JP2010282211A - Photosetting resin composition and method of manufacturing the same, cyano-color filter and method of manufacturing the same, and solid-state imaging element - Google Patents

Photosetting resin composition and method of manufacturing the same, cyano-color filter and method of manufacturing the same, and solid-state imaging element Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosetting composition that has a high spectral characteristic, high light resistance, and high heat resistance, a cyano-color filter, and a solid-state imaging element of high color reproducibility. <P>SOLUTION: The photosetting composition contains at least one selected from PG7 and PG36, at least one selected from PB15:3 and PB15:6, an alkali-soluble resin, a polymerizable monomer, and a photopolymerization initiator. The cyano-color filter and the solid-state imaging element use the photosetting composition. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、光硬化性樹脂組成物、固体撮像素子および液晶表示素子に用いられるシアン色カラーフィルタ、並びに、光硬化性樹脂組成物の製造方法、及びシアン色カラーフィルタの製造方法に関し、さらに詳しくは、光硬化性樹脂組成物、補色カラーフィルタおよびそれを用いた固体撮像素子、並びに、光硬化性樹脂組成物の製造方法、及びシアン色カラーフィルタの製造方法に関する。   The present invention relates to a photocurable resin composition, a cyan color filter used for a solid-state imaging device and a liquid crystal display device, a method for producing a photocurable resin composition, and a method for producing a cyan color filter. Relates to a photocurable resin composition, a complementary color filter and a solid-state imaging device using the same, a method for producing a photocurable resin composition, and a method for producing a cyan color filter.

従来、補色系カラーフィルタは、ゼラチン等の被染色層をシアン、マゼンタ、イエローの染料を染め込む方法である染色法が多く用いられてきたが、耐光性、耐熱性などに問題があった。
一方、前記染色法に変わる方法として、着色剤とC.I.ピグメント・ブルー16、C.I.ピグメント・ブルー 15:6、あるいはC.I.ピグメント・ブルー 15:4等の青色顔料を用いた補色系カラーフィルタを用いる方法(例えば、特許文献1、2参照。)や、アルミニウムフタロシアニン、チタンフタロシアニン等の微粒子顔料を用いたシアン色カラーフィルタを用いる方法(例えば、特許文献3参照。)があり、耐熱性、耐光性の優れた補色系カラーフィルタが得られている。
Conventionally, a complementary color filter has been used in many dyeing methods, in which cyan, magenta, and yellow dyes are dyed into a layer to be dyed such as gelatin, but there are problems in light resistance, heat resistance, and the like.
On the other hand, as a method instead of the staining method, a colorant and C.I. I. Pigment blue 16, C.I. I. Pigment Blue 15: 6 or C.I. I. A method using a complementary color filter using a blue pigment such as CI Pigment Blue 15: 4 (for example, see Patent Documents 1 and 2), and a cyan color filter using a fine pigment such as aluminum phthalocyanine and titanium phthalocyanine. There is a method to use (see, for example, Patent Document 3), and a complementary color filter having excellent heat resistance and light resistance has been obtained.

特開平7−270611号公報JP 7-270611 A 特開平10−144896号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-144896 特開2002−107531号公報JP 2002-107531 A

しかしながら、前記方法により得られたシアン色カラーフィルタは、従来の染色法に比べて形成されたシアン色カラーフィルタの分光特性が良くなかった。また、カラーフィルタに用いる一部の着色剤は微細化が困難であった。また、得られたシアン色カラーフィルタを含む補色系カラーフィルタを用いた固体撮像素子の色再現性は、従来の染色法に比べ劣っていた。
本発明の目的は、分光特性が良好で、かつ耐光性、耐熱性に優れたシアン色カラーフィルタおよび、そのカラーフィルタを形成することができる光硬化性樹脂組成物を提供することにある。また、その光硬化性樹脂組成物の製造方法、及びカラーフィルタの製造方法を提供することにある。更に、色再現性が良好な固体撮像素子を提供することにある。
However, the cyan color filter obtained by the above method has poor spectral characteristics of the cyan color filter formed as compared with the conventional dyeing method. Also, some colorants used in color filters have been difficult to miniaturize. Moreover, the color reproducibility of the solid-state imaging device using the obtained complementary color filter including the cyan color filter was inferior to the conventional staining method.
An object of the present invention is to provide a cyan color filter having good spectral characteristics and excellent light resistance and heat resistance, and a photocurable resin composition capable of forming the color filter. Moreover, it is providing the manufacturing method of the photocurable resin composition, and the manufacturing method of a color filter. Furthermore, it is providing the solid-state image sensor with favorable color reproducibility.

<1> 少なくとも顔料を含む光硬化性組成物であって、該光硬化性組成物がC.I.ピグメントグリーン7及びC.I.ピグメントグリーン36から選択される少なくとも一種と、C.I.ピグメントブルー15:3及びC.I.ピグメントブルー15:6から選択される少なくとも一種とを、含み、さらに、アルカリ可溶性樹脂、重合性モノマー、及び光重合開始剤を含むことを特徴とする光硬化性組成物。 <1> A photocurable composition containing at least a pigment, wherein the photocurable composition is C.I. I. Pigment green 7 and C.I. I. C.I. at least one selected from Pigment Green 36; I. Pigment blue 15: 3 and C.I. I. A photocurable composition comprising at least one selected from CI Pigment Blue 15: 6, and further comprising an alkali-soluble resin, a polymerizable monomer, and a photopolymerization initiator.

<2> 前記光重合開始剤がオキシム系化合物であることを特徴とする<1>に記載の光硬化性組成物。 <2> The photocurable composition according to <1>, wherein the photopolymerization initiator is an oxime compound.

<3> 前記重合性モノマーが少なくとも1個の付加重合可能なエチレン基を有することを特徴とする<1>又は<2>に記載の光硬化性組成物。 <3> The photocurable composition according to <1> or <2>, wherein the polymerizable monomer has at least one addition-polymerizable ethylene group.

<4> 前記少なくとも1個の付加重合可能なエチレン基を有する重合性モノマーが、常圧下で100℃以上の融点を有するモノマーであることを特徴とする<3>に記載の光硬化性組成物。 <4> The photocurable composition according to <3>, wherein the polymerizable monomer having at least one addition-polymerizable ethylene group is a monomer having a melting point of 100 ° C. or higher under normal pressure. .

<5> C.I.ピグメントグリーン7と、C.I.ピグメントブルー15:3とを、4:1〜1:2の含有比率(質量比;C.I.ピグメントグリーン7:C.I.ピグメントブルー15:3)で含有することを特徴とする<1>〜<4>のいずれか1項に記載の光硬化性組成物。
<6> C.I.ピグメントグリーン7と、C.I.ピグメントブルー15:6とを、4:1〜1:2の含有比率(質量比;C.I.ピグメントグリーン7:C.I.ピグメントブルー15:6)で含有することを特徴とする<1>〜<4>のいずれか1項に記載の光硬化性組成物。
<7> C.I.ピグメントグリーン36と、C.I.ピグメントブルー15:3とを、3:1〜1:3の含有比率(質量比;C.I.ピグメントグリーン36:C.I.ピグメントブルー15:3)で含有することを特徴とする<1>〜<4>のいずれか1項に記載の光硬化性組成物。
<8> C.I.ピグメントグリーン36と、C.I.ピグメントブルー15:6とを、6:1〜1:2の含有比率(質量比;C.I.ピグメントグリーン36:C.I.ピグメントブルー15:6)で含有することを特徴とする<1>〜<4>のいずれか1項に記載の光硬化性組成物。
<9> C.I.ピグメントグリーン7及びC.I.ピグメントグリーン36から選択される少なくとも一種と、C.I.ピグメントブルー15:3及びC.I.ピグメントブルー15:6から選択される少なくとも一種とを含む顔料を、アルカリ可溶性樹脂溶液でフラッシング処理、または、アルカリ可溶性樹脂と混練処理して、顔料を微粒子化した分散物を得る工程と、
前記分散物に、アルカリ可溶性樹脂と、溶剤とを添加し、分散させ、分散液を得る工程と、
前記分散液に、重合性モノマーと、光重合開始剤と、溶剤とを添加し、混合して光硬化性組成物を調製する工程と、
前記光硬化性組成物を基板上に塗布し、塗布膜を形成する工程と、
前記塗布膜上に特定のパターンを露光し、露光された塗布膜を現像処理する工程と、
を有することを特徴とするシアン色カラーフィルタの製造方法。
<10> <9>に記載の製造方法により製造されたシアン色カラーフィルタ。
<11> C.I.ピグメントグリーン7及びC.I.ピグメントグリーン36から選択される少なくとも一種と、C.I.ピグメントブルー15:3及びC.I.ピグメントブルー15:6から選択される少なくとも一種とを含む顔料を、アルカリ可溶性樹脂でフラッシング処理、またはアルカリ可溶性樹脂と混合処理して微粒子化した分散物を得る工程と、
前記分散物に、アルカリ可溶性樹脂と、溶剤とを添加し、分散させ、分散液を得る工程と、
前記分散液に、重合性モノマーと、光重合開始剤と、溶剤とを添加し、混合して光硬化性組成物を調製する工程と、
を有することを特徴とする光硬化性組成物の製造方法。
<12> <11>に記載の製造方法により製造された光硬化性組成物。
<13> 受光素子とその上に形成されたシアン、マゼンタ、及びイエローの3色相、あるいは、さらにグリーンの4色相からなるカラーフィルタを有する固体撮像素子であって、該カラーフィルタが<10>に記載のシアン色カラーフィルタで、マゼンタの顔料がC.I.ピグメントレッド122を含むマゼンタ色カラーフィルタで、イエローの顔料がC.I.ピグメントイエロー185を含むイエロー色カラーフィルタであることを特徴とする固体撮像素子。
<5> C.I. I. Pigment Green 7 and C.I. I. Pigment Blue 15: 3 is contained in a content ratio of 4: 1 to 1: 2 (mass ratio; CI Pigment Green 7: CI Pigment Blue 15: 3) <1 The photocurable composition according to any one of> to <4>.
<6> C.I. I. Pigment Green 7 and C.I. I. Pigment Blue 15: 6 and a content ratio of 4: 1 to 1: 2 (mass ratio; CI Pigment Green 7: CI Pigment Blue 15: 6) <1 The photocurable composition according to any one of> to <4>.
<7> C.I. I. Pigment green 36, C.I. I. Pigment Blue 15: 3 is contained in a content ratio of 3: 1 to 1: 3 (mass ratio; CI Pigment Green 36: CI Pigment Blue 15: 3) <1 The photocurable composition according to any one of> to <4>.
<8> C.I. I. Pigment green 36, C.I. I. And CI Pigment Blue 15: 6 in a content ratio of 6: 1 to 1: 2 (mass ratio; CI Pigment Green 36: CI Pigment Blue 15: 6) <1 The photocurable composition according to any one of> to <4>.
<9> C.I. I. Pigment green 7 and C.I. I. C.I. at least one selected from Pigment Green 36; I. Pigment blue 15: 3 and C.I. I. Pigment Blue 15: 6 pigment containing at least one selected from a flushing treatment with an alkali-soluble resin solution, or a kneading treatment with an alkali-soluble resin to obtain a finely divided dispersion of the pigment;
Adding an alkali-soluble resin and a solvent to the dispersion and dispersing the dispersion to obtain a dispersion;
Adding a polymerizable monomer, a photopolymerization initiator, and a solvent to the dispersion, and mixing to prepare a photocurable composition;
Applying the photocurable composition onto a substrate to form a coating film;
A step of exposing a specific pattern on the coating film and developing the exposed coating film;
A method for producing a cyan color filter, comprising:
<10> A cyan color filter manufactured by the manufacturing method according to <9>.
<11> C.I. I. Pigment green 7 and C.I. I. C.I. at least one selected from Pigment Green 36; I. Pigment blue 15: 3 and C.I. I. A step of obtaining a finely divided dispersion by flushing a pigment containing at least one selected from CI Pigment Blue 15: 6 with an alkali-soluble resin, or mixing with an alkali-soluble resin;
Adding an alkali-soluble resin and a solvent to the dispersion and dispersing the dispersion to obtain a dispersion;
Adding a polymerizable monomer, a photopolymerization initiator, and a solvent to the dispersion, and mixing to prepare a photocurable composition;
The manufacturing method of the photocurable composition characterized by having.
<12> A photocurable composition produced by the production method according to <11>.
<13> A solid-state imaging device having a light-receiving element and a color filter formed of three colors of cyan, magenta, and yellow, or four colors of green formed thereon, the color filter being <10> In the described cyan color filter, the magenta pigment is C.I. I. This is a magenta color filter including CI Pigment Red 122, and the yellow pigment is C.I. I. A solid-state image sensor, which is a yellow color filter including CI Pigment Yellow 185.

本発明によれば、分光特性が良好で、かつ耐光性、耐熱性に優れたシアン色カラーフィルタ、及びそのカラーフィルタを形成することができる光硬化性組成物、並びに、それらの製造方法を提供することができる。更に、本発明によれば該カラーフィルタを用いることにより色再現性が良好な固体撮像素子を提供することができる。   According to the present invention, there are provided a cyan color filter having good spectral characteristics and excellent light resistance and heat resistance, a photocurable composition capable of forming the color filter, and a method for producing the same. can do. Furthermore, according to the present invention, it is possible to provide a solid-state imaging device having good color reproducibility by using the color filter.

本発明に実施例2、及び比較例2、6で作製した、シアン色カラーフィルタの分光透過率曲線を示す図である。It is a figure which shows the spectral transmittance curve of the cyan color filter produced in Example 2 and Comparative Examples 2 and 6 to this invention. 本発明に参考例3、及び比較例1、7で作製した、シアン色カラーフィルタの分光透過率曲線を示す図である。It is a figure which shows the spectral transmittance curve of the cyan color filter produced by the reference example 3 and the comparative examples 1 and 7 to this invention. 本発明の実施例6のCMOS固体撮像素子に用いた補色系カラーフィルタの分光透過率曲線を示す図である。Cyanは、実施例2のシアン色カラーフィルタを用いた。It is a figure which shows the spectral transmittance curve of the complementary color type color filter used for the CMOS solid-state image sensor of Example 6 of this invention. Cyan used the cyan color filter of Example 2.

本発明のシアン色カラーフィルタは、少なくとも顔料を含むカラーフィルタであって、該顔料がC.I.ピグメントグリーン7(以下、「PG7」ともいう。)及びC.I.ピグメントグリーン36(以下、「PG36」ともいう。)から選択される少なくとも一種と、C.I.ピグメントブルー15:3(以下、「PB15:3」ともいう。)及びC.I.ピグメントブルー15:6(以下、「PB15:6」ともいう。)から選択される少なくとも一種とを、含むことを特徴とする(第一の態様)。
更に、本発明の参考の態様のシアン色カラーフィルタは、少なくとも顔料を含むカラーフィルタであって、該顔料がアルミニウムフタロシアニン(AlPC)と、C.I.ピグメントブルー15:3(PB15:3)及びC.I.ピグメントブルー15:6(PB15:6)から選択される少なくとも一種とを、含むことを特徴とする(第二の態様)。
該シアン色カラーフィルタが前記特定の顔料を含有することにより、分光特性が良好で、かつ、耐熱性、耐光性に優れたシアン色カラーフィルタを提供することができる。
The cyan color filter of the present invention is a color filter containing at least a pigment, and the pigment is C.I. I. Pigment Green 7 (hereinafter also referred to as “PG7”) and C.I. I. At least one selected from CI Pigment Green 36 (hereinafter also referred to as “PG36”); I. Pigment Blue 15: 3 (hereinafter also referred to as “PB15: 3”) and C.I. I. And at least one selected from CI Pigment Blue 15: 6 (hereinafter also referred to as “PB15: 6”) (first aspect).
Furthermore, the cyan color filter of the reference aspect of the present invention is a color filter containing at least a pigment, and the pigment includes aluminum phthalocyanine (AlPC), I. Pigment blue 15: 3 (PB15: 3) and C.I. I. And at least one selected from CI Pigment Blue 15: 6 (PB15: 6) (second aspect).
When the cyan color filter contains the specific pigment, it is possible to provide a cyan color filter having excellent spectral characteristics and excellent heat resistance and light resistance.

