JP2007065640A - Photocurable composition and photospacer for liquid crystal display - Google Patents

Photocurable composition and photospacer for liquid crystal display Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photocurable composition which has high sensitivity and high solubility, suppresses occurrence of residue on development, reduces image thickening, and allows reproduction of a desired image pattern. <P>SOLUTION: The photocurable composition contains an alkali-soluble resin, a photopolymerizable compound, a trihalomethane triazine compound and a coumarin-based ultraviolet absorber, wherein at least one of the alkali-soluble resin and the photopolymerizable compound has an alkylene oxide chain. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、光硬化性組成物及び液晶表示装置用フォトスペーサーに関し、詳しくは、基板間に液晶を設けてなるセルのセル厚を規制するためのフォトスペーサーなどの構造物の形成に好適な光硬化性組成物及びこれを用いた液晶表示装置用フォトスペーサーに関する。   The present invention relates to a photocurable composition and a photospacer for a liquid crystal display device, and more particularly, light suitable for forming a structure such as a photospacer for regulating the cell thickness of a cell in which liquid crystal is provided between substrates. The present invention relates to a curable composition and a photospacer for a liquid crystal display device using the same.

従来から、液晶表示装置(LCD)は、高画質画像を表示する表示装置に広く利用されている。液晶表示装置は一般に、一対の基板間に所定の配向により画像表示を可能とする液晶層が配置されており、この基板間隔、すなわち液晶層の厚みを均一に維持することが画質を決定するのに重要であり、そのために厚みを一定に維持するためのスペーサーが配設されている。この基板の間の厚みは一般に「セル厚」と称されており、セル厚は通常、前記液晶層の厚み、つまり表示領域の液晶に電界をかけている2枚の電極間の距離を示すものである。   Conventionally, a liquid crystal display (LCD) has been widely used for display devices that display high-quality images. In general, a liquid crystal display device is provided with a liquid crystal layer capable of displaying an image with a predetermined orientation between a pair of substrates, and maintaining the distance between the substrates, that is, the thickness of the liquid crystal layer, determines the image quality. Therefore, a spacer for maintaining a constant thickness is provided. The thickness between the substrates is generally referred to as “cell thickness”, and the cell thickness usually indicates the thickness of the liquid crystal layer, that is, the distance between two electrodes applying an electric field to the liquid crystal in the display area. It is.

スペーサーには、古くから直径5μm程度の粒子サイズの揃った樹脂の微粒子が用いられ、これを電極間に散布してスペーサー(ボールスぺーサーやパール材などと呼ばれている。)が形成されていた。しかし、近年では、この微粒子を用いたボールスぺーサーは、散布位置を特定することができず、粒子がカラーフィルタを構成する着色画素上に存在して画素欠陥の一因となったり、また、散布位置が固定されないために、特に画面が大型になるにしたがって画面上に偏在する等の弊害が目立つことから、最近ではあまり使用されていない。   As the spacer, resin fine particles having a particle size of about 5 μm in diameter are used for a long time, and this is dispersed between electrodes to form a spacer (called a ball spacer or pearl material). It was. However, in recent years, the ball spacer using the fine particles cannot specify the spraying position, and the particles are present on the colored pixels constituting the color filter, contributing to pixel defects, Since the spraying position is not fixed, there is a particular problem such as uneven distribution on the screen as the screen becomes larger.

近年では、フォトスペーサーと呼ばれる、感光性樹脂組成物を用いて形成されたスペーサーが主流となっている。このフォトスペーサーは、感光性樹脂組成物を用いてフォトリソ法によりスペーサーの面形状を光学的にパターン化して形成されるものであり、前記ボールスぺーサーに対して形成位置を特定できる利点がある。すなわち、ブラックストライプと重なる位置に選択的に形成することができ、画質に障害を与えないように構成することができる。   In recent years, a spacer formed using a photosensitive resin composition called a photospacer has become mainstream. The photo spacer is formed by optically patterning the surface shape of the spacer by a photolithography method using a photosensitive resin composition, and has an advantage that the formation position can be specified with respect to the ball spacer. That is, it can be selectively formed at a position overlapping with the black stripe and can be configured so as not to hinder the image quality.

一方、近年の液晶表示装置においては、その表示速度を向上させるために、液晶そのものの応答速度を改善すると共に、対向する電極間の距離、すなわちセル厚を薄くすることが試みられている。このセル厚は、従来5μm程度であったが、最近では2μm以下の薄形態に構成されるようになってきている。   On the other hand, in recent liquid crystal display devices, in order to improve the display speed, it has been attempted to improve the response speed of the liquid crystal itself and reduce the distance between opposing electrodes, that is, the cell thickness. The cell thickness has been about 5 μm in the past, but recently, it has been formed into a thin form of 2 μm or less.

スペーサーの形成は、例えば、電極を有する基板(フォトスペーサーが直接接する面は平坦化膜上、透明電極上又は配向膜上などである。)上にスペーサー形成用の感光性樹脂組成物を塗布、乾燥して樹脂膜を形成し、形成された樹脂膜の上方に露光用マスクを配置してパターン状に露光を行ない、現像処理することにより行なうことができる。この場合に、良好な露光感度を保持しながら、露光の際の光の膜中での横方向への伝搬の影響を回避するのは難しい。また、現像処理時の溶解性が悪いと現像残渣を生じて高解像のパターン形成ができないことから、現像時の溶解性を向上させる方法の一つとして、酸性基(カルボキシル基など)を導入する方法が提案されている。   The spacer is formed by, for example, applying a photosensitive resin composition for forming a spacer on a substrate having an electrode (the surface on which the photo spacer is in direct contact is a flattened film, a transparent electrode, or an alignment film). It can be performed by drying to form a resin film, placing an exposure mask above the formed resin film, exposing in a pattern, and developing. In this case, it is difficult to avoid the influence of lateral propagation of light in the film during exposure while maintaining good exposure sensitivity. In addition, if the solubility during development processing is poor, a development residue will be formed and high-resolution pattern formation will not be possible. As a way to improve solubility during development, acidic groups (such as carboxyl groups) are introduced. A method has been proposed.

上記のフォトスペーサーの形成に関係して、アルキレンオキシド鎖と重合性二重結合があるアルカリ可溶性樹脂を含有する光硬化性組成物に関する開示があり、光硬化性及び現像性に優れるとされている(例えば、特許文献1参照)。また、バインダーとしてアリル基を有する樹脂を含有するスペーサー用樹脂組成物が開示されており、圧縮強度が強くパネル化時に塑性変形が生じにくいとされている(例えば、特許文献2参照)。更に、上記に関連して、液晶層の厚さを一定に保つために基板上に配置されるスペーサー画素パターンを形成するためのスペーサー用樹脂組成物について、液晶作成時のシール温度における単一スペーサーの荷重1gfに対する塑性変形量を0.03〜0.3μmとする技術に関する開示がある(例えば、特許文献3参照)。
特開2004−109989号公報 特開2003−207787号公報 特開2003−302639公報
In relation to the formation of the above-mentioned photospacer, there is a disclosure relating to a photocurable composition containing an alkali-soluble resin having an alkylene oxide chain and a polymerizable double bond, which is said to be excellent in photocurability and developability. (For example, refer to Patent Document 1). Further, a resin composition for spacers containing a resin having an allyl group as a binder is disclosed, and it is said that the compressive strength is strong and plastic deformation hardly occurs during panel formation (see, for example, Patent Document 2). Further, in relation to the above, a single spacer at a sealing temperature at the time of liquid crystal preparation is provided for a spacer resin composition for forming a spacer pixel pattern disposed on a substrate in order to keep the thickness of the liquid crystal layer constant. There is a disclosure relating to a technique for setting the amount of plastic deformation with respect to a load of 1 gf to 0.03 to 0.3 μm (see, for example, Patent Document 3).
JP 2004-109989 A JP 2003-207787 A JP 2003-302039 A

しかしながら、スペーサーを構成するための樹脂膜の厚みが薄くなると、どうしても樹脂膜における横方向への光の伝搬の影響を受けやすく、マスクのパターン形状にしたがった形状が形成されずに、例えばマスクパターンよりも線の太いパターンしか得られない等を招来してしまう。すなわち、照射された光はマスクの開口端から更に横方向に広がり、光のマスクと樹脂膜との間で多重反射を起こす結果、マスクの開口端から横方向への硬化反応が進行して、マスクパターンの所期の太さや大きさよりも太い、大きい形状となってしまう。   However, when the thickness of the resin film for constituting the spacer is reduced, it is inevitably affected by the propagation of light in the lateral direction in the resin film, and the shape according to the mask pattern shape is not formed. In other words, only a thicker line pattern can be obtained. That is, the irradiated light spreads further in the lateral direction from the opening end of the mask, and as a result of causing multiple reflections between the light mask and the resin film, a curing reaction proceeds in the lateral direction from the opening end of the mask, The mask pattern becomes thicker and larger than the intended thickness and size.

また、上記のように酸性基を導入するだけでは、必ずしも充分な溶解性を確保できないだけでなく、逆に酸性基の導入により平坦化膜上、透明電極上又は配向膜上などへの現像残渣となりやすいとの問題がある。   In addition, by introducing acidic groups as described above, it is not always possible to ensure sufficient solubility, but conversely, by introducing acidic groups, development residues on a flattened film, a transparent electrode, an alignment film, etc. There is a problem that it tends to be.

本発明は、上記に鑑みなされたものであり、高感度であると共に、高溶解性で現像残渣が少なく、画像太りを軽減して所期の画像パターンを再現することができる光硬化性組成物、及びパターンの形状変動が小さく抑えられ、均一で形状の揃った液晶表示装置用スペーサーを提供することを目的とし、該目的を達成することを課題とする。   The present invention has been made in view of the above, and has a high sensitivity, a high solubility, a small amount of development residue, a photocurable composition that can reproduce an intended image pattern by reducing image thickness. Another object of the present invention is to provide a spacer for a liquid crystal display device in which variation in the shape of the pattern is suppressed to be small and uniform in shape, and to achieve the object.

前記課題を達成するための具体的手段は以下の通りである。
<1> アルカリ可溶性樹脂と、光重合性化合物と、光重合開始剤とを含む光硬化性組成物において、前記光重合開始剤がトリハロメタントリアジン系化合物であって、クマリン系紫外線吸収剤を更に含むと共に、前記アルカリ可溶性樹脂及び前記光重合性化合物の少なくとも一方がアルキレンオキサイド鎖を有することを特徴とする光硬化性組成物である。
Specific means for achieving the above object are as follows.
<1> In a photocurable composition containing an alkali-soluble resin, a photopolymerizable compound, and a photopolymerization initiator, the photopolymerization initiator is a trihalomethane triazine compound, and further includes a coumarin ultraviolet absorber. The photocurable composition is characterized in that at least one of the alkali-soluble resin and the photopolymerizable compound has an alkylene oxide chain.

<2> 前記クマリン系紫外線吸収剤が、下記一般式(I)で表される化合物である前記<1>に記載の光硬化性組成物である。   <2> The photocurable composition according to <1>, wherein the coumarin ultraviolet absorber is a compound represented by the following general formula (I).

Figure 2007065640
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前記一般式(I)において、R1及びR2は、各々独立に、水素原子又は炭素数1〜4の炭化水素基を表し、R3はハロゲン原子、又は炭素数1〜4の炭化水素基を表す。Xは、水素原子、ハロゲン原子、又はアルキルオキサイド基を表す。nは、0〜4の整数を表す。 In the general formula (I), R 1 and R 2 each independently represents a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms, and R 3 represents a halogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms. Represents. X represents a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl oxide group. n represents an integer of 0 to 4.

<3> 前記トリハロメタントリアジン系化合物が、下記一般式(II)〜(V)のいずれかで表される化合物からなる群より選択される少なくとも一種である前記<1>又は<2>に記載の光硬化性組成物である。   <3> The above-mentioned <1> or <2>, wherein the trihalomethanetriazine compound is at least one selected from the group consisting of compounds represented by any one of the following general formulas (II) to (V). It is a photocurable composition.

Figure 2007065640
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前記一般式(II)において、R4は、ハロゲン原子、又は炭素数1〜4の炭化水素基を表す。R5及びR6は、各々独立に−CH2COOR7を表し、R7は炭素数1〜4の炭化水素基を表す。nは、0〜4の整数を表す。Xは、ハロゲン原子を表す。 In the general formula (II), R 4 represents a halogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms. R 5 and R 6 each independently represent a -CH 2 COOR 7, R 7 represents a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms. n represents an integer of 0 to 4. X represents a halogen atom.

Figure 2007065640
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前記一般式(III)において、R8及びR9は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、水酸基、アルコキシ基、又は炭素数1〜4の炭化水素基を表す。Xは、ハロゲン原子を表す。 In the general formula (III), R 8 and R 9 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, a hydroxyl group, an alkoxy group, or a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms. X represents a halogen atom.

Figure 2007065640
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前記一般式(IV)において、R10は、ハロゲン原子、又はアルコキシ基を表し、Xは、ハロゲン原子を表す。nは、0〜4の整数を表す。 In the general formula (IV), R 10 represents a halogen atom or an alkoxy group, and X represents a halogen atom. n represents an integer of 0 to 4.

Figure 2007065640
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前記一般式(V)において、R11は、水酸基又は炭素数1〜3のアルコキシ基を表し、R12及びR13は、各々独立に、ハロゲン原子、水酸基、アルコキシ基、又は炭素数1〜3の炭化水素基を表す。Xは、ハロゲン原子を表す。nは、0〜4の整数を表す。 In the general formula (V), R 11 represents a hydroxyl group or an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms, and R 12 and R 13 each independently represent a halogen atom, a hydroxyl group, an alkoxy group, or 1 to 3 carbon atoms. Represents a hydrocarbon group. X represents a halogen atom. n represents an integer of 0 to 4.

<4> 前記アルカリ可溶性樹脂は、分子中の側鎖に重合性不飽和基を有する前記<1>〜<3>のいずれか1つに記載の光硬化性組成物である。
<5> 前記光重合性化合物が、下記一般式(VI)〜(VIII)のいずれかで表される化合物からなる群より選択される少なくとも一種である前記<1>〜<4>のいずれか1つに記載の光硬化性組成物である。
<4> The alkali-soluble resin is the photocurable composition according to any one of <1> to <3>, wherein the side chain in the molecule has a polymerizable unsaturated group.
<5> Any of the above <1> to <4>, wherein the photopolymerizable compound is at least one selected from the group consisting of compounds represented by any one of the following general formulas (VI) to (VIII): It is a photocurable composition as described in one.

Figure 2007065640
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前記一般式(VI)において、R21及びR22は、各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。mは2〜6の整数を表し、nは1〜3の整数を表し、a及びbはa+b=3を満たす。 In the general formula (VI), R 21 and R 22 each independently represents a hydrogen atom or a methyl group. m represents an integer of 2 to 6, n represents an integer of 1 to 3, and a and b satisfy a + b = 3.

Figure 2007065640
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前記一般式(VII)において、R23、R24、及びR25は、各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。s、t及びuは各々独立に2又は3を表し、p、q及びrは1≦p+q+r≦3を満たす。 In the general formula (VII), R 23 , R 24 , and R 25 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group. s, t, and u each independently represent 2 or 3, and p, q, and r satisfy 1 ≦ p + q + r ≦ 3.

Figure 2007065640
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前記一般式(VIII)において、Rは、水素原子又はメチル基を表す。wは2〜6の整数を表し、xは1〜3の整数を表し、yは2〜4の整数を表し、zは0〜2の整数を表す。   In the general formula (VIII), R represents a hydrogen atom or a methyl group. w represents an integer of 2 to 6, x represents an integer of 1 to 3, y represents an integer of 2 to 4, and z represents an integer of 0 to 2.

