JP2010172119A

JP2010172119A - Actuator and actuator link

Info

Publication number: JP2010172119A
Application number: JP2009012926A
Authority: JP
Inventors: Makiko Nakamura; 真希子中村; Yasushi Mizoguchi; 安志溝口
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2009-01-23
Filing date: 2009-01-23
Publication date: 2010-08-05

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an actuator having a structure that is easily and surely separated from a frame so as to surely obtain an actuator when manufacturing actuators, and to provide an actuator link. <P>SOLUTION: Each actuator 2 is fixed to a frame 10 and includes: a plate-like movable plate 21; support plates 22a, 22b for supporting the movable plate 21; and rotary shafts 23, 24 respectively coupling the movable plate 21 to each support plate 22a, 22b and rotatably supporting the movable plate 21. The support plate 22a of the actuator 2 is configured such that a part of its outer periphery is coupled to the frame 10 via a brittle fracture part 27 and the support plate is separated from the frame 10 by fracturing the fracture part 27. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、アクチュエータおよびアクチュエータ連結体に関する。 The present invention relates to an actuator and an actuator coupling body.

従来、例えば、半導体チップを製造するときには、１枚のシリコンウェハをダイシングにより格子状に切断し、その切断された複数の小片をそれぞれ半導体チップとして用いることが知られている（例えば、特許文献１参照）。
このような製造方法では、シリコンウェハをダイシングソーで切断する際には、シリコンウェハをダイシングテープに貼り付けて固定し、この固定状態で、ダイシングソーでテープごとシリコンウェハを切断していた。このように、切断工程でダイシングテープを用いるため、その工程の準備が煩雑となる。 Conventionally, for example, when manufacturing a semiconductor chip, it is known that one silicon wafer is cut into a lattice by dicing, and a plurality of the cut pieces are used as semiconductor chips (for example, Patent Document 1). reference).
In such a manufacturing method, when a silicon wafer is cut with a dicing saw, the silicon wafer is affixed to a dicing tape and fixed, and the silicon wafer is cut along with the tape with the dicing saw in this fixed state. Thus, since the dicing tape is used in the cutting process, preparation for the process becomes complicated.

また、切断工程では、ダイシングソーの回転数によっては、切断中にダイシングソーの刃が欠損（破損）したり、ダイシングソーからの振動がシリコンウェハに伝達して当該シリコンウェハに亀裂が生じる等の問題があった。
また、切断中に切りくずが生じて、シリコンウェハ（半導体チップ）上に堆積するため、その切りくずを除去する除去工程が必要となる。従って、この除去工程分、製造工程が煩雑となる。 Also, in the cutting process, depending on the number of rotations of the dicing saw, the blade of the dicing saw may be lost (damaged) during cutting, or vibration from the dicing saw may be transmitted to the silicon wafer to cause cracks in the silicon wafer. There was a problem.
Further, chips are generated during the cutting and are deposited on the silicon wafer (semiconductor chip), so that a removal step for removing the chips is necessary. Therefore, the manufacturing process is complicated by this removal process.

特開平８−２５０４５４号公報JP-A-8-250454

本発明の目的は、アクチュエータを製造する際に、フレームから容易かつ確実に分離することができ、アクチュエータが確実に得られる構造をなすアクチュエータおよびアクチュエータ連結体を提供することにある。 An object of the present invention is to provide an actuator and an actuator coupling body that can be easily and surely separated from a frame when manufacturing the actuator, and have a structure that allows the actuator to be reliably obtained.

このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のアクチュエータは、フレームに固定されており、板状の可動板と、該可動板を支持する支持板と、前記可動板と前記支持板とを連結し、該支持板に対し前記可動板を回動可能に支持する回動軸とを備えるアクチュエータであって、
前記支持板は、その外周部の一部が前記フレームに対して、脆弱な破断部を介して連結されており、該破断部を破断することにより前記フレームから分離されることを特徴とする。
これにより、アクチュエータを製造する際に、フレームから容易かつ確実に分離することができ、アクチュエータが確実に得られる。 Such an object is achieved by the present invention described below.
The actuator of the present invention is fixed to a frame, and connects a plate-shaped movable plate, a support plate that supports the movable plate, the movable plate and the support plate, and the movable plate with respect to the support plate. An actuator having a pivot shaft that rotatably supports the actuator,
A part of the outer peripheral portion of the support plate is connected to the frame via a fragile break portion, and the support plate is separated from the frame by breaking the break portion.
Thereby, when manufacturing an actuator, it can isolate | separate easily and reliably from a flame | frame, and an actuator is obtained reliably.

本発明のアクチュエータでは、前記支持板は、平面視で四角形をなし、その４つの辺のうちの１つの辺に前記破断部が位置していることが好ましい。
これにより、破断部を容易かつ確実に破断することができ、よって、アクチュエータが確実に得られる。
本発明のアクチュエータでは、前記破断部は、該破断部が位置する辺に沿った全長が、その辺の長さの１０〜４０％であることが好ましい。
これにより、破断部に対する破断操作をより容易に行なうことができる。 In the actuator according to the aspect of the invention, it is preferable that the support plate has a quadrangular shape in a plan view, and the fracture portion is located on one of the four sides.
Thereby, a fracture | rupture part can be fracture | ruptured easily and reliably, and an actuator is obtained reliably.
In the actuator according to the aspect of the invention, it is preferable that the total length of the breakage portion along the side where the breakage portion is located is 10 to 40% of the length of the side.
Thereby, the fracture | rupture operation with respect to a fracture | rupture part can be performed more easily.

本発明のアクチュエータでは、前記破断部は、前記支持板の前記回動軸の延長線上の部分には形成されていないことが好ましい。
これにより、破断部を容易かつ確実に破断することができ、よって、アクチュエータが確実に得られる。
本発明のアクチュエータでは、前記破断部は、前記支持板の前記回動軸に対して片側に偏在していることが好ましい。
これにより、破断部を容易かつ確実に破断することができ、よって、アクチュエータが確実に得られる。 In the actuator according to the aspect of the invention, it is preferable that the fracture portion is not formed in a portion on an extension line of the rotation shaft of the support plate.
Thereby, a fracture | rupture part can be fracture | ruptured easily and reliably, and an actuator is obtained reliably.
In the actuator according to the aspect of the invention, it is preferable that the fracture portion is unevenly distributed on one side with respect to the rotation shaft of the support plate.
Thereby, a fracture | rupture part can be fracture | ruptured easily and reliably, and an actuator is obtained reliably.

本発明のアクチュエータでは、前記破断部は、押圧により容易に破断可能なものであり、
前記支持板の前記破断部が形成されている部分と前記回動軸を介して反対側の部分は、前記破断部を破断する際に前記支持板の厚さ方向に押圧される押圧部として機能することが好ましい。
これにより、破断部に応力が集中し、よって、当該破断部が容易かつ確実に破断することとなる。 In the actuator of the present invention, the breaking portion can be easily broken by pressing,
The portion of the support plate where the rupture portion is formed and the portion on the opposite side through the rotating shaft function as a pressing portion that is pressed in the thickness direction of the support plate when the rupture portion is broken. It is preferable to do.
As a result, stress concentrates on the fractured portion, and thus the fractured portion is easily and reliably fractured.

本発明のアクチュエータでは、前記破断部は、ミシン目または薄肉部であることが好ましい。
これにより、破断部を容易かつ確実に破断することができ、よって、アクチュエータが確実に得られる。
本発明のアクチュエータでは、前記破断部は、前記ミシン目であり、前記回動軸と直交する方向に沿って間欠的に形成された複数の孔を有することが好ましい。
これにより、支持板を例えば押圧した際に、破断部の孔が形成されていない各部分に、それぞれ応力が確実に集中し、よって、当該各部分（破断部）をより容易に破断することができる。 In the actuator according to the aspect of the invention, it is preferable that the fracture portion is a perforation or a thin portion.
Thereby, a fracture | rupture part can be fracture | ruptured easily and reliably, and an actuator is obtained reliably.
In the actuator according to the aspect of the invention, it is preferable that the break portion is the perforation and has a plurality of holes formed intermittently along a direction orthogonal to the rotation axis.
As a result, when the support plate is pressed, for example, the stress is surely concentrated on each portion where the hole of the fracture portion is not formed, and therefore, each portion (rupture portion) can be more easily fractured. it can.

