JP2010164714A - Display, inspecting device, and inspection method - Google Patents

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JP2010164714A JP2009006077A JP2009006077A JP2010164714A JP 2010164714 A JP2010164714 A JP 2010164714A JP 2009006077 A JP2009006077 A JP 2009006077A JP 2009006077 A JP2009006077 A JP 2009006077A JP 2010164714 A JP2010164714 A JP 2010164714A
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Akitoshi Maeda
晃利 前田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a display, an inspection device, and an inspection method with a simple configuration excellent in manufacturing efficiency and capable of detecting leak current with a high degree of precision. <P>SOLUTION: A liquid crystal panel 1 comprises: a drive substrate and a counter substrate facing each other; an electric optical material enclosed between the drive substrate and the counter substrate; a plurality of source lines S and a plurality of gate lines G that are disposed on the drive substrate and intersect each other; pixel electrodes PE that are disposed at points where the source lines S and the gate lines G intersect, and applies charge input from the source line to the electric optical material; a TFT12 that switches the state of the charge application from the source line S to the pixel electrode PE according to a drive signal input from the gate line G; a plurality of common electrode lines that are disposed on the counter substrate and connected to the pixel electrodes PE; and a plurality of common electrode inspection lines that divide the plurality of the common electrode lines into two or more phases and connect the common electrode lines of each phase. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、画像を表示する表示体、この表示体における線間リーク欠陥を検査する検査装置、およびその検査方法に関する。   The present invention relates to a display body that displays an image, an inspection apparatus that inspects a line-to-line leak defect in the display body, and an inspection method thereof.

従来、液晶パネルなどの表示体において、表示体の表示異常を検査する検査装置や検査方法が知られている。(例えば、特許文献1〜特許文献3参照)。   2. Description of the Related Art Conventionally, inspection apparatuses and inspection methods for inspecting display abnormalities in a display body such as a liquid crystal panel are known. (For example, see Patent Documents 1 to 3).

特許文献1では、液晶パネルは、複数の信号電極および複数の走査電極を備えている。そして、液晶パネルの検査時において、信号電極を信号電極用導電性部材に、また走査電極を走査電極用導電性部材に接触させて、各信号電極、各走査電極をそれぞれ短絡させる。この状態で、全信号線に所定の駆動電圧を印加し、例えば白一色または黒一色の画像を表示させ、その画像を目視または、カメラでの撮像により観測することで表示領域内の欠陥を検出する。   In Patent Document 1, the liquid crystal panel includes a plurality of signal electrodes and a plurality of scanning electrodes. When the liquid crystal panel is inspected, the signal electrode is brought into contact with the signal electrode conductive member, and the scan electrode is brought into contact with the scan electrode conductive member, so that each signal electrode and each scan electrode are short-circuited. In this state, a predetermined drive voltage is applied to all the signal lines to display, for example, a white or black image, and defects in the display area are detected by observing the image visually or by imaging with a camera. To do.

特許文献2では、液晶パネルは、複数のゲートバスライン、複数のソースバスラインを備え、検査装置により検査を実施する際には、各ゲートバスラインおよび各ソースバスラインを、それぞれ検査装置に設けられる検査用の端子に接触させて接続する。この検査装置では、ゲートバスラインを接続する端子は、奇数番目と偶数番目とに分離され、共通配線により結線され、それぞれ対応した検査端子に接続され、ソースバスラインに接続される端子は、共通配線により結線され、所定の検査端子に接続される。そして、これら共通配線に接続される検査端子に順次所定の電圧の印加し、リーク欠陥を検出する。   In Patent Document 2, the liquid crystal panel includes a plurality of gate bus lines and a plurality of source bus lines, and each gate bus line and each source bus line are provided in the inspection apparatus when performing inspection by the inspection apparatus. Connect to the inspection terminal. In this inspection apparatus, the terminals connecting the gate bus lines are separated into odd and even numbers, connected by common wiring, connected to the corresponding inspection terminals, and the terminals connected to the source bus lines are common. Connected by wiring and connected to a predetermined inspection terminal. Then, a predetermined voltage is sequentially applied to the inspection terminals connected to these common wires to detect leak defects.

特許文献3では、液晶表示パネル上に、複数の映像信号配線(ソース線)を、それぞれの色(RGB)に応じた共通バス配線により結線する構成が採られており、検査装置により検査する際に検査装置の端子と、この共通バス配線の端部とを接触させることでリーク欠陥検出を実施する。また、この液晶表示パネルでは、欠陥検出の終了後に、レーザーカットにより表示領域のみをカットして製品化する。   In Patent Document 3, a configuration is adopted in which a plurality of video signal wirings (source lines) are connected on a liquid crystal display panel by common bus wirings corresponding to respective colors (RGB). In addition, the leak defect is detected by bringing the terminal of the inspection device into contact with the end of the common bus wiring. In addition, in this liquid crystal display panel, after the defect detection is completed, only the display area is cut by laser cutting to produce a product.

特開平9−329799号公報JP-A-9-329799 特開平7−294374号公報JP-A-7-294374 特開平9−185072号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-185072

ところで、上記特許文献1に記載のような検査装置および検査方法では、全信号電極、および2相以上に分割された走査電極を、導電性部材により一括短絡させることで、欠陥検査を実施している。このような検査方法では、隣接画素間や、配線間にリークがあった場合、検出が困難となる問題がある。
一方、特許文献2に記載の検査装置および検査方法では、画素間や配線間のリークを検出できるが、ゲートバスラインやソースバスラインの各端子に対して、それぞれ検査用の端子を接触させて接続する必要があり、検査装置の構成が複雑化し、高価な装置が必要となり、正確に端子同士を接触させるための要求アライメント精度も高くなる。
また、特許文献3に記載の方法では、検査後にレーザーカットによる切断工程が必要となるため、製造工程が増えるという問題がある。
By the way, in the inspection apparatus and the inspection method as described in Patent Document 1, the defect inspection is performed by short-circuiting all the signal electrodes and the scanning electrodes divided into two or more phases by a conductive member. Yes. Such an inspection method has a problem that it is difficult to detect when there is a leak between adjacent pixels or between wirings.
On the other hand, the inspection apparatus and inspection method described in Patent Document 2 can detect leakage between pixels and between wirings, but each inspection terminal is brought into contact with each terminal of the gate bus line and the source bus line. It is necessary to connect, the configuration of the inspection apparatus becomes complicated, an expensive apparatus is required, and the required alignment accuracy for accurately bringing the terminals into contact with each other increases.
In addition, the method described in Patent Document 3 has a problem that a manufacturing process is increased because a cutting process by laser cutting is required after the inspection.

本発明は、上述のような問題に鑑みて、製造効率性が良好で、かつ簡単構成で精度よくリーク電流を検出可能な表示体、検査装置、および検査方法を提供することを目的とする。   In view of the above-described problems, an object of the present invention is to provide a display body, an inspection apparatus, and an inspection method that have good manufacturing efficiency and can accurately detect a leak current with a simple configuration.

本発明の表示体は、互いに対向する駆動基板および対向基板と、これらの駆動基板および対向基板の間に封入される電気光学材料と、前記駆動基板に設けられるとともに、互いに直交する複数のソース線および複数のゲート線と、前記複数のソース線および前記複数のゲート線との交差部近傍に設けられ、前記ソース線に出力された電荷を前記電気光学材料に印加する複数の画素電極と、前記ゲート線、前記ソース線、および前記画素電極に接続されるとともに、前記ゲート線から入力されるゲート信号に応じて、前記ソース線から前記画素電極への電荷の印加状態を切り替えるスイッチング素子と、前記対向基板に設けられるとともに、前記画素電極に接続される複数の共通電極線と、複数の前記共通電極線を2相以上に分割し、これら各相の前記共通電極線をそれぞれ結線する複数の共通電極検査線と、を具備したことを特徴とする。   The display according to the present invention includes a drive substrate and a counter substrate facing each other, an electro-optical material sealed between the drive substrate and the counter substrate, and a plurality of source lines provided on the drive substrate and orthogonal to each other And a plurality of gate lines, a plurality of pixel electrodes provided in the vicinity of intersections of the plurality of source lines and the plurality of gate lines, and applying a charge output to the source lines to the electro-optic material, A switching element that is connected to the gate line, the source line, and the pixel electrode, and that switches a charge application state from the source line to the pixel electrode in accordance with a gate signal input from the gate line; A plurality of common electrode lines connected to the pixel electrode and a plurality of the common electrode lines are divided into two or more phases and provided on the counter substrate. A plurality of common electrodes test line for connecting the common electrode line, respectively, characterized by comprising a.

