JP2010245064A - Method for manufacturing circuit board - Google Patents

Method for manufacturing circuit board Download PDF

Info

Publication number
JP2010245064A
JP2010245064A JP2009088537A JP2009088537A JP2010245064A JP 2010245064 A JP2010245064 A JP 2010245064A JP 2009088537 A JP2009088537 A JP 2009088537A JP 2009088537 A JP2009088537 A JP 2009088537A JP 2010245064 A JP2010245064 A JP 2010245064A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
insulating film
circuit board
layer
film
resin composition
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2009088537A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masafumi Kawasaki
雅史 川崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zeon Corp
Original Assignee
Nippon Zeon Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Zeon Co Ltd filed Critical Nippon Zeon Co Ltd
Priority to JP2009088537A priority Critical patent/JP2010245064A/en
Publication of JP2010245064A publication Critical patent/JP2010245064A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Polyoxymethylene Polymers And Polymers With Carbon-To-Carbon Bonds (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a circuit board, capable of giving a circuit board having good bondability between an insulating layer as an electric insulating layer and a metal layer as a conductor layer without executing roughening treatment of the surface of the insulating film or treatment using an acid aqueous solution. <P>SOLUTION: The method for manufacturing the circuit board includes the steps of irradiating the surface of an insulating film with an ultraviolet ray, the insulating film formed by curing a curable resin composition containing an alicyclic olefin polymer having a functional group and a curing agent, and forming a metal layer by an electroless plating method on the surface of the insulating film irradiated with the ultraviolet ray. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、回路基板の製造方法に関し、さらに詳しくは、絶縁膜表面の粗化処理や酸性水溶液による処理を行わなくとも、絶縁膜と金属層との密着性が良好である回路基板を与えることができる回路基板の製造方法に関する。   The present invention relates to a method of manufacturing a circuit board, and more particularly, to provide a circuit board having good adhesion between an insulating film and a metal layer without performing a roughening process on the surface of the insulating film or a treatment with an acidic aqueous solution. The present invention relates to a method of manufacturing a circuit board capable of performing

電子機器の小型化、多機能化、通信高速化などの追求に伴い、電子機器に用いられる回路基板のより高密度化が要求され、そのため回路基板の多層化が図られている。多層回路基板は、通常、電気絶縁層とその表面に形成された導体層とからなる内層基板の上に、電気絶縁層を積層し、この電気絶縁層の上に導体層を形成させ、さらにその上に電気絶縁層の積層および導体層の形成を繰り返して形成される。このような多層回路基板の導体層が高密度のパターンである場合、電気絶縁層を形成するために用いられる絶縁膜には、誘電率が低いなどの良好な電気特性と優れた密着性が求められる。従来、電気絶縁層と導体層との密着性を改良する手法としては、電気絶縁層の表面を粗化する方法が一般に用いられてきた。しかしながら、電気絶縁層の表面を粗化すると、高周波領域における表皮効果による伝送遅延といった問題が生じうることから、電気絶縁層の表面を粗化することなく、電気絶縁層と導体層との密着性を改良する技術が求められている。   With the pursuit of downsizing, multi-functionalization, high-speed communication, etc. of electronic devices, higher density of circuit boards used in electronic devices is required, and therefore circuit boards are being made multilayered. A multilayer circuit board is usually formed by laminating an electrical insulation layer on an inner layer substrate composed of an electrical insulation layer and a conductor layer formed on the surface, and forming a conductor layer on the electrical insulation layer. It is formed by repeatedly laminating an electrical insulating layer and forming a conductor layer thereon. When the conductor layer of such a multilayer circuit board has a high-density pattern, the insulating film used to form the electrical insulating layer is required to have good electrical characteristics such as a low dielectric constant and excellent adhesion. It is done. Conventionally, as a method for improving the adhesion between the electrical insulating layer and the conductor layer, a method of roughening the surface of the electrical insulating layer has been generally used. However, roughening the surface of the electrical insulating layer can cause problems such as transmission delay due to the skin effect in the high-frequency region. Therefore, the adhesion between the electrical insulating layer and the conductor layer can be reduced without roughening the surface of the electrical insulating layer. There is a need for technology to improve

このような要求に対して、優れた電気特性を有する電気絶縁層と導体層との密着性を改良する技術が研究されている。例えば、特許文献1には、電気特性に優れたシクロオレフィンポリマー材の表面を、紫外線照射処理して、めっきすることにより、表面粗さが小さいままで、金属被覆の密着力が良好な積層体が得られることが開示されている。しかしながら、この特許文献1に記載されたような、熱可塑性のシクロオレフィンポリマー材からなる電気絶縁層は、通電に起因する発熱により高温となりうる多層回路基板において、充分に導体層を支持することができないという問題があった。   In response to such a demand, a technique for improving the adhesion between the electrical insulating layer having excellent electrical characteristics and the conductor layer has been studied. For example, Patent Document 1 discloses a laminate in which the surface of a cycloolefin polymer material having excellent electrical characteristics is subjected to ultraviolet irradiation treatment and plated, and thus the surface roughness remains small and the metal coating has good adhesion. Is disclosed. However, an electrical insulating layer made of a thermoplastic cycloolefin polymer material as described in Patent Document 1 can sufficiently support a conductor layer in a multilayer circuit board that can become high temperature due to heat generation caused by energization. There was a problem that I could not.

また、特許文献2には、脂環式オレフィン重合体などの絶縁性重合体と硬化剤とを含有する硬化性樹脂組成物を用いて、未硬化又は半硬化の樹脂層を形成し、樹脂層表面に、金属に配位可能な構造を有する化合物を接触させ、硬化させて電気絶縁層を形成し、過マンガン酸塩の水溶液で酸化処理した後にめっきすることによって、電気特性に優れ、極めて平滑で導体層との密着性が優れる電気絶縁層が得られることが開示されている。しかしながら、このようなウエットプロセスによる表面処理では、処理液の管理が煩雑となる問題があり、また、環境への負荷を避ける観点から、過マンガン酸塩などの酸化剤は多量に用いることができないなどの制約がある。   In Patent Document 2, an uncured or semi-cured resin layer is formed using a curable resin composition containing an insulating polymer such as an alicyclic olefin polymer and a curing agent, and a resin layer A compound having a structure capable of coordinating with a metal is brought into contact with the surface and cured to form an electrical insulating layer, which is oxidized and then plated with an aqueous solution of permanganate. It is disclosed that an electrical insulating layer having excellent adhesion to a conductor layer can be obtained. However, the surface treatment by such a wet process has a problem that the management of the treatment liquid becomes complicated, and an oxidizing agent such as permanganate cannot be used in a large amount from the viewpoint of avoiding environmental load. There are restrictions such as.

一方、特許文献3〜5には、ポリフェニレンエーテルなどの樹脂層にプラズマ処理と紫外線照射を行い、無電解めっきを行うことが記載されている。しかし、ポリフェニレンエーテルなどからなる電気絶縁層は、電気特性が充分でないという問題がある。   On the other hand, Patent Documents 3 to 5 describe that a resin layer such as polyphenylene ether is subjected to plasma treatment and ultraviolet irradiation to perform electroless plating. However, an electrical insulating layer made of polyphenylene ether has a problem that electrical characteristics are not sufficient.

特開2008−94923号公報JP 2008-94923 A 特開2003−158373号公報JP 2003-158373 A 特開2003−338683号公報JP 2003-338683 A 特開2007−084463号公報JP 2007-084463 A 特開2008−244139号公報JP 2008-244139 A

本発明は、絶縁膜表面の粗化処理や酸性水溶液による処理を行わなくとも、電気絶縁層となる絶縁膜と、導体層となる金属層との密着性が良好である回路基板を与えることができる回路基板の製造方法を提供することを目的とする。   The present invention provides a circuit board having good adhesion between an insulating film serving as an electrical insulating layer and a metal layer serving as a conductor layer without performing roughening treatment on the surface of the insulating film or treatment with an acidic aqueous solution. An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a circuit board.

本発明者は、上記目的を達成するために鋭意研究した結果、官能基を有する脂環式オレフィン重合体および硬化剤を含む硬化性樹脂組成物を硬化させてなる絶縁膜上に金属層を形成するにあたり、絶縁膜の表面に紫外線を照射してから、その表面に無電解めっき法により金属層を形成することにより、絶縁膜表面の粗化処理や酸性水溶液による処理を行わなくとも、絶縁膜と金属層との密着性が良好である回路基板が得られることを見出した。本発明は、この知見に基づいて完成するに至ったものである。   As a result of diligent research to achieve the above object, the present inventor formed a metal layer on an insulating film obtained by curing a curable resin composition containing an alicyclic olefin polymer having a functional group and a curing agent. In doing so, the surface of the insulating film is irradiated with ultraviolet rays, and then a metal layer is formed on the surface by electroless plating, so that the insulating film can be processed without roughening the surface of the insulating film or treatment with an acidic aqueous solution. It has been found that a circuit board having good adhesion between the metal layer and the metal layer can be obtained. The present invention has been completed based on this finding.

かくして、本発明によれば、官能基を有する脂環式オレフィン重合体、および硬化剤を含有してなる硬化性樹脂組成物を硬化することにより形成された絶縁膜の表面に紫外線を照射し、次いで、その紫外線が照射された絶縁膜の表面に無電解めっき法により金属層を形成する工程を含む、回路基板の製造方法が提供される。   Thus, according to the present invention, the surface of the insulating film formed by curing the curable resin composition containing the alicyclic olefin polymer having a functional group and the curing agent is irradiated with ultraviolet rays, Next, a method of manufacturing a circuit board is provided, which includes a step of forming a metal layer on the surface of the insulating film irradiated with the ultraviolet rays by an electroless plating method.

上記の回路基板の製造方法は、絶縁膜の表面に紫外線を照射する前に、その表面をドライプロセス処理するものであることが好ましい。   The above-described circuit board manufacturing method is preferably a method in which the surface of the insulating film is subjected to a dry process treatment before the surface is irradiated with ultraviolet rays.

上記の回路基板の製造方法は、ドライプロセス処理が、プラズマ処理またはコロナ処理であることが好ましい。   In the above circuit board manufacturing method, the dry process treatment is preferably plasma treatment or corona treatment.

本発明によれば、絶縁膜表面の粗化処理や酸性水溶液による処理を行わなくとも、電気絶縁層となる絶縁膜と、導体層となる金属層との密着性が良好である回路基板を与えることができる回路基板の製造方法が得られる。   According to the present invention, it is possible to provide a circuit board having good adhesion between an insulating film serving as an electrical insulating layer and a metal layer serving as a conductor layer without performing roughening treatment on the surface of the insulating film or treatment with an acidic aqueous solution. A circuit board manufacturing method is obtained.

本発明の回路基板の製造方法は、官能基を有する脂環式オレフィン重合体、および硬化剤を含有してなる硬化性樹脂組成物を硬化することにより形成された絶縁膜の表面に紫外線を照射し、次いで、その紫外線が照射された絶縁膜の表面に無電解めっき法により金属層を形成する工程を含むものである。   The method for producing a circuit board according to the present invention irradiates the surface of an insulating film formed by curing a curable resin composition containing an alicyclic olefin polymer having a functional group and a curing agent with ultraviolet rays. Then, a step of forming a metal layer by an electroless plating method on the surface of the insulating film irradiated with the ultraviolet rays is included.

本発明の回路基板の製造方法で用いられる絶縁膜を形成するために用いられる硬化性樹脂組成物は、官能基を有する脂環式オレフィン重合体および硬化剤を含有してなるものである。ここで、本発明で用いられる官能基を有する脂環式オレフィン重合体は、脂環式構造を有するオレフィン(脂環式オレフィン)由来の繰返し単位を含有し、かつ、官能基を有する重合体である。   The curable resin composition used for forming the insulating film used in the method for producing a circuit board of the present invention contains an alicyclic olefin polymer having a functional group and a curing agent. Here, the alicyclic olefin polymer having a functional group used in the present invention is a polymer having a repeating unit derived from an olefin having an alicyclic structure (alicyclic olefin) and having a functional group. is there.

本発明で用いられる官能基を有する脂環式オレフィン重合体が含有しうる脂環式構造としては、シクロアルカン構造やシクロアルケン構造などが挙げられるが、機械的強度、耐熱性などの観点から、シクロアルカン構造が好ましく、特にノルボルナン構造が好ましい。また、脂環式構造としては、単環、多環、縮合多環、橋架け環や、これらを組み合わせてなる多環などが挙げられる。脂環式構造を構成する炭素原子数は、格別な制限はないが、通常4〜30個、好ましくは5〜20個、より好ましくは5〜15個の範囲であるときに、機械的強度、耐熱性、及び成形性の諸特性が高度にバランスされ好適である。また、本発明で使用される官能基を有する脂環式オレフィン重合体は、通常、熱可塑性のものである。   Examples of the alicyclic structure that can be contained in the alicyclic olefin polymer having a functional group used in the present invention include a cycloalkane structure and a cycloalkene structure. From the viewpoint of mechanical strength, heat resistance, and the like, A cycloalkane structure is preferable, and a norbornane structure is particularly preferable. Examples of the alicyclic structure include monocycles, polycycles, condensed polycycles, bridged rings, and polycycles formed by combining these. The number of carbon atoms constituting the alicyclic structure is not particularly limited, but is usually 4 to 30, preferably 5 to 20, more preferably 5 to 15 in the mechanical strength, Various characteristics of heat resistance and moldability are highly balanced and suitable. In addition, the alicyclic olefin polymer having a functional group used in the present invention is usually thermoplastic.

官能基を有する脂環式オレフィン重合体中の脂環式オレフィン由来の繰り返し単位の割合は、特に限定されないが、通常30〜100重量%、好ましくは50〜100重量%、より好ましくは70〜100重量%である。脂環式オレフィン由来の繰り返し単位の割合が過度に少ないと、耐熱性に劣り好ましくない。脂環式オレフィン由来の繰り返し単位以外の繰り返し単位としては、格別な限定はなく、目的に応じて適宜選択される。   The ratio of the repeating unit derived from the alicyclic olefin in the alicyclic olefin polymer having a functional group is not particularly limited, but is usually 30 to 100% by weight, preferably 50 to 100% by weight, more preferably 70 to 100%. % By weight. When the ratio of the repeating unit derived from the alicyclic olefin is excessively small, the heat resistance is inferior, which is not preferable. The repeating unit other than the repeating unit derived from the alicyclic olefin is not particularly limited and is appropriately selected depending on the purpose.

官能基を有する脂環式オレフィン重合体が有する官能基は、特に限定されないが、用いる硬化剤が有する官能基と反応して結合を形成することができる官能基であることが好ましい。脂環式オレフィン重合体が有する官能基の具体例としては、ヒドロキシル基、カルボキシル基、アルコキシル基、エポキシ基、グリシジル基、オキシカルボニル基、カルボニル基、アミノ基、エステル基、カルボン酸無水物基などが挙げられ、特に、カルボキシル基またはカルボン酸無水物基が好適である。なお、官能基を有する脂環式オレフィン重合体は、2種以上の官能基を有するものであっても良い。また、脂環式オレフィン重合体の官能基は、重合体の主鎖を構成する原子に直接結合していても、メチレン基、オキシ基、オキシカルボニルオキシアルキレン基、フェニレン基などの他の二価の基を介して結合していてもよい。官能基を有する脂環式オレフィン重合体中の官能基の量は、特に制限されないが、脂環式オレフィン重合体を構成する全繰り返し単位のモル数に対して、通常5〜60モル%、好ましくは10〜50モル%である。   Although the functional group which the alicyclic olefin polymer which has a functional group has is not specifically limited, It is preferable that it is a functional group which can react with the functional group which the hardening | curing agent to use and can form a bond. Specific examples of functional groups possessed by the alicyclic olefin polymer include hydroxyl group, carboxyl group, alkoxyl group, epoxy group, glycidyl group, oxycarbonyl group, carbonyl group, amino group, ester group, carboxylic anhydride group, etc. In particular, a carboxyl group or a carboxylic anhydride group is preferable. In addition, the alicyclic olefin polymer having a functional group may have two or more kinds of functional groups. In addition, the functional group of the alicyclic olefin polymer may be directly bonded to an atom constituting the main chain of the polymer, but other divalent groups such as a methylene group, an oxy group, an oxycarbonyloxyalkylene group, and a phenylene group. It may be bonded via the group. The amount of the functional group in the alicyclic olefin polymer having a functional group is not particularly limited, but is usually 5 to 60 mol%, preferably based on the number of moles of all repeating units constituting the alicyclic olefin polymer. Is 10 to 50 mol%.

一般に、脂環式オレフィン重合体は、脂環式オレフィンを付加重合または開環重合し、そして必要に応じて不飽和結合部分を水素化することによって、あるいは芳香族オレフィンを付加重合または開環重合し、そして該重合体の芳香環部分を水素化することによって得られる。そして、本発明で用いる官能基を有する脂環式オレフィン重合体は、例えば、(1)官能基を有する脂環式オレフィンを、必要に応じて他の単量体を加えて、重合することによって、(2)官能基を有しない脂環式オレフィンを、官能基を有する単量体と共重合することによって、(3)官能基を有する芳香族オレフィンを、必要に応じて他の単量体を加えて、重合し、これにより得られる重合体の芳香環部分を水素化することによって、(4)官能基を有しない芳香族オレフィンを、官能基を有する単量体と共重合し、これにより得られる重合体の芳香環部分を水素化することによって、または(5)官能基を有しない脂環式オレフィン重合体に官能基を有する化合物を変性反応により導入することによって、もしくは(6)前述の(1)〜(5)のようにして得られる官能基(例えばカルボン酸エステル基など)を有する脂環式オレフィン重合体の官能基を、例えば加水分解することなどにより他の官能基(例えばカルボキシル基)に変換することによって得ることができる。本発明では、前述の(1)の方法によって得られる重合体が特に好適に用いられる。   In general, alicyclic olefin polymers are obtained by addition polymerization or ring-opening polymerization of alicyclic olefins, and hydrogenation of unsaturated bond portions as necessary, or addition polymerization or ring-opening polymerization of aromatic olefins. And hydrogenating the aromatic ring portion of the polymer. And the alicyclic olefin polymer which has a functional group used by this invention, for example, adds another monomer as needed and polymerizes the alicyclic olefin which has a functional group as needed. (2) By copolymerizing an alicyclic olefin having no functional group with a monomer having a functional group, (3) an aromatic olefin having a functional group may be converted to another monomer as required. (4) copolymerizing an aromatic olefin having no functional group with a monomer having a functional group, by hydrogenating the aromatic ring portion of the resulting polymer. By hydrogenating the aromatic ring portion of the polymer obtained by (5), or (5) introducing a functional group-containing compound into the alicyclic olefin polymer having no functional group, or (6) (1) above The functional group of the alicyclic olefin polymer having a functional group (for example, a carboxylic acid ester group) obtained as in (5) is converted into another functional group (for example, a carboxyl group) by, for example, hydrolysis. Can be obtained. In the present invention, the polymer obtained by the method (1) is particularly preferably used.