<シアン色カラーフィルタ>
[顔料]
本発明のシアン色カラーフィルタの第一の態様として用いられる顔料は、PG7及びPG36から選択される少なくとも一種の緑色顔料と、PB15:3及びPB15:6から選択される少なくとも一種の青色顔料を含有する。
更に、本発明のシアン色カラーフィルタの参考の態様として、アルミニウムフタロシアニン(AlPC)の緑色顔料と、C.I.ピグメントブルー15:3(PB15:3)及びC.I.ピグメントブルー15:6(PB15:6)から選択される少なくとも一種の青色顔料を含有する。
これらの顔料を含有することにより、分光透過率が良好で、かつ、耐熱性、耐光性に優れたシアン色カラーフィルタを作製することができる。
<Cyan color filter>
[Pigment]
The pigment used as the first embodiment of the cyan color filter of the present invention contains at least one green pigment selected from PG7 and PG36 and at least one blue pigment selected from PB15: 3 and PB15: 6. To do.
Further, as a reference embodiment of the cyan color filter of the present invention, a green pigment of aluminum phthalocyanine (AlPC), C.I. I. Pigment blue 15: 3 (PB15: 3) and C.I. I. At least one blue pigment selected from CI Pigment Blue 15: 6 (PB15: 6).
By containing these pigments, it is possible to produce a cyan color filter having good spectral transmittance and excellent heat resistance and light resistance.

本発明における前記アルミニウムフタロシアニン(AlPC)としては、下記構造式(I)で表される化合物が好適である。また、この化合物の2分子が結合した二量体であってもよい。   The aluminum phthalocyanine (AlPC) in the present invention is preferably a compound represented by the following structural formula (I). Moreover, the dimer which 2 molecules of this compound couple | bonded may be sufficient.

前記構造式(I)中、Xは、OH、ClまたはBrを表す。R1、R2、R3、およびR4は、各々独立にハロゲン原子または炭素数1〜4のアルキル基を表し、互いに同一でも異なっていてもよい。Yは0〜4の整数を表す。 In the structural formula (I), X represents OH, Cl, or Br. R 1 , R 2 , R 3 , and R 4 each independently represent a halogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and may be the same or different from each other. Y represents an integer of 0 to 4.

上記構造式(I)で表されるアルミニウムフタロシアニン顔料の中でも、下記構造式(II)で表される化合物が特に好ましい。また、この化合物の2分子がOH基の酸素原子を介して結合された二量体も好適である。   Among the aluminum phthalocyanine pigments represented by the structural formula (I), a compound represented by the following structural formula (II) is particularly preferable. A dimer in which two molecules of this compound are bonded through an oxygen atom of an OH group is also suitable.

なお、前記何れの態様においても、該態様に記載の顔料以外の他の従来公知の無機若しくは有機顔料を併用することもできる。
また、無機顔料であれ有機顔料であれ、高透過率であることが好ましいことを考慮すると、なるべく細かいものの使用が好ましく、ハンドリング性をも考慮すると、上記顔料の平均粒子径は、0.01μm〜0.1μmが好ましく、0.01μm〜0.05μmがより好ましい。
In any of the above embodiments, other conventionally known inorganic or organic pigments other than the pigment described in the embodiment can be used in combination.
Further, considering that it is preferable to have a high transmittance, whether it is an inorganic pigment or an organic pigment, it is preferable to use a fine one as much as possible, and considering the handling properties, the average particle diameter of the pigment is 0.01 μm to 0.1 μm is preferable, and 0.01 μm to 0.05 μm is more preferable.

前記有機顔料としては、アルミニウムフタロシアニン、チタンフタロシアニン、コバルトフタロシアニン、亜鉛フタロシアニン、すずフタロシアニン、バナジウムフタロシアニン、下記の顔料等を用いることができる。
また、前記無機顔料としては、金属酸化物、金属錯塩等で示される金属化合物を挙げることができ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属酸化物、および前記金属の複合酸化物を挙げることができる。
Examples of the organic pigment include aluminum phthalocyanine, titanium phthalocyanine, cobalt phthalocyanine, zinc phthalocyanine, tin phthalocyanine, vanadium phthalocyanine, and the following pigments.
Examples of the inorganic pigment include metal compounds represented by metal oxides, metal complex salts, and the like. Specifically, iron, cobalt, aluminum, cadmium, lead, copper, titanium, magnesium, chromium, zinc And metal oxides such as antimony, and composite oxides of the above metals.

上記有機顔料としては、さらに、例えば、
C.I.ピグメント イエロー11,24,31,53,83,93,99,108,109,110,138,139,147,150,151,154,155,167,180,185,199,;
C.I.ピグメント オレンジ36,38,43,71;
C.I.ピグメント レッド81,105,122,149,150,155,171,175,176,177,209,220,224,242,254,255,264,270;
C.I.ピグメント バイオレット19,23,32,39;
C.I.ピグメント ブルー1,2,15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:6,16,22,60,66;
C.I.ピグメント グリーン7,36,37;
C.I.ピグメント ブラウン25,28;
C.I.ピグメント ブラック1,7;
カーボンブラック等を挙げることができる。
これら有機顔料は、単独もしくは種々組合せて用いることができる。
Examples of the organic pigment further include:
C. I. Pigment yellow 11,24,31,53,83,93,99,108,109,110,138,139,147,150,151,154,155,167,180,185,199;
C. I. Pigment orange 36, 38, 43, 71;
C. I. Pigment red 81,105,122,149,150,155,171,175,176,177,209,220,224,242,254,255,264,270;
C. I. Pigment violet 19, 23, 32, 39;
C. I. Pigment Blue 1, 2, 15, 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 16, 22, 60, 66;
C. I. Pigment green 7, 36, 37;
C. I. Pigment brown 25, 28;
C. I. Pigment black 1,7;
Examples thereof include carbon black.
These organic pigments can be used alone or in various combinations.

第一の態様における緑色顔料と青色顔料の組合せは、何れであっても良く、緑色顔料2種と青色顔料2種、緑色顔料2種と青色顔料1種、緑色顔料1種と青色顔料2種、緑色顔料1種と青色顔料1種のいずれの組合せもとることができ、
好ましくは緑色顔料1種と青色顔料1種(例えば、PG7とPB15:3、PG7とPB15:6、PG36とPB15:3、PG36とPB15:6)が好ましい。
該緑色顔料と青色顔料との含有比率(質量)は、特に限定されるものではないが、一般的には緑色顔料と青色顔料とが9:1〜1:9の範囲であり、分光特性の観点より、具体的には、PG7とPB15:3では、9:1〜1:3が好ましく、さらに4:1〜1:2が好ましい。PG7とPB15:6では、7:4〜1:3が好ましく、さらに4:1〜1:2が好ましい。PG36とPB15:3では、5:1〜1:7が好ましく、さらに3:1〜1:3が好ましい。PG36とPB15:6では、9:1〜1:4が好ましく、さらに6:1〜1:2が好ましい。
The combination of the green pigment and the blue pigment in the first aspect may be any combination, two types of green pigment and two types of blue pigment, two types of green pigment and one type of blue pigment, and one type of green pigment and two types of blue pigment. Any combination of one green pigment and one blue pigment can be taken,
One green pigment and one blue pigment (for example, PG7 and PB15: 3, PG7 and PB15: 6, PG36 and PB15: 3, and PG36 and PB15: 6) are preferable.
The content ratio (mass) of the green pigment and the blue pigment is not particularly limited, but generally the green pigment and the blue pigment are in the range of 9: 1 to 1: 9, and the spectral characteristics are From the viewpoint, specifically, in PG7 and PB15: 3, 9: 1 to 1: 3 is preferable, and 4: 1 to 1: 2 is more preferable. In PG7 and PB15: 6, 7: 4 to 1: 3 is preferable, and 4: 1 to 1: 2 is more preferable. In PG36 and PB15: 3, 5: 1 to 1: 7 is preferable, and 3: 1 to 1: 3 is more preferable. In PG36 and PB15: 6, 9: 1 to 1: 4 is preferable, and 6: 1 to 1: 2 is more preferable.

第二の態様における緑色顔料と青色顔料の組合せは、何れであっても良く、緑色顔料1種と青色顔料2種、緑色顔料1種と青色顔料1種のいずれの組合せもとることができ、
好ましくは緑色顔料1種と青色顔料1種(例えば、アルミニウムフタロシアニンとPB15:3、アルミニウムフタロシアニンとPB15:6)の組合せが好ましい。
該緑色顔料と青色顔料との含有比率(質量)は、特に限定されるものではないが、
一般的には緑色顔料と青色顔料とが9:1〜1:9の範囲であり、分光特性の観点より、具体的には、アルミニウムフタロシアニンとPB15:3では、4:1〜1:4が好ましく、さらに10:3〜1:3が好ましい。
アルミニウムフタロシアニンとPB15:6では、4:1〜1:3が好ましく、さらに3:1〜1:2が好ましい。
The combination of the green pigment and the blue pigment in the second aspect may be any, and any combination of one green pigment and two blue pigments, one green pigment and one blue pigment,
A combination of one green pigment and one blue pigment (for example, aluminum phthalocyanine and PB15: 3, aluminum phthalocyanine and PB15: 6) is preferable.
The content ratio (mass) of the green pigment and the blue pigment is not particularly limited,
Generally, the green pigment and the blue pigment are in the range of 9: 1 to 1: 9. From the viewpoint of spectral characteristics, specifically, in the case of aluminum phthalocyanine and PB15: 3, 4: 1 to 1: 4 is 10: 3 to 1: 3 are more preferable.
In aluminum phthalocyanine and PB15: 6, 4: 1 to 1: 3 are preferable, and 3: 1 to 1: 2 are more preferable.

本発明における顔料は、アクリル系樹脂、マレイン酸系樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニルコポリマー、エチルセルロース樹脂、等に微分散させた粉末状加工顔料として用いることによって、分散性および分散安定性を良好なものとすることができる。   The pigment in the present invention has good dispersibility and dispersion stability when used as a powdery processed pigment finely dispersed in acrylic resin, maleic acid resin, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, ethyl cellulose resin, etc. It can be.

次に、顔料の処理法について説明する。
本発明においては、顔料をあらかじめ種々の樹脂で処理しておくことが好ましい。すなわち、顔料は一般に合成後、種々の方法で乾燥が行なわれ、通常は水媒体から乾燥させて粉末体として供給されるが、水が乾燥するには大きな蒸発潜熱を必要とし、乾燥粉末とするには大きな熱エネルギーを与える。そのため、顔料は一次粒子が集合した凝集体(二次粒子)を形成しているのが普通であり、かかる凝集体を形成している顔料を微粒子に分散するのは容易ではないため、あらかじめ樹脂で処理しておくことが望ましい。ここでの樹脂としては、後述のアルカリ可溶性樹脂を挙げることができる。
Next, a method for treating a pigment will be described.
In the present invention, it is preferable to treat the pigment with various resins in advance. In other words, the pigment is generally dried by various methods after synthesis, and is usually dried from an aqueous medium and supplied as a powder, but requires a large latent heat of vaporization to dry the water, resulting in a dry powder. Gives a lot of heat energy. Therefore, pigments usually form aggregates (secondary particles) in which primary particles are aggregated, and it is not easy to disperse pigments forming such aggregates into fine particles. It is desirable to process with. Examples of the resin include an alkali-soluble resin described later.

処理の方法としては、フラッシング処理やニーダー、エクストルーダー、ボールミル、2本または3本ロールミル等による混練方法がある。このうち、フラッシング処理や2本または3本ロールミルによる混練法が微粒子化に好適である。
前記フラッシング処理は、通常顔料の水分散液と水と混和しない溶媒に溶解した樹脂溶液を混合し、水媒体中から有機媒体中に顔料を抽出し、顔料を樹脂で処理する方法である。この方法によれば、顔料の乾燥を経ることがないので、顔料の凝集を防ぐことができ、分散が容易となる。また、上記の2本または3本ロールミルによる混練では、顔料と樹脂または樹脂の溶液とを混合した後、高いシェア(せん断力)をかけながら、顔料と樹脂を混練することによって顔料表面に樹脂をコーティングすることにより顔料を処理する方法である。この過程で凝集していた顔料粒子はより低次の凝集体から一次粒子にまで分散される。
As a processing method, there are a flushing process, a kneading method using a kneader, an extruder, a ball mill, a two or three roll mill and the like. Among these, a flushing process or a kneading method using two or three roll mills is suitable for fine particle formation.
The flushing treatment is usually a method in which an aqueous dispersion of pigment and a resin solution dissolved in a solvent immiscible with water are mixed, the pigment is extracted from an aqueous medium into an organic medium, and the pigment is treated with a resin. According to this method, since the pigment is not dried, the aggregation of the pigment can be prevented and the dispersion becomes easy. In the above kneading by the two or three roll mill, the pigment and the resin or the resin solution are mixed, and then the pigment and the resin are kneaded while applying a high shear (shearing force) to thereby obtain the resin on the pigment surface. This is a method of treating a pigment by coating. The pigment particles aggregated in this process are dispersed from the lower order aggregates to the primary particles.

また、あらかじめアクリル樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル樹脂、マレイン酸樹脂、エチルセルロース樹脂、ニトロセルロース樹脂等で処理した加工顔料として用いることもできる。この加工顔料の形態としては、樹脂と顔料が均一に分散している粉末、ペースト状、ペレット状、ペースト状が好ましい。また、樹脂がゲル化した不均一な塊状のものは好ましくない。   Moreover, it can also be used as a processed pigment previously treated with an acrylic resin, vinyl chloride-vinyl acetate resin, maleic acid resin, ethyl cellulose resin, nitrocellulose resin or the like. The form of the processed pigment is preferably a powder, paste, pellet, or paste in which the resin and the pigment are uniformly dispersed. Further, a non-uniform lump in which the resin is gelled is not preferable.

上記の顔料の分散性を向上させる目的で、従来公知の顔料分散剤や界面活性剤を併用することができる。
顔料分散剤や界面活性剤としては、多種の化合物が挙げられるが、例えば、フタロシアニン誘導体(エフカ社製のEFKA−745)、ソルスパース5000(ゼネカ社製);オルガノシロキサンポリマーKP341(信越化学工業社製)、(メタ)アクリル酸系(共)重合体ポリフローNo.75、No.90、No.95(共栄社油脂化学工業社製)、W001(裕商社製)等のカチオン系界面活性剤;ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性剤;W004、W005、W017(裕商社製)等のアニオン系界面活性剤;EFKA−46、EFKA−47、EFKA−47EA、EFKAポリマー100、EFKAポリマー400、EFKAポリマー401、EFKAポリマー450(以上、森下産業社製)、ディスパースエイド6、ディスパースエイド8、ディスパースエイド15、ディスパースエイド9100(サンノプコ社製)等の高分子分散剤;ソルスパース3000、同5000、同9000、同12000、同13240、同13940、同17000、同24000、同26000、同28000などの各種ソルスパース分散剤(ゼネカ社製);アデカプルロニックL31,同F38,同L42,同L44,同L61,同L64,同F68,同L72,同P95,同F77,同P84,同F87、同P94,同L101,同P103,同F108、同L121、同P−123(旭電化社製)、およびイソネットS−20(三洋化成社製)、などが挙げられる。
Conventionally known pigment dispersants and surfactants can be used in combination for the purpose of improving the dispersibility of the pigment.
Examples of the pigment dispersant and the surfactant include various compounds. For example, phthalocyanine derivatives (EFKA-745 manufactured by Efka), Solsperse 5000 (manufactured by Geneca); organosiloxane polymer KP341 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) ), (Meth) acrylic acid-based (co) polymer polyflow No. 75, no. 90, no. 95 (manufactured by Kyoeisha Yushi Chemical Co., Ltd.), W001 (manufactured by Yusho Co., Ltd.), and the like; polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene octylphenyl ether, poly Nonionic surfactants such as oxyethylene nonylphenyl ether, polyethylene glycol dilaurate, polyethylene glycol distearate, sorbitan fatty acid ester; anionic surfactants such as W004, W005, W017 (manufactured by Yusho); EFKA-46, EFKA -47, EFKA-47EA, EFKA polymer 100, EFKA polymer 400, EFKA polymer 401, EFKA polymer 450 (manufactured by Morishita Sangyo Co., Ltd.), Disperse Aid 6, Disper Polymer dispersants such as Aid 8, Disperse Aid 15, Disperse Aid 9100 (manufactured by Sannopco); Solsperse 3000, 5000, 9000, 12000, 13240, 13940, 17000, 24000, 26000 , 28000, etc. (manufactured by Zeneca); Adeka Pluronic L31, F38, L42, L44, L61, L64, F68, L72, P95, F77, P84, F87, the same P94, the same L101, the same P103, the same F108, the same L121, the same P-123 (manufactured by Asahi Denka Co., Ltd.), and the ISONET S-20 (manufactured by Sanyo Kasei Co., Ltd.).

本発明のシアン色カラーフィルタの前記顔料の全含有量(質量)としては、全固形分量(質量)に対して20〜90質量%が挙げられるが、中でも、パターン形成性の観点から、30〜80質量%好ましく、更に30〜70質量%が好ましい。   The total content (mass) of the pigment in the cyan color filter of the present invention is 20 to 90 mass% with respect to the total solid content (mass). 80% by mass is preferable, and 30 to 70% by mass is more preferable.

