JP2010212614A - Compound thin film solar cell and method of producing the same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ガラス基板上に金属裏面電極層を積層してなる化合物系薄膜太陽電池、及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a compound-based thin film solar cell obtained by laminating a metal back electrode layer on a glass substrate, and a method for producing the same.
近年、環境に対する関心や政策等から、各種の太陽電池の研究や製造が盛んである。
各種の太陽電池の中でも、特に化合物系太陽電池は、変換効率の潜在能力の高さや経年変化に対する高い信頼性等から、量産実用化に目覚しいものがある。
In recent years, research and production of various types of solar cells have been actively conducted due to environmental concerns and policies.
Among various types of solar cells, particularly compound solar cells are remarkable for mass production due to their high conversion efficiency potential and high reliability against aging.
この点、特許文献1では、直列接続された2以上のユニットセルを絶縁性基板上に備える集積型薄膜太陽電池であって、前記絶縁性基板上に順次積層された、第1の電極膜、pn接合を含む半導体膜、および第2の電極膜を含み、前記第1の電極膜、前記半導体膜、および前記第2の電極膜は、それぞれ、互いに略平行な第1、第2および第3の分割溝で分割された2以上のユニットセルを構成しており、隣接する2つの前記ユニットセルは、一方のユニットセルの第2の電極膜が前記第2の分割溝を介して他方のユニットセルの前記第1の電極膜と接続されることによって、直列接続されており、前記半導体膜は、Ib族元素とIIIb族元素とVIb族元素とを含み前記第1の電極膜に隣接する化合物半導体膜を有し、前記第1の電極膜は、モリブデンを含み、前記第1の電極膜の平坦部の厚さが0.3μm以下である集積型薄膜太陽電池が提案されている。
In this regard, in
特許文献1記載の技術によれば、第1の電極であるMo膜をレーザによりパターニングした際に、Mo膜の分割溝のエッジ部において、盛り上がりが発生して短絡を引き起こすことを防ぐことに一定の効果を奏することができる。
一方、上記特許文献1記載の技術におけるMo膜である金属裏面電極層に関して、高い信頼性とFF特性を有する太陽電池を得るためには、短絡を引き起こすバリやデブリ等を考慮するのみでは十分でない。
即ち、金属裏面電極層上に積層される光吸収層との密着性や、太陽電池全体としての抵抗率をさらに考慮することで、太陽電池のFF特性の向上や、歩留まりの低減を図ることが出来る。
According to the technique described in
On the other hand, regarding the metal back electrode layer, which is a Mo film in the technique described in
That is, it is possible to improve the FF characteristics of the solar cell and reduce the yield by further considering the adhesion with the light absorption layer laminated on the metal back electrode layer and the resistivity of the entire solar cell. I can do it.
そこで本発明は、太陽電池のFF特性の向上、歩留まりの低減に有効な金属裏面電極層を積層してなる化合物系薄膜太陽電池、及びその製造方法を提供することを目的とする。 Then, an object of this invention is to provide the compound type thin film solar cell which laminates | stacks the metal back electrode layer effective in the improvement of the FF characteristic of a solar cell, and the reduction of a yield, and its manufacturing method.
上記目的を達成するため、本発明の一の観点に係る化合物系薄膜太陽電池は、ガラス基板上に、モリブデンからなる金属裏面電極層を積層した化合物系薄膜太陽電池であって、上記金属裏面電極層は、スパッタ法により、その表面の反射率が10%以上35%以下の範囲で上記ガラス基板上に製膜されていることを特徴とする。 In order to achieve the above object, a compound thin film solar cell according to one aspect of the present invention is a compound thin film solar cell in which a metal back electrode layer made of molybdenum is laminated on a glass substrate, and the metal back electrode The layer is formed on the glass substrate by sputtering so that the reflectance of the surface thereof is in the range of 10% to 35%.
また、上記ガラス基板上に製膜されるモリブデンの膜厚が800nm以下であるものとしてもよい。 Moreover, the film thickness of molybdenum formed on the glass substrate may be 800 nm or less.
