JP2010243538A - Droplet ejection apparatus and method for manufacturing color filter - Google Patents

Droplet ejection apparatus and method for manufacturing color filter Download PDF

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治 春日
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent a degradation in product quality by stabilizing an amount of ejection of a functional liquid ejected from a droplet ejection head. <P>SOLUTION: A droplet ejection apparatus includes the droplet ejection head 5 having a nozzle for ejecting the functional liquid, is exposed to an airflow Y supplied from an airflow supply means 200 and includes a heat generation part 11 which generates heat by operating. The heat generation part 11 is disposed so as not to be between the airflow supply means 200 and the droplet ejection head 5. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、液滴吐出装置及びカラーフィルター製造方法に関するものである。   The present invention relates to a droplet discharge device and a color filter manufacturing method.

近年、携帯電話機、携帯型コンピュータなどといった電子機器の表示部に液晶装置、エレクトロルミネッセンス装置等の電気光学装置においてフルカラー表示が行われるようになっている。例えば、液晶装置によるフルカラー表示は、液晶層によって変調される光をカラーフィルターに通すことによって表示される。このようなカラーフィルターは、液滴吐出装置によってフィルターエレメント材料をガラス、プラスチックなどによって形成された基材の表面にドット状に吐出することで形成される。   2. Description of the Related Art In recent years, full-color display has been performed on electro-optical devices such as liquid crystal devices and electroluminescence devices on display units of electronic devices such as mobile phones and portable computers. For example, full color display by a liquid crystal device is displayed by passing light modulated by a liquid crystal layer through a color filter. Such a color filter is formed by discharging a filter element material in the form of dots onto the surface of a substrate formed of glass, plastic or the like by a droplet discharge device.

そして、カラーフィルター材料を吐出する液滴吐出装置に限らず、一般的に液滴吐出装置は、複数の液滴吐出ヘッドを備えており、各液滴吐出ヘッドから機能液を吐出する。   And not only the droplet discharge apparatus which discharges a color filter material but generally the droplet discharge apparatus is provided with the several droplet discharge head, and discharges a functional liquid from each droplet discharge head.

特開2004−209429号公報JP 2004-209429 A 特開2004−261647号公報JP 2004-261647 A

ところで、機能液は温度によって粘度が変化するため、液滴吐出ヘッドの温度に応じて粘度が変化する。そして、機能液の粘度が低くなった場合には液滴吐出ヘッドの機能液の吐出量が増大し、機能液の粘度が高くなった場合には液滴吐出ヘッドの機能液の吐出量が減少する。
これに対して、液滴吐出ヘッドは、吐出状態を想定した温度において最適に液滴吐出が成されるように設計されている。
By the way, since the viscosity of the functional liquid changes depending on the temperature, the viscosity changes according to the temperature of the droplet discharge head. When the viscosity of the functional liquid decreases, the discharge amount of the functional liquid of the droplet discharge head increases. When the viscosity of the functional liquid increases, the discharge amount of the functional liquid of the droplet discharge head decreases. To do.
On the other hand, the droplet discharge head is designed to optimally discharge droplets at a temperature that assumes the discharge state.

ところが、特許文献1及び2に示すように、液滴吐出ヘッドからの機能液の吐出を制御するための制御装置等は、液滴吐出ヘッドの上方に配置されている。一方で、通常液滴吐出装置は、ダウンフローが形成されたチャンバー内に設置されており、上方から下方に向かう気流に晒されて配置されている。
このため、液滴吐出ヘッドは、制御装置の熱によって加熱された気流に晒された状態となり、気流によって加熱されることとなる。
However, as shown in Patent Documents 1 and 2, a control device or the like for controlling the discharge of the functional liquid from the droplet discharge head is arranged above the droplet discharge head. On the other hand, the normal droplet discharge device is installed in a chamber in which a downflow is formed, and is disposed so as to be exposed to an air flow from the upper side to the lower side.
For this reason, the droplet discharge head is exposed to the airflow heated by the heat of the control device, and is heated by the airflow.

制御装置から発せられる熱量が一定ではなく、またダウンフローの流れ速度も全ての領域で一定となるように制御されていない。このように液滴吐出ヘッドに供給される気流が発熱部によって加熱されると、液滴吐出ヘッドの加熱状態は、常に変化することとなる。よって、液滴吐出ヘッドの温度が不安定となり、機能液の吐出量にばらつきが生じることとなる。
また、複数の液滴吐出ヘッドを備える場合には、液滴吐出ヘッドの設置位置や温度上昇特性の個体差によって温度上昇にばらつきが生じ、各液滴吐出ヘッドからの機能液の吐出量にばらつきが生じる。
The amount of heat generated from the control device is not constant, and the flow rate of the downflow is not controlled to be constant in all regions. As described above, when the air flow supplied to the droplet discharge head is heated by the heat generating portion, the heating state of the droplet discharge head always changes. Therefore, the temperature of the droplet discharge head becomes unstable, and the discharge amount of the functional liquid varies.
In addition, when a plurality of droplet discharge heads are provided, the temperature rise varies due to individual positions of the droplet discharge heads and temperature rise characteristics, and the amount of functional liquid discharged from each droplet discharge head varies. Occurs.

