本発明は上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
第１の形態の圧力センサーは、感圧素子と、可撓部と、前記可撓部に配置されていて前記感圧素子と接続している一対の支持部と、を有するダイアフラムと、を備え、前記一対の支持部の並びの方向で前記可撓部の縁辺と前記支持部との間の距離が前記可撓部の長さの４％から９％の範囲内であることを特徴とする圧力センサー。
このような特徴を有する圧力センサーによれば、製造バラツキによる受圧感度の劣化を防ぎ、かつ高い受圧感度を持つことを実現することができる。
第２の形態の圧力センサーは、前記支持部は、前記可撓部から突設している島部であることを特徴とする第１の形態に記載の圧力センサー。
このような特徴を有することにより、支持部は可撓部上において一定の位置となる。よって、接合時にズレ等が生ずる虞が無い。
第３の形態の圧力センサーは、前記感圧素子は圧電素子であることを特徴とする第１または第２の形態に記載の圧力センサー。
このような特徴を有することにより、感圧素子の制御が容易となる。
第４の形態の圧力センサーは、前記感圧素子が、少なくとも一以上の柱状ビームから構成されている感圧部を有することを特徴とする第１乃至第３の形態のいずれか１つに記載の圧力センサー。
このような構成の感圧部を有する感圧素子とすることで、他の振動素子に比べて圧力検出の感度を良好に保つことができる。
第５の形態の圧力センサーは、前記ダイアフラムは平面視で矩形であり、前記一対の支持部の並びの方向が長辺の方向であることを特徴とする第１乃至第４の形態のいずれか１つに記載の圧力センサー。
第６の形態の圧力センサーは、前記感圧素子との間に空間を有するように、前記ダイアフラムにベースを積層したことを特徴とする第１乃至第５の形態のいずれか１つに記載の圧力センサー。
このような構成とすることで、感圧素子の感圧部がキャビティ内において他の構成要素と接触する虞が無い。
第７の形態の圧力センサーは、前記ベースの前記ダイアフラムに対向する側の面に発振回路を備えたことを特徴とする第６の形態に記載の圧力センサー。
このような構成とすることにより、１パッケージで圧力センサーとして動作させることが可能となる。
また、本発明に係る適用例は、以下の通りである。
［適用例１］感圧部と該感圧部の両端に接続される一対の基部とを有する感圧素子と、一方の面が圧力を受圧する受圧部であって、他方の面に前記感圧素子の前記一対の基部を固定するための一対の支持部を有し、前記受圧部が受圧したときに撓む領域を可撓部とするダイアフラムと、を備え、前記支持部を、前記受圧部が前記圧力を受圧したときに前記可撓部に生じる応力が最も大きくなる領域を通過する軸線上であって、前記可撓部の縁辺から前記可撓部の長さの４％から９％の範囲内に、前記支持部の端部が位置するように配置したことを特徴とする圧力センサー。
このような特徴を有する圧力センサーによれば、製造バラツキによる受圧感度の劣化を防ぎ、かつ高い受圧感度を持つことを実現することができる。
SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.
A pressure sensor according to a first aspect includes a diaphragm having a pressure-sensitive element, a flexible portion, and a pair of support portions disposed in the flexible portion and connected to the pressure-sensitive element. The distance between the edge of the flexible part and the support part in the direction in which the pair of support parts are arranged is in the range of 4% to 9% of the length of the flexible part. pressure sensor.
According to the pressure sensor having such characteristics, it is possible to prevent deterioration of pressure receiving sensitivity due to manufacturing variations and to have high pressure receiving sensitivity.
The pressure sensor according to the first aspect is characterized in that, in the pressure sensor according to the second aspect, the support part is an island part protruding from the flexible part.
By having such a feature, the support portion is in a fixed position on the flexible portion. Therefore, there is no possibility that a deviation or the like occurs during joining.
The pressure sensor according to the first or second aspect, wherein the pressure sensitive element is a piezoelectric element.
By having such characteristics, the pressure sensitive element can be easily controlled.
The pressure sensor according to a fourth aspect is the pressure sensor according to any one of the first to third aspects, in which the pressure-sensitive element includes a pressure-sensitive portion including at least one or more columnar beams. Pressure sensor.
By using a pressure-sensitive element having a pressure-sensitive portion having such a configuration, the sensitivity of pressure detection can be maintained better than other vibration elements.
The pressure sensor according to a fifth aspect of the present invention is any one of the first to fourth aspects, wherein the diaphragm is rectangular in a plan view, and a direction in which the pair of support portions are arranged is a long side direction. The pressure sensor according to one.
A pressure sensor according to a sixth aspect is characterized in that a base is laminated on the diaphragm so as to have a space between the pressure sensitive element and the pressure sensor according to any one of the first to fifth aspects. pressure sensor.
With such a configuration, there is no possibility that the pressure-sensitive portion of the pressure-sensitive element comes into contact with other components in the cavity.
The pressure sensor according to the sixth aspect is characterized in that an oscillation circuit is provided on a surface of the base facing the diaphragm.
With such a configuration, it is possible to operate as a pressure sensor in one package.
Further, application examples according to the present invention are as follows.
[Application Example 1] A pressure-sensitive element having a pressure-sensitive part and a pair of bases connected to both ends of the pressure-sensitive part, and a pressure-receiving part having one surface receiving pressure, the other surface A diaphragm having a pair of support portions for fixing the pair of base portions of the pressure element, and having a flexible portion as a region bent when the pressure receiving portion receives pressure, the support portion including the pressure receiving portion 4% to 9% of the length of the flexible part from the edge of the flexible part on the axis passing through the region where the stress generated in the flexible part is greatest when the part receives the pressure It arrange | positions so that the edge part of the said support part may be located in the range of this.
According to the pressure sensor having such characteristics, it is possible to prevent deterioration of pressure receiving sensitivity due to manufacturing variations and to have high pressure receiving sensitivity.