[樹脂]
本発明のシアン色カラーフィルタは、樹脂を含有することが好ましいが、該樹脂は特に限定されるものではなく、カラーフィルタの形態を形成できるものであればよく、該カラーフィルタの作製方法に応じて選択することが好ましい。
[resin]
The cyan color filter of the present invention preferably contains a resin, but the resin is not particularly limited as long as it can form a color filter, depending on the method for producing the color filter. Are preferably selected.

前記シアン色カラーフィルタの作製方法としては、ネガ型フォトリソ法、ポジ型フォトリソ法、印刷法、インクジェット法等、従来から知られているいずれのカラーフィルタ形成法をも用いることができる。特に、固体撮像素子用カラーフィルタとしては、好ましくは微細で良好な形状のカラーフィルタが得られる点から、顔料分散ネガ型フォトリソ法を用いることが好ましい。   As a method for producing the cyan color filter, any conventionally known color filter forming method such as a negative photolithography method, a positive photolithography method, a printing method, and an ink jet method can be used. In particular, as a color filter for a solid-state imaging device, it is preferable to use a pigment-dispersed negative photolithography method from the viewpoint that a fine color filter having a good shape can be obtained.

(光硬化性樹脂)
以下、本発明のシアン色カラーフィルタについて顔料分散ネガ型フォトリソ法を中心に樹脂を説明するが、これに限定されるものではない。
本発明のシアン色カラーフィルタは、前記樹脂、前記顔料を少なくとも有し、該シアン色カラーフィルタが前記顔料分散ポジ型フォトリソ法にて作製されるとき、アルカリ可溶性樹脂、重合性モノマー、及び光重合性開始剤とを有する光硬化性組成物を用いて形成される樹脂を含有することが好ましい。該光硬化性組成物は一般に更に溶剤を用いて構成することができ、更に、必要に応じて添加物など他の成分を用いて構成することができる。
(Photo curable resin)
Hereinafter, the cyan color filter according to the present invention will be described with reference to a pigment dispersion negative photolithography method, but the present invention is not limited to this.
The cyan color filter of the present invention has at least the resin and the pigment, and when the cyan color filter is produced by the pigment dispersion positive photolithography method, an alkali-soluble resin, a polymerizable monomer, and photopolymerization It is preferable to contain resin formed using the photocurable composition which has a photoinitiator. In general, the photocurable composition can be further constituted by using a solvent, and further can be constituted by using other components such as additives as required.

−アルカリ可溶性樹脂−
アルカリ可溶性樹脂は、アルカリ現像性を有するカルボキシル基、フェノール性水酸基等の酸性官能基を有し、アルカリ可溶性樹脂が酸価100〜250mgKOH/gの範囲にあるものが好適である。
具体的な例として、線状有機高分子重合体で、有機溶剤に可溶性であると共に弱アルカリ水溶液で現像できるものが好ましい。このような線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー、例えば、特開昭59−44615号、特公昭54−34327号、特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭59−53836号、特開昭59−71048号の各公報に記載されているような、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等が挙げられ、また同様に側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体が有用である。このほか、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等や、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、ポリ(2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート)、ポリビニールピロリドンやポリエチレンオキサイド、ポリビニルアルコール、等も有用である。
-Alkali-soluble resin-
The alkali-soluble resin preferably has an acidic functional group such as a carboxyl group having phenol developability and a phenolic hydroxyl group, and the alkali-soluble resin has an acid value in the range of 100 to 250 mgKOH / g.
As a specific example, a linear organic polymer that is soluble in an organic solvent and can be developed with a weak alkaline aqueous solution is preferable. Examples of such linear organic high molecular polymers include polymers having a carboxylic acid in the side chain, such as JP-A-59-44615, JP-B-54-34327, JP-B-58-12577, and JP-B-54-. No. 25957, JP-A-59-53836, JP-A-59-71048, methacrylic acid copolymer, acrylic acid copolymer, itaconic acid copolymer, crotonic acid copolymer, etc. Examples thereof include polymers, maleic acid copolymers, partially esterified maleic acid copolymers, and acidic cellulose derivatives having a carboxylic acid in the side chain are also useful. In addition, a polymer having a hydroxyl group with an acid anhydride added, a polyhydroxystyrene resin, a polysiloxane resin, poly (2-hydroxyethyl (meth) acrylate), polyvinylpyrrolidone, polyethylene oxide, polyvinyl Alcohol and the like are also useful.

前記アルカリ可溶性樹脂は、親水性を有するモノマーを共重合してもよく、例えば、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、2級及び3級のアルキルアクリルアミド、ジアルキルアミノアルキル(メタ)アクリレート、モルホリン(メタ)アクリレート、N−ビニルピロリドン、N−ビニルカプロラクタム、ビニルイミダゾール、ビニルトリアゾール、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、分岐又は直鎖のプロピル(メタ)アクリレート、分岐又は直鎖のブチル(メタ)アクリレート、フェノキシヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート等が挙げられる。
他の親水性を有するモノマーとして、テトラヒドロフルフリル基、燐酸、燐酸エステル、4級アンモニウム塩、エチレンオキシ鎖、プロピレンオキシ鎖、スルホン酸及びその塩、モルホリノエチル基等を含んだモノマー等も有用である。
The alkali-soluble resin may be copolymerized with a hydrophilic monomer such as hydroxyalkyl (meth) acrylate, glycerol (meth) acrylate, (meth) acrylamide, N-methylol acrylamide, secondary and tertiary. Alkylacrylamide, dialkylaminoalkyl (meth) acrylate, morpholine (meth) acrylate, N-vinylpyrrolidone, N-vinylcaprolactam, vinylimidazole, vinyltriazole, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, branched or linear Examples include propyl (meth) acrylate, branched or linear butyl (meth) acrylate, phenoxyhydroxypropyl (meth) acrylate, and the like.
As other hydrophilic monomers, tetrahydrofurfuryl group, phosphoric acid, phosphate ester, quaternary ammonium salt, ethyleneoxy chain, propyleneoxy chain, sulfonic acid and its salts, monomers containing morpholinoethyl group, etc. are also useful. is there.

本発明においては特に、分子中に重合性二重結合(エチレン性不飽和基)を有する高分子重合体を含むものが好適である。分子中に二重結合を有する高分子重合体は、アルカリ可溶性でありエチレン性不飽和結合等の二重結合を有するものであれば用いることができ、例えば、エチレン性不飽和結合を有するポリマー等を挙げることができる。   In the present invention, those containing a high molecular polymer having a polymerizable double bond (ethylenically unsaturated group) in the molecule are particularly suitable. The polymer having a double bond in the molecule can be used as long as it is alkali-soluble and has a double bond such as an ethylenically unsaturated bond. For example, a polymer having an ethylenically unsaturated bond, etc. Can be mentioned.

この場合、アルカリ可溶性樹脂の全体量に占める「分子中に重合性二重結合を有する高分子重合体」の割合としては、10質量%以上が好ましく、20質量%以上がさらに好ましく、30質量%以上が特に好ましい。該割合が、10質量%未満であると画素のパターンプロファイルが矩形からずれてしまうことがある。また、アルカリ可溶性樹脂中に占める二重結合の量としては、樹脂1グラム中のミリモル量で表示したときに1〜5mmol/gが好ましく、より好ましくは1〜4.5mmol/g、更に好ましくは1.5〜4.0mmol/gである。   In this case, the ratio of the “polymer having a polymerizable double bond in the molecule” in the total amount of the alkali-soluble resin is preferably 10% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, and 30% by mass. The above is particularly preferable. If the ratio is less than 10% by mass, the pixel pattern profile may deviate from the rectangle. In addition, the amount of double bonds in the alkali-soluble resin is preferably 1 to 5 mmol / g, more preferably 1 to 4.5 mmol / g, even more preferably when expressed in terms of millimolar amount in 1 gram of resin. 1.5 to 4.0 mmol / g.

次に、エチレン性不飽和性基を有するポリマーの例を示す。但し、炭素−炭素不飽和結合が含まれていれば下記に限定されるものではない。
エチレン性不飽和性基を含有するポリマーとしては、OH基を有する例えば2−ヒドロキシエチルアクリレートと、COOH基を含有する例えばメタクリル酸と、これらと共重合可能なアクリル系もしくはビニル系化合物等のモノマーとの共重合体に、OH基と反応性を有するエポキシ環と炭素−炭素不飽和結合基とを有する化合物(例えばグリシジルアクリレートのような化合物)を反応させて得られる化合物等が使用できる。OH基と反応性を有するものとしてはエポキシ環のほか、酸無水物、イソシアネート基を有し、アクリロイル基を有する化合物も使用できる。また、特開平6−102669号、特開平6−1938号の公報に記載の、エポキシ環を有する化合物にアクリル酸のような不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物に、飽和もしくは不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られる反応物も使用できる。COOHのようなアルカリ可溶化基と炭素−炭素不飽和基とを併せ持つ化合物として、例えば、ダイヤナ−ルNRシリーズ(三菱レイヨン(株)製)、Photomer6173(COOH含有Polyurethane acrylic oligomer、Diamond Shamrock Co.Ltd.,製)、ビスコートR−264、KSレジスト106(いずれも大阪有機化学工業(株)製)、サイクロマーPシリーズ、プラクセル CF200シリーズ(いずれもダイセル化学工業(株)製)、Ebecryl3800(ダイセルユーシービー(株)製)などが挙げられる。このうち、クロトニル基、アクリル基、メタクリル基、アリル基、プロピルエステル基、ビニルエステル基、及びアリルオキシアルキル基から選ばれる少なくとも1種を側鎖に有する高分子重合体が有用であり、特にアクリル基、メタクリル基、及びアリル基より選択される少なくとも一種を側鎖に有する高分子重合体が有用である。
Next, the example of the polymer which has an ethylenically unsaturated group is shown. However, it is not limited to the following as long as a carbon-carbon unsaturated bond is included.
Examples of the polymer containing an ethylenically unsaturated group include 2-hydroxyethyl acrylate having an OH group, methacrylic acid containing a COOH group, and a monomer such as an acrylic or vinyl compound copolymerizable therewith. And a compound obtained by reacting an OH group-reactive epoxy ring and a compound having a carbon-carbon unsaturated bond group (for example, a compound such as glycidyl acrylate) and the like. As the compound having reactivity with the OH group, in addition to the epoxy ring, a compound having an acid anhydride, an isocyanate group, and an acryloyl group can also be used. In addition, a compound obtained by reacting an unsaturated carboxylic acid such as acrylic acid with a compound having an epoxy ring described in JP-A-6-102669 and JP-A-6-1938 is saturated or unsaturated polyunsaturated. A reaction product obtained by reacting a basic acid anhydride can also be used. Examples of the compound having both an alkali solubilizing group such as COOH and a carbon-carbon unsaturated group include, for example, Diamond NR series (manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.), Photomer 6173 (COOH-containing Polyethane acryloligomer, Diamond Shamrock Co. Ltd.). , Manufactured by), Biscote R-264, KS resist 106 (all manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.), Cyclomer P series, Plaxel CF200 series (all manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), Ebecryl 3800 (Daicel User) CB Co., Ltd.). Among these, a polymer having at least one selected from a crotonyl group, an acryl group, a methacryl group, an allyl group, a propyl ester group, a vinyl ester group, and an allyloxyalkyl group in the side chain is useful. A polymer having at least one selected from a group, a methacryl group and an allyl group in the side chain is useful.

本発明におけるアルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量は、3,000〜300,000が好ましく、5,000〜100,000がさらに好ましく、10,000〜80,000が特に好ましい。   The weight average molecular weight of the alkali-soluble resin in the present invention is preferably 3,000 to 300,000, more preferably 5,000 to 100,000, and particularly preferably 10,000 to 80,000.

前記アルカリ可溶性樹脂の本発明に係る光硬化性組成物中における含有量は、0.5〜15質量%が好ましく、1.0〜12質量%がより好ましい。該含有量が、0.5質量%未満であると現像の進行が遅くなり製造コストの増大を招く可能性があり、15質量%を超えると良好なパターンプロファイルが得られなくなることがある。   0.5-15 mass% is preferable and, as for content in the photocurable composition which concerns on this invention of the said alkali-soluble resin, 1.0-12 mass% is more preferable. If the content is less than 0.5% by mass, the progress of development may be slowed, resulting in an increase in production cost. If the content exceeds 15% by mass, a good pattern profile may not be obtained.

−重合性モノマー−
前記光硬化性組成物は、重合性モノマーの少なくとも一種を含有する。重合性モノマーとしては、少なくとも1個の付加重合可能なエチレン基を有する、常圧下で100℃以上の沸点を持つエチレン性不飽和基を持つ化合物が好ましく、その例として、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、等の単官能のアクリレートやメタクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオール(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイロキシエチル)イソシアヌレート、その他グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後(メタ)アクリレート化したもの、特公昭48−41708号、特公昭50−6034号、特開昭51−37193号各公報に記載されているようなウレタンアクリレート類、特開昭48−64183号、特公昭49−43191号、特公昭52−30490号各公報に記載のポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸との反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタクリレート、及びこれらの混合物を挙げることができる。更に、日本接着協会誌Vol.20、No.7、300〜308頁に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものが挙げられる。
-Polymerizable monomer-
The photocurable composition contains at least one polymerizable monomer. As the polymerizable monomer, a compound having an ethylenically unsaturated group having at least one addition-polymerizable ethylene group and having a boiling point of 100 ° C. or higher under normal pressure is preferable. Examples thereof include polyethylene glycol mono (meth). Monofunctional acrylates and methacrylates such as acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate, phenoxyethyl (meth) acrylate, etc .; polyethylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolethane tri (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) Acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate Ethylene oxide or propylene oxide is added to polyfunctional alcohols such as glycerol, trimethylol ethane, hexanediol (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate (Meth) acrylates, urethane acrylates as described in JP-B-48-41708, JP-B-50-6034, JP-A-51-37193, JP-A-48-64183 Polyfunctional acrylates and methacrylates such as polyester acrylates and epoxy acrylates which are reaction products of epoxy resin and (meth) acrylic acid described in JP-B Nos. 49-43191 and 52-30490 , And It can be mixtures thereof. Furthermore, the Japan Adhesion Association Vol. 20, no. 7, pages 300 to 308 are introduced as photocurable monomers and oligomers.

重合性モノマーの本発明に係る光硬化性組成物中における含有量は、該組成物の固形分に対して、0.1〜90質量が好ましく、1.0〜80質量%がさらに好ましく、2.0〜70質量%が特に好ましい。   The content of the polymerizable monomer in the photocurable composition according to the present invention is preferably 0.1 to 90 mass%, more preferably 1.0 to 80 mass%, based on the solid content of the composition. 0.0 to 70% by mass is particularly preferable.

−光重合開始剤−
前記光硬化性組成物は、光重合開始剤の少なくとも一種を含有する。光重合開始剤は、上記の重合性モノマー及び分子中に重合性二重結合を有する場合のアルカリ可溶性樹脂の重合が可能なものであれば特に限定はなく、重合特性、開始効率、吸収波長、入手性、コスト等の観点から選択されることが望ましい。
-Photopolymerization initiator-
The photocurable composition contains at least one photopolymerization initiator. The photopolymerization initiator is not particularly limited as long as it can polymerize the above-mentioned polymerizable monomer and alkali-soluble resin in the case of having a polymerizable double bond in the molecule, polymerization characteristics, initiation efficiency, absorption wavelength, It is desirable to select from the viewpoint of availability, cost, and the like.

例えば、ハロメチルトリアジン系化合物、オキシム系化合物、α−アミノケトン系化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種の化合物を用いて好適に構成することができる。   For example, it can be suitably configured using at least one compound selected from the group consisting of halomethyltriazine compounds, oxime compounds, and α-aminoketone compounds.

ハロメチル−s−トリアジン系化合物として、例えば、特公昭59−1281号公報に記載のビニル−ハロメチル−s−トリアジン化合物、特開昭53−133428号公報に記載の2−(ナフト−1−イル)−4,6−ビス−ハロメチル−s−トリアジン化合物及び4−(p−アミノフェニル)−2,6−ジ−ハロメチル−s−トリアジン化合物、等が挙げられる。
その他市販品として、みどり化学社製のTAZシリーズ(例えば、TAZ−107、TAZ−110、TAZ−104、TAZ−109、TAZ−140、TAZ−204、TAZ−113、TAZ−123など)等が挙げられる。
Examples of the halomethyl-s-triazine compound include a vinyl-halomethyl-s-triazine compound described in JP-B-59-1281 and 2- (naphth-1-yl) described in JP-A-53-133428. Examples include -4,6-bis-halomethyl-s-triazine compound and 4- (p-aminophenyl) -2,6-di-halomethyl-s-triazine compound.
Other commercially available products include TAZ series (for example, TAZ-107, TAZ-110, TAZ-104, TAZ-109, TAZ-140, TAZ-204, TAZ-113, TAZ-123, etc.) manufactured by Midori Chemical. Can be mentioned.