このように液滴吐出ヘッドからの機能液の吐出量がばらつくと、機能液の吐出量が所望の量に対して変化することとなるため、製品品質の低下を招くこととなる。   Thus, when the discharge amount of the functional liquid from the droplet discharge head varies, the discharge amount of the functional liquid changes with respect to a desired amount, which leads to a reduction in product quality.

本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、液滴吐出ヘッドから吐出される機能液の吐出量を安定化させて、製品品質の低下を防止することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to stabilize the discharge amount of the functional liquid discharged from the droplet discharge head and prevent the product quality from being deteriorated.

上記課題を解決するための手段として、本発明は以下の構成を採用する。   As means for solving the above problems, the present invention adopts the following configuration.

第1の発明は、機能液を吐出するノズルを有する液滴吐出ヘッドを備えると共に、気流供給手段から供給される気流に晒される液滴吐出装置であって、動作することによって発熱する発熱部を備え、該発熱部が上記気流供給手段と上記液滴吐出ヘッドとの間を避けて配置されているという構成を採用する。   A first aspect of the present invention is a droplet discharge device that includes a droplet discharge head having a nozzle that discharges a functional liquid and is exposed to an air flow supplied from an air flow supply means, and has a heat generating portion that generates heat when operated. And a configuration is adopted in which the heat generating portion is arranged so as to avoid a space between the airflow supply means and the droplet discharge head.

このような構成を採用する本発明によれば、動作することによって発熱する発熱部が、液滴吐出装置に向けて気流を供給する気流供給手段と液滴吐出ヘッドとの間を避けて配置されているため、気流供給手段から噴き出された気流が発熱部を通過することなく液滴吐出ヘッドに供給される。
したがって、気流供給手段から噴き出された気流が発熱部の熱よって加熱されることを防止し、液滴吐出ヘッドが気流に晒されることによって加熱されることを防止することができる。
よって、本発明によれば、液滴吐出ヘッドから吐出される機能液の吐出量を安定化させて、製品品質の低下を防止することが可能となる。
According to the present invention employing such a configuration, the heat generating portion that generates heat when operated is arranged avoiding the space between the air flow supply means that supplies the air flow toward the droplet discharge device and the droplet discharge head. Therefore, the air flow ejected from the air flow supplying means is supplied to the droplet discharge head without passing through the heat generating portion.
Therefore, it is possible to prevent the airflow ejected from the airflow supply means from being heated by the heat of the heat generating portion, and it is possible to prevent the droplet discharge head from being heated by being exposed to the airflow.
Therefore, according to the present invention, it is possible to stabilize the discharge amount of the functional liquid discharged from the droplet discharge head and prevent the product quality from being deteriorated.

また、第2の発明は、上記第1の発明において、上記気流供給手段を支持するサーマルチャンバーに囲われると共に、上記発熱部が上記サーマルチャンバーの外壁に設置されているという構成を採用する。   Further, the second invention employs a configuration in which, in the first invention, the heat generating part is installed on the outer wall of the thermal chamber while being surrounded by a thermal chamber that supports the air flow supplying means.

このような構成を採用する本発明によれば、内部が温度管理されたサーマルチャンバーによって液滴吐出装置が囲まれており、当該サーマルチャンバーに気流供給手段が支持されると共に当該サーマルチャンバーの外壁に発熱部が設置される。このため、確実に、発熱部を気流供給手段と液滴吐出ヘッドとの間を避けて配置することができる。
また、発熱部がサーマルチャンバーの外壁に設置されているため、発熱部の熱が液滴吐出ヘッドに伝達されることを確実に防止することができる。
According to the present invention adopting such a configuration, the droplet discharge device is surrounded by a thermal chamber whose temperature is controlled inside, and the air flow supply means is supported by the thermal chamber and is attached to the outer wall of the thermal chamber. A heating part is installed. For this reason, it is possible to reliably arrange the heat generating portion while avoiding the space between the air flow supply means and the droplet discharge head.
Further, since the heat generating part is installed on the outer wall of the thermal chamber, it is possible to reliably prevent the heat of the heat generating part from being transmitted to the droplet discharge head.