<6> 前記<1>〜<5>のいずれか1つに記載の光硬化性組成物を用いてなることを特徴とする液晶表示装置用フォトスペーサーである。
<7> 液晶を挟むように設けられた基板間のセル厚を規制するための液晶表示装置用フォトスペーサーであって、前記セル厚が3μm以下である前記<6>に記載の液晶表示装置用フォトスペーサーである。
<6> A photospacer for a liquid crystal display device comprising the photocurable composition according to any one of <1> to <5>.
<7> A photospacer for a liquid crystal display device for regulating a cell thickness between substrates provided to sandwich a liquid crystal, wherein the cell thickness is 3 μm or less. Photo spacer.

本発明によれば、高感度であると共に、高溶解性で現像残渣が少なく、画像太りを軽減して所期の画像パターンを再現することができる光硬化性組成物、及びパターンの形状変動が小さく抑えられ、均一で形状の揃った液晶表示装置用スペーサーを提供することができる。   According to the present invention, a photocurable composition that has high sensitivity, high solubility, little development residue, can reduce image thickness, and can reproduce an intended image pattern, and pattern shape variation A spacer for a liquid crystal display device that is suppressed to a small size and has a uniform shape can be provided.

以下、本発明の光硬化性組成物について詳細に説明すると共に、該説明を通じて本発明の液晶表示装置用スペーサーについても詳述することとする。   Hereinafter, the photocurable composition of the present invention will be described in detail, and the liquid crystal display spacer of the present invention will be described in detail through the description.

本発明の光硬化性組成物は、アルカリ可溶性樹脂と光重合性化合物と光重合開始剤とを用いた構成を有するものであり、これに更にクマリン系紫外線吸収剤を含むと共に、前記光重合開始剤としてトリハロメタントリアジン系化合物を用い、かつ前記アルカリ可溶性樹脂及び前記光重合性化合物の少なくとも一方がアルキレンオキサイド鎖を有するように構成したものである。
以下、本発明の光硬化性組成物を構成する各成分について詳述する。
The photocurable composition of the present invention has a configuration using an alkali-soluble resin, a photopolymerizable compound, and a photopolymerization initiator, and further contains a coumarin-based ultraviolet absorber, and the photopolymerization start. A trihalomethane triazine compound is used as an agent, and at least one of the alkali-soluble resin and the photopolymerizable compound has an alkylene oxide chain.
Hereinafter, each component which comprises the photocurable composition of this invention is explained in full detail.

−アルカリ可溶性樹脂−
本発明の光硬化性組成物は、アルカリ可溶性樹脂の少なくとも一種を含有する。このアルカリ可溶性樹脂は、後述の光重合性化合物がアルキレンオキサイド鎖を含まないとき、及びアルキレンオキサイド鎖を含むときは必要に応じて、アルキレンオキサイド鎖を含むバインダー成分であり、現像の際の非露光部の現像液に対する溶解性が高められ、現像残渣が防止された先鋭なパターン形成に効果的である。
-Alkali-soluble resin-
The photocurable composition of the present invention contains at least one alkali-soluble resin. This alkali-soluble resin is a binder component containing an alkylene oxide chain, if necessary, when the photopolymerizable compound described later does not contain an alkylene oxide chain, and when it contains an alkylene oxide chain, and is unexposed during development. This is effective for forming a sharp pattern in which the solubility of the portion in the developer is enhanced and development residues are prevented.

本発明に係るアルカリ可溶性樹脂としては、アルカリ現像性を有する酸性官能基(例えば、カルボキシル基、フェノール性水酸基等)を有するものが好適である。   As the alkali-soluble resin according to the present invention, those having an acidic functional group having alkali developability (for example, carboxyl group, phenolic hydroxyl group, etc.) are suitable.

具体的な例として、線状有機高分子重合体で、有機溶剤に可溶性であると共に弱アルカリ水溶液で現像できるものが好ましい。このような線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー、例えば、特開昭59−44615号、特公昭54−34327号、特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭59−53836号、特開昭59−71048号の各公報に記載されているような、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等が挙げられ、また同様に側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体が有用である。このほか、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等や、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、ポリ(2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート)、ポリビニールピロリドンやポリエチレンオキサイド、ポリビニルアルコール、等も有用である。   As a specific example, a linear organic polymer that is soluble in an organic solvent and can be developed with a weak alkaline aqueous solution is preferable. Examples of such linear organic high molecular polymers include polymers having a carboxylic acid in the side chain, such as JP-A-59-44615, JP-B-54-34327, JP-B-58-12577, and JP-B-54-. No. 25957, JP-A-59-53836, JP-A-59-71048, methacrylic acid copolymer, acrylic acid copolymer, itaconic acid copolymer, crotonic acid copolymer, etc. Examples thereof include polymers, maleic acid copolymers, partially esterified maleic acid copolymers, and acidic cellulose derivatives having a carboxylic acid in the side chain are also useful. In addition, a polymer having a hydroxyl group with an acid anhydride added, a polyhydroxystyrene resin, a polysiloxane resin, poly (2-hydroxyethyl (meth) acrylate), polyvinylpyrrolidone, polyethylene oxide, polyvinyl Alcohol and the like are also useful.

前記アルカリ可溶性樹脂は、親水性を有するモノマーを共重合してもよく、該モノマーとしては、例えば、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、2級及び3級のアルキルアクリルアミド、ジアルキルアミノアルキル(メタ)アクリレート、モルホリン(メタ)アクリレート、N−ビニルピロリドン、N−ビニルカプロラクタム、ビニルイミダゾール、ビニルトリアゾール、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、分岐又は直鎖のプロピル(メタ)アクリレート、分岐又は直鎖のブチル(メタ)アクリレート、フェノキシヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート等が挙げられる。
他の親水性を有するモノマーとして、テトラヒドロフルフリル基、燐酸、燐酸エステル、4級アンモニウム塩、エチレンオキシ鎖、プロピレンオキシ鎖、スルホン酸及びその塩、モルホリノエチル基等を含んだモノマー等も有用である。
The alkali-soluble resin may be copolymerized with a hydrophilic monomer. Examples of the monomer include hydroxyalkyl (meth) acrylate, glycerol (meth) acrylate, (meth) acrylamide, N-methylol acrylamide, 2 Tertiary and tertiary alkyl acrylamide, dialkylaminoalkyl (meth) acrylate, morpholine (meth) acrylate, N-vinylpyrrolidone, N-vinylcaprolactam, vinylimidazole, vinyltriazole, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, Examples thereof include branched or linear propyl (meth) acrylate, branched or linear butyl (meth) acrylate, phenoxyhydroxypropyl (meth) acrylate, and the like.
As other hydrophilic monomers, tetrahydrofurfuryl group, phosphoric acid, phosphate ester, quaternary ammonium salt, ethyleneoxy chain, propyleneoxy chain, sulfonic acid and its salts, monomers containing morpholinoethyl group, etc. are also useful. is there.

本発明においては特に、分子中に重合性不飽和基(重合性二重結合)を有する分子鎖を含む高分子重合体が好適である。分子中に重合性二重結合を有する分子鎖を含む高分子重合体は、アルカリ可溶性であってエチレン性不飽和結合等の重合性不飽和基を有するものであれば用いることができ、例えば、重合性不飽和基を有するポリマー等を挙げることができる。
前記重合性不飽和基としては、例えば、アクリロイル基、メタクリロイル基、アリル基が好ましく、分子中の側鎖に重合性不飽和基を有するものが特に好ましい。
In the present invention, a polymer having a molecular chain having a polymerizable unsaturated group (polymerizable double bond) in the molecule is particularly suitable. The polymer containing a molecular chain having a polymerizable double bond in the molecule can be used as long as it is alkali-soluble and has a polymerizable unsaturated group such as an ethylenically unsaturated bond. Examples thereof include a polymer having a polymerizable unsaturated group.
As the polymerizable unsaturated group, for example, an acryloyl group, a methacryloyl group, and an allyl group are preferable, and those having a polymerizable unsaturated group in the side chain in the molecule are particularly preferable.

この場合、アルカリ可溶性樹脂の全体量に占める「分子中に不飽和基を有する分子鎖を含む高分子重合体」の割合としては、10質量%以上が好ましく、20質量%以上がさらに好ましく、30質量%以上が特に好ましい。該割合が、10質量%未満であると画素のパターンプロファイルが矩形からずれてしまうことがある。
また、アルカリ可溶性樹脂中に占める不飽和基の当量としては、0.1〜5.0meq/grの範囲内が好ましく、0.5〜3.0meq/grの範囲内がより好ましい。
In this case, the proportion of the “polymer containing a molecular chain having an unsaturated group in the molecule” in the total amount of the alkali-soluble resin is preferably 10% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, and 30 A mass% or more is particularly preferred. If the ratio is less than 10% by mass, the pixel pattern profile may deviate from the rectangle.
Moreover, as an equivalent of the unsaturated group which occupies in alkali-soluble resin, the inside of the range of 0.1-5.0 meq / gr is preferable, and the inside of the range of 0.5-3.0 meq / gr is more preferable.

上記のうち、本発明に係るアルカリ可溶性樹脂としては、下記の構造単位を含む化合物(1−1)、化合物(1−2)、及び化合物(1−3)より選択される少なくとも一種の共重合体であるのが好ましい。   Among the above, as the alkali-soluble resin according to the present invention, at least one kind of co-polymer selected from the compound (1-1), the compound (1-2), and the compound (1-3) containing the following structural units: It is preferably a coalescence.

・化合物(1−1):下記構造単位(a1)、(a2)、(b1)、(b2)、(c1)、及び(d)
・化合物(1−2):下記構造単位(a1)、(a2)、(b1)、(b2)、(c2)、及び(d)
・化合物(1−3):下記構造単位(a1)、(a2)、(b1)、(b2)、(c3)、(c4)、及び(d)
Compound (1-1): The following structural units (a1), (a2), (b1), (b2), (c1), and (d)
Compound (1-2): The following structural units (a1), (a2), (b1), (b2), (c2), and (d)
Compound (1-3): Structural units (a1), (a2), (b1), (b2), (c3), (c4), and (d) below

Figure 2007065640
Figure 2007065640

前記化合物(1−1)〜(1−3)における前記各構造単位の構成比率は、モル比で、a1とa2とは合計で10〜70%、b1とb2とは合計で5〜40%、c1は5〜40%、c2は5〜40%、c3とc4とは合計で5〜40%、dは5〜30%である。Rは、水素原子又はメチル基を表し、R1は、炭素数1〜18のアルキル基、フェニル基、「炭素数1〜4のアルキル基又はアルコキシル基で置換されたフェニル基」、炭素数7〜12のアリール基、又は炭素数7〜12のアラルキル基を表し、R2及びR4は各々独立して、炭素数1〜18のアルキレン基、「炭素数1〜4のアルキル基を置換基として含むフェニルカルバミン酸エステル」、又は炭素数3〜18の脂環式基を有するカルバミン酸エステルを表し、R3は、炭素数2〜16の直鎖もしくは分岐のアルキレン基を表し、R5は、炭素数1〜4のアルキル基を表す。Xは、下記構造式(1)〜(9)より選択される基を表す。lは2〜30の整数を表し、mは0又は1〜20の整数を表し、nは2〜20の整数を表す。 The constituent ratios of the respective structural units in the compounds (1-1) to (1-3) are molar ratios, and a1 and a2 are 10 to 70% in total, and b1 and b2 are 5 to 40% in total. , C1 is 5 to 40%, c2 is 5 to 40%, c3 and c4 are 5 to 40% in total, and d is 5 to 30%. R represents a hydrogen atom or a methyl group, and R 1 represents an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, a phenyl group, a “phenyl group substituted with an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or an alkoxyl group”, 7 carbon atoms. Represents an aryl group having 12 to 12 carbon atoms or an aralkyl group having 7 to 12 carbon atoms, and R 2 and R 4 are each independently an alkylene group having 1 to 18 carbon atoms, “an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms as a substituent Or a carbamate having an alicyclic group having 3 to 18 carbon atoms, R 3 represents a linear or branched alkylene group having 2 to 16 carbon atoms, and R 5 is Represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. X represents a group selected from the following structural formulas (1) to (9). l represents an integer of 2 to 30, m represents an integer of 0 or 1 to 20, and n represents an integer of 2 to 20.

Figure 2007065640
Figure 2007065640

前記化合物(1−1)、化合物(1−2)、化合物(1−3)については一部、構造単位(a1)、同(a2)、同(b1)、同(b2)、同(d)を共重合後に付加反応を行ない、構造単位(b2)の一部を構造単位(c1)〜(c4)とすることで完成される。   Regarding the compound (1-1), the compound (1-2), and the compound (1-3), part of the structural units (a1), (a2), (b1), (b2), and (d) ) Is subjected to an addition reaction after copolymerization to complete a part of the structural unit (b2) as structural units (c1) to (c4).

例えば、前記化合物(1−1)の場合、構造単位(a1)、同(a2)、同(b1)、同(b2)、及び同(d)の共重合体を合成した後、構造単位(b2)の成分の一部に対して、イソシアネート基を有するアクリレート化合物を付加させることで得られる。   For example, in the case of the compound (1-1), after synthesizing the copolymers of the structural units (a1), (a2), (b1), (b2), and (d), the structural unit ( It can be obtained by adding an acrylate compound having an isocyanate group to a part of the component b2).

また、前記化合物(1−2)の場合、構造単位(a1)、同(a2)、同(b1)、同(b2)、及び同(d)の共重合体を合成した後、構造単位(b2)の成分の一部に対して、エポキシ基を有するアクリレート化合物を付加させることで得られる。   In the case of the compound (1-2), after synthesizing the copolymers of the structural units (a1), (a2), (b1), (b2), and (d), the structural unit ( It can be obtained by adding an acrylate compound having an epoxy group to a part of the component b2).

前記化合物(1−3)の場合、構造単位(a1)、同(a2)、同(b1)、同(b2)、及び同(d)の共重合体を合成した後、構造単位(b2)の成分の一部に対して、前記構造式(1)〜(9)より選択される基を付加させることで得られる。   In the case of the compound (1-3), after synthesizing the copolymers of the structural units (a1), (a2), (b1), (b2), and (d), the structural unit (b2) It is obtained by adding a group selected from the structural formulas (1) to (9) to a part of the component.

以下、各構造単位について詳細に説明する。
1は、炭素数1〜18のアルキル基、フェニル基、「炭素数1〜4のアルキル基もしくは炭素数1〜4のアルコキシル基で置換されたフェニル基」、炭素数7〜12のアリール基、又は炭素数7〜12のアラルキル基を表す。
Hereinafter, each structural unit will be described in detail.
R 1 is an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms, a phenyl group, a “phenyl group substituted by an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or an alkoxyl group having 1 to 4 carbon atoms”, or an aryl group having 7 to 12 carbon atoms. Or an aralkyl group having 7 to 12 carbon atoms.

前記R1で表される炭素数1〜18のアルキル基は、直鎖状、分岐状、環状のいずれであってもよく、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、i−プロピル基、ブチル基、i−ブチル基、t−ブチル基、アミル基、i−アミル基、t−アミル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、オクチル基、2−エチルヘキシル基等が挙げられる。好ましくは炭素数1〜8のアルキル基である。 The alkyl group having 1 to 18 carbon atoms represented by R 1 may be linear, branched or cyclic, for example, methyl group, ethyl group, propyl group, i-propyl group, butyl Group, i-butyl group, t-butyl group, amyl group, i-amyl group, t-amyl group, hexyl group, cyclohexyl group, octyl group, 2-ethylhexyl group and the like. Preferably it is a C1-C8 alkyl group.

前記R1で表される「炭素数1〜4のアルキル基もしくは炭素数1〜4のアルコキシル基で置換されたフェニル基」において、置換基である「炭素数1〜4のアルキル基」としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、i−プロピル基、ブチル基、i−ブチル基、t−ブチル基等が挙げられ、また、置換基である「炭素数1〜4のアルコキシル基」としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、iso−プロポキシ基、ブトキシ基、i−ブトキシ基、t−ブトキシ基等が挙げられる。 In the “phenyl group substituted by an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms or an alkoxyl group having 1 to 4 carbon atoms” represented by R 1 , the “alkyl group having 1 to 4 carbon atoms” as a substituent is as follows. Examples include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an i-propyl group, a butyl group, an i-butyl group, a t-butyl group, and the like, and a “C1-C4 alkoxyl group” which is a substituent. Examples thereof include methoxy group, ethoxy group, n-propoxy group, iso-propoxy group, butoxy group, i-butoxy group, t-butoxy group and the like.