オキシム系化合物としては、特に限定はなく、例えば、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン、1−(4−メチルスルファニル−フェニル)−ブタン−1,2−ブタン 2−オキシム−O−アセタート、1−(4−メチルスルファニル−フェニル)−ブタン−1−オンオキシム−O−アセタート、ヒドロキシイミノ−(4−メチルスルファニル−フェニル)−酢酸エチルエステル−O−アセタート、ヒドロキシイミノ−(4−メチルスルファニル−フェニル)−酢酸エチルエステル−O−ベンゾアート、等が挙げられる。   The oxime compound is not particularly limited, and examples thereof include 2- (O-benzoyloxime) -1- [4- (phenylthio) phenyl] -1,2-octanedione, 1- (4-methylsulfanyl-phenyl). -Butane-1,2-butane 2-oxime-O-acetate, 1- (4-methylsulfanyl-phenyl) -butan-1-one oxime-O-acetate, hydroxyimino- (4-methylsulfanyl-phenyl) -acetic acid Examples include ethyl ester-O-acetate, hydroxyimino- (4-methylsulfanyl-phenyl) -acetic acid ethyl ester-O-benzoate, and the like.

α−アミノケトン系化合物としては、チバガイギー社製のイルガキュアシリーズ(例えば、イルガキュア907、イルガキュア369など)、2−メチル−1−フェニル−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−メチル−1−[4−(ヘキシル)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−エチル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、等が挙げられる。   Examples of the α-aminoketone compounds include Irgacure series (for example, Irgacure 907 and Irgacure 369) manufactured by Ciba Geigy, 2-methyl-1-phenyl-2-morpholinopropan-1-one, 2-methyl-1- [4- (Hexyl) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-ethyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, and the like.

これら光重合開始剤には増感剤や光安定剤を併用することができる。
その具体的な例として、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイン、9−フルオレノン、2−クロロ−9−フルオレノン、2−メチル−9−フルオレノン、9−アントロン、2−ブロモ−9−アントロン、2−エチル−9−アントロン、9,10−アントラキノン、2−エチル−9,10−アントラキノン、2−t−ブチル−9,10−アントラキノン、2,6−ジクロロ−9,10−アントラキノン、キサントン、2−メチルキサントン、2−メトキシキサントン、2−メトキシキサントン、チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、アクリドン、10−ブチル−2−クロロアクリドン、ベンジル、ジベンザルアセトン、p−(ジメチルアミノ)フェニルスチリルケトン、p−(ジメチルアミノ)フェニル−p−メチルスチリルケトン、ベンゾフェノン、p−(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(又はミヒラーケトン)、p−(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ベンゾアントロン等や、特公昭51−48516号公報に記載のベンゾチアゾール系化合物等、チヌビン1130、同400等が挙げられる。
These photopolymerization initiators can be used in combination with a sensitizer and a light stabilizer.
Specific examples thereof include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin, 9-fluorenone, 2-chloro-9-fluorenone, 2-methyl-9-fluorenone, 9-anthrone, 2-bromo-9-anthrone, 2-ethyl. -9-anthrone, 9,10-anthraquinone, 2-ethyl-9,10-anthraquinone, 2-t-butyl-9,10-anthraquinone, 2,6-dichloro-9,10-anthraquinone, xanthone, 2-methyl Xanthone, 2-methoxyxanthone, 2-methoxyxanthone, thioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, acridone, 10-butyl-2-chloroacridone, benzyl, dibenzalacetone, p- (dimethylamino) phenylstyryl ketone, p- (Dimethylamino) phenyl-p-methyl Tinuvin 1130 and 400 Etc.

上記光重合開始剤以外に更に、以下に示す他の公知の光重合開始剤を使用することもできる。具体的には、米国特許第2,367,660号明細書に記載のビシナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第2,367,661号及び第2,367,670号明細書に記載のα−カルボニル化合物、米国特許第2,448,828号明細書に記載のアシロインエーテル、米国特許第2,722,512号明細書に記載のα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第3,046,127号及び第2,951,758号明細書に記載の多核キノン化合物、米国特許第3,549,367号明細書に記載のトリアリルイミダゾールダイマー/p−アミノフェニルケトンの組合せ、特公昭51−48516号公報に記載のベンゾチアゾール系化合物/トリハロメチル−s−トリアジン系化合物、等を挙げることができる。
更には、ハロメチルオキサジアゾール等の活性ハロゲン化合物、ハロメチル−s−トリアジン化合物から選択される少なくとも一つの活性ハロゲン化合物、3−アリール置換クマリン化合物、ロフィン2量体、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物及びその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体及びその塩、オキシム系化合物、等が挙げられる。
In addition to the above photopolymerization initiator, other known photopolymerization initiators shown below can also be used. Specifically, the vicinal polykettle aldonyl compound described in US Pat. No. 2,367,660, the α described in US Pat. Nos. 2,367,661 and 2,367,670 Carbonyl compounds, acyloin ethers described in US Pat. No. 2,448,828, aromatic acyloin compounds substituted with α-hydrocarbons described in US Pat. No. 2,722,512, US Polynuclear quinone compounds described in Japanese Patent Nos. 3,046,127 and 2,951,758, triallylimidazole dimer / p-aminophenyl ketone described in US Pat. No. 3,549,367. Examples thereof include benzothiazole compounds / trihalomethyl-s-triazine compounds described in JP-B 51-48516.
Furthermore, at least one active halogen compound selected from active halogen compounds such as halomethyloxadiazole, halomethyl-s-triazine compounds, 3-aryl-substituted coumarin compounds, lophine dimers, benzophenone compounds, acetophenone compounds, and the like Derivatives, cyclopentadiene-benzene-iron complexes and salts thereof, oxime compounds, and the like.

前記ハロメチルオキサジアゾール等の活性ハロゲン化合物の例としては、特公昭57−6096号公報に記載の2−ハロメチル−5−ビニル−1,3,4−オキサジアゾール化合物等や、2−トリクロロメチル−5−スチリル−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(p−シアノスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(p−メトキシスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール等が挙げられる。   Examples of the active halogen compounds such as halomethyloxadiazole include 2-halomethyl-5-vinyl-1,3,4-oxadiazole compounds described in JP-B-57-6096, 2-trichloro Methyl-5-styryl-1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (p-cyanostyryl) -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (p- Methoxystyryl) -1,3,4-oxadiazole and the like.

また、PANCHIM社製のTシリーズ(例えば、T−OMS、T−BMP、T−R、T−Bなど)、チバガイギー社製のイルガキュアシリーズ(例えば、イルガキュア651、イルガキュア184、イルガキュア500、イルガキュア1000、イルガキュア149、イルガキュア819、イルガキュア261など)、ダロキュアシリーズ(例えばダロキュア1173など)等も有効である。その他、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)−ベンゾフェノン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−4−モルホリノブチロフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2−(o−クロルフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−ジメトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(2,4−ジメトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−メチルメルカプトフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、ベンゾインイソプロピルエーテル等も有用に用いられる。   Moreover, T series (for example, T-OMS, T-BMP, TR, TB, etc.) manufactured by PANCHIM, Irgacure series (for example, Irgacure 651, Irgacure 184, Irgacure 500, Irgacure 1000, etc.) manufactured by Ciba Geigy. , Irgacure 149, Irgacure 819, Irgacure 261, etc.), Darocur series (eg Darocur 1173, etc.), etc. are also effective. In addition, 4,4′-bis (diethylamino) -benzophenone, 2- (O-benzoyloxime) -1- [4- (phenylthio) phenyl] -1,2-octanedione, 2-benzyl-2-dimethylamino- 4-morpholinobutyrophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (o-fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl Dimer, 2- (o-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (p-dimethoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (2,4-dimethoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole Le dimer, 2-(p-methyl) -4,5-diphenyl imidazolyl dimer, benzoin isopropyl ether are used also useful.

本発明においては、紫外線波長領域に最大吸収を有する光重合開始剤を併用するこもできる。
この場合は特に、ポストキュア時における照射を紫外線領域の波長光を用いて好適に行なうことができる。紫外領域の波長光を用いたときには、短時間にポストキュアを完了することが可能であり、その後に更にポストベークを行なった場合でも、画素において生じやすい熱ダレやすそ引きによる変形を効果的に防止することができ、矩形で断面パターンプロファイルの良好な画素を得ることができる。
In the present invention, a photopolymerization initiator having maximum absorption in the ultraviolet wavelength region can be used in combination.
In this case, in particular, irradiation during post-curing can be suitably performed using light in the ultraviolet region. When using light in the ultraviolet region, post-cure can be completed in a short time. Thus, a rectangular pixel having a good cross-sectional pattern profile can be obtained.

具体的な例として、300nm以下の紫外域に極大吸収波長を有する光重合開始剤の少なくとも一種と、300nmを超える波長域(例えば310〜420nm)に極大吸収波長を有する光重合開始剤の少なくとも一種とを含む、二種以上の光重合開始剤を用いて好適に構成することができる。この場合には、単に二種以上の光重合開始剤を含むのではなく、極大吸収波長が300nmを超える光重合開始剤と共に極大吸収波長が300以下の光重合開始剤を含有して、パターン露光を300nmを超える(特に310〜420nm)波長光により、ポストキュアを300nm以下の短波長光により行なうようにすることができる。   As a specific example, at least one photopolymerization initiator having a maximum absorption wavelength in the ultraviolet region of 300 nm or less and at least one photopolymerization initiator having a maximum absorption wavelength in a wavelength region exceeding 300 nm (for example, 310 to 420 nm). Can be suitably configured using two or more kinds of photopolymerization initiators. In this case, it does not simply include two or more kinds of photopolymerization initiators, but contains a photopolymerization initiator having a maximum absorption wavelength of 300 nm or less together with a photopolymerization initiator having a maximum absorption wavelength of more than 300 nm, and pattern exposure. Can be post-cured with short-wavelength light of 300 nm or less using light having a wavelength exceeding 300 nm (particularly 310 to 420 nm).

上記のように構成する場合、300nmを超える波長域(例えば310〜420nm)に極大吸収波長を有する光重合開始剤は既述の光重合開始剤から選択することができる。また、300nm以下の紫外域に極大吸収波長を有する光重合開始剤としては、例えば、Epacure TZT(Fratelli Lambert社製)、Kayacure BTC,Kayacure ITX(日本化薬社製)等のカルボニル化合物、Vicure 55(Stauffer AKZO社製)等のジカルボニル化合物、Esacure KIP100F,Esacure KT37(Siebel Hegner社製)、FIRST DEAP(FIRST CHEMICAL社製)等のアセトフェノン化合物、BENZOIN B,BENZOIN PS−8A(和光純薬社製)等のベンゾインエーテル化合物、Kayacure EPA,Kayacure DMBI(日本化薬社製)等のアミノカルボニル化合物、Triazine A,Triazine PP,Triazine B(Panchim社製)等のハロゲン化物などを挙げることができる。   When configured as described above, a photopolymerization initiator having a maximum absorption wavelength in a wavelength region exceeding 300 nm (for example, 310 to 420 nm) can be selected from the photopolymerization initiators described above. Examples of the photopolymerization initiator having a maximum absorption wavelength in the ultraviolet region of 300 nm or less include carbonyl compounds such as Epacure TZT (manufactured by Fratelli Lambert), Kayacure BTC, Kayacure ITX (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), and Vice 55 Dicarbonyl compounds such as Stauffer AKZO, Esacure KIP100F, Esacure KT37 (made by Siebel Hegner), acetophenone compounds such as FIRST DEAP (made by FIRST CHEMICAL), and Benzoin B, Benzoin PS-8 made by Sumitomo PS-8A ) And other aminocarbonyl compounds such as Kayacure EPA, Kayacure DMBI (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), Tri zine A, Triazine PP, etc. halides such Triazine B (Panchim Ltd.) can be exemplified.

前記光硬化性組成物中における光重合開始剤の含有量は、前記重合性モノマー及び分子中に重合性二重結合を有する場合のアルカリ可溶性樹脂の総固形分に対して、0.01〜50質量%が好ましく、1〜30質量%がより好ましく、1〜20質量%が特に好ましい。該含有量が、0.01質量%未満であると重合反応が進み難くなることがあり、50質量%を超えると重合率は大きくなるが分子量が低くなり、膜強度が弱くなることがある。   Content of the photoinitiator in the said photocurable composition is 0.01-50 with respect to the total solid of alkali-soluble resin in the case of having a polymerizable double bond in the said polymerizable monomer and molecule | numerator. % By mass is preferable, 1 to 30% by mass is more preferable, and 1 to 20% by mass is particularly preferable. When the content is less than 0.01% by mass, the polymerization reaction may not proceed easily. When the content exceeds 50% by mass, the polymerization rate increases but the molecular weight decreases, and the film strength may decrease.

前記光硬化性組成物には、上記以外に、更に熱重合防止剤を加えておくことが好ましい。例えば、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用である。   In addition to the above, it is preferable to add a thermal polymerization inhibitor to the photocurable composition. For example, hydroquinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4'-thiobis (3-methyl-6-t-butylphenol), 2,2 ' -Methylenebis (4-methyl-6-tert-butylphenol), 2-mercaptobenzimidazole, etc. are useful.

−溶剤−
前記光硬化性組成物は、一般には必要に応じ更に溶剤を用いて構成することができる。溶剤は、既述の各種成分の溶解性や、組成物としたときの塗布性を満足するものであれば限定されないが、特に、アルカリ可溶性樹脂の溶解性、塗布性、安全性を考慮して選択されることが好ましい。
-Solvent-
In general, the photocurable composition can be constituted using a solvent as required. The solvent is not limited as long as it satisfies the solubility of the various components described above and the applicability of the composition, but in particular, considering the solubility, applicability, and safety of the alkali-soluble resin. Preferably it is selected.

前記溶剤の例としては、エステル類、例えば、酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、等;   Examples of the solvent include esters such as ethyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, amyl formate, isoamyl acetate, isobutyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate, alkyl esters, Methyl lactate, ethyl lactate, methyl oxyacetate, ethyl oxyacetate, butyl oxyacetate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, etc .;

3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチル等の3−オキシプロピオン酸アルキルエステル類、例えば、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、等;また、2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピル等の2−オキシプロピオン酸アルキルエステル類、例えば、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル、等; 3-oxypropionic acid alkyl esters such as methyl 3-oxypropionate and ethyl 3-oxypropionate, such as methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, 3-ethoxy Ethyl propionate, etc .; and 2-oxypropionic acid alkyl esters such as methyl 2-oxypropionate, ethyl 2-oxypropionate, propyl 2-oxypropionate, such as methyl 2-methoxypropionate, 2- Ethyl methoxypropionate, propyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-oxy-2-methylpropionate, ethyl 2-oxy-2-methylpropionate, 2- Methoxy-2-methyl Methyl acid, 2-ethoxy-2-methylpropionic acid ethyl, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, methyl 2-oxobutanoate, ethyl 2-oxobutanoate, etc .;

エーテル類、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート、等; Ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, tetrahydrofuran, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol methyl ether, propylene glycol methyl Ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, propylene glycol propyl ether acetate, etc .;

ケトン類、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、等;或いは、芳香族炭化水素類、例えば、トルエン、キシレン、等;が挙げられる。 Ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone and the like; or aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene.

上記溶剤のうち、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、2−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート等がより好適である。   Among the above solvents, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl cellosolve acetate, ethyl lactate, diethylene glycol dimethyl ether, butyl acetate, methyl 3-methoxypropionate, 2-heptanone, cyclohexanone, ethyl carbitol acetate, Butyl carbitol acetate, propylene glycol methyl ether, propylene glycol methyl ether acetate and the like are more preferable.

−他の成分−
前記光硬化性組成物には、必要に応じて各種添加物、例えば充填剤、上記以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を加えることかできる。
-Other ingredients-
Various additives such as fillers, polymer compounds other than the above, surfactants, adhesion promoters, antioxidants, ultraviolet absorbers, anti-aggregation agents, etc. are added to the photocurable composition as necessary. I can do it.

これらの添加物の具体例としては、ガラス、アルミナ等の充填剤;ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレート等の結着樹脂以外の高分子化合物;ノニオン系、カチオン系、アニオン系等の界面活性剤;ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;2,2−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤:2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤;およびポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤を挙げることができる。   Specific examples of these additives include fillers such as glass and alumina; polymer compounds other than binder resins such as polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ether, and polyfluoroalkyl acrylate; nonionic, cationic And anionic surfactants: vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2 -Aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ) Ethyltrimetoki Adhesion promoters such as silane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane; 2,2-thiobis (4-methyl- 6-t-butylphenol), 2,6-di-t-butylphenol and other antioxidants: 2- (3-t-butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole, alkoxybenzophenone, etc. And an anti-aggregation agent such as sodium polyacrylate.

