JP2010276859A - Photosensitive resin composition, and photosensitive film and photosensitive permanent resist using the same - Google Patents

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Shuichi Itagaki
秀一 板垣
Tetsufumi Fujii
徹文 藤井
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition that includes excellent alkali-development properties, can form a cured film having various properties required for solder resist, exhibits small tack properties and includes high luminous sensitivity compatible to an LDI system; and to provide a photosensitive film and photosensitive permanent resist using the same. <P>SOLUTION: The photosensitive resin composition includes a binder polymer (A), a photopolymerizable compound (B) having an ethylenically unsaturated group, and a photopolymerization initiator (C). The photosensitive resin composition includes, as the photopolymerizable compound (B) having an ethylenically unsaturated group, at least a polyalkylene glycol di(meth)acrylate compound (b1). The photosensitive resin composition further includes, as the photopolymerization initiator (C), at least an acridine compound having an α-aminoalkylphenone compound (c1) and an acridine group (c2). <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性フィルム及び感光性永久レジストに関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition, and a photosensitive film and a photosensitive permanent resist using the same.

プリント配線板の製造業界では、従来から、プリント配線板上にソルダーレジストを形成することが行われている。このソルダーレジストは、実装部品をプリント配線板に接合するためのはんだ付け工程において、プリント配線板の導体層の不要な部分にはんだが付着することを防ぐ役割を有している他、実装部品接合後のプリント配線板の使用時においては導体層の腐食を防止したり導体層間の電気絶縁性を保持したりする永久マスクとしての役割も有している。   In the printed wiring board manufacturing industry, conventionally, a solder resist is formed on a printed wiring board. This solder resist has a role to prevent solder from adhering to unnecessary portions of the conductor layer of the printed wiring board in the soldering process for bonding the mounted part to the printed wiring board. When the printed wiring board is used later, it also serves as a permanent mask for preventing corrosion of the conductor layer and maintaining electrical insulation between the conductor layers.

ソルダーレジストの形成方法としては、例えば、プリント配線板の導体層上に熱硬化性樹脂をスクリーン印刷する方法が知られている。しかし、このような方法ではレジストパターンの高解像度化に限界があるため、近年のプリント配線板の高密度化に対応させることが困難になってきている。   As a method for forming a solder resist, for example, a method of screen printing a thermosetting resin on a conductor layer of a printed wiring board is known. However, since such a method has a limit in increasing the resolution of the resist pattern, it has become difficult to cope with the recent increase in the density of printed wiring boards.

そこで、レジストパターンの高解像度化を達成するために、フォトレジスト法が盛んに用いられるようになってきている。このフォトレジスト法は、基板上に感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層を形成し、この感光性樹脂組成物層を所定パターンの露光により硬化させ、未露光部分を現像により除去して所定パターンの硬化膜を形成するものである。   Therefore, in order to achieve high resolution of the resist pattern, the photoresist method has been actively used. In this photoresist method, a photosensitive resin composition layer made of a photosensitive resin composition is formed on a substrate, the photosensitive resin composition layer is cured by exposure of a predetermined pattern, and unexposed portions are removed by development. Thus, a cured film having a predetermined pattern is formed.

また、かかる方法に使用される感光性樹脂組成物は、作業環境保全、地球環境保全の点から、炭酸ナトリウム水溶液等の希アルカリ水溶液で現像可能なアルカリ現像型のものが主流になってきている。このような感光性樹脂組成物としては、例えば、下記特許文献1に記載の液状レジストインキ組成物や、下記特許文献2に記載の感光性熱硬化性樹脂組成物等が知られている。   In addition, the photosensitive resin composition used in such a method is mainly an alkali development type that can be developed with a dilute aqueous alkali solution such as an aqueous sodium carbonate solution from the viewpoint of conservation of the working environment and global environment. . As such a photosensitive resin composition, for example, a liquid resist ink composition described in Patent Document 1 below and a photosensitive thermosetting resin composition described in Patent Document 2 below are known.

特開昭61−243869号公報JP-A 61-243869 特開平01−141904号公報Japanese Patent Laid-Open No. 01-141904

一方、さらなるプリント配線板の高密度化の観点から、マスクを必要とせず、CAD(computer−aided design)で作成したパターンをレーザー光により直接描画する方法である、LDI(laser direct imaging)方式へ対応可能な感光性硬化性樹脂組成物が望まれる。   On the other hand, from the viewpoint of further increase in the density of printed wiring boards, an LDI (laser direct imaging) method, which is a method of directly drawing a pattern created by CAD (computer-aided design) without using a mask and using laser light. A compatible photosensitive curable resin composition is desired.

LDI方式では、スループット向上等の観点から、高感度の感光性樹脂組成物が必要となる。しかしながら、特許文献1や特許文献2に記載されている従来の可能性樹脂組成物では、LDI方式に対応し得る十分な光感度を有しておらず、LDI方式への適用は困難であった。また、光重合開始剤や増感剤を大量に添加してすることにより感度の向上を図ることはできるが、その場合、十分なレジスト特性が得られない傾向がある。   The LDI method requires a highly sensitive photosensitive resin composition from the viewpoint of improving throughput. However, the conventional potential resin compositions described in Patent Document 1 and Patent Document 2 do not have sufficient photosensitivity that can correspond to the LDI system, and are difficult to apply to the LDI system. . In addition, the sensitivity can be improved by adding a large amount of a photopolymerization initiator or a sensitizer, but in that case, sufficient resist characteristics tend not to be obtained.

なお、ソルダーレジストには、一般的に、現像性、高解像性、はんだ耐熱性、めっき耐性、温度サイクル試験(TCT)に対する耐熱衝撃性(クラック耐性)や、超加速高温高湿寿命試験(HAST)に対する微細配線間での耐性(HAST耐性)が求められている。また、作業性の観点からは、感光性樹脂組成物のタック性(溶剤乾燥後の表面べとつき)が小さいことも望まれる。   Solder resists generally have developability, high resolution, solder heat resistance, plating resistance, thermal shock resistance (crack resistance) against temperature cycle test (TCT), super accelerated high temperature high humidity life test ( There is a demand for resistance (HAST resistance) between fine wirings to HAST). In addition, from the viewpoint of workability, it is also desired that the photosensitive resin composition has low tackiness (surface tack after solvent drying).

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、優れたアルカリ現像製を有し、ソルダーレジストに要求される諸特性を備えた硬化膜を形成可能であり、タック性が小さく、且つ、LDI方式に対応可能な高い光感度を有する感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性フィルム及び感光性永久レジストを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, has an excellent alkali development product, can form a cured film having various properties required for a solder resist, has low tackiness, and It aims at providing the photosensitive resin composition which has the high photosensitivity which can respond to a LDI system, the photosensitive film using the same, and a photosensitive permanent resist.

上記課題を解決するため、本発明の感光性樹脂組成物は、(A)バインダーポリマーと、(B)エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、を含有する感光性樹脂組成物であって、上記(B)エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物として、少なくとも(b1)下記一般式(1)で表される化合物を含有し、上記(C)光重合開始剤として、少なくとも(c1)α−アミノアルキルフェノン系化合物及び(c2)アクリジニ基を有するアクリジン系化合物を含有することを特徴とする。   In order to solve the above problems, the photosensitive resin composition of the present invention comprises (A) a binder polymer, (B) a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group, and (C) a photopolymerization initiator. A photosensitive resin composition containing (B) the photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group, containing at least (b1) a compound represented by the following general formula (1); ) As a photopolymerization initiator, it contains at least (c1) an α-aminoalkylphenone compound and (c2) an acridine compound having an acridin group.

Figure 2010276859
Figure 2010276859

式中、R、R及びRは、それぞれ独立にH又はCHを示し、nは、1〜9の整数を示す。nが2以上の整数である場合、複数存在するRは互いに同一でも異なっていてもよい。 In the formula, R 1 , R 2 and R 3 each independently represent H or CH 2 , and n represents an integer of 1 to 9. When n is an integer of 2 or more, a plurality of R 2 may be the same as or different from each other.

本発明の感光性樹脂組成物は、(A)バインダーポリマー(以下、「(A)成分」という。)、(B)エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物(以下、「(B)成分」という。)及び(C)光重合開始剤(以下、「(C)成分」という。)の組合せにおいて、(B)成分として上記(b1)一般式(1)で表される化合物(以下、「(b1)成分」という。)を含有し、(C)成分として(c1)α−アミノアルキルフェノン系化合物(以下、「(c1)成分」という。)及び(c2)アクリジニ基を有するアクリジン系化合物(以下、「(c2)成分」という。)を含有することにより、アルカリ現像性、タック性及び光感度に優れる。また、本発明の感光性樹脂組成物によれば、現像性、解像性、はんだ耐熱性、めっき耐性、クラック耐性、HAST耐性等の特性に優れる硬化膜を得ることができる。そのため、本発明の感光性樹脂組成物は、プリント配線板等の製造に好適に用いることができ、LDI方式への適用も可能となる。本発明により、このような効果が得られる理由は必ずしも明らかではないが、(A)成分、(b1)成分、(c1)成分、(c2)成分の組み合わせにより生じる構造体が硬化膜の特性に好ましい影響を与えるためと考えられる。また、(c1)成分と(c2)成分との組み合わせにより、優れた光感度が得られると考えられる。   The photosensitive resin composition of the present invention comprises (A) a binder polymer (hereinafter referred to as “(A) component”), (B) a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group (hereinafter referred to as “(B) component”. And (C) a photopolymerization initiator (hereinafter referred to as “component (C)”) as a component (B) as a compound (hereinafter referred to as (b1) general formula (1)). (C1) α-aminoalkylphenone-based compound (hereinafter referred to as “(c1) component”) and (c2) an acridine-based acridine group By containing a compound (hereinafter referred to as “component (c2)”), it is excellent in alkali developability, tackiness and photosensitivity. Moreover, according to the photosensitive resin composition of this invention, the cured film excellent in characteristics, such as developability, resolution, solder heat resistance, plating resistance, crack resistance, and HAST resistance, can be obtained. Therefore, the photosensitive resin composition of the present invention can be suitably used for the production of printed wiring boards and the like, and can be applied to the LDI system. The reason why such an effect can be obtained by the present invention is not necessarily clear, but the structure formed by the combination of the component (A), the component (b1), the component (c1), and the component (c2) has a cured film characteristic. This is considered to have a positive effect. Moreover, it is thought that the outstanding photosensitivity is acquired by the combination of (c1) component and (c2) component.

本発明の感光性樹脂組成物において、はんだ耐熱性及びHAST耐性等の硬化膜の諸特性並びに光感度に一層優れる観点から、上記(c1)成分が、下記一般式(2)で表される化合物であることが好ましい。   In the photosensitive resin composition of the present invention, the component (c1) is a compound represented by the following general formula (2) from the viewpoint of further improving various properties of the cured film such as solder heat resistance and HAST resistance and photosensitivity. It is preferable that

Figure 2010276859
Figure 2010276859

式中、R、R及びRは、それぞれ独立に炭素数1〜10のアルキル基を示し、R及びRは、それぞれ独立にハロゲン原子、炭素数1〜10のアルキル基又は置換基を有していてもよいシクロアルキル基を示し、pは0〜5の整数を示し、qは0〜4の整数を示す。pが2以上の整数である場合、複数存在するRは互いに同一でも異なっていてもよく、qが2以上の整数である場合、複数存在するRは互いに同一でも異なっていてもよい。 Wherein, R 4, R 5 and R 6 each independently represent an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, R 7 and R 8 are each independently a halogen atom, an alkyl group or a substituted having 1 to 10 carbon atoms The cycloalkyl group which may have a group is shown, p shows the integer of 0-5, q shows the integer of 0-4. When p is an integer of 2 or more, a plurality of R 7 may be the same or different from each other, and when q is an integer of 2 or more, the plurality of R 8 may be the same or different from each other.

本発明の感光性樹脂組成物において、はんだ耐熱性及びHAST耐性等の硬化膜の諸特性並びに光感度に一層優れる観点から、上記(c2)成分が、下記一般式(3)で表される化合物であることが好ましい。   In the photosensitive resin composition of the present invention, the compound (c2) is a compound represented by the following general formula (3) from the viewpoint of further improving various properties of the cured film such as solder heat resistance and HAST resistance and photosensitivity. It is preferable that

Figure 2010276859
Figure 2010276859

式中、Rは、炭素数2〜20のアルキレン基、炭素数2〜20のオキサジアルキレン基又は炭素数2〜20のチオジアルキレン基を示す。 In the formula, R 9 represents an alkylene group having 2 to 20 carbon atoms, an oxadialkylene group having 2 to 20 carbon atoms, or a thiodialkylene group having 2 to 20 carbon atoms.

本発明の感光性樹脂組成物においては、はんだ耐熱性及びHAST耐性等の硬化膜の諸特性並びに光感度に一層優れる観点から、上記(A)成分として、(a1)エチレン性不飽和基及びカルボキシル基を有するウレタン樹脂(以下、「(a1)成分」という。)を含有することが好ましい。また、アルカリ現像性及び解像性を一層向上させる観点から、上記(A)成分として、(a2)(メタ)アクリル酸及び(メタ)アクリル酸アルキルエステルを単量体単位として含むアクリル樹脂(以下、「(a2)成分」という)、を含有することが好ましい。また、硬化膜の諸特性、タック性及び光感度を一層向上させる観点から、本発明の感光性樹脂組成物は、(A)成分として、(a1)成分と(a2)成分をいずれも含有することがより好ましい。   In the photosensitive resin composition of the present invention, from the viewpoint of further improving the properties of the cured film such as solder heat resistance and HAST resistance and photosensitivity, as the component (A), (a1) ethylenically unsaturated group and carboxyl It is preferable to contain a urethane resin having a group (hereinafter referred to as “component (a1)”). In addition, from the viewpoint of further improving alkali developability and resolution, an acrylic resin (hereinafter referred to as (a) component) containing (a2) (meth) acrylic acid and (meth) acrylic acid alkyl ester as monomer units , “(A2) component”). In addition, from the viewpoint of further improving various properties, tackiness and photosensitivity of the cured film, the photosensitive resin composition of the present invention contains both the (a1) component and the (a2) component as the (A) component. It is more preferable.

