JP2010281696A - 発光素子測定装置及び発光素子測定方法 - Google Patents

発光素子測定装置及び発光素子測定方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2010281696A
JP2010281696A JP2009135459A JP2009135459A JP2010281696A JP 2010281696 A JP2010281696 A JP 2010281696A JP 2009135459 A JP2009135459 A JP 2009135459A JP 2009135459 A JP2009135459 A JP 2009135459A JP 2010281696 A JP2010281696 A JP 2010281696A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
emitting element
light emitting
optical fiber
incident
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2009135459A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsuhiko Igawa
克彦 井川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daitron Technology Co Ltd
Original Assignee
Daitron Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daitron Technology Co Ltd filed Critical Daitron Technology Co Ltd
Priority to JP2009135459A priority Critical patent/JP2010281696A/ja
Publication of JP2010281696A publication Critical patent/JP2010281696A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

【課題】任意の放射角度での光度を測定することができ、装置を小型化し易い発光素子測定装置及び発光素子測定方法を提供する。
【解決手段】発光素子1の周りを回動する回動部14と、回動部14に配設され発光素子か1ら出射される光が一端部16aより入射され他端部16bより出射される光ファイバー16と、光ファイバー16の他端部16bより出射された光を測定する測定部18と、を備え、光ファイバー16が測定部18に固定されていないことを特徴とする。
【選択図】図1