また、未硬化部のアルカリ溶解性を促進し、光硬化性組成物における現像性の更なる向上を図る場合には、光硬化性組成物に更に、有機カルボン酸、好ましくは分子量1000以下の低分子量有機カルボン酸を添加することができる。具体的な例として、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸などの脂肪族モノカルボン酸;シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸などの脂肪族ジカルボン酸;トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸などの脂肪族トリカルボン酸;安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸などの芳香族モノカルボン酸;フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸などの芳香族ポリカルボン酸;フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸などのその他のカルボン酸が挙げられる。   Further, when the alkali solubility of the uncured part is promoted to further improve the developability of the photocurable composition, the photocurable composition is further reduced to an organic carboxylic acid, preferably a molecular weight of 1000 or less. Molecular weight organic carboxylic acids can be added. Specific examples include aliphatic monocarboxylic acids such as formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, pivalic acid, caproic acid, diethyl acetic acid, enanthic acid, caprylic acid; oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutar Aliphatic dicarboxylic acids such as acids, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, brassic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, dimethylmalonic acid, methylsuccinic acid, tetramethylsuccinic acid, citraconic acid; Aliphatic tricarboxylic acids such as carbaryl acid, aconitic acid, and camphoronic acid; aromatic monocarboxylic acids such as benzoic acid, toluic acid, cumic acid, hemelic acid, and mesitylene acid; phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, trimellitic acid, trimesin Aromatic polycarboxylic acids such as acids, merophanic acid, pyromellitic acid; Other carboxylic acids such as acetic acid, hydroatropic acid, hydrocinnamic acid, mandelic acid, phenylsuccinic acid, atropaic acid, cinnamic acid, methyl cinnamate, benzyl cinnamate, cinnamylidene acetic acid, coumaric acid, and umberic acid It is done.

《その他の樹脂》
本発明のシアン色カラーフィルタが含有することが好ましい樹脂としては、前記顔料分散型ネガ型フォトリソ法により形成される光硬化性樹脂以外に、該シアン色カラーフィルタを他の方法で作製するとき、該方法に適した樹脂を示すことはもちろんである。
《Other resins》
As the resin preferably contained in the cyan color filter of the present invention, in addition to the photocurable resin formed by the pigment dispersion type negative photolithographic method, when the cyan color filter is produced by another method, Of course, a resin suitable for the method is shown.

本発明のシアン色カラーフィルタ中の樹脂含有量(質量)としては、全固形分質量に対して、20〜90質量%が挙げられるが、中でも、30〜80質量%が好ましく、30〜70質量%が更に好ましい。   As resin content (mass) in the cyan color filter of this invention, 20-90 mass% is mentioned with respect to the total solid content mass, However, 30-80 mass% is preferable among these, 30-70 mass is preferable. % Is more preferable.

本発明のシアン色カラーフィルタの膜厚は、特に限定されることがないが、0.3〜3.0μmが好ましく、さらに0.3〜1.5μmが好ましい。   The thickness of the cyan color filter of the present invention is not particularly limited, but is preferably 0.3 to 3.0 μm, and more preferably 0.3 to 1.5 μm.

本発明のシアン色カラーフィルタの分光特性としては、400nm分光透過率が45%以上であり、450〜550nmに最大透過率を有し、その分光透過率が90%以上であり、600〜650nmの分光透過率が20%以下であり、かつ550nm分光透過率が50%以上であることが好ましい。
更に好ましくは、400nm分光透過率が60%以上であり、450〜550nmに最大透過率を有し、その分光透過率が92%以上であり、600〜650nmの分光透過率が20%以下であり、かつ550nm分光透過率が60%以上であることが好ましい。
該分光特性(分光透過率)は、大塚電子(株)製、MCPD−2000を用いて測定した値とした。
As the spectral characteristics of the cyan color filter of the present invention, the 400 nm spectral transmittance is 45% or more, the maximum transmittance is 450 to 550 nm, the spectral transmittance is 90% or more, and 600 to 650 nm. It is preferable that the spectral transmittance is 20% or less and the 550 nm spectral transmittance is 50% or more.
More preferably, the spectral transmittance of 400 nm is 60% or more, the maximum transmittance is 450 to 550 nm, the spectral transmittance is 92% or more, and the spectral transmittance of 600 to 650 nm is 20% or less. In addition, the spectral transmittance at 550 nm is preferably 60% or more.
The spectral characteristic (spectral transmittance) was a value measured using MCPD-2000 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.

本発明のシアン色カラーフィルタの耐光性は、キセノンランプを光源とするスガ試験機(株)製、SX75Fで照度10万ルクス、50時間照射して行なった。大塚電子(株)製、MCPD−2000により、該照射前後の色差(ΔE*ab)を測定して評価指標とした。 The light fastness of the cyan color filter of the present invention was performed by irradiating with an illuminance of 100,000 lux for 50 hours with SX75F manufactured by Suga Test Instruments Co., Ltd. using a xenon lamp as a light source. Using MCPD-2000 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd., the color difference (ΔE * ab) before and after the irradiation was measured and used as an evaluation index.

本発明のシアン色カラーフィルタの耐熱性は、220℃1時間ホットプレート上で加熱した。大塚電子(株)製、MCPD−2000により、加熱前後の色差(ΔE*ab)を測定した時の色差をその評価指標とした。 The cyan color filter of the present invention was heated on a hot plate at 220 ° C. for 1 hour. The color difference when the color difference (ΔE * ab) before and after heating was measured by MCPD-2000 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd. was used as the evaluation index.

[シアン色カラーフィルタの製造方法]
本発明のシアン色カラーフィルタの製造方法ついて、以下に顔料分散型ネガ型フォトリソ法による方法を例に説明するが、これに限定されるものではない。
前記シアン顔料を含有する光硬化性組成物を基板上に直接又は他の層を介して塗布し、その後乾燥(プリベーク)して塗布膜を形成する。
次に、形成された塗布膜上に特定のパターンを露光し、露光された塗布膜をアルカリ現像液で現像処理する。
現像処理された塗布膜にポストベーク処理を行うことにより、シアン色カラーフィルタを形成することができる。
[Cyan color filter manufacturing method]
The method for producing a cyan color filter of the present invention will be described below with reference to a method using a pigment dispersion type negative photolithographic method, but is not limited thereto.
The photocurable composition containing the cyan pigment is applied directly on the substrate or through another layer, and then dried (prebaked) to form a coating film.
Next, a specific pattern is exposed on the formed coating film, and the exposed coating film is developed with an alkali developer.
A cyan color filter can be formed by subjecting the developed coating film to post-baking.

更に、詳細には、前記塗膜形成は、前記シアン顔料を含有する前記光硬化性組成物を基板上に回転塗布、流延塗布、ロール塗布、スリット塗布等の塗布方法を用いて塗布し、更に乾燥して感放射線性組成物膜(塗布膜)を形成する。塗布は、基板の上に直接、あるいは他の層を介して行なうことができる。   More specifically, the coating film formation is performed by applying the photocurable composition containing the cyan pigment on a substrate by using a coating method such as spin coating, casting coating, roll coating, slit coating, and the like. Further drying is performed to form a radiation-sensitive composition film (coating film). The application can be performed directly on the substrate or through another layer.

前記基板としては、撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等や、CCD(電荷結合素子)、相補性金属酸化膜半導体(CMOS)等や、例えば液晶表示素子等に用いられるソーダガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、石英ガラスおよびこれらに透明導電膜を付着させたもの等が挙げられる。これらの基板は、各画素を隔離するブラックマトリックスが形成されている場合もある。
また、これらの基板上に必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止あるいは基板表面の平坦化の為に、下塗り層を設けてもよい。
Examples of the substrate include a photoelectric conversion element substrate used for an imaging element, such as a silicon substrate, a CCD (charge coupled device), a complementary metal oxide semiconductor (CMOS), and a soda used for a liquid crystal display element. Examples thereof include glass, Pyrex (registered trademark) glass, quartz glass, and those obtained by attaching a transparent conductive film thereto. In some cases, a black matrix for isolating each pixel is formed on these substrates.
If necessary, an undercoat layer may be provided on these substrates in order to improve adhesion with the upper layer, prevent diffusion of substances, or planarize the substrate surface.

前記露光工程は、前記形成された塗布膜に、例えばマスク等を介して特定のパターンを露光する。露光の際に使用される放射線としては、特にg線、h線、i線等の紫外線が好ましく用いられる。   In the exposure step, a specific pattern is exposed to the formed coating film through a mask, for example. As radiation used for exposure, ultraviolet rays such as g-line, h-line and i-line are particularly preferably used.

前記現像工程は、露光された塗布膜をアルカリ現像液で現像処理する工程である。前記アルカリ現像液としては、本発明に係る光硬化性組成物を溶解、かつ、露光部(放射線照射部)を溶解しないものであればいかなるものも用いることができる。具体的には、種々の有機溶剤及びその組合せやアルカリ性の水溶液を用いることができる。   The developing step is a step of developing the exposed coating film with an alkaline developer. Any alkali developer may be used as long as it dissolves the photocurable composition according to the present invention and does not dissolve the exposed portion (radiation irradiated portion). Specifically, various organic solvents and combinations thereof, or alkaline aqueous solutions can be used.

前記有機溶剤としては、本発明に係る光硬化性組成物を調製する際に使用可能な後述の溶剤が挙げられる。また、前記アルカリ性の水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム,硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ−〔5.4.0〕−7−ウンデセン等を含む水溶液が挙げられる。   Examples of the organic solvent include those described below that can be used when preparing the photocurable composition according to the present invention. Examples of the alkaline aqueous solution include sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium oxalate, sodium metasuccinate, aqueous ammonia, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium. An aqueous solution containing hydroxide, choline, pyrrole, piperidine, 1,8-diazabicyclo- [5.4.0] -7-undecene, and the like can be given.

本発明に用いられるアルカリ現像液は、アルカリ濃度が好ましくはpH11〜13、さらに好ましくはpH11.5〜12.5となるように調整されたアルカリ性水溶液が好ましい。前記アルカリ濃度が、pH13を超えるとパターンの荒れや剥離、残膜率の低下が生じることがあり、pHが11未満であると現像速度が遅くなったり、残渣の発生がみられることがある。本工程では、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を用いて現像処理を好適に行なうことができる。現像方法には、例えばディップ法、スプレー法、パドル法等があり、現像温度は15〜40℃とすることが好ましい。また、現像後は一般に流水にて洗浄を行なう。   The alkaline developer used in the present invention is preferably an alkaline aqueous solution adjusted so that the alkali concentration is preferably pH 11 to 13, more preferably pH 11.5 to 12.5. If the alkali concentration exceeds pH 13, pattern roughness, peeling, and remaining film ratio may occur, and if the pH is less than 11, development speed may be reduced or residue may be generated. In this step, development processing can be suitably performed using a developer composed of such an alkaline aqueous solution. Examples of the development method include a dipping method, a spray method, a paddle method, and the like, and the development temperature is preferably 15 to 40 ° C. Further, after development, washing is generally performed with running water.

また、前記ポストベークは、例えば、ホットプレートなどを使って行う。その際の処理温度は、150〜300℃が好ましく、180〜250℃がさらに好ましい。また、加熱時間としては通常2〜10分である。   Further, the post-baking is performed using, for example, a hot plate. 150-300 degreeC is preferable and the processing temperature in that case has more preferable 180-250 degreeC. The heating time is usually 2 to 10 minutes.

本発明のシアン色カラーフィルタは、LCD用のカラーフィルタとして用いることができるが、特に、高解像度のCCD素子、CMOS素子等に用いることが好適である。   The cyan color filter of the present invention can be used as a color filter for LCD, but is particularly suitable for use in a high-resolution CCD element, CMOS element, or the like.

<固体撮像素子>
本発明の固体撮像素子は、受光素子とその上に形成されたシアン、マゼンタ、及びイエローの3色相、あるいは、さらにグリーンの4色相からなるカラーフィルタを有する固体撮像素子であって、該カラーフィルタが請求項1又は2に記載のシアン色カラーフィルタで、マゼンタの顔料がC.I.ピグメントレッド122を含むマゼンタ色カラーフィルタで、イエローの顔料がC.I.ピグメントイエロー185を含むイエロー色カラーフィルタであることを特徴とする。
また、本発明の固体撮像素子は、受光素子とその上に形成されたシアン、マゼンタ、及びイエローの3色相、あるいは、さらにグリーンの4色相からなるカラーフィルタを有する固体撮像素子であって、該シアン色の顔料がアルミニウムフタロシアニンとC.I.ピグメントブルー15:3を含み、マゼンタ色の顔料がC.I.ピグメントレッド122を含み、イエロー色カラーフィルタの顔料がC.I.ピグメントイエロー185を含むことを特徴とする。
また、更に、本発明の固体撮像素子は、受光素子とその上に形成されたシアン、マゼンタ、及びイエローの3色相、あるいは、さらにグリーンの4色相からなるカラーフィルタを有する固体撮像素子であって、該シアンの顔料がアルミニウムフタロシアニンとC.I.Pigment Blue15:6を含み、マゼンタの顔料がC.I.ピグメントレッド122を含み、イエローの顔料がC.I.ピグメントイエロー185を含むことを特徴とする。
本発明の固体撮像素子は、前記特定の顔料を含有するカラーフィルタを用いた素子とすることにより、本発明の効果である良好な色再現性を達成することができる。
<Solid-state imaging device>
The solid-state imaging device of the present invention is a solid-state imaging device having a light-receiving element and a color filter formed thereon with three hues of cyan, magenta, and yellow, or further four hues of green. Is a cyan color filter according to claim 1 or 2, wherein the magenta pigment is C.I. I. This is a magenta color filter including CI Pigment Red 122, and the yellow pigment is C.I. I. It is a yellow color filter including Pigment Yellow 185.
Further, the solid-state imaging device of the present invention is a solid-state imaging device having a light-receiving element and a color filter formed thereon with three hues of cyan, magenta and yellow, or further four hues of green, The cyan pigment is aluminum phthalocyanine and C.I. I. Pigment Blue 15: 3, and a magenta pigment is C.I. I. Pigment Red 122, and a yellow color filter pigment is C.I. I. Pigment Yellow 185 is included.
Furthermore, the solid-state imaging device of the present invention is a solid-state imaging device having a light-receiving element and a color filter formed thereon with three hues of cyan, magenta and yellow, or further four hues of green. The cyan pigment is aluminum phthalocyanine and C.I. I. Pigment Blue 15: 6, and the magenta pigment is C.I. I. Pigment Red 122, and the yellow pigment is C.I. I. Pigment Yellow 185 is included.
The solid-state imaging device of the present invention can achieve good color reproducibility, which is an effect of the present invention, by using an element using a color filter containing the specific pigment.

[カラーフィルタ]
本発明の固体撮像素子は、3色(シアン、マゼンタ、及びイエロー)又は4色(シアン、マゼンタ、イエロー、及びグリーン)の色相を有するカラーフィルタをその構成に含むものである。
前記シアン色カラーフィルタ以外のマゼンタ、イエロー、及びグリーン色の3色又は4色の色相を有するカラーフィルタは、前記シアン色カラーフィルタを作製する方法を用いることができ、例えば、前記シアン色カラーフィルタ用の光硬化性組成物のシアン色顔料の代わりにその他の色に対応する顔料を用いることにより、それぞれ対応する3色又は4色からなるカラーフィルタを得ることができる。
[Color filter]
The solid-state imaging device of the present invention includes a color filter having hues of three colors (cyan, magenta, and yellow) or four colors (cyan, magenta, yellow, and green) in its configuration.
For a color filter having a hue of magenta, yellow, and green other than the cyan color filter, a method for producing the cyan color filter can be used. For example, the cyan color filter By using pigments corresponding to other colors in place of the cyan pigment of the photocurable composition for use, color filters composed of corresponding three colors or four colors can be obtained.

前記固体撮像素子の作製に用いられるシアン色カラーフィルタと含有される顔料等の構成成分等は、前述のシアン色カラーフィルタの項に記載されたシアン色カラーフィルタと、また、該フィルタに含有される顔料等の構成成分及び好ましい範囲と同様である。   Constituent components such as a cyan color filter and a pigment contained in the solid-state imaging device are included in the cyan color filter described in the above-mentioned cyan color filter, and the filter. This is the same as the constituent components and preferred ranges of pigments and the like.

以下、本発明の固体撮像素子における前記カラーフィルタ、及びシアン色を含めた3色(シアン、マゼンタ、イエロー)又は、更にグリーンを含めた4色の色相を有するカラーフィルタにおいて用いられるシアン色以外の顔料について説明する。   Hereinafter, other than the cyan color used in the color filter in the solid-state imaging device of the present invention and a color filter having three colors (cyan, magenta, yellow) including cyan or four colors including green. The pigment will be described.