本発明の感光性樹脂組成物は、(D)熱硬化剤(以下、「(D)成分」という。)を更に含有することができる。この場合、感光性樹脂組成物から形成される硬化膜の諸特性が、一層向上する傾向がある。   The photosensitive resin composition of the present invention may further contain (D) a thermosetting agent (hereinafter referred to as “component (D)”). In this case, various characteristics of the cured film formed from the photosensitive resin composition tend to be further improved.

また本発明は、支持体と、該支持体上に設けられた上記本発明の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層と、を備える感光性フィルムを提供する。このような感光性フィルムによれば、上記本発明の感光性樹脂組成物からなるドライフィルムタイプのソルダーレジストを容易に形成することができる。   Moreover, this invention provides a photosensitive film provided with a support body and the photosensitive resin composition layer which consists of a photosensitive resin composition of the said this invention provided on this support body. According to such a photosensitive film, a dry film type solder resist made of the photosensitive resin composition of the present invention can be easily formed.

さらに本発明は、プリント配線板用の基板上に設けられ、上記本発明の感光性樹脂組成物から形成される、感光性永久レジストを提供する。このような感光性永久レジストは、
はんだ耐熱性、めっき耐性、クラック耐性、HAST耐性等の諸特性に優れる。
Furthermore, this invention provides the photosensitive permanent resist provided on the board | substrate for printed wiring boards, and formed from the photosensitive resin composition of the said invention. Such photosensitive permanent resist is
Excellent properties such as solder heat resistance, plating resistance, crack resistance and HAST resistance.

本発明によれば、ソルダーレジストに要求される諸特性を備えた硬化膜を形成可能であり、アルカリ現像性に優れ、タック性が小さく、且つ、LDI方式に対応可能な高い光感度を有する感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性フィルム及び感光性永久レジストを提供することができる。   According to the present invention, it is possible to form a cured film having various characteristics required for a solder resist, excellent alkali developability, small tackiness, and high photosensitivity capable of being compatible with the LDI method. The photosensitive resin composition, and the photosensitive film and photosensitive permanent resist using the same can be provided.

実施形態に係る感光性フィルムの断面構成を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the cross-sectional structure of the photosensitive film which concerns on embodiment.

以下、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、本発明における(メタ)アクリル酸とは、アクリル酸及び/又はメタアクリル酸を意味し、(メタ)アクリレートとは、アクリレート及び/又はメタアクリレートを意味し、(メタ)アクリロイル基とは、アクリロイル基及び/又はメタアクリロイル基を意味する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail. In the present invention, (meth) acrylic acid means acrylic acid and / or methacrylic acid, (meth) acrylate means acrylate and / or methacrylate, and (meth) acryloyl group means An acryloyl group and / or a methacryloyl group are meant.

(感光性樹脂組成物)
本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、(A)バインダーポリマーと、(B)エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、を含有する感光性樹脂組成物であって、上記(B)成分として、少なくとも(b1)下記一般式(1)で表される化合物を含有し、上記(C)成分として、少なくとも(c1)α−アミノアルキルフェノン系化合物及び(c2)アクリジニ基を有するアクリジン系化合物を含有する。
(Photosensitive resin composition)
The photosensitive resin composition according to the present embodiment includes (A) a binder polymer, (B) a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group, and (C) a photopolymerization initiator. A composition comprising at least (b1) a compound represented by the following general formula (1) as the component (B) and at least (c1) an α-aminoalkylphenone compound as the component (C) And (c2) an acridine compound having an acridin group.

Figure 2010276859
Figure 2010276859

式中、R、R及びRは、それぞれ独立にH又はCHを示し、nは、1〜9の整数を示す。nが2以上の整数である場合、複数存在するRは互いに同一でも異なっていてもよい。 In the formula, R 1 , R 2 and R 3 each independently represent H or CH 2 , and n represents an integer of 1 to 9. When n is an integer of 2 or more, a plurality of R 2 may be the same as or different from each other.

本実施形態に係る感光性樹脂組成物によれば、(A)成分、(B)成分及び(C)成分の組合せにおいて、(B)成分として(b1)成分を含有し、(C)成分として(c1)成分及び(c2)成分を含有することにより、感光性樹脂組成物から形成される硬化膜について優れた諸特性(現像性、解像性、絶縁性、はんだ耐熱性、めっき耐性、クラック耐性及びHAST耐性等)が得られる。また、本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、アルカリ現像性、タック性及び光感度に優れる。   According to the photosensitive resin composition according to the present embodiment, in the combination of the component (A), the component (B) and the component (C), the component (B1) is contained as the component (B), and the component (C) Various properties (developability, resolution, insulation, solder heat resistance, plating resistance, cracks) of the cured film formed from the photosensitive resin composition by containing the component (c1) and the component (c2) Resistance and HAST resistance). Moreover, the photosensitive resin composition according to the present embodiment is excellent in alkali developability, tackiness, and photosensitivity.

本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、(D)熱硬化剤(以下、「(D)成分」という。)を更に含有してもよい。この場合、感光性樹脂組成物から形成される硬化膜の諸特性が、一層向上する傾向がある。   The photosensitive resin composition according to the present embodiment may further contain (D) a thermosetting agent (hereinafter referred to as “component (D)”). In this case, various characteristics of the cured film formed from the photosensitive resin composition tend to be further improved.

以下、本実施形態に係る感光性樹脂組成物が含有する(A)成分、(B)成分、(C)成分について、詳細に説明する。   Hereinafter, the (A) component, the (B) component, and the (C) component contained in the photosensitive resin composition according to the present embodiment will be described in detail.

[(A)成分]
本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、(A)成分であるバインダーポリマーを1種又は複数含有する。バインダーポリマーとしては、分子内にカルボキシル基を有するポリマーが好ましく、例えば、アクリル樹脂、ポリウレタン、ビニル基含有エポキシ樹脂、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエステルイミド、ポリカーボネート、メラミン樹脂、ポリフェニレンスルフィド及びポリオキシベンゾイル等の公知の樹脂やその酸変性樹脂であって、分子内にカルボキシル基を有するものが挙げられる。これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて使用することができる。
[(A) component]
The photosensitive resin composition according to the present embodiment contains one or more binder polymers as the component (A). As the binder polymer, a polymer having a carboxyl group in the molecule is preferable. For example, acrylic resin, polyurethane, vinyl group-containing epoxy resin, epoxy resin, phenoxy resin, polyester, polyamide, polyimide, polyamideimide, polyesterimide, polycarbonate, melamine Resins, known resins such as polyphenylene sulfide and polyoxybenzoyl, and acid-modified resins thereof, including those having a carboxyl group in the molecule. These can be used alone or in combination of two or more.

本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、(A)成分として、下記に示す(a1)成分を含有することが好ましい。(a1)成分を含有することで、はんだ耐熱性及びHAST耐性等の硬化膜諸特性に優れるとともに、光感度に一層優れる。この理由は必ずしも明らかではないが、(a1)成分が、(b1)成分、(c1)成分及び(c2)成分との組み合わせにより、難燃性質、耐熱衝撃性及び光感度を一層向上しうる構造体を形成するためと考えられる。   The photosensitive resin composition according to the present embodiment preferably contains the following component (a1) as the component (A). By containing the component (a1), it is excellent in various properties of the cured film such as solder heat resistance and HAST resistance, and is further excellent in photosensitivity. The reason for this is not necessarily clear, but the structure in which the (a1) component can further improve the flame retardancy, thermal shock resistance and photosensitivity by combining with the (b1) component, the (c1) component and the (c2) component. It is thought to form the body.

(a1)成分は、ウレタン樹脂であり、エチレン性不飽和基及びカルボキシル基を有する。(a1)成分としては、感光性樹脂組成物の光感度が一層向上し、より少ない活性光線エネルギー量での硬化に対応する観点から、エチレン性不飽和基及び2以上の水酸基を有するエポキシアクリレート化合物と、ジイソシアネート化合物と、カルボキシル基を有するジオール化合物とを反応させて得られるウレタン樹脂が好ましい。   The component (a1) is a urethane resin and has an ethylenically unsaturated group and a carboxyl group. As the component (a1), an epoxy acrylate compound having an ethylenically unsaturated group and two or more hydroxyl groups from the viewpoint of further improving the photosensitivity of the photosensitive resin composition and corresponding to curing with a smaller amount of active light energy A urethane resin obtained by reacting a diisocyanate compound with a diol compound having a carboxyl group is preferred.

上記エポキシアクリレート化合物は、エチレン性不飽和基と2以上の水酸基とを有するエポキシアクリレート化合物であればよく、例えば、2以上のエポキシ基を有する化合物と不飽和モノカルボン酸との反応により得られる化合物等を使用することができる。   The epoxy acrylate compound may be an epoxy acrylate compound having an ethylenically unsaturated group and two or more hydroxyl groups. For example, a compound obtained by reacting a compound having two or more epoxy groups with an unsaturated monocarboxylic acid Etc. can be used.

ここで、上記2以上のエポキシ基を有する化合物としては、例えば、ビスフェノールA型又はビスフェノールF型とエピクロルヒドリンとの反応により得られるビスフェノール型エポキシ化合物、水添ビスフェノールA型又は水添ビスフェノールF型とエピクロルヒドリンとの反応により得られる水添ビスフェノール型エポキシ化合物、アミノ基含有エポキシ化合物、脂環式エポキシ化合物、エポキシ化ポリブタジエン、等が挙げられる。また、ノボラック類とエピクロルヒドリンとの反応により得られるノボラック型エポキシ化合物も好適に使用できる。なお、上記ノボラック類は、例えば、フェノール、クレゾール、ロゲン化フェノール又はアルキルフェノール類とホルムアルデヒドとを酸性触媒存在下で反応して得られる。ノボラック型エポキシ化合物としては、東都化成社製YDCN−701、YDCN−704、YDPN−638及びYDPN−602、ダウ・ケミカル社製DEN−431及びDEN−439、チバ・ガイギ社製EPN−1299、大日本インキ化学工業社製N−730、N−770、N−865、N−665、N−673、VH−4150及びVH−4240、日本化薬社製EOCN−120及びBREN、等が商業的に入手可能である。   Here, as the compound having two or more epoxy groups, for example, a bisphenol type epoxy compound obtained by reaction of bisphenol A type or bisphenol F type with epichlorohydrin, hydrogenated bisphenol A type or hydrogenated bisphenol F type and epichlorohydrin. And hydrogenated bisphenol-type epoxy compounds, amino group-containing epoxy compounds, alicyclic epoxy compounds, epoxidized polybutadienes, and the like obtained by the reaction with. Moreover, the novolak-type epoxy compound obtained by reaction with novolaks and epichlorohydrin can also be used conveniently. The novolaks can be obtained, for example, by reacting phenol, cresol, rogenized phenol or alkylphenols with formaldehyde in the presence of an acidic catalyst. As the novolak type epoxy compounds, YDCN-701, YDCN-704, YDPN-638 and YDPN-602 manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., DEN-431 and DEN-439 manufactured by Dow Chemical Company, EPN-1299 manufactured by Ciba Geigi Co., Ltd. N-730, N-770, N-865, N-665, N-673, VH-4150 and VH-4240, Nippon Kayaku Co., Ltd. EOCN-120 and BREN, etc. are commercially available It is available.

上記2以上のエポキシ基を有する化合物としては、サリチルアルデヒド−フェノール型エポキシ化合物、クレゾール型エポキシ化合物(日本化薬社製EPPN502H、FAE2500等)なども好適に用いられる。他にも、例えば、ジャパンエポキシレジン社製エピコート828、エピコート1007及びエピコート807、大日本インキ化学工業社製エピクロン840、エピクロン860及びエピクロン3050、ダウ・ケミカル社製DER−330、DER−337及びDER−361、ダイセル化学工業社製セロキサイド2021、三菱ガス化学社製TETRAD−X及びTETRAD−C、日本曹達社製EPB−13及びEPB−27等が使用できる。さらに、上記2以上のエポキシ基を有する化合物としては、上述した化合物の混合物やブロック共重合物等を使用してもよい。   As the compound having two or more epoxy groups, a salicylaldehyde-phenol type epoxy compound, a cresol type epoxy compound (EPPN502H, FAE2500, etc., manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and the like are also preferably used. In addition, for example, Epicoat 828, Epicoat 1007 and Epicoat 807 manufactured by Japan Epoxy Resin, Epicron 840, Epicron 860 and Epicron 3050 manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc. DER-330, DER-337 and DER manufactured by Dow Chemical Co., Ltd. -361, Daicel Chemical Industries, Ltd. Celoxide 2021, Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd. TETRAD-X and TETRAD-C, Nippon Soda Co., Ltd. EPB-13, EPB-27, etc. can be used. Furthermore, as the compound having two or more epoxy groups, a mixture or a block copolymer of the above-described compounds may be used.

