JP2010197177A - Visual inspection method and apparatus - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce time and labor by automatically setting a division area required for the verification of the continuity of cracks when the cracks have occurred in an object to be inspected. <P>SOLUTION: An edge image is generated at an edge image generating part 12 on the basis of an original image, a grayscale image acquired by imaging the object to be inspected 1 by a TV camera 2. A processing part 15 detects a crack candidate from the edge image. A division area generating part 17 divides an inspection region into a plurality of small sections by auxiliary division lines passing through an inspection start point set on a boundary line of the inspection region and generates division areas by further dividing each small section in different directions. A crack determination part 18 determines the crack candidate as cracks when the number of division areas over which the crack candidate extends is equal to or greater than a threshold. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、被検査物に生じるクラックを画像処理技術により検出する外観検査方法および外観検査装置に関するものである。   The present invention relates to an appearance inspection method and an appearance inspection apparatus for detecting a crack generated in an inspection object by an image processing technique.

従来から、TVカメラのような撮像手段を用いて取得した画像に対して、コンピュータによる画像処理を施すことによって、画像内に撮像された被検査物の外観を検査する技術が知られている。たとえば、撮像手段により被検査物を含む空間領域を撮像した後、撮像手段により得られた濃淡画像である原画像の各画素の濃淡レベル(濃度)の変化を利用して被検査物の輪郭線を含むエッジ画像を生成し、さらに、原画像とエッジ画像とから被検査物の輪郭線の内側領域を対象として、被検査物の欠け、クラック、異物(ごみ)などの有無を検査する技術がある(特許文献1参照)。   2. Description of the Related Art Conventionally, a technique for inspecting the appearance of an object to be inspected in an image by performing image processing by a computer on an image acquired using an imaging means such as a TV camera is known. For example, after imaging a spatial region including the object to be inspected by the image pickup means, the contour line of the object to be inspected using the change in the lightness level (density) of each pixel of the original image that is the light and shade image obtained by the image pickup means A technology that inspects the inside of the outline of the inspection object from the original image and the edge image, and inspects the inspection object for chipping, cracks, and foreign matter (dust). Yes (see Patent Document 1).

特許文献1に記載された技術では、エッジ画像の中で検査領域の境界線上に検査スタートポイントを設定するとともに、検査スタートポイントを通り直線状かつ一定幅である検出エリアを設定し、検出エリアを検査スタートポイントの周りで回転させている。すなわち、検出エリアを検査領域の中で回転走査させている。   In the technique described in Patent Document 1, an inspection start point is set on the boundary line of the inspection region in the edge image, and a detection area that is linear and has a constant width is set through the inspection start point. Rotating around the inspection start point. That is, the detection area is rotated and scanned in the inspection area.

被検査物にクラックが生じているか否かは、検出エリアを回転走査したときの各位置で検出エリア内の画素の微分絶対値および微分方向値を用いることにより判断している。すなわち、微分絶対値が規定値を超えかつ微分方向値が検出エリアの角度に対して所定の角度範囲である画素が検出エリア内に存在するときに当該画素を欠陥候補点とし、検出エリア内で欠陥候補点の総数と欠陥候補点の微分絶対値の総和とがともに規定したしきい値を超えるときに、被検査物にクラックが存在すると判断している。   Whether or not the inspection object is cracked is determined by using the differential absolute value and the differential direction value of the pixel in the detection area at each position when the detection area is rotationally scanned. That is, when a pixel whose differential absolute value exceeds a specified value and whose differential direction value is within a predetermined angle range with respect to the angle of the detection area is present in the detection area, that pixel is used as a defect candidate point. When the total number of defect candidate points and the sum of the differential absolute values of the defect candidate points exceed a prescribed threshold, it is determined that a crack exists in the inspection object.

特許文献1には、上述の技術で検出されたクラックについて、さらに確実な判断を行うために、クラックの連続性を検証する技術も記載されている。すなわち、検査領域を複数個の分割エリアに分割し、クラックと判断された画素群が複数の分割エリアにまたがって存在しているか否かを検証している。   Patent Document 1 also describes a technique for verifying the continuity of cracks in order to make a more reliable determination on the cracks detected by the above technique. That is, the inspection area is divided into a plurality of divided areas, and it is verified whether or not a pixel group determined to be a crack exists across the plurality of divided areas.

特開2007−147407号公報JP 2007-147407 A

ところで、特許文献1には、矩形状の分割エリアを検査領域に入れ子状に配置すること、横方向に延長されたクラックを検出するために検査領域を横方向に分割すること、縦方向に延長されたクラックを検出するために検査領域を縦方向に分割すること、縦方向に延長されたクラックと横方向に延長されたクラックとをともに検出するために検査領域を縦横両方向に分割することが記載されている。   By the way, in Patent Document 1, a rectangular divided area is nested in an inspection area, the inspection area is divided in the horizontal direction to detect a laterally extended crack, and the vertical direction is extended. Dividing the inspection area in the vertical direction in order to detect cracks generated, and dividing the inspection area in both the vertical and horizontal directions in order to detect both cracks extended in the vertical direction and cracks extended in the horizontal direction. Are listed.

しかしながら、特許文献1に記載の技術では、クラックの発生方向に応じて分割エリアの分割方法を経験的に定めており、クラックにかかわりなく適切な分割エリアを自動的に設定することは考慮されていない。   However, in the technique described in Patent Document 1, the division method of the divided area is empirically determined according to the crack generation direction, and it is considered that an appropriate divided area is automatically set regardless of the crack. Absent.

本発明は上記事由に鑑みて為されたものであり、その目的は、被検査物にクラックが生じているときにクラックの連続性の検証により確実に検出するとともに、クラックの連続性を検証するのに必要な分割エリアを自動的に設定することで、省力化を図った外観検査方法および外観検査装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above-mentioned reasons, and its purpose is to reliably detect crack continuity and verify the crack continuity when a crack is generated in an inspection object. It is an object of the present invention to provide an appearance inspection method and an appearance inspection apparatus that save labor by automatically setting the necessary divided areas.

請求項1の発明は、外観検査方法であって、被検査物の濃淡画像である原画像から生成したエッジ画像に対して設定した検査領域の境界線上に検査スタートポイントを設定する第1ステップと、検査スタートポイントを通る直線状かつ一定幅に設定した検出エリアを検査領域内において検査スタートポイントの周りで検出エリアを回転走査させるとともに検出エリアの各位置においてクラック候補となる画素群を抽出する第2ステップと、検査スタートポイントを通り検査領域を複数個の小区画に分割する補助分割線を設定するとともに補助分割線上の複数個の分割点を通る分割線により各小区画をそれぞれ異なる方向に分割した分割エリアを生成する第3ステップと、複数の分割エリアのうちの規定個数以上にまたがるクラック候補が存在するときに当該クラック候補をクラックと判定する第4ステップとを有することを特徴とする。   The first aspect of the invention is an appearance inspection method, wherein a first step of setting an inspection start point on a boundary line of an inspection region set for an edge image generated from an original image that is a grayscale image of an inspection object; First, a detection area set linearly and at a constant width passing through the inspection start point is rotated around the inspection start point in the inspection area, and a pixel group that is a crack candidate is extracted at each position of the detection area. Set the auxiliary dividing line to divide the inspection area into a plurality of subdivisions through two steps and the inspection start point, and divide each subdivision in different directions by dividing lines passing through the plurality of dividing points on the auxiliary dividing line The third step of generating the divided areas, and there are crack candidates that extend beyond the specified number of the divided areas. And having a fourth step of determining the crack candidate cracks Rutoki.

請求項2の発明では、請求項1の発明において、前記分割線は、前記検査スタートポイントを中心とする多角形の輪郭線の一部であることを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the dividing line is a part of a polygonal outline centered on the inspection start point.

請求項3の発明では、請求項1の発明において、前記検査領域は矩形状であって前記検査スタートポイントは検査領域の1つの頂点に設定され、前記第3ステップでは、検査スタートポイントを通り前記エッジ画像の垂直軸に対して45度で交差する前記補助分割線により検査領域を2個の小区画に分割するとともに、補助分割線に設定した複数個の分割点から検査スタートポイントを挟む検査領域の2辺にそれぞれ下ろした垂線により検査領域を複数の分割エリアに分割することを特徴とする。   In the invention of claim 3, in the invention of claim 1, the inspection area is rectangular and the inspection start point is set at one vertex of the inspection area, and in the third step, the inspection start point passes through the inspection start point. The inspection area is divided into two small sections by the auxiliary dividing line intersecting at 45 degrees with respect to the vertical axis of the edge image, and the inspection area is sandwiched between the plurality of dividing points set in the auxiliary dividing line. The inspection region is divided into a plurality of divided areas by perpendicular lines respectively extending on the two sides.

請求項4の発明では、請求項1の発明において、前記検査領域は矩形状であって前記検査スタートポイントは検査領域の1つの頂点に設定され、前記第3ステップでは、検査スタートポイントを通る検査領域の対角線を前記補助分割線として補助分割線により検査領域を2個の小区画に分割するとともに、補助分割線に設定した複数個の分割点から検査スタートポイントを挟む検査領域の2辺にそれぞれ下ろした垂線により検査領域を複数の分割エリアに分割することを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the inspection area is rectangular and the inspection start point is set at one vertex of the inspection area. In the third step, the inspection passes through the inspection start point. The inspection area is divided into two subdivisions by the auxiliary dividing line with the diagonal of the area as the auxiliary dividing line, and each of the two sides of the inspection area sandwiching the inspection start point from the plurality of dividing points set in the auxiliary dividing line. The inspection area is divided into a plurality of divided areas by the lowered vertical line.

