JP2010262222A - レンズアレイおよびこれを備えた光モジュール - Google Patents

Abstract

【課題】モニタ光を確実に得ることができるとともに製造の容易化を実現することができるレンズアレイおよびこれを備えた光モジュールを提供すること。
【解決手段】第１のレンズ面１１に入射した発光素子７からの光を第１の凹部１４の反射／透過面１５によって第２のレンズ面１２側および第３のレンズ面１３側に分光し、第３のレンズ面１３側に分光された光に含まれるモニタ光を第２の凹部１８の屈折面１９を経て第３のレンズ面１３によって第１の受光素子８側に出射させ、第１のレンズ面１１上の光軸と第３のレンズ面１３上の光軸とを互いに平行に形成し、第１のレンズ面１１上の光軸と第２のレンズ面１２上の光軸とを互いに平行または垂直に形成すること。
【選択図】図１

Description

本発明は、レンズアレイおよびこれを備えた光モジュールに係り、特に、複数の発光素子と複数の光ファイバの端面とを光学的に結合するのに好適なレンズアレイおよびこれを備えた光モジュールに関する。

近年、システム装置内または装置間もしくは光モジュール間において信号を高速に伝送する技術として、いわゆる光インターコネクションの適用が広まっている。ここで、光インターコネクションとは、光部品をあたかも電気部品のように扱って、パソコン、車両または光トランシーバなどに用いられるマザーボードや回路基板等に実装する技術をいう。

このような光インターコネクションに用いられる光モジュールには、例えば、メディアコンバータやスイッチングハブの内部接続、光トランシーバ、医療機器、テスト装置、ビデオシステム、高速コンピュータクラスタなどの装置内や装置間の部品接続等の様々な用途がある。

この種の光モジュールにおいては、発光素子から出射された通信情報を含む光を、レンズを介して光ファイバの端面に結合させることによって、光ファイバを介した通信情報の送信を行うようになっていた。

また、光モジュールの中には、双方向通信に対応すべく、光ファイバを介して伝搬されて光ファイバの端面から出射された通信情報を含む光を受光する受光素子を発光素子とともに備えたものもあった。

ここで、従来から、このような光モジュールにおいては、温度等の影響によって発光素子の光の出力特性が変化することにより、通信情報の適切な送信に支障を来たす虞があるといった問題が生じていた。

そこで、これまでにも、この種の光モジュールにおいては、発光素子の出力特性を安定させるべく発光素子から出射された光（特に、強度もしくは光量）をモニタ（監視）するための種々の技術が提案されていた。

例えば、特許文献１には、レンズ面（透過面部）の周辺に発光素子から発光された光の一部をモニタ光として受光素子側に反射させるための反射面（反射面部）を備えた光学素子が開示されている。

また、特許文献２には、レーザ源から出射された光の一部をマルチ境界面ビームスプリッタによってモニタ光として反射させ、反射させたモニタ光を検出器によって受光する光モジュールが開示されている。

さらに、特許文献３には、面発光レーザから出射されたレーザ光を光ファイバ側に全反射させる全反射ミラーと、面発光レーザから出射されたレーザ光の一部をモニタ光としてＰＤ側に反射させる切り欠き部とが連設された光学面を備えた光学ユニットが開示されている。

特開２００８−１５１８９４号公報 特表２００６−５２０４９１号公報 特開２００６−３４４９１５号公報

しかしながら、特許文献１に記載の構成には、マルチチャンネルの光通信をコンパクトな構成で実現しようとする場合に有効に適用することが難しいといった問題点があった。すなわち、近年においては、マルチチャンネルの光通信を実現させる小型の光学部品として、複数のレンズを所定の整列方向に整列させたレンズアレイの需要が益々高まりつつある。この種のレンズアレイでは、複数の発光素子が整列された発光装置を、各発光素子がレンズアレイの入射側の各レンズ面に対向するように配置するとともに、複数の光ファイバをレンズアレイの出射側の各レンズ面に対向するように配置して、各発光素子から出射された光をレンズアレイの各レンズによって各光ファイバの端面に光学的に結合させることにより、マルチチャンネルの光通信（送信）を行うようになっていた。そして、このようなレンズアレイにおいても、発光素子から出射された光をモニタすることは光通信の安定性を確保する観点から非常に重要であるところ、このようなレンズアレイは、各レンズの１つ１つが非常に小径に形成されているばかりでなく、互いに隣位する各レンズ同士が非常に狭ピッチに形成されているため、特許文献１に記載の構成をレンズアレイに適用してレンズの周辺にモニタ光を反射させるための反射面を形成することは困難であった。

また、特許文献２に記載の構成は、レーザ源に臨むコリメートレンズの光軸と光検出器に臨む集束レンズの光軸とが互いに平行ではなく鋭角をなしているため、レーザ源および光検出器が搭載された基板と集積光モジュールとを、レーザ源と光検出器とを結ぶ光路が適切に確保された状態に配置する必要上、集積光モジュールに極めて高い寸法精度が求められていた。すなわち、特許文献２に記載の構成には、製造が困難であるといった問題点があった。

さらに、特許文献３に記載の構成は、全反射ミラーと切り欠き部との境界の位置精度が要求されるため、特許文献２に記載の構成と同様に、製造が困難であるといった問題点を有していた。

そこで、本発明は、このような問題点に鑑みなされたものであり、モニタ光を確実に得ることができるとともに製造の容易化を実現することができるレンズアレイおよびこれを備えた光モジュールを提供することを目的とするものである。

前述した目的を達成するため、本発明の請求項１に係るレンズアレイの特徴は、光を発光する複数の発光素子が整列形成されるとともに前記複数の発光素子の少なくとも１つから発光された光をモニタするためのモニタ光を受光する少なくとも１つの第１の受光素子が形成された光電変換装置と、前記複数の発光素子に対応する複数の第１の光ファイバとの間に配置され、前記複数の発光素子と前記複数の第１の光ファイバの端面とを光学的に結合可能とされたレンズアレイであって、レンズアレイ本体における前記光電変換装置に臨む第１の面に、前記複数の発光素子に対応する所定の整列方向に整列するように形成され、前記複数の発光素子ごとに発光された光がそれぞれ入射する前記発光素子と同数の複数の第１のレンズ面と、前記レンズアレイ本体における前記第１の光ファイバの端面に臨む第２の面に、前記第１のレンズ面の整列方向に沿って整列するように形成され、前記複数の第１のレンズ面にそれぞれ入射した光を、前記複数の第１の光ファイバの端面に向けてそれぞれ出射させる前記第１のレンズ面と同数の複数の第２のレンズ面と、前記レンズアレイ本体における前記第１の面に形成され、前記レンズアレイ本体の内部側から入射した前記モニタ光を前記第１の受光素子に向けて出射させる前記第１の受光素子と同数の少なくとも１つの第３のレンズ面と、前記レンズアレイ本体に、前記第１のレンズ面と前記第２のレンズ面とを結ぶ光路上に位置するように凹入形成された第１の凹部と、この第１の凹部における側面の一部をなし、前記複数の第１のレンズ面に入射した光を所定の反射率で前記第３のレンズ面側に反射させるとともに所定の透過率で前記第２のレンズ面に向かう光路側に屈折させつつ透過させ、その際に、前記複数の第１のレンズ面の少なくとも１つに入射した光を前記モニタ光として反射させる反射／透過面と、前記レンズアレイ本体に、前記第１のレンズ面と前記第３のレンズ面とを結ぶ光路上に位置するように凹入形成された第２の凹部と、この第２の凹部における側面の一部をなし、前記反射／透過面によって反射された光を屈折させることによって前記モニタ光を前記第３のレンズ面に入射させる屈折面とを備え、前記複数の第１のレンズ面上の光軸が互いに平行に形成され、前記複数の第２のレンズ面上の光軸が互いに平行に形成され、前記第１のレンズ面上の光軸と前記第３のレンズ面上の光軸とが互いに平行に形成され、前記第１のレンズ面上の光軸と前記第２のレンズ面上の光軸とが互いに平行または垂直に形成されている点にある。