また、第3の発明は、上記第1または第2の発明において、上記気流供給手段が、上記気流としてダウンフローを噴き出す噴出装置であるという構成を採用する。   The third invention adopts a configuration in the first or second invention, wherein the air flow supply means is a jetting device that jets downflow as the airflow.

このような構成を採用する本発明によれば、ダウンフローを噴き出す噴出装置と液滴吐出ヘッドとの間から発熱部が避けて配置されるため、ダウンフローが発熱部の熱によって加熱されることを防止し、ダウンフローに晒される液滴吐出ヘッドが加熱されることを防止することができる。   According to the present invention employing such a configuration, since the heat generating portion is disposed between the ejection device that ejects the down flow and the droplet discharge head, the down flow is heated by the heat of the heat generating portion. And the droplet discharge head exposed to the downflow can be prevented from being heated.

また、第4の発明は、上記第1〜第3いずれかの発明において、上記発熱部が、制御装置であるという構成を採用する。   Moreover, 4th invention employ | adopts the structure that the said heat-emitting part is a control apparatus in any one of the said 1st-3rd invention.

このような構成を採用する本発明によれば、制御装置からの熱が液滴吐出ヘッドに伝達されることを防止することが可能となる。   According to the present invention employing such a configuration, it is possible to prevent heat from the control device from being transmitted to the droplet discharge head.

また、第5の発明は、カラーフィルターの製造方法であって、上記第1〜第4いずれかの発明である液滴吐出装置を用いて、基材上に設けられた所定領域に上記機能液を配置してカラーフィルターを形成するという構成を採用する。   A fifth invention is a method for producing a color filter, wherein the functional liquid is applied to a predetermined region provided on a substrate using the droplet discharge device according to any one of the first to fourth inventions. A configuration is adopted in which a color filter is formed by arranging the.

このような構成を採用する本発明によれば、均一なカラーフィルターを形成することができ、優れた品質のカラーフィルターとなる。   According to the present invention adopting such a configuration, a uniform color filter can be formed, and an excellent quality color filter can be obtained.

本発明の第1実施形態における液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図である。1 is a perspective view illustrating a schematic configuration of a droplet discharge device according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第1実施形態における液滴吐出装置を水平方向から見た概略構成図である。It is the schematic block diagram which looked at the droplet discharge apparatus in 1st Embodiment of this invention from the horizontal direction. 本発明の第2実施形態における液滴吐出装置を水平方向から見た概略構成図である。It is the schematic block diagram which looked at the droplet discharge apparatus in 2nd Embodiment of this invention from the horizontal direction.

以下、図面を参照して、本発明に係る液滴吐出装置、液滴吐出方法及びカラーフィルター製造方法の一実施形態について説明する。なお、以下の図面においては、各部材を認識可能な大きさとするために、各部材の縮尺を適宜変更している。また図1中に示すようにXYZ直交座標系を設定し、このXYZ直交座標系を参照しつつ各部材について説明する。XYZ直交座標系は、X軸及びY軸がワークステージ2に対して平行となるよう設定され、Z軸がワークステージ2に対して直交する方向に設定されている。図1中のXYZ座標系は、実際にはXY平面が水平面に平行な面に設定され、Z軸が鉛直上方向に設定される。   Hereinafter, an embodiment of a droplet discharge device, a droplet discharge method, and a color filter manufacturing method according to the present invention will be described with reference to the drawings. In the following drawings, the scale of each member is appropriately changed in order to make each member a recognizable size. Further, as shown in FIG. 1, an XYZ rectangular coordinate system is set, and each member will be described with reference to the XYZ rectangular coordinate system. The XYZ orthogonal coordinate system is set so that the X axis and the Y axis are parallel to the work stage 2, and the Z axis is set in a direction orthogonal to the work stage 2. In the XYZ coordinate system in FIG. 1, the XY plane is actually set to a plane parallel to the horizontal plane, and the Z axis is set to the vertically upward direction.

図1及び図2は、本実施形態に係る液滴吐出装置IJの概略構成図である。そして、図1が、本実施形態に係る液滴吐出装置IJのみを示す斜視図である。また、図2は、本実施形態に係る液滴吐出装置IJを水平方向(X方向)から見た図であり、液滴吐出装置IJの周囲を含んで図示している。
本実施形態の液滴吐出装置IJは、例えばインクジェット方式によりカラーフィルター基板(基材)の所定領域上にカラーフィルター材料(機能液)の液滴を吐出してカラーフィルターを形成する装置であり、本実施形態の液滴吐出方法を行うものでもある。
1 and 2 are schematic configuration diagrams of a droplet discharge device IJ according to the present embodiment. FIG. 1 is a perspective view showing only the droplet discharge device IJ according to the present embodiment. FIG. 2 is a view of the droplet discharge device IJ according to the present embodiment as viewed from the horizontal direction (X direction), and includes the periphery of the droplet discharge device IJ.
The droplet discharge device IJ of the present embodiment is a device that forms a color filter by discharging droplets of a color filter material (functional liquid) onto a predetermined region of a color filter substrate (base material) by, for example, an inkjet method. The droplet discharge method of this embodiment is also performed.