前記R1で表される「炭素数7〜12のアリール基」は、置換基を有していてもよく、例えば、フェニル基、トリル基、ジメチルフェニル基、2,4,6−トリメチルフェニル基、ナフチル基等が挙げられる。
前記R1で表される「炭素数7〜12のアラルキル基」は、置換基を有していてもよく、例えばベンジル基、フェネチル基、ナフチルメチル基等が挙げられる。
The “aryl group having 7 to 12 carbon atoms” represented by R 1 may have a substituent, for example, a phenyl group, a tolyl group, a dimethylphenyl group, a 2,4,6-trimethylphenyl group. And a naphthyl group.
The “aralkyl group having 7 to 12 carbon atoms” represented by R 1 may have a substituent, and examples thereof include a benzyl group, a phenethyl group, and a naphthylmethyl group.

前記R2及びR4は、それぞれ独立して、炭素数1〜18のアルキレン基、炭素数1〜4のアルキル基を置換基として含むフェニルカルバミン酸エステル、又は炭素数3〜18の脂環式基を有するカルバミン酸エステルを表す。 R 2 and R 4 are each independently an alkylene group having 1 to 18 carbon atoms, a phenylcarbamic acid ester containing an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms as a substituent, or an alicyclic group having 3 to 18 carbon atoms. It represents a carbamate having a group.

前記R2又はR4で表される「炭素数1〜18のアルキレン基」としては、直鎖状又は分岐状のアルキレン基が挙げられ、例えば、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、ヘキシレン基、オクチレン基等が挙げられる。好ましくは、炭素数4〜8のアルキレン基である。 Examples of the “C1-C18 alkylene group” represented by R 2 or R 4 include linear or branched alkylene groups such as a methylene group, an ethylene group, a propylene group, a butylene group, A hexylene group, an octylene group, etc. are mentioned. Preferably, it is a C4-C8 alkylene group.

前記R2又はR4で表される「炭素数1〜4のアルキル基を置換基として含むフェニルカルバミン酸エステル」、又は「炭素数3〜18の脂環式基を有するカルバミン酸エステル」の各エステルとしては、炭素数1〜6のアルキルエステルが挙げられる。 Each of “phenylcarbamic acid ester containing a C 1-4 alkyl group as a substituent” represented by R 2 or R 4 or “carbamic acid ester having a C 3-18 alicyclic group” Examples of the ester include alkyl esters having 1 to 6 carbon atoms.

前記R3は、炭素数2〜16の直鎖もしくは分岐のアルキレン基を表す。R3で表される「炭素数2〜16の直鎖もしくは分岐のアルキレン基」としては、直鎖状又は分岐状のアルキレン基が挙げられ、例えば、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、ヘキシレン基、オクチレン基等が挙げられる。好ましくは、炭素数4〜8のアルキレン基である。 R 3 represents a linear or branched alkylene group having 2 to 16 carbon atoms. Examples of the “linear or branched alkylene group having 2 to 16 carbon atoms” represented by R 3 include a linear or branched alkylene group, such as a methylene group, an ethylene group, a propylene group, and a butylene group. Hexylene group, octylene group and the like. Preferably, it is a C4-C8 alkylene group.

前記R5は、炭素数1〜4のアルキル基を表す。R5で表される「炭素数1〜4のアルキル基」としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、i−プロピル基、ブチル基、i−ブチル基、t−ブチル基等が挙げられる。 R 5 represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. Examples of the “alkyl group having 1 to 4 carbon atoms” represented by R 5 include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an i-propyl group, a butyl group, an i-butyl group, and a t-butyl group. It is done.

前記lは、2〜30の整数を表し、好ましくは2〜10の整数である。前記mは、0又は1〜20の整数を表し、好ましくは0又は1〜2の整数である。前記nは、2〜20の整数を表し、好ましくは2〜6の整数である。
また、前記Xは、前記構造式(1)〜(9)より選択される基を表し、中でも、構造式(1)で表される基又は構造式(2)で表される基が好ましい。
Said l represents the integer of 2-30, Preferably it is an integer of 2-10. The m represents 0 or an integer of 1 to 20, preferably 0 or an integer of 1 to 2. Said n represents the integer of 2-20, Preferably it is an integer of 2-6.
X represents a group selected from the structural formulas (1) to (9), and among them, a group represented by the structural formula (1) or a group represented by the structural formula (2) is preferable.

本発明においては、前記化合物(1−1)〜(1−3)における前記各構造単位の構成比率は、モル%で、a1とa2とは合計で10〜70%、好ましくは15〜60%、b1とb2は合計で5〜40%、好ましくは15〜30%、c1は5〜40%、好ましくは10〜20%、c2は5〜40%、好ましくは10〜20%、c3とc4は合計で5〜40%、好ましくは10〜20%、dは5〜30%、好ましくは10〜20%である。   In the present invention, the structural ratio of each structural unit in the compounds (1-1) to (1-3) is mol%, and a1 and a2 are 10 to 70% in total, preferably 15 to 60%. , B1 and b2 are 5 to 40% in total, preferably 15 to 30%, c1 is 5 to 40%, preferably 10 to 20%, c2 is 5 to 40%, preferably 10 to 20%, c3 and c4 Is 5 to 40% in total, preferably 10 to 20%, d is 5 to 30%, preferably 10 to 20%.

上記のうち、本発明に係るアルカリ可溶性樹脂としては、(メタ)アクリロイル基を、好ましくは0.1〜5.0meq/g、より好ましくは0.5〜3.0meq/g、特に好ましくは0.8〜2.0meq/g含むものが好適である。また、アルカリ可溶性樹脂の酸価は、20〜200の範囲内が好ましく、より好ましくは25〜100であり、特に好ましくは30〜80である。   Among the above, as the alkali-soluble resin according to the present invention, a (meth) acryloyl group is preferably 0.1 to 5.0 meq / g, more preferably 0.5 to 3.0 meq / g, and particularly preferably 0. Those containing 0.8 to 2.0 meq / g are preferred. The acid value of the alkali-soluble resin is preferably in the range of 20 to 200, more preferably 25 to 100, and particularly preferably 30 to 80.

前記アルカリ可溶性樹脂の質量平均分子量(Mw)としては、5,000〜30,000が好ましく、より好ましくは7,000〜15,000であり、特に好ましくは8,000〜12,000である。   The mass average molecular weight (Mw) of the alkali-soluble resin is preferably 5,000 to 30,000, more preferably 7,000 to 15,000, and particularly preferably 8,000 to 12,000.

アルカリ可溶性樹脂の光硬化性組成物における含有量としては、特に制限されるものではなく、後述の着色剤を含有する場合には、全固形分に対して、5〜55質量%が好ましく、より好ましくは15〜45質量%であり、また、着色剤を含有しない場合には、全固形分に対して、20〜70質量%が好ましく、より好ましくは30〜60質量%である。   The content of the alkali-soluble resin in the photocurable composition is not particularly limited, and when it contains a colorant described later, it is preferably 5 to 55% by mass with respect to the total solid content. Preferably it is 15-45 mass%, and when it does not contain a coloring agent, 20-70 mass% is preferable with respect to the total solid, More preferably, it is 30-60 mass%.

−光重合性化合物−
本発明の光硬化性組成物は、光重合性化合物の少なくとも一種を含有する。この光重合性化合物は、前記アルカリ可溶性樹脂がアルキレンオキサイド鎖を含まないとき、及びアルキレンオキサイド鎖を含むときは必要に応じて、アルキレンオキサイド鎖を含む硬化性成分であり、現像の際の非露光部の現像液に対する溶解性が高められ、現像残渣が防止された先鋭なパターン形成に効果的である。
-Photopolymerizable compound-
The photocurable composition of the present invention contains at least one photopolymerizable compound. This photopolymerizable compound is a curable component containing an alkylene oxide chain, if necessary, when the alkali-soluble resin does not contain an alkylene oxide chain and when it contains an alkylene oxide chain. This is effective for forming a sharp pattern in which the solubility of the portion in the developer is enhanced and development residues are prevented.

本発明に係る光重合性化合物としては、少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有し、常圧下で100℃以上の沸点を持つ化合物が好ましく、中でも4官能以上のアクリレート化合物がより好ましい。   As the photopolymerizable compound according to the present invention, a compound having at least one addition-polymerizable ethylenically unsaturated group and having a boiling point of 100 ° C. or higher under normal pressure is preferable. More preferred.

少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有し、常圧下で100℃以上の沸点を持つ化合物としては、例えば、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート等の単官能のアクリレートやメタアクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオール(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイロキシエチル)イソシアヌレート、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後(メタ)アクリレート化したもの、ペンタエリスリトール又はジペンタエリスリトールのポリ(メタ)アクリレート化したもの、特公昭48−41708号、特公昭50−6034号、特開昭51−37193号の各公報に記載されているようなウレタンアクリレート類、特開昭48−64183号、特公昭49−43191号、特公昭52−30490号の各公報に記載のポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタアクリレートを挙げることができる。更に、日本接着協会誌Vol.20、No.7、p.300〜308に光硬化性化合物及びオリゴマーとして紹介されているものも使用できる。   Examples of the compound having at least one addition-polymerizable ethylenically unsaturated group and having a boiling point of 100 ° C. or higher under normal pressure include, for example, polyethylene glycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate, phenoxy Monofunctional acrylates and methacrylates such as ethyl (meth) acrylate; polyethylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolethane tri (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, penta Erythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, hexanediol (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) Ether, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, polyfunctional alcohols such as glycerin and trimethylolethane, and the addition of ethylene oxide and propylene oxide followed by (meth) acrylate conversion, poly (pentaerythritol or dipentaerythritol poly ( (Meth) acrylate, urethane acrylates as described in JP-B-48-41708, JP-B-50-6034, JP-A-51-37193, JP-A-48-64183, Polyfunctional acrylates and methacrylates such as polyester acrylates and epoxy acrylates which are reaction products of epoxy resin and (meth) acrylic acid described in JP-B-49-43191 and JP-B-52-30490 Can be mentioned. Furthermore, what is introduced as a photocurable compound and an oligomer in the Japan Adhesive Association magazine Vol.20, No.7, p.300-308 can also be used.

また、上記した多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後に(メタ)アクリレート化した化合物が、特開平10−62986号公報に一般式(1)及び(2)としてその具体例と共に記載されており、これらも光硬化性化合物として使用できる。   Further, a compound obtained by adding ethylene oxide or propylene oxide to the polyfunctional alcohol described above and then (meth) acrylated is described in JP-A-10-62986 as general formulas (1) and (2) together with specific examples thereof. These can also be used as photocurable compounds.

上記の中でも、下記一般式(VI)〜(VIII)のいずれかで表される化合物からなる群より選択される少なくとも一種が好ましい。   Among the above, at least one selected from the group consisting of compounds represented by any one of the following general formulas (VI) to (VIII) is preferable.

Figure 2007065640
Figure 2007065640

前記一般式(VI)において、R21及びR22は各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。mは2〜6の整数を表し、nは1〜3の整数を表し、a及びbはa+b=3を満たす。 In the general formula (VI), R 21 and R 22 each independently represents a hydrogen atom or a methyl group. m represents an integer of 2 to 6, n represents an integer of 1 to 3, and a and b satisfy a + b = 3.

上記のうち、好ましくはR21が水素原子であって、R22が水素原子であって、mが5であって、nが1であって、aが3であって、bが3であるものが好ましい。 Of the above, preferably R 21 is a hydrogen atom, R 22 is a hydrogen atom, m is 5, n is 1, a is 3, and b is 3. Those are preferred.

Figure 2007065640
Figure 2007065640

前記一般式(VII)において、R23、R24、及びR25は各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。s、t及びuは各々独立に2又は3を表し、p、q及びrは1≦p+q+r≦3を満たす。 In the general formula (VII), R 23 , R 24 and R 25 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group. s, t, and u each independently represent 2 or 3, and p, q, and r satisfy 1 ≦ p + q + r ≦ 3.

上記のうち、好ましくはR23が水素原子であって、R24が水素原子であって、R25が水素原子であって、sが2であって、tが2であって、uが2であって、pが1であって、qが1であって、rが1であるものが好ましい。 Of the above, preferably R 23 is a hydrogen atom, R 24 is a hydrogen atom, R 25 is a hydrogen atom, s is 2, t is 2, and u is 2 It is preferable that p is 1, q is 1, and r is 1.

Figure 2007065640
Figure 2007065640

前記一般式(VIII)において、Rは、水素原子又はメチル基を表す。wは2〜6の整数を表し、xは1〜3の整数を表し、yは2〜4の整数を表し、zは0〜2の整数を表す。   In the general formula (VIII), R represents a hydrogen atom or a methyl group. w represents an integer of 2 to 6, x represents an integer of 1 to 3, y represents an integer of 2 to 4, and z represents an integer of 0 to 2.

上記のうち、好ましくはRが水素原子であって、wが2であって、xが1であって、yが4であって、zが0であるものが好ましい。   Of the above, preferably, R is a hydrogen atom, w is 2, x is 1, y is 4, and z is 0.

以下、本発明に係る光重合性化合物として好適な例を列挙する。但し、本発明においては、これらに制限されるものではない。

Figure 2007065640
Examples suitable as the photopolymerizable compound according to the present invention will be listed below. However, the present invention is not limited to these.
Figure 2007065640

光硬化性化合物は、1種単独で用いる以外に2種以上を組み合わせて使用することができる。
光硬化性化合物の光硬化性組成物中における含有量としては、該組成物の全固形分に対して、20〜200質量%が好ましく、より好ましくは50〜120質量%である。
A photocurable compound can be used in combination of 2 or more types in addition to being used alone.
As content in the photocurable composition of a photocurable compound, 20-200 mass% is preferable with respect to the total solid of this composition, More preferably, it is 50-120 mass%.

−トリハロメタントリアジン系化合物−
本発明の光硬化性組成物は、光重合開始剤として、トリハロメタントリアジン系化合物の少なくとも一種を含有する。このトリハロメタントリアジン系化合物は、後述のクマリン系紫外線吸収剤との併用により、高感度化が可能であると共に、パターン露光時の光の吸収が高められ、画像パターンのサイズ変動(例えば、線部の線幅太りなど)を効果的に抑制することができる。
-Trihalomethane triazine compounds-
The photocurable composition of the present invention contains at least one trihalomethane triazine compound as a photopolymerization initiator. This trihalomethane triazine-based compound can be used with a coumarin-based ultraviolet absorber described later to increase the sensitivity, increase the light absorption during pattern exposure, and change the size of the image pattern (for example, the line portion). Line width and the like) can be effectively suppressed.

トリハロメタントリアジン系化合物としては、従来より公知のものの中から適宜選択することができる。本発明においては、特に下記一般式(II)〜(V)のいずれかで表される化合物からなる群より選択される少なくとも一種で構成されるのが好ましい。   The trihalomethane triazine compound can be appropriately selected from conventionally known compounds. In the present invention, it is particularly preferable to be composed of at least one selected from the group consisting of compounds represented by any one of the following general formulas (II) to (V).

Figure 2007065640
Figure 2007065640

前記一般式(II)において、R4は、ハロゲン原子、又は炭素数1〜4の炭化水素基を表す。
前記R4で表されるハロゲン原子としては、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子が挙げられ、塩素原子、臭素原子が好ましい。
In the general formula (II), R 4 represents a halogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms.
Examples of the halogen atom represented by R 4 include a fluorine atom, a chlorine atom, and a bromine atom, and a chlorine atom and a bromine atom are preferable.

前記R4で表される炭素数1〜4の炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基等が挙げられ、中でもメチル基、エチル基が好ましい。 Examples of the hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms represented by R 4 include a methyl group, an ethyl group, and a propyl group. Among them, a methyl group and an ethyl group are preferable.