また、上記不飽和モノカルボン酸としては、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、桂皮酸等が挙げられ、これらのうちアクリル酸が光感度及びはんだ耐熱性の観点から好ましい。また、上記不飽和モノカルボン酸として、飽和又は不飽和多塩基酸無水物と不飽和モノアルコール化合物との反応により得られる化合物も好適に使用できる。これらは、単独で又は2種類以上を組み合わせて使用することができる。   Examples of the unsaturated monocarboxylic acid include (meth) acrylic acid, crotonic acid, cinnamic acid and the like. Among these, acrylic acid is preferable from the viewpoint of photosensitivity and solder heat resistance. Moreover, the compound obtained by reaction of a saturated or unsaturated polybasic acid anhydride and an unsaturated monoalcohol compound can also be used suitably as said unsaturated monocarboxylic acid. These can be used alone or in combination of two or more.

ここで、飽和又は不飽和多塩基酸無水物としては、フタル酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、へキサヒドロフタル酸無水物、マレイン酸無水物、コハク酸無水物、無水イタコン酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、無水エンドメチレンテトラヒドロフタル酸、無水メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、無水クロレンド酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸などの二塩基性酸無水物、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物などの芳香族多価カルボン酸無水物、その他これに付随する例えば5−(2,5−ジオキソテトラヒドロフリル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物のような多価カルボン酸無水物誘導体等が挙げられる。また、不飽和モノアルコール化合物としては、例えば、水酸基を1つ有する(メタ)アクリレート類、飽和又は不飽和二塩基酸の半エステル化合物類等が挙げられる。さらに上記半エステル化合物類としては、飽和又は不飽和二塩基酸と不飽和モノグリシジル化合物との反応により得られる化合物が挙げられ、このような半エステル化合物類としては、例えば、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、へキサヒドロフタル酸、マレイン酸又はコハク酸と、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、トリス(ヒドロキシエチル)イソシアヌレートジ(メタ)アクリレート又はグリシジル(メタ)アクリレートとを、常法により等モル比で反応させて得ることができる。   Here, as the saturated or unsaturated polybasic acid anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, methylhexahexan Dibasic acid anhydrides such as hydrophthalic anhydride, endomethylenetetrahydrophthalic anhydride, methylendomethylenetetrahydrophthalic anhydride, chlorendic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, benzophenone tetra Aromatic polyvalent carboxylic anhydrides such as carboxylic dianhydrides, and other incidental examples such as 5- (2,5-dioxotetrahydrofuryl) -3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic anhydride And polyvalent carboxylic anhydride derivatives such as those. Examples of the unsaturated monoalcohol compound include (meth) acrylates having one hydroxyl group, and half ester compounds of saturated or unsaturated dibasic acid. Furthermore, examples of the half ester compounds include compounds obtained by reacting a saturated or unsaturated dibasic acid with an unsaturated monoglycidyl compound. Examples of such half ester compounds include phthalic acid, tetrahydrophthalate, and the like. Acid, hexahydrophthalic acid, maleic acid or succinic acid and hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, tris (hydroxyethyl) isocyanurate di (meth) acrylate or glycidyl (meth) acrylate, It can be obtained by reacting at an equimolar ratio by a conventional method.

上記ジイソシアネート化合物としては、例えば、2,4−トルエンジイソシアネート、2,6−トルエンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、ジフェニルメチレンジイソシアネート、o−キシレンジイソシアネート、m−キシレンジイソシアネート、o−キシレンジイソシアネート、o−水添キシレンジイソシアネート、m−水添キシレンジイソシアネート、p−水添キシレンジイソシアネート、メチレンビス(シクロヘキシルイソシアネート)、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、シクロヘキサン−1,3−ジメチレンジイソシアネート、シクロヘキサン−1,4−ジメチレレンジイソシアネート、1,5−ナフタレンジイソシアネート等が挙げられる。これらは、単独で又は2種類以上を組み合わせて使用することができる。   Examples of the diisocyanate compound include 2,4-toluene diisocyanate, 2,6-toluene diisocyanate, isophorone diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, diphenylmethylene diisocyanate, o-xylene diisocyanate, m-xylene diisocyanate, o-xylene diisocyanate, o- Hydrogenated xylene diisocyanate, m-hydrogenated xylene diisocyanate, p-hydrogenated xylene diisocyanate, methylene bis (cyclohexyl isocyanate), trimethylhexamethylene diisocyanate, cyclohexane-1,3-dimethylene diisocyanate, cyclohexane-1,4-dimethylene diisocyanate, Examples include 1,5-naphthalene diisocyanate. These can be used alone or in combination of two or more.

上記カルボキシル基を有するジオール化合物としては、例えば、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロールブタン酸等が挙げられる。   Examples of the diol compound having a carboxyl group include dimethylolpropionic acid and dimethylolbutanoic acid.

エチレン性不飽和基及び2以上の水酸基を有するエポキシアクリレート化合物と、ジイソシアネート化合物と、カルボキシル基を有するジオール化合物とを反応させて得られるウレタン樹脂としては、UXE−3011、UXE−3012、UXE−3024(日本化薬(株)製、商品名)が例示できる。これらのうち難燃性、耐熱衝撃性、はんだ耐熱性の観点より、UXE−3024(日本化薬社製、商品名)が最も好ましい。   As urethane resins obtained by reacting an epoxy acrylate compound having an ethylenically unsaturated group and two or more hydroxyl groups, a diisocyanate compound, and a diol compound having a carboxyl group, UXE-3011, UXE-3012, UXE-3024 (Nippon Kayaku Co., Ltd., brand name) can be illustrated. Among these, UXE-3024 (trade name, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) is most preferable from the viewpoints of flame retardancy, thermal shock resistance, and solder heat resistance.

また、エチレン性不飽和基及び2以上の水酸基を有するエポキシアクリレート化合物と、ジイソシアネート化合物と、カルボキシル基を有するジオール化合物とを反応させて得られるウレタン樹脂としては、例えば、下記一般式(4)で表される構造を有するウレタン樹脂が好ましい。   Moreover, as a urethane resin obtained by reacting an epoxy acrylate compound having an ethylenically unsaturated group and two or more hydroxyl groups, a diisocyanate compound, and a diol compound having a carboxyl group, for example, the following general formula (4): A urethane resin having the structure represented is preferred.

Figure 2010276859
Figure 2010276859

式中、R11はエポキシアクリレートの残基、R12はジイソシアネートの残基、R13は炭素数1〜5のアルキル基、R14は水素原子又はメチル基を示す。なお、残基とは、原料成分から結合に供された官能基を除いた部分の構造をいう。また、式中に複数ある基は、互いに同一でも異なっていてもよい。 In the formula, R 11 is a residue of epoxy acrylate, R 12 is a residue of diisocyanate, R 13 is an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, and R 14 is a hydrogen atom or a methyl group. In addition, a residue means the structure of the part remove | excluding the functional group used for the coupling | bonding from the raw material component. In addition, a plurality of groups in the formula may be the same as or different from each other.

また、(a1)成分としては、ジオール化合物と、ジイソシアネート化合物と、カルボキシル基を有するジオール化合物と、エチレン性不飽和基を有するモノヒドロキシ化合物とを反応させて得られるポリマーも好適に使用できる。ここで、ジオール化合物としては、1,6−ヘキサンジオール、1,5−ペンタンジオール、3−メチル−1,5−ペンタンジオール、1,4−シクロヘキサンジメタノール、ポリカーボネートジオール、ポリエステルジオール、ポリカプロラクトンジオール、ポリブタジエンジオール等が挙げられ、エチレン性不飽和基を有するモノヒドロキシ化合物としては、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート等が挙げらる。   In addition, as the component (a1), a polymer obtained by reacting a diol compound, a diisocyanate compound, a diol compound having a carboxyl group, and a monohydroxy compound having an ethylenically unsaturated group can also be suitably used. Here, as the diol compound, 1,6-hexanediol, 1,5-pentanediol, 3-methyl-1,5-pentanediol, 1,4-cyclohexanedimethanol, polycarbonate diol, polyester diol, polycaprolactone diol And polybutadienediol, and examples of the monohydroxy compound having an ethylenically unsaturated group include 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, and the like.

(a1)成分は、酸化が20〜130mgKOH/gであることが好ましく、40〜110mgKOH/gであることがより好ましく、50〜100mgKOH/gであることがさらに好ましい。このような(a1)成分を含有する感光性樹脂組成物は、アルカリ水溶液による現像性がより良好となり、一層優れた解像度が得られるようになる。   The component (a1) preferably has an oxidation of 20 to 130 mgKOH / g, more preferably 40 to 110 mgKOH / g, and still more preferably 50 to 100 mgKOH / g. The photosensitive resin composition containing such a component (a1) has better developability with an alkaline aqueous solution, and more excellent resolution can be obtained.

ここで、酸価は、次のようにして測定することができる。すなわち、まず、酸価を測定すべき樹脂の溶液約1gを精秤した後、この樹脂溶液にアセトンを30g添加し、これを均一に溶解する。次いで、指示薬であるフェノールフタレインをその溶液に適量添加して、0.1NのKOH水溶液を用いて滴定を行う。そして、次式により酸価を算出する。
A=10×Vf×56.1/(Wp×I)
式中、Aは酸価(mgKOH/g)を示し、Vfは0.1NのKOH水溶液の滴定量(mL)を示し、Wpは測定した樹脂溶液の重量(g)を示し、Iは測定した樹脂溶液中の不揮発分の割合(質量%)を示す。
Here, the acid value can be measured as follows. That is, first, about 1 g of a resin solution whose acid value is to be measured is precisely weighed, and then 30 g of acetone is added to this resin solution to dissolve it uniformly. Next, an appropriate amount of phenolphthalein as an indicator is added to the solution, and titration is performed using a 0.1N aqueous KOH solution. And an acid value is computed by following Formula.
A = 10 × Vf × 56.1 / (Wp × I)
In the formula, A represents the acid value (mgKOH / g), Vf represents the titration amount (mL) of 0.1N KOH aqueous solution, Wp represents the weight (g) of the measured resin solution, and I was measured. The ratio (mass%) of the non volatile matter in a resin solution is shown.

また、(a1)成分の重量平均分子量は、感光性樹脂組成物による塗膜性や、その硬化膜のクラック耐性及びHAST耐性を一層良好に得る観点から、3000〜200000であることが好ましく、5000〜100000であることがより好ましく、7000〜50000であることがさらに好ましい。なお、重量平均分子量(Mw)は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定することができる(標準ポリスチレンによる換算)。   In addition, the weight average molecular weight of the component (a1) is preferably 3000 to 200000 from the viewpoint of obtaining better coating properties by the photosensitive resin composition and crack resistance and HAST resistance of the cured film. More preferably, it is -100,000, and it is further more preferable that it is 7000-50000. The weight average molecular weight (Mw) can be measured by gel permeation chromatography (GPC) (in terms of standard polystyrene).

本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、(A)成分であるバインダーポリマーとして、さらにアクリル樹脂を含むことが好ましい。上記アクリル樹脂としては、エチレン性不飽和二重結合を有する単量体(重合性単量体)を重合(ラジカル重合等)して得られたものが挙げられる。このようなエチレン性不飽和二重結合を有する単量体としては、例えば、ジアセトンアクリルアミド等のアクリルアミド、アクリロニトリル、ビニル−n−ブチルエーテル等のビニルアルコールのエステル類、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、(メタ)アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、(メタ)アクリル酸グリシジルエステル、2,2,2−トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、2,2,3,3−テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸、α−ブロモ(メタ)アクリル酸、α−クロル(メタ)アクリル酸、β−フリル(メタ)アクリル酸、β−スチリル(メタ)アクリル酸等の(メタ)アクリル酸系単量体、マレイン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノイソプロピル等のマレイン酸系単量体、フマル酸、ケイ皮酸、α−シアノケイ皮酸、イタコン酸、クロトン酸、プロピオール酸等が挙げられる。これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。   It is preferable that the photosensitive resin composition which concerns on this embodiment contains an acrylic resin further as a binder polymer which is (A) component. As said acrylic resin, what was obtained by superposing | polymerizing (radical polymerization etc.) of the monomer (polymerizable monomer) which has an ethylenically unsaturated double bond is mentioned. Examples of such a monomer having an ethylenically unsaturated double bond include acrylamide such as diacetone acrylamide, esters of vinyl alcohol such as acrylonitrile and vinyl-n-butyl ether, alkyl (meth) acrylate, (Meth) acrylic acid tetrahydrofurfuryl ester, (meth) acrylic acid dimethylaminoethyl ester, (meth) acrylic acid diethylaminoethyl ester, (meth) acrylic acid glycidyl ester, 2,2,2-trifluoroethyl (meth) acrylate 2,2,3,3-tetrafluoropropyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid, α-bromo (meth) acrylic acid, α-chloro (meth) acrylic acid, β-furyl (meth) acrylic acid, β-styryl (meth) acrylic acid (meth) ) Acrylic acid monomer, maleic acid, maleic anhydride, maleic acid monomer such as monomethyl maleate, monoethyl maleate, monoisopropyl maleate, fumaric acid, cinnamic acid, α-cyanocinnamic acid, Itaconic acid, crotonic acid, propiolic acid and the like can be mentioned. These can be used alone or in combination of two or more.