本発明のアクチュエータでは、前記各孔は、それぞれ、前記回動軸と直交する方向に沿った長尺状をなすものであることが好ましい。
これにより、支持板を例えば押圧した際に、破断部の孔が形成されていない各部分に、それぞれ応力が確実に集中し、よって、当該各部分（破断部）をより容易に破断することができる。 In the actuator according to the aspect of the invention, it is preferable that each of the holes has an elongated shape along a direction orthogonal to the rotation axis.
As a result, when the support plate is pressed, for example, the stress is surely concentrated on each portion where the hole of the fracture portion is not formed, and therefore, each portion (rupture portion) can be more easily fractured. it can.

本発明のアクチュエータでは、前記孔の長さは、隣接する前記孔同士の間の長さと同じまたはそれよりも短いことが好ましい。
これにより、破断部において、フレームから分離される前の状態で破断部が不本意に破断してアクチュエータが離脱するのを防止し得る程度の、強度が確保される。
本発明のアクチュエータでは、前記回動軸は、前記可動板を介して２つ設けられており、
前記支持板は、前記各回動軸にそれぞれ対応して配置されていることが好ましい。
これにより、アクチュエータを製造する際の製造工程の簡素化を図ることができ、また、可動板と支持板と回動軸とを高精度に形成することができる。 In the actuator of the present invention, the length of the hole is preferably the same as or shorter than the length between the adjacent holes.
As a result, the strength is ensured at the broken portion so that the broken portion can be prevented from being unintentionally broken and separated from the actuator before being separated from the frame.
In the actuator of the present invention, two of the rotation shafts are provided via the movable plate,
It is preferable that the support plate is disposed corresponding to each rotation shaft.
Thereby, the manufacturing process at the time of manufacturing an actuator can be simplified, and the movable plate, the support plate, and the rotating shaft can be formed with high accuracy.

本発明のアクチュエータでは、前記２つの支持板のうちの一方の支持板に前記破断部が形成されていることが好ましい。
これにより、例えば破断部が複数形成されている場合に比べて、１箇所（１つの破断部）を破断しさえすれば、フレームからアクチュエータを分離することができ、よって、その分離操作を容易に行なうことができる。
本発明のアクチュエータでは、前記可動板と前記支持板と前記回動軸とは、一体的に形成されていることが好ましい。
これにより、アクチュエータを製造する際の製造工程の簡素化を図ることができ、また、可動板と支持板と回動軸とを高精度に形成することができる。 In the actuator of the present invention, it is preferable that the fracture portion is formed on one of the two support plates.
As a result, the actuator can be separated from the frame as long as one portion (one rupture portion) is ruptured, as compared with a case where a plurality of rupture portions are formed, for example. Can be done.
In the actuator according to the aspect of the invention, it is preferable that the movable plate, the support plate, and the rotation shaft are integrally formed.
Thereby, the manufacturing process at the time of manufacturing an actuator can be simplified, and the movable plate, the support plate, and the rotating shaft can be formed with high accuracy.

本発明のアクチュエータ連結体は、フレームと、該フレームに固定された複数のアクチュエータを有するアクチュエータ連結体であって、
前記各アクチュエータは、それぞれ、板状の可動板と、該可動板を支持する支持板と、前記可動板と前記支持板とを連結し、該支持板に対し前記可動板を回動可能に支持する回動軸とを備え、
前記支持板は、その外周部の一部が前記フレームに対して、脆弱な破断部を介して連結されており、該破断部を破断することにより前記フレームから分離されることを特徴とする。
これにより、アクチュエータを製造する際に、フレームから容易かつ確実に分離することができ、アクチュエータが確実に得られる。 The actuator coupling body of the present invention is an actuator coupling body having a frame and a plurality of actuators fixed to the frame,
Each of the actuators connects a plate-shaped movable plate, a support plate that supports the movable plate, the movable plate and the support plate, and supports the movable plate so as to be rotatable with respect to the support plate. A rotating shaft that
A part of the outer peripheral portion of the support plate is connected to the frame via a fragile break portion, and the support plate is separated from the frame by breaking the break portion.
Thereby, when manufacturing an actuator, it can isolate | separate easily and reliably from a flame | frame, and an actuator is obtained reliably.

本発明のアクチュエータ（第１実施形態）を有するアクチュエータ組立体を示す平面図である。It is a top view which shows the actuator assembly which has an actuator (1st Embodiment) of this invention. 図１中のＡ−Ａ線断面図（横断面図）である。It is the sectional view on the AA line in FIG. 本発明のアクチュエータ連結体の平面図である。It is a top view of the actuator coupling body of this invention. 図３中の一点鎖線で囲まれた領域［Ｂ］の拡大図である。FIG. 4 is an enlarged view of a region [B] surrounded by an alternate long and short dash line in FIG. 3. 図１に示すアクチュエータ組立体の製造方法を説明するための図（図１中のＡ−Ａ線断面図に対応する図）である。FIG. 2 is a view for explaining a method of manufacturing the actuator assembly shown in FIG. 1 (a view corresponding to a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 1). 図１に示すアクチュエータ組立体の製造方法を説明するための図（図１中のＡ−Ａ線断面図に対応する図）である。FIG. 2 is a view for explaining a method of manufacturing the actuator assembly shown in FIG. 1 (a view corresponding to a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 1). 本発明のアクチュエータの第２実施形態を示す横断面図である。It is a cross-sectional view showing a second embodiment of the actuator of the present invention. 本発明のアクチュエータの第３実施形態を示す横断面図である。It is a cross-sectional view showing a third embodiment of the actuator of the present invention. 図８に示すアクチュエータの製造方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing method of the actuator shown in FIG. 図８に示すアクチュエータの製造方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing method of the actuator shown in FIG. 図１に示すアクチュエータ組立体を有する画像形成装置を示す概略図である。It is the schematic which shows the image forming apparatus which has an actuator assembly shown in FIG.

以下、本発明のアクチュエータおよびアクチュエータ連結体を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明のアクチュエータ（第１実施形態）を有するアクチュエータ組立体を示す平面図、図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図（横断面図）、図３は、本発明のアクチュエータ連結体の平面図、図４は、図３中の一点鎖線で囲まれた領域［Ｂ］の拡大図、図５および図６は、それぞれ、図１に示すアクチュエータ組立体の製造方法を説明するための図（図１中のＡ−Ａ線断面図に対応する図）、図１１は、図１に示すアクチュエータ組立体を有する画像形成装置を示す概略図である。なお、以下では、説明の都合上、各図のアクチュエータの長手方向を「ｘ軸方向」、アクチュエータの幅方向を「ｙ軸方向」、アクチュエータの高さ方向を「ｚ軸方向」と言う。また、図２、図５および図６（図７〜図１０も同様）中の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言う。 DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an actuator and an actuator coupling body of the present invention will be described in detail based on preferred embodiments shown in the accompanying drawings.
<First Embodiment>
FIG. 1 is a plan view showing an actuator assembly having an actuator (first embodiment) according to the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view (cross-sectional view) taken along line AA in FIG. 1, and FIG. FIG. 4 is an enlarged view of a region [B] surrounded by an alternate long and short dash line in FIG. 3, and FIGS. 5 and 6 show a method for manufacturing the actuator assembly shown in FIG. FIGS. 11A and 11B are schematic views showing an image forming apparatus having the actuator assembly shown in FIG. 1 (FIG. 1 corresponding to the cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 1). In the following, for convenience of explanation, the longitudinal direction of the actuator in each figure is referred to as “x-axis direction”, the width direction of the actuator is referred to as “y-axis direction”, and the height direction of the actuator is referred to as “z-axis direction”. 2, 5, and 6 (also in FIGS. 7 to 10), the upper side is referred to as “upper” or “upper”, and the lower side is referred to as “lower” or “lower”.