前記R5及びR6は各々独立に、−CH2COOR7を表し、R7は炭素数1〜4の炭化水素基を表す。R7で表される炭素数1〜4の炭化水素基としては、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等が挙げられ、中でもメチル基、エチル基が好ましい。 R 5 and R 6 each independently represent —CH 2 COOR 7 , and R 7 represents a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms. Examples of the hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms represented by R 7 include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, and a butyl group. Among them, a methyl group and an ethyl group are preferable.

また、前記Xは、ハロゲン原子を表し、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等が挙げられ、中でも塩素原子が好ましい。前記nは、0〜4の整数を表し、好ましくは1である。   Moreover, said X represents a halogen atom, for example, a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom etc. are mentioned, A chlorine atom is especially preferable. Said n represents the integer of 0-4, Preferably it is 1.

前記一般式(II)で表される化合物のうち、R4が臭素原子であって、R5及びR6がともに−CH2COO−C25であって、R7がエチル基であって、Xが塩素原子であって、nが1である化合物が特に好ましい。 Of the compounds represented by the general formula (II), R 4 is a bromine atom, R 5 and R 6 are both —CH 2 COO—C 2 H 5 , and R 7 is an ethyl group. A compound in which X is a chlorine atom and n is 1 is particularly preferable.

Figure 2007065640
Figure 2007065640

前記一般式(III)において、R8及びR9は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、水酸基、アルコキシ基、又は炭素数1〜4の炭化水素基を表す。
前記R8又はR9で表されるハロゲン原子としては、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられ、塩素原子、臭素原子が好ましい。
In the general formula (III), R 8 and R 9 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, a hydroxyl group, an alkoxy group, or a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms.
Examples of the halogen atom represented by R 8 or R 9 include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom, and a chlorine atom and a bromine atom are preferable.

前記R8又はR9で表されるアルコキシ基としては、炭素数1〜4のアルコキシ基が好ましく、中でも、メトキシ基、エトキシ基が好ましい。 As the alkoxy group represented by R 8 or R 9 , an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms is preferable, and among them, a methoxy group and an ethoxy group are preferable.

前記R8又はR9で表される炭素数1〜4の炭化水素基としては、メチル基、エチル基が好ましい。 As a C1-C4 hydrocarbon group represented by said R < 8 > or R < 9 >, a methyl group and an ethyl group are preferable.

前記一般式(III)におけるXは、ハロゲン原子を表し、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられ、中でも塩素原子、臭素原子が好ましい。   X in the general formula (III) represents a halogen atom, and examples thereof include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom. Of these, a chlorine atom and a bromine atom are preferable.

前記一般式(III)で表される化合物のうち、R8が及びR9が水素原子であって、Xが塩素原子である化合物が特に好ましい。 Of the compounds represented by the general formula (III), a compound in which R 8 and R 9 are hydrogen atoms and X is a chlorine atom is particularly preferable.

Figure 2007065640
Figure 2007065640

前記一般式(IV)において、R10は、ハロゲン原子、又はアルコキシ基を表す。
前記R10で表されるハロゲン原子としては、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等が挙げられ、塩素原子、臭素原子が好ましい。
In the general formula (IV), R 10 represents a halogen atom or an alkoxy group.
Examples of the halogen atom represented by R 10 include a fluorine atom, a chlorine atom, and a bromine atom, and a chlorine atom and a bromine atom are preferable.

前記R10で表されるアルコキシ基としては、炭素数1〜4のアルコキシ基が好ましく、中でもメトキシ基、エトキシ基が好ましい。 As the alkoxy group represented by R 10 , an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms is preferable, and among them, a methoxy group and an ethoxy group are preferable.

前記一般式(IV)におけるXは、ハロゲン原子を表し、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等が挙げられ、中でも塩素原子、臭素原子が好ましい。
前記nは、0〜4の整数を表し、好ましくは1である。
X in the general formula (IV) represents a halogen atom, and examples thereof include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, etc. Among them, a chlorine atom and a bromine atom are preferable.
Said n represents the integer of 0-4, Preferably it is 1.

前記一般式(IV)で表される化合物のうち、R10がメトキシ基であって、Xが塩素原子であって、nが1である化合物が特に好ましい。 Of the compounds represented by the general formula (IV), a compound in which R 10 is a methoxy group, X is a chlorine atom, and n is 1 is particularly preferable.

Figure 2007065640
Figure 2007065640

前記一般式(V)において、R11は、水酸基又は炭素数1〜3のアルコキシ基を表す。
前記R11で表される炭素数1〜3のアルコキシ基としては、例えばメトキシ基が好ましい。
In the general formula (V), R 11 represents a hydroxyl group or an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms.
The alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms represented by R 11, a methoxy group is preferable.

12及びR13は各々独立に、ハロゲン原子、水酸基、アルコキシ基、又は炭素数1〜3の炭化水素基を表す。
前記R12又はR13で表されるハロゲン原子としては、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等が挙げられ、臭素原子、ヨウ素原子が好ましい。
R 12 and R 13 each independently represents a halogen atom, a hydroxyl group, an alkoxy group, or a hydrocarbon group having 1 to 3 carbon atoms.
Examples of the halogen atom represented by R 12 or R 13 include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom, and a bromine atom and an iodine atom are preferable.

前記R12又はR13で表されるアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基が好ましい。
前記R12又はR13で表される炭素数1〜3の炭化水素基としては、メチル基が好ましい。
The alkoxy group represented by R 12 or R 13 is preferably a methoxy group or an ethoxy group.
As a C1-C3 hydrocarbon group represented by said R < 12 > or R < 13 >, a methyl group is preferable.

前記一般式(V)におけるXは、ハロゲン原子を表し、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられ、臭素原子、塩素原子が好ましい。
また、前記nは、0〜4の整数を表し、好ましくは1又は2である。
X in the said general formula (V) represents a halogen atom, for example, a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom are mentioned, A bromine atom and a chlorine atom are preferable.
The n represents an integer of 0 to 4, and is preferably 1 or 2.

前記一般式(V)で表される化合物のうち、R11が水酸基であって、R12及びR13がともに水素原子、即ち、nが0であって、Xが塩素原子である化合物が特に好ましい。 Of the compounds represented by the general formula (V), particularly those compounds in which R 11 is a hydroxyl group, R 12 and R 13 are both hydrogen atoms, that is, n is 0 and X is a chlorine atom. preferable.

以下、前記トリハロメタントリアジン系化合物の好ましい具体例を示す。但し、本発明においては、これらに制限されるものではない。   Hereinafter, preferred specific examples of the trihalomethane triazine compound will be shown. However, the present invention is not limited to these.

好ましい例として、下記化合物が挙げられ、

Figure 2007065640
Preferred examples include the following compounds:
Figure 2007065640

これらのうち、より好ましくは下記化合物であり、

Figure 2007065640
Among these, the following compounds are more preferable,
Figure 2007065640

さらに好ましくは、下記化合物である。

Figure 2007065640
More preferably, they are the following compounds.
Figure 2007065640

トリハロメタントリアジン系化合物の光硬化性組成物中における含有量としては、該組成物の不揮発成分の全質量に対して、0.1〜10質量%が好ましく、2〜7質量%がより好ましく、3〜6質量%が特に好ましい。該含有量が前記範囲内であると、高感度化を維持しつつパターン露光時に光吸収し、例えば線部の線幅太りなどの画像パターンのサイズ変動を抑制するのに効果的である。
ここで、「不揮発成分」とは、乾燥により基板上に残る成分であり、具体的には、10μmの厚みで基板上に塗布した場合、160℃で1時間の乾燥処理を行なって組成物から蒸発、揮発等により抜けることなく基板上に残る成分をいう。以下同様である。
As content in the photocurable composition of a trihalomethane triazine type compound, 0.1-10 mass% is preferable with respect to the total mass of the non-volatile component of this composition, 2-7 mass% is more preferable, 3 ˜6% by weight is particularly preferred. When the content is within the above range, light is absorbed at the time of pattern exposure while maintaining high sensitivity, and it is effective in suppressing fluctuations in the size of the image pattern such as, for example, thickening of the line width.
Here, the “nonvolatile component” is a component that remains on the substrate by drying. Specifically, when applied to the substrate with a thickness of 10 μm, the composition is subjected to a drying treatment at 160 ° C. for 1 hour. A component that remains on the substrate without being lost due to evaporation or volatilization. The same applies hereinafter.

本発明においては、上記のトリハロメタントリアジン系化合物以外の他の公知の光重合開始剤を併用してもよい。他の公知の光重合開始剤としては、例えば、ハロメチルオキサジアゾールやハロメチル−s−トリアジン等の活性ハロゲン化合物、3−アリール置換クマリン化合物、少なくとも一種のロフィン2量体等を挙げることができる。これらの詳細については、特開2004−109989号公報の記載を参照することができる。
前記他の光重合開始剤を併用する場合、光重合開始剤の総量における前記本発明に係る「トリハロメタントリアジン系化合物」の比率は、本発明の効果の点から、50質量%以上が好ましく、75質量%以上がより好ましい。
In this invention, you may use together other well-known photoinitiators other than said trihalomethane triazine type compound. Examples of other known photopolymerization initiators include active halogen compounds such as halomethyloxadiazole and halomethyl-s-triazine, 3-aryl substituted coumarin compounds, and at least one kind of lophine dimer. . Regarding these details, reference can be made to the description in JP-A No. 2004-109989.
When the other photopolymerization initiator is used in combination, the ratio of the “trihalomethanetriazine compound” according to the present invention in the total amount of the photopolymerization initiator is preferably 50% by mass or more from the viewpoint of the effect of the present invention, 75 The mass% or more is more preferable.

−クマリン系紫外線吸収剤−
本発明の光硬化性組成物は、クマリン系紫外線吸収剤の少なくとも一種を含有する。このクマリン系紫外線吸収剤は、既述のトリハロメタントリアジン系化合物との併用により、高感度化が可能であると共に、パターン露光時の光の吸収が高められ、画像パターンのサイズ変動(例えば、線部の線幅太りなど)を効果的に抑制するのに有効である。
-Coumarin UV absorber-
The photocurable composition of the present invention contains at least one coumarin-based ultraviolet absorber. This coumarin-based UV absorber can be used with the aforementioned trihalomethane triazine-based compound to increase the sensitivity, increase the light absorption during pattern exposure, and change the size of the image pattern (for example, the line portion). It is effective to effectively suppress the line width of the line).

クマリン系紫外線吸収剤としては、従来公知のものの中から適宜選択することができ、本発明においては、特に下記一般式(I)で表される化合物が好ましい。   As a coumarin type ultraviolet absorber, it can select suitably from conventionally well-known things, and especially the compound represented with the following general formula (I) in this invention is preferable.

Figure 2007065640
Figure 2007065640

前記一般式(I)において、R1及びR2は、各々独立に、水素原子又は炭素数1〜4の炭化水素基を表す。
前記R1又はR2で表される炭素数1〜4の炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基が好ましく、中でもエチル基がより好ましい。
In the general formula (I), R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms.
As a C1-C4 hydrocarbon group represented by said R < 1 > or R < 2 >, a methyl group and an ethyl group are preferable, for example, and an ethyl group is more preferable especially.

3は、ハロゲン原子、又は炭素数1〜4の炭化水素基を表す。
前記R3で表されるハロゲン原子としては、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられ、臭素原子、塩素原子が好ましい。
R 3 represents a halogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms.
Examples of the halogen atom represented by R 3 include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom, and a bromine atom and a chlorine atom are preferable.

前記R3で表される炭素数1〜4の炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基等が好適に挙げられ、中でもエチル基が好ましい。 As a C1-C4 hydrocarbon group represented by said R < 3 >, a methyl group, an ethyl group, etc. are mentioned suitably, for example, Among these, an ethyl group is preferable.

前記一般式(I)におけるXは、水素原子、ハロゲン原子、又はアルキルオキサイド基を表す。Xで表されるハロゲン原子としては、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられ、中でもフッ素原子、塩素原子が好ましい。   X in the general formula (I) represents a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl oxide group. Examples of the halogen atom represented by X include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom, and among them, a fluorine atom and a chlorine atom are preferable.

Xで表されるアルキルオキサイド基としては、炭素数1〜4のアルキルオキサイド基が好ましく、例えば、メトキシ基、エトキシ基等が好適に挙げられ、中でもメトキシ基が好ましい。
また、nは0〜4の整数を表し、好ましくは1である。
As the alkyl oxide group represented by X, an alkyl oxide group having 1 to 4 carbon atoms is preferable, and examples thereof include a methoxy group and an ethoxy group, and among them, a methoxy group is preferable.
N represents an integer of 0 to 4, preferably 1.

前記一般式(I)で表されるクマリン系紫外線吸収剤のうち、R1及びR2がともにエチル基であって、R3が水素原子、即ちnが0であって、Xが塩素原子である化合物が特に好ましい。 Among the coumarin ultraviolet absorbers represented by the general formula (I), R 1 and R 2 are both ethyl groups, R 3 is a hydrogen atom, that is, n is 0, and X is a chlorine atom. Certain compounds are particularly preferred.

以下、前記クマリン系紫外線吸収剤の好ましい具体例を示す。但し、本発明においては、これらに制限されるものではない。   Hereinafter, the preferable specific example of the said coumarin type ultraviolet absorber is shown. However, the present invention is not limited to these.

Figure 2007065640
Figure 2007065640

本発明においては、上記のクマリン系紫外線吸収剤と共に、クマリン系紫外線吸収剤以外の他の公知の紫外線吸収剤を併用してもよい。他の公知の紫外線吸収剤としては、例えば、2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等を挙げることができる。
前記他の紫外線吸収剤を併用する場合、紫外線吸収剤の総量における前記本発明に係る「クマリン系紫外線吸収剤」の比率は、本発明の効果の点から、50質量%以上が好ましく、75質量%以上がより好ましい。
In this invention, you may use together well-known ultraviolet absorbers other than a coumarin type ultraviolet absorber with said coumarin type ultraviolet absorber. Examples of other known ultraviolet absorbers include 2- (3-t-butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole, alkoxybenzophenone, and the like.
When the other ultraviolet absorber is used in combination, the ratio of the “coumarin ultraviolet absorber” according to the present invention in the total amount of the ultraviolet absorber is preferably 50% by mass or more from the viewpoint of the effect of the present invention, and 75% by mass. % Or more is more preferable.

クマリン系紫外線吸収剤の光硬化性組成物中における含有量としては、該組成物の不揮発成分の全質量に対して、0.1〜10質量%が好ましく、4〜8質量%がより好ましく、5〜7質量%が特に好ましい。該含有量が前記範囲内であると、高感度化を維持しつつパターン露光時に光吸収し、例えば線部の線幅太りなどの画像パターンのサイズ変動を抑制するのに効果的である。   As content in the photocurable composition of a coumarin type ultraviolet absorber, 0.1-10 mass% is preferable with respect to the total mass of the non-volatile component of this composition, 4-8 mass% is more preferable, 5-7 mass% is especially preferable. When the content is within the above range, light is absorbed at the time of pattern exposure while maintaining high sensitivity, and it is effective in suppressing fluctuations in the size of the image pattern such as, for example, thickening of the line width.

−着色剤−
本発明の光硬化性組成物は、着色剤の少なくとも一種を好適に含有することができ、着色された可視像を形成し得るように構成することができ、液晶表示装置(LCD)や固体撮像素子(イメージセンサ)用のカラーフィルタの光硬化膜を形成することができる。
-Colorant-
The photocurable composition of the present invention can suitably contain at least one colorant and can be configured to form a colored visible image, such as a liquid crystal display (LCD) or a solid. A photocured film of a color filter for an image sensor (image sensor) can be formed.

着色剤には、顔料、染料等が含まれる。顔料、染料は、一種単独で又は二種以上を混合して用いることができる。以下、本発明において好適な顔料及び染料を中心に説明する。   Colorants include pigments, dyes and the like. A pigment and dye can be used individually by 1 type or in mixture of 2 or more types. Hereinafter, the pigments and dyes suitable for the present invention will be mainly described.

