JP2010171335A - ディスペンス装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 真空チャンバーで形成した真空雰囲気に備えられたディスペンス装置であって、シリンダと、シリンダ内を移動するピストンと、ピストンに連結されるニードルを備え、前記ピストンにより仕切られたシリンダの各筒室の圧力を可変させることにより前記ピストンを動作させ、前記ニードルが塗布液を蓄えたニードルバルブの中を移動することにより塗布液をニードルバルブの先端に設けられた吐出孔より吐出する構成であって、前記シリンダの内部を前記ピストンで仕切ることにより形成される筒室の一方が大気開放される換気口に接続され、他方の筒室が前記ピストンを駆動する流体圧力源に切替弁を介して接続されていることを特徴とするディスペンス装置を提供する。
【選択図】 図2
Description
真空チャンバーで形成した真空雰囲気に備えられたディスペンス装置であって、
シリンダと、シリンダ内を移動するピストンと、ピストンに連結されるニードルを備え、
前記ピストンにより仕切られたシリンダの各筒室の圧力を可変させることにより前記ピストンを動作させ、
前記ニードルが塗布液を蓄えたニードルバルブの中を移動することにより塗布液をニードルバルブの先端に設けられた吐出孔より吐出する構成であって、
前記シリンダの内部を前記ピストンで仕切ることにより形成される筒室の一方が大気開放される換気口に接続され、他方の筒室が前記ピストンを駆動する流体圧力源に切替弁を介して接続されていることを特徴とするディスペンス装置である。
2 真空チャンバ
3 基板
4 アンダーフィル剤
5 基板保持ステージ
6 ヒータ
7 可動壁
8 チップ部品
12 流路配管
13 シリンダ
14 ピストン
15 ニードル
16 ニードルバルブ
17 ノズル
18 シール材
19 筒室
20 バネ
21 プランジャ
23 ノズルヒータ
25 筒室
26 換気配管
27 加圧配管
28 切替弁
29 加圧ポンプ
30 孔
31 換気口
32 孔
33 排出口
Claims (1)
- 真空チャンバーで形成した真空雰囲気に備えられたディスペンス装置であって、
シリンダと、シリンダ内を移動するピストンと、ピストンに連結されるニードルを備え、
前記ピストンにより仕切られたシリンダの各筒室の圧力を可変させることにより前記ピストンを動作させ、
前記ニードルが塗布液を蓄えたニードルバルブの中を移動することにより塗布液をニードルバルブの先端に設けられた吐出孔より吐出する構成であって、
前記シリンダの内部を前記ピストンで仕切ることにより形成される筒室の一方が大気開放される換気口に接続され、他方の筒室が前記ピストンを駆動する流体圧力源に切替弁を介して接続されていることを特徴とするディスペンス装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH10118546A (ja) * | 1996-10-17 | 1998-05-12 | Mitsui Chem Inc | ペリクル枠への接着剤の塗布装置 |
JPH10323601A (ja) * | 1997-05-26 | 1998-12-08 | Ayumi Kogyo Kk | 液体の定量吐出方法とその装置 |
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KR101977203B1 (ko) * | 2017-04-19 | 2019-05-13 | 에이엠티 주식회사 | 반도체 패키지의 언더필 방법 |
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