官能基を有する単量体として用いられ得る、官能基を有する環状オレフィン化合物の具体例としては、5−ヒドロキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−メチル−5−ヒドロキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−カルボキシメチル−5−ヒドロキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、9−ヒドロキシカルボニルテトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]ドデカ−4−エン、9−メチル−9−ヒドロキシカルボニルテトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]ドデカ−4−エン、9−カルボキシメチル−9−ヒドロキシカルボニルテトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]ドデカ−4−エン、5−エキソ−6−エンド−ジヒドロキシカルボニルビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、9−エキソ−10−エンド−ジヒドロキシカルボニルテトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]ドデカ−4−エン、などのカルボキシル基を有する環状オレフィン;ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン−5,6−ジカルボン酸無水物、テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]ドデカ−4−エン−9,10−ジカルボン酸無水物、ヘキサシクロ[10.2.1.13,10.15,8.02,11.04,9]ヘプタデカ−6−エン−13,14−ジカルボン酸無水物などのカルボン酸無水物基を有する環状オレフィン;9−メチル−9−メトキシカルボニルテトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]ドデカ−4−エン、5−メトキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−メチル−5−メトキシカルボニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エンなどのカルボン酸エステル基を有する環状オレフィン;などが挙げられ、これらは1種を単独で用いても良いし2種以上を併用しても良い。 Specific examples of the cyclic olefin compound having a functional group that can be used as a monomer having a functional group include 5-hydroxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene and 5-methyl-5-hydroxy. Carbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxymethyl-5-hydroxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 9-hydroxycarbonyltetracyclo [6.2.1] .1,3,6 . 0 2,7 ] dodec-4-ene, 9-methyl-9-hydroxycarbonyltetracyclo [6.2.1.1 3,6 . 0 2,7] dodeca-4-ene, 9-carboxymethyl-9-hydroxycarbonyl tetracyclo [6.2.1.1 3, 6. 0 2,7 ] dodec-4-ene, 5-exo-6-endo-dihydroxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 9-exo-10-endo-dihydroxycarbonyltetracyclo [6. 2.1.1 3,6 . Cyclic olefins having a carboxyl group such as 0 2,7 ] dodec-4-ene; bicyclo [2.2.1] hept-2-ene-5,6-dicarboxylic anhydride, tetracyclo [6.2.1 .1,3,6 . 0 2,7] dodeca-4-ene-9,10-dicarboxylic anhydride, hexacyclo [10.2.1.1 3, 10. 1 5,8 . 0 2,11 . Cyclic olefins having a carboxylic acid anhydride group such as 0 4,9 ] heptadeca-6-ene-13,14-dicarboxylic anhydride; 9-methyl-9-methoxycarbonyltetracyclo [6.2.1.1 3 , 6 . 0 2,7 ] dodec-4-ene, 5-methoxycarbonyl-bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-methyl-5-methoxycarbonyl-bicyclo [2.2.1] hept-2 -Cyclic olefins having a carboxylic acid ester group such as ene; and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

官能基を有しない脂環式オレフィンの具体例としては、ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン(慣用名:ノルボルネン)、5−エチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ブチル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−エチリデン−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−メチリデン−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、5−ビニル−ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカ−3,8−ジエン(慣用名:ジシクロペンタジエン)、テトラシクロ〔6.2.1.13,6.02,7〕ドデカ−4−エン(慣用名:テトラシクロドデセン)、9−メチル−テトラシクロ〔6.2.1.13,6.02,7〕ドデカ−4−エン、9−エチル−テトラシクロ〔6.2.1.13,6.02,7〕ドデカ−4−エン、9−メチリデン−テトラシクロ〔6.2.1.13,6.02,7〕ドデカ−4−エン、9−エチリデン−テトラシクロ〔6.2.1.13,6.02,7〕ドデカ−4−エン、9−メトキシカルボニル−テトラシクロ〔6.2.1.13,6.02,7〕ドデカ−4−エン、9−ビニル−テトラシクロ〔6.2.1.13,6.02,7〕ドデカ−4−エン、9−プロペニル−テトラシクロ〔6.2.1.13,6.02,7〕ドデカ−4−エン、9−フェニル−テトラシクロ〔6.2.1.13,6.02,7〕ドデカ−4−エン、テトラシクロ[9.2.1.02,10.03,8]テトラデカ−3,5,7,12−テトラエン、シクロペンテン、シクロペンタジエンなどが挙げられ、これらは1種を単独で用いても良いし2種以上を併用しても良い。 Specific examples of the alicyclic olefin having no functional group include bicyclo [2.2.1] hept-2-ene (common name: norbornene), 5-ethyl-bicyclo [2.2.1] hept-2. -Ene, 5-butyl-bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-ethylidene-bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-methylidene-bicyclo [2.2.1] ] Hept-2-ene, 5-vinyl-bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] deca-3,8-diene (common name: di) Cyclopentadiene), tetracyclo [6.2.1.1 3,6 . 0 2,7 ] dodec-4-ene (common name: tetracyclododecene), 9-methyl-tetracyclo [6.2.1.1 3,6 . 0 2,7 ] dodec-4-ene, 9-ethyl-tetracyclo [6.2.1.1 3,6 . 0 2,7] dodeca-4-ene, 9-methylidene - tetracyclo [6.2.1.1 3, 6. 0 2,7 ] dodec-4-ene, 9-ethylidene-tetracyclo [6.2.1.1 3,6 . 0 2,7 ] dodec-4-ene, 9-methoxycarbonyl-tetracyclo [6.2.1.1 3,6 . 0 2,7 ] dodec-4-ene, 9-vinyl-tetracyclo [6.2.1.1 3,6 . 0 2,7 ] dodec-4-ene, 9-propenyl-tetracyclo [6.2.1.1 3,6 . 0 2,7 ] dodec-4-ene, 9-phenyl-tetracyclo [6.2.1.1 3,6 . 0 2,7] dodeca-4-ene, tetracyclo [9.2.1.0 2,10. 0 3,8] tetradeca -3,5,7,12- tetraene, cyclopentene, etc. cyclopentadiene and the like, which may be used in combination of two or more may be used singly.

(官能基を有しない)芳香族オレフィンの例としては、スチレン、α−メチルスチレン、ジビニルベンゼンなどが挙げられ、これらは1種を単独で用いても良いし2種以上を併用しても良い。   Examples of aromatic olefins (having no functional group) include styrene, α-methylstyrene, divinylbenzene, and the like, and these may be used alone or in combination of two or more. .

脂環式シクロオレフィンや芳香族オレフィンと共重合することができる、官能基を有する脂環式オレフィン以外の、官能基を有する単量体としては、官能基を有するエチレン性不飽和化合物が挙げられ、その具体例としては、アクリル酸、メタクリル酸、α−エチルアクリル酸、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリル酸、マレイン酸、フマール酸、イタコン酸などの不飽和カルボン酸化合物;無水マレイン酸、ブテニル無水コハク酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水シトラコン酸などの不飽和カルボン酸無水物;などが挙げられ、これらは1種を単独で用いても良いし2種以上を併用しても良い。   Examples of the monomer having a functional group other than the alicyclic olefin having a functional group that can be copolymerized with an alicyclic cycloolefin or an aromatic olefin include an ethylenically unsaturated compound having a functional group. Specific examples thereof include unsaturated carboxylic acid compounds such as acrylic acid, methacrylic acid, α-ethylacrylic acid, 2-hydroxyethyl (meth) acrylic acid, maleic acid, fumaric acid, and itaconic acid; maleic anhydride, butenyl Unsaturated carboxylic acid anhydrides such as succinic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, citraconic anhydride; and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

脂環式シクロオレフィンや芳香族オレフィンと共重合することができる、脂環式オレフィン以外の、官能基を有しない単量体としては、官能基を有しないエチレン性不飽和化合物が挙げられ、その具体例としては、エチレン、プロピレン、1−ブテン、1−ペンテン、1−ヘキセン、3−メチル−1−ブテン、3−メチル−1−ペンテン、3−エチル−1−ペンテン、4−メチル−1−ペンテン、4−メチル−1−ヘキセン、4,4−ジメチル−1−ヘキセン、4,4−ジメチル−1−ペンテン、4−エチル−1−ヘキセン、3−エチル−1−ヘキセン、1−オクテン、1−デセン、1−ドデセン、1−テトラデセン、1−ヘキサデセン、1−オクタデセン、1−エイコセンなどの炭素数2〜20のエチレンまたはα−オレフィン;1,4−ヘキサジエン、4−メチル−1,4−ヘキサジエン、5−メチル−1,4−ヘキサジエン、1,7−オクタジエンなどの非共役ジエン;などが挙げられる。これらは1種を単独で用いても良いし2種以上を併用しても良い。   Examples of the monomer having no functional group other than the alicyclic olefin that can be copolymerized with the alicyclic cycloolefin or the aromatic olefin include ethylenically unsaturated compounds having no functional group. Specific examples include ethylene, propylene, 1-butene, 1-pentene, 1-hexene, 3-methyl-1-butene, 3-methyl-1-pentene, 3-ethyl-1-pentene, and 4-methyl-1. -Pentene, 4-methyl-1-hexene, 4,4-dimethyl-1-hexene, 4,4-dimethyl-1-pentene, 4-ethyl-1-hexene, 3-ethyl-1-hexene, 1-octene , 1-decene, 1-dodecene, 1-tetradecene, 1-hexadecene, 1-octadecene, 1-eicocene, etc., ethylene or α-olefin having 2 to 20 carbon atoms; 1,4- And the like; hexadiene, 4-methyl-1,4-hexadiene, 5-methyl-1,4-hexadiene, 1,7-octadiene nonconjugated dienes such. These may be used alone or in combination of two or more.

本発明で用いる環状オレフィン重合体の分子量は、特に限定されないが、テトロヒドロフランを溶媒として用いたゲルパーミエーションクロマトグラフィにより測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量が、500〜1,000,000の範囲であることが好ましく、1,000〜500,000の範囲であることがより好ましい。   The molecular weight of the cyclic olefin polymer used in the present invention is not particularly limited, but the polystyrene-equivalent weight average molecular weight measured by gel permeation chromatography using tetrohydrofuran as a solvent is in the range of 500 to 1,000,000. It is preferable that it is in the range of 1,000 to 500,000.

本発明で用いる環状オレフィン重合体を、開環重合法により得る場合の重合触媒としては、従来公知のメタセシス重合触媒を用いることができる。メタセシス重合触媒としては、Mo,W,Nb,Ta,Ruなどの原子を含有してなる遷移金属化合物が例示され、なかでも、Mo,WまたはRuを含有する化合物は重合活性が高くて好ましい。特に好ましいメタセシス重合触媒の具体的な例としては、(1)ハロゲン基、イミド基、アルコキシ基、アリロキシ基またはカルボニル基を配位子として有する、モリブデンあるいはタングステン化合物を主触媒とし、有機金属化合物を第二成分とする触媒や、(2)Ruを中心金属とする金属カルベン錯体触媒を挙げることができる。前記(1)の触媒で主触媒として用いられる化合物の例としては、MoCl、MoBrなどのハロゲン化モリブデン化合物やWCl、WOCl、タングステン(フェニルイミド)テトラクロリド・ジエチルエーテルなどのハロゲン化タングステン化合物が挙げられる。また、前記(1)の触媒で、第二成分として用いられる有機金属化合物としては、周期表第1族、2族、12族、13族または14族の有機金属化合物を挙げることができる。なかでも、有機リチウム化合物、有機マグネシウム化合物、有機亜鉛化合物、有機アルミニウム化合物、有機スズ化合物が好ましく、有機リチウム化合物、有機アルミニウム化合物、有機スズ化合物が特に好ましい。有機リチウム化合物としては、n−ブチルリチウム、メチルリチウム、フェニルリチウム、ネオペンチルリチウム、ネオフィルリチウムなどを挙げることができる。有機マグネシウムとしては、ブチルエチルマグネシウム、ブチルオクチルマグネシウム、ジヘキシルマグネシウム、エチルマグネシウムクロリド、n−ブチルマグネシウムクロリド、アリルマグネシウムブロミド、ネオペンチルマグネシウムクロリド、ネオフィルマグネシウムクロリドなどを挙げることができる。有機亜鉛化合物としては、ジメチル亜鉛、ジエチル亜鉛、ジフェニル亜鉛などを挙げることができる。有機アルミニウム化合物としては、トリメチルアルミニウム、トリエチルアルミニウム、トリイソブチルアルミニウム、ジエチルアルミニウムクロリド、エチルアルミニウムセスキクロリド、エチルアルミニウムジクロリド、ジエチルアルミニウムエトキシド、エチルアルミニウムジエトキシドなどを挙げることができ、さらに、これらの有機アルミニウム化合物と水との反応によって得られるアルミノキサン化合物も用いることができる。有機スズ化合物としては、テトラメチルスズ、テトラ(n−ブチル)スズ、テトラフェニルスズなどを挙げることができる。これらの有機金属化合物を添加する量は、用いる有機金属化合物によって異なるが、主触媒の中心金属に対して、0.1〜10,000倍が好ましく、0.2〜5,000倍がより好ましく、0.5〜2,000倍が特に好ましい。また、前記(2)のRuを中心金属とする金属カルベン錯体触媒としては、(1,3−ジメシチル−イミダゾリジン−2−イリデン)(トリシクロヘキシルホスフィン)ベンジリデンルテニウムジクロリド、ビス(トリシクロヘキシルホスフィン)ベンジリデンルテニウムジクロリド、トリシクロヘキシルホスフィン−〔1,3−ビス(2,4,6−トリメチルフェニル)−4,5−ジブロモイミダゾール−2−イリデン〕−〔ベンジリデン〕ルテニウムジクロリド、4−アセトキシベンジリデン(ジクロロ)(4,5−ジブロモ−1,3−ジメシチル−4−イミダゾリン−2−イリデン)(トリシクロヘキシルホスフィン)ルテニウムなどをあげることができる。 As a polymerization catalyst when the cyclic olefin polymer used in the present invention is obtained by a ring-opening polymerization method, a conventionally known metathesis polymerization catalyst can be used. Examples of the metathesis polymerization catalyst include transition metal compounds containing atoms such as Mo, W, Nb, Ta, and Ru. Among them, compounds containing Mo, W, or Ru are preferable because of high polymerization activity. Specific examples of particularly preferred metathesis polymerization catalysts include: (1) Molybdenum or tungsten compounds having a halogen group, an imide group, an alkoxy group, an allyloxy group, or a carbonyl group as a ligand as a main catalyst, and an organometallic compound. Examples thereof include a catalyst as a second component and (2) a metal carbene complex catalyst having Ru as a central metal. Examples of compounds used as the main catalyst in the catalyst (1) include halogenated molybdenum compounds such as MoCl 5 and MoBr 5, and halogenated compounds such as WCl 6 , WOCl 4 , tungsten (phenylimide) tetrachloride, diethyl ether, and the like. A tungsten compound is mentioned. Examples of the organometallic compound used as the second component in the catalyst (1) include organometallic compounds of Group 1, Group 2, Group 12, Group 13 or Group 14 of the periodic table. Of these, organolithium compounds, organomagnesium compounds, organozinc compounds, organoaluminum compounds, and organotin compounds are preferred, and organolithium compounds, organoaluminum compounds, and organotin compounds are particularly preferred. Examples of the organic lithium compound include n-butyllithium, methyllithium, phenyllithium, neopentyllithium, neophyllithium and the like. Examples of the organic magnesium include butylethylmagnesium, butyloctylmagnesium, dihexylmagnesium, ethylmagnesium chloride, n-butylmagnesium chloride, allylmagnesium bromide, neopentylmagnesium chloride, neophyllmagnesium chloride and the like. Examples of the organic zinc compound include dimethyl zinc, diethyl zinc, and diphenyl zinc. Examples of the organoaluminum compound include trimethylaluminum, triethylaluminum, triisobutylaluminum, diethylaluminum chloride, ethylaluminum sesquichloride, ethylaluminum dichloride, diethylaluminum ethoxide, ethylaluminum diethoxide, and the like. An aluminoxane compound obtained by a reaction between an organoaluminum compound and water can also be used. Examples of the organic tin compound include tetramethyltin, tetra (n-butyl) tin, and tetraphenyltin. The amount of these organometallic compounds added varies depending on the organometallic compound used, but is preferably 0.1 to 10,000 times, more preferably 0.2 to 5,000 times the center metal of the main catalyst. 0.5 to 2,000 times is particularly preferable. The metal carbene complex catalyst (2) having Ru as a central metal includes (1,3-dimesityl-imidazolidine-2-ylidene) (tricyclohexylphosphine) benzylideneruthenium dichloride, bis (tricyclohexylphosphine) benzylidene. Ruthenium dichloride, tricyclohexylphosphine- [1,3-bis (2,4,6-trimethylphenyl) -4,5-dibromoimidazol-2-ylidene]-[benzylidene] ruthenium dichloride, 4-acetoxybenzylidene (dichloro) ( 4,5-dibromo-1,3-dimesityl-4-imidazoline-2-ylidene) (tricyclohexylphosphine) ruthenium and the like.