図１および図２に示すように、アクチュエータ組立体１は、アクチュエータ２と、アクチュエータ２を下方から支持する支持基板４と、アクチュエータ２が備える可動板２１を回動させるための駆動手段５とを有している。
図３に示すように、アクチュエータ２は、製造過程で複数、フレーム１０に連結、支持されている（以下これを「アクチュエータ連結体２０」と言う）。そして、アクチュエータ連結体２０では、アクチュエータ２をフレーム１０から分離する（取り出す）ことができる。
図１および図２に示すように、アクチュエータ２は、可動板２１と、可動板２１の外周側に当該可動板２１を介して対向配置された支持板（支持部）２２ａ、２２ｂと、可動板２１と支持板２２ａとを連結、支持する軸部材（回動軸）２３と、可動板２１と支持板２２ｂとを連結する軸部材（回動軸）２４とを備えている。 As shown in FIGS. 1 and 2, the actuator assembly 1 includes an actuator 2, a support substrate 4 that supports the actuator 2 from below, and a driving unit 5 that rotates a movable plate 21 provided in the actuator 2. Have.
As shown in FIG. 3, a plurality of actuators 2 are connected to and supported by the frame 10 in the manufacturing process (hereinafter referred to as “actuator connection body 20”). In the actuator connector 20, the actuator 2 can be separated (taken out) from the frame 10.
As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the actuator 2 includes a movable plate 21, support plates (support portions) 22 a and 22 b disposed on the outer peripheral side of the movable plate 21 via the movable plate 21, and a movable plate. A shaft member (rotating shaft) 23 that connects and supports 21 and the support plate 22a, and a shaft member (rotating shaft) 24 that connects the movable plate 21 and the support plate 22b.

可動板２１は、その形状が円板状をなすものである。
この可動板２１の上面には、光反射性を有する光反射部２１１が設けられている。光反射部２１１は、例えば、Ａｌ、Ｎｉ等の金属膜で構成されている。このような光反射部２１１を備えることにより、可動板２１が回動した際に光反射部２１１で反射した光を対象物等に走査することができ、アクチュエータ組立体１を例えば光スキャナとして用いることができる。なお、この光反射部２１１は、図１の構成では平面視で円形をなしているが、これに限定されず、例えば、四角形をなしていてもよい。 The movable plate 21 has a disk shape.
A light reflecting portion 211 having light reflectivity is provided on the upper surface of the movable plate 21. The light reflecting portion 211 is made of a metal film such as Al or Ni, for example. By providing such a light reflecting portion 211, it is possible to scan the light reflected by the light reflecting portion 211 when the movable plate 21 rotates to an object or the like, and the actuator assembly 1 is used as an optical scanner, for example. be able to. The light reflecting portion 211 has a circular shape in plan view in the configuration of FIG. 1, but is not limited thereto, and may have a rectangular shape, for example.

図１に示すように、可動板２１を介して、図１中左側には支持板２２ａが配置され、右側には支持板２２ｂが配置されている。
支持板２２ａ、２２ｂは、それぞれ、平面視で長方形をなす板状の部材であり、その長さ（長手方向の長さ）が可動板２１の直径よりも大きい。また、支持板２２ａ、２２ｂは、それぞれ、その長手方向が軸部材２３の長手方向と直交するように配置されている。 As shown in FIG. 1, a support plate 22 a is disposed on the left side in FIG. 1 and a support plate 22 b is disposed on the right side through a movable plate 21.
Each of the support plates 22 a and 22 b is a plate-like member that is rectangular in plan view, and the length (length in the longitudinal direction) is larger than the diameter of the movable plate 21. The support plates 22 a and 22 b are arranged so that the longitudinal direction thereof is orthogonal to the longitudinal direction of the shaft member 23.

図１に示すように、可動板２１と支持板２２ａとの間には、軸部材２３が配置され、これらを連結している。また、可動板２１と支持板２２ｂとの間には、軸部材２４が配置され、これらを連結している。
軸部材２３、２４は、それぞれ、その形状が棒状をなし、弾性変形可能（捩り変形可能）である。また、軸部材２３と軸部材２４とは、同軸上に設けられている。このような軸部材２３、２４が設けられていることにより、アクチュエータ２では、可動板２１が、支持板２２ａ、２２ｂに対し、軸部材２３、２４回り（当該可動板２１の面と平行な軸回り）に確実に安定して回動することができる。 As shown in FIG. 1, a shaft member 23 is disposed between the movable plate 21 and the support plate 22 a and connects them. Moreover, the shaft member 24 is arrange | positioned between the movable plate 21 and the support plate 22b, and these are connected.
Each of the shaft members 23 and 24 has a rod shape and can be elastically deformed (torsionally deformable). Further, the shaft member 23 and the shaft member 24 are provided coaxially. By providing such shaft members 23 and 24, in the actuator 2, the movable plate 21 rotates around the shaft members 23 and 24 (axis parallel to the surface of the movable plate 21) with respect to the support plates 22 a and 22 b. It is possible to rotate reliably and reliably.

図５（図２）に示すように、以上のようなアクチュエータ２は、その母材となる基板３から、例えばエッチングにより、可動板２１と、支持板２２ａ、２２ｂと、軸部材２３、２４とが一体的に形成されたものである。基板３は、Ｓｉ層３１、ＳｉＯ_２層３２で構成された積層構造基板である。なお、基板３としては、Ｓｉ層３１とＳｉＯ_２層３２とで構成されたものに限定されず、例えば、ＳｉＯ_２層３２をＳｉＮ層に代えたものであってもよい。
このようにアクチュエータ２は１枚の基板３を加工して製造されていることにより、例えば、アクチュエータ２を製造する際の製造工程の簡素化を図ることができ、また、可動板２１と、支持板２２ａ、２２ｂと、軸部材２３、２４とを高精度に形成することができる。 As shown in FIG. 5 (FIG. 2), the actuator 2 as described above is obtained by, for example, etching the movable plate 21, the support plates 22 a and 22 b, the shaft members 23 and 24, from the base material 3. Are integrally formed. The substrate 3 is a stacked structure substrate composed of a Si layer 31 and a SiO ₂ layer 32. The substrate 3 is not limited to the one composed of the Si layer 31 and the SiO ₂ layer 32, and for example, the substrate 3 may be one in which the SiO ₂ layer 32 is replaced with a SiN layer.
As described above, the actuator 2 is manufactured by processing one substrate 3. For example, the manufacturing process when manufacturing the actuator 2 can be simplified, and the movable plate 21 and the support are supported. The plates 22a and 22b and the shaft members 23 and 24 can be formed with high accuracy.

前述したように、アクチュエータ２は、下方から支持基板４により支持されている。この支持基板４は、板状の基台４１と、その上面に設けられた枠部材４２とを備えている。
基台４１は、間隙（空間）４３を介してアクチュエータ２と対向配置されている。この基台４１は、平面視でアクチュエータ２よりも大きい長方形をなしている（図１参照）。
枠部材４２は、基台４１とアクチュエータ２との間に位置し、間隙４３の間隙距離を規制するものである。この枠部材４２は、基台４１の外周方向に沿った枠状をなしている。 As described above, the actuator 2 is supported by the support substrate 4 from below. The support substrate 4 includes a plate-like base 41 and a frame member 42 provided on the upper surface thereof.
The base 41 is disposed to face the actuator 2 with a gap (space) 43 therebetween. The base 41 has a rectangular shape larger than that of the actuator 2 in plan view (see FIG. 1).
The frame member 42 is located between the base 41 and the actuator 2 and regulates the gap distance of the gap 43. The frame member 42 has a frame shape along the outer peripheral direction of the base 41.

このような基台４１および枠部材４２の構成材料としては、特に限定されず、例えば、各種セラミックス、ガラス、シリコン等を用いることができる。
基台４１と枠部材４２との接合方法としては、特に限定されず、例えば、接着剤により接合（接着）してもよい。また、基台４１および枠部材４２の一方がガラスで構成され、他方がシリコンで構成されている場合には、陽極接合などにより接合してもよい。 The constituent materials of the base 41 and the frame member 42 are not particularly limited, and various ceramics, glass, silicon, and the like can be used, for example.
The joining method of the base 41 and the frame member 42 is not particularly limited, and may be joined (adhered) with an adhesive, for example. Further, when one of the base 41 and the frame member 42 is made of glass and the other is made of silicon, the base 41 and the frame member 42 may be joined by anodic bonding or the like.

