JP2010256399A - Photosensitive composition, photosensitive film, photosensitive laminate, permanent pattern forming method, and printed board - Google Patents

Photosensitive composition, photosensitive film, photosensitive laminate, permanent pattern forming method, and printed board Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive composition capable of not only enhancing sensitivity, but also improving substrate adhesion, surface hardness, heat resistance and preservability; and to provide a photosensitive film, a photosensitive laminate, a permanent pattern forming method and a printed board, which use the photosensitive composition. <P>SOLUTION: The photosensitive composition includes a binder, a polymerizable compound, a photopolymerization initiator, a chain transfer agent being a multifunctional mercapto compound having at least two secondary or tertiary mercaptans and at least one amide bond or anilide bond, and a thermal crosslinking agent. The photosensitive film, the photosensitive laminate, the permanent pattern forming method and the printed board use this photosensitive composition. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、レーザ露光により画像形成を行うソルダーレジスト材料として好適な感光性組成物、感光性フィルム、感光性積層体、永久パターン形成方法、及びプリント基板に関する。   The present invention relates to a photosensitive composition, a photosensitive film, a photosensitive laminate, a method for forming a permanent pattern, and a printed circuit board suitable as a solder resist material for forming an image by laser exposure.

従来より、ソルダーレジスト等の永久パターンを形成するに際して、支持体上に感光性組成物を塗布し、乾燥することにより感光層を形成させた感光性フィルムが用いられてきている。ソルダーレジスト等の永久パターンを形成する方法としては、例えば、永久パターンが形成される銅張積層板等の基体上に、感光性フィルムを積層させて積層体を形成し、該積層体における感光層に対して露光を行い、該露光後、感光層を現像してパターンを形成させ、その後硬化処理等を行うことにより永久パターンを形成する方法等が知られている。   Conventionally, when forming a permanent pattern such as a solder resist, a photosensitive film in which a photosensitive layer is formed by coating a photosensitive composition on a support and drying it has been used. As a method for forming a permanent pattern such as a solder resist, for example, a photosensitive film is laminated on a substrate such as a copper-clad laminate on which a permanent pattern is formed to form a laminate, and the photosensitive layer in the laminate is formed. There is known a method of forming a permanent pattern by performing exposure on the substrate, developing the photosensitive layer after the exposure to form a pattern, and then performing a curing process or the like.

前記ソルダーレジストは、プリント配線板製造等において使用されているが、近年はBGAやCSPといった新しいLSIパッケージにも使用されるようになってきた。また、ソルダーレジストはソルダリング工程で半田が不必要な部分に付着するのを防ぐ保護膜として、また、永久マスクとして必要とされる材料である。   The solder resist is used in the production of printed wiring boards and the like, but has recently been used in new LSI packages such as BGA and CSP. The solder resist is a material required as a protective film for preventing the solder from adhering to unnecessary portions in the soldering process and as a permanent mask.

このようなソルダーレジストに求められる、保存性、高感度化、基板密着性、耐熱性などを付与するため、種々の検討がなされている。
例えば特許文献1では、多官能SH化合物をソルダーレジストに対して応用し、感度向上などの効果を謳っている。しかし、この提案では、熱架橋剤としてエポキシ化合物を用いると、感光性組成物の保存性が低下してしまうという問題がある。
また、特許文献2及び3では、SHの隣接位にメチル基を有し、エステル結合を有する、立体障害導入多官能SH化合物を使用したカラーフィルタにおいて、現像マージンなどの効果を謳っている。また、イオン性又は塩基性開始剤を用いている。しかし、これらの提案は、カラーフィルタへの適用を目的としたものであり、熱架橋剤が添加されておらず、ソルダーレジストに適用することを予定していないものである。
Various studies have been made in order to impart storage stability, sensitivity enhancement, substrate adhesion, heat resistance, and the like required for such solder resists.
For example, in Patent Document 1, a polyfunctional SH compound is applied to a solder resist to obtain effects such as sensitivity improvement. However, in this proposal, when an epoxy compound is used as the thermal cross-linking agent, there is a problem that the storage stability of the photosensitive composition is lowered.
Patent Documents 2 and 3 show effects such as a development margin in a color filter using a sterically hindered polyfunctional SH compound having a methyl group adjacent to SH and having an ester bond. Moreover, an ionic or basic initiator is used. However, these proposals are intended for application to color filters, are not added with a thermal crosslinking agent, and are not planned to be applied to solder resists.

特開2006−259150号公報JP 2006-259150 A 特開平10−253815号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-253815 特開2004−149755号公報JP 2004-149755 A

本発明は、かかる現状に鑑みてなされたものであり、従来における前記諸問題を解決し、以下の目的を達成することを課題とする。即ち、本発明は、多官能メルカプト化合物、特にSHの隣接位に立体障害基を導入し、アミド結合により連結した多官能メルカプト化合物を用い、かつ熱架橋剤を併用することで、高感度化だけではなく、基板密着性、表面硬度、耐熱性、及び保存性を改良することができる感光性組成物、該感光性組成物を用いた感光性フィルム、感光性積層体、永久パターン形成方法、及びプリント基板を提供することを目的とする。   This invention is made | formed in view of this present condition, and makes it a subject to solve the said various problems in the past and to achieve the following objectives. That is, the present invention uses a polyfunctional mercapto compound, particularly a polyfunctional mercapto compound in which a steric hindrance group is introduced at an adjacent position of SH and linked by an amide bond, and a thermal crosslinking agent is used in combination, so that only high sensitivity can be obtained. Rather than a photosensitive composition that can improve substrate adhesion, surface hardness, heat resistance, and storage stability, a photosensitive film using the photosensitive composition, a photosensitive laminate, a permanent pattern forming method, and An object is to provide a printed circuit board.

前記課題を解決するため本発明者らが鋭意検討を重ねた結果、ソルダーレジストに求められる、保存性、高感度化、基板密着性、表面硬度、耐熱性などを向上させるため、中性のオキシムエステル系開始剤と、2級乃至3級のメルカプタンを少なくとも2つ有し、アミド結合乃至アニリド結合を少なくとも1つ有する多官能メルカプト化合物とを組み合わせることにより、前記課題を解決できることを知見した。   As a result of intensive studies by the present inventors to solve the above-mentioned problems, neutral oximes are required to improve the storage stability, sensitivity enhancement, substrate adhesion, surface hardness, heat resistance, etc. required for solder resists. It has been found that the above problem can be solved by combining an ester initiator and a polyfunctional mercapto compound having at least two secondary to tertiary mercaptans and having at least one amide bond or anilide bond.

本発明は、本発明者らによる前記知見に基づくものであり、前記課題を解決するための手段はとしては、以下の通りである。即ち、
<1> バインダー、重合性化合物、光重合開始剤、2級乃至3級のメルカプタンを少なくとも2つ有しアミド結合乃至アニリド結合を少なくとも1つ有する多官能メルカプト化合物である連鎖移動剤、及び熱架橋剤を含有することを特徴とする感光性組成物である。
<2> 連鎖移動剤が、下記一般式(A)で表される化合物である前記<1>に記載の感光性組成物である。
ただし、前記一般式(A)中、R及びRは、いずれも水素原子及び有機官能基のいずれかを表し、R及びRのうち少なくとも1つは、有機官能基を表し、RとRとは環を形成してもよい。Rは、水素原子及び有機官能基のいずれかを表す。Xは、単結合又は2価の有機連結鎖を表す。nは、2〜8を表し、Zは、n官能の有機連結鎖を表す。
<3> 連鎖移動剤が、下記一般式(B)で表される化合物とアミン類乃至アニリン類とのアミドである前記<1>から<2>のいずれかに記載の感光性組成物である。
ただし、前記一般式(B)中、R及びRは、上記一般式(A)と同じ意味を表す。
<4> 連鎖移動剤が、α置換メルカプト酢酸アミド化合物からなる多官能メルカプト化合物である前記<1>から<3>のいずれかに記載の感光性組成物である。
<5> バインダーが、側鎖にエチレン性不飽和二重結合を少なくとも1つ有する高分子化合物である前記<1>から<4>のいずれかに記載の感光性組成物である。
<6> バインダーが、側鎖にエチレン性不飽和二重結合及びカルボキシル基を少なくとも1つ有する高分子化合物である前記<1>から<5>のいずれかに記載の感光性組成物である。
<7> 光重合開始剤が、中性の光重合開始剤である前記<1>から<6>のいずれかに記載の感光性組成物である。
<8> 光重合開始剤が、中性のオキシムエステル系化合物である前記<1>から<7>のいずれかに記載の感光性組成物である。
<9> 熱架橋剤が、エポキシ化合物、オキセタン化合物、ポリイソシアネート化合物、ポリイソシアネート化合物にブロック剤を反応させて得られる化合物、及びメラミン誘導体から選択される少なくとも1種である前記<1>から<8>のいずれかに記載の感光性組成物である。
<10> 前記<1>から<9>のいずれかに記載の感光性組成物を含む感光層を支持体上に有してなることを特徴とする感光性フィルムである。
<11> 基体上に、前記<1>から<9>のいずれかに記載の感光性組成物を含む感光層を有することを特徴とする感光性積層体である。
<12> 前記<1>から<9>のいずれかに記載の感光性組成物により形成された感光層に対して露光を行うことを少なくとも含むことを特徴とする永久パターン形成方法である。
<13> 前記<12>に記載の永久パターン形成方法により永久パターンが形成されることを特徴とするプリント基板である。
The present invention is based on the above findings by the present inventors, and means for solving the above problems are as follows. That is,
<1> A binder, a polymerizable compound, a photopolymerization initiator, a chain transfer agent that is a polyfunctional mercapto compound having at least two secondary to tertiary mercaptans and at least one amide bond to anilide bond, and thermal crosslinking It is a photosensitive composition characterized by containing an agent.
<2> The photosensitive composition according to <1>, wherein the chain transfer agent is a compound represented by the following general formula (A).
However, in the general formula (A), R 1 and R 2 both represent a hydrogen atom and an organic functional group, and at least one of R 1 and R 2 represents an organic functional group, R 1 and R 2 may form a ring. R 3 represents either a hydrogen atom or an organic functional group. X represents a single bond or a divalent organic linking chain. n represents 2 to 8, and Z represents an n-functional organic linking chain.
<3> The photosensitive composition according to any one of <1> to <2>, wherein the chain transfer agent is an amide of a compound represented by the following general formula (B) and an amine or aniline. .
However, in said general formula (B), R < 1 > and R < 2 > represent the same meaning as the said general formula (A).
<4> The photosensitive composition according to any one of <1> to <3>, wherein the chain transfer agent is a polyfunctional mercapto compound composed of an α-substituted mercaptoacetamide compound.
<5> The photosensitive composition according to any one of <1> to <4>, wherein the binder is a polymer compound having at least one ethylenically unsaturated double bond in the side chain.
<6> The photosensitive composition according to any one of <1> to <5>, wherein the binder is a polymer compound having at least one ethylenically unsaturated double bond and a carboxyl group in a side chain.
<7> The photosensitive composition according to any one of <1> to <6>, wherein the photopolymerization initiator is a neutral photopolymerization initiator.
<8> The photosensitive composition according to any one of <1> to <7>, wherein the photopolymerization initiator is a neutral oxime ester compound.
<9> From the above <1>, wherein the thermal crosslinking agent is at least one selected from an epoxy compound, an oxetane compound, a polyisocyanate compound, a compound obtained by reacting a polyisocyanate compound with a blocking agent, and a melamine derivative. 8>. The photosensitive composition according to any one of 8>.
<10> A photosensitive film comprising a photosensitive layer containing the photosensitive composition according to any one of <1> to <9> on a support.
<11> A photosensitive laminate comprising a photosensitive layer containing the photosensitive composition according to any one of <1> to <9> on a substrate.
<12> A method for forming a permanent pattern, comprising at least exposing a photosensitive layer formed of the photosensitive composition according to any one of <1> to <9>.
<13> A printed circuit board wherein a permanent pattern is formed by the method for forming a permanent pattern according to <12>.

本発明によると、従来における諸問題を解決でき、多官能メルカプト化合物、特にSHの隣接位に立体障害基を導入し、アミド結合により連結した多官能メルカプト化合物を用い、かつ熱架橋剤を併用することで、高感度化だけではなく、基板密着性、表面硬度、耐熱性、及び保存性を改良することができる感光性組成物、該感光性組成物を用いた感光性フィルム、感光性積層体、永久パターン形成方法、及びプリント基板を提供することができる。   According to the present invention, conventional problems can be solved, and a polyfunctional mercapto compound, particularly a polyfunctional mercapto compound in which a steric hindrance group is introduced at the adjacent position of SH and linked by an amide bond, and a thermal crosslinking agent are used in combination. Photosensitive composition capable of improving not only high sensitivity but also substrate adhesion, surface hardness, heat resistance, and storage stability, photosensitive film using the photosensitive composition, and photosensitive laminate A permanent pattern forming method and a printed circuit board can be provided.

(感光性組成物)
本発明の感光性組成物は、バインダー、重合性化合物、光重合開始剤、連鎖移動剤、及び熱架橋剤を含有してなり、更に必要に応じてその他の成分を含有してなる。
(Photosensitive composition)
The photosensitive composition of the present invention contains a binder, a polymerizable compound, a photopolymerization initiator, a chain transfer agent, and a thermal crosslinking agent, and further contains other components as necessary.

<連鎖移動剤>
前記連鎖移動剤としては、2級乃至3級のメルカプタンを少なくとも2つ有しアミド結合乃至アニリド結合を少なくとも1つ有する多官能メルカプト化合物が用いられる。
<Chain transfer agent>
As the chain transfer agent, a polyfunctional mercapto compound having at least two secondary to tertiary mercaptans and at least one amide bond or anilide bond is used.

前記多官能メルカプト化合物は、特定のメルカプト基含有基を2つ以上有し、アミド結合乃至アニリド結合を少なくとも1つ有する。
前記メルカプト基含有基は、メルカプト基に対してα位の炭素原子が置換基を有する構造である。前記置換基の少なくとも1つがアルキル基、アリール基、又はアラルキル基であることが好ましく、アルキル基であることがより好ましい。
これに対し、1級のメルカプタンを少なくとも2つ有する多官能メルカプト化合物は、反応性が高く、熱架橋剤としてのエポキシ化合物と反応して、感光性組成物の保存性が劣化してしまうことがある。
前記メルカプト基含有基を有するメルカプト化合物としては、メルカプト基を2つ以上有している多官能メルカプト化合物であることにより、単官能メルカプト化合物と比較して、光重合に関し、より高感度とすることが可能である。
The polyfunctional mercapto compound has two or more specific mercapto group-containing groups and at least one amide bond or anilide bond.
The mercapto group-containing group has a structure in which a carbon atom at the α-position with respect to the mercapto group has a substituent. At least one of the substituents is preferably an alkyl group, an aryl group, or an aralkyl group, and more preferably an alkyl group.
On the other hand, a polyfunctional mercapto compound having at least two primary mercaptans has high reactivity, and may react with an epoxy compound as a thermal cross-linking agent to deteriorate the storage stability of the photosensitive composition. is there.
The mercapto compound having a mercapto group-containing group is a polyfunctional mercapto compound having two or more mercapto groups, so that it is more sensitive to photopolymerization than a monofunctional mercapto compound. Is possible.

前記メルカプト基に対してα位の炭素原子が置換基を有する構造とは、メルカプト基に対してα位の炭素で分岐した構造、言い換えればメルカプト基のα位の炭素が水素以外の原子3つ以上と結合している、いわゆる枝分かれした構造を意味する。前記置換基の少なくとも1つがアルキル基である場合とは、メルカプト基に対してα位の主鎖以外の置換基の少なくとも1つがアルキル基であることをいう。ここで、主鎖とは、メルカプト基を含む水素以外の原子で構成される最も長鎖の構造を表す。   The structure in which the carbon atom at the α-position with respect to the mercapto group has a substituent is a structure branched at the carbon at the α-position relative to the mercapto group, in other words, the carbon at the α-position of the mercapto group has 3 atoms other than hydrogen. It means a so-called branched structure connected with the above. The case where at least one of the substituents is an alkyl group means that at least one of the substituents other than the main chain at the α-position with respect to the mercapto group is an alkyl group. Here, the main chain represents the longest chain structure composed of atoms other than hydrogen including a mercapto group.

前記連鎖移動剤である2級乃至3級のメルカプタンを少なくとも2つ有し、アミド結合乃至アニリド結合を少なくとも1つ有する多官能メルカプト化合物としては、下記一般式(A)で表される化合物であることが好ましい。
ただし、前記一般式(A)中、R及びRは、いずれも水素原子及び有機官能基のいずれかを表し、R及びRのうち少なくとも1つは、有機官能基を表し、RとRとは環を形成してもよい。Rは、水素原子及び有機官能基のいずれかを表す。Xは、単結合又は2価の有機連結鎖を表す。nは、2〜8を表し、Zは、n官能の有機連結鎖を表す。
The polyfunctional mercapto compound having at least two secondary or tertiary mercaptans as the chain transfer agent and at least one amide bond or anilide bond is a compound represented by the following general formula (A). It is preferable.
However, in the general formula (A), R 1 and R 2 both represent a hydrogen atom and an organic functional group, and at least one of R 1 and R 2 represents an organic functional group, R 1 and R 2 may form a ring. R 3 represents either a hydrogen atom or an organic functional group. X represents a single bond or a divalent organic linking chain. n represents 2 to 8, and Z represents an n-functional organic linking chain.

、R、及びR3おける有機官能基としては、例えばアルキル基、アリール基、アラルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アラルキルオキシカルボニル基、などが挙げられる。
前記アルキル基としては、炭素数1〜10の直鎖状又は分岐状のものが好ましく、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、iso−プロピル基、n−ブチル基、iso−ブチル基、tert−ブチル基、n−ヘキシル基、n−オクチル基、などが挙げられる。これらの中でも、メチル基、エチル基が特に好ましい。
前記アリール基としては、例えば例えば、フェニル基、トリル基、キシリル基、ビフェニル基、ナフチル基、アントリル基、フェナントリル基、などが挙げられる。
前記アラルキル基としては、例えばベンジル基、フェネチル基、などが挙げられる。
Examples of the organic functional group in R 1 , R 2 , and R 3 include alkyl groups, aryl groups, aralkyl groups, alkenyl groups, alkynyl groups, alkoxycarbonyl groups, aryloxycarbonyl groups, aralkyloxycarbonyl groups, and the like. .
As said alkyl group, a C1-C10 linear or branched thing is preferable, for example, a methyl group, an ethyl group, n-propyl group, iso-propyl group, n-butyl group, iso-butyl group. , Tert-butyl group, n-hexyl group, n-octyl group, and the like. Among these, a methyl group and an ethyl group are particularly preferable.
Examples of the aryl group include a phenyl group, a tolyl group, a xylyl group, a biphenyl group, a naphthyl group, an anthryl group, and a phenanthryl group.
Examples of the aralkyl group include benzyl group and phenethyl group.

