JP2010263030A - Organic el device - Google Patents

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Hideyuki Murata
英幸 村田
Toshinori Matsushima
敏則 松島
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an organic EL device which prolongs the lifetime while reducing the drive voltage. <P>SOLUTION: The organic EL device 10 includes an anode, a cathode (Al layer 17), and an organic layer 20 which is arranged between the anode and the cathode and includes a light emission layer. At least the organic layer 20 side of the anode consists of a translucent oxide semiconductor layer (an ITO layer 12). A molybdenum dioxide layer 13 is arranged between the oxide semiconductor layer and the organic layer 20. Assuming that the molybdenum dioxide layer 13 is a layer of uniform thickness, thickness of the molybdenum dioxide layer 13 is 2 nm or less. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、有機EL素子に関する。   The present invention relates to an organic EL element.

有機EL素子は、柔軟、薄い、軽量という利点を持つディスプレイや光源が作製できる点から大きな注目を集めている。しかし、有機EL素子にはまだ課題が多く、その利用を発展させるためには、さらなる特性向上が求められている。   Organic EL devices have attracted a great deal of attention because they can produce displays and light sources that have the advantages of flexibility, thinness, and light weight. However, the organic EL element still has many problems, and in order to develop its utilization, further improvement in characteristics is required.

有機EL素子の特性を向上させる1つの方法として、陽極とホール輸送層との界面に、ホール注入層を挿入する方法が知られている。そして、ホール注入層としてMoO3層を用いることによって、特性を向上できることが報告されている(特許文献1および2、非特許文献1〜5)。しかし、従来から一般的に用いられてきたMoO3層は、膜厚が2〜50nmの範囲であった。 As one method for improving the characteristics of the organic EL device, a method of inserting a hole injection layer at the interface between the anode and the hole transport layer is known. It has been reported that the characteristics can be improved by using a MoO 3 layer as the hole injection layer (Patent Documents 1 and 2, Non-Patent Documents 1 to 5). However, the MoO 3 layer which has been generally used conventionally, the thickness is in the range of 2 to 50 nm.

特許文献2に記載の発明は、有機EL素子の高輝度化および省電力化を目的としている。特許文献2には、基板とは反対側に光を発するトップエミッション型の有機EL素子が開示されている。この有機EL素子では、アルミニウムからなる陽極と、有機層と、ITOからなる陰極とが、この順に基板上に形成されている。有機層で生じた光は、陰極を通って外部に発せられる。陽極と有機層との間には、Mo酸化物層(厚さがたとえば3.5〜1000オングストローム)が配置されている。上記トップエミッション型の有機EL素子の陽極がITOなどの透明電極を含むと、発光層から陽極側に向かった光は外部に発せられるまでに透明電極を2回透過する。そのため、特許文献2には、上記トップエミッション型の有機EL素子の陽極がITOなどの透明電極を含むと、透明電極による光吸収が問題となることが記載されている(特許文献2の[0004]段落)。また、特許文献2には、陽極にITOを用いると電流密度が低下するという問題が生じることが記載されている(特許文献2の[0005]段落)。   The invention described in Patent Document 2 is intended to increase the luminance and save power of the organic EL element. Patent Document 2 discloses a top emission type organic EL element that emits light on the side opposite to the substrate. In this organic EL element, an anode made of aluminum, an organic layer, and a cathode made of ITO are formed on a substrate in this order. Light generated in the organic layer is emitted outside through the cathode. A Mo oxide layer (thickness is, for example, 3.5 to 1000 angstroms) is disposed between the anode and the organic layer. When the anode of the top emission type organic EL element includes a transparent electrode such as ITO, light traveling from the light emitting layer toward the anode is transmitted twice through the transparent electrode before being emitted to the outside. Therefore, Patent Document 2 describes that when the anode of the top emission type organic EL element includes a transparent electrode such as ITO, light absorption by the transparent electrode becomes a problem ([0004 of Patent Document 2]. ] Paragraph). Further, Patent Document 2 describes that when ITO is used for the anode, there arises a problem that the current density decreases (paragraph [0005] of Patent Document 2).

特開2005−32618号公報Japanese Patent Laying-Open No. 2005-32618 特開2006−344774号公報JP 2006-344774 A

Tokitoら、 J. Phys. D: Appl. Phys. 29, 2750 (1996年)Tokyo et al. Phys. D: Appl. Phys. 29, 2750 (1996) Miyashitaら、 Jpn. J. Appl. Phys. 44, 3682 (2005年)Miyashita et al., Jpn. J. et al. Appl. Phys. 44, 3682 (2005) Chenら、Appl. Phys. Lett. 87, 241121 (2005年)Chen et al., Appl. Phys. Lett. 87, 241121 (2005) Satohら、 Jpn. J. Appl. Phys. 45, 1829 (2006年)Satoh et al., Jpn. J. et al. Appl. Phys. 45, 1829 (2006) Youら、 J. Appl. Phys. 101, 026105 (2007年)You et al. Appl. Phys. 101, 026105 (2007)

現在、有機EL素子では、消費電力の低減および素子の長寿命化が課題となっている。このような状況において、本発明は、駆動電圧の低減および長寿命化が可能な有機EL素子を提供することを目的の1つとする。   At present, reduction of power consumption and extension of device life are problems in organic EL devices. Under such circumstances, an object of the present invention is to provide an organic EL element capable of reducing the driving voltage and extending the lifetime.

本件発明者らは、透光性の酸化物半導体層(陽極)と有機層との間に非常に薄い二酸化モリブデン層を配置することによって、酸化モリブデン層の効果として従来から知られている効果とは全く異なる優れた効果が得られることを見出した。本発明は、この新たな知見に基づくものである。   By disposing a very thin molybdenum dioxide layer between the light-transmitting oxide semiconductor layer (anode) and the organic layer, the present inventors have conventionally known the effect of the molybdenum oxide layer. Has found that a completely different and excellent effect can be obtained. The present invention is based on this new knowledge.

上記目的を達成するために、本発明の第1の有機EL素子は、陽極と、陰極と、前記陽極と前記陰極との間に配置され発光層を含む有機層とを備える有機EL素子であって、前記陽極のうち少なくとも前記有機層側が、透光性の酸化物半導体層からなり、前記酸化物半導体層と前記有機層との間に二酸化モリブデン層が配置されており、前記二酸化モリブデン層を厚さが均一な層であると仮定したときの前記二酸化モリブデン層の厚さが2nm以下である。   In order to achieve the above object, a first organic EL element of the present invention is an organic EL element comprising an anode, a cathode, and an organic layer disposed between the anode and the cathode and including a light emitting layer. And at least the organic layer side of the anode is made of a light-transmitting oxide semiconductor layer, a molybdenum dioxide layer is disposed between the oxide semiconductor layer and the organic layer, and the molybdenum dioxide layer is When it is assumed that the thickness is a uniform layer, the thickness of the molybdenum dioxide layer is 2 nm or less.