そして、この請求項１に係る発明によれば、第１のレンズ面に入射した発光素子からの光を第１の凹部の反射／透過面によって第２のレンズ面側および第３のレンズ面側にそれぞれ分光し、第３のレンズ面側に分光された光に含まれるモニタ光を第２の凹部の屈折面を経て第３のレンズ面によって第１の受光素子側に出射させるように構成するとともに、第１のレンズ面上の光軸と第３のレンズ面上の光軸とを互いに平行に形成し、第１のレンズ面上の光軸と第２のレンズ面上の光軸とを互いに平行または垂直に形成することによって、モニタ光を確実に得ることができるとともに、発光素子と第１の受光素子とを結ぶ光路および発光素子と第１の光ファイバの端面とを結ぶ光路を確保するためにレンズアレイに要求される寸法精度を緩和することにより、製造の容易化を実現することができる。

また、請求項２に係るレンズアレイの特徴は、請求項１において、更に、前記第１の面が、前記第１のレンズ面上の光軸に垂直な平坦面に形成され、前記第２の面が、前記第２のレンズ面上の光軸に垂直な平坦面に形成されている点にある。

そして、この請求項２に係る発明によれば、第１の面の形状および第２の面の形状を簡素化することができ、さらなる製造の容易化を実現することができる。

さらに、請求項３に係るレンズアレイの特徴は、請求項１または２において、更に、前記第２の凹部が、前記第１のレンズ面と前記第２のレンズ面とを結ぶ光路外に位置するように形成されている点にある。

そして、この請求項３に係る発明によれば、第１のレンズ面と第２のレンズ面とを結ぶ光路を、第２の凹部の存在を加味して設計する必要がないため、レンズアレイをさらに容易に製造することができる。

さらにまた、請求項４に係るレンズアレイの特徴は、請求項１〜３のいずれか１項において、更に、前記レンズアレイ本体における前記第２の面に臨む位置に、前記レンズアレイ本体に向けて光を出射させる第２の光ファイバが、前記第１の光ファイバとともに配置されるように形成され、前記光電変換装置が、前記第２の光ファイバから出射された光を受光する第２の受光素子を備えたものとされ、前記レンズアレイ本体における前記第２の面に、前記第２の光ファイバから出射された光が入射する第４のレンズ面が形成され、前記レンズアレイ本体における前記第１の面に、前記第４のレンズ面に入射した光を前記第２の受光素子に向かって出射させる第５のレンズ面が形成されている点にある。

そして、この請求項４に係る発明によれば、第２の光ファイバから出射されて第４のレンズ面に入射した光を第５のレンズ面によって第２の受光素子側に出射させることができるので、双方向通信に対応することができる。

また、請求項５に係るレンズアレイの特徴は、請求項４において、更に、前記第１の凹部および前記第２の凹部が、前記第４のレンズ面と前記第５のレンズ面とを結ぶ光路外に位置するように形成されている点にある。

そして、この請求項５に係る発明によれば、第４のレンズ面と第５のレンズ面とを結ぶ光路を、第１の凹部および第２の凹部の存在を加味して設計する必要がないため、双方向通信に対応するレンズアレイをさらに容易に製造することができる。

さらに、請求項６に係るレンズアレイの特徴は、請求項１〜５のいずれか１項において、更に、前記第１の凹部は、前記レンズアレイ本体における前記第１の凹部が形成された面の面法線方向から見た場合に、前記第１の凹部における底面および全側面が前記第１の凹部における開口部の外形によって示される範囲以内に収まるような形状に形成され、前記第２の凹部は、前記レンズアレイ本体における前記第２の凹部が形成された面の面法線方向から見た場合に、前記第２の凹部における底面および全側面が前記第２の凹部における開口部の外形によって示される範囲以内に収まるような形状に形成されている点にある。

そして、この請求項６に係る発明によれば、第１の凹部と第２の凹部とを金型からの離型性を確保することができる形状に形成することができるので、金型を用いた効率的な製造を実現することができる。

さらにまた、請求項７に係るレンズアレイの特徴は、請求項１〜６のいずれか１項において、更に、同一の材料を用いて一体的に形成されている点にある。

そして、この請求項７に係る発明によれば、レンズアレイをさらに簡便に製造することができるとともに、部品点数およびコストを削減することができる。

また、請求項８に係る光モジュールの特徴は、請求項１〜７に記載のレンズアレイと請求項１または４に記載の光電変換装置とを備えた点にある。

そして、この請求項８に係る発明によれば、モニタ光を確実に得ることができるとともに、発光素子と第１の受光素子とを結ぶ光路および発光素子と第１の光ファイバの端面とを結ぶ光路を確保するためにレンズアレイに要求される寸法精度を緩和することにより、製造の容易化を実現することができる。

本発明によれば、モニタ光を確実に得ることができるとともに製造の容易化を実現することができる。

本発明に係るレンズアレイおよびこれを備えた光モジュールの第１実施形態において、光モジュールの概要をレンズアレイの縦断面図とともに示す概略構成図 本発明に係るレンズアレイおよびこれを備えた光モジュールの第１実施形態において、レンズアレイを示す平面図 図２の右側面図 図２の左側面図 図２の下面図 本発明に係るレンズアレイおよびこれを備えた光モジュールの第２実施形態において、光モジュールの概要をレンズアレイの縦断面図とともに示す概略構成図 本発明に係るレンズアレイおよびこれを備えた光モジュールの第２実施形態において、レンズアレイを示す平面図 図７の右側面図 図７の左側面図 図７の下面図 本発明に係るレンズアレイおよびこれを備えた光モジュールの第３実施形態において、光モジュールの概要をレンズアレイの縦断面図とともに示す概略構成図 図１１の平面図 本発明に係るレンズアレイおよびこれを備えた光モジュールの第３実施形態において、レンズアレイを示す右側面図 本発明に係るレンズアレイおよびこれを備えた光モジュールの第３実施形態において、レンズアレイを示す左側面図 図１１の下面図 本発明に係るレンズアレイおよびこれを備えた光モジュールの第４実施形態において、光モジュールの概要をレンズアレイの縦断面図とともに示す概略構成図 本発明に係るレンズアレイおよびこれを備えた光モジュールの第４実施形態において、レンズアレイを示す平面図 図１７の下面図

