JP2010190666A - 流量センサユニット及びその組立方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】従来よりも部品点数を削減した流量センサユニットを提供する。
【解決手段】ガスが流動し、直列に接続される発熱抵抗線63a、63bが巻回されたセンサ管61を有し、センサケース7内に収容されるセンサ部材6と、センサ管61の上流側端部を受取る上ブロック3とセンサ管61の下流側端部を受取る下ブロック4を有しかつ上ブロック3及び下ブロック4はこれらが重なる方向とそれと垂直な方向に複数の接触面を有する複合ベース部材2とを備え、複合ベース部材2は、平坦な取付け面に密着固定される仕上げ面を有するとともに、上ブロック3と下ブロック4とが分離した状態でセンサ管61の上流側端部と下流側端部が挿入・固着されかつ仕上げ面と反対側の面から取付け面に固着される。
【選択図】 図1
【解決手段】ガスが流動し、直列に接続される発熱抵抗線63a、63bが巻回されたセンサ管61を有し、センサケース7内に収容されるセンサ部材6と、センサ管61の上流側端部を受取る上ブロック3とセンサ管61の下流側端部を受取る下ブロック4を有しかつ上ブロック3及び下ブロック4はこれらが重なる方向とそれと垂直な方向に複数の接触面を有する複合ベース部材2とを備え、複合ベース部材2は、平坦な取付け面に密着固定される仕上げ面を有するとともに、上ブロック3と下ブロック4とが分離した状態でセンサ管61の上流側端部と下流側端部が挿入・固着されかつ仕上げ面と反対側の面から取付け面に固着される。
【選択図】 図1
Description
本発明は、ガス流量、例えば半導体製造装置に使用されるプロセスガスの質量流量を検出するための流量センサユニット及びその組立方法に関する。
半導体製造装置では、基板表面への成膜や基板内部のエッチング又はクリーニングを行うために、プロセスガス(不活性ガス、還元性ガスあるいは腐食性ガス)が使用され、ガス流量を正確に制御するために、質量流量制御装置が設けられている。この質量流量制御装置には、測定範囲が広くかつ低コストでガスの質量流量を検出できるという利点を有する熱式質量流量センサが組み込まれ、例えばセンサ部分とガスが直接接触しないので、腐食性ガスの測定も可能であるキャピラリ式質量流量センサ(以下単に「流量センサ」という。)が使用されている。
上記の流量センサは、流路にガスの流れ方向に沿って設置されたバイパス管を迂回するように設けたセンサ管(バイパス管を流れるガスよりも少量のガスを一定の比率で流すための毛細管)を有し、このセンサ管に、直列に接続された一対の発熱抵抗線が巻回され、発熱抵抗線をセンサ回路に接続して(センサ回路の抵抗とブリッジ回路を形成する)、質量流量信号が出力されるように構成される。すなわち上流側の発熱抵抗巻線はガスによって冷却され、下流側の発熱抵巻線はガスによって上流側から運ばれる熱によって加熱されるので、熱バランスの変動により発熱抵巻線の抵抗値が変化することにより、センサ回路から質量流量信号が出力される。
上記の流量センサは、センサ管が固着された平板状のベースをバイパス管が内蔵されたガス流路部に設置することにより組立られる。この流量センサにおいては、センサ管とバイパス管との接続部からガスが漏出することを防止するために、センサ管の端部に円板状(リング状)のフランジを固着してセンサ管を気密にシールしてバイパス管から分岐させるようにした構造が採用されている。例えば特許文献1には、ボルト穴を有する略四角板状のベースにセンサ管の通る孔とセンサ管を孔まで案内するスリットを形成した板状のベースを作製し、発熱抵抗線が巻回されたセンサ管の端部に円板状(リング状)のフランジを溶接し、このセンサ管を孔まで移動させ、センサカバーを被せることによりセンサ部分を組立ることが記載されている(特許文献1の第2頁右欄第第13行−第3頁左欄第13行及び図1参照)。このセンサ部分は、ベースに設けたボルト穴を横方向に結ぶように横割れ防止用プレートを戴置しかつベースの底面とバイパス管体との間にセンサ管の端部をシールするOリングが保持されたリングガイドを介装した状態でバイパス管体に取付けられる(特許文献1の第3頁左欄第14−44行及び図5参照)。
