JP2010239724A - Drive, xy stage, and xyz stage - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、電磁力を利用した駆動装置、それを駆動源とした半導体製造装置や産業用機械に用いられるXYステージ、及びXYZステージに関するものである。 The present invention relates to a drive device using electromagnetic force, an XY stage and an XYZ stage used in a semiconductor manufacturing apparatus or industrial machine using the drive device as a drive source.
従来のステージでは駆動源として円筒型のアクチュエータや磁極歯を交互に並べた駆動装置が利用されている。〔特許文献1〕には、同一巻線で磁極歯を交互に組み合わせて構成されたテーブルが記載されている。また、〔特許文献2〕にも、極性の異なる第一の対向部と第二の対向部を有する駆動装置を用いたテーブルが記載されている。 A conventional stage uses a cylindrical actuator or a driving device in which magnetic pole teeth are alternately arranged as a driving source. [Patent Document 1] describes a table configured by alternately combining magnetic pole teeth with the same winding. [Patent Document 2] also describes a table using a driving device having a first facing portion and a second facing portion having different polarities.
従来のXYZステージの駆動装置は漏れ磁束が多いため、大きく重くなる。そのため、駆動装置の重量が重いことにより自重による変形が発生し、精度低下や取り付け場所の制約を受ける等の課題がある。 Since the conventional XYZ stage driving device has a large amount of leakage magnetic flux, it becomes large and heavy. For this reason, there is a problem in that deformation due to its own weight occurs due to the heavy weight of the drive device, and the accuracy is reduced and the installation location is restricted.
本発明の目的は、小型軽量な駆動装置を提供するとともに、小型軽量な駆動装置により精度向上、及び高応答のXYステージ又はXYZステージを提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a small and light driving device, and to provide an XY stage or an XYZ stage with improved accuracy and high response by the small and light driving device.
本発明の一つの特徴は、永久磁石の両側に空隙を介して配置された磁極歯と、これらの磁極歯をつなぐ鉄心と、前記複数の磁極歯に巻かれた電機子巻線を有した電機子と、磁極が交互になるように配置された永久磁石列からなることにより小型軽量な駆動装置で構成したステージである。 One feature of the present invention is that an electric machine having magnetic pole teeth arranged on both sides of a permanent magnet via a gap, an iron core connecting these magnetic pole teeth, and an armature winding wound around the magnetic pole teeth. It is a stage constituted by a small and light drive device by comprising a permanent magnet array in which a child and magnetic poles are alternately arranged.
さらに、駆動装置に必要な推力パターンに応じて電機子の磁極の数を変えることにより、駆動装置が小型で軽量に構成できる。 Furthermore, by changing the number of magnetic poles of the armature according to the thrust pattern required for the drive device, the drive device can be configured to be small and lightweight.
本発明によれば、小型軽量な駆動装置を構成できるため、駆動部の重量を低減でき、高精度および高応答なXYステージ又はXYZステージを提供できる。 According to the present invention, since a small and lightweight drive device can be configured, the weight of the drive unit can be reduced, and a highly accurate and highly responsive XY stage or XYZ stage can be provided.
