JP2010255067A - ナノロッド薄膜 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、新たな形状のナノロッド体を有するナノロッド薄膜を提供することを課題とする。
【解決手段】金属表面に対して略垂直に一元的に成長してなるナノロッド体の集合体から形成されたナノロッド薄膜であり、ナノロッド体はボディ部と先端部からなる針形状であり、該ナノロッド薄膜は表面上に前記ナノロッド体の先端部が配列するものであり、該ナノロッド薄膜の表面は該ナノロッド薄膜表面上を探針を走査させて検出される凹凸パターンを形成することを特徴とするナノロッド薄膜。
【選択図】図2
【解決手段】金属表面に対して略垂直に一元的に成長してなるナノロッド体の集合体から形成されたナノロッド薄膜であり、ナノロッド体はボディ部と先端部からなる針形状であり、該ナノロッド薄膜は表面上に前記ナノロッド体の先端部が配列するものであり、該ナノロッド薄膜の表面は該ナノロッド薄膜表面上を探針を走査させて検出される凹凸パターンを形成することを特徴とするナノロッド薄膜。
【選択図】図2
Description
本発明はナノロッド体からなるナノロッド薄膜に関する。
現在、ナノロッド薄膜として、Ru(非特許文献1)、W(非特許文献2)からなる金属薄膜やGZO(非特許文献3)、TiO2(非特許文献4)、AlN(非特許文献5)、GaN(特許文献1)などの酸化物や窒化物からなる金属薄膜が知られており、前述したようなナノロッド薄膜は電子素子や光学素子の形成に有効であるとされている。また、ナノロッド薄膜の作製方法としては、ゾルゲル法、有機金属CVD法、気相―液相―固相法、PLD法、GLAD法(非特許文献6)などが報告されている。
P. Morrow et al. Texture of Ru columns grown by oblique angle sputter deposition, J. Vac. Sci. Technol. A Vol.24, No.2(2006)235-245.
T. Karabacak et al. β-phase tungsten nanorod formation by oblique-angle sputter deposition, Appl. Phys. Lett., Vol.83, No.15,(2003)3096-2098.
R. Nishimura et al. Growth Control of ZnO Nanorods by Pulsed Laser Deposition Method and Their Surface Enhanced Raman Scattering Properties, The Review of Laser Engineering, Vol.36,(2008)1234-1237..
S.K. Pradhan et al.Growth of TiO2 nanorods by metalorganic chemical vapor deposition, J. Crystal Growth, Vol.256, No.1-2(2003)83-88.
Y.B. Tang et al. Field emission from AlN nanorod array, Appl. Phys. Lett. Vol.86, 153104-1〜3(2005).
C.M. Zhou et al. Growth competition during glancing angle deposition of nanorod honeycomb arrays, Appl. Phys. Lett. Vol.90, 093103-1〜3(2007).
現在ナノロッド薄膜におけるナノロッド体の形状は、円柱状、六角柱状、針状などといったものが知られており、その形状から光触媒、フィールドエミッター、フォトニック結晶、光吸収剤、2次電池の負極材料や導電性材料など様々な用途に用いられることが期待されている。
本発明は、新たな形状のナノロッド体を有するナノロッド薄膜を提供することを課題とした。
本発明のナノロッド薄膜は、金属表面に対して略垂直に一元的に成長してなるナノロッド体の集合体から形成されたナノロッド薄膜であり、ナノロッド体はボディ部と先端部からなる針形状であり、該ナノロッド薄膜は表面上に前記ナノロッド体の先端部が配列するものであり、該ナノロッド薄膜の表面は該ナノロッド薄膜表面上を探針を走査させて検出される凹凸パターンを形成することを特徴とする。