単量体に対するメタセシス重合触媒の割合は、(メタセシス重合触媒中の遷移金属:単量体)のモル比が、通常1:100〜1:2,000,000の範囲であり、好ましくは1:200〜1:1,000,000の範囲である。触媒量が多すぎると触媒除去が困難となり、少なすぎると十分な重合活性が得られない。   The ratio of the metathesis polymerization catalyst to the monomer is such that the molar ratio of (transition metal in the metathesis polymerization catalyst: monomer) is usually in the range of 1: 100 to 1: 2,000,000, preferably 1: It is in the range of 200 to 1: 1,000,000. If the amount of the catalyst is too large, it is difficult to remove the catalyst. If the amount is too small, sufficient polymerization activity cannot be obtained.

重合反応は、通常、有機溶媒中で行なう。用いられる有機溶媒は、重合体が所定の条件で溶解または分散し、重合に影響しないものであれば、特に限定されないが、工業的に汎用されるものが好ましい。有機溶媒の具体例としては、ペンタン、ヘキサン、ヘプタンなどの脂肪族炭化水素;シクロペンタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、ジメチルシクロヘキサン、トリメチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン、ジエチルシクロヘキサン、デカヒドロナフタレン、ビシクロヘプタン、トリシクロデカン、ヘキサヒドロインデンシクロヘキサン、シクロオクタンなどの脂環族炭化水素;ベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素;ジクロロメタン、クロロホルム、1,2−ジクロロエタンなどのハロゲン系脂肪族炭化水素;クロロベンゼン、ジクロロベンゼンなどのハロゲン系芳香族炭化水素;ニトロメタン、ニトロベンゼン、アセトニトリルなどの含窒素炭化水素系溶媒;ジエチルエ−テル、テトラヒドロフランなどのエ−テル系溶媒;アニソール、フェネトールなどの芳香族エーテル系溶媒などを挙げることができる。これらの中でも、工業的に汎用な芳香族炭化水素系溶媒や脂肪族炭化水素系溶媒、脂環族炭化水素系溶媒、エーテル系溶剤、芳香族エーテル系溶媒が好ましい。   The polymerization reaction is usually performed in an organic solvent. The organic solvent to be used is not particularly limited as long as the polymer is dissolved or dispersed under predetermined conditions and does not affect the polymerization, but industrially used one is preferable. Specific examples of the organic solvent include aliphatic hydrocarbons such as pentane, hexane, and heptane; cyclopentane, cyclohexane, methylcyclohexane, dimethylcyclohexane, trimethylcyclohexane, ethylcyclohexane, diethylcyclohexane, decahydronaphthalene, bicycloheptane, and tricyclodecane. , Alicyclic hydrocarbons such as hexahydroindenecyclohexane and cyclooctane; aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene and xylene; halogenated aliphatic hydrocarbons such as dichloromethane, chloroform and 1,2-dichloroethane; chlorobenzene and dichlorobenzene Halogenated aromatic hydrocarbons such as: Nitrogen-containing hydrocarbon solvents such as nitromethane, nitrobenzene, and acetonitrile; Diethyl ether, tetrahydrofuran, etc. Et - ether solvents; anisole, and the like aromatic ether solvents such as phenetole. Among these, industrially general-purpose aromatic hydrocarbon solvents, aliphatic hydrocarbon solvents, alicyclic hydrocarbon solvents, ether solvents, and aromatic ether solvents are preferable.

溶媒の使用量は、溶液中の単量体の濃度が、1〜50重量%となる量であることが好ましく、2〜45重量%となる量であることがより好ましく、3〜40重量%となる量であることが特に好ましい。単量体の濃度が1重量%以下の場合は生産性が悪く、50重量%以上の場合は重合後の溶液粘度が高すぎて、その後の水素添加反応が困難となる。   The amount of the solvent used is preferably such that the concentration of the monomer in the solution is 1 to 50% by weight, more preferably 2 to 45% by weight, and 3 to 40% by weight. It is particularly preferable that the amount is as follows. When the monomer concentration is 1% by weight or less, the productivity is poor, and when it is 50% by weight or more, the solution viscosity after polymerization is too high, and the subsequent hydrogenation reaction becomes difficult.

重合反応は、単量体とメタセシス重合触媒とを混合することにより開始される。混合する方法は、単量体溶液にメタセシス重合触媒溶液を加えても良いし、その逆でも良い。メタセシス重合触媒が主触媒である遷移金属化合物と第二成分である有機金属化合物とからなる混合触媒である場合には、単量体溶液に混合触媒の反応液を加えても良いし、その逆でも良い。また、単量体と有機金属化合物の混合溶液に遷移金属化合物溶液を加えても良いし、その逆でも良い。さらに、単量体と遷移金属化合物の混合溶液に有機金属化合物を加えても良いし、その逆でも良い。   The polymerization reaction is initiated by mixing the monomer and the metathesis polymerization catalyst. As a method of mixing, the metathesis polymerization catalyst solution may be added to the monomer solution or vice versa. When the metathesis polymerization catalyst is a mixed catalyst comprising a transition metal compound as a main catalyst and an organometallic compound as a second component, the reaction solution of the mixed catalyst may be added to the monomer solution, and vice versa. But it ’s okay. Further, the transition metal compound solution may be added to the mixed solution of the monomer and the organometallic compound, or vice versa. Furthermore, the organometallic compound may be added to the mixed solution of the monomer and the transition metal compound, or vice versa.

重合温度は特に制限はないが、一般には、−30℃〜200℃、好ましくは0℃〜180℃である。重合時間は、通常1分間〜100時間であるが、特に制限はない。   The polymerization temperature is not particularly limited, but is generally -30 ° C to 200 ° C, preferably 0 ° C to 180 ° C. The polymerization time is usually 1 minute to 100 hours, but is not particularly limited.

得られる環状オレフィン重合体の分子量を調整する方法としては、ビニル化合物またはジエン化合物を適当量添加する方法を挙げることができる。分子量調整に用いるビニル化合物は、ビニル基を有する有機化合物であれば特に限定されないが、1−ブテン、1−ペンテン、1−ヘキセン、1−オクテンなどのα−オレフィン類;スチレン、ビニルトルエンなどのスチレン類;エチルビニルエーテル、i−ブチルビニルエーテル、アリルグリシジルエーテルなどのエーテル類;アリルクロライドなどのハロゲン含有ビニル化合物;酢酸アリル、アリルアルコール、グリシジルメタクリレートなど酸素含有ビニル化合物、アクリルアミドなどの窒素含有ビニル化合物などを挙げることができる。ジエン化合物は、1,4−ペンタジエン、1,4−ヘキサジエン、1,5−ヘキサジエン、1,6−ヘプタジエン、2−メチル−1,4−ペンタジエン、2,5−ジメチル−1,5−ヘキサジエンなどの非共役ジエン、または1,3−ブタジエン、2−メチル−1,3−ブタジエン、2,3−ジメチル−1,3−ブタジエン、1,3−ペンタジエン、1,3−ヘキサジエンなどの共役ジエンを挙げることができる。添加するビニル化合物またはジエン化合物の量は求める分子量により、単量体に対して、0.1〜10モル%の間で任意に選択することができる。   Examples of a method for adjusting the molecular weight of the obtained cyclic olefin polymer include a method of adding an appropriate amount of a vinyl compound or a diene compound. The vinyl compound used for molecular weight adjustment is not particularly limited as long as it is an organic compound having a vinyl group, but α-olefins such as 1-butene, 1-pentene, 1-hexene and 1-octene; styrene, vinyltoluene and the like Styrenes; Ethers such as ethyl vinyl ether, i-butyl vinyl ether, and allyl glycidyl ether; Halogen-containing vinyl compounds such as allyl chloride; Oxygen-containing vinyl compounds such as allyl acetate, allyl alcohol, and glycidyl methacrylate; Nitrogen-containing vinyl compounds such as acrylamide Can be mentioned. Diene compounds include 1,4-pentadiene, 1,4-hexadiene, 1,5-hexadiene, 1,6-heptadiene, 2-methyl-1,4-pentadiene, 2,5-dimethyl-1,5-hexadiene, etc. Non-conjugated dienes such as 1,3-butadiene, 2-methyl-1,3-butadiene, 2,3-dimethyl-1,3-butadiene, 1,3-pentadiene, 1,3-hexadiene, etc. Can be mentioned. The amount of the vinyl compound or diene compound to be added can be arbitrarily selected from 0.1 to 10 mol% based on the monomer depending on the molecular weight to be obtained.

本発明で用いる環状オレフィン重合体を、付加重合法により得る場合の重合触媒としては、例えば、チタン、ジルコニウムまたはバナジウム化合物と有機アルミニウム化合物とからなる触媒が好適に用いられる。これらの重合触媒は、それぞれ単独でまたは2種以上を組み合わせて用いることができる。重合触媒の量は、重合触媒中の金属化合物:単量体のモル比で、通常、1:100〜1:2,000,000の範囲である。   As a polymerization catalyst when the cyclic olefin polymer used in the present invention is obtained by an addition polymerization method, for example, a catalyst comprising a titanium, zirconium or vanadium compound and an organoaluminum compound is preferably used. These polymerization catalysts can be used alone or in combination of two or more. The amount of the polymerization catalyst is a molar ratio of the metal compound to the monomer in the polymerization catalyst and is usually in the range of 1: 100 to 1: 2,000,000.

本発明で用いる環状オレフィン重合体として、開環重合体の水素添加物を用いる場合の、開環重合体に対する水素添加は、通常、水素添加触媒を用いて行われる。水素添加触媒は特に限定されず、オレフィン化合物の水素添加に際して一般的に使用されているものを適宜採用すればよい。水素添加触媒の具体例としては、例えば、酢酸コバルトとトリエチルアルミニウム、ニッケルアセチルアセトナートとトリイソブチルアルミニウム、チタノセンジクロリドとn−ブチルリチウム、ジルコノセンジクロリドとsec−ブチルリチウム、テトラブトキシチタネートとジメチルマグネシウムのような遷移金属化合物とアルカリ金属化合物の組み合わせからなるチーグラー系触媒;ジクロロトリス(トリフェニルホスフィン)ロジウム、特開平7−2929、特開平7−149823、特開平11−209460、特開平11−158256、特開平11−193323、特開平11−209460などに記載される、例えばビス(トリシクロヘキシルホスフィン)ベンジリジンルテニウム(IV)ジクロリドなどのルテニウム化合物からなる貴金属錯体触媒;などの均一系触媒が挙げられる。また、ニッケル、パラジウム、白金、ロジウム、ルテニウムなどの金属を、カーボン、シリカ、ケイソウ土、アルミナ、酸化チタンなどの担体に担持させた不均一触媒、例えば、ニッケル/シリカ、ニッケル/ケイソウ土、ニッケル/アルミナ、パラジウム/カーボン、パラジウム/シリカ、パラジウム/ケイソウ土、パラジウム/アルミナなどを用いることもできる。また、メタセシス重合触媒をそのまま、水素添加触媒として用いることも可能である。   When a hydrogenated ring-opening polymer is used as the cyclic olefin polymer used in the present invention, hydrogenation of the ring-opening polymer is usually carried out using a hydrogenation catalyst. The hydrogenation catalyst is not particularly limited, and a catalyst generally used for hydrogenation of an olefin compound may be appropriately employed. Specific examples of the hydrogenation catalyst include, for example, cobalt acetate and triethylaluminum, nickel acetylacetonate and triisobutylaluminum, titanocene dichloride and n-butyllithium, zirconocene dichloride and sec-butyllithium, tetrabutoxytitanate and dimethylmagnesium. Ziegler catalyst comprising a combination of a transition metal compound and an alkali metal compound; dichlorotris (triphenylphosphine) rhodium, JP-A-7-2929, JP-A-7-149823, JP-A-11-209460, JP-A-11-158256, Ruthenium compounds such as bis (tricyclohexylphosphine) benzilidineruthenium (IV) dichloride described in Kaihei 11-193323, JP-A-11-209460, etc. Of a noble metal complex catalyst; include homogeneous catalysts such as. Also, heterogeneous catalysts in which a metal such as nickel, palladium, platinum, rhodium, ruthenium is supported on a carrier such as carbon, silica, diatomaceous earth, alumina, titanium oxide, such as nickel / silica, nickel / diatomaceous earth, nickel / Alumina, palladium / carbon, palladium / silica, palladium / diatomaceous earth, palladium / alumina, and the like can also be used. It is also possible to use the metathesis polymerization catalyst as it is as a hydrogenation catalyst.

水素添加反応は、通常、有機溶媒中で行う。有機溶媒は生成する水素添加物の溶解性により適宜選択することができ、前記重合溶媒と同様の有機溶媒を使用することができる。したがって、重合反応後、溶媒を入れ替えることなく、そのまま水素添加触媒を添加して反応させることもできる。さらに、前記重合溶媒の中でも、水素添加反応で反応しない点から、芳香族炭化水素系溶媒や脂肪族炭化水素系溶媒、脂環族炭化水素系溶媒、エーテル系溶剤、芳香族エーテル系溶媒が好ましく、エーテル系溶剤が特に好ましく、テトラヒドロフランが最も好ましい。   The hydrogenation reaction is usually performed in an organic solvent. The organic solvent can be appropriately selected depending on the solubility of the produced hydrogenated product, and the same organic solvent as the polymerization solvent can be used. Therefore, after the polymerization reaction, the hydrogenation catalyst can be added and reacted without changing the solvent. Furthermore, among the above polymerization solvents, aromatic hydrocarbon solvents, aliphatic hydrocarbon solvents, alicyclic hydrocarbon solvents, ether solvents, aromatic ether solvents are preferred because they do not react in the hydrogenation reaction. Ether solvents are particularly preferred, and tetrahydrofuran is most preferred.

水素添加反応条件は、使用する水素添加触媒の種類に応じて適宜選択すればよい。反応温度は、通常−20〜250℃、好ましくは−10〜220℃、より好ましくは0〜200℃である。−20℃未満では反応速度が遅くなり、逆に250℃を超えると副反応が起こりやすくなる。水素の圧力は、通常0.01〜10.0MPa、好ましくは0.05〜8.0MPaである。水素圧力が0.01MPa未満では水素添加速度が遅くなり、10.0MPaを超えると高耐圧反応装置が必要となる。   The hydrogenation reaction conditions may be appropriately selected according to the type of hydrogenation catalyst used. The reaction temperature is usually -20 to 250 ° C, preferably -10 to 220 ° C, more preferably 0 to 200 ° C. If it is less than −20 ° C., the reaction rate is slow, and if it exceeds 250 ° C., side reactions tend to occur. The pressure of hydrogen is usually 0.01 to 10.0 MPa, preferably 0.05 to 8.0 MPa. When the hydrogen pressure is less than 0.01 MPa, the hydrogen addition rate is slow, and when it exceeds 10.0 MPa, a high pressure reactor is required.

水素添加反応の時間は、水素添加率をコントロールするために適宜選択される。反応時間は、通常0.1〜50時間の範囲であり、重合体中の主鎖の炭素−炭素二重結合のうち50%以上、好ましくは70%以上、より好ましくは80%以上、最も好ましくは90%以上を水素添加することができる。   The time for the hydrogenation reaction is appropriately selected in order to control the hydrogenation rate. The reaction time is usually in the range of 0.1 to 50 hours, and 50% or more, preferably 70% or more, more preferably 80% or more, most preferably, of the carbon-carbon double bonds of the main chain in the polymer. 90% or more can be hydrogenated.

反応に用いた触媒は除去しても良い。除去方法は特に制限されず、遠心分離、濾過などの方法が挙げられる。さらに、水やアルコールなどの触媒不活性化剤を添加したり、また活性白土、アルミナ、珪素土などの吸着剤を添加したりして、触媒の除去を促進させることができる。   The catalyst used for the reaction may be removed. The removal method is not particularly limited, and examples thereof include methods such as centrifugation and filtration. Furthermore, the catalyst removal can be promoted by adding a catalyst deactivator such as water or alcohol, or by adding an adsorbent such as activated clay, alumina, or silicon earth.

本発明で用いられる硬化剤は、加熱により官能基を有する脂環式オレフィン重合体に架橋構造を形成させるものであれば特に限定されず、一般の電気絶縁膜形成用の硬化性樹脂組成物に配合される硬化剤を用いることができるが、用いる官能基を有する脂環式オレフィン重合体の官能基と反応して結合を形成することができる官能基を2個以上有する化合物を硬化剤として用いることが好ましい。例えば、官能基を有する脂環式オレフィン重合体として、カルボキシル基やカルボン酸無水物基を有する脂環式オレフィン重合体を用いる場合に好適に用いられる硬化剤としては、多価エポキシ化合物、多価イソシアナート化合物、多価アミン化合物、多価ヒドラジド化合物、アジリジン化合物、塩基性金属酸化物、有機金属ハロゲン化物などが挙げられ、これらは1種を単独で用いても良いし2種以上を併用しても良い。また、これらの化合物と過酸化物とを併用して硬化剤として用いても良い。   The curing agent used in the present invention is not particularly limited as long as it forms a cross-linked structure on the alicyclic olefin polymer having a functional group by heating, and it is not limited to a general curable resin composition for forming an electric insulating film. Although the compounding hardening | curing agent can be used, the compound which has two or more functional groups which can react with the functional group of the alicyclic olefin polymer which has a functional group to be used, and can form a bond is used as a hardening | curing agent. It is preferable. For example, as an alicyclic olefin polymer having a carboxyl group or a carboxylic acid anhydride group as the alicyclic olefin polymer having a functional group, the curing agent preferably used includes a polyvalent epoxy compound, a polyvalent olefin polymer Examples include isocyanate compounds, polyvalent amine compounds, polyhydric hydrazide compounds, aziridine compounds, basic metal oxides, and organometallic halides. These may be used alone or in combination of two or more. May be. These compounds and peroxides may be used in combination as a curing agent.