本発明の実施例を図面を用いて以下説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
図1は本発明の実施例1による駆動装置を構成する電機子ユニットの斜視図である。電機子ユニット10は、1相分の巻線1,複数の磁極2で構成される固定子3および永久磁石4の列を含む磁石列12からなる。図2は、本発明の実施例1による駆動装置の電機子ユニット10を磁石列12の進行方向と直角の面で切断した断面図である。磁極2は図2に示すように、磁石4に対向するように配置された上磁極歯6と下磁極歯7およびそれらをつなぐ鉄心8で構成される。巻線1は複数の磁極2の上下磁極歯6,7の部分に同一にまかれている。巻線1は磁極2の他の部分に巻くことも可能であり、上下磁極歯6,7および鉄心8は一体で構成することも可能である。
FIG. 1 is a perspective view of an armature unit constituting the drive device according to the first embodiment of the present invention. The
図1に示す磁石列12は、隣り合う磁石の磁極が逆になるように配置された磁石4を備えている。固定子3は、通常は構造物等に固定され、磁石4を備えた磁石列12が、固定子3に対して相対的に移動する。磁石列12を固定し、磁極2側を動かす構成も可能である。
The
図3は本発明の実施例1による駆動装置を構成する電機子ユニット10を磁石列12の進行方向と平行な面で切断した断面図である。磁石のピッチをPとした場合、磁極2は磁石列12の進行方向に間隔を略2nP毎になるように配置されている。ここでnはn=1,2,3,・・・である。電機子ユニットを構成する磁極2のピッチは略2nPとしたが、ピッチを調整することで推力の脈動を低減できる。
FIG. 3 is a cross-sectional view of the
図4は、図3に示した、磁極2を4つで構成した電機子ユニット10を3つ用いて、3相で駆動する駆動装置の例である。磁石列12の進行方向の、磁石4のピッチをPとした場合、2P/M(Mは駆動装置の相数)の位相差をもって電機子ユニット10を配置することで、駆動装置が構成できる。電機子ユニット10間のピッチをkP+(2P/M)(k=1,2,3,・・・)とすることで、M相の交流で駆動することができる。M個の電機子ユニット10でM相の駆動装置が構成できることになる。図4では、電機子ユニット10の磁極2の数は4極としたが、それに限定されるものではない。
FIG. 4 shows an example of a driving device that uses three
図5は、図4で示した駆動装置11でXYステージを構成した例である。ベース14に磁石列固定台13が取り付けられている。X軸磁石列121は、磁石列固定台13によって保持され、X軸駆動装置111はX軸磁石列121に対して一定の間隔を保つように配置される。X軸方向の駆動は、X方向と平行に設置された2台のX軸駆動装置111により駆動される。また、X軸駆動装置111に設置された磁石列固定台131には、Y軸磁石列122が固定される。この磁石列に対して、Y軸駆動装置112が相対移動することによりXY軸のステージとして動作が可能である。本発明の駆動装置でX軸およびY軸の駆動装置を構成することで、X軸およびY軸の磁石列121、122の軽量化が可能になり、装置全体が軽量になる。また、X軸およびY軸の駆動装置が軽量になりシステムの応答性の向上や負荷が低減される。
FIG. 5 shows an example in which an XY stage is configured by the
図6は、本発明の実施の形態2の構成を示している。X軸およびY軸を図4に示す駆動装置で構成したXYステージに、Z軸ベース141を搭載し、Z軸駆動装置113およびZ軸磁石列123を備えている。また、Z軸ベース141等を設置しなくても、Y軸駆動装置112等に直接Z軸駆動装置113を固定することも可能である。本実施例では、Z軸の駆動装置を軽量に構成できるため、従来はXY軸が駆動した際に発生する、Z軸の自重等による変形によって、各軸間の相対的な位置の変化が発生しまっていたが、駆動部の重量を低減することで、各軸間の相対的な位置が安定し、位置精度が向上する。さらに、ステージ全体の重量の低減ができるため負荷低減によりステージの応答性が向上する。
FIG. 6 shows the configuration of the second embodiment of the present invention. A Z-
図7は本発明の実施の形態3を示している。図7は本発明によるZ軸駆動システムの構成図を示す。Z軸ベース141に駆動装置11が取り付けられている。本発明の構成では、漏れ磁束の低減によりZ軸磁石列123を軽量に製作することが可能である。Z軸方向は重力の働く方向であり、Z軸磁石列123の重量が常に負荷として発生している、このためZ軸磁石列の自重を支えるために駆動装置11に電力を供給する必要がある。本発明では、軽量なZ軸磁石列123を構成できるので、自重を支えるための電力が小さくてよい。また、Z軸磁石列123の自重により磁石列が落下しようとする際に、磁石4の吸引力により落下を妨げる方向に力が発生し、磁石列の落下も防止できる。さらに、Z軸磁石列123が軽量であることから、磁石列123の位置決めをする際の応答性や位置精度を向上させることが可能である。同時に、Z軸駆動システム全体の重量が軽く、小さく構成できるため取り付け空間の制約を受けにくく、取り付け作業性も向上する。
FIG. 7 shows
図8は本発明の実施の形態4の実施例を示している。図8は3つの電機子ユニットで駆動装置を構成した例である。本発明の駆動装置では、必要な推力パターンに応じて電機子ユニットの磁極の数を変えることにより、小型軽量な駆動装置が構成できることを示している。図8は、磁極数4極の電機子ユニット103が2台、磁石数2極の電機子ユニット102を1台として駆動装置を構成した例である。たとえば、磁石列12の位置によって必要な推力が異なる場合、電機子ユニットの磁極数を変えて構成することにより小型軽量な駆動装置が構成できる。
FIG. 8 shows an example of the fourth embodiment of the present invention. FIG. 8 shows an example in which a driving device is configured by three armature units. In the drive device of the present invention, it is shown that a small and light drive device can be configured by changing the number of magnetic poles of the armature unit according to a required thrust pattern. FIG. 8 shows an example in which the driving device is configured with two