（第１実施形態）
以下、本発明に係るレンズアレイおよびこれを備えた光モジュールの第１実施形態について、図１乃至図５を参照して説明する。

図１は、本実施形態における光モジュール１の概要を本実施形態におけるレンズアレイ２の縦断面図とともに示した概略構成図である。図２は、図１に示したレンズアレイ２の平面図である。図３は、図２の右側面図である。図４は、図２の左側面図である。図５は、図２の下面図である。

図１に示すように、本実施形態におけるレンズアレイ２は、光電変換装置３と光ファイバ（第１の光ファイバ）５との間に配置されるようになっている。

ここで、光電変換装置３は、半導体基板６におけるレンズアレイ２に臨む面に、この面に対して垂直方向（図１における左方向）にレーザ光Ｌを出射（発光）する複数の発光素子７を有しており、これらの発光素子７は、垂直共振器面発光レーザ（ＶＣＳＥＬ：Vertical Cavity Surface Emitting Laser）を構成している。なお、図１において、各発光素子７は、図１における紙面垂直方向に沿って整列形成されている。また、光電変換装置３は、半導体基板６におけるレンズアレイ２に臨む面であって、各発光素子７に対する図１の下部近傍位置に、各発光素子７からそれぞれ出射されたレーザ光Ｌの出力（例えば、強度や光量）をモニタするためのモニタ光Ｍを受光する発光素子７と同数の複数の受光素子（第１の受光素子）８を有している。なお、受光素子８は、発光素子７と同方向に整列形成されており、互いに対応する素子７，８同士の間で、整列方向における位置が互いに一致している。すなわち、受光素子８は、発光素子７と同一ピッチで形成されている。この受光素子８は、フォトディテクタであってもよい。さらに、図示はしないが、光電変換装置３には、受光素子８によって受光されたモニタ光Ｍに基づいて発光素子７から発光されるレーザ光Ｌの出力を制御する制御回路が接続されている。このような光電変換装置３は、その半導体基板６におけるレンズアレイ２に臨む面をレンズアレイ２の図示しない当接面に当接されるようにしてレンズアレイ２に対して対向配置されるようになっている。そして、この光電変換装置３は、公知の固定手段によってレンズアレイ２に取付けられるようになっている。

また、本実施形態における光ファイバ５は、発光素子７および受光素子８と同数配設されており、図１において、各光ファイバ５は、図１における紙面垂直方向に沿って整列形成されている。また、光ファイバ５は、発光素子７と同一ピッチで整列されている。各光ファイバ５は、その端面側の部位が多芯一括型のコネクタ１０内に保持された状態で公知の固定手段によってレンズアレイ２に取付けられるようになっている。

そして、レンズアレイ２は、このような光電変換装置３と光ファイバ５との間に配置された状態で、各発光素子７と各光ファイバ５の端面とを光学的に結合させるようになっている。

このレンズアレイ２についてさらに詳述すると、図１に示すように、レンズアレイ２は、レンズアレイ本体４を有しており、このレンズアレイ本体４は、その縦断面の外形がほぼ長方形状に形成され、また、図２に示すように、その平面形状がほぼ長方形状に形成され、さらに、図３および図４に示すように、その側面形状がほぼ台形状に形成されている。

図１〜図３および図５に示すように、レンズアレイ２は、レンズアレイ本体４における光電変換素装置３に臨む図１の右端面（第１の面）４ａに、発光素子７と同数の複数（８個）の平面円形状の第１のレンズ面（凸レンズ面）１１を有しており、各第１のレンズ面１１は、発光素子７に対応する所定の整列方向（図１における紙面垂直方向、図２、３における縦方向）に整列するように形成されている。これら複数の第１のレンズ面１１は、発光素子７と同一ピッチで形成されている。各第１のレンズ面１１には、各第１のレンズ面１１にそれぞれ対応する各発光素子７ごとに出射されたレーザ光Ｌが入射するようになっている。そして、各第１のレンズ面１１は、入射した各発光素子７ごとのレーザ光Ｌをそれぞれコリメートした上でレンズアレイ本体４の内部へと進行させるようになっている。

また、図１、図２および図４に示すように、レンズアレイ２は、レンズアレイ本体４における光ファイバ５の端面に臨む図１の左端面（第２の面）４ｂに、第１のレンズ面１１と同数の複数の第２のレンズ面（凸レンズ面）１２を有しており、各第２のレンズ面１２は、第１のレンズ面１１の整列方向と同方向に整列するように形成されている。これら複数の第２のレンズ面１２は、第１のレンズ面１１と同一ピッチで形成されている。各第２のレンズ面１２には、各第２のレンズ面１２に対応する各第１のレンズ面１１にそれぞれ入射してレンズアレイ本体４の内部の光路を進行してきた各発光素子７ごとのレーザ光Ｌがそれぞれ入射するようになっている。そして、各第２のレンズ面１２は、入射した各発光素子７ごとのレーザ光Ｌを、各第２のレンズ面１２に対応する各光ファイバ５の端面に向けてそれぞれ出射させるようになっている。

このようにして、各発光素子７と各光ファイバ５の端面とが第１のレンズ面１１および第２のレンズ面１２を介して光学的に結合されるようになっている。

さらに、図１〜３および図５に示すように、レンズアレイ本体４における右端面４ａであって第１のレンズ面１１に対する図１の下部近傍位置には、受光素子８と同数（本実施形態においては、発光素子７、光ファイバ５、第１のレンズ面１１および第２のレンズ面１２とも同数）の第３のレンズ面１３が形成されている。各第３のレンズ面１３は、受光素子８に対応する所定の整列方向すなわち第１のレンズ面１１の整列方向と同方向に整列するように形成されている。各第３のレンズ面１３は、各受光素子８と同一ピッチで形成されている。各第３のレンズ面１３には、レンズアレイ本体４の内部側から各第３のレンズ面１３にそれぞれ対応する各発光素子７ごとのモニタ光Ｍが入射するようになっている。そして、各第３のレンズ面１３は、入射した各発光素子７ごとのモニタ光Ｍを、各第３のレンズ面１３に対応する各受光素子８に向けてそれぞれ出射させるようになっている。

さらにまた、図１に示すように、レンズアレイ本体４における図１の上端面４ｃには、第１の凹部１４が、第１のレンズ面１１と第２のレンズ面１２とを結ぶ光路上に位置するように凹入形成されている。