硬化剤として用いられ得る多価エポキシ化合物としては、例えば、フェノールノボラック型エポキシ化合物、クレゾールノボラック型エポキシ化合物、クレゾール型エポキシ化合物、ビスフェノールA型エポキシ化合物、ビスフェノールF型エポキシ化合物、水素添加ビスフェノールA型エポキシ化合物などのグリシジルエーテル型エポキシ化合物;脂環式エポキシ化合物、グリシジルエステル型エポキシ化合物、グリシジルアミン型エポキシ化合物、イソシアヌレート型エポキシ化合物、リン含有エポキシ化合物などの多価エポキシ化合物;などの分子内に2以上のエポキシ基を有する化合物が挙げられ、これらは1種を単独で用いても良いし2種以上を併用しても良い。   Examples of the polyvalent epoxy compound that can be used as a curing agent include a phenol novolac epoxy compound, a cresol novolac epoxy compound, a cresol epoxy compound, a bisphenol A epoxy compound, a bisphenol F epoxy compound, and a hydrogenated bisphenol A epoxy. Glycidyl ether type epoxy compounds such as compounds; polycyclic epoxy compounds such as alicyclic epoxy compounds, glycidyl ester type epoxy compounds, glycidyl amine type epoxy compounds, isocyanurate type epoxy compounds, phosphorus-containing epoxy compounds; The compound which has the above epoxy groups is mentioned, These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.

硬化剤として用いられ得る多価イソシアナート化合物としては、炭素数6〜24の、ジイソシアナート類およびトリイソシアナート類が好ましい。ジイソシアナート類の例としては、2,4−トリレンジイソシアナート、2,6−トリレンジイソシアナート、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアナート、ヘキサメチレンジイソシアナート、p−フェニレンジイソシアナートなどが挙げられる。トリイソシアナート類の例としては、1,3,6−ヘキサメチレントリイソシアナート、1,6,11−ウンデカントリイソシアナート、ビシクロヘプタントリイソシアナートなどが挙げられ、これらは1種を単独で用いても良いし2種以上を併用しても良い。   As the polyvalent isocyanate compound that can be used as a curing agent, diisocyanates and triisocyanates having 6 to 24 carbon atoms are preferable. Examples of diisocyanates include 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, 4,4′-diphenylmethane diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, p-phenylene diisocyanate, etc. Is mentioned. Examples of triisocyanates include 1,3,6-hexamethylene triisocyanate, 1,6,11-undecane triisocyanate, bicycloheptane triisocyanate, etc., and these are used alone. It may also be used in combination of two or more.

硬化剤として用いられ得る多価アミン化合物としては、2個以上のアミノ基を有する炭素数4〜30の脂肪族多価アミン化合物、芳香族多価アミン化合物などが挙げられ、グアニジン化合物のように非共役の窒素−炭素二重結合を有するものは含まれない。脂肪族多価アミン化合物としては、ヘキサメチレンジアミン、N,N’−ジシンナミリデン−1,6−ヘキサンジアミンなどが挙げられる。芳香族多価アミン化合物としては、4,4’−メチレンジアニリン、m−フェニレンジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4’−(m−フェニレンジイソプロピリデン)ジアニリン、4,4’−(p−フェニレンジイソプロピリデン)ジアニリン、2,2’−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,3,5−ベンゼントリアミンなどが挙げられ、これらは1種を単独で用いても良いし2種以上を併用しても良い。   Examples of the polyvalent amine compound that can be used as a curing agent include aliphatic polyamine compounds having 4 to 30 carbon atoms having two or more amino groups, and aromatic polyamine compounds, such as guanidine compounds. Those having non-conjugated nitrogen-carbon double bonds are not included. Examples of the aliphatic polyvalent amine compound include hexamethylene diamine, N, N′-dicinnamylidene-1,6-hexane diamine, and the like. Examples of aromatic polyvalent amine compounds include 4,4′-methylenedianiline, m-phenylenediamine, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 4 ′-(m-phenylenediisopropylidene) dianiline, 4,4 ′-( p-phenylenediisopropylidene) dianiline, 2,2′-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 1,3,5-benzenetriamine, and the like. These may be used alone. Or two or more of them may be used in combination.

硬化剤として用いられ得る多価ヒドラジド化合物の例としては、イソフタル酸ジヒドラジド、テレフタル酸ジヒドラジド、2,6−ナフタレンジカルボン酸ジヒドラジド、マレイン酸ジヒドラジド、イタコン酸ジヒドラジド、トリメリット酸ジヒドラジド、1,3,5−ベンゼントリカルボン酸ジヒドラジド、ピロメリット酸ジヒドラジドなどが挙げられ、これらは1種を単独で用いても良いし2種以上を併用しても良い。   Examples of polyhydric hydrazide compounds that can be used as curing agents include isophthalic acid dihydrazide, terephthalic acid dihydrazide, 2,6-naphthalenedicarboxylic acid dihydrazide, maleic acid dihydrazide, itaconic acid dihydrazide, trimellitic acid dihydrazide, 1,3,5 -Benzenetricarboxylic acid dihydrazide, pyromellitic acid dihydrazide, etc. are mentioned, These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.

硬化剤として用いられ得るアジリジン化合物としては、トリス−2,4,6−(1−アジリジニル)−1,3,5−トリアジン、トリス[1−(2−メチル)アジリジニル]ホスフィノキシド、ヘキサ[1−(2−メチル)アジリジニル]トリホスファトリアジンなどが挙げられ、これらは1種を単独で用いても良いし2種以上を併用しても良い。   Examples of aziridine compounds that can be used as the curing agent include tris-2,4,6- (1-aziridinyl) -1,3,5-triazine, tris [1- (2-methyl) aziridinyl] phosphinoxide, hexa [1- (2-Methyl) aziridinyl] triphosphatriazine and the like may be mentioned, and these may be used alone or in combination of two or more.

官能基を有する脂環式オレフィン重合体として、カルボキシル基やカルボン酸無水物基を有する脂環式オレフィン重合体を用いる場合においては、前述の硬化剤の中でも、官能基との反応性が緩やかであり、硬化性樹脂組成物の扱いが容易となる観点から多価エポキシ化合物が好ましく用いられ、グリシジルエーテル型エポキシ化合物や脂環式の多価エポキシ化合物が特に好ましく用いられる。   In the case of using an alicyclic olefin polymer having a carboxyl group or a carboxylic anhydride group as the alicyclic olefin polymer having a functional group, the reactivity with the functional group is moderate among the aforementioned curing agents. From the viewpoint of easy handling of the curable resin composition, polyvalent epoxy compounds are preferably used, and glycidyl ether type epoxy compounds and alicyclic polyvalent epoxy compounds are particularly preferably used.

硬化性樹脂組成物における硬化剤の使用量は、官能基を有する脂環式オレフィン重合体100重量部に対して、通常1〜100重量部、好ましくは5〜80重量部、より好ましくは10〜50重量部の範囲である。このような範囲の使用量で硬化剤を用いることにより、硬化性樹脂組成物を硬化して得られる硬化物の機械的強度および電気特性が良好となる。   The amount of the curing agent used in the curable resin composition is usually 1 to 100 parts by weight, preferably 5 to 80 parts by weight, more preferably 10 to 100 parts by weight of the alicyclic olefin polymer having a functional group. The range is 50 parts by weight. By using a hardening | curing agent with the usage-amount of such a range, the mechanical strength and electrical property of the hardened | cured material obtained by hardening | curing curable resin composition will become favorable.

硬化性樹脂組成物の硬化を促進させるために、硬化性樹脂組成物には、硬化促進剤や硬化助剤を配合しても良い。硬化促進剤としては、一般の電気絶縁膜形成用の硬化性樹脂組成物に配合される硬化促進剤を用いれば良いが、硬化剤として多価エポキシ化合物を用いる場合には、第3級アミン系化合物や三弗化ホウ素錯化合物などが硬化促進剤として好適に用いられる。なかでも、第3級アミン系化合物を使用すると、得られる絶縁膜の絶縁抵抗性、耐熱性、耐薬品性が向上する。   In order to accelerate the curing of the curable resin composition, the curable resin composition may contain a curing accelerator or a curing aid. As the curing accelerator, a curing accelerator blended in a general curable resin composition for forming an electrical insulating film may be used. When a polyvalent epoxy compound is used as the curing agent, a tertiary amine type is used. A compound, a boron trifluoride complex compound, or the like is preferably used as the curing accelerator. Especially, when a tertiary amine compound is used, the insulation resistance, heat resistance, and chemical resistance of the resulting insulating film are improved.

第3級アミン系化合物の具体例としては、例えば、ベンジルジメチルアミン、トリエタノールアミン、トリエチルアミン、トリブチルアミン、トリベンジルアミン、ジメチルホルムアミドなどの鎖状3級アミン化合物;ピラゾール類、ピリジン類、ピラジン類、ピリミジン類、インダゾール類、キノリン類、イソキノリン類、イミダゾール類、トリアゾール類などの化合物が挙げられる。これらの中でも、イミダゾール類、特に置換基を有する置換イミダゾール化合物が好ましい。   Specific examples of the tertiary amine compound include, for example, chain tertiary amine compounds such as benzyldimethylamine, triethanolamine, triethylamine, tributylamine, tribenzylamine, dimethylformamide; pyrazoles, pyridines, pyrazines , Pyrimidines, indazoles, quinolines, isoquinolines, imidazoles, triazoles and the like. Among these, imidazoles, particularly substituted imidazole compounds having a substituent are preferable.

置換イミダゾール化合物の具体例としては、例えば、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、ビス−2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−メチル−2−エチルイミダゾール、2−イソプロピルイミダゾール、2,4−ジメチルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾールなどのアルキル置換イミダゾール化合物;2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール,1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−エチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、ベンズイミダゾール、2−エチル−4−メチル−1−(2’−シアノエチル)イミダゾール、2−エチル−4−メチル−1−[2’−(3”,5”−ジアミノトリアジニル)エチル]イミダゾールなどのアリール基やアラルキル基などの環構造を含有する炭化水素基で置換されたイミダゾール化合物などが挙げられる。これらの中でも、環構造含有の置換基を有するイミダゾールが官能基を有する脂環式オレフィン重合体との相溶性の観点から好ましく、特に、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾールが好ましい。   Specific examples of the substituted imidazole compound include, for example, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, bis-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-methyl-2-ethylimidazole, 2-isopropylimidazole, Alkyl-substituted imidazole compounds such as 2,4-dimethylimidazole and 2-heptadecylimidazole; 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-benzyl-2-ethylimidazole 1-benzyl-2-phenylimidazole, benzimidazole, 2-ethyl-4-methyl-1- (2′-cyanoethyl) imidazole, 2-ethyl-4-methyl-1- [2 ′-(3 ″, 5 "-Diaminotriazinyl) ethyl] imidazo Like imidazole compounds substituted with a hydrocarbon group containing a ring structure, such as an aryl group or an aralkyl group such as. Among these, imidazole having a substituent containing a ring structure is preferable from the viewpoint of compatibility with an alicyclic olefin polymer having a functional group, and 1-benzyl-2-phenylimidazole is particularly preferable.

これらの硬化促進剤は、それぞれ単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。硬化促進剤の配合量は、使用目的に応じて適宜選択すれば良いが、官能基を有する脂環式オレフィン重合体100重量部に対して、通常0.001〜30重量部、好ましくは0.01〜10重量部、より好ましくは0.03〜5重量部である。   These curing accelerators can be used alone or in combination of two or more. The blending amount of the curing accelerator may be appropriately selected depending on the purpose of use, but is usually 0.001 to 30 parts by weight, preferably 0. 0 to 100 parts by weight of the alicyclic olefin polymer having a functional group. It is 01-10 weight part, More preferably, it is 0.03-5 weight part.

硬化助剤としては、一般の電気絶縁膜形成用の硬化性樹脂組成物に配合される硬化助剤を用いれば良いが、その具体例としては、キノンジオキシム、ベンゾキノンジオキシム、p−ニトロソフェノールなどのオキシム・ニトロソ系硬化助剤;N,N−m−フェニレンビスマレイミドなどのマレイミド系硬化助剤;ジアリルフタレート、トリアリルシアヌレート、トリアリルイソシアヌレートなどのアリル系硬化助剤;エチレングリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレートなどのメタクリレート系硬化助剤;ビニルトルエン、エチルビニルベンゼン、ジビニルベンゼンなどのビニル系硬化助剤などが挙げられる。これらの硬化助剤は、それぞれ単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができ、その配合割合は、用いる硬化剤100重量部に対して、通常1〜1000重量部、好ましくは10〜500重量部の範囲である。   As the curing aid, a curing aid blended in a general curable resin composition for forming an electric insulating film may be used. Specific examples thereof include quinone dioxime, benzoquinone dioxime, and p-nitrosophenol. Oxime / nitroso curing aids such as: N, Nm-phenylene bismaleimide and other maleimide curing aids; diallyl phthalate, triallyl cyanurate, triallyl isocyanurate and other allyl curing aids; ethylene glycol di Examples thereof include methacrylate-based curing aids such as methacrylate and trimethylolpropane trimethacrylate; vinyl-based curing aids such as vinyltoluene, ethylvinylbenzene, and divinylbenzene. These curing aids can be used alone or in combination of two or more, and the blending ratio thereof is usually 1 to 1000 parts by weight, preferably 10 to 500 parts per 100 parts by weight of the curing agent used. The range is parts by weight.

硬化性樹脂組成物には、必要に応じて、ゴム質重合体や(前述したもの以外の)その他の熱可塑性樹脂を配合することができる。ゴム質重合体は、常温(25℃)以下のガラス転移温度を持つ重合体であって、通常のゴム状重合体および熱可塑性エラストマーが含まれる。硬化性樹脂組成物にゴム質重合体や熱可塑性樹脂を配合することにより、得られる多層プリント回路基板用フィルムの柔軟性を改良することができる。用いるゴム質重合体のムーニー粘度(ML1+4,100℃)は、適宜選択すれば良いが、通常5〜200である。ゴム状重合体の具体例としては、エチレン−α−オレフィン系ゴム状重合体;エチレン−α−オレフィン−ポリエン共重合体ゴム;エチレン−メチルメタクリレート、エテレン−ブチルアクリレートなどのエチレンと不飽和カルボン酸エステルとの共重合体;エチレン−酢酸ビニルなどのエチレンと脂肪酸ビニルとの共重合体;アクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、アクリル酸ヘキシル、アクリル酸2−エチルヘキシル、アクリル酸ラウリルなどのアクリル酸アルキルエステルの重合体;ポリブタジエン、ポリイソプレン、スチレン−ブタジエンまたはスチレン−イソプレンのランダム共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体、ブタジエン−イソプレン共重合体、ブタジエン−(メタ)アクリル酸アルキルエステル共重合体、ブタジエン−(メタ)アクリル酸アルキルエステル−アクリロニトリル共重合体、ブタジエン−(メタ)アクリル酸アルキルエステル−アクリロニトリル−スチレン共重合体などのジエン系ゴム;エポキシ化ポリブタジエンなどの変性ジエン系ゴム;ブチレン−イソプレン共重合体などが挙げられる。熱可塑性エラストマーの具体例としては、スチレン−ブタジエンブロック共重合体、水素化スチレン−ブタジエンブロック共重合体、スチレン−イソプレンブロック共重合体、水素化スチレン−イソプレンブロック共重合体などの芳香族ビニル−共役ジエン系ブロック共重合体、低結晶性ポリブタジエン樹脂、エチレン−プロピレンエラストマー、スチレングラフトエチレン−プロピレンエラストマー、熱可塑性ポリエステルエラストマー、エチレン系アイオノマー樹脂などを挙げることができる。これらの熱可塑性エラストマーのうち、好ましくは、水素化スチレン−ブタジエンブロック共重合体、水素化スチレン−イソプレンブロック共重合体などであり、具体的には、特開平2−133406号公報、特開平2−305814号公報、特開平3−72512号公報、特開平3−74409号公報などに記載されているものを挙げることができる。 If necessary, the curable resin composition may contain a rubbery polymer and other thermoplastic resins (other than those described above). The rubbery polymer is a polymer having a glass transition temperature of room temperature (25 ° C.) or lower, and includes a normal rubbery polymer and a thermoplastic elastomer. By adding a rubbery polymer or a thermoplastic resin to the curable resin composition, the flexibility of the resulting multilayer printed circuit board film can be improved. The Mooney viscosity (ML 1 + 4 , 100 ° C.) of the rubbery polymer to be used may be appropriately selected, but is usually 5 to 200. Specific examples of rubber-like polymers include ethylene-α-olefin rubber-like polymers; ethylene-α-olefin-polyene copolymer rubbers; ethylene and unsaturated carboxylic acids such as ethylene-methyl methacrylate and etherene-butyl acrylate. Copolymers with esters; copolymers of ethylene and fatty acid vinyl such as ethylene-vinyl acetate; alkyl acrylates such as ethyl acrylate, butyl acrylate, hexyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, and lauryl acrylate Polybutadiene, polyisoprene, styrene-butadiene or styrene-isoprene random copolymer, acrylonitrile-butadiene copolymer, butadiene-isoprene copolymer, butadiene- (meth) acrylic acid alkyl ester copolymer, pig Diene rubber such as diene- (meth) acrylic acid alkyl ester-acrylonitrile copolymer, butadiene- (meth) acrylic acid alkyl ester-acrylonitrile-styrene copolymer; modified diene rubber such as epoxidized polybutadiene; butylene-isoprene A copolymer etc. are mentioned. Specific examples of the thermoplastic elastomer include aromatic vinyl such as styrene-butadiene block copolymer, hydrogenated styrene-butadiene block copolymer, styrene-isoprene block copolymer, hydrogenated styrene-isoprene block copolymer, etc. Examples thereof include a conjugated diene block copolymer, a low crystalline polybutadiene resin, an ethylene-propylene elastomer, a styrene-grafted ethylene-propylene elastomer, a thermoplastic polyester elastomer, and an ethylene ionomer resin. Of these thermoplastic elastomers, hydrogenated styrene-butadiene block copolymers, hydrogenated styrene-isoprene block copolymers, and the like are preferable. Specifically, JP-A-2-133406 and JP-A-2 Examples described in JP-A-3-305814, JP-A-3-72512, JP-A-3-74409, and the like.