Xは、単結合又は2価の有機連結鎖を表し、該2価の有機連結鎖としては、例えばアルキレン鎖、アルケニレン鎖、アルキニレン鎖、アリーレン鎖などが挙げられる。
Zは、n官能の有機連結鎖を表し、例えばエチレングリコール残基、トリメチレンエタノール残基、ペンタエリスリトール残基、ジペンタエリスリトール残基、などが挙げられる。
X represents a single bond or a divalent organic linking chain. Examples of the divalent organic linking chain include an alkylene chain, an alkenylene chain, an alkynylene chain, and an arylene chain.
Z represents an n-functional organic linking chain, and examples thereof include an ethylene glycol residue, trimethyleneethanol residue, pentaerythritol residue, dipentaerythritol residue, and the like.

前記一般式(A)で表される多官能メルカプト化合物としては、下記一般式(B)で表される化合物とアミン類乃至アニリン類とのアミドであることが好ましく、α置換メルカプト酢酸アミド化合物であることがより好ましく、下記一般式(B)のXが単結合である化合物とアミン類乃至アニリン類とのアミドである多官能メルカプト化合物が特に好ましい。
ただし、前記一般式(B)中、R及びRは、上記一般式(A)と同じ意味を表す。
The polyfunctional mercapto compound represented by the general formula (A) is preferably an amide of a compound represented by the following general formula (B) and an amine or aniline, and is an α-substituted mercaptoacetamide compound. More preferably, a polyfunctional mercapto compound which is an amide of a compound in which X in the following general formula (B) is a single bond and an amine or aniline is particularly preferable.
However, in said general formula (B), R < 1 > and R < 2 > represent the same meaning as the said general formula (A).

前記アミン類としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば多官能アミンが好ましい。該多官能アミンを用いることにより、アミド化反応後の化合物を多官能メルカプト(チオール)化合物とすることができる。
前記多官能アミンとしては、例えばアルキレンジアミン(ただし、アルキルレン基の炭素数は2〜10が好ましく、その炭素鎖は枝分かれしていてもよい)、キシレンジアミン、ビスアミノメチルシクロヘキサン、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、テトラメチレンペンタミン、などが挙げられる。
前記アルキレンジアミンとしては、例えばエチレンジアミン、トリメチレンジアミン、1,2−プロパンジアミン、1,2−ブタンジアミン、1,3−ブタンジアミン、2,3−ブタンジアミン、テトラメチレンジアミン、などが挙げられる。これらの中でも、エチレンジアミン、キシレンジアミン、ビスアミノメチルシクロヘキサン、トリエチレンテトラミンが特に好ましい。
There is no restriction | limiting in particular as said amines, Although it can select suitably according to the objective, For example, a polyfunctional amine is preferable. By using the polyfunctional amine, the compound after the amidation reaction can be converted into a polyfunctional mercapto (thiol) compound.
Examples of the polyfunctional amine include alkylene diamine (wherein the alkylene group preferably has 2 to 10 carbon atoms, and the carbon chain may be branched), xylene diamine, bisaminomethylcyclohexane, diethylenetriamine, and triethylene. Examples include tetramine and tetramethylenepentamine.
Examples of the alkylene diamine include ethylene diamine, trimethylene diamine, 1,2-propane diamine, 1,2-butane diamine, 1,3-butane diamine, 2,3-butane diamine, and tetramethylene diamine. Among these, ethylenediamine, xylenediamine, bisaminomethylcyclohexane, and triethylenetetramine are particularly preferable.

前記アニリン類としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば多官能アニリンが好ましい。前記多官能アニリンを用いることにより、アミド化反応後の化合物を多官能メルカプト(チオール)化合物とすることができる。   There is no restriction | limiting in particular as said anilines, Although it can select suitably according to the objective, For example, polyfunctional aniline is preferable. By using the polyfunctional aniline, the compound after the amidation reaction can be a polyfunctional mercapto (thiol) compound.

前記多官能アニリンとしては、例えばジアミノベンゼン、ジアミノナフタレン、ジアミノアントラセン、ビスアミノフェニルメタン、ビスアミノフェニルスルホン、ビスアミノフェニルプロパン、ビスアミノフェニルエーテル、ビスアミノフェニルスルフィド、ビス(アミノフェノキシフェニル)エーテル、トリスアミノフェニルメタン、などが挙げられる。これらの中でも、ビスアミノフェニルメタン、ビスアミノフェニルプロパン、ビスアミノフェニルエーテル、ビスアミノフェニルスルフィド、トリスアミノフェニルメタンが特に好ましい。   Examples of the polyfunctional aniline include diaminobenzene, diaminonaphthalene, diaminoanthracene, bisaminophenylmethane, bisaminophenylsulfone, bisaminophenylpropane, bisaminophenyl ether, bisaminophenyl sulfide, bis (aminophenoxyphenyl) ether, And trisaminophenylmethane. Among these, bisaminophenylmethane, bisaminophenylpropane, bisaminophenyl ether, bisaminophenyl sulfide, and trisaminophenylmethane are particularly preferable.

前記一般式(B)で表されるメルカプト基含有カルボン酸としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えばメルカプト乳酸、2−メルカプトイソ吉草酸、2−メルカプトプロピオン酸、2−メルカプトイソ酪酸、2−メルカプト−3,3−ジメチル酪酸、2−メルカプト−3−メチル酪酸、2−メルカプト−2−フェニルプロピオン酸、2−メルカプトヘキサン酸、などが挙げられる。   The mercapto group-containing carboxylic acid represented by the general formula (B) is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, mercaptolactic acid, 2-mercaptoisovaleric acid, 2-mercaptopropionic acid 2-mercaptoisobutyric acid, 2-mercapto-3,3-dimethylbutyric acid, 2-mercapto-3-methylbutyric acid, 2-mercapto-2-phenylpropionic acid, 2-mercaptohexanoic acid, and the like.

上述の他に、アミド結合構造を含む化合物としては、例えばフタル酸ジ(1−メルカプトエチルアミド)、フタル酸ジ(2−メルカプトプロピルアミド)、フタル酸ジ(3−メルカプトブチルアミド)、フタル酸ジ(3−メルカプトイソブチルアミド)、などが挙げられる。   In addition to the above, examples of the compound containing an amide bond structure include phthalic acid di (1-mercaptoethylamide), phthalic acid di (2-mercaptopropylamide), phthalic acid di (3-mercaptobutyramide), and phthalic acid. And di (3-mercaptoisobutyramide).

前記連鎖移動剤としての2級乃至3級のメルカプタンを少なくとも2つ有し、アミド結合乃至アニリド結合を少なくとも1つ有する多官能メルカプト化合物の分子量は、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、200〜1,000が好ましい。
前記多官能メルカプト化合物の製造方法については、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、メルカプト基含有カルボン酸とアミン類乃至アニリン類とのアミドについては、前記一般式(B)で表されるメルカプト基含有カルボン酸とアミド類乃至アニリン類とを常法に従ってアミド反応させることにより、得ることができる。前記アミド反応の条件については、特に制限はなく、従来公知の反応条件の中から適宜選択することができる。また、ハロゲン基含有カルボン酸とアミン類乃至アニリン類とのアミド化を行った後、ハロゲン原子をメルカプト基に変換することで得ることができる。
The molecular weight of the polyfunctional mercapto compound having at least two secondary to tertiary mercaptans as the chain transfer agent and at least one amide bond or anilide bond is not particularly limited and is appropriately selected depending on the purpose. 200 to 1,000 are preferred.
The method for producing the polyfunctional mercapto compound is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. The amide of a mercapto group-containing carboxylic acid and an amine or aniline may be represented by the general formula (B The mercapto group-containing carboxylic acid represented by) and an amide or aniline can be subjected to an amide reaction according to a conventional method. The conditions for the amide reaction are not particularly limited and can be appropriately selected from conventionally known reaction conditions. Further, it can be obtained by amidating a halogen group-containing carboxylic acid with an amine or aniline and then converting the halogen atom into a mercapto group.

前記連鎖移動剤としての2級乃至3級のメルカプタンを少なくとも2つ有し、アミド結合乃至アニリド結合を少なくとも1つ有する多官能メルカプト化合物の具体例を以下に示すが、これらに限定されるものではない。
Specific examples of the polyfunctional mercapto compound having at least two secondary to tertiary mercaptans as the chain transfer agent and having at least one amide bond or anilide bond are shown below, but are not limited thereto. Absent.

これらの中でも、下記式(R−1)、(R−2)、(R−3)、及び(R−4)で表される化合物が特に好ましい。以下に、それらの詳細について説明する。   Among these, the compounds represented by the following formulas (R-1), (R-2), (R-3), and (R-4) are particularly preferable. Details thereof will be described below.

(R−1):メルカプト基が2級である2官能のメルカプト化合物
原料として、ブチレンジアミン(東京化成工業株式会社製)と、メルカプト乳酸メチル(東京化成工業株式会社製)とを1:2.2(モル比)で、常法により脱メタノール縮合し、反応後に蒸留処理することで過剰のメルカプト乳酸メチルを除去して、下記式で表されるメルカプト基が2級である2官能のメルカプト化合物(R−1)が得られる。
<連鎖移動剤(R−1)>
(R-1): a bifunctional mercapto compound having a secondary mercapto group as a raw material, butylenediamine (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) and methyl mercapto lactate (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) 1: 2. A bifunctional mercapto compound having a mercapto group represented by the following formula as a secondary compound by removing methanol excess by a conventional method at 2 (molar ratio), followed by distillation after the reaction to remove excess methyl mercapto lactate (R-1) is obtained.
<Chain transfer agent (R-1)>

(R−2):メルカプト基が2級である3官能のメルカプト化合物
原料として、ジエチレントリアミン(東京化成工業株式会社製)と、メルカプト乳酸メチル(東京化成工業株式会社製)とを1:3.4(モル比)で、常法により脱メタノール縮合し、反応後に蒸留処理することで過剰のメルカプト乳酸メチルを除去して、下記式で表されるメルカプト基が2級である3官能のメルカプト化合物(R−2)が得られる。
<連鎖移動剤(R−2)>
(R-2): Trifunctional mercapto compound having a secondary mercapto group: As a raw material, diethylenetriamine (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) and methyl mercapto lactate (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) are 1: 3.4. (Molar ratio) by demethanol condensation by a conventional method, and after the reaction, excess mercaptomethyl lactate is removed by distillation treatment, and a trifunctional mercapto compound having a secondary mercapto group represented by the following formula ( R-2) is obtained.
<Chain transfer agent (R-2)>

(R−3):メルカプト基が2級である2官能のメルカプト化合物
原料として、ビスアミノフェニルメタン(東京化成工業株式会社製)と、メルカプト乳酸メチル(東京化成工業株式会社製)とを1:2.2(モル比)で、常法により脱メタノール縮合し、反応後に蒸留処理することで過剰のメルカプト乳酸メチルを除去して、下記式で表されるメルカプト基が2級である2官能のメルカプト化合物(R−3)が得られる。
<連鎖移動剤(R−3)>
(R-3): Bifunctional mercapto compound having a secondary mercapto group: As raw materials, bisaminophenylmethane (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) and mercaptomethyl lactate (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) are used 1: At 2.2 (molar ratio), methanol-free condensation was conducted by a conventional method, and after the reaction, excess mercaptomethyl lactate was removed by distillation, and the bifunctional bifunctional mercapto group represented by the following formula was secondary. A mercapto compound (R-3) is obtained.
<Chain transfer agent (R-3)>

(R−4):メルカプト基が2級である2官能のメルカプト化合物
原料として、ビスアミノフェニルメタン(東京化成工業株式会社製)と、メルカプトイソ酪酸(淀化学株式会社製)のメチルエステルとを1:2.2(モル比)で、常法により脱メタノール縮合し、反応後に蒸留処理することで過剰のメルカプト乳酸メチルを除去して、下記式で表されるメルカプト基が2級である2官能のメルカプト化合物(R−4)が得られる。
<連鎖移動剤(R−4)>
(R-4): a bifunctional mercapto compound having a secondary mercapto group, as raw materials, bisaminophenylmethane (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) and methyl ester of mercaptoisobutyric acid (manufactured by Sakai Chemical Co., Ltd.) 1: 2 (molar ratio) is subjected to demethanol condensation by a conventional method, and after the reaction, excess mercaptomethyl lactate is removed by distillation, and the mercapto group represented by the following formula is secondary 2 A functional mercapto compound (R-4) is obtained.
<Chain transfer agent (R-4)>

前記連鎖移動剤としての2級乃至3級のメルカプタンを少なくとも2つ有し、アミド結合乃至アニリド結合を少なくとも1つ有する多官能メルカプト化合物の前記感光性組成物固形分中の固形分含有量は、0.01質量%〜10質量%が好ましく、0.05質量%〜7質量%がより好ましい。前記固形分含有量が、0.01質量%未満であると、充分な感度、解像度、及び基板密着性が得られないことがあり、10質量%を超えると、保存性が劣化したり、レジストが脆くなることがある。   The solid content of the polyfunctional mercapto compound having at least two secondary to tertiary mercaptans as the chain transfer agent and at least one amide bond or anilide bond in the solid content of the photosensitive composition is: 0.01 mass%-10 mass% are preferable, and 0.05 mass%-7 mass% are more preferable. When the solid content is less than 0.01% by mass, sufficient sensitivity, resolution, and substrate adhesion may not be obtained. May become brittle.

<バインダー>
前記バインダーとしては、感光性基及びアルカリ現像性を付与するための酸基を導入した化合物であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂と不飽和(メタ)アクリル酸とを反応させた後、更に多塩基酸無水物を反応させて得られる重合体;(メタ)アクリル酸エステルと不飽和基を含有しかつ少なくとも1個の酸基を有する化合物とから得られた共重合体の一部の酸基にグリシジル(メタ)アクリレートを付加させた変性共重合体;カルボキシル基含有(メタ)アクリル系共重合樹脂と脂環式エポキシ基含有不飽和化合物との反応により得られる重合体などが挙げられる。
<Binder>
The binder is not particularly limited as long as it is a compound into which a photosensitive group and an acid group for imparting alkali developability are introduced, and can be appropriately selected according to the purpose. For example, two or more epoxy A polymer obtained by reacting an epoxy resin having a group with unsaturated (meth) acrylic acid and further reacting with a polybasic acid anhydride; containing a (meth) acrylic acid ester and an unsaturated group, and at least Modified copolymer obtained by adding glycidyl (meth) acrylate to some acid groups of a copolymer obtained from a compound having one acid group; carboxyl group-containing (meth) acrylic copolymer resin and fat Examples thereof include a polymer obtained by a reaction with a cyclic epoxy group-containing unsaturated compound.

これらの中でも、感光性組成物をドライフィルム化して感光層とした際に、タック性が低いことから、(メタ)アクリル酸エステルと不飽和基を含有しかつ少なくとも1個の酸基を有する化合物とから得られた共重合体の一部の酸基にグリシジル(メタ)アクリレートを付加させた変性共重合体がより好ましい。   Among these, since the tackiness is low when the photosensitive composition is formed into a dry film to form a photosensitive layer, the compound contains a (meth) acrylic acid ester and an unsaturated group and has at least one acid group. A modified copolymer obtained by adding glycidyl (meth) acrylate to some of the acid groups of the copolymer obtained from the above is more preferable.

前記バインダーの前記感光性組成物固形分中の固形分含有量は、5質量%〜80質量%が好ましく、30質量%〜60質量%がより好ましい。該固形分含有量が、5質量%以上であれば、現像性、露光感度が良好となり、80質量%以下であれば、感光層の粘着性が強くなりすぎることを防止できる。   The solid content in the photosensitive composition solid content of the binder is preferably 5% by mass to 80% by mass, and more preferably 30% by mass to 60% by mass. When the solid content is 5% by mass or more, developability and exposure sensitivity are good, and when it is 80% by mass or less, the adhesiveness of the photosensitive layer can be prevented from becoming too strong.

<重合性化合物>
前記重合性化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、エチレン性不飽和結合を1つ以上有する化合物が好ましい。
<Polymerizable compound>
There is no restriction | limiting in particular as said polymeric compound, Although it can select suitably according to the objective, For example, the compound which has one or more ethylenically unsaturated bonds is preferable.

前記エチレン性不飽和結合としては、例えば、(メタ)アクリロイル基、(メタ)アクリルアミド基、スチリル基、ビニルエステル、ビニルエーテル等のビニル基;アリルエーテルやアリルエステル等のアリル基、などが挙げられる。   Examples of the ethylenically unsaturated bond include (meth) acryloyl groups, (meth) acrylamide groups, styryl groups, vinyl groups such as vinyl esters and vinyl ethers; and allyl groups such as allyl ethers and allyl esters.

前記エチレン性不飽和結合を1つ以上有する化合物としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、(メタ)アクリル基を有するモノマーから選択される少なくとも1種が好適に挙げられる。   The compound having one or more ethylenically unsaturated bonds is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, at least one selected from monomers having a (meth) acryl group is Preferably mentioned.

前記(メタ)アクリル基を有するモノマーとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート等の単官能アクリレートや単官能メタクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリトリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリトリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリトリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリトリトールペンタ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)シアヌレート、グリセリントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンやグリセリン、ビスフェノール等の多官能アルコールに、エチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加反応した後で(メタ)アクリレート化したもの、特公昭48−41708号、特公昭50−6034号、特開昭51−37193号等の各公報に記載されているウレタンアクリレート類;特開昭48−64183号、特公昭49−43191号、特公昭52−30490号等の各公報に記載されているポリエステルアクリレート類;エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能アクリレートやメタクリレートなどが挙げられる。これらの中でも、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリトリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリトリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリトリトールペンタ(メタ)アクリレートが特に好ましい。   There is no restriction | limiting in particular as a monomer which has the said (meth) acryl group, According to the objective, it can select suitably, For example, polyethyleneglycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate, phenoxyethyl (meth) ) Monofunctional acrylates and monofunctional methacrylates such as acrylates; polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolethane triacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane diacrylate, neopentylglycol di (Meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (Meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, hexanediol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, tri (acryloyloxyethyl) cyanurate, glycerin Poly (functional) alcohols such as tri (meth) acrylate, trimethylolpropane, glycerin, bisphenol, etc., which are subjected to addition reaction with ethylene oxide and propylene oxide, and converted to (meth) acrylate, Japanese Patent Publication No. 48-41708, Japanese Patent Publication No. 50- Urethane acrylates described in JP-A-6034, JP-A-51-37193, etc .; JP-A-48-64183, JP-B-49-43191, JP-B-52-30 Polyester acrylates described in each publication of such 90 No.; and epoxy resin and (meth) polyfunctional acrylates or methacrylates such as epoxy acrylates which are reaction products of acrylic acid. Among these, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, and dipentaerythritol penta (meth) acrylate are particularly preferable.

前記重合性化合物の前記感光性組成物固形分中の固形分含有量は、5質量%〜50質量%が好ましく、10質量%〜40質量%がより好ましい。該固形分含有量が5質量%以上であれば、現像性、露光感度が良好となり、50質量%以下であれば、感光層の粘着性が強くなりすぎることを防止できる。   5 mass%-50 mass% are preferable, and, as for solid content content in the said photosensitive composition solid content of the said polymeric compound, 10 mass%-40 mass% are more preferable. When the solid content is 5% by mass or more, developability and exposure sensitivity are good, and when the solid content is 50% by mass or less, the adhesiveness of the photosensitive layer can be prevented from becoming too strong.