また、本発明の別の観点に係る化合物系太陽電池を構成する金属裏面電極層の製造方法は、所定の真空チャンバ内に、上記ガラス基板を試料として配置すると共に、上記モリブデンをスパッタターゲットとして配置した上、当該真空チャンバ内を真空排気する工程と、上記真空排気されたチャンバ内にガス流量60〜70sccmで不活性ガスを注入して製膜圧力20mTorr以下に保持した上、上記真空チャンバ内に配置された一対のスパッタ電極を駆動させて、上記ガラス基板と上記モリブデンの間に電圧をかけ、上記ガラス基板上に上記モリブデンを製膜する工程とを有することを特徴とする。 In addition, in the method for manufacturing a metal back electrode layer constituting a compound solar cell according to another aspect of the present invention, the glass substrate is disposed as a sample in a predetermined vacuum chamber, and the molybdenum is disposed as a sputter target. In addition, the vacuum chamber is evacuated, and an inert gas is injected into the evacuated chamber at a gas flow rate of 60 to 70 sccm to maintain a film forming pressure of 20 mTorr or less. A step of driving a pair of sputter electrodes arranged to apply a voltage between the glass substrate and the molybdenum to form the molybdenum on the glass substrate.
本発明によれば、光吸収層との密着性、レーザによるパターニングの容易さ、太陽電池として低抵抗率を兼ね備えた太陽電池を得ることができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the solar cell which has low resistivity as an adhesiveness with a light absorption layer, the ease of patterning by a laser, and a solar cell can be obtained.
以下、本発明の実施形態に係る化合物系薄膜太陽電池、及びその製造方法について、図を参照して説明する。
図1に、本実施形態に係る化合物系薄膜太陽電池の積層構造を示す。
化合物系薄膜太陽電池1は、図1に示されるように、ガラス基板11上に、金属裏面電極層12、光吸収層13、高抵抗バッファ層14、窓層15を順次積層してなる。
Hereinafter, a compound-based thin film solar cell according to an embodiment of the present invention and a manufacturing method thereof will be described with reference to the drawings.
In FIG. 1, the laminated structure of the compound type thin film solar cell which concerns on this embodiment is shown.
As shown in FIG. 1, the compound thin film
ガラス基板11は例えば、青板ガラスにより構成される。
なお、ガラス基板11は、青板ガラスに含まれるナトリウム(Na)やカリウム(K)等のアルカリ金属成分が、光吸収層中に拡散するのを防止するため、例えば、膜厚50nm程度のシリカ(SiO2)等からなるアルカリバリア層をコーティングした青板ガラスにより構成してもよい。
The
The
金属裏面電極層12は、モリブデン(Mo)からなる薄膜であって、ガラス基板11上にDCスパッタ法で製膜される。
ここで、金属裏面電極層12としてモリブデン(Mo)膜が使用されるのは、光吸収層13の形成過程で使用されるセレン(Se)に対して耐食性が高いこと、汎用技術であるスパッタ法で大面積まで容易に製膜可能であること、セレン(Se)との反応によってモリブデン(Mo)膜上に生成するモリブデンセレナイド(MoSe2)層が、金属針を使用したメカニカルスクライバーによる光吸収層13と高抵抗バッファ層14のパターニング時に個体潤滑剤として作用し、金属裏面電極層12を貫通してガラス基板11まで傷つけることがないこと等の理由による。