−イエローカラーフィルタ−
本発明の固体撮像素子に用いるイエロー色カラーフィルタは、イエロー顔料として少なくともC.I.ピグメントイエロー185を含有する。
更に、本発明の目的を阻害しない範囲で、従来公知の無機または有機の黄色系顔料から適宜選択することができ、例えば、ジスアゾ系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、アゾメチン系黄色顔料、イソインドリン系黄色顔料等が挙げられる。具体的には、C.I.ピグメントイエロー11,24,31,53,83,93,99,108,109,110,138,139,147,150,151,154,155,167,180,199などが好適に挙げられる。
これらイエロー顔料は、一種のみならず二種以上を併用してもよい。
該イエロー色カラーフィルタ用の顔料の含有量(質量%)としては、イエロ色カラーフィルタ中、10質量%〜80質量%が好ましく、中でも、20質量%〜70質量%が更に好ましく、特に30質量%〜60質量%が好ましい。
該イエロー顔料の平均粒径としては、カラーフィルタの透過率の観点から、0.01μm〜0.2μmであることが好ましく、0.01μm〜0.1μmであることが更に好ましく、0.01μm〜0.05μmであることが特に好ましい。
-Yellow color filter-
The yellow color filter used in the solid-state imaging device of the present invention has at least C.I. I. Contains CI Pigment Yellow 185.
Furthermore, it can be appropriately selected from conventionally known inorganic or organic yellow pigments as long as the object of the present invention is not impaired. For example, disazo yellow pigments, quinophthalone yellow pigments, azomethine yellow pigments, isoindoline pigments A yellow pigment etc. are mentioned. Specifically, C.I. I. Pigment Yellow 11, 24, 31, 53, 83, 93, 99, 108, 109, 110, 138, 139, 147, 150, 151, 154, 155, 167, 180, 199 and the like are preferable.
These yellow pigments may be used alone or in combination of two or more.
The content (% by mass) of the pigment for the yellow color filter is preferably 10% by mass to 80% by mass in the yellow color filter, more preferably 20% by mass to 70% by mass, and particularly preferably 30% by mass. % To 60% by mass is preferable.
The average particle diameter of the yellow pigment is preferably 0.01 μm to 0.2 μm, more preferably 0.01 μm to 0.1 μm, and more preferably 0.01 μm to 0.1 μm from the viewpoint of the transmittance of the color filter. A thickness of 0.05 μm is particularly preferable.

該イエロー色カラーフィルタの膜厚は、特に限定されることがないが、0.3〜3.0μmであることが好ましく、さらに0.3〜1.5μmであることが好ましく、特に0.3〜1.0μmが好ましい。   The film thickness of the yellow color filter is not particularly limited, but is preferably 0.3 to 3.0 μm, more preferably 0.3 to 1.5 μm, particularly 0.3. -1.0 micrometer is preferable.

該イエロー色カラーフィルタの分光特性(透過率)としては、波長が400〜470nmの範囲では20%以下、510〜700nmでは80%以上であることが好ましい。
該イエロー色カラーフィルタの耐光性は、キセノンランプ10万ルクスで50時間の照射でΔEabが3以下であることが好ましい。
該イエロー色カラーフィルタの耐熱性は、ホットプレート上220℃で1時間放置した後のΔEabが3以下であることが好ましい。
The spectral characteristics (transmittance) of the yellow color filter is preferably 20% or less in the wavelength range of 400 to 470 nm and 80% or more in the range of 510 to 700 nm.
The light resistance of the yellow color filter is preferably such that ΔEab is 3 or less after 50 hours of irradiation with a xenon lamp of 100,000 lux.
The heat resistance of the yellow color filter is preferably such that ΔEab after standing for 1 hour at 220 ° C. on a hot plate is 3 or less.

−マゼンタカラーフィルタ−
本発明の固体撮像素子に用いるマゼンタ色カラーフィルタは、マゼンタ顔料として少なくともC.I.ピグメントレッド122を含有する。
更に、本発明の目的を阻害しない範囲で、従来公知の無機または有機のマゼンタ顔料から適宜選択することができ、例えば、C.I.ピグメントレッド81、144、169、177などが好適に挙げられる。
これらマゼンタ顔料は、一種のみならず二種以上を併用してもよい。
-Magenta color filter-
The magenta color filter used in the solid-state imaging device of the present invention has at least C.I. as a magenta pigment. I. Pigment Red 122 is contained.
Furthermore, it can be appropriately selected from conventionally known inorganic or organic magenta pigments as long as the object of the present invention is not impaired. I. Pigment Red 81, 144, 169, 177 and the like are preferable.
These magenta pigments may be used alone or in combination of two or more.

該マゼンタ色カラーフィルタ用の顔料の含有量(質量%)としては、マゼンタ色カラーフィルタ中、10質量%〜80質量%が好ましく、中でも、20質量%〜70質量%が更に好ましく、特に30質量%〜60質量%が好ましい。
該マゼンタ顔料の平均粒径としては、カラーフィルタの透過率の観点から、0.01μm〜0.2μmであることが好ましく、0.01μm〜0.1μmであることが更に好ましく、0.01μm〜0.05μmであることが特に好ましい。
The content (% by mass) of the pigment for the magenta color filter is preferably 10% by mass to 80% by mass in the magenta color filter, more preferably 20% by mass to 70% by mass, and particularly preferably 30% by mass. % To 60% by mass is preferable.
The average particle diameter of the magenta pigment is preferably 0.01 μm to 0.2 μm, more preferably 0.01 μm to 0.1 μm, and more preferably 0.01 μm to 0.1 μm from the viewpoint of the transmittance of the color filter. A thickness of 0.05 μm is particularly preferable.

該マゼンタ色カラーフィルタの膜厚は、特に限定されることがないが、0.3〜3.0μmであることが好ましく、さらに0.3〜1.5μmであることが好ましく、特に0.3〜1.0μmが好ましい。   The film thickness of the magenta color filter is not particularly limited, but is preferably 0.3 to 3.0 μm, more preferably 0.3 to 1.5 μm, particularly 0.3. -1.0 micrometer is preferable.

該マゼンタ色カラーフィルタの分光特性(透過率)としては、波長が400〜460nmの範囲では60%以上、600〜700nmでは60%以上、540〜560nmでは20%以下であることが好ましい。
該マゼンタ色色カラーフィルタの耐光性は、キセノンランプ10万ルクスで50時間の照射でΔEabが3以下であることが好ましい。
本発明の固体撮像素子に用いるマゼンタ色カラーフィルタの耐熱性は、ホットプレート上220℃で1時間放置した後のΔEabが3以下であることが好ましい。
The spectral characteristics (transmittance) of the magenta color filter is preferably 60% or more when the wavelength is in the range of 400 to 460 nm, 60% or more when 600 to 700 nm, and 20% or less when 540 to 560 nm.
The light resistance of the magenta color filter is preferably such that ΔEab is 3 or less after 50 hours of irradiation with a xenon lamp of 100,000 lux.
The heat resistance of the magenta color filter used in the solid-state imaging device of the present invention is preferably such that ΔEab after standing at 220 ° C. for 1 hour on a hot plate is 3 or less.

−グリーン色カラーフィルタ−
本発明の固体撮像素子に用いるグリーン色カラーフィルタは、グリーン顔料として、更に、本発明の目的を阻害しない範囲で、従来公知の無機または有機のグリーン顔料から適宜選択することができる。例えば、C.I.ピグメント グリーン7,36,37、亜鉛フタロシアニン、アルミニウムフタロシアニン、コバルトフタロシアニン、チタンフタロシアニン等の顔料と、C.I.ピグメント イエロー11,24,108,109,110,138,139,150,151,154,167,180,185の組み合せ等が挙げられる。
好ましくは、C.I.ピグメント グリーン7,36と、C.I.ピグメント イエロー139,150、185の組み合わせが挙げられる。固体撮像素子用グリーンとして特に好ましくは、C.I.ピグメント グリーン7,36の一種のみならず二種と、C.I.ピグメント イエロー139、185の一種のみならず二種との組み合わせが挙げられる。
−Green color filter−
The green color filter used in the solid-state imaging device of the present invention can be appropriately selected from conventionally known inorganic or organic green pigments as a green pigment, as long as the object of the present invention is not impaired. For example, C.I. I. Pigment Green 7, 36, 37, pigments such as zinc phthalocyanine, aluminum phthalocyanine, cobalt phthalocyanine, titanium phthalocyanine; I. Pigment Yellow 11, 24, 108, 109, 110, 138, 139, 150, 151, 154, 167, 180, 185, and the like.
Preferably, C.I. I. Pigment Green 7, 36 and C.I. I. And a combination of Pigment Yellow 139, 150, and 185. Particularly preferably, the green for a solid-state image sensor is C.I. I. Pigment Green 7, 36 as well as two types, C.I. I. Pigment Yellow 139 and 185, as well as combinations of two.

該グリーン色カラーフィルタ用の顔料の含有量(質量%)としては、グリーン色カラーフィルタ中、10質量%〜80質量%が好ましく、中でも、20質量%〜70質量%が更に好ましく、特に30質量%〜60質量%が好ましい。
該グリーン顔料の平均粒径としては、カラーフィルタの透過率の観点から、0.01μm〜0.2μmであることが好ましく、0.01μm〜0.1μmであることが更に好ましく、0.01μm〜0.05μmであることが特に好ましい。
The content (% by mass) of the pigment for the green color filter is preferably 10% by mass to 80% by mass in the green color filter, more preferably 20% by mass to 70% by mass, and particularly preferably 30% by mass. % To 60% by mass is preferable.
The average particle size of the green pigment is preferably 0.01 μm to 0.2 μm, more preferably 0.01 μm to 0.1 μm, and more preferably 0.01 μm to 0.1 μm from the viewpoint of the transmittance of the color filter. A thickness of 0.05 μm is particularly preferable.

該グリーン色カラーフィルタの膜厚は、特に限定されることがないが、0.3〜3.0μmであることが好ましく、さらに0.3〜1.5μmであることが好ましく、特に0.3〜1.0μmが好ましい。   The film thickness of the green color filter is not particularly limited, but is preferably 0.3 to 3.0 μm, more preferably 0.3 to 1.5 μm, particularly 0.3. -1.0 micrometer is preferable.

該グリーン色カラーフィルタの分光特性(透過率)としては、520〜560nmの範囲で極大ピークを有し、そのピーク値が80%以上であって、400〜450nmの範囲では30%以下、610〜650nmでは30%以下であることが好ましい。
該グリーン色カラーフィルタの耐光性は、キセノンランプ10万ルクスで50時間の照射でΔEabが3以下であることが好ましい。
該グリーン色カラーフィルタの耐熱性は、ホットプレート上220℃で1時間放置した後のΔEabが3以下であることが好ましい。
The spectral characteristic (transmittance) of the green color filter has a maximum peak in the range of 520 to 560 nm, the peak value is 80% or more, and is 30% or less in the range of 400 to 450 nm. In 650 nm, it is preferable that it is 30% or less.
The light resistance of the green color filter is preferably such that ΔEab is 3 or less after 50 hours of irradiation with a xenon lamp of 100,000 lux.
The heat resistance of the green color filter is preferably such that ΔEab after standing at 220 ° C. for 1 hour on a hot plate is 3 or less.

本発明の固体撮像素子に用いられる前記カラーフィルタは、前記シアン色カラーフィルタの製造方法において、該シアン顔料の代わりに、マゼンタ顔料、イエロー顔料、或いは更にグリーン顔料を含有する光硬化性組成物を用いて、前記シアン色カラーフィルタの製造方法と同様の操作により作製することができる。   The color filter used in the solid-state imaging device of the present invention is a photocurable composition containing a magenta pigment, a yellow pigment, or further a green pigment instead of the cyan pigment in the cyan color filter manufacturing method. And can be manufactured by the same operation as the manufacturing method of the cyan color filter.

[固体撮像素子の製造方法]
本発明の固体撮像素子の製造方法は、特に限定されず、公知の固体撮像素子の製造方法を用いることができる。以下に、本発明の固体撮像素子の一態様を例にその製造方法について詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
[Method for Manufacturing Solid-State Imaging Device]
The manufacturing method of the solid-state imaging device of the present invention is not particularly limited, and a known manufacturing method of a solid-state imaging device can be used. Hereinafter, the manufacturing method thereof will be described in detail by taking one mode of the solid-state imaging device of the present invention as an example, but the present invention is not limited to this.

2次元平面上に配列された受光素子(例えば、CCD:電荷結合素子)上に、前記シアン色カラーフィルタの製造方法の操作を行なって、該受光素子上にシアン画素を有するシアン色カラーフィルタを形成する。
次に、前記シアン画素の形成に用いた光硬化性組成物中の顔料をマゼンタ色顔料に代えた光硬化性組成物を用いた以外、シアン色カラーフィルタ形成操作と同様に行ない、シアン画素以外の非形成領域にマゼンタ画素(M画素)を形成する。
続いて、前記シアン画素の形成に用いた光硬化性組成物中の顔料をイエロー顔料に代えた光硬化性組成物を用いた以外、シアン色カラーフィルタ形成操作と同様に行ない、シアン画素、マゼンタ画素以外の非形成領域にイエロー画素(M画素)を形成してCCD固体撮像素子を作製する。
更に、同様に前記シアン画素の形成に用いた光硬化性組成物中の顔料を、グリーン顔料に代えた光硬化性組成物を用いて、シアン色カラーフィルタ形成操作と同様に行ない、シアン画素、マゼンタ画素及びイエロー画素以外の非形成領域にグリーン画素(G画素)を形成して、(CCD)固体撮像素子を作製することができる。
更に、CCD受光素子の代わりに、CMOS(相補型金属酸化膜半導体)の受光素子を用いることにより、同様の方法でCMOS固体撮像素子を製造することができる。
本発明の受光素子は、特に限定されることなく、公知の受光素子を用いることができる。
A cyan color filter having cyan pixels on the light receiving element is obtained by operating the cyan color filter manufacturing method on a light receiving element (for example, CCD: charge coupled device) arranged on a two-dimensional plane. Form.
Next, except for using a photocurable composition in which the pigment in the photocurable composition used for forming the cyan pixel is replaced with a magenta color pigment, the same procedure as in the cyan color filter forming operation is performed. A magenta pixel (M pixel) is formed in the non-formation region.
Subsequently, except for using a photocurable composition in which the pigment in the photocurable composition used for forming the cyan pixel was replaced with a yellow pigment, the same procedure as in the cyan color filter forming operation was performed. A yellow pixel (M pixel) is formed in a non-formation region other than the pixel to produce a CCD solid-state imaging device.
Further, similarly, the pigment in the photocurable composition used for forming the cyan pixel was replaced with a green pigment, and the cyan color filter formation operation was performed in the same manner as in the cyan color filter formation operation. A (CCD) solid-state imaging device can be manufactured by forming green pixels (G pixels) in non-formation regions other than magenta pixels and yellow pixels.
Further, by using a CMOS (complementary metal oxide semiconductor) light receiving element instead of the CCD light receiving element, a CMOS solid-state imaging device can be manufactured by the same method.
The light receiving element of the present invention is not particularly limited, and a known light receiving element can be used.

以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」は質量基準である。使用顔料総質量は、全て同量とした。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples unless it exceeds the gist thereof. Unless otherwise specified, “part” is based on mass. The total amount of pigment used was the same.

(実施例1)
<シアンカラーフィルタの形成>
1)光硬化性組成物Cの調製
下記組成Aの各成分をニーダーにて30分間混練した後、さらに二本ロールにて高粘度分散処理を行った。
〔組成A〕
・顔料(C.I.Pigment Green7とC.I.Pigment Blue15:3を1:1) 30部
・分散剤(ディスパー163、BYK社) 3部
・樹脂(ベンジル(メタ)アクリレート(BzMA)/メタアクリル酸(MAA)の共重合物)のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分50%) 20部
Example 1
<Cyan color filter formation>
1) Preparation of photocurable composition C Each component of the following composition A was kneaded with a kneader for 30 minutes, and further subjected to a high viscosity dispersion treatment with two rolls.
[Composition A]
Pigment (CI Pigment Green 7 and CI Pigment Blue 15: 3 1: 1) 30 parts Dispersant (Disper 163, BYK) 3 parts Resin (benzyl (meth) acrylate (BzMA) / meta 20 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate solution of acrylic acid (MAA) (solid content 50%)

上記により得られた分散物に、下記組成Bの各成分を添加し、ホモジナイザーを用いて3時間攪拌し、さらに0.3mmジルコニアビーズ分散機(商品名:ディスパーマット、GETZMZNN社製)にて4時間微分散処理を施した。
〔組成B〕
・樹脂(ベンジル(メタ)アクリレート(BzMA)/メタアクリル酸(MAA)の共重合物)のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(固形分50%)
20部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 200部
Each component of the following composition B was added to the dispersion obtained as described above, stirred for 3 hours using a homogenizer, and further added with a 0.3 mm zirconia bead disperser (trade name: Dispermat, manufactured by GETZMZNN). A fine dispersion treatment was performed.
[Composition B]
・ Propylene glycol monomethyl ether acetate solution of resin (copolymer of benzyl (meth) acrylate (BzMA) / methacrylic acid (MAA)) (solid content 50%)
20 parts ・ Propylene glycol monomethyl ether acetate 200 parts

上記により得られた分散液に下記組成Cの各成分を添加し、攪拌混合して、本発明における光硬化性組成物Cを調製した。
〔組成C〕
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 65部
・重合性モノマー(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート) 20部
(o−アシルオキシム系光重合開始剤;チバガイギー(株)製)
・UV重合開始剤(イルガキュアOXE01、チバ スペシャル ケミカルズ(株)) 3部
Each component of the following composition C was added to the dispersion liquid obtained by the above, and it stirred and mixed, and the photocurable composition C in this invention was prepared.
[Composition C]
Propylene glycol monomethyl ether acetate 65 parts Polymerizable monomer (dipentaerythritol hexaacrylate) 20 parts (o-acyloxime photopolymerization initiator; manufactured by Ciba Geigy Co., Ltd.)
・ UV polymerization initiator (Irgacure OXE01, Ciba Special Chemicals) 3 parts

2)下塗り層付石英ウエハー基板の作製
6inch石英ウエハー透明基板をオーブン中で200℃のもと30分以上加熱処理した。次いで、この基板上に下塗り用樹脂CT2000L(富士フイルムアーチ(株)製)を乾燥膜厚2μmになるように塗布し、更に220℃のオーブン中で1時間加熱乾燥させて下塗り層付石英ウエハー基板を得た。
2) Production of quartz wafer substrate with undercoat layer A 6-inch quartz wafer transparent substrate was heated in an oven at 200 ° C. for 30 minutes or more. Next, an undercoat resin CT2000L (manufactured by FUJIFILM Arch Co., Ltd.) is applied onto the substrate so as to have a dry film thickness of 2 μm, and further heated and dried in an oven at 220 ° C. for 1 hour to provide a quartz wafer substrate with an undercoat layer. Got.