<光重合開始剤>
前記光重合開始剤としては、前記重合性化合物の重合を開始する能力を有する限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、紫外線領域から可視の光線に対して感光性を有するものが好ましく、光励起された増感剤と何らかの作用を生じ、活性ラジカルを生成する活性剤であってもよく、モノマーの種類に応じてカチオン重合を開始させるような開始剤であってもよい。
また、前記光重合開始剤は、波長約300nm〜800nmの範囲内に少なくとも約50の分子吸光係数を有する成分を少なくとも1種含有していることが好ましい。前記波長は330nm〜500nmがより好ましい。
前記光重合開始剤としては、中性の光重合開始剤が用いられる。また、必要に応じてその他の光重合開始剤を含んでいてもよい。
<Photopolymerization initiator>
The photopolymerization initiator is not particularly limited as long as it has the ability to initiate the polymerization of the polymerizable compound, and can be appropriately selected according to the purpose. Those having photosensitivity are preferable, and may be an activator that generates an active radical by causing some action with a photoexcited sensitizer, and is an initiator that initiates cationic polymerization according to the type of monomer. May be.
The photopolymerization initiator preferably contains at least one component having a molecular extinction coefficient of at least about 50 within a wavelength range of about 300 nm to 800 nm. The wavelength is more preferably 330 nm to 500 nm.
As the photopolymerization initiator, a neutral photopolymerization initiator is used. Moreover, the other photoinitiator may be included as needed.

前記中性の光重合開始剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、少なくとも芳香族基を有する化合物であることが好ましく、(ビス)アシルホスフィンオキシド又はそのエステル類、アセトフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、ベンゾインエーテル系化合物、ケタール誘導体化合物、チオキサントン化合物であることがより好ましい。前記中性の光重合開始剤は、2種以上を併用してもよい。   The neutral photopolymerization initiator is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose, but is preferably a compound having at least an aromatic group, such as (bis) acylphosphine oxide or an ester thereof. More preferred are acetophenone compounds, benzophenone compounds, benzoin ether compounds, ketal derivative compounds, and thioxanthone compounds. Two or more neutral photopolymerization initiators may be used in combination.

前記光重合開始剤としては、例えば、(ビス)アシルホスフィンオキシド又はそのエステル類、アセトフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、ベンゾインエーテル系化合物、ケタール誘導体化合物、チオキサントン化合物、オキシム誘導体、有機過酸化物、チオ化合物、などが挙げられる。これらの中でも、感光層の感度、保存性、及び感光層とプリント配線板形成用基板との密着性等の観点から、オキシム誘導体、(ビス)アシルホスフィンオキシド又はそのエステル類、アセトフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、ベンゾインエーテル系化合物、ケタール誘導体化合物、チオキサントン化合物、が好ましい。   Examples of the photopolymerization initiator include (bis) acylphosphine oxide or esters thereof, acetophenone compounds, benzophenone compounds, benzoin ether compounds, ketal derivative compounds, thioxanthone compounds, oxime derivatives, organic peroxides, thiols, and the like. Compounds, and the like. Among these, from the viewpoints of the sensitivity and storage stability of the photosensitive layer and the adhesion between the photosensitive layer and the printed wiring board forming substrate, oxime derivatives, (bis) acylphosphine oxide or esters thereof, acetophenone compounds, benzophenone Compounds, benzoin ether compounds, ketal derivative compounds, and thioxanthone compounds are preferred.

前記(ビス)アシルホスフィンオキシドとしては、例えば2,6−ジメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、2,4,6−トリメチルベンゾイルフェニルホスフィン酸メチルエステル、2,6−ジクロルベンゾイルフェニルホスフィンオキシド、2,6−ジメチトキシベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキサイドなどが挙げられる。
前記アセトフェノン系化合物としては、例えばアセトフェノン、メトキシアセトフェノン、1−フェニル−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、4−ジフェノキシジクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オンなどが挙げられる。
前記ベンゾフェノン系化合物としては、例えばベンゾフェノン、4−フェニルベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、3,3′−ジメチル−4−メトキシベンゾフェノン、ジフェノキシベンゾフェノンなどが挙げられる。
前記ベンゾインエーテル系化合物としては、例えばベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテルなどが挙げられる。
前記ケタール誘導体化合物としては、例えばベンジルジメチルケタールなどが挙げられる。
前記チオキサントン化合物としては、例えば2−クロロチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン、イソプロピルチオキサントンなどが挙げられる。
Examples of the (bis) acylphosphine oxide include 2,6-dimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoylphenylphosphinic acid methyl ester, 2,6 -Dichlorobenzoylphenylphosphine oxide, 2,6-dimethylmethyoxybenzoyldiphenylphosphine oxide, bis (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethyl-pentylphosphine oxide, bis (2,4,6-trimethyl) And benzoyl) -phenylphosphine oxide.
Examples of the acetophenone compounds include acetophenone, methoxyacetophenone, 1-phenyl-2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 4-diphenoxydichloroacetophenone, diethoxyacetophenone, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one and the like.
Examples of the benzophenone compounds include benzophenone, 4-phenylbenzophenone, methyl benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, hydroxybenzophenone, 3,3′-dimethyl-4-methoxybenzophenone, diphenoxybenzophenone, and the like.
Examples of the benzoin ether compounds include benzoin ethyl ether and benzoin propyl ether.
Examples of the ketal derivative compound include benzyldimethyl ketal.
Examples of the thioxanthone compound include 2-chlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, isopropylthioxanthone, and the like.

本発明で好適に用いられるオキシム誘導体としては、例えば、下記一般式(1)で表される。
As an oxime derivative used suitably by this invention, it represents with following General formula (1), for example.

ただし、上記一般式(1)中、Rは、水素原子、置換基を有してもよいアシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アルキルスルホニル基、及びアリールスルホニル基のいずれかを表し、Rは、それぞれ独立に置換基を表す。mは、0〜4の整数を表し、2以上の場合は、互いに連結し環を形成してもよい。Aは、4、5、6、及び7員環のいずれかを表す。また、Aは、5及び6員環のいずれかであるのが好ましい。 However, in the general formula (1), R 1 represents any one of a hydrogen atom, an optionally substituted acyl group, an alkoxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, an alkylsulfonyl group, and an arylsulfonyl group. , R 2 each independently represents a substituent. m represents an integer of 0 to 4, and in the case of 2 or more, they may be connected to each other to form a ring. A represents any of 4, 5, 6, and 7-membered rings. A is preferably either a 5- or 6-membered ring.

また、本発明で用いられるオキシム誘導体(オキシム化合物)としては、下記一般式(2)で表されるものがより好ましい。   Moreover, as an oxime derivative (oxime compound) used by this invention, what is represented by following General formula (2) is more preferable.

ただし、上記一般式(2)中、Rは、水素原子、置換基を有してもよいアシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アルキルスルホニル基、及びアリールスルホニル基のいずれかを表し、Rは、それぞれ独立に置換基を表す。mは、0〜4の整数を表し、2以上の場合は、互いに連結し環を形成してもよい。Xは、CH、O、及びSのいずれかを表す。Aは、5及び6員環のいずれかを表す。 However, in the general formula (2), R 1 represents any of a hydrogen atom, an optionally substituted acyl group, an alkoxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, an alkylsulfonyl group, and an arylsulfonyl group. , R 2 each independently represents a substituent. m represents an integer of 0 to 4, and in the case of 2 or more, they may be connected to each other to form a ring. X represents any of CH 2 , O, and S. A represents either a 5- or 6-membered ring.

前記一般式(1)及び(2)中、Rで表されるアシル基としては、脂肪族、芳香族、及び複素環のいずれでもよく、更に置換基を有してもよい。
脂肪族基としては、アセチル基、プロパノイル基、ブタノイル基、ヘキサノイル基、デカノイル基、フェノキシアセチル基、クロロアセチル基、などが挙げられる。芳香族基としては、ベンゾイル基、ナフトイル基、メトキシベンゾイル基、ニトロベンゾイル基、などが挙げられる。複素環基としては、フラノイル基、チオフェノイル基、などが挙げられる。
置換基としては、アルコキシ基、アリールオキシ基、及びハロゲン原子のいずれかが好ましい。アシル基としては、総炭素数2〜30のものが好ましく、総炭素数2〜20のものがより好ましく、総炭素数2〜16のものが特に好ましい。このようなアシル基としては、例えば、アセチル基、プロパノイル基、メチルプロパノイル基、ブタノイル基、ピバロイル基、ヘキサノイル基、シクロヘキサンカルボニル基、オクタノイル基、デカノイル基、ドデカノイル基、オクタデカノイル基、ベンジルカルボニル基、フェノキシアセチル基、2−エチルヘキサノイル基、クロロアセチル基、ベンゾイル基、パラメトキシベンゾイル基、2,5−ジブトキシベンゾイル基、1−ナフトイル基、2−ナフトイル基、ピリジルカルボニル基、メタクリロイル基、アクリロイル基、などが挙げられる。
In the general formulas (1) and (2), the acyl group represented by R 1 may be any of aliphatic, aromatic, and heterocyclic, and may further have a substituent.
Examples of the aliphatic group include an acetyl group, a propanoyl group, a butanoyl group, a hexanoyl group, a decanoyl group, a phenoxyacetyl group, and a chloroacetyl group. Examples of the aromatic group include a benzoyl group, a naphthoyl group, a methoxybenzoyl group, and a nitrobenzoyl group. Examples of the heterocyclic group include a furanoyl group and a thiophenoyl group.
As the substituent, any of an alkoxy group, an aryloxy group, and a halogen atom is preferable. As the acyl group, those having 2 to 30 carbon atoms are preferable, those having 2 to 20 carbon atoms are more preferable, and those having 2 to 16 carbon atoms are particularly preferable. Examples of the acyl group include acetyl group, propanoyl group, methylpropanoyl group, butanoyl group, pivaloyl group, hexanoyl group, cyclohexanecarbonyl group, octanoyl group, decanoyl group, dodecanoyl group, octadecanoyl group, benzylcarbonyl Group, phenoxyacetyl group, 2-ethylhexanoyl group, chloroacetyl group, benzoyl group, paramethoxybenzoyl group, 2,5-dibutoxybenzoyl group, 1-naphthoyl group, 2-naphthoyl group, pyridylcarbonyl group, methacryloyl group , An acryloyl group, and the like.

アルキルオキシカルボニル基としては、置換基を有していてもよく、総炭素数が2〜30のアルコキシカルボニル基が好ましく、総炭素数2〜20のものがより好ましく、総炭素数2〜16のものが特に好ましい。このようなアルコキシカルボニル基としては、例えば、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、イソプロポキシカルボニルブトキシカルボニル基、イソブチルオキシカルボニル基、アリルオキシカルボニル基、オクチルオキシカルボニル基、ドデシルオキシカルボニル基、エトキシエトキシカルボニル基、が挙げられる。   The alkyloxycarbonyl group may have a substituent and is preferably an alkoxycarbonyl group having 2 to 30 carbon atoms in total, more preferably having 2 to 20 carbon atoms in total, and 2 to 16 carbon atoms in total. Those are particularly preferred. Examples of such alkoxycarbonyl groups include methoxycarbonyl group, ethoxycarbonyl group, isopropoxycarbonylbutoxycarbonyl group, isobutyloxycarbonyl group, allyloxycarbonyl group, octyloxycarbonyl group, dodecyloxycarbonyl group, ethoxyethoxycarbonyl group. .

アリールオキシカルボニル基としては、置換基を有していてもよく、総炭素数7〜30のアルコキシカルボニル基が好ましく、総炭素数7〜20のものがより好ましく、総炭素数7〜16のものが特に好ましい。この様なアリールオキシカルボニル基としては、例えば、フェノキシカルボニル基、2−ナフトキシカルボニル基、パラメトキシフェノキシカルボニル基、2,5−ジエトキシフェノキシカルボニル基、パラクロロフェノキシカルボニル基、パラニトロフェノキシカルボニル基、パラシアノフェノキシカルボニル基、が挙げられる。   The aryloxycarbonyl group may have a substituent and is preferably an alkoxycarbonyl group having a total carbon number of 7 to 30, more preferably a total carbon number of 7 to 20, and a total carbon number of 7 to 16. Is particularly preferred. Examples of such aryloxycarbonyl groups include phenoxycarbonyl group, 2-naphthoxycarbonyl group, paramethoxyphenoxycarbonyl group, 2,5-diethoxyphenoxycarbonyl group, parachlorophenoxycarbonyl group, paranitrophenoxycarbonyl group. And paracyanophenoxycarbonyl group.

アルキルスルホニル基としては、更に、置換基を有してもよい。該置換基としては、例えば、フェニル基、ハロゲン原子、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルコキシカルボニル基、アシルオキシ基、アシルアミノ基、カルバモイル基、シアノ基、カルボン酸基、スルホン酸基、ヘテロ環基、が好ましく挙げられる。アルキルスルホニル基としては、メチルスルホニル基、ブチルスルホニル基、オクチルスルホニル基、デシルスルホニル基、ドデシルスルホニル基、ベンジルスルホニル基、トリフルオロメチルスルホニル基、が特に好ましく挙げられる。   The alkylsulfonyl group may further have a substituent. Examples of the substituent include a phenyl group, a halogen atom, an alkoxy group, an aryloxy group, an alkoxycarbonyl group, an acyloxy group, an acylamino group, a carbamoyl group, a cyano group, a carboxylic acid group, a sulfonic acid group, and a heterocyclic group. Preferably mentioned. As the alkylsulfonyl group, a methylsulfonyl group, a butylsulfonyl group, an octylsulfonyl group, a decylsulfonyl group, a dodecylsulfonyl group, a benzylsulfonyl group, and a trifluoromethylsulfonyl group are particularly preferable.

アリールスルホニル基としては、更に、置換基を有してもよい。該置換基としては、例えば、フェニル基、ハロゲン原子、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルコキシカルボニル基、アシルオキシ基、アシルアミノ基、カルバモイル基、シアノ基、カルボン酸基、スルホン酸基、ヘテロ環基、が好ましく挙げられる。アリールスルホニル基としては、ベンゼンスルホニル基、トルエンスルホニル基、クロロベンゼンスルホニル基、ブトキシベンゼンスルホニル基、2,5−ジブトキシベンゼンスルホニル基、パラニトロベンゼンスルホニル基、パーフルオロベンゼンスルホニル基、が特に好ましく挙げられる。   The arylsulfonyl group may further have a substituent. Examples of the substituent include a phenyl group, a halogen atom, an alkoxy group, an aryloxy group, an alkoxycarbonyl group, an acyloxy group, an acylamino group, a carbamoyl group, a cyano group, a carboxylic acid group, a sulfonic acid group, and a heterocyclic group. Preferably mentioned. Particularly preferred examples of the arylsulfonyl group include a benzenesulfonyl group, a toluenesulfonyl group, a chlorobenzenesulfonyl group, a butoxybenzenesulfonyl group, a 2,5-dibutoxybenzenesulfonyl group, a paranitrobenzenesulfonyl group, and a perfluorobenzenesulfonyl group.

前記一般式(1)及び(2)中、Rで示される置換基としては、脂肪族、芳香族、複素芳香族、ハロゲン原子、−OR、−SR、−NR、が挙げられる。R及びRは、互いに連結して環を形成してもよい。また、R及びRは、それぞれ独立に水素原子若しくは脂肪族基、芳香族基、複素芳香族基のいずれかを表す。mが2以上であり、互いに連結して環を形成する場合は、それぞれ独立したRどうしで環を形成してもよく、R及びRの少なくともいずれかを介して環を形成してもよい。 In the general formulas (1) and (2), examples of the substituent represented by R 2 include aliphatic, aromatic, heteroaromatic, halogen atom, —OR 3 , —SR 3 , —NR 3 R 4 . Can be mentioned. R 3 and R 4 may form a ring. R 3 and R 4 each independently represent a hydrogen atom, an aliphatic group, an aromatic group, or a heteroaromatic group. When m is 2 or more and are connected to each other to form a ring, each R 2 may form a ring, and a ring may be formed via at least one of R 3 and R 4. Also good.

前記置換基Rを介して環を形成する場合は下記構造が挙げられる。
In the case where a ring is formed via the substituent R 2 , the following structures are exemplified.

前記構造式中、Y及びZは、CH、−O−、−S−、及び−NR−のいずれかを表す。 In the structural formula, Y and Z represent any one of CH 2 , —O—, —S—, and —NR—.

、R、及びRの脂肪族基、芳香族基、及び複素芳香族基の具体例としては、前記Rと同様のものが挙げられる。 Specific examples of the aliphatic group, aromatic group, and heteroaromatic group of R 2 , R 3 , and R 4 include the same groups as those described above for R 1 .

前記一般式(1)で表されるオキシム化合物の具体例としては、下記構造式(1)〜(51)で表される化合物が挙げられるが、本発明は、これらに限定されるものではない。   Specific examples of the oxime compound represented by the general formula (1) include compounds represented by the following structural formulas (1) to (51), but the present invention is not limited thereto. .

なお、本発明で用いられるオキシム化合物は、H−NMRスペクトル、UV−vis吸収スペクトルを測定して同定することができる。 In addition, the oxime compound used by this invention can be identified by measuring a < 1 > H-NMR spectrum and a UV-vis absorption spectrum.

前記オキシム化合物の製造方法としては、対応するオキシム化合物とアシル塩化物又は無水物との、塩基(例えば、トリエチルアミン、ピリジン)存在下で、THF、DMF、アセトニトリル等の不活性溶媒中か、ピリジンのような塩基性溶媒中で反応させることにより容易に合成できる。前記反応温度としては、−10℃〜60℃が好ましい。
また、前記アシル塩化物として、クロロ蟻酸エステル、アルキルスルホニルクロライド、アリールスルホニルクロライドを用いることにより、対応する種々のオキシムエステル化合物が合成可能である。
As a method for producing the oxime compound, the corresponding oxime compound and acyl chloride or anhydride in the presence of a base (for example, triethylamine, pyridine) in an inert solvent such as THF, DMF, acetonitrile, It can be easily synthesized by reacting in such a basic solvent. The reaction temperature is preferably −10 ° C. to 60 ° C.
Further, by using chloroformate, alkylsulfonyl chloride, and arylsulfonyl chloride as the acyl chloride, various corresponding oxime ester compounds can be synthesized.

前記オキシム化合物製造時の出発材料として用いられるオキシム化合物の合成方法としては、標準的な化学の教科書(例えばJ.March,Advanced Organic Chemistry,4th Edition,Wiley Interscience,1992)、又は専門的なモノグラフ、例えば、S.R. Sandler & W. Karo, Organic functional group preparations,Vol.3,Academic Pressに記載された、様々な方法によって得ることができる。   As a method for synthesizing the oxime compound used as a starting material in the production of the oxime compound, standard chemistry textbooks (for example, J. March, Advanced Organic Chemistry, 4th Edition, Wiley Interscience, 1992), or a professional monograph For example, S. R. Sandler & W. Karo, Organic functional group preparations, Vol. 3, can be obtained by various methods described in Academic Press.