また、本実施形態に係る金属裏面電極層12は、3基のモリブデン(Mo)ターゲットを使用して、DCスパッタ法で、三層構造に製膜する。このように三層構造としているのは、インライン型のスパッタ装置の場合、モリブデン(Mo)製膜部分への入熱と発生する圧縮応力により、長尺のガラス基板では割れが発生しやすいためである。
なお、本実施形態に係る金属裏面電極層12の詳細については後述する。
The metal
Here, the molybdenum (Mo) film is used as the metal
The metal
Details of the metal
光吸収層13は例えば、p型の導電性を有するI−III−VI2族カルコパイライト構造の厚さ1〜3μmの薄膜であり、CuInSe2、Cu(InGa)Se2、Cu(InGa)(SSe)2等の多元化合物半導体薄膜により構成される。また、p型CIS系光吸収層としては、その他、セレン化合物系CIS系光吸収層、硫化物系CIS系光吸収層及びセレン化・硫化物系CIS系光吸収層があり、前記セレン化合物系CIS系光吸収層は、CuInSe2、Cu(InGa)Se2又はCuGaSe2からなり、前記硫化物系CIS系光吸収層は、CuInS2、Cu(InGa)S2、CuGaS2からなり、前記セレン化・硫化物系CIS系光吸収層は、CuIn(SSe)2、Cu(InGa)(SSe)2、CuGa(SSe)2からなり、また、表面層を有するものとしては、CuIn(SSe)2を表面層として持つCuInSe2、CuIn(SSe)2を表面層として持つCu(InGa)Se2、CuIn(SSe)2を表面層として持つCu(InGa)(SSe)2、CuIn(SSe)2を表面層として持つCuGaSe2、Cu(InGa)(SSe)2を表面層として持つCu(InGa)Se2、Cu(InGa)(SSe)2を表面層として持つCuGaSe2、CuGa(SSe)2を表面層として持つCu(InGa)Se2又はCuGa(SSe)2を表面層として持つCuGaSe2がある。
この光吸収層13は、セレン化/硫化法や多元同時蒸着法により、金属裏面電極層12上に製膜される。
The
The
高抵抗バッファ層14は、光吸収層との電気的接合を形成するための層である。バッファ層は、有機金属化学的気相成長(MOCVD)法や真空蒸着法等によって、硫化亜鉛(ZnS)等の亜鉛混晶化合物等の薄膜により形成することができる。
The high
窓層15は、n型透明導電膜により構成される。この窓層15は、MOCVD法により、高抵抗バッファ層14上に製膜される。
The
上記の通りガラス基板11上に積層される金属裏面電極層12、光吸収層13、高抵抗バッファ層14、窓層15には、その作製過程においてパターニングP1、P2、P3が施される。
As described above, the metal
パターニングP1は、高融点、高耐食性金属であるモリブデン(Mo)を金属裏面電極層12としてDCスパッタ法により製膜した後に行われるパターニングであり、高い直線性と再現性、かつ、高速度でのパターン形成が必要とされる。
The patterning P1 is a patterning performed after the high-melting-point, high-corrosion-resistant metal molybdenum (Mo) is formed as a metal
このパターニングP1におけるパターン溝の形成においては、ガラス基板11ないしはガラス基板11上にコーティングされたアルカリバリア層に、基板の割れの原因となるスクラッチ傷がつくのを防ぐ必要がある。そのため、金属針を使用するメカニカルスクライバーによらず、エキシマレーザ、特に本実施形態においてはKr-Fエキシマレーザを用いる。
Kr-Fエキシマレーザは、赤外域の光で金属を溶かして切断する第1高調波のNd-YAGレーザ(波長:1064nm)とは異なり、紫外域の光で金属を昇華させて切断してパターンを形成する。その結果、ガラス基板への損傷を防ぐことが出来る。
なお、本実施形態においては、エキシマレーザを用いて金属裏面電極層12のパターニングを行うが、本発明はこれに限るものではなく、エキシマレーザの代わりに、第2高調波以上のNd-YAGレーザ、言い換えれば、波長が532nm以下のNd-YAGレーザであってもよく、より望ましくは、第4高調波のNd-YAGレーザ(波長:266nm)であってもよい。
In the formation of the pattern groove in the patterning P1, it is necessary to prevent the
Unlike the first harmonic Nd-YAG laser (wavelength: 1064nm), which melts and cuts metal with infrared light, the Kr-F excimer laser sublimates the metal with ultraviolet light and cuts the pattern. Form. As a result, damage to the glass substrate can be prevented.