この発明によれば、表示体は、共通電極線がそれぞれ複数相に分割されている。このような表示体では、リーク電流の検査時において、各ソース線、各ゲート線をそれぞれ一括短絡させるプローブバンプを用い、これらのプローブバンプに所定のテスト電圧を印加させてテスト画像を表示させることで、容易に表示領域中の画素欠陥を検査することができる。また、各ゲート線のみをプローブバンプで一括短絡させ、ソース線をオープン状態にし、検査対象となるソース線に、画素電極を介して接続された共通電極線に対応した共通電極検査線に例えば電流計などリーク電流を検出する検出手段を接続する。そして、他の共通電極検査線に交流電圧を印加し、検出手段に流れる電流を検査する。このような検査方法を実施することで、ソース線間に発生するリーク電流をも容易に検査することができる。この場合でも、各ゲート線は、プローブバンプなどにより一括短絡させるだけの簡単な配線でよいため、検査装置において、各ゲート線を接続する接続端子が不要となり、検査装置の構成を簡単にでき、容易な検査方法によりリーク電流の検査を実施できる。
また、各ソース線やゲート線が複数相に分割されて結線されるなどの構成ではなく、それぞれ単独で駆動基板上に設けられているため、欠陥検査終了後にレーザーカットなどによる切断工程が不要となり、製造工程も簡単にできる。
According to the present invention, the common electrode line is divided into a plurality of phases in the display body. Such a display uses probe bumps that collectively short-circuit each source line and each gate line at the time of inspection of leakage current, and displays a test image by applying a predetermined test voltage to these probe bumps. Thus, the pixel defect in the display area can be easily inspected. Also, only each gate line is short-circuited at once with probe bumps, the source line is opened, and the common electrode inspection line corresponding to the common electrode line connected to the source line to be inspected via the pixel electrode is supplied with current, for example. A detecting means for detecting leakage current such as a meter is connected. And an alternating voltage is applied to another common electrode test | inspection line, and the electric current which flows into a detection means is test | inspected. By performing such an inspection method, it is possible to easily inspect the leakage current generated between the source lines. Even in this case, each gate line may be a simple wiring that is simply short-circuited by a probe bump or the like, so in the inspection apparatus, a connection terminal for connecting each gate line is unnecessary, and the configuration of the inspection apparatus can be simplified. The leakage current can be inspected by an easy inspection method.
In addition, each source line and gate line is not configured to be divided into multiple phases and connected, but each is provided on the driving substrate alone, so that a cutting process such as laser cutting is not required after the defect inspection is completed. The manufacturing process can be simplified.

本発明の表示体では、前記ソース線は、赤色用ソース信号が入力されるRソース線、緑色用ソース信号が入力されるGソース線、および青色用ソース信号が入力されるBソース線を備え、前記共通電極線は、各色ソース線に対応してそれぞれ設けられる、R共通電極線、G共通電極線、およびB共通電極線を備え、前記共通電極検査線は、R共通電極線同士、G共通電極線同士、およびB共通電極線同士をそれぞれ結線することが好ましい。   In the display of the present invention, the source line includes an R source line to which a red source signal is input, a G source line to which a green source signal is input, and a B source line to which a blue source signal is input. The common electrode line includes an R common electrode line, a G common electrode line, and a B common electrode line, which are provided corresponding to each color source line, and the common electrode inspection line includes the R common electrode lines, the G common electrode lines, and the G common electrode lines. It is preferable to connect the common electrode lines and the B common electrode lines, respectively.

この発明によれば、各色ソース線に対応する各共通電極線をそれぞれ共通電極検査線にて結線している。このため、表示体の検査時において、各色毎に線間リーク電流の検査を実施することができ、検査効率を向上させることができる。   According to this invention, each common electrode line corresponding to each color source line is connected by the common electrode inspection line. For this reason, at the time of the inspection of the display body, it is possible to inspect the leakage current between lines for each color, and the inspection efficiency can be improved.

本発明の検査装置は、互いに対向する駆動基板および対向基板と、これらの駆動基板および対向基板の間に封入される電気光学材料と、前記駆動基板に設けられるとともに、互いに直交する複数のソース線および複数のゲート線と、前記複数のソース線および前記複数のゲート線との交差部近傍に設けられ、前記ソース線に出力された電荷を前記電気光学材料に印加する複数の画素電極と、前記ゲート線、前記ソース線、および前記画素電極に接続されるとともに、前記ゲート線から入力されるゲート信号に応じて、前記ソース線から前記画素電極への電荷の印加状態を切り替えるスイッチング素子と、前記対向基板に設けられるとともに、前記画素電極に接続される複数の共通電極線と、複数の前記共通電極線を2相以上に分割し、これら各相の前記共通電極線をそれぞれ結線する複数の共通電極検査線と、を具備した表示体におけるリーク欠陥を検査する検査装置であって、複数の前記ゲート線に接触して、これらの接触した複数のゲート線を一括短絡させるとともに、ゲート検査端子に接続されるゲートプローブと、複数の前記ソース線に接触して、これらの接触した複数のソース線を一括短絡させるとともに、ソース検査端子に接続されるソースプローブと、各共通電極検査線に接続されるとともに、共通電極検査端子に接続される複数の共通電極プローブと、前記ソースプローブと前記ソース線との接続状態を、切断および接続のうち少なくともいずれか一方に切り替えるソース接続切替手段と、前記共通電極検査端子のうち、検査対象以外の共通電極検査端子に交流電圧を印加する交流電圧印加手段と、検査対象となる前記共通電極検査端子に流れるリーク電流を検出する電流検出手段と、を備えたことを特徴とする。   The inspection apparatus according to the present invention includes a drive substrate and a counter substrate facing each other, an electro-optical material sealed between the drive substrate and the counter substrate, and a plurality of source lines provided on the drive substrate and orthogonal to each other. And a plurality of gate lines, a plurality of pixel electrodes provided in the vicinity of intersections of the plurality of source lines and the plurality of gate lines, and applying a charge output to the source lines to the electro-optic material, A switching element that is connected to the gate line, the source line, and the pixel electrode, and that switches a charge application state from the source line to the pixel electrode in accordance with a gate signal input from the gate line; A plurality of common electrode lines provided on the counter substrate and connected to the pixel electrodes and a plurality of the common electrode lines are divided into two or more phases. An inspection apparatus for inspecting a leak defect in a display body comprising a plurality of common electrode inspection lines that respectively connect the common electrode lines of a phase, wherein the plurality of the contacted plurality are in contact with the plurality of gate lines And the gate probe connected to the gate inspection terminal and a plurality of the source lines are short-circuited, and the contacted source lines are collectively short-circuited and connected to the source inspection terminal. A source probe, a plurality of common electrode probes connected to each common electrode inspection line and connected to a common electrode inspection terminal, and a connection state between the source probe and the source line at least of disconnection and connection A source connection switching means for switching to either one of the common electrode inspection terminals other than the inspection target among the common electrode inspection terminals. Characterized by comprising an AC voltage application means for applying, and a current detecting means for detecting a leakage current flowing through the common electrode test terminal to be tested.