金属表面は、金属を主成分として構成されていればよく、また、金属表面は平面であることが好ましい。
上記ナノロッド体は、柱状のボディ部と錘状の先端部からなる針形状のものであり、ナノロッド薄膜表面の上記凹凸パターンにおいて、該先端部の頂点は凹凸パターンの凸部の頂点を示し、ボディ部へ近づくに従って凹部の底部へと近づくとしてもよい。また、上記の凹凸パターンは、走査型プロ−ブ顕微鏡によって検出されるのがよく、特に原子間力顕微鏡(以下AFMと表記することもある)を用いるのが好ましい。
また、本発明のナノロッド薄膜は、ナノロッド薄膜表面の凹凸パターンによって得られるナノロッド薄膜の算術平均粗さ(Ra)は5〜18nmであり、粗さ曲線要素の平均長さ(RSm)は70〜230nmであることを特徴とする。
なお、算術平均粗さ(Ra)及び粗さ曲線要素の平均長さ(RSm)は、JIS B0601(2001年)に準拠して算出されたものである。Raは粗さ曲線の高さ方向に関する平均値であり、ナノロッド薄膜表面における凹凸の高さを表す値としてもよい。また、RSmは粗さ曲線の山谷一周期の間隔に関する平均値である。
また、本発明のナノロッド薄膜において、ナノロッド体の高さは100〜2000nmであり、該ナノロッド体の側面視において、該ナノロッド体の幅が最も広い位置における幅が40〜180nm、金属表面と接する該ナノロッド体の底面から上記位置までの高さの1/2の高さにおける幅が30〜130nm、該底面の高さにおける幅が15〜40nmであることを特徴とする。
走査電子顕微鏡(以下SEMと表記することもある)を用いてナノロッド体の高さ、及び幅を算出した。なお、上記の側面視とは、ナノロッド体を形成した金属表面を水平方向から見たときの見え方である。
また、本発明のナノロッド薄膜は、前記ナノロッド体が六方晶ウルツ鉱型の結晶構造を有することを特徴とする。
また、本発明のナノロッド薄膜は、前記ナノロッド体がAlNであることを特徴とする。
また、本発明のナノロッド薄膜は、Ag、Pt、Cu、Al、Ti、Mo、W、Ni、Siからなる群から選ばれる少なくとも1つの元素を主成分とする金属表面に形成されることを特徴とする。
本発明により、新たな形状のナノロッド体を有するナノロッド薄膜を提供することが可能となった。
六方晶ウルツ鉱型の結晶構造を有するものとしては、例えば、Al、Ga、Zn、In、B、Be等の窒化物や酸化物、あるいは合金が挙げられる。
図2には、矩形の金属9上に形成したナノロッド薄膜8を側面から見たときの概略図を示した。ナノロッド薄膜8は金属9の表面に形成されるものであり、該金属9は、金属プレート、金属ウェハ、蒸着法などによって基材上に形成される金属薄膜、金属箔などが挙げられる。また、上記「基材上」は金属表面を形成する金属薄膜又は金属箔が基材に接するものでも、基材と該金属薄膜又は該金属箔との間に他の薄膜が介在するものでもよい。さらに基材の種類としては、無色のもの、着色のもの共に使用可能であり、例えばガラス、金属、樹脂基材あるいはフィルム等を用いてもよく、用いるガラスの例としては、石英ガラスや、建築用や車両用、ディスプレイ用に使用されているソーダ石灰ケイ酸塩ガラスからなるフロート板ガラス、無アリカルガラス、ホウケイ酸塩ガラス、低膨張ガラス、ゼロ膨張ガラス、低膨張結晶化ガラス、ゼロ膨張結晶化ガラス、TFT用ガラス、PDP用ガラス、光学フィルム用基板ガラス等が挙げられる。ナノロッド薄膜を形成する基材は、前述したように平面であることが好ましく、また、該基材の形状は特に限定されるものではない。
本発明のナノロッド薄膜の厚みは特に限定するものではないが、効率よくナノロッド体を得るために100nm以上としてもよく、より好ましくは300nm以上としてもよい。なお、上限は薄膜が剥離しないのであれば限定しなくともよいが、好ましくは2000nm以下としても差し支えない。
また、ナノロッド薄膜が形成される金属、または該金属を表面に有する基材に対して、ナノロッド体の形成時に意図的な加熱を行わないことが好ましく、該金属及び該金属を表面に有する基材の温度は、例えば、200℃以下が好ましいとしてもよく、より好ましくは、100℃以下としてもよい。該温度が上記範囲から外れると、ナノロッド体を効率よく形成し難くなることがある。