図9は、磁極4極の電機子ユニット103と、磁石3極の電機子ユニット101と、磁石2極の電機子ユニット102で駆動装置を構成した例である。図10は、磁極4極の電機子ユニット103と、磁極2極の電機子ユニット102を2台で、駆動装置を構成した例である。各電機子ユニットの間隔は、必要な推力のパターンによって変えることが可能である。たとえば、M個の電機子ユニットをM相の交流で駆動する際には、電機子ユニット間のピッチをkP+(2P/M)(k=1,2,3,・・・)とすることが可能である。また、必要な推力パターンに応じて電機子ユニットの配置間隔を調整することも可能である。
FIG. 9 shows an example in which a driving device is configured by an
図11は、本発明の実施の形態5を示している。図11は、図4で示した駆動装置の電機子ユニット10に配置される巻線の巻数または線の断面積を電機子ユニット毎に変えた場合の実施例である。
FIG. 11 shows a fifth embodiment of the present invention. FIG. 11 shows an embodiment in which the number of windings or the cross-sectional area of the wires arranged in the
図11は3つの電機子ユニット10で駆動装置11を構成した例である。各々の電機子ユニットは4つの磁極で構成されているが、それに限定されるもではなく、電機子ユニット毎に磁極の数が異なってもよい。更には、電機子ユニットに設置された巻線301、巻線302、巻線303の巻数を変化させることでも必要な推力パターンに応じた推力を発生できる。
FIG. 11 shows an example in which the
たとえば、大きな推力を必要とする電機子ユニットは巻数を増やすことで実現できる。更に、発熱を小さくしたい電機子ユニットがあれば、その電機子ユニットの巻線の断面積を増やすことで可能になる。また、図11に示した駆動装置で、中央部のみ発熱を小さくしたい場合は、中央部の電機子ユニットの巻線断面積を大きくし、両端の電機子ユニットの巻線は中央部の巻線断面積に対して小さくして構成することにより発熱部位のコントロールが可能である。このように推力パターンや発熱を考慮して電機子ユニットの巻線の巻数や断面積を変えることにより小型軽量な駆動装置が構成できる。また、巻線の巻数や断面積を変えることで電機子ユニット毎のインダクタンスや抵抗などが変化し、電機子ユニット毎に応答性をコントロールすることも可能になる。 For example, an armature unit that requires a large thrust can be realized by increasing the number of turns. Furthermore, if there is an armature unit for which heat generation is desired to be reduced, this can be achieved by increasing the cross-sectional area of the winding of the armature unit. Further, in the driving apparatus shown in FIG. 11, when it is desired to reduce the heat generation only in the central portion, the winding cross-sectional area of the armature unit in the central portion is increased, and the windings of the armature units at both ends are the windings in the central portion. It is possible to control the heat generation part by making it small with respect to the cross-sectional area. In this way, a small and lightweight drive device can be configured by changing the number of windings and the cross-sectional area of the armature unit in consideration of the thrust pattern and heat generation. In addition, by changing the number of windings and the cross-sectional area, the inductance, resistance, and the like of each armature unit change, and it becomes possible to control responsiveness for each armature unit.
図12は本発明の実施の形態6を示している。図12の駆動装置11は、図4で示した駆動装置を示しており、これらの制御系を開示している。この駆動装置においては、固定子と磁石列の相対的な位置を検出するリニアスケール205が配置される。リニアスケール205は、固定子と磁石列の相対的な位置が検出できれば設置場所を問わない。リニアスケールより得られた位置情報は、磁極位置(位相)情報として電流制御器203にフィードバックされ、磁石列の磁束と固定子の作る磁束を所定の位相差を保つように制御される。リニアスケール205の情報は、位置情報および速度情報として位置制御器201,速度制御器202にフィードバックされ、それらの値から電流制御器によって駆動装置の電機子ユニットの巻線に流す電流を演算して求めている。その電流値になるようにパワーアンプ204の出力を調整する。パワーアンプ204の出力の電流値の情報は電流制御器にフィードバックされ駆動装置の推力が所定の値になるように制御される。
FIG. 12 shows a sixth embodiment of the present invention. The
本発明の駆動装置において図12に示すような制御系、及び制御ループを構成することで、軽量な磁石列および大きな推力を発生できる駆動装置によって、応答性が高く精度のよい駆動システムが構築できる。 By constructing a control system and a control loop as shown in FIG. 12 in the drive device of the present invention, a highly responsive and accurate drive system can be constructed with a light magnet array and a drive device capable of generating a large thrust. .