また特許文献1には、ベースにスリットを設ける代わりに、センサ管の通る孔の中央を通るラインでベースを分割し、センサ管をこの孔に位置付けた後に、分割されたベースを再結合することも記載されている(特許文献1の第3頁右欄第22−28行及び図8参照)。
特許文献1には、フランジとセンサ管を溶接してから上記のベースに位置付けるので、フランジとセンサ管をロウ付けした場合の残留したフラックスによる流体への不純物混入が解消され、またベースにスリットを設けるか又はベースを分割することにより、センサ装置を簡単に作製できることが記載されている。
しかしながら、特許文献1の図1に記載された構造であると、ベースに2条のスリット(切り込み)が形成されるので、ベースを補強するために横割れ防止用プレートが必要となり、またOリングを保持するリングガイドも使用するので、部品点数が多く製作コストが高くなり、流量センサの組立工程も複雑化するという問題がある。また特許文献1の図8に記載された構造においては、分割されたベースにセンサ管を位置付けた後に分割された部材を結合するといった手間の掛かる作業が必要になるという問題がある。
本発明の第1の目的は、従来よりも部品点数を削減した流量センサユニットを提供することである。
本発明の第2の目的は、少ない部品で組立精度の高い流量センサユニットが得られる組立方法を提供することである。
上記第1の目的を達成するために、本発明の質量流量センサユニットは、発熱抵抗線が巻回され、一端から他端に向ってガスが流動するセンサ管を有し、センサケースに収容されるセンサ部材と、前記センサ管の一端部を受取る上ブロックと前記センサ管の他端部を受取る下ブロックを有しかつ前記上ブロック及び前記下ブロックはこれらが重なる方向とそれと垂直な方向に複数の接触面を有する複合ベース部材とを備え、前記複合ベース部材は、平坦な取付け面に密着固定される仕上げ面を有するとともに、前記上ブロックと前記下ブロックとが分離した状態で前記センサ管の一端部と他端部が挿入・固定されかつ前記仕上げ面と反対側の面から前記取付け面に固着されることを特徴とするものである。
本発明において、前記センサ管の一端部に圧損管を内挿・固着することが好ましい。
上記第2の目的を達成するために、本発明の質量流量センサユニットの組立方法は、上ブロックと下ブロックと直線状のセンサ管と圧損防止管と一対の発熱抵抗線とセンサケースを準備する工程と、前記上ブロックと前記下ブロックを積重ねた状態で前記センサ管が突出する側とは反対側の面に仕上げ面を形成する複合ベース部材加工工程と、前記上ブロックと前記下ブロックが分離された状態で前記上ブロックに前記センサ管の一端部と前記圧損管の端部を固着しかつ前記下ブロックに前記センサ管の他端部を固着するセンサ管固着工程と、前記発熱抵抗線を前記センサ管に巻回してから前記センサ管を逆U字状に成形するセンサ部材形成工程と、前記上ブロックと前記下ブロックを重ねて複合ベース部材を形成した状態で前記仕上げ面とは反対側の面に前記センサケースを装着するケース装着工程と、前記複合ベース部材の前記仕上げ面を平坦な取付け面に締結するセンサユニット取付工程を含むことを特徴とするものである。
本発明の質量流量センサユニットによれば、センサ管を支持するベースを上下のブロックに分割しかつ両ブロックを重ねると相互に嵌り合うような形状とし、各ブロックにセンサ管の端部を固着する構造とするので、従来の質量流量センサユニットよりも少ない部品で組立を行うことができる。
また本発明の質量流量センサユニットの組立方法によれば、相互に補完する形状を有するブロックの結合と分離を組合せてセンサユニットを形成するので、組立精度を向上することができる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら具体的に説明する。
<質量流量制御装置>
図1に示すように、質量流量制御装置100は、流入口11から導入されたガスを複数の流路に分流するバイパス管(不図示)を有する直方体状のバイパス流路部10と、固定用ねじ5a、5b(例えば六角穴付小ねじ)によりその上面12に固着される質量流量センサユニット1と、バイパス流路部10の上面12に形成された流量制御弁支持穴13に設置される流量制御弁(不図示)を有する。