顔料としては、従来公知の種々の無機顔料又は有機顔料を用いることができる。また、無機顔料又は有機顔料のいずれに関わらず、高透過率なことが好ましいことを考慮するとなるべく細かいものの使用が好ましく、ハンドリング性をも考慮すると、顔料の平均粒子径は0.01μm〜0.1μmが好ましく、0.01μm〜0.05μmがより好ましい。   As the pigment, conventionally known various inorganic pigments or organic pigments can be used. In addition, regardless of whether the pigment is an inorganic pigment or an organic pigment, it is preferable to use a fine particle as much as possible considering that high transmittance is preferable, and considering the handling property, the average particle size of the pigment is 0.01 μm to 0.00. 1 μm is preferable, and 0.01 μm to 0.05 μm is more preferable.

前記無機顔料としては、金属酸化物、金属錯塩等で示される金属化合物を挙げることができ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属酸化物、及び前記金属の複合酸化物を挙げることができる。   Examples of the inorganic pigment include metal compounds represented by metal oxides, metal complex salts, and the like. Specifically, iron, cobalt, aluminum, cadmium, lead, copper, titanium, magnesium, chromium, zinc, antimony And metal oxides such as the above, and complex oxides of the above metals.

前記有機顔料としては、
C.I.Pigment Yellow 11, 24, 31, 53, 83, 93, 99, 108, 109, 110, 138, 139, 147, 150, 151, 154, 155, 167, 180, 185, 199;
C.I.Pigment Orange 36, 38, 43, 71;
C.I.Pigment Red 81, 105, 122, 149, 150, 155, 171, 175, 176, 177, 209, 220, 224, 242, 254, 255, 264, 270;
C.I.Pigment Violet 19, 23, 32, 39;
C.I.Pigment Blue 1, 2, 15, 15:1, 15:3, 15:6, 16, 22, 60, 66;
C.I.Pigment Green 7, 36, 37;
C.I.Pigment Brown 25, 28;
C.I.Pigment Black 1, 7;
及びカーボンブラック、等を挙げることができる。
As the organic pigment,
CIPigment Yellow 11, 24, 31, 53, 83, 93, 99, 108, 109, 110, 138, 139, 147, 150, 151, 154, 155, 167, 180, 185, 199;
CIPigment Orange 36, 38, 43, 71;
CIPigment Red 81, 105, 122, 149, 150, 155, 171, 175, 176, 177, 209, 220, 224, 242, 254, 255, 264, 270;
CIPigment Violet 19, 23, 32, 39;
CIPigment Blue 1, 2, 15, 15: 1, 15: 3, 15: 6, 16, 22, 60, 66;
CIPigment Green 7, 36, 37;
CIPigment Brown 25, 28;
CIPigment Black 1, 7;
And carbon black.

本発明では、特に顔料の構造式中に塩基性のN原子をもつものを好ましく用いることができる。これら塩基性のN原子をもつ顔料は本発明の組成物中で良好な分散性を示す。その原因については十分解明されていないが、光硬化性モノマーと顔料の親和性の良さが影響しているものと推定される。   In the present invention, those having a basic N atom in the structural formula of the pigment can be preferably used. These pigments having a basic N atom exhibit good dispersibility in the composition of the present invention. Although the cause has not been fully elucidated, it is presumed that the good affinity between the photocurable monomer and the pigment has an influence.

上記のうち、好ましい顔料として以下のものを挙げることができる。但し、これらに限定されるものではない。
C.I.Pigment Yellow 11, 24, 108, 109, 110, 138, 139, 150, 151, 154, 167, 180, 185,
C.I.Pigment Orange 36, 71,
C.I.Pigment Red 122, 150, 171, 175, 177, 209, 224, 242, 254, 255, 264,
C.I.Pigment Violet 19, 23, 32,
C.I.Pigment Blue 15:1, 15:3, 15:6, 16, 22, 60, 66,
C.I.Pigment Black 1, 7,
C.I.Pigment Green 7, 36;
Among the above, preferable pigments include the following. However, it is not limited to these.
CIPigment Yellow 11, 24, 108, 109, 110, 138, 139, 150, 151, 154, 167, 180, 185,
CIPigment Orange 36, 71,
CIPigment Red 122, 150, 171, 175, 177, 209, 224, 242, 254, 255, 264,
CIPigment Violet 19, 23, 32,
CIPigment Blue 15: 1, 15: 3, 15: 6, 16, 22, 60, 66,
CIPigment Black 1, 7,
CIPigment Green 7, 36;

有機顔料は、単独でもしくは、色純度をあげるために複数種を組み合わせて用いることができる。具体例を以下に示す。
赤の顔料としては、アントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、ジケトピロロピロール系顔料単独、又はそれらの少なくとも一種と、ジスアゾ系黄色顔料、イソインドリン系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料又はペリレン系赤色顔料との混合などが用いられる。例えば、アントラキノン系顔料としてはC.I.ピグメントレッド177、ペリレン系顔料としてはC.I.ピグメントレッド155、C.I.ピグメントレッド224、ジケトピロロピロール系顔料としてはC.I.ピグメントレッド254が挙げられ、色再現性の点でC.I.ピグメントイエロー83又はC.I.ピグメントイエロー139との混合が好ましい。赤色顔料と黄色顔料の質量比は、100:5〜100:50が好ましい。100:5を超えると、400〜500nmの光透過率を抑えることができ、色純度をあげることが可能となる。また、100:50未満であると、主波長が短波長よりになり、NTSC目標色相からのズレがほとんど見られなくなる。特に100:10〜100:30の範囲が最適である。赤色顔料同士の組み合わせの場合は、色度に併せて調整する。
The organic pigments can be used alone or in combination of two or more kinds in order to increase color purity. Specific examples are shown below.
Examples of red pigments include anthraquinone pigments, perylene pigments, diketopyrrolopyrrole pigments alone or at least one of them, disazo yellow pigments, isoindoline yellow pigments, quinophthalone yellow pigments, and perylene red pigments. A mixture of these is used. For example, as an anthraquinone pigment, C.I. I. Pigment Red 177 and perylene pigments include C.I. I. Pigment red 155, C.I. I. Pigment Red 224 and diketopyrrolopyrrole pigments include C.I. I. Pigment red 254, and C.I. I. Pigment yellow 83 or C.I. I. Mixing with Pigment Yellow 139 is preferred. The mass ratio of the red pigment to the yellow pigment is preferably 100: 5 to 100: 50. If it exceeds 100: 5, the light transmittance of 400 to 500 nm can be suppressed, and the color purity can be increased. On the other hand, when the ratio is less than 100: 50, the dominant wavelength is shorter than the short wavelength, and deviation from the NTSC target hue is hardly observed. In particular, the range of 100: 10 to 100: 30 is optimal. In the case of a combination of red pigments, it is adjusted according to the chromaticity.

緑の顔料としては、ハロゲン化フタロシアニン系顔料単独、又はジスアゾ系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、アゾメチン系黄色顔料、もしくはイソインドリン系黄色顔料との混合が用いられる。例えば、C.I.ピグメントグリーン7、36、37とC.I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー180又はC.I.ピグメントイエロー185との混合が好ましい。緑顔料と黄色顔料の質量比は、100:5〜100:150が好ましい。100:5を超えると、400〜450nmの光透過率を抑えることができ、色純度をあげることが可能となる。また、100:150未満であると、主波長が長波長よりになり、NTSC目標色相からのズレがほとんど見られなくなる。より好ましい質量比は、100:30〜100:120の範囲である。   As the green pigment, a halogenated phthalocyanine pigment alone or a mixture with a disazo yellow pigment, a quinophthalone yellow pigment, an azomethine yellow pigment, or an isoindoline yellow pigment is used. For example, C.I. I. Pigment Green 7, 36, 37 and C.I. I. Pigment yellow 83, C.I. I. Pigment yellow 138, C.I. I. Pigment yellow 139, C.I. I. Pigment yellow 150, C.I. I. Pigment yellow 180 or C.I. I. Mixing with Pigment Yellow 185 is preferred. The mass ratio of the green pigment to the yellow pigment is preferably 100: 5 to 100: 150. If it exceeds 100: 5, the light transmittance of 400 to 450 nm can be suppressed, and the color purity can be increased. On the other hand, when the ratio is less than 100: 150, the dominant wavelength becomes longer and the deviation from the NTSC target hue is hardly observed. A more preferable mass ratio is in the range of 100: 30 to 100: 120.

青の顔料としては、フタロシアニン系顔料単独、又はこれとジオキサジン系紫色顔料との混合が用いられる。例えば、C.I.ピグメントブルー15:6とC.I.ピグメントバイオレット23との混合が好ましい。青色顔料と紫色顔料との質量比は、100:0〜100:30が好ましく、より好ましくは100:10以下である。   As the blue pigment, a phthalocyanine pigment alone or a mixture thereof with a dioxazine purple pigment is used. For example, C.I. I. Pigment blue 15: 6 and C.I. I. Mixing with pigment violet 23 is preferred. The mass ratio of the blue pigment to the violet pigment is preferably 100: 0 to 100: 30, more preferably 100: 10 or less.

更に顔料を、アクリル系樹脂、マレイン酸系樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニルコポリマー、又はエチルセルロース樹脂等に微分散させた粉末状加工顔料を用いることにより、分散性及び分散安定性の良好な感光性樹脂組成物を得ることができる。   Further, a photosensitive resin having good dispersibility and dispersion stability is obtained by using a powdered processed pigment in which a pigment is finely dispersed in an acrylic resin, a maleic acid resin, a vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, or an ethyl cellulose resin. A composition can be obtained.

ブラックマトリックスを構成するための顔料としては、カーボンブラック、チタンカーボン、酸化鉄などを単独で、又は混合して用いることができる。中でも、カーボンブラックとチタンカーボンとを混合して用いることができ、この場合には、その混合比を質量比で100:0〜100:60の範囲内とするのが、分散安定性の点で好ましい。   As a pigment for constituting the black matrix, carbon black, titanium carbon, iron oxide and the like can be used alone or in combination. Among these, carbon black and titanium carbon can be mixed and used. In this case, the mixing ratio is within the range of 100: 0 to 100: 60 in terms of dispersion stability. preferable.

以下、顔料の処理法について説明する。
一般に、これら顔料は合成後、種々の方法で乾燥を経て供給される。通常は水媒体から乾燥させて粉末体として供給されるが、水が乾燥するには大きな蒸発潜熱を必要とするため、乾燥して粉末とさせるには大きな熱エネルギーを与える。そのため、顔料は一次粒子が集合した凝集体(二次粒子)を形成しているのが普通である。
Hereinafter, a method for treating a pigment will be described.
Generally, these pigments are supplied after drying by various methods after synthesis. Usually, it is dried from an aqueous medium and supplied as a powder. However, since water requires a large latent heat of vaporization for drying, a large amount of heat energy is given to dry it to form a powder. Therefore, the pigment usually forms an aggregate (secondary particle) in which primary particles are aggregated.

このような凝集体を形成している顔料を微粒子に分散するのは容易ではないため、顔料をあらかじめ種々の樹脂で処理しておくことが好ましい。樹脂として、既述のアルカリ可溶性樹脂を挙げることができる。
処理の方法としては、フラッシング処理やニーダー、エクストルーダー、ボールミル、2本又は3本ロールミル等による混練方法が挙げられる。これらのうち、微粒子化の点で、フラッシング処理や2本又は3本ロールミルによる混練方法が好適である。
Since it is not easy to disperse the pigment forming such an aggregate in the fine particles, it is preferable to treat the pigment with various resins in advance. Examples of the resin include the alkali-soluble resins described above.
Examples of the treatment method include a flushing treatment and a kneading method using a kneader, an extruder, a ball mill, a two or three roll mill, and the like. Among these, a flushing process or a kneading method using two or three roll mills is preferable in terms of atomization.

フラッシング処理は通常、顔料の水分散液と水と混和しない溶媒に溶解した樹脂溶液を混合し、水媒体中から有機媒体中に顔料を抽出し、顔料を樹脂で処理する方法である。この方法によれば、顔料の乾燥を経ることがないので、顔料の凝集を防ぐことができ、分散が容易となる。2本又は3本ロールミルによる混練では、顔料と樹脂又は樹脂の溶液を混合した後、高いシェア(せん断力)をかけながら、顔料と樹脂を混練することによって、顔料表面に樹脂をコーティングすることによって、顔料を処理する方法である。この過程で凝集していた顔料粒子はより低次の凝集体から一次粒子にまで分散される。   The flushing treatment is usually a method in which an aqueous dispersion of pigment and a resin solution dissolved in a solvent immiscible with water are mixed, the pigment is extracted from an aqueous medium into an organic medium, and the pigment is treated with a resin. According to this method, since the pigment is not dried, the aggregation of the pigment can be prevented and the dispersion becomes easy. In kneading with a two or three roll mill, the pigment and resin or resin solution are mixed, and then the pigment and resin are kneaded while applying a high shear (shearing force), thereby coating the pigment surface with the resin. , A method for treating pigments. The pigment particles aggregated in this process are dispersed from the lower order aggregates to the primary particles.

また、本発明においては、あらかじめアクリル樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル樹脂、マレイン酸樹脂、エチルセルロース樹脂、ニトロセルロース樹脂等で処理した加工顔料も好適に用いることができる。上記の種々の樹脂で処理された加工顔料の形態としては、樹脂と顔料とが均一に分散されている粉末、ペレット状、ペースト状が好ましい。
また、樹脂がゲル化した不均一な塊状のものは好ましくない。このようにして得られた着色分散体は、光硬化性モノマーと混合され、光硬化性組成物として供される。
In the present invention, processed pigments previously treated with an acrylic resin, vinyl chloride-vinyl acetate resin, maleic acid resin, ethyl cellulose resin, nitrocellulose resin or the like can also be suitably used. As the form of the processed pigment treated with the above-mentioned various resins, a powder, a pellet, and a paste in which the resin and the pigment are uniformly dispersed are preferable.
Further, a non-uniform lump in which the resin is gelled is not preferable. The colored dispersion thus obtained is mixed with a photocurable monomer and provided as a photocurable composition.

着色剤を含有する場合、着色剤の光硬化性組成物中における含有率としては、特に限定されるものではないが、全固形分に対して、好ましくは30〜60質量%である。   When the colorant is contained, the content of the colorant in the photocurable composition is not particularly limited, but is preferably 30 to 60% by mass with respect to the total solid content.