請求項5の発明では、請求項1の発明において、前記検査領域は矩形状であって前記検査スタートポイントは検査領域の一辺上に設定され、前記第3ステップでは、検査スタートポイントを通り検査領域の対辺の両端点とを結ぶ2本の直線をそれぞれ前記補助分割線として2本の補助分割線により検査領域を3個の小区画に分割するとともに、各補助分割線に設定した複数個の分割点から検査領域の残りの2辺に下ろした垂線と、各補助分割線上の分割点の間を結ぶ直線とにより検査領域を複数の分割エリアに分割することを特徴とする。   In the invention of claim 5, in the invention of claim 1, the inspection area is rectangular and the inspection start point is set on one side of the inspection area. In the third step, the inspection area passes through the inspection start point. Two inspection lines are divided into three subdivisions by two auxiliary dividing lines with the two straight lines connecting the opposite end points of the two sides as the auxiliary dividing lines, and a plurality of divisions set for each auxiliary dividing line The inspection area is divided into a plurality of divided areas by a perpendicular line extending from the point to the remaining two sides of the inspection area and a straight line connecting the dividing points on each auxiliary dividing line.

請求項6の発明では、請求項3〜5のいずれかの発明において、前記検査スタートポイントを中心とする複数個の同心円と前記補助分割線との交点を前記分割点とすることを特徴とする。   According to a sixth aspect of the present invention, in any one of the third to fifth aspects of the present invention, an intersection of a plurality of concentric circles centered on the inspection start point and the auxiliary dividing line is used as the dividing point. .

請求項7の発明では、請求項3〜5のいずれかの発明において、前記分割エリアは、前記小区画ごとに分割数が設定されることを特徴とする。   The invention according to claim 7 is the invention according to any one of claims 3 to 5, wherein the number of divisions is set for each of the small sections in the divided area.

請求項8の発明は、請求項1〜7のいずれかの発明において、前記第2ステップでは、前記検出エリアを回転させる角度の範囲が、前記検査領域内において指定された範囲であることを特徴とする。   The invention of claim 8 is characterized in that, in the invention of any one of claims 1 to 7, in the second step, an angle range for rotating the detection area is a range specified in the inspection area. And

請求項9の発明は、請求項1〜8のいずれかの発明において、前記第1ステップでは、前記検査領域に前記検査スタートポイントが複数個設定され、各検査スタートポイントごとに前記分割エリアが設定されることを特徴とする。   The invention of claim 9 is the invention according to any one of claims 1 to 8, wherein in the first step, a plurality of the inspection start points are set in the inspection area, and the divided areas are set for each inspection start point. It is characterized by being.

請求項10の発明は、外観検査方法であって、被検査物の濃淡画像である原画像から生成したエッジ画像に対して設定した検査領域の境界線上に検査スタートポイントを設定する第1ステップと、検査スタートポイントを通る直線状かつ一定幅に設定した検出エリアを検査領域内において検査スタートポイントの周りで検出エリアを回転走査させるとともに検出エリアの各位置においてクラック候補となる画素群を抽出する第2ステップと、検査スタートポイントを中心とする異なる径の複数個の円弧からなる分割線により検査領域内を分割した分割エリアを生成する第3ステップと、複数の分割エリアのうちの規定個数以上にまたがるクラック候補が存在するときに当該クラック候補をクラックと判定する第4ステップとを有することを特徴とする。   The invention according to claim 10 is a visual inspection method, wherein a first step of setting an inspection start point on a boundary line of an inspection region set for an edge image generated from an original image which is a gray image of an inspection object; First, a detection area set linearly and at a constant width passing through the inspection start point is rotated around the inspection start point in the inspection area, and a pixel group that is a crack candidate is extracted at each position of the detection area. 2 steps, a third step of generating a divided area in which the inspection area is divided by a dividing line composed of a plurality of arcs of different diameters centered on the inspection start point, and a predetermined number or more of the plurality of divided areas And a fourth step of determining the crack candidate as a crack when there is a crack candidate that spans. To.

請求項11の発明は、外観検査装置であって、被検査物の濃淡画像を撮像する撮像手段と、撮像手段により得られた濃淡画像からエッジ画像を生成するエッジ画像生成部と、エッジ画像内に検査領域を設定する検査領域設定部と、検査領域の境界線上に検査スタートポイントを設定する検査スタートポイント設定部と、検査スタートポイントを通る直線状かつ一定幅の検出エリアを設定し検査スタートポイントを中心として検出エリアを検査領域の範囲内で回転走査させるとともに検出エリアの各位置においてクラック候補となる画素群を抽出する処理部と、検査スタートポイントを通り検査領域を複数個の小区画に分割する補助分割線を設定するとともに補助分割線上の複数個の分割点を通る分割線により各小区画をそれぞれ異なる方向に分割した分割エリアを生成する分割エリア生成部と、複数の分割エリアのうちの規定個数以上にまたがるクラック候補が存在するときに当該クラック候補をクラックと判定するクラック判定部とを備えることを特徴とする。   The invention according to claim 11 is an appearance inspection apparatus, which is an imaging unit that captures a gray image of an object to be inspected, an edge image generation unit that generates an edge image from the gray image obtained by the imaging unit, An inspection area setting section for setting an inspection area, an inspection start point setting section for setting an inspection start point on the boundary line of the inspection area, and a detection area having a linear and constant width passing through the inspection start point. Rotating and scanning the detection area within the range of the inspection area with the center of the center, and a processing unit that extracts pixel groups that are crack candidates at each position of the detection area, and the inspection area is divided into a plurality of small sections through the inspection start point Set the subdivision lines to be performed and the subdivisions that pass through multiple subdivision points on the subdivision lines to make each subdivision in different directions. A divided area generating unit that generates a divided divided area, and a crack determining unit that determines a crack candidate as a crack when there are crack candidates extending over a specified number of divided areas. To do.

請求項1の発明によれば、検査スタートポイントの周りで幅狭の検出エリアを回転走査することにより検出されるクラック候補について、連続性の検証によりクラックであるか否かを確認する際に、検査スタートポイントを通り検査領域を複数個の小区画に分割する補助分割線を設定し、補助分割線上の複数個の分割点を通る分割線により各小区画をそれぞれ異なる方向に分割した分割エリアを生成し、クラック候補が規定個数以上の分割エリアにまたがるときに、当該クラック候補をクラックと判定するので、クラック候補がクラックか否かを確認するために設定する分割エリアを経験的に設定することなく自動的に設定することが可能になり、分割エリアの設定作業の省力化が可能になる。また、分割エリアを一定のルールに従って自動的に生成することができるから、クラックか否かの判定精度にばらつきがなく、再現性よくクラックを検出することができる。さらに、クラック候補の延長方向によらず分割エリアの分割数がほぼ等しくなるから、クラック候補の延長方向にかかわりなくクラックの連続性をほぼ同精度で検証することが可能になる。   According to the invention of claim 1, when checking whether or not it is a crack by verification of continuity for a crack candidate detected by rotating and scanning a narrow detection area around the inspection start point, Set the auxiliary dividing line that divides the inspection area into a plurality of subdivisions through the inspection start point, and divide each subdivision in different directions by dividing lines passing through the plurality of dividing points on the auxiliary dividing line When a crack candidate spans more than a specified number of divided areas, the crack candidate is determined to be a crack, so the divided area to be set to confirm whether the crack candidate is a crack should be set empirically. Therefore, it is possible to set automatically, and labor saving of the setting work of the divided area becomes possible. In addition, since the divided areas can be automatically generated according to a certain rule, the cracks can be detected with high reproducibility without variation in the accuracy of determining whether or not the crack is a crack. Further, since the number of divisions of the divided areas becomes almost the same regardless of the extension direction of the crack candidates, it is possible to verify the continuity of the cracks with almost the same accuracy regardless of the extension direction of the crack candidates.

請求項2の発明によれば、検査スタートポイントを中心とする多角形の輪郭線の一部を分割線に用いているから、円弧の一部を分割線に用いる場合に比較すれば、方向性が生じるものの判定が容易であって負荷の少ない処理が可能になる。   According to the invention of claim 2, since a part of the polygonal outline centered on the inspection start point is used as the dividing line, the directionality is compared with the case where a part of the arc is used as the dividing line. It is easy to determine what occurs, and processing with less load is possible.

請求項3の発明によれば、検査領域を45度方向の補助分割線で2個の小区画に分割するとともに、小区画ごとに分割方向を異ならせた分割エリアを設定しているから、クラック候補の延長方向によらず、ほぼ同精度でクラックの連続性を判定することができる。   According to the invention of claim 3, since the inspection area is divided into two small sections by the auxiliary dividing line in the 45 degree direction, and the divided areas are set differently for each small section, the crack Regardless of the extension direction of the candidates, the continuity of the cracks can be determined with substantially the same accuracy.

請求項4の発明によれば、検査領域を対角線である補助分割線で2個の小区画に分割するとともに、小区画ごとに分割方向を異ならせた分割エリアを設定しているから、クラック候補の延長方向によらず、ほぼ同精度でクラックの連続性を判定することができる。しかも、対角線を補助分割線に用いているから、補助分割線の設定が容易である。   According to the invention of claim 4, since the inspection area is divided into two small sections by the auxiliary dividing line that is a diagonal line, and the divided areas are set differently for each small section, the crack candidate Regardless of the extending direction, the continuity of cracks can be determined with substantially the same accuracy. In addition, since the diagonal line is used as the auxiliary dividing line, setting of the auxiliary dividing line is easy.