図1に示すように、質量流量制御装置100は、流入口11から導入されたガスを複数の流路に分流するバイパス管(不図示)を有する直方体状のバイパス流路部10と、固定用ねじ5a、5b(例えば六角穴付小ねじ)によりその上面12に固着される質量流量センサユニット1と、バイパス流路部10の上面12に形成された流量制御弁支持穴13に設置される流量制御弁(不図示)を有する。
<質量流量センサユニット>
質量流量センサユニット1は、上ブロック3を下ブロック4に重ね合せて形成される複合ベース部材2と、複合ベース部材2に支持されるセンサ部材(不図示)と、センサ部材が収容されるセンサケース7を含む。このセンサケース7に収容されるセンサ部材は、上記流量制御弁の駆動回路(不図示)を有する外部基板75に接続されている。センサケース7を形成する部材及びその内部に収容されるセンサ部材については、後述する。
質量流量センサユニット1は、上ブロック3を下ブロック4に重ね合せて形成される複合ベース部材2と、複合ベース部材2に支持されるセンサ部材(不図示)と、センサ部材が収容されるセンサケース7を含む。このセンサケース7に収容されるセンサ部材は、上記流量制御弁の駆動回路(不図示)を有する外部基板75に接続されている。センサケース7を形成する部材及びその内部に収容されるセンサ部材については、後述する。
<質量流量センサユニットの組立>
質量流量センサユニット1(以下単に「センサユニット1」という。)は、上記の上ブロック3及び下ブロック4に加えて、一対の発熱抵抗線63a、63bと、これらが巻回されるセンサ管61と、ガスが流動するセンサ管61の一端側(上流側)に内挿・固着される圧損管62及びセンサケース7を構成する部材を含む各種部品を準備し、図2〜7に示す工程を実施することにより組立ることができる。
質量流量センサユニット1(以下単に「センサユニット1」という。)は、上記の上ブロック3及び下ブロック4に加えて、一対の発熱抵抗線63a、63bと、これらが巻回されるセンサ管61と、ガスが流動するセンサ管61の一端側(上流側)に内挿・固着される圧損管62及びセンサケース7を構成する部材を含む各種部品を準備し、図2〜7に示す工程を実施することにより組立ることができる。
(複合ベース部材の加工)
センサ部材を支持する複合ベース部材2は図2に示す手順で作製される。上ブロック3は、仮止用ねじ50a(例えば六角穴付小ねじ)が貫通する固定用貫通穴311を有する第1固定部31と、仮止用ねじ50b(例えば六角穴付小ねじ)が貫通する固定用貫通穴321を有する第2固定部32を含む。固定用貫通穴311、312は後述の固定用ねじの頭部を沈めるために深ざぐりを有する。この上ブロック3は、第1固定部31と第2固定部32の間にセンサ管(不図示)が挿入されるセンサ管用貫通穴331を有する突出部33と、下ブロック4の一部が嵌め込まれるスペース34を有し、正面から見ると略T字状に形成された部材である(図2(a)参照)。
センサ部材を支持する複合ベース部材2は図2に示す手順で作製される。上ブロック3は、仮止用ねじ50a(例えば六角穴付小ねじ)が貫通する固定用貫通穴311を有する第1固定部31と、仮止用ねじ50b(例えば六角穴付小ねじ)が貫通する固定用貫通穴321を有する第2固定部32を含む。固定用貫通穴311、312は後述の固定用ねじの頭部を沈めるために深ざぐりを有する。この上ブロック3は、第1固定部31と第2固定部32の間にセンサ管(不図示)が挿入されるセンサ管用貫通穴331を有する突出部33と、下ブロック4の一部が嵌め込まれるスペース34を有し、正面から見ると略T字状に形成された部材である(図2(a)参照)。
下ブロック4は、仮止用ねじ50aがねじ込まれるめねじ部411を有する第1固定部41と、仮止用ねじ50bがねじ込まれるめねじ部421を有する第2固定部42を含む。この下ブロック4は、第1固定部41と第2固定部42の間にセンサ管(不図示)が挿入されるセンサ管用貫通穴431を有する突出部43と、上ブロック3の一部が嵌め込まれるスペース44を有し、正面から見ると略逆T字形状に形成された部材である(図2(a)参照)。
上記の複合ベース部材2は、下ブロック4に上ブロック3を重ねたときに、上ブロック(下ブロック)の一部が下ブロック(上ブロック)に嵌合される(相互に補完し得る)形状を有するので、両ブロックの結合を簡単に行うことができる。