顔料の分散性を向上させる目的で、従来公知の顔料分散剤や界面活性剤を添加することができる。分散剤としては、多くの種類の化合物が用いられるが、例えば、フタロシアニン誘導体(エフカ社製のEFKA−745)、ソルスパース5000(ゼネカ社製);オルガノシロキサンポリマーKP341(信越化学工業社製)、(メタ)アクリル酸系(共)重合体ポリフローNo.75、No.90、No.95(共栄社油脂化学工業社製)、W001(裕商社製)等のカチオン系界面活性剤;ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性剤;W004、W005、W017(裕商製)等のアニオン系界面活性剤;EFKA−46、EFKA−47、EFKA−47EA、EFKAポリマー100、EFKAポリマー400、EFKAポリマー401、EFKAポリマー450(以上、森下産業社製)、ディスパースエイド6、ディスパースエイド8、ディスパースエイド15、ディスパースエイド9100(サンノプコ社製)等の高分子分散剤;ソルスパース3000、5000、9000、12000、13240、13940、17000、24000、26000、28000などの各種ソルスパース分散剤(ゼネカ社製);アデカプルロニックL31,F38,L42,L44,L61,L64,F68,L72,P95,F77,P84,F87、P94,L101,P103,F108、L121、P−123(旭電化社製)及びイソネットS−20(三洋化成社製)が挙げられる。   For the purpose of improving the dispersibility of the pigment, conventionally known pigment dispersants and surfactants can be added. As the dispersant, many kinds of compounds are used. For example, a phthalocyanine derivative (EFKA-745 manufactured by Efka), Solsperse 5000 (manufactured by Geneca), organosiloxane polymer KP341 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), ( Cationic surfactants such as (meth) acrylic acid-based (co) polymer polyflow No. 75, No. 90, No. 95 (manufactured by Kyoeisha Yushi Chemical Co., Ltd.), W001 (manufactured by Yusho); polyoxyethylene lauryl ether Nonionic surfactants such as polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene octyl phenyl ether, polyoxyethylene nonyl phenyl ether, polyethylene glycol dilaurate, polyethylene glycol distearate, sorbitan fatty acid ester Anionic surfactants such as W004, W005, W017 (manufactured by Yusho); EFKA-46, EFKA-47, EFKA-47EA, EFKA polymer 100, EFKA polymer 400, EFKA polymer 401, EFKA polymer 450 (more, Morishita industry) ), Disperse Aid 6, Disperse Aid 8, Disperse Aid 15, Disperse Aid 9100 (manufactured by San Nopco); Solsperse 3000, 5000, 9000, 12000, 13240, 13940, 17000, Various Solsperse dispersants (manufactured by Zeneca) such as 24000, 26000, 28000; Adeka Pluronic L31, F38, L42, L44, L61, L64, F68, L72, P95, F77, P84, F87, P94, L101, 103, F108, L121, P-123 (manufactured by Asahi Denka Co., Ltd.) and Isonetto S-20 (manufactured by Sanyo Chemical Co., Ltd.).

染料を用いる場合、該染料には特に制限はなく、従来カラーフィルタ用として公知の染料が使用できる。例えば、特開昭64−90403号公報、特開昭64−91102号公報、特開平1−94301号公報、特開平6−11614号公報、特登2592207号、米国特許第4,808,501号明細書、米国特許第5,667,920号明細書、米国特許第5,059,500号明細書、特開平5−333207号公報、特開平6−35183号公報、特開平6−51115号公報、特開平6−194828号公報、特開平8−211599号公報、特開平4−249549号公報、特開平10−123316号公報、特開平11−302283号公報、特開平7−286107号公報、特開2001−4823号公報、特開平8−94821号公報、特開平8−15522号公報、特開平8−29771号公報、特開平8−146215号公報、特開平11−343437号公報、特開平8−62416号公報、特開2002−14220号公報、特開2002−14221号公報、特開2002−14222号公報、特開2002−14223号公報、特開平8−302224号公報、特開平8−73758号公報、特開平8−179120号公報、特開平8−151531号公報等に開示されている色素が使用できる。   When using dye, there is no restriction | limiting in particular in this dye, A well-known dye can be used for conventional color filters. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 64-90403, Japanese Patent Application Laid-Open No. 64-91102, Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-94301, Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-11614, No. 2592207, US Pat. No. 4,808,501. Specification, US Pat. No. 5,667,920, US Pat. No. 5,059,500, JP-A-5-333207, JP-A-6-35183, JP-A-6-51115 JP-A-6-194828, JP-A-8-21599, JP-A-4-249549, JP-A-10-123316, JP-A-11-302283, JP-A-7-286107, JP 2001-4823, JP-A-8-94821, JP-A-8-15522, JP-A-8-29771, JP-A-8-146215. JP, 11-343437, JP 8-62416, JP 2002-14220, JP 2002-14221, JP 2002-14222, JP 2002-14223, The dyes disclosed in JP-A-8-302224, JP-A-8-73758, JP-A-8-179120, JP-A-8-151531, and the like can be used.

化学構造としては、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、アンスラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、等の染料が使用できる。   The chemical structure is pyrazole azo, anilino azo, triphenyl methane, anthraquinone, anthrapyridone, benzylidene, oxonol, pyrazolotriazole azo, pyridone azo, cyanine, phenothiazine, pyrrolopyrazole azomethine, Xanthene-based, phthalocyanine-based, benzopyran-based and indigo-based dyes can be used.

また、水又はアルカリ現像を行なうレジスト系に構成される場合、現像によりバインダー及び/又は染料を完全に除去するという観点では、酸性染料及び/又はその誘導体を好適に使用できる場合がある。その他、直接染料、塩基性染料、媒染染料、酸性媒染染料、アゾイック染料、分散染料、油溶染料、食品染料、及び/又は、これらの誘導体等も有用に使用することができる。   In the case of a resist system that performs water or alkali development, an acid dye and / or a derivative thereof may be preferably used from the viewpoint of completely removing the binder and / or dye by development. In addition, direct dyes, basic dyes, mordant dyes, acid mordant dyes, azoic dyes, disperse dyes, oil-soluble dyes, food dyes, and / or derivatives thereof can also be used effectively.

前記酸性染料としては、スルホン酸やカルボン酸等の酸性基を有するものであれば、特に限定されないが、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩基性化合物との塩形成性、吸光度、光硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とされる性能の全てを考慮して選択される。   The acidic dye is not particularly limited as long as it has an acidic group such as sulfonic acid or carboxylic acid, but is soluble in an organic solvent or a developer, salt-forming with a basic compound, absorbance, photocurability. It is selected in consideration of all required performance such as interaction with other components in the composition, light resistance, heat resistance and the like.

酸性染料の誘導体としては、スルホン酸やカルボン酸等の酸性基を有する酸性染料の無機塩、酸性染料と含窒素化合物との塩、酸性染料のスルホンアミド体等が使用でき、硬化性組成物溶液として溶解させることができるものであれば特に限定されないが、有機溶剤や現像液に対する溶解性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とする性能の全てを考慮して選択される。   As the derivative of the acid dye, an inorganic salt of an acid dye having an acid group such as sulfonic acid or carboxylic acid, a salt of an acid dye and a nitrogen-containing compound, a sulfonamide of an acid dye, etc. can be used, and a curable composition solution Is not particularly limited as long as it can be dissolved, but it requires solubility in organic solvents and developer, absorbance, interaction with other components in the curable composition, light resistance, heat resistance, etc. It is selected considering all of the performance.

前記「酸性染料と含窒素化合物との塩」を形成する方法は、酸性染料の溶解性改良(有機溶剤への溶解性付与)や耐熱性及び耐光性改良に効果的な場合がある。
前記酸性染料と塩を形成する含窒素化合物及び酸性染料とアミド結合を形成する含窒素化合物について説明する。含窒素化合物は、塩又はアミド化合物の有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、染料の吸光度・色価、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、着色剤としての耐熱性及び耐光性等の全てを勘案して選択される。吸光度・色価の観点のみで選択すると、含窒素化合物はできるだけ分子量の低いものが好ましく、中でも分子量300以下であるものが好ましく、分子量280以下であるものがより好ましく、分子量250以下であるものが特に好ましい。
The method for forming the “salt of an acid dye and a nitrogen-containing compound” may be effective for improving the solubility of the acid dye (providing solubility in an organic solvent) and improving heat resistance and light resistance.
The nitrogen-containing compound that forms a salt with the acidic dye and the nitrogen-containing compound that forms an amide bond with the acidic dye will be described. Nitrogen-containing compounds are the solubility of salts or amide compounds in organic solvents and developers, salt-forming properties, dye absorbance / color value, interaction with other components in the curable composition, and heat resistance as a colorant. And light resistance. When selected only from the viewpoint of absorbance and color value, the nitrogen-containing compound preferably has a molecular weight as low as possible, preferably has a molecular weight of 300 or less, more preferably has a molecular weight of 280 or less, and has a molecular weight of 250 or less. Particularly preferred.

酸性染料と含窒素化合物との塩における含窒素化合物/酸性染料のモル比(以下、nという。)は、酸性染料分子と対イオンであるアミン化合物とのモル比率を決定する値であり、酸性染料−アミン化合物の塩形成条件によって自由に選択することができる。具体的には、酸性染料中の酸の官能基数の0<n≦5の間の数値が実用上多く用いられ、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等、必要とする性能の全てを考慮して選択される。吸光度のみの観点から選択すると、前記nは0<n≦4.5の間の数値が好ましく、0<n≦4の間の数値が更に好ましく、0<n≦3.5の間の数値が特に好ましい。   The molar ratio of the nitrogen-containing compound / acid dye in the salt of the acid dye and the nitrogen-containing compound (hereinafter referred to as n) is a value that determines the molar ratio between the acid dye molecule and the amine compound that is a counter ion. It can be freely selected according to the salt-forming conditions of the dye-amine compound. Specifically, a number between 0 <n ≦ 5 of the number of functional groups of the acid in the acid dye is practically used, and the solubility in organic solvents and developers, salt formation, absorbance, and curable composition It is selected in consideration of all necessary performance such as interaction with other components, light resistance, heat resistance and the like. When selected from the standpoint of absorbance only, n is preferably a numerical value between 0 <n ≦ 4.5, more preferably a numerical value between 0 <n ≦ 4, and a numerical value between 0 <n ≦ 3.5. Particularly preferred.

染料を用いる場合の光硬化性組成物中における濃度としては、全固形成分に対して、染料により異なるが、0.5〜80質量%が好ましく、0.5〜60質量%がより好ましく、0.5〜50質量%が特に好ましい。   The concentration in the photocurable composition when using a dye varies depending on the dye with respect to the total solid components, but is preferably 0.5 to 80% by mass, more preferably 0.5 to 60% by mass, and 0 0.5 to 50% by mass is particularly preferable.

−溶剤−
本発明の光硬化性組成物を調製する際には溶剤を使用することができる。
前記溶剤としては、エステル類、例えば酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチルなどの3−オキシプロピオン酸アルキルエステル類;3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル等;エーテル類、例えばジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート等;ケトン類、例えばメチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等;芳香族炭化水素類、例えばトルエン、キシレン、等が挙げられる。
-Solvent-
A solvent can be used when preparing the photocurable composition of the present invention.
Examples of the solvent include esters such as ethyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, amyl formate, isoamyl acetate, isobutyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate, alkyl esters, methyl lactate, Such as ethyl lactate, methyl oxyacetate, ethyl oxyacetate, butyl oxyacetate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, methyl 3-oxypropionate, ethyl 3-oxypropionate 3-oxypropionic acid alkyl esters; methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl 2-oxypropionate, 2-oxypropionate Ethyl acetate, propyl 2-oxypropionate, methyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, propyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, 2-oxy- Methyl 2-methylpropionate, ethyl 2-oxy-2-methylpropionate, methyl 2-methoxy-2-methylpropionate, ethyl 2-ethoxy-2-methylpropionate, methyl pyruvate, ethyl pyruvate, pyruvate Propyl, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, methyl 2-oxobutanoate, ethyl 2-oxobutanoate and the like; ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, tetrahydrofuran, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl Ether, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, propylene glycol propyl ether acetate, etc .; ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone, etc .; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and the like.

これらのうち、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメテルエーテル、酢酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、2−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート等が好適である。
溶剤は、単独で用いる以外に2種以上を組み合わせて用いてもよい。
Among these, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl cellosolve acetate, ethyl lactate, diethylene glycol dimethyl ether, butyl acetate, methyl 3-methoxypropionate, 2-heptanone, cyclohexanone, ethyl carbitol acetate Butyl carbitol acetate, propylene glycol methyl ether acetate and the like are preferable.
You may use a solvent in combination of 2 or more types besides using independently.

−その他成分−
本発明の光硬化性組成物には、必要に応じて各種添加物、例えば、充填剤、前記アルカリ可溶性樹脂以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、凝集防止剤等を配合することかできる。
-Other components-
In the photocurable composition of the present invention, various additives as necessary, for example, a filler, a polymer compound other than the alkali-soluble resin, a surfactant, an adhesion promoter, an antioxidant, an anti-aggregation agent, etc. Can be blended.

添加物の具体例として、ガラス、アルミナ等の充填剤;イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体、酸性セルロース誘導体、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの、アルコール可溶性ナイロン、ビスフェノールAとエピクロルヒドリンから形成されたフェノキシ樹脂などのアルカリ可溶の樹脂;ノニオン系、カチン系、アニオン系等の界面活性剤;ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;2,2−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤;2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤;及びポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤を挙げることができる。   Specific examples of additives include fillers such as glass and alumina; itaconic acid copolymer, crotonic acid copolymer, maleic acid copolymer, partially esterified maleic acid copolymer, acidic cellulose derivative, polymer having hydroxyl group Alkali-soluble resins such as alcohol-soluble nylon, phenoxy resin formed from bisphenol A and epichlorohydrin; nonionic, kachin, anionic surfactants; vinyltrimethoxysilane Vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3 -Aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypro Rutrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyl Adhesion promoters such as trimethoxysilane and 3-mercaptopropyltrimethoxysilane; antioxidants such as 2,2-thiobis (4-methyl-6-t-butylphenol) and 2,6-di-t-butylphenol; 2 There may be mentioned UV absorbers such as-(3-t-butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole and alkoxybenzophenone; and aggregation inhibitors such as sodium polyacrylate.

また、未硬化部のアルカリ溶解性を促進し、本発明の組成物の現像性の更なる向上を図る場合には、本発明の組成物に有機カルボン酸、好ましくは分子量1000以下の低分子量有機カルボン酸の添加を行うことができる。具体的には、例えばギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸;シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸;トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸;安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸;フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸;フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。   In addition, when the alkali solubility of the uncured part is promoted and the developability of the composition of the present invention is further improved, the composition of the present invention is an organic carboxylic acid, preferably a low molecular weight organic compound having a molecular weight of 1000 or less. Carboxylic acid can be added. Specifically, aliphatic monocarboxylic acids such as formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, pivalic acid, caproic acid, diethyl acetic acid, enanthic acid, caprylic acid; oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutar Aliphatic dicarboxylic acids such as acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, brassic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, dimethylmalonic acid, methylsuccinic acid, tetramethylsuccinic acid, citraconic acid; Aliphatic tricarboxylic acids such as carbaryl acid, aconitic acid, and camphoronic acid; aromatic monocarboxylic acids such as benzoic acid, toluic acid, cumic acid, hemelitic acid, and mesitylene acid; phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, trimellitic acid, trimesin Aromatic polycarboxylic acids such as acid, merophanic acid, pyromellitic acid; phenylacetic acid, Doroatoropa acid, hydrocinnamic acid, mandelic acid, phenyl succinic acid, atropic acid, cinnamic acid, methyl cinnamate, benzyl cinnamate, cinnamylidene acetic acid, coumaric acid, other carboxylic acids such as umbellic acid.

本発明の組成物には以上の他に、更に、熱重合防止剤を加えておくことが好ましく、例えば、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4′−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2'−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用である。   In addition to the above, it is preferable to add a thermal polymerization inhibitor to the composition of the present invention, for example, hydroquinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butyl. Catechol, benzoquinone, 4,4'-thiobis (3-methyl-6-tert-butylphenol), 2,2'-methylenebis (4-methyl-6-tert-butylphenol), 2-mercaptobenzimidazole, etc. are useful. .

本発明の光硬化性組成物は、アルカリ可溶性樹脂と光硬化性化合物とトリハロメタントリアジン系化合物(光重合開始剤)とクマリン系紫外線吸収剤とを、必要に応じて他の添加剤と共に、溶剤を用いて混合し、適宜選択した混合機もしくは分散機を使用して混合、分散することによって調製することができる。   The photocurable composition of the present invention comprises an alkali-soluble resin, a photocurable compound, a trihalomethanetriazine compound (photopolymerization initiator), and a coumarin ultraviolet absorber, together with other additives as necessary. Can be prepared by mixing and dispersing using an appropriately selected mixer or disperser.

