JP2010178197A - Method of driving solid-state imaging device, solid-state imaging device, and camera - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of driving a solid-state imaging device suppressing degradation of a dynamic range due to dark output, a solid-state imaging device, and a camera. <P>SOLUTION: The solid-state imaging device includes: an imaging region 10 formed by arranging a plurality of pixels 3 in a matrix-like form; a reference signal generation unit 27 for generating a reference signal RAMP; comparators 252 each used for comparing a pixel signal output from the pixel 3 with the reference signal RAMP generated by the reference signal generation unit 27; counters 254 for counting input clocks; memories 256 each used for holding the number of counts obtained by being counted from the start of counting until the comparator 252 detects coincidence of the pixel signal with the reference signal RAMP; and a timing control unit 20 for changing the counting start time of each counter 254 based on input data to shift the counting start time of the counter 254 with respect to the start time of change of the voltage value of the reference signal RAMP. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、固体撮像装置およびそれを用いたカメラに関し、特に、MOS型の固体撮像装置およびそれを用いたカメラに関する。   The present invention relates to a solid-state imaging device and a camera using the same, and more particularly to a MOS type solid-state imaging device and a camera using the same.

近年、MOS型固体撮像装置の信号読み出し方式について、様々なものが提案されている。   In recent years, various signal readout methods for MOS solid-state imaging devices have been proposed.

特許文献1に示された従来技術では撮像領域の中のある一行の画素を選択し、選択された画素でそれぞれ生じた画素信号を並列に複数の垂直信号線(「列信号線」とも称される)を介して読み出す列並列出力型のMOS型固体撮像装置が提案されている。また、各垂直信号線に対応してAD変換回路を設け、MOS型固体撮像装置の内部で画素信号をアナログ形式からデジタル形式に変換するカラムAD型の固体撮像装置も提案されている。
特開2005−323331号公報
In the prior art disclosed in Patent Document 1, a row of pixels in an imaging region is selected, and pixel signals generated by the selected pixels are paralleled to a plurality of vertical signal lines (also referred to as “column signal lines”). A column-parallel output type MOS solid-state imaging device is proposed. There has also been proposed a column AD type solid-state imaging device in which an AD conversion circuit is provided corresponding to each vertical signal line to convert a pixel signal from an analog format to a digital format inside the MOS type solid-state imaging device.
JP 2005-323331 A

ところで、特許文献1に示された固体撮像装置では、画素から出力される画素信号に暗出力成分が含まれるが、画素信号をAD変換するカウンタの最大値はカウンタのビット数で制限される。従って、実際に画素で光電変換して得られた信号成分をAD変換して得られるデジタルデータは暗出力成分により減少する。その結果、特許文献1の固体撮像装置は、暗出力によりダイナミックレンジが低下するという課題を有している。   Incidentally, in the solid-state imaging device disclosed in Patent Document 1, a dark output component is included in the pixel signal output from the pixel, but the maximum value of the counter that performs AD conversion of the pixel signal is limited by the number of bits of the counter. Therefore, digital data obtained by AD conversion of the signal component actually obtained by photoelectric conversion at the pixel is reduced by the dark output component. As a result, the solid-state imaging device of Patent Document 1 has a problem that the dynamic range is reduced by dark output.

そこで本発明は、暗出力によるダイナミックレンジの低下を抑制することができる固体撮像装置の駆動方法、固体撮像装置およびカメラを提供することを目的とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a solid-state imaging device driving method, a solid-state imaging device, and a camera that can suppress a decrease in dynamic range due to dark output.

上記目的を達成するために、本発明の固体撮像装置の駆動方法は、複数の画素を行列状に配列してなる画素アレイを備えた固体撮像装置の駆動方法であって、時間の経過とともに値が単調に増加又は減少する参照信号を生成するステップと、前記画素から出力された画素信号と前記参照信号とを比較するステップと、カウンタに入力されたクロックをカウントするステップと、前記カウントの開始から前記画素信号と前記参照信号との一致を検出するまでにカウントされて得られたカウント数を保持するステップと、入力されたデータに基づいて前記カウンタのカウント開始時期を変更し、前記参照信号の値の変化の開始時期に対して前記カウント開始時期をずらすステップとを含むことを特徴とする。   In order to achieve the above object, a driving method for a solid-state imaging device according to the present invention is a driving method for a solid-state imaging device including a pixel array in which a plurality of pixels are arranged in a matrix. Generating a reference signal that monotonously increases or decreases, comparing the pixel signal output from the pixel with the reference signal, counting a clock input to a counter, and starting the counting A step of holding a count number obtained by counting until a match between the pixel signal and the reference signal is detected, and changing the count start timing of the counter based on the input data, Shifting the count start time with respect to the start time of the change of the value of

また本発明は、複数の画素を行列状に配列してなる画素アレイと、時間の経過とともに値が単調に変化する参照信号を生成する参照信号生成部と、前記画素アレイの各列に対応して配設され、対応する列の画素から出力された画素信号と前記参照信号生成部により生成された参照信号とを比較するコンパレータと、入力されたクロックをカウントするカウンタと、前記画素アレイの各列に対応して配設され、前記カウントの開始から対応する列のコンパレータが画素信号と参照信号との一致を検出するまでにカウントされて得られたカウント数を保持するメモリと、入力されたデータに基づいて前記カウンタのカウント開始時期を変更し、前記参照信号の値の変化の開始時期に対して前記カウント開始時期をずらすカウンタ制御部とを備えることを特徴とする固体撮像装置とすることもできる。ここで、前記データは、画素信号の読み出しモード、前記固体撮像装置の周囲温度、前記参照信号の値の変化率、前記画素に配設された増幅器のアナログゲイン、又は前記画素とコンパレータとの間に配設された増幅器のアナログゲインに関するデータであってもよい。   In addition, the present invention corresponds to a pixel array in which a plurality of pixels are arranged in a matrix, a reference signal generation unit that generates a reference signal whose value monotonously changes with time, and each column of the pixel array. A comparator that compares a pixel signal output from a pixel in a corresponding column and a reference signal generated by the reference signal generation unit, a counter that counts an input clock, and each of the pixel arrays A memory arranged corresponding to a column and holding a count number obtained by counting from the start of counting until the comparator of the corresponding column detects a match between the pixel signal and the reference signal; A counter control unit that changes a count start time of the counter based on data and shifts the count start time with respect to a start time of a change in the value of the reference signal. It can be a solid-state imaging device according to claim and. Here, the data includes a pixel signal readout mode, an ambient temperature of the solid-state imaging device, a rate of change of the value of the reference signal, an analog gain of an amplifier disposed in the pixel, or between the pixel and the comparator. It may be data relating to the analog gain of the amplifier disposed in the circuit.