また、本発明の第2の有機EL素子は、陽極と、陰極と、前記陽極と前記陰極との間に配置され発光層を含む有機層とを備える有機EL素子であって、前記陽極のうち少なくとも前記有機層側が、透光性の酸化物半導体層からなり、前記酸化物半導体層と前記有機層との界面に、前記酸化物半導体層と前記有機層とが部分的に接触するように不均一に形成された二酸化モリブデン層が配置されている。   The second organic EL element of the present invention is an organic EL element comprising an anode, a cathode, and an organic layer that is disposed between the anode and the cathode and includes a light emitting layer. At least the organic layer side is formed of a light-transmitting oxide semiconductor layer, and the oxide semiconductor layer and the organic layer are not in contact with the interface between the oxide semiconductor layer and the organic layer. A uniformly formed molybdenum dioxide layer is arranged.

本発明によれば、駆動電圧の低減および長寿命化が可能な有機EL素子が得られる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the organic EL element which can reduce a drive voltage and prolong a lifetime is obtained.

実施例で作製した有機EL素子の構造を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the structure of the organic EL element produced in the Example. 実施例で使用したα−NPDの構造を示す図である。It is a figure which shows the structure of (alpha) -NPD used in the Example. 二酸化モリブデン層の仮想厚さと駆動電圧との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the virtual thickness of a molybdenum dioxide layer, and a drive voltage. 二酸化モリブデン層の仮想厚さとエネルギー変換効率との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the virtual thickness of a molybdenum dioxide layer, and energy conversion efficiency. 二酸化モリブデンの仮想厚さと輝度の維持率との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the virtual thickness of molybdenum dioxide, and the maintenance factor of a brightness | luminance. 二酸化モリブデンの仮想厚さと駆動時間T90との関係を示すグラフである。It is a graph showing the relationship between the virtual thickness and drive time T 90 of molybdenum dioxide.

以下、本発明の実施形態について説明する。なお、本発明は、以下の実施形態および実施例に限定されない。以下の説明では、特定の数値や特定の材料を例示する場合があるが、本発明の効果が得られる限り、他の数値や他の材料を適用してもよい。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described. Note that the present invention is not limited to the following embodiments and examples. In the following description, specific numerical values and specific materials may be exemplified, but other numerical values and other materials may be applied as long as the effect of the present invention is obtained.

[有機EL素子]
以下、本発明の第1および第2の有機EL素子に共通する事項について説明する。本発明の有機EL素子は、陽極と、陰極と、有機層とを備える。有機層は、陽極と陰極との間に配置されており、発光層を含む。陽極のうち少なくとも有機層側は、透光性の酸化物半導体層からなる。そして、酸化物半導体層と有機層との間には、二酸化モリブデン層が配置されている。すなわち、本発明の有機EL素子は、酸化物半導体層/二酸化モリブデン層/有機層という積層構造を有する。なお、典型的な一例では、二酸化モリブデン層が不均一に形成されており、酸化物半導体層と有機層との界面において、酸化物半導体層と有機層とが部分的に接触している。
[Organic EL device]
Hereinafter, matters common to the first and second organic EL elements of the present invention will be described. The organic EL device of the present invention includes an anode, a cathode, and an organic layer. The organic layer is disposed between the anode and the cathode and includes a light emitting layer. At least the organic layer side of the anode is made of a light-transmitting oxide semiconductor layer. A molybdenum dioxide layer is disposed between the oxide semiconductor layer and the organic layer. That is, the organic EL element of the present invention has a laminated structure of oxide semiconductor layer / molybdenum dioxide layer / organic layer. Note that in a typical example, the molybdenum dioxide layer is formed non-uniformly, and the oxide semiconductor layer and the organic layer are in partial contact at the interface between the oxide semiconductor layer and the organic layer.

酸化物半導体の好ましい例としては、ITO(Indium Tin Oxide:酸化インジウム錫)、アルミニウムを添加した酸化亜鉛(AZO)、およびインジウムを添加した酸化亜鉛(IZO)が挙げられる。これらの材料で形成された膜は、透明導電膜と呼ばれることもある。これらの中でもITOは、良好な特性が得られるため好ましい。   Preferable examples of the oxide semiconductor include ITO (Indium Tin Oxide), zinc oxide added with aluminum (AZO), and zinc oxide added with indium (IZO). A film formed of these materials is sometimes called a transparent conductive film. Among these, ITO is preferable because good characteristics can be obtained.

陽極は、ホールを注入するための電極である。陽極は、酸化物半導体層のみで形成されてもよい。陽極の典型的な一例は、ITOや、アルミニウムを添加した酸化亜鉛(AZO)や、インジウムを添加した酸化亜鉛(IZO)のみで形成されている。ただし、陽極は多層膜で形成されてもよい。たとえば、アルミニウムなどの金属層と、その上に形成された酸化物半導体層(AZO層、IZO層またはITO層)とを含む陽極を用いてもよい。   The anode is an electrode for injecting holes. The anode may be formed of only an oxide semiconductor layer. A typical example of the anode is made of only ITO, zinc oxide added with aluminum (AZO), or zinc oxide added with indium (IZO). However, the anode may be formed of a multilayer film. For example, an anode including a metal layer such as aluminum and an oxide semiconductor layer (AZO layer, IZO layer, or ITO layer) formed thereon may be used.

有機層は、実質的に有機化合物で構成される層である。ただし、有機層には、無機化合物(ドーパントなど)が添加されていてもよい。   The organic layer is a layer substantially composed of an organic compound. However, an inorganic compound (such as a dopant) may be added to the organic layer.