本発明のナノロッド薄膜は、物理的気相成長法によって形成されるものであり、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法などによって形成されるのが好ましい。中でもスパッタリング法は、簡便で量産にも適しているため好適である。
成膜装置としては、例えば、図1に示すようなDCマグネトロンスパッタ装置が挙げられる。ターゲット1を真空チャンバー4内に設置し、基材3を基板ホルダー2に保持させた後、真空チャンバー4内を真空ポンプ5によって排気し、成膜中、真空ポンプは連続して稼働させ、真空チャンバー内の雰囲気ガスは、ガス導入管6より導入し、ガスの流量をマスフローコントローラー(図示せず)により制御して導入し、所望の薄膜を成膜する。成膜中の真空チャンバ−内の圧力は、開閉バルブ7を制御することで調節され、また、真空ポンプの種類、ターゲットの個数や種類、直流電源と交流電源の選択は適宜なされればよく、特に限定しない。
真空チャンバー内に導入する雰囲気ガスは、目的とする膜種に応じて適宜選択されればよく、例えば、O2、N2、H2、CO2、Ar、Xe、Kr、Ne、He等のガスが挙げられる。また、雰囲気ガスは2種以上のガスを混合した混合ガスでもよく、該混合ガスの混合比は適宜設定されればよい。
成膜時の真空チャンバー内の圧力は0.1〜5.0Paであることが好ましい。0.1Pa未満であると放電が安定せず、5.0Paを超えると金属表面との密着性が低下することがある。
以下に、本発明の具体例を実施例および比較例にて説明する。
1.ナノロッド薄膜の作製
1.ナノロッド薄膜の作製
(実施例1)
矩形のガラス基材上に、ZnO膜、Ag膜の順に順次積層した薄膜積層体を作製し、上記Ag薄膜の表面にAlN薄膜を成膜した。AlN薄膜の成膜は図1に示すDCマグネトロンスパッタリング装置を用いて作製した。ガラス基材としては、厚さ1mmの平らなソーダライムガラスを用いた。
矩形のガラス基材上に、ZnO膜、Ag膜の順に順次積層した薄膜積層体を作製し、上記Ag薄膜の表面にAlN薄膜を成膜した。AlN薄膜の成膜は図1に示すDCマグネトロンスパッタリング装置を用いて作製した。ガラス基材としては、厚さ1mmの平らなソーダライムガラスを用いた。
図1は、該装置を横から観察したときの要部を示すものである。ターゲット1にAlターゲットを用い、基材3を基材ホルダー2に保持させた後、真空チャンバー4内を、真空ポンプ5を用いて排気した。
真空チャンバー4内の雰囲気ガスは、ガス導入管6よりArとN2ガスとを導入し、ガス流量をマスフロコントローラー(図示せず)により制御し、成膜中の真空チャンバー4内の圧力は、開閉バルブ7により0.5Paに調節した。さらに、DC電源の出力電力を150Wとした。一定時間成膜を行い、膜厚1000nmのナノロッド薄膜を得た。
(実施例2)
薄膜積層体のAg膜をPt膜とし、AlN薄膜をPt膜上に形成した以外は実施例1と同様の手順でAlN薄膜を作製し、膜厚1000nmのナノロッド薄膜を得た。
薄膜積層体のAg膜をPt膜とし、AlN薄膜をPt膜上に形成した以外は実施例1と同様の手順でAlN薄膜を作製し、膜厚1000nmのナノロッド薄膜を得た。
(比較例1)
薄膜積層体のAg膜をNb膜とし、AlN薄膜をNb膜上に形成した以外は実施例1と同様の手順でAlN膜を作製した。得られたAlN膜について、側面から走査型電子顕微鏡(SEM)(日立社製S―4500)によって観察したところ、図3に示すように、目的とするナノロッド薄膜を得ることは出来なかった。
薄膜積層体のAg膜をNb膜とし、AlN薄膜をNb膜上に形成した以外は実施例1と同様の手順でAlN膜を作製した。得られたAlN膜について、側面から走査型電子顕微鏡(SEM)(日立社製S―4500)によって観察したところ、図3に示すように、目的とするナノロッド薄膜を得ることは出来なかった。
(比較例2)
薄膜積層体を作製せず、ガラス基板上に直接AlN薄膜を作製した以外は、実施例1と同様の手順でAlN膜を作製した。得られたAlN膜について、側面からSEMによって観察したところ、図4に示すように、目的とするナノロッド薄膜を得ることは出来なかった。