Description

本発明は、発光素子から出射される光を測定する装置及び測定方法に関し、特に、発光素子の光放射方向と光度との関係を示す配光特性を測定する発光素子測定装置及び発光素子測定方法に関する。
従来、発光素子の光放射方向と光度との関係を示す配光特性を測定する発光素子測定装置として、例えば、下記特許文献1及び2に記載された装置が知られている。
特許文献1には、互いに異なる放射角度となるように複数の受光部を半球状のガイド部に支持させ、受光部で受光した光を光ファイバーで検出器まで導光して、発光素子の配光特性を測定する装置が開示されている。
特許文献2では、発光素子の発光面の正面方向をZ軸とすると、このZ軸を含む平面内で発光素子を中心にして受光器を回動移動させて、発光素子の配光特性を測定する装置が開示されている。
しかしながら、特許文献1の装置では、受光部が固定されているため、発光素子を縦断面内(上記Z軸を含む平面内)で回動させなければ、任意の放射角度において光度を測定できないという問題がある。
また、特許文献2の装置には、上記Z軸を含む平面内において任意の放射角度での光度を測定することができるが、発光素子から出射された光の強度を測定する受光器を回動移動させなければならない。そのため、受光器を高精度に回動させる駆動機構が必要となり測定装置が大掛かりなものとなるとともに、受光器を高速移動させにくく測定時間を短縮させることが困難であるという問題がある。
特開2005−172665号公報 特開2008−70290号公報
本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、任意の放射角度での光度を測定することができ、装置を小型化し易い発光素子測定装置及び発光素子測定方法を提供することを目的とする。
本発明の発光素子測定装置は、発光素子の周りを回動する回動部と、前記回動部に配設され前記発光素子から出射される光が一端部より入射され他端部より出射される光ファイバーと、前記光ファイバーの他端部より出射された光を測定する測定部と、を備え、前記光ファイバーが前記測定部に固定されていないことを特徴とする。
前記発明において、前記光ファイバーの他端部から出射される光の光軸を前記回動部の回動軸に一致させて、前記光ファイバーが前記回動体に配設されてもよい。
また、前記発明において、前記測定部は、前記光ファイバーの他端部より出射される光が入射される第1積分球を備え、前記第1積分球の内部の光を測定してもよい。
さらにまた、前記発明において、前記回動部は、回動軸回りに回動する基部と、前記基部の一端部から前記回動軸方向に延びる延出部とを備え、前記延出部に前記光ファイバーの一端部が前記発光素子に対向配置されてもよく、また、前記光ファイバーの一端部に換えて前記延出部に前記発光素子から出射される光が入射される第2積分球が配設され、前記第2積分球の内部の光が前記光ファイバーの一端部より入射されるように構成してもよい。
また、本発明の発光素子測定方法は、発光素子から出射される光を測定する発光素子測定方法において、前記測定部に連結されていない光ファイバーが配設された回動部を前記発光素子の周りに回動させ、前記発光素子から出射された光を前記光ファイバーの一端部より入射し前記光ファイバーの他端部より出射させ、出射された光を前記測定部で測定することを特徴とする。
本発明によれば、任意の放射角度での配光特性を測定することができる装置を小型化することができる。
本発明の第1実施形態にかかる発光素子測定装置の構成を示す図である。 本発明の第1実施形態にかかる発光素子測定装置の正面図である。 本発明の第1実施形態にかかる発光素子測定装置の一部を切欠した平面図である。
以下、本発明の1実施形態について図面を参照して説明する。
本実施形態にかかる発光素子測定装置(以下、測定装置という)10は、発光素子1の発光面の正面方向(Z軸)を含む平面内で発光素子1を中心にして、発光素子1から出力された光を測定する位置を回動移動させることで、発光素子1の光放射方向と光度との関係を示す配光特性を測定する装置である。
この測定装置10は、図1〜図3に示すように、測定対象の発光素子1が載置される試料台12と、試料台12に載置された発光素子1の周りを回動移動する回動部14と、回動部14に配設された光ファイバー16と、発光素子1から出射された光を測定する測定部18と、装置全体を制御する制御部20とを備える。
試料台12には、素子電源11からの駆動電源を発光素子1に供給する不図示の電源端子が設けられており、試料台12に載置された発光素子1を発光させる。なお、本実施形態では、発光素子1の発光面1aを上方(Z軸方向)に向け、発光素子1より光が上方へ出射されるように発光素子1を試料台12に載置する。
回動部14は、回動軸Lの周りに回動する基部22と、基部22に固定された略L字状の延出部24と、延出部24に配設された入射側積分球26と、回動部14の回動角度を検出するエンコーダ27とを備える。
基部22は、モータ28によりギアを介して駆動力が伝達され回動駆動される中空の回動ステージ29に連結固定されており、所定位置から回動軸Lの周りを右回り方向及び左回り方向へそれぞれ所定角度(例えば、90°)ずつ回動移動可能に設けられている。回動軸Lは発光素子1の光出射方向、すなわちZ軸方向と垂直な方向(Y軸方向)に配置され、かつ、試料台12に載置された発光素子1の発光面1aが回動軸Lの延長線上に位置するように、基部22が配置されている。
基部22には、回動軸L方向に貫通する保持孔23が回動軸Lに一致させて穿設されている。また、基部22の試料台12に対向する一端部22aには延出部24が固定され、基部22の他端部22bにはエンコーダ27が固定さている。
延出部24は、基部22の回動軸Lと垂直な方向に延びた後、折れ曲がって回動軸L方向に沿って延びる略L字状をなしており、延出部24の先端部が試料台12に載置された発光素子1の上方位置まで延出している。延出部24の先端部には、入射側積分球26が配設されている。