次に、駆動手段５について説明する。
図２に示すように、駆動手段５は、永久磁石５１と、コイル５２と、電源回路５３とを有している。
永久磁石５１は、可動板２１の下面に、例えば接着（接着剤や溶媒による接着）により接合されている。この永久磁石５１は、棒磁石であり、その長手方向に磁化されている。永久磁石５１は、図２に示す構成では、その左側がＮ極、右側がＳ極となっている。また、図１に示すように、永久磁石５１は、その長手方向が軸部材２３、２４と直交するように配置されている。
このような永久磁石５１としては、特に限定されず、例えば、ネオジウム磁石、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、アルニコ磁石などを用いることができる。 Next, the drive means 5 will be described.
As shown in FIG. 2, the drive unit 5 includes a permanent magnet 51, a coil 52, and a power supply circuit 53.
The permanent magnet 51 is joined to the lower surface of the movable plate 21 by, for example, adhesion (adhesion with an adhesive or a solvent). The permanent magnet 51 is a bar magnet and is magnetized in the longitudinal direction. In the configuration shown in FIG. 2, the permanent magnet 51 has an N pole on the left side and an S pole on the right side. Further, as shown in FIG. 1, the permanent magnet 51 is arranged so that the longitudinal direction thereof is orthogonal to the shaft members 23 and 24.
The permanent magnet 51 is not particularly limited, and for example, a neodymium magnet, a ferrite magnet, a samarium cobalt magnet, an alnico magnet, or the like can be used.

コイル５２は、導電性を有する材料（例えば銅）で構成された線状体を、枠部材４２の内周部（間隙４３内）に、その周方向に沿って巻回して形成されたものである。図１に示すように、平面視で、コイル５２は、その内側に永久磁石５１が位置するように設けられている。これにより、コイル５２への通電により発生する磁界を永久磁石５１に効率的に作用させることができ、よって、省電力化を図りつつ、可動板２１を確実に回動させることができる。なお、コイル５２を構成する線状体は、その外周部が絶縁性を有する被覆部材（チューブ）で覆われている。 The coil 52 is formed by winding a linear body made of a conductive material (for example, copper) around the inner peripheral portion (in the gap 43) of the frame member 42 along the circumferential direction thereof. is there. As shown in FIG. 1, the coil 52 is provided so that the permanent magnet 51 is positioned inside in a plan view. Thereby, the magnetic field generated by energizing the coil 52 can be efficiently applied to the permanent magnet 51, and thus the movable plate 21 can be reliably rotated while saving power. In addition, the linear body which comprises the coil 52 is covered with the coating | coated member (tube) which the outer peripheral part has insulation.

電源回路５３は、コイル５２に電気的に接続され、コイル５２に交流電圧を印加するものである。コイル５２に交流電圧を印加した際には、コイル５２の周りにｚ軸方向の磁力を有する磁界が発生し、かつ、その磁界の向きが周期的に切り替わる。すなわち、コイル５２の上側がＮ極、下側がＳ極となる第１の状態と、コイル５２の上側がＳ極、下側がＮ極となる第２の状態とが、交互に切り換わる。 The power supply circuit 53 is electrically connected to the coil 52 and applies an AC voltage to the coil 52. When an AC voltage is applied to the coil 52, a magnetic field having a magnetic force in the z-axis direction is generated around the coil 52, and the direction of the magnetic field is periodically switched. That is, the first state in which the upper side of the coil 52 is the N pole and the lower side is the S pole, and the second state in which the upper side of the coil 52 is the S pole and the lower side is the N pole are alternately switched.

第１の状態では、永久磁石５１のＳ極が上方へ、Ｎ極が下方へそれぞれ磁気的に引き付けられ、よって、可動板２１が軸部材２３（軸部材２４（ｘ軸））を中心として反時計回りに回動する。
第２の状態では、永久磁石５１のＮ極が上方へ、Ｓ極が下方へそれぞれ磁気的に引き付けられ、よって、可動板２１が軸部材２３（軸部材２４）を中心として時計回りに回動する。 In the first state, the S pole of the permanent magnet 51 is magnetically attracted upward and the N pole is downwardly attracted, so that the movable plate 21 is counteracted around the shaft member 23 (the shaft member 24 (x axis)). Rotate clockwise.
In the second state, the N pole of the permanent magnet 51 is magnetically attracted upward and the S pole is downwardly attracted, so that the movable plate 21 rotates clockwise around the shaft member 23 (shaft member 24). To do.

このような第１の状態と第２の状態とを交互に繰り返すことにより、可動板２１を軸部材２３回りに回動させることができる。
なお、本実施形態では、電源回路５３によりコイル５２へ交流電圧を印加するものについて説明したが、可動板２１を回動させることができれば、これに限定されず、例えば、電源回路５３によりコイル５２へ直流電源を間欠的に印加するように構成されていてもよい。 The movable plate 21 can be rotated around the shaft member 23 by alternately repeating the first state and the second state.
In the present embodiment, the AC voltage is applied to the coil 52 by the power supply circuit 53. However, the present invention is not limited to this as long as the movable plate 21 can be rotated. A direct current power supply may be applied intermittently.

さて、前述したように、アクチュエータ連結体２０では、アクチュエータ２は、フレーム１０から分離することにより得られるものである。
図３に示すように、フレーム１０は、アクチュエータ２を製造する際に、多数のアクチュエータ２を一括して連結、支持する部材である。このフレーム１０は、図３中左右方向（ｘ軸方向）に延在する第１のランナー１０１と、第１のランナー１０１に接続され、図３中上下方向（ｙ軸方向）に延在する複数の第２のランナー１０２とで構成されている。このようなフレーム１０により、多数のアクチュエータ２を行列状に配置することができる。これにより、省スペースで多数のアクチュエータ２を配置することができる（多数個取り）。そして、多数のアクチュエータ２は、同じ構成であるため、後述する各アクチュエータ２の破断部２７は、それぞれ、当該アクチュエータ２に対して同じ位置に配置される。また、多数のアクチュエータ２をフレーム１０から分離する際にアクチュエータ２を１つずつ順に（例えば図３中では右下から順に）分離することができ、その分離作業を容易に行なうことができる。 As described above, in the actuator coupling body 20, the actuator 2 is obtained by being separated from the frame 10.
As shown in FIG. 3, the frame 10 is a member that collectively connects and supports a large number of actuators 2 when the actuators 2 are manufactured. The frame 10 is connected to the first runner 101 extending in the left-right direction (x-axis direction) in FIG. 3, and a plurality of frames extending in the up-down direction (y-axis direction) in FIG. And the second runner 102. With such a frame 10, a large number of actuators 2 can be arranged in a matrix. As a result, a large number of actuators 2 can be arranged in a space-saving manner (multiple picking). And since many actuators 2 are the same structures, the fracture | rupture part 27 of each actuator 2 mentioned later is arrange | positioned in the same position with respect to the said actuator 2, respectively. Further, when separating a large number of actuators 2 from the frame 10, the actuators 2 can be separated one by one in order (for example, from the lower right in FIG. 3), and the separation work can be easily performed.

多数のアクチュエータ２は、それぞれ、同じ構成であるため、以下１つ（図３中の左側最上段）のアクチュエータ２について代表的に説明する。
図３、図４に示すように、アクチュエータ２は、フレーム１０から分離される前の状態では、第２のランナー１０２の途中と支持板２２ａの外周部の一部とが連結されている。そして、この連結部に、ミシン目で構成され、脆弱で破断が容易な（破断可能な）破断部２７が形成されている。破断部２７を破断した際に、アクチュエータ２がフレーム１０（第２のランナー１０２）から分離される（図３中の右側最下段のアクチュエータ２参照）。 Since a large number of actuators 2 have the same configuration, one actuator 2 (the uppermost left side in FIG. 3) will be representatively described below.
As shown in FIGS. 3 and 4, in the state before the actuator 2 is separated from the frame 10, the middle of the second runner 102 and a part of the outer peripheral portion of the support plate 22 a are connected. And the fracture | rupture part 27 comprised by the perforation and which is fragile and easy to fracture | rupture (it can fracture | rupture) is formed in this connection part. When the fractured portion 27 is fractured, the actuator 2 is separated from the frame 10 (second runner 102) (see the actuator 2 on the rightmost lower stage in FIG. 3).

