第２プロセスレシピ抽出部７によって、多数のプロセスレシピの中から新規生産ラインＢ用の第２プロセスレシピ９を抽出して、新規生産ラインＢの対応するプロセス装置Ｍに出力する。そうすると、一つまたは複数の新規生産ラインＢは、生産ライン制御装置Ｓのプロセス処理部４から生産毎に送られてくる第２プロセスレシピ９に基づいて、上記基板に対するプロセス処理を行い、上記半導体デバイスを生産するのである。

尚、上記第２プロセスレシピ９の内容は各プロセス装置Ｍによって異なるが、本実施の形態では第２プロセスレシピ９と総称する。

このように、本実施の形態によれば、上記基幹生産ラインＡを制御する生産ライン制御装置Ｓによって、新規生産ラインＢを制御することができる。したがって、新規生産ラインＢ用の生産ライン制御部を新たに設ける必要がなく、コストダウンを図ることができるのである。また、基幹生産ラインＡと新規生産ラインＢとの複数の生産ラインを集中的に制御することによって、生産ライン制御システムの技術者を分散させる必要がなくなり、効率的に生産ライン制御装置Ｓの管理運用が可能になる。

次に、上記プロセス処理部４の第２プロセスレシピ抽出部７によって行われる新規生産ラインＢに対する上記プロセスレシピ抽出・出力処理方法の一例について、より詳しく説明する。

先ず、前提として、抽出される第２プロセスレシピ９は、安定的に生産することが可能なものでなくてはならない。そこで、本実施の形態では、安定的に生産が行われている基幹生産ラインＡ用の第１プロセスレシピ１の中から、新規生産ラインＢ用のプロセスレシピとして最適なものを抽出し、それを第２プロセスレシピ９とするのである。

すなわち、上記第２プロセスレシピ抽出部７は、先ず、データベース８に蓄積されている基幹生産ラインＡの上記データグループの中から、プロセス処理が成功したと判定された検査データ３が含まれる上記データグループを抽出する。次に、上記抽出されたデータグループに関して、略同値のプロセスデータ２が含まれるデータグループに分類し、上記略同値のプロセスデータ２の数が最も多いデータグループを抽出する。最後に、上記抽出されたデータグループに関して、略同値の第１プロセスレシピ１が含まれるデータグループに分類し、上記略同値の第１プロセスレシピ１の数が最も多いデータグループを抽出する。そして、この抽出されたデータグループに含まれる第１プロセスレシピ１を、第２プロセスレシピ９として抽出するのである。

さらに、上記第２プロセスレシピ抽出部７によって行われる新規生産ラインＢに対する上記プロセスレシピ抽出・出力処理方法の他の方法について説明する。

先ず、上記第２プロセスレシピ９を抽出するに当たっては、上記基幹生産ラインＡで生産される半導体デバイスの品質が安定して良くなるような最適な第１プロセスレシピ１を抽出し、その第１プロセスレシピ１を第２プロセスレシピ９として適用することが考えられる。但し、その場合には、最適な第１プロセスレシピ１は、第１プロセスレシピ１と検査データ３との相関関係が分かって始めて抽出することが可能になる。

ここで、上記半導体デバイスの品質良否の判定方法としては、基幹生産ラインＡによる生産後において、データベース８に蓄積されている上記データグループに含まれているプロセスデータ２と検査データ３との相関関係を分析した結果をフィードバックする方法がある。こうすることによって、生産完了時の検査データ３だけでなく生産中に得られるプロセスデータ２からも上記半導体デバイスの品質良否を推定できる。

そこで、上記第２プロセスレシピ抽出部７に、データベース８に蓄積されている上記データグループから、第１プロセスレシピ１とプロセスデータ２との相関関係、および、プロセスデータ２と検査データ３との相関関係を求める機能を持たせることによって、上述したプロセスデータ２から半導体デバイスの品質良否を推定する方法を用いることが可能になり、データベース８に格納されたデータグループ毎に含まれるプロセスデータ２に基づいて、上記最適な第１プロセスレシピ１を抽出することが可能になる。つまり、第２プロセスレシピ９を抽出することが可能になるのである。