薄膜積層体を作製せず、ガラス基板上に直接AlN薄膜を作製した以外は、実施例1と同様の手順でAlN膜を作製した。得られたAlN膜について、側面からSEMによって観察したところ、図4に示すように、目的とするナノロッド薄膜を得ることは出来なかった。
2.ナノロッド薄膜の評価
得られたナノロッド薄膜に関して、下記の方法で評価を行った。
得られたナノロッド薄膜に関して、下記の方法で評価を行った。
(ナノロッド薄膜表面の凹凸パターン)
ナノロッド薄膜の算術平均粗さ(Ra)、及び、粗さ曲線要素の平均長さ(RSm)について、原子間力顕微鏡(AFM)(島津社製SPM−9600)によって表面を観察し、1μm×1μm面内の測定データから、JIS B0601(2001年)に基づいてRa及びRSmの値を算出した。得られたナノロッド薄膜表面のAFM図を図5に、各実施例の値を表1にそれぞれ示した。
ナノロッド薄膜の算術平均粗さ(Ra)、及び、粗さ曲線要素の平均長さ(RSm)について、原子間力顕微鏡(AFM)(島津社製SPM−9600)によって表面を観察し、1μm×1μm面内の測定データから、JIS B0601(2001年)に基づいてRa及びRSmの値を算出した。得られたナノロッド薄膜表面のAFM図を図5に、各実施例の値を表1にそれぞれ示した。
(ナノロッド体の高さ及び幅)
ナノロッド薄膜を構成するナノロッド体の高さ(h)、及び、幅について、走査型電子顕微鏡(SEM)(日立社製S―4500)によってナノロッド薄膜を観察し測定を行った。図6にナノロッド薄膜を側面から観察した図、図7にナノロッド薄膜表面を上から観察した図、表2に各実施例の測定値を示す。なお、図8に示したように、ここでいうhはナノロッド体の高さ、kはナノロッド体の側面視において最も幅が広い位置における高さ、k/2は上記kの高さの1/2倍の高さ、底面はナノロッド体と金属表面とが接する位置の高さを示すものとした。
ナノロッド薄膜を構成するナノロッド体の高さ(h)、及び、幅について、走査型電子顕微鏡(SEM)(日立社製S―4500)によってナノロッド薄膜を観察し測定を行った。図6にナノロッド薄膜を側面から観察した図、図7にナノロッド薄膜表面を上から観察した図、表2に各実施例の測定値を示す。なお、図8に示したように、ここでいうhはナノロッド体の高さ、kはナノロッド体の側面視において最も幅が広い位置における高さ、k/2は上記kの高さの1/2倍の高さ、底面はナノロッド体と金属表面とが接する位置の高さを示すものとした。
(ナノロッド薄膜のX線回折パターン)
実施例1におけるナノロッド薄膜のX線回折パターンを、XRD測定装置(理学社製RINT−UltimaIII)を用いて、CuKα線を用いたX線回折により測定し、ナノロッド薄膜の結晶構造を評価し、得られた回折パターンを図9に示した。得られた結果から、AlNのナノロッド薄膜は[001]方向に配向していることが明らかとなった。
実施例1におけるナノロッド薄膜のX線回折パターンを、XRD測定装置(理学社製RINT−UltimaIII)を用いて、CuKα線を用いたX線回折により測定し、ナノロッド薄膜の結晶構造を評価し、得られた回折パターンを図9に示した。得られた結果から、AlNのナノロッド薄膜は[001]方向に配向していることが明らかとなった。
本発明のナノロッド薄膜は、ボディ部と先端部からなる針形状であるナノロッド体から成るものであり、該ナノロッド薄膜は連続膜に比べて表面積が大きいものである。よって、該ナノロッド体の表面に光触媒機能等の機能性を有する薄膜を作製し、機能性を向上せしめた光触媒薄膜等の機能性薄膜として利用されるのが好ましい。
また、本発明のナノロッド薄膜は表面に凹凸パターンを形成するものであることから、超撥水処理用の下地薄膜として利用されるのが好ましく、該ナノロッド薄膜上にパーフルオロアルキル基含有シラン(FAS)などの撥水剤を施すことによって、超撥水性薄膜として利用されるのが好ましい。
さらに、本発明のナノロッド薄膜において、該ナノロッド薄膜が導電性である場合、コンタクトプラグやビアプラグといったLSI用の相関電極として利用されるのが好ましい。あるいは、特に、該ナノロッド体がAlNからなるものである場合、AlNの電子親和力が0に近いため、電界電子放出型ディスプレイのエミッターとして使用されるのが好ましい。
1 ターゲット
2 基材ホルダー
3 基板
4 真空チャンバー
5 真空ポンプ
