JP2010280032A - 研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】研磨材の回収、交換作業を容易にし、回収時間の削減を図ることができる研磨装置を提供する。
【解決手段】この研磨装置は、研磨材をタービン設備に組み込まれるノズルダイアフラムの被研磨面に向けて噴射する噴射部と、前記噴射された研磨材を回収する回収部と、前記回収された研磨材を前記噴射部に供給する供給部と、前記回収部下方に配置され、この回収部に溜まった研磨材を排出する排出部と、を具備する。
【選択図】図1
【解決手段】この研磨装置は、研磨材をタービン設備に組み込まれるノズルダイアフラムの被研磨面に向けて噴射する噴射部と、前記噴射された研磨材を回収する回収部と、前記回収された研磨材を前記噴射部に供給する供給部と、前記回収部下方に配置され、この回収部に溜まった研磨材を排出する排出部と、を具備する。
【選択図】図1
Description
本発明は、研磨材を噴射して、タービン設備に組み込まれるノズルダイアフラムを研磨する研磨装置に関する。
近年、弾性体を核とする研磨粒を予め決められた速度でノズルから噴射し、この噴出された研磨粒を大型部品の被研磨面、たとえばノズルダイアフラムの蒸気通路部に衝突させて研磨する研磨装置が提案されている(例えば特許文献1参照)。この大型部品の研磨に供された研磨粒は、研磨材回収手段で回収され、再びノズルから噴射されて大型部品を研磨していた。
しかしながら、上記した先行技術には、繰り返し使用された研磨材は、研磨に相応しくないものとなるので、研磨材回収手段から取り出す必要がある。この取り出し作業では、作業員が研磨を行う部屋に入り、スコップなどを使用して研磨材回収手段に溜まった研磨材を掬いとって回収しなければならない。このため、研磨材の回収作業が煩雑になるとともに、回収に時間がかかるという問題がある。
本発明はこのような課題を解決するためになされたもので、研磨材の回収作業を容易にし、かつ回収時間の削減を図ることができる研磨装置を提供することを目的とする。
上記の課題を解決するために本発明の研磨装置は、研磨材をタービン設備に組み込まれるノズルダイアフラムの被研磨面に向けて噴射する噴射部と、前記噴射された研磨材を回収する回収部と、前記回収された研磨材を前記噴射部に供給する供給部と、前記回収部下方に配設され、この回収部に溜まった研磨材を排出する排出部と、を具備することを特徴とする。
本発明によれば、研磨材の回収、交換作業を容易にし、回収時間の削減を図ることができる。
(実施形態1)
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の実施形態1に係る研磨装置1の構成を示す断面図である。
この研磨装置1は、噴射部10、回収部11、運搬コンベア12、台座部13、排出バルブ14、枠体15、収納室16を備える。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の実施形態1に係る研磨装置1の構成を示す断面図である。
この研磨装置1は、噴射部10、回収部11、運搬コンベア12、台座部13、排出バルブ14、枠体15、収納室16を備える。
図2は、図1に示した台座部13とノズルダイアフラム31を示す側面図である。
ノズルダイアフラム31は、たとえばタービン設備に組み込まれるタービン静翼の略半月形状の下半分または上半分の翼で、蒸気通路部32、水平継ぎ手面33、アイボルト34を有する。蒸気通路部32は、蒸気の流れを調整する通路を有する。水平継ぎ手面33は、一対となる相手側ノズルダイアフラムと繋がる面である。アイボルト34は、この水平継ぎ手面33に配設された吊り上げ用のボルトである。
ノズルダイアフラム31は、たとえばタービン設備に組み込まれるタービン静翼の略半月形状の下半分または上半分の翼で、蒸気通路部32、水平継ぎ手面33、アイボルト34を有する。蒸気通路部32は、蒸気の流れを調整する通路を有する。水平継ぎ手面33は、一対となる相手側ノズルダイアフラムと繋がる面である。アイボルト34は、この水平継ぎ手面33に配設された吊り上げ用のボルトである。