アクリル樹脂としては、光感度及び光硬化後のレジスト形状を一層良好にする観点から、(メタ)アクリル酸及び(メタ)アクリル酸アルキルエステルを単量体単位として含むアクリル樹脂((a2)成分)が好ましい。(a2)成分としては、メタクリル酸及び(メタ)アクリル酸アルキルエステルを共重合成分として得られるビニル系共重合化合物がさらに好ましい。   As the acrylic resin, from the viewpoint of further improving the photosensitivity and the resist shape after photocuring, an acrylic resin ((a2) component) containing (meth) acrylic acid and (meth) acrylic acid alkyl ester as monomer units. Is preferred. As the component (a2), a vinyl copolymer compound obtained by using methacrylic acid and a (meth) acrylic acid alkyl ester as a copolymerization component is more preferable.

(メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸メチルエステル、(メタ)アクリル酸エチルエステル、(メタ)アクリル酸プロピルエステル、(メタ)アクリル酸ブチルエステル、(メタ)アクリル酸ペンチルエステル、(メタ)アクリル酸ヘキシルエステル、(メタ)アクリル酸ヘプチルエステル、(メタ)アクリル酸オクチルエステル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシルエステル等が挙げられる。   Examples of (meth) acrylic acid alkyl esters include (meth) acrylic acid methyl ester, (meth) acrylic acid ethyl ester, (meth) acrylic acid propyl ester, (meth) acrylic acid butyl ester, (meth) acrylic acid pentyl ester. Examples include esters, (meth) acrylic acid hexyl esters, (meth) acrylic acid heptyl esters, (meth) acrylic acid octyl esters, and (meth) acrylic acid 2-ethylhexyl esters.

(a2)成分としては、(メタ)アクリル酸アルキルエステルや(メタ)アクリル酸とともに、これらと共重合し得るビニルモノマーを共重合させて得られるものを使用してもよい。このようなビニルモノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、(メタ)アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、メタクリル酸グリシジルエステル、2,2,2−トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、2,2,3,3−テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレートアクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、スチレン、ビニルトルエン等が挙げられる。   (A2) As a component, you may use what is obtained by copolymerizing the vinyl monomer which can be copolymerized with these with (meth) acrylic-acid alkylester and (meth) acrylic acid. Examples of such vinyl monomers include (meth) acrylic acid tetrahydrofurfuryl ester, (meth) acrylic acid dimethylaminoethyl ester, (meth) acrylic acid diethylaminoethyl ester, methacrylic acid glycidyl ester, 2,2,2- Examples include trifluoroethyl (meth) acrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl (meth) acrylate acrylamide, diacetone acrylamide, styrene, vinyltoluene and the like.

また、(a2)成分としては、側鎖及び又は末端にエチレン性不飽和結合を導入した共重合体も好適である。このような共重合体としては、アクリル酸、メタクリル酸、フマル酸、ケイヒ酸、クロトン酸、イタコン酸等のカルボキシル基を持つビニル重合性単量体と、メチルメタクリレート、メチルアクリレート、エチルメタクリレート、エチルアクリレート、n−プロピルメタクリレート、n−プロピルアクリレート、ブチルメタクリレート、ブチルアクリレート、ラウリルメタクリレート、ラウリルアクリレート、2−エチルヘキシルメタクリレート、2−エチルヘキシルアクリレート、ビニルトルエン、N−ビニルピロリドン、α−メチルスチレン、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、アクリルアミド、アクリロニトリル、ジメチルアミノエチルメタクリレート、ジメチルアミノエチルアクリレート等のビニル重合性単量体とを、有機溶剤中でアゾビスイソブチロニトリル、アゾビスジメチルバレロニトリル、過酸化ベンゾイル等の重合開始剤を用いて一般的な溶液重合により得られるものを用いることができる。   Further, as the component (a2), a copolymer having an ethylenically unsaturated bond introduced in the side chain and / or the terminal is also suitable. Such copolymers include vinyl polymerizable monomers having a carboxyl group such as acrylic acid, methacrylic acid, fumaric acid, cinnamic acid, crotonic acid, itaconic acid, methyl methacrylate, methyl acrylate, ethyl methacrylate, ethyl Acrylate, n-propyl methacrylate, n-propyl acrylate, butyl methacrylate, butyl acrylate, lauryl methacrylate, lauryl acrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, 2-ethylhexyl acrylate, vinyl toluene, N-vinyl pyrrolidone, α-methyl styrene, 2-hydroxy Ethyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, acrylamide, acrylonitrile, dimethylaminoethyl methacrylate, dimethylaminoethyl acrylate, etc. It is possible to use a vinyl polymerizable monomer obtained by general solution polymerization using a polymerization initiator such as azobisisobutyronitrile, azobisdimethylvaleronitrile, benzoyl peroxide in an organic solvent. it can.

(A)成分としては、酸変性ポリエステル樹脂も好ましい。酸変性ポリエステル樹脂としては、例えば、9.0以下のpKaを有する3級アミンを触媒とするジグリシジルエーテル型エポキシ化合物と二塩基酸との重合反応により生成するエステル結合を含む鎖状構造を分子内に有する樹脂であって、鎖状構造に酸無水物が付加してカルボキシル基を有するものが挙げられる。   As the component (A), an acid-modified polyester resin is also preferable. As an acid-modified polyester resin, for example, a chain structure including an ester bond formed by a polymerization reaction between a diglycidyl ether type epoxy compound and a dibasic acid using a tertiary amine having a pKa of 9.0 or less as a catalyst Examples thereof include resins having a carboxyl group by adding an acid anhydride to a chain structure.

この酸変性ポリエステル樹脂を形成するためのジグリシジルエーテル型エポキシ化合物としては、ビスフェノールAジグリシジルエーテル等のビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールFジグリシジルエーテル等のビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールSジグリシジルエーテル等のビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビフェノールジグリシジルエーテル等のビフェノール型エポキシ樹脂、ビキシレノールジグリシジルエーテル等のビキシレノール型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールAグリシジルエーテル等の水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、これらの二塩基酸変性ジグリシジルエーテル型エポキシ樹脂等が挙げられる。これらの中で、耐熱性、耐薬品性に一層優れ、硬化により比較的収縮しないことからビスフェノールA型エポキシ樹脂が好ましい。これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。   Diglycidyl ether type epoxy compounds for forming this acid-modified polyester resin include bisphenol A type epoxy resins such as bisphenol A diglycidyl ether, bisphenol F type epoxy resins such as bisphenol F diglycidyl ether, and bisphenol S diglycidyl ether. Bisphenol S type epoxy resins such as biphenol diglycidyl ether, biphenol type epoxy resins such as bixylenol diglycidyl ether, hydrogenated bisphenol A type epoxy resins such as hydrogenated bisphenol A glycidyl ether, and the like Examples include dibasic acid-modified diglycidyl ether type epoxy resins. Of these, bisphenol A type epoxy resins are preferred because they are more excellent in heat resistance and chemical resistance and do not shrink relatively due to curing. These can be used alone or in combination of two or more.

(A)成分の酸価は、アルカリ現像性を一層良好にする観点から、例えば、アクリル系又は酸変性ポリエステル系のバインダーポリマーの場合、40〜170mgKOH/gであることが好ましく、50〜150mgKOH/gであることがより好ましく、60〜120mgKOH/gであることがさらに好ましい。また、バインダーポリマーの重量平均分子量(Mw)は、感光性樹脂組成物の塗膜性及びアルカリ現像性を一層良好にする観点から、5000〜200000であることが好ましく、10000〜170000であることがより好ましく、20000〜150000であることがより好ましい。   The acid value of the component (A) is preferably 40 to 170 mgKOH / g, and preferably 50 to 150 mgKOH / g in the case of an acrylic or acid-modified polyester binder polymer from the viewpoint of further improving alkali developability. It is more preferable that it is g, and it is still more preferable that it is 60-120 mgKOH / g. The weight average molecular weight (Mw) of the binder polymer is preferably 5,000 to 200,000, and preferably 10,000 to 170,000 from the viewpoint of further improving the coating properties and alkali developability of the photosensitive resin composition. More preferably, it is more preferably 20000 to 150,000.

(A)成分としては、光感度、塗膜性及び耐熱性を一層良好にする観点から、(a1)成分と(a2)成分とを併用することが好ましい。   As the component (A), it is preferable to use the component (a1) and the component (a2) in combination from the viewpoint of further improving photosensitivity, coating properties, and heat resistance.

感光性樹脂組成物中の(A)成分の含有量は、感光性樹脂組成物の有機化合物固形分全量を基準として、20〜70質量%が好ましく、30〜60質量%がより好ましい。   The content of the component (A) in the photosensitive resin composition is preferably 20 to 70 mass%, more preferably 30 to 60 mass%, based on the total amount of organic compound solids in the photosensitive resin composition.

また、(a1)成分、(a2)成分を含有する場合における(a1)成分の含有割合は、(A)成分の総量中20〜100質量%が好ましく、40〜100質量%がより好ましい。また、(a2)成分の含有割合は、(A)成分の総量中5〜40質量%が好ましく、10〜30質量%がより好ましい。   Moreover, 20-100 mass% is preferable in the total amount of (A) component, and, as for the content rate of the (a1) component in the case of containing (a1) component and (a2) component, 40-100 mass% is more preferable. Moreover, 5-40 mass% is preferable in the total amount of (A) component, and, as for the content rate of (a2) component, 10-30 mass% is more preferable.

[(B)成分]
本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、(B)成分としてエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物を含有し、当該光重合性化合物の少なくとも一つが、下記一般式(1)で表される化合物((b1)成分)である。一般式(1)で表される化合物を含有することで、LDI方式に対応可能な超高感度な感光性樹脂組成物を得ることができる
[Component (B)]
The photosensitive resin composition according to the present embodiment contains a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group as the component (B), and at least one of the photopolymerizable compounds is represented by the following general formula (1). Compound (component (b1)). By containing the compound represented by the general formula (1), it is possible to obtain an ultrasensitive photosensitive resin composition compatible with the LDI method.

Figure 2010276859
Figure 2010276859

式中、R、R及びRは、それぞれ独立に水素原子又はメチル基を示し、nは、1〜9の整数を示す。nが2以上の整数である場合、複数存在するRは互いに同一でも異なっていてもよい。 Wherein, R 1, R 2 and R 3 each independently represent a hydrogen atom or a methyl radical, n represents an integer of 1 to 9. When n is an integer of 2 or more, a plurality of R 2 may be the same as or different from each other.

(b1)成分は、多価アルコールにα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得ることができる。(b1)成分としては、例えば、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレン・ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート等が挙げられ、これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて使用することができる。   The component (b1) can be obtained by reacting a polyhydric alcohol with an α, β-unsaturated carboxylic acid. Examples of the component (b1) include polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene / polypropylene glycol di (meth) acrylate, and these may be used alone or in combination of two or more. Can be used.

一般式(1)中、nは、1〜9であることが好ましい。nが9よりも大きい場合は、感光性樹脂組成物層のタックが大きくなってしまい、作業性が悪くなる傾向がある。   In general formula (1), it is preferable that n is 1-9. When n is larger than 9, the tackiness of the photosensitive resin composition layer becomes large, and the workability tends to deteriorate.

一般式(1)で表される化合物((b1)成分)は、商業的にも入手可能であり、例えば、ポリエチレングリコールジメタクリレートとしては、2G、3G、4G、9G(いずれも新中村化学工業(株)製、商品名)が挙げられる。   The compound represented by the general formula (1) (component (b1)) is also commercially available. For example, as polyethylene glycol dimethacrylate, 2G, 3G, 4G, and 9G (all of which are Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) Product name).

また(B)成分としては、上記(b1)成分以外の光重合性化合物を併用しても良い。他の光重合性化合物としては、例えば、多価アルコールにα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、ビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物、グリシジル基含有化合物にα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、分子内にウレタン結合を有する(メタ)アクリレート化合物等のウレタンモノマー又はウレタンオリゴマー等が挙げられる。また、これら以外にも、ノニルフェノキシポリオキシエチレンアクリレート、γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β’−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−フタレート、β−ヒドロキシアルキル−β’−(メタ)アクリロイルオキシアルキル−o−フタレート等のフタル酸系化合物、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、EO変性ノニルフェニル(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。   As the component (B), a photopolymerizable compound other than the component (b1) may be used in combination. Other photopolymerizable compounds include, for example, compounds obtained by reacting polyhydric alcohols with α, β-unsaturated carboxylic acids, bisphenol A (meth) acrylate compounds, and glycidyl group-containing compounds with α, β-unsaturated compounds. Examples include compounds obtained by reacting saturated carboxylic acids, urethane monomers such as (meth) acrylate compounds having a urethane bond in the molecule, or urethane oligomers. Besides these, nonylphenoxy polyoxyethylene acrylate, γ-chloro-β-hydroxypropyl-β ′-(meth) acryloyloxyethyl-o-phthalate, β-hydroxyalkyl-β ′-(meth) acryloyloxy Examples thereof include phthalic acid compounds such as alkyl-o-phthalate, (meth) acrylic acid alkyl esters, EO-modified nonylphenyl (meth) acrylate, and the like. These can be used alone or in combination of two or more.

ここで、多価アルコールにα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、EO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、PO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、EO又はPO変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等が挙げられる。   Here, compounds obtained by reacting a polyhydric alcohol with an α, β-unsaturated carboxylic acid include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, EO-modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, and PO-modified trimethylolpropane. Tri (meth) acrylate, EO or PO modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tetramethylol methane tri (meth) acrylate, tetramethylol methane tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (Meth) acrylate etc. are mentioned.

また、ビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物としては、例えば、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリプロポキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリブトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ)フェニル)プロパン等が挙げられる。   Examples of the bisphenol A-based (meth) acrylate compound include 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxy) phenyl) propane and 2,2-bis (4-((meth) acryloxy). Polypropoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolybutoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxypolypropoxy) phenyl) propane Etc.