その他、上記第２プロセスレシピ９の抽出方法としては、統計学に基づいた品質工学を利用する方法がある。尚、第２プロセスレシピ９の抽出方法としては、上述した各抽出方法に限定されるものではない。

以上のごとく、本実施の形態における生産ライン制御システムでは、複数のプロセス装置Ｍと一つあるいは複数の検査装置Ｒとで構成される既存する基幹生産ラインＡを、生産ライン制御装置Ｓによって制御することによって、基板にプロセス処理を施して半導体デバイスを生産する。

その際に、上記生産ライン制御装置Ｓは、プロセス処理部４の第１プロセスレシピ抽出部６によって、データベース８に蓄積されている多数のプロセスレシピの中から基幹生産ラインＡ用の第１プロセスレシピ１を抽出して、基幹生産ラインＡの対応するプロセス装置Ｍに出力する。そして、プロセス処理部４のデータグループ作成部５によって、第１プロセスレシピ１と、その第１プロセスレシピ１に基づいて生産を行った際のプロセス装置Ｍの状態を示すプロセスデータ２と、検査装置Ｒによる検査結果である検査データ３と、を対応付けてデータグループを作成し、データベース８に蓄積する。

そして、上記基幹生産ラインＡの生産能力では生産能力が不足する場合等には、基幹生産ラインＡを構成するプロセス装置Ｍと同じプロセス装置Ｍのみで構成されている新規生産ラインＢを新たに設置する。その場合には、生産ライン制御装置Ｓによって、基幹生産ラインＡに加えて新規生産ラインＢをも制御するのである。

その際に、上記生産ライン制御装置Ｓは、プロセス処理部４の第２プロセスレシピ抽出部７によって、データベース８に蓄積されているプロセスレシピであって、安定的に生産が行われている基幹生産ラインＡ用の第１プロセスレシピ１の中から、新規生産ラインＢ用のプロセスレシピとして最適なものを抽出し、それを新規生産ラインＢ用の第２プロセスレシピ９として新規生産ラインＢの対応するプロセス装置Ｍに出力するのである。

したがって、上記基幹生産ラインＡを制御する生産ライン制御装置Ｓによって、新規生産ラインＢを制御することができ、新規生産ラインＢ用の生産ライン制御部を新たに設ける必要がなく、コストダウンを図ることができる。

また、安定的に生産が行われている基幹生産ラインＡ用の第１プロセスレシピ１のうちから最適なものを抽出して、新規生産ラインＢ用の第２プロセスレシピ９として用いている。したがって、第２プロセスレシピ９に基づいて新規生産ラインＢも安定して生産を行うことができる。そのため、新規生産ラインＢによって生産される製品の品質が予め設定されている基準値を満たしていることを十分予想でき、特に検査装置を設けて、製品の特性を測定して正常にプロセス処理されているか否かを判定する必要がない。したがって、新規生産ラインＢの製造コストを検査装置が不要な分だけ下げることができる。

さらに、上記第２プロセスレシピ抽出部７によって新規生産ラインＢ用の第２プロセスレシピ９を抽出する場合には、データベース８に蓄積された基幹生産ラインＡの上記データグループの中から良いと判定された検査データ３が含まれる上記データグループを抽出し、さらにその中から略同値であるプロセスデータ２の数が最も多いデータグループを抽出し、さらにその中から略同値である第１プロセスレシピ１の数が最も多いデータグループを抽出し、その抽出されたデータグループに含まれる第１プロセスレシピ１を、第２プロセスレシピ９として抽出するようにしている。したがって、抽出された第２プロセスレシピ９は、新規生産ラインＢで製造された製品の特性を検査装置で測定した場合には、良いと判定される検査データが得られる可能性が一番高い第１プロセスレシピ１と同じであり、新規生産ラインＢ用の第２プロセスレシピ９として最適なプロセスレシピである。