図1において、噴射部10は、運搬コンベア12の先端に移動可能に設けられるとともに、噴射ノズル20を有する。噴射部10は、収納室16内に設置されたノズルダイアフラム31を中心として対向する位置に、たとえば2つ配設される。これら噴射部10は、研磨材30をこの噴射ノズル20から、立設されたノズルダイアフラム31の後述する蒸気通路部32の両面に衝突させて、この蒸気通路部32を研磨する。噴射部10は、遠隔操作で上下(図1の紙面の上下)方向、左右(図1の紙面と直角)方向、前後(図1の紙面の左右)方向に移動可能に構成されている。この噴射部10は、研磨材をタービン設備に組み込まれるノズルダイアフラム31の被研磨面に向けて噴射する噴射部として機能する。
この研磨材30は、核にガラスなどからなる粒子を付着させて形成される。この研磨材30を位置調整されたノズルから蒸気通路部32に向けて噴射することで、この蒸気通路部32に付着した酸化スケールや不純物を除去できる。この研磨材30は、繰り返し使用されるが、使用頻度が多くなると除去された酸化酸化スケールや不純物などが混在し、研磨材としての機能が損なわれることとなる。
図3は、図1に示した回収部11と台座部13を示す上面図である。
図1および図3において、回収部11は、傾斜面21、回収箱22、グレーチング28を有する。傾斜面21は、断面が所定角度のすり鉢状に形成され、噴射された研磨材30を上方から下方に自由落下させる。回収箱22は、傾斜面21の下方に設けられ、傾斜面21を落下する研磨材30が回収および収容される。グレーチング28は、鋼材を格子状に組んだ溝蓋で、傾斜面21と回収箱22の間でこの回収箱22の入口を覆うように配設される。この回収部11は、前記噴射された研磨材を回収する回収部として機能する。
図1および図3において、回収部11は、傾斜面21、回収箱22、グレーチング28を有する。傾斜面21は、断面が所定角度のすり鉢状に形成され、噴射された研磨材30を上方から下方に自由落下させる。回収箱22は、傾斜面21の下方に設けられ、傾斜面21を落下する研磨材30が回収および収容される。グレーチング28は、鋼材を格子状に組んだ溝蓋で、傾斜面21と回収箱22の間でこの回収箱22の入口を覆うように配設される。この回収部11は、前記噴射された研磨材を回収する回収部として機能する。
運搬コンベア12は、下端に設けられた回収箱22に収容された研磨材30を運搬し、上端に設けられた噴射部10に供給する。運搬コンベア12は、2つの噴射部10に対応して2つ配設され、各噴射部10に研磨材30をそれぞれ運搬する。この運搬コンベア12は、前記回収された研磨材を前記噴射部に供給する供給部として機能する。
台座部13は、台部23、サポート部材24、ボルト25を有し、グレーチング28に載置される。
台部23は、グレーチング28上に配設され、ノズルダイアフラム31が立設可能に載置される。台部23は、図3に示すように、上面の形状がI形状に形成される。ノズルダイアフラム31は、このI形状のうち、上下(紙面の上下)の横方向に平行な第1の部材同士を繋ぐ縦方向の第2の部材に載置される。この第2の部材の幅は、たとえばノズルダイアフラム31の幅とほぼ同じ幅に設定可能である。また、第1の部材の幅は、たとえば後述するサポート部材24の各部材の幅とほぼ同じ幅に設定可能である。なお、図3では、運搬コンベア12の図示を省いている。
台部23は、グレーチング28上に配設され、ノズルダイアフラム31が立設可能に載置される。台部23は、図3に示すように、上面の形状がI形状に形成される。ノズルダイアフラム31は、このI形状のうち、上下(紙面の上下)の横方向に平行な第1の部材同士を繋ぐ縦方向の第2の部材に載置される。この第2の部材の幅は、たとえばノズルダイアフラム31の幅とほぼ同じ幅に設定可能である。また、第1の部材の幅は、たとえば後述するサポート部材24の各部材の幅とほぼ同じ幅に設定可能である。なお、図3では、運搬コンベア12の図示を省いている。
サポート部材24は、たとえば4つの互いに対向する部材で、台部23の第1の部材にそれぞれ載置される。サポート部材24の各部材は、サポートバー用の複数の孔26を有するとともに、立設されたノズルダイアフラム31の蒸気通路部32を除いた両端を挟持する。なお、孔26は、ノズルダイアフラム31の径に対応してサポート部材24の長手方向にそれぞれ形成される。この孔26に着脱可能なサポートバー(図示しない)を挿入することで、サポート部材24は、台部23の第2の部材上に載置されたノズルダイアフラム31の水平継ぎ手面33が収納室16の床16aと水平になるように、曲面を下にした状態でノズルダイアフラム31を固定して挟持することができる。これにより、ノズルダイアフラム31の曲面方向の回転を防止できる。