また、本発明の検査方法は、互いに対向する駆動基板および対向基板と、これらの駆動基板および対向基板の間に封入される電気光学材料と、前記駆動基板に設けられるとともに、互いに直交する複数のソース線および複数のゲート線と、前記複数のソース線および前記複数のゲート線との交差部近傍に設けられ、前記ソース線に出力された電荷を前記電気光学材料に印加する複数の画素電極と、前記ゲート線、前記ソース線、および前記画素電極に接続されるとともに、前記ゲート線から入力されるゲート信号に応じて、前記ソース線から前記画素電極への電荷の印加状態を切り替えるスイッチング素子と、前記対向基板に設けられるとともに、前記画素電極に接続される複数の共通電極線と、複数の前記共通電極線を2相以上に分割し、これら各相の前記共通電極線をそれぞれ結線する複数の共通電極検査線と、を具備した表示体におけるリーク欠陥を検査する検査方法であって、ゲート検査端子に接続されるゲートプローブを複数の前記ゲート線に接触させて、これらの接触した複数のゲート線を一括短絡させ、ソース検査端子に接続されるソースプローブを、複数の前記ソース線から離隔させて各ソース線をオープン状態とし、共通電極検査端子に接続される共通電極プローブを各共通電極検査線に接続し、前記共通電極検査端子のうち、検査対象以外の共通電極検査端子に交流電圧を印加し、検査対象となる前記共通電極検査端子に流れるリーク電流を検出することを特徴とする。   In addition, the inspection method of the present invention includes a plurality of drive substrates and counter substrates facing each other, an electro-optic material sealed between the drive substrates and the counter substrate, and a plurality of orthogonally provided to the drive substrates. A source line and a plurality of gate lines; and a plurality of pixel electrodes provided in the vicinity of intersections of the plurality of source lines and the plurality of gate lines to apply the charge output to the source lines to the electro-optic material A switching element connected to the gate line, the source line, and the pixel electrode, and switching a charge application state from the source line to the pixel electrode according to a gate signal input from the gate line; A plurality of common electrode lines provided on the counter substrate and connected to the pixel electrodes, and the plurality of common electrode lines are divided into two or more phases, An inspection method for inspecting a leak defect in a display body comprising a plurality of common electrode inspection lines respectively connecting the common electrode lines of each phase, and a plurality of gate probes connected to a gate inspection terminal The gate lines are brought into contact with each other, the plurality of contacted gate lines are collectively short-circuited, and the source probes connected to the source inspection terminals are separated from the plurality of source lines so that the respective source lines are in an open state. A common electrode probe connected to an electrode inspection terminal is connected to each common electrode inspection line, and among the common electrode inspection terminals, an AC voltage is applied to a common electrode inspection terminal other than the inspection target, and the common electrode to be inspected A leak current flowing through the inspection terminal is detected.

これらの発明によれば、上記発明と同様に、表示体の検査時において、ソース検査端子とソース線との接続が切断された状態で、複数の共通電極検査線のうちの検査対象以外の共通電極検査端子に交流電圧を印加し、検査対象となる共通電極検査端子に流れるリーク電流を電流検出手段で検査することで、検査装置に複雑な接続端子を設ける必要がなく、簡単な構成で容易に精度よくリーク電流欠陥の有無を検査することができる。   According to these inventions, as in the case of the above-described invention, when the display body is inspected, the connection between the source inspection terminal and the source line is disconnected, and the common electrode inspection line other than the inspection object is common among the plurality of common electrode inspection lines. By applying an AC voltage to the electrode inspection terminal and inspecting the leakage current flowing through the common electrode inspection terminal to be inspected by the current detection means, it is not necessary to provide a complicated connection terminal in the inspection apparatus, and it is easy with a simple configuration In addition, the presence or absence of a leakage current defect can be inspected with high accuracy.

以下、本発明の一実施の形態に係る表示体である液晶パネル、およびこの液晶パネルのリーク欠陥を検査する検査装置について、図面に基づいて説明する。   Hereinafter, a liquid crystal panel which is a display according to an embodiment of the present invention and an inspection apparatus for inspecting a leak defect of the liquid crystal panel will be described with reference to the drawings.

〔液晶パネルの構成〕
図1は、本発明の一実施の形態に係る液晶パネルの概略構成を示す図である。
図1において、1は、本発明の表示体を構成する液晶TFT(Thin Film Transistor)パネル1(以降、液晶パネル1と称す)であり、この液晶パネル1は、入力される信号に基づいて、基本色として例えば赤色(R)、緑色(G)、青色(B)を混色してカラー画像を表示させる装置である。なお、本実施の形態では、電気光学材料である液晶としてアモルファスシリコンが用いられるアモルファスTFTパネルを例示するが、例えば、LTPS-TFTパネル(Low-Temperature Poly-Silicon TFT:低温ポリシリコンTFT液晶パネル)、HTPS-TFTパネル(High Temperature Poly-Sillicon TFT:高温ポリシリコンTFT液晶パネル)など、液晶としてポリシリコンが用いられるTFTであってもよい。また、表示体として液晶パネル1を例示したが、これに限定されず、例えば電気光学材料としてジアミンやアントラセンなどの有機物が採用されたOLEDパネル(Organic Light Emitting Diode:有機EL)などの表示パネルにも利用できる。
[Configuration of LCD panel]
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a liquid crystal panel according to an embodiment of the present invention.
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a liquid crystal TFT (Thin Film Transistor) panel 1 (hereinafter referred to as a liquid crystal panel 1) constituting the display body of the present invention. The liquid crystal panel 1 is based on an input signal. This is a device that displays a color image by mixing, for example, red (R), green (G), and blue (B) as basic colors. In this embodiment, an amorphous TFT panel in which amorphous silicon is used as a liquid crystal that is an electro-optic material is exemplified. For example, an LTPS-TFT panel (Low-Temperature Poly-Silicon TFT) A TFT in which polysilicon is used as the liquid crystal may be used, such as an HTPS-TFT panel (High Temperature Poly-Sillicon TFT). Moreover, although the liquid crystal panel 1 was illustrated as a display body, it is not limited to this, For example, display panels, such as an OLED panel (Organic Light Emitting Diode: organic EL) which employ | adopted organic substances, such as diamine and anthracene, as an electro-optical material are used. Can also be used.

この液晶パネル1は、詳細な図面は省略するが、筐体内に対向配置された一対の透明基板(駆動基板および対向基板)と、これらの透明基板間を複数の領域に分割するスペーサと、を備え、これらの一対の透明基板およびスペーサにて囲われる領域に画素11が形成されている。ここで、液晶パネル1では、列方向に沿って単一の基本色(R、G、B)を発色する画素11が配列され、行方向に沿ってこれらの画素11がR,G,Bの配列順で繰り返し配列されている。具体的には、液晶パネル1に対向して、各画素11の基本色に対応した波長の光束のみを透過させる図示しない偏向フィルタが設けられている。これにより、各画素11では、偏向フィルタを透過した基本色の光束のみが透過されることとなる。   Although this liquid crystal panel 1 omits detailed drawings, a pair of transparent substrates (a driving substrate and a counter substrate) opposed to each other in a housing and a spacer that divides the transparent substrates into a plurality of regions are provided. A pixel 11 is formed in a region surrounded by the pair of transparent substrates and spacers. Here, in the liquid crystal panel 1, pixels 11 that develop a single basic color (R, G, B) are arranged along the column direction, and these pixels 11 are R, G, B along the row direction. It is arranged repeatedly in the order of arrangement. Specifically, a deflection filter (not shown) that transmits only a light beam having a wavelength corresponding to the basic color of each pixel 11 is provided facing the liquid crystal panel 1. Thereby, in each pixel 11, only the light beam of the basic color that has passed through the deflection filter is transmitted.