硬化性樹脂組成物に配合しうるその他の熱可塑性樹脂としては、例えば、低密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレン、超低密度ポリエチレン、エチレン−エチルアクリレート共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリスチレン、ポリフェニレンスルフィド、ポリフェニレンエーテル、ポリアミド、ポリエステル、ポリカーボネート、セルローストリアセテートなどが挙げられる。   Examples of other thermoplastic resins that can be blended in the curable resin composition include, for example, low density polyethylene, high density polyethylene, linear low density polyethylene, ultra low density polyethylene, ethylene-ethyl acrylate copolymer, ethylene-acetic acid. Examples include vinyl copolymer, polystyrene, polyphenylene sulfide, polyphenylene ether, polyamide, polyester, polycarbonate, and cellulose triacetate.

ゴム状重合体やその他の熱可塑性樹脂は、それぞれ単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができ、その配合量は、本発明の目的を損なわない範囲で適宜選択されるが、多層プリント回路基板用フィルムの絶縁材料としての特性を損なわせないためには、官能基を有する脂環式オレフィン重合体100重量部に対して、30重量部以下の配合量とすることが好ましい。   The rubber-like polymer and other thermoplastic resins can be used alone or in combination of two or more, and the blending amount is appropriately selected within a range not impairing the object of the present invention. In order not to impair the properties of the circuit board film as an insulating material, the blending amount is preferably 30 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the alicyclic olefin polymer having a functional group.

本発明で用いられる硬化性樹脂組成物には、絶縁膜の難燃性を向上させる目的で、例えば、ハロゲン系難燃剤やリン酸エステル系難燃剤などの一般の電気絶縁膜形成用の硬化性樹脂組成物に配合される難燃剤を配合しても良い。硬化性樹脂組成物に難燃剤を配合する場合の配合量は、脂環式オレフィン重合体100重量部に対して、100重量部以下であることが好ましく、60重量部以下であることがより好ましい。   For the purpose of improving the flame retardancy of the insulating film, the curable resin composition used in the present invention is, for example, curable for forming a general electric insulating film such as a halogen flame retardant or a phosphate ester flame retardant. You may mix | blend the flame retardant mix | blended with a resin composition. When the flame retardant is blended with the curable resin composition, the blending amount is preferably 100 parts by weight or less and more preferably 60 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the alicyclic olefin polymer. .

本発明で用いられる硬化性樹脂組成物には、さらに必要に応じて、無機充填剤、難燃助剤、耐熱安定剤、耐候安定剤、老化防止剤、紫外線吸収剤(レーザー加工性向上剤)、レベリング剤、帯電防止剤、スリップ剤、アンチブロッキング剤、防曇剤、滑剤、染料、天然油、合成油、ワックス、乳剤、磁性体、誘電特性調整剤、靭性剤などの任意成分が配合される。任意成分の配合割合は、本発明の目的を損なわない範囲で適宜選択すれば良い。   The curable resin composition used in the present invention may further include an inorganic filler, a flame retardant aid, a heat resistance stabilizer, a weather resistance stabilizer, an anti-aging agent, an ultraviolet absorber (laser processability improver) as necessary. Optional ingredients such as leveling agents, antistatic agents, slip agents, anti-blocking agents, anti-fogging agents, lubricants, dyes, natural oils, synthetic oils, waxes, emulsions, magnetic substances, dielectric property modifiers, toughening agents, etc. The What is necessary is just to select suitably the mixture ratio of an arbitrary component in the range which does not impair the objective of this invention.

本発明の回路基板の製造方法では、以上のような硬化性樹脂組成物を硬化してなる絶縁膜を用いる。本発明で用いる絶縁膜は、以上のような脂環式オレフィン重合体を含む硬化性樹脂組成物のみからなるものであっても良いが、少なくとも、金属層が形成される表面が硬化性樹脂組成物を硬化してなるものであれば良く、他の材料との複合体であっても良い。そのような複合体のなかでも、脂環式オレフィン重合体を含む硬化性樹脂組成物を硬化することにより形成された層/その他の電気絶縁性材料からなる層(基材)の2層の構成を有する絶縁膜や、脂環式オレフィン重合体を含む硬化性樹脂組成物を硬化することにより形成された層/その他の電気絶縁性材料(基材)/脂環式オレフィン重合体を含む硬化性樹脂組成物を硬化することにより形成された層の3層の構成を有する絶縁膜が好適に用いられる。   In the method for producing a circuit board of the present invention, an insulating film formed by curing the curable resin composition as described above is used. The insulating film used in the present invention may be composed of only the curable resin composition containing the alicyclic olefin polymer as described above, but at least the surface on which the metal layer is formed has a curable resin composition. What is necessary is just to harden a thing, and the composite_body | complex with another material may be sufficient. Among such composites, a two-layer structure of a layer formed by curing a curable resin composition containing an alicyclic olefin polymer / a layer (base material) made of another electrically insulating material. A layer formed by curing a curable resin composition containing an insulating film or an alicyclic olefin polymer / other electrically insulating material (base material) / curability containing an alicyclic olefin polymer An insulating film having a three-layer structure formed by curing the resin composition is preferably used.

本発明の回路基板の製造方法で用いられる絶縁膜は、これに限られるものではないが、通常、導電性回路を表面に有する内層基板上に形成される。内層基板の具体例として、ガラス繊維で強化されたエポキシ樹脂や、BTレジンから形成されたプリント配線基板などが挙げられる。内層基板の厚みは、通常50μm〜2mm、好ましくは60μm〜1.6mm、より好ましくは100μm〜1mmである。   The insulating film used in the circuit board manufacturing method of the present invention is not limited to this, but is usually formed on an inner layer substrate having a conductive circuit on the surface. Specific examples of the inner layer substrate include an epoxy resin reinforced with glass fiber and a printed wiring board formed of BT resin. The thickness of the inner layer substrate is usually 50 μm to 2 mm, preferably 60 μm to 1.6 mm, more preferably 100 μm to 1 mm.

内層基板上に絶縁膜を形成する方法としては、上述の硬化性樹脂組成物を溶液または分散液(これらをワニスともいう)とし、それを内層基板上に塗布した後、溶媒を除去乾燥して硬化性組成物の塗布層を形成した後、該組成物を硬化させる方法が一般に採られている。しかし、本発明においては、硬化性樹脂組成物をフィルム状(またはシート)状に成形し、必要に応じて基材と重ね合わせて複合体とし、それを加熱圧着等により内層基板上に重ね合わせた後に、硬化性樹脂組成物の層を硬化することによって絶縁膜を形成することが好ましい。   As a method of forming an insulating film on the inner layer substrate, the above-mentioned curable resin composition is used as a solution or dispersion (these are also referred to as varnishes), applied to the inner layer substrate, and then the solvent is removed and dried. A method is generally employed in which a coating layer of a curable composition is formed and then the composition is cured. However, in the present invention, the curable resin composition is formed into a film (or sheet), and is superposed on the base material as necessary to form a composite, which is superposed on the inner substrate by thermocompression bonding or the like. After that, it is preferable to form the insulating film by curing the layer of the curable resin composition.

硬化性樹脂組成物をフィルム状に成形する方法は特に限定されないが、本発明においては溶液キャスト法や溶融キャスト法で成形するのが好ましい。溶液キャスト法では、硬化性樹脂組成物の溶液または分散液を支持体に塗布した後に、溶媒を乾燥除去する。   The method for forming the curable resin composition into a film is not particularly limited, but in the present invention, it is preferably formed by a solution cast method or a melt cast method. In the solution casting method, after the solution or dispersion of the curable resin composition is applied to a support, the solvent is removed by drying.

本発明の硬化性樹脂組成物を溶解または分散させるために使用する有機溶剤としては、後に加熱して揮発させる便宜から、沸点が好ましくは30〜250℃、より好ましくは50〜200℃のものである。かかる有機溶剤の例としては、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、トリメチルベンゼンなどの芳香族炭化水素;n−ペンタン、n−ヘキサン、n−ヘプタンなどの脂肪族炭化水素;シクロペンタン、シクロヘキサンなどの脂環式炭化水素;クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、トリクロロベンゼンなどのハロゲン化炭化水素;アニソールなどのエーテル化合物;メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノンなどを挙げることができる。これらの溶媒は、それぞれ単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。   The organic solvent used to dissolve or disperse the curable resin composition of the present invention has a boiling point of preferably 30 to 250 ° C., more preferably 50 to 200 ° C. for convenience of volatilization by heating later. is there. Examples of such organic solvents include aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, ethylbenzene and trimethylbenzene; aliphatic hydrocarbons such as n-pentane, n-hexane and n-heptane; alicyclics such as cyclopentane and cyclohexane Hydrocarbons; halogenated hydrocarbons such as chlorobenzene, dichlorobenzene, and trichlorobenzene; ether compounds such as anisole; methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclopentanone, and cyclohexanone. These solvents can be used alone or in combination of two or more.

これら溶媒のなかでも、微細配線への埋め込み性に優れ、気泡等を生じさせないものとして、芳香族炭化水素系溶媒や脂環式炭化水素系溶媒のごとき非極性溶媒と、ケトン系溶媒のごとき極性溶媒とを混合した混合溶媒が好ましい。これらの非極性溶媒と極性溶媒の混合比は適宜選択できるが、重量比で、通常5:95〜95:5、好ましくは10:90〜90:10、より好ましくは20:80〜80:20の範囲である。   Among these solvents, non-polar solvents such as aromatic hydrocarbon solvents and alicyclic hydrocarbon solvents, and polar solvents such as ketone solvents are excellent as they can be embedded in fine wiring and do not generate bubbles. A mixed solvent obtained by mixing a solvent is preferable. Although the mixing ratio of these nonpolar solvents and polar solvents can be selected as appropriate, the weight ratio is usually 5:95 to 95: 5, preferably 10:90 to 90:10, more preferably 20:80 to 80:20. Range.

溶媒の使用量は、使用目的に応じて適宜選択されるが、硬化性樹脂組成物の溶液又は分散液の固形分濃度が、通常5〜70重量%、好ましくは10〜65重量%、より好ましくは15〜60重量%になる範囲である。   The amount of the solvent used is appropriately selected according to the purpose of use, but the solid content concentration of the solution or dispersion of the curable resin composition is usually 5 to 70% by weight, preferably 10 to 65% by weight, more preferably. Is in the range of 15-60% by weight.

硬化性樹脂組成物の溶媒中への分散又は溶解方法に格別な制限はなく、例えば、硬化性樹脂組成物を構成する各成分と有機溶剤とを常法に従って混合すればよく、例えば、マグネチックスターラー、高速ホモジナイザー、ディスパージョン、遊星攪拌機、二軸攪拌機、ボールミル、三本ロールなどを使用して混合することができる。混合温度は、官能基を有する脂環式オレフィン重合体と硬化剤との反応が起こる温度以下であり、かつ、有機溶剤の沸点以下であることが好ましい。   There is no particular limitation on the method of dispersing or dissolving the curable resin composition in the solvent. For example, each component constituting the curable resin composition and the organic solvent may be mixed according to a conventional method, for example, magnetic Mixing can be performed using a stirrer, a high-speed homogenizer, a dispersion, a planetary stirrer, a twin-screw stirrer, a ball mill, a triple roll, or the like. The mixing temperature is preferably not higher than the temperature at which the reaction between the alicyclic olefin polymer having a functional group and the curing agent occurs and not higher than the boiling point of the organic solvent.

次に、調製したワニスを、通常、基材に含浸および/または塗布した後、または支持体に塗布した後、ワニスを構成する有機溶剤を乾燥により除去することにより、硬化性樹脂組成物の層を有するフィルムを得る(溶液キャスト法)。通常、得られたフィルムは、内層基板上に積層し、必要に応じて支持体を剥離し、次いで、当該フィルムの硬化性樹脂組成物の層を硬化して、内層基板上に絶縁膜を形成し、回路基板を得る。この絶縁膜は、回路基板の電気絶縁層として機能し、この上に更に導体層を形成して回路基板を多層化することができる。このとき内層基板上に形成された絶縁膜は所謂層間絶縁層となる。   Next, after the prepared varnish is usually impregnated and / or coated on a base material or coated on a support, the organic solvent constituting the varnish is removed by drying, whereby a layer of a curable resin composition is formed. Is obtained (solution casting method). Usually, the obtained film is laminated on the inner layer substrate, the support is peeled off as necessary, and then the curable resin composition layer of the film is cured to form an insulating film on the inner layer substrate. Then, a circuit board is obtained. This insulating film functions as an electrical insulating layer of the circuit board, and a conductor layer can be further formed thereon to make the circuit board multilayer. At this time, the insulating film formed on the inner layer substrate becomes a so-called interlayer insulating layer.

硬化性樹脂組成物のワニスを、含浸および/または塗布するために用いられる基材の具体例としては、不織布、織布、樹脂フィルムなどが挙げられる。また、その材料である有機高分子としては、ポリアクリレート、アラミド、含フッ素アラミド、液晶ポリマー、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエチレンナフタレート、ポリイミド、ナイロンなどが挙げられ、特にアラミド、含フッ素アラミド、液晶ポリマーが難燃性と電気特性の観点から好ましい。また、基材は、上述したワニスを含浸または塗布することができる成形体であり、膜厚は、通常20μm以下、好ましくは15μm以下、より好ましくは10μm以下であり、通常0.05μm以上、好ましくは0.1μm以上である。これらの基材は、線膨張係数が10ppm/K以下であることが好ましい。   Specific examples of the substrate used for impregnating and / or applying the varnish of the curable resin composition include a nonwoven fabric, a woven fabric, and a resin film. In addition, examples of the organic polymer as the material include polyacrylate, aramid, fluorine-containing aramid, liquid crystal polymer, polyethylene terephthalate, polycarbonate, polypropylene, polyethylene, polyethylene naphthalate, polyimide, nylon, etc., especially aramid, fluorine-containing Aramid and liquid crystal polymers are preferred from the viewpoints of flame retardancy and electrical properties. The substrate is a molded body that can be impregnated or coated with the varnish described above, and the film thickness is usually 20 μm or less, preferably 15 μm or less, more preferably 10 μm or less, and usually 0.05 μm or more, preferably Is 0.1 μm or more. These base materials preferably have a linear expansion coefficient of 10 ppm / K or less.

不織布としては、アラミド不織布、含フッ素アラミド織布、液晶ポリマー不織布、ポリエチレンテレフタレート不織布、ポリカーボネート不織布、ナイロン不織布などが挙げられる。これらの不織布うち、アラミド不織布、液晶ポリマー不織布が好ましい。織布としてはアラミド織布、液晶ポリマー織布、ポリエチレンテレフタラート織布、ポリカーボネート織布、ナイロン織布などが挙げられる。これらの織布うち、アラミド織布、含フッ素アラミド織布、液晶ポリマー織布が好ましい。樹脂フィルムとしては、ポリアミドフィルム、アラミドフィルム、含フッ素アラミドフィルム、液晶ポリマーフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリアリレートフィルム、ポリイミドフィルム、フッ素化ポリイミドフィルム、ナイロンフィルムなどが挙げられる。これら樹脂フィルムのうち、耐熱性や耐薬品性、線膨張係数などの観点からポリイミドフィルム、フッ素化ポリイミドフィルム、アラミドフィルム、フッ素化アラミドフィルム、液晶ポリマーフィルムが好ましい。   Examples of the nonwoven fabric include an aramid nonwoven fabric, a fluorine-containing aramid woven fabric, a liquid crystal polymer nonwoven fabric, a polyethylene terephthalate nonwoven fabric, a polycarbonate nonwoven fabric, and a nylon nonwoven fabric. Among these nonwoven fabrics, an aramid nonwoven fabric and a liquid crystal polymer nonwoven fabric are preferable. Examples of the woven fabric include aramid woven fabric, liquid crystal polymer woven fabric, polyethylene terephthalate woven fabric, polycarbonate woven fabric, and nylon woven fabric. Among these woven fabrics, an aramid woven fabric, a fluorine-containing aramid woven fabric, and a liquid crystal polymer woven fabric are preferable. As the resin film, polyamide film, aramid film, fluorine-containing aramid film, liquid crystal polymer film, polyethylene terephthalate film, polypropylene film, polyethylene film, polycarbonate film, polyethylene naphthalate film, polyarylate film, polyimide film, fluorinated polyimide film, A nylon film etc. are mentioned. Of these resin films, a polyimide film, a fluorinated polyimide film, an aramid film, a fluorinated aramid film, and a liquid crystal polymer film are preferable from the viewpoint of heat resistance, chemical resistance, linear expansion coefficient, and the like.

支持体として用いられうる樹脂フィルムは、通常、熱可塑性樹脂フィルムであり、具体的には、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリアリレートフィルム、およびナイロンフィルム;などが挙げられる。これら樹脂フィルムのうち、耐熱性や耐薬品性、積層後の剥離性などの観点からポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルムが好ましい。支持体として用いられうる金属箔としては、例えば、銅箔、アルミ箔、ニッケル箔、クロム箔、金箔、および銀箔;などが挙げられる。導電性が良好である点から、銅箔、特に電解銅箔や圧延銅箔が好適である。支持体の厚さは特に制限されないが、作業性等の観点から、通常1〜200μm、好ましくは2〜150μm、より好ましくは3〜100μmである。   The resin film that can be used as the support is usually a thermoplastic resin film, specifically, a polyethylene terephthalate film, a polypropylene film, a polyethylene film, a polycarbonate film, a polyethylene naphthalate film, a polyarylate film, and a nylon film; Etc. Among these resin films, a polyethylene terephthalate film and a polyethylene naphthalate film are preferable from the viewpoints of heat resistance, chemical resistance, peelability after lamination, and the like. Examples of the metal foil that can be used as the support include copper foil, aluminum foil, nickel foil, chrome foil, gold foil, and silver foil. From the viewpoint of good conductivity, a copper foil, particularly an electrolytic copper foil or a rolled copper foil is preferred. The thickness of the support is not particularly limited, but is usually 1 to 200 μm, preferably 2 to 150 μm, more preferably 3 to 100 μm from the viewpoint of workability and the like.

基材に樹脂組成物のワニスを含浸および/または塗布する方法、もしくは支持体に樹脂組成物のワニスを塗布する方法としては、浸漬、ロールコート、カーテンコート、ダイコート、スリットコートなどの方法が挙げられる。   Examples of the method of impregnating and / or applying the resin composition varnish to the substrate or the method of applying the resin composition varnish to the support include methods such as immersion, roll coating, curtain coating, die coating, and slit coating. It is done.