尚、上述したように、本実施の形態における生産ライン制御装置Ｓは、先ず基幹生産ラインＡの制御を行う。そして、基幹生産ラインＡによる生産時においては、第１プロセスレシピ１と、基幹生産ラインＡのプロセス装置Ｍからのプロセスデータ２と、基幹生産ラインＡの検査装置Ｒからの検査データ３とを、対応付けて成るデータグループをデータベース８に蓄積する。その場合、常に大量のデータが基幹生産ラインＡから生産ライン制御装置Ｓに送出される。そこで、本実施の形態においては、生産ライン制御装置Ｓを、基幹生産ラインＡに可能な限り近い場所に設置するのである。例えば、基幹生産ラインＡと同じ建物階や同じ工場内が望ましい。

そうすることによって、上記生産ライン制御装置Ｓを、基幹生産ラインＡから離れた場所に設置された場合に必要な生産ライン制御装置Ｓと基幹生産ラインＡとの間の高速通信設備が不要となる。そのため、高速通信設備の設置に必要な多くの支出を削減することができるのである。

・第２実施の形態
本実施の形態は、例えば、上記基幹生産ラインＡおよび生産ライン制御装置Ｓが国内にあるのに対して、新規生産ラインＢが海外等の遠隔地にある場合であって、生産ライン制御装置Ｓと新規生産ラインＢとの間での情報伝送を、一般的な通信網であるインターネット回線で行う場合に関する。

図２は、本実施の形態の生産ライン制御システムにおける概略構成を示す図である。図２において、基幹生産ラインＡ,プロセス装置Ｍ１〜Ｍ３,検査装置Ｒ１,Ｒ２,第１プロセスレシピ１,プロセスデータ２,検査データ３,生産ライン制御装置Ｓ,プロセス処理部４,データグループ作成部５,第１プロセスレシピ抽出部６,第２プロセスレシピ抽出部７,データベース８,第２プロセスレシピ９,新規生産ラインＢ,プロセス装置Ｍ４〜Ｍ６は、図１に示す上記第１実施の形態における生産ライン制御システムの場合と同じであるため、同じ番号を付して詳細な説明は省略する。

但し、本実施に形態における上記プロセス処理部４の第２プロセスレシピ抽出部７は、新規生産ラインＢ側から第２プロセスレシピ９の送出要求があってから、第２プロセスレシピ９の抽出・出力を行うようになっている。

図２に示すように、本実施の形態においては、生産ライン制御装置Ｓと新規生産ラインＢとの間には、第２プロセスレシピ９等の情報を送受信するために、一般的な通信網であるインターネット回線Ｗが存在している。

また、上記生産ライン制御装置Ｓには、新規生産ラインＢからの第２プロセスレシピ９の送出要求を受信してプロセス処理部４に転送する一方、プロセス処理部４で抽出された第２プロセスレシピ９を受けて新規生産ラインＢに送信するデータ保持部１１が設けられている。このデータ保持部１１は、プロセス処理部４の処理状況を把握する機能をも有している。

また、上記新規生産ラインＢには、新規生産ラインＢの生産管理を行う管理部１２が設けられている。そして、新規生産ラインＢに関する基本的な生産管理は、生産ライン制御装置Ｓでは行わず、新規生産ラインＢの管理部１２が行うようになっている。すなわち、管理部１２は、新規生産ラインＢにおける各プロセス装置Ｍの管理および生産スケジュールの管理を行う機能を有しており、特に生産ライン制御装置Ｓへの第２プロセスレシピ９の送出要求と、受け取った第２プロセスレシピ９の各プロセス装置Ｍへの送出との、スケジューリングを具体的な実行内容としているのである。