ボルト25は、台部23を枠体15に固定するとともに、各サポート部材24を台部23に固定する部材で複数配設される。ボルト25も、サポート部材24と同様に、台部23の第1の部材にそれぞれ配設される。台座部13は、前記ノズルダイアフラムを立設する台座部として機能する。
本実施形態では、ノズルダイアフラムを立設した状態で固定して、蒸気通路部を両面から研磨できるので、研磨作業の軽減および研磨時間の削減を図ることができる。
本実施形態では、ノズルダイアフラムを立設した状態で固定して、蒸気通路部を両面から研磨できるので、研磨作業の軽減および研磨時間の削減を図ることができる。
また、本実施形態では、ノズルダイアフラムの径に対応したサポートバー用の孔にサポートバーを挿入してノズルダイアフラムを固定するので、研磨作業中にノズルダイアフラムの回転や転倒を防止することができる。
さらに、本実施形態では、台座部にはノズルダイアフラムが載置され、かつ台座部は研磨作業時の安定化を図るのに必要な最小面積のI形状に形成される。この結果、蒸気通路部に吹き付けられた研磨材は、自重でグレーチングを介して回収箱に落下して回収される。
さらに、本実施形態では、台座部にはノズルダイアフラムが載置され、かつ台座部は研磨作業時の安定化を図るのに必要な最小面積のI形状に形成される。この結果、蒸気通路部に吹き付けられた研磨材は、自重でグレーチングを介して回収箱に落下して回収される。
排出バルブ14は、回収箱22の下部で、かつ収納室16の室外に開閉可能に配設される。排出バルブ14が閉状態の場合、研磨材30は回収箱22内に回収されて溜まる。また、排出バルブ14が開状態になると、研磨材30は回収箱22から収納室16の床16aを貫通する貫通孔27および排出バルブ14を通過して外部に排出する。排出バルブ14は、前記回収部下方に配設され、この回収部に溜まった前記研磨材を排出する排出部として機能する。
なお、この排出バルブ14は、上述した研磨材30の排出のみに限らず、新しい研磨材30の供給にも用いることが可能である。たとえば、古くなった研磨材30の排出後に、この排出バルブ14に図示しない研磨材供給装置を接続し、この研磨材供給装置から排出バルブ14を介して回収部11に新たな研磨材30を供給する。これにより、研磨材の交換作業が容易に行える。
枠体15は、収納室16内に配置される。枠体15は、回収部11を下方に保持するとともに、収納室16の下方から上方に延設された運搬コンベア12を所定角度に保持する。
枠体15は、収納室16内に配置される。枠体15は、回収部11を下方に保持するとともに、収納室16の下方から上方に延設された運搬コンベア12を所定角度に保持する。
収納室16は、上述した噴射部10、回収部11、運搬コンベア12、台座部13、枠体15を室内に、排出バルブ14を回収部11の下方の室外(床16aの外側)にそれぞれ配置する。また、収納室16は、床16aに、回収部11と排出バルブ14を繋ぐ貫通孔27を有する。さらに、収納室16は、ノズルダイアフラム搬入用のスライド可能な図4に記載の開閉扉16bを有する。
図4は図1に示した収納室16を示す側面図である。以下の図において、図1〜図4に示した構成部分と同様の構成部分については、説明の都合上、同一符号を付記する。
この収納室16は、脚部35を有する台座36に載置される。台座36には、ノズルダイアフラム31が台座36下方に突出可能なように、貫通孔43が設けられている。この収納室16は、前記噴射部、前記回収部および前記供給部を室内に配置し、前記排出部を室外に配置する収納室としての機能を有する。
この収納室16は、脚部35を有する台座36に載置される。台座36には、ノズルダイアフラム31が台座36下方に突出可能なように、貫通孔43が設けられている。この収納室16は、前記噴射部、前記回収部および前記供給部を室内に配置し、前記排出部を室外に配置する収納室としての機能を有する。