図2(a)の矢印で示す方向に上ブロック3と下ブロック4とが重ね合わされ、仮止用ねじ50aを固定用貫通穴311を貫通させて、めねじ部411にねじ込みかつ仮止用ねじ50bを固定用貫通穴321を貫通させて、めねじ部421にねじ込み、両ブロックを締結することにより、複合ベース部材2が組立られる(図2(b)参照)。この複合ベース部材2は、上ブロック3の突出部33が下ブロック4のスペース44に嵌装され、下ブロック4の突出部43は、上ブロック3のスペース34に嵌装されることにより形成され、平面からみて仮止用ねじ50aと50bの間にセンサケース7(図1参照)の端部が差し込まれるケース溝23が形成される。次いで複合ベース部材2の裏面20(ケース溝と反対側の面)は、バイパス流路部10の上面12(図1参照)に密着させて、センサ管の端部とガス流路の接続部を確実にシールする(ガスの漏出を防止する)ために、上ベース3の裏面30及び下ブロック4の裏面40は、例えばラップ仕上げが施されて所定の表面粗さ{例えば0.4μm(Ra)以下の鏡面}を有するように研磨される(図2(c)参照)。すなわちこのラップ仕上げにより、例えばセンサ管の端部に設けられたシール部材を流路に確実に密着させることができる。
(センサ管の固着)
この複合ベース部材2は仮止用ねじ50a及び50bが取り外されて、図3(a)の矢印で示す方向に(上ブロック3と下ブロック4)に分解される(図3(a)参照)。またセンサ管61の一端部611(上流側端部)に圧損管62が挿入され、センサ管61と圧損管62が接合される(図3(b)参照)。センサ管61の一端部611は上ブロック3のセンサ管用貫通穴331に挿入・固着されるとともに、センサ管61の他端部612は下ブロック4のセンサ管用貫通穴431に挿入・固着される(図3(c)(d)参照)。各センサ管の端部は、例えばレーザ溶接又はロウ付けの手法により各ブロックに固着することができる。レーザ溶接については、後述する。
この複合ベース部材2は仮止用ねじ50a及び50bが取り外されて、図3(a)の矢印で示す方向に(上ブロック3と下ブロック4)に分解される(図3(a)参照)。またセンサ管61の一端部611(上流側端部)に圧損管62が挿入され、センサ管61と圧損管62が接合される(図3(b)参照)。センサ管61の一端部611は上ブロック3のセンサ管用貫通穴331に挿入・固着されるとともに、センサ管61の他端部612は下ブロック4のセンサ管用貫通穴431に挿入・固着される(図3(c)(d)参照)。各センサ管の端部は、例えばレーザ溶接又はロウ付けの手法により各ブロックに固着することができる。レーザ溶接については、後述する。
上記の複合ベース部材2は、相互に嵌り合いかつ一体化後の分解も可能な形状を有する2つのブロックから形成されるので、各ブロックに分解した状態でセンサ管の接続及びセンサ管の加工が可能であり(図3(d)、図4(a)参照)、これらの作業を容易に行うことができる。
(センサ部材の形成)
各ブロックに接合されたセンサ管に巻線を施しさらにセンサ管に曲げ加工を施すことにより、センサ部材が得られる。例えば、全体を加熱炉(例えば焼鈍炉)に装入して、センサ管61を加熱してからセンサ管61に一対の発熱抵抗線63a、63bを巻回する(図4(a)参照)。次いでこのセンサ管61に曲げ加工を施してセンサ管6を略逆U字状の形状に成形した後、上ブロック3を下ブロック4に重ね合せることにより、複合ベース部材2に支持されたセンサ部材6が得られる(図4(b)参照)。このセンサ管61は、図5に示すように、ガスが流入する側の一端部には、例えばレーザ溶接の手法により圧損管62が接合され(溶接部をWpで示す。)、上ブロック3の裏面に例えばレーザ溶接の手法により接合され(溶接部をWsで示す。)、かつガスが流出する側の端部は、下ブロック4の裏面に例えばレーザ溶接(溶接部をWsで示す。)の手法により接合されている。
各ブロックに接合されたセンサ管に巻線を施しさらにセンサ管に曲げ加工を施すことにより、センサ部材が得られる。例えば、全体を加熱炉(例えば焼鈍炉)に装入して、センサ管61を加熱してからセンサ管61に一対の発熱抵抗線63a、63bを巻回する(図4(a)参照)。次いでこのセンサ管61に曲げ加工を施してセンサ管6を略逆U字状の形状に成形した後、上ブロック3を下ブロック4に重ね合せることにより、複合ベース部材2に支持されたセンサ部材6が得られる(図4(b)参照)。このセンサ管61は、図5に示すように、ガスが流入する側の一端部には、例えばレーザ溶接の手法により圧損管62が接合され(溶接部をWpで示す。)、上ブロック3の裏面に例えばレーザ溶接の手法により接合され(溶接部をWsで示す。)、かつガスが流出する側の端部は、下ブロック4の裏面に例えばレーザ溶接(溶接部をWsで示す。)の手法により接合されている。