駆動基板には、互いに直交する複数のゲート線Gおよびソース線S(S1,S2,S3,…Sn)が配設されている。ゲート線Gは、液晶パネル1の例えば水平方向の左右(図1における左右)に分割される。具体的には、ゲート線Gは、信号入力端が左側に設けられるLゲート線Gl(Gl1、Gl2,Gl3…)と、信号入力端が右側に設けられるRゲート線Gr(Gr1,Gr2,Gr3…)と、を備えている。これらLゲート線GlおよびRゲート線Grは、図1に示すように水平方向に沿って配線され、かつ水平方向に直交する垂直方向に沿って、Lゲート線G11,Rゲート線Gr1,Lゲート線Gl2…といった状態に、交互に配列されている。ソース線Sは、垂直方向に沿って配線されている。また、ここでソース線Sは、RGBの各色画素に対応して、赤色画像信号が入力されるRソース線(S1,S4,S7…Sn)、緑色画像信号が入力されるGソース線(S2,S5,S8…Sn+1)、および青色画像信号が入力されるBソース線(S3,S6,S9…Sn+2)を備え、Rソース線、Gソース線、Bソース線の順に交互に配設されている。なお、以降の説明において、Rソース線をRソース線Sr,Gソース線をGソース線Sg、Bソース線をBソース線Sbと称す。
また、各ソース線Sおよび各ゲート線Gの終端部には、それぞれリングトランジスタ(RingTr)が接続され、このリングトランジスタを介して例えばR共通電極検査線14r(G共通電極検査線14gやB共通電極検査線14bであってもよい)に接続される。ここで、このリングトランジスタは、回路に発生する静電気を除去して静電保護処理をするとともに、ゲート線Gやソース線Sを流れる電流量を一定に維持する。これにより、ゲート線Gやソース線Sへの過度の電流通過が抑えられ、消費電力の低減が可能となる。また、リングトランジスタは、このリングトランジスタを挟む接続部の電位差が大きいほど電流を通過させ、電位差が小さい場合には、電流をほぼ通過させない特性があり、電流の逆流などの不都合をも防止する。
A plurality of gate lines G and source lines S (S1, S2, S3,... Sn) orthogonal to each other are arranged on the drive substrate. The gate line G is divided into, for example, horizontal left and right (left and right in FIG. 1) of the liquid crystal panel 1. Specifically, the gate line G includes an L gate line Gl (Gl1, Gl2, Gl3...) Whose signal input terminal is provided on the left side, and an R gate line Gr (Gr1, Gr2, Gr3) whose signal input terminal is provided on the right side. …). The L gate line Gl and the R gate line Gr are wired along the horizontal direction as shown in FIG. 1, and the L gate line G11, the R gate line Gr1, and the L gate are arranged along the vertical direction orthogonal to the horizontal direction. The lines G12,... Are alternately arranged. The source line S is wired along the vertical direction. Here, the source line S corresponds to each color pixel of R, G, R source lines (S1, S4, S7... Sn) to which a red image signal is input, and G source lines (S2) to which a green image signal is input. , S5, S8... Sn + 1) and a B source line (S3, S6, S9... Sn + 2) to which a blue image signal is input, are alternately arranged in the order of R source line, G source line, and B source line. Yes. In the following description, the R source line is referred to as R source line Sr, the G source line is referred to as G source line Sg, and the B source line is referred to as B source line Sb.
Further, ring transistors (RingTr) are respectively connected to the terminal portions of the source lines S and the gate lines G, and, for example, R common electrode inspection lines 14r (G common electrode inspection lines 14g and B common) are connected via the ring transistors. It may be an electrode inspection line 14b). Here, the ring transistor removes static electricity generated in the circuit and performs electrostatic protection processing, and also maintains a constant amount of current flowing through the gate line G and the source line S. Thereby, excessive current passage to the gate line G and the source line S is suppressed, and power consumption can be reduced. Further, the ring transistor has a characteristic that the current is allowed to pass as the potential difference between the connection portions sandwiching the ring transistor is larger, and when the potential difference is small, the current is hardly allowed to pass, and the inconvenience such as the backflow of the current is prevented.

そして、ゲート線Gおよびソース線Sの各交差部近傍には、画素を構成する液晶セルLVに電圧を印加する画素電極PEが形成されている。これらの画素電極PEは、例えばITO(Idium Tin Oxide)膜などにより形成されている。
また、駆動基板には、それぞれのソース線Sと、それぞれの画素電極PEとを接続し、ゲート線に出力された電圧に応じて画素電極PEへの電圧の印加状態を切り替えるスイッチング素子としてのTFT(Thin Film Transistor)12が設けられている。これらTFT12は、ゲート線Gに接続されるゲートと、ソース線Sに接続されるソースと、画素電極PEに接続されるドレインとを備えている。
In the vicinity of each intersection of the gate line G and the source line S, a pixel electrode PE for applying a voltage to the liquid crystal cell LV constituting the pixel is formed. These pixel electrodes PE are formed of, for example, an ITO (Idium Tin Oxide) film or the like.
In addition, a TFT as a switching element that connects each source line S and each pixel electrode PE to the drive substrate and switches the application state of the voltage to the pixel electrode PE according to the voltage output to the gate line. (Thin Film Transistor) 12 is provided. These TFTs 12 include a gate connected to the gate line G, a source connected to the source line S, and a drain connected to the pixel electrode PE.

そして、TFT12は、ゲートにゲート線Gを介して、液晶パネル1を駆動する図示しないドライバや、後述する検査装置からオン電圧(例えば+15V)が印加されると、オン状態(ソース−ドレイン間がローインピーダンスの状態)となり、ソース−ドレイン間の電流の導通が許容される。この状態で、ソース線Sを介して、ドライバや検査装置2から映像信号がソースに印加されると、この映像信号に係る電荷がソース−ドレイン間を導通し、ドレインに接続される画素電極PEに印加される。
一方、ゲートにゲート線Gを介してドライバや検査装置2からオフ電圧(例えば−10V)が印加されると、TFT12はオフ状態(ソース−ドレイン間がハイインピーダンスの状態)となり、ソース−ドレイン間の電流の導通が規制される。したがって、ソースに接続されたソース線Sに映像信号に係る電荷が印加されたとしても、電流がソース−ドレイン間を導通せず、画素電極PEへの電荷の印加が規制される。
When an on voltage (for example, +15 V) is applied to the TFT 12 from a driver (not shown) that drives the liquid crystal panel 1 or a later-described inspection device via the gate line G, the TFT 12 is turned on (the source and drain are connected). A low impedance state) and current conduction between the source and drain is allowed. In this state, when a video signal is applied to the source from the driver or the inspection apparatus 2 via the source line S, the charge related to the video signal is conducted between the source and the drain, and the pixel electrode PE connected to the drain. To be applied.
On the other hand, when an off voltage (for example, −10 V) is applied to the gate from the driver or the inspection apparatus 2 via the gate line G, the TFT 12 is turned off (a high impedance state between the source and the drain), and between the source and the drain. Current conduction is regulated. Therefore, even when a charge related to the video signal is applied to the source line S connected to the source, the current does not conduct between the source and the drain, and the application of the charge to the pixel electrode PE is restricted.

画素電極PEは、液晶セルLVに接続されるとともに、保持キャパシタCVに接続されている。この保持キャパシタCVは、液晶パネル1の駆動に必要な電圧の振幅を低く抑え、液晶パネル1の省電力化およびフリッカ防止を図るためのものである。これら液晶セルLVおよび保持キャパシタCVは、画素電極PEだけでなく、対向基板の対向電極に接続されている。そして、これらの液晶セルLVおよび保持キャパシタCVには、ソース線SからTFT12を介して画素電極PEに印加された電圧と、対向電極に印加された電圧との電位差に相当する電荷が書き込まれ、保持される。   The pixel electrode PE is connected to the liquid crystal cell LV and is connected to the holding capacitor CV. This holding capacitor CV is intended to suppress the amplitude of the voltage required for driving the liquid crystal panel 1 to be low, and to save power and prevent flicker of the liquid crystal panel 1. The liquid crystal cell LV and the holding capacitor CV are connected not only to the pixel electrode PE but also to the counter electrode of the counter substrate. In the liquid crystal cell LV and the holding capacitor CV, a charge corresponding to the potential difference between the voltage applied to the pixel electrode PE from the source line S via the TFT 12 and the voltage applied to the counter electrode is written. Retained.

そして、前記した各画素11は、TFT12、画素電極PE、液晶セルLVおよび保持キャパシタCVにより構成され、これら全ての画素11により液晶パネル1の表示領域が構成されている。   Each of the pixels 11 includes a TFT 12, a pixel electrode PE, a liquid crystal cell LV, and a holding capacitor CV, and the display area of the liquid crystal panel 1 is configured by all these pixels 11.