請求項5の発明によれば、検査領域を2本の補助分割線で3個の小区画に分割するとともに、小区画ごとに分割方向を異ならせた分割エリアを設定しているから、クラック候補の延長方向によらず、ほぼ同精度でクラックの連続性を判定することができる。しかも、3個の小区画に分割することによって、検査領域の一辺上の検査スタートポイント付近から延長されたクラックについて連続性を精度よく判定することができる。   According to the invention of claim 5, since the inspection area is divided into three subdivisions by two auxiliary division lines, and the division areas are set to have different division directions for each subdivision, the crack candidate Regardless of the extending direction, the continuity of cracks can be determined with substantially the same accuracy. Moreover, by dividing into three small sections, it is possible to accurately determine the continuity of the crack extended from the vicinity of the inspection start point on one side of the inspection area.

また、請求項3〜5の発明では、検査領域が矩形状であり、直線状の補助分割線により検査領域を2〜3個の小区画に分割しているから、クラックの連続性の判定が容易であり、処理負荷の小さい高速な判断が可能になる。   In the inventions of claims 3 to 5, since the inspection area is rectangular and the inspection area is divided into two or three small sections by a linear auxiliary dividing line, the determination of the continuity of cracks is made. It is easy and enables high-speed determination with a small processing load.

請求項6の発明によれば、補助分割線上の分割点を検査スタートポイントを中心とした複数個の同心円により規定しているから、分割線を幾何学的に設定することができ、被検査物ごとの検査精度のばらつきを防止できる。   According to the invention of claim 6, since the dividing point on the auxiliary dividing line is defined by a plurality of concentric circles centered on the inspection start point, the dividing line can be set geometrically, Variation in inspection accuracy can be prevented.

請求項7の発明によれば、小区画ごとに分割数を設定しているから、クラック候補の延長方向によらず、クラックの連続性を検証する精度が一定になるように分割数を規定することが可能になる。あるいはまた、クラック候補の延長方向に応じて、クラックの連続性を検証する精度を異ならせるように分割数を設定することも可能である。   According to the invention of claim 7, since the number of divisions is set for each small section, the number of divisions is defined so that the accuracy of verifying the continuity of cracks is constant regardless of the extension direction of the crack candidates. It becomes possible. Alternatively, the number of divisions can be set so that the accuracy of verifying the continuity of the cracks varies depending on the extension direction of the crack candidates.

請求項8の発明によれば、検出エリアの回転操作の範囲を制限することができるから、不要な範囲についてクラック候補を検出することによる誤検出の可能性を低減することができる。   According to the invention of claim 8, since the range of the rotation operation of the detection area can be limited, the possibility of erroneous detection by detecting a crack candidate in an unnecessary range can be reduced.

請求項9の発明によれば、検査スタートポイントを検査領域に複数個設定することにより、1個の検査領域で複数のクラックについて検査することが可能になる。   According to the ninth aspect of the present invention, it is possible to inspect a plurality of cracks in one inspection region by setting a plurality of inspection start points in the inspection region.

請求項10の発明によれば、
検査スタートポイントの周りで幅狭の検出エリアを回転走査することにより検出されるクラック候補について、連続性の検証によりクラックであるか否かを確認する際に、検査スタートポイントを中心とする径の異なる複数個の円弧を分割線に用いて検査領域を複数の分割エリアに分割し、クラック候補が規定個数以上の分割エリアにまたがるときに、当該クラック候補をクラックと判定するので、クラック候補がクラックか否かを確認するために設定する分割エリアを経験的に設定することなく自動的に設定することが可能になり、分割エリアの設定作業の省力化が可能になる。また、分割エリアを一定のルールに従って自動的に生成することができるから、クラックか否かの判定精度にばらつきがなく、再現性よくクラックを検出することができる。しかも、分割線が検査スタートポイントを中心とする円弧の一部であるから、検査領域の中でクラックの連続性を方向性なく検出することができる。さらに、クラック候補の延長方向によらず分割エリアの分割数がほぼ等しくなるから、クラック候補の延長方向にかかわりなくクラックの連続性をほぼ同精度で検証することが可能になる。
According to the invention of claim 10,
For crack candidates detected by rotating and scanning a narrow detection area around the inspection start point, when checking whether or not it is a crack by continuity verification, the diameter around the inspection start point is Dividing the inspection area into a plurality of divided areas using a plurality of different arcs as dividing lines, and when a crack candidate extends over a predetermined number of divided areas, the crack candidate is determined to be a crack. Therefore, it is possible to automatically set the divided area to be set to confirm whether or not it is empirically set, and to save labor for setting the divided area. In addition, since the divided areas can be automatically generated according to a certain rule, the cracks can be detected with high reproducibility without variation in the accuracy of determining whether or not the crack is a crack. In addition, since the dividing line is a part of an arc centered on the inspection start point, the continuity of the crack can be detected in the inspection area without directionality. Further, since the number of divisions of the divided areas becomes almost the same regardless of the extension direction of the crack candidates, it is possible to verify the continuity of the cracks with almost the same accuracy regardless of the extension direction of the crack candidates.

請求項11の発明の構成によれば、検査スタートポイントの周りで幅狭の検出エリアを回転走査することにより検出されるクラック候補について、連続性の検証によりクラックであるか否かを確認する際に、検査スタートポイントを通り検査領域を複数個の小区画に分割する補助分割線を設定するとともに、補助分割線上の複数個の分割点を通る分割線により各小区画をそれぞれ異なる方向に分割した分割エリアを生成し、さらに、クラック候補が規定個数以上の分割エリアにまたがるときに、当該クラック候補をクラックと判定するので、クラック候補がクラックか否かを確認するために設定する分割エリアを経験的に設定することなく自動的に設定することが可能になり、分割エリアの設定作業の省力化が可能になる。また、分割エリアを一定のルールに従って自動的に生成することができるから、クラックか否かの判定精度にばらつきがなく、再現性よくクラックを検出することができる。また、クラック候補の延長方向によらず分割エリアの分割数がほぼ等しくなるから、クラック候補の延長方向にかかわりなくクラックの連続性をほぼ同精度で検証することが可能になる。   According to the structure of the invention of claim 11, when confirming whether or not the crack candidate is detected by rotating and scanning the narrow detection area around the inspection start point, it is a crack by verifying continuity. In addition, an auxiliary dividing line that divides the inspection area into a plurality of small sections through the inspection start point is set, and each small section is divided in different directions by dividing lines that pass through the plurality of dividing points on the auxiliary dividing line. When a split area is generated, and the crack candidates cross over a predetermined number of split areas, the crack candidate is determined to be a crack, so experience the split area set to check whether the crack candidate is a crack or not. Therefore, it is possible to set automatically without setting, so that the labor for setting the divided area can be saved. In addition, since the divided areas can be automatically generated according to a certain rule, there is no variation in the accuracy of determining whether or not a crack is present, and a crack can be detected with good reproducibility. Moreover, since the number of divisions of the divided areas becomes almost equal regardless of the extension direction of the crack candidates, it is possible to verify the continuity of the cracks with almost the same accuracy regardless of the extension direction of the crack candidates.

実施形態を示すブロック図である。It is a block diagram which shows embodiment. 同上における検査スタートポイントの概念を示す図である。It is a figure which shows the concept of the inspection start point in the same as the above. 同上における検出エリアの概念を示す図である。It is a figure which shows the concept of the detection area in the same as the above. 同上における分割エリアの設定例を示す図である。It is a figure which shows the example of a setting of the division area in the same as the above. 同上における分割エリアの別の設定例を示す図である。It is a figure which shows another example of a setting of the division area in the same as the above. 同上における分割線の設定方法を示す図である。It is a figure which shows the setting method of the dividing line in the same as the above. 同上の動作説明図である。It is operation | movement explanatory drawing same as the above. 同上における分割エリアの他の設定例を示す図である。It is a figure which shows the other example of a setting of the divided area in the same as the above. 同上における分割エリアのさらに他の設定例を示す図である。It is a figure which shows the further another example of a setting of the division area in the same as the above. 同上の動作説明図である。It is operation | movement explanatory drawing same as the above.

本発明では、合成樹脂成形品のような被検査物に生じるクラックと、被検査物の表面に付着しているごみのような異物とを区別する技術について説明する。被検査物に付着している異物は拭き取ることにより除去することができるから、異物が付着している被検査物を良品として扱うことにより、いわゆる無駄はねを防止することができる。すなわち、異物の付着している被検査物とクラックの生じている被検査物とを区別することにより、無駄はねによる歩留まりの低下を抑制することができる。   In the present invention, a technique for distinguishing between a crack generated in an inspection object such as a synthetic resin molded product and a foreign substance such as dust attached to the surface of the inspection object will be described. Since the foreign matter adhering to the object to be inspected can be removed by wiping, the so-called waste splash can be prevented by treating the inspected object to which the foreign object is attached as a non-defective product. That is, it is possible to suppress a decrease in yield due to waste splashing by distinguishing between an inspection object to which foreign matter is attached and an inspection object having a crack.

図1に示すように、被検査物1を含む空間領域を撮像する撮像手段としてTVカメラ2を用いる。TVカメラ2により撮像された原画像は、画像処理装置10に入力される。画像処理装置10は、コンピュータにより適宜のプログラムを実行することで実現される。したがって、図1に示していないが、操作入力装置として少なくともキーボードとマウスとを利用でき、またモニタ装置としてCRTや液晶表示器を用いることができる。操作入力装置は入力インターフェイス21に接続され、モニタ装置は画像出力部22に接続される。   As shown in FIG. 1, a TV camera 2 is used as an imaging unit that images a spatial region including the inspection object 1. An original image captured by the TV camera 2 is input to the image processing apparatus 10. The image processing apparatus 10 is realized by executing an appropriate program by a computer. Therefore, although not shown in FIG. 1, at least a keyboard and a mouse can be used as the operation input device, and a CRT or a liquid crystal display can be used as the monitor device. The operation input device is connected to the input interface 21, and the monitor device is connected to the image output unit 22.

