JP2010212556A - ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機 - Google Patents
ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010212556A JP2010212556A JP2009059093A JP2009059093A JP2010212556A JP 2010212556 A JP2010212556 A JP 2010212556A JP 2009059093 A JP2009059093 A JP 2009059093A JP 2009059093 A JP2009059093 A JP 2009059093A JP 2010212556 A JP2010212556 A JP 2010212556A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- laser gas
- gas
- flow path
- gas flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
【課題】送風機によるガス循環冷却を行わずにガスレーザの大出力化を実現し、且つ高品質なレーザビームを得る。
【解決手段】励起用放電空間に対して重力方向の上部に配置されたレーザ媒体加熱部と、前記レーザ媒体加熱部に対して重力方向の上部に配置された熱交換器と、前記熱交換器と励起用放電空間とレーザ媒体加熱部とを環状に接続したレーザガス経路と、前記レーザガス経路中に配置され、前記熱交換器と励起用放電空間との間に設けられたレーザガス過冷却部とを備えた事を特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】励起用放電空間に対して重力方向の上部に配置されたレーザ媒体加熱部と、前記レーザ媒体加熱部に対して重力方向の上部に配置された熱交換器と、前記熱交換器と励起用放電空間とレーザ媒体加熱部とを環状に接続したレーザガス経路と、前記レーザガス経路中に配置され、前記熱交換器と励起用放電空間との間に設けられたレーザガス過冷却部とを備えた事を特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は主として板金等の加工用途に用いられるガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機に関するものである。
図2に従来の軸流型ガスレーザ発振装置の概略構成の一例を示す。以下、図2を参照しながら従来の軸流型ガスレーザ発振装置を説明する。
この図に示す従来の軸流型ガスレーザ発振装置は、ガラスなどの誘電体よりなる放電管101前記放電管101の周辺に設けたリング状の電極、102と103、前記電極102、103に接続した電源104、前記放電管101内の電極102、103間に挟まれた部分であり前記電源104から電極102、103に通電を行うことにより放電を行う放電空間105、全反射鏡106、部分反射鏡107、前記部分反射鏡107より出力されるレーザビーム108、レーザガスの流れる方向の矢印109、レーザガス流路110、熱交換機111、熱交換機112、送風手段113、レーザガス導入部114を備えている。
この全反射鏡106、部分反射鏡107は前記放電空間105の両端に位置するように前記放電管101を支持する構成部材に固定配置され、光共振器を形成している。
レーザガスは矢印109の方向にレーザガス流路110を流れ、レーザガス導入部114、放電管101内の放電空間105、熱交換機111、送風手段113、熱交換機112、レーザガス流路110の順に軸流型ガスレーザ発振装置の中を循環している。
前記熱交換機111および112は放電空間105における放電と送風手段113の内部に配置した送風機の運転により温度上昇したレーザガスの温度を下げる。送風手段113は放電空間105にて約100m/sec程度のガス流を得るように送風している。レーザガス流路110と放電管101は、レーザガス導入部114で接続されている。
図3にレーザ加工機の概略構成の一例を示す。以下、図3を参照しながらレーザ加工機を説明する。
この図に於いて、上述した従来の軸流型ガスレーザ発振装置から出力したレーザビーム108をワーク116方向へ進行方向を反射鏡115で反射することにより変更し、トーチ117内部に備えられた集光レンズ118によって前記レーザビーム108を高密度のエネルギビームに集光して、ワーク116に照射する。
なお、ワーク116は加工テーブル119上に固定されており、トーチ117をX軸モータ120あるいはY軸モータ121によって、ワーク116に対して相対的に移動する事で、所定の形状の加工を行うように構成している。
このような従来の軸流型ガスレーザ発振装置では、送風手段113より送り出したレーザガスは、レーザガス流路110を通り、レーザガス導入部114より放電管101内へ導入される。この状態で電源104に接続された電極102、103から放電空間105に放電を発生させる。放電空間105内のレーザガスは、この放電エネルギーを得て励起され、その励起されたレーザガスは全反射鏡106および部分反射鏡107により形成された光共振器で共振状態となり、部分反射鏡7からレーザビーム108が出力される。このレーザビーム108がレーザ加工等の用途に用いられる。