これにより、光が遮断された画素の画素信号のデジタルデータなどに基づいてカウンタのカウント開始時期を遅らせることで、画素信号に含まれる暗出力成分のカウント数を減らし、暗出力によるダイナミックレンジの低下を抑制することができる。   This delays the count start time of the counter based on the digital data of the pixel signal of the pixel where the light is blocked, thereby reducing the number of dark output components included in the pixel signal and lowering the dynamic range due to dark output Can be suppressed.

また、前記データは、前記画素から出力された画素信号のデジタルデータのレベルに関するデータであり、前記カウンタ制御部は、前記画素から出力された画素信号のデジタルデータのレベルに応じて前記カウント開始時期を変更してもよい。   Further, the data is data related to a level of digital data of the pixel signal output from the pixel, and the counter control unit performs the count start time according to the level of the digital data of the pixel signal output from the pixel. May be changed.

また、前記データは、遮光された画素信号のデジタルデータのレベルに関するデータであり、前記カウンタ制御部は、前記遮光された画素から出力された画素信号のデジタルデータのレベルに応じて前記カウント開始時期を変更してもよい。   Further, the data is data related to a level of digital data of a pixel signal that is shielded from light, and the counter control unit performs the count start time in accordance with the level of digital data of the pixel signal output from the pixel that is shielded from light. May be changed.

また、前記カウンタ制御部は、前記画素から出力された画素信号のデジタルデータのレベルが高いほどカウント開始時期を遅らせてもよい。   The counter control unit may delay the count start timing as the level of the digital data of the pixel signal output from the pixel is higher.

また、前記カウンタ制御部は、長時間露光の読み出しモードの場合、画素混合モードの場合、前記周囲温度が高い場合、又は前記アナログゲインが高い場合、前記参照信号の値の変化の開始時期に対して前記カウント開始時期を遅らせてもよい。   In addition, the counter control unit may detect the reference signal value change start time in the long exposure read mode, the pixel mixture mode, the ambient temperature is high, or the analog gain is high. The count start time may be delayed.

また、前記カウンタ制御部は、撮像されるフレーム単位で、前記カウント開始時期を変更してもよい。   The counter control unit may change the count start time for each frame to be captured.

また、本発明は、上記固体撮像装置を備えるカメラとすることもできる。具体的に、映像データに信号処理を施す信号処理部と、信号処理の結果得られた映像データを記憶するメモリと、ゲインを決定する制御部と、光学レンズと、前記固体撮像装置とを備えることを特徴とするカメラとすることもできる。   Further, the present invention may be a camera including the solid-state imaging device. Specifically, a signal processing unit that performs signal processing on video data, a memory that stores video data obtained as a result of signal processing, a control unit that determines gain, an optical lens, and the solid-state imaging device are provided. It can also be set as the camera characterized by this.

本発明は、暗出力によるダイナミックレンジの低下を抑制することができる固体撮像装置の駆動方法、固体撮像装置およびカメラを実現できる。   The present invention can realize a driving method of a solid-state imaging device, a solid-state imaging device, and a camera that can suppress a decrease in dynamic range due to dark output.

本発明を実施するための最良の形態を、図面を参照して以下で詳細に説明する。
図1は、本発明の実施形態に係る固体撮像装置1の概略構成図である。
The best mode for carrying out the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a solid-state imaging device 1 according to an embodiment of the present invention.

固体撮像装置(MOSイメージセンサ又はCMOSイメージセンサ)1は、図1に示されるように、複数の画素3を行列状に配列してなる撮像領域(画素アレイ)10と、撮像領域10の周辺に配設された駆動制御部と、撮像領域10の画素3の各列に対応して配設された複数のカラムAD回路25により構成されたカラム処理部26と、DAC(Digital Analog Converter)27aを用いて所定変化率で時間の経過とともに単調に電圧値が変化する参照信号RAMPを生成する参照信号生成部27と、出力回路28とを備えている。   As shown in FIG. 1, the solid-state imaging device (MOS image sensor or CMOS image sensor) 1 includes an imaging region (pixel array) 10 in which a plurality of pixels 3 are arranged in a matrix and a periphery of the imaging region 10. A column control unit 26 constituted by a drive control unit arranged, a plurality of column AD circuits 25 arranged corresponding to each column of the pixels 3 in the imaging region 10, and a DAC (Digital Analog Converter) 27a A reference signal generator 27 that generates a reference signal RAMP whose voltage value changes monotonously with the passage of time at a predetermined change rate, and an output circuit 28 are provided.

駆動制御部は、水平走査回路(列走査回路)12、垂直走査回路(行走査回路)14、およびタイミング制御部20から構成されている。タイミング制御部20は、本発明のカウンタ制御部の一例であり、端子5aを介して入力されたマスタクロックCLK0に基づいて種々の内部クロックを生成し、生成した内部クロックを固体撮像装置1内部の各回路に供給する。   The drive control unit includes a horizontal scanning circuit (column scanning circuit) 12, a vertical scanning circuit (row scanning circuit) 14, and a timing control unit 20. The timing control unit 20 is an example of the counter control unit of the present invention, generates various internal clocks based on the master clock CLK0 input via the terminal 5a, and generates the generated internal clocks in the solid-state imaging device 1. Supply to each circuit.