このように、本実施形態では、回収部の下方に排出バルブを設け、この回収部に溜まった研磨材としての機能が損なわれた研磨材を、排出バルブを開状態にして容易に外部に排出し、新たな研磨材に交換することができるので、研磨材の回収、交換作業を容易にし、回収時間の削減を図ることができる。
また、本実施形態では、排出バルブを回収部の下方に設けたので、回収部内に研磨材が滞留することなく、排出バルブから回収できるので、研磨材の回収を効率よく行うことができる。
(変形例)
図5は、本発明の実施形態1に係る研磨装置の変形例の構成を示す断面図である。
実施形態1では、排出部として排出バルブ14を用いたが、本発明はこれに限らず、たとえば排出バルブ14の代わりに、仕切板40を用いることも可能である。
図5は、本発明の実施形態1に係る研磨装置の変形例の構成を示す断面図である。
実施形態1では、排出部として排出バルブ14を用いたが、本発明はこれに限らず、たとえば排出バルブ14の代わりに、仕切板40を用いることも可能である。
仕切板40は、開閉可能に収納室16の床16a下方に配設されている。この仕切板40は、平板からなり、たとえば紙面の左右にスライドして床16aに設けられた貫通孔27を開閉することができる。または左右のいずれか一端を蝶番で床16aに取り付け、他端を開閉可能にしてもよい。この仕切板40は、開閉可能な仕切板として機能する。
本変形例では、実施形態1と同様の効果を奏するとともに、開閉可能な平板の仕切板を排出部として用いるので、排出バルブの場合よりも床下のスペースが狭い場所に用いることが可能となる。
(実施形態2)
実施形態1では、ノズルダイアフラム31を図示しないクレーンなどで吊り上げて開状態の開閉扉16bから搬入することが考えられる。この際に、開閉扉16bの大きさによってはクレーンのアーム操作が難しい場合がある。
そこで、本実施形態では、ノズルダイアフラム31を収納室16の上方から搬入可能とすることで、クレーン操作を容易に行えるようにする。
実施形態1では、ノズルダイアフラム31を図示しないクレーンなどで吊り上げて開状態の開閉扉16bから搬入することが考えられる。この際に、開閉扉16bの大きさによってはクレーンのアーム操作が難しい場合がある。
そこで、本実施形態では、ノズルダイアフラム31を収納室16の上方から搬入可能とすることで、クレーン操作を容易に行えるようにする。
図6は、本発明の実施形態2に係る研磨装置2の構成を示す断面図である。
この研磨装置2では、研磨対象のノズルダイアフラム31の搬入が可能なように、枠体15と収納室16の上部が開口形状に構成される。さらに、収納室16には、研磨材が外部に飛散しないように、開閉可能な上蓋部16cを設ける。この上蓋部16cには、吊り上げ用のアイボルト16dが取り付けられている。この上蓋部16cは、収納室16の側壁とともに防水または防塵処理が施された状態で着脱可能となっている。なお、この収納室16の上部の開口は、ノズルダイアフラム31の搬入が可能な大きさの上部の一部であってもよく、上蓋部16cもこれに合せ、この上部の開口を覆う大きさであればよい。また、この上蓋部16cは、開閉扉16bと同様に、スライド式のものでもよい。
この研磨装置2では、研磨対象のノズルダイアフラム31の搬入が可能なように、枠体15と収納室16の上部が開口形状に構成される。さらに、収納室16には、研磨材が外部に飛散しないように、開閉可能な上蓋部16cを設ける。この上蓋部16cには、吊り上げ用のアイボルト16dが取り付けられている。この上蓋部16cは、収納室16の側壁とともに防水または防塵処理が施された状態で着脱可能となっている。なお、この収納室16の上部の開口は、ノズルダイアフラム31の搬入が可能な大きさの上部の一部であってもよく、上蓋部16cもこれに合せ、この上部の開口を覆う大きさであればよい。また、この上蓋部16cは、開閉扉16bと同様に、スライド式のものでもよい。
ノズルダイアフラム31を収納室16内に搬入する場合、たとえばクレーンなどで上蓋部16cを吊り上げて収納室16の上部を開状態にする。次に、ノズルダイアフラム31をクレーンで吊り上げて収納室16内の台座部13に載置させて固定する。そして、再び上蓋部16cを吊り上げて収納室16の上部を覆って閉状態にして、研磨作業を可能にする。