破断部２７は、長方形（四角形）をなす支持板２２ａの４つの辺のうちの１つの辺、すなわち、対向する２つの長辺のうちの外側の長辺２２３に位置している。そして、破断部２７は、長辺２２３（支持板２２ａ）の軸部材２３に対して片側（図１中下側）の部分に偏在している。すなわち、破断部２７は、長辺２２３の軸部材２３の延長線上の部分には形成されていない（図１参照）。従って、支持板２２ａは、破断部２７が形成されている部分（以下この部分を「破断部形成部２２４」と言う）と、軸部材２３を介して破断部形成部２２４と反対側の、破断部２７が形成されていない部分（以下この部分を「破断部非形成部２２５」と言う）とに分けることができる。 The fracture portion 27 is located on one of the four sides of the rectangular (quadrangle) support plate 22a, that is, on the outer long side 223 of the two opposing long sides. And the fracture | rupture part 27 is unevenly distributed in the part of one side (lower side in FIG. 1) with respect to the shaft member 23 of the long side 223 (support plate 22a). That is, the fracture | rupture part 27 is not formed in the part on the extension line | wire of the shaft member 23 of the long side 223 (refer FIG. 1). Accordingly, the support plate 22a has a rupture portion on the side opposite to the rupture portion forming portion 224 via the shaft member 23 and a portion where the rupture portion 27 is formed (hereinafter, this portion is referred to as a “rupture portion forming portion 224”). The portion 27 can be divided into portions where the portion 27 is not formed (hereinafter, this portion is referred to as “a broken portion non-formed portion 225”).

破断部２７を破断するときには、例えば指先で、破断部非形成部２２５をその厚さ方向（図３の紙面奥側に向かって）に押圧する。この押圧により、破断部２７に応力が集中し、よって、当該破断部２７が容易かつ確実に破断することとなる。これにより、アクチュエータ２を製造する際に当該アクチュエータ２をフレーム１０から容易かつ確実に分離することができ、よって、アクチュエータ２を確実に得ることができる。このように、破断部２７は、押圧と言う簡単な操作で破断され、また、破断部２７を破断した際の破断片（破断くず）が生じるのも防止される。 When rupturing the rupture portion 27, the rupture portion non-forming portion 225 is pressed in the thickness direction (toward the back side of the sheet of FIG. 3) with, for example, a fingertip. Due to this pressing, stress concentrates on the fractured portion 27, so that the fractured portion 27 is easily and reliably fractured. Thereby, when manufacturing the actuator 2, the said actuator 2 can be isolate | separated easily and reliably from the flame | frame 10, Therefore The actuator 2 can be obtained reliably. As described above, the fracture portion 27 is fractured by a simple operation called pressing, and it is also possible to prevent a fractured fragment (rupture waste) from occurring when the fracture portion 27 is fractured.

また、分離されたアクチュエータ２では、振動特性に影響しない部分（可動板２１に対してできる限り遠位となる部分）に破断部２７が形成されている。
また、支持板２２ａでは、破断部非形成部２２５が、破断部２７を破断する際に押圧される押圧部として機能する部分であると言うことができる。
また、破断部２７は、長辺２２３に沿った長さ（全長）Ｌ１が、その長辺２２３の長さＬ２の１０〜４０％であるのが好ましく、２０〜４０％であるのがより好ましい。これにより、破断部２７に対する押圧による破断操作をより容易に行なうことができる。 In the separated actuator 2, a fracture portion 27 is formed in a portion that does not affect the vibration characteristics (a portion that is as distal as possible to the movable plate 21).
Moreover, in the support plate 22a, it can be said that the breakage portion non-forming portion 225 is a portion that functions as a pressing portion that is pressed when the breakage portion 27 is broken.
Moreover, as for the fracture | rupture part 27, it is preferable that the length (full length) L1 along the long side 223 is 10 to 40% of the length L2 of the long side 223, and it is more preferable that it is 20 to 40%. . Thereby, the rupture operation by the press with respect to the fracture | rupture part 27 can be performed more easily.

前述したように、破断部２７は、ミシン目で構成されている。このため、破断部２７には、長辺２２３に沿って（軸部材２３と直交する方向に沿って）間欠的に形成された複数（図示の構成では４つ）の孔２７１が形成されている。各孔２７１は、それぞれ、支持板２２ａを厚さ方向に貫通するものである。また、各孔２７１は、それぞれ、長辺２２３に沿った（平面視で）長尺状をなすものである。 As described above, the breaking portion 27 is formed by perforations. For this reason, a plurality of (four in the illustrated configuration) holes 271 are formed in the fracture portion 27 intermittently along the long side 223 (along the direction orthogonal to the shaft member 23). . Each hole 271 penetrates the support plate 22a in the thickness direction. Each hole 271 has a long shape along the long side 223 (in plan view).

このような孔２７１が形成されていることにより、支持板２２ａの破断部非形成部２２５を押圧した際に、破断部２７の孔２７１が形成されていない各部分２７２に、それぞれ応力が確実に集中し、よって、当該各部分２７２（破断部２７）をより容易に破断することができる。
また、図４に示すように、孔２７１の長さＬ３は、隣接する孔２７１同士の間（部分２７２）の長さＬ４よりも短い。これにより、破断部２７において、フレーム１０から分離される前の状態で破断部２７が不本意に破断してアクチュエータ２が離脱するのを防止し得る程度の、強度が確保される。なお、長さＬ３は、１０〜１００μｍであるのが好ましく、３０〜４０μｍであるのがより好ましい。また、長さＬ３は、長さＬ４よりも短いのに限定されず、長さＬ４と同じであってもよい。 By forming such a hole 271, when the rupture portion non-forming portion 225 of the support plate 22 a is pressed, stress is reliably applied to each portion 272 of the rupture portion 27 where the hole 271 is not formed. Therefore, the portions 272 (breaking portions 27) can be more easily broken.
Moreover, as shown in FIG. 4, the length L3 of the hole 271 is shorter than the length L4 between adjacent holes 271 (part 272). As a result, the strength is ensured at the breaking portion 27 so as to prevent the breaking portion 27 from unintentionally breaking and being separated from the actuator 2 before being separated from the frame 10. In addition, it is preferable that length L3 is 10-100 micrometers, and it is more preferable that it is 30-40 micrometers. Further, the length L3 is not limited to being shorter than the length L4, and may be the same as the length L4.

また、前述したように、破断部２７は、支持板２２ａには形成されているが、支持板２２ｂには形成されていない。これにより、例えば支持板２２ａおよび２２ｂにそれぞれ破断部２７が形成されている（破断部２７が複数形成されている）場合に比べて、１箇所（１つの破断部２７）を破断しさえすれば、フレーム１０からアクチュエータ２を分離することができ、よって、その分離操作を容易に行なうことができる。
以上のようなアクチュエータ組立体１（アクチュエータ２（アクチュエータ連結体２０））は、例えば、次のようにして製造することができる。この製造方法について、図５、図６を参照しつつ説明する。 Further, as described above, the fracture portion 27 is formed on the support plate 22a, but is not formed on the support plate 22b. Thereby, for example, as compared with the case where the rupture portions 27 are respectively formed on the support plates 22a and 22b (a plurality of the rupture portions 27 are formed), it is only necessary to break one place (one rupture portion 27). The actuator 2 can be separated from the frame 10, and therefore the separation operation can be easily performed.
The actuator assembly 1 (actuator 2 (actuator coupling body 20)) as described above can be manufactured, for example, as follows. This manufacturing method will be described with reference to FIGS.

［１］まず、図５（ａ）に示すように、アクチュエータ連結体２０（アクチュエータ２）の母材となる基板３を用意する。
また、予め支持基板４も用意しておく。この支持基板４には、コイル５２が設置されている。
［２］次いで、図５（ｂ）に示すように、基板３のＳｉ層上に、各アクチュエータ２（可動板２１と支持板２２ａ、２２ｂと軸部材２３、２４）と、フレーム１０との平面視形状に対応する形状をなすレジストマスクＭ１を形成する。 [1] First, as shown in FIG. 5A, a substrate 3 serving as a base material of the actuator coupling body 20 (actuator 2) is prepared.
A support substrate 4 is also prepared in advance. The support substrate 4 is provided with a coil 52.
[2] Next, as shown in FIG. 5B, the planes of the actuators 2 (the movable plate 21, the support plates 22 a and 22 b and the shaft members 23 and 24) and the frame 10 are formed on the Si layer of the substrate 3. A resist mask M1 having a shape corresponding to the visual shape is formed.