図13は、本発明の実施の形態7を示している。図13は、3つの電機子ユニットで駆動装置を構成した場合の制御系のブロック線図である。3つの電機子ユニット10の磁極の数は同じ数で構成されている。3つの電機子ユニットに共通に配置された磁石列12にリニアスケール205が取り付けられている。その信号をもとに、磁石列と電機子ユニットの間の磁極位置,速度,位置の情報を相電流指令206,速度制御器202および位置制御器201にフィードバックしている。相電流指令206において各電機子ユニット10に流す電流値を演算する。その指令に従って電流制御器203において電流を調整し、パワーアンプ204によって電力を供給する。本発明の構成では、1つの電機子ユニット10に対して、それぞれの独立した電流制御系をもつことが特徴である。このようにすることで、電機子ユニットの製作上のアンバランスを電流値によって制御することが可能である。また、その他の外乱などの影響も低減できる。図14は、構成する電機子ユニットの磁極の数が異なる場合の制御ブロック線図を示す。必要な推力パターンに応じて配置した磁極数の異なる電機子ユニットのアンバランス等を個別にコントロール可能になり制御性が向上する。また、電流値を個々に制御することにより電機子ユニット毎にディテントや推力の脈動などの制御も可能になる。図14はその一例として、電機子ユニット10の磁極の数をそれぞれ4極,3極および2極として構成した場合のブロック線図を示す。
FIG. 13 shows a seventh embodiment of the present invention. FIG. 13 is a block diagram of a control system in the case where the drive device is configured by three armature units. The three
図15は、本発明の実施の形態8を示している。図15は、3つの電機子ユニット10に共通に配置された磁石列12と電機子ユニット10の相対的な位置関係を検出するリニアスケールの信号から磁極位置,速度,位置をフィードバックし制御系が構成されている。構成される3つの電機子ユニット10をU相,V相,W相をとした場合、各相の電流指令値iu*,iv*,iw*はリニアスケール205の位置情報をもとに、電流値演算207および相電流指令206によって演算される。電流値演算207では、各磁石列の位置における電流と推力の関係から電流指令値i*が求められる。その電流指令値i*をもとに各相への電流の振り分けが行われる。その相電流指令値iu*,iv*,iw*に従って、各電機子ユニットの電流制御を行う。たとえば、磁極の磁気飽和により単位電流に対する推力の低下が発生した場合にも制御が可能になり、制御できる範囲が拡大し制御性が向上する。また、電機子ユニットに個別に発生した外乱の補正や精密な制御が可能になる。
FIG. 15 shows an eighth embodiment of the present invention. FIG. 15 shows a control system that feeds back the magnetic pole position, velocity, and position from a linear scale signal that detects the relative positional relationship between the
たとえば、電機子ユニット10の巻線や磁極数などを電機子ユニット毎に変えた場合においても、推力指令f*に対する電流指令i*を磁石列12の位置によって変えることにより推力の制御を行う。推力指令f*から電流指令i*を求める時に、磁石列の位置情報を使って計算することにより電機子ユニットのアンバランスや外乱等を抑制することが可能になる。
For example, even when the windings, the number of magnetic poles, and the like of the
図16は本発明の実施の形態9を示している。 FIG. 16 shows Embodiment 9 of the present invention.
図16(a)は4極で構成された電機子ユニット1および電気子ユニット2、2極で構成された電機子ユニット3からなる駆動装置を示している。
FIG. 16 (a) shows a driving device including an
各電機子ユニットは磁石のピッチを180°とした場合、位相差が120°になるように配置されている。また、本実施例では磁石ピッチPは12mmとしている。 Each armature unit is arranged so that the phase difference is 120 ° when the magnet pitch is 180 °. In this embodiment, the magnet pitch P is 12 mm.
また、この駆動装置の推力特性を図16(b)に示す。 FIG. 16B shows the thrust characteristics of this drive device.