TVカメラ2により撮像された画像は、コンピュータに装着されるビデオキャプチャボードからなる画像撮込部23を通して取り込まれ、デジタル画像として画像記憶部11に格納される。画像記憶部11としては、通常は半導体メモリを用いるが、必要に応じてハードディスク装置のような大容量記憶装置を併用してもよい。   An image captured by the TV camera 2 is captured through an image capturing unit 23 including a video capture board attached to the computer, and is stored in the image storage unit 11 as a digital image. As the image storage unit 11, a semiconductor memory is usually used, but a mass storage device such as a hard disk device may be used in combination as required.

原画像は濃淡画像であり、画像記憶部11に格納された原画像に対しエッジ画像生成部12において周知の微分や細線化を施すことによりエッジ画像が生成される。エッジ画像は画像記憶部11に格納される。エッジ画像を生成する際には、濃度勾配の大きさに相当する微分絶対値(微分値)が求められ、また濃度の勾配方向に直交する方向が微分方向値(基準方向に対する角度または方向ごとに割り当てたコードを用いる)として求められる。微分方向値はエッジの延長方向に対応する。   The original image is a grayscale image, and the edge image is generated by subjecting the original image stored in the image storage unit 11 to known differentiation or thinning in the edge image generation unit 12. The edge image is stored in the image storage unit 11. When generating an edge image, a differential absolute value (differential value) corresponding to the magnitude of the density gradient is obtained, and a direction orthogonal to the density gradient direction is a differential direction value (for each angle or direction with respect to the reference direction). Use the assigned code). The differential direction value corresponds to the extending direction of the edge.

なお、微分絶対値および微分方向値は、本実施形態では、着目する画素を中心とする3×3画素の正方領域(言い換えると、8近傍)の濃度を用いて求める。微分絶対値は、正方領域において水平方向に沿った各辺の3個ずつの画素の濃度の和同士の差分と、正方領域において垂直方向に沿った各辺の3個ずつの画素の濃度の和同士の差分との比として求めることができる。また、微分方向値には、微分絶対値の逆正接によって求めた角度を90度回転させ、45度ずつの8個の角度区間に0〜7のコードを割り当てた値を用いる。たとえば、−22.5〜22.5度を0とし、157.5〜202.5度を4とする。上述した微分絶対値および微分方向値の求め方は一例であり、周知の他の求め方を用いることも可能である。   In the present embodiment, the differential absolute value and the differential direction value are obtained using the density of a 3 × 3 pixel square region (in other words, in the vicinity of 8) centered on the pixel of interest. The differential absolute value is the difference between the sum of the densities of three pixels on each side along the horizontal direction in the square area and the sum of the density of three pixels on each side along the vertical direction in the square area. It can obtain | require as ratio with the difference between. Further, as the differential direction value, a value obtained by rotating the angle obtained by the arctangent of the differential absolute value by 90 degrees and assigning codes of 0 to 7 to 8 angle sections of 45 degrees each is used. For example, -22.5 to 22.5 degrees is set to 0, and 157.5 to 202.5 degrees is set to 4. The above-described method for obtaining the differential absolute value and the differential direction value is an example, and other known methods can be used.

ところで、エッジ画像は被検査物1の着目する領域についてのみ求めればよいから、領域を限定するために検査領域設定部13が設けられている。検査領域設定部13では、原画像またはエッジ画像において着目する検査領域を設定する。検査領域は、被検査物1においてTVカメラ2に対面する一面の範囲内で設定する。また、検査領域の形状についてとくに制限はなく、検出しようとする形状に合わせて円形状や楕円形状の検査領域を設定することが可能であるが、以下の説明では、設定が容易である矩形状の検査領域を用いる。   By the way, since the edge image only needs to be obtained for the region of interest of the inspection object 1, an inspection region setting unit 13 is provided to limit the region. The inspection area setting unit 13 sets an inspection area of interest in the original image or the edge image. The inspection area is set within a range of one surface facing the TV camera 2 in the inspection object 1. The shape of the inspection area is not particularly limited, and a circular or elliptical inspection area can be set according to the shape to be detected. In the following description, a rectangular shape that is easy to set is used. The inspection area is used.

検査領域設定部13では、原画像またはエッジ画像を出力装置であるモニタ装置の画面で確認しながら入力装置を用いて人手により検査領域を設定する。TVカメラ2に対する被検査物1の位置は、通常は別装置により制御されているから、検査領域を一旦設定した後は検査領域を画像内の定位置に固定しておくことが可能である。ただし、この構成を採用する場合には、検査領域は定期的に修正する必要がある。検査領域設定部13としては、原画像の濃度変化などを利用して画像処理により検査領域を自動的に抽出する構成を採用してもよい。   The inspection area setting unit 13 manually sets an inspection area using an input device while confirming an original image or an edge image on a screen of a monitor device as an output device. Since the position of the inspection object 1 with respect to the TV camera 2 is normally controlled by a separate device, the inspection area can be fixed at a fixed position in the image after the inspection area is once set. However, when this configuration is adopted, it is necessary to periodically correct the inspection area. The inspection area setting unit 13 may employ a configuration in which an inspection area is automatically extracted by image processing using a change in density of the original image.

以下では、被検査物1を撮像した原画像が画像記憶部11に格納され、さらに原画像において検査領域が指定され、検査領域内の濃度を用いて生成されたエッジ画像が画像記憶部11に格納されているものとする。また、検査領域内について、エッジ画像の生成に用いた微分絶対値を画素値に持つ微分絶対値画像と、微分方向値を画素値に持つ微分方向値画像とが画像記憶部11に格納されているものとする。   In the following, an original image obtained by imaging the inspection object 1 is stored in the image storage unit 11, an inspection region is specified in the original image, and an edge image generated using the density in the inspection region is stored in the image storage unit 11. Assume that it is stored. In addition, a differential absolute value image having a differential absolute value used for generating an edge image as a pixel value and a differential direction value image having a differential direction value as a pixel value are stored in the image storage unit 11 in the inspection region. It shall be.

上述したように、クラックは異物に比較すると長く、またクラックの延長方向は被検査物1の部位に応じてほぼ決まっているから、延長方向と長さとの情報を抽出すれば、クラックと異物とを区別できると考えられる。以下では、クラックとごみのような異物との形状の特徴を利用して両者を識別する技術について説明する。   As described above, the crack is longer than the foreign object, and the extension direction of the crack is almost determined according to the part of the inspection object 1, so if the information on the extension direction and the length is extracted, the crack and the foreign object Can be distinguished. Below, the technique which identifies both using the feature of the shape of a foreign substance like a crack and dust is demonstrated.

被検査物1は、たとえば、合成樹脂成形品の器体を備える配線器具を想定し、器体が2部材(ボディとカバーと呼ぶ)を結合して形成されているものとする。すなわち、ボディの外側面に組立爪が突設され、カバーから延設した組立脚に設けた矩形状の組立孔が組立爪に係合することにより、ボディとカバーとが結合される周知構成の配線器具を被検査物1とする。この構成の配線器具では、組立脚の弾性を利用してボディとカバーとを結合しているから、組立脚の変形時にクラックが生じる場合がある。とくに、組立孔が矩形状であるから、クラックは組立孔の角付近に生じる可能性が高くなる。   For example, the inspection object 1 is assumed to be a wiring device including a container of a synthetic resin molded product, and the container is formed by joining two members (referred to as a body and a cover). That is, an assembly pawl is projected on the outer surface of the body, and a rectangular assembly hole provided on an assembly leg extending from the cover is engaged with the assembly pawl so that the body and the cover are coupled. The wiring device is the inspection object 1. In the wiring device having this configuration, since the body and the cover are coupled using the elasticity of the assembly leg, a crack may occur when the assembly leg is deformed. In particular, since the assembly hole is rectangular, there is a high possibility that a crack will occur near the corner of the assembly hole.

本実施形態では、図2に示すように、検査領域Ddを長方形状とし、検査領域Ddの長辺を原画像の水平方向に一致させ、短辺を原画像の垂直方向に一致させている。   In the present embodiment, as shown in FIG. 2, the inspection area Dd is rectangular, the long side of the inspection area Dd is made to match the horizontal direction of the original image, and the short side is made to match the vertical direction of the original image.

検査領域Ddが設定されると、検査スタートポイント設定部14により、検査領域Ddを囲む境界線Lbの上に複数個の検査スタートポイントPsが設定される。検査スタートポイント設定部14は、検査領域設定部13により設定される検査領域Ddに対してあらかじめ定められている位置に検査スタートポイントPsを設定する。検査スタートポイントPsは、図2に示す複数位置に設定することができる。ただし、以下に説明する実施形態では、検査スタートポイントPsを、検査領域Ddの左上角に設定する場合と、検査領域Ddの左辺に設定する場合とについてのみ例示する。   When the inspection area Dd is set, the inspection start point setting unit 14 sets a plurality of inspection start points Ps on the boundary line Lb surrounding the inspection area Dd. The inspection start point setting unit 14 sets the inspection start point Ps at a predetermined position with respect to the inspection region Dd set by the inspection region setting unit 13. The inspection start point Ps can be set at a plurality of positions shown in FIG. However, in the embodiment described below, only the case where the inspection start point Ps is set to the upper left corner of the inspection region Dd and the case where it is set to the left side of the inspection region Dd is illustrated.