各画素3は、垂直走査回路14から導出された行制御線15(V1、V2、・・・Vn)と、画素信号をカラム処理部26に伝達する垂直信号線19とに接続されている。垂直走査回路14は、タイミング制御部20から供給されたクロックCN1に基づき駆動パルス(φR、φTX)を生成し、行制御線15を介して画素3に供給する。水平走査回路12は、タイミング制御部20から供給されたクロックCN2に基づき駆動パルスを生成する。   Each pixel 3 is connected to a row control line 15 (V 1, V 2,... Vn) derived from the vertical scanning circuit 14 and a vertical signal line 19 that transmits a pixel signal to the column processing unit 26. The vertical scanning circuit 14 generates drive pulses (φR, φTX) based on the clock CN1 supplied from the timing control unit 20 and supplies the drive pulses (φR, φTX) to the pixels 3 via the row control lines 15. The horizontal scanning circuit 12 generates a drive pulse based on the clock CN2 supplied from the timing control unit 20.

カラムAD回路25は、撮像領域10の各列に対応して配設され、アナログの画素信号をデジタルデータに変換する回路である。カラムAD回路25は、参照信号生成部27により生成された参照信号RAMPと、対応する列の画素3から垂直信号線19(H0、H1、・・・Hm)を介して得られた画素信号とを比較するコンパレータ(電圧比較器)252と、カウンタ254に入力されたクロックCN5をカウントするカウンタ254と、カウンタ254がカウントを開始してから対応する列のコンパレータ252が画素信号と参照信号との一致を検出するまでにカウントされて得られたカウント数を保持するメモリ256と、カウンタ254及びメモリ256の間の導通及び非導通を制御データCN8に基づき切り替えるスイッチ素子258とを備える。メモリ256に保持された画素信号のデジタルデータは、水平走査回路12により出力回路28を介して映像データD1として固体撮像装置1の外部に出力される。   The column AD circuit 25 is a circuit that is arranged corresponding to each column of the imaging region 10 and converts an analog pixel signal into digital data. The column AD circuit 25 includes a reference signal RAMP generated by the reference signal generation unit 27, and pixel signals obtained from the pixels 3 in the corresponding column via the vertical signal lines 19 (H0, H1,... Hm). A comparator (voltage comparator) 252, a counter 254 that counts the clock CN5 input to the counter 254, and the comparator 252 in the corresponding column after the counter 254 starts counting the pixel signal and the reference signal A memory 256 that holds a count number obtained by counting until a match is detected, and a switch element 258 that switches between conduction and non-conduction between the counter 254 and the memory 256 based on the control data CN8. The digital data of the pixel signal held in the memory 256 is output to the outside of the solid-state imaging device 1 as video data D1 by the horizontal scanning circuit 12 via the output circuit 28.

固体撮像装置1は、主にタイミング制御部20に特徴がある。具体的には、参照信号生成部27に入力されるダッククロックCKdac、およびカラムAD回路25のカウンタ254に入力されるカウンタクロックCK0に特徴がある。すなわち、タイミング制御部20は、参照信号RAMPの基準となるダッククロックCKdacのタイミングを固定し、カウンタ254でのカウント開始時期の基準となるカウンタクロックCK0のタイミングを変更する。一方、従来技術(特許文献1)に係るタイミング制御部では、参照信号の基準となるダッククロックCKdacと、カウント開始時期の基準となるカウンタクロックCK0のタイミングは固定される。   The solid-state imaging device 1 is mainly characterized by the timing control unit 20. Specifically, the duck clock CKdac input to the reference signal generation unit 27 and the counter clock CK0 input to the counter 254 of the column AD circuit 25 are characteristic. That is, the timing control unit 20 fixes the timing of the duck clock CKdac serving as a reference for the reference signal RAMP and changes the timing of the counter clock CK0 serving as a reference for the count start timing in the counter 254. On the other hand, in the timing control unit according to the prior art (Patent Document 1), the timings of the duck clock CKdac serving as the reference signal reference and the counter clock CK0 serving as the count start timing reference are fixed.

タイミング制御部20は、端子5aを介してタイミング制御部20の外部から入力されたマスタクロックCLK0に基づいて種々の内部クロック(ダッククロックCKdacおよびカウンタクロックCK0等)を生成する。またタイミング制御部20は、端子5bを介してタイミング制御部20の外部から入力されたデータDATA、又は出力回路28から出力されるデジタルデータDATA2に基づいてカウンタクロックCK0のタイミングを設定する。   The timing control unit 20 generates various internal clocks (duck clock CKdac, counter clock CK0, etc.) based on the master clock CLK0 input from the outside of the timing control unit 20 via the terminal 5a. Further, the timing control unit 20 sets the timing of the counter clock CK0 based on the data DATA input from the outside of the timing control unit 20 via the terminal 5b or the digital data DATA2 output from the output circuit 28.

なお、本発明の実施形態に係るカメラは、上記固体撮像装置1に加えて、映像データD1に信号処理を施す信号処理部、信号処理の結果得られた映像データを記憶するメモリ、ゲインを決定する制御部、および固体撮像装置1に結像させる光学系(光学レンズ)等を備える。   In addition to the solid-state imaging device 1, the camera according to the embodiment of the present invention determines a signal processing unit that performs signal processing on the video data D1, a memory that stores video data obtained as a result of the signal processing, and a gain. And an optical system (optical lens) that forms an image on the solid-state imaging device 1.

次に、本発明の実施形態に係る固体撮像装置1の動作(固体撮像装置1の駆動方法)、特にカラムAD回路25により画素信号がAD変換される場面の動作について説明する。   Next, the operation of the solid-state imaging device 1 according to the embodiment of the present invention (the driving method of the solid-state imaging device 1), particularly the operation in a scene where the pixel signal is AD converted by the column AD circuit 25 will be described.

図2および図3は、本実施形態に係る固体撮像装置1の動作を示すタイミングチャートであり、具体的にはカラムAD回路25に入力されるカウンタクロックCK0とカウンタ254の出力との関係を詳細に示すタイミングチャートである。なお、図2は暗出力成分のカウント数ΔVleakが小さい場合を示し、図3は暗出力成分のカウント数ΔVleakが大きい場合を示している。   2 and 3 are timing charts showing the operation of the solid-state imaging device 1 according to this embodiment. Specifically, the relationship between the counter clock CK0 input to the column AD circuit 25 and the output of the counter 254 is detailed. It is a timing chart shown in FIG. 2 shows a case where the dark output component count number ΔVleak is small, and FIG. 3 shows a case where the dark output component count number ΔVleak is large.