有機溶剤除去のための乾燥の条件は、有機溶剤の種類により適宜選択される。加熱温度は、通常30〜200℃、好ましくは40〜180℃であり、加熱時間は、通常30秒〜1時間、好ましくは1分〜30分である。   Drying conditions for removing the organic solvent are appropriately selected depending on the type of the organic solvent. The heating temperature is usually 30 to 200 ° C., preferably 40 to 180 ° C., and the heating time is usually 30 seconds to 1 hour, preferably 1 minute to 30 minutes.

以上のようにして得られるフィルムの厚みは、通常0.1〜150μm、好ましくは0.5〜100μm、より好ましくは1.0〜80μmである。   The thickness of the film obtained as described above is usually 0.1 to 150 μm, preferably 0.5 to 100 μm, more preferably 1.0 to 80 μm.

前述したような硬化性樹脂組成物の層を含むフィルムを用いて、内層基板上に絶縁膜を形成させる場合は、当該フィルムを、内層基板の導体層に接するように重ね合わせ、加圧ラミネータ、プレス、真空ラミネータ、真空プレス、ロールラミネータなどの加圧機を使用して加熱圧着(ラミネーション)して、内層基板表面の導体層と樹脂成形体層との界面に空隙が実質的に存在しないように結合させる方法が挙げられる。この加熱圧着は、配線パターンの埋め込み性を向上させ、気泡の発生を抑えるために真空下で行うのが好ましい。加熱圧着操作の温度は、通常30〜250℃、好ましくは70〜200℃であり、加える圧力は、通常10kPa〜20MPa、好ましくは100kPa〜10MPaであり、時間は、通常30秒〜5時間、好ましくは1分〜3時間である。また、雰囲気の気圧を、通常100kPa〜1Pa、好ましくは40kPa〜10Paに減圧下で行う。   When an insulating film is formed on the inner layer substrate using the film including the layer of the curable resin composition as described above, the film is overlapped so as to be in contact with the conductor layer of the inner layer substrate, a pressure laminator, Use a press, vacuum laminator, vacuum press, roll laminator, or other pressurizer (laminate) so that there is substantially no void at the interface between the conductor layer on the inner substrate surface and the resin molding layer. The method of combining is mentioned. This thermocompression bonding is preferably performed under vacuum in order to improve the embedding property of the wiring pattern and suppress the generation of bubbles. The temperature of the thermocompression bonding operation is usually 30 to 250 ° C., preferably 70 to 200 ° C., the applied pressure is usually 10 kPa to 20 MPa, preferably 100 kPa to 10 MPa, and the time is usually 30 seconds to 5 hours, preferably Is 1 minute to 3 hours. The atmospheric pressure is usually 100 kPa to 1 Pa, preferably 40 kPa to 10 Pa under reduced pressure.

本発明で用いる絶縁膜を得るためには、例えば以上のように形成される前述の硬化性樹脂組成物からなるフィルムを硬化させればよく、硬化性樹脂組成物の硬化は、通常、硬化性樹脂組成物を加熱することにより行われる。硬化させる条件は硬化剤の種類に応じて適宜選択されるが、温度は、通常30〜400℃、好ましくは70〜300℃、より好ましくは100〜200℃であり、時間は、通常0.1〜5時間、好ましくは0.5〜3時間である。加熱の方法は特に制限されず、例えば電気オーブンを用いて行えばよい。   In order to obtain the insulating film used in the present invention, for example, a film made of the above-described curable resin composition formed as described above may be cured, and curing of the curable resin composition is usually curable. This is done by heating the resin composition. The conditions for curing are appropriately selected according to the type of curing agent, but the temperature is usually 30 to 400 ° C., preferably 70 to 300 ° C., more preferably 100 to 200 ° C., and the time is usually 0.1. -5 hours, preferably 0.5-3 hours. The heating method is not particularly limited, and may be performed using, for example, an electric oven.

また、絶縁膜の平坦性を向上させる目的や、絶縁膜の厚みを増す目的で、硬化性樹脂組成物の層を含むフィルムを2以上接して貼り合わせて絶縁膜を形成してもよい。   Further, for the purpose of improving the flatness of the insulating film or increasing the thickness of the insulating film, two or more films containing a layer of the curable resin composition may be in contact with each other to form the insulating film.

本発明の回路基板の製造方法は、官能基を有する脂環式オレフィン重合体、および硬化剤を含有してなる硬化性樹脂組成物を硬化することにより形成された絶縁膜を回路基板の絶縁膜として用いること特徴の一つとするものである。この絶縁膜は、吸水性が極めて小さい上に、誘電率が低く、電気特性に優れるため、本発明で得られる回路基板は、信号の伝送損失が小さく、耐マイグレーション性などの信頼性に優れたものとなる。   The method for producing a circuit board according to the present invention includes an insulating film formed by curing a curable resin composition containing a functional group-containing alicyclic olefin polymer and a curing agent. This is one of the characteristics that can be used. This insulating film has very low water absorption, low dielectric constant, and excellent electrical characteristics. Therefore, the circuit board obtained by the present invention has low signal transmission loss and excellent reliability such as migration resistance. It will be a thing.

本発明の回路基板の製造方法は、以上のようにして得られる絶縁膜の表面に紫外線を照射し、次いで、その紫外線が照射された絶縁膜の表面に無電解めっき法により金属層を形成することにより、回路基板を得るものである。   In the method for producing a circuit board according to the present invention, the surface of the insulating film obtained as described above is irradiated with ultraviolet rays, and then a metal layer is formed on the surface of the insulating film irradiated with the ultraviolet rays by an electroless plating method. Thus, a circuit board is obtained.

本発明で行う絶縁膜の表面への紫外線の照射は、例えば100〜400nm、好ましくは180〜400nmの波長の紫外線を、絶縁膜の表面に照射して行えばよい。ここで紫外線照射の雰囲気は大気下などの酸素が存在する雰囲気であっても、不活性ガス(例えば窒素)を充填することによる酸素が存在しない雰囲気であってもよいが、絶縁膜と金属層との密着性により優れる回路基板を得る観点からは、大気下などの酸素が存在する雰囲気であることが好ましい。照射する紫外線の強度は、特に限定されないが1〜500mw/cmであることが好ましい。また、紫外線の照射時間も特に限定されないが、通常10秒〜30分の範囲であり、さらに、絶縁膜の表面と紫外線の光源との距離も特に限定されず、通常100μm〜30cmの範囲で設定すればよい。本発明の回路基板の製造方法では、このように無電解めっき法により金属層を形成する前の絶縁膜の表面に紫外線を照射することにより、絶縁膜と金属層との密着性が良好である回路基板が得られる。 Irradiation of ultraviolet rays onto the surface of the insulating film performed in the present invention may be performed by irradiating the surface of the insulating film with ultraviolet rays having a wavelength of, for example, 100 to 400 nm, preferably 180 to 400 nm. Here, the atmosphere of the ultraviolet irradiation may be an atmosphere in which oxygen exists, such as in the air, or an atmosphere in which oxygen does not exist by filling with an inert gas (for example, nitrogen). From the viewpoint of obtaining a circuit board that is more excellent in adhesion to the substrate, an atmosphere in which oxygen exists, such as in the air, is preferable. Although the intensity | strength of the ultraviolet-ray to irradiate is not specifically limited, It is preferable that it is 1-500 mw / cm < 2 >. Also, the irradiation time of ultraviolet rays is not particularly limited, but is usually in the range of 10 seconds to 30 minutes, and further, the distance between the surface of the insulating film and the ultraviolet light source is not particularly limited, and is usually set in the range of 100 μm to 30 cm. do it. In the circuit board manufacturing method of the present invention, the adhesion between the insulating film and the metal layer is good by irradiating the surface of the insulating film before forming the metal layer by the electroless plating method in this way. A circuit board is obtained.

本発明の回路基板の製造方法では、以上のような絶縁膜の表面への紫外線照射の前後に、好ましくは紫外線照射の前に、その表面をドライプロセス処理することが好ましい。このドライプロセス処理は、液体を絶縁膜の表面に接触させること無く、絶縁膜を表面改質させる処理であって、紫外線照射以外の処理である。このドライプロセス処理の具体例としては、プラズマ処理(大気圧プラズマ処理、低圧プラズマ処理、フレームプラズマ処理)、コロナ処理、電子線照射処理が挙げられ、これらの中でも、絶縁膜と金属層との密着性、特に加湿条件下での密着性を良好とする観点から、プラズマ処理、コロナ処理が好ましい。   In the method for producing a circuit board according to the present invention, it is preferable to subject the surface of the insulating film to a dry process treatment before and after the ultraviolet irradiation to the surface of the insulating film as described above, and preferably before the ultraviolet irradiation. This dry process treatment is a treatment for modifying the surface of the insulating film without bringing the liquid into contact with the surface of the insulating film, and is a treatment other than the ultraviolet irradiation. Specific examples of this dry process treatment include plasma treatment (atmospheric pressure plasma treatment, low pressure plasma treatment, flame plasma treatment), corona treatment, and electron beam irradiation treatment. Among these, adhesion between the insulating film and the metal layer is included. From the viewpoint of improving the properties, particularly the adhesion under humidified conditions, plasma treatment and corona treatment are preferred.

ドライプロセス処理として採用し得る大気圧プラズマ処理は、大気圧下でアルゴン、ヘリウム、クリプトン、ネオン、キセノン、水素、窒素、空気などの単体または混合気体をプラズマジェットで電子的に励起せしめた後、励起不活性ガスを、絶縁膜の表面に吹き付けることにより行われる。具体的には、通常、電極間に3〜5kHz、2〜3000Vの交流電圧を印加して励起不活性ガスを発生する。   Atmospheric pressure plasma treatment that can be adopted as a dry process treatment is a method in which a single or mixed gas such as argon, helium, krypton, neon, xenon, hydrogen, nitrogen, and air is electronically excited with a plasma jet under atmospheric pressure. This is done by spraying an excited inert gas on the surface of the insulating film. Specifically, an excitation inert gas is usually generated by applying an AC voltage of 3 to 5 kHz and 2 to 3000 V between the electrodes.

ドライプロセス処理として採用し得る低圧プラズマ処理は、減圧(通常0.1〜5Torr)下で200〜1000Wの出力でアルゴン、ヘリウム、クリプトン、ネオン、キセノン、水素、窒素、空気などの単体または混合気体をプラズマジェットで電子的に励起せしめた後、帯電粒子を除去し、電気的に中性とした励起不活性ガスを、絶縁膜の表面に吹き付けることにより行われる。   The low-pressure plasma treatment that can be employed as the dry process treatment is a simple substance or a mixed gas such as argon, helium, krypton, neon, xenon, hydrogen, nitrogen, air, etc. at an output of 200 to 1000 W under reduced pressure (usually 0.1 to 5 Torr). Is excited electronically with a plasma jet, and then charged particles are removed and an electrically neutral excited inert gas is sprayed onto the surface of the insulating film.

ドライプロセス処理として採用し得るフレームプラズマ処理は、天然ガスやプロパンガス等を燃焼させた時に生ずる火炎内のイオン化したプラズマ火炎を絶縁膜の表面に吹き付けることにより行われる。   Flame plasma treatment that can be employed as a dry process treatment is performed by blowing an ionized plasma flame in a flame generated when natural gas, propane gas, or the like is burned onto the surface of the insulating film.

ドライプロセス処理として採用し得るコロナ処理は、絶縁膜の表面にコロナ放電処理を施す処理である。コロナ処理は、例えば公知のコロナ放電処理機を用い、発生させたコロナ雰囲気の下に基材を通過させることにより行われる。ここでコロナ処理の雰囲気は大気下であってもよく、また、不活性ガス(例えば窒素)等で調整された雰囲気下であってもよい。コロナ処理の条件は通常10W・分/m 以上、好ましくは30〜300W・分/mである。 The corona treatment that can be adopted as the dry process treatment is a treatment in which the surface of the insulating film is subjected to a corona discharge treatment. The corona treatment is performed, for example, by using a known corona discharge treatment machine and passing the substrate under the generated corona atmosphere. Here, the atmosphere of the corona treatment may be in the air, or may be an atmosphere adjusted with an inert gas (for example, nitrogen). Conditions of the corona treatment is usually 10 W · min / m 2 or more, preferably a 30~300W · min / m 2.

電子線照射処理は、絶縁膜の表面に、電子線加速器により発生させた電子線を照射することにより行われる。電子線照射処理の雰囲気は大気下であってもよく、また、不活性ガス(例えば窒素)等で調整された雰囲気下であってもよい。   The electron beam irradiation treatment is performed by irradiating the surface of the insulating film with an electron beam generated by an electron beam accelerator. The atmosphere of the electron beam irradiation treatment may be in the air, or may be an atmosphere adjusted with an inert gas (for example, nitrogen) or the like.

本発明の回路基板の製造方法では、絶縁膜の表面への紫外線照射やドライプロセス処理の前後に、好ましくはこれらの前に、絶縁膜の表面を水酸化ナトリウム水溶液などにより脱脂処理してもよい。また、同様に水洗処理を適宜行ってもよい。   In the method for producing a circuit board of the present invention, the surface of the insulating film may be degreased with an aqueous sodium hydroxide solution or the like before, preferably, before or after the ultraviolet irradiation or dry process treatment on the surface of the insulating film. . Similarly, water washing treatment may be performed as appropriate.

以上のようにして得られる金属層を形成する前の絶縁膜の表面は、回路基板での高周波領域における表皮効果による伝送遅延を防止する観点から、粗化処理されないことが好ましい。金属層を形成する前の絶縁膜の表面粗さ(算術平均粗さ Ra)は、0.3μm未満であることが好ましく、より好ましくは0.2〜0.01μmである。   The surface of the insulating film before forming the metal layer obtained as described above is preferably not subjected to roughening treatment from the viewpoint of preventing transmission delay due to the skin effect in the high frequency region of the circuit board. The surface roughness (arithmetic mean roughness Ra) of the insulating film before forming the metal layer is preferably less than 0.3 μm, more preferably 0.2 to 0.01 μm.

本発明の回路基板の製造方法では、以上のようにして得られる少なくとも紫外線が照射された絶縁膜の表面に、無電解めっき法により金属層を形成する。この金属層の材料は、導電性を有する金属材料であれば特に限定されず、一般に回路形成用の材料として用いられる材料を用いることができる。好適な材料としては、銅、銀、金、ニッケル、アルミニウム、タングステンなどの金属材料が挙げられ、なかでも銅が特に好適に用いられる。   In the circuit board manufacturing method of the present invention, a metal layer is formed by electroless plating on the surface of the insulating film irradiated with at least ultraviolet rays obtained as described above. The material of the metal layer is not particularly limited as long as it is a metal material having conductivity, and a material generally used as a circuit forming material can be used. Suitable materials include metal materials such as copper, silver, gold, nickel, aluminum, and tungsten, and copper is particularly preferably used.

無電解めっき法では、通常、まず、絶縁膜の表面上に、還元触媒として働く銀、パラジウム、亜鉛、コバルト、金、白金、イリジウム、ルテニウム、オスミニウムなどの触媒核を吸着させる。次いで、その触媒核を吸着させた絶縁膜の表面に、無電解めっき液を接触させることにより、金属層を形成させることができる。無電解めっき法に用いる無電解めっき液としては、例えば公知の自己触媒型の無電解めっき液を用いれば良く、めっき液中に含まれる金属種、還元剤種、錯化剤種、水素イオン濃度、溶存酸素濃度などは適宜選択すれば良い。無電解めっき液の例としては、次亜リン酸アンモニウムまたは次亜リン酸、水素化ホウ素アンモニウムやヒドラジン、ホルマリンなどを還元剤とする無電解銅めっき液、次亜リン酸ナトリウムを還元剤とする無電解ニッケル−リンめっき液、ジメチルアミンボランを還元剤とする無電解ニッケル−ホウ素めっき液、無電解パラジウムめっき液、次亜リン酸ナトリウムを還元剤とする無電解パラジウム−リンめっき液、無電解金めっき液、無電解銀めっき液、次亜リン酸ナトリウムを還元剤とする無電解ニッケル−コバルト−リンめっき液などが挙げられる。なお、無電解めっき法により形成した金属層には、防錆剤と接触させるなどの防錆処理を行うことが好ましい。   In the electroless plating method, usually, catalyst nuclei such as silver, palladium, zinc, cobalt, gold, platinum, iridium, ruthenium, and osmium acting as a reduction catalyst are adsorbed on the surface of the insulating film. Next, a metal layer can be formed by bringing an electroless plating solution into contact with the surface of the insulating film on which the catalyst nuclei are adsorbed. As the electroless plating solution used in the electroless plating method, for example, a known autocatalytic electroless plating solution may be used. Metal species, reducing agent species, complexing agent species, hydrogen ion concentration contained in the plating solution The dissolved oxygen concentration and the like may be selected as appropriate. Examples of electroless plating solutions include electroless copper plating solutions containing ammonium hypophosphite or hypophosphorous acid, ammonium borohydride, hydrazine, formalin, etc. as reducing agents, and sodium hypophosphite as reducing agents. Electroless nickel-phosphorous plating solution, electroless nickel-boron plating solution using dimethylamine borane as reducing agent, electroless palladium plating solution, electroless palladium-phosphorous plating solution using sodium hypophosphite as reducing agent, electroless Examples thereof include a gold plating solution, an electroless silver plating solution, and an electroless nickel-cobalt-phosphorus plating solution using sodium hypophosphite as a reducing agent. In addition, it is preferable to perform the rust prevention process of making the metal layer formed by the electroless-plating method contact a rust preventive agent.