3)塗布膜の露光・現像
前記1)で調製した光硬化性組成物Cを、前記2)で得られた下塗り層付石英ウエハー基板の下塗り層上に、600nm〜650nmの波長における、最大透過率が20%以下となるように塗布し、光硬化性の塗布膜を形成した。そして、100℃のホットプレートを用いて120秒間加熱処理(プリベーク)を行なった。
3) Exposure / development of coating film The photocurable composition C prepared in 1) above is transmitted at a maximum wavelength of 600 nm to 650 nm on the undercoat layer of the quartz wafer substrate with the undercoat layer obtained in 2) above. The coating was applied so that the rate was 20% or less to form a photocurable coating film. And it heat-processed for 120 second (prebaking) using the 100 degreeC hotplate.

続いて、形成された塗布膜に対し、i線ステッパ露光装置FPA−3000i5+(Canon(株)製)を使用して365nmの波長でシアン色用Islandパターンマスクを通して300mJ/cm2の露光量で照射した。その後、照射された塗布膜が形成されている石英ウエハー基板をスピン・シャワー現像機(DW−30型;(株)ケミトロニクス製)の水平回転テーブル上に載置し、CD−2000(富士フイルムアーチ(株)製)を60質量%の濃度になるように水で希釈した現像液を用いて23℃で60秒間パドル現像を行ない、次いで、回転数50rpmで回転させつつ、その回転中心の上方より純水を噴出したノズルからシャワー状に供給してリンス処理をして、その後、スプレー乾燥し、石英ウエハー基板上にシアンパターンを形成した。 Subsequently, the formed coating film is irradiated with an exposure amount of 300 mJ / cm 2 through a cyan color Island pattern mask at a wavelength of 365 nm using an i-line stepper exposure apparatus FPA-3000i5 + (manufactured by Canon Inc.). did. Thereafter, the quartz wafer substrate on which the irradiated coating film is formed is placed on a horizontal rotary table of a spin shower developing machine (DW-30 type; manufactured by Chemitronics), and CD-2000 (FUJIFILM Corporation). A paddle development is carried out at 23 ° C. for 60 seconds using a developer diluted with water to a concentration of 60% by mass, and then rotated at a rotational speed of 50 rpm, above the center of rotation. More pure water was ejected from a nozzle and supplied in the form of a shower for rinsing, followed by spray drying to form a cyan pattern on the quartz wafer substrate.

4)ポストベーク
乾燥後の石英ウエハー基板を、220℃に温度調節した前記ホットプレート上で更に5分間加熱することによってポストベークした。このようにして、シアン画素(C画素)を有するシアン色カラーフィルタを形成した。
4) Post-baking The quartz wafer substrate after drying was post-baked by further heating for 5 minutes on the hot plate adjusted to 220 ° C. In this way, a cyan color filter having cyan pixels (C pixels) was formed.

(実施例2)
実施例1において、C.I.Pigment Green7とC.I.Pigment Blue15:3とを1:1の重量比で用いる代わりに、C.I.Pigment Green7とC.I.Pigment Blue15:6とを1:1の重量比で用いた以外は、実施例1と同様にして、シアン色カラーフィルタを得た。
(Example 2)
In Example 1, C.I. I. Pigment Green 7 and C.I. I. Instead of using Pigment Blue 15: 3 in a 1: 1 weight ratio, C.I. I. Pigment Green 7 and C.I. I. A cyan color filter was obtained in the same manner as in Example 1 except that Pigment Blue 15: 6 was used at a weight ratio of 1: 1.

(実施例3)
実施例1において、C.I.Pigment Green7とC.I.Pigment Blue15:3とを1:1で用いる代わりに、C.I.Pigment Green36とC.I.Pigment Blue15:3とを1:1で用いた以外は、実施例1と同様にして、シアン色カラーフィルタを得た。
(Example 3)
In Example 1, C.I. I. Pigment Green 7 and C.I. I. Instead of using Pigment Blue 15: 3 at 1: 1, C.I. I. Pigment Green 36 and C.I. I. A cyan color filter was obtained in the same manner as in Example 1 except that Pigment Blue 15: 3 was used at 1: 1.

(実施例4)
実施例1において、C.I.Pigment Green7とC.I.Pigment Blue15:3とを1:1の重量比で用いる代わりに、C.I.Pigment Green36とC.I.Pigment Blue15:6とを1:1の重量比で用いた以外は、実施例1と同様にして、シアン色カラーフィルタを得た。
Example 4
In Example 1, C.I. I. Pigment Green 7 and C.I. I. Instead of using Pigment Blue 15: 3 in a 1: 1 weight ratio, C.I. I. Pigment Green 36 and C.I. I. A cyan color filter was obtained in the same manner as in Example 1 except that Pigment Blue 15: 6 was used at a weight ratio of 1: 1.

(比較例1)
実施例1において、実施例1の顔料分散法に代えて、低分子ゼラチンに染料を染め込む従来の染色法を用い、実施例1の顔料の代わりにプロシオンターコイスH・A(CIC製)を用いて行なった以外は、実施例1と同様に行なって、シアン色カラーフィルタを得た。
(Comparative Example 1)
In Example 1, instead of the pigment dispersion method of Example 1, a conventional dyeing method in which a dye is dyed into low molecular gelatin is used, and Procion Turquoise HA (made by CIC) is used instead of the pigment of Example 1. A cyan color filter was obtained in the same manner as in Example 1 except for the above.

(比較例2)
実施例1において、C.I.Pigment Green7とC.I.Pigment Blue15:3とを1:1で用いる代わりに、C.I.Pigment Green7を単独で用いた以外は、実施例1と同様にして、シアン色カラーフィルタを得た。
(Comparative Example 2)
In Example 1, C.I. I. Pigment Green 7 and C.I. I. Instead of using Pigment Blue 15: 3 at 1: 1, C.I. I. A cyan color filter was obtained in the same manner as in Example 1 except that Pigment Green 7 was used alone.

(比較例3)
実施例1において、C.I.Pigment Green7とC.I.Pigment Blue15:3とを1:1で用いる代わりに、C.I.Pigment Green36を単独で用いた以外は、実施例1と同様にして、シアン色カラーフィルタを得た。
(Comparative Example 3)
In Example 1, C.I. I. Pigment Green 7 and C.I. I. Instead of using Pigment Blue 15: 3 at 1: 1, C.I. I. A cyan color filter was obtained in the same manner as in Example 1 except that Pigment Green 36 was used alone.

(参考例1)
実施例1において、C.I.Pigment Green7とC.I.Pigment Blue15:3とを1:1で用いる代わりに、アルミニウムフタロシアニンとC.I.Pigment Blue15:3とを1:3で用いた以外は、実施例1と同様にして、シアン色カラーフィルタを得た。
(Reference Example 1)
In Example 1, C.I. I. Pigment Green 7 and C.I. I. Instead of using Pigment Blue 15: 3 at 1: 1, aluminum phthalocyanine and C.I. I. A cyan color filter was obtained in the same manner as in Example 1 except that Pigment Blue 15: 3 was used at 1: 3.

(参考例2)
参考例1において、アルミニウムフタロシアニンとC.I.Pigment Blue15:3とを1:3で用いる代わりに、アルミニウムフタロシアニンとC.I.Pigment Blue15:3とを1:1で用いた以外は、参考例1と同様にして、シアン色カラーフィルタを得た。
(Reference Example 2)
In Reference Example 1, aluminum phthalocyanine and C.I. I. Instead of using Pigment Blue 15: 3 and 1: 3, aluminum phthalocyanine and C.I. I. A cyan color filter was obtained in the same manner as in Reference Example 1 except that Pigment Blue 15: 3 was used at 1: 1.

(参考例3)
参考例1において、アルミニウムフタロシアニンとC.I.Pigment Blue15:3とを1:3で用いる代わりに、アルミニウムフタロシアニンとC.I.Pigment Blue15:3とを10:3で用いた以外は、参考例1と同様にして、シアン色カラーフィルタを得た。
(Reference Example 3)
In Reference Example 1, aluminum phthalocyanine and C.I. I. Instead of using Pigment Blue 15: 3 and 1: 3, aluminum phthalocyanine and C.I. I. A cyan color filter was obtained in the same manner as in Reference Example 1 except that Pigment Blue 15: 3 was used at 10: 3.

(参考例4)
参考例1において、アルミニウムフタロシアニンとC.I.Pigment Blue15:3とを1:3で用いる代わりに、アルミニウムフタロシアニンとC.I.Pigment Blue15:6とを1:2で用いた以外は、参考例1と同様にして、シアン色カラーフィルタを得た。
(Reference Example 4)
In Reference Example 1, aluminum phthalocyanine and C.I. I. Instead of using Pigment Blue 15: 3 and 1: 3, aluminum phthalocyanine and C.I. I. A cyan color filter was obtained in the same manner as in Reference Example 1 except that Pigment Blue 15: 6 was used at 1: 2.

(参考例5)
参考例1において、アルミニウムフタロシアニンとC.I.Pigment Blue15:6とを1:3で用いる代わりに、アルミニウムフタロシアニンとC.I.Pigment Blue15:6とを1:1で用いた以外は、参考例1と同様にして、シアン色カラーフィルタを得た。
(Reference Example 5)
In Reference Example 1, aluminum phthalocyanine and C.I. I. Instead of using Pigment Blue 15: 6 at 1: 3, aluminum phthalocyanine and C.I. I. A cyan color filter was obtained in the same manner as in Reference Example 1 except that Pigment Blue 15: 6 was used at 1: 1.

(参考例6)
参考例1において、アルミニウムフタロシアニンとC.I.Pigment Blue15:3とを1:3で用いる代わりに、アルミニウムフタロシアニンとC.I.Pigment Blue15:6とを10:3で用いた以外は、参考例1と同様にして、シアン色カラーフィルタを得た。
(Reference Example 6)
In Reference Example 1, aluminum phthalocyanine and C.I. I. Instead of using Pigment Blue 15: 3 and 1: 3, aluminum phthalocyanine and C.I. I. A cyan color filter was obtained in the same manner as in Reference Example 1 except that Pigment Blue 15: 6 was used at 10: 3.

(比較例4)
参考例1において、アルミニウムフタロシアニンとC.I.Pigment Blue15:3とを1:3で用いる代わりに、アルミニウムフタロシアニンを単独で用いた以外は、参考例1と同様にして、シアン色カラーフィルタを得た。
(Comparative Example 4)
In Reference Example 1, aluminum phthalocyanine and C.I. I. Instead of using Pigment Blue 15: 3 at 1: 3, a cyan color filter was obtained in the same manner as in Reference Example 1 except that aluminum phthalocyanine was used alone.

(比較例5)
参考例1において、アルミニウムフタロシアニンとC.I.Pigment Blue15:3とを1:3で用いる代わりに、C.I.Pigment Blue15:3を単独で用いた以外は、参考例1と同様にして、シアン色カラーフィルタを得た。
(Comparative Example 5)
In Reference Example 1, aluminum phthalocyanine and C.I. I. Instead of using Pigment Blue 15: 3 and 1: 3, C.I. I. A cyan color filter was obtained in the same manner as in Reference Example 1 except that Pigment Blue 15: 3 was used alone.

(比較例6)
参考例1において、アルミニウムフタロシアニンとC.I.Pigment Blue15:3とを1:3で用いる代わりに、C.I.Pigment Blue15:6を単独で用いた以外は、参考例1と同様にして、シアン色カラーフィルタを得た。
(Comparative Example 6)
In Reference Example 1, aluminum phthalocyanine and C.I. I. Instead of using Pigment Blue 15: 3 and 1: 3, C.I. I. A cyan color filter was obtained in the same manner as in Reference Example 1 except that Pigment Blue 15: 6 was used alone.

(比較例7)
参考例1において、アルミニウムフタロシアニンとC.I.Pigment Blue15:3とを1:3で用いる代わりに、C.I.Pigment Blue16を単独で用いた以外は、参考例1と同様にして、シアン色カラーフィルタを得た。
(Comparative Example 7)
In Reference Example 1, aluminum phthalocyanine and C.I. I. Instead of using Pigment Blue 15: 3 and 1: 3, C.I. I. A cyan color filter was obtained in the same manner as in Reference Example 1 except that Pigment Blue 16 was used alone.

<評価>
上記により形成したカラーフィルタについて、下記の測定、評価を行なった。測定、評価の結果は、下記表1に示す。
<Evaluation>
The color filter formed as described above was subjected to the following measurements and evaluations. The results of measurement and evaluation are shown in Table 1 below.

−分光透過率測定−
400nm、450−550nmの最大ピーク、550nm、及び600−650nmの最大ピークにおける分光透過率を大塚電子(株)製、MCPD−2000を用いて測定した。
評価基準は、400nm透過率が45%以上、450nmから550nmの間に最大透過率を有し、該透過率が90%以上で、550nm透過率が50%以上、かつ、600nmから650nmの透過率が20%以下のものを良好とし、それ以外は不良とした。
また、実施例2、比較例2及び比較例6については、400nm〜700nmの波長範囲における分光透過率曲線を得た。また、同様に参考例3、比較例1及び比較例7についても同様に行ない分光透過率曲線を得た。それぞれを図1及び図2に示す。
-Spectral transmittance measurement-
Spectral transmittances at the maximum peaks of 400 nm, 450-550 nm, 550 nm, and 600-650 nm were measured using MCPD-2000 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.
The evaluation standard is that the 400 nm transmittance is 45% or more and the maximum transmittance is between 450 nm and 550 nm, the transmittance is 90% or more, the 550 nm transmittance is 50% or more, and the transmittance is 600 nm to 650 nm. Of 20% or less was considered good, and other than that was considered bad.
Moreover, about Example 2, the comparative example 2, and the comparative example 6, the spectral transmittance curve in the wavelength range of 400 nm-700 nm was obtained. Similarly, Reference Example 3, Comparative Example 1 and Comparative Example 7 were similarly performed to obtain spectral transmittance curves. Each is shown in FIG.1 and FIG.2.

−耐光性−
キセノンランプを光源としたスガ試験機(株)製、SX75Fを用いて、照度10万ルクスで50時間照射して耐光性試験を行なった。大塚電子(株)製、MCPD−2000により、該照射前後の色差(ΔE*ab)を測定して、その色差が3以下を良好とし、それ以外を不良とした。
-Light resistance-
Using a SX75F manufactured by Suga Test Instruments Co., Ltd. using a xenon lamp as a light source, a light resistance test was performed by irradiating with an illuminance of 100,000 lux for 50 hours. The color difference (ΔE * ab) before and after the irradiation was measured by MCPD-2000 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.

−耐熱性−
220℃1時間ホットプレート上で加熱した。大塚電子(株)製、MCPD−2000により、加熱前後の色差(ΔE*ab)を測定し、その色差が3以下を良好とし、それ以外を不良とした。
-Heat resistance-
Heated on a hot plate at 220 ° C. for 1 hour. The color difference (ΔE * ab) before and after heating was measured by MCPD-2000 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd., and the color difference was determined to be 3 or less, and the others were determined to be poor.