In the present embodiment, the metal
パターニングP2は、高抵抗バッファ層14の製膜後に行なわれるパターニングである。パターニングP2におけるパターン溝の形成においては、光吸収層13が光を吸収することと、熱影響による膜の変質を避ける必要があることから、レーザ法を避けて、金属針によるメカニカルスクライビング法が適用される。
The patterning P2 is a patterning performed after the high
パターニングP3は、窓層15製膜後に行なわれるパターニングである。パターニングP3におけるパターン溝の形成においては、窓層15として構成される透明導電膜が硬質で透明であることから、レーザ法は適用しにくい。そのため、金属針によるメカニカルスクライビング法が適用される。
Patterning P3 is patterning performed after the
上記の通り作製される太陽電池モジュール1において、金属裏面電極層12には、光吸収層13との密着性、レーザによるパターニングP1の容易さ、低抵抗率が要求される。
In the
ここで、光吸収層13との密着性とは、金属裏面電極層12から光吸収層13が剥離しないことが要求されることを指し示す。
Here, the adhesiveness with the
また、レーザによるパターニングP1の容易さとは、パターニングP1の形成時に、断線することのない連続した1本の直線状のパターン溝の形成が要求されることを指し示す。この点に関しては更に、パターン溝付近に、デブリやバリといった突起部が発生したり、熱影響部の形成を最小にすることが要求される。 In addition, the ease of patterning P1 by laser indicates that it is required to form a single continuous linear pattern groove without disconnection when the patterning P1 is formed. In this regard, it is further required that protrusions such as debris and burrs are generated in the vicinity of the pattern grooves and that the formation of the heat affected zone is minimized.
また、低抵抗率は、化合物系薄膜太陽電池1の発電効率の低下を招く抵抗成分が出来る限り小さいものであることが要求されることを指し示す。この点、金属裏面電極層12が低抵抗率に関わる点は特に、金属裏面電極層12と光吸収層13の剥離、及び、光吸収層13の製膜過程における気相セレン化時に、モリブデン(Mo)とセレン(Se)とが反応して形成されるモリブデンセレナイド(MoSe2)層が直列抵抗成分の増加を招く点にある。
The low resistivity indicates that a resistance component that causes a decrease in power generation efficiency of the compound thin film
ここで、本願発明者は、上記の通り金属裏面電極層12に要求される光吸収層13との密着性、レーザによるパターニングP1の容易さ、低抵抗率を決定する要因として、金属裏面電極層12の表面形状とその膜厚に着目し、その相関関係を検証した。
Here, the inventor of the present application described the metal back electrode layer as factors determining the adhesion to the
まず、金属裏面電極層12の表面形状に関して行った実験について説明する。
本実施形態において、金属裏面電極層12はDCスパッタ法により作製されるところ、本願発明者は、金属裏面電極層12の表面形状がスパッタの製膜圧力によって変化することを見出している。
即ち、製膜圧力が低い場合、膜密度ないしはモリブデン(Mo)粒子の密集度が高くなるために、表面の平滑度が増す。逆に製膜圧力が高い場合、膜の表面における膜密度ないしはモリブデン(Mo)粒子の密集度が小さくなるために、隙間の多い形状となる。
そして、当該金属裏面電極層12の表面の膜密度ないしはモリブデン(Mo)粒子の密集度を定量的に評価すべく、製膜圧力のみを変えて作製した金属裏面電極層12に対し、金属裏面電極層12の表面での反射率を測定する実験を行った。
First, an experiment performed on the surface shape of the metal back
In the present embodiment, the metal back
That is, when the film forming pressure is low, the film density or the density of molybdenum (Mo) particles becomes high, so that the surface smoothness increases. On the other hand, when the film forming pressure is high, the film density on the surface of the film or the density of molybdenum (Mo) particles becomes small, so that the shape has many gaps.