有機層は、発光層に加えて他の層を含んでもよい。たとえば、有機層は、ホール輸送層、電子輸送層および電子注入層から選ばれる少なくとも1つの層を含んでもよい。また、二酸化モリブデン層はホール注入層として機能すると考えられるが、本発明の効果が得られる限り、本発明の有機EL素子は、二酸化モリブデン層に加えて他のホール注入層を含んでもよい。それらの層は、陽極/ホール注入層/ホール輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極の順に積層される。なお、陽極(酸化物半導体層を含む)、陰極および発光層以外の層は状況によって省略可能である。これらは、基板(たとえば透明基板であり、たとえばガラス基板)の上に、陽極側から順に積層されてもよいし、陰極側から順に積層されてもよい。本発明の効果が得られる限り、これらの層の材料には特に限定がなく、たとえば公知の有機材料を用いることができる。   The organic layer may include other layers in addition to the light emitting layer. For example, the organic layer may include at least one layer selected from a hole transport layer, an electron transport layer, and an electron injection layer. Although the molybdenum dioxide layer is considered to function as a hole injection layer, the organic EL device of the present invention may include another hole injection layer in addition to the molybdenum dioxide layer as long as the effects of the present invention are obtained. These layers are laminated in the order of anode / hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer / electron injection layer / cathode. Note that layers other than the anode (including the oxide semiconductor layer), the cathode, and the light-emitting layer can be omitted depending on circumstances. These may be laminated on a substrate (for example, a transparent substrate, for example, a glass substrate) in order from the anode side, or may be laminated in order from the cathode side. As long as the effect of the present invention can be obtained, the material of these layers is not particularly limited, and for example, a known organic material can be used.

発光層で生じた光が基板側から出射される場合には、基板として、透光性の材料からなる基板が用いられる。たとえば、ガラス基板や、ポリイミド基板などの樹脂基板を用いることができる。発光層で生じた光が基板側とは反対側から出射される場合には、基板は透光性であってもよいし、透光性でなくてもよい。   When light generated in the light emitting layer is emitted from the substrate side, a substrate made of a light-transmitting material is used as the substrate. For example, a glass substrate or a resin substrate such as a polyimide substrate can be used. In the case where light generated in the light emitting layer is emitted from the side opposite to the substrate side, the substrate may or may not be translucent.

ホール輸送層の材料としては、芳香族アミン誘導体を用いることができる。たとえば、トリフェニルアミン誘導体(TPD、α−NPD、β−NPD、MeO−TPD、TAPC)、フェニルアミン4量体(TPTE)、スターバースト型トリフェニルアミン誘導体(m−MTDADA、NATA、1−TNATA、2−TNATA)、スピロ型トリフェニルアミン誘導体(Spiro−TPD、Spiro−NPD、Spiro−TAD)、ルブレン、ペンタセン、銅フタロシアニン(CuPc)、チタニウムオキサイドフタロシアニン(TiOPc)、アルファ−セキシチオフェン(α−6T)を用いることができる。発光層の材料としては、たとえば、アルミノキノリノール錯体(Alq3)、カルバゾール誘導体(MCP、CBP、TCTA)、トリフェニルシリル誘導体(UGH2、UGH3)、イリジウム錯体(Ir(ppy)3、Ir(ppy)2(acac)、FIrPic、Fir6、Ir(piq)3、Ir(btp)2(acac))、ルブレン、クマリン誘導体(Coumarin6、C545T)、キナクリドン誘導体(DMQA)、ピラン誘導体(DCJTB)、ユーロピウム錯体(Eu(dbm)3(phen))が挙げられる。電子輸送層の材料としては、たとえば、キノリノール錯体(Alq3、BAlq、Liq)、オキサジアゾール誘導体(OXD−7、PBD)、トリアゾール誘導体(TAZ)、フェナントロリン誘導体(BCP、BPhen)、リンオキサイド誘導体(POPy2)、トリアジン誘導体(TRZ、DPT,MPT)が挙げられる。有機化合物からなる電子注入層の材料としては、たとえば、リチウムフェナンスリジオネート(Liph)が挙げられる。これらの材料は、それぞれの特性を考慮して選択され組み合わされる。なお、1つの化合物が、異なる構成を有する素子において異なる機能を奏する層の材料となる場合がある。たとえば、Alq3は、発光層の材料となることもあるし、電子輸送層の材料となることもあるし、発光層と電子輸送層とを兼ねる層の材料となることもある。 An aromatic amine derivative can be used as the material for the hole transport layer. For example, triphenylamine derivatives (TPD, α-NPD, β-NPD, MeO-TPD, TAPC), phenylamine tetramer (TPTE), starburst triphenylamine derivatives (m-MTDADA, NATA, 1-TNATA 2-TNATA), spiro-type triphenylamine derivatives (Spiro-TPD, Spiro-NPD, Spiro-TAD), rubrene, pentacene, copper phthalocyanine (CuPc), titanium oxide phthalocyanine (TiOPc), alpha-sexithiophene (α −6T) can be used. Examples of the material for the light emitting layer include an aluminoquinolinol complex (Alq 3 ), a carbazole derivative (MCP, CBP, TCTA), a triphenylsilyl derivative (UGH2, UGH3), an iridium complex (Ir (ppy) 3 , Ir (ppy) 2 (acac), FIrPic, Fir6, Ir (piq) 3 , Ir (btp) 2 (acac)), rubrene, coumarin derivatives (Coumarin6, C545T), quinacridone derivatives (DMQA), pyran derivatives (DCJTB), europium complexes ( Eu (dbm) 3 (phen)). Examples of the material for the electron transport layer include quinolinol complexes (Alq 3 , BAlq, Liq), oxadiazole derivatives (OXD-7, PBD), triazole derivatives (TAZ), phenanthroline derivatives (BCP, BPhen), and phosphorus oxide derivatives. (POPy 2 ) and triazine derivatives (TRZ, DPT, MPT). An example of the material for the electron injection layer made of an organic compound is lithium phenanthridionate (Liph). These materials are selected and combined in consideration of their characteristics. Note that one compound may be a material for a layer having different functions in elements having different structures. For example, Alq 3 may be a material for the light emitting layer, may be a material for the electron transport layer, or may be a material for a layer that serves as both the light emitting layer and the electron transport layer.

なお、本発明の有機EL素子は、無機物からなる無機層を含んでもよい。その無機層は、有機層を構成する各層の層間に配置されていてもよいし、有機層と電極(陽極および/または陰極)との間に配置されていてもよい。たとえば、電子注入層は、無機物からなる層であってもよい。電子注入層に用いることができる無機材料としては、たとえば、リチウム、セシウム、バリウム、カルシウム、ナトリウム、マグネシウム、フッ化リチウム、フッ化セシウム、酸化リチウムおよびセシウムカーボネート(Cs2CO3)が挙げられる。 The organic EL element of the present invention may include an inorganic layer made of an inorganic material. The inorganic layer may be disposed between the layers constituting the organic layer, or may be disposed between the organic layer and the electrode (anode and / or cathode). For example, the electron injection layer may be a layer made of an inorganic material. Examples of the inorganic material that can be used for the electron injection layer include lithium, cesium, barium, calcium, sodium, magnesium, lithium fluoride, cesium fluoride, lithium oxide, and cesium carbonate (Cs 2 CO 3 ).