さらに、上記管理部１２は、上記インターネット回線Ｗ、あるいは、生産ライン制御装置Ｓや新規生産ラインＢの通信装置が不通になった場合でも新規生産ラインＢの生産が停止しないような機能を有している。すなわち、生産ライン制御装置Ｓのデータ保持部１１との間のインターネット回線Ｗあるいは上記通信装置が正常であることを確認した後に、後述する第２プロセスレシピ９の送出要求等を生産ライン制御装置Ｓ側に送出するのである。さらに、上述と同様に、インターネット回線Ｗあるいは上記通信装置が不通であっても生産ライン制御装置Ｓのプロセス処理部４が送出する第２プロセスレシピ９を新規生産ラインＢの管理部１２に正しく届けることができるように、第２プロセスレシピ９を、生産ライン制御装置Ｓのデータ保持部１１に一旦保持させるようにしている。

以下、上記新規生産ラインＢの生産前準備として、生産ライン制御装置Ｓから新規生産ラインＢへの第２プロセスレシピ９の送出方法について詳細に説明する。

上記新規生産ラインＢの生産前準備として、先ず、管理部１２によって、インターネット回線Ｗを介して、生産ライン制御装置Ｓのデータ保持部１１に第２プロセスレシピ９の送出要求信号が送信される。そうすると、データ保持部１１は、プロセス処理部４の処理状況を把握する機能によって、プロセス処理部４が基幹生産ラインＡの生産の制御に多くの能力を使用している状態、すなわちビジー状態であるか否かを判別する。そして、ビジー状態である場合には、プロセス処理部４に対して第２プロセスレシピ９の送出要求信号を転送しないようにする一方、プロセス処理部４がビジー状態でない場合には、プロセス処理部４に対して第２プロセスレシピ９の送出要求信号を転送する。

そうすると、上記第２プロセスレシピ９の送出要求信号を受けたプロセス処理部４は、第２プロセスレシピ抽出部７によって上記第１実施の形態の如く予め定められた所定の手順によってデータベース８から最適な第１プロセスレシピ１を第２プロセスレシピ９として抽出し、新規生産ラインＢに対して送出する。その場合、第２プロセスレシピ９は上記送出要求信号の場合と同様にデータ保持部１１に一旦保持される。そして、データ保持部１１は、新規生産ラインＢの管理部１２との間のインターネット回線Ｗあるいは上記通信装置が正常であることを確認した後、第２プロセスレシピ９を新規生産ラインＢの管理部１２に送出する。こうして生産ライン制御装置Ｓのプロセス処理部４から送出された第２プロセスレシピ９を受信した管理部１２は、予め作成されて格納されたスケジュールに従って、新規生産ラインＢの各プロセス装置Ｍに第２プロセスレシピ９を送出して、生産前の準備が完了する。

次に、上記基幹生産ラインＡと上記新規生産ラインＢの位置関係について説明する。本実施の形態においては、新規生産ラインＢは、基幹生産ラインＡに対して遠隔に配置されている。ここで言う遠隔とは、例えば、同じ建物内ではあるが異なる階に配置されていること、同じ工場敷地であるが夫々が異なる建物に配置されていること、さらには日本国内ではあるが夫々が異なる県に設置されていること、極端には異なる国に夫々が設置されていること、の何れか等を指してもよく、物理的な距離を正確に規定するものではない。

但し、特に、夫々が異なる県に配置される場合や、夫々が異なる国に配置される場合には、生産ライン制御装置Ｓにおけるデータ保持部１１と新規生産ラインＢにおける管理部１２との間でのデータ通信は、本実施の形態のようにインターネット回線Ｗを用いて行う必要がある。これに対し、同じ建物内における異なる階に配置される場合や、同じ工場敷地内の異なる建物に配置される場合には、インターネット回線Ｗを用いず、個々の企業が有しているイントラネット回線あるいは専用信号回線を用いて上記データ通信を行う方がセキュリティーの観点からも望ましい。