(センサユニットの組立)
発熱抵抗線63a、63bの端部が内部基板72に半田付け等で接続され、この内部基板72は、外部基板75に半田付けにより接続された後、カバー71に形成された基板保持穴711に組込まれる。カバー71の内部に断熱材73(例えばセラミックペーパ)を充填し、次いでカバー71の開放面にフタ74を取付けることによりセンサケース7が作製される。このセンサケース7を複合ベース部材2のケース溝21に嵌め込むことによりセンサユニット1が組立られる(図6、7参照)。
発熱抵抗線63a、63bの端部が内部基板72に半田付け等で接続され、この内部基板72は、外部基板75に半田付けにより接続された後、カバー71に形成された基板保持穴711に組込まれる。カバー71の内部に断熱材73(例えばセラミックペーパ)を充填し、次いでカバー71の開放面にフタ74を取付けることによりセンサケース7が作製される。このセンサケース7を複合ベース部材2のケース溝21に嵌め込むことによりセンサユニット1が組立られる(図6、7参照)。
上記の複合ベース部材2によれば、上ブロック3と下ブロック4とは、水平方向に複数の接触面(固定部31と固定部41との接触面及び固定部32と固定部42との接触面)が形成され、さらに垂直方向にも複数の接触面(突出部33と固定部41、42との接触面及び突出部43と固定部31、32の接触面)が形成されるので(図2(a)、(b)参照)、ベース部材が2つに分割されていても、大きな強度をもつことから、従来のような補強部材(特許文献1に記載されたベースの横割防止用プレート80)が不要となり、センサユニットの組立工数を低減することができる。
(質量流量制御装置の組立)
上記のセンサユニット1は、流入口11を有するバイパス流路部10の上面12に設置されて質量流量制御装置が組立られる。すなわち、バイパス流路部10の上面12に形成されたセンサ穴121a、121bにシール部材14a、14bが装着された後、固定用ねじ5a、5b(例えば六角穴付小ねじ)をバイパス流路部10の上面に設けられたねじ穴122a、122bにねじ込むことにより、バイパス流路部10に取付けられる(図7参照)。固定用ねじ5a、5bは、複合ベース部材2のめねじ部411、412を通過できるようにするために仮止用ねじ50a、50b(図2(a)参照)よりも小径のねじ部を有する。最後にバイパス流路部10の上面12に設けられた流量制御弁用支持穴13に流量制御弁(不図示)が設置されることにより質量流量制御装置が組立られる。
上記のセンサユニット1は、流入口11を有するバイパス流路部10の上面12に設置されて質量流量制御装置が組立られる。すなわち、バイパス流路部10の上面12に形成されたセンサ穴121a、121bにシール部材14a、14bが装着された後、固定用ねじ5a、5b(例えば六角穴付小ねじ)をバイパス流路部10の上面に設けられたねじ穴122a、122bにねじ込むことにより、バイパス流路部10に取付けられる(図7参照)。固定用ねじ5a、5bは、複合ベース部材2のめねじ部411、412を通過できるようにするために仮止用ねじ50a、50b(図2(a)参照)よりも小径のねじ部を有する。最後にバイパス流路部10の上面12に設けられた流量制御弁用支持穴13に流量制御弁(不図示)が設置されることにより質量流量制御装置が組立られる。
<質量流量制御装置の動作>
図1に示す質量流量制御装置100によれば、次のようにしてガス流量を制御することができる。バイパス流路部11を流れるガスは、そこに内蔵されたバイパス管(不図示)から分岐されたセンサ管61に流入する。上流側の発熱抵抗巻線63aはガスによって冷却され、下流側の発熱抵巻線63bはガスによって上流側から運ばれる熱によって加熱されるので、発熱抵巻線の抵抗値変化に応じて出力される信号を内部基板72に形成されたセンサ回路で取り出して、この流量信号を外部基板75に形成された駆動回路に出力することにより、流量制御弁を駆動して、プロセスガスの流量を制御することができる。