入射側積分球26は、入射開口部30及び出射開口部32が設けられた中空の球体であり、球体の内壁が硫酸バリウムなどでコーティングされ高反射率の内壁面をなしている。
入射開口部30は、試料台12に載置された発光素子1の発光面1aから所定距離だけ離れた位置に発光面1aに対向して配置され、発光素子1から出射された光が入射側積分球26の内部へ入射される。入射側積分球26の内部に光が入射されると、光が入射側積分球26の内壁面で繰り返し拡散反射されることで、その内部はほぼ均一な明るさとなる。
出射開口部32には、光ファイバー16の一端部16aが配置されており、入射側積分球26の内部に分散された光が、光ファイバー16の一端部16aに入射される。
また、入射側積分球26の内部には遮蔽体33が配設されており、入射開口部30から入射された光が、遮蔽体33によって出射開口部32に配置された光ファイバー16の一端部16aに直接入射されるのを防止している。
エンコーダ27は、例えば、アブソリュートエンコーダであって、その回転軸27aに固定された基部22の回動軸L軸回りの回動角度(回動位置)を検出する。エンコーダ27は検出した基部22の回動角度を制御部20へ出力する。 上記のような回動部14は、図2に示すように、基部22の回動移動に伴って、延出部24の先端部に配設された入射側積分球26の入射開口部30が、試料台12に載置された発光素子1の上方位置から回動軸Lの周りを右回り方向及び左回り方向へそれぞれ所定角度(例えば、90°)の範囲内で回動移動する。つまり、入射側積分球26の入射開口部30が、Z軸を含む平面(XZ平面)内で発光面1aを中心として、試料台12に載置された発光素子1の上方位置から右回り方向及び左回り方向へそれぞれ所定角度の範囲内で回動移動する。入射側積分球26の入射開口部30の回動角度(回動位置)は、エンコーダ27により検出される。
光ファイバー16は、その一端部16aが入射側積分球26の出射開口部32に接続され、延出部24及び基部22の内部を挿通されることで回動部14に配設されている。
詳細には、光ファイバー16は、延出部24に設けられた中空部25を通って基部22の試料台12に対向する一端部22aまで配線され、基部22の一端部22aより保持孔23を通って基部22の他端部22bへ挿通され、更にエンコーダ27の回転軸27aに穿設された中空部27bに挿通されて、光ファイバー16の他端部16bがエンコーダ27の端面から所定長さ突出するように配線されている。
光ファイバー16は、基部22及び回転軸27aに穿設された保持孔23及び中空部27bに挿通されることで、光ファイバー16の他端部16bから出射される光の光軸が回動軸Lに一致するように位置決めされて保持固定される。
回動部14に配設された光ファイバー16は、回動部14以外のいずれの部材にも固定されていない。つまり、光ファイバー16の他端部16bは、回動部14の回動に伴う光ファイバー16の回動移動を阻害しない自由端となっている。
測定部18は、光ファイバー16の他端部16bから出射された光を測定するものであって、光ファイバー16の他端部16bより出射され光が入射される測定側積分球34と、測定側積分球34の内部の光を測定する測定器19とを備える。
測定側積分球34は、入射側積分球26と同様、入射開口部38及び出射開口部40が設けられた中空の球体であり、球体の内壁が硫酸バリウムなどでコーティングされ高反射率の内壁面をなしている。
測定側積分球34には、図3に示すように、基部22の他端部22bより突出する光ファイバー16の他端部16bが入射開口部38より挿入されており、光ファイバー16の他端部16bより出射され光が測定側積分球34の内部へ入射される。測定側積分球34の内部に光が入射されると、光が測定側積分球34の内壁面で繰り返し拡散反射されることで、内部はほぼ均一な明るさとなる。
出射開口部40には、測定側積分球34の内部に分散された光を測定器19へと導光する光ファイバー36の入射端部36aが固定されている。
また、測定側積分球34の内部には遮蔽体41が配設されており、入射開口部38から入射された光が、遮蔽体41によって出射開口部40に配置された光ファイバー36の入射端部36aに直接入射されるのを防止している。
測定器19は、光ファイバー36を介して測定側積分球34と接続されており、測定側積分球34の出射開口部40から出射される光が入力され、光ファイバー16の他端部16bより出射され光の光度を測定する。
この測定器19は、本実施形態では、例えば、光ファイバー16の他端部16bより出射された光を波長成分に分解する分光器と、分光器において分解された各波長成分の光を検出する複数チャンネルのCCDセンサやPDアレイなどのセンサからなる光検出器と、光検出器の各チャンネルから出力される検出信号に対して必要な信号処理を行って、波長スペクトルを生成するデータ生成部とを備え、入射された光の波長スペクトルを得るマルチチャンネル分光器から構成される。また測定器19は、データ生成部において生成された波長スペクトルのデータを制御部20へ出力する。
なお、本実施形態では、測定器19として上記のようなマルチチャンネル分光器を用いる場合について説明したが、本発明はこれ以外にも、例えば、グレーティング(回折格子)を回転させながら光ファイバー16の他端部16bより出射された光を波長成分に分解し、分解された各波長成分の光を1又は複数のセンサで順次測定することで、入射された光の波長スペクトルを得る分光器や、光ファイバー16の他端部16bより出射された光を干渉計に入射し、分岐された光路間の光路差により生じるインターフェログラムを得て、このインターフェログラムをフーリエ変換することで、入射された光の波長スペクトルを得るフーリエ変換型分光器など、各種光学測定機器を測定器19として用いることができる。
制御部20には、素子電源11、エンコーダ27、モータ28、及び測定部18が接続されている。制御部20は、素子電源11を駆動して測定対象の発光素子1を発光させた状態で、モータ28を回動駆動して回動ステージ29に固定された回動部14を所定の角度ピッチで間欠的に回動させる。