Then, in order to quantitatively evaluate the film density on the surface of the metal back
図2に、パターニングP1に使用するパターニング装置を示す。
反射率の測定においては、図2に示されるパターニング装置を用いた。
また、当該パターニング装置の照射条件は表1に示される通りであり、波長248nmのKr-Fエキシマレーザにより、当該波長248nmに略一致する波長250nmの位置における金属裏面電極層12の全反射を測定した。
FIG. 2 shows a patterning apparatus used for patterning P1.
In the measurement of the reflectance, the patterning apparatus shown in FIG. 2 was used.
The irradiation conditions of the patterning apparatus are as shown in Table 1, and the total reflection of the metal back
また、本実験において反射率を測定した金属裏面電極層12の製膜条件を表2に示す。
In addition, Table 2 shows the film forming conditions of the metal back
表2中のパワーに関し、本実施形態における金属裏面電極層12は三層構造で製膜を行っており、ガラス基板11上に製膜される順に、0.66kW、2.88kW、2.88kWで製膜される。なお、この三層からなる金属裏面電極層12の各層の膜厚は、ガラス基板11側から順に90nm、360nm、360nm程度であり、トータルの膜厚は800〜820nmである。
Regarding the power in Table 2, the metal back
上記製膜条件の下、製膜圧力のみを変化させて作製した金属裏面電極層12の反射率の測定結果を図3に示す。
図3に示されるように、製膜圧力が低いほど反射率は上昇する。このことは即ち、製膜圧力が低い場合には、膜密度ないしはモリブデン(Mo)粒子の密集度が高くなって、表面の平滑度が増していることを示している。
この点、反射率が高すぎると、照射面へのエネルギー密度が減少することとなってパターニングが困難となることが想定される。
また、表面が平滑となるために、光吸収層13と金属裏面電極層12との密着性が低下し、光吸収層13が金属裏面電極層12から剥離するおそれがある。
さらに、金属裏面電極層12と光吸収層13の密着性が悪い場合には、剥離を生じて両層の接合面に隙間ができ、直列抵抗成分が増加する。
FIG. 3 shows the measurement results of the reflectance of the metal back
As shown in FIG. 3, the reflectance increases as the film forming pressure decreases. This indicates that when the film forming pressure is low, the film density or the density of molybdenum (Mo) particles is increased, and the smoothness of the surface is increased.
In this regard, if the reflectance is too high, it is assumed that the energy density on the irradiated surface is reduced and patterning becomes difficult.
Further, since the surface is smooth, the adhesion between the
Further, when the adhesion between the metal back
逆に製膜圧力が高いほど反射率は低下する。このことは即ち、製膜圧力が高い場合には、膜密度ないしはモリブデン(Mo)粒子の密集度が小さくなって、表面は隙間の多い形状となっていることを示している。
この点、隙間の多い形状は、光吸収層13との密着性に有効である。しかしながら、あまり隙間が多い場合、言い換えれば反射率が低すぎる場合には、光吸収層13の製膜工程の気相セレン化時にセレン(Se)との反応性が高くなり、モリブデンセレナイド(MoSe2)層が過剰に形成される。そして、このモリブデンセレナイド(MoSe2)層形成による体積膨張により、光吸収層13と金属裏面電極層12との密着性が低下し、光吸収層13が金属裏面電極層12から剥離するおそれがある。
また、モリブデンセレナイド(MoSe2)層は、直列抵抗成分の増加を招いて、太陽電池特性を低下させる。このことは、金属裏面電極層12の抵抗率と反射率の相関関係を表す図4から明らかなように、反射率10%未満では抵抗率が非常に高く、太陽電池特性が悪い。
Conversely, the reflectivity decreases as the film forming pressure increases. This means that when the film forming pressure is high, the film density or the density of molybdenum (Mo) particles is reduced, and the surface has a shape with many gaps.