以上のごとく、本実施の形態における生産ライン制御システムにおいては、生産ライン制御装置Ｓには、新規生産ラインＢからの第２プロセスレシピ９の送出要求信号を受信して、プロセス処理部４に転送するデータ保持部１１を設けている。また、新規生産ラインＢには、新規生産ラインＢの生産管理を行う管理部１２を設けている。そして、データ保持部１１と管理部１２との間でインターネット回線Ｗを介して、新規生産ラインＢの管理部１２から生産ライン制御装置Ｓに第２プロセスレシピ９の送出要求信号を送信し、生産ライン制御装置Ｓのデータ保持部１１から新規生産ラインＢに第２プロセスレシピ９を送出するようにしている。

その際に、上記新規生産ラインＢの管理部１２は、インターネット回線Ｗあるいは上記通信装置が正常であることを確認した後に、第２プロセスレシピ９の送出要求を生産ライン制御装置Ｓに送信するようにしている。したがって、生産ライン制御装置Ｓ側では、確実に第２プロセスレシピ９の送出要求を受信することができるのである。

さらに、上記新規生産ラインＢの管理部１２は、新規生産ラインＢに関する基本的な生産管理を行うようになっている。したがって、生産ライン制御装置Ｓは、新規生産ラインＢに対して第２プロセスレシピ９を送信し、新規生産ラインＢ側で受信されたことを確認した後は、基幹生産ラインＡの制御と上記データグループの収集とに専念することができるのである。

また、上記新規生産ラインＢの管理部１２からの上記送出要求信号を受けた生産ライン制御装置Ｓのデータ保持部１１は、プロセス処理部４がビジー状態でない場合に、プロセス処理部４に対して、第２プロセスレシピ９の送出要求信号を転送するようにしている。したがって、生産ライン制御装置Ｓのプロセス処理部４が新規生産ラインＢ側からの送出要求を直接受けた場合に生ずる基幹生産ラインＡの制御に対する混乱や遅延を防止して、基幹生産ラインＡによる安定した生産を継続することができる。

さらに、上記生産ライン制御装置Ｓのデータ保持部１１は、プロセス処理部４によって上記第１実施の形態の場合のようにして抽出された第２プロセスレシピ９を一旦保持し、インターネット回線Ｗあるいは上記通信装置が正常であることを確認した後に、第２プロセスレシピ９を新規生産ラインＢに送出するようにしている。したがって、新規生産ラインＢ側では、確実に第２プロセスレシピ９を受信することができるのである。

・第３実施の形態
本実施の形態は、上記新規生産ラインＢにおける最終段に検査装置を設けた生産ライン制御システムに関する。

図３は、本実施の形態の生産ライン制御システムにおける概略構成を示す図である。図３において、基幹生産ラインＡ,プロセス装置Ｍ１〜Ｍ３,検査装置Ｒ１,Ｒ２,第１プロセスレシピ１,プロセスデータ２,検査データ３,生産ライン制御装置Ｓ,プロセス処理部４,データグループ作成部５,第１プロセスレシピ抽出部６,第２プロセスレシピ抽出部７,データベース８,第２プロセスレシピ９,データ保持部１１,インターネット回線Ｗ,新規生産ラインＢ,プロセス装置Ｍ４〜Ｍ６,管理部１２は、図２に示す上記第２実施の形態における生産ライン制御システムの場合と同じであるため、同じ番号を付して詳細な説明は省略する。