陰極は、電子を注入するための電極である。陰極の材料としては、導電性を有する材料を用いることができ、たとえば、アルミニウム、銀、ネオジウム−アルミニウム合金、金−アルミニウム合金、マグネシウム−銀合金といった金属が挙げられる。陰極は、多層膜で形成されてもよい。   The cathode is an electrode for injecting electrons. As the material of the cathode, a conductive material can be used, and examples thereof include metals such as aluminum, silver, neodymium-aluminum alloy, gold-aluminum alloy, and magnesium-silver alloy. The cathode may be formed of a multilayer film.

本発明の典型的な一例では、発光層で生じた光が陽極側から出射される。ただし、本発明の効果が得られる限り、発光層で生じた光が陰極側から出射されてもよい。その場合には、陰極は、透光性の導電性材料(たとえば上述した酸化物半導体や膜厚の薄い金属電極)で形成される。   In a typical example of the present invention, light generated in the light emitting layer is emitted from the anode side. However, as long as the effect of the present invention is obtained, the light generated in the light emitting layer may be emitted from the cathode side. In that case, the cathode is formed of a light-transmitting conductive material (for example, the above-described oxide semiconductor or thin metal electrode).

本発明の有機EL素子の一例では、有機層のうち陽極に隣接する層(陽極に最も近い層)はホール輸送層である。その場合には、二酸化モリブデン層は、陽極とホール輸送層との間に配置される。本発明の有機EL素子の他の一例では、有機層のうち陽極に隣接する層は発光層である。その場合には、二酸化モリブデン層は、陽極と発光層との間に配置される。本発明の有機EL素子の一例では、有機層が、陽極に隣接するホール輸送層を含み、そのホール輸送層がα−NPDからなる。すなわち、その一例では、有機層に含まれる層のうち陽極に最も近い層がα−NPDからなる。また、有機層に含まれる層のうち陽極に最も近い層は、α−NPD、TPD、2−TNATA、α−6T、およびCuPcからなる群より選ばれるいずれか1つからなるものであってもよく、それらからなる群より選ばれる少なくとも1つからなるものであってもよい。二酸化モリブデンと組み合わせるホール輸送層の材料として特に好ましいのは、α−NPD、TPD、および2−TNATAである。   In an example of the organic EL element of the present invention, the layer adjacent to the anode (the layer closest to the anode) in the organic layer is a hole transport layer. In that case, the molybdenum dioxide layer is disposed between the anode and the hole transport layer. In another example of the organic EL device of the present invention, the layer adjacent to the anode in the organic layer is a light emitting layer. In that case, the molybdenum dioxide layer is disposed between the anode and the light emitting layer. In an example of the organic EL element of the present invention, the organic layer includes a hole transport layer adjacent to the anode, and the hole transport layer is made of α-NPD. That is, in the example, the layer closest to the anode among the layers included in the organic layer is made of α-NPD. The layer closest to the anode among the layers included in the organic layer may be any one selected from the group consisting of α-NPD, TPD, 2-TNATA, α-6T, and CuPc. It may be composed of at least one selected from the group consisting of them. Particularly preferred materials for the hole transport layer in combination with molybdenum dioxide are α-NPD, TPD, and 2-TNATA.

一例では、二酸化モリブデン層は、組成式がMoO2で表される二酸化モリブデンからなる。しかし、二酸化モリブデン(MoO2)を原料とする気相成膜法によって二酸化モリブデン層を形成すると、酸素の割合が上記組成式よりも少なくなる場合がある。その場合も、形成される層は一般的に二酸化モリブデン層と呼ばれるため、この明細書では、組成式がMoOx(x≦2)で表される酸化モリブデンからなる層、たとえば、当該組成式のxを四捨五入すると2になるような酸化モリブデンからなる層を、二酸化モリブデン層という。典型的な一例では、本発明の二酸化モリブデン層は、組成式がMoO2(1.5≦x≦2)で表されるニ酸化モリブデンからなる。 In one example, the molybdenum dioxide layer is made of molybdenum dioxide whose composition formula is represented by MoO 2 . However, when a molybdenum dioxide layer is formed by a vapor deposition method using molybdenum dioxide (MoO 2 ) as a raw material, the proportion of oxygen may be lower than the above composition formula. Even in that case, since the formed layer is generally called a molybdenum dioxide layer, in this specification, a layer made of molybdenum oxide whose composition formula is represented by MoO x (x ≦ 2), for example, A layer made of molybdenum oxide that becomes 2 when x is rounded off is called a molybdenum dioxide layer. In a typical example, molybdenum dioxide layer of the present invention consists of two molybdenum oxide composition formula is represented by MoO 2 (1.5 ≦ x ≦ 2 ).

二酸化モリブデン層は、たとえば、MoO2を蒸着源とする真空蒸着法や、スパッタリング法などの気相成膜法で形成できる。なお、MoO2を蒸着源とする真空蒸着法で二酸化モリブデン層を形成した場合、形成される二酸化モリブデン層の酸素濃度が蒸着源(MoO2)の酸素濃度よりも減少し、上記MoOxで表される二酸化モリブデン層が形成される場合がある。 The molybdenum dioxide layer can be formed, for example, by a vapor deposition method such as a vacuum deposition method using MoO 2 as a deposition source or a sputtering method. In the case of forming the molybdenum dioxide layer by vacuum deposition to a MoO 2 deposition source, the oxygen concentration of the molybdenum dioxide layer formed reduced than the oxygen concentration of the deposition source (MoO 2), Table above MoO x A molybdenum dioxide layer may be formed.

[有機EL素子の製造方法]
本発明の有機EL素子の製造方法に限定はなく、たとえば公知の方法によって製造してもよい。有機層および無機層は、真空蒸着法やスパッタリング法といった気相成膜法で形成してもよい。また、有機層は、有機材料を含む溶液を塗布することによって形成してもよい。
[Method of manufacturing organic EL element]
There is no limitation in the manufacturing method of the organic EL element of this invention, For example, you may manufacture by a well-known method. The organic layer and the inorganic layer may be formed by a vapor deposition method such as a vacuum deposition method or a sputtering method. The organic layer may be formed by applying a solution containing an organic material.