また、画素電極PEに接続される液晶セルLVおよび保持キャパシタCVは、対向電極に形成される共通電極線に接続される。この共通電極線は、各ソース線Sに対応して、すなわち、1本のソース線に1本の共通電極線が設けられている。ここで、Rソース線Srに対してR共通電極線(R共通電極線13r)、Gソース線Sgに対してG色共通電極線(G共通電極線13g)、Bソース線Sbに対してB共通電極線(B共通電極線13b)がそれぞれ設けられている。また、各R共通電極線13rは、例えばパネル終端縁において、R共通電極検査線14rに接続され、このR共通電極検査線14rは、R共通電極端子VcomRに接続される。同様に、各G共通電極線13gは、例えばパネル終端縁において、G共通電極検査線14gに接続され、このG共通電極検査線14gは、G共通電極端子VcomGに接続される。また、各B共通電極線13bは、例えばパネル終端縁において、B共通電極検査線14bに接続され、このB共通電極検査線14bは、B共通電極端子VcomBに接続される。   Further, the liquid crystal cell LV and the holding capacitor CV connected to the pixel electrode PE are connected to a common electrode line formed on the counter electrode. The common electrode line corresponds to each source line S, that is, one common electrode line is provided for one source line. Here, the R common electrode line (R common electrode line 13r) with respect to the R source line Sr, the G color common electrode line (G common electrode line 13g) with respect to the G source line Sg, and the B with respect to the B source line Sb. A common electrode line (B common electrode line 13b) is provided. Each R common electrode line 13r is connected to an R common electrode inspection line 14r, for example, at a panel end edge, and this R common electrode inspection line 14r is connected to an R common electrode terminal VcomR. Similarly, each G common electrode line 13g is connected to a G common electrode inspection line 14g, for example, at a panel end edge, and this G common electrode inspection line 14g is connected to a G common electrode terminal VcomG. Each B common electrode line 13b is connected to a B common electrode inspection line 14b, for example, at a panel end edge, and the B common electrode inspection line 14b is connected to a B common electrode terminal VcomB.

〔検査装置の構成〕
次に、図2および図3に基づいて、上記液晶パネル1を検査する検査装置2の構成を説明する。
図2は、本発明に係る一実施の形態の検査装置の概略構成を示すブロック図である。
図3は、検査装置の接続部の概略構成を示す図である。
検査装置2は、液晶パネル1のソース線S、ゲート線G、および共通電極線に所定の電圧を印加して液晶パネル1を駆動させ、液晶パネル1の一部に発生する例えば線間リーク欠陥などの欠陥を検出する装置である。
この検査装置2は、図2に示すように、接続部21と、駆動部22と、測定部23と、制御部24と、を備えている。
[Configuration of inspection equipment]
Next, based on FIG. 2 and FIG. 3, the structure of the test | inspection apparatus 2 which test | inspects the said liquid crystal panel 1 is demonstrated.
FIG. 2 is a block diagram showing a schematic configuration of an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a diagram illustrating a schematic configuration of a connection portion of the inspection apparatus.
The inspection apparatus 2 applies a predetermined voltage to the source line S, the gate line G, and the common electrode line of the liquid crystal panel 1 to drive the liquid crystal panel 1, for example, a line leak defect that occurs in a part of the liquid crystal panel 1. It is a device that detects defects such as.
As shown in FIG. 2, the inspection apparatus 2 includes a connection unit 21, a drive unit 22, a measurement unit 23, and a control unit 24.

接続部21は、図3に示すように、接続基板211を備え、この接続基板211上には、Lゲート接続部212A、Rゲート接続部212B、ソース接続部212C、R共通電極接続部212D、G共通電極接続部212E、およびB共通電極接続部212Fが設けられている。
Lゲート接続部212Aには、Lゲート線Glの先端に形成されるゲート端子が、例えば図3の示すように、千鳥状に交互に配置される。そして、Lゲート接続部212Aは、配置されたLゲート線Glの各ゲート端子に接触し、一括短絡させるLゲートプローブ213Aを備えている。このLゲートプローブ213Aは、Lゲート検査端子GLcに接続される。
Rゲート接続部212Bも、Lゲート接続部212Aと同様であり、図3に示すように、Rゲート線Grのゲート端子が千鳥状に配置される。そして、Rゲート接続部212Bは、Rゲート検査端子GRcに接続されるRゲートプローブ213Bを備え、このRゲートプローブ213Bにより、Rゲート線Grのゲート端子が一括短絡される。
As shown in FIG. 3, the connection unit 21 includes a connection substrate 211. On the connection substrate 211, an L gate connection unit 212A, an R gate connection unit 212B, a source connection unit 212C, an R common electrode connection unit 212D, A G common electrode connection portion 212E and a B common electrode connection portion 212F are provided.
In the L gate connection portion 212A, gate terminals formed at the tips of the L gate lines Gl are alternately arranged in a staggered manner, for example, as shown in FIG. The L gate connection section 212A includes an L gate probe 213A that contacts each gate terminal of the arranged L gate line Gl and short-circuits it at once. The L gate probe 213A is connected to the L gate inspection terminal GLc.
The R gate connection portion 212B is similar to the L gate connection portion 212A, and the gate terminals of the R gate lines Gr are arranged in a staggered manner as shown in FIG. The R gate connection portion 212B includes an R gate probe 213B connected to the R gate inspection terminal GRc, and the gate terminals of the R gate line Gr are collectively short-circuited by the R gate probe 213B.

また、ソース接続部212Cも、Lゲート接続部212AおよびRゲート接続部212Bと略同様に構成されている。すなわち、ソース接続部212Cには、ソース線Sが千鳥状に交互に配置され、これらソース線Sに接触して、一括短絡可能で、ソース検査端子Scに接続されるソースプローブ213Cが設けられている。このソースプローブ213Cは、ソース接続部212Cに配置されるソース線Sの各ソース端子に対して接離移動可能に設けられている。このソースプローブ213Cの移動機構としては、特に限定されず、例えば、モータなどの駆動発生手段により発生した駆動力により、ソースプローブ213Cを接続基板211から離れる方向、近接する方向に駆動させる構成などが例示できる。
そして、ソース接続部212Cは、ソースプローブ213Cを制御するプローブ制御手段214を備えている。このプローブ制御手段214は、制御部24から出力される制御信号に基づいて、駆動発生手段を制御し、ソースプローブ213Cを駆動させる。これにより、プローブ制御手段214は、ソースプローブ213Cとソース端子とが接触する接続状態、およびソースプローブ213Cとソース端子とが離れる切断状態を切り替える。
Further, the source connection portion 212C is configured in substantially the same manner as the L gate connection portion 212A and the R gate connection portion 212B. That is, in the source connection section 212C, source lines S are alternately arranged in a staggered manner, and source probes 213C that can contact the source lines S and can be short-circuited together and connected to the source inspection terminal Sc are provided. Yes. This source probe 213C is provided so as to be movable toward and away from each source terminal of the source line S arranged at the source connection portion 212C. The moving mechanism of the source probe 213C is not particularly limited. For example, a configuration in which the source probe 213C is driven in a direction away from or in the vicinity of the connection substrate 211 by a driving force generated by a driving generation unit such as a motor. It can be illustrated.
The source connection unit 212C includes probe control means 214 that controls the source probe 213C. The probe control unit 214 controls the drive generation unit based on the control signal output from the control unit 24 to drive the source probe 213C. Thereby, the probe control means 214 switches the connection state in which the source probe 213C and the source terminal are in contact and the disconnected state in which the source probe 213C and the source terminal are separated from each other.