検査スタートポイントPsが設定されると、処理部15により、図3に示すように、検査スタートポイントPsを通る直線状かつ一定幅である狭幅の検出エリアEcが設定され、検査スタートポイントPsの周りで検出エリアEcが走査される。ただし、検出エリアEcの走査範囲は、検査領域Ddの中に制限される。   When the inspection start point Ps is set, as shown in FIG. 3, the processing unit 15 sets a detection area Ec having a straight line and a constant width passing through the inspection start point Ps, and the inspection start point Ps is set. The detection area Ec is scanned around. However, the scanning range of the detection area Ec is limited to the inspection area Dd.

以下では、検査スタートポイントPsを中心として検出エリアEcを走査する処理を回転走査と呼ぶ。検出エリアEcの回転走査の際には、たとえば1度刻みで検出エリアEcの位置を変化させる。ここに、検出エリアEcは検査領域Ddの中のみを走査範囲とするから、検出エリアEcの長さは回転位置に応じて伸縮する。   Hereinafter, the process of scanning the detection area Ec around the inspection start point Ps is referred to as rotational scanning. At the time of rotational scanning of the detection area Ec, for example, the position of the detection area Ec is changed in increments of 1 degree. Here, since the detection area Ec has a scanning range only in the inspection area Dd, the length of the detection area Ec expands and contracts according to the rotation position.

図3の例では、検出エリアEcが検査領域Ddの長辺に接しているときには、検出エリアEcの長さは検査領域Ddの長辺の長さ寸法に一致し、検出エリアEcが検査領域Ddの短辺に接しているときには、検出エリアEcの長さは検査領域Ddの短辺の長さ寸法に一致する。   In the example of FIG. 3, when the detection area Ec is in contact with the long side of the inspection area Dd, the length of the detection area Ec matches the length of the long side of the inspection area Dd, and the detection area Ec is in the inspection area Dd. The length of the detection area Ec matches the length of the short side of the inspection area Dd.

図示例では、検出エリアEcが回転走査される範囲は90度であって、検出エリアEcの長さが最大になるのは、検出エリアEcが検査領域Ddの対角線に重なる場合である。検出エリアEcは検査領域Ddの中で時計回りに回転走査させる。したがって、図3に示す例では、検出エリアEcが検査領域Ddの長辺に重なる位置から回転走査が開始され、短辺に重なる位置で回転走査が終了する。   In the illustrated example, the range in which the detection area Ec is rotationally scanned is 90 degrees, and the length of the detection area Ec is maximized when the detection area Ec overlaps the diagonal line of the inspection region Dd. The detection area Ec is rotated and scanned clockwise in the inspection area Dd. Therefore, in the example shown in FIG. 3, the rotational scanning is started from the position where the detection area Ec overlaps the long side of the inspection region Dd, and the rotational scanning is ended at the position overlapping the short side.

上述の動作は、検査領域Ddの全領域について検出エリアEcの回転走査を行うことを想定しているが、検出エリアEcの回転走査を行う角度範囲を制限することにより誤検出を防止することができる上に、回転走査に伴う処理時間が短縮される。回転走査の角度範囲は、回転走査角度設定部16により設定可能になっている。すなわち、入力インターフェイス21に接続された走査入力装置により回転走査の角度範囲を指示すると、回転走査角度設定部16に回転走査の角度範囲が設定され、処理部15では当該角度範囲において検出エリアEcの回転走査を行う。   The above-described operation assumes that the detection area Ec is rotationally scanned over the entire inspection area Dd. However, by limiting the angle range in which the detection area Ec is rotationally scanned, erroneous detection can be prevented. In addition, the processing time associated with rotational scanning is reduced. The rotational scanning angle range can be set by the rotational scanning angle setting unit 16. That is, when an angular range of rotational scanning is instructed by the scanning input device connected to the input interface 21, the rotational scanning angular range is set in the rotational scanning angle setting unit 16, and the processing unit 15 detects the detection area Ec in the angular range. Rotational scanning is performed.

検出エリアEcの幅は、クラックの幅よりやや大きくなる程度に経験的に設定される。すなわち、検出エリアEcがクラックに重なったときに、クラックの大部分が検出エリアEcに含まれるように検出エリアEcの幅が設定される。ただし、検出エリアEcの幅が大きすぎると、1つの検出エリアEcに複数のクラックが含まれる場合があるから、検出エリアEcの幅は1個のクラックが含まれる程度に設定される。   The width of the detection area Ec is empirically set so as to be slightly larger than the width of the crack. That is, the width of the detection area Ec is set so that most of the crack is included in the detection area Ec when the detection area Ec overlaps the crack. However, if the width of the detection area Ec is too large, a single detection area Ec may include a plurality of cracks. Therefore, the width of the detection area Ec is set to include only one crack.

検出エリアEcの回転走査を行う間には、検出エリアEcの各位置ごとに検出エリアEcの中でラスター走査を行い、微分絶対値が規定値を超える画素を抽出する。つまり、クラックなどの欠陥部のエッジ上に存在する画素の有無を探索する。微分絶対値に対する規定値は、クラックに相当するエッジが検出できるように経験的に決定される。   During the rotational scanning of the detection area Ec, raster scanning is performed in the detection area Ec for each position of the detection area Ec, and pixels whose differential absolute value exceeds the specified value are extracted. That is, the presence / absence of a pixel present on the edge of a defective part such as a crack is searched. The prescribed value for the differential absolute value is determined empirically so that an edge corresponding to a crack can be detected.

検出エリアEcの中で微分絶対値が規定値を超える画素が存在するときには、当該画素について微分方向値を規定の角度範囲と比較する。つまり、検出エリアEcの回転走査が行われる間に、検出エリアEcの位置(角度)ごとにクラックの延長方向に相当する角度範囲(要するに、検出エリアEcの延長方向に対して所定の角度範囲)をあらかじめ規定しておき、上述のようにして微分方向値を求めたときに、当該微分方向値がこの角度範囲内であるときには、当該画素を欠陥候補点として記憶する。欠陥候補点の検出は、処理部15において行う。また、欠陥候補点が抽出されると、処理部15において欠陥候補点の微分絶対値を積算する。   When a pixel whose differential absolute value exceeds a specified value exists in the detection area Ec, the differential direction value is compared with a specified angle range for the pixel. That is, an angular range corresponding to the extending direction of the crack for each position (angle) of the detection area Ec (in other words, a predetermined angular range with respect to the extending direction of the detection area Ec) during the rotational scanning of the detection area Ec. Is determined in advance, and when the differential direction value is obtained as described above, if the differential direction value is within this angular range, the pixel is stored as a defect candidate point. The defect candidate point is detected by the processing unit 15. When defect candidate points are extracted, the processing unit 15 integrates the differential absolute values of the defect candidate points.

処理部15では、検出エリアEcの各位置ごとに欠陥候補点の総数および欠陥候補点の微分絶対値の総和を求め、欠陥候補点の総数と欠陥候補点の微分絶対値の総和との両方が、それぞれに対して規定されたしきい値を超える場合は、当該検出エリアEcにおける欠陥候補点の連結領域をクラック候補と判断する。   The processing unit 15 obtains the total number of defect candidate points and the sum of differential absolute values of defect candidate points for each position of the detection area Ec, and both the total number of defect candidate points and the sum of differential absolute values of defect candidate points are obtained. When the threshold values defined for the respective areas are exceeded, the connection area of the defect candidate points in the detection area Ec is determined as a crack candidate.

ここにおいて、狭幅の検出エリアEcを設定していることにより、検査領域Ddの中で被検査物1に付着している異物とクラックとを分離することができるから、クラックと異物とのそれぞれの特徴量について検査することでクラックと異物とを識別することが可能になる。   In this case, since the narrow detection area Ec is set, the foreign matter and the crack attached to the inspection object 1 in the inspection region Dd can be separated. It is possible to discriminate between a crack and a foreign object by inspecting the feature amount.

ところで、上述の処理では、欠陥候補点の総数と欠陥候補点に関する微分絶対値の総和とをそれぞれしきい値と比較することによってクラック候補を検出しているが、本実施形態では、クラック候補がクラックであることを検証するために、クラック候補の連続性についても確認している。   By the way, in the above-described processing, crack candidates are detected by comparing the total number of defect candidate points and the sum of differential absolute values related to defect candidate points with respective threshold values. In order to verify that it is a crack, the continuity of crack candidates is also confirmed.

クラック候補の連続性を確認するために、本実施形態では、検査領域Ddの中を複数個の分割エリアに分割し、クラック候補として抽出された画素群(連結領域)が複数の分割エリアにまたがって存在しているか否かを判定する方法を採用する。本実施形態は、クラックの延長方向によらずクラックの連続性を確認することができるように分割エリアを設定する技術に特徴を有している。   In this embodiment, in order to confirm the continuity of the crack candidates, the inspection area Dd is divided into a plurality of divided areas, and a group of pixels (connected areas) extracted as crack candidates extends over the plurality of divided areas. Adopt a method of determining whether or not it exists. The present embodiment has a feature in a technique for setting divided areas so that the continuity of cracks can be confirmed regardless of the extension direction of the cracks.

すなわち、理想的な状態としてクラックの一端に検査スタートポイントPsが設定されている場合には、クラックは、検査領域Ddの中で検査スタートポイントPsから延長されることになる。言い換えると、クラックの延長方向は、検査スタートポイントPsを中心とする円の半径方向にほぼ沿っていると言える。   That is, when the inspection start point Ps is set at one end of the crack as an ideal state, the crack is extended from the inspection start point Ps in the inspection region Dd. In other words, it can be said that the extending direction of the crack is substantially along the radial direction of the circle centering on the inspection start point Ps.