[第1の有機EL素子における二酸化モリブデン層]
本発明の第1の有機EL素子は、二酸化モリブデン層を厚さが均一な層であると仮定したときの二酸化モリブデン層の厚さが2nm以下であることを特徴とする。以下、二酸化モリブデン層を厚さが均一な層であると仮定したときの二酸化モリブデン層の厚さを、「仮想厚さ」という場合がある。仮想厚さは、0.1nm以上や0.25nm以上であってもよく、また、2nm未満や1.5nm以下や1nm以下や0.5nm以下であってもよい。たとえば、仮想厚さは、0.25nm〜1nmの範囲や、0.25nm〜0.5nmの範囲にあってもよい。
[Molybdenum dioxide layer in the first organic EL element]
The first organic EL element of the present invention is characterized in that the molybdenum dioxide layer has a thickness of 2 nm or less when the molybdenum dioxide layer is assumed to be a uniform layer. Hereinafter, the thickness of the molybdenum dioxide layer when the molybdenum dioxide layer is assumed to be a uniform layer may be referred to as a “virtual thickness”. The virtual thickness may be 0.1 nm or more, 0.25 nm or more, and may be less than 2 nm, 1.5 nm or less, 1 nm or less, or 0.5 nm or less. For example, the virtual thickness may be in the range of 0.25 nm to 1 nm or in the range of 0.25 nm to 0.5 nm.

酸化物半導体層と有機層との間に二酸化モリブデン層を配置することによって、駆動電圧の低減と長寿命化が可能であるが、二酸化モリブデン層の仮想厚さを2nm以下とすることによって、特に長寿命化が可能である。二酸化モリブデン層による長寿命化の効果は、二酸化モリブデン層の仮想厚さが1nm以下(たとえば0.25nm〜1nm)の場合に顕著になり、0.5nm以下(たとえば0.25nm〜0.5nm)の場合に特に顕著になる。   By disposing the molybdenum dioxide layer between the oxide semiconductor layer and the organic layer, the driving voltage can be reduced and the life can be extended. However, by setting the virtual thickness of the molybdenum dioxide layer to 2 nm or less, Long life is possible. The effect of extending the life due to the molybdenum dioxide layer becomes significant when the virtual thickness of the molybdenum dioxide layer is 1 nm or less (for example, 0.25 nm to 1 nm), and is 0.5 nm or less (for example, 0.25 nm to 0.5 nm). This is particularly noticeable.

二酸化モリブデン層は、たとえば、蒸着法やスパッタリング法といった気相成膜法で形成してもよい。二酸化モリブデン層を、その厚さを測定しながら形成することは難しい場合がある。そのため、気相成膜法で二酸化モリブデン層を形成する場合には、予め成膜速度を測定しておき、その成膜速度から成膜すべき時間を算出し、その時間だけ成膜することによって二酸化モリブデン層の厚さを制御してもよい。実施例では、この方法で見積もられた二酸化モリブデン層の厚さを「仮想厚さ」としている。   The molybdenum dioxide layer may be formed by, for example, a vapor deposition method such as a vapor deposition method or a sputtering method. It may be difficult to form a molybdenum dioxide layer while measuring its thickness. Therefore, when a molybdenum dioxide layer is formed by a vapor deposition method, the film formation rate is measured in advance, the time for film formation is calculated from the film formation rate, and the film is formed only for that time. The thickness of the molybdenum dioxide layer may be controlled. In the embodiment, the thickness of the molybdenum dioxide layer estimated by this method is defined as “virtual thickness”.

本発明の第1の有機EL素子では、酸化物半導体層と有機層との界面に二酸化モリブデン層が形成されている。この二酸化モリブデン層は、酸化物半導体層と有機層とが部分的に接触するように、酸化物半導体層と有機層との界面に不均一に形成されていてもよい。二酸化モリブデン層が不均一に形成されている状態の例については、第2の有機EL素子の説明において述べる。   In the first organic EL element of the present invention, a molybdenum dioxide layer is formed at the interface between the oxide semiconductor layer and the organic layer. The molybdenum dioxide layer may be formed non-uniformly at the interface between the oxide semiconductor layer and the organic layer so that the oxide semiconductor layer and the organic layer are in partial contact. An example of a state in which the molybdenum dioxide layer is formed unevenly will be described in the description of the second organic EL element.

[第2の有機EL素子における二酸化モリブデン層]
本発明の第2の有機EL素子は、酸化物半導体層と有機層との界面に、酸化物半導体層と有機層とが部分的に接触するように不均一に形成された二酸化モリブデン層が配置されていることを特徴とする。
[Molybdenum dioxide layer in second organic EL element]
In the second organic EL device of the present invention, a molybdenum dioxide layer that is non-uniformly formed so that the oxide semiconductor layer and the organic layer are in partial contact with each other is disposed at the interface between the oxide semiconductor layer and the organic layer. It is characterized by being.

第2の有機EL素子では、酸化物半導体層と有機層との界面には、二酸化モリブデン層が不均一に形成されている。すなわち、第2の有機EL素子では、二酸化モリブデン層は、酸化物半導体層と有機層との界面の全体に形成されているのではなく、その界面の一部のみに形成されている。二酸化モリブデン層は、酸化物半導体層と有機層との界面(酸化物半導体層の表面)において、島状に形成されていてもよい。また、二酸化モリブデン層が形成されている部分と二酸化モリブデン層が形成されていない部分とが、まだらになるように形成されていてもよい。   In the second organic EL element, a molybdenum dioxide layer is unevenly formed at the interface between the oxide semiconductor layer and the organic layer. That is, in the second organic EL element, the molybdenum dioxide layer is not formed on the entire interface between the oxide semiconductor layer and the organic layer, but only on a part of the interface. The molybdenum dioxide layer may be formed in an island shape at the interface between the oxide semiconductor layer and the organic layer (the surface of the oxide semiconductor layer). Further, the portion where the molybdenum dioxide layer is formed and the portion where the molybdenum dioxide layer is not formed may be formed so as to be mottled.

第2の有機EL素子では、二酸化モリブデン層が形成されている部分が均一に分散していることが好ましい。たとえば、酸化物半導体層と有機層との界面において、任意に10μm角(好ましくは0.5μm角)の領域を選択したときに、二酸化モリブデン層が形成されている領域と二酸化モリブデン層が形成されていない領域とが必ず含まれるように、それらの領域が均一に分散していることが好ましい。   In the second organic EL element, it is preferable that the portion where the molybdenum dioxide layer is formed is uniformly dispersed. For example, when a region of 10 μm square (preferably 0.5 μm square) is arbitrarily selected at the interface between the oxide semiconductor layer and the organic layer, the region where the molybdenum dioxide layer is formed and the molybdenum dioxide layer are formed. It is preferable that these regions are uniformly dispersed so that the regions are not necessarily included.