また、絶縁膜の表面に金属層を形成するにあたり、無電解めっき法により形成した金属層上に、電解めっき法を適用して金属層を成長させることが好ましい。この場合に用いる電解めっき液としては、公知の電解めっき液を用いれば良く、例えば、硫酸銅めっき液、ピロリン酸銅めっき液、電解ニッケルめっき液などを用いることができる。また、電解めっき液には、必要に応じて錯化剤、光沢剤、安定剤、緩衝剤などの添加剤を含むことができる。   In forming the metal layer on the surface of the insulating film, it is preferable to grow the metal layer by applying the electrolytic plating method on the metal layer formed by the electroless plating method. As the electrolytic plating solution used in this case, a known electrolytic plating solution may be used. For example, a copper sulfate plating solution, a copper pyrophosphate plating solution, an electrolytic nickel plating solution, or the like can be used. In addition, the electrolytic plating solution may contain additives such as a complexing agent, a brightening agent, a stabilizer, and a buffering agent as necessary.

本発明の回路基板の製造方法は、以上のようにして、表面に金属層が形成された絶縁膜を得る工程を含むものである。このようにして得られる回路基板は、過マンガン酸塩の水溶液などの酸化性水溶液による粗化処理なしでも、電気特性や、絶縁膜と金属層との密着性に優れる。
The circuit board manufacturing method of the present invention includes the step of obtaining an insulating film having a metal layer formed on the surface as described above. The circuit board obtained in this manner is excellent in electrical characteristics and adhesion between the insulating film and the metal layer even without a roughening treatment with an oxidizing aqueous solution such as an aqueous solution of permanganate.

絶縁膜上に形成された金属層を導電性回路とする方法は、導電性回路を形成する範囲に一面に導電性材料の層を形成してから、回路パターンを形成するために不要な導電性材料を除去する方法(サブトラクティブ法)と、回路パターンを有するように導電性材料の層を形成する方法(アディティブ法)とに大別されるが、本発明では、いずれの方法も採用することができる。   In the method of using a metal layer formed on an insulating film as a conductive circuit, a conductive material layer is formed on the entire surface in a range where the conductive circuit is to be formed, and then a conductive pattern unnecessary for forming a circuit pattern. The method is roughly divided into a method for removing the material (subtractive method) and a method for forming a conductive material layer so as to have a circuit pattern (additive method). In the present invention, either method is adopted. Can do.

サブトラクティブ法を適用する場合の例としては、絶縁膜の全面に前述の手法により金属層を形成し、次いで、その金属層の回路パターンとして残したい部分にエッチングレジスト液を塗布してレジスト膜を形成した後、エッチング液に浸漬することにより不要な導電性材料を除去し、その後、レジスト膜を剥離する方法が挙げられる。また、アディティブ法を適用する場合の例としては、絶縁膜の回路パターンを形成するにあたり金属層が不要な部分にレジスト液を塗布してレジスト膜を形成し、次いで、部分的にレジスト膜が形成された絶縁膜上に前述の手法により金属層を形成し、その後、レジスト膜を剥離する方法が挙げられる。   As an example of applying the subtractive method, a metal layer is formed on the entire surface of the insulating film by the above-described method, and then an etching resist solution is applied to a portion of the metal layer to be left as a circuit pattern to form a resist film After the formation, an unnecessary conductive material is removed by immersion in an etching solution, and then the resist film is peeled off. In addition, as an example of applying the additive method, a resist film is formed by applying a resist solution to a portion where a metal layer is not necessary for forming a circuit pattern of an insulating film, and then a resist film is partially formed. A method of forming a metal layer on the insulating film by the above-described method and then peeling the resist film can be used.

以上のように、本発明の回路基板の製造方法で得られる回路基板(多層回路基板)は、内層基板の片面のみに絶縁膜と金属層を形成したものであっても良いし、内層基板の両面に絶縁膜と金属層を形成したものであっても良い。また、内層基板に形成された絶縁膜と金属層との上に、さらに、絶縁膜と金属層とを形成したものであっても良い。   As described above, the circuit board (multilayer circuit board) obtained by the method for manufacturing a circuit board of the present invention may be one in which an insulating film and a metal layer are formed only on one side of the inner layer board. An insulating film and a metal layer may be formed on both sides. Further, an insulating film and a metal layer may be further formed on the insulating film and the metal layer formed on the inner layer substrate.

本発明により得られる回路基板の用途は特に限定されないが、例えば、コンピューターや携帯電話などの電子機器における、CPUやメモリなどの半導体素子、その他の実装部品用基板として好適に使用できる。   The use of the circuit board obtained by the present invention is not particularly limited. For example, the circuit board can be suitably used as a substrate for a semiconductor element such as a CPU or a memory or other mounting component in an electronic device such as a computer or a mobile phone.

以下に実施例および比較例を挙げて、本発明についてより具体的に説明する。なお、各例中の部および%は、特に断りのない限り、重量基準である。   Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples and comparative examples. In addition, unless otherwise indicated, the part and% in each example are a basis of weight.

各種の物性については、以下の方法に従って評価した。
(1)重合体の数平均分子量(Mn)、重量平均分子量(Mw)および分子量分布(Mw/Mn):トルエンまたはテトラヒドロフランを展開溶媒として、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー(GPC)により測定し、ポリスチレン換算値として求めた。
(2)重合体の水素化率:水素化率は、水素化前における重合体中の不飽和結合のモル数に対する水素添加された不飽和結合のモル数の比率をいい、H−NMRスペクトル測定により求めた。
(3)重合体のカルボン酸無水物基含有率:重合体中の総単量体単位数に対するカルボン酸無水物基のモル数の割合をいい、H−NMRスペクトル測定により求めた。
(4)フィルムを構成する各層の厚さ:硬化性樹脂組成物により形成された層を硬化する前の絶縁膜を切断して、その断面を研磨した後、その断面を光学顕微鏡で観察して測定した。
(5)絶縁膜の表面粗さ(算術平均粗さ Ra):試料(積層体)の表面を、表面形状測定装置(NT−1100:WYKO社製)を用いて、表面粗さ(算術平均粗さ Ra)を測定した。
(6)絶縁膜と金属層との密着性:試料(積層体)における絶縁膜と銅めっき層との引き剥がし強さをJIS C6481−1996に準拠して測定し、その結果に基づいて下記の基準で判定した。
◎:引き剥がし強さの平均が8N/cm以上
○:引き剥がし強さの平均が6N/cm以上8N/cm未満
△:引き剥がし強さの平均が4N/cm以上6N/cm未満
×:引き剥がし強さの平均が4N/cm未満

(7)加速試験後の絶縁膜と金属層との密着性:試料(積層体)をもちいて、加速試験(タバイエスペック社製 HASTチャンバー EHS−221MD、130℃、85%RH、100時間放置)を行った。加速試験後の試料について絶縁膜と銅めっき層との引き剥がし強さをJIS C6481−1996に準拠して測定し、その結果に基づいて下記の基準で判定した。
◎:引き剥がし強さの平均が8N/cm以上
○:引き剥がし強さの平均が6N/cm以上8N/cm未満
△:引き剥がし強さの平均が4N/cm以上6N/cm未満
×:引き剥がし強さの平均が4N/cm未満
Various physical properties were evaluated according to the following methods.
(1) Number average molecular weight (Mn), weight average molecular weight (Mw) and molecular weight distribution (Mw / Mn) of the polymer: measured by gel permeation chromatography (GPC) using toluene or tetrahydrofuran as a developing solvent, It calculated | required as a polystyrene conversion value.
(2) Hydrogenation rate of polymer: The hydrogenation rate means the ratio of the number of moles of unsaturated bonds hydrogenated to the number of moles of unsaturated bonds in the polymer before hydrogenation, and a 1 H-NMR spectrum. Obtained by measurement.
(3) Carboxylic anhydride group content of polymer: The ratio of the number of moles of carboxylic anhydride groups to the total number of monomer units in the polymer, and was determined by 1 H-NMR spectrum measurement.
(4) Thickness of each layer constituting the film: After cutting the insulating film before curing the layer formed by the curable resin composition and polishing the cross section, the cross section was observed with an optical microscope. It was measured.
(5) Surface roughness of the insulating film (arithmetic average roughness Ra): The surface roughness (arithmetic average roughness) of the surface of the sample (laminate) was measured using a surface shape measuring device (NT-1100: manufactured by WYKO). Ra) was measured.
(6) Adhesiveness between insulating film and metal layer: The peel strength between the insulating film and the copper plating layer in the sample (laminate) was measured according to JIS C6481-1996. Judged by criteria.
A: The average peel strength is 8 N / cm or more. B: The average peel strength is 6 N / cm or more and less than 8 N / cm. Δ: The average peel strength is 4 N / cm or more and less than 6 N / cm. Average peel strength is less than 4 N / cm

(7) Adhesiveness between insulating film and metal layer after accelerated test: Using sample (laminated body), accelerated test (HAST chamber EHS-221MD, 130 ° C., 85% RH, 100 hours, manufactured by Tabay Espec) Went. About the sample after an acceleration test, the peeling strength of an insulating film and a copper plating layer was measured based on JIS C6481-1996, and it determined by the following reference | standard based on the result.
A: The average peel strength is 8 N / cm or more. B: The average peel strength is 6 N / cm or more and less than 8 N / cm. Δ: The average peel strength is 4 N / cm or more and less than 6 N / cm. Average peel strength is less than 4 N / cm

〔合成例〕
9−エチリデン−テトラシクロ[6.2.1.13,6.02,7]ドデカ−4−エン(以下、「ETCD」と略記する)70モル部、ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン−5,6−ジカルボン酸無水物(以下、「NDCA」と略記する)30モル部、1−ヘキセン1.1モル部、キシレン540モル部およびルテニウム系重合触媒として4−アセトキシベンジリデン(ジクロロ)(4,5−ジブロモ−1,3−ジメシチル−4−イミダゾリン−2−イリデン)(トリシクロヘキシルホスフィン)ルテニウム(和光純薬社製)0.009部を、窒素置換した耐圧ガラス反応器に仕込み、攪拌下に80℃で2時間の重合反応を行って開環重合体の溶液を得た。次いで、窒素置換した攪拌機付きオートクレーブに、得られた開環重合体の溶液100部を仕込み、150℃、水素圧7MPaで、5時間攪拌させて水素化反応を行って、重合体水素添加物(1)の溶液を得た。得られた重合体水素添加物(1)の重量平均分子量は、63,000、数平均分子量は28,000、分子量分布は2.3であった。また、水素添加率は99.9%であり、カルボン酸無水物基含有率は30モル%であった。重合体水素添加物(1)の溶液の固形分濃度は25%であった。
(Synthesis example)
9-ethylidene-tetracyclo [6.2.1.1 3,6 . 0 2,7 ] dodec-4-ene (hereinafter abbreviated as “ETCD”) 70 mol part, bicyclo [2.2.1] hept-2-ene-5,6-dicarboxylic acid anhydride (hereinafter “ 30 mol parts (abbreviated as “NDCA”), 1.1 mol parts of 1-hexene, 540 mol parts of xylene and 4-acetoxybenzylidene (dichloro) (4,5-dibromo-1,3-dimesityl-4) as a ruthenium-based polymerization catalyst -Imidazoline-2-ylidene) (tricyclohexylphosphine) ruthenium (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.), 0.009 part, was charged into a pressure-resistant glass reactor substituted with nitrogen, and a polymerization reaction was performed at 80 ° C. for 2 hours with stirring. A solution of the ring-opening polymer was obtained. Next, 100 parts of the obtained ring-opening polymer solution was charged into an autoclave equipped with a stirrer that was purged with nitrogen, and the mixture was stirred at 150 ° C. and a hydrogen pressure of 7 MPa for 5 hours to conduct a hydrogenation reaction. A solution of 1) was obtained. The obtained polymer hydrogenated product (1) had a weight average molecular weight of 63,000, a number average molecular weight of 28,000, and a molecular weight distribution of 2.3. The hydrogenation rate was 99.9%, and the carboxylic acid anhydride group content was 30 mol%. The solid content concentration of the polymer hydrogenated product (1) solution was 25%.

〔実施例1〕
合成例1で得た重合体水素添加物(1)の溶液400部(重合体水素添加物の量として100部)、硬化剤として水素添加ビスフェノールAジグリシジルエーテル(商品名YX8000、ジャパンエポキシレジン社製)36部、紫外線吸収剤として2−(2H−ベンゾトリアゾール−2−イル)−4,6−ビス(1−メチル−1−フェニルエチル)フェノール1部、老化防止剤として1,3,5−トリス(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6−トリオン1部、硬化促進剤として1−べンジル−2−フェニルイミダゾール0.5部、および柔軟性改良のための成分として液状ポリブタジエン(商品名Ricon152、サートマージャパン社製)10部を、固形分濃度が30%になるように、遊星攪拌機を用いてキシレンと混合させて硬化性樹脂組成物のワニスを得た。縦300mm×横300mmの大きさで厚さが100μm、表面平均粗さRaが0.08μmのポリエチレンナフタレートフィルム(支持体)上に、YD型のドクターブレードを用いて塗工した。次いで、窒素雰囲気下、80℃で10分間乾燥させて、硬化性樹脂組成物の厚みが30μmの支持体付きのフィルムを得た。
[Example 1]
400 parts of the polymer hydrogenated product (1) obtained in Synthesis Example 1 (100 parts as the amount of the polymer hydrogenated product), hydrogenated bisphenol A diglycidyl ether (trade name YX8000, Japan Epoxy Resin Co., Ltd.) as the curing agent 36 parts), 1 part 2- (2H-benzotriazol-2-yl) -4,6-bis (1-methyl-1-phenylethyl) phenol as UV absorber, 1,3,5 as anti-aging agent 1 part of tris (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxybenzyl) -1,3,5-triazine-2,4,6-trione, 1-benzyl-2-phenylimidazole as curing accelerator 0.5 parts and 10 parts of liquid polybutadiene (trade name Ricon 152, manufactured by Sartomer Japan) as a component for improving flexibility, the solid content concentration is 30% In so that, to obtain a varnish of a curable resin composition by mixing xylene using a planetary stirrer. The film was coated on a polyethylene naphthalate film (support) having a size of 300 mm in length and 300 mm in width, a thickness of 100 μm, and a surface average roughness Ra of 0.08 μm, using a YD type doctor blade. Subsequently, it was made to dry at 80 degreeC for 10 minute (s) under nitrogen atmosphere, and the film with a support body whose thickness of curable resin composition was 30 micrometers was obtained.

一方、ガラスフィラーおよびハロゲン不含エポキシ樹脂を含有するワニスをガラス繊維に含浸させて得られたコア材の表面に、厚さが18μmの銅が貼られた、厚さ0.8mm、縦150mm×横150mmの両面銅張り基板の表面に、有機酸を用いてマイクロエッチング処理を行い、表面に導体層を有する内層基板を得た。   On the other hand, on the surface of the core material obtained by impregnating glass fiber with a varnish containing a glass filler and a halogen-free epoxy resin, copper having a thickness of 18 μm was stuck, thickness 0.8 mm, length 150 mm × The surface of a double-sided copper-clad substrate having a width of 150 mm was subjected to microetching treatment using an organic acid to obtain an inner layer substrate having a conductor layer on the surface.

上記で得られた支持体付きのフィルム2枚を支持体ごと縦150mm×横150mmの大きさに切断し、これらのフィルムを、フィルムの硬化性樹脂組成物と基板とが直接接するように、基板の両面に重ね合わせた。これを、耐熱ゴム製プレス板を上下に備えた真空ラミネータを用いて、200Paに減圧して、温度105℃、圧力0.9MPaで60秒間加熱圧着した。次いで支持体を剥がし、硬化性樹脂組成物付き基板を窒素雰囲気下、160℃で30分間放置し、硬化性樹脂組成物の層を硬化させて絶縁膜とし、内層基板と絶縁膜との積層体を得た。   The two films with the support obtained above are cut into a size of 150 mm in length and 150 mm in width together with the support, and these films are placed on the substrate so that the curable resin composition of the film and the substrate are in direct contact with each other. On both sides. This was depressurized to 200 Pa using a vacuum laminator provided with heat-resistant rubber press plates at the top and bottom, and thermocompression bonded at a temperature of 105 ° C. and a pressure of 0.9 MPa for 60 seconds. Next, the support is peeled off, and the substrate with the curable resin composition is allowed to stand at 160 ° C. for 30 minutes in a nitrogen atmosphere, the layer of the curable resin composition is cured to form an insulating film, and a laminate of the inner substrate and the insulating film Got.

この積層体の絶縁膜の表面を、バッチコロナ処理機(春日電機製CORONA GENERATOR CT−0212)で出力0.75kW、搬送速度1m/分、放電隙間3mm、処理回数2回の条件でコロナ処理した。次いで、高出力低圧水銀灯を備えた小型紫外線表面処理装置(セン特殊光源製 UVE200J、主波長:253.7nm、副波長:184.9nm)を用いて、水銀ランプから積層体までの距離を5cmに調整し、コロナ処理した絶縁膜の表面に5分間紫外線照射を行った。この積層体の絶縁膜の表面粗さRaを測定したところ、0.07μmであった。   The surface of the insulating film of this laminate was subjected to corona treatment with a batch corona treatment machine (CORONA GENERATOR CT-0212 manufactured by Kasuga Denki) under the conditions of an output of 0.75 kW, a conveyance speed of 1 m / min, a discharge gap of 3 mm, and a treatment frequency of 2 times. . Next, the distance from the mercury lamp to the laminate was set to 5 cm using a small ultraviolet surface treatment apparatus (SEN Special Light Source UVE200J, main wavelength: 253.7 nm, subwavelength: 184.9 nm) equipped with a high-output low-pressure mercury lamp. The surface of the adjusted and corona-treated insulating film was irradiated with ultraviolet rays for 5 minutes. When the surface roughness Ra of the insulating film of this laminate was measured, it was 0.07 μm.