前記オキシム化合物の特に好ましい合成方法としては、例えば、アルデヒド又はケトンと、ヒドロキシルアミン、又はその塩とを、エタノール若しくはエタノール水のような極性溶媒中で反応させる方法が挙げられる。この場合、酢酸ナトリウム又はピリジンのような塩基を加えて、反応混合物のpHを制御する。反応速度がpH依存性であり、塩基は、開始時にか、又は反応の間連続的に加え得ることは周知である。ピリジンのような塩基性溶媒を、塩基及び/又は溶媒若しくは助溶剤として用いることもできる。前記反応温度としては、一般的には、混合物の還流温度、即ち、約60〜120℃が好ましい。   As a particularly preferable synthesis method of the oxime compound, for example, a method of reacting an aldehyde or ketone with hydroxylamine or a salt thereof in a polar solvent such as ethanol or ethanol water can be mentioned. In this case, a base such as sodium acetate or pyridine is added to control the pH of the reaction mixture. It is well known that the reaction rate is pH dependent and the base can be added at the start or continuously during the reaction. A basic solvent such as pyridine can also be used as the base and / or solvent or cosolvent. The reaction temperature is generally preferably the reflux temperature of the mixture, that is, about 60 to 120 ° C.

前記オキシム化合物の他の異なる好ましい合成方法としては、亜硝酸又は亜硝酸アルキルによる「活性」メチレン基のニトロソ化による方法が挙げられる。例えば、Organic Syntheses coll.Vol.VI(J.Wiley&Sons,New York,1988),pp.199 and 840に記載されたような、アルカリ性条件と、例えば、Organic Synthesis coll.Vol.V,pp.32 and 373,coll.Vol.III,pp.191 and 513,coll.Vol.II,pp.202,204 and 363に記載されたような、酸性条件との双方が、出発材料として用いられるオキシム化合物の合成に好適である。
前記亜硝酸としては、通常、亜硝酸ナトリウムから生成される。
前記亜硝酸アルキルとしては、例えば、亜硝酸メチル、亜硝酸エチル、亜硝酸イソプロピル、亜硝酸ブチル又は亜硝酸イソアミル、などが挙げられる。
Another different preferred method of synthesis of the oxime compound is by nitrosation of an “active” methylene group with nitrous acid or alkyl nitrite. See, for example, Organic Synthesis coll. Vol. VI (J. Wiley & Sons, New York, 1988), pp. 199 and 840 and alkaline conditions such as those described in Organic Synthesis coll. Vol. V, pp. 32 and 373, coll. Vol. III, pp. 191 and 513, coll. Vol. II, pp. Both acidic conditions, as described in 202, 204 and 363, are suitable for the synthesis of oxime compounds used as starting materials.
The nitrous acid is usually produced from sodium nitrite.
Examples of the alkyl nitrite include methyl nitrite, ethyl nitrite, isopropyl nitrite, butyl nitrite, and isoamyl nitrite.

前記オキシムエステルの基としては、2種類の立体配置(Z)又は(E)で存在するものであってもよい。慣用の方法によって、異性体を分離してもよいし、異性体混合物を光開始用の種として、そのままで用いてもよい。従って、本発明のオキシム化合物は、前記構造式(1)〜(51)の化合物の立体配置上の異性体の混合物であってもよい。   The oxime ester group may exist in two types of configuration (Z) or (E). The isomers may be separated by conventional methods, or the isomer mixture may be used as it is as a photoinitiating seed. Therefore, the oxime compound of the present invention may be a mixture of isomers on the configuration of the compounds of the structural formulas (1) to (51).

前記オキシム化合物は、保存安定性に優れ、高感度であることにより、重合性組成物に添加することで、保存時は重合を生じることなく保存安定性に優れ、エネルギー線、特に光の照射により活性ラジカルを発生して効率的に重合を開始し、該重合性化合物が短時間で効率的に重合し得る高感度な重合性組成物を得ることができる。   The oxime compound has excellent storage stability and high sensitivity, and therefore, when added to the polymerizable composition, it has excellent storage stability without causing polymerization during storage. An active radical is generated to initiate polymerization efficiently, and a highly sensitive polymerizable composition capable of efficiently polymerizing the polymerizable compound in a short time can be obtained.

前記光重合開始剤は、1種単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
前記光重合開始剤の前記感光性組成物における含有量は、0.1質量%〜30質量%が好ましく、0.5質量%〜20質量%がより好ましく、0.5質量%〜15質量%が特に好ましい。
The said photoinitiator may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.
The content of the photopolymerization initiator in the photosensitive composition is preferably 0.1% by mass to 30% by mass, more preferably 0.5% by mass to 20% by mass, and 0.5% by mass to 15% by mass. Is particularly preferred.

<熱架橋剤>
前記熱架橋剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、前記感光性フィルムを用いて形成される感光層の硬化後の膜強度を改良するために、現像性等に悪影響を与えない範囲で、例えば、エポキシ化合物を含む化合物、(例えば、1分子内に少なくとも2つのオキシラン基を有するエポキシ化合物)、1分子内に少なくとも2つのオキセタニル基を有するオキセタン化合物を用いることができ、特開2007−47729号公報に記載されているようなオキシラン基を有するエポキシ化合物、β位にアルキル基を有するエポキシ化合物、オキセタニル基を有するオキセタン化合物、ポリイソシアネート化合物、ポリイソシアネート及びその誘導体のイソシアネート基にブロック剤を反応させて得られる化合物などが挙げられる。
<Thermal crosslinking agent>
The thermal crosslinking agent is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose. In order to improve the film strength after curing of the photosensitive layer formed using the photosensitive film, developability, etc. In the range that does not adversely affect the above, for example, a compound containing an epoxy compound (for example, an epoxy compound having at least two oxirane groups in one molecule), or an oxetane compound having at least two oxetanyl groups in one molecule is used. An epoxy compound having an oxirane group as described in JP-A-2007-47729, an epoxy compound having an alkyl group at the β-position, an oxetane compound having an oxetanyl group, a polyisocyanate compound, a polyisocyanate and derivatives thereof Compounds obtained by reacting a blocking agent with the isocyanate group of It is below.

また、前記熱架橋剤として、メラミン誘導体を用いることができる。該メラミン誘導体としては、例えば、メチロールメラミン、アルキル化メチロールメラミン(メチロール基を、メチル、エチル、ブチル等でエーテル化した化合物)等が挙げられる。これらは1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。これらの中でも、保存安定性が良好で、感光層の表面硬度あるいは硬化膜の膜強度自体の向上に有効である点で、アルキル化メチロールメラミンが好ましく、ヘキサメチル化メチロールメラミンが特に好ましい。   Moreover, a melamine derivative can be used as the thermal crosslinking agent. Examples of the melamine derivative include methylol melamine, alkylated methylol melamine (a compound obtained by etherifying a methylol group with methyl, ethyl, butyl, or the like). These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together. Among these, alkylated methylol melamine is preferable and hexamethylated methylol melamine is particularly preferable in that it has good storage stability and is effective in improving the surface hardness of the photosensitive layer or the film strength itself of the cured film.

前記熱架橋剤の前記感光性組成物固形分中の固形分含有量は、1質量%〜50質量%が好ましく、3質量%〜30質量%がより好ましい。該固形分含有量が1質量%以上であれば、硬化膜の膜強度が向上され、50質量%以下であれば、現像性、露光感度が良好となる。   The solid content in the photosensitive composition solid content of the thermal crosslinking agent is preferably 1% by mass to 50% by mass, and more preferably 3% by mass to 30% by mass. When the solid content is 1% by mass or more, the film strength of the cured film is improved, and when it is 50% by mass or less, the developability and the exposure sensitivity are improved.

前記エポキシ化合物としては、例えば、1分子中に少なくとも2つのオキシラン基を有するエポキシ化合物、β位にアルキル基を有するエポキシ基を少なくとも1分子中に2つ含むエポキシ化合物などが挙げられる。   Examples of the epoxy compound include an epoxy compound having at least two oxirane groups in one molecule and an epoxy compound having at least two epoxy groups having an alkyl group at the β-position in one molecule.

前記1分子中に少なくとも2つのオキシラン基を有するエポキシ化合物としては、例えば、ビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂(「YX4000ジャパンエポキシレジン社製」等)又はこれらの混合物、イソシアヌレート骨格等を有する複素環式エポキシ樹脂(「TEPIC;日産化学工業株式会社製」、「アラルダイトPT810;チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製」等)、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾ−ルノボラック型エポキシ樹脂、ハロゲン化エポキシ樹脂(例えば低臭素化エポキシ樹脂、高ハロゲン化エポキシ樹脂、臭素化フェノールノボラック型エポキシ樹脂など)、アリル基含有ビスフェノールA型エポキシ樹脂、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂、ジフェニルジメタノール型エポキシ樹脂、フェノールビフェニレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂(「HP−7200,HP−7200H;大日本インキ化学工業株式会社製」等)、グリシジルアミン型エポキシ樹脂(ジアミノジフェニルメタン型エポキシ樹脂、ジグリシジルアニリン、トリグリシジルアミノフェノール等)、グリジジルエステル型エポキシ樹脂(フタル酸ジグリシジルエステル、アジピン酸ジグリシジルエステル、ヘキサヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、ダイマー酸ジグリシジルエステル等)ヒダントイン型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂(3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3’,4’−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、ビス(3,4−エポキシシクロヘキシルメチル)アジペート、ジシクロペンタジエンジエポキシド、「GT−300、GT−400、ZEHPE3150;ダイセル化学工業株式会社製」等、)、イミド型脂環式エポキシ樹脂、トリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂、グリシジルフタレート樹脂、テトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂、ナフタレン基含有エポキシ樹脂(ナフトールアラルキル型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、4官能ナフタレン型エポキシ樹脂、市販品としては「ESN−190,ESN−360;新日鉄化学株式会社製」、「HP−4032,EXA−4750,EXA−4700;大日本インキ化学工業株式会社製」等)、フェノール化合物とジビニルベンゼンやジシクロペンタジエン等のジオレフィン化合物との付加反応によって得られるポリフェノール化合物と、エピクロルヒドリンとの反応物、4−ビニルシクロヘキセン−1−オキサイドの開環重合物を過酢酸等でエポキシ化したもの、線状含リン構造を有するエポキシ樹脂、環状含リン構造を有するエポキシ樹脂、α−メチルスチルベン型液晶エポキシ樹脂、ジベンゾイルオキシベンゼン型液晶エポキシ樹脂、アゾフェニル型液晶エポキシ樹脂、アゾメチンフェニル型液晶エポキシ樹脂、ビナフチル型液晶エポキシ樹脂、アジン型エポキシ樹脂、グリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂(「CP−50S,CP−50M;日本油脂株式会社製」等)、シクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートとの共重合エポキシ樹脂、ビス(グリシジルオキシフェニル)フルオレン型エポキシ樹脂、ビス(グリシジルオキシフェニル)アダマンタン型エポキシ樹脂などが挙げられるが、これらに限られるものではない。これらのエポキシ樹脂は、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。   Examples of the epoxy compound having at least two oxirane groups in one molecule include, for example, a bixylenol type or biphenol type epoxy resin (“YX4000 Japan Epoxy Resin” etc.) or a mixture thereof, a complex having an isocyanurate skeleton, etc. Cyclic epoxy resin (“TEPIC; manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.”, “Araldite PT810; manufactured by Ciba Specialty Chemicals”, etc.), bisphenol A type epoxy resin, novolac type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, hydrogenated Bisphenol A type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, halogenated epoxy resin (for example, low brominated epoxy resin, high halogenated epoxy resin) , Brominated phenol novolac type epoxy resin, etc.), allyl group-containing bisphenol A type epoxy resin, trisphenol methane type epoxy resin, diphenyldimethanol type epoxy resin, phenol biphenylene type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin ("HP- 7200, HP-7200H; manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.), glycidylamine type epoxy resins (diaminodiphenylmethane type epoxy resins, diglycidylaniline, triglycidylaminophenol, etc.), glycidyl ester type epoxy resins (phthalic acid) Diglycidyl ester, adipic acid diglycidyl ester, hexahydrophthalic acid diglycidyl ester, dimer acid diglycidyl ester, etc.) Hydantoin type epoxy resin, alicyclic epoxy resin (3,4-epoxycyclohexylmethyl-3 ′, 4′-epoxycyclohexanecarboxylate, bis (3,4-epoxycyclohexylmethyl) adipate, dicyclopentadiene diepoxide, “GT-300, GT-400, ZEHPE3150; Daicel Chemical Industry Co., Ltd. "), imide type alicyclic epoxy resin, trihydroxyphenylmethane type epoxy resin, bisphenol A novolac type epoxy resin, tetraphenylolethane type epoxy resin, glycidyl phthalate resin, tetraglycidyl xylenoyl Ethane resin, naphthalene group-containing epoxy resin (naphthol aralkyl type epoxy resin, naphthol novolac type epoxy resin, tetrafunctional naphthalene type epoxy resin, commercially available products such as “ESN-190, ESN-36” 0; manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd. ”,“ HP-4032, EXA-4750, EXA-4700; manufactured by Dainippon Ink and Chemicals Co., Ltd. ”), phenol compounds and diolefin compounds such as divinylbenzene and dicyclopentadiene Reaction product of polyphenol compound obtained by addition reaction and epichlorohydrin, epoxidation of ring-opening polymer of 4-vinylcyclohexene-1-oxide with peracetic acid, epoxy resin having linear phosphorus-containing structure, cyclic containing Epoxy resin having phosphorus structure, α-methylstilbene type liquid crystal epoxy resin, dibenzoyloxybenzene type liquid crystal epoxy resin, azophenyl type liquid crystal epoxy resin, azomethine phenyl type liquid crystal epoxy resin, binaphthyl type liquid crystal epoxy resin, azine type epoxy resin, glycidyl Metaacryl Copolymer epoxy resin (“CP-50S, CP-50M; manufactured by NOF Corporation”), copolymerized epoxy resin of cyclohexylmaleimide and glycidyl methacrylate, bis (glycidyloxyphenyl) fluorene type epoxy resin, bis Examples thereof include (glycidyloxyphenyl) adamantane type epoxy resin, but are not limited thereto. These epoxy resins may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

また、1分子中に少なくとも2つのオキシラン基を有する前記エポキシ化合物以外に、β位にアルキル基を有するエポキシ基を少なくとも1分子中に2つ含むエポキシ化合物を用いることができ、β位がアルキル基で置換されたエポキシ基(より具体的には、β−アルキル置換グリシジル基など)を含む化合物が特に好ましい。
前記β位にアルキル基を有するエポキシ基を少なくとも含むエポキシ化合物は、1分子中に含まれる2個以上のエポキシ基のすべてがβ−アルキル置換グリシジル基であってもよく、少なくとも1個のエポキシ基がβ−アルキル置換グリシジル基であってもよい。
In addition to the epoxy compound having at least two oxirane groups in one molecule, an epoxy compound containing at least two epoxy groups having an alkyl group at the β-position can be used, and the β-position is an alkyl group. Particularly preferred is a compound containing an epoxy group substituted with a (specifically, a β-alkyl-substituted glycidyl group or the like).
In the epoxy compound containing at least an epoxy group having an alkyl group at the β-position, all of two or more epoxy groups contained in one molecule may be a β-alkyl-substituted glycidyl group, and at least one epoxy group May be a β-alkyl-substituted glycidyl group.

前記オキセタン化合物としては、例えば、1分子内に少なくとも2つのオキセタニル基を有するオキセタン化合物が挙げられる。
具体的には、例えば、ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、1,4−ビス[(3−メチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、1,4−ビス[(3−エチル−3−オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルアクリレート、(3−メチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレート、(3−エチル−3−オキセタニル)メチルメタクリレート又はこれらのオリゴマーあるいは共重合体等の多官能オキセタン類の他、オキセタン基を有する化合物と、ノボラック樹脂、ポリ(p−ヒドロキシスチレン)、カルド型ビスフェノール類、カリックスアレーン類、カリックスレゾルシンアレーン類、シルセスキオキサン等の水酸基を有する樹脂など、とのエーテル化合物が挙げられ、この他、オキセタン環を有する不飽和モノマーとアルキル(メタ)アクリレートとの共重合体なども挙げられる。
Examples of the oxetane compound include oxetane compounds having at least two oxetanyl groups in one molecule.
Specifically, for example, bis [(3-methyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] ether, 1,4-bis [(3-methyl- 3-Oxetanylmethoxy) methyl] benzene, 1,4-bis [(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy) methyl] benzene, (3-methyl-3-oxetanyl) methyl acrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl) In addition to polyfunctional oxetanes such as methyl acrylate, (3-methyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl) methyl methacrylate or oligomers or copolymers thereof, compounds having an oxetane group; Novolac resin, poly (p-hydroxystyrene), cardo type bisphenol , Calixarenes, calixresorcinarenes, ether compounds such as silsesquioxane and other hydroxyl-containing resins. A polymer etc. are also mentioned.

また、前記ポリイソシアネート化合物としては、特開平5−9407号公報記載のポリイソシアネート化合物を用いることができ、該ポリイソシアネート化合物は、少なくとも2つのイソシアネート基を含む脂肪族、環式脂肪族又は芳香族基置換脂肪族化合物から誘導されていてもよい。具体的には、2官能イソシアネート(例えば、1,3−フェニレンジイソシアネートと1,4−フェニレンジイソシアネートとの混合物、2,4−及び2,6−トルエンジイソシアネート、1,3−及び1,4−キシリレンジイソシアネート、ビス(4−イソシアネート−フェニル)メタン、ビス(4−イソシアネートシクロヘキシル)メタン、イソフォロンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート等)、該2官能イソシアネートと、トリメチロールプロパン、ペンタリスルトール、グリセリン等との多官能アルコール;該多官能アルコールのアルキレンオキサイド付加体と、前記2官能イソシアネートとの付加体;ヘキサメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレン−1,6−ジイソシアネート及びその誘導体等の環式三量体;などが挙げられる。   Moreover, as the polyisocyanate compound, a polyisocyanate compound described in JP-A-5-9407 can be used, and the polyisocyanate compound is an aliphatic, cycloaliphatic or aromatic group containing at least two isocyanate groups. It may be derived from a group-substituted aliphatic compound. Specifically, bifunctional isocyanate (for example, a mixture of 1,3-phenylene diisocyanate and 1,4-phenylene diisocyanate, 2,4- and 2,6-toluene diisocyanate, 1,3- and 1,4-xylylene). Diisocyanate, bis (4-isocyanate-phenyl) methane, bis (4-isocyanatocyclohexyl) methane, isophorone diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate, etc.), the bifunctional isocyanate, trimethylolpropane, pentalithol tol Polyfunctional alcohols such as glycerin; alkylene oxide adducts of the polyfunctional alcohols and adducts of the bifunctional isocyanates; hexamethylene diisocyanate, hexamethylene-1,6-di Isocyanate and cyclic trimers thereof derivatives; and the like.