［３］次いで、レジストマスクＭ１を介して、Ｓｉ層３１をエッチングする。その後、レジストマスクＭ１を除去する。これにより、図５（ｃ）に示すように、アクチュエータ２（可動板２１と支持板２２ａ、２２ｂと軸部材２３、２４とが一体的に形成されたもの）とフレーム１０とが一体的に形成されたＳｉ層３１が得られる。
また、このとき、破断部２７も形成される。このように、可動板２１と支持板２２ａ、２２ｂと軸部材２３、２４とを形成するのと同時に破断部２７も形成することができるので、アクチュエータ連結体２０を製造する際の製造コストを抑制することができる。 [3] Next, the Si layer 31 is etched through the resist mask M1. Thereafter, the resist mask M1 is removed. Thereby, as shown in FIG. 5C, the actuator 2 (the movable plate 21, the support plates 22a and 22b, and the shaft members 23 and 24 are integrally formed) and the frame 10 are integrally formed. The Si layer 31 thus obtained is obtained.
At this time, a fracture portion 27 is also formed. As described above, since the movable plate 21, the support plates 22a and 22b, and the shaft members 23 and 24 can be formed at the same time, the fracture portion 27 can be formed. can do.

なお、Ｓｉ層３１をエッチングするとき、ＳｉＯ_２層３２は、エッチングのストップ層として機能する。このようなエッチング方法としては、例えば、プラズマエッチング、リアクティブイオンエッチング、ビームエッチング、光アシストエッチング等の物理的エッチング法、ウェットエッチング等の化学的エッチング法等のうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。 When the Si layer 31 is etched, the SiO ₂ layer 32 functions as an etching stop layer. Examples of such etching methods include one or more of physical etching methods such as plasma etching, reactive ion etching, beam etching, and light-assisted etching, and chemical etching methods such as wet etching. They can be used in combination.

［４］次いで、図５（ｄ）に示すように、ＳｉＯ_２層３２の、各アクチュエータ２とフレーム１０との平面視形状に対応する部分と、各アクチュエータ２の可動板２１の永久磁石５１が設置されない部分とを除いた部分を除去する。これにより、各アクチュエータ２とフレーム１０との平面視形状に対応する部分と、各アクチュエータ２の可動板２１の永久磁石５１が設置されない部分とを除いた部分とが形成されたＳｉＯ_２層３２を得ることができる。
その後、前述したように、各アクチュエータ２の破断部２７を破断して、当該アクチュエータ２をフレーム１０から取り外す。 [4] Next, as shown in FIG. 5 (d), the portion of the SiO ₂ layer 32 corresponding to the planar view shape of each actuator 2 and the frame 10, and the permanent magnet 51 of the movable plate 21 of each actuator 2 Remove the part except the part that is not installed. Thereby, the SiO ₂ layer 32 in which a portion corresponding to the planar view shape of each actuator 2 and the frame 10 and a portion excluding the portion where the permanent magnet 51 of the movable plate 21 of each actuator 2 is not installed is formed. Obtainable.
Thereafter, as described above, the fracture portion 27 of each actuator 2 is broken, and the actuator 2 is removed from the frame 10.

［５］次いで、図６（ｅ）に示すように、可動板２１の上面に、金属膜を形成し、光反射部２１１を形成する。このような金属膜の形成方法としては、真空蒸着、スパッタリング（低温スパッタリング）、イオンプレーティング等の乾式メッキ法、電解メッキ、無電解メッキ等の湿式メッキ法、溶射法、金属箔の接合等が挙げられる。
また、さらに、可動板２１の下面に永久磁石５１を接着（接着剤や溶媒による接着）により接合する。
以上より、光反射部２１１と永久磁石５１とが配置されたアクチュエータ２が得られる。
［６］次いで、図６（ｆ）に示すように、このアクチュエータ２を、予め用意しておいた支持基板４に、接着（接着剤や溶媒による接着）により接合する。その後、支持基板４に設置されているコイル５２と電源回路５３とを接続する。これにより、アクチュエータ組立体１が得られる。 [5] Next, as shown in FIG. 6E, a metal film is formed on the upper surface of the movable plate 21, and the light reflecting portion 211 is formed. Such metal film formation methods include vacuum deposition, sputtering (low temperature sputtering), dry plating methods such as ion plating, wet plating methods such as electrolytic plating and electroless plating, thermal spraying methods, and joining metal foils. Can be mentioned.
Further, the permanent magnet 51 is bonded to the lower surface of the movable plate 21 by adhesion (adhesion with an adhesive or a solvent).
As described above, the actuator 2 in which the light reflecting portion 211 and the permanent magnet 51 are arranged is obtained.
[6] Next, as shown in FIG. 6 (f), the actuator 2 is bonded to a support substrate 4 prepared in advance by adhesion (adhesion with an adhesive or a solvent). Thereafter, the coil 52 installed on the support substrate 4 and the power supply circuit 53 are connected. Thereby, the actuator assembly 1 is obtained.

以上のような構成のアクチュエータ組立体１は、例えば、画像形成装置に内蔵する（適用する）ことができる。ここでは、その一例として、アクチュエータ組立体１をイメージング用ディスプレイの光スキャナとして用いた場合を説明する（図１１参照）。なお、スクリーンＳの長手方向を「横方向」といい、長手方向に直角な方向を「縦方向」という。また、アクチュエータ組立体１（アクチュエータ２）におけるｘ軸がスクリーンＳの横方向と平行であり、ｙ軸がスクリーンＳの縦方向と平行である。 The actuator assembly 1 configured as described above can be incorporated (applied) in an image forming apparatus, for example. Here, as an example, a case where the actuator assembly 1 is used as an optical scanner for an imaging display will be described (see FIG. 11). The longitudinal direction of the screen S is referred to as “lateral direction”, and the direction perpendicular to the longitudinal direction is referred to as “vertical direction”. In the actuator assembly 1 (actuator 2), the x axis is parallel to the horizontal direction of the screen S, and the y axis is parallel to the vertical direction of the screen S.

プロジェクタ９は、レーザーなどの光を照出する光源装置９１と、複数のダイクロイックミラー９２、９２、９２と、アクチュエータ組立体１（アクチュエータ２）とを有している。
光源装置９１は、赤色光を照出する赤色光源装置９１１と、青色光を照出する青色光源装置９１２と、緑色光を照出する緑色光源装置９１３とを備えている。 The projector 9 includes a light source device 91 that emits light such as a laser, a plurality of dichroic mirrors 92, 92, and 92, and an actuator assembly 1 (actuator 2).
The light source device 91 includes a red light source device 911 that emits red light, a blue light source device 912 that emits blue light, and a green light source device 913 that emits green light.

各ダイクロイックミラー９２は、赤色光源装置９１１、青色光源装置９１２、緑色光源装置９１３のそれぞれから照出された光を合成する光学素子である。
このようなプロジェクタ９は、図示しないホストコンピュータからの画像情報に基づいて、光源装置９１（赤色光源装置９１１、青色光源装置９１２、緑色光源装置９１３）から照出された光をダイクロイックミラー９２で合成し、この合成された光がアクチュエータ組立体１によって２次元走査され、スクリーンＳ上でカラー画像を形成するように構成されている。 Each dichroic mirror 92 is an optical element that combines light emitted from each of the red light source device 911, the blue light source device 912, and the green light source device 913.
Such a projector 9 combines light emitted from the light source device 91 (red light source device 911, blue light source device 912, green light source device 913) by a dichroic mirror 92 based on image information from a host computer (not shown). The combined light is two-dimensionally scanned by the actuator assembly 1 to form a color image on the screen S.