In this respect, the shape having many gaps is effective for adhesion to the
Further, the molybdenum selenide (MoSe2) layer causes an increase in the series resistance component and deteriorates the solar cell characteristics. As is apparent from FIG. 4 showing the correlation between the resistivity of the metal back
以上の実験結果に基づき、反射率10%以上35%以下の範囲の金属裏面電極層12を製膜させることで、抵抗率が低く、金属裏面電極層12と光吸収層13との密着性が高く、パターニングP1が容易な化合物系薄膜太陽電池1を得ることができることが明らかとなった。
また、以上の実験結果から、製膜圧力20mTorr以下において、上記反射率10%以上35%以下の範囲の金属裏面電極層12が製膜可能であることが明らかである。
Based on the above experimental results, by forming the metal back
From the above experimental results, it is clear that the metal back
次に、金属裏面電極層12の膜厚に着目した実験を行った。
膜厚は、スパッタ・ターゲットに印加されるパワーと、基板の搬送速度の組み合わせによって決まることころ、本実験では搬送速度を変えて実験を行った。
Next, an experiment focusing on the film thickness of the metal back
The film thickness is determined by the combination of the power applied to the sputtering target and the transport speed of the substrate. In this experiment, the experiment was performed by changing the transport speed.
膜厚の評価実験における金属裏面電極層12の製膜条件を表3に示す。
Table 3 shows the film forming conditions of the metal back
本実験においても、金属裏面電極層12は三層構造で製膜を行っており、ガラス基板11上に製膜される順に、0.66kW、2.88kW、2.88kWで製膜される。
Also in this experiment, the metal back
各製膜条件下において得られた金属裏面電極層12の内容を表4に示す。
Table 4 shows the contents of the metal back
表4に示されるように、膜厚が厚いほど、シート抵抗は小さくなった。
また、膜厚340〜820nmの範囲であれば、金属裏面電極層12の反射率は、上述した反射率10%以上35%以下の範囲に属し、有効な太陽電池特性を得られる化合物系薄膜太陽電池1が作製可能であることが明らかである。
As shown in Table 4, the sheet resistance decreased as the film thickness increased.
If the film thickness is in the range of 340 to 820 nm, the reflectance of the metal back
また、各製膜条件下で製膜した金属裏面電極層12を用いて作製した化合物系薄膜太陽電池1の特性を表5に示す。
Table 5 shows the characteristics of the compound-based thin film
この結果、膜厚を820nm、560nm、340nmと変えても太陽電池の特性に変化は見受けられなかった。
以上のことから、金属裏面電極層12の膜厚に因らず、直列抵抗の抵抗値は殆ど変化しないことが分かった。
また、膜厚が820nm、560nm、340nmのどの場合も、金属裏面電極層12のガラス基板11からの剥離や、光吸収層13の金属裏面電極層12からの剥離は発生せず、金属裏面電極層12の膜厚の差による密着性について、差はほとんど観察されなかった。
また、上述した図2に示すパターニング装置によってパターニングを行った結果、膜厚が820nm、560nm、340nmのどの場合も、連続した1本の直線からなるパターン溝が形成されると共に、両隣のセルとの絶縁が確保されており、膜厚の差によるパターニング性について、差はほとんど観察されなかった。
As a result, even if the film thickness was changed to 820 nm, 560 nm, and 340 nm, no change was observed in the characteristics of the solar cell.
From the above, it was found that the resistance value of the series resistance hardly changed regardless of the film thickness of the metal back
Further, in any case where the film thickness is 820 nm, 560 nm, or 340 nm, the metal back
In addition, as a result of patterning by the patterning apparatus shown in FIG. 2 described above, in any case of film thicknesses of 820 nm, 560 nm, and 340 nm, a pattern groove consisting of one continuous straight line is formed, and The insulation was ensured, and almost no difference was observed in the patterning property due to the difference in film thickness.
もっとも、膜厚が厚い場合には、パターニングP1によって、パターン溝付近にデブリやバリといった突起部が生じ易くなったり、パターン溝内部に短絡の原因となるブリッジが生じやすくなる。この問題は、膜厚を薄くすることで解決される。また、膜厚を薄くする場合には、搬送速度を上げることになり、製造工程において製造効率が高くなる。 However, when the film thickness is thick, the patterning P1 tends to cause protrusions such as debris and burrs in the vicinity of the pattern groove, or a bridge that causes a short circuit inside the pattern groove. This problem can be solved by reducing the film thickness. Moreover, when making a film thickness thin, a conveyance speed will be raised and manufacturing efficiency will become high in a manufacturing process.