図1に示す質量流量制御装置100によれば、次のようにしてガス流量を制御することができる。バイパス流路部11を流れるガスは、そこに内蔵されたバイパス管(不図示)から分岐されたセンサ管61に流入する。上流側の発熱抵抗巻線63aはガスによって冷却され、下流側の発熱抵巻線63bはガスによって上流側から運ばれる熱によって加熱されるので、発熱抵巻線の抵抗値変化に応じて出力される信号を内部基板72に形成されたセンサ回路で取り出して、この流量信号を外部基板75に形成された駆動回路に出力することにより、流量制御弁を駆動して、プロセスガスの流量を制御することができる。
この質量流量制御装置100において、センサ管61の上流側端部に圧損管62が内挿されているので、温度差のあるガスの自然循環流に起因する所謂サーマルサイフォン現象に伴うゼロ点変動の問題を軽減することができる。また、質量流量制御装置100の上流側のガス圧力に変動が生じた場合でも、この圧損管62の下流側には圧力変動が伝播しにくくなるので、質量流量を精度良く検出することができる。
<主要部品の材質>
本発明において、上ブロック3及び下ブロック4は、例えばオーステナイト系ステンレス鋼(SUS316材)等の金属材料で作製することができる。固定用ねじ5a、5bと仮止用ねじ50a、50bは、クロムモリブデン鋼(SCM材)で作製し、センサ管61及び圧損管62は、耐食性を有する金属材料(例えばオーステナイト系ステンレス鋼)又はニッケル合金等で作製し、センサケース7及びカバー74は熱伝導率の高い材料(アルミニウム合金等)で作製することができる。またシール部材14a、14bとしては例えば耐熱性の大なる材料(オーステナイト系ステンレス鋼)からなる中空金属Oリングを使用することができる。
本発明において、上ブロック3及び下ブロック4は、例えばオーステナイト系ステンレス鋼(SUS316材)等の金属材料で作製することができる。固定用ねじ5a、5bと仮止用ねじ50a、50bは、クロムモリブデン鋼(SCM材)で作製し、センサ管61及び圧損管62は、耐食性を有する金属材料(例えばオーステナイト系ステンレス鋼)又はニッケル合金等で作製し、センサケース7及びカバー74は熱伝導率の高い材料(アルミニウム合金等)で作製することができる。またシール部材14a、14bとしては例えば耐熱性の大なる材料(オーステナイト系ステンレス鋼)からなる中空金属Oリングを使用することができる。
<レーザ溶接>
センサ管と上ブロック又は下ブロックとの固定は、ロウ付で行うことができるが溶接(特にレーザ溶接)が好ましい。すなわちレーザ溶接は、発信器から出射されるレーザ光(CO2レーザ又はYAGレーザ)を光学系(例えばレンズ)で微小スポットに集光させ、被接合部に照射・溶融させるもので、非接触で溶接が可能で、また異種金属の溶接も可能で、さらにビード幅が狭く低歪溶接が可能となるという利点を有するので、本発明におけるセンサ管と各ブロック、圧損管又はフランジ部材との接合には好適である。
センサ管と上ブロック又は下ブロックとの固定は、ロウ付で行うことができるが溶接(特にレーザ溶接)が好ましい。すなわちレーザ溶接は、発信器から出射されるレーザ光(CO2レーザ又はYAGレーザ)を光学系(例えばレンズ)で微小スポットに集光させ、被接合部に照射・溶融させるもので、非接触で溶接が可能で、また異種金属の溶接も可能で、さらにビード幅が狭く低歪溶接が可能となるという利点を有するので、本発明におけるセンサ管と各ブロック、圧損管又はフランジ部材との接合には好適である。
1:センサユニット、
2:複合ベース部材、20:裏面
3:上ブロック、30:裏面、31、32:固定部、311、321:固定用貫通穴、33:突出部、331:センサ管用貫通穴、34:スペース
4:下ブロック、40:裏面、41、42:固定部、411、421:めねじ部、43:突出部、431:センサ管用貫通穴、44:スペース
5a、5b:固定用ねじ、50a、50b:仮止用ねじ、
6:センサ部材、61:センサ管、62:圧損管、63a、63b:発熱抵抗線、
64:フランジ部材、611:一端部、612:他端部
7:センサケース、71:カバー、711:基板保持穴、72:内部基板、73:断熱材、74:フタ、75:外部基板、