図１に示すように、第１の凹部１４には、この第１の凹部１４における側面の一部（図１における右側面）をなす平坦な反射／透過面１５が形成されている。この反射／透過面１５は、図１における上端辺および下端辺が第１のレンズ面１１の整列方向に平行かつ上端辺が下端辺よりも光電変換素装置３側に位置し、さらに、反射／透過面１５の面法線が、レンズアレイ２の第１のレンズ面１１上の光軸ＯＡ（１）に対して傾きを有するような傾斜面に形成されている。この反射／透過面１５には、各第１のレンズ面１１に入射してレンズアレイ本体４の内部を進行した各発光素子７ごとのレーザ光Ｌがそれぞれ入射するようになっている。そして、反射／透過面１５は、入射した各発光素子７ごとのレーザ光Ｌを、フレネル反射によって所定の反射率で第３のレンズ面１３側に反射させるとともに所定の透過率で第２のレンズ面１２に向かう光路側に透過させるようになっている。その際に、反射／透過面１５は、各発光素子７ごとのレーザ光Ｌの一部（反射率分の光）を、各発光素子７にそれぞれ対応する各発光素子７ごとのモニタ光Ｍとして各モニタ光Ｍに対応する各第３のレンズ面１３側に向かって反射させるようになっている。なお、レンズアレイ２を、ポリエーテルイミドのみによって形成する場合には、反射／透過面１５は、第１のレンズ面１１側から入射したレーザ光Ｌを５．８８〔％〕の反射率（光量のロスとしては−１２．３〔ｄＢ〕）で反射し、残余のレーザ光Ｌを透過させることになる。また、反射／透過面１５によって透過される各発光素子７ごとのレーザ光Ｌは、スネルの法則によって屈折されるようになっている。

また、図１に示すように、第１の凹部１４には、反射／透過面１５に対するレーザ光Ｌの透過側の位置に、第１の凹部１４における側面の一部（図１における左側面）をなす平坦な第１の屈折面１６が形成されている。この第１の屈折面１６は、図１における上端辺および下端辺が第１のレンズ面１１の整列方向に平行かつ上端辺が下端辺よりも光ファイバ５側に位置し、さらに、屈折面１６の面法線が、レンズアレイ２の第２のレンズ面１２上の光軸ＯＡ（２）に対して傾きを有するような傾斜面に形成されている。なお、本実施形態においては、反射／透過面１５よりも第１の屈折面１６の方がレンズアレイ２の上端面４ｃとのなす角度が９０°に近くなっている。この第１の屈折面１６には、反射／透過面１５を透過して第１の凹部１４がなす空間（空気）内を進行してきた各発光素子７ごとのレーザ光Ｌが入射するようになっている。そして、第１の屈折面１６は、入射した各発光素子７ごとのレーザ光Ｌを、その進行方向が各発光素子７ごとのレーザ光Ｌにそれぞれ対応する各第２のレンズ面１２上の光軸ＯＡ（２）に一致するようにスネルの法則にしたがって屈折させて透過させるようになっている。なお、第１の屈折面１６によって屈折された各発光素子７ごとのレーザ光Ｌは、図１における横方向に平行な光として左方に進行するようになっている。そして、この第１の屈折面１６によって屈折された各発光素子７ごとのレーザ光Ｌは、各発光素子７ごとのレーザ光Ｌに対応する各第２のレンズ面１２にそれぞれ入射して、各第２のレンズ面１２によって各発光素子７ごとのレーザ光Ｌに対応する各光ファイバ５の端面に向けてそれぞれ出射されることにより、各光ファイバ５の端面にそれぞれ結合されることになる。

さらに、図１に示すように、レンズアレイ本体４における図１の下端面４ｄには、第２の凹部１８が、第１のレンズ面１１と第２のレンズ面１２とを結ぶ光路上に位置するように凹入形成されている。

図１に示すように、第２の凹部１８には、この第２の凹部１８における側面の一部（図１における左側面）をなす第２の屈折面１９が形成されている。この第２の屈折面１９は、図１における上端辺および下端辺が第３のレンズ面１３の整列方向に平行かつ上端辺が下端辺よりも光電変換素装置３側に位置し、さらに、第２の屈折面１９の面法線が、レンズアレイ２の第３のレンズ面１３上の光軸ＯＡ（３）に対して傾きを有するような傾斜面に形成されている。この第２の屈折面１９には、反射／透過面１５によって反射されてレンズアレイ本体４の内部を進行してきた各発光素子７ごとのモニタ光Ｍがそれぞれ入射するようになっている。そして、第２の屈折面１９は、入射した各発光素子７ごとのモニタ光Ｍを、その進行方向が各発光素子７ごとのモニタ光Ｍにそれぞれ対応する各第３のレンズ面１３上の光軸ＯＡ（３）に一致するようにスネルの法則にしたがって屈折させて透過させるようになっている。なお、このとき、第２の屈折面１９に入射した各発光素子７ごとのモニタ光Ｍは、フレネル反射に相当する光のロス（レンズアレイ２をポリエーテルイミドのみによって形成する場合には、−０．２６〔ｄＢ〕）が生じるが、大部分のモニタ光Ｍが第３のレンズ面１３側に向かって進行するようになっている。

また、図１に示すように、第２の凹部１８には、この第２の凹部１８における側面の一部（図１における右側面）をなす透過面２０が形成されている。この透過面２０は、その面法線が、第３のレンズ面１３上の光軸ＯＡ（３）に平行に形成されているとともに、レンズアレイ本体４における下端面４ｄに垂直に形成されている。この透過面２０には、第２の屈折面１９によって屈折されて第２の凹部１８がなす空間（空気）内を進行してきた各発光素子７ごとのモニタ光Ｍがそれぞれ透過面２０に垂直に入射するようになっている。そして、透過面２０は、入射した各発光素子７ごとのモニタ光Ｍを、各発光素子７ごとのモニタ光Ｍにそれぞれ対応する各第３のレンズ面１３側に向かって透過させるようになっている。このとき、透過面２０に入射した各発光素子７ごとのモニタ光Ｍは、フレネル反射に相当する光のロス（レンズアレイ２をポリエーテルイミドのみによって形成する場合には、−０．２６〔ｄＢ〕）が生じるが、大部分のモニタ光Ｍが第３のレンズ面１３側に向かって進行するようになっている。なお、本発明においては、必ずしも第２の屈折面１９のみによって各発光素子７ごとのモニタ光Ｍの進行方向を各第３のレンズ面１３上の光軸ＯＡ（３）に一致させる必要はなく、透過面２０の形状（傾き）を各発光素子７ごとのモニタ光Ｍを屈折させるように形成することによって、第２の屈折面１９と透過面２０との双方における屈折によって各発光素子７ごとのモニタ光Ｍの進行方向を各第３のレンズ面１３上の光軸ＯＡ（３）に一致させるようにしてもよい。