このように、本実施形態では、実施形態1と同様の効果を奏するとともに、収納室上部を開閉可能にし、ノズルダイアフラムを上部から直接収納室内に搬入することができるので、クレーンなどによるノズルダイアフラムの搬入作業が容易になる。
また、本実施形態では、収納室上部を開閉可能にしたが、側壁とともに防水または防塵処理を施しているので、噴射された研磨材が側壁と上部の隙間から外部に飛散することなく、研磨作業を行うことができる。
(実施形態3)
研磨作業は、専用の設備がある工場で行われるため、発電所に設置されているタービンから取り外したノズルダイアフラム31をこの工場に運搬しなければならない。このため、ノズルダイアフラム31の運搬時間が研磨の作業時間に加算されてしまう。
そこで、本実施形態では、運搬時間をかけずに研磨作業を行えるようにする。
研磨作業は、専用の設備がある工場で行われるため、発電所に設置されているタービンから取り外したノズルダイアフラム31をこの工場に運搬しなければならない。このため、ノズルダイアフラム31の運搬時間が研磨の作業時間に加算されてしまう。
そこで、本実施形態では、運搬時間をかけずに研磨作業を行えるようにする。
図7は、本発明の実施形態3に係る研磨装置3の構成を示す側面図である。
研磨装置3では、収納室16が大型輸送車41の荷台42に積載される。また、この荷台42には、ノズルダイアフラム31が荷台42下方に突出可能なように、貫通孔43が設けられている。
研磨装置3では、収納室16が大型輸送車41の荷台42に積載される。また、この荷台42には、ノズルダイアフラム31が荷台42下方に突出可能なように、貫通孔43が設けられている。
このように、本実施形態では、実施形態1と同様の効果を奏するとともに、研磨装置自体を移動可能としたので、研磨作業の必要に応じて、異なる発電所へ移動して研磨作業を行うことができ、ノズルダイアフラムの搬送時間を削減することができる。
また、本実施形態では、1つの研磨装置を複数の発電所で共有できるので、発電所として固定の研磨設備を有する必要がなく、発電所の設備費を削減できる。
また、本実施形態では、1つの研磨装置を複数の発電所で共有できるので、発電所として固定の研磨設備を有する必要がなく、発電所の設備費を削減できる。
(実施形態4)
研磨装置4は、噴射部10や運搬コンベア12の駆動制御を行う制御装置50や研磨作業を行う各部位の部品(図示せず)を有する。この制御装置50や部品は、通電によって電気的に作動するものがあり、これらを同じ収納室に配置すると、飛散した研磨材や不純物などの粉塵によって誤動作する可能性がある。
そこで、本実施形態では、制御装置50や部品を別に収納する。
研磨装置4は、噴射部10や運搬コンベア12の駆動制御を行う制御装置50や研磨作業を行う各部位の部品(図示せず)を有する。この制御装置50や部品は、通電によって電気的に作動するものがあり、これらを同じ収納室に配置すると、飛散した研磨材や不純物などの粉塵によって誤動作する可能性がある。
そこで、本実施形態では、制御装置50や部品を別に収納する。
図8は、本発明の実施形態4に係る研磨装置4の構成を示す側面図である。
収納室16は、第1の収納室51、第2の収納室52、第3の収納室53を有する。第1の収納室51は、噴射部10、回収部11、運搬コンベア12、台座部13、枠体15などのノズルダイアフラム31を研磨する部位を収納する。第2の収納室52は、第1の収納室51と隔絶され、制御盤などの制御装置50を収納する。第3の収納室53は、第1の収納室51と隔絶され、研磨作業を行う各部位の部品を収納する。
収納室16は、第1の収納室51、第2の収納室52、第3の収納室53を有する。第1の収納室51は、噴射部10、回収部11、運搬コンベア12、台座部13、枠体15などのノズルダイアフラム31を研磨する部位を収納する。第2の収納室52は、第1の収納室51と隔絶され、制御盤などの制御装置50を収納する。第3の収納室53は、第1の収納室51と隔絶され、研磨作業を行う各部位の部品を収納する。
このように、本実施形態では、実施形態1と同様の効果を奏するとともに、制御装置や部品を、ノズルダイアフラム31を研磨する部位と隔絶させて別々の収納室に収納するので、飛散した粉塵の侵入を防ぎ、この粉塵に伴う電気的な誤動作を防止することができる。