本発明の光硬化性組成物は、基板に回転塗布、流延塗布、スリット塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗布、乾燥して感放射線性層を形成し、所定のマスクパターンを介して露光し、現像液で現像することによって、着色されたパターンを形成する。中でも、スリット塗布は、高速で、大面積の被塗布物への塗布が可能であるという利点を有する。本発明の光硬化性組成物は、このスリット塗布適性に優れており、高速塗布しても液切れを起さずに膜厚が均一な塗布膜を大面積で得ることができる。   The photocurable composition of the present invention is applied to a substrate by a coating method such as spin coating, cast coating, slit coating, roll coating, and the like to form a radiation sensitive layer, and is exposed through a predetermined mask pattern. Then, a colored pattern is formed by developing with a developer. Among them, the slit coating has an advantage that it can be applied to a large area to be coated at a high speed. The photocurable composition of the present invention is excellent in suitability for slit coating, and a coating film having a uniform film thickness can be obtained in a large area without causing liquid breakage even when applied at high speed.

前記スリット塗布は、幅(数十〜数百ミクロン)、長さ(塗布領域の一辺)となる隙間(slit)を持つ塗出治具(slit head)と、基板との間隔を数十〜数百ミクロン設け、slitからレジストを塗り出し、slit headもしくは基板を移動させて基板にレジストを塗りつける方法であり、前記回転塗布等と比較して、塗布液量が少量で、目的の塗膜を形成でき、膜厚分布も回転塗布と同等の性能を持つという特徴を有する。塗布液量が少なくて済むので製造のコストダウンが可能となる。更に、スリット塗布では基板の中心部分も均一な塗布膜が得られるという回転塗布等の他の塗布方法には無い利点を有する。   In the slit coating, the gap between the substrate (slit head) having a width (several tens to several hundreds of microns) and a length (one side of the coating region) and the substrate is several tens to several tens. This is a method of applying a resist to the substrate by moving the slit head or the substrate by moving the slit head or the substrate and forming the desired coating film with a small amount of coating solution compared to the above-mentioned spin coating. In addition, the film thickness distribution is characterized by having performance equivalent to that of spin coating. Since the amount of the coating solution is small, the manufacturing cost can be reduced. Further, slit coating has an advantage not found in other coating methods such as spin coating, in which a uniform coating film can be obtained even at the central portion of the substrate.

本発明の光硬化性組成物は、LCD構成用部品もしくは部材並びに、固体撮像素子(イメージセンサ)構成用の部品もしくは部材の作製に好適である。
前記LCD構成用部品もしくは部材としては、例えば、スペーサー、コンタクトホール形成層、層間絶縁膜、平坦化層、散乱層などが挙げられ、LCD用スペーサーが好適である。
前記固体撮像素子構成用部品もしくは部材としては、カラーフィルタ、シリコンウェハー上にカラーフィルタの密着性を向上させるために設けられる透明樹脂下塗り層(スペーサー)、カラーフィルタの表面に塗布してその表面を平坦化するための平坦化層(保護層)等が挙げられる。
The photocurable composition of the present invention is suitable for production of LCD components or members and components or members for solid-state imaging device (image sensor) components.
Examples of the LCD component or member include a spacer, a contact hole forming layer, an interlayer insulating film, a planarizing layer, a scattering layer, and the like, and an LCD spacer is preferable.
The solid-state image sensor component or member includes a color filter, a transparent resin undercoat layer (spacer) provided to improve the adhesion of the color filter on the silicon wafer, and the surface of the color filter applied to the surface. A flattening layer (protective layer) for flattening can be used.

また、本発明の液晶表示装置用フォトスペーサーは、少なくとも既述の光硬化性組成物を例えばスリット塗布により塗布する工程と、塗布された塗膜をパターン状に光照射する工程とを含む方法により好適に形成することができる。
前記光照射には、光源として特にg線、h線、i線等の紫外線を好適に用いることができる。
好ましくは、少なくとも既述の光硬化性組成物をスリット塗布する工程及び塗布された塗膜にパターン状に光照射する工程の後、現像液で現像する工程を経て、(着色された)パターンを形成する方法である。
The photospacer for a liquid crystal display device of the present invention is a method comprising at least a step of applying the above-described photocurable composition by, for example, slit coating, and a step of irradiating the applied coating film in a pattern. It can form suitably.
In the light irradiation, ultraviolet rays such as g-line, h-line, and i-line can be suitably used as a light source.
Preferably, at least after the step of slit-coating the above-mentioned photocurable composition and the step of irradiating the applied coating film with light in a pattern, the step of developing with a developer is performed to form a (colored) pattern. It is a method of forming.

本発明の光硬化性組成物をLCDのスペーサー形成用として用いる場合、アレイ基板とカラーフィルタ基板との間に設けることができる。具体的には、(1)アレイ基板のITO電極層の上に設ける場合、(2)カラーフィルタ基板の着色層の上に設ける場合、(3)アレイ基板側とカラーフィルタ基板側からの両方から設ける場合がある。また、ポリイミド等の配向膜(配向膜はカラーフィルタ着色層の上に設けられる)の上に設けることもできる。   When the photocurable composition of the present invention is used for forming an LCD spacer, it can be provided between an array substrate and a color filter substrate. Specifically, (1) When provided on the ITO electrode layer of the array substrate, (2) When provided on the colored layer of the color filter substrate, (3) From both the array substrate side and the color filter substrate side May be provided. It can also be provided on an alignment film such as polyimide (the alignment film is provided on the color filter colored layer).

また、本発明の光硬化性組成物をLCDの平坦化層形成用として用いる場合は、カラーフィルタの保護層としては、カラーフィルタを構成する着色層の上に設けられる。また、ITO膜上に設けることもできる。
LCD用アレイ基板、CF基板の一部に導電性を付与するために保護層にホールを開けることが必要なシステムがある。その場合は、本発明の光硬化性組成物を用いて層形成した後、露光工程でホールに該当する部分を非露光とし、現像処理によって非露光部を除く。この場合、露光は、ステッパー露光が好ましいが、プロキシミティー露光でもよい。そうすることにより、半導体用レジストよりもなだらかな傾斜の裾を持ったホールを形成でき、パネル形成で液晶の注入がスムーズに実施できる。
When the photocurable composition of the present invention is used for forming a flattening layer of an LCD, it is provided as a protective layer for the color filter on the colored layer constituting the color filter. It can also be provided on the ITO film.
There is a system that requires opening a hole in a protective layer in order to impart conductivity to a part of an LCD array substrate or CF substrate. In that case, after forming a layer using the photocurable composition of the present invention, the portion corresponding to the hole is unexposed in the exposure step, and the non-exposed portion is removed by development processing. In this case, the exposure is preferably stepper exposure, but may be proximity exposure. By doing so, it is possible to form a hole having a slope that is gentler than that of a resist for semiconductors, and to smoothly inject liquid crystal by forming a panel.

固体撮像素子用構成部品としては、シリコンウエハー上にカラーフィルタ(着色層)の密着性を向上させるための透明樹脂下塗り層やフォトスペーサー、カラーフィルタの表面に塗布してその表面を平坦化するための平坦化層(保護層)等を設けることができる。これらの下塗り層あるいは平坦化層に本発明の光硬化性組成物を用いることができる。
本発明の光硬化性組成物は、例えばi線、h線などの放射線照射により硬化可能であり、カラーフィルタ(着色層)の密着性の向上のための、下塗り層あるいは平坦化層として使用できる。
As a component for solid-state imaging devices, it is applied to the surface of a transparent resin undercoat layer, a photo spacer, or a color filter for improving the adhesion of a color filter (colored layer) on a silicon wafer to flatten the surface. A flattening layer (protective layer) or the like can be provided. The photocurable composition of the present invention can be used for these undercoat layer or planarizing layer.
The photocurable composition of the present invention can be cured by irradiation with radiation such as i-line and h-line, and can be used as an undercoat layer or a flattening layer for improving the adhesion of a color filter (colored layer). .

本発明において、光硬化性組成物を用いてなる層の乾燥層厚としては、フォトスペーサーを形成する場合には、1〜50μmが好ましく、より好ましくは1.0〜20μm、更に好ましくは1.5〜10μmであり、平坦化層を形成する場合には、0.1〜3μmが好ましく、より好ましくは0.2〜1.5μmであり、コンタクトホール用の場合には、0.1〜6.0μmが好ましく、より好ましくは0.2〜3.0μmである。   In the present invention, the dry layer thickness of the layer formed using the photocurable composition is preferably 1 to 50 μm, more preferably 1.0 to 20 μm, still more preferably 1. In the case of forming a planarizing layer, the thickness is preferably 0.1 to 3 μm, more preferably 0.2 to 1.5 μm. In the case of a contact hole, 0.1 to 6 μm. The thickness is preferably 0.0 μm, more preferably 0.2 to 3.0 μm.

フォトスペーサーのパターン形態としては、ドット状、ストライプ状、碁盤目状等が挙げられ、そのピッチとしては、カラーフィルタに合わせたものが合理的であり、この整数倍は好ましい。その形状としては、四角柱、円柱、楕円柱、四角錐、断面が台形状の四角台、あるいはこれらの多角形でもよい。   Examples of the pattern form of the photo spacer include a dot shape, a stripe shape, and a grid pattern. The pitch is reasonable according to the color filter, and this integer multiple is preferable. The shape may be a quadrangular prism, a cylinder, an elliptical cylinder, a quadrangular pyramid, a quadrangular trapezoidal cross section, or a polygon thereof.

基板としては、カラーフィルタ基板や、例えば液晶表示装置等に用いられるソーダガラス、無アルカリガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、石英ガラス及びこれらに透明導電膜を付着させたものや、固体撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等が挙げられる。これらの基板は、一般的には各画素を隔離するブラックストライプが形成されている。   Examples of the substrate include a color filter substrate, soda glass, non-alkali glass, Pyrex (registered trademark) glass, quartz glass, and the like, for example, used in liquid crystal display devices, and those having a transparent conductive film attached thereto, a solid-state imaging device, etc. Examples of the photoelectric conversion element substrate used in the present invention include a silicon substrate. These substrates are generally formed with black stripes that isolate pixels.

現像液としては、光硬化性組成物からなる層(膜)の未硬化部を溶解し、硬化部を溶解しないものであればいかなるものも用いることができる。具体的には種々の有機溶剤の組み合わせやアルカリ性の水溶液を用いることができる。
前記有機溶剤としては、本発明の光硬化性組成物を調製する際に使用可能な既述の溶剤が挙げられる。
Any developer can be used as long as it dissolves the uncured portion of the layer (film) made of the photocurable composition and does not dissolve the cured portion. Specifically, a combination of various organic solvents or an alkaline aqueous solution can be used.
As said organic solvent, the above-mentioned solvent which can be used when preparing the photocurable composition of this invention is mentioned.

前記アルカリ性の水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム,硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン等のアルカリ性化合物を、濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.01〜1質量%となるように溶解したアルカリ性水溶液が挙げられる。
なお、アルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合は一般に、現像後に水での洗浄が行なわれる。
Examples of the alkaline aqueous solution include sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium oxalate, sodium metasuccinate, aqueous ammonia, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide. An alkaline aqueous solution in which an alkaline compound such as choline, pyrrole or piperidine is dissolved so as to have a concentration of 0.001 to 10% by mass, preferably 0.01 to 1% by mass.
In the case where a developer composed of an alkaline aqueous solution is used, washing with water is generally performed after development.

以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」は質量基準である。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples unless it exceeds the gist thereof. Unless otherwise specified, “part” is based on mass.

<アルカリ可溶性樹脂(1)の合成>
還流冷却気、温度計、窒素ガス導入管及び攪拌装置を取り付けた5つ口フラスコに、ベンジルメタクリレート45部、スチレン27部、メタクリル酸18部、ヒドロキシエチルメタクリレート63部、メトキシポリエチレングリコールモノメタクリレート27部、エトキシプロピオン酸エチル280部、及びシクロヘキサノン140部を入れた。これに更に、重合開始剤としてアゾイソブチロニトリルを添加し、80℃で8時間加熱攪拌して重合反応を完了した。
続いて更に、へキサメチレンジイソシアネートのヒドロキシエチルアクリレートのモノ付加体64部を投入して、60℃で8時間加熱攪拌し、光硬化性を持つアルカリ可溶性樹脂(1)を得た。得られたアルカリ可溶性樹脂(1)は、(メタ)アクリロイル基当量が1.73meq/gであり、酸価が51であり、質量平均分子量Mwが11,500であった。
<Synthesis of alkali-soluble resin (1)>
In a five-necked flask equipped with reflux cooling air, a thermometer, a nitrogen gas inlet tube and a stirrer, 45 parts of benzyl methacrylate, 27 parts of styrene, 18 parts of methacrylic acid, 63 parts of hydroxyethyl methacrylate, 27 parts of methoxypolyethylene glycol monomethacrylate 280 parts of ethyl ethoxypropionate and 140 parts of cyclohexanone. Furthermore, azoisobutyronitrile was added as a polymerization initiator, and the polymerization reaction was completed by heating and stirring at 80 ° C. for 8 hours.
Subsequently, 64 parts of a monoadduct of hexamethylene diisocyanate hydroxyethyl acrylate was added and stirred at 60 ° C. for 8 hours to obtain an alkali-soluble resin (1) having photocurability. The obtained alkali-soluble resin (1) had a (meth) acryloyl group equivalent of 1.73 meq / g, an acid value of 51, and a weight average molecular weight Mw of 11,500.

<アルカリ可溶性樹脂(2)の合成>
還流冷却気、温度計、窒素ガス導入管及び攪拌装置を取り付けた5つ口フラスコに、ベンジルメタクリレート45部、スチレン27部、メタクリル酸18部、ヒドロキシエチルメタクリレート63部、エトキシプロピオン酸エチル280部、及びシクロヘキサノン140部を入れた。これに更に、重合開始剤としてアゾイソブチロニトリルを添加し、80℃、12時間加熱攪拌して重合を完了した。
得られたアルカリ可溶性樹脂は、(メタ)アクリロイル基当量はなく、酸価が80であり、質量平均分子量Mwが45,000であった。
<Synthesis of alkali-soluble resin (2)>
In a five-necked flask equipped with reflux cooling air, a thermometer, a nitrogen gas inlet tube and a stirrer, 45 parts of benzyl methacrylate, 27 parts of styrene, 18 parts of methacrylic acid, 63 parts of hydroxyethyl methacrylate, 280 parts of ethyl ethoxypropionate, And 140 parts of cyclohexanone. Further, azoisobutyronitrile was added as a polymerization initiator, and the mixture was heated and stirred at 80 ° C. for 12 hours to complete the polymerization.
The obtained alkali-soluble resin had no (meth) acryloyl group equivalent, an acid value of 80, and a mass average molecular weight Mw of 45,000.