そして、透過面２０によって透過された各発光素子７ごとのモニタ光Ｍは、それぞれに対応する各第３のレンズ面１３に入射して、各第３のレンズ面１３によって各発光素子７ごとのモニタ光Ｍにそれぞれ対応する受光素子８に向けて出射されることにより、各受光素子８にそれぞれ受光されることになる。なお、レンズアレイ２をポリエーテルイミドによって形成する場合には、各受光素子８によってそれぞれ受光される各発光素子７ごとのモニタ光Ｍの光量は、−１２．８〔ｄＢ〕となる。ここで、一般に、フォトディテクタ等の受光素子８は、−２０〔ｄＢ〕程度の光は十分に検知することができるので、モニタ光Ｍの光量は、受光素子８による検知に問題がない十分な光量である。

さらに、図２に示すように、レンズアレイ２は、各第１のレンズ面１１上の光軸ＯＡ（１）が互いに平行に形成されている。また、レンズアレイ２は、各第２のレンズ面１２上の光軸ＯＡ（２）が互いに平行に形成されている。さらに、レンズアレイ２は、第１のレンズ面１１上の光軸ＯＡ（１）と第３のレンズ面１３上の光軸ＯＡ（３）とが互いに平行に形成されている。さらにまた、レンズアレイ２は、第１のレンズ面１１上の光軸ＯＡ（１）と第２のレンズ面１２上の光軸ＯＡ（２）とが互いに平行に形成されている。なお、第２のレンズ面１２上の光軸ＯＡ（２）は、第１のレンズ面１１上の光軸ＯＡ（１）よりも図１においてわずかに上方に位置している。また、各第１のレンズ面１１上の光軸ＯＡ（１）は、各第１のレンズ面１１にそれぞれ対応する各発光素子７から発光されるレーザ光Ｌの中心軸に一致している。さらに、各第２のレンズ面１２上の光軸ＯＡ（２）は、各第２のレンズ面１２にそれぞれ対応する各光ファイバ５の端面の中心軸に一致している。さらにまた、各第３のレンズ面１３上の光軸ＯＡ（３）は、各第３のレンズ面１３にそれぞれ対応する各受光素子８の受光面の中心軸に一致することが望ましい。

このような構成によれば、第１のレンズ面１１に入射した各発光素子７ごとのレーザ光Ｌを反射／透過面１５によって第２のレンズ面１２側および第３のレンズ面１３側にそれぞれ分光し、第３のレンズ面１３側に分光されたモニタ光Ｍを第２の屈折面１９を経て第３のレンズ面１３によって受光素子８側に出射させることができるので、モニタ光Ｍを確実に得ることができる。

また、第１のレンズ面１１上の光軸ＯＡ（１）と第３のレンズ面１３上の光軸ＯＡ（３）とを互いに平行に形成し、第１のレンズ面１１上の光軸ＯＡ（１）と第２のレンズ面１２上の光軸ＯＡ（２）とを互いに平行に形成することによって、発光素子７と受光素子８とを結ぶ光路および発光素子７と光ファイバ５の端面とを結ぶ光路を確保するためにレンズアレイ２に要求される寸法精度を緩和することができ、製造の容易化を実現することができる。すなわち、例えば、仮に、第３のレンズ面１３上の光軸ＯＡ（３）を第１のレンズ面１１上の光軸ＯＡ（１）に対して鋭角の傾きを有するように構成する場合には、図１における横方向のわずかな寸法誤差によって、第３レンズ面１３から出射されたモニタ光Ｍが受光素子８に結合しない虞がある。これに対して、本実施形態のように第１のレンズ面１１上の光軸ＯＡ（１）と第３のレンズ面１３上の光軸ＯＡ（３）とを互いに平行に形成すれば、たとえレンズアレイ２に図１における横方向のわずかな寸法誤差が生じたとしても、第３レンズ面１３から出射されたモニタ光Ｍは、そのビーム径が設計値に対して大きくまたは小さくなるだけで、各受光素子８に適正に受光されることになる。また、仮に、第２のレンズ面１２上の光軸ＯＡ（２）を第１のレンズ面１１上の光軸ＯＡ（２）に対して鋭角の傾きを有するように構成する場合には、図１における横方向のわずかな寸法誤差によって、第２レンズ面１２から出射されたレーザ光Ｌが光ファイバ５の端面に結合しない虞がある。これに対して、本実施形態のように第１のレンズ面１１上の光軸ＯＡ（１）と第２のレンズ面１２上の光軸ＯＡ（２）とを互いに平行に形成すれば、たとえレンズアレイ２に図１における横方向のわずかな寸法誤差が生じたとしても、第２レンズ面１２から出射されたレーザ光Ｌは、そのビーム径が設計値に対して若干大きくまたは小さくなるだけで、光ファイバ５の端面に適正に結合されることになる。したがって、本実施形態のレンズアレイ２は、特許文献２に示した構成に比べて公差を大きく設定することができる。

上記構成に加えて、さらに、本実施形態においては、図１に示すように、レンズアレイ２の右端面４ａが、第１のレンズ面１１上の光軸ＯＡ（１）に垂直な平坦面に形成され、レンズアレイ２の左端面４ｂが、第２のレンズ面１２上の光軸ＯＡ（２）に垂直な平坦面に形成されている。

そして、このような構成によれば、右端面４ａの形状および左端面４ｂの形状を簡素化することができ、さらなる製造の容易化を実現することができる。

上記構成に加えて、さらに、本実施形態においては、図１に示すように、第２の凹部１８が、第１のレンズ面１１と第２のレンズ面１２とを結ぶ光路外に位置するように形成されている。

そして、このような構成によれば、第１のレンズ面１１と第２のレンズ面１２とを結ぶ光路を、第２の凹部１８の存在を加味して設計する必要がないため、レンズアレイ２をさらに容易に製造することができる。

上記構成に加えて、さらに、本実施形態においては、図１および図２に示すように、第１の凹部１４が、レンズアレイ本体４における上端面４ｃの面法線方向（図１における上方）から見た場合に、第１の凹部１４における底面（図１における下端面）１４ａおよび全ての側面１５、１６、１４ｃ、１４ｄが、第１の凹部１４における開口部１４ｂの外形によって示される範囲以内に収まるような形状に形成されている。換言すれば、第１の凹部１４は、底面１４ａおよび全ての側面１５、１６、１４ｃ、１４ｄのそれぞれについての上端面４ｃの面法線方向への投影面が、開口部１４ｂの外形によって示される範囲以内に収まるように形成されている。なお、図２に示すように、開口部１４ｂは、図２における縦方向に長尺な長方形状に形成されているとともに、レンズアレイ本体４における上端面４ｃに四方を囲繞されている。また、反射／透過面１５および第１の屈折面１５以外の側面１４ｃ、１４ｄは、レンズアレイ本体４における上端面４ｃに垂直に形成されている。