R共通電極接続部212Dには、R共通電極検査線14rの先端に形成されるR共通電極端子VcomRが配置される。また、R共通電極接続部212Dは、R共通電極端子VcomRに接触するとともに、R共通電極検査端子VcomRcに接続されるR共通電極プローブ213Dを備えている。
G共通電極接続部212E、およびB共通電極接続部212Fについても同様であり、G共通電極接続部212EおよびB共通電極接続部212Fには、それぞれG共通電極端子VcomG,B共通電極端子VcomBが配置される。そして、G共通電極接続部212Eには、G共通電極端子VcomGに接触し、G共通電極検査端子VcomGcに接続されるG共通電極プローブ213Eを備えている。また、B共通電極接続部212Fには、B共通電極端子VcomBに接触し、B共通電極検査端子VcomBcに接続されるB共通電極プローブ213Fを備えている。
An R common electrode terminal VcomR formed at the tip of the R common electrode inspection line 14r is disposed in the R common electrode connection portion 212D. The R common electrode connection portion 212D includes an R common electrode probe 213D that contacts the R common electrode terminal VcomR and is connected to the R common electrode inspection terminal VcomRc.
The same applies to the G common electrode connection portion 212E and the B common electrode connection portion 212F. The G common electrode connection portion 212E and the B common electrode connection portion 212F are provided with the G common electrode terminal VcomG and the B common electrode terminal VcomB, respectively. Is done. The G common electrode connection portion 212E includes a G common electrode probe 213E that contacts the G common electrode terminal VcomG and is connected to the G common electrode inspection terminal VcomGc. The B common electrode connection portion 212F includes a B common electrode probe 213F that contacts the B common electrode terminal VcomB and is connected to the B common electrode inspection terminal VcomBc.

また、上述したLゲート検査端子GLc、Rゲート検査端子GRc、ソース検査端子Sc、R共通電極検査端子VcomRc、G共通電極検査端子VcomGc、およびB共通電極検査端子VcomBcは、図2に示すように、それぞれスイッチを介して駆動部22および測定部23に接続されている。   Further, the L gate inspection terminal GLc, the R gate inspection terminal GRc, the source inspection terminal Sc, the R common electrode inspection terminal VcomRc, the G common electrode inspection terminal VcomGc, and the B common electrode inspection terminal VcomBc described above are as shown in FIG. These are connected to the drive unit 22 and the measurement unit 23 through switches, respectively.

駆動部22は、接続部21の各検査端子に対して所定の電圧を印加し、液晶パネル1を駆動させる。また、駆動部22は、制御部24の駆動電圧制御手段242とともに本発明の交流電圧印加手段を構成し、交流電圧を所定の共通電極検査端子に印加する。
測定部23は、例えば各検査端子に接続される複数の電流計を備え、接続部21の各検査端子から入力される電流を検出する。この測定部23は、本発明の電流測定手段を構成する。
The drive unit 22 applies a predetermined voltage to each inspection terminal of the connection unit 21 to drive the liquid crystal panel 1. Moreover, the drive part 22 comprises the alternating voltage application means of this invention with the drive voltage control means 242 of the control part 24, and applies an alternating voltage to a predetermined common electrode test | inspection terminal.
The measurement unit 23 includes, for example, a plurality of ammeters connected to the respective inspection terminals, and detects currents input from the respective inspection terminals of the connection unit 21. The measuring unit 23 constitutes a current measuring unit of the present invention.

制御部24は、駆動切替手段241と、駆動電圧制御手段242と、欠陥検出手段243と、結果出力手段244とを備えている。
駆動切替手段241は、液晶パネル1の検査モードを切り替える。具体的には、駆動切替手段241は、例えば操作者の設定入力により、検査モードを、パターン表示モードおよび線間リーク検査モードのいずれかに切り替える。ここで、パターン表示モードは、ソース線Sおよびゲート線Gに所定の駆動電圧を印加して、液晶パネル1に所定のパターン画像を表示させるモードである。また、線間リーク検査モードは、例えば隣接するソース線S同士において発生する線間リーク欠陥を、測定部23により測定される電流に基づいて検出するモードである。また、駆動切替手段241は、線間リーク検査モードにおいて、プローブ制御手段214に制御信号を出力して、ソース検査端子Scからソースプローブ213Cを離隔させ、切断状態にする。
The control unit 24 includes drive switching means 241, drive voltage control means 242, defect detection means 243, and result output means 244.
The drive switching unit 241 switches the inspection mode of the liquid crystal panel 1. Specifically, the drive switching unit 241 switches the inspection mode to one of the pattern display mode and the inter-line leak inspection mode, for example, by an operator setting input. Here, the pattern display mode is a mode in which a predetermined drive voltage is applied to the source line S and the gate line G to display a predetermined pattern image on the liquid crystal panel 1. Further, the inter-line leak inspection mode is a mode in which, for example, a inter-line leak defect generated between adjacent source lines S is detected based on a current measured by the measurement unit 23. Further, the drive switching unit 241 outputs a control signal to the probe control unit 214 in the inter-line leak inspection mode, and separates the source probe 213C from the source inspection terminal Sc so as to be in a disconnected state.

駆動電圧制御手段242は、駆動部22から各検査端子に印加する電圧を制御し、液晶パネル1を駆動させる。
具体的には、駆動電圧制御手段242は、駆動切替手段241により、パターン表示モードに切り替えられた場合、図4に示すようなパターンの電圧を印加する。図4は、パターン表示モードにおける電圧の印加パターンおよびタイミングを示す図である。なお、本実施の形態における液晶パネル1は、ノーマリーホワイトであり、駆動電圧が印加されず、液晶セルLVに電荷が蓄積されていない状態では、例えばバックライトなどの光源からの光をそのまま透過させて白色光を発色させるものとする。
The drive voltage control unit 242 controls the voltage applied from the drive unit 22 to each inspection terminal, and drives the liquid crystal panel 1.
Specifically, the drive voltage control unit 242 applies a voltage having a pattern as shown in FIG. 4 when the drive switching unit 241 switches to the pattern display mode. FIG. 4 is a diagram illustrating a voltage application pattern and timing in the pattern display mode. Note that the liquid crystal panel 1 in the present embodiment is normally white, and transmits light from a light source such as a backlight as it is when no driving voltage is applied and no charge is accumulated in the liquid crystal cell LV. It is assumed that white light is developed.

すなわち、駆動電圧制御手段242は、液晶パネル1において、グレイ画像を表示させる場合、ソース検査端子Scに、所定周期で0Vおよび5Vの電圧が交互に入れ替わる交流電圧(パターンC)を印加し、各共通電極検査端子VcomRc,VcomGc,VcomBcには、パターンAと逆位相となる交流電圧(パターンD)を印加する。
また、駆動電圧制御手段242は、Lゲート検査端子GLcに、ソース検査端子Scに5Vの信号電圧が印加されるタイミング(図2におけるタイミングT1)で、オン電圧である15Vを印加する。この時、Rゲート検査端子GRcには、オフ電圧である−10Vが印加される。なお、オン電圧が印加される期間は図4に示すように、交流電圧の周期に対して十分小さい僅かな期間であり、オン電圧を印加した後、ソース検査端子Scへの電圧が0Vに切り替わる前に、オフ電圧に切り替える。また、駆動電圧制御手段242は、ソース検査端子Scの信号電圧が0Vに切り替わった後、タイミングT2で、Rゲート検査端子GRcにオン電圧を印加する。このとき、Lゲート検査端子GLcは、オフ信号である−10Vの電圧が保持される。なお、このRゲート検査端子GRcに印加するオン電圧の入力期間も、交流電圧の周期に対して十分小さい僅かな期間に設定される。すなわち、駆動電圧制御手段242は、タイミングT1において、Lゲート線Glにより制御される画素11の液晶セルLVに駆動信号(5V)に基づいた電荷を保持させ、タイミングT2において、Rゲート線Grにより制御される画素11の液晶セルLVに蓄電されている電荷を放電させる。これにより、液晶パネル1のLゲート線に対応する画素11のみでグレイ画像が表示される。
That is, when displaying a gray image on the liquid crystal panel 1, the drive voltage control unit 242 applies an alternating voltage (pattern C) in which voltages of 0 V and 5 V are alternately switched at a predetermined cycle to the source inspection terminal Sc, An alternating voltage (pattern D) having an opposite phase to the pattern A is applied to the common electrode inspection terminals VcomRc, VcomGc, and VcomBc.
Further, the drive voltage control unit 242 applies 15 V, which is an on-voltage, to the L gate inspection terminal GLc at the timing when the signal voltage of 5 V is applied to the source inspection terminal Sc (timing T1 in FIG. 2). At this time, −10 V, which is an off voltage, is applied to the R gate inspection terminal GRc. In addition, as shown in FIG. 4, the period during which the on-voltage is applied is a slight period that is sufficiently small with respect to the cycle of the alternating voltage, and after the on-voltage is applied, the voltage to the source inspection terminal Sc is switched to 0V. Before switching to off voltage. In addition, after the signal voltage of the source inspection terminal Sc is switched to 0V, the drive voltage control unit 242 applies an ON voltage to the R gate inspection terminal GRc at timing T2. At this time, the L gate inspection terminal GLc holds a voltage of −10 V, which is an off signal. Note that the input period of the on-voltage applied to the R gate inspection terminal GRc is also set to a slight period sufficiently small with respect to the cycle of the AC voltage. That is, the drive voltage control unit 242 holds the charge based on the drive signal (5V) in the liquid crystal cell LV of the pixel 11 controlled by the L gate line Gl at the timing T1, and the R gate line Gr at the timing T2. The charge stored in the liquid crystal cell LV of the pixel 11 to be controlled is discharged. Thereby, a gray image is displayed only by the pixel 11 corresponding to the L gate line of the liquid crystal panel 1.