10:バイパス流路部、11:流入口、12:上面、121a、121b:センサ穴、122a、122b:ねじ穴、13:流量制御弁用支持穴、14a、14b:シール部材、
Ws、Wp、Wf:溶接部
2:複合ベース部材、20:裏面
3:上ブロック、30:裏面、31、32:固定部、311、321:固定用貫通穴、33:突出部、331:センサ管用貫通穴、34:スペース
4:下ブロック、40:裏面、41、42:固定部、411、421:めねじ部、43:突出部、431:センサ管用貫通穴、44:スペース
5a、5b:固定用ねじ、50a、50b:仮止用ねじ、
6:センサ部材、61:センサ管、62:圧損管、63a、63b:発熱抵抗線、
64:フランジ部材、611:一端部、612:他端部
7:センサケース、71:カバー、711:基板保持穴、72:内部基板、73:断熱材、74:フタ、75:外部基板、
10:バイパス流路部、11:流入口、12:上面、121a、121b:センサ穴、122a、122b:ねじ穴、13:流量制御弁用支持穴、14a、14b:シール部材、
Ws、Wp、Wf:溶接部
Claims (3)
- 発熱抵抗線が巻回され、一端から他端に向ってガスが流動するセンサ管を有し、センサケースに収容されるセンサ部材と、前記センサ管の一端部を受取る上ブロックと前記センサ管の他端部を受取る下ブロックを有しかつ前記上ブロック及び前記下ブロックはこれらが重なる方向とそれと垂直な方向に複数の接触面を有する複合ベース部材とを備え、前記複合ベース部材は、平坦な取付け面に密着固定される仕上げ面を有するとともに、前記上ブロックと前記下ブロックとが分離した状態で前記センサ管の一端部と他端部が挿入・固着されかつ前記仕上げ面と反対側の面から前記取付け面に固着されることを特徴とする質量流量センサユニット。
- 前記センサ管の一端部に圧損管が内挿・固着されることを特徴とする請求項1又は2に記載の質量流量センサユニット。
- 上ブロックと下ブロックと直線状のセンサ管と圧損防止管と一対の発熱抵抗線とケースを準備する部品準備工程と、前記上ブロックと前記下ブロックを積重ね状態で前記センサ管が突出する側とは反対側の面に仕上げ面を形成する複合ベース部材加工工程と、前記上ブロックと前記下ブロックが分離された状態で前記上ブロックに前記センサ管の一端部と前記圧損管の端部を固着しかつ前記下ブロックに前記センサ管の他端部を固着するセンサ管固着工程と、前記発熱抵抗線を前記センサ管に巻回してから前記センサ管を逆U字状に成形するセンサ部材形成工程と、前記上ブロックと前記下ブロックを積重ねて複合ベース部材を形成した状態で前記仕上げ面とは反対側の面に前記センサケースを装着するケース装着工程と、前記複合ベース部材の前記仕上げ面を平坦な取付け面に締結する取付工程を含むことを特徴とする質量流量センサユニットの組立方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009034149A JP2010190666A (ja) | 2009-02-17 | 2009-02-17 | 流量センサユニット及びその組立方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2009034149A JP2010190666A (ja) | 2009-02-17 | 2009-02-17 | 流量センサユニット及びその組立方法 |
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Family Applications (1)
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-
2009
- 2009-02-17 JP JP2009034149A patent/JP2010190666A/ja active Pending
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A621 | Written request for application examination |
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