さらにまた、本実施形態においては、図１および図５に示すように、第２の凹部１８が、レンズアレイ本体４における下端面４ｄの面法線方向（図１における下方）から見た場合に、第２の凹部１８における底面（図１における上端面）１８ａおよび全ての側面１９、２０、１８ｃ、１８ｄが、第２の凹部１８における開口部１８ｂの外形によって示される範囲以内に収まるような形状に形成されている。換言すれば、第２の凹部１８は、底面１８ａおよび全ての側面１９、２０、１８ｃ、１８ｄのそれぞれについての下端面４ｄの面法線方向への投影面が、開口部１８ｂの外形によって示される範囲以内に収まるように形成されている。なお、図５に示すように、開口部１８ｂは、図５における縦方向に長尺な長方形状に形成されているとともに、レンズアレイ本体４における下端面４ｄに四方を囲繞されている。また、第２の屈折面１９および透過面２０以外の側面１８ｃ、１８ｄは、レンズアレイ本体４における下端面４ｄに垂直に形成されている。

そして、このような構成によれば、第１の凹部１４と第２の凹部１８とを金型からの離型性を確保することができる形状に形成することができるので、金型を用いたレンズアレイ２の効率的な製造を実現することができる。

さらに、これにともなって、レンズアレイ２は、同一の樹脂材料（例えば、前述したポリエーテルイミド）を用いて一体的に形成（成形）することが好ましい。

なお、必要に応じて、反射／透過面１５に公知のハーフミラーを形成するようにしてもよく、また、第１の屈折面１６、第２の屈折面１９および透過面２０の少なくとも１つに公知の反射防止膜（ＡＲコート）を形成してもよい。

また、第３のレンズ面１３およびこれに対応する受光素子８は、必ずしも発光素子７と同数設ける必要はなく、少なくとも１組設けるようにすればよい。この場合には、反射／透過面１５において、各第１のレンズ面１１に入射した各発光素子７ごとのレーザ光のうち、対応する第３のレンズ面１３が存在するレーザ光のみが、モニタ光として反射されるようになり、他のレーザ光は、反射されるもののモニタ光としては利用されないこととなる。

（第２実施形態）
次に、本発明に係るレンズアレイおよびこれを備えた光モジュールの第２実施形態について、第１実施形態との差異を中心に図６乃至図１０を参照して説明する。

図６は、本実施形態における光モジュール２１の概要を本実施形態におけるレンズアレイ２２の縦断面図とともに示した概略構成図である。図７は、図６に示したレンズアレイ２２の平面図である。図８は、図７の右側面図である。図９は、図７の左側面図である。図１０は、図７の下面図である。

本実施形態の光モジュール２１およびレンズアレイ２２についての第１実施形態との差異は、レンズアレイ本体４における第２のレンズ面１２の形成位置、光ファイバ５の配置位置および第１の凹部１４以後の第１のレンズ面１１と第２のレンズ面１２とを結ぶ光路上の構成にある。

すなわち、図６および図１０に示すように、本実施形態においては、第２のレンズ面１２が、レンズアレイ本体４における下端面４ｄに凹設されたザグリ部２３の底面２３ａ（すなわち、本実施形態における第２の面）に形成されている。

また、図６に示すように、本実施形態においては、光ファイバ５が、この第２のレンズ面１２に下方から臨む位置に配置されるようになっている。

さらに、図６に示すように、レンズアレイ本体４は、図６における左上端部に全反射面４ｅを有しており、この全反射面４ｅは、図６における横方向を基準（０°）として図６における反時計回りに４５度の角度を有する傾斜面に形成されている。また、この全反射面４ｅには、Au、Ag、Al等からなる反射膜２４がコーティングされている。

さらにまた、本実施形態においては、第１のレンズ面１１上の光軸ＯＡ（１）と第２のレンズ面１２上の光軸ＯＡ（２）とが互いに垂直に形成されている。

また、本実施形態においては、レンズアレイ本体４におけるザグリ部２３の底面２３ａおよび下端面４ｄが、第２のレンズ面１２上の光軸ＯＡ（２）に垂直な平坦面に形成されている。

そして、本実施形態において、第１の屈折面１６を透過した各発光素子７ごとのレーザ光Ｌは、図６における左方に進行して全反射面４ｅに入射するとともに、この全反射面４ｅにおいて図６における下方に向かって直角に全反射されるようになっている。さらに、全反射面４ｅにおいて全反射された各発光素子７ごとのレーザ光Ｌは、これら各発光素子７ごとのレーザ光Ｌにそれぞれ対応する各第２のレンズ面１２に入射するようになっている。そして、各第２のレンズ面１２に入射した各発光素子７ごとのレーザ光Ｌは、各第２のレンズ面１２によって各発光素子７ごとのレーザ光Ｌにそれぞれ対応する各光ファイバ５の端面に向けて出射されることにより、各光ファイバ５の端面に結合されるようになっている。

この他の構成については第１実施形態に示した構成と同様である。

このような構成によれば、第１実施形態と同様に、第１のレンズ面１１に入射した各発光素子７ごとのレーザ光Ｌを反射／透過面１５によって第２のレンズ面１２側および第３のレンズ面１３側にそれぞれ分光し、第３のレンズ面１３側に分光されたモニタ光Ｍを第２の屈折面１９を経て第３のレンズ面１３によって受光素子８側に出射させることができるので、モニタ光Ｍを確実に得ることができる。

また、第１のレンズ面１１上の光軸ＯＡ（１）と第３のレンズ面１３上の光軸ＯＡ（３）とを互いに平行に形成し、第１のレンズ面１１上の光軸ＯＡ（１）と第２のレンズ面１２上の光軸ＯＡ（２）とを互いに垂直に形成することによって、発光素子７と受光素子８とを結ぶ光路および発光素子７と光ファイバ５の端面とを結ぶ光路を確保するためにレンズアレイ２に要求される寸法精度を緩和することができ、製造の容易化を実現することができる。すなわち、仮に、第２のレンズ面１２上の光軸ＯＡ（２）を第１のレンズ面１１上の光軸ＯＡ（１）に対して鋭角の傾きを有するように構成する場合には、図１における縦方向のわずかな寸法誤差によって、第２レンズ面１２から出射されたレーザ光Ｌが光ファイバ５の端面に結合しない虞がある。これに対して、本実施形態のように第１のレンズ面１１上の光軸ＯＡ（１）と第２のレンズ面１２上の光軸ＯＡ（２）とを互いに垂直に形成すれば、たとえレンズアレイ２に図１における縦方向のわずかな寸法誤差が生じたとしても、第２レンズ面１２から出射されたレーザ光Ｌは、そのビーム径が設計値に対して若干大きくまたは小さくなるだけで、光ファイバ５の端面に適正に結合されることになる。したがって、本実施形態のレンズアレイ２２も、特許文献２に示した構成に比べて公差を大きく設定することができる。

（第３実施形態）
次に、本発明に係るレンズアレイおよびこれを備えた光モジュールの第３実施形態について、第１実施形態との差異を中心に図１１乃至図１５を参照して説明する。