まず、タイミング制御部20は、カウンタ254のカウント数を初期値“0”にリセットし、カウンタ254をダウンカウントモードに設定する。またタイミング制御部20は、任意の行Rxの画素3にリセット成分をもつ画素信号を読み出させる。画素信号は垂直信号線19(H1、H2、・・・Hm)にそれぞれ現れる。タイミング制御部20は、垂直信号線19の画素信号が安定した頃に(時刻t10)、参照信号生成部27(DAC27a)に制御データCN4およびダッククロックCKdacを供給する。これを受けて参照信号生成部27(DAC27a)は参照信号RAMPの時間的変化を開始する。同時にタイミング制御部20は、カラムAD回路25(カウンタ254)にカウンタクロックCK0の入力を開始する(時刻t10)。これを受けてカウンタ254は初期値“0”からダウンカウントを開始する。なお、ダッククロックCKdacおよびカウンタクロックCK0は一般的にマスタクロックCLK0をタイミング制御部20で定倍したクロックである。   First, the timing control unit 20 resets the count number of the counter 254 to the initial value “0”, and sets the counter 254 to the down-count mode. In addition, the timing control unit 20 causes the pixel 3 in any row Rx to read out a pixel signal having a reset component. Pixel signals appear on the vertical signal lines 19 (H1, H2,... Hm), respectively. The timing control unit 20 supplies the control data CN4 and the duck clock CKdac to the reference signal generation unit 27 (DAC 27a) when the pixel signal of the vertical signal line 19 becomes stable (time t10). In response to this, the reference signal generator 27 (DAC 27a) starts to change the reference signal RAMP over time. At the same time, the timing controller 20 starts to input the counter clock CK0 to the column AD circuit 25 (counter 254) (time t10). In response to this, the counter 254 starts down-counting from the initial value “0”. The duck clock CKdac and the counter clock CK0 are generally clocks obtained by multiplying the master clock CLK0 by the timing control unit 20.

参照信号RAMPは、時間の経過とともに変化していき、ある時刻にリセット成分と一致する(時刻t12)。このときコンパレータ252の出力信号が反転し、これを受けてカウンタ254はダウンカウントを停止する。このときのカウント数がΔVに相当する。   The reference signal RAMP changes with time, and coincides with the reset component at a certain time (time t12). At this time, the output signal of the comparator 252 is inverted, and in response to this, the counter 254 stops down-counting. The count number at this time corresponds to ΔV.

タイミング制御部20は、ダウンカウント期間が経過すると(時刻t14)、参照信号生成部27(DAC27a)への制御データCN4およびダッククロックCKdacの供給を停止し、同時にカウンタ254へのカウンタクロックCK0の入力を停止する。   When the down-count period elapses (time t14), the timing control unit 20 stops supplying the control data CN4 and the duck clock CKdac to the reference signal generation unit 27 (DAC 27a) and simultaneously inputs the counter clock CK0 to the counter 254. To stop.

続いて、タイミング制御部20は、カウンタ254をアップカウントモードに設定し、任意の行Rxの画素3に信号成分(実際に光電変換が行われて得られる信号成分)Vsigをもつ画素信号を読み出させる。読み出しの方法は、カウンタ254をアップカウントモードに設定するほかは、リセット成分の読み出しと同様である。   Subsequently, the timing control unit 20 sets the counter 254 to the up-count mode, and reads a pixel signal having a signal component (signal component obtained by actually performing photoelectric conversion) Vsig on the pixel 3 in an arbitrary row Rx. Let it come out. The reading method is the same as the reading of the reset component except that the counter 254 is set to the up-count mode.

このように、カウンタ254の設定を、リセット成分を読み出すときにはダウンカウント、信号成分Vsigを読み出すときにはアップカウントとすることにより、カウンタ254内で自動的に減算が行われ、信号成分Vsigに相当するカウント数ΔVsigを得ることができる。   As described above, the counter 254 is set to a down count when the reset component is read out and an up count when the signal component Vsig is read out, so that the subtraction is automatically performed in the counter 254 and the count corresponding to the signal component Vsig is obtained. The number ΔVsig can be obtained.

ここで、タイミング制御部20は、端子5bを介してタイミング制御部20の外部から入力されたデータDATA、又は出力回路28から出力されるデジタルデータなどに基づきカウンタクロックCK0のタイミングをダッククロックCKdacに対して変化させる。つまり、タイミング制御部20は、タイミング制御部20に入力されたデータに基づいてカウンタ254のカウント開始時期を変更し、参照信号RAMPの電圧値の変化の開始時期に対してカウンタ254のカウント開始時期をずらす。これにより、暗出力成分のカウント数が減らされ、暗出力成分によるダイナミックレンジの低下を抑制することができる。   Here, the timing control unit 20 changes the timing of the counter clock CK0 to the duck clock CKdac based on the data DATA input from the outside of the timing control unit 20 via the terminal 5b or the digital data output from the output circuit 28. Change it. That is, the timing control unit 20 changes the count start time of the counter 254 based on the data input to the timing control unit 20, and the count start time of the counter 254 with respect to the start time of the change in the voltage value of the reference signal RAMP. Move. Thereby, the count number of the dark output component is reduced, and the decrease in the dynamic range due to the dark output component can be suppressed.