２次元走査の際、可動板２１のｙ軸回りの回動により光反射部２１１で反射した光がスクリーンＳの横方向に走査（主走査）される。一方、可動板２１のｘ軸回りの回動により光反射部２１１で反射した光がスクリーンＳの縦方向に走査（副走査）される。
なお、図１１中では、ダイクロイックミラー９２で合成された光をアクチュエータ組立体１によって２次元的に走査した後、その光を固定ミラーＭで反射させてからスクリーンＳに画像を形成するように構成されているが、固定ミラーＭを省略し、アクチュエータ組立体１によって２次元的に走査された光を直接スクリーンＳに照射してもよい。
また、アクチュエータ組立体１（アクチュエータ２）が適用可能な画像形成装置としては、プロジェクタ９の他、プリンタも挙げられる。 During the two-dimensional scanning, the light reflected by the light reflecting portion 211 due to the rotation of the movable plate 21 around the y axis is scanned in the horizontal direction of the screen S (main scanning). On the other hand, the light reflected by the light reflecting portion 211 due to the rotation of the movable plate 21 around the x axis is scanned (sub-scanned) in the vertical direction of the screen S.
In FIG. 11, the light synthesized by the dichroic mirror 92 is scanned two-dimensionally by the actuator assembly 1, and then the light is reflected by the fixed mirror M and then an image is formed on the screen S. However, the fixed mirror M may be omitted, and the screen S may be directly irradiated with light two-dimensionally scanned by the actuator assembly 1.
As an image forming apparatus to which the actuator assembly 1 (actuator 2) can be applied, there is a printer in addition to the projector 9.

＜第２実施形態＞
図７は、本発明のアクチュエータの第２実施形態を示す横断面図である。
以下、この図を参照して本発明のアクチュエータおよびアクチュエータ連結体の第２実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。 <Second Embodiment>
FIG. 7 is a cross-sectional view showing a second embodiment of the actuator of the present invention.
Hereinafter, a second embodiment of the actuator and the actuator coupling body of the present invention will be described with reference to this figure, but the description will focus on differences from the above-described embodiment, and the description of the same matters will be omitted.

本実施形態は、破断部の構成が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
図７に示すアクチュエータ連結体２０Ａでは、アクチュエータ２Ａが、薄肉脆弱部（薄肉部）で構成された破断部２７Ａを介して、フレーム１０と連結されている。この破断部２７Ａは、長辺２２３に沿って溝２７３が形成されており、その溝２７３によって、基板３の厚さが溝２７３の底部２７４に向かって漸減した部分となっている。
このような構成の破断部２７Ａが形成されていることにより、アクチュエータ２Ａを製造する際に破断部２７Ａを破断してフレーム１０から容易かつ確実に分離することができ、よって、アクチュエータ２Ａが確実に得られる。 This embodiment is the same as the first embodiment except that the configuration of the fracture portion is different.
In the actuator coupling body 20A shown in FIG. 7, the actuator 2A is coupled to the frame 10 via a fracture portion 27A configured with a thin fragile portion (thin portion). The broken portion 27 </ b> A has a groove 273 formed along the long side 223, and the groove 273 is a portion where the thickness of the substrate 3 gradually decreases toward the bottom portion 274 of the groove 273.
By forming the rupture portion 27A having such a configuration, the rupture portion 27A can be broken and easily and reliably separated from the frame 10 when the actuator 2A is manufactured. can get.

＜第３実施形態＞
図８は、本発明のアクチュエータの第３実施形態を示す横断面図、図９および図１０は、それぞれ、図８に示すアクチュエータの製造方法を説明するための図である。
以下、この図を参照して本発明のアクチュエータおよびアクチュエータ連結体の第３実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。 <Third Embodiment>
FIG. 8 is a transverse sectional view showing a third embodiment of the actuator of the present invention, and FIGS. 9 and 10 are diagrams for explaining a method of manufacturing the actuator shown in FIG.
Hereinafter, the third embodiment of the actuator and the actuator coupling body of the present invention will be described with reference to this figure. However, the description will focus on differences from the above-described embodiment, and the description of the same matters will be omitted.

本実施形態は、アクチュエータの母材となる基板の構成が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
図８に示すアクチュエータ２Ｂ（アクチュエータ連結体２０）は、その母材となる基板３Ｂから形成されたものである。この基板３Ｂは、Ｓｉ層３１と、Ｓｉ層３１の下面に形成されたＳｉＯ_２層３２（第１のＳｉＯ_２層）と、Ｓｉ層３１の上面に形成されたＳｉＯ_２層３３（第２のＳｉＯ_２層）とで構成された積層構造基板である。
このような構成のアクチュエータ２Ｂは、次のようにして製造することができる。この製造方法について、図９、図１０を参照しつつ説明する。 This embodiment is the same as the first embodiment except that the configuration of the substrate that is the base material of the actuator is different.
An actuator 2B (actuator coupling body 20) shown in FIG. 8 is formed from a substrate 3B as a base material. The substrate 3B includes an Si layer 31, an SiO ₂ layer 32 (first SiO ₂ layer) formed on the lower surface of the Si layer 31, and an SiO ₂ layer 33 ( _second _second layer) formed on the upper surface of the Si layer 31. A layered structure substrate composed of (SiO ₂ layer).
The actuator 2B having such a configuration can be manufactured as follows. This manufacturing method will be described with reference to FIGS.

［１’］まず、図９（ａ）に示すように、アクチュエータ２Ｂの母材となる基板３Ｂを用意する。
［２’］次いで、図９（ｂ）に示すように、基板３ＢのＳｉＯ_２層３２および３３上にそれぞれレジストマスクＭ２およびＭ３を形成する。この形成順番は、ＳｉＯ_２層３２および３３のうち、どちらを先にしてもよいが、ＳｉＯ_２層３３側を先にするのが好ましい。また、レジストマスクＭ３は、次工程でＳｉＯ_２層３２にエッチングを施す際、そのエッチングから、ＳｉＯ_２層３３を保護する保護膜として機能するものである。 [1 ′] First, as shown in FIG. 9A, a substrate 3B as a base material of the actuator 2B is prepared.
[2 ′] Next, as shown in FIG. 9B, resist masks M2 and M3 are formed on the SiO ₂ layers 32 and 33 of the substrate 3B, respectively. As for the formation order, either of the SiO ₂ layers 32 and 33 may be first, but the SiO ₂ layer 33 side is preferably first. The resist mask M3 functions as a protective film that protects the SiO ₂ layer 33 from etching when the SiO ₂ layer 32 is etched in the next step.

［３’］次いで、図９（ｃ）に示すように、レジストマスクＭ２に対して、パターニングを施す。これにより、レジストマスクＭ２が所望の（アクチュエータ２Ｂに対応した）形状をなす。そして、図９（ｄ）に示すように、このレジストマスクＭ２を介して、例えば前述したようなエッチング方法により、ＳｉＯ_２層３２をエッチングする。その後、図９（ｅ）に示すように、例えば硫酸による洗浄やアッシング等により、レジストマスクＭ２およびＭ３を一括して除去する。 [3 ′] Next, as shown in FIG. 9C, patterning is performed on the resist mask M2. Thereby, the resist mask M2 has a desired shape (corresponding to the actuator 2B). Then, as shown in FIG. 9D, the SiO ₂ layer 32 is etched through the resist mask M2 by, for example, the etching method as described above. Thereafter, as shown in FIG. 9E, the resist masks M2 and M3 are removed in a lump by, for example, washing with sulfuric acid or ashing.

［４’］次いで、図１０（ｆ）に示すように、ＳｉＯ_２層３２に対し、ＳｉＯ_２層３２ごと、レジストマスクＭ４を形成する。このレジストマスクＭ４は、次工程でＳｉＯ_２層３３にエッチングを施す際、そのエッチングから、ＳｉＯ_２層３２を保護する保護膜として機能するものである。
また、ＳｉＯ_２層３２に対してもレジストマスクＭ５を形成する。 [4 '] Then, as shown in FIG. 10 (f), with respect to the SiO ₂ layer 32, each SiO ₂ layer 32, a resist mask M4. This resist mask M4 functions as a protective film that protects the SiO ₂ layer 32 from etching when the SiO ₂ layer 33 is etched in the next step.
A resist mask M5 is also formed on the SiO ₂ layer 32.

［５’］次いで、図１０（ｇ）に示すように、レジストマスクＭ５に対して、パターニングを施す。これにより、レジストマスクＭ５が所望の（アクチュエータ２Ｂに対応した）形状をなす。そして、図１０（ｈ）に示すように、このレジストマスクＭ５を介して、例えば前述したようなエッチング方法により、ＳｉＯ_２層３３をエッチングする。その後、図１０（ｉ）に示すように、レジストマスクＭ４およびＭ５を一括して除去する。 [5 ′] Next, as shown in FIG. 10G, patterning is performed on the resist mask M5. As a result, the resist mask M5 has a desired shape (corresponding to the actuator 2B). Then, as shown in FIG. 10H, the SiO ₂ layer 33 is etched through the resist mask M5 by, for example, the etching method as described above. Thereafter, as shown in FIG. 10I, the resist masks M4 and M5 are removed in a lump.