さらに、パターニングP1の容易さに関し、上述した図2に示すパターニング装置によりパターニングを行った結果、膜厚800nm以下、反射率35%以下の金属裏面電極層12を切断可能であることが分かった。
Further, regarding the ease of patterning P1, as a result of patterning with the patterning apparatus shown in FIG. 2 described above, it was found that the metal back
上述の膜厚800nm以下、反射率35%以下の金属裏面電極層12を作製する場合には、まず、所定の真空チャンバ内に、ガラス基板11を試料として配置すると共に、モリブデン(Mo)をスパッタターゲットとして配置した上、当該真空チャンバ以内を真空排気する。
それから、当該真空チャンバ内にガス流量60〜70sccmでアルゴン(Ar)ガスを注入して真空チャンバ内を製膜圧力20mTorr以下の雰囲気に保持した上、上記真空チャンバ内に配置された一対のスパッタ電極を駆動させて、試料であるガラス基板11とスパッタターゲットであるモリブデン(Mo)の間に電圧をかけ、ガラス基板11上にモリブデン(Mo)を製膜する。
これにより、レーザによる反射率が35%以下の金属裏面電極層12が作製される
When the metal back
Then, argon (Ar) gas is injected into the vacuum chamber at a gas flow rate of 60 to 70 sccm to keep the inside of the vacuum chamber in an atmosphere having a film forming pressure of 20 mTorr or less, and a pair of sputter electrodes disposed in the vacuum chamber. Is driven to apply a voltage between the
As a result, the metal back
1 化合物系薄膜太陽電池
11 ガラス基板
12 裏面電極層
13 光吸収層
14 高抵抗バッファ層
15 窓層
P1 パターニング1
P2 パターニング2
P3 パターニング3
DESCRIPTION OF
P2 patterning 2
P3 Patterning 3
Claims (3)
上記金属裏面電極層は、スパッタ法により、その表面の反射率が10%以上35%以下の範囲で上記ガラス基板上に製膜されている、
ことを特徴とする化合物系薄膜太陽電池。 A compound-based thin film solar cell in which a metal back electrode layer made of molybdenum is laminated on a glass substrate,
The metal back electrode layer is formed on the glass substrate by a sputtering method so that the reflectance of the surface is in the range of 10% to 35%.
A compound-based thin film solar cell.
請求項1記載の化合物系薄膜太陽電池。 The film thickness of molybdenum formed on the glass substrate is 800 nm or less;
The compound-based thin film solar cell according to claim 1.
所定の真空チャンバ内に、上記ガラス基板を試料として配置すると共に、上記モリブデンをスパッタターゲットとして配置した上、当該真空チャンバ内を真空排気する工程と、
上記真空排気されたチャンバ内にガス流量60〜70sccmで不活性ガスを注入して製膜圧力20mTorr以下に保持した上、上記真空チャンバ内に配置された一対のスパッタ電極を駆動させて、上記ガラス基板と上記モリブデンの間に電圧をかけ、上記ガラス基板上に上記モリブデンを製膜する工程と、を有する、
ことを特徴とする化合物系薄膜太陽電池の製造方法。 A method for producing a metal back electrode layer constituting the compound solar cell according to claim 1 or 2,
Placing the glass substrate as a sample in a predetermined vacuum chamber, placing the molybdenum as a sputter target, and evacuating the vacuum chamber;
An inert gas is injected into the evacuated chamber at a gas flow rate of 60 to 70 sccm to maintain a film forming pressure of 20 mTorr or less, and a pair of sputter electrodes disposed in the vacuum chamber is driven to drive the glass. Applying a voltage between the substrate and the molybdenum, and forming the molybdenum on the glass substrate.
A method for producing a compound-based thin-film solar cell.
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