さて、一般にレーザ発振を行うためには放電管101内のレーザガス温度が一定温度以下である必要がある。例えばCO2ガスレーザの場合は、この温度が200℃であり、ガス温度が200℃を越えると、発振効率が急激に低下し、所定のレーザ出力が得られなくなる。
従来の軸流型レーザ発振装置では、送風手段110および熱交換器111、112がレーザガス温度を常時30℃程度に保つために必要な構成要素である。レーザガスが放電管101内に送り込まれる時、レーザガス温度は約30℃である。
そして放電が開始されると放電エネルギーによりレーザガス温度は上昇し、放電管を通過後、ガス温度は200℃近くにまで上昇している。このレーザガスは熱交換器111を通過する事で約30℃まで温度が下がる。送風手段113通過後、圧縮熱により再度150℃近くまでガス温度が上昇するが、再度、熱交換器112を通過し、約30℃まで温度が下がる。
このレーザガスが再度、放電管101内へ導入される。レーザビームの出力が数kwクラスのCO2レーザ発振装置の場合、放電管101を通過するガス流速は数100m/secであり、レーザガスが放電管101内に留まっている時間は、わずか数msecである。レーザガスがこれ以上の時間、放電管101内に留まると、温度上昇により200℃を超え、急激な発振効率の低下が発生する事になる。
このように従来の軸流型ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機、特にレーザビームの出力が数kw以上の出力が得られるCO2レーザ発振装置においては、送風手段13を備える事は必須である。送風手段13としては、一般的にルーツブロアやターボブロアが用いられる。例えばターボブロア関して説明すると、レーザ用ターボブロアには、レーザガスに直接作用する翼車回転部は清浄に保つために、駆動用の機器、例えば電動機などを潤滑するオイルから発生するオイルミストが存在する翼車駆動部とを空気力学的に分離するシール構造を用いている。
なお、上述した軸流型レーザ発振装置とは構成が異なるレーザ発振装置としては、送風機によるガス循環冷却を行わずにガスレーザの大出力化を行う構成として、対向させた平行平板状の2枚の電極間に放電空間を設け、放電によるガス温度上昇を平行平板との接触による拡散冷却によって抑制するいわゆるスラブレーザと呼ばれるものもあった(例えば特許文献1,2参考)。
図4に従来のスラブレーザの概略構成の一例を示す。以下、図4を参照しながら従来のスラブレーザ発振装置を説明する。
図に示す従来のスラブレーザは、平行平板からなる電極102、103を有し、図示しないが内部に絶縁処理を施したパイプ状の冷却水流路を設けていて、図示しない冷却水循環装置と接続している。
また電極102、103には電源104を接続しており、電極102、103に通電することにより、電極102、103の向かい合った空間を放電空間としている。
この放電空間に位置するレーザガスが放電エネルギーを得て励起され、その励起されたレーザガスは全反射鏡106および部分反射鏡107により形成された光共振器で共振状態となり、部分反射鏡107からレーザビーム108が出力される構成になっている。
なお、このスラブレーザでは拡散冷却の方法をとるため、冷却効率を上げるために平行平板からなる電極102、103間の距離を数mmオーダーに設定する必要がある。
この場合、光共振器の空間も数mmオーダーの平行平板間により制限されるので、光共振器は平行平板表面での反射を用いた導波路型になり、導波路での散乱による不純光発生により、おのずと光の質は低下する。レーザビーム108は質の悪い矩形でしか取り出せない。
特開昭63−192285号公報
特開平8−97489号公報
さて、上述した軸流型レーザ発振装置に用いるシール構造は、翼車の高速高精度回転による送風能力との両立が求められ、そのためレーザ用ターボブロアはおのずと高価な部品となり、装置の全材料費の数10%を占める事から、イニシャルコスト低減の大きな阻害要因となっていた。
またブロアは翼車の回転のためモータを用いており、その消費電力はガスレーザ発振装置の全消費電力の数10%を占めているため、消費電力を低減させランニングコストを抑制する上での大きな阻害要因となっていた。
一方、シール構造を用いない、すなわち、送風手段によるガス冷却方式を用いずにレーザガスを冷却する手段としては、いわゆるスラブレーザが存在するが、このスラブレーザはレーザの光の質が悪いという致命的な欠点がある。
レーザ光共振器の理想形は、折返し鏡での反射を一部介するものの、基本的に向かい合った1対のミラー表面での反射で光の定在波を形成する方式であり、いわゆる安定型共振器と呼ばれるものであり、最も良質な光を取り出す事が出来る。
図5は軸流型ガスレーザ発振装置の光共振器部分を示した図であり、図5にしめしたように円錐対象形の質の良いレーザビーム108を取り出す事が可能である。
すなわち送風手段を用いずにレーザガスを冷却する事、および良質なレーザビームを取り出せる安定型共振器とを両立させる事が大きな課題となっていた。