前記ポリイソシアネート化合物にブロック剤を反応させて得られる化合物、すなわちポリイソシアネート及びその誘導体のイソシアネート基にブロック剤を反応させて得られる化合物における、イソシアネート基ブロック剤としては、アルコール類(例えば、イソプロパノール、tert−ブタノール等)、ラクタム類(例えば、ε−カプロラクタム等)、フェノール類(例えば、フェノール、クレゾール、p−tert−ブチルフェノール、p−sec−ブチルフェノール、p−sec−アミルフェノール、p−オクチルフェノール、p−ノニルフェノール等)、複素環式ヒドロキシル化合物(例えば、3−ヒドロキシピリジン、8−ヒドロキシキノリン等)、活性メチレン化合物(例えば、ジアルキルマロネート、メチルエチルケトキシム、アセチルアセトン、アルキルアセトアセテートオキシム、アセトオキシム、シクロヘキサノンオキシム等)などが挙げられる。これらの他、特開平6−295060号公報記載の分子内に少なくとも1つの重合可能な二重結合及び少なくとも1つのブロックイソシアネート基のいずれかを有する化合物などを用いることができる。   As an isocyanate group blocking agent in a compound obtained by reacting a blocking agent with the polyisocyanate compound, that is, a compound obtained by reacting a blocking agent with an isocyanate group of polyisocyanate and derivatives thereof, alcohols (for example, isopropanol, tert-butanol etc.), lactams (eg ε-caprolactam etc.), phenols (eg phenol, cresol, p-tert-butylphenol, p-sec-butylphenol, p-sec-amylphenol, p-octylphenol, p -Nonylphenol, etc.), heterocyclic hydroxyl compounds (eg, 3-hydroxypyridine, 8-hydroxyquinoline, etc.), active methylene compounds (eg, dialkyl malonate, methyl ethyl ketoxy) , Acetylacetone, alkyl acetoacetate oxime, acetoxime, cyclohexanone oxime, etc.) and the like. In addition to these, compounds having at least one polymerizable double bond and at least one blocked isocyanate group in the molecule described in JP-A-6-295060 can be used.

前記メラミン誘導体としては、例えば、メチロールメラミン、アルキル化メチロールメラミン(メチロール基を、メチル、エチル、ブチルなどでエーテル化した化合物)などが挙げられる。これらは1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。これらの中でも、保存安定性が良好で、感光層の表面硬度あるいは硬化膜の膜強度自体の向上に有効である点で、アルキル化メチロールメラミンが好ましく、ヘキサメチル化メチロールメラミンが特に好ましい。   Examples of the melamine derivative include methylol melamine, alkylated methylol melamine (a compound obtained by etherifying a methylol group with methyl, ethyl, butyl, or the like). These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together. Among these, alkylated methylol melamine is preferable and hexamethylated methylol melamine is particularly preferable in that it has good storage stability and is effective in improving the surface hardness of the photosensitive layer or the film strength itself of the cured film.

<その他の成分>
前記その他の成分としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、フィラー、熱硬化促進剤、熱重合禁止剤、可塑剤、着色剤(着色顔料あるいは染料)などが挙げられ、更に基材表面への密着促進剤及びその他の助剤類(例えば、導電性粒子、充填剤、消泡剤、難燃剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、表面張力調整剤、連鎖移動剤など)を併用してもよい。
これらの成分を適宜含有させることにより、目的とする感光性フィルムの安定性、写真性、膜物性などの性質を調整することができる。
前記フィラーについては、例えば特開2008−250074号公報の段落〔0098〕〜〔0099〕に詳細に記載されている。
前記熱重合禁止剤については、例えば特開2008−250074号公報の段落〔0101〕〜〔0102〕に詳細に記載されている。
前記熱硬化促進剤については、例えば特開2008−250074号公報の段落〔0093〕に詳細に記載されている。
前記可塑剤については、例えば特開2008−250074号公報の段落〔0103〕〜〔0104〕に詳細に記載されている。
前記着色剤については、例えば特開2008−250074号公報の段落〔0105〕〜〔0106〕に詳細に記載されている。
前記密着促進剤については、例えば特開2008−250074号公報の段落〔0107〕〜〔0109〕に詳細に記載されている。
<Other ingredients>
There is no restriction | limiting in particular as said other component, According to the objective, it can select suitably, For example, a filler, a thermosetting accelerator, a thermal-polymerization inhibitor, a plasticizer, a coloring agent (coloring pigment or dye) etc. Furthermore, adhesion promoters to the substrate surface and other auxiliaries (for example, conductive particles, fillers, antifoaming agents, flame retardants, leveling agents, peeling accelerators, antioxidants, fragrances, surface tensions) You may use together a regulator, a chain transfer agent, etc.).
By appropriately containing these components, properties such as the stability, photographic properties, and film properties of the intended photosensitive film can be adjusted.
The filler is described in detail, for example, in paragraphs [0098] to [0099] of JP-A-2008-250074.
The thermal polymerization inhibitor is described in detail, for example, in paragraphs [0101] to [0102] of JP-A-2008-250074.
The thermosetting accelerator is described in detail in paragraph [0093] of JP-A-2008-250074, for example.
The plasticizer is described in detail, for example, in paragraphs [0103] to [0104] of JP-A-2008-250074.
The colorant is described in detail, for example, in paragraphs [0105] to [0106] of JP-A-2008-250074.
The adhesion promoter is described in detail, for example, in paragraphs [0107] to [0109] of JP-A-2008-250074.

(感光性フィルム)
本発明の感光性フィルムは、少なくとも、支持体と、該支持体上に本発明の感光性組成物からなる感光層を有してなり、更に必要に応じてその他の層を有してなる。
(Photosensitive film)
The photosensitive film of the present invention comprises at least a support and a photosensitive layer comprising the photosensitive composition of the present invention on the support, and further comprises other layers as necessary.

−支持体−
前記支持体としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、前記感光層を剥離可能であり、かつ光の透過性が良好であるものが好ましく、更に表面の平滑性が良好であることがより好ましい。
-Support-
The support is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. However, it is preferable that the photosensitive layer is peelable and has good light transmittance, and further has a smooth surface. Is more preferable.

前記支持体は、合成樹脂製で、かつ透明であるものが好ましく、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、三酢酸セルロース、二酢酸セルロース、ポリ(メタ)アクリル酸アルキルエステル、ポリ(メタ)アクリル酸エステル共重合体、ポリ塩化ビニル、ポリビニルアルコール、ポリカーボネート、ポリスチレン、セロファン、ポリ塩化ビニリデン共重合体、ポリアミド、ポリイミド、塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体、ポリテトラフロロエチレン、ポリトリフロロエチレン、セルロース系フィルム、ナイロンフィルム等の各種のプラスチックフィルムが挙げられ、これらの中でも、ポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。これらは、1種単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。   The support is preferably made of synthetic resin and transparent, for example, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polypropylene, polyethylene, cellulose triacetate, cellulose diacetate, poly (meth) acrylic acid alkyl ester, poly ( (Meth) acrylic acid ester copolymer, polyvinyl chloride, polyvinyl alcohol, polycarbonate, polystyrene, cellophane, polyvinylidene chloride copolymer, polyamide, polyimide, vinyl chloride / vinyl acetate copolymer, polytetrafluoroethylene, polytrifluoro Various plastic films, such as ethylene, a cellulose film, and a nylon film, are mentioned, Among these, polyethylene terephthalate is particularly preferable. These may be used alone or in combination of two or more.

前記支持体の厚みは、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、2μm〜150μmが好ましく、5μm〜100μmがより好ましく、8μm〜50μmが特に好ましい。   There is no restriction | limiting in particular in the thickness of the said support body, Although it can select suitably according to the objective, For example, 2 micrometers-150 micrometers are preferable, 5 micrometers-100 micrometers are more preferable, 8 micrometers-50 micrometers are especially preferable.

前記支持体の形状としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、長尺状が好ましい。前記長尺状の支持体の長さは、特に制限はなく、例えば、10〜20,000mの長さのものが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as a shape of the said support body, Although it can select suitably according to the objective, A long shape is preferable. There is no restriction | limiting in particular in the length of the said elongate support body, For example, the thing of 10-20,000m length is mentioned.

−感光層−
前記感光層は、感光性組成物からなる層であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
また、前記感光層の積層数としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、1層であってもよく、2層以上であってもよい。
-Photosensitive layer-
The photosensitive layer is not particularly limited as long as it is a layer made of a photosensitive composition, and can be appropriately selected according to the purpose.
Further, the number of laminated photosensitive layers is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose. For example, it may be one layer or two or more layers.

前記感光層の形成方法としては、前記支持体の上に、本発明の前記感光性組成物を、水又は溶剤に溶解、乳化又は分散させて感光性組成物溶液を調製し、該溶液を直接塗布し、乾燥させることにより積層する方法が挙げられる。   As a method for forming the photosensitive layer, a photosensitive composition solution is prepared by dissolving, emulsifying or dispersing the photosensitive composition of the present invention in water or a solvent on the support, and the solution is directly applied. The method of laminating | stacking by apply | coating and drying is mentioned.

前記感光性組成物溶液の溶剤としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、メタノール、エタノール、ノルマル−プロパノール、イソプロパノール、ノルマル−ブタノール、セカンダリーブタノール、ノルマル−ヘキサノール等のアルコール類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、ジイソブチルケトン等のケトン類;酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸−ノルマル−アミル、硫酸メチル、プロピオン酸エチル、フタル酸ジメチル、安息香酸エチル、及びメトキシプロピルアセテート等のエステル類;トルエン、キシレン、ベンゼン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;四塩化炭素、トリクロロエチレン、クロロホルム、1,1,1−トリクロロエタン、塩化メチレン、モノクロロベンゼン等のハロゲン化炭化水素類;テトラヒドロフラン、ジエチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、1−メトキシ−2−プロパノール等のエーテル類;ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホオキサイド、スルホラン等が挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。また、公知の界面活性剤を添加してもよい。   There is no restriction | limiting in particular as a solvent of the said photosensitive composition solution, According to the objective, it can select suitably, For example, methanol, ethanol, normal-propanol, isopropanol, normal-butanol, secondary butanol, normal-hexanol etc. Alcohols; acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, diisobutyl ketone, and the like ketones; ethyl acetate, butyl acetate, acetic acid-normal-amyl, methyl sulfate, ethyl propionate, dimethyl phthalate, ethyl benzoate, and methoxy Esters such as propyl acetate; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, benzene, ethylbenzene; carbon tetrachloride, trichloroethylene, chloroform, 1,1,1-trichloroethane, methylene chloride Halogenated hydrocarbons such as monochlorobenzene; ethers such as tetrahydrofuran, diethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, 1-methoxy-2-propanol; dimethylformamide, dimethylacetamide, dimethylsulfoxide, sulfolane, etc. Is mentioned. These may be used alone or in combination of two or more. Moreover, you may add a well-known surfactant.

前記塗布の方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、スピンコーター、スリットスピンコーター、ロールコーター、ダイコーター、カーテンコーター等を用いて、前記支持体に直接塗布する方法が挙げられる。
前記乾燥の条件としては、各成分、溶媒の種類、使用割合等によっても異なるが、通常60℃〜110℃の温度で30秒間〜15分間程度である。
The application method is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, using a spin coater, slit spin coater, roll coater, die coater, curtain coater, etc. The method of apply | coating is mentioned.
The drying conditions vary depending on each component, the type of solvent, the use ratio, and the like, but are usually about 60 seconds to 110 ° C. for about 30 seconds to 15 minutes.

前記感光層の厚みとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、1μm〜100μmが好ましく、2μm〜50μmがより好ましく、4μm〜30μmが特に好ましい。   There is no restriction | limiting in particular as thickness of the said photosensitive layer, Although it can select suitably according to the objective, For example, 1 micrometer-100 micrometers are preferable, 2 micrometers-50 micrometers are more preferable, and 4 micrometers-30 micrometers are especially preferable.

<その他の層>
前記その他の層としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、保護フィルム、熱可塑性樹脂層、バリア層、剥離層、接着層、光吸収層、表面保護層等の層が挙げられる。前記感光性フィルムは、これらの層を1種単独で有していてもよく、2種以上を有していてもよい。
<Other layers>
The other layer is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the intended purpose. For example, a protective film, a thermoplastic resin layer, a barrier layer, a release layer, an adhesive layer, a light absorbing layer, a surface protective layer, etc. Layer. The said photosensitive film may have these layers individually by 1 type, and may have 2 or more types.

<<保護フィルム>>
前記感光性フィルムは、前記感光層上に保護フィルムを形成してもよい。
前記保護フィルムとしては、例えば、前記支持体に使用されるもの、紙、ポリエチレン、ポリプロピレンがラミネートされた紙、などが挙げられ、これらの中でも、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルムが好ましい。
前記保護フィルムの厚みは、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、5μm〜100μmが好ましく、8μm〜50μmがより好ましく、10μm〜30μmが特に好ましい。
前記支持体と保護フィルムとの組合せ(支持体/保護フィルム)としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート/ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート/ポリエチレン、ポリ塩化ビニル/セロフアン、ポリイミド/ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート/ポリエチレンテレフタレートなどが挙げられる。また、支持体及び保護フィルムの少なくともいずれかを表面処理することにより、層間接着力を調整することができる。前記支持体の表面処理は、前記感光層との接着力を高めるために施されてもよく、例えば、下塗層の塗設、コロナ放電処理、火炎処理、紫外線照射処理、高周波照射処理、グロー放電照射処理、活性プラズマ照射処理、レーザ光線照射処理などを挙げることができる。
<< Protective film >>
The photosensitive film may form a protective film on the photosensitive layer.
Examples of the protective film include those used for the support, paper, polyethylene, paper laminated with polypropylene, and the like. Among these, a polyethylene film and a polypropylene film are preferable.
There is no restriction | limiting in particular in the thickness of the said protective film, Although it can select suitably according to the objective, For example, 5 micrometers-100 micrometers are preferable, 8 micrometers-50 micrometers are more preferable, 10 micrometers-30 micrometers are especially preferable.
Examples of the combination of the support and the protective film (support / protective film) include polyethylene terephthalate / polypropylene, polyethylene terephthalate / polyethylene, polyvinyl chloride / cellophane, polyimide / polypropylene, polyethylene terephthalate / polyethylene terephthalate, and the like. . Moreover, interlayer adhesion can be adjusted by surface-treating at least one of the support and the protective film. The surface treatment of the support may be performed in order to increase the adhesive force with the photosensitive layer. For example, coating of a primer layer, corona discharge treatment, flame treatment, ultraviolet irradiation treatment, high frequency irradiation treatment, glow treatment Examples thereof include discharge irradiation treatment, active plasma irradiation treatment, and laser beam irradiation treatment.

また、前記支持体と前記保護フィルムとの静摩擦係数は、0.3〜1.4が好ましく、0.5〜1.2がより好ましい。
前記静摩擦係数が、0.3以上であれば、滑り過ぎによって、ロール状にした場合に巻ズレが発生することを防止でき、1.4以下であれば、良好なロール状に巻くことができる。
Moreover, 0.3-1.4 are preferable and the static friction coefficient of the said support body and the said protective film has more preferable 0.5-1.2.
If the static friction coefficient is 0.3 or more, it is possible to prevent the occurrence of winding misalignment when it is made into a roll shape due to excessive slip, and if it is 1.4 or less, it can be wound into a good roll shape. .

前記感光性フィルムは、例えば、円筒状の巻芯に巻き取って、長尺状でロール状に巻かれて保管されることが好ましい。前記長尺状の感光性フィルムの長さは、特に制限はなく、例えば、10m〜20,000mの範囲から適宜選択することができる。また、ユーザーが使いやすいようにスリット加工し、100m〜1,000mの範囲の長尺体をロール状にしてもよい。なお、この場合には、前記支持体が一番外側になるように巻き取られることが好ましい。また、前記ロール状の感光性フィルムをシート状にスリットしてもよい。保管の際、端面の保護、エッジフュージョンを防止する観点から、端面にはセパレーター(特に防湿性のもの、乾燥剤入りのもの)を設置することが好ましく、また梱包も透湿性の低い素材を用いることが好ましい。   For example, the photosensitive film is preferably wound around a cylindrical core, wound into a long roll, and stored. There is no restriction | limiting in particular in the length of the said elongate photosensitive film, For example, it can select suitably from the range of 10m-20,000m. Further, slitting may be performed so that the user can easily use, and a long body in the range of 100 m to 1,000 m may be formed into a roll. In this case, it is preferable that the support is wound up so as to be the outermost side. Moreover, you may slit the said roll-shaped photosensitive film in a sheet form. From the viewpoint of protecting the end face and preventing edge fusion during storage, it is preferable to install a separator (especially moisture-proof and desiccant-containing) on the end face, and use a low moisture-permeable material for packaging. It is preferable.

前記保護フィルムは、前記保護フィルムと前記感光層との接着性を調整するために表面処理してもよい。前記表面処理は、例えば、前記保護フィルムの表面に、ポリオルガノシロキサン、弗素化ポリオレフィン、ポリフルオロエチレン、ポリビニルアルコール等のポリマーからなる下塗層を形成させる。該下塗層の形成は、前記ポリマーの塗布液を前記保護フィルムの表面に塗布した後、30℃〜150℃で1〜30分間乾燥させることにより形成させることができる。前記乾燥の際の温度は50℃〜120℃が特に好ましい。   The protective film may be surface-treated in order to adjust the adhesion between the protective film and the photosensitive layer. In the surface treatment, for example, an undercoat layer made of a polymer such as polyorganosiloxane, fluorinated polyolefin, polyfluoroethylene, or polyvinyl alcohol is formed on the surface of the protective film. The undercoat layer can be formed by applying the polymer coating solution to the surface of the protective film and then drying at 30 ° C. to 150 ° C. for 1 to 30 minutes. As for the temperature in the case of the said drying, 50 to 120 degreeC is especially preferable.

(感光性積層体)
前記感光性積層体は、少なくとも基体と、前記基体上に設けられた感光層と、有してなり、目的に応じて適宜選択されるその他の層を積層してなる。
前記感光層は、上述の製造方法で作製された前記感光性フィルムから転写されたものであり、上述と同様の構成を有する。
(Photosensitive laminate)
The photosensitive laminate includes at least a base and a photosensitive layer provided on the base, and is formed by stacking other layers appropriately selected according to the purpose.
The photosensitive layer is transferred from the photosensitive film produced by the manufacturing method described above, and has the same configuration as described above.

<基体>
前記基体は、感光層が形成される被処理基体、又は本発明の感光性フィルムの少なくとも感光層が転写される被転写体となるもので、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、表面平滑性の高いものから凸凹のある表面を持つものまで任意に選択できる。板状の基体が好ましく、いわゆる基板が使用される。具体的には、公知のプリント配線板製造用の基板(プリント基板)、ガラス板(ソーダガラス板など)、合成樹脂性のフィルム、紙、金属板などが挙げられる。
<Substrate>
The substrate is a substrate to be processed on which a photosensitive layer is formed, or a member to be transferred onto which at least the photosensitive layer of the photosensitive film of the present invention is transferred. For example, it can be arbitrarily selected from those having high surface smoothness to those having an uneven surface. A plate-like substrate is preferable, and a so-called substrate is used. Specific examples include known printed wiring board manufacturing substrates (printed substrates), glass plates (soda glass plates, etc.), synthetic resin films, paper, metal plates, and the like.

<感光性積層体の製造方法>
前記感光性積層体の製造方法として、本発明の感光性フィルムにおける少なくとも感光層を加熱及び加圧の少なくともいずれかを行いながら転写して積層する方法が挙げられる。
<Method for producing photosensitive laminate>
Examples of the method for producing the photosensitive laminate include a method in which at least the photosensitive layer in the photosensitive film of the present invention is transferred and laminated while performing at least one of heating and pressing.