このように制御部20が、発光素子1の発光面1aを中心として所定の角度ピッチで間欠的に入射側積分球26の入射開口部30を回動移動させることで、予め定められた複数の放射角度(測定位置)に入射側積分球26の入射開口部30が所定時間ずつ位置する。
制御部20は、上記のように入射側積分球26の入射開口部30を間欠的に回動移動させながら、予め定められた各放射角度において測定部18で測定された波長スペクトルを取得し、取得した波長スペクトルに必要なデータ解析を行う。本実施形態では、例えば、測定部18から入力された波長スペクトルのデータと公知の視感度データとに基づいて、視感度補正された輝度、色度などを算出する。
また、制御部20は、エンコーダ27より基部22の回動角度を取得し、取得した回動角度より入射側積分球26の入射開口部30の位置を検出する。 上記のような本実施形態の測定装置10では、試料台12上の発光素子1より出射された光は、入射開口部30から入射側積分球26の内部に入射され内壁面で拡散反射された後、光ファイバー16によって測定部18へ導光される。
これにより、本実施形態では、発光素子1の周りを回動する回動部14に測定部18を配設することなく、任意の放射角度において光度を測定することができるため、測定部18を発光素子1の周りに回動させる場合に比べて、回動部14を回動させるための駆動機構を簡素化できるとともに、回動部14の高速移動が可能となり測定時間を短縮させやすくなる。
しかも、本実施形態の測定装置10では、光ファイバー16の他端部16bから出射された光を入射開口部38より測定側積分球34内に取り込むことで、光ファイバー16と測定部18とを光学的に連結しているが、光ファイバー16の他端部16bは測定部18に固定されていない。そのため、回動部14の回動移動に伴って光ファイバー16が回動移動しても、光ファイバー16は、その移動を阻害されることなく、入射側積分球26の入射開口部30より取り込んだ光を測定部18へ導光することができる。したがって、回動部14が回動移動しても、光ファイバー16に捩れ応力が作用せず、光ファイバー16と測定部18との結合効率が変動することがなく、測定部18において安定して光度を測定することができる。 また、光ファイバー16の他端部16bから出力される光の光軸が回動部14の回動軸Lに一致しているため、回動部14の回動によって光ファイバー16の他端部16bから出力される光の光軸がぶれることがなく、より一層安定して光度を測定することができる。
また、本実施形態において、測定部18は、光ファイバ−16の他端部16bより出射した光を、入射開口部38から測定側積分球34の内部に取り込み、測定側積分球34の内部の光を測定器19へ導光する。測定側積分球34の内部は、入射開口部38から入射した光によってほぼ均一な明るさとなる。そのため、光ファイバー16の他端部16bより出射される光が、回動部14の回動移動に伴ってぶれることがあっても、入射開口部38より測定側積分球34の内部へ入射されていれば、測定中に結合効率が変動することが無く、測定器19において安定して光度を測定することができる。
しかも、測定側積分球34の内部は、ほぼ均一な明るさとなっているので、測定側積分球34の任意の箇所に出射開口部40を設けることができ、測定側積分球34の内部の光を測定器19へ導光する光ファイバー36を配線し易くなる。
また、本実施形態では、エンコーダ27により回動部14の回動軸L回りの回動角度(回動位置)を検出するため、モータ28の回動方向を切り換えた際に、モータ28からの駆動力を回動部14へ伝達するギアの遊びに起因するモータ28の駆動軸と回動部14との位置ずれ、いわゆる、バックラッシュが発生しても、回動部14の回動角度を正確に検出することができる。
また、本実施形態では、回動部14に配設された光ファイバー16は、入射側積分球26の内部へ入射した発光素子1からの光が、出射開口部32に設けられた一端部16より光ファイバー16内へ取り込まれる。入射側積分球26の内部は、ほぼ均一な明るさとなっているので、入射側積分球26の任意の箇所に出射開口部32を設けることができ、回動部14に光ファイバ−16を配線し易くなる。
なお、上記した本実施形態では、光ファイバー16の一端部16aを入射側積分球26の出射開口部32に配設し、入射側積分球26の内部へ入射した発光素子1からの光が光ファイバー16の一端部16aより入射されるように構成したが、本発明はこれに限定されず、例えば、延出部24の先端部に光ファイバー16の一端部16aを発光素子1の発光面1aに対向して配置し、発光素子1からの光を光ファイバー16の一端部16aより取り込むように構成しても良い。
また、上記した本実施形態では、測定部18は、光ファイバー16の他端部16bから出射された光を測定側積分球34の内部に取り込み、測定側積分球34の内部の光を測定器19が測定するように構成したが、例えば、光ファイバー16の他端部16bを測定器19の光の取込部に対向させ、他端部16bからの光を測定器19に入射させるなど、測定側積分球34を用いることなく光ファイバー16の他端部16bからの光を測定器19で測定するように構成してもよい。
さらにまた、本実施形態では、試料台12が固定されている場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、試料台12をZ軸回りに回転可能に設け、試料台12に載置された試料をZ軸回りに回転可能に設けてもよい。このように試料台12を設けることで、3次元の配光特性を測定することができる。
1…発光素子
1a…発光面
10…測定装置
12…試料台
14…回動部
16…光ファイバー
16a…光ファイバーの一端部
16b…光ファイバーの他端部
18…測定部
19…測定器
20…制御部
22…基部
22a…基部の一端部
22b…基部の他端部
23…保持孔
24…延出部
25…中空部
26…入射側積分球(第2積分球)
34…測定側積分球(第1積分球)
L…回動軸