図３に示すように、本実施の形態においては、新規生産ラインＢにおける最終段には、プロセス装置Ｍ６による基板に対するプロセス処理の成否判定を行う検査装置Ｒ３を設けている。そして、管理部１２によって、図２に示す上記第２実施の形態の場合のようにして受信された新規生産ラインＢ用の第２プロセスレシピ９を、プロセス装置Ｍ４,プロセス装置Ｍ５およびプロセス装置Ｍ６夫々の記憶部に格納する。さらに、各プロセス装置Ｍに備えられた計測器によってプロセス装置Ｍの状態を計測し、計測結果をプロセスデータ１３として管理部１２に送出する。さらに、プロセス装置Ｍ６による上記基板に対するプロセス処理が終了すると、検査装置Ｒ３によって、得られた上記半導体デバイスに対するプロセス処理の成否を検査し、検査結果を検査データ１４として管理部１２に送出するようにしている。

尚、上記第２プロセスレシピ９およびプロセスデータ１３の内容は各プロセス装置Ｍによって異なるが、本実施の形態では第２プロセスレシピ９およびプロセスデータ１３と総称する。

上記第１実施の形態および上記第２実施の形態における新規生産ラインＢには、検査装置Ｒを設けていない。その理由は、安定して生産が行われている基幹生産ラインＡに関する第１プロセスレシピ１,プロセスデータ２および検査データ３に基づいて、生産ライン制御装置Ｓによって、新規生産ラインＢ用の最適な第２プロセスレシピ９を抽出しているからであり、新規生産ラインＢにおける各プロセス装置Ｍの処理の成功について十分に期待できるからである。

その場合であっても、図３に示すように、上記新規生産ラインＢの最終段に検査装置Ｒ３を設けることによって、最終製品である半導体デバイスが良品であるか不良品であるかを判定することが可能になり、ユーザに対して上記半導体デバイスの品質保証を行うことが可能になる。

また、上記基幹生産ラインＡの場合と同様に、図３に示すように、新規生産ラインＢにおけるプロセス装置Ｍ４〜Ｍ６からのプロセスデータ１３や検査装置Ｒ３からの検査データ１４を管理部１２で収集し、管理部１２によって、プロセスデータ１３あるいは検査データ１４を分析するようにすれば、新規生産ラインＢによって生産される半導体デバイスの品質保証を、さらに確実にすることができる。

以上のごとく、上記各実施の形態によれば、上記生産ライン制御装置Ｓによって、安定的に生産が行われている基幹生産ラインＡ用の第１プロセスレシピ１のうち最適なものを新規生産ラインＢ用の第２プロセスレシピ９として用いるので、新規生産ラインＢにおける各プロセス装置Ｍの処理の成功について十分に期待することができる。したがって、新規生産ラインＢにおいては、最終製品である半導体デバイスが良品であるか不良品であるかを判定すれば十分であり、少なくとも中間に位置するプロセス装置Ｍによるプロセス処理の成否を検査する必要はない。したがって、新規生産ラインＢにおける中間に配置すべき検査装置Ｒ、場合によっては新規生産ラインＢにおける総ての検査装置Ｒを省略することができ、新規生産ラインＢのコスト削減および検査時間短縮によるリードタイム短縮を測ることができるのである。

１…第１プロセスレシピ、
２,１３…プロセスデータ、
３,１４…検査データ、
４…プロセス処理部、
５…データグループ作成部、
６…第１プロセスレシピ抽出部、
７…第２プロセスレシピ抽出部、
８…データベース、
９…第２プロセスレシピ、
１１…データ保持部、
１２…管理部、
Ａ…基幹生産ライン、
Ｍ,Ｍ１〜Ｍ６…プロセス装置、
Ｒ,Ｒ１〜Ｒ３…検査装置、
Ｓ…生産ライン制御装置、
Ｂ…新規生産ライン、
Ｗ…インターネット回線。

Claims (10)