具体的には、タイミング制御部20は、ダッククロックCKdacの供給タイミングに対してカウンタクロックCK0の供給タイミングを遅らせることで、カウント開始時期を遅らせることができる。つまり、タイミング制御部20は、参照信号RAMPの電圧値の変化の開始時期に対してカウンタ254のカウント開始時期を遅らせることで、カウント開始時期を遅らせることができる。参照信号RAMPの電圧値が単調に変化しはじめてからカウンタ254がカウント動作し始めるまでに変化した参照信号RAMPの電圧変化のカウント数をΔVdelayとするとカウンタ出力はΔV+ΔVleak+ΔVsig−ΔVdelayと表すことができる。ΔVdelay≦ΔVleakに制御する必要があるが、仮にΔVdelay=ΔVleakに制御した場合、カウンタ出力はΔV+ΔVsigとなり、暗出力成分のカウント数ΔVleakによるダイナミックレンジの低下を抑制することができる。   Specifically, the timing control unit 20 can delay the count start timing by delaying the supply timing of the counter clock CK0 with respect to the supply timing of the duck clock CKdac. That is, the timing control unit 20 can delay the count start time by delaying the count start time of the counter 254 with respect to the start time of the change in the voltage value of the reference signal RAMP. The counter output can be expressed as ΔV + ΔVleak + ΔVsig−ΔVdelay, where ΔVdelay is the voltage change count of the reference signal RAMP that has changed from the time when the voltage value of the reference signal RAMP starts to change monotonously until the counter 254 starts counting. Although it is necessary to control to ΔVdelay ≦ ΔVleak, if it is controlled to ΔVdelay = ΔVleak, the counter output becomes ΔV + ΔVsig, and the reduction of the dynamic range due to the dark output component count number ΔVleak can be suppressed.

例えば、タイミング制御部20は、暗出力成分のカウント数ΔVleakが小さい場合、カウント数ΔVsigはΔVleak<<ΔVsigとなる。従って、この場合には、図2に示されるように、カウンタクロックCK0のタイミングをダッククロックCKdacと同じに設定し、参照信号RAMPの電圧値の変化の開始時期とカウンタ254のカウント開始時期とを同じにしている。このとき、ΔVdelay=0、ΔVleak<<ΔVsigであるため、カウンタ出力はΔV+ΔVsigと表すことができる。   For example, when the dark output component count number ΔVleak is small, the timing control unit 20 sets the count number ΔVsig to ΔVleak << ΔVsig. Accordingly, in this case, as shown in FIG. 2, the timing of the counter clock CK0 is set to be the same as that of the duck clock CKdac, and the start time of the change in the voltage value of the reference signal RAMP and the count start time of the counter 254 are set. It is the same. At this time, since ΔVdelay = 0 and ΔVleak << ΔVsig, the counter output can be expressed as ΔV + ΔVsig.

一方、暗出力成分のカウント数ΔVleakが大きい場合、暗出力成分のカウント数ΔVleakがカウント数ΔVsigに対して無視できないレベルである。従って、この場合には、タイミング制御部20は、図3に示されるように、カウンタクロックCK0のタイミングをダッククロックCKdacに対して遅らせ、参照信号RAMPの電圧値の変化の開始時期に対してカウンタ254のカウント開始時期を遅らせている。このとき、カウンタ出力はΔV+ΔVleak+ΔVsig−ΔVdelayと表すことができる。   On the other hand, when the count number ΔVleak of the dark output component is large, the count number ΔVleak of the dark output component is at a level that cannot be ignored with respect to the count number ΔVsig. Therefore, in this case, as shown in FIG. 3, the timing control unit 20 delays the timing of the counter clock CK0 with respect to the duck clock CKdac, and counters the start time of the change in the voltage value of the reference signal RAMP. The count start time of 254 is delayed. At this time, the counter output can be expressed as ΔV + ΔVleak + ΔVsig−ΔVdelay.

次に、図4および図5は、固体撮像装置1における光が遮断された状態の画素3の画素信号を得るための構成を説明するための上面図である。   Next, FIGS. 4 and 5 are top views for explaining a configuration for obtaining a pixel signal of the pixel 3 in a state where the light in the solid-state imaging device 1 is blocked.

固体撮像装置1は、図4に示されるように、光電変換するためにフォトダイオード上が開口された有効画素領域31と、金属の配線層等によりフォトダイオード上が覆われて遮光された遮光画素領域とを備える。遮光画素領域は、有効画素領域31の上側にある垂直OB(オプティカルブラック)画素領域32と、有効画素領域31の左側にある水平OB画素領域33とを有する。なお、遮光画素領域は、図5に示されるように、有効画素領域31の下側にある垂直OB(オプティカルブラック)画素領域32と、有効画素領域31の右側にある水平OB画素領域33とを有してもよい。   As shown in FIG. 4, the solid-state imaging device 1 includes an effective pixel region 31 that is open on the photodiode for photoelectric conversion, and a light-shielded pixel that is shielded from light by covering the photodiode with a metal wiring layer or the like. And an area. The light-shielding pixel region has a vertical OB (optical black) pixel region 32 above the effective pixel region 31 and a horizontal OB pixel region 33 on the left side of the effective pixel region 31. As shown in FIG. 5, the light-shielding pixel area includes a vertical OB (optical black) pixel area 32 below the effective pixel area 31 and a horizontal OB pixel area 33 on the right side of the effective pixel area 31. You may have.

このような固体撮像装置1では、垂直OB画素領域32又は水平OB画素領域33の画素3の画素信号を検出することで遮光された画素3のデジタルデータを取得することができる。暗出力とは、光が遮断された状態でのセンサ出力を指すもので、画素3のリーク電流が主要因である。従って、タイミング制御部20は遮光された画素3のデジタルデータを取得し、これに基づいてカウンタクロックCK0のタイミングを変更し、参照信号RAMPの電圧値の変化の開始時期に対するカウンタ254のカウント開始時期の遅延時間を決定し、該遅延を行うことで、精度よくΔVdelay≦ΔVleakに制御することができる。つまり、ΔVleakのカウント数を遮光された画素3の画素信号から取得することで、ΔVdelay≦ΔVleakに制御することができる。   In such a solid-state imaging device 1, digital data of the light-shielded pixel 3 can be acquired by detecting the pixel signal of the pixel 3 in the vertical OB pixel region 32 or the horizontal OB pixel region 33. The dark output refers to a sensor output in a state where light is blocked, and a leak current of the pixel 3 is a main factor. Accordingly, the timing control unit 20 acquires the digital data of the pixel 3 that is shielded from light, changes the timing of the counter clock CK0 based on the digital data, and starts the count start timing of the counter 254 with respect to the start timing of the change in the voltage value of the reference signal RAMP. By determining the delay time and performing the delay, it is possible to accurately control ΔVdelay ≦ ΔVleak. That is, by obtaining the count number of ΔVleak from the pixel signal of the pixel 3 that is shielded from light, it is possible to control ΔVdelay ≦ ΔVleak.