Claims (6)

  1. 発光素子の周りを回動する回動部と、前記回動部に配設され前記発光素子から出射される光が一端部より入射され他端部より出射される光ファイバーと、前記光ファイバーの他端部より出射された光を測定する測定部と、を備え、前記光ファイバーが前記測定部に固定されていないことを特徴とする発光素子測定装置。
  2. 前記光ファイバーの他端部から出射される光の光軸を前記回動部の回動軸に一致させて、前記光ファイバーが前記回動体に配設されていることを特徴とする請求項1に記載の発光素子測定装置。
  3. 前記測定部は、前記光ファイバーの他端部より出射される光が入射される第1積分球を備え、前記第1積分球の内部の光を測定することを特徴とする請求項1又は2に記載の発光素子測定装置。
  4. 前記回動部は、回動軸回りに回動する基部と、前記基部の一端部から前記回動軸方向に延びる延出部とを備え、前記延出部に前記光ファイバーの一端部が前記発光素子に対向配置されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の発光素子測定装置。
  5. 前記回動部は、回動軸回りに回動する基部と、前記基部の一端部から前記回動軸方向に延びる延出部と、前記延出部に配設された前記発光素子から出射される光が入射される第2積分球とを備え、前記第2積分球の内部の光が前記光ファイバーの一端部より入射されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の発光素子測定装置。
  6. 発光素子から出射される光を測定する発光素子測定方法において、
    前記測定部に固定されていない光ファイバーが配設された回動部を前記発光素子の周りを回動させ、前記発光素子から出射された光を前記光ファイバーの一端部より入射し前記光ファイバーの他端部より出射させ、出射された光を前記測定部で測定することを特徴とする発光素子測定方法。
JP2009135459A 2009-06-04 2009-06-04 発光素子測定装置及び発光素子測定方法 Pending JP2010281696A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009135459A JP2010281696A (ja) 2009-06-04 2009-06-04 発光素子測定装置及び発光素子測定方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009135459A JP2010281696A (ja) 2009-06-04 2009-06-04 発光素子測定装置及び発光素子測定方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2010281696A true JP2010281696A (ja) 2010-12-16