したがって、検査スタートポイントPsを中心とした異なる直径の複数個の円弧を設定し、当該円弧を分割線に用いて検査領域Ddを分割線で分割した分割エリアを形成すると、クラックの延長方向にかかわらず、クラックが分割線に交差する可能性が高くなる。すなわち、検査スタートポイントPsを中心とする複数個の同心円を設定し、同心円の輪郭線のうち検査領域Ddに含まれる部位を分割線に用い、検査領域Ddを分割線により複数個の分割エリアに区分するのである。なお、各分割線は、等間隔で設定するのが望ましい。   Therefore, when a plurality of arcs having different diameters with the inspection start point Ps as the center are set, and the division area is formed by dividing the inspection area Dd by the division lines using the arcs as the division lines, the cracks extend in the extending direction. Therefore, there is a high possibility that the crack intersects the dividing line. That is, a plurality of concentric circles with the inspection start point Ps as the center are set, and a portion included in the inspection region Dd is used as a dividing line among the outlines of the concentric circles, and the inspection region Dd is divided into a plurality of dividing areas by the dividing lines. It is divided. Each dividing line is desirably set at equal intervals.

上述のような複数個の分割エリアを形成しておけば、クラックは複数個の分割エリアにまたがって検出されることが予想されるから、クラック候補が通った分割エリアの個数に対して閾値を規定しておくことにより、クラック候補の連続性を確認することができ、クラックか否かを判別することが可能になる。つまり、分割エリア生成部17において分割エリアを設定し、さらにクラック判定部18においてクラック候補がまたがっている分割エリアの個数を閾値と比較し、閾値を超えていれば、クラックが存在すると判定するのである。   If a plurality of divided areas as described above are formed, cracks are expected to be detected across a plurality of divided areas. Therefore, a threshold is set for the number of divided areas through which crack candidates pass. By prescribing, it is possible to confirm the continuity of crack candidates and to determine whether or not the crack is a crack. That is, the divided area generation unit 17 sets divided areas, and the crack determination unit 18 compares the number of divided areas where the crack candidates are straddled with a threshold value. If the threshold value is exceeded, it is determined that a crack exists. is there.

ところで、上述のように、円弧の一部である分割線を用いて分割エリアを形成すると、分割線の座標位置とクラック候補に含まれる画素の座標位置とを比較する処理の負荷が大きくなる。そこで、図4(b)に示すように、分割線Ldとして多角形の輪郭線の一部を用いてもよい。   By the way, as described above, when a divided area is formed by using a dividing line that is a part of an arc, the processing load for comparing the coordinate position of the dividing line with the coordinate position of a pixel included in a crack candidate increases. Therefore, as shown in FIG. 4B, a part of the polygonal outline may be used as the dividing line Ld.

このような分割線Ldを設定する際には、各多角形の辺同士がそれぞれ平行になるように各多角形の頂点位置を設定するのが望ましい。このような分割線Ldを設定する場合は、図4(a)に示すように、検査スタートポイントPsを通る直線状の補助分割線Laにより検査領域Ddを複数個の小区画Bsに分割し、図4(b)のように、小区画Bsごとに補助分割線Laに交差しかつ互いに平行な複数本の部分分割線Lpを設定する。図示例では4本の補助分割線Laにより5個の小区画Bsに分割している。   When setting such a dividing line Ld, it is desirable to set the vertex position of each polygon so that the sides of each polygon are parallel to each other. When setting such a dividing line Ld, as shown in FIG. 4A, the inspection region Dd is divided into a plurality of small sections Bs by a linear auxiliary dividing line La passing through the inspection start point Ps. As shown in FIG. 4B, a plurality of partial dividing lines Lp that intersect with the auxiliary dividing line La and are parallel to each other are set for each of the small sections Bs. In the illustrated example, it is divided into five small sections Bs by four auxiliary dividing lines La.

ここで、隣接する小区画Bsの一対の部分分割線Lpが補助分割線Laの上で交点を持つように位置を設定することにより、隣接する小区画Bsの部分分割線Lpを連結した分割線Ldを形成することができる。すなわち、多角形の輪郭線の一部を分割線Ldとする複数個の分割エリアEdが検査領域Ddの中に形成される。   Here, the dividing line which connected the partial dividing line Lp of the adjacent small division Bs by setting a position so that a pair of partial dividing line Lp of the adjacent small division Bs has an intersection on the auxiliary dividing line La. Ld can be formed. That is, a plurality of divided areas Ed having a part of the polygonal outline as the dividing line Ld are formed in the inspection region Dd.

図4(b)に示す分割線Ldにより検査領域Ddを分割した分割エリアEdを用いると、同心円状の分割線Ldで検査領域Ddを分割した場合と同様に、クラック候補がまたがっている分割エリアEdの個数を閾値と比較することによりクラックの連続性を確認することができる。   When the divided area Ed obtained by dividing the inspection area Dd by the dividing line Ld shown in FIG. 4B is used, as in the case where the inspection area Dd is divided by the concentric dividing line Ld, the divided area spans the crack candidates. The continuity of cracks can be confirmed by comparing the number of Ed with a threshold value.

多角形の輪郭線の一部を用いた図4(b)のような分割線Ldは、円弧の一部を分割線Ldに用いる場合に比較すると処理負荷が少なくなるものの、補助分割線Laの本数が多くなるほど処理負荷が増加するから、依然として処理負荷は比較的大きい。   The dividing line Ld as shown in FIG. 4B using a part of the polygonal outline is less in processing load than the case where a part of the arc is used as the dividing line Ld. Since the processing load increases as the number increases, the processing load is still relatively large.

ここで、多角形の輪郭線の一部を分割線Ldに用いている場合の処理負荷を軽減するには、部分分割線Lpをエッジ画像の水平方向または垂直方向に平行になるように設定することが有効と考えられる。これは、部分分割線Lpが水平方向に設定されていれば、クラック候補の連続性を垂直方向の座標位置のみに着目して確認することができ、部分分割線Lpが垂直方向に設定されていれば、クラック候補の連続性を水平方向の座標位置のみに着目して確認することができるからである。   Here, in order to reduce the processing load when a part of the polygonal outline is used as the dividing line Ld, the partial dividing line Lp is set to be parallel to the horizontal direction or the vertical direction of the edge image. Is considered effective. If the partial dividing line Lp is set in the horizontal direction, the continuity of the crack candidates can be confirmed by paying attention only to the vertical coordinate position, and the partial dividing line Lp is set in the vertical direction. This is because the continuity of crack candidates can be confirmed by paying attention only to the coordinate position in the horizontal direction.

そこで、検査領域Ddの角部に検査スタートポイントPsを設定しているときには、図5(a)のように、検査スタートポイントPsを通り、検査領域Ddを2個の小区画Bsに分割する直線状の補助分割線Laを設定し、図5(b)のように、補助分割線Laを複数に分割する分割点から水平方向と垂直方向とに部分分割線Lpを延長することにより分割エリアEdを形成する。つまり、各小区画Bsにおける部分分割線Lpの交点は補助分割線Laの上の分割点に一致する。   Therefore, when the inspection start point Ps is set at the corner of the inspection region Dd, a straight line that passes through the inspection start point Ps and divides the inspection region Dd into two small sections Bs as shown in FIG. As shown in FIG. 5 (b), a divided area Ed is formed by extending a partial dividing line Lp in a horizontal direction and a vertical direction from a dividing point where the auxiliary dividing line La is divided into a plurality of parts. Form. That is, the intersection of the partial dividing lines Lp in each small section Bs coincides with the dividing point on the auxiliary dividing line La.

補助分割線Laの上に分割点を設定するには、図6に示すように、検査スタートポイントPsを中心とする複数個の円弧Ccを等間隔で設定し、各円弧Ccと補助分割線Laとの交点を分割点に用いればよい。   To set a dividing point on the auxiliary dividing line La, as shown in FIG. 6, a plurality of arcs Cc centering on the inspection start point Ps are set at equal intervals, and each arc Cc and the auxiliary dividing line La are set. The intersection point with may be used as a dividing point.

いま、図7(a)のように、被検査物1の左上角付近からクラックC1,C2が生じている場合を想定する。ここで、図7(b)に示すように、矩形状の検査領域Ddを垂直方向の分割線Ld′により分割し水平方向において複数の分割エリアEd′を設けている場合と、図7(c)に示すように、矩形状の検査領域Ddの1つの対角線を補助分割線LaとしてL字状の分割線Ldを用いて分割エリアEdを設けている場合とを比較する。   Now, as shown in FIG. 7A, a case is assumed in which cracks C1 and C2 are generated from the vicinity of the upper left corner of the object 1 to be inspected. Here, as shown in FIG. 7B, a rectangular inspection region Dd is divided by a vertical dividing line Ld ′, and a plurality of divided areas Ed ′ are provided in the horizontal direction, and FIG. As shown in (), the case where the divided area Ed is provided using the L-shaped dividing line Ld with one diagonal line of the rectangular inspection region Dd as the auxiliary dividing line La will be compared.

クラック候補の連続性を確認するための閾値を5とすれば、図7(b)のような短冊状の分割エリアEd′を用いると、水平方向に沿って延長されているクラックC1は5個の分割エリアEd′にまたがっていることにより連続性があると判断されてクラックとして検出される。一方、垂直方向に沿って延長されているクラックC2は3個の分割エリアEd′にしかまたがっていないから連続性がないと判断される。   If the threshold value for confirming the continuity of the crack candidates is 5, if the strip-shaped divided area Ed ′ as shown in FIG. 7B is used, the number of cracks C1 extending along the horizontal direction is five. It is determined that there is continuity by straddling the divided area Ed ′, and is detected as a crack. On the other hand, since the crack C2 extending along the vertical direction extends over only the three divided areas Ed ′, it is determined that there is no continuity.