(実施形態5)
図9は、本発明の実施形態5に係る研磨装置5の構成を示す断面図である。
図において、収納室16は、枠体15上面およびグレーチング28上面の高さが台座36上面の高さと一致するように、台座36に固定される。この結果、回収箱22は、台座36より下部に配置されることとなる。
図9は、本発明の実施形態5に係る研磨装置5の構成を示す断面図である。
図において、収納室16は、枠体15上面およびグレーチング28上面の高さが台座36上面の高さと一致するように、台座36に固定される。この結果、回収箱22は、台座36より下部に配置されることとなる。
また、ノズルダイアフラム31が載置された台部23は、移動可能な車輪54を有する。この台部23は、台座36から収納室16内に敷設されたレール55上を移動して、ノズルダイアフラム31を運搬する。開閉扉16b側の傾斜面21の一部は、台部23が移動可能なように、開口部21aを有する。この開口部21aには、たとえば開閉可能な扉(図示せず)が設けられている。この扉は、台部23が傾斜面21内に収容されると、閉じられて開口部21aに嵌合し傾斜面21の一部を構成する。
ノズルダイアフラム31は、収納室16外部の台座36上で台部23に立設固定され、レール55上を水平移動されて収納室16内に運搬され、蒸気通路部32の研磨が可能となる。この研磨後、ノズルダイアフラム31は、レール55上を水平移動されて収納室16外部に運搬される。
このように、本実施形態では、実施形態1と同様の効果を奏するとともに、車輪を有する台部によってノズルダイアフラムを立設状態で運搬可能なので、収納室への搬入および収納室からの搬出を容易に、かつ効率よく行うことができる。
また、本実施形態では、回収箱22を台座36より下部に配置するので、レールの敷設が可能になり、ノズルダイアフラムを収納室内に容易に運搬できる。
なお、本実施形態は、タービン静翼のノズルダイアフラムについて説明したが、本発明はこれに限らず、たとえばタービンの動翼の研磨にも、本発明の研磨装置を応用することが可能である。
なお、本実施形態は、タービン静翼のノズルダイアフラムについて説明したが、本発明はこれに限らず、たとえばタービンの動翼の研磨にも、本発明の研磨装置を応用することが可能である。
なお、本願発明は、上記実施形態のみに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形してもよい。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素を適宜組み合わせることにより、種々の発明を構成できる。例えば実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
1〜5…研磨装置、10…噴射部、11…回収部、12…運搬コンベア、13…台座部、14…排出バルブ、15…枠体、16…収納室、16a…床、16b…開閉扉、16c…上蓋部、16d…アイボルト、20…噴射ノズル、21…傾斜面、21a…開口部、22…回収箱、23…台部、24…サポート部材、25…ボルト、26…孔、27…貫通孔、28…グレーチング、30…研磨材、31…ノズルダイアフラム、32…蒸気通路部、33…水平継ぎ手面、34…アイボルト、35…脚部、36…台座、40…仕切板、41…大型輸送車、42…荷台、43…貫通孔、50…制御装置、51…第1の収納室、52…第2の収納室、53…第3の収納室、54…車輪、55…レール。
Claims (11)
- 研磨材をタービン設備に組み込まれるノズルダイアフラムの被研磨面に向けて噴射する噴射部と、
前記噴射された研磨材を前記噴射部の下方で回収する回収部と、
前記回収された研磨材を前記噴射部に供給する供給部と、
前記回収部下方に配設され、この回収部に溜まった前記研磨材を排出する排出部と、
を具備することを特徴とする研磨装置。 - 前記噴射部、前記回収部および前記供給部を室内に配置し、前記排出部を室外に配置するとともに、前記回収部と前記排出部を繋ぐ貫通孔を有する収納室を、
さらに具備することを特徴とする請求項1記載の研磨装置。 - 前記噴射部および前記供給部を制御する制御部を、