(実施例1)
<光硬化性組成物の調製>
下記成分をマグネチックスターラーを用いて攪拌、混合し、本発明のLCD用光硬化性組成物(レジスト液)を調製した。
・前記アルカリ可溶性樹脂(1) … 24部
・ジペンタエリスリトールペンタ・ヘキサアクリレート … 14部
(モノマー1;光重合性化合物)
・エチレンオキシド変性ペンタエリスリトールテトラアクリレート
(モノマー2;光重合性化合物) … 4部
・7−{[4−クロロ−6−(ジエチルアミノ)−5−トリアジン−2−イル]アミノ}−3−フェニルクマリン … 2.4部
(既述の一般式(I)で表されるクマリン系紫外線吸収剤;以下、UV吸収剤aと略記する。)
・トリハロメタントリアジン系化合物 … 3.2部
(既述の一般式(III)で表される光重合開始剤[X:Cl、R8,R9:H];以下、開始剤Aと略記する。)
・エチルエトキシブロピオネート/シクロヘキサノン …150部
(=60/10(質量比);溶剤)
・メガファック F−144 … 0.01部
(DIC(株)社製;フッ素系界面活性剤)
Example 1
<Preparation of photocurable composition>
The following components were stirred and mixed using a magnetic stirrer to prepare a photocurable composition for LCD (resist liquid) of the present invention.
・ Alkali-soluble resin (1) 24 parts ・ Dipentaerythritol pentahexaacrylate 14 parts (monomer 1; photopolymerizable compound)
・ Ethylene oxide modified pentaerythritol tetraacrylate (monomer 2; photopolymerizable compound) 4 parts 7-{[4-chloro-6- (diethylamino) -5-triazin-2-yl] amino} -3-phenylcoumarin ... 2.4 parts (coumarin ultraviolet absorber represented by the general formula (I) described above; hereinafter abbreviated as UV absorber a)
Trihalomethanetriazine compound 3.2 parts (photopolymerization initiator [X: Cl, R 8 , R 9 : H] represented by the aforementioned general formula (III); hereinafter abbreviated as initiator A) )
Ethyl ethoxy bropionate / cyclohexanone: 150 parts (= 60/10 (mass ratio); solvent)
・ MegaFack F-144: 0.01 part (manufactured by DIC Corporation; fluorosurfactant)

(実施例2〜7)
実施例1において、トリハロメタントリアジン系化合物(光重合開始剤)の種類及び含有量、UV吸収剤aの含有量、並びに光重合性化合物を下記表1に示すように変更したこと以外、実施例1と同様にして、本発明のLCD用光硬化性組成物を調製した。なお、開始剤Bを以下に示す。
・開始剤B: 既述の一般式(IV)で表される光重合開始剤[X:Cl、R10:H、n=1;トリハロメタントリアジン系化合物)
(Examples 2 to 7)
Example 1 except that the type and content of the trihalomethanetriazine compound (photopolymerization initiator), the content of the UV absorber a, and the photopolymerizable compound were changed as shown in Table 1 below. In the same manner as above, a photocurable composition for LCD of the present invention was prepared. Initiator B is shown below.
Initiator B: Photopolymerization initiator represented by the general formula (IV) described above [X: Cl, R 10 : H, n = 1; trihalomethanetriazine compound]

(比較例1)
実施例1において、UV吸収剤aを2(2’ヒドロキシ−5’メチルフェニル)ベンゾトリアゾール(UV吸収剤b)に代えたこと以外、実施例1と同様にして、比較のLCD用光硬化性組成物を調製した
(Comparative Example 1)
Comparative photocurability for LCD in the same manner as in Example 1 except that UV absorber a in Example 1 was replaced with 2 (2′hydroxy-5′methylphenyl) benzotriazole (UV absorber b). Prepared the composition

(比較例2)
実施例1において、開始剤A(トリハロメタントリアジン系化合物)を下記の光重合開始剤Cに代えたこと以外、実施例1と同様にして、比較のLCD用光硬化性組成物を調整した。
(Comparative Example 2)
A comparative photocurable composition for LCD was prepared in the same manner as in Example 1 except that the initiator A (trihalomethanetriazine compound) was replaced with the following photopolymerization initiator C in Example 1.

Figure 2007065640
Figure 2007065640

(比較例3)
実施例1において、光重合性化合物の量及びアルカリ可溶性樹脂の種類を下記表1に示すように変更したこと以外、実施例1と同様にして、比較の光硬化性組成物を調製した。
(Comparative Example 3)
A comparative photocurable composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that the amount of the photopolymerizable compound and the type of the alkali-soluble resin were changed as shown in Table 1 below.

Figure 2007065640
Figure 2007065640

(評価)
実施例1〜7並びに比較例1〜3で得た各光硬化性組成物について、下記評価を行なった。評価結果を下記表2に示す。
−1.現像ラチチュード及び対マスク太り量の評価−
各光硬化性組成物を用いて、以下のようにしてマスク寸法に対する太り幅及び力学的強度を評価した。
調製した光硬化性組成物を、乾燥後の膜厚が2.0μmとなるようにガラス基板(Corning 1737)にスピン塗布し、オーブンを用いて100℃で120秒間プリベークした後、一辺が10μmの幅のマスク寸法を持つ正方形マスクで100mj/cm2にて露光(照度は20mW/cm2)した。その後、アルカリ現像液CD−2000(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)の20%希釈液を用いて26℃で現像した。現像は、現像時間を10〜100秒まで10秒刻みとして実施した。現像後、クリーンオーブンにて230℃下で30分間ポストベークした。そして、パターン下底の横幅を測定し、下記式によりマスク(10μm幅)に対する太り量(対マスク太り量)を測定した。また、そのときのパターン形状を走査型電子顕微鏡にて観察した。
対マスク太り量(片側)=(パターン下底寸法−マスク寸法)/2
(Evaluation)
The following evaluation was performed about each photocurable composition obtained in Examples 1-7 and Comparative Examples 1-3. The evaluation results are shown in Table 2 below.
-1. Evaluation of development latitude and thickness of mask
Using each photocurable composition, the width of width and mechanical strength with respect to the mask dimensions were evaluated as follows.
The prepared photocurable composition was spin-coated on a glass substrate (Corning 1737) so that the film thickness after drying was 2.0 μm, prebaked at 100 ° C. for 120 seconds using an oven, and then 10 μm on a side. The exposure was performed at 100 mj / cm 2 with a square mask having a width mask dimension (illuminance was 20 mW / cm 2 ). Then, it developed at 26 degreeC using the 20% dilution liquid of alkali developing solution CD-2000 (made by Fuji Film Electronics Materials Co., Ltd.). Development was carried out with development times ranging from 10 to 100 seconds in increments of 10 seconds. After development, it was post-baked at 230 ° C. for 30 minutes in a clean oven. Then, the horizontal width of the lower bottom of the pattern was measured, and the amount of weight (vs. mask thickness) with respect to the mask (10 μm width) was measured by the following formula. Moreover, the pattern shape at that time was observed with a scanning electron microscope.
Mask thickness (one side) = (Pattern bottom base dimension-Mask dimension) / 2

−2.力学特性の評価−
調製した各光硬化性組成物を、乾燥後の膜厚が2.0μmとなるようにガラス基板(Corning 1737)にスピン塗布し、オーブンを用いて100℃で120秒間プリベークした後、一辺が10μmの幅のマスク寸法を持つ正方形マスクで100mj/cm2にて露光(照度は20mW/cm2)した。その後、アルカリ現像液CD−2000(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)の20%希釈液を用いて26℃で現像した。現像は、現像時間を10〜100秒まで10秒刻みとして実施した。現像後、クリーンオーブンにて230℃下で30分間ポストベークした。そして、得られたパターンに対し、超微小硬度計〔(株)島津製作所製〕で50mNの荷重をかけ、最大荷重時の変形量(圧縮変形量;μm)と抜重後の回復量(μm)を計測した。圧縮変形量については値の小さい方が、回復量については値の大きい方が力学特性に優れることを示す。
-2. Evaluation of mechanical properties
Each of the prepared photocurable compositions was spin-coated on a glass substrate (Corning 1737) so that the film thickness after drying was 2.0 μm, prebaked at 100 ° C. for 120 seconds using an oven, and then 10 μm on each side. The exposure was performed at 100 mj / cm 2 (illuminance is 20 mW / cm 2 ) using a square mask having a mask size of 1 mm. Then, it developed at 26 degreeC using the 20% dilution liquid of alkali developing solution CD-2000 (made by Fuji Film Electronics Materials Co., Ltd.). Development was carried out with development times ranging from 10 to 100 seconds in increments of 10 seconds. After development, it was post-baked at 230 ° C. for 30 minutes in a clean oven. Then, a load of 50 mN was applied to the obtained pattern with an ultra-micro hardness tester (manufactured by Shimadzu Corporation), the deformation amount at the maximum load (compression deformation amount; μm), and the recovery amount after pulling (μm ) Was measured. A smaller value for the amount of compressive deformation and a larger value for the amount of recovery indicate superior mechanical properties.

−3.画素の断面形状(パターンプロファイル)の評価−
調製した各光硬化性組成物を、乾燥後の膜厚が2.0μmとなるようにガラス基板(Corning 1737)にスピン塗布し、オーブンを用いて100℃で120秒間プリベークした後、一辺が10μmの幅のマスク寸法を持つ正方形マスクで100mj/cm2にて露光(照度は20mW/cm2)した。その後、アルカリ現像液CD−2000(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)の20%希釈液を用いて26℃で現像した。現像は、現像時間を10〜100秒まで10秒刻みとして実施した。現像後、クリーンオーブンにて230℃下で30分間ポストベークした。そして、得られたパターンについて、それぞれ1つのパターンの断面が観察できるように分割して試料を作製し、SEM(S−7800H、日立製作所(株)製)を用いて形状を観察、写真撮影をした。
-3. Evaluation of pixel cross-sectional shape (pattern profile)
Each of the prepared photocurable compositions was spin-coated on a glass substrate (Corning 1737) so that the film thickness after drying was 2.0 μm, prebaked at 100 ° C. for 120 seconds using an oven, and then 10 μm on each side. The exposure was performed at 100 mj / cm 2 (illuminance is 20 mW / cm 2 ) using a square mask having a mask size of 1 mm. Then, it developed at 26 degreeC using the 20% dilution liquid of alkali developing solution CD-2000 (made by Fuji Film Electronics Materials Co., Ltd.). Development was carried out with development times ranging from 10 to 100 seconds in increments of 10 seconds. After development, it was post-baked at 230 ° C. for 30 minutes in a clean oven. And about the obtained pattern, it divides | segments so that the cross section of one pattern can be observed, respectively, produces a sample, observes a shape using SEM (S-7800H, Hitachi Ltd. make), photography did.

Figure 2007065640
Figure 2007065640

前記表2に示すように、実施例では、比較例に対し、広い現像ラチチュードを有して高感度で良好な現像性を維持しつつ、対マスク太り量が小さく抑えられ、矩形形状が良好で力学特性に優れたパターンを形成することができた。   As shown in Table 2, the embodiment has a wide development latitude and maintains high sensitivity and good developability compared to the comparative example. A pattern with excellent mechanical properties could be formed.

Claims (7)

アルカリ可溶性樹脂と、光重合性化合物と、光重合開始剤とを含む光硬化性組成物において、
前記光重合開始剤がトリハロメタントリアジン系化合物であって、クマリン系紫外線吸収剤を更に含むと共に、前記アルカリ可溶性樹脂及び前記光重合性化合物の少なくとも一方がアルキレンオキサイド鎖を有することを特徴とする光硬化性組成物。
In a photocurable composition containing an alkali-soluble resin, a photopolymerizable compound, and a photopolymerization initiator,
The photopolymerization initiator, wherein the photopolymerization initiator is a trihalomethane triazine compound, further includes a coumarin ultraviolet absorber, and at least one of the alkali-soluble resin and the photopolymerizable compound has an alkylene oxide chain. Sex composition.
前記クマリン系紫外線吸収剤が、下記一般式(I)で表される化合物である請求項1に記載の光硬化性組成物。
Figure 2007065640

〔一般式(I)中、R1及びR2は、各々独立に、水素原子又は炭素数1〜4の炭化水素基を表し、R3はハロゲン原子、又は炭素数1〜4の炭化水素基を表す。Xは、水素原子、ハロゲン原子、又はアルキルオキサイド基を表す。nは、0〜4の整数を表す。〕
The photocurable composition according to claim 1, wherein the coumarin ultraviolet absorber is a compound represented by the following general formula (I).
Figure 2007065640

[In General Formula (I), R 1 and R 2 each independently represents a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms, and R 3 represents a halogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms. Represents. X represents a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl oxide group. n represents an integer of 0 to 4. ]
前記トリハロメタントリアジン系化合物が、下記一般式(II)〜(V)のいずれかで表される化合物からなる群より選択される少なくとも一種である請求項1又は2に記載の光硬化性組成物。
Figure 2007065640

〔一般式(II)中、R4は、ハロゲン原子、又は炭素数1〜4の炭化水素基を表す。R5及びR6は、各々独立に−CH2COOR7を表し、R7は炭素数1〜4の炭化水素基を表す。nは、0〜4の整数を表す。Xは、ハロゲン原子を表す。〕
Figure 2007065640

〔一般式(III)中、R8及びR9は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、水酸基、アルコキシ基、又は炭素数1〜4の炭化水素基を表す。Xは、ハロゲン原子を表す。〕
Figure 2007065640

〔一般式(IV)中、R10は、ハロゲン原子、又はアルコキシ基を表し、Xはハロゲン原子を表す。nは、0〜4の整数を表す。〕
Figure 2007065640

〔一般式(V)中、R11は、水酸基又は炭素数1〜3のアルコキシ基を表し、R12及びR13は、各々独立に、ハロゲン原子、水酸基、アルコキシ基、又は炭素数1〜3の炭化水素基を表す。Xは、ハロゲン原子を表す。nは、0〜4の整数を表す。〕
The photocurable composition according to claim 1 or 2, wherein the trihalomethanetriazine compound is at least one selected from the group consisting of compounds represented by any one of the following general formulas (II) to (V).
Figure 2007065640

[In the general formula (II), R 4 is, represents a halogen atom, or a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms. R 5 and R 6 each independently represent —CH 2 COOR 7 , and R 7 represents a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms. n represents an integer of 0 to 4. X represents a halogen atom. ]
Figure 2007065640

[In General Formula (III), R 8 and R 9 each independently represents a hydrogen atom, a halogen atom, a hydroxyl group, an alkoxy group, or a hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms. X represents a halogen atom. ]
Figure 2007065640

[In General Formula (IV), R 10 represents a halogen atom or an alkoxy group, and X represents a halogen atom. n represents an integer of 0 to 4. ]
Figure 2007065640

[In General Formula (V), R 11 represents a hydroxyl group or an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms, and R 12 and R 13 each independently represent a halogen atom, a hydroxyl group, an alkoxy group, or 1 to 3 carbon atoms. Represents a hydrocarbon group. X represents a halogen atom. n represents an integer of 0 to 4. ]
前記アルカリ可溶性樹脂は、分子中の側鎖に重合性不飽和基を有する請求項1〜3のいずれか1項に記載の光硬化性組成物。   The photocurable composition according to claim 1, wherein the alkali-soluble resin has a polymerizable unsaturated group in a side chain in the molecule. 前記光重合性化合物が、下記一般式(VI)〜(VIII)のいずれかで表される化合物からなる群より選択される少なくとも一種である請求項1〜4のいずれか1項に記載の光硬化性組成物。
Figure 2007065640

〔一般式(VI)中、R21及びR22は、各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。mは2〜6の整数を表し、nは1〜3の整数を表し、a及びbはa+b=3を満たす。〕
Figure 2007065640

〔一般式(VII)中、R23、R24、及びR25は、各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。s、t及びuは各々独立に2又は3を表し、p、q及びrは1≦p+q+r≦3を満たす。〕
Figure 2007065640

〔一般式(VIII)中、Rは、水素原子又はメチル基を表す。wは2〜6の整数を表し、xは1〜3の整数を表し、yは2〜4の整数を表し、zは0〜2の整数を表す。〕
The light according to any one of claims 1 to 4, wherein the photopolymerizable compound is at least one selected from the group consisting of compounds represented by any one of the following general formulas (VI) to (VIII). Curable composition.
Figure 2007065640

[In General Formula (VI), R 21 and R 22 each independently represents a hydrogen atom or a methyl group. m represents an integer of 2 to 6, n represents an integer of 1 to 3, and a and b satisfy a + b = 3. ]
Figure 2007065640

[In General Formula (VII), R 23 , R 24 and R 25 each independently represents a hydrogen atom or a methyl group. s, t, and u each independently represent 2 or 3, and p, q, and r satisfy 1 ≦ p + q + r ≦ 3. ]
Figure 2007065640

[In general formula (VIII), R represents a hydrogen atom or a methyl group. w represents an integer of 2 to 6, x represents an integer of 1 to 3, y represents an integer of 2 to 4, and z represents an integer of 0 to 2. ]
請求項1〜5のいずれか1項に記載の光硬化性組成物を用いてなることを特徴とする液晶表示装置用フォトスペーサー。   A photospacer for a liquid crystal display device comprising the photocurable composition according to any one of claims 1 to 5. 液晶を挟むように設けられた基板間のセル厚を規制するための液晶表示装置用フォトスペーサーであって、前記セル厚が3μm以下である請求項6に記載の液晶表示装置用フォトスペーサー。   The photospacer for a liquid crystal display device for regulating a cell thickness between substrates provided so as to sandwich the liquid crystal, wherein the cell thickness is 3 μm or less.
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