そして、図2に示すように、本実施形態の液滴吐出装置IJは、サーマルチャンバー100内に収容されている。つまり、本実施形態の液滴吐出装置IJは、サーマルチャンバー100に囲われている。
サーマルチャンバー100は、その内部が一定の温度に管理されている。また、サーマルチャンバー100の天井は、サーマルチャンバー100内にダウンフローYを噴き出す噴出装置200(気流供給手段)を支持している。また、サーマルチャンバー100の床部には、ダウンフローYを吸い込むための吸引装置300が設置されている。
そして、噴出装置200からダウンフローYを噴き出すと共に、吸引装置300によってダウンフローYを吸引することによって、サーマルチャンバー100内に、上方から下方に向かうダウンフローYが形成される。
つまり、本実施形態の液滴吐出装置IJは、サーマルチャンバー100内において、ダウンフローYに晒されて配置されている。
As shown in FIG. 2, the droplet discharge device IJ of the present embodiment is accommodated in the thermal chamber 100. That is, the droplet discharge device IJ of the present embodiment is surrounded by the thermal chamber 100.
The inside of the thermal chamber 100 is managed at a constant temperature. The ceiling of the thermal chamber 100 supports an ejection device 200 (airflow supply means) that ejects the downflow Y into the thermal chamber 100. In addition, a suction device 300 for sucking the downflow Y is installed on the floor of the thermal chamber 100.
Then, the downflow Y is ejected from the ejection device 200 and the downflow Y is sucked by the suction device 300, thereby forming the downflow Y from the upper side to the lower side in the thermal chamber 100.
That is, the droplet discharge device IJ of the present embodiment is disposed in the thermal chamber 100 so as to be exposed to the downflow Y.

図1に示すように、本実施形態の液滴吐出装置IJは、装置架台1、ワークステージ2、ステージ移動装置3、キャリッジ4、液滴吐出ヘッド5、キャリッジ移動装置6、チューブ7、第1タンク8、第2タンク9、第3タンク10及び制御装置11及び温調ガス供給装置12(温調ガス供給手段)を備えている。   As shown in FIG. 1, the droplet discharge device IJ of the present embodiment includes an apparatus mount 1, a work stage 2, a stage moving device 3, a carriage 4, a droplet discharge head 5, a carriage moving device 6, a tube 7, and a first. A tank 8, a second tank 9, a third tank 10, a control device 11, and a temperature control gas supply device 12 (temperature control gas supply means) are provided.

装置架台1は、ワークステージ2及びステージ移動装置3の支持台である。ワークステージ2は、装置架台1上においてステージ移動装置3によってX軸方向に移動可能に設置されており、上流側の搬送装置(図示せず)から搬送されるカラーフィルター基板(基材)Pを、真空吸着機構によりXY平面上に保持する。ステージ移動装置3は、ボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備え、制御装置11から入力される、ワークステージ2のX座標を示すステージ位置制御信号に基づいて、ワークステージ2をX軸方向に移動させる。   The device mount 1 is a support for the work stage 2 and the stage moving device 3. The work stage 2 is installed on the apparatus base 1 so as to be movable in the X-axis direction by the stage moving device 3, and a color filter substrate (base material) P transported from an upstream transport device (not shown) is placed on the work stage 2. And held on the XY plane by a vacuum suction mechanism. The stage moving device 3 includes a bearing mechanism such as a ball screw or a linear guide, and moves the work stage 2 in the X-axis direction based on a stage position control signal indicating the X coordinate of the work stage 2 input from the control device 11. Let