また、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシポリエトキシ)フェニル)プロパンとしては、例えば、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシジエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシトリエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシテトラエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシペンタエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシヘキサエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシヘプタエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシオクタエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシノナエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシウンデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシドデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシトリデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシテトラデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシペンタデカエトキシ)フェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシヘキサデカエトキシ)フェニル)プロパン等が挙げられる。これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて用いてもよい。なお、環境への不可低減の観点より、上述した(B)成分の中でもハロゲンフリーのものを用いることが好ましい。   Examples of 2,2-bis (4-((meth) acryloxypolyethoxy) phenyl) propane include 2,2-bis (4-((meth) acryloxydiethoxy) phenyl) propane, 2, 2-bis (4-((meth) acryloxytriethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxytetraethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-(( (Meth) acryloxypentaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyhexaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyheptaethoxy) phenyl ) Propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyoctaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxynona) Toxi) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxydecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxyundecaethoxy) phenyl) propane, 2 , 2-bis (4-((meth) acryloxydodecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxytridecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4- ((Meth) acryloxytetradecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxypentadecaethoxy) phenyl) propane, 2,2-bis (4-((meth) acryloxy) Hexadecaethoxy) phenyl) propane and the like. You may use these individually or in combination of 2 or more types. In addition, it is preferable to use a halogen-free component among the above-described component (B) from the viewpoint of impediment reduction to the environment.

上記化合物のうち、2,2−ビス(4−(メタクリロキシペンタエトキシ)フェニル)プロパンは、BPE−500(新中村化学工業(株)製、商品名)として商業的に入手可能であり、2,2−ビス(4−(メタクリロキシペンタデカエトキシ)フェニル)は、BPE−1300(新中村化学工業株式会社製、商品名)として商業的に入手可能である。   Among the above compounds, 2,2-bis (4- (methacryloxypentaethoxy) phenyl) propane is commercially available as BPE-500 (trade name, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.). , 2-bis (4- (methacryloxypentadecaethoxy) phenyl) is commercially available as BPE-1300 (trade name, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.).

また、グリシジル基含有化合物にα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ(メタ)アクリレート、2,2−ビス(4−(メタ)アクリロキシ−2−ヒドロキシ−プロピルオキシ)フェニル等が挙げられる。なお、上述したような化合物を得るためのα,β−不飽和カルボン酸としては、例えば(メタ)アクリル酸等が挙げられる。   Examples of the compound obtained by reacting a glycidyl group-containing compound with an α, β-unsaturated carboxylic acid include, for example, trimethylolpropane triglycidyl ether tri (meth) acrylate and 2,2-bis (4- (meth)). (Acryloxy-2-hydroxy-propyloxy) phenyl and the like. Examples of the α, β-unsaturated carboxylic acid for obtaining the above compound include (meth) acrylic acid.

また、ウレタンモノマーとしては、例えば、β位にOH基を有する(メタ)アクリルモノマーと、イソホロンジイソシアネート、2,6−トルエンジイソシアネート、2,4−トルエンジイソシアネート、1,6−ヘキサメチレンジイソシアネート等のジイソシアネート化合物との付加反応物が挙げられる。また、トリス((メタ)アクリロキシテトラエチレングリコールイソシアネート)ヘキサメチレンイソシアヌレート、EO変性ウレタンジ(メタ)アクリレート、EO又はPO変性ウレタンジ(メタ)アクリレート等も使用できる。   Examples of urethane monomers include (meth) acrylic monomers having an OH group at the β-position and diisocyanates such as isophorone diisocyanate, 2,6-toluene diisocyanate, 2,4-toluene diisocyanate, and 1,6-hexamethylene diisocyanate. An addition reaction product with a compound is mentioned. Tris ((meth) acryloxytetraethylene glycol isocyanate) hexamethylene isocyanurate, EO-modified urethane di (meth) acrylate, EO or PO-modified urethane di (meth) acrylate, and the like can also be used.

さらに、(メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸メチルエステル、(メタ)アクリル酸エチルエステル、(メタ)アクリル酸ブチルエステル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシルエステル等が挙げられる。これらの(B)成分は、1種類を単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。   Furthermore, examples of the (meth) acrylic acid alkyl ester include (meth) acrylic acid methyl ester, (meth) acrylic acid ethyl ester, (meth) acrylic acid butyl ester, (meth) acrylic acid 2-ethylhexyl ester, and the like. It is done. These (B) components can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

(B)成分の含有量は、タック性、感度、及び解像性の観点から、感光性樹脂組成物の有機化合物固形分全量を基準として5〜45質量%であることが好ましく、10〜35質量%であることがより好ましい。(B)成分の含有量を5質量%以上にすることにより感度及び解像性がより良好となる傾向があり、45質量%以下とすることでタック性がより良好となる傾向がある。   The content of the component (B) is preferably 5 to 45% by mass based on the total amount of organic compound solids in the photosensitive resin composition, from the viewpoints of tackiness, sensitivity, and resolution, and 10 to 35%. More preferably, it is mass%. There exists a tendency for a sensitivity and resolution to become more favorable by making content of (B) component 5 mass% or more, and there exists a tendency for tackiness to become more favorable by setting it as 45 mass% or less.

[(C)成分]
本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、(C)成分の光重合開始剤として、α−アミノアルキルフェノン系化合物((c1)成分)及びアクリジニ基を有するアクリジン系化合物((c2)成分)を含有する。
[Component (C)]
The photosensitive resin composition according to the present embodiment includes an α-aminoalkylphenone compound (component (c1)) and an acridine compound having an acridin group (component (c2)) as a photopolymerization initiator of the component (C). Containing.

(c1)成分としては、例えば、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−モルホリノフェノン)−ブタノン−1、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−プロパノン−1等が挙げられる。   Examples of the component (c1) include 2-benzyl-2-dimethylamino-1-morpholinophenone) -butanone-1,2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [ 4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-propanone-1 and the like can be mentioned.

(c1)成分としては、下記一般式(2)で表される化合物がより好ましい。   As the component (c1), a compound represented by the following general formula (2) is more preferable.

Figure 2010276859
Figure 2010276859

式中、R、R及びRは、それぞれ独立に炭素数1〜10のアルキル基を示し、R及びRは、それぞれ独立にハロゲン原子、炭素数1〜10のアルキル基又は置換基を有していてもよいシクロアルキル基を示し、pは0〜5の整数を示し、qは0〜4の整数を示す。pが2以上の整数である場合、複数存在するRは互いに同一でも異なっていてもよく、qが2以上の整数である場合、複数存在するRは互いに同一でも異なっていてもよい。 In the formula, R 4 , R 5 and R 6 each independently represent an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, and R 7 and R 8 are each independently a halogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms or a substituent. The cycloalkyl group which may have a group is shown, p shows the integer of 0-5, q shows the integer of 0-4. When p is an integer of 2 or more, a plurality of R 7 may be the same or different from each other, and when q is an integer of 2 or more, the plurality of R 8 may be the same or different from each other.

一般式(2)で表される化合物としては、例えば、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−モルホリノフェノン)−ブタノン−1、2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン等が挙げられる。   Examples of the compound represented by the general formula (2) include 2-benzyl-2-dimethylamino-1-morpholinophenone) -butanone-1,2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) Methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone and the like.

(c2)成分としては、9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9,9’−アクリジニル)ヘプタン等が挙げられる。   Examples of the component (c2) include 9-phenylacridine, 1,7-bis (9,9'-acridinyl) heptane and the like.

(c2)成分としては、下記一般式(3)で表される化合物が好ましい。   As the component (c2), a compound represented by the following general formula (3) is preferable.

Figure 2010276859
Figure 2010276859

式中、Rは、炭素数2〜20のアルキレン基、炭素数2〜20のオキサジアルキレン基又は炭素数2〜20のチオジアルキレン基を示す。 In the formula, R 9 represents an alkylene group having 2 to 20 carbon atoms, an oxadialkylene group having 2 to 20 carbon atoms, or a thiodialkylene group having 2 to 20 carbon atoms.

一般式(3)で表される化合物としては、例えば、1,7−ビス(9,9’−アクリジニル)ヘプタン等が挙げられる。   Examples of the compound represented by the general formula (3) include 1,7-bis (9,9'-acridinyl) heptane.

本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、(C)成分として、例えば、ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(ミヒラーケトン)、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4−メトキシ−4’−ジメチルアミノベンゾフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−モルホリノフェノン)−ブタノン−1,2−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン等の芳香族ケトン、アルキルアントラキノン等のキノン類、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン、ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体、9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9,9’−アクリジニル)ヘプタン等のアクリジン誘導体、N−フェニルグリシン、N−フェニルグリシン誘導体、クマリン系化合物等を含有してもよい。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   The photosensitive resin composition according to the present embodiment includes, as component (C), for example, benzophenone, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone (Michler ketone), 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4- Methoxy-4′-dimethylaminobenzophenone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1-morpholinophenone) -butanone-1,2-ethylanthraquinone, aromatic ketones such as phenanthrenequinone, quinones such as alkylanthraquinone, benzoin methyl Benzoin ethers such as ether, benzoin ethyl ether and benzoin phenyl ether, benzoins such as methyl benzoin and ethyl benzoin, benzyl derivatives such as benzyl dimethyl ketal, 9-phenylacridine, 1,7-bis (9,9'-acrylate) Yl) acridine derivatives such as heptane, N- phenylglycine, N- phenylglycine derivatives may contain coumarin compounds. These can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

例えば、感光性樹脂組成物を405nm付近に波長域をもつ活性光線の露光によって硬化させる場合、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−モルホリノフェノン)−ブタノン−1と1,7−ビス(9,9’−アクリジニル)ヘプタンとを組み合わせて用いると、より少ない露光量で硬化させることができるため好ましい。また、9−フェニルアクリジンを1,7−ビス(9,9’−アクリジニル)ヘプタンの代わりに用いても同様に好ましい。   For example, when the photosensitive resin composition is cured by exposure to actinic rays having a wavelength range near 405 nm, 2-benzyl-2-dimethylamino-1-morpholinophenone) -butanone-1 and 1,7-bis (9 , 9′-Acridinyl) heptane is preferred because it can be cured with a smaller exposure amount. It is also preferable to use 9-phenylacridine instead of 1,7-bis (9,9'-acridinyl) heptane.

(C)成分の含有量は、光感度が一層良好となる観点から、感光性樹脂組成物の有機化合物固形分全量を基準として0.1〜15質量%であることが好ましく、2〜10質量%であることがより好ましい。   The content of the component (C) is preferably 0.1 to 15% by mass, based on the total amount of organic compound solids in the photosensitive resin composition, from the viewpoint of further improving the photosensitivity, and is preferably 2 to 10% by mass. % Is more preferable.

[(D)成分]
本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、熱硬化剤((D)成分)を更に含有することが好ましい。(D)成分としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂等の熱硬化性の化合物等が挙げられる。エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型三級脂肪酸変性ポリオールエポキシ樹脂、フタル酸ジグリシジルエステル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル等のジグリシジルエステル類、ジグリシジルアニリン、ジグリシジルトルイジン等のジグリシジルアミン類等が挙げられる。これらは1種を単独で、または2種以上を組み合わせて使用してもよい。
[(D) component]
The photosensitive resin composition according to this embodiment preferably further contains a thermosetting agent (component (D)). (D) As a component, thermosetting compounds, such as an epoxy resin, a phenol resin, a urea resin, a melamine resin, etc. are mentioned. Examples of epoxy resins include bisphenol A type tertiary fatty acid-modified polyol epoxy resins, diglycidyl esters such as diglycidyl phthalate and diglycidyl tetrahydrophthalate, and diglycidyl amines such as diglycidyl aniline and diglycidyl toluidine. Etc. You may use these individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

また、(D)成分として、潜在性の熱硬化剤であるブロックイソシアネート化合物を用いることもできる。ブロックイソシアネート化合物としては、例えば、アルコール化合物、フェノール化合物、ε−カプロラクタム、オキシム化合物、活性メチレン化合物等のブロック剤によりブロック化されたポリイソシアネート化合物が挙げられる。ここで、ブロック剤によりブロック化されるポリイソシアネート化合物としては、4,4−ジフェニルメタンジシソシアネート、2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシアネート、ナフタレン1,5−ジイソシアネート、o−キシレンジイソシアネート、m−キシレンジイソシアネート、2,4−トリレンダイマー等の芳香族ポリイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、4,4−メチレンビス(シクロヘキシルイソシアネート)、イソホロンジイソシアネート等の脂肪族ポリイソシアネート、ビシクロヘプタントリイソシアネート等の脂環式ポリイソシアネートが挙げられ、耐熱性の観点からは芳香族ポリイソシアネートが、着色防止の観点からは脂肪族ポリイソシアネート又は脂環式ポリイソシアネートが好ましい。   Moreover, the block isocyanate compound which is a latent thermosetting agent can also be used as (D) component. Examples of the blocked isocyanate compound include polyisocyanate compounds blocked with a blocking agent such as an alcohol compound, a phenol compound, ε-caprolactam, an oxime compound, and an active methylene compound. Here, as a polyisocyanate compound blocked by a blocking agent, 4,4-diphenylmethane disissocyanate, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, naphthalene 1,5-diisocyanate, o- Aromatic polyisocyanates such as xylene diisocyanate, m-xylene diisocyanate, 2,4-tolylene dimer, aliphatic polyisocyanates such as hexamethylene diisocyanate, 4,4-methylenebis (cyclohexyl isocyanate), isophorone diisocyanate, bicycloheptane triisocyanate, etc. From the viewpoint of heat resistance, aromatic polyisocyanate from the viewpoint of coloring prevention, aliphatic polyisocyanate or alicyclic polyisocyanate. It is preferred.