1. プロセスレシピに従って基材にプロセス処理を施す複数のプロセス装置と、上記プロセス処理が施された上記基材に対する上記プロセス処理の成否を検査する一つあるいは複数の検査装置とを含む基幹生産ラインと、
   上記基幹生産ラインとは遠隔に配置されると共に、上記基幹生産ラインの上記複数のプロセス装置のうちの何れかと同じ一つあるいは複数のプロセス装置を含む新規生産ラインと、
   当初は上記基幹生産ラインのみの制御を行い、上記基幹生産ラインが安定生産に入った後に上記新規生産ラインの制御をも行う生産ライン制御装置と
   を備え、
   上記生産ライン制御装置は、
   少なくとも上記プロセスレシピを複数蓄積しているデータベースと、
   上記基幹生産ラインを制御する場合に、上記蓄積された複数のプロセスレシピの中から上記基幹生産ライン用の第１プロセスレシピを抽出して、上記基幹生産ラインの上記各プロセス装置に送出する第１プロセスレシピ抽出部と、
   上記基幹生産ラインを制御する場合に、上記各プロセス装置に送出した上記第１プロセスレシピと、上記各プロセス装置から送出されると共に、上記各プロセス装置の状態を示すプロセスデータと、上記検査装置から送出されると共に、上記プロセス処理の成否を表す検査データとを互いに対応付けて成るデータグループを作成して、上記データベースに蓄積するデータグループ作成部と、
   上記新規生産ラインを制御する場合に、上記データベースに蓄積された上記データグループの中から上記新規生産ライン用のプロセスレシピとして最適な上記第１プロセスレシピを含むデータグループを抽出し、この抽出されたデータグループに含まれている上記第１プロセスレシピを上記新規生産ライン用の第２プロセスレシピとして上記新規生産ラインに送出する第２プロセスレシピ抽出部と
   を備えたことを特徴とする生産ライン制御システム。
2. 請求項１に記載の生産ライン制御システムにおいて、
   上記第２プロセスレシピ抽出部は、
   上記データベースに蓄積された上記データグループの中から、上記プロセス処理が成功したと判定された検査データが含まれる第１のデータグループを抽出し、
   抽出された上記第１のデータグループに関して、略同値の上記プロセスデータが含まれたデータグループに分類し、上記略同値の上記プロセスデータの数が最も多いデータグループを第２のデータグループとして抽出し、
   抽出された上記第２のデータグループに関して、略同値の上記第１プロセスレシピが含まれるデータグループに分類し、上記略同値の上記第１プロセスレシピの数が最も多い第３のデータグループを抽出し、この抽出された上記第３のデータグループに含まれる上記第１プロセスレシピを上記第２プロセスレシピとする
   ようになっていることを特徴とする生産ライン制御システム。
3. 請求項１あるいは請求項２に記載の生産ライン制御システムにおいて、
   上記生産ライン制御装置を、上記基幹生産ラインと上記新規生産ラインとのうち上記基幹生産ライン側に設置した
   ことを特徴とする生産ライン制御システム。
4. 請求項１から請求項３までの何れか一つに記載の生産ライン制御システムにおいて、
   上記新規生産ラインに設けられると共に、上記新規生産ラインの生産管理と、上記生産ライン制御装置への上記第２プロセスレシピの送出要求信号の出力と、受け取った上記第２プロセスレシピの各プロセス装置への送出とを行う管理部と、
   上記生産ライン制御装置に設けられると共に、上記新規生産ラインの上記管理部からの上記第２プロセスレシピの送出要求信号を受けて、上記第１プロセスレシピ抽出部,上記データグループ作成部および上記第２プロセスレシピ抽出部を含むプロセス処理部が、上記送出要求に応答可能になるまで保持するデータ保持部と
   備えたことを特徴とする生産ライン制御システム。
5. 請求項４に記載の生産ライン制御システムにおいて、
   上記生産ライン制御装置の上記データ保持部と上記新規生産ラインの上記管理部とは、インターネット回線あるいはイントラネット回線あるいは専用通信回線を介して互いに接続されている
   ことを特徴とする生産ライン制御システム。