二酸化モリブデン層は不均一に形成されているため、その厚さは一定ではない。しかし、不均一な厚さの二酸化モリブデン層をならして均一な厚さの層にしたと仮定したときの二酸化モリブデン層の厚さ(上記「仮想厚さ」)は2nm以下である。仮想厚さは、0.1nm以上や0.25nm以上であってもよく、また、2nm未満や1.5nm以下や1nm以下や0.5nm以下であってもよい。たとえば、仮想厚さは、0.25nm〜1nmの範囲や、0.25nm〜0.5nmの範囲にあってもよい。   Since the molybdenum dioxide layer is formed unevenly, its thickness is not constant. However, the thickness of the molybdenum dioxide layer (the “imaginary thickness”) is 2 nm or less when it is assumed that the molybdenum dioxide layer having a non-uniform thickness is leveled into a uniform thickness layer. The virtual thickness may be 0.1 nm or more, 0.25 nm or more, and may be less than 2 nm, 1.5 nm or less, 1 nm or less, or 0.5 nm or less. For example, the virtual thickness may be in the range of 0.25 nm to 1 nm or in the range of 0.25 nm to 0.5 nm.

第2の有機EL素子では、二酸化モリブデン層が陽極の全面に形成されていないことが重要である。現在のところ詳細は明らかではないが、二酸化モリブデン層が陽極の表面に点在することによって、予想外の効果が得られると考えられる。そのため、二酸化モリブデン層が均一な膜とならないように、二酸化モリブデン層をごく薄く形成することが重要であると考えられる。   In the second organic EL element, it is important that the molybdenum dioxide layer is not formed on the entire surface of the anode. Although the details are not clear at present, it is thought that an unexpected effect can be obtained by the molybdenum dioxide layer being scattered on the surface of the anode. Therefore, it is considered important to form a very thin molybdenum dioxide layer so that the molybdenum dioxide layer does not become a uniform film.

第2の有機EL素子の製造において、二酸化モリブデン層を不均一に形成できる限り、二酸化モリブデン層の形成方法に特に限定はない。二酸化モリブデン層は、たとえば、蒸着法やスパッタリング法といった気相成膜法で形成してもよい。真空蒸着法で薄い層(たとえば厚さ1nm以下)を形成すると、不均一な層が形成されると考えられる。   In the production of the second organic EL element, the method for forming the molybdenum dioxide layer is not particularly limited as long as the molybdenum dioxide layer can be formed unevenly. The molybdenum dioxide layer may be formed by, for example, a vapor deposition method such as a vapor deposition method or a sputtering method. When a thin layer (for example, 1 nm or less in thickness) is formed by a vacuum evaporation method, it is considered that a non-uniform layer is formed.

実施例では、有機EL素子を作製して特性を評価した。作製した有機EL素子10の構造を、図1に模式的に示す。有機EL素子10は、ガラス基板11、ITO層12(厚さ150nm)、二酸化モリブデン層13、α−NPD層14(厚さ60nm)、Alq3層15(厚さ65nm)、LiF層16(厚さ0.5nm)、およびAl層17(厚さ100nm)を含む。なお、図1では、二酸化モリブデン層13を厚さが均一な層として模式的に示している。 In the examples, organic EL elements were produced and their characteristics were evaluated. The structure of the produced organic EL element 10 is schematically shown in FIG. The organic EL element 10 includes a glass substrate 11, an ITO layer 12 (thickness 150 nm), a molybdenum dioxide layer 13, an α-NPD layer 14 (thickness 60 nm), an Alq 3 layer 15 (thickness 65 nm), and a LiF layer 16 (thickness). 0.5 nm), and an Al layer 17 (thickness 100 nm). In FIG. 1, the molybdenum dioxide layer 13 is schematically shown as a layer having a uniform thickness.

α−NPD層14およびAlq3層15は、有機層20を構成する。二酸化モリブデン層13は、ITO層12(陽極)とホール輸送層として機能するα−NPD層14との間に配置されている。発光層の材料には、Alq3(アルミノキノリノール錯体)を用いた。発光層で生じた光は、ITO層12およびガラス基板11を通って素子の外部に出射された。有機EL素子10では、二酸化モリブデン層13に隣接する有機層の材料として、α−NPDを用いた。α−NPDの構造を図2に示す。 alpha-NPD layer 14 and the Alq 3 layer 15, the organic layer 20. The molybdenum dioxide layer 13 is disposed between the ITO layer 12 (anode) and the α-NPD layer 14 functioning as a hole transport layer. Alq 3 (aluminoquinolinol complex) was used as the material of the light emitting layer. The light generated in the light emitting layer was emitted to the outside of the device through the ITO layer 12 and the glass substrate 11. In the organic EL element 10, α-NPD was used as the material of the organic layer adjacent to the molybdenum dioxide layer 13. The structure of α-NPD is shown in FIG.

有機層は圧力1×10-4〜4×10-4Paにおいて真空蒸着法で形成した。無機層(MoO2層を含む)は、圧力1×10-3〜3×10-3Paにおいて真空蒸着法で形成した。二酸化モリブデン層は、MoO2の粉末を材料とする真空蒸着法によって形成した。 The organic layer was formed by a vacuum deposition method at a pressure of 1 × 10 −4 to 4 × 10 −4 Pa. The inorganic layer (including the MoO 2 layer) was formed by a vacuum deposition method at a pressure of 1 × 10 −3 to 3 × 10 −3 Pa. The molybdenum dioxide layer was formed by a vacuum evaporation method using MoO 2 powder as a material.

二酸化モリブデン層の蒸着速度は0.05nm/秒とした。二酸化モリブデン層の蒸着速度は、予め、蒸着速度測定用の厚い膜を形成して求めておいた。   The deposition rate of the molybdenum dioxide layer was 0.05 nm / second. The deposition rate of the molybdenum dioxide layer was obtained in advance by forming a thick film for measuring the deposition rate.