(D)成分としては、保存安定性及びHAST耐性に一層優れる観点から、スミジュールBL−3175(住友バイエルウレタン社製、商品名)を含有することが好ましい。   (D) As a component, it is preferable to contain Sumidur BL-3175 (the Sumitomo Bayer Urethane company make, brand name) from a viewpoint which is further excellent in storage stability and HAST tolerance.

感光性樹脂組成物が(D)成分を含有する場合、その含有量は、はんだ耐熱性及び絶縁信頼性の観点から、感光性樹脂組成物のの有機化合物固形分全量を基準として、5〜40質量%であることが好ましく、10〜30質量%であることがより好ましい。(D)成分の含有量を5質量%以上にすることで、感光性樹脂組成物のはんだ耐熱性及び絶縁信頼性がより良好となる傾向があり、40質量%以下にすることで感光性樹脂組成物層のタック性がより良好となる傾向がある。   When the photosensitive resin composition contains the component (D), the content is 5 to 40 based on the total amount of organic compound solids of the photosensitive resin composition from the viewpoint of solder heat resistance and insulation reliability. It is preferable that it is mass%, and it is more preferable that it is 10-30 mass%. When the content of the component (D) is 5% by mass or more, the soldering heat resistance and the insulation reliability of the photosensitive resin composition tend to become better, and by setting the content to 40% by mass or less, the photosensitive resin. There exists a tendency for the tackiness of a composition layer to become better.

[その他の成分]
本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、必要に応じて、マラカイトグリーン等の染料、ロイコクリスタルバイオレット等の光発色剤、熱発色防止剤、p−トルエンスルホンアミド等の可塑剤、フタロシアニンブルー等のフタロシアニン系若しくはアゾ系等の有機顔料、二酸化チタン等の無機顔料、シリカ、アルミナ、タルク、炭酸カルシウム若しくは硫酸バリウム等の無機顔料からなる充填剤、上述した充填剤、有機顔料若しくは無機顔料等の湿潤分散剤、難燃剤、消泡剤、安定剤、密着性付与剤、レベリング剤、酸化防止剤、香料、イメージング剤等を含有させることができる。これらの成分を含有する場合、その含有量は、感光性樹脂組成物の有機化合物固形分全量を基準として、0.01〜70質量%程度であることが好ましい。また上記の成分は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
[Other ingredients]
The photosensitive resin composition according to the present embodiment includes a dye such as malachite green, a photochromic agent such as leuco crystal violet, a thermochromic inhibitor, a plasticizer such as p-toluenesulfonamide, phthalocyanine blue, and the like as necessary. Organic pigments such as phthalocyanine or azo, inorganic pigments such as titanium dioxide, fillers made of inorganic pigments such as silica, alumina, talc, calcium carbonate or barium sulfate, the above-mentioned fillers, organic pigments, inorganic pigments, etc. Wetting and dispersing agents, flame retardants, antifoaming agents, stabilizers, adhesion-imparting agents, leveling agents, antioxidants, fragrances, imaging agents and the like can be included. When it contains these components, it is preferable that the content is about 0.01-70 mass% on the basis of the organic compound solid content whole quantity of the photosensitive resin composition. Moreover, said component can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

また、本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、必要に応じて、メタノール、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、N,N−ジメチルホルムアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテル等の溶剤又はこれらの混合溶剤に溶解し、固形分30〜70質量%程度の溶液として塗布することができる。   In addition, the photosensitive resin composition according to the present embodiment, if necessary, is a solvent such as methanol, ethanol, acetone, methyl ethyl ketone, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, toluene, N, N-dimethylformamide, propylene glycol monomethyl ether, or the like. It can melt | dissolve in these mixed solvents and can apply | coat as a solution of solid content about 30-70 mass%.

本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、銅、銅系合金、鉄、鉄系合金等の金属面上に、液状レジストとして塗布してから乾燥後、必要に応じて保護フィルムを被覆して用いるか、後述する感光性エレメントの形態で用いることができる。   The photosensitive resin composition according to this embodiment is coated as a liquid resist on a metal surface such as copper, a copper-based alloy, iron, and an iron-based alloy, dried, and then coated with a protective film as necessary. It can be used in the form of a photosensitive element described later.

(感光性エレメント)
次に、本実施形態に係る感光性樹脂組成物を用いた感光性エレメントについて説明する。図1は、本実施形態に係る感光性エレメントの好適な一実施形態を示す模式断面図である。図1に示した感光性エレメント1は、支持体10と、支持体10上に設けられた感光性樹脂組成物層20とで構成される。感光性樹脂組成物層20は、本実施形態に係る感光性樹脂組成物からなる層である。また、本実施形態に係る感光性エレメント1は、感光性樹脂組成物層20上の支持体10とは反対側の面F1を、保護フィルム30で被覆してもよい。
(Photosensitive element)
Next, the photosensitive element using the photosensitive resin composition which concerns on this embodiment is demonstrated. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a preferred embodiment of a photosensitive element according to this embodiment. The photosensitive element 1 shown in FIG. 1 includes a support 10 and a photosensitive resin composition layer 20 provided on the support 10. The photosensitive resin composition layer 20 is a layer made of the photosensitive resin composition according to this embodiment. Moreover, the photosensitive element 1 which concerns on this embodiment may coat | cover the surface F1 on the opposite side to the support body 10 on the photosensitive resin composition layer 20 with the protective film 30. FIG.

感光性樹脂組成物層20は、本実施形態に係る感光性樹脂組成物を上記溶剤又は混合溶剤に溶解して固形分30〜70質量%程度の溶液とした後に、かかる溶液を支持体10上に塗布して形成することが好ましい。   The photosensitive resin composition layer 20 is obtained by dissolving the photosensitive resin composition according to the present embodiment in the above solvent or mixed solvent to obtain a solution having a solid content of about 30 to 70% by mass, and then applying the solution on the support 10. It is preferable to form by coating.

感光性樹脂組成物層20の厚みは、用途により異なるが、加熱及び/又は熱風吹き付けにより溶剤を除去した乾燥後の厚みで、10〜100μmであることが好ましく、20〜60μmであることがより好ましい。感光性樹脂組成物層20の厚みを10μm以上にすることで、工業的な塗工がより容易になる傾向があり、100μm以下にすることで本発明により奏される上述の効果が一層大きくなるとともに、可とう性及び解像度がより良好となる傾向がある。   Although the thickness of the photosensitive resin composition layer 20 varies depending on the use, it is preferably 10 to 100 μm and more preferably 20 to 60 μm in thickness after drying after removing the solvent by heating and / or hot air blowing. preferable. When the thickness of the photosensitive resin composition layer 20 is 10 μm or more, industrial coating tends to be easier, and when the thickness is 100 μm or less, the above-described effect produced by the present invention is further increased. At the same time, the flexibility and resolution tend to be better.

感光性エレメント1が備える支持体10としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル等の耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムなどが挙げられる。   Examples of the support 10 included in the photosensitive element 1 include polymer films having heat resistance and solvent resistance such as polyethylene terephthalate, polypropylene, polyethylene, and polyester.

支持体10の厚みは、5〜100μmであることが好ましく、10〜30μmであることがより好ましい。この厚みを5μm以上とすることで現像前に支持体を剥離する際に当該支持体が破れにくくなる傾向があり、また、100μm以下とすることで解像度及び可撓性がより良好となる傾向がある。   The thickness of the support 10 is preferably 5 to 100 μm, and more preferably 10 to 30 μm. When the thickness is 5 μm or more, the support tends to be hardly broken when the support is peeled before development, and when the thickness is 100 μm or less, the resolution and flexibility tend to be better. is there.

支持体10と感光性樹脂組成物層20の2層からなる感光性エレメント1は、又は、支持体10と感光性樹脂組成物層20と保護フィルム30の3層からなる感光性エレメントは、例えば、そのまま貯蔵してもよく、保護フィルムを介在させた上で巻芯にロール状に巻き取って保管してもよい。   The photosensitive element 1 composed of two layers of the support 10 and the photosensitive resin composition layer 20 or the photosensitive element composed of three layers of the support 10, the photosensitive resin composition layer 20 and the protective film 30 is, for example, The film may be stored as it is, or may be wound around a roll core and stored after a protective film is interposed.

本実施形態に係る感光性エレメントを用いたレジストパターンは、感光性エレメントを回路形成用基板上に積層する積層工程と、活性光線を感光性樹脂組成物層の所定部分に照射して、感光性樹脂組成物層に光硬化部を形成させる露光工程と、該光硬化部以外の感光性樹脂組成物層を除去する現像工程と、を備える製造方法により製造することができる。   The resist pattern using the photosensitive element according to the present embodiment includes a lamination process in which the photosensitive element is laminated on a circuit forming substrate, and a predetermined portion of the photosensitive resin composition layer is irradiated with actinic rays to form a photosensitive pattern. It can manufacture by the manufacturing method provided with the exposure process which forms a photocuring part in a resin composition layer, and the image development process which removes photosensitive resin composition layers other than this photocuring part.

上記レジストパターンの製造方法は、感光性エレメントが保護フィルムを有する場合、感光性エレメントから保護フィルムを除去する除去工程を、積層工程の前にさらに備えてもよい。また、上記積層工程においては、感光性樹脂組成物層の支持体とは反対側の面と回路形成用基板とが接するように積層する。すなわち、感光性エレメントを、回路基板上に感光性樹脂組成物層、支持体の順に積層されるように、積層する。   When the photosensitive element has a protective film, the method for producing a resist pattern may further include a removal step of removing the protective film from the photosensitive element before the laminating step. Moreover, in the said lamination process, it laminates | stacks so that the surface on the opposite side to the support body of the photosensitive resin composition layer and the circuit formation board | substrate may contact | connect. That is, the photosensitive element is laminated on the circuit board so that the photosensitive resin composition layer and the support are laminated in this order.

上記回路形成用基板とは、絶縁層と、絶縁層上に形成された導電体層(銅、銅系合金、ニッケル、クロム、鉄、ステンレス等の鉄系合金、好ましくは銅、銅系合金、鉄系合金からなる)とを備えた基板をいう。   The circuit forming substrate is an insulating layer and a conductor layer (copper, copper alloy, nickel, chromium, iron, stainless steel or other iron alloy, preferably copper, copper alloy, Substrate made of an iron-based alloy.

上記積層工程における積層方法としては、感光性樹脂組成物層を加熱しながら回路形成用基板に圧着することにより積層する方法等が挙げられる。かかる積層の際には、密着性及び追従性等の見地から減圧下で積層することが好ましい。積層される表面は、通常、回路形成用基板の導電体層の面であるが、当該導電体層以外の面であってもよい。   Examples of the laminating method in the laminating step include a method of laminating by pressing the photosensitive resin composition layer on the circuit forming substrate while heating. In the case of such lamination, lamination is preferably performed under reduced pressure from the viewpoint of adhesion and followability. The surface to be laminated is usually the surface of the conductor layer of the circuit forming substrate, but may be a surface other than the conductor layer.

ここで感光性樹脂組成物層の加熱温度は50〜130℃とすることが好ましく、圧着圧力は0.1〜1.0MPa程度とすることが好ましく、周囲の気圧は4000Pa以下とすることがより好ましいが、これらの条件には特に制限はない。また、感光性樹脂組成物層を上記のように50〜130℃に加熱すれば、予め回路形成用基板を予熱処理することは必ずしも必要ではないが、積層性をさらに向上させるために、回路形成用基板の予熱処理を行うこともできる。   Here, the heating temperature of the photosensitive resin composition layer is preferably 50 to 130 ° C., the pressure bonding pressure is preferably about 0.1 to 1.0 MPa, and the ambient pressure is more preferably 4000 Pa or less. Although preferred, these conditions are not particularly limited. Further, if the photosensitive resin composition layer is heated to 50 to 130 ° C. as described above, it is not always necessary to pre-heat the circuit forming substrate in advance, but in order to further improve the laminating property, circuit formation is performed. It is also possible to pre-heat the substrate.

このようにして積層が完了した後、露光工程において感光性樹脂組成物層の所定部分に活性光線を照射して光硬化部を形成せしめる。光硬化部の形成方法としては、アートワークと呼ばれるネガ又はポジマスクパターンを通して活性光線を画像状に照射する方法が挙げられる。また、LDI方式、DLP(Digital Light Processing)露光法等のマスクパターンを有さない直接描画法による露光も可能である。この際、感光性樹脂組成物層上に存在する支持体が透明の場合には、そのまま活性光線を照射することができる。支持体が不透明の場合には、支持体を除去した後に感光性樹脂組成物層に活性光線を照射する。   After the lamination is completed in this manner, a photocured portion is formed by irradiating a predetermined portion of the photosensitive resin composition layer with actinic rays in the exposure step. Examples of the method for forming the photocured portion include a method of irradiating an actinic ray in an image form through a negative or positive mask pattern called an artwork. Further, exposure by a direct drawing method having no mask pattern such as an LDI method or a DLP (Digital Light Processing) exposure method is also possible. Under the present circumstances, when the support body which exists on the photosensitive resin composition layer is transparent, an actinic ray can be irradiated as it is. When the support is opaque, the photosensitive resin composition layer is irradiated with actinic rays after the support is removed.