Family

ID=43538562

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009135459A Pending JP2010281696A (ja) 2009-06-04 2009-06-04 発光素子測定装置及び発光素子測定方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2010281696A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014115215A (ja) * 2012-12-11 2014-06-26 Otsuka Denshi Co Ltd 配光特性測定装置および配光特性測定方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02179439A (ja) * 1988-12-29 1990-07-12 Fujikura Ltd 単一モード光フアイバのモードフィールド径の測定方法
JPH09210792A (ja) * 1996-02-01 1997-08-15 Horiba Ltd 歯牙表面の濃度と色を測定する光学式測定装置
JP2006013692A (ja) * 2004-06-23 2006-01-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 携帯型情報機器
JP2009098112A (ja) * 2007-09-28 2009-05-07 Fujifilm Corp 光ロータリアダプタおよびこれを用いる光断層画像化装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02179439A (ja) * 1988-12-29 1990-07-12 Fujikura Ltd 単一モード光フアイバのモードフィールド径の測定方法
JPH09210792A (ja) * 1996-02-01 1997-08-15 Horiba Ltd 歯牙表面の濃度と色を測定する光学式測定装置
JP2006013692A (ja) * 2004-06-23 2006-01-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 携帯型情報機器
JP2009098112A (ja) * 2007-09-28 2009-05-07 Fujifilm Corp 光ロータリアダプタおよびこれを用いる光断層画像化装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014115215A (ja) * 2012-12-11 2014-06-26 Otsuka Denshi Co Ltd 配光特性測定装置および配光特性測定方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20080062413A1 (en) Apparatus and Method for Characterizing a Light Source
CN107407727A (zh) 用于光检测与测距光学对准的方法与系统
EP2664943B1 (en) Optical signal transmission structure of laser distance measuring device
US20120250022A1 (en) Hand-Held Color Measurement Device
EP2728340A1 (en) Drug detection device and drug detection method
US10900842B2 (en) On-board radiation sensing apparatus
US20130250294A1 (en) Automatic real-time wavelength calibration of fiber-optic-based spectrometers
JP2005172665A (ja) 光放射パターン測定装置
JP6615604B2 (ja) 共焦点変位計
CN106574866A (zh) 用于反射测量的测量装置
CN102854149A (zh) 用于连续光谱双向散射分布函数的测量装置
JP2007198883A (ja) 光ファイバープローブによる分光測定装置
JP2007327923A (ja) 分光測定装置および分光測定装置の調整方法
JP6654893B2 (ja) 共焦点変位計
JP6421817B2 (ja) 表面特性測定装置
US20110001968A1 (en) Spectrometer Measuring Head For Analyzing Characteristic Variables of Liquid, Pasty Or Solid Substances
JP2010281696A (ja) 発光素子測定装置及び発光素子測定方法
US20160299003A1 (en) Tandem dispersive range monochromator
WO2013114524A1 (ja) 分光測定装置及び画像部分抽出装置
US8546746B2 (en) Photoelectric encoder and photoelectric encoder system
EP3460386A1 (en) Displacement sensor
KR101823197B1 (ko) 광학 측정 장치
JP5672376B2 (ja) 反射特性測定装置用光学系および反射特性測定装置
JP5665324B2 (ja) 全光量測定システム、全光量測定装置、および、全光量測定方法
JP2007010362A (ja) 光学特性測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20120424

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130423

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20140225