そして、駆動電圧制御手段242は、Lゲート線Glに対応する画素11のみでのグレイ画像表示の後、所定期間Tmを開けて、Rゲート線Grに対応する画素11のみでグレイ画像を表示させる制御をする。これには、上記タイミングT1,T2と逆の操作をタイミングT3,T4において実施する。
すなわち、駆動電圧制御手段242は、ソース検査端子Scに0Vが印加され、各共通電極検査端子VcomRc,VcomGc,VcomBcに任意電圧(0〜5v)が印加されるタイミングT3で、Lゲート検査端子GLcにオン電圧を印加する。この間、Rゲート検査端子GRcはオフ電圧に保持される。また、駆動電圧制御手段242は、ソース検査端子Scへの印加電圧が5Vに切り替わった後、Rゲート検査端子GRcにオン電圧を印加させる。この間、Lゲート検査端子GLcは、オフ電圧に保持される。
以上により、液晶パネル1において、Lゲート線Glに接続される画素11と、Rゲート線Grに接続される画素11とで交互にグレイ画像を表示させることが可能となる。
The drive voltage control unit 242 opens a predetermined period Tm after displaying the gray image only on the pixel 11 corresponding to the L gate line Gl, and displays the gray image only on the pixel 11 corresponding to the R gate line Gr. Take control. For this purpose, an operation opposite to the timings T1 and T2 is performed at the timings T3 and T4.
That is, the driving voltage control unit 242 applies the 0V to the source inspection terminal Sc and applies the arbitrary voltage (0 to 5v) to the common electrode inspection terminals VcomRc, VcomGc, and VcomBc at the timing T3. An on-voltage is applied to. During this time, the R gate inspection terminal GRc is held at the off voltage. Further, the drive voltage control unit 242 applies an on-voltage to the R gate inspection terminal GRc after the voltage applied to the source inspection terminal Sc is switched to 5V. During this time, the L gate inspection terminal GLc is held at the off voltage.
As described above, in the liquid crystal panel 1, it is possible to display gray images alternately between the pixels 11 connected to the L gate line Gl and the pixels 11 connected to the R gate line Gr.

また、液晶パネル1に基本色画像を表示させる場合では、駆動電圧制御手段242は、表示させる基本色に対応する共通電極検査端子に、ソース検査端子Scと同一のパターンCの交流電圧を印加し、その他の共通電極検査端子にパターンCの交流電圧と逆位相となるパターンDの交流電圧を印加する。例えば、液晶パネル1により赤色画像を表示させる場合、上記グレイ画像の表示時と同様に、駆動電圧制御手段242は、ソース検査端子ScにパターンCの交流電圧、G共通電極検査端子VcomGcおよびB共通電極検査端子VcomBcにパターンDの交流電圧、Lゲート検査端子GLcにパターンAの駆動電圧、Rゲート検査端子GRcにパターンBの駆動電圧を印加する。一方、駆動電圧制御手段242は、R共通電極検査端子VcomRcには、ソース検査端子Scと同様のパターンCの交流電圧を印加する。以上により、液晶パネル1において、Lゲート線Glに接続される画素11と、Rゲート線Grに接続される画素11とで交互に赤色画像を表示させることが可能となる。   Further, when displaying a basic color image on the liquid crystal panel 1, the drive voltage control means 242 applies an AC voltage having the same pattern C as the source inspection terminal Sc to the common electrode inspection terminal corresponding to the basic color to be displayed. Then, an alternating voltage of pattern D having an opposite phase to the alternating voltage of pattern C is applied to the other common electrode inspection terminal. For example, when a red image is displayed on the liquid crystal panel 1, the drive voltage control means 242 uses the pattern C AC voltage, the G common electrode inspection terminals VcomGc and B common to the source inspection terminal Sc as in the case of displaying the gray image. An AC voltage of pattern D is applied to the electrode inspection terminal VcomBc, a driving voltage of pattern A is applied to the L gate inspection terminal GLc, and a driving voltage of pattern B is applied to the R gate inspection terminal GRc. On the other hand, the drive voltage control unit 242 applies an AC voltage having the same pattern C as that of the source inspection terminal Sc to the R common electrode inspection terminal VcomRc. As described above, in the liquid crystal panel 1, it is possible to display red images alternately between the pixels 11 connected to the L gate line Gl and the pixels 11 connected to the R gate line Gr.

また、駆動電圧制御手段242は、線間リーク検査モードでは、図5に示すようなタイミングにより、液晶パネル1を駆動させる。図5は、線間リーク検査モードにおける電圧印加パターンおよび検出される電流を示す図である。
この線間リーク検査モードでは、駆動切替手段241により線間リーク検査モードに設定された場合、ソース検査端子Scとソースプローブとが切断されるため、ソース検査端子Scはオープン状態となり、常に0Vとなる。そして、線間リーク検査モードでは、図5に示すように、駆動電圧制御手段242は、Lゲート検査端子GLcおよびRゲート検査端子GRcに対して、15Vのオン電圧を印加し続ける。また、駆動電圧制御手段242は、検査対象となるソース線Sに接続される共通電極線に対応する共通電極検査端子以外の共通電極検査端子に、交流電圧を印加する。
例えば、Gソース線Sgに隣接する他のソース線Sから、このGソース線Sgにリークする線間リークを検査する場合、駆動電圧制御手段242は、R共通電極検査端子VcomRcおよびB共通電極検査端子VcomBcに交流電圧を印加する。この場合、Rソース線SrやBソース線Sbに接続される液晶セルLvまたは保持キャパシタCVにおいて、電荷の充電および放電が繰り返される。したがって、線間リークが発生している場合では、液晶セルLvまたは保持キャパシタCVにおける電荷の放電時に、Gソース線Sgに電流が流れ込み、G共通電極検査端子VcomGcに、図5の「不良」にて示すような電流が検出される。一方、線間リークがない場合では、G共通電極検査端子VcomGcにおいて、図5の「良品」にて示すように、電流が検出されない。
Further, the drive voltage control means 242 drives the liquid crystal panel 1 at the timing shown in FIG. 5 in the line leakage inspection mode. FIG. 5 is a diagram showing a voltage application pattern and a detected current in the line leakage inspection mode.
In this line leakage inspection mode, when the line switching leakage inspection mode is set by the drive switching means 241, the source inspection terminal Sc and the source probe are disconnected, so that the source inspection terminal Sc is in an open state and is always 0V. Become. In the line leakage inspection mode, as shown in FIG. 5, the drive voltage control unit 242 continues to apply an ON voltage of 15 V to the L gate inspection terminal GLc and the R gate inspection terminal GRc. Further, the drive voltage control means 242 applies an AC voltage to the common electrode inspection terminal other than the common electrode inspection terminal corresponding to the common electrode line connected to the source line S to be inspected.
For example, when inspecting a leak between lines leaking to the G source line Sg from another source line S adjacent to the G source line Sg, the drive voltage control means 242 includes the R common electrode inspection terminal VcomRc and the B common electrode inspection. An AC voltage is applied to the terminal VcomBc. In this case, charge and discharge are repeated in the liquid crystal cell Lv or the holding capacitor CV connected to the R source line Sr or the B source line Sb. Therefore, when line-to-line leakage occurs, current flows into the G source line Sg when the charge is discharged in the liquid crystal cell Lv or the holding capacitor CV, and the “common” in FIG. Is detected. On the other hand, when there is no line-to-line leakage, no current is detected at the G common electrode inspection terminal VcomGc as shown by “non-defective product” in FIG.