この図16(b)のグラフは磁石列の位置によって駆動装置の推力が変化していることを示している。グラフ405は駆動装置として要求されている必要な推力を示し、グラフ401,402,403はそれぞれ電機子ユニット1〜3の推力を示している。そして、グラフ404は電機子ユニット1〜3の合計推力を示している。
The graph of FIG. 16B shows that the thrust of the drive device changes depending on the position of the magnet row. A graph 405 indicates the necessary thrust required for the driving device, and graphs 401, 402, and 403 indicate the thrusts of the
このグラフが示すように、電機子ユニット1推力401の最大値、および電機子ユニット2推力402の最大推力は400Nであるのに対し、電機子ユニット3推力403の最大値は200Nとなる。たとえば、磁石列位置が0から6mmの範囲では必要な推力が500Nで磁石位置6mmから10mmでは650Nの推力が必要になり、磁石位置10mmから12mmでは必要な推力が550Nに小さく変化するようなパターンの必要な推力405が与えられた場合、推力の小さな範囲の電機子ユニット3の極数を少なくすることで小型軽量化が可能になる。
As shown in this graph, the maximum value of the
また、図16(b)において、磁石列位置7から9mmの位置で往復運動するような際には、電機子ユニット1推力401および電機子ユニット2推力402が大きく、電機子ユニット3の推力はほぼ0に近い。このような場合は、さらに電機子ユニットの極数を減らす、または電機子ユニット1および電機子ユニット2で駆動装置を構成することも可能である。このように、必要な推力のパターンに応じて電機子ユニットの磁極数や巻線および位置などを変えることによって小型軽量な駆動装置が提供できる。
Further, in FIG. 16B, when reciprocating at a position of 9 mm from the
図17は本発明によるXYZステージの1例を示す。2つのX軸駆動装置111および2つのY軸駆動装置112、合計4つの駆動装置でXYステージを構成し、ステージの外側にZ軸ベース141を設置し、Z軸ベース141にZ軸駆動装置113を配置した例である。
FIG. 17 shows an example of an XYZ stage according to the present invention. The XY stage is constituted by a total of four drive devices, two
図18は、本発明によるXYZステージの1例を示す。ステージのレイアウトや磁石列の配置に対する制約等によって磁石列を水平に配置したり、組みあわせて構成することが可能である。 FIG. 18 shows an example of an XYZ stage according to the present invention. It is possible to arrange the magnet rows horizontally or combine them depending on the layout of the stage and restrictions on the arrangement of the magnet rows.
尚、上述した本発明の実施例では、電機子ユニットの数,電機子ユニットの磁極の数,巻線の巻数や断面積を変えた場合の一例を示したが、同様の効果が得られれば、それに限定されるものではない。 In the above-described embodiment of the present invention, an example in which the number of armature units, the number of magnetic poles of the armature unit, the number of turns of the winding and the cross-sectional area is changed is shown. It is not limited to that.
1,301,302,303 巻線
2 磁極
3 固定子
4 磁石
6 上磁極歯
7 下磁極歯
8 鉄心
10 電機子ユニット
11 駆動装置
12 磁石列
13,131 磁石列固定台
14 ベース
15 レール
16 ステージ
101 電機子ユニット(3極)
102 電機子ユニット(2極)
103 電機子ユニット(4極)
111 X軸駆動装置
112 Y軸駆動装置
113 Z軸駆動装置
121 X軸磁石列
122 Y軸磁石列
123 Z軸磁石列
141 Z軸ベース
151 レール台
201 位置制御器
202 速度制御器
203 電流制御器
204 パワーアンプ
205 リニアスケール
206 相電流指令
207 電流値演算
1, 301, 302, 303
102 Armature unit (2 poles)
103 Armature unit (4 poles)
111 X-axis drive device 112 Y-axis drive device 113 Z-axis drive device 121 X-axis magnet row 122 Y-axis magnet row 123 Z-axis magnet row 141 Z-
Claims (12)
前記磁極が永久磁石の両側に空隙を介して対向配置された磁極歯を有し、
かつ、空隙を介して対向配置された磁極歯をつなぐ鉄心を有し、
かつ、前記磁極を複数個有し、複数個の磁極が同じ極性を有した駆動装置を備えることを特徴とするXYステージ。 In the drive device in which the armature unit composed of the magnetic pole and the winding and the magnet array having the permanent magnet are relatively movable,
The magnetic pole has magnetic pole teeth disposed opposite to each other with a gap on both sides of the permanent magnet,
And it has an iron core that connects the pole teeth arranged opposite to each other through a gap,
An XY stage comprising a driving device having a plurality of the magnetic poles, wherein the plurality of magnetic poles have the same polarity.