二酸化モリブデン層の厚さは、0nm〜10nmの範囲で変化させた。なお、ここでいう「二酸化モリブデン層の厚さ」とは、前述の「仮想厚さ」であり、二酸化モリブデン層を、厚さが均一で凹凸がない層にならしたと仮定したときの厚さである。たとえば、仮想厚さが0.25nmの二酸化モリブデン層は、二酸化モリブデン層が5秒間だけITO層上に堆積するように蒸着装置のシャッターを操作して形成した。二酸化モリブデンの蒸着速度が0.05nm/秒であったため、厚さが均一で凹凸がない層が形成されたと仮定すると、その厚さは0.25nmとなる。実際には均一な厚さの層は形成されず、ITO層上には二酸化モリブデン層が形成されている領域と二酸化モリブデン層が形成されていない領域とが存在すると考えられるが、それらを均一にならしたと仮定すると厚さは0.25nmである。ただし、二酸化モリブデン層は、ある程度以上の厚さになるとほぼ均一に隙間なく形成されると考えられる。   The thickness of the molybdenum dioxide layer was changed in the range of 0 nm to 10 nm. Here, the “thickness of the molybdenum dioxide layer” is the above-mentioned “virtual thickness”, and the thickness when the molybdenum dioxide layer is assumed to be a uniform layer without unevenness. It is. For example, the molybdenum dioxide layer having a virtual thickness of 0.25 nm was formed by operating the shutter of the vapor deposition apparatus so that the molybdenum dioxide layer was deposited on the ITO layer for 5 seconds. Since the deposition rate of molybdenum dioxide was 0.05 nm / second, assuming that a layer having a uniform thickness and no unevenness was formed, the thickness was 0.25 nm. Actually, a layer having a uniform thickness is not formed, and it is considered that a region where the molybdenum dioxide layer is formed and a region where the molybdenum dioxide layer is not formed exist on the ITO layer. Assuming smoothing, the thickness is 0.25 nm. However, it is considered that the molybdenum dioxide layer is formed almost uniformly without gaps when the thickness exceeds a certain level.

作製した有機EL素子について、50mA/cm2の電流密度で素子を駆動させたときの駆動電圧を測定した。二酸化モリブデン層の仮想厚さと駆動電圧との関係を図3に示す。図3には、二酸化モリブデン層の仮想厚さが0nm(二酸化モリブデン層なし)、0.25nm、0.5nm、0.75nm、1.0nm、1.5nm、2.0nm、5nm、および10nmの場合の結果を示す。図3に示すように、仮想厚さが0.25nm以上の二酸化モリブデン層を形成することによって、駆動電圧が大きく低下した。 About the produced organic EL element, the drive voltage when an element was driven with the current density of 50 mA / cm < 2 > was measured. FIG. 3 shows the relationship between the virtual thickness of the molybdenum dioxide layer and the driving voltage. FIG. 3 shows that the virtual thickness of the molybdenum dioxide layer is 0 nm (no molybdenum dioxide layer), 0.25 nm, 0.5 nm, 0.75 nm, 1.0 nm, 1.5 nm, 2.0 nm, 5 nm, and 10 nm. The result of the case is shown. As shown in FIG. 3, the drive voltage was greatly reduced by forming a molybdenum dioxide layer having a virtual thickness of 0.25 nm or more.

作製した有機EL素子について、50mA/cm2の電流密度で素子を駆動させたときのエネルギー変換効率を求めた。二酸化モリブデン層の仮想厚さとエネルギー変換効率との関係を図4に示す。図4には、二酸化モリブデン層の仮想厚さが0nm(二酸化モリブデン層なし)、0.25nm、0.5nm、0.75nm、1.0nm、1.5nm、2.0nm、5nm、および10nmの場合の結果を示す。 About the produced organic EL element, the energy conversion efficiency when driving an element with the current density of 50 mA / cm < 2 > was calculated | required. FIG. 4 shows the relationship between the virtual thickness of the molybdenum dioxide layer and the energy conversion efficiency. In FIG. 4, the hypothetical thickness of the molybdenum dioxide layer is 0 nm (no molybdenum dioxide layer), 0.25 nm, 0.5 nm, 0.75 nm, 1.0 nm, 1.5 nm, 2.0 nm, 5 nm, and 10 nm. The result of the case is shown.

図4に示すように、二酸化モリブデン層を用いることによって、エネルギー変換効率が向上した。これは、駆動電圧が低減されたためであると考えられる。エネルギー変換効率は、二酸化モリブデン層の仮想厚さが0.25nm〜5nmの範囲にあるときに特に高かった。   As shown in FIG. 4, the energy conversion efficiency was improved by using the molybdenum dioxide layer. This is considered to be because the drive voltage was reduced. The energy conversion efficiency was particularly high when the virtual thickness of the molybdenum dioxide layer was in the range of 0.25 nm to 5 nm.

作製した有機EL素子を50mA/cm2の定電流で駆動し、寿命特性を評価した。二酸化モリブデン層の仮想厚さが0nm、0.25nm、0.5nm、0.75nm、1.0nm、1.5nm、2.0nm、5.0nmおよび10nmの場合の評価結果を図5に示す。図5の横軸は、駆動時間を示している。また、縦軸は、初期の輝度に対する輝度の維持率を示している。なお、仮想厚さが0.75nmの素子は仮想厚さが1.0nmの素子と同様の経過を示した。また、仮想厚さが1.5nmの素子は、仮想厚さが2.0nmの素子と同様の経過を示した。また、仮想厚さが5.0nmの素子は、仮想厚さが10nmの素子と同様の経過を示した。 The organic EL device produced was driven at a constant current of 50 mA / cm 2, were evaluated life characteristics. FIG. 5 shows the evaluation results when the virtual thickness of the molybdenum dioxide layer is 0 nm, 0.25 nm, 0.5 nm, 0.75 nm, 1.0 nm, 1.5 nm, 2.0 nm, 5.0 nm, and 10 nm. The horizontal axis in FIG. 5 indicates the drive time. The vertical axis represents the luminance maintenance rate with respect to the initial luminance. The device having a virtual thickness of 0.75 nm showed the same process as the device having a virtual thickness of 1.0 nm. In addition, the device having a virtual thickness of 1.5 nm showed the same progress as the device having a virtual thickness of 2.0 nm. In addition, the device having the virtual thickness of 5.0 nm showed the same progress as the device having the virtual thickness of 10 nm.