6 ガス導入管
7 開閉バルブ
8 金属
9 ナノロッド薄膜
2 基材ホルダー
3 基板
4 真空チャンバー
5 真空ポンプ
6 ガス導入管
7 開閉バルブ
8 金属
9 ナノロッド薄膜
Claims (6)
- 金属表面に対して略垂直に一元的に成長してなるナノロッド体の集合体から形成されたナノロッド薄膜であり、ナノロッド体はボディ部と先端部からなる針形状であり、該ナノロッド薄膜は表面上に前記ナノロッド体の先端部が配列するものであり、該ナノロッド薄膜の表面は該ナノロッド薄膜表面上を探針を走査させて検出される凹凸パターンを形成することを特徴とするナノロッド薄膜。
- ナノロッド薄膜表面の凹凸パターンによって得られるナノロッド薄膜の算術平均粗さ(Ra)は5〜18nmであり、粗さ曲線要素の平均長さ(RSm)は70〜230nmであることを特徴とする請求項1に記載のナノロッド薄膜。
- ナノロッド体の高さは100〜2000nmであり、該ナノロッド体の側面視において、該ナノロッド体の幅が最も広い位置における幅が40〜180nm、金属表面と接する該ナノロッド体の底面から上記位置までの高さの1/2の高さにおける幅が30〜130nm、該底面の高さにおける幅が15〜40nmであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のナノロッド薄膜。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のナノロッド体が六方晶ウルツ鉱型の結晶構造を有することを特徴とするナノロッド薄膜。
- 請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のナノロッド体がAlNであることを特徴とするナノロッド薄膜。
- Ag、Pt、Cu、Al、Ti、Mo、W、Ni、Siからなる群から選ばれる少なくとも1つの元素を主成分とする金属表面に形成されることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載のナノロッド薄膜。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN102167280A (zh) * | 2011-01-13 | 2011-08-31 | 西北工业大学 | 一种超疏水硅微纳复合结构及其制备方法 |
CN109881193A (zh) * | 2019-04-25 | 2019-06-14 | 清华大学 | 一种三维三级微纳结构的稳定超疏水金属表面及制备方法 |
CN110295342A (zh) * | 2019-07-18 | 2019-10-01 | 大连民族大学 | 一种等离子体预处理制备氧化钨纳米棒的方法 |
CN113736450A (zh) * | 2021-09-30 | 2021-12-03 | 江南大学 | 一种具有圆偏振荧光的手性纳米棒膜 |
CN114277333A (zh) * | 2020-09-27 | 2022-04-05 | 上海交通大学 | AlN纳米针垂直排列增强的Al基薄膜及其制备方法 |
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2009
- 2009-04-28 JP JP2009108680A patent/JP2010255067A/ja active Pending
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CN102167280A (zh) * | 2011-01-13 | 2011-08-31 | 西北工业大学 | 一种超疏水硅微纳复合结构及其制备方法 |
CN109881193A (zh) * | 2019-04-25 | 2019-06-14 | 清华大学 | 一种三维三级微纳结构的稳定超疏水金属表面及制备方法 |
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CN110295342A (zh) * | 2019-07-18 | 2019-10-01 | 大连民族大学 | 一种等离子体预处理制备氧化钨纳米棒的方法 |
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