感光性積層体の製造方法は、前記基体の表面に本発明の感光性フィルムを加熱及び加圧の少なくともいずれかを行いながら積層する。なお、前記感光性フィルムが前記保護フィルムを有する場合には、該保護フィルムを剥離し、前記基体に前記感光層が重なるようにして積層するのが好ましい。
前記加熱温度は、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、15℃〜180℃が好ましく、60℃〜140℃がより好ましい。
前記加圧の圧力は、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、0.1MPa〜1.0MPaが好ましく、0.2MPa〜0.8MPaがより好ましい。
In the method for producing a photosensitive laminate, the photosensitive film of the present invention is laminated on the surface of the substrate while at least one of heating and pressing. In addition, when the said photosensitive film has the said protective film, it is preferable to peel this protective film and to laminate | stack so that the said photosensitive layer may overlap with the said base | substrate.
There is no restriction | limiting in particular in the said heating temperature, According to the objective, it can select suitably, For example, 15 to 180 degreeC is preferable and 60 to 140 degreeC is more preferable.
There is no restriction | limiting in particular in the said pressurization pressure, According to the objective, it can select suitably, For example, 0.1 MPa-1.0 MPa are preferable and 0.2 MPa-0.8 MPa are more preferable.

前記加熱の少なくともいずれかを行う装置としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ラミネーター(例えば、大成ラミネータ株式会社製、VP−II、ニチゴーモートン株式会社製、VP130)などが好適に挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as an apparatus which performs at least any one of the said heating, According to the objective, it can select suitably, For example, Laminator (For example, Taisei Laminator Co., Ltd. product, VP-II, Nichigo Morton Co., Ltd. product, VP130) is preferable.

本発明の感光性フィルム及び前記感光性積層体は、膜厚が均一でピンホールやハジキ等の面状欠陥の発生割合が極端に低いため、絶縁信頼性に優れ、高精細な永久パターン(保護膜、層間絶縁膜、及びソルダーレジストパターンなど)を効率よく形成可能である。したがって、電子材料分野における高精細な永久パターンの形成用として広く用いることができ、特に、プリント基板の永久パターン形成用に好適に用いることができる。   The photosensitive film and the photosensitive laminate of the present invention have a uniform film thickness and an extremely low occurrence rate of planar defects such as pinholes and repellency, so that they have excellent insulation reliability and high-definition permanent patterns (protection) Film, interlayer insulating film, solder resist pattern, etc.) can be formed efficiently. Therefore, it can be widely used for forming a high-definition permanent pattern in the field of electronic materials, and can be suitably used particularly for forming a permanent pattern on a printed circuit board.

(永久パターン形成方法)
本発明の永久パターン形成方法は、露光工程を少なくとも含み、更に、必要に応じて適宜選択した現像工程等のその他の工程を含む。
(Permanent pattern forming method)
The permanent pattern forming method of the present invention includes at least an exposure step, and further includes other steps such as a development step appropriately selected as necessary.

<露光工程>
前記露光工程は、本発明の感光性積層体における感光層に対し、露光を行う工程である。本発明の感光性積層体については上述の通りである。
<Exposure process>
The said exposure process is a process of exposing with respect to the photosensitive layer in the photosensitive laminated body of this invention. The photosensitive laminate of the present invention is as described above.

前記露光の対象としては、前記感光性積層体における感光層である限り、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、上述のように、基材上に感光性フィルムを加熱及び加圧の少なくともいずれかを行いながら積層して形成した積層体に対して行われることが好ましい。   The exposure target is not particularly limited as long as it is a photosensitive layer in the photosensitive laminate, and can be appropriately selected according to the purpose. For example, as described above, a photosensitive film is formed on a substrate. It is preferably performed on a laminate formed by laminating while performing at least one of heating and pressurization.

前記露光としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、デジタル露光、アナログ露光等が挙げられるが、これらの中でもデジタル露光が好ましい。   There is no restriction | limiting in particular as said exposure, According to the objective, it can select suitably, Digital exposure, analog exposure, etc. are mentioned, Among these, digital exposure is preferable.

<その他の工程>
前記その他の工程としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、基材の表面処理工程、現像工程、硬化処理工程、ポスト露光工程などが挙げられる。
<Other processes>
There is no restriction | limiting in particular as said other process, According to the objective, it can select suitably, For example, the surface treatment process of a base material, a development process, a hardening process process, a post exposure process etc. are mentioned.

<<現像工程>>
前記現像としては、前記感光層の未露光部分を除去することにより行われる。
前記未硬化領域の除去方法としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、現像液を用いて除去する方法などが挙げられる。
<< Development process >>
The development is performed by removing an unexposed portion of the photosensitive layer.
There is no restriction | limiting in particular as the removal method of the said unhardened area | region, According to the objective, it can select suitably, For example, the method etc. which remove using a developing solution are mentioned.

前記現像液としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、アルカリ性水溶液、水系現像液、有機溶剤などが挙げられ、これらの中でも、弱アルカリ性の水溶液が好ましい。該弱アルカリ水溶液の塩基成分としては、例えば、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸リチウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素リチウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、リン酸ナトリウム、リン酸カリウム、ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム、硼砂などが挙げられる。   There is no restriction | limiting in particular as said developing solution, Although it can select suitably according to the objective, For example, alkaline aqueous solution, an aqueous developing solution, an organic solvent etc. are mentioned, Among these, weakly alkaline aqueous solution is preferable. Examples of the basic component of the weak alkaline aqueous solution include lithium hydroxide, sodium hydroxide, potassium hydroxide, lithium carbonate, sodium carbonate, potassium carbonate, lithium hydrogen carbonate, sodium hydrogen carbonate, potassium hydrogen carbonate, sodium phosphate, phosphorus Examples include potassium acid, sodium pyrophosphate, potassium pyrophosphate, and borax.

前記弱アルカリ性の水溶液のpHは、例えば、8〜12が好ましく、9〜11がより好ましい。前記弱アルカリ性の水溶液としては、例えば、0.1質量%〜5質量%の炭酸ナトリウム水溶液又は炭酸カリウム水溶液などが挙げられる。
前記現像液の温度は、前記感光層の現像性に合わせて適宜選択することができるが、例えば、約25℃〜40℃が好ましい。
The pH of the weak alkaline aqueous solution is preferably 8 to 12, for example, and more preferably 9 to 11. As said weak alkaline aqueous solution, 0.1 mass%-5 mass% sodium carbonate aqueous solution or potassium carbonate aqueous solution etc. are mentioned, for example.
The temperature of the developer can be appropriately selected according to the developability of the photosensitive layer, and is preferably about 25 ° C. to 40 ° C., for example.

前記現像液は、界面活性剤、消泡剤、有機塩基(例えば、エチレンジアミン、エタノールアミン、テトラメチルアンモニウムハイドロキサイド、ジエチレントリアミン、トリエチレンペンタミン、モルホリン、トリエタノールアミン等)や、現像を促進させるため有機溶剤(例えば、アルコール類、ケトン類、エステル類、エーテル類、アミド類、ラクトン類等)などと併用してもよい。また、前記現像液は、水又はアルカリ水溶液と有機溶剤を混合した水系現像液であってもよく、有機溶剤単独であってもよい。   The developer includes a surfactant, an antifoaming agent, an organic base (for example, ethylenediamine, ethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, diethylenetriamine, triethylenepentamine, morpholine, triethanolamine, etc.) and development. Therefore, it may be used in combination with an organic solvent (for example, alcohols, ketones, esters, ethers, amides, lactones, etc.). The developer may be an aqueous developer obtained by mixing water or an aqueous alkali solution and an organic solvent, or may be an organic solvent alone.

<<硬化処理工程>>
前記硬化処理工程は、前記現像工程が行われた後、形成されたパターンにおける感光層に対して硬化処理を行う工程である。
前記硬化処理工程としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、全面露光処理、全面加熱処理などが好適に挙げられる。
<< Curing treatment process >>
The curing treatment step is a step of performing a curing treatment on the photosensitive layer in the formed pattern after the development step is performed.
There is no restriction | limiting in particular as said hardening process, Although it can select suitably according to the objective, For example, a whole surface exposure process, a whole surface heat processing, etc. are mentioned suitably.

前記全面露光処理の方法としては、例えば、前記現像後に、前記永久パターンが形成された前記積層体上の全面を露光する方法が挙げられる。該全面露光により、前記感光層を形成する感光性組成物中の樹脂の硬化が促進され、前記永久パターンの表面が硬化される。
前記全面露光を行う装置としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、超高圧水銀灯などのUV露光機が好適に挙げられる。
Examples of the entire surface exposure processing method include a method of exposing the entire surface of the laminate on which the permanent pattern is formed after the development. The entire surface exposure accelerates the curing of the resin in the photosensitive composition forming the photosensitive layer, and the surface of the permanent pattern is cured.
There is no restriction | limiting in particular as an apparatus which performs the said whole surface exposure, Although it can select suitably according to the objective, For example, UV exposure machines, such as an ultrahigh pressure mercury lamp, are mentioned suitably.

前記全面加熱処理の方法としては、前記現像の後に、前記永久パターンが形成された前記積層体上の全面を加熱する方法が挙げられる。該全面加熱により、前記永久パターンの表面の膜強度が高められる。
前記全面加熱における加熱温度は、120℃〜250℃が好ましく、120℃〜200℃がより好ましい。該加熱温度が120℃以上であれば、加熱処理によって膜強度が向上し、250℃以下であれば、前記感光性組成物中の樹脂の分解が生じ、膜質が弱く脆くなることを防止できる。
前記全面加熱における加熱時間は、10分〜120分が好ましく、15分〜60分がより好ましい。
前記全面加熱を行う装置としては、特に制限はなく、公知の装置の中から、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、ドライオーブン、ホットプレート、IRヒーターなどが挙げられる。
Examples of the entire surface heat treatment method include a method of heating the entire surface of the laminate on which the permanent pattern is formed after the development. By heating the entire surface, the film strength of the surface of the permanent pattern is increased.
The heating temperature in the entire surface heating is preferably 120 ° C to 250 ° C, more preferably 120 ° C to 200 ° C. When the heating temperature is 120 ° C. or higher, the film strength is improved by heat treatment, and when the heating temperature is 250 ° C. or lower, the resin in the photosensitive composition is decomposed to prevent the film quality from being weak and brittle.
The heating time in the entire surface heating is preferably 10 minutes to 120 minutes, more preferably 15 minutes to 60 minutes.
There is no restriction | limiting in particular as an apparatus which performs the said whole surface heating, According to the objective, it can select suitably from well-known apparatuses, For example, a dry oven, a hot plate, IR heater etc. are mentioned.

前記永久パターンの形成方法が、保護膜、層間絶縁膜、及びソルダーレジストパターンの少なくともいずれかを形成する永久パターン形成方法である場合には、プリント配線板上に前記永久パターン形成方法により、永久パターンを形成し、更に、以下のように半田付けを行うことができる。
即ち、前記現像により、前記永久パターンである硬化層が形成され、前記プリント配線板の表面に金属層が露出される。該プリント配線板の表面に露出した金属層の部位に対して金メッキを行った後、半田付けを行う。そして、半田付けを行った部位に、半導体や部品などを実装する。このとき、前記硬化層による永久パターンが、保護膜あるいは絶縁膜(層間絶縁膜)、ソルダーレジストとしての機能を発揮し、外部からの衝撃や隣同士の電極の導通が防止される。
When the permanent pattern forming method is a permanent pattern forming method for forming at least one of a protective film, an interlayer insulating film, and a solder resist pattern, the permanent pattern is formed on the printed wiring board by the permanent pattern forming method. Further, soldering can be performed as follows.
That is, by the development, a hardened layer that is the permanent pattern is formed, and the metal layer is exposed on the surface of the printed wiring board. Gold plating is performed on the portion of the metal layer exposed on the surface of the printed wiring board, and then soldering is performed. Then, a semiconductor or a component is mounted on the soldered portion. At this time, the permanent pattern by the hardened layer exhibits a function as a protective film, an insulating film (interlayer insulating film), or a solder resist, and prevents external impact and conduction between adjacent electrodes.

(プリント基板)
本発明のプリント基板は、少なくとも基体と、前記永久パターン形成方法により形成された永久パターンと、を有してなり、更に、必要に応じて適宜選択した、その他の構成を有する。
その他の構成としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、基材と前記永久パターン間に、更に絶縁層が設けられたビルドアップ基板などが挙げられる。
(Printed board)
The printed circuit board of the present invention comprises at least a substrate and a permanent pattern formed by the permanent pattern forming method, and further has other configurations appropriately selected as necessary.
There is no restriction | limiting in particular as another structure, According to the objective, it can select suitably, For example, the buildup board | substrate etc. in which the insulating layer was further provided between the base material and the said permanent pattern are mentioned.

以下、本発明の実施例を説明するが、本発明は、これらの実施例に何ら限定されるものではない。   Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to these examples.

(合成例1)
−バインダー(B−1)の合成−
1,000mLの三口フラスコ内に、1−メトキシ−2−プロパノール90.6gを入れ、窒素気流下、90℃まで加熱した。これに、ベンジルメタクリレート105.8g、メタクリル酸120.6gの1−メトキシ−2−プロパノール156g溶液と、V−601(和光純薬株式会社製)7.24gの1−メトキシ−2−プロパノール50g溶液を、それぞれ3時間かけて滴下した。滴下終了後、更に1時間加熱して反応させた。次いで、V−601(和光純薬株式会社製)2.00gの1−メトキシ−2−プロパノール20g溶液を、1時間かけて滴下した。滴下終了後、更に3時間加熱して反応させた後、加熱を止め、ベンジルメタクリレート/メタクリル酸(30/70mol%比)の共重合体を得た。
次に、滴下漏斗にグリシジルメタクリレート105.2g、1−メトキシ−2−プロパノール20gを加え、上記フラスコに、p−メトキシフェノール0.34gを加え、撹拌し溶解させた。溶解後、トリフェニルホスフィン0.82gを加え、100℃に加熱した後、滴下漏斗からグリシジルメタクリレートを1時間かけて滴下し、付加反応を行った。グリシジルメタクリレートが消失したことを、ガスクロマトグラフィーで確認し、加熱を止めた。1−メトキシ−2−プロパノール45.8gを加えた。以上により、下記式で表されるバインダー(B−1)の溶液(固形分45質量%)を合成した。
得られたバインダー(B−1)の酸価は121mgKOH/g、質量平均分子量は3.1万であった。
(Synthesis Example 1)
-Synthesis of binder (B-1)-
In a 1,000 mL three-necked flask, 90.6 g of 1-methoxy-2-propanol was placed and heated to 90 ° C. under a nitrogen stream. To this, 105.8 g of benzyl methacrylate and 156 g of 1-methoxy-2-propanol in 120.6 g of methacrylic acid, and 7.24 g of 1-methoxy-2-propanol in 50 g solution of V-601 (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) Were added dropwise over 3 hours. After completion of the dropwise addition, the reaction was further continued by heating for 1 hour. Subsequently, 2.00 g of 1-methoxy-2-propanol 20 g solution of V-601 (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) was dropped over 1 hour. After completion of the dropwise addition, the reaction was continued by heating for 3 hours, and then the heating was stopped to obtain a copolymer of benzyl methacrylate / methacrylic acid (30/70 mol% ratio).
Next, 105.2 g of glycidyl methacrylate and 20 g of 1-methoxy-2-propanol were added to the dropping funnel, and 0.34 g of p-methoxyphenol was added to the flask, and the mixture was stirred and dissolved. After dissolution, 0.82 g of triphenylphosphine was added and heated to 100 ° C., and then glycidyl methacrylate was dropped from the dropping funnel over 1 hour to carry out an addition reaction. The disappearance of glycidyl methacrylate was confirmed by gas chromatography, and heating was stopped. 45.8 g of 1-methoxy-2-propanol was added. By the above, the binder (B-1) solution (solid content 45 mass%) represented by the following formula was synthesized.
The acid value of the obtained binder (B-1) was 121 mgKOH / g, and the mass average molecular weight was 31,000.

(合成例2)
−連鎖移動剤(上記例示化合物(R−1))の合成−
原料として、ブチレンジアミン(東京化成工業株式会社製)と、メルカプト乳酸メチル(東京化成工業株式会社製)とを1:2.2(モル比)で、常法により脱メタノール縮合し、反応後に蒸留処理することで過剰のメルカプト乳酸メチルを除去して、メルカプト基が2級である2官能のメルカプト化合物(上記例示化合物(R−1))を合成した。
(Synthesis Example 2)
—Synthesis of Chain Transfer Agent (Exemplary Compound (R-1)) —
Butyrylenediamine (manufactured by Tokyo Kasei Kogyo Co., Ltd.) and mercaptomethyl lactate (manufactured by Tokyo Kasei Kogyo Co., Ltd.) as raw materials were subjected to demethanol condensation in a conventional manner at a molar ratio of 1: 2.2 and distilled after the reaction. Excess mercaptomethyl lactate was removed by treatment to synthesize a bifunctional mercapto compound having the mercapto group secondary (the exemplified compound (R-1) above).

(合成例3)
−連鎖移動剤(上記例示化合物(R−2))の合成−
原料として、ジエチレントリアミン(東京化成工業株式会社製)と、メルカプト乳酸メチル(東京化成工業株式会社製)とを1:3.4(モル比)で、常法により脱メタノール縮合し、反応後に蒸留処理することで過剰のメルカプト乳酸メチルを除去して、メルカプト基が2級である3官能のメルカプト化合物(上記例示化合物(R−2))を合成した。
(Synthesis Example 3)
—Synthesis of Chain Transfer Agent (Exemplary Compound (R-2)) —
Diethanoltriamine (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) and mercaptomethyl lactate (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) as raw materials were subjected to demethanol condensation in a conventional manner at a molar ratio of 1: 3.4, followed by distillation after the reaction. In this manner, excess mercaptomethyl lactate was removed to synthesize a trifunctional mercapto compound having the mercapto group secondary (the exemplified compound (R-2) above).

(合成例4)
−連鎖移動剤(上記例示化合物(R−3))の合成−
原料として、ビスアミノフェニルメタン(東京化成工業株式会社製)と、メルカプト乳酸メチル(東京化成工業株式会社製)とを1:2.2(モル比)で、常法により脱メタノール縮合し、反応後に蒸留処理することで過剰のメルカプト乳酸メチルを除去して、メルカプト基が2級である2官能のメルカプト化合物(上記例示化合物(R−3))を合成した。
(Synthesis Example 4)
—Synthesis of Chain Transfer Agent (Exemplary Compound (R-3) —)
As raw materials, bisaminophenylmethane (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) and methyl mercapto lactate (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) at 1: 2.2 (molar ratio) were subjected to demethanol condensation by a conventional method, followed by reaction. Excessive methyl mercapto lactate was removed by subsequent distillation to synthesize a bifunctional mercapto compound having the mercapto group secondary (the exemplified compound (R-3) above).