これに対して、図7(c)のようなL字状の分割エリアEdを用いると、水平方向に沿って延長されているクラックC1と、垂直方向に沿って延長されているクラックC2とがともに5個の分割エリアEdにまたがっているから、いずれも連続性があると判断される。   On the other hand, when an L-shaped divided area Ed as shown in FIG. 7C is used, a crack C1 extending along the horizontal direction and a crack C2 extending along the vertical direction are formed. Since both span five divided areas Ed, it is determined that all have continuity.

すなわち、L字状の分割エリアEdを用いることにより、クラックC1,C2の延長方向にかかわらずクラックの連続性を確認することが可能になる。   That is, by using the L-shaped divided area Ed, it is possible to confirm the continuity of the crack regardless of the extending direction of the cracks C1 and C2.

図示例では検査領域Ddの対角線を補助分割線Laに用いているが、検査スタートポイントPsを通り水平方向に対して45度をなす直線を補助分割線Laに用いることもできる。前者の補助分割線Laは設定が容易であり、後者の補助分割線Laでは、各小区画Bsにおいて補助分割線Laが等間隔になるから、クラック候補の延長方向によらず同じ精度で連続性を確認することができる。   In the illustrated example, the diagonal line of the inspection region Dd is used as the auxiliary dividing line La, but a straight line passing through the inspection start point Ps and forming 45 degrees with respect to the horizontal direction can also be used as the auxiliary dividing line La. The former auxiliary dividing line La is easy to set, and in the latter auxiliary dividing line La, the auxiliary dividing lines La are equally spaced in each of the small sections Bs. Can be confirmed.

前者のように検査領域Ddの対角線を補助分割線Laに用いている場合において、クラック候補の延長方向によらずに連続性の確認の精度を等しくするには、図8に示すように、各小区画Bsごとに部分分割線Lpを等間隔で設定してもよい。この場合、各小区画Bsの部分分割線Lpは補助分割線Laの上で交差しないが、各小区画Bsの中ではクラック候補の連続性を同精度で確認することができる。   In the case where the diagonal line of the inspection region Dd is used as the auxiliary dividing line La as in the former case, in order to make the accuracy of continuity confirmation equal regardless of the extension direction of the crack candidates, as shown in FIG. The partial dividing lines Lp may be set at equal intervals for each small section Bs. In this case, the partial dividing line Lp of each small section Bs does not intersect on the auxiliary dividing line La, but the continuity of crack candidates can be confirmed with the same accuracy in each small section Bs.

ところで、上述の例では検査スタートポイントPsを検査領域Ddの角部に設定している場合について説明したが、検査スタートポイントPsは、図9に示すように、検査領域Ddの一辺に設定する場合もある。検査スタートポイントPsを検査領域Ddの一辺に設定することは、角部に検査スタートポイントPsを設定している検査領域Ddを2個連接したことと等価であるから、角部に検査スタートポイントPsを備える2個の検査領域Ddとみなして分割線Ldを設定すればよい。   In the above example, the case where the inspection start point Ps is set at the corner of the inspection region Dd has been described. However, the inspection start point Ps is set at one side of the inspection region Dd as shown in FIG. There is also. Setting the inspection start point Ps to one side of the inspection region Dd is equivalent to connecting two inspection regions Dd having the inspection start point Ps set at the corner, and therefore the inspection start point Ps at the corner. And the dividing line Ld may be set.

図9に示す例は、検査領域Ddの対角線を補助分割線Laに用いる場合と同様に、検査スタートポイントPsを通る直線状の補助分割線Laを設定する。ここで、図9に示す検査領域Ddを、検査スタートポイントPsを通る水平方向の直線で上下に分ければ、角部に検査スタートポイントPsを設定した2個の検査領域を連接したものとみなせるから、連接した各検査領域ごとに検査スタートポイントPsを通る対角線を補助分割線Laに用いることにより、図5に示した例と同様の手順で分割線Ldを設定することができる。   In the example shown in FIG. 9, a linear auxiliary dividing line La passing through the inspection start point Ps is set in the same manner as when the diagonal line of the inspection region Dd is used as the auxiliary dividing line La. Here, if the inspection area Dd shown in FIG. 9 is divided vertically by a horizontal straight line passing through the inspection start point Ps, it can be considered that two inspection areas having the inspection start point Ps connected to the corner are connected. By using a diagonal line passing through the inspection start point Ps for each connected inspection region as the auxiliary dividing line La, the dividing line Ld can be set in the same procedure as in the example shown in FIG.

この例では、図9(a)のように、検査領域Ddに2本の補助分割線Laが設定されることにより3個の小区画Bsが形成され、各小区画Bsを水平方向または垂直方向の部分分割線Lpで分割することにより、分割エリアEdを形成することができる。上述した例と同様に、隣接する小区画Bsにおける部分分割線Lpの交点が補助分割線Laの上に位置するように部分分割線Lpを設定すればよいが、隣接する小区画Bsに設定した部分分割線Lpが補助分割線Laの上に交点を持つことは必須ではなく、各小区画Bsける部分分割線Lpの間隔を等しくしてもよい。   In this example, as shown in FIG. 9A, three auxiliary sections Bs are formed by setting two auxiliary dividing lines La in the inspection area Dd, and each of the small sections Bs is arranged in the horizontal direction or the vertical direction. The divided area Ed can be formed by dividing by the partial dividing line Lp. Similar to the above-described example, the partial dividing line Lp may be set so that the intersection of the partial dividing lines Lp in the adjacent small section Bs is positioned on the auxiliary dividing line La, but it is set to the adjacent small section Bs. It is not essential for the partial dividing line Lp to have an intersection point on the auxiliary dividing line La, and the intervals of the partial dividing lines Lp in the respective small sections Bs may be equalized.

上述した分割線Ldの間隔は被検査物1に応じて設定され、たとえば1〜2mmの間隔に設定される。また、検査領域Ddに形成する分割エリアEdの個数は、たとえば上限を16個として、任意に個数が設定される。クラック候補の連続性を確認してクラックと判定するための閾値は、たとえば5〜8に設定しておけばよい。すなわち、クラック候補が5〜6個の分割エリアEdにまたがっていることが確認されると、当該クラック候補をクラックと判定するのである。   The interval between the dividing lines Ld described above is set according to the inspection object 1, for example, an interval of 1 to 2 mm. Further, the number of divided areas Ed formed in the inspection region Dd is arbitrarily set, for example, with an upper limit of 16. The threshold value for confirming the continuity of the crack candidates and determining as a crack may be set to 5 to 8, for example. That is, when it is confirmed that the crack candidate extends over 5 to 6 divided areas Ed, the crack candidate is determined as a crack.

上述したクラックの検出技術について処理の手順をまとめると、図10のようになる。まず、TVカメラ2により被検査物1を撮像し(S1)、被検査物1の濃淡画像を用いてエッジ画像を生成する(S2)。検査領域設定部13ではエッジ画像において検査領域Ddを設定し、さらに検査スタートポイント設定部6では検査領域Ddについて検査スタートポイントPsを設定する。さらに、処理部15において、検出エリアEcを設定し、検出エリアEcの回転走査を行う(S4)。検出エリアEcの回転走査を行う間に、微分絶対値および微分方向値を用いてクラック候補を検出する(S3)。   FIG. 10 shows a summary of the processing procedure for the crack detection technique described above. First, the inspection object 1 is imaged by the TV camera 2 (S1), and an edge image is generated using the grayscale image of the inspection object 1 (S2). The inspection region setting unit 13 sets the inspection region Dd in the edge image, and the inspection start point setting unit 6 sets the inspection start point Ps for the inspection region Dd. Further, the processing unit 15 sets a detection area Ec and performs rotation scanning of the detection area Ec (S4). While performing rotation scanning of the detection area Ec, a crack candidate is detected using the differential absolute value and the differential direction value (S3).

クラック候補が検出されると、分割エリア生成部17により検査領域Ddを複数に分割した分割エリアEdが設定され、クラック判定部18においてクラック候補の連続性が確認される(S5)。クラック候補がまたがっている分割エリアEcの個数が閾値以上であると(つまり、連続性があると)、クラック候補をクラックと判定する(S6)。一方、クラック候補が存在しないか(S3:NO)、クラック候補に連続性がないと(S5:NO)、クラックのない良品と判定する(S7)。   When a crack candidate is detected, a divided area Ed obtained by dividing the inspection region Dd into a plurality of parts is set by the divided area generation unit 17, and the continuity of the crack candidates is confirmed in the crack determination unit 18 (S5). If the number of the divided areas Ec over which the crack candidates are spread is equal to or greater than the threshold (that is, if there is continuity), the crack candidates are determined as cracks (S6). On the other hand, if there is no crack candidate (S3: NO), or if there is no continuity in the crack candidate (S5: NO), it is determined that the crack is a good product (S7).

上述の例では、検査領域Ddにおける1個の検査スタートポイントPsに着目して説明したが、上述したように、検査領域Ddには複数個の検査スタートポイントPsが設定されるから、各検査スタートポイントPsごとに検出エリアEcを設定することで、1個の検査領域Ddを用いて複数箇所の検査を行うことが可能になる。   In the above example, the description has been given focusing on one inspection start point Ps in the inspection area Dd. However, as described above, since a plurality of inspection start points Ps are set in the inspection area Dd, each inspection start point Ps is set. By setting the detection area Ec for each point Ps, it becomes possible to inspect a plurality of places using one inspection region Dd.