図１１は、本実施形態における光モジュール２７の概要を本実施形態におけるレンズアレイ２８の縦断面図とともに示した概略構成図である。図１２は、図１１の平面図である。図１３は、図１２に示したレンズアレイ２８の右側面図である。図１４は、図１２に示したレンズアレイ２８の左側面図である。図１５は、図１１の下面図である。

本実施形態の光モジュール２７およびレンズアレイ２８についての第１実施形態との差異は、第１実施形態が送信のみに対応した構成であるのに対して、本実施形態が送受信に対応した構成である点にある。

すなわち、図１２に示すように、本実施形態において、レンズアレイ本体４における左端面４ｂに臨む位置には、レンズアレイ本体４に向けて光を出射させる第２の光ファイバ２９が、第１の光ファイバ５とともに配置されるように形成されている。なお、第２の光ファイバ２９は、第１の光ファイバ５とともに多芯一括型のコネクタ１０内に保持されている。なお、本実施形態において、第２の光ファイバ２９の個数は１個であり、第１の光ファイバ５の個数は２個である。また、第２の光ファイバ２９は、第１の光ファイバ５と同径に形成されているとともに、その端面の中心が、各第１の光ファイバ５の端面の中心同士を結ぶ線分の延長線上に位置されている。

また、図１５に示すように、本実施形態において、光電変換装置３は、第１の受光素子８とともに、第２の光ファイバ２９から出射された光を受光する１つの第２の受光素子３１を備えている。

さらに、図１２および図１４に示すように、本実施形態において、レンズアレイ本体４における左端面４ｂ上の第２の光ファイバ２９に臨む位置には、１つの平面円形状の第４のレンズ面（凸レンズ面）３０が形成されている。この第４のレンズ面３０上の光軸ＯＡ（４）は、第２のレンズ面１２上の光軸ＯＡ（２）に平行に形成されているとともに、第２の光ファイバ２９の端面の中心軸に一致している。この第４のレンズ面３０には、第２の光ファイバ２９の端面から出射された光Ｌ’が入射するようになっている。そして、第４のレンズ面３０は、入射した光Ｌ’をコリメートした上でレンズアレイ本体４の内部に向かって進行させるようになっている。

さらにまた、図１２および図１３に示すように、本実施形態において、レンズアレイ本体４における右端面４ａ上の第２の受光素子３１に臨む位置には、１つの平面円形状の第５のレンズ面（凸レンズ面）３３が形成されている。この第５のレンズ面３３上の光軸ＯＡ（５）は、第１のレンズ面１１上の光軸ＯＡ（１）に平行に形成されている。この第５のレンズ面３３には、第４のレンズ面３０に入射してレンズアレイ本体４の内部を進行してきた光Ｌ’が入射するようになっている。そして、第５のレンズ面３３は、入射した光Ｌ’を第２の受光素子３１側に向けて出射させることによって、光Ｌ’を第２の受光素子３１に結合させるようになっている。

これにより、本実施形態においては、第１のレンズ面１１および第２のレンズ面１２を介した光信号（レーザ光Ｌ）の送信だけでなく、第４のレンズ面３０および第５のレンズ面３３を介した光信号（Ｌ’）の受信も行うことができる。

上記構成に加えて、さらに、本実施形態においては、図１２および図１５に示すように、第１の凹部１４および第２の凹部１８が、第４のレンズ面３０と第５のレンズ面３３とを結ぶ光路外に位置するように形成されている。

このような構成によれば、第４のレンズ面３０と第５のレンズ面３３とを結ぶ光路を、第１の凹部１４および第２の凹部１８の存在を加味して設計する必要がないため、双方向通信に対応するレンズアレイ２８をさらに容易に製造することができる。

この他の構成については第１実施形態と基本的に同様である。

（第４実施形態）
次に、本発明に係るレンズアレイおよびこれを備えた光モジュールの第４実施形態について、第１実施形態との差異を中心に図１６〜図１８を参照して説明する。

図１６は、本実施形態における光モジュール３５の概要を本実施形態におけるレンズアレイ３６の縦断面図とともに示した概略構成図である。図１７は、図１６に示したレンズアレイ３６の平面図である。図１８は、図１７の下面図である。

本実施形態における光モジュール３５およびレンズアレイ３６についての第１実施形態との差異は、レンズアレイ本体４における第１のレンズ面１１および第３のレンズ面１３の形成位置、光電変換装置３の配置位置、第１の凹部１４以前の第１のレンズ面１１と第２のレンズ面１２とを結ぶ光路上の構成および第２の凹部１８以後の第１のレンズ面１１と第３のレンズ面１３とを結ぶ光路上の構成にある。

すなわち、図１６〜図１８に示すように、本実施形態においては、第１のレンズ面１１および第３のレンズ面１３が、レンズアレイ本体４における下端面４ｄの図１６における右端部に凹設されたザグリ部３７の底面３７ａに形成されている。そして、第１のレンズ面１１上の光軸ＯＡ（１）および第３のレンズ面１３上の光軸ＯＡ（３）は、ともに図１６における縦方向に平行に形成されている。

また、これにともなって、光電変換装置３は、これら第１のレンズ面１１および第３のレンズ面１３に下方から臨む位置に配置されるようになっている。

さらに、図１６に示すように、レンズアレイ本体４は、図１６における右上端部に全反射面４ｆを有しており、この全反射面４ｆは、図１６における横方向を基準（０°）として図１６における時計回りに４５度の角度を有する傾斜面に形成されている。また、この全反射面４ｆには、Au、Ag、Al等からなる反射膜３８がコーティングされている。

さらにまた、本実施形態においては、第１のレンズ面１１上の光軸ＯＡ（１）と第２のレンズ面１２上の光軸ＯＡ（２）とが互いに垂直に形成されている。

また、本実施形態においては、レンズアレイ本体４におけるザグリ部３７の底面３７ａおよび下端面４ｄが、第１のレンズ面１１上の光軸ＯＡ（１）および第３のレンズ面１３上の光軸ＯＡ（３）に垂直な平坦面に形成されている。

そして、本実施形態においては、光電変換装置３における各発光素子７から、図１６における上方向に向けて各発光素子７ごとのレーザ光Ｌが出射され、この出射された各発光素子７ごとのレーザ光Ｌは、各発光素子７に対応する各第１のレンズ面１１にそれぞれ入射する。

各第１のレンズ面１１に入射した各発光素子７ごとのレーザ光Ｌは、各第１のレンズ面１１によってコリメートされた上でレンズアレイ本体４の内部を図１６における上方に向かって進行した後に、全反射面４ｆに入射し、この全反射面４ｆにおいて図１６における左方に向かって全反射される。

全反射面４ｆにおいて全反射された各発光素子７ごとのレーザ光Ｌは、図１６における左方向に進行した後に、第１実施形態と同様に、反射／透過面１５において大部分の光が光ファイバ５に結合される光として第２のレンズ面１２側に向けて屈折されつつ透過され、残余の光が各発光素子７ごとのモニタ光Ｍとして第３のレンズ面１３側に向けて所定の反射率で反射される。