本発明は、上記問題点を解決するために、レーザガスを循環するレーザガス流路と、前記レーザガス流路に配置した放電手段と、前記レーザガス流路に配置した熱交換器とを備え、前記放電手段で放電される放電空間に対して重力方向の上部にレーザガスを加熱するレーザガス加熱部を前記レーザガス流路に設け、前記レーザガス加熱部に対して重力方向の上部に前記熱交換器を配置し、前記熱交換器に対して重力方向の下部の前記レーザガス流路にレーザガスを冷却するレーザガス過冷却部を設け、前記レーザガス流路の前記放電空間から前記レーザガス加熱部に至る部分と、前記レーザガス流路の前記熱交換器から前記レーザガス過冷却部に至る部分がなす角度を90度未満とするものである。
このように本発明では、放電空間で放電されるとガス温度が上昇し、レーザガスの比重が低減してレーザガスは重力方向の上部に移動する。これに加えて、レーザガス加熱部でさらにレーザガス温度は上昇し、比重はさらに低減する。この事によってレーザガスはさらに速度を上げて、上部へ移動する。
上部へ移動したレーザガスはレーザガス流路の熱交換器へ導入されて冷却される。レーザガスは温度が低下する事で比重が上昇し、重力方向の下部へ移動する。そして熱交換器の下部へ移動したレーザガスは、レーザガス過冷却部において、さらに冷却され比重の上昇に伴い、速度を上げて下部へ移動する。下部へ移動したガスはレーザガス流路を放電空間へ移動する。
なお、前記レーザガス流路の前記放電空間から前記レーザガス加熱部に至る部分と、前記レーザガス流路の前記熱交換器から前記レーザガス過冷却部に至る部分がなす角度を90度未満としているため、熱交換器で冷却されたレーザガスがレーザガス加熱部へ逆流することを防ぐ。
本発明によれば、送風機を用いずにレーザガスを循環し、冷却を行う事が出来き、ガスレーザ発振装置の大出力化を容易に実現しながら、良質なレーザビームを取り出す事の出来る安定型共振器を実現できる。
以下に本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら説明する。
(実施の形態)
図1は本発明のガスレーザ発振装置の実施の形態例に関する構成図である。
図1は本発明のガスレーザ発振装置の実施の形態例に関する構成図である。
図1(a)はガスレーザ発振装置の要部の説明図で、図1(b)は、図1(a)のA−A方向から見た要部の破断図である。
図1に示す実施の形態のガスレーザ発振装置は、レーザガス流路1を有し、このレーザガス流路中には、電極2、3とこれら電極2、3に接続した電源4からなる放電手段を配置して、電極2、3間で放電することにより、レーザガスを励起させる放電空間5を形成している。
この放電空間5に対して、重力方向の上部(図中、レーザガス流れ6aの方向)にレーザガス加熱用電極7、8を配置している。これらレーザガス加熱用電極7、8にはレーザガス加熱用電源9を接続して、レーザガス加熱用電極7、8、レーザガス加熱用電源9でレーザガス加熱部を構成して、レーザガス加熱用電極7、8間に放電を行ってレーザガス加熱用放電空間10を形成している。
レーザガス加熱用放電空間10のさらに重力方向の斜め上部のレーザガス流路1の位置に熱交換器11を配置して、前記放電空間5、レーザガス加熱用放電空間10、および熱交換器11は、レーザガス経路1によって環状に配置されており、密閉したレーザガス循環経路が形成されている。
そして、レーザガス流路1の熱交換器11に対して重力方向の下方向(図中、レーザガス流れ6bの方向)にレーザガスを冷却するレーザガス過冷却部12を配置している。
このレーザガス過冷却部12はレーザガス流路1中に配置した冷却用のフィン12aとこのフィン12aへ熱的に接続した冷却部12bから構成している。
なお、放電空間5を挟んで対向した位置関係で、部分反射鏡13および全反射鏡14を平行に配置して光共振器を形成している。
そして、放電空間5に対して放電が成されるとレーザガス温度が上昇する。レーザガスの温度上昇に伴う比重の低減によって、レーザガスは重力方向の上部に移動する。いわゆる対流現象である。これに加えて、レーザガス加熱用放電空間10に対して放電される事でさらにレーザガス温度は上昇し、比重はさらに低減する。この事によってレーザガスはさらに速度を上げて、上部へ移動する。
上部へ移動したレーザガスはレーザガス流路1の上端に達し、熱交換器11へ導入され、冷却される。レーザガスは温度が低下する事で比重が上昇し、重力方向の下部へ移動する。熱交換器11の下部へ移動したレーザガスは、レーザガス過冷却部12において、さらに冷却され比重の上昇に伴い、速度を上げて下部へ移動する。下部へ移動したレーザガスはレーザガス流路1の下端に達し、再び放電空間5へ導入される。
前述した一連のプロセスにより、レーザガスはレーザガス流路1の中を循環する事になる。本発明はこの対流を利用したレーザガス循環により、常に励起用の放電空間5のレーザガス温度を熱飽和が発生する200℃以下に保つ事を狙ったものである。ただ単に励起用の放電による温度上昇のみでは充分なレーザガスの移動速度が得られないが、レーザガス移動速度を上昇させるために、レーザガス加熱用放電空間10およびレーザガス過冷却部12を適切に配置する事で、レーザガス移動速度を上昇させる事が可能となり、熱飽和を防ぐことでレーザ発振を継続的に行う事が可能となる。