1 被検査物
2 TVカメラ
10 画像処理装置
11 画像記憶部
12 エッジ画像生成部
13 検査領域設定部
14 検査スタートポイント設定部
15 処理部
16 回転走査角度設定部
17 分割エリア生成部
18 クラック判定部
Bs 小区画
C1,C2 クラック
Dd 検査領域
Ec 検出エリア
Ed 分割エリア
La 補助分割線
Ld 分割線
Lp 部分分割線
Ps 検査スタートポイント
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inspection object 2 TV camera 10 Image processing apparatus 11 Image storage part 12 Edge image generation part 13 Inspection area setting part 14 Inspection start point setting part 15 Processing part 16 Rotation scanning angle setting part 17 Divided area generation part 18 Crack determination part Bs Subdivision C1, C2 Crack Dd Inspection area Ec Detection area Ed Divided area La Auxiliary dividing line Ld Dividing line Lp Partial dividing line Ps Inspection start point

Claims (11)

被検査物の濃淡画像である原画像から生成したエッジ画像に対して設定した検査領域の境界線上に検査スタートポイントを設定する第1ステップと、検査スタートポイントを通る直線状かつ一定幅に設定した検出エリアを検査領域内において検査スタートポイントの周りで検出エリアを回転走査させるとともに検出エリアの各位置においてクラック候補となる画素群を抽出する第2ステップと、検査スタートポイントを通り検査領域を複数個の小区画に分割する補助分割線を設定するとともに補助分割線上の複数個の分割点を通る分割線により各小区画をそれぞれ異なる方向に分割した分割エリアを生成する第3ステップと、複数の分割エリアのうちの規定個数以上にまたがるクラック候補が存在するときに当該クラック候補をクラックと判定する第4ステップとを有することを特徴とする外観検査方法。   The first step of setting the inspection start point on the boundary line of the inspection region set for the edge image generated from the original image which is the gray image of the inspection object, and the linear shape and the constant width passing through the inspection start point are set. A second step of rotating the detection area around the inspection start point in the inspection area and extracting a pixel group as a crack candidate at each position of the detection area, and a plurality of inspection areas through the inspection start point A third step of setting a subdivision line to be divided into a plurality of subdivisions and generating a subdivision area in which each subdivision is divided in different directions by a division line passing through a plurality of division points on the subdivision line, and a plurality of divisions When there are crack candidates that extend beyond the specified number of areas, the crack candidate is judged as a crack. Fourth appearance inspection method characterized by comprising the steps of:. 前記分割線は、前記検査スタートポイントを中心とする多角形の輪郭線の一部であることを特徴とする請求項1記載の外観検査方法。   The appearance inspection method according to claim 1, wherein the dividing line is a part of a polygonal outline centered on the inspection start point. 前記検査領域は矩形状であって前記検査スタートポイントは検査領域の1つの頂点に設定され、前記第3ステップでは、検査スタートポイントを通り前記エッジ画像の垂直軸に対して45度で交差する前記補助分割線により検査領域を2個の小区画に分割するとともに、補助分割線に設定した複数個の分割点から検査スタートポイントを挟む検査領域の2辺にそれぞれ下ろした垂線により検査領域を複数の分割エリアに分割することを特徴とする請求項1記載の外観検査方法。   The inspection area is rectangular, and the inspection start point is set at one vertex of the inspection area. In the third step, the inspection area passes through the inspection start point and intersects the vertical axis of the edge image at 45 degrees. The inspection area is divided into two subdivisions by the auxiliary dividing line, and the inspection area is divided into a plurality of inspection areas by perpendicular lines respectively dropped on two sides of the inspection area sandwiching the inspection start point from a plurality of dividing points set on the auxiliary dividing line. The appearance inspection method according to claim 1, wherein the visual inspection is divided into divided areas. 前記検査領域は矩形状であって前記検査スタートポイントは検査領域の1つの頂点に設定され、前記第3ステップでは、検査スタートポイントを通る検査領域の対角線を前記補助分割線として補助分割線により検査領域を2個の小区画に分割するとともに、補助分割線に設定した複数個の分割点から検査スタートポイントを挟む検査領域の2辺にそれぞれ下ろした垂線により検査領域を複数の分割エリアに分割することを特徴とする請求項1記載の外観検査方法。   The inspection area is rectangular, and the inspection start point is set at one vertex of the inspection area, and in the third step, the diagonal line of the inspection area passing through the inspection start point is used as the auxiliary dividing line for inspection with an auxiliary dividing line. The area is divided into two subdivisions, and the inspection area is divided into a plurality of divided areas by perpendicular lines respectively extending from the plurality of division points set on the auxiliary dividing line to the two sides of the inspection area sandwiching the inspection start point. The appearance inspection method according to claim 1. 前記検査領域は矩形状であって前記検査スタートポイントは検査領域の一辺上に設定され、前記第3ステップでは、検査スタートポイントを通り検査領域の対辺の両端点とを結ぶ2本の直線をそれぞれ前記補助分割線として2本の補助分割線により検査領域を3個の小区画に分割するとともに、各補助分割線に設定した複数個の分割点から検査領域の残りの2辺に下ろした垂線と、各補助分割線上の分割点の間を結ぶ直線とにより検査領域を複数の分割エリアに分割することを特徴とする請求項1記載の外観検査方法。   The inspection area is rectangular and the inspection start point is set on one side of the inspection area. In the third step, two straight lines that pass through the inspection start point and connect the opposite end points of the inspection area are respectively connected. The inspection area is divided into three subdivisions by two auxiliary dividing lines as the auxiliary dividing lines, and a perpendicular line dropped from a plurality of dividing points set in each auxiliary dividing line to the remaining two sides of the inspection area; 2. The appearance inspection method according to claim 1, wherein the inspection region is divided into a plurality of divided areas by a straight line connecting the dividing points on each auxiliary dividing line. 前記検査スタートポイントを中心とする複数個の同心円と前記補助分割線との交点を前記分割点とすることを特徴とする請求項3〜5のいずれか1項に記載の外観検査方法。   6. The appearance inspection method according to claim 3, wherein an intersection of a plurality of concentric circles centering on the inspection start point and the auxiliary dividing line is set as the dividing point. 前記分割エリアは、前記小区画ごとに分割数が設定されることを特徴とする請求項3〜5のいずれか1項に記載の外観検査方法。   The appearance inspection method according to claim 3, wherein the number of divisions is set for each of the small sections in the division area. 前記第2ステップでは、前記検出エリアを回転させる角度の範囲が、前記検査領域内において指定された範囲であることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の外観検査方法。   The visual inspection method according to claim 1, wherein, in the second step, an angle range for rotating the detection area is a range designated in the inspection region. 前記第1ステップでは、前記検査領域に前記検査スタートポイントが複数個設定され、各検査スタートポイントごとに前記分割エリアが設定されることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の外観検査方法。   9. The method according to claim 1, wherein in the first step, a plurality of the inspection start points are set in the inspection area, and the divided area is set for each inspection start point. Visual inspection method. 被検査物の濃淡画像である原画像から生成したエッジ画像に対して設定した検査領域の境界線上に検査スタートポイントを設定する第1ステップと、検査スタートポイントを通る直線状かつ一定幅に設定した検出エリアを検査領域内において検査スタートポイントの周りで検出エリアを回転走査させるとともに検出エリアの各位置においてクラック候補となる画素群を抽出する第2ステップと、検査スタートポイントを中心とする異なる径の複数個の円弧からなる分割線により検査領域内を分割した分割エリアを生成する第3ステップと、複数の分割エリアのうちの規定個数以上にまたがるクラック候補が存在するときに当該クラック候補をクラックと判定する第4ステップとを有することを特徴とする外観検査方法。   The first step of setting the inspection start point on the boundary line of the inspection region set for the edge image generated from the original image which is the gray image of the inspection object, and the linear shape and the constant width passing through the inspection start point are set. A second step of rotating the detection area around the inspection start point within the inspection area and extracting a pixel group as a crack candidate at each position of the detection area, and a different diameter centered on the inspection start point A third step of generating a divided area in which the inspection area is divided by a dividing line composed of a plurality of arcs; and when there are crack candidates extending over a specified number of the divided areas, the crack candidates are defined as cracks. And a fourth step of determining the appearance inspection method. 被検査物の濃淡画像を撮像する撮像手段と、撮像手段により得られた濃淡画像からエッジ画像を生成するエッジ画像生成部と、エッジ画像内に検査領域を設定する検査領域設定部と、検査領域の境界線上に検査スタートポイントを設定する検査スタートポイント設定部と、検査スタートポイントを通る直線状かつ一定幅の検出エリアを設定し検査スタートポイントを中心として検出エリアを検査領域の範囲内で回転走査させるとともに検出エリアの各位置においてクラック候補となる画素群を抽出する処理部と、検査スタートポイントを通り検査領域を複数個の小区画に分割する補助分割線を設定するとともに補助分割線上の複数個の分割点を通る分割線により各小区画をそれぞれ異なる方向に分割した分割エリアを生成する分割エリア生成部と、複数の分割エリアのうちの規定個数以上にまたがるクラック候補が存在するときに当該クラック候補をクラックと判定するクラック判定部とを備えることを特徴とする外観検査装置。   Imaging means for capturing a grayscale image of an inspection object, an edge image generating section for generating an edge image from the grayscale image obtained by the imaging means, an inspection area setting section for setting an inspection area in the edge image, and an inspection area An inspection start point setting unit that sets the inspection start point on the boundary line of the inspection, and a linear and constant detection area that passes through the inspection start point is set, and the detection area is rotated around the inspection start point within the inspection area. And a processing unit for extracting a pixel group as a crack candidate at each position of the detection area, and an auxiliary dividing line that divides the inspection region into a plurality of small sections through the inspection start point and a plurality of the auxiliary dividing lines Generation of divided areas that generate divided areas by dividing each subdivision in different directions by dividing lines that pass through the dividing points If, appearance inspection apparatus; and a crack and determining crack determination unit the crack candidate when cracks candidates spanning more than the specified number of the plurality of divided areas are present.
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