(合成例5)
−連鎖移動剤(上記例示化合物(R−4))の合成−
原料として、ビスアミノフェニルメタン(東京化成工業株式会社製)と、メルカプトイソ酪酸(淀化学株式会社製)のメチルエステルとを1:2.2(モル比)で、常法により脱メタノール縮合し、反応後に蒸留処理することで過剰のメルカプト乳酸メチルを除去して、メルカプト基が2級である2官能のメルカプト化合物(上記例示化合物(R−4))を合成した。
(Synthesis Example 5)
—Synthesis of Chain Transfer Agent (Exemplary Compound (R-4) above) —
As raw materials, bisaminophenylmethane (manufactured by Tokyo Kasei Kogyo Co., Ltd.) and methyl ester of mercaptoisobutyric acid (manufactured by Sakai Chemical Co., Ltd.) are demethanol-condensed by a conventional method at a molar ratio of 1: 2.2. Then, excess mercaptomethyl lactate was removed by distillation after the reaction to synthesize a bifunctional mercapto compound having the mercapto group secondary (the exemplified compound (R-4) above).

(合成例6)
−連鎖移動剤(R−X)の合成−
原料として、ブタンジオール(東京化成工業株式会社製)と、3−メルカプトプロピオン酸(東京化成工業株式会社製)とを1:2.2(モル比)で、常法により脱水縮合し、アルカリ水で処理することで過剰の3−メルカプトプロピオン酸を除去して、下記式で表されるメルカプト基が1級である2官能のメルカプト化合物(連鎖移動剤(R−X))を合成した。
<連鎖移動剤(R−X)>
(Synthesis Example 6)
-Synthesis of chain transfer agent (RX)-
As raw materials, butanediol (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) and 3-mercaptopropionic acid (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) were dehydrated and condensed in a conventional manner at a molar ratio of 1: 2.2, and alkaline water was used. Excess 3-mercaptopropionic acid was removed by treatment with a bifunctional mercapto compound (chain transfer agent (RX)) having a primary mercapto group represented by the following formula.
<Chain transfer agent (RX)>

(実施例1)
−感光性フィルムの製造−
支持体としての厚さ16μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(東レ株式会社製、16FB50)上に、下記の組成からなる感光性組成物溶液を塗布し、乾燥させて、前記支持体上に厚さ30μmの感光層を形成した。前記感光層上に、保護層として、厚さ20μmのポリプロピレンフィルム(王子特殊紙株式会社製、アルファンE−200)を積層し、感光性フィルムを製造した。
Example 1
-Production of photosensitive film-
On a 16 μm thick polyethylene terephthalate film (16FB50, manufactured by Toray Industries, Inc.) as a support, a photosensitive composition solution having the following composition was applied and dried, and a 30 μm thick photosensitive film was formed on the support. A layer was formed. On the photosensitive layer, as a protective layer, a polypropylene film having a thickness of 20 μm (manufactured by Oji Specialty Paper Co., Ltd., Alphan E-200) was laminated to produce a photosensitive film.

−感光性組成物溶液の組成−
・合成例1のバインダー(B−1)の溶液(固形分45質量%)・・・37.2質量部
・重合性化合物(A−DPH、新中村化学工業株式会社製、以下、重合性化合物「J−1」という)・・・11.15質量部
・エポトートYDF−170(東都化成株式会社製、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、以下、熱架橋剤「N−1」という)・・・2.0質量部
・下記式<K−1>で表される光重合開始剤・・・1.0質量部
<K−1>
・DETX−S(日本化薬株式会社製、ジエチルチオキサントン、以下「D−1」と表す)・・・0.5質量部
・連鎖移動剤(上記例示化合物(R−1))・・・1.0質量部
・顔料分散液(以下、「G−1」という)・・・36.1質量部
・メガファックF−780F(大日本インキ化学工業株式会社製)の30質量%メチルエチルケトン溶液・・・0.13質量部
・メチルエチルケトン(溶媒)・・・12.0質量部
なお、前記顔料分散液(G−1)は、シリカ(アドマテックス株式会社製、SO−C2)30質量部と、合成例1のバインダー(B−1)の溶液48.2質量部と、フタロシアニンブルー0.51質量部と、アントラキノン系黄色顔料(PY24)0.14質量部と、酢酸ノルマルプロピル59.0質量部とを予め混合した後、モーターミルM−250(アイガー社製)で、直径1.0mmのジルコニアビーズを用い、周速9m/sにて3時間分散して調製した。
-Composition of photosensitive composition solution-
-Solution of binder (B-1) of Synthesis Example 1 (solid content 45 mass%) ... 37.2 parts by mass-Polymerizable compound (A-DPH, manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., hereinafter, polymerizable compound) 11.15 mass parts Epototo YDF-170 (manufactured by Toto Kasei Co., Ltd., bisphenol F type epoxy resin, hereinafter referred to as thermal crosslinking agent “N-1”). 0 part by mass-Photopolymerization initiator represented by the following formula <K-1>: 1.0 part by mass <K-1>
DETX-S (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., diethylthioxanthone, hereinafter referred to as “D-1”) 0.5 parts by mass Chain transfer agent (exemplified compound (R-1)) 1 0.0 part by mass-Pigment dispersion (hereinafter referred to as "G-1") ... 36.1 parts by mass-30% by mass methyl ethyl ketone solution of MegaFac F-780F (manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.) 0.13 parts by mass Methyl ethyl ketone (solvent) 12.0 parts by mass The pigment dispersion (G-1) was synthesized with 30 parts by mass of silica (manufactured by Admatex Co., Ltd., SO-C2). 48.2 parts by mass of the binder (B-1) solution of Example 1, 0.51 parts by mass of phthalocyanine blue, 0.14 parts by mass of anthraquinone yellow pigment (PY24), 59.0 parts by mass of normal propyl acetate, Premixed After that, using a motor mill M-250 (manufactured by Eiger), zirconia beads having a diameter of 1.0 mm were used and dispersed for 3 hours at a peripheral speed of 9 m / s.

−基体への積層−
前記基体として、銅張積層板(スルーホールなし、銅厚み12μm)の表面に化学研磨処理を施して調製した。該銅張積層板上に、前記感光性フィルムの感光層が前記銅張積層板に接するようにして前記感光性フィルムにおける保護フィルムを剥がしながら、真空ラミネーター(ニチゴーモートン株式会社製、VP130)を用いて積層させ、前記銅張積層板と、前記感光層と、前記ポリエチレンテレフタレートフィルム(支持体)とがこの順に積層された積層体を調製した。
圧着条件は、真空引きの時間40秒、圧着温度70℃、圧着圧力0.2MPa、加圧時間10秒とした。
-Lamination on substrate-
The substrate was prepared by subjecting a surface of a copper clad laminate (no through hole, copper thickness: 12 μm) to chemical polishing. A vacuum laminator (manufactured by Nichigo Morton Co., Ltd., VP130) was used on the copper-clad laminate while peeling off the protective film from the photosensitive film so that the photosensitive layer of the photosensitive film was in contact with the copper-clad laminate. Thus, a laminate in which the copper-clad laminate, the photosensitive layer, and the polyethylene terephthalate film (support) were laminated in this order was prepared.
The pressure bonding conditions were a vacuum drawing time of 40 seconds, a pressure bonding temperature of 70 ° C., a pressure bonding pressure of 0.2 MPa, and a pressure application time of 10 seconds.

得られた積層体について、以下のようにして、感度、現像性、解像性、保存安定性、耐熱性、基板密着性、及び表面硬度の評価を行った。結果を表1に示す。   The obtained laminate was evaluated for sensitivity, developability, resolution, storage stability, heat resistance, substrate adhesion, and surface hardness as follows. The results are shown in Table 1.

<感度>
前記積層体を、室温(23℃)で55%RHにて10分間静置した。得られた前記積層体の感光層表面に、INPREX IP−3000(富士フイルム株式会社製、ピクセルピッチ=1.0μm)を用いて、L/S(ライン/スペース)=50μm/50μmのパターンデータを0.5mJ/cmから21/2倍間隔で500mJ/cmまでの光エネルギー量の異なる光を照射して露光し、L/S(ライン/スペース)=50μm/50μmのラインパターンを硬化させた。室温にて10分間静置した後、前記感光性積層体から前記支持体を剥がし取り、銅張積層板上の感光層の全面に、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液をスプレー圧0.15MPaにて最短現像時間の2倍〜3倍の時間(又は40秒〜60秒)スプレー現像し、未硬化の領域を溶解除去した。この様にして得られたL=50μmのパターンの線幅をレーザ顕微鏡(VK−9500、キーエンス社製;対物レンズ50倍)を用いて測定し、線幅が50μmとなる露光量を感度(最適露光量)とし、下記基準で評価した。
〔評価基準〕
◎ :10mjよりも高感度であり、感度が非常に優れる
○ :10mj〜14mjの感度であり、感度が優れる
○△:14mj〜20mjの感度であり、感度が良好である
△ :20mj〜40mjの感度であり、感度がやや劣る
× :40mjよりも低感度であり、感度が劣る
<Sensitivity>
The laminate was allowed to stand at 55% RH for 10 minutes at room temperature (23 ° C.). Pattern data of L / S (line / space) = 50 μm / 50 μm was applied to the surface of the photosensitive layer of the obtained laminate using INPREX IP-3000 (manufactured by Fuji Film Co., Ltd., pixel pitch = 1.0 μm). 0.5 mJ / cm 2 from being irradiated with light energy of different light at 2 1/2 times intervals until 500 mJ / cm 2 was exposed, cured L / S (line / space) = 50 [mu] m / 50 [mu] m line pattern I let you. After standing at room temperature for 10 minutes, the support was peeled off from the photosensitive laminate, and a 1 mass% sodium carbonate aqueous solution at 30 ° C. was sprayed onto the entire surface of the photosensitive layer on the copper clad laminate at a spray pressure of 0.15 MPa. And spray development for 2 to 3 times the shortest development time (or 40 to 60 seconds) to dissolve and remove uncured areas. The line width of the L = 50 μm pattern thus obtained was measured using a laser microscope (VK-9500, manufactured by Keyence Corporation; objective lens 50 times), and the exposure amount at which the line width was 50 μm was determined with sensitivity (optimal). Exposure amount) and evaluated according to the following criteria.
〔Evaluation criteria〕
◎: Sensitivity higher than 10 mj, very excellent sensitivity ○: Sensitivity of 10 mj to 14 mj, excellent sensitivity ○ Δ: Sensitivity of 14 mj to 20 mj, good sensitivity Δ: 20 mj to 40 mj Sensitivity is slightly inferior x: Sensitivity is lower than 40 mj and sensitivity is inferior

<現像性(最短現像時間)>
前記積層体からポリエチレンテレフタレートフィルム(支持体)を剥がし取り、銅張積層板上の前記感光層の全面に30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液を0.15MPaの圧力にてスプレーし、炭酸ナトリウム水溶液のスプレー開始から銅張積層板上の感光層が溶解除去されるまでに要した時間を測定し、これを最短現像時間とし、下記基準で評価した。この最短現像時間が短い程、現像性に優れる。
〔評価基準〕
○:現像時間が20秒以下であり、現像性が良好である
△:現像時間が30秒以下であり、現像性がやや劣る
×:現像時間が30秒以上であり、現像性が劣る
<Developability (shortest development time)>
The polyethylene terephthalate film (support) is peeled off from the laminate, and a 1% by mass sodium carbonate aqueous solution at 30 ° C. is sprayed on the entire surface of the photosensitive layer on the copper clad laminate at a pressure of 0.15 MPa. The time required from the start of spraying until the photosensitive layer on the copper clad laminate was dissolved and removed was measured, and this was taken as the shortest development time and evaluated according to the following criteria. The shorter the shortest development time, the better the developability.
〔Evaluation criteria〕
○: Development time is 20 seconds or less and developability is good Δ: Development time is 30 seconds or less and developability is slightly inferior ×: Development time is 30 seconds or more and developability is inferior

<解像性の評価>
前記感光性積層体を室温(23℃)で55%RHにて10分間静置した。得られた感光性積層体のポリエチレンテレフタレートフィルム(支持体)上から、前記パターン形成装置を用いて、丸穴パターンを用い、丸穴の直径の幅50〜200μmの丸穴が形成できるよう露光を行った。
この際の露光量は、前記感度の評価における前記感光性フィルムの感光層を硬化させるために必要な光エネルギー量である。室温にて10分間静置した後、前記感光性積層体からポリエチレンテレフタレートフィルム(支持体)を剥がし取った。
銅張積層板上の感光層の全面に、前記現像液として30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液をスプレー圧0.15MPaにて前記最短現像時間の2倍の時間スプレーし、未硬化領域を溶解除去した。
このようにして得られた硬化樹脂パターン付き銅張積層板の表面を光学顕微鏡で観察し、パターンの丸穴底部に残渣が無いこと、パターン部の捲くれ・剥がれなどの異常が無く、かつスペース形成可能な最小の丸穴パターン幅を測定し、これを解像度とし、下記基準で評価した。該解像度は数値が小さいほど良好である。
〔評価基準〕
○:直径120μm以下の丸穴が解像可能で、解像性良好である
△:直径200μm以下の丸穴が解像可能で、解像性がやや劣る
×:丸穴が解像不可で、解像性が劣る
<Evaluation of resolution>
The photosensitive laminate was allowed to stand at 55% RH for 10 minutes at room temperature (23 ° C.). From the obtained polyethylene terephthalate film (support) of the photosensitive laminate, exposure is performed so that a round hole having a diameter of 50 to 200 μm can be formed using a round hole pattern using the pattern forming apparatus. went.
The exposure amount at this time is the amount of light energy necessary for curing the photosensitive layer of the photosensitive film in the sensitivity evaluation. After standing at room temperature for 10 minutes, the polyethylene terephthalate film (support) was peeled off from the photosensitive laminate.
The entire surface of the photosensitive layer on the copper clad laminate is sprayed with a 1% by weight sodium carbonate aqueous solution at 30 ° C. as the developer at a spray pressure of 0.15 MPa for twice the shortest development time to dissolve the uncured region. Removed.
The surface of the copper-clad laminate with a cured resin pattern obtained in this way is observed with an optical microscope, there is no residue at the bottom of the round hole of the pattern, there are no abnormalities such as blistering / peeling of the pattern, and space The minimum round hole pattern width that can be formed was measured, and this was taken as the resolution and evaluated according to the following criteria. The smaller the numerical value, the better the resolution.
〔Evaluation criteria〕
○: A round hole with a diameter of 120 μm or less is resolvable, and the resolution is good. Δ: A round hole with a diameter of 200 μm or less is resolvable, and the resolution is slightly inferior. Inferior resolution

<保存安定性>
前記感光性フィルムを、40℃の条件で5日保管した。銅張積層板上に積層し、最短現像時間tを測定した。保管前の最短現像時間tとの比r=t/tが小さいほど、保存安定性に優れる。
〔評価基準〕
○ :rが1.5以下であり、保存安定性に優れる
○△:rが2.0以下であり、保存安定性が良好である
△×:rが2.5以下であり、保存安定性がやや劣る
× :rが2.5以上であり、保存安定性に劣る
<Storage stability>
The photosensitive film was stored at 40 ° C. for 5 days. The laminate was laminated on a copper clad laminate, and the shortest development time tr was measured. The smaller the ratio r = t r / t 0 to the shortest development time t 0 before storage, the better the storage stability.
〔Evaluation criteria〕
○: r is 1.5 or less and excellent in storage stability ○ Δ: r is 2.0 or less and storage stability is good Δ ×: r is 2.5 or less and storage stability Slightly inferior ×: r is 2.5 or more and inferior in storage stability

<耐熱性>
基板上に各感光性組成物からなるソルダーレジスト層を形成しロジン系フラックスを塗布した評価基板を、予め260℃に設定したはんだ槽に30秒間浸漬し、変性アルコールでフラックスを洗浄した後、目視によるレジスト層の膨れ、剥れ、及び変色について、下記基準により評価した。
〔評価基準〕
○:全く変化が認められず、耐熱性に優れる
△:一部膨れ、剥がれが見られるものの、耐熱性は良好である
×:塗膜に膨れ、剥れがある
<Heat resistance>
An evaluation substrate on which a solder resist layer made of each photosensitive composition is formed on a substrate and a rosin-based flux is applied is immersed in a solder bath previously set at 260 ° C. for 30 seconds, and the flux is washed with denatured alcohol. The swelling, peeling, and discoloration of the resist layer due to were evaluated according to the following criteria.
〔Evaluation criteria〕
○: No change is observed and heat resistance is excellent. Δ: Although some swelling and peeling are observed, heat resistance is good. ×: The coating film is swollen and peeled.

<基板密着性>
基板上に各感光性組成物からなるソルダーレジスト層を形成した。これに1cm四方の区画内を縦横1mm間隔の線で区切り、1mm四方の区画が100個できるようにカッターナイフで皮膜のみを切断し、基材が切れないように切込みを入れた。次に切込みを入れた被膜にセロハンテープ(日東電工株式会社製、商品名セロハンテープNo.29)を張り、90度の角度に引っ張り上げ、その時に1mm四方の区画が何個剥がれるかを測定した。1個の剥離もなく、またそれぞれの区画に欠損のないものが良好である。剥離性・欠損を、下記基準により評価した。
〔評価基準〕
○:剥離・欠損が無く、基板密着性に優れる
△:剥離しないが、一部欠損があり基板密着性にやや劣る
×:部分的に剥離がおき、基板密着性に劣る
<Board adhesion>
A solder resist layer made of each photosensitive composition was formed on the substrate. The inside of a 1 cm square section was divided by lines with 1 mm vertical and horizontal intervals, and only the film was cut with a cutter knife so that 100 1 mm square sections could be formed, and cut so as not to cut the substrate. Next, a cellophane tape (product name cellophane tape No. 29, manufactured by Nitto Denko Corporation) was applied to the cut film, and the film was pulled up to an angle of 90 degrees, and at that time, how many 1 mm square sections were peeled off was measured. . One having no peeling and no defect in each section is good. The peelability and defect were evaluated according to the following criteria.
〔Evaluation criteria〕
○: No peeling / defects and excellent substrate adhesion △: No peeling, but some defects and slightly inferior to substrate adhesion ×: Partial peeling occurs, resulting in poor substrate adhesion

<表面硬度>
基板上に各感光性組成物からなるソルダーレジスト層を形成した。これにJIS K−5400の試験法に従って鉛筆硬度試験機を用いて荷重1kgを掛けた際の皮膜にキズが付かない最も高い硬度を、下記基準により評価した。
〔評価基準〕
○:4H以上であり、表面硬度に優れる
△:3H〜4Hであり、表面硬度にやや劣る
×:2H以下であり、表面硬度に劣る
<Surface hardness>
A solder resist layer made of each photosensitive composition was formed on the substrate. According to the test method of JIS K-5400, the highest hardness at which a film was not damaged when a load of 1 kg was applied using a pencil hardness tester was evaluated according to the following criteria.
〔Evaluation criteria〕
○: 4H or more, excellent surface hardness Δ: 3H-4H, slightly inferior to surface hardness ×: 2H or less, inferior to surface hardness

(実施例2)
実施例1の感光性組成物溶液における連鎖移動剤(上記例示化合物(R−1))を連鎖移動剤(上記例示化合物(R−2))に変えた以外は、実施例1と同様にして、感光性フィルム、積層体、及び永久パターンを製造した。
得られた積層体について、実施例1と同様にして、感度、現像性、解像性、保存安定性、耐熱性、基板密着性、及び表面硬度の評価を行った。結果を表1に示す。
(Example 2)
Except having changed the chain transfer agent (the said exemplary compound (R-1)) in the photosensitive composition solution of Example 1 into the chain transfer agent (the above exemplary compound (R-2)), it was carried out similarly to Example 1. , Photosensitive films, laminates, and permanent patterns were produced.
About the obtained laminated body, it carried out similarly to Example 1, and evaluated sensitivity, developability, resolution, storage stability, heat resistance, board | substrate adhesiveness, and surface hardness. The results are shown in Table 1.