前記磁極が永久磁石の両側に空隙を介して対向配置された磁極歯を有し、
かつ、空隙を介して対向配置された磁極歯をつなぐ鉄心を有し、
かつ、前記磁極を複数個有し、複数個の磁極が同じ極性を有した駆動装置を備えることを特徴とするXYZステージ。 In the drive device in which the armature unit composed of the magnetic pole and the winding and the magnet array having the permanent magnet are relatively movable,
The magnetic pole has magnetic pole teeth disposed opposite to each other with a gap on both sides of the permanent magnet,
And it has an iron core that connects the pole teeth arranged opposite to each other through a gap,
An XYZ stage comprising a driving device having a plurality of the magnetic poles, wherein the plurality of magnetic poles have the same polarity.
前記磁極が永久磁石の両側に空隙を介して対向配置された磁極歯を有し、
かつ、空隙を介して対向配置された磁極歯をつなぐ鉄心を有し、
かつ、前記磁極を複数個有し、複数個の磁極が同じ極性を有した駆動装置を備えることを特徴とするZ軸用の駆動装置。 In the drive device in which the armature unit composed of the magnetic pole and the winding and the magnet array having the permanent magnet are relatively movable,
The magnetic pole has magnetic pole teeth disposed opposite to each other with a gap on both sides of the permanent magnet,
And it has an iron core that connects the pole teeth arranged opposite to each other through a gap,
A drive device for Z-axis, comprising: a drive device having a plurality of the magnetic poles, wherein the plurality of magnetic poles have the same polarity.
前記磁極が永久磁石の両側に空隙を介して対向配置された磁極歯を有し、
かつ、空隙を介して対向配置された磁極歯をつなぐ鉄心を有し、
かつ、前記磁極を複数個有し、複数個の磁極が同じ極性を有した電機子ユニットを複数個配置し、
該複数個の電機子ユニットを構成する磁極の数が電機子ユニット毎に異なることを特徴とした駆動装置。 In the drive device in which the armature unit composed of the magnetic pole and the winding and the magnet array having the permanent magnet are relatively movable,
The magnetic pole has magnetic pole teeth disposed opposite to each other with a gap on both sides of the permanent magnet,
And it has an iron core that connects the pole teeth arranged opposite to each other through a gap,
And a plurality of armature units having a plurality of the magnetic poles, the plurality of magnetic poles having the same polarity,
A drive device characterized in that the number of magnetic poles constituting the plurality of armature units is different for each armature unit.
前記磁極が永久磁石の両側に空隙を介して対向配置された磁極歯を有し、
かつ、空隙を介して対向配置された磁極歯をつなぐ鉄心を有し、
かつ、前記磁極を複数個有し、複数個の磁極が同じ極性を有した電機子ユニットを複数個配置し、
該複数個の電機子ユニットを構成する巻線の巻数、かつ/または該巻線の巻線断面積が電機子ユニット毎に異なることを特徴とした駆動装置。 In the drive device in which the armature unit composed of the magnetic pole and the winding and the magnet array having the permanent magnet are relatively movable,
The magnetic pole has magnetic pole teeth disposed opposite to each other with a gap on both sides of the permanent magnet,
And it has an iron core that connects the pole teeth arranged opposite to each other through a gap,
And a plurality of armature units having a plurality of the magnetic poles, the plurality of magnetic poles having the same polarity,
A driving device characterized in that the number of windings constituting the plurality of armature units and / or the winding cross-sectional area of the windings differ for each armature unit.
前記磁極が永久磁石の両側に空隙を介して対向配置された磁極歯を有し、
かつ、空隙を介して対向配置された磁極歯をつなぐ鉄心を有し、
かつ、前記磁極を複数個有し、複数個の磁極が同じ極性を有した電機子ユニットを複数個配置し、
磁石列と電機子ユニットの相対的な位置を検出するセンサと、その信号をフィードバックする制御部と、電力を供給するパワードライブ部からなるクローズドループ制御システムを構成することを特徴した駆動装置。 In the drive device in which the armature unit composed of the magnetic pole and the winding and the magnet array having the permanent magnet are relatively movable,
The magnetic pole has magnetic pole teeth disposed opposite to each other with a gap on both sides of the permanent magnet,
And it has an iron core that connects the pole teeth arranged opposite to each other through a gap,
And a plurality of armature units having a plurality of the magnetic poles, the plurality of magnetic poles having the same polarity,
A drive device comprising a closed loop control system comprising a sensor that detects a relative position between a magnet array and an armature unit, a control unit that feeds back a signal thereof, and a power drive unit that supplies electric power.