表1から明らかな通り、比較例1は、分光特性は良好であったが、耐光性、耐熱性は不良であった。また、比較例2〜7のシアン色顔料を単独で用いたシアン色カラーフィルタの分光特性は、その全てにおいて不良であった。さらに、比較例4は、耐熱性においても良好でなかった。
一方、実施例1〜4、参考例1〜6のカラーフィルタは、すべてにおいて補色系シアン色カラーフィルタとして良好な分光特性(分光透過率)を示し、かつ耐光性、耐熱性にも優れた性能を示した。
As is clear from Table 1, Comparative Example 1 had good spectral characteristics but poor light resistance and heat resistance. Further, the spectral characteristics of the cyan color filter using the cyan pigments of Comparative Examples 2 to 7 alone were poor. Furthermore, Comparative Example 4 was not good in heat resistance.
On the other hand, the color filters of Examples 1 to 4 and Reference Examples 1 to 6 all showed good spectral characteristics (spectral transmittance) as complementary color cyan color filters, and also had excellent light resistance and heat resistance. showed that.

(実施例5)
≪CCD固体撮像素子の作製≫
実施例1の石英ウエハー透明基板の代わりに、2次元平面上に配列されたCCD受光素子を用いた以外は、実施例1と同様にして、該素子上にシアン画素を有するシアン色カラーフィルタを形成した。
次に、前記シアン画素の形成に用いた光硬化性組成物Cの〈組成〉中の顔料をC.IPigment Red122に変更して光硬化性組成物Mを調製したこと以外、実施例1と同様の操作を行なって、前記素子上のC画素以外の非形成領域にマゼンタ画素(M画素)を形成した。なお、i線照射時にはパターンが2μm四方のマゼンタ用Islandパターンマスクを用いた。
続いて、前記シアン画素の形成に用いた光硬化性組成物Cの〈組成〉中の顔料を、C.I.Pigment Yellow185に変更して光硬化性組成物Yを調製したこと以外、実施例1と同様の操作を行なって、前記C画素及びM画素の非形成領域にイエロー画素(Y画素)を形成して、CCD固体撮像素子を作製した。なお、i線照射時にはパターンが2μm四方のイエロー用Islandパターンマスクを用いた。
更に、前記シアン画素の形成に用いた光硬化性組成物Cの〈組成〉中の顔料を、C.I.Pigment Green7とC.I.Pigment Yellow139に変更して光硬化性組成物Gを調製したこと以外、実施例1と同様の操作を行なって、前記C画素、M画素、及びY画素以外の非形成領域にグリーン画素(G画素)を形成して、CCD固体撮像素子を作製した。なお、i線照射時にはパターンが2μm四方のグリーン用Islandパターンマスクを用いた。
(Example 5)
<< Production of CCD solid-state imaging device >>
A cyan color filter having cyan pixels on the element was formed in the same manner as in Example 1 except that a CCD light receiving element arranged on a two-dimensional plane was used instead of the quartz wafer transparent substrate of Example 1. Formed.
Next, the pigment in the <composition> of the photocurable composition C used for the formation of the cyan pixel was changed to C.I. A magenta pixel (M pixel) was formed in a non-formation region other than the C pixel on the element by performing the same operation as in Example 1 except that the photocurable composition M was prepared by changing to IPigment Red122. . A magenta Island pattern mask having a 2 μm square pattern was used for i-line irradiation.
Subsequently, the pigment in <composition> of the photocurable composition C used for the formation of the cyan pixel was changed to C.I. I. A yellow pixel (Y pixel) is formed in the non-formation region of the C pixel and the M pixel by performing the same operation as in Example 1 except that the photo-curable composition Y is prepared by changing to Pigment Yellow 185. Then, a CCD solid-state imaging device was produced. For i-line irradiation, a yellow Island pattern mask having a pattern of 2 μm square was used.
Furthermore, the pigment in the <composition> of the photocurable composition C used for forming the cyan pixel is C.I. I. Pigment Green 7 and C.I. I. Except that the photocurable composition G was prepared by changing to Pigment Yellow 139, the same operation as in Example 1 was performed, and green pixels (G pixels) were formed in the non-formation regions other than the C pixel, the M pixel, and the Y pixel. ) To form a CCD solid-state imaging device. Note that an Island pattern mask for green having a 2 μm square pattern was used for i-ray irradiation.

(実施例6)
≪CMOS固体撮像素子の作製≫
実施例2の石英ウエハー透明基板の代わりに、2次元平面上に配列されたCMOS受光素子を用いた以外は、実施例2と同様にして、該素子上にシアン画素を有するシアン色カラーフィルタを形成した。
続いて、前記シアン画素の形成に用いた光硬化性組成物Cの〈組成〉中の顔料をC.I.Pigment Red122に変更して光硬化性組成物Mを調製したこと以外、実施例2と同様の操作を行なって、前記素子上のC画素の非形成領域にマゼンタ画素(M画素)を形成した。なお、i線照射時にはパターンが2μm四方のマゼンタ用Islandパターンマスクを用いた。
更に、前記シアン画素の形成に用いた光硬化性組成物Cの〈組成〉中の顔料を、C.I.Pigment Yellow185に変更して光硬化性組成物Yを調製したこと以外、実施例2と同様の操作を行なって、前記C画素及びM画素以外の非形成領域にイエロー画素(Y画素)を形成して、CMOS固体撮像素子を作製した。なお、i線照射時にはパターンが2μm四方のイエロー用Islandパターンマスクを用いた。
(Example 6)
<< Production of CMOS solid-state image sensor >>
A cyan color filter having cyan pixels on the element was formed in the same manner as in Example 2 except that CMOS light receiving elements arranged on a two-dimensional plane were used instead of the quartz wafer transparent substrate of Example 2. Formed.
Subsequently, the pigment in <composition> of the photocurable composition C used for forming the cyan pixel was changed to C.I. I. A magenta pixel (M pixel) was formed in the non-formation region of the C pixel on the element by performing the same operation as in Example 2 except that the photocurable composition M was prepared by changing to Pigment Red122. A magenta Island pattern mask having a 2 μm square pattern was used for i-line irradiation.
Furthermore, the pigment in the <composition> of the photocurable composition C used for forming the cyan pixel is C.I. I. A yellow pixel (Y pixel) is formed in a non-formation region other than the C pixel and the M pixel by performing the same operation as in Example 2 except that the photo-curable composition Y is prepared by changing to Pigment Yellow 185. Thus, a CMOS solid-state imaging device was produced. For i-line irradiation, a yellow Island pattern mask having a pattern of 2 μm square was used.

(実施例7、参考例7、9、11、比較例9、11、13)
実施例5において、実施例5のシアン色顔料を用いる代わりに、実施例3、参考例1、参考例3、参考例5、比較例2、比較例4又は比較例6のシアン色顔料を用いた以外は、実施例5と同様に行なってCCD固体撮像素子を作製した。得られたCMOS固体撮像素子について前記カラーパレットを用いた目視試験を行った。その結果を下記表2に示す。
(Example 7, Reference Examples 7, 9, 11 and Comparative Examples 9, 11, 13)
In Example 5, instead of using the cyan pigment of Example 5, the cyan pigment of Example 3, Reference Example 1, Reference Example 3, Reference Example 5, Comparative Example 2, Comparative Example 4 or Comparative Example 6 was used. A CCD solid-state imaging device was manufactured in the same manner as in Example 5 except that the above was performed. A visual test using the color palette was performed on the obtained CMOS solid-state imaging device. The results are shown in Table 2 below.

(実施例8、参考例8、10、12、比較例8、10、12、14)
実施例6において、実施例6のシアン色顔料を用いる代わりに、実施例4、参考例2、参考例4、参考例6、比較例1、比較例4又は比較例6のシアン色顔料を用いた以外は、実施例6と同様に行なってCMOS固体撮像素子を作製した。得られたCCD固体撮像素子についてカラーパレットを用いた目視試験を行なった。その結果を下記表2に示す。
(Example 8, Reference Examples 8, 10, 12, Comparative Examples 8, 10, 12, 14)
In Example 6, instead of using the cyan pigment of Example 6, the cyan pigment of Example 4, Reference Example 2, Reference Example 4, Reference Example 6, Comparative Example 1, Comparative Example 4 or Comparative Example 6 was used. A CMOS solid-state imaging device was manufactured in the same manner as in Example 6 except that. The obtained CCD solid-state imaging device was subjected to a visual test using a color palette. The results are shown in Table 2 below.

比較例8の固体撮像素子は、シアンフィルター形成後のマゼンタフィルター形成時にシアンフィルターのパターン上にマゼンタが混色してしまって測定が不可能であった。比較例9〜14の固体撮像素子は、いずれも色再現性が不良であった。一方、実施例5〜8、参考例7〜12の固体撮像素子は、いずれも良好な色再現性を示した。   In the solid-state imaging device of Comparative Example 8, measurement was impossible because magenta was mixed on the cyan filter pattern when the magenta filter was formed after the cyan filter was formed. All of the solid-state imaging devices of Comparative Examples 9 to 14 had poor color reproducibility. On the other hand, all of the solid-state imaging devices of Examples 5 to 8 and Reference Examples 7 to 12 showed good color reproducibility.

Claims (13)

少なくとも顔料を含む光硬化性組成物であって、該光硬化性組成物がC.I.ピグメントグリーン7及びC.I.ピグメントグリーン36から選択される少なくとも一種と、C.I.ピグメントブルー15:3及びC.I.ピグメントブルー15:6から選択される少なくとも一種とを、含み、さらに、アルカリ可溶性樹脂、重合性モノマー、及び光重合開始剤を含むことを特徴とする光硬化性組成物。   A photocurable composition containing at least a pigment, wherein the photocurable composition comprises C.I. I. Pigment green 7 and C.I. I. C.I. at least one selected from Pigment Green 36; I. Pigment blue 15: 3 and C.I. I. A photocurable composition comprising at least one selected from CI Pigment Blue 15: 6, and further comprising an alkali-soluble resin, a polymerizable monomer, and a photopolymerization initiator. 前記光重合開始剤がオキシム系化合物であることを特徴とする請求項1に記載の光硬化性組成物。   The photocurable composition according to claim 1, wherein the photopolymerization initiator is an oxime compound. 前記重合性モノマーが少なくとも1個の付加重合可能なエチレン基を有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の光硬化性組成物。   The photocurable composition according to claim 1 or 2, wherein the polymerizable monomer has at least one addition-polymerizable ethylene group. 前記少なくとも1個の付加重合可能なエチレン基を有する重合性モノマーが、常圧下で100℃以上の融点を有するモノマーであることを特徴とする請求項3に記載の光硬化性組成物。   The photocurable composition according to claim 3, wherein the polymerizable monomer having at least one addition-polymerizable ethylene group is a monomer having a melting point of 100 ° C or higher under normal pressure. C.I.ピグメントグリーン7と、C.I.ピグメントブルー15:3とを、4:1〜1:2の含有比率(質量比;C.I.ピグメントグリーン7:C.I.ピグメントブルー15:3)で含有することを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の光硬化性組成物。   C. I. Pigment Green 7 and C.I. I. Pigment Blue 15: 3 is contained in a content ratio (mass ratio; CI Pigment Green 7: CI Pigment Blue 15: 3) of 4: 1 to 1: 2. The photocurable composition according to any one of claims 1 to 4. C.I.ピグメントグリーン7と、C.I.ピグメントブルー15:6とを、4:1〜1:2の含有比率(質量比;C.I.ピグメントグリーン7:C.I.ピグメントブルー15:6)で含有することを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の光硬化性組成物。   C. I. Pigment Green 7 and C.I. I. Pigment Blue 15: 6 is contained in a content ratio of 4: 1 to 1: 2 (mass ratio; CI Pigment Green 7: CI Pigment Blue 15: 6). The photocurable composition according to any one of claims 1 to 4. C.I.ピグメントグリーン36と、C.I.ピグメントブルー15:3とを、3:1〜1:3の含有比率(質量比;C.I.ピグメントグリーン36:C.I.ピグメントブルー15:3)で含有することを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の光硬化性組成物。   C. I. Pigment green 36, C.I. I. Pigment Blue 15: 3 is contained in a content ratio (mass ratio; CI Pigment Green 36: CI Pigment Blue 15: 3) of 3: 1 to 1: 3. The photocurable composition according to any one of claims 1 to 4. C.I.ピグメントグリーン36と、C.I.ピグメントブルー15:6とを、6:1〜1:2の含有比率(質量比;C.I.ピグメントグリーン36:C.I.ピグメントブルー15:6)で含有することを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の光硬化性組成物。   C. I. Pigment green 36, C.I. I. Pigment Blue 15: 6 is contained in a content ratio (mass ratio; CI Pigment Green 36: CI Pigment Blue 15: 6) of 6: 1 to 1: 2. The photocurable composition according to any one of claims 1 to 4. C.I.ピグメントグリーン7及びC.I.ピグメントグリーン36から選択される少なくとも一種と、C.I.ピグメントブルー15:3及びC.I.ピグメントブルー15:6から選択される少なくとも一種とを含む顔料を、アルカリ可溶性樹脂溶液でフラッシング処理、または、アルカリ可溶性樹脂と混練処理して、顔料を微粒子化した分散物を得る工程と、
前記分散物に、アルカリ可溶性樹脂と、溶剤とを添加し、分散させ、分散液を得る工程と、
前記分散液に、重合性モノマーと、光重合開始剤と、溶剤とを添加し、混合して光硬化性組成物を調製する工程と、
前記光硬化性組成物を基板上に塗布し、塗布膜を形成する工程と、
前記塗布膜上に特定のパターンを露光し、露光された塗布膜を現像処理する工程と、
を有することを特徴とするシアン色カラーフィルタの製造方法。
C. I. Pigment green 7 and C.I. I. C.I. at least one selected from Pigment Green 36; I. Pigment blue 15: 3 and C.I. I. Pigment Blue 15: 6 pigment containing at least one selected from a flushing treatment with an alkali-soluble resin solution, or a kneading treatment with an alkali-soluble resin to obtain a finely divided dispersion of the pigment;
Adding an alkali-soluble resin and a solvent to the dispersion and dispersing the dispersion to obtain a dispersion;
Adding a polymerizable monomer, a photopolymerization initiator, and a solvent to the dispersion, and mixing to prepare a photocurable composition;
Applying the photocurable composition onto a substrate to form a coating film;
A step of exposing a specific pattern on the coating film and developing the exposed coating film;
A method for producing a cyan color filter, comprising:
請求項9記載の製造方法により製造されたシアン色カラーフィルタ。   A cyan color filter manufactured by the manufacturing method according to claim 9. C.I.ピグメントグリーン7及びC.I.ピグメントグリーン36から選択される少なくとも一種と、C.I.ピグメントブルー15:3及びC.I.ピグメントブルー15:6から選択される少なくとも一種とを含む顔料を、アルカリ可溶性樹脂でフラッシング処理、またはアルカリ可溶性樹脂と混合処理して微粒子化した分散物を得る工程と、
前記分散物に、アルカリ可溶性樹脂と、溶剤とを添加し、分散させ、分散液を得る工程と、
前記分散液に、重合性モノマーと、光重合開始剤と、溶剤とを添加し、混合して光硬化性組成物を調製する工程と、
を有することを特徴とする光硬化性組成物の製造方法。
C. I. Pigment green 7 and C.I. I. C.I. at least one selected from Pigment Green 36; I. Pigment blue 15: 3 and C.I. I. A step of obtaining a finely divided dispersion by flushing a pigment containing at least one selected from CI Pigment Blue 15: 6 with an alkali-soluble resin, or mixing with an alkali-soluble resin;
Adding an alkali-soluble resin and a solvent to the dispersion and dispersing the dispersion to obtain a dispersion;
Adding a polymerizable monomer, a photopolymerization initiator, and a solvent to the dispersion, and mixing to prepare a photocurable composition;
The manufacturing method of the photocurable composition characterized by having.
請求項11記載の製造方法により製造された光硬化性組成物。   The photocurable composition manufactured by the manufacturing method of Claim 11. 受光素子とその上に形成されたシアン、マゼンタ、及びイエローの3色相、あるいは、さらにグリーンの4色相からなるカラーフィルタを有する固体撮像素子であって、該カラーフィルタが請求項10に記載のシアン色カラーフィルタで、マゼンタの顔料がC.I.ピグメントレッド122を含むマゼンタ色カラーフィルタで、イエローの顔料がC.I.ピグメントイエロー185を含むイエロー色カラーフィルタであることを特徴とする固体撮像素子。   11. A solid-state imaging device having a light-receiving element and a color filter formed thereon with three hues of cyan, magenta, and yellow, or further four hues of green, wherein the color filter is cyan according to claim 10. Color color filter, magenta pigment is C.I. I. This is a magenta color filter including CI Pigment Red 122, and the yellow pigment is C.I. I. A solid-state image sensor, which is a yellow color filter including CI Pigment Yellow 185.
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