(実施例3)
実施例1の感光性組成物溶液における連鎖移動剤(上記例示化合物(R−1))を連鎖移動剤(上記例示化合物(R−3))に変えた以外は、実施例1と同様にして、感光性フィルム、積層体、及び永久パターンを製造した。
得られた積層体について、実施例1と同様にして、感度、現像性、解像性、保存安定性、耐熱性、基板密着性、及び表面硬度の評価を行った。結果を表1に示す。
(Example 3)
Except having changed the chain transfer agent (the said exemplary compound (R-1)) in the photosensitive composition solution of Example 1 into the chain transfer agent (the above exemplary compound (R-3)), it was carried out similarly to Example 1. , Photosensitive films, laminates, and permanent patterns were produced.
About the obtained laminated body, it carried out similarly to Example 1, and evaluated sensitivity, developability, resolution, storage stability, heat resistance, board | substrate adhesiveness, and surface hardness. The results are shown in Table 1.

(実施例4)
実施例1の感光性組成物溶液における連鎖移動剤(上記例示化合物(R−1))を連鎖移動剤(上記例示化合物(R−4))に変えた以外は、実施例1と同様にして、感光性フィルム、積層体、及び永久パターンを製造した。
得られた積層体について、実施例1と同様にして、感度、現像性、解像性、保存安定性、耐熱性、基板密着性、及び表面硬度の評価を行った。結果を表1に示す。
Example 4
Except having changed the chain transfer agent (the said exemplary compound (R-1)) in the photosensitive composition solution of Example 1 into the chain transfer agent (the above exemplary compound (R-4)), it was carried out similarly to Example 1. , Photosensitive films, laminates, and permanent patterns were produced.
About the obtained laminated body, it carried out similarly to Example 1, and evaluated sensitivity, developability, resolution, storage stability, heat resistance, board | substrate adhesiveness, and surface hardness. The results are shown in Table 1.

(実施例5)
実施例1の感光性組成物溶液における上記式<K−1>で表される光重合開始剤を下記式<K−2>で表される光重合開始剤に変えた以外は、実施例1と同様にして、感光性フィルム、積層体、及び永久パターンを製造した。
得られた積層体について、実施例1と同様にして、感度、現像性、解像性、保存安定性、耐熱性、基板密着性、及び表面硬度の評価を行った。結果を表1に示す。
(Example 5)
Example 1 except that the photopolymerization initiator represented by the above formula <K-1> in the photosensitive composition solution of Example 1 was changed to a photopolymerization initiator represented by the following formula <K-2>. In the same manner, a photosensitive film, a laminate, and a permanent pattern were produced.
About the obtained laminated body, it carried out similarly to Example 1, and evaluated sensitivity, developability, resolution, storage stability, heat resistance, board | substrate adhesiveness, and surface hardness. The results are shown in Table 1.

(実施例6)
実施例1の感光性組成物溶液における上記式<K−1>で表される光重合開始剤を上記式<K−2>で表される光重合開始剤に変え、連鎖移動剤(上記例示化合物(R−1))を連鎖移動剤(上記例示化合物(R−3))に変えた以外、実施例1と同様にして、感光性フィルム、積層体、及び永久パターンを製造した。
得られた積層体について、実施例1と同様にして、感度、現像性、解像性、保存安定性、耐熱性、基板密着性、及び表面硬度の評価を行った。結果を表1に示す。
(Example 6)
The photopolymerization initiator represented by the above formula <K-1> in the photosensitive composition solution of Example 1 was changed to a photopolymerization initiator represented by the above formula <K-2>, and a chain transfer agent (above exemplified) A photosensitive film, a laminate, and a permanent pattern were produced in the same manner as in Example 1 except that the compound (R-1) was changed to a chain transfer agent (the above exemplary compound (R-3)).
About the obtained laminated body, it carried out similarly to Example 1, and evaluated sensitivity, developability, resolution, storage stability, heat resistance, board | substrate adhesiveness, and surface hardness. The results are shown in Table 1.

(実施例7)
実施例1の感光性組成物溶液における上記式<K−1>で表される光重合開始剤を上記式<K−2>で表される光重合開始剤に変え、連鎖移動剤(上記例示化合物(R−1))を連鎖移動剤(上記例示化合物(R−4))に変えた以外、実施例1と同様にして、感光性フィルム、積層体、及び永久パターンを製造した。
得られた積層体について、実施例1と同様にして、感度、現像性、解像性、保存安定性、耐熱性、基板密着性、及び表面硬度の評価を行った。結果を表1に示す。
(Example 7)
The photopolymerization initiator represented by the above formula <K-1> in the photosensitive composition solution of Example 1 was changed to a photopolymerization initiator represented by the above formula <K-2>, and a chain transfer agent (above exemplified) A photosensitive film, a laminate, and a permanent pattern were produced in the same manner as in Example 1 except that the compound (R-1) was changed to a chain transfer agent (the exemplified compound (R-4)).
About the obtained laminated body, it carried out similarly to Example 1, and evaluated sensitivity, developability, resolution, storage stability, heat resistance, board | substrate adhesiveness, and surface hardness. The results are shown in Table 1.

(実施例8)
実施例1の感光性組成物溶液における上記式<K−1>で表される光重合開始剤を下記式<K−5>で表される光重合開始剤に変え、連鎖移動剤(上記例示化合物(R−1))を連鎖移動剤(上記例示化合物(R−4))に変えた以外、実施例1と同様にして、感光性フィルム、積層体、及び永久パターンを製造した。
得られた積層体について、実施例1と同様にして、感度、現像性、解像性、保存安定性、耐熱性、基板密着性、及び表面硬度の評価を行った。結果を表1に示す。
<K−5>
(Example 8)
The photopolymerization initiator represented by the above formula <K-1> in the photosensitive composition solution of Example 1 was changed to a photopolymerization initiator represented by the following formula <K-5>, and a chain transfer agent (illustrated above). A photosensitive film, a laminate, and a permanent pattern were produced in the same manner as in Example 1 except that the compound (R-1) was changed to a chain transfer agent (the exemplified compound (R-4)).
About the obtained laminated body, it carried out similarly to Example 1, and evaluated sensitivity, developability, resolution, storage stability, heat resistance, board | substrate adhesiveness, and surface hardness. The results are shown in Table 1.
<K-5>

(比較例1)
実施例1の感光性組成物溶液における連鎖移動剤(上記例示化合物(R−1))を添加しない以外は、実施例1と同様にして、感光性フィルム、積層体、及び永久パターンを製造した。
得られた積層体について、実施例1と同様にして、感度、現像性、解像性、保存安定性、耐熱性、及び基板密着性の評価を行った。結果を表1に示す。
(Comparative Example 1)
A photosensitive film, a laminate, and a permanent pattern were produced in the same manner as in Example 1 except that the chain transfer agent (the above exemplary compound (R-1)) in the photosensitive composition solution of Example 1 was not added. .
About the obtained laminated body, it carried out similarly to Example 1, and evaluated sensitivity, developability, resolution, storage stability, heat resistance, and board | substrate adhesiveness. The results are shown in Table 1.

(比較例2)
実施例1の感光性組成物溶液における上記式<K−1>で表される光重合開始剤を下記式(K−4)で表される光重合開始剤に変え、連鎖移動剤(上記例示化合物(R−1))を上記式(R−X)で表される連鎖移動剤に変えた以外は、実施例1と同様にして、感光性フィルム、積層体、及び永久パターンを製造した。
得られた積層体について、実施例1と同様にして、感度、現像性、解像性、保存安定性、耐熱性、基板密着性、及び表面硬度の評価を行った。結果を表1に示す。
<K−4>
(Comparative Example 2)
The photopolymerization initiator represented by the above formula <K-1> in the photosensitive composition solution of Example 1 was changed to a photopolymerization initiator represented by the following formula (K-4), and a chain transfer agent (illustrated above). A photosensitive film, a laminate, and a permanent pattern were produced in the same manner as in Example 1, except that the compound (R-1)) was changed to the chain transfer agent represented by the above formula (RX).
About the obtained laminated body, it carried out similarly to Example 1, and evaluated sensitivity, developability, resolution, storage stability, heat resistance, board | substrate adhesiveness, and surface hardness. The results are shown in Table 1.
<K-4>

(比較例3)
実施例1の感光性組成物溶液における上記式<K−1>で表される光重合開始剤を上記式(K−5)で表される光重合開始剤に変え、連鎖移動剤(上記例示化合物(R−1))を連鎖移動剤(上記例示化合物(R−3))に変え、熱架橋剤「N−1」を添加しない以外は、実施例1と同様にして、感光性フィルム、積層体、及び永久パターンを製造した。
得られた積層体について、実施例1と同様にして、感度、現像性、解像性、保存安定性、耐熱性、基板密着性、及び表面硬度の評価を行った。結果を表1に示す。
(Comparative Example 3)
The photopolymerization initiator represented by the above formula <K-1> in the photosensitive composition solution of Example 1 was changed to a photopolymerization initiator represented by the above formula (K-5), and a chain transfer agent (illustrated above). Compound (R-1)) is changed to a chain transfer agent (the above exemplary compound (R-3)), and the photosensitive film, Laminates and permanent patterns were produced.
About the obtained laminated body, it carried out similarly to Example 1, and evaluated sensitivity, developability, resolution, storage stability, heat resistance, board | substrate adhesiveness, and surface hardness. The results are shown in Table 1.

(比較例4)
実施例1の感光性組成物溶液における連鎖移動剤(上記例示化合物(R−1))を、下記式(R−Y)で表される連鎖移動剤(昭和電工株式会社製)に変え、熱架橋剤「N−1」を添加しない以外は、実施例1と同様にして、感光性フィルム、積層体、及び永久パターンを製造した。
得られた積層体について、実施例1と同様にして、感度、現像性、解像性、保存安定性、耐熱性、基板密着性、及び表面硬度の評価を行った。結果を表1に示す。
<R−Y>
(Comparative Example 4)
The chain transfer agent (the above exemplary compound (R-1)) in the photosensitive composition solution of Example 1 was changed to a chain transfer agent (manufactured by Showa Denko KK) represented by the following formula (RY), and heat A photosensitive film, a laminate, and a permanent pattern were produced in the same manner as in Example 1 except that the crosslinking agent “N-1” was not added.
About the obtained laminated body, it carried out similarly to Example 1, and evaluated sensitivity, developability, resolution, storage stability, heat resistance, board | substrate adhesiveness, and surface hardness. The results are shown in Table 1.
<R-Y>

(比較例5)
実施例1の感光性組成物溶液における連鎖移動剤(上記例示化合物(R−1))を、下記式で表される連鎖移動剤(R−Z、昭和電工株式会社製)に変えた以外は、実施例1と同様にして、感光性フィルム、積層体、及び永久パターンを製造した。
得られた積層体について、実施例1と同様にして、感度、現像性、解像性、保存安定性、耐熱性、基板密着性、及び表面硬度の評価を行った。結果を表1に示す。
<R−Z>
(Comparative Example 5)
Except having changed the chain transfer agent (the said exemplary compound (R-1)) in the photosensitive composition solution of Example 1 into the chain transfer agent (RZ, Showa Denko Co., Ltd.) represented by the following formula. In the same manner as in Example 1, a photosensitive film, a laminate, and a permanent pattern were produced.
About the obtained laminated body, it carried out similarly to Example 1, and evaluated sensitivity, developability, resolution, storage stability, heat resistance, board | substrate adhesiveness, and surface hardness. The results are shown in Table 1.
<RZ>

表1の結果より、実施例1〜8は、比較例1〜5に比べて、感度、現像性、及び解像度に優れ、更に、保存安定性、耐熱性、基板密着性、及び表面硬度をともに向上させることができることが分かった。 From the result of Table 1, Examples 1-8 are excellent in sensitivity, developability, and resolution compared with Comparative Examples 1-5, and also, storage stability, heat resistance, board | substrate adhesiveness, and surface hardness are all together. It has been found that it can be improved.

本発明の感光性組成物は、高感度化が図れ、基板密着性、表面硬度、耐熱性、及び保存性を改良することができるので、フィルム型ソルダーレジストに好適に用いることができる。
本発明の感光性フィルムは、耐熱性及び保存性が向上し、高精細な永久パターンを効率よく形成可能であるため、保護膜、層間絶縁膜、及びソルダーレジストパターン等の永久パターン等の各種パターン形成、カラーフィルタ、柱材、リブ材、スペーサー、隔壁などの液晶構造部材の製造、ホログラム、マイクロマシン、プルーフの製造等に好適に用いることができ、特にプリント基板の永久パターン形成用に好適に用いることができる。
本発明のパターン形成方法は、前記感光性組成物を用いるため、保護膜、層間絶縁膜、及びソルダーレジストパターン等の永久パターン等の各種パターン形成用、カラーフィルタ、柱材、リブ材、スペーサー、隔壁等の液晶構造部材の製造、ホログラム、マイクロマシン、プルーフの製造等に好適に用いることができ、特にプリント基板の永久パターン形成に好適に用いることができる。
Since the photosensitive composition of this invention can achieve high sensitivity and can improve board | substrate adhesiveness, surface hardness, heat resistance, and a preservability, it can be used suitably for a film type solder resist.
Since the photosensitive film of the present invention has improved heat resistance and storage stability and can efficiently form a high-definition permanent pattern, various patterns such as a permanent pattern such as a protective film, an interlayer insulating film, and a solder resist pattern It can be suitably used for forming liquid crystal structural members such as color filters, pillars, ribs, spacers, partition walls, holograms, micromachines, proofs, etc., particularly for forming permanent patterns on printed circuit boards. be able to.
Since the pattern forming method of the present invention uses the photosensitive composition, it is used for forming various patterns such as a protective film, an interlayer insulating film, and a permanent pattern such as a solder resist pattern, a color filter, a pillar material, a rib material, a spacer, It can be suitably used for the production of liquid crystal structural members such as partition walls, the production of holograms, micromachines, and proofs, and can be particularly suitably used for the formation of permanent patterns on printed boards.

Claims (12)

バインダー、重合性化合物、光重合開始剤、2級乃至3級のメルカプタンを少なくとも2つ有しアミド結合乃至アニリド結合を少なくとも1つ有する多官能メルカプト化合物である連鎖移動剤、及び熱架橋剤を含有することを特徴とする感光性組成物。   Contains a binder, a polymerizable compound, a photopolymerization initiator, a chain transfer agent which is a polyfunctional mercapto compound having at least two secondary or tertiary mercaptans and at least one amide bond or anilide bond, and a thermal crosslinking agent. And a photosensitive composition. 連鎖移動剤が、下記一般式(A)で表される化合物である請求項1に記載の感光性組成物。
ただし、前記一般式(A)中、R及びRは、いずれも水素原子及び有機官能基のいずれかを表し、R及びRのうち少なくとも1つは、有機官能基を表し、RとRとは環を形成してもよい。Rは、水素原子及び有機官能基のいずれかを表す。Xは、単結合又は2価の有機連結鎖を表す。nは、2〜8を表し、Zは、n官能の有機連結鎖を表す。
The photosensitive composition according to claim 1, wherein the chain transfer agent is a compound represented by the following general formula (A).
However, in the general formula (A), R 1 and R 2 both represent a hydrogen atom and an organic functional group, and at least one of R 1 and R 2 represents an organic functional group, R 1 and R 2 may form a ring. R 3 represents either a hydrogen atom or an organic functional group. X represents a single bond or a divalent organic linking chain. n represents 2 to 8, and Z represents an n-functional organic linking chain.
連鎖移動剤が、α置換メルカプト酢酸アミド化合物からなる多官能メルカプト化合物である請求項1から2のいずれかに記載の感光性組成物。   The photosensitive composition according to claim 1, wherein the chain transfer agent is a polyfunctional mercapto compound composed of an α-substituted mercaptoacetamide compound. バインダーが、側鎖にエチレン性不飽和二重結合を少なくとも1つ有する高分子化合物である請求項1から3のいずれかに記載の感光性組成物。   The photosensitive composition according to claim 1, wherein the binder is a polymer compound having at least one ethylenically unsaturated double bond in the side chain. バインダーが、側鎖にエチレン性不飽和二重結合及びカルボキシル基を少なくとも1つ有する高分子化合物である請求項1から4のいずれかに記載の感光性組成物。   The photosensitive composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the binder is a polymer compound having at least one ethylenically unsaturated double bond and a carboxyl group in the side chain. 光重合開始剤が、中性の光重合開始剤である請求項1から5のいずれかに記載の感光性組成物。   The photosensitive composition according to claim 1, wherein the photopolymerization initiator is a neutral photopolymerization initiator. 光重合開始剤が、中性のオキシムエステル系化合物である請求項1から6のいずれかに記載の感光性組成物。   The photosensitive composition according to any one of claims 1 to 6, wherein the photopolymerization initiator is a neutral oxime ester compound. 熱架橋剤が、エポキシ化合物、オキセタン化合物、ポリイソシアネート化合物、ポリイソシアネート化合物にブロック剤を反応させて得られる化合物、及びメラミン誘導体から選択される少なくとも1種である請求項1から7のいずれかに記載の感光性組成物。   The thermal crosslinking agent is at least one selected from an epoxy compound, an oxetane compound, a polyisocyanate compound, a compound obtained by reacting a polyisocyanate compound with a blocking agent, and a melamine derivative. The photosensitive composition as described. 請求項1から8のいずれかに記載の感光性組成物を含む感光層を支持体上に有してなることを特徴とする感光性フィルム。   A photosensitive film comprising a photosensitive layer containing the photosensitive composition according to claim 1 on a support. 基体上に、請求項1から8のいずれかに記載の感光性組成物を含む感光層を有することを特徴とする感光性積層体。   A photosensitive laminate comprising a photosensitive layer containing the photosensitive composition according to claim 1 on a substrate. 請求項1から8のいずれかに記載の感光性組成物により形成された感光層に対して露光を行うことを少なくとも含むことを特徴とする永久パターン形成方法。   A method for forming a permanent pattern, comprising at least exposing a photosensitive layer formed of the photosensitive composition according to claim 1. 請求項11に記載の永久パターン形成方法により永久パターンが形成されることを特徴とするプリント基板。
A printed circuit board, wherein a permanent pattern is formed by the permanent pattern forming method according to claim 11.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2012220759A (en) * 2011-04-11 2012-11-12 Toppan Printing Co Ltd Photosensitive coloring composition, color filter using the same, and liquid crystal display device

Cited By (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012220759A (en) * 2011-04-11 2012-11-12 Toppan Printing Co Ltd Photosensitive coloring composition, color filter using the same, and liquid crystal display device

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