また、垂直OB画素領域32からの画素信号の読み出しから有効画素領域31からの画素信号の読み出しまではフレームをまたがない。固体撮像装置1の周囲温度、固体撮像装置1の露光期間、およびゲインの制御がフレーム間で異なると、フレーム間で暗出力が異なる。従って、垂直OB画素領域32の画素3で取得したデジタルデータを用いてタイミング制御部20によるカウント開始時期の遅延を行い、タイミング制御部20が撮像されるフレーム単位でカウンタ254の開始時期を変更することで、さらに精度よくΔVdelay≦ΔVleakに制御することが出来る。   Further, there is no frame from the reading of the pixel signal from the vertical OB pixel region 32 to the reading of the pixel signal from the effective pixel region 31. When the ambient temperature of the solid-state imaging device 1, the exposure period of the solid-state imaging device 1, and the gain control are different between frames, the dark output is different between frames. Therefore, the timing control unit 20 delays the count start time using the digital data acquired from the pixel 3 in the vertical OB pixel region 32, and the timing control unit 20 changes the start time of the counter 254 in units of frames to be imaged. Thus, it is possible to control ΔVdelay ≦ ΔVleak with higher accuracy.

本実施形態の固体撮像装置1において、カラムAD回路25によるAD変換の最大値は画素3の列毎に設けられるカウンタ254のビット数で決まり、例えば12bitのカウンタ254であれば0から4095LSBまでカウントすることができる。リセット成分のカウント数をΔV、暗出力成分のカウント数をΔVleak、光電変換された信号のカウント数をΔVsigとすると、カウンタ出力はΔV+ΔVleak+ΔVsigと表すことができるが、カウンタ254の最大値はカウンタ254のビット数で制限されるため、ΔVleakが増えるとAD変換することができるΔVsigが減少する。しかし、本実施形態の固体撮像装置1によれば、ΔVleakを減らすことができるので、暗出力が増加した場合でもΔVsigが減少し、ダイナミックレンジが低下することを防ぐことができる。   In the solid-state imaging device 1 of the present embodiment, the maximum value of AD conversion by the column AD circuit 25 is determined by the number of bits of the counter 254 provided for each column of the pixels 3, and for example, a 12-bit counter 254 counts from 0 to 4095 LSB. can do. If the reset component count number is ΔV, the dark output component count number is ΔVleak, and the photoelectrically converted signal count number is ΔVsig, the counter output can be expressed as ΔV + ΔVleak + ΔVsig, but the maximum value of the counter 254 is the maximum value of the counter 254 Since it is limited by the number of bits, when ΔVleak increases, ΔVsig that can be AD-converted decreases. However, according to the solid-state imaging device 1 of the present embodiment, since ΔVleak can be reduced, it is possible to prevent ΔVsig from being reduced and the dynamic range from being lowered even when the dark output is increased.

以上、本発明の固体撮像装置およびカメラについて、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、この実施の形態に限定されるものではない。本発明の要旨を逸脱しない範囲内で当業者が思いつく各種変形を施したものも本発明の範囲内に含まれる。   As described above, the solid-state imaging device and the camera of the present invention have been described based on the embodiment. However, the present invention is not limited to this embodiment. The present invention includes various modifications made by those skilled in the art without departing from the scope of the present invention.

例えば、固体撮像装置1が搭載されるカメラシステムで取得された遮光画素領域の映像データD1をデータDATAに反映させ、カウント開始時期の決定にこの映像データD1が反映されたデータDATAが用いられてもよい。これにより、直接カウンタクロックCK0の供給タイミングを制御することができ、タイミング制御部20の回路規模を抑制することができる。   For example, the video data D1 of the light-shielded pixel area acquired by the camera system in which the solid-state imaging device 1 is mounted is reflected in the data DATA, and the data DATA reflecting the video data D1 is used for determining the count start time. Also good. Thereby, the supply timing of the counter clock CK0 can be directly controlled, and the circuit scale of the timing control unit 20 can be suppressed.

また、上記実施形態では、遮光された画素3のデジタルデータを得るための構成として遮光画素領域を例示したがこれに限られず、例えばカメラのメカシャッター機能を用いて遮光状態をつくりだし、これを用いて遮光された画素3のデジタルデータが取得されてもよい。   In the above embodiment, the light-shielded pixel region is exemplified as a configuration for obtaining the digital data of the light-shielded pixel 3. However, the present invention is not limited to this. For example, a light-shielded state is created using a mechanical shutter function of a camera. Thus, digital data of the pixel 3 that is shielded from light may be acquired.

また、上記実施形態では、タイミング制御部20は、遮光画素領域の画素3のデジタルデータに基づいて、カウンタ254のカウント開始時期を変更し、参照信号RAMPの電圧値の変化の開始時期に対してカウンタ254のカウント開始時期を遅らせるとした。しかし、より簡易的には遮光画素領域の画素3のデジタルデータを用いず、画素信号の読み出しモード、固体撮像装置1の周囲温度、固体撮像装置1の露光時間、参照信号RAMPの変化率(参照信号RAMPの単調増加の変化率により制御されるアナログゲイン)、画素3に配設された増幅器(図外)のアナログゲイン、および画素3(垂直信号線19)とコンパレータ252との間に配設された増幅器(図外)のアナログゲインに関するデータなどに応じてカウンタクロックCK0のタイミングを制御し、カウンタ254のカウント開始時期を変更し、参照信号RAMPの電圧値の変化の開始時期に対してカウンタ254のカウント開始時期を遅らせてもよい。   Further, in the above embodiment, the timing control unit 20 changes the count start time of the counter 254 based on the digital data of the pixel 3 in the light-shielded pixel region, and with respect to the start time of the change in the voltage value of the reference signal RAMP. The count start time of the counter 254 is delayed. However, more simply, the digital data of the pixel 3 in the light-shielded pixel region is not used, the pixel signal readout mode, the ambient temperature of the solid-state imaging device 1, the exposure time of the solid-state imaging device 1, and the change rate of the reference signal RAMP (see Analog gain controlled by the monotonically increasing rate of the signal RAMP), the analog gain of the amplifier (not shown) arranged in the pixel 3, and the pixel 3 (vertical signal line 19) and the comparator 252. The timing of the counter clock CK0 is controlled according to the data related to the analog gain of the amplifier (not shown), the count start time of the counter 254 is changed, and the counter for the start time of the change in the voltage value of the reference signal RAMP The count start time of 254 may be delayed.