キャリッジ4は、液滴吐出ヘッド5を保持するものであり、キャリッジ移動装置6によってY軸方向及びZ軸方向に移動可能に設けられている。
液滴吐出ヘッド5は、複数のノズルを備えており、制御装置11から入力される描画データや駆動制御信号に基づいて、カラーフィルター材料の液滴を吐出する。この液滴吐出ヘッド5は、カラーフィルター材料のR(赤)、G(緑)、B(青)に対応して複数設けられており、それぞれの液滴吐出ヘッド5はキャリッジ4を介してチューブ7と連結されている。そして、R(赤)に対応する液滴吐出ヘッド5はチューブ7を介して第1タンク8からR(赤)用のカラーフィルター材料の供給を受け、G(緑)に対応する液滴吐出ヘッド5はチューブ7を介して第2タンク9からG(緑)用のカラーフィルター材料の供給を受け、また、B(青)に対応する液滴吐出ヘッド5はチューブ7を介して第3タンク10からB(青)用のカラーフィルター材料の供給を受けるようになっている。
The carriage 4 holds the droplet discharge head 5 and is provided so as to be movable in the Y-axis direction and the Z-axis direction by the carriage moving device 6.
The droplet discharge head 5 includes a plurality of nozzles, and discharges droplets of a color filter material based on drawing data and drive control signals input from the control device 11. A plurality of droplet discharge heads 5 are provided corresponding to the color filter materials R (red), G (green), and B (blue). Each droplet discharge head 5 is a tube via a carriage 4. 7 is connected. The droplet discharge head 5 corresponding to R (red) receives the supply of the color filter material for R (red) from the first tank 8 via the tube 7, and the droplet discharge head corresponding to G (green). 5 is supplied with a color filter material for G (green) from the second tank 9 via the tube 7, and the droplet discharge head 5 corresponding to B (blue) is supplied to the third tank 10 via the tube 7. Is supplied with a color filter material for B (blue).

キャリッジ移動装置6は、装置架台1を跨ぐ橋梁構造をしており、Y軸方向及びZ軸方向に対してボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備え、制御装置11から入力される、キャリッジ4のY座標及びZ座標を示すキャリッジ位置制御信号に基づいて、キャリッジ4をY軸方向及びZ軸方向に移動させる。   The carriage moving device 6 has a bridge structure straddling the device mount 1, and includes a bearing mechanism such as a ball screw or a linear guide in the Y-axis direction and the Z-axis direction, and is input from the control device 11. Based on the carriage position control signal indicating the Y coordinate and the Z coordinate, the carriage 4 is moved in the Y axis direction and the Z axis direction.

チューブ7は、第1タンク8、第2タンク9及び第3タンク10とキャリッジ4(液滴吐出ヘッド5)とを連結するカラーフィルター材料の供給用チューブである。第1タンク8は、R(赤)用のカラーフィルター材料を貯蔵すると共に、チューブ7を介してR(赤)に対応する液滴吐出ヘッド5にカラーフィルター材料を供給する。第2タンク9は、G(緑)用のカラーフィルター材料を貯蔵すると共に、チューブ7を介してG(緑)に対応する液滴吐出ヘッド5にカラーフィルター材料を供給する。第3タンク10は、B(青)用のカラーフィルター材料を貯蔵すると共に、チューブ7を介してB(青)に対応する液滴吐出ヘッド5にカラーフィルター材料を供給する。
なお、チューブ7は、第1タンク8、第2タンク9及び第3タンク10は、図2において図示を省略している。
The tube 7 is a color filter material supply tube that connects the first tank 8, the second tank 9, the third tank 10 and the carriage 4 (droplet discharge head 5). The first tank 8 stores the color filter material for R (red) and supplies the color filter material to the droplet discharge head 5 corresponding to R (red) via the tube 7. The second tank 9 stores the color filter material for G (green) and supplies the color filter material to the droplet discharge head 5 corresponding to G (green) via the tube 7. The third tank 10 stores the color filter material for B (blue) and supplies the color filter material to the droplet discharge head 5 corresponding to B (blue) via the tube 7.
Note that the tube 7, the first tank 8, the second tank 9, and the third tank 10 are not shown in FIG.

制御装置11は、ステージ移動装置3にステージ位置制御信号を出力し、キャリッジ移動装置6にキャリッジ位置制御信号を出力すると共に、液滴吐出ヘッド5の駆動回路基板に描画データ及び駆動制御信号を出力して、液滴吐出ヘッド5による液滴吐出動作、ワークステージ2の移動によるカラーフィルター基板Pの位置決め動作、キャリッジ4の移動による液滴吐出ヘッド5の位置決め動作の同期制御を行うことにより、カラーフィルター基板P上の所定の位置にカラーフィルター材料の液滴を吐出する。また、制御装置11は、液滴吐出ヘッド5に出力する駆動信号を生成する。
このような制御装置11は、ステージ位置制御信号やキャリッジ位置制御信号を生成するための演算処理回路や、駆動信号を生成するための駆動信号生成回路等を備えており、処理(すなわち動作)を行うことによって発熱する。つまり、本実施形態において制御装置11は、本発明の発熱部とされている。
The control device 11 outputs a stage position control signal to the stage moving device 3, outputs a carriage position control signal to the carriage moving device 6, and outputs drawing data and a drive control signal to the drive circuit board of the droplet discharge head 5. By performing synchronous control of the droplet discharge operation by the droplet discharge head 5, the positioning operation of the color filter substrate P by the movement of the work stage 2, and the positioning operation of the droplet discharge head 5 by the movement of the carriage 4, A droplet of the color filter material is discharged to a predetermined position on the filter substrate P. Further, the control device 11 generates a drive signal to be output to the droplet discharge head 5.
Such a control device 11 includes an arithmetic processing circuit for generating a stage position control signal and a carriage position control signal, a drive signal generation circuit for generating a drive signal, and the like, and performs processing (that is, operation). Doing so generates heat. That is, in the present embodiment, the control device 11 is a heat generating portion of the present invention.