活性光線の光源としては、公知の光源、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ、半導体レーザー等の紫外線を有効に放射する光源を用いることができる。また、写真用フラッド電球、太陽ランプ等の可視光を有効に放射する光源を用いることもできる。   As the active light source, a known light source, for example, a light source that effectively emits ultraviolet rays, such as a carbon arc lamp, a mercury vapor arc lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, a xenon lamp, or a semiconductor laser can be used. A light source that effectively emits visible light, such as a photographic flood bulb or a solar lamp, can also be used.

次いで、感光性樹脂組成物層上に支持体が存在している場合には、支持体を除去した後、現像工程において、ウエット現像、ドライ現像等で光硬化部以外の感光性樹脂組成物層を除去して現像し、レジストパターンを形成させる。   Next, when a support is present on the photosensitive resin composition layer, after removing the support, in the development process, the photosensitive resin composition layer other than the photocured portion by wet development, dry development or the like. The resist pattern is removed and developed to form a resist pattern.

ウエット現像の場合は、アルカリ性水溶液等の現像液を用いて、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の公知の方法により現像することができる。現像液としては、安全かつ安定であり、操作性が良好なものが好ましく、例えば、20〜50℃の炭酸ナトリウムの希薄溶液(1〜5質量%水溶液)等が用いられる。   In the case of wet development, development can be performed using a developer such as an alkaline aqueous solution by a known method such as spraying, rocking immersion, brushing, or scraping. The developer is preferably safe and stable and has good operability. For example, a dilute solution (1 to 5% by mass aqueous solution) of sodium carbonate at 20 to 50 ° C. is used.

上述の形成方法により得られたレジストパターンは、例えば、プリント配線板のソルダーレジストとして用いる場合は、上記現像工程終了後、ソルダーレジストとしてのはんだ耐熱性、耐薬品性等を向上させる目的で、高圧水銀ランプによる紫外線照射やオーブンによる加熱を行うことが好ましい。   For example, when the resist pattern obtained by the above-described forming method is used as a solder resist for a printed wiring board, a high pressure is used for the purpose of improving solder heat resistance, chemical resistance, etc. as the solder resist after completion of the development process. It is preferable to perform ultraviolet irradiation with a mercury lamp or heating with an oven.

紫外線を照射させる場合は必要に応じてその照射量を調整することができ、例えば、0.2〜10J/cm程度の照射量で照射を行うことができる。また加熱する場合は、100〜170℃程度の範囲で15〜90分程行われることが好ましい。さらに紫外線照射と加熱とを両方実施してもよく、いずれか一方を実施した後、他方を実施することもできる。 When irradiating with ultraviolet rays, the irradiation amount can be adjusted as necessary. For example, the irradiation can be performed at an irradiation amount of about 0.2 to 10 J / cm 2 . Moreover, when heating, it is preferable to carry out for about 15 to 90 minutes in the range of about 100-170 degreeC. Furthermore, both ultraviolet irradiation and heating may be performed, and after one of them is performed, the other can be performed.

また、上述の形成方法により得られたレジストパターンはプリント配線板上に形成される永久マスクとして使用されると好ましい。本実施形態に係る感光性樹脂組成物から形成される硬化膜は、優れた難燃性を有するので、基板にはんだ付けを施した後の配線の保護膜を兼ねる、プリント配線板の永久マスクとして有効である。   The resist pattern obtained by the above-described forming method is preferably used as a permanent mask formed on a printed wiring board. Since the cured film formed from the photosensitive resin composition according to the present embodiment has excellent flame retardancy, it also serves as a permanent mask for a printed wiring board that also serves as a protective film for wiring after soldering to the substrate. It is valid.

以下、本発明を実施例により更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
(実施例1〜3、比較例1〜3)
[感光性フィルムの作製]
まず、表1に示す各成分を表中に示す固形分の配合比(重量基準)で混合することにより、感光性樹脂組成物の溶液を得た。なお、表中、(A)成分は、(a2)成分であるアクリル樹脂であって、メタクリル酸、メタクリル酸メチル、アクリル酸ブチルの共重合体(メタクリル酸:メタクリル酸メチル:アクリル酸ブチル=17重量%:62重量%:21重量%)で重量平均分子量100000、酸価110mgKOH/gのものである。また、(a1)成分は、ウレタン樹脂(日本化薬(株)製、商品名UXE−3024、重量平均分子量:10000)である。(B−1)〜(B−4)成分は、ポリエチレングリコールジメタクリレート(いずれも新中村化学工業(株)製、商品名3G、4G、9G、23G)である。なお、(B−1)成分は上記一般式(1)におけるnが3の化合物であり、(B−2)成分はnが4の化合物であり、(B−3)成分はnが9の化合物であり、(B−4)成分はnが23の化合物である。(B−5)成分は、ビスフェノールAポリオキシエチレンジメタクリレート(新中村化学工業(株)製、商品名BPE−10)である。(B−6)成分は、トリメチロールプロパントリメタクリレート(新中村化学工業(株)製、商品名TMPT)である。(C−1)成分は、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフェリノフェニル)−ブタノン−1(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、商品名I−369)であり、(C−2)成分は、1,7−ビス(9−アクリジニル)ヘプタン(旭電化工業(株)製、商品名N−1717)である。(D−1)成分は、ブロック型イソシアネート(住化バイエルウレタン(株)製、商品名スミジュールBL−3175)である。その他成分であるB30は、硫酸バリウム(堺化学工業(株)製、商品名バリエースB30)である。なお、これらの感光性樹脂組成物には、希釈剤としてメチルエチルケトンを加えた。
EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention still in detail, this invention is not limited to these Examples.
(Examples 1-3, Comparative Examples 1-3)
[Preparation of photosensitive film]
First, the solution of the photosensitive resin composition was obtained by mixing each component shown in Table 1 with the compounding ratio (weight basis) of the solid content shown in a table | surface. In the table, component (A) is an acrylic resin as component (a2), and is a copolymer of methacrylic acid, methyl methacrylate, and butyl acrylate (methacrylic acid: methyl methacrylate: butyl acrylate = 17. % By weight: 62% by weight: 21% by weight) and a weight average molecular weight of 100,000 and an acid value of 110 mgKOH / g. The component (a1) is a urethane resin (Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name UXE-3024, weight average molecular weight: 10,000). The components (B-1) to (B-4) are polyethylene glycol dimethacrylate (all manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., trade names 3G, 4G, 9G, and 23G). In addition, (B-1) component is a compound in which n is 3 in the above general formula (1), (B-2) component is a compound in which n is 4, and (B-3) component is in which n is 9 Compound (B-4) is a compound in which n is 23. The component (B-5) is bisphenol A polyoxyethylene dimethacrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., trade name BPE-10). The component (B-6) is trimethylolpropane trimethacrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., trade name TMPT). Component (C-1) is 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1 (trade name I-369, manufactured by Ciba Specialty Chemicals), (C -2) The component is 1,7-bis (9-acridinyl) heptane (Asahi Denka Kogyo Co., Ltd., trade name N-1717). The component (D-1) is a block type isocyanate (manufactured by Sumika Bayer Urethane Co., Ltd., trade name Sumidur BL-3175). B30, which is another component, is barium sulfate (manufactured by Sakai Chemical Industry Co., Ltd., trade name Variace B30). In addition, methyl ethyl ketone was added to these photosensitive resin compositions as a diluent.

Figure 2010276859
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次に、これらの感光性樹脂組成物の溶液を、それぞれ支持体である16μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(帝人(株)製、商品名G2−16)上に均一に塗布し、熱風対流式乾燥機を用いて100℃で10分間乾燥することにより、支持体上に感光性樹脂組成物層を形成した。感光性樹脂組成物層の乾燥後の膜厚は、30μmであった。   Next, these photosensitive resin composition solutions were uniformly applied onto a 16 μm polyethylene terephthalate film (product name: G2-16, manufactured by Teijin Limited) as a support, and a hot air convection dryer was used. The photosensitive resin composition layer was formed on the support by using and drying at 100 ° C. for 10 minutes. The film thickness after drying of the photosensitive resin composition layer was 30 μm.

続いて、感光性樹脂組成物層の支持層と接している側と反対側の表面上に、ポリエチレンフィルム(タマポリ(株)製、商品名NF−15)を保護フィルムとして貼り合わせ、感光性フィルムを得た。   Subsequently, on the surface of the photosensitive resin composition layer opposite to the side in contact with the support layer, a polyethylene film (manufactured by Tamapoly Co., Ltd., trade name NF-15) is bonded as a protective film, and the photosensitive film Got.

[特性評価]
実施例1〜3及び比較例1〜3で作製した感光性フィルムを用いて、それぞれ以下の各試験を行い、各感光性フィルムを用いた場合のタック性、耐めっき性、はんだ耐熱性、クラック耐性、HAST耐性、及び解像性について評価した。結果を表2に示す。
[Characteristic evaluation]
Using the photosensitive films prepared in Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 3, the following tests were performed, respectively, tackiness, plating resistance, solder heat resistance, cracks when each photosensitive film was used. Resistance, HAST resistance, and resolution were evaluated. The results are shown in Table 2.

(タック性)
まず、各感光性フィルムを用いて、以下のようにして評価用基板を作製した。すなわち、まず、12μm厚の銅箔をガラスエポキシ基材に積層したプリント配線板用基板(日立化成工業(株)製、商品名E−679)の銅表面を砥粒ブラシで研磨し、水洗した後、乾燥した。このプリント配線板用基板上にプレス式真空ラミネータ(名機製作所製、商品名MVLP−500)を用いて、プレス熱板温度70℃、真空引き時間20秒、ラミネートプレス時間30秒、気圧4kPa以下、圧着圧力0.4MPaの条件の下、感光性フィルムのポリエチレンフィルムを剥離して積層し、評価用積層体を得た。評価用積層体に対し、露光を行わずに、該積層体上のポリエチレンテレフタレートを剥離し、その塗膜表面に指を軽く押し付け、指に対する張り付き程度を次の基準で評価した。すなわち、指に対する張り付きが認められない、又は、ほとんど認められないものは「A」とし、指に対する張り付きが若干認められるものは「B」とし、指に対する張り付きが顕著なものは「C」とした。
(Tackiness)
First, an evaluation substrate was prepared as follows using each photosensitive film. That is, first, the copper surface of a printed wiring board substrate (trade name E-679, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) obtained by laminating a 12 μm thick copper foil on a glass epoxy substrate was polished with an abrasive brush and washed with water. After that, it was dried. Using a press-type vacuum laminator (trade name: MVLP-500, manufactured by Meiki Seisakusho) on this printed wiring board substrate, the press hot plate temperature is 70 ° C., the evacuation time is 20 seconds, the lamination press time is 30 seconds, and the atmospheric pressure is 4 kPa or less. The polyethylene film of the photosensitive film was peeled off and laminated under the condition of the pressure bonding pressure of 0.4 MPa to obtain a laminate for evaluation. Without exposing to the laminated body for evaluation, the polyethylene terephthalate on the laminated body was peeled off, the finger was lightly pressed against the surface of the coating film, and the degree of sticking to the finger was evaluated according to the following criteria. In other words, “A” indicates that sticking to the finger is hardly or hardly recognized, “B” indicates that sticking to the finger is slightly recognized, and “C” indicates that sticking to the finger is remarkable. .

(耐めっき性)
ラミネート後の評価用積層体を、常温(25℃)で1時間静置した後、405nmの青紫色レーザダイオードを光源とする直描露光機(日立ビアメカニクス(株)製、製品名DE−1AH)を用いて、上記評価用積層体の上から、格子状のパターンを有する描画データを使用し、ストーファー21段ステップタブレットの現像後の残存ステップ段数が17となるエネルギー量で露光を行った。それぞれの評価用積層体に照射したエネルギー量は表2中に記載した。なおエネルギー量が少ないほど、高感度な感光性樹脂組成物であることを意味する。
(Plating resistance)
The laminate for evaluation after lamination was allowed to stand at room temperature (25 ° C.) for 1 hour, and then a direct drawing exposure machine (product name: DE-1AH, manufactured by Hitachi Via Mechanics Co., Ltd.) using a 405 nm blue-violet laser diode as a light source. ), And using the drawing data having a grid pattern from above the evaluation laminate, exposure was performed with an energy amount that the number of remaining step stages after development of the stove 21-step step tablet was 17. . The amount of energy applied to each evaluation laminate is shown in Table 2. In addition, it means that it is a highly sensitive photosensitive resin composition, so that energy amount is small.

露光後、評価用積層体上のポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液で、最少現像時間(未露光部が現像される最少時間)の1.7倍の時間でスプレー現像を行った。これにより、感光性樹脂組成物層が硬化されてなるパターンを形成した。   After exposure, the polyethylene terephthalate film on the laminate for evaluation is peeled off and sprayed with a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution at 30 ° C. for 1.7 times the minimum development time (minimum time during which the unexposed area is developed). Developed. Thereby, the pattern formed by hardening the photosensitive resin composition layer was formed.

続いて、(株)オーク製作所製の紫外線照射装置を使用して1J/cmのエネルギー量で紫外線照射を行い、さらに160℃で60分間加熱処理を行うことにより、プリント配線板用基板上にソルダーレジストが形成された評価用基板を得た。 Subsequently, ultraviolet irradiation is performed with an energy amount of 1 J / cm 2 using an ultraviolet irradiation device manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd., and further heat treatment is performed at 160 ° C. for 60 minutes on the printed wiring board substrate. An evaluation substrate on which a solder resist was formed was obtained.