輝度が初期の輝度の90%になるまでの駆動時間(以下、「駆動時間T90」という場合がある)と、二酸化モリブデン層の仮想厚さとの関係を図6に示す。図6には、二酸化モリブデン層の仮想厚さが0nm、0.25nm、0.5nm、0.75nm、1.0nm、1.5nm、2.0nm、5.0nm、および10nmの場合の結果を示す。また、二酸化モリブデン層の仮想厚さと駆動時間T90との関係を表1に示す。 FIG. 6 shows the relationship between the driving time until the luminance reaches 90% of the initial luminance (hereinafter sometimes referred to as “driving time T 90 ”) and the virtual thickness of the molybdenum dioxide layer. FIG. 6 shows the results when the virtual thickness of the molybdenum dioxide layer is 0 nm, 0.25 nm, 0.5 nm, 0.75 nm, 1.0 nm, 1.5 nm, 2.0 nm, 5.0 nm, and 10 nm. Show. The relation between the virtual thickness and drive time T 90 of the molybdenum dioxide layer in Table 1.

評価した条件において、二酸化モリブデン層を形成することによって駆動時間T90が長くなった。駆動時間T90は、二酸化モリブデン層の仮想厚さが2.0nm以下の場合により長くなり、1.0nm以下の場合にさらに長くなり、0.5nm以下の場合に特に長くなった。駆動時間T90は、仮想厚さが0.25nmの場合に最も長くなった。二酸化モリブデン層の仮想厚さが2.0nm以下である場合には、二酸化モリブデン層を形成しなかった場合に比べて、駆動時間T90が約3倍以上になった。また、二酸化モリブデン層の仮想厚さが0.25nm〜2.0nmの範囲にある場合、二酸化モリブデン層の仮想厚さが10nmである場合に比べて、駆動時間T90を1.5倍以上にすることができた。また、二酸化モリブデン層の仮想厚さが0.25nm〜0.5nmの範囲にある場合、二酸化モリブデン層の仮想厚さが10nmである場合に比べて、駆動時間T90を2倍以上にすることができた。 Under the conditions evaluated, the drive time T90 was increased by forming the molybdenum dioxide layer. Driving time T 90, the virtual thickness of the molybdenum dioxide layer is increased by the following cases 2.0 nm, made longer if: 1.0 nm, was particularly long in the case of 0.5nm or less. Drive time T 90, the virtual thickness becomes longest in the case of 0.25 nm. When the virtual thickness of the molybdenum dioxide layer was 2.0 nm or less, the driving time T90 was about three times or more compared with the case where the molybdenum dioxide layer was not formed. Further, when the virtual thickness of the molybdenum dioxide layer is in the range of 0.25 nm to 2.0 nm, the driving time T 90 is 1.5 times or more compared to the case where the virtual thickness of the molybdenum dioxide layer is 10 nm. We were able to. Further, when the virtual thickness of the molybdenum dioxide layer is in the range of 0.25 nm to 0.5 nm, the driving time T 90 should be doubled or more compared to the case where the virtual thickness of the molybdenum dioxide layer is 10 nm. I was able to.

以上、本発明の実施の形態について例を挙げて説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されず本発明の技術的思想に基づき他の実施形態に適用することができる。   Although the embodiments of the present invention have been described above by way of examples, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be applied to other embodiments based on the technical idea of the present invention.

本発明は、有機EL素子に適用できる。本発明の有機EL素子は従来の有機EL素子に比べて、駆動電圧の低減および長寿命化が可能である。有機EL素子の長寿命化は有機EL素子の長年の課題であり、有機EL素子を利用する産業に本発明が与える影響は非常に大きい。本発明は、たとえば、有機EL素子を用いたディスプレイパネルなどに好ましく用いられる。   The present invention can be applied to an organic EL element. The organic EL element of the present invention can reduce the driving voltage and extend the life as compared with the conventional organic EL element. Extending the life of organic EL elements has been a long-standing issue for organic EL elements, and the present invention has a great influence on industries that use organic EL elements. The present invention is preferably used for, for example, a display panel using an organic EL element.

10 有機EL素子
11 ガラス基板
12 ITO層
13 二酸化モリブデン層
14 α−NPD層
15 Alq3
16 LiF層
17 Al層
20 有機層
10 Organic EL element 11 glass substrate 12 ITO layer 13 of molybdenum dioxide layer 14 alpha-NPD layer 15 Alq 3 layer 16 LiF layer 17 Al layer 20 organic layer

Claims (5)

陽極と、陰極と、前記陽極と前記陰極との間に配置され発光層を含む有機層とを備える有機EL素子であって、
前記陽極のうち少なくとも前記有機層側が、透光性の酸化物半導体層からなり、
前記酸化物半導体層と前記有機層との間に二酸化モリブデン層が配置されており、
前記二酸化モリブデン層を厚さが均一な層であると仮定したときの前記二酸化モリブデン層の厚さが2nm以下である、有機EL素子。
An organic EL device comprising an anode, a cathode, and an organic layer disposed between the anode and the cathode and including a light emitting layer,
At least the organic layer side of the anode is made of a light-transmitting oxide semiconductor layer,
A molybdenum dioxide layer is disposed between the oxide semiconductor layer and the organic layer;
An organic EL element in which the molybdenum dioxide layer has a thickness of 2 nm or less when the molybdenum dioxide layer is assumed to be a uniform layer.
前記酸化物半導体層がITO層である、請求項1に記載の有機EL素子。   The organic EL element according to claim 1, wherein the oxide semiconductor layer is an ITO layer. 前記二酸化モリブデン層を厚さが均一な層であると仮定したときの前記二酸化モリブデン層の厚さが0.25nm〜0.5nmの範囲にある、請求項1または2に記載の有機EL素子。   The organic EL element according to claim 1 or 2, wherein the molybdenum dioxide layer has a thickness in the range of 0.25 nm to 0.5 nm when the molybdenum dioxide layer is assumed to be a uniform layer. 陽極と、陰極と、前記陽極と前記陰極との間に配置され発光層を含む有機層とを備える有機EL素子であって、
前記陽極のうち少なくとも前記有機層側が、透光性の酸化物半導体層からなり、
前記酸化物半導体層と前記有機層との界面に、前記酸化物半導体層と前記有機層とが部分的に接触するように不均一に形成された二酸化モリブデン層が配置されている、有機EL素子。
An organic EL device comprising an anode, a cathode, and an organic layer disposed between the anode and the cathode and including a light emitting layer,
At least the organic layer side of the anode is made of a light-transmitting oxide semiconductor layer,
An organic EL element in which a molybdenum dioxide layer formed non-uniformly so that the oxide semiconductor layer and the organic layer are in partial contact with each other is disposed at an interface between the oxide semiconductor layer and the organic layer .
前記酸化物半導体層がITO層である、請求項4に記載の有機EL素子。   The organic EL element according to claim 4, wherein the oxide semiconductor layer is an ITO layer.
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