［６’］次いで、図１０（ｊ）に示すように、Ｓｉ層３１に対し、ＳｉＯ_２層３２および３３をマスクとして、例えばその両面側からエッチングを施す。これにより、前述した第１実施形態と同様に、アクチュエータ２Ｂ（可動板２１と支持部２２と軸部材２３、２４とが一体的に形成されたもの）とフレーム１０とが一体的に形成されたＳｉ層３１が得られる。 [6 ′] Next, as shown in FIG. 10J, the Si layer 31 is etched from, for example, both sides thereof using the SiO ₂ layers 32 and 33 as a mask. Thereby, similarly to the first embodiment described above, the actuator 2B (the movable plate 21, the support portion 22, and the shaft members 23 and 24 are integrally formed) and the frame 10 are integrally formed. The Si layer 31 is obtained.

以降の工程は、前述した第１実施形態で記載した製造方法の工程［５］以降の工程とほぼ同じである。
以上、本発明のアクチュエータおよびアクチュエータ連結体を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、アクチュエータおよびアクチュエータ連結体を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。 The subsequent steps are almost the same as the steps after the step [5] of the manufacturing method described in the first embodiment.
As mentioned above, although the illustrated embodiment of the actuator and the actuator coupling body of the present invention has been described, the present invention is not limited to this, and each part constituting the actuator and the actuator coupling body exhibits the same function. It can be replaced with any configuration obtained. Moreover, arbitrary components may be added.

また、本発明のアクチュエータおよびアクチュエータ連結体は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
例えば、破断部が、ミシン目と破断部とを組み合わせたような構成のものであってもよい。
また、破断部を破断する際の押圧は、指先による押圧に限定されず、例えば、機械（器具）による押圧でもよい。 Moreover, the actuator and actuator coupling body of the present invention may be a combination of any two or more configurations (features) of the above embodiments.
For example, the broken portion may have a configuration in which a perforation and a broken portion are combined.
Moreover, the press at the time of breaking a fracture | rupture part is not limited to the press by a fingertip, For example, the press by a machine (instrument) may be sufficient.

また、破断部は、押圧により破断されるのに限定されず、折り曲げにより破断されてもよい。
また、アクチュエータは、Ｓｉ層とＳｉ層の下面に形成されたＳｉＯ_２層との積層体をなすものであるが、これに限定されず、Ｓｉ層の上面にさらにＳｉＯ_２層が形成された積層体をなすものであってもよい。 Moreover, a fracture | rupture part is not limited to fracture | rupture by press, You may fracture | rupture by bending.
In addition, the actuator forms a laminate of the Si layer and the SiO ₂ layer formed on the lower surface of the Si layer. However, the actuator is not limited to this, and a laminate in which an SiO ₂ layer is further formed on the upper surface of the Si layer. It may be a body.

また、支持板は、可動板を介して２つ設置されたものに限定されず、例えば、可動板をその周方向に沿って囲むような枠状（リング状またコ字状）をなすものであってもよい。
また、アクチュエータは、その母材となる積層構造基板からエッチングにより製造されるものであり、そのエッチングは、積層構造基板に対しその両面側から行なうこともできるし、片面側からも行なうことができる。 Further, the support plate is not limited to the two installed via the movable plate. For example, the support plate has a frame shape (ring shape or U shape) surrounding the movable plate along the circumferential direction. There may be.
The actuator is manufactured by etching from a laminated structure substrate as a base material, and the etching can be performed from both sides of the laminated structure substrate or from one side. .

１……アクチュエータ組立体２、２Ａ、２Ｂ……アクチュエータ２１……可動板２１１……光反射部２２ａ、２２ｂ……支持板（支持部）２２３……長辺２２４……破断部形成部２２５……破断部非形成部２３、２４……軸部材（回動軸）２７、２７Ａ……破断部２７１……孔２７２……部分２７３……溝２７４……底部３、３Ｂ……基板３１……Ｓｉ層３２……ＳｉＯ_２層３３……ＳｉＯ_２層４……支持基板４１……基台４２……枠部材４３……間隙（空間）５……駆動手段５１……永久磁石５２……コイル５３……電源回路９……プロジェクタ（画像形成装置）９１……光源装置９１１……赤色光源装置９１２……青色光源装置９１３……緑色光源装置９２……ダイクロイックミラー１０……フレーム１０１……第１のランナー１０２……第２のランナー２０、２０Ａ……アクチュエータ連結体Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４……長さＭ１、Ｍ２、Ｍ３、Ｍ４、Ｍ５……レジストマスクＭ……固定ミラーＳ……スクリーン DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Actuator assembly 2, 2A, 2B ... Actuator 21 ... Movable plate 211 ... Light reflection part 22a, 22b ... Support plate (support part) 223 ... Long side 224 ... Breaking part formation part 225 ... ... Broken part non-formation part 23, 24 ... Shaft member (rotating shaft) 27, 27A ... Rupture part 271 ... Hole 272 ... Part 273 ... Groove 274 ... Bottom part 3, 3B ... Substrate 31 ... Si layer 32 ... SiO ₂ layer 33 ... SiO ₂ layer 4 ... Support substrate 41 ... Base 42 ... Frame member 43 ... Gap (space) 5 ... Driving means 51 ... Permanent magnet 52 ... Coil 53 …… Power supply circuit 9 …… Projector (image forming device) 91 …… Light source device 911 …… Red light source device 912 …… Blue light source device 913 …… Green light source device 92 …… Dichroic mirror 10 …… Frame 101… 1st runner 102 ... 2nd runner 20, 20A ... Actuator coupling body L1, L2, L3, L4 ... Length M1, M2, M3, M4, M5 ... Resist mask M ... Fixed mirror S ... …screen

Claims

It is fixed to the frame and connects the plate-shaped movable plate, the support plate that supports the movable plate, the movable plate and the support plate, and supports the movable plate so as to be rotatable with respect to the support plate. An actuator comprising a rotating shaft that
The actuator is characterized in that a part of the outer peripheral portion of the support plate is connected to the frame via a fragile break portion, and is separated from the frame by breaking the break portion. .

The actuator according to claim 1, wherein the support plate has a quadrangular shape in a plan view, and the fracture portion is located on one of the four sides.

The actuator according to claim 2, wherein the broken portion has a total length along a side where the broken portion is located of 10 to 40% of a length of the side.

The actuator according to any one of claims 1 to 3, wherein the fracture portion is not formed in a portion on an extension line of the rotation shaft of the support plate.

The actuator according to any one of claims 1 to 4, wherein the fracture portion is unevenly distributed on one side with respect to the rotation shaft of the support plate.

The rupture portion can be easily broken by pressing,
The portion of the support plate where the rupture portion is formed and the portion on the opposite side through the rotating shaft function as a pressing portion that is pressed in the thickness direction of the support plate when the rupture portion is broken. The actuator according to claim 5.

The actuator according to claim 1, wherein the fracture portion is a perforation or a thin wall portion.

The actuator according to claim 7, wherein the fracture portion is the perforation and has a plurality of holes formed intermittently along a direction orthogonal to the rotation axis.

The actuator according to claim 8, wherein each of the holes has an elongated shape along a direction orthogonal to the rotation axis.

The actuator according to claim 9, wherein a length of the hole is the same as or shorter than a length between adjacent holes.

Two rotation shafts are provided via the movable plate,
The actuator according to claim 1, wherein the support plate is arranged corresponding to each of the rotation shafts.

The actuator according to claim 11, wherein the fracture portion is formed on one of the two support plates.

The actuator according to any one of claims 1 to 12, wherein the movable plate, the support plate, and the rotation shaft are integrally formed.

An actuator coupling body having a frame and a plurality of actuators fixed to the frame,
Each of the actuators connects a plate-shaped movable plate, a support plate that supports the movable plate, the movable plate and the support plate, and supports the movable plate so as to be rotatable with respect to the support plate. A rotating shaft that
The actuator is characterized in that a part of the outer peripheral portion of the support plate is connected to the frame via a fragile break portion, and is separated from the frame by breaking the break portion. Connected body.