上記評価用基板に対し、無電解ニッケルめっき(上村工業(株)製、商品名ニムデンNPR−4)を施し(15分間処理)、更に無電解金めっき(上村工業(株)製、商品名ゴブライトTAM−55)を施した(10分間処理)。   The substrate for evaluation is subjected to electroless nickel plating (trade name Nimden NPR-4, manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd.) (treatment for 15 minutes), and further electroless gold plating (trade name, Goblite, manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd.). TAM-55) was applied (10 minutes treatment).

このようにしてめっきが施された評価用基板に対し、ソルダーレジスト底部へのめっき液の染み込み、並びに、基板からのソルダーレジストの浮き及び剥離を100倍の金属顕微鏡により観察し、次の基準で評価した。すなわち、ソルダーレジスト底部への染み込みが認められず、ソルダーレジストの浮き及び剥離も認められないものは「A」とし、それらのいずれかが認められるものは「C」とした。また、ソルダーレジスト底部へ僅かに染み込みが認められるものの実用上全く問題ないものは実施例間での差を明らかにするために「B」とした。   For the evaluation substrate thus plated, the plating solution soaks into the bottom of the solder resist, and the solder resist floats and peels from the substrate is observed with a 100-fold metal microscope. evaluated. That is, the case where no penetration into the bottom of the solder resist was observed and the solder resist was not lifted or peeled off was designated as “A”, and the case where any of them was recognized as “C”. In addition, although a slight penetration into the bottom of the solder resist was recognized, there was no practical problem at all, and “B” was used in order to clarify the difference between the examples.

(はんだ耐熱性)
上記「耐めっき性」試験と同様にして得られたソルダーレジストを有する評価用基板を用い、以下のようにしてはんだ耐熱性の評価を行った。すなわち、評価用基板に対し、ロジン系フラックス(タムラ化研(株)製、商品名MH−820V)を塗布した後、288℃のはんだ浴中に30秒間浸漬するはんだ処理を行った。
(Solder heat resistance)
Using the evaluation substrate having a solder resist obtained in the same manner as in the “plating resistance” test, the solder heat resistance was evaluated as follows. That is, after applying a rosin flux (trade name MH-820V, manufactured by Tamura Kaken Co., Ltd.) to the substrate for evaluation, a soldering treatment was performed in which the substrate was immersed in a solder bath at 288 ° C. for 30 seconds.

このようにしてはんだめっきを施された評価用基板上のソルダーレジストのクラック発生状況、並びに、基板からのソルダーレジストの浮き程度及び剥離を100倍の金属顕微鏡により観察した。その結果を、次の基準で評価した。すなわち、ソルダーレジストのクラックの発生が認められず、ソルダーレジストの浮き及び剥離も認められないものは「A」とし、それらのいずれかが認められるものは「C」とした。   The state of occurrence of cracks in the solder resist on the evaluation substrate subjected to solder plating in this way, and the degree to which the solder resist floated from the substrate and peeling were observed with a 100-fold metal microscope. The results were evaluated according to the following criteria. That is, “A” was given when no cracking of the solder resist was observed and no solder resist was lifted or peeled off, and “C” was given when any of them was observed.

(クラック耐性)
上記「耐めっき性」試験と同様にして得られたソルダーレジストを有する評価用基板に対し、−55℃の大気中に15分間晒した後、180℃/分の昇温速度で昇温し、次いで、125℃の大気中に15分間晒した後、180℃/分の降温速度で降温する熱サイクルを200回繰り返す試験を行った。
(Crack resistance)
For the evaluation substrate having a solder resist obtained in the same manner as in the above “plating resistance” test, after being exposed to the atmosphere of −55 ° C. for 15 minutes, the temperature was increased at a temperature increase rate of 180 ° C./min. Next, after being exposed to the atmosphere at 125 ° C. for 15 minutes, a test was performed in which a thermal cycle in which the temperature was lowered at a rate of 180 ° C./min was repeated 200 times.

試験後、評価用基板のソルダーレジスト(永久レジスト膜)のクラック及び剥離を100倍の金属顕微鏡により観察し、次の基準で評価した。すなわち、ソルダーレジストのクラック及び剥離を観察できなかったものは「A」とし、それらのいずれかを確認できたものは「C」とした。   After the test, cracks and peeling of the solder resist (permanent resist film) on the evaluation substrate were observed with a 100-fold metal microscope and evaluated according to the following criteria. That is, “A” indicates that the solder resist could not be observed for cracking and peeling, and “C” indicates that any of them could be confirmed.

(HAST耐性)
まず、12μm厚の銅箔をガラスエポキシ基材に積層したプリント配線板用基板(日立化成工業(株)製、商品名E−679)の銅表面を、エッチングによりライン/スペースが50μm/50μmのくし型電極に加工した。これを、評価用配線板とした。
(HAST resistance)
First, a copper surface of a printed wiring board substrate (trade name E-679, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) in which a 12 μm thick copper foil is laminated on a glass epoxy base material is etched to have a line / space of 50 μm / 50 μm. It was processed into a comb-type electrode. This was used as an evaluation wiring board.

この評価用配線板におけるくし型電極上に、上記「耐めっき性」試験と同様にしてレジストの硬化物からなるソルダーレジストを形成し、これを評価用基板とした。この評価用基板を、130℃/85%/5Vの条件で超加速高温高湿寿命試験(HAST)槽内に100時間晒した。試験後、各評価用基板におけるマイグレーションの発生の程度を、100倍の金属顕微鏡により観察し、次の基準で評価した。すなわち、ソルダーレジスト(永久レジスト膜)に大きなマイグレーションが発生しなかったものは「A」とし、大きくマイグレーションが発生したものは「C」とした。マイグレーションとは、銅電極からソルダーレジストへ銅が溶出し、析出することにより、電極周辺のソルダーレジストの変色や絶縁抵抗の低下が起こる現象である。   A solder resist made of a cured product of a resist was formed on the comb-shaped electrode of this evaluation wiring board in the same manner as in the “plating resistance” test, and this was used as an evaluation substrate. This evaluation substrate was exposed to a super accelerated high temperature high humidity life test (HAST) bath for 100 hours under the conditions of 130 ° C./85%/5V. After the test, the degree of migration in each evaluation substrate was observed with a 100-fold metal microscope and evaluated according to the following criteria. That is, “A” indicates that no significant migration has occurred in the solder resist (permanent resist film), and “C” indicates that significant migration has occurred. Migration is a phenomenon in which discoloration of the solder resist around the electrode and a decrease in insulation resistance occur when copper is eluted and deposited from the copper electrode to the solder resist.

(解像性)
上記「耐めっき性」試験と同様にして得られた評価用積層体を、常温で1時間静置した後、405nmの青紫色レーザダイオードを光源とする直描露光機(日立ビアメカニクス(株)製、製品名DE−1AH)を用いて、上記評価用積層体の上から、ライン幅/スペース幅が6/6〜47/47(単位:μm)の配線パターンを有する描画データを使用し、ストーファー21段ステップタブレットの現像後の残存ステップ段数が17となるエネルギー量で露光した。
(Resolution)
The evaluation laminate obtained in the same manner as in the above “Plating Resistance” test was allowed to stand at room temperature for 1 hour, and then a direct drawing exposure machine using a 405 nm blue-violet laser diode as a light source (Hitachi Via Mechanics Co., Ltd.) Using product data DE-1AH), drawing data having a wiring pattern with a line width / space width of 6/6 to 47/47 (unit: μm) is used from above the evaluation laminate. The exposure was carried out with an energy amount such that the number of remaining step steps after development of the stopher 21-step step tablet was 17.

露光後の評価用積層体上のポリエチレンテレフタレートを剥離し、30℃の1重量%炭酸ナトリウム水溶液で、最少現像時間(未露光部が除去される最少時間)の1.7倍の時間でスプレー現像を行い、未露光部を除去して解像性の評価を行った。解像性の値は、現像処理によって未露光部を完全に除去できたスペース幅(μm)のうち最も小さい値で表され、この数値が小さい程、解像性が高いことを示す。   The polyethylene terephthalate on the evaluation laminate after exposure is peeled off and spray-developed with a 1% by weight aqueous sodium carbonate solution at 30 ° C. for 1.7 times the minimum development time (minimum time for removing the unexposed area). Then, the unexposed part was removed and the resolution was evaluated. The value of the resolution is represented by the smallest value among the space widths (μm) in which the unexposed portions can be completely removed by the development processing, and the smaller the numerical value, the higher the resolution.

Figure 2010276859
Figure 2010276859

表2に示されるように、実施例1〜3の感光性樹脂組成物によれば、優れたタック性、耐めっき性及びはんだ耐熱性のほか、十分なクラック耐性、HAST耐性、解像性が得られることが確認された。これに対し、比較例1〜3では、タック性又は感度が不十分であった。   As shown in Table 2, according to the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 3, in addition to excellent tackiness, plating resistance, and solder heat resistance, sufficient crack resistance, HAST resistance, and resolution are provided. It was confirmed that it was obtained. On the other hand, in Comparative Examples 1-3, tackiness or sensitivity was insufficient.

1…感光性フィルム、10…支持体、20…感光性樹脂組成物層、30…保護フィルム。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Photosensitive film, 10 ... Support body, 20 ... Photosensitive resin composition layer, 30 ... Protective film.

Claims (8)

(A)バインダーポリマーと、(B)エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、を含有する感光性樹脂組成物であって、
前記(B)エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物として、少なくとも(b1)下記一般式(1)で表される化合物を含有し、
前記(C)光重合開始剤として、少なくとも(c1)α−アミノアルキルフェノン系化合物及び(c2)アクリジニ基を有するアクリジン系化合物を含有する、感光性樹脂組成物。
Figure 2010276859

[式中、R、R及びRは、それぞれ独立にH又はCHを示し、nは、1〜9の整数を示す。nが2以上の整数である場合、複数存在するRは互いに同一でも異なっていてもよい。]
A photosensitive resin composition comprising (A) a binder polymer, (B) a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group, and (C) a photopolymerization initiator,
As (B) the photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group, at least (b1) contains a compound represented by the following general formula (1),
A photosensitive resin composition comprising, as the photopolymerization initiator (C), at least (c1) an α-aminoalkylphenone compound and (c2) an acridine compound having an acridin group.
Figure 2010276859

[Wherein, R 1, R 2 and R 3 each independently represents H or CH 2, n represents an integer of 1 to 9. When n is an integer of 2 or more, a plurality of R 2 may be the same as or different from each other. ]
前記(c1)α−アミノアルキルフェノン系化合物が、下記一般式(2)で表される化合物である、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
Figure 2010276859

[式中、R、R及びRは、それぞれ独立に炭素数1〜10のアルキル基を示し、R及びRは、それぞれ独立にハロゲン原子、炭素数1〜10のアルキル基又は置換基を有していてもよいシクロアルキル基を示し、pは0〜5の整数を示し、qは0〜4の整数を示す。pが2以上の整数である場合、複数存在するRは互いに同一でも異なっていてもよく、qが2以上の整数である場合、複数存在するRは互いに同一でも異なっていてもよい。]
The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the (c1) α-aminoalkylphenone-based compound is a compound represented by the following general formula (2).
Figure 2010276859

[Wherein R 4 , R 5 and R 6 each independently represent an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, and R 7 and R 8 each independently represent a halogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms or The cycloalkyl group which may have a substituent is shown, p shows the integer of 0-5, q shows the integer of 0-4. When p is an integer of 2 or more, a plurality of R 7 may be the same or different from each other, and when q is an integer of 2 or more, the plurality of R 8 may be the same or different from each other. ]
前記(c2)アクリジニル基を有するアクリジン系化合物が、下記一般式(3)で表される化合物である、請求項1又は2に記載の感光性樹脂組成物。
Figure 2010276859

[式中、Rは、炭素数2〜20のアルキレン基、炭素数2〜20のオキサジアルキレン基又は炭素数2〜20のチオジアルキレン基を示す。]
The photosensitive resin composition according to claim 1 or 2, wherein the (c2) acridine compound having an acridinyl group is a compound represented by the following general formula (3).
Figure 2010276859

Wherein, R 9 represents an alkylene group, oxa dialkylene group or Chiojiarukiren group having 2 to 20 carbon atoms having 2 to 20 carbon atoms having 2 to 20 carbon atoms. ]
前記(A)バインダーポリマーとして、少なくとも(a1)エチレン性不飽和基及びカルボキシル基を有するウレタン樹脂、を含有する、請求項1〜3のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition as described in any one of Claims 1-3 containing the urethane resin which has at least (a1) ethylenically unsaturated group and a carboxyl group as said (A) binder polymer. 前記(A)バインダーポリマーとして、少なくとも(a2)(メタ)アクリル酸及び(メタ)アクリル酸アルキルエステルを単量体単位として含むアクリル樹脂、を含有する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。   The acrylic resin containing at least (a2) (meth) acrylic acid and (meth) acrylic acid alkyl ester as monomer units as the (A) binder polymer, according to any one of claims 1 to 4. The photosensitive resin composition as described. (D)熱硬化剤を更に含有する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。   (D) The photosensitive resin composition as described in any one of Claims 1-5 which further contains a thermosetting agent. 支持体と、該支持体上に設けられた請求項1〜6のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層と、を備える、感光性フィルム。   A photosensitive film provided with a support body and the photosensitive resin composition layer which consists of the photosensitive resin composition as described in any one of Claims 1-6 provided on this support body. プリント配線板用の基板上に設けられ、請求項1〜6のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物から形成される、感光性永久レジスト。   The photosensitive permanent resist provided on the board | substrate for printed wiring boards, and formed from the photosensitive resin composition as described in any one of Claims 1-6.
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