次いで、この積層体を、NaOHが50g/Lとなるように調整した45℃のアルカリ脱脂水溶液に2分浸漬した。さらに、次いで、この積層体を水槽に1分間揺動浸漬し、更に別の水槽に1分間揺動浸漬することにより水洗した後、コンディショニング剤(商品名CC−231、ローム&ハース社製)が100ml/Lとなるよう調整した溶液に45℃で1分間浸漬した。この後、積層体を水槽に1分間揺動浸漬し、更に別の水槽に1分間揺動浸漬することにより水洗した後、塩化パラジウムが0.3g/Lとなるよう調整した水溶液に45℃で2分間浸漬した。次いで、この積層体を水槽に1分間揺動浸漬し、更に別の水槽に1分間揺動浸漬することにより水洗した後、次亜リン酸ナトリウムが0.27mol/Lとなるよう調整した水溶液に60℃で30秒浸漬し、めっき触媒を還元処理した。このようにして絶縁膜表面にめっき触媒を吸着させ、めっき前処理を施した積層体を得た。   Subsequently, this laminate was immersed in an alkaline degreasing aqueous solution at 45 ° C. adjusted so that NaOH became 50 g / L for 2 minutes. Further, the laminate was then immersed in a water tank for 1 minute and further washed in water by immersion in another water tank for 1 minute, and then a conditioning agent (trade name CC-231, manufactured by Rohm & Haas) was added. It was immersed in the solution adjusted so that it might become 100 ml / L at 45 degreeC for 1 minute. Thereafter, the laminate was immersed in a water tank for 1 minute and further washed in a water tank for 1 minute, and then washed in an aqueous solution adjusted to have a palladium chloride concentration of 0.3 g / L at 45 ° C. Soaked for 2 minutes. Next, the laminate was immersed in a water bath for 1 minute and further washed in water by further immersion in another water bath for 1 minute, and then the aqueous solution adjusted so that sodium hypophosphite was 0.27 mol / L. Immersion was performed at 60 ° C. for 30 seconds to reduce the plating catalyst. Thus, the plating catalyst was made to adsorb | suck to the insulating film surface, and the laminated body which performed the plating pretreatment was obtained.

次いで、めっき前処理を施した積層体を、硫酸銅5水和物が0.016mol/L、硫酸ニッケル6水和物が0.0048mol/L、クエン酸3ナトリウム2水和物が0.052mol/L、ホウ酸が0.5mol/L、次亜リン酸ナトリウムが0.27mol/L、ポリエチレングリコール(分子量1000)が1g/Lとなるように調整した水溶液に45℃で5分間浸漬して無電解めっき処理することにより、絶縁膜上に金属層(銅の層)を形成させた。   Then, the laminate subjected to the plating pretreatment was 0.016 mol / L for copper sulfate pentahydrate, 0.0048 mol / L for nickel sulfate hexahydrate, and 0.052 mol for trisodium citrate dihydrate. / L, immersed in an aqueous solution adjusted to 0.5 mol / L boric acid, 0.27 mol / L sodium hypophosphite, and 1 g / L polyethylene glycol (molecular weight 1000) at 45 ° C. for 5 minutes. By performing electroless plating, a metal layer (copper layer) was formed on the insulating film.

次いで、無電解めっきを施した積層体を、硫酸銅100g/リットル、硫酸50g/リットル、36%塩酸1.4ml/リットル、EVF−1A(上村工業社製)1ml/リットル、EVF−B(上村工業社製)10ml/リットル、EVF−R(上村工業社製)2ml/リットルとなるように調整した水溶液(電解液)に空気を吹き込みながら、温度23℃で、積層体を陰極側、含リン銅版を陽極側に浸漬・設置し、直流電源装置で通電し、電解銅めっきを施し、無電解めっき処理により形成された金属層上に厚さ12μmの電解銅めっき膜を形成した。次いで、電解めっきを施した積層体を、170℃で60分間アニール処理をし、最外側にめっきによる金属層を有する積層体を得た。得られた積層体は、絶縁膜と金属層との密着性を評価するための試験に用いた。その結果を表1に示す。   Then, the electroless-plated laminate was obtained by using copper sulfate 100 g / liter, sulfuric acid 50 g / liter, 36% hydrochloric acid 1.4 ml / liter, EVF-1A (manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd.) 1 ml / liter, EVF-B (Uemura (Manufactured by Kogyo Co., Ltd.) 10 ml / liter, EVF-R (manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd.) 2 ml / liter of an aqueous solution (electrolyte solution) adjusted to be 2 ml / liter, while blowing air to the temperature of 23 ° C. A copper plate was immersed and placed on the anode side, energized with a direct current power supply device, subjected to electrolytic copper plating, and an electrolytic copper plating film having a thickness of 12 μm was formed on the metal layer formed by electroless plating. Next, the laminate subjected to electrolytic plating was annealed at 170 ° C. for 60 minutes to obtain a laminate having a metal layer formed by plating on the outermost side. The obtained laminated body was used for the test for evaluating the adhesiveness of an insulating film and a metal layer. The results are shown in Table 1.

Figure 2010245064
Figure 2010245064

〔実施例2〕
コロナ処理の代わりに、大気圧プラズマ処理装置(ADMASTER II−300dM:イー・スクエア社製)で出力1.8kW、窒素流量200L/分、クリーンドライエア流量200L/分、搬送速度0.5m/分、処理回数1回の条件でプラズマ処理したこと以外は、実施例1と同様にして、実施例2の積層体を得た。これについて、実施例1と同様に評価を行なった。結果を表1に示す。
[Example 2]
Instead of corona treatment, an atmospheric pressure plasma treatment apparatus (ADMASTER II-300dM: manufactured by E-Square) outputs 1.8 kW, nitrogen flow rate 200 L / min, clean dry air flow rate 200 L / min, conveyance speed 0.5 m / min, A laminate of Example 2 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the plasma treatment was performed under the condition of one treatment. This was evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

〔実施例3〕
液状ポリブタジエンを配合しなかったこと以外は、実施例1と同様にして、実施例3の積層体を得た。これについて、実施例1と同様に評価を行なった。結果を表1に示す。
Example 3
A laminate of Example 3 was obtained in the same manner as Example 1 except that liquid polybutadiene was not blended. This was evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

〔実施例4〕
縦300mm×横300mmの大きさで厚さが100μm、表面平均粗さRaが0.08μmのポリエチレンナフタレートフィルム(支持体)上に、縦250mm×横250mmの大きさで厚さが9μmのフッ素化アラミドフィルムを設置し、次いで実施例1で得られたワニスを、YD型のドクターブレード(隙間寸法130μm)を用いてフッ素化アラミドフィルムに塗工した。次いで、ワニスが塗工されたフッ素化アラミドフィルムを、窒素雰囲気下、80℃で10分間乾燥することにより、第1の硬化性樹脂組成物の層を形成させた。得られたフッ素化ポリアミドフィルムと硬化性樹脂組成物層との積層体から支持体を剥がし、この第1外層付フィルムの先の塗工面とは反対の面に同様の手法でワニスを塗工し、同様の条件で乾燥させることにより、第2の硬化性樹脂組成物の層を形成させて、支持体(ポリエチレンナフタレートフィルム)/第2の硬化性樹脂組成物の層/フッ素化アラミドフィルム(基材)/第1の硬化性樹脂組成物の層がこの順で積層されてなる、実施例4の支持体付きのフィルムを得た。この支持体付きのフィルム第1の硬化性樹脂組成物の層および第2の硬化性樹脂組成物の層の厚さは、それぞれ10μmであった。
Example 4
Fluorine having a size of 250 mm x 250 mm and a thickness of 9 μm on a polyethylene naphthalate film (support) having a size of 300 mm x 300 mm and a thickness of 100 μm and an average surface roughness Ra of 0.08 μm. Then, the varnish obtained in Example 1 was applied to the fluorinated aramid film using a YD type doctor blade (gap size 130 μm). Next, the first curable resin composition layer was formed by drying the fluorinated aramid film coated with the varnish for 10 minutes at 80 ° C. in a nitrogen atmosphere. The support is peeled off from the laminate of the obtained fluorinated polyamide film and the curable resin composition layer, and varnish is applied to the surface opposite to the previous coating surface of the film with the first outer layer in the same manner. By drying under the same conditions, a layer of the second curable resin composition is formed, and the support (polyethylene naphthalate film) / the second curable resin composition layer / fluorinated aramid film ( Substrate) / first curable resin composition layer was laminated in this order to obtain a film with a support of Example 4. The thickness of each of the first curable resin composition layer and the second curable resin composition layer with the support was 10 μm.

実施例1の支持体付きのフィルムの代わりに、上記の方法で作製した実施例4の支持体付きのフィルムを用いたこと以外は、実施例1と同様にして、実施例4の積層体を得た。これについて、実施例1と同様に評価を行なった。結果を表1に示す。   The laminate of Example 4 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the film with a support of Example 4 produced by the above method was used instead of the film with a support of Example 1. Obtained. This was evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

〔実施例5〕
液状ポリブタジエンを混合しなかったことと、コロナ処理をしなかったこと以外は、実施例1と同様にして、実施例5の積層体を得た。これについて、実施例1と同様に評価を行なった。結果を表1に示す。
Example 5
A laminate of Example 5 was obtained in the same manner as Example 1 except that the liquid polybutadiene was not mixed and the corona treatment was not performed. This was evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

〔比較例1〕
紫外線照射処理をしなかったこと以外は、実施例1と同様にして、比較例1の積層体を得た。これについて、実施例1と同様に評価を行なった。結果を表1に示す。
[Comparative Example 1]
A laminate of Comparative Example 1 was obtained in the same manner as Example 1 except that the ultraviolet irradiation treatment was not performed. This was evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

〔比較例2〕
硬化剤として液状ビスフェノールF型エポキシ樹脂(商品名「JER807」、ジャパンエポキシレジン社製)21部、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂(大日本インキ化学工業(株)製 EXA−4700)13部、メチルエチルケトン10部、およびシクロヘキサノン10部を、遊星攪拌機を用いて攪拌し、加熱溶解させた。そこへ、トリアジン構造含有フェノールノボラック樹脂のメチルエチルケトンワニス(商品名「フェノライトLA−7050」、DIC社製)26部、およびフェノキシ樹脂ワニス(商品名「FX293」、東都化成社製)20部を添加しすることにより、ワニスを得た。以降の操作については、このワニスを用いたこと以外は、実施例1と同様にして、比較例2の積層体を得た。これについて、実施例1と同様に評価を行なった。結果を表1に示す。
[Comparative Example 2]
21 parts of liquid bisphenol F type epoxy resin (trade name “JER807”, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.), 13 parts of naphthalene type tetrafunctional epoxy resin (EXA-4700, manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.), methyl ethyl ketone 10 And 10 parts of cyclohexanone were stirred using a planetary stirrer and dissolved by heating. 26 parts of methyl ethyl ketone varnish (trade name “Phenolite LA-7050”, manufactured by DIC Corporation) and 20 parts of phenoxy resin varnish (trade name “FX293”, manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.) are added. By doing so, a varnish was obtained. About the subsequent operation, the laminated body of the comparative example 2 was obtained like Example 1 except having used this varnish. This was evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

表1から明らかなように、官能基を有する脂環式オレフィン重合体を硬化して得られる絶縁膜の表面に紫外線を照射し、次いで、その紫外線が照射された絶縁膜の表面に無電解めっき法により金属層を形成すれば、絶縁膜と金属層との密着性に優れる回路基板が得られるといえる(実施例1〜5)。なかでも、紫外線を照射する前に、ドライプロセス処理(コロナ処理またはプラズマ処理)を行った絶縁膜を用いた場合では、加速試験後でも絶縁膜と金属層との密着性に優れる回路基板が得られた(実施例1〜4)。一方、官能基を有する脂環式オレフィン重合体を硬化して得られる絶縁膜を用いた場合であっても、その表面に紫外線を照射しなかった場合は、絶縁膜と金属層との密着性に劣っていた(比較例1)。また、絶縁膜を形成するための硬化性樹脂組成物として、官能基を有する脂環式オレフィン重合体以外の重合体を含むものを用いた場合は、紫外線を照射しても、絶縁膜と金属層との密着性に劣っていた(比較例2)。   As is apparent from Table 1, the surface of the insulating film obtained by curing the alicyclic olefin polymer having a functional group is irradiated with ultraviolet rays, and then the surface of the insulating film irradiated with the ultraviolet rays is electrolessly plated. When the metal layer is formed by the method, it can be said that a circuit board having excellent adhesion between the insulating film and the metal layer can be obtained (Examples 1 to 5). In particular, when an insulating film that has been dry-processed (corona-treated or plasma-treated) before being irradiated with ultraviolet light is used, a circuit board having excellent adhesion between the insulating film and the metal layer can be obtained even after the acceleration test. (Examples 1-4). On the other hand, even when an insulating film obtained by curing an alicyclic olefin polymer having a functional group is used, if the surface is not irradiated with ultraviolet light, the adhesion between the insulating film and the metal layer (Comparative Example 1). In addition, when a curable resin composition for forming an insulating film containing a polymer other than an alicyclic olefin polymer having a functional group is used, the insulating film and the metal are not irradiated with ultraviolet rays. The adhesion with the layer was poor (Comparative Example 2).

Claims (3)

官能基を有する脂環式オレフィン重合体、および硬化剤を含有してなる硬化性樹脂組成物を硬化することにより形成された絶縁膜の表面に紫外線を照射し、次いで、その紫外線が照射された絶縁膜の表面に無電解めっき法により金属層を形成する工程を含む、回路基板の製造方法。   The surface of the insulating film formed by curing the curable resin composition containing the alicyclic olefin polymer having a functional group and the curing agent was irradiated with ultraviolet rays, and then the ultraviolet rays were irradiated. A method for manufacturing a circuit board, comprising a step of forming a metal layer on a surface of an insulating film by an electroless plating method. 絶縁膜の表面に紫外線を照射する前に、その表面をドライプロセス処理する請求項1に記載の回路基板の製造方法。   The method for manufacturing a circuit board according to claim 1, wherein the surface of the insulating film is subjected to a dry process treatment before the surface is irradiated with ultraviolet rays. ドライプロセス処理が、プラズマ処理またはコロナ処理である請求項2に記載の回路基板の製造方法。   The method for manufacturing a circuit board according to claim 2, wherein the dry process treatment is plasma treatment or corona treatment.
JP2009088537A 2009-03-31 2009-03-31 Method for manufacturing circuit board Pending JP2010245064A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009088537A JP2010245064A (en) 2009-03-31 2009-03-31 Method for manufacturing circuit board

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009088537A JP2010245064A (en) 2009-03-31 2009-03-31 Method for manufacturing circuit board

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2010245064A true JP2010245064A (en) 2010-10-28

Family

ID=43097809

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009088537A Pending JP2010245064A (en) 2009-03-31 2009-03-31 Method for manufacturing circuit board

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2010245064A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015083307A1 (en) * 2013-12-03 2015-06-11 国立大学法人山形大学 Method for manufacturing metal thin film and conductive structure
JP2015131421A (en) * 2014-01-10 2015-07-23 住友金属鉱山株式会社 Metal-clad laminate board, wiring board, and multilayer wiring board

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5963795A (en) * 1982-10-05 1984-04-11 住友ベークライト株式会社 Method of producing additive plating laminated board
JP2002057456A (en) * 2000-08-11 2002-02-22 Shinko Electric Ind Co Ltd Manufacturing method of wiring board
JP2003347723A (en) * 2002-05-24 2003-12-05 Nippon Zeon Co Ltd Circuit board fabricating method
JP2006037083A (en) * 2004-06-21 2006-02-09 Ajinomoto Co Inc Thermosetting resin composition containing modified polyimide resin

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5963795A (en) * 1982-10-05 1984-04-11 住友ベークライト株式会社 Method of producing additive plating laminated board
JP2002057456A (en) * 2000-08-11 2002-02-22 Shinko Electric Ind Co Ltd Manufacturing method of wiring board
JP2003347723A (en) * 2002-05-24 2003-12-05 Nippon Zeon Co Ltd Circuit board fabricating method
JP2006037083A (en) * 2004-06-21 2006-02-09 Ajinomoto Co Inc Thermosetting resin composition containing modified polyimide resin

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015083307A1 (en) * 2013-12-03 2015-06-11 国立大学法人山形大学 Method for manufacturing metal thin film and conductive structure
US9773989B2 (en) 2013-12-03 2017-09-26 National University Corporation Yamagata University Method for producing metal thin film and conductive structure
JP2015131421A (en) * 2014-01-10 2015-07-23 住友金属鉱山株式会社 Metal-clad laminate board, wiring board, and multilayer wiring board

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5403190B1 (en) Prepreg and laminate manufacturing method
TWI483990B (en) Hardened resin composition, film, laminated film, prepreg, laminate, hardening And complexes
JP5590245B2 (en) Curable resin composition, film, prepreg, laminate, cured product, and composite
JP6056760B2 (en) Insulating adhesive film, laminate, cured product, and composite
JP5751257B2 (en) Curable resin composition, cured product, surface-treated cured product, and laminate
JP5505778B2 (en) Film for multilayer printed circuit boards
JP5630262B2 (en) Curable resin composition, cured product, laminate, multilayer circuit board, and electronic device
JP5691977B2 (en) Insulating adhesive film, prepreg, laminate, cured product, and composite
JP2014133877A (en) Curable resin composition and cured article
US20150332806A1 (en) Curable resin composition, insulating film, prepreg, cured product, composite, and substrate for electronic material
JP2010241852A (en) Method for producing modified silica, resin composition for insulation material and film for insulation film
JPWO2015133513A1 (en) Multilayer curable resin film, prepreg, laminate, cured product, composite, and multilayer circuit board
JP6528226B2 (en) Curable resin composition, film, laminated film, prepreg, laminate, cured product, and composite
JP2012214606A (en) Curable resin composition, film, laminate, and cured product
JP2010245064A (en) Method for manufacturing circuit board
JP2013087165A (en) Insulating adhesive film, laminate, cured material, and printed wiring board
JP2013010887A (en) Resin composition, film, laminate, cured product, and composite
JP2013055301A (en) Manufacturing method of multilayer printed wiring board
JP2010155934A (en) Curable resin composition
JP2013010895A (en) Insulating adhesive film, laminate, cured product and composite body
JP2014117823A (en) Insulating film, prepreg and cure product
JP2015174898A (en) Curable resin composition, film, laminate film, prepreg, laminate, hardened product and composite body
JP2010082858A (en) Film for multilayered printed circuit board and multilayered printed circuit board
JPWO2015016165A1 (en) Substrate for electronic materials

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110912

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120910

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120912

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20121105

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130514

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130711

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140107

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140305

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20140603