暗出力とは光が遮断された状態でのセンサ出力を指すもので、画素3のリーク電流が主要因であるため、特に温度が上昇するとリーク電流が高くなり、露光時間が長くなると蓄積されるリーク電荷が多くなりその影響が強くなる。またAD変換される前のアナログゲインが高くなると暗出力成分はゲイン増倍され、また画素信号を混合する画素信号混合モードにおいては暗出力成分も加算されるため更にその影響が強くなる。そのため、長時間の露光を行う長時間露光の読み出しモードの場合、画素信号混合モードの場合、固体撮像装置1の周囲温度が高い場合(温度が50℃〜90℃など高い場合)、又はアナログゲインが高い場合(アナログゲインが2倍から16倍等高い場合)、カウンタ254のカウント開始時期を遅らせることで、容易に精度よくΔVdelay≦ΔVleakに制御することができる。露光時間および周囲温度の検出など固体撮像装置1単体では検出することが難しい要素についても、固体撮像装置1を搭載するカメラシステムとして、露光時間の制御、周囲温度の検出、アナログゲインの制御、モードの制御、およびフレーム単位での制御を行うことで、精度よくΔVdelay≦ΔVleakに制御することができる。その結果、高い次元で暗出力によるダイナミックレンジの低下を抑制することができる。   The dark output refers to the sensor output in a state where light is blocked. Since the leak current of the pixel 3 is a main factor, the leak current increases especially when the temperature rises, and accumulates when the exposure time becomes long. The leakage charge increases and the effect becomes stronger. Further, when the analog gain before AD conversion is increased, the dark output component is gain-multiplied. In the pixel signal mixing mode in which pixel signals are mixed, the dark output component is also added, so that the influence is further increased. For this reason, in the case of the long exposure mode in which long exposure is performed, the pixel signal mixed mode, the ambient temperature of the solid-state imaging device 1 is high (when the temperature is high, such as 50 ° C. to 90 ° C.), or the analog gain Is high (when the analog gain is high, such as 2 to 16 times), it is possible to easily control ΔVdelay ≦ ΔVleak with high accuracy by delaying the count start timing of the counter 254. Even for elements that are difficult to detect with the solid-state imaging device 1 alone, such as detection of exposure time and ambient temperature, the camera system equipped with the solid-state imaging device 1 controls exposure time, ambient temperature, analog gain, and mode. By performing the above-described control and control in units of frames, it is possible to accurately control ΔVdelay ≦ ΔVleak. As a result, it is possible to suppress a decrease in dynamic range due to dark output at a high level.

また、上記実施形態では、カウンタ出力はΔV+ΔVleak+ΔVsig−ΔVdelayと表すことができるが、ΔVdelay≦ΔVleak+ΔVに制御してもよい。仮にΔVdelay=ΔVleak+ΔVに設定した場合、ΔV+ΔVleak+ΔVsig−ΔVdelay=ΔVsigとなり、AD出力としてダイナミックレンジを更に拡大することができる。   In the above embodiment, the counter output can be expressed as ΔV + ΔVleak + ΔVsig−ΔVdelay, but may be controlled to ΔVdelay ≦ ΔVleak + ΔV. If ΔVdelay = ΔVleak + ΔV is set, ΔV + ΔVleak + ΔVsig−ΔVdelay = ΔVsig, and the dynamic range can be further expanded as an AD output.

また、上記実施形態では、リセット成分の検出に関してばらつきはあるもののおよそΔVは固体撮像装置1で一様に決まるものであるため、ΔVは固定値とされてもよいし、ΔVのダウンカウント出力が別途検出されてもよい。ダウンカウント出力の検出はアップカウント動作をしないことにより検出することができる。この場合、例えば固体撮像装置1の起動時にΔVは検出されてもよいし、垂直走査の一部の期間にアップカウント動作を止める期間を設け、この期間にΔVは検出されてもよい。   Further, in the above embodiment, although there is a variation in the detection of the reset component, ΔV is determined uniformly by the solid-state imaging device 1, so ΔV may be a fixed value, or the downcount output of ΔV is It may be detected separately. The detection of the down count output can be detected by not performing the up count operation. In this case, for example, ΔV may be detected when the solid-state imaging device 1 is activated, or a period during which the up-counting operation is stopped is provided during a part of the vertical scanning, and ΔV may be detected during this period.

また、上記実施形態では、リセット成分が現れているときにはダウンカウントし、信号成分が現れているときにはアップカウントするとしているが、リセット成分を差し引く必要がなければダウンカウントは実施されなくてもよい。この場合、カウンタ254は、アップダウンカウンタの構成でなくてもよい。   In the above-described embodiment, the down-counting is performed when the reset component appears, and the up-counting is performed when the signal component appears. However, the down-counting may not be performed if it is not necessary to subtract the reset component. In this case, the counter 254 may not be an up / down counter configuration.

また、上記実施形態では、タイミング制御部20はタイミング制御部20外部からのデータに基づいて、静止画のフル画像読み出しモード、動画の画素混合モード、および間引きモードなど任意の駆動モードを実施してもよい。   In the above-described embodiment, the timing control unit 20 performs any driving mode such as a still image full image reading mode, a moving image pixel mixing mode, and a thinning mode based on data from the outside of the timing control unit 20. Also good.

また、上記実施形態では、参照信号生成部27は、時間の経過とともに電圧値が単調に減少する参照信号RAMPを生成するとした。しかし、時間の経過とともに電圧値が単調に変化する参照信号RAMPが生成されればこれに限られず、参照信号生成部27は、時間の経過とともに電圧値が単調に増加する参照信号RAMPを生成してもよい。   In the above embodiment, the reference signal generator 27 generates the reference signal RAMP whose voltage value monotonously decreases with time. However, the reference signal RAMP is not limited to this as long as the reference signal RAMP whose voltage value changes monotonously with the passage of time is generated. The reference signal generator 27 generates the reference signal RAMP whose voltage value monotonously increases with the passage of time. May be.