前記磁極が永久磁石の両側に空隙を介して対向配置された磁極歯を有し、
かつ、空隙を介して対向配置された磁極歯をつなぐ鉄心を有し、
かつ、前記磁極を複数個有し、複数個の磁極が同じ極性を有した電機子ユニットを複数個配置し、
磁石列と電機子ユニットの相対的な位置を検出するセンサと、その信号をフィードバックする制御部と、電力を供給するパワードライブ部を備えたクローズドループ制御システムを構成し、
前記複数個の電機子ユニットに対して複数個の前記パワードライブ部を備えたことを特徴とする駆動装置。 In the drive device in which the armature unit composed of the magnetic pole and the winding and the magnet array having the permanent magnet are relatively movable,
The magnetic pole has magnetic pole teeth disposed opposite to each other with a gap on both sides of the permanent magnet,
And it has an iron core that connects the pole teeth arranged opposite to each other through a gap,
And a plurality of armature units having a plurality of the magnetic poles, the plurality of magnetic poles having the same polarity,
A closed loop control system comprising a sensor that detects the relative position of the magnet array and the armature unit, a control unit that feeds back the signal, and a power drive unit that supplies power,
A driving apparatus comprising a plurality of the power drive units for the plurality of armature units.
前記磁極が永久磁石の両側に空隙を介して対向配置された磁極歯を有し、
かつ、空隙を介して対向配置された磁極歯をつなぐ鉄心を有し、
かつ、前記磁極を複数個有し、複数個の磁極が同じ極性を有した電機子ユニットを複数個配置し、
磁石列と電機子ユニットの相対的な位置を検出するセンサと、その信号をフィードバックする制御部と、電力を供給するパワードライブ部を備えたクローズドループ制御システムを構成し、
前記複数個の電機子ユニットに対して与えられた複数個の電機子ユニットの電流と推力の特性に応じて制御を行うことを特徴とした制御システムを構成することを特徴とした駆動装置。 In the drive device in which the armature unit composed of the magnetic pole and the winding and the magnet array having the permanent magnet are relatively movable,
The magnetic pole has magnetic pole teeth disposed opposite to each other with a gap on both sides of the permanent magnet,
And it has an iron core that connects the pole teeth arranged opposite to each other through a gap,
And a plurality of armature units having a plurality of the magnetic poles, the plurality of magnetic poles having the same polarity,
A closed loop control system comprising a sensor that detects the relative position of the magnet array and the armature unit, a control unit that feeds back the signal, and a power drive unit that supplies power,
A drive apparatus comprising a control system that performs control in accordance with characteristics of current and thrust of a plurality of armature units applied to the plurality of armature units.
前記磁極が永久磁石の両側に空隙を介して対向配置された磁極歯を有し、
かつ、空隙を介して対向配置された磁極歯をつなぐ鉄心を有し、
かつ、前記磁極を複数個有し、複数個の磁極が同じ極性を有した電機子ユニットを複数個配置し、
磁石列と電機子ユニットの相対的な位置を検出するセンサと、その信号をフィードバックする制御部と、電力を供給するパワードライブ部を備えたクローズドループ制御システムを構成し、
前記複数個の電機子ユニットに対して与えられた推力指令に対して、磁石列の位置情報を用いて電流指令を計算する制御システムを構成することを特徴とした駆動装置。 In the drive device in which the armature unit composed of the magnetic pole and the winding and the magnet array having the permanent magnet are relatively movable,
The magnetic pole has magnetic pole teeth disposed opposite to each other with a gap on both sides of the permanent magnet,
And it has an iron core that connects the pole teeth arranged opposite to each other through a gap,
And a plurality of armature units having a plurality of the magnetic poles, the plurality of magnetic poles having the same polarity,
A closed loop control system comprising a sensor that detects the relative position of the magnet array and the armature unit, a control unit that feeds back the signal, and a power drive unit that supplies power,
A drive apparatus comprising a control system for calculating a current command using position information of a magnet array for a thrust command given to the plurality of armature units.
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