6. 請求項１から請求項５までの何れか一つに記載の生産ライン制御システムにおいて、
   上記新規生産ラインにおける上記各プロセス装置は互いに直接接続されており、上記各プロセス装置の間には上記検査装置が配置されてはいない
   ことを特徴とする生産ライン制御システム。
7. 生産ライン制御装置によって、
   当初は、プロセスレシピに従って基材にプロセス処理を施す複数のプロセス装置と、上記プロセス処理が施された上記基材に対する上記プロセス処理の成否を検査する一つあるいは複数の検査装置とを含む基幹生産ラインのみの制御を行い、
   上記基幹生産ラインが安定生産に入った後に、上記基幹生産ラインとは遠隔に配置されると共に、上記基幹生産ラインの上記複数のプロセス装置のうちの何れかと同じ一つあるいは複数のプロセス装置を含む新規生産ラインの制御をも行う
   生産ライン制御方法であって、
   上記生産ライン制御装置が上記基幹生産ラインを制御する場合には、
   先ず、上記生産ライン制御装置の第１プロセスレシピ抽出部によって、データベースに蓄積されている複数のプロセスレシピの中から上記基幹生産ライン用の第１プロセスレシピを抽出して、上記基幹生産ラインの上記各プロセス装置に送出し、
   次に、上記生産ライン制御装置のデータグループ作成部によって、上記各プロセス装置に送出した上記第１プロセスレシピと、上記各プロセス装置から送出されると共に、上記各プロセス装置の状態を示すプロセスデータと、上記検査装置から送出されると共に、上記プロセス処理の成否を表す検査データとを互いに対応付けて成るデータグループを作成して、上記データベースに蓄積し、
   上記生産ライン制御装置が上記新規生産ラインを制御する場合には、
   上記生産ライン制御装置の第２プロセスレシピ抽出部によって、上記データベースに蓄積された上記データグループの中から、上記新規生産ライン用のプロセスレシピとして最適な上記第１プロセスレシピを含むデータグループを抽出し、この抽出されたデータグループに含まれている上記第１プロセスレシピを上記新規生産ライン用の第２プロセスレシピとして上記新規生産ラインに送出する
   ことを特徴とする生産ライン制御方法。
8. 請求項７に記載の生産ライン制御方法において、
   上記第２プロセスレシピ抽出部による上記第２プロセスレシピの抽出は、
   先ず、上記データベースに蓄積された上記データグループの中から、上記プロセス処理が成功したと判定された検査データが含まれる第１のデータグループを抽出し、
   次に、抽出された上記第１のデータグループに関して、略同値の上記プロセスデータが含まれたデータグループに分類し、上記略同値の上記プロセスデータの数が最も多いデータグループを第２のデータグループとして抽出し、
   次に、抽出された上記第２のデータグループに関して、略同値の上記第１プロセスレシピが含まれるデータグループに分類し、上記略同値の上記第１プロセスレシピの数が最も多い第３のデータグループを抽出し、この抽出された上記第３のデータグループに含まれる上記第１プロセスレシピを上記第２プロセスレシピとする
   ことによって行うことを特徴とする生産ライン制御方法。
9. 請求項７あるいは請求項８に記載の生産ライン制御方法において、
   上記生産ライン制御装置のデータ保持部によって、上記新規生産ラインからの上記第２プロセスレシピの送出要求信号を、上記第１プロセスレシピ抽出部,上記データグループ作成部および上記第２プロセスレシピ抽出部を含むプロセス処理部が上記送出要求に応答可能になるまで保持し、プロセス処理部が上記送出要求に応答可能になったことを確認した後に、上記保持している上記第２プロセスレシピの送出要求信号を上記プロセス処理部に送出する
   ことを特徴とする生産ライン制御方法。
10. 請求項７から請求項９までの何れか一つに記載の生産ライン制御方法において、
    上記新規生産ラインにおける上記各プロセス装置は互いに直接接続されており、上記各プロセス装置の間には上記検査装置が配置されてはいない
    ことを特徴とする生産ライン制御方法。

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