本発明は、MOS型の固体撮像装置に利用でき、特にデジタルカメラ等に利用することができる。   The present invention can be used for a MOS type solid-state imaging device, and in particular, for a digital camera or the like.

本発明の実施形態に係る固体撮像装置の概略構成図である。1 is a schematic configuration diagram of a solid-state imaging device according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係る固体撮像装置の動作を示すタイミングチャートである。It is a timing chart which shows operation of a solid imaging device concerning an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係る固体撮像装置の動作を示すタイミングチャートである。It is a timing chart which shows operation of a solid imaging device concerning an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係る固体撮像装置の画素構成を示す上面図である。It is a top view which shows the pixel structure of the solid-state imaging device which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る固体撮像装置の画素構成を示す上面図である。It is a top view which shows the pixel structure of the solid-state imaging device which concerns on embodiment of this invention.

1 固体撮像装置
3 画素
5a、5b 端子
10 撮像領域
12 水平走査回路
14 垂直走査回路
15 行制御線
19 垂直信号線
20 タイミング制御部
25 カラムAD回路
26 カラム処理部
27 参照信号生成部
27a DAC
28 出力回路
31 有効画素領域
32 垂直OB画素領域
33 水平OB画素領域
252 コンパレータ
254 カウンタ
256 メモリ
258 スイッチ素子
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Solid-state imaging device 3 Pixel 5a, 5b Terminal 10 Imaging area 12 Horizontal scanning circuit 14 Vertical scanning circuit 15 Row control line 19 Vertical signal line 20 Timing control part 25 Column AD circuit 26 Column processing part 27 Reference signal generation part 27a DAC
28 Output Circuit 31 Effective Pixel Area 32 Vertical OB Pixel Area 33 Horizontal OB Pixel Area 252 Comparator 254 Counter 256 Memory 256 Switch Element

Claims (6)

複数の画素を行列状に配列してなる画素アレイを備えた固体撮像装置の駆動方法であって、
時間の経過とともに値が単調に増加又は減少する参照信号を生成するステップと、
前記画素から出力された画素信号と前記参照信号とを比較するステップと、
カウンタに入力されたクロックをカウントするステップと、
前記カウントの開始から前記画素信号と前記参照信号との一致を検出するまでにカウントされて得られたカウント数を保持するステップと、
入力されたデータに基づいて前記カウンタのカウント開始時期を変更し、前記参照信号の値の変化の開始時期に対して前記カウント開始時期をずらすステップとを含む
固体撮像装置の駆動方法。
A method for driving a solid-state imaging device including a pixel array formed by arranging a plurality of pixels in a matrix,
Generating a reference signal whose value monotonously increases or decreases over time;
Comparing the pixel signal output from the pixel with the reference signal;
Counting the clock input to the counter;
Holding a count number obtained by counting from the start of counting until the coincidence between the pixel signal and the reference signal is detected;
A method of driving a solid-state imaging device, comprising: changing a count start time of the counter based on input data, and shifting the count start time with respect to a start time of a change in the value of the reference signal.
複数の画素を行列状に配列してなる画素アレイと、
時間の経過とともに値が単調に増加又は減少する参照信号を生成する参照信号生成部と、
前記画素アレイの各列に対応して配設され、対応する列の画素から出力された画素信号と前記参照信号生成部により生成された参照信号とを比較するコンパレータと、
入力されたクロックをカウントするカウンタと、
前記画素アレイの各列に対応して配設され、前記カウントの開始から対応する列のコンパレータが画素信号と参照信号との一致を検出するまでにカウントされて得られたカウント数を保持するメモリと、
入力されたデータに基づいて前記カウンタのカウント開始時期を変更し、前記参照信号の値の変化の開始時期に対して前記カウント開始時期をずらすカウンタ制御部とを備える
固体撮像装置。
A pixel array in which a plurality of pixels are arranged in a matrix;
A reference signal generation unit that generates a reference signal whose value monotonously increases or decreases over time;
A comparator that is disposed corresponding to each column of the pixel array, and that compares a pixel signal output from a pixel in the corresponding column with a reference signal generated by the reference signal generation unit;
A counter that counts the input clock; and
A memory that is arranged corresponding to each column of the pixel array and holds a count number obtained by counting from the start of the count until the comparator of the corresponding column detects a match between the pixel signal and the reference signal When,
A solid-state imaging device comprising: a counter control unit that changes a count start time of the counter based on input data, and shifts the count start time with respect to a change start time of the value of the reference signal.
前記データは、遮光された画素の画素信号、画素信号の読み出しモード、前記固体撮像装置の周囲温度、前記参照信号の値の変化率、前記画素に配設された増幅器のアナログゲイン、又は前記画素とコンパレータとの間に配設された増幅器のアナログゲインに関するデータである
請求項2に記載の固体撮像装置。
The data includes a pixel signal of a light-shielded pixel, a pixel signal reading mode, an ambient temperature of the solid-state imaging device, a change rate of a value of the reference signal, an analog gain of an amplifier disposed in the pixel, or the pixel The solid-state imaging device according to claim 2, wherein the data is related to an analog gain of an amplifier disposed between the comparator and the comparator.
前記カウンタ制御部は、長時間露光の読み出しモードの場合、画素信号混合モードの場合、前記周囲温度が高い場合、又は前記アナログゲインが高い場合、前記参照信号の値の変化の開始時期に対して前記カウント開始時期を遅らせる
請求項3に記載の固体撮像装置。
The counter control unit is configured to detect a change timing of the reference signal value in a long exposure mode, a pixel signal mixture mode, a high ambient temperature, or a high analog gain. The solid-state imaging device according to claim 3, wherein the counting start time is delayed.
前記カウンタ制御部は、撮像されるフレーム単位で、前記カウント開始時期を変更する
請求項2に記載の固体撮像装置。
The solid-state imaging device according to claim 2, wherein the counter control unit changes the count start time in units of frames to be imaged.
請求項2〜5のいずれかに記載の固体撮像装置を備えるカメラ。   A camera provided with the solid-state imaging device according to claim 2.
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