そして、図1に示すように、本実施形態の液滴吐出装置IJにおいては、制御装置11がサーマルチャンバー100の外壁(天井の外壁)に対して設置され、これによって制御装置11が噴出装置200と液滴吐出ヘッド5との間を避けて配置されている。   As shown in FIG. 1, in the droplet discharge device IJ of the present embodiment, the control device 11 is installed on the outer wall (outer wall of the ceiling) of the thermal chamber 100, whereby the control device 11 is ejected from the ejection device 200. And the droplet discharge head 5 are disposed so as to be avoided.

このような構成を有する本実施形態の液滴吐出装置IJを動作させて(カラーフィルターを製造する場合には、噴出装置200及び吸引装置300が作動されて、サーマルチャンバー100内にダウンフローYが形成される。
そして、制御装置11は、キャリッジ4を移動させながら、液滴吐出ヘッド5によってカラーフィルター材料を吐出する。これによって基板P上にカラーフィルター材料が配置されてカラーフィルターが製造される。
The droplet discharge device IJ of this embodiment having such a configuration is operated (in the case of manufacturing a color filter, the ejection device 200 and the suction device 300 are operated, and the downflow Y is generated in the thermal chamber 100. It is formed.
Then, the control device 11 discharges the color filter material by the droplet discharge head 5 while moving the carriage 4. As a result, the color filter material is disposed on the substrate P to manufacture the color filter.

ここで、本実施形態の液滴吐出装置IJにおいては、制御装置11が噴出装置200と液滴吐出ヘッド5との間を避けて配置されている。
つまり、動作することによって発熱する制御装置11が、液滴吐出装置IJに向けてダウンフローYを供給する噴出装置200と液滴吐出ヘッド5との間を避けて配置されているため、噴出装置200から噴き出されたダウンフローYが制御装置11を通過することなく液滴吐出ヘッド5に供給される。
したがって、噴出装置200から噴き出されたダウンフローYが制御装置11の熱よって加熱されることを防止し、液滴吐出ヘッド5がダウンフローYに晒されることによって加熱されることを防止することができる。
よって、本実施形態の液滴吐出装置IJによれば、液滴吐出ヘッドから吐出される機能液の吐出量を安定化させて、製品品質の低下を防止することが可能となる。
Here, in the droplet discharge device IJ of the present embodiment, the control device 11 is disposed so as to avoid the space between the ejection device 200 and the droplet discharge head 5.
That is, since the control device 11 that generates heat by operation is arranged so as to avoid the space between the ejection device 200 that supplies the downflow Y toward the droplet ejection device IJ and the droplet ejection head 5, the ejection device The downflow Y ejected from 200 is supplied to the droplet discharge head 5 without passing through the control device 11.
Therefore, the downflow Y ejected from the ejection device 200 is prevented from being heated by the heat of the control device 11, and the droplet discharge head 5 is prevented from being heated by being exposed to the downflow Y. Can do.
Therefore, according to the droplet discharge device IJ of the present embodiment, it is possible to stabilize the discharge amount of the functional liquid discharged from the droplet discharge head and prevent the product quality from being deteriorated.

また、本実施形態の液滴吐出装置IJにおいては、制御装置11がサーマルチャンバー100の外壁に設置されている。
このため、確実に、制御装置11を噴出装置200と液滴吐出ヘッド5との間を避けて配置することができる。
また、制御装置11がサーマルチャンバー100の外壁に設置されているため、制御装置11の熱がサーマルチャンバー100内に伝達されることを防止することができる。このため、サーマルチャンバー100内の温調が容易となり、温調に用いられるエネルギーが低減する。したがって、本実施形態の液滴吐出装置IJは、環境に適したものとなる。
In the droplet discharge device IJ of the present embodiment, the control device 11 is installed on the outer wall of the thermal chamber 100.
For this reason, it is possible to reliably arrange the control device 11 while avoiding the space between the ejection device 200 and the droplet discharge head 5.
Further, since the control device 11 is installed on the outer wall of the thermal chamber 100, it is possible to prevent the heat of the control device 11 from being transmitted into the thermal chamber 100. For this reason, temperature control in the thermal chamber 100 becomes easy, and energy used for temperature control is reduced. Therefore, the droplet discharge device IJ of the present embodiment is suitable for the environment.