反射／透過面１５において反射された各発光素子７ごとのモニタ光Ｍは、レンズアレイ本体４の内部を進行した後、第２の屈折面１９において屈折され、さらに、透過面２０を透過した後に全反射面４ｆに入射する。

そして、全反射面４ｆに入射した各発光素子７ごとのモニタ光Ｍは、全反射面４ｆにおいて図１６の下方に向かって全反射された後に、各発光素子７に対応する各第３のレンズ面１３によって各受光素子８に結合される。

この他の構成については第１実施形態に示した構成と同様である。

このような構成によれば、第１実施形態と同様に、第１のレンズ面１１に入射した各発光素子７ごとのレーザ光Ｌを反射／透過面１５によって第２のレンズ面１２側および第３のレンズ面１３側にそれぞれ分光し、第３のレンズ面１３側に分光されたモニタ光Ｍを第２の屈折面１９を経て第３のレンズ面１３によって受光素子８側に出射させることができるので、モニタ光Ｍを確実に得ることができる。

また、第１のレンズ面１１上の光軸ＯＡ（１）と第３のレンズ面１３上の光軸ＯＡ（３）とを互いに平行に形成し、第１のレンズ面１１上の光軸ＯＡ（１）と第２のレンズ面１２上の光軸ＯＡ（２）とを互いに垂直に形成することによって、発光素子７と受光素子８とを結ぶ光路および発光素子７と光ファイバ５の端面とを結ぶ光路を確保するためにレンズアレイ２に要求される寸法精度を緩和することができ、製造の容易化を実現することができる。

なお、本発明は、前述した実施の形態に限定されるものではなく、必要に応じて種々変更することができる。

１ 光モジュール
２ レンズアレイ
３ 光電変換装置
４ レンズアレイ本体
５ 光ファイバ
７ 発光素子
８ 受光素子
１１ 第１のレンズ面
１２ 第２のレンズ面
１３ 第３のレンズ面
１４ 第１の凹部
１５ 反射／透過面
１８ 第２の凹部
１９ 第２の屈折面

Claims (8)

1. 光を発光する複数の発光素子が整列形成されるとともに前記複数の発光素子の少なくとも１つから発光された光をモニタするためのモニタ光を受光する少なくとも１つの第１の受光素子が形成された光電変換装置と、前記複数の発光素子に対応する複数の第１の光ファイバとの間に配置され、前記複数の発光素子と前記複数の第１の光ファイバの端面とを光学的に結合可能とされたレンズアレイであって、
   レンズアレイ本体における前記光電変換装置に臨む第１の面に、前記複数の発光素子に対応する所定の整列方向に整列するように形成され、前記複数の発光素子ごとに発光された光がそれぞれ入射する前記発光素子と同数の複数の第１のレンズ面と、
   前記レンズアレイ本体における前記第１の光ファイバの端面に臨む第２の面に、前記第１のレンズ面の整列方向に沿って整列するように形成され、前記複数の第１のレンズ面にそれぞれ入射した光を、前記複数の第１の光ファイバの端面に向けてそれぞれ出射させる前記第１のレンズ面と同数の複数の第２のレンズ面と、
   前記レンズアレイ本体における前記第１の面に形成され、前記レンズアレイ本体の内部側から入射した前記モニタ光を前記第１の受光素子に向けて出射させる前記第１の受光素子と同数の少なくとも１つの第３のレンズ面と、
   前記レンズアレイ本体に、前記第１のレンズ面と前記第２のレンズ面とを結ぶ光路上に位置するように凹入形成された第１の凹部と、
   この第１の凹部における側面の一部をなし、前記複数の第１のレンズ面に入射した光を所定の反射率で前記第３のレンズ面側に反射させるとともに所定の透過率で前記第２のレンズ面に向かう光路側に屈折させつつ透過させ、その際に、前記複数の第１のレンズ面の少なくとも１つに入射した光を前記モニタ光として反射させる反射／透過面と、
   前記レンズアレイ本体に、前記第１のレンズ面と前記第３のレンズ面とを結ぶ光路上に位置するように凹入形成された第２の凹部と、
   この第２の凹部における側面の一部をなし、前記反射／透過面によって反射された光を屈折させることによって前記モニタ光を前記第３のレンズ面に入射させる屈折面とを備え、
   前記複数の第１のレンズ面上の光軸が互いに平行に形成され、
   前記複数の第２のレンズ面上の光軸が互いに平行に形成され、
   前記第１のレンズ面上の光軸と前記第３のレンズ面上の光軸とが互いに平行に形成され、
   前記第１のレンズ面上の光軸と前記第２のレンズ面上の光軸とが互いに平行または垂直に形成されていること
   を特徴とするレンズアレイ。
2. 前記第１の面が、前記第１のレンズ面上の光軸に垂直な平坦面に形成され、
   前記第２の面が、前記第２のレンズ面上の光軸に垂直な平坦面に形成され
   ていることを特徴とする請求項１に記載のレンズアレイ。
3. 前記第２の凹部が、前記第１のレンズ面と前記第２のレンズ面とを結ぶ光路外に位置するように形成されていること
   を特徴とする請求項１または２に記載のレンズアレイ。
4. 前記レンズアレイ本体における前記第２の面に臨む位置に、前記レンズアレイ本体に向けて光を出射させる第２の光ファイバが、前記第１の光ファイバとともに配置されるように形成され、
   前記光電変換装置が、前記第２の光ファイバから出射された光を受光する第２の受光素子を備えたものとされ、
   前記レンズアレイ本体における前記第２の面に、前記第２の光ファイバから出射された光が入射する第４のレンズ面が形成され、
   前記レンズアレイ本体における前記第１の面に、前記第４のレンズ面に入射した光を前記第２の受光素子に向かって出射させる第５のレンズ面が形成されていること
   を特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のレンズアレイ。
5. 前記第１の凹部および前記第２の凹部が、前記第４のレンズ面と前記第５のレンズ面とを結ぶ光路外に位置するように形成されていること
   を特徴とする請求項４に記載のレンズアレイ。
6. 前記第１の凹部は、前記レンズアレイ本体における前記第１の凹部が形成された面の面法線方向から見た場合に、前記第１の凹部における底面および全側面が前記第１の凹部における開口部の外形によって示される範囲以内に収まるような形状に形成され、
   前記第２の凹部は、前記レンズアレイ本体における前記第２の凹部が形成された面の面法線方向から見た場合に、前記第２の凹部における底面および全側面が前記第２の凹部における開口部の外形によって示される範囲以内に収まるような形状に形成されていること
   を特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のレンズアレイ。
7. 同一の材料を用いて一体的に形成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のレンズアレイ。
8. 請求項１〜７に記載のレンズアレイと請求項１または４に記載の光電変換装置とを備えたことを特徴とする光モジュール。

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