なお、本実施の形態ではレーザガス加熱部としてレーザガス加熱用放電空間10を用いたが、例えばマイクロ波加熱やヒータなどの他のレーザガス過熱手段に置き換える事も可能である。
また、熱交換器11は通常10〜30℃程度の冷却水を用いるが、レーザガス過冷却部12の冷却部12bには、ペルチェ素子や液化ガスなどを用いて、氷点下以下の温度へレーザガス温度を下げる事が構成上望ましい。
前述の通り、レーザ光共振器の理想形は、折返し鏡での反射を一部介するものの、基本的に向かい合った1対のミラー表面での反射で光の定在波を形成する方式であり、いわゆる安定型共振器と呼ばれるものであり、最も良質な光を取り出す事が出来る。本発明によれば、安定型共振器を構成できるため、円錐対象形の質の良いレーザビームを取り出す事が可能である。
以上の構成の本発明の実施の形態にかかるガスレーザ発振装置は、図3に示すガスレーザ加工機に使用可能であり、その概略構成を図3を参照しながら説明する。
この図に於いて、上述した本発明のガスレーザ発振装置から出力したレーザビーム108をワーク116方向へ進行方向を反射鏡115で反射することにより変更し、トーチ117内部に備えられた集光レンズ118によって前記レーザビーム108を高密度のエネルギビームに集光して、ワーク116に照射する。
なお、ワーク116は加工テーブル119上に固定されており、トーチ117をX軸モータ120あるいはY軸モータ121によって、ワーク116に対して相対的に移動する事で、所定の形状の加工を行うように構成している。
本発明によるガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機は、送風機によるガス循環冷却を行わずにガスレーザの大出力化を容易に実現しながら、良質なレーザビームを取り出す事ができるガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機として有用である。
1 レーザガス流路
2、3 電極
4 電源
5 放電空間
6a 重力方向の上向きのレーザガス流れ
6b 重力方向の下向きのレーザガス流れ
7、8 レーザガス加熱用電極
9 レーザガス加熱用電源
10 レーザガス加熱用放電空間
11 熱交換器
12 レーザガス過冷却部
115 反射鏡
116 ワーク
117 トーチ
118 集光レンズ
119 加工テーブル
120 X軸モータ
121 Y軸モータ
2、3 電極
4 電源
5 放電空間
6a 重力方向の上向きのレーザガス流れ
6b 重力方向の下向きのレーザガス流れ
7、8 レーザガス加熱用電極
9 レーザガス加熱用電源
10 レーザガス加熱用放電空間
11 熱交換器
12 レーザガス過冷却部
115 反射鏡
116 ワーク
117 トーチ
118 集光レンズ
119 加工テーブル
120 X軸モータ
121 Y軸モータ
Claims (8)
- レーザガスを循環するレーザガス流路と、前記レーザガス流路に配置した放電手段と、前記レーザガス流路に配置した熱交換器とを備え、前記放電手段で放電される放電空間に対して重力方向の上部にレーザガスを加熱するレーザガス加熱部を前記レーザガス流路に設け、前記レーザガス加熱部に対して重力方向の上部に前記熱交換器を配置し、前記熱交換器に対して重力方向の下部の前記レーザガス流路にレーザガスを冷却するレーザガス過冷却部を設け、前記レーザガス流路の前記放電空間から前記レーザガス加熱部に至る部分と、前記レーザガス流路の前記熱交換器から前記レーザガス過冷却部に至る部分がなす角度を90度未満とするガスレーザ発振装置。
- 前記レーザガス加熱部として、放電によりレーザガスを加熱する加熱用放電手段を設けたことを特徴とする請求項1記載のガスレーザ発振装置。
- 前記レーザガス過冷却部として、吸熱フィンを前記レーザガス流路中に位置させたペルチェ素子を用いた事を特徴とする請求項1または2記載のガスレーザ発振装置。
- 前記レーザガス過冷却部として、吸熱フィンを前記レーザガス流路中に位置させた液化ガスによる冷却装置を用いた事を特徴とする請求項1または2記載のガスレーザ発振装置
- レーザガスを循環するレーザガス流路と、前記レーザガス流路に配置した放電手段と、前記レーザガス流路に配置した熱交換器とを備え、前記放電手段で放電される放電空間に対して重力方向の上部にレーザガスを加熱するレーザガス加熱部を前記レーザガス流路に設け、前記レーザガス加熱部に対して重力方向の上部に前記熱交換器を配置し、
前記熱交換器に対して重力方向の下部の前記レーザガス流路にレーザガスを冷却するレーザガス過冷却部を設け、前記レーザガス流路の前記放電空間から前記レーザガス加熱部に至る部分と、前記レーザガス流路の前記熱交換器から前記レーザガス過冷却部に至る部分がなす角度を90度未満とするガスレーザ発振装置を用い、ワークを載置するテーブルと、前記ガスレーザ発振装置から出力したレーザビームを前記ワークの方向に進行方向を変更する光学手段と、前記レーザビームを高密度のエネルギビームに集光する集光手段を内部に配置したトーチと、前記ワークとトーチを相対移動させる駆動手段を備えたガスレーザ加工機。 - 前記レーザガス加熱部として、放電によりレーザガスを加熱する加熱用放電手段を設けたことを特徴とする請求項5記載のガスレーザ加工機。
- 前記レーザガス過冷却部として、吸熱フィンを前記レーザガス流路中に位置させたペルチェ素子を用いた事を特徴とする請求項5または6記載のガスレーザ加工機。