(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態について説明する。なお、本実施形態の説明において、上記第1実施形態と同様の部分については、その説明を省略あるいは簡略化する。
(Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the present invention will be described. In the description of the present embodiment, the description of the same parts as those of the first embodiment is omitted or simplified.

図3は、本実施形態の液滴吐出装置IJとその周囲を含む図である。この図に示すように、本実施形態の液滴吐出装置IJにおいては、制御装置11が、サーマルチャンバー100の内部であって、噴出装置200と液滴吐出ヘッド5との間を避けた位置に配置されている。より詳細には、制御装置11がサーマルチャンバー100の側壁の内面に対して設置されている。   FIG. 3 is a diagram including the droplet discharge device IJ of this embodiment and its surroundings. As shown in this figure, in the droplet discharge device IJ of the present embodiment, the control device 11 is located inside the thermal chamber 100 at a position avoiding the space between the ejection device 200 and the droplet discharge head 5. Is arranged. More specifically, the control device 11 is installed on the inner surface of the side wall of the thermal chamber 100.

このような構成を有する本実施形態の液滴吐出装置IJにおいても、上記第1実施形態と同様に、動作することによって発熱する制御装置11が、液滴吐出装置IJに向けてダウンフローYを供給する噴出装置200と液滴吐出ヘッド5との間を避けて配置されているため、噴出装置200から噴き出されたダウンフローYが制御装置11を通過することなく液滴吐出ヘッド5に供給される。
したがって、噴出装置200から噴き出されたダウンフローYが制御装置11の熱よって加熱されることを防止し、液滴吐出ヘッド5がダウンフローYに晒されることによって加熱されることを防止することができる。
よって、本実施形態の液滴吐出装置IJによれば、液滴吐出ヘッドから吐出される機能液の吐出量を安定化させて、製品品質の低下を防止することが可能となる。
Also in the droplet discharge device IJ of this embodiment having such a configuration, as in the first embodiment, the control device 11 that generates heat when operated operates the downflow Y toward the droplet discharge device IJ. Since the jetting device 200 and the droplet discharge head 5 are arranged so as to avoid the supply, the downflow Y ejected from the jetting device 200 is supplied to the droplet discharge head 5 without passing through the control device 11. Is done.
Therefore, the downflow Y ejected from the ejection device 200 is prevented from being heated by the heat of the control device 11, and the droplet discharge head 5 is prevented from being heated by being exposed to the downflow Y. Can do.
Therefore, according to the droplet discharge device IJ of the present embodiment, it is possible to stabilize the discharge amount of the functional liquid discharged from the droplet discharge head and prevent the product quality from being deteriorated.

また、本実施形態の液滴吐出装置IJにおいては、制御装置11がサーマルチャンバー100の内部に設置されている。
このため、上記第1実施形態の液滴吐出装置IJと比較して、制御装置11を、ステージ移動装置3、液滴吐出ヘッド5及びキャリッジ移動装置6に近づけて配置することができる。したがって、制御装置11とステージ移動装置3、液滴吐出ヘッド5及びキャリッジ移動装置6とを接続する伝送経路の長さを短くすることができ、信号の伝送損失を減少させることが可能となる。
Further, in the droplet discharge device IJ of the present embodiment, the control device 11 is installed inside the thermal chamber 100.
Therefore, the control device 11 can be arranged closer to the stage moving device 3, the droplet discharging head 5, and the carriage moving device 6 as compared with the droplet discharging device IJ of the first embodiment. Accordingly, it is possible to shorten the length of the transmission path connecting the control device 11 to the stage moving device 3, the droplet discharge head 5, and the carriage moving device 6, and it is possible to reduce signal transmission loss.

以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもなく、上記各実施形態を組み合わせても良い。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。   The preferred embodiments according to the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings. However, it goes without saying that the present invention is not limited to such examples, and the above embodiments may be combined. It is obvious for those skilled in the art that various changes or modifications can be conceived within the scope of the technical idea described in the claims. It is understood that it belongs to.