さらに具備し、前記収納室は、前記噴射部、前記回収部および前記供給部を収納する第1の収納室と、前記第1の収納室と隔絶され、前記制御部を収納する第2の収納室を備えることを特徴とする請求項1または2記載の研磨装置。 - 前記収納室を積載して自走可能であり、前記排出部を下方に突出可能な荷台を有する大型輸送車を、
さらに具備することを特徴とする請求項2または3記載の研磨装置。 - 前記排出部は、開閉可能なバルブを、
有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の研磨装置。 - 前記排出部は、開閉可能な仕切板を、
有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の研磨装置。 - 前記回収部は、上方から下方の前記排出部に傾斜する傾斜面を、
有することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1つに記載の研磨装置。 - 前記第1の収納室は、開閉可能な上蓋部を、
有することを特徴とする請求項3〜6のいずれか1つに記載の研磨装置。 - 前記ノズルダイアフラムを立設する台部を、
さらに具備し、前記噴射部は、前記立設されたノズルダイアフラムの被研磨面に向けて、前記研磨材を噴射する
ことを特徴とする請求項1〜8のいずれか1つに記載の研磨装置。 - 前記台部は、
前記ノズルダイアフラムを立設状態で挟持する挟持部材と、
前記挟持されたノズルダイアフラムを着脱可能に固定する固定部材と、
を有することを特徴とする請求項9記載の研磨装置。 - 前記台部は、前記立設状態のノズルダイアフラムを移動可能な移動部を、
有することを特徴とする請求項9または10記載の研磨装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009134938A JP2010280032A (ja) | 2009-06-04 | 2009-06-04 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009134938A JP2010280032A (ja) | 2009-06-04 | 2009-06-04 | 研磨装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2010280032A true JP2010280032A (ja) | 2010-12-16 |
Family
ID=43537255
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2009134938A Withdrawn JP2010280032A (ja) | 2009-06-04 | 2009-06-04 | 研磨装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2010280032A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103029044A (zh) * | 2012-12-12 | 2013-04-10 | 中国南方航空工业(集团)有限公司 | 一种夹具及其应用方法 |
CN106192015A (zh) * | 2016-07-25 | 2016-12-07 | 上海誉和钻石工具有限公司 | 一种单晶金刚石刀具刃口钝化处理的设备以及方法 |
-
2009
- 2009-06-04 JP JP2009134938A patent/JP2010280032A/ja not_active Withdrawn
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CN103029044A (zh) * | 2012-12-12 | 2013-04-10 | 中国南方航空工业(集团)有限公司 | 一种夹具及其应用方法 |
CN106192015A (zh) * | 2016-07-25 | 2016-12-07 | 上海誉和钻石工具有限公司 | 一种单晶金刚石刀具刃口钝化处理的设备以及方法 |
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