- 前記レーザガス過冷却部として、吸熱フィンを前記レーザガス流路中に位置させた液化ガスによる冷却装置を用いた事を特徴とする請求項5または6記載のガスレーザ加工機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009059093A JP2010212556A (ja) | 2009-03-12 | 2009-03-12 | ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009059093A JP2010212556A (ja) | 2009-03-12 | 2009-03-12 | ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010212556A true JP2010212556A (ja) | 2010-09-24 |
Family
ID=42972412
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009059093A Pending JP2010212556A (ja) | 2009-03-12 | 2009-03-12 | ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010212556A (ja) |
-
2009
- 2009-03-12 JP JP2009059093A patent/JP2010212556A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI392554B (zh) | 基板切割設備及使用其切割基板的方法 | |
US9513569B2 (en) | Optical collector for collecting extreme ultraviolet radiation, method for operating such an optical collector, and EUV source with such a collector | |
JP6145122B2 (ja) | 温度調整が可能なガスレーザ発振器 | |
US9570875B2 (en) | Laser oscillator including fans which cool resonator unit | |
JP2010212556A (ja) | ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機 | |
JP2015061033A (ja) | レーザーダイシング装置及びレーザーダイシング方法 | |
CN216706328U (zh) | 一种太阳能电池片切割装置 | |
KR101449824B1 (ko) | 가스 레이저 및 그 작동 방법 | |
JP2010212555A (ja) | ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機 | |
JPH05102575A (ja) | レーザ発振装置 | |
JP2010212546A (ja) | ガスレーザ発振装置およびレーザ加工機 | |
JP2006281308A (ja) | レーザ装置 | |
JP2005243892A (ja) | ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機 | |
JP2013247122A (ja) | ガスレーザ発振装置およびレーザ加工機 | |
JP2010212554A (ja) | ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機 | |
JP4003726B2 (ja) | 固体レーザ装置およびレーザ加工装置 | |
JP2014116384A (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
JP2010212572A (ja) | ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機 | |
JP2010212557A (ja) | ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機 | |
US20160111846A1 (en) | Gas laser oscillation apparatus, gas laser oscillation method and gas laser processing machine | |
JPH053355A (ja) | 固体レーザ媒質 | |
WO2023037460A1 (ja) | レーザ発振器及びレーザ加工装置の加工制御装置 | |
JP2010153545A (ja) | ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機 | |
JP2010199267A (ja) | ガスレーザ発振装置およびガスレーザ加工機 | |
JP4003725B2 (ja) | 固体レーザ装置およびレーザ加工装置 |