例えば、上記実施形態においては、本発明の気流供給手段が、ダウンフローYを噴き出す噴出装置200である構成について説明した。
しかしながら、本実施形態はこれに限定されるものではなく、液滴吐出ヘッドに向けて気流を噴き出す装置であれば、本発明の気流供給手段となりうる。
For example, in the above-described embodiment, the configuration in which the airflow supply unit of the present invention is the ejection device 200 that ejects the downflow Y has been described.
However, the present embodiment is not limited to this, and any airflow supply means of the present invention can be used as long as it is an apparatus that ejects an airflow toward the droplet discharge head.

また、上記実施形態においては、液滴吐出装置IJがサーマルチャンバー100によって囲まれている構成について説明した。
しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、液滴吐出装置IJがサーマルチャンバー100に囲まれていない構成を採用することもできる。例えば、液滴吐出装置IJを、断熱機能を有さない部屋の内部に収容する構成を採用することもできる。
In the above embodiment, the configuration in which the droplet discharge device IJ is surrounded by the thermal chamber 100 has been described.
However, the present invention is not limited to this, and a configuration in which the droplet discharge device IJ is not surrounded by the thermal chamber 100 can also be adopted. For example, a configuration in which the droplet discharge device IJ is accommodated in a room that does not have a heat insulating function may be employed.

また、上記実施形態においては、本発明の発熱部が制御装置11である構成について説明した。
しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、発熱部は制御装置11に限られるものではない。
Moreover, in the said embodiment, the structure which the heat generating part of this invention is the control apparatus 11 was demonstrated.
However, the present invention is not limited to this, and the heat generating unit is not limited to the control device 11.

また、上記実施形態においては、制御装置11がサーマルチャンバー100の壁面に設置された構成について説明した。
しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、サーマルチャンバー100の壁面以外の場所に設置しても良い。
Moreover, in the said embodiment, the structure in which the control apparatus 11 was installed in the wall surface of the thermal chamber 100 was demonstrated.
However, the present invention is not limited to this, and may be installed at a place other than the wall surface of the thermal chamber 100.

また、上記実施形態においては、カラーフィルター材料を機能液として吐出可能な液滴吐出装置IJと、当該液滴吐出装置IJを用いたカラーフィルターの製造方法について説明した。
しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、他の機能液を吐出する液滴吐出装置に適用することも可能である。
Further, in the above-described embodiment, the droplet discharge device IJ that can discharge a color filter material as a functional liquid and the method for manufacturing a color filter using the droplet discharge device IJ have been described.
However, the present invention is not limited to this, and can also be applied to a droplet discharge device that discharges another functional liquid.

IJ……液滴吐出装置、Y……ダウンフロー(気流)、5……液滴吐出ヘッド、11……制御装置(発熱部)、100……サーマルチャンバー、200……噴出装置(気流供給手段)   IJ: Droplet discharge device, Y: Down flow (airflow), 5 ... Droplet discharge head, 11 ... Control device (heat generating part), 100 ... Thermal chamber, 200 ... Ejection device (airflow supply means) )

Claims (5)

機能液を吐出するノズルを有する液滴吐出ヘッドを備えると共に、気流供給手段から供給される気流に晒される液滴吐出装置であって、
動作することによって発熱する発熱部を備え、該発熱部が前記気流供給手段と前記液滴吐出ヘッドとの間を避けて配置されていることを特徴とする液滴吐出装置。
A droplet discharge device including a droplet discharge head having a nozzle for discharging a functional liquid and exposed to an air flow supplied from an air flow supply unit,
A droplet discharge apparatus comprising a heat generating portion that generates heat when operated, and the heat generating portion is disposed so as to avoid a space between the air flow supply means and the droplet discharge head.
前記気流供給手段を支持するサーマルチャンバーに囲われると共に、前記発熱部が前記サーマルチャンバーの外壁に設置されていることを特徴とする請求項1記載の液滴吐出装置。   2. The droplet discharge device according to claim 1, wherein the droplet discharge device is surrounded by a thermal chamber that supports the air flow supply means, and the heat generating portion is installed on an outer wall of the thermal chamber. 前記気流供給手段は、前記気流としてダウンフローを噴き出す噴出装置であることを特徴とする請求項1または2記載の液滴吐出装置。   The droplet discharge device according to claim 1, wherein the airflow supply unit is a jetting device that jets downflow as the airflow. 前記発熱部は、制御装置であることを特徴とする請求項1〜3いずれかに記載の液滴吐出装置。   The droplet discharge device according to claim 1, wherein the heat generating unit is a control device. 請求項1〜4いずれかに記載の液滴吐出装置を用いて、基材上に設けられた所定領域に前記機能液を配置してカラーフィルターを形成することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。   A method for producing a color filter, comprising: using the droplet discharge device according to claim 1 to form a color filter by arranging the functional liquid in a predetermined region provided on a substrate. .
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