欠陥検出手段243は、駆動切替手段241により、線間リーク検査モードが選択されている際に、測定部23にて測定される電流値を読み込み、検査対象となる共通電極検査線にリークする線間リーク欠陥があるか否かを判断する。
具体的には、欠陥検出手段243は、図5の「不良」にて示されるように、周期的な電流値が検出された場合、線間リークがあると判断し、図5の「良品」にて示されるように電流値が検出されなかった場合は、線間リーク欠陥がないと判断する。
The defect detection unit 243 reads a current value measured by the measurement unit 23 when the line switching inspection mode is selected by the drive switching unit 241, and leaks to the common electrode inspection line to be inspected. It is determined whether or not there is a leak defect.
Specifically, as indicated by “defective” in FIG. 5, the defect detection unit 243 determines that there is a line-to-line leak when a periodic current value is detected, and “good” in FIG. 5. If the current value is not detected as indicated by, it is determined that there is no line-to-line leak defect.

結果出力手段244は、欠陥検出手段243にて判断されたリーク欠陥の有無を出力する。具体的には、結果出力手段244は、検査装置2に設けられた図示しない表示手段に、リーク欠陥の有無を表示させる。なお、結果出力手段244は、上記リーク欠陥の有無を他の態様で出力してもよく、例えば、記憶媒体にデータなどとして出力したり、印刷により出力したり、音声によりリーク欠陥の有無を報知したりしてもよい。   The result output unit 244 outputs the presence / absence of a leak defect determined by the defect detection unit 243. Specifically, the result output unit 244 displays the presence / absence of a leak defect on a display unit (not shown) provided in the inspection apparatus 2. The result output unit 244 may output the presence / absence of the leak defect in other manners. For example, the result output unit 244 outputs the data to a storage medium as data, prints, or informs the presence / absence of the leak defect by voice. You may do it.

〔検査装置の動作〕
次に、上述した検査装置2の動作について、図面に基づいて説明する。
検査装置2を用いた検査方法では、検査装置2は、現在の検査モードを認識し、検査モードに応じた駆動信号を液晶パネル1に出力し、欠陥検査処理を実施する。
[Operation of inspection equipment]
Next, operation | movement of the inspection apparatus 2 mentioned above is demonstrated based on drawing.
In the inspection method using the inspection apparatus 2, the inspection apparatus 2 recognizes the current inspection mode, outputs a drive signal corresponding to the inspection mode to the liquid crystal panel 1, and performs defect inspection processing.

〔パターン表示モード〕
図6は、検査装置の動作におけるパターン表示モードのフローチャートである。
検査装置2は、例えば操作者の設定入力などにより、検査モードとしてパターン表示モードを設定する旨の要求がなされた場合、駆動切替手段241は、検査モードをパターン表示モードに切り替える(ステップS101)。
このパターン表示モードでは、駆動切替手段241は、プローブ制御手段214を制御してソースプローブ213Cをソース線Sに接触させ、接続状態とする(ステップS102)。
(Pattern display mode)
FIG. 6 is a flowchart of the pattern display mode in the operation of the inspection apparatus.
When the inspection apparatus 2 is requested to set the pattern display mode as the inspection mode, for example, by an operator setting input, the drive switching unit 241 switches the inspection mode to the pattern display mode (step S101).
In this pattern display mode, the drive switching unit 241 controls the probe control unit 214 to bring the source probe 213C into contact with the source line S to be in a connected state (step S102).

この後、駆動電圧制御手段242は、駆動部22を制御して、図4に示すようなパターン電圧を各検査端子に印加する(ステップS103)。
すなわち、駆動電圧制御手段242は、グレイ画像を表示させる場合では、ソース検査端子ScにパターンCの交流電圧を印加し、各共通電極検査端子VcomRc,VcomGc,VcomBcにパターンCと逆位相となるパターンDの交流電圧を印加する。そして、Lゲート検査端子GLcにパターンAの駆動電圧、Rゲート検査端子GRcにパターンBの駆動電圧を印加する。
また、赤色、緑色、青色画像を表示させる場合では、駆動電圧制御手段242は、表示対象基本色に対応する共通電極検査端子にパターンCの交流電圧を印加させる。例えば、赤色画像を表示させる場合では、駆動電圧制御手段242は、ソース検査端子ScにパターンCの交流電圧を印加し、G共通電極検査端子VcomGcおよびB共通電極検査端子VcomBcにパターンCと逆位相となるパターンDの交流電圧を印加し、R共通電極検査端子VcomRcにパターンCの交流電圧を印加する。そして、Lゲート検査端子GLcにパターンAの駆動電圧、Rゲート検査端子GRcにパターンBの駆動電圧を印加する。
これにより、液晶パネル1のLゲート線Glにより制御される画素11と、Rゲート線Grにより制御される画素11とが交互に駆動され、液晶パネル1にパターン画像が表示される(ステップS104)。
このようなパターン表示画像では、例えば垂直方向に隣接する画素11間でリーク欠陥がある場合、隣接画素も駆動されて例えば輝点などにより表示される。したがって、液晶パネル1を例えば目視による確認や、カメラなどの撮像手段による撮像により、画素間リーク欠陥を容易に判別することが可能となる。
Thereafter, the drive voltage control unit 242 controls the drive unit 22 to apply a pattern voltage as shown in FIG. 4 to each inspection terminal (step S103).
That is, in the case of displaying a gray image, the drive voltage control unit 242 applies an AC voltage of the pattern C to the source inspection terminal Sc, and a pattern having an opposite phase to the pattern C to each common electrode inspection terminal VcomRc, VcomGc, VcomBc. An AC voltage of D is applied. Then, the drive voltage of the pattern A is applied to the L gate inspection terminal GLc, and the drive voltage of the pattern B is applied to the R gate inspection terminal GRc.
When displaying red, green, and blue images, the drive voltage control unit 242 applies the AC voltage of the pattern C to the common electrode inspection terminal corresponding to the display target basic color. For example, in the case of displaying a red image, the drive voltage control unit 242 applies an AC voltage of the pattern C to the source inspection terminal Sc, and has an opposite phase to the pattern C to the G common electrode inspection terminal VcomGc and the B common electrode inspection terminal VcomBc. An alternating voltage of pattern D is applied, and an alternating voltage of pattern C is applied to the R common electrode inspection terminal VcomRc. Then, the drive voltage of the pattern A is applied to the L gate inspection terminal GLc, and the drive voltage of the pattern B is applied to the R gate inspection terminal GRc.
Thereby, the pixels 11 controlled by the L gate line Gl and the pixels 11 controlled by the R gate line Gr of the liquid crystal panel 1 are alternately driven, and a pattern image is displayed on the liquid crystal panel 1 (step S104). .
In such a pattern display image, for example, when there is a leak defect between the pixels 11 adjacent in the vertical direction, the adjacent pixels are also driven and displayed by, for example, a bright spot. Accordingly, it is possible to easily determine the inter-pixel leak defect by visually confirming the liquid crystal panel 1 or by imaging with an imaging means such as a camera.

〔線間リーク検査モード〕
次に、検査装置2の動作における線間リーク検査モードについて説明する。図7は、本実施の形態の検査装置の動作における線間リーク検査モードのフローチャートである。
[Line leak inspection mode]
Next, the line leak inspection mode in the operation of the inspection apparatus 2 will be described. FIG. 7 is a flowchart of the line-to-line leak inspection mode in the operation of the inspection apparatus according to the present embodiment.

検査装置2は、例えば操作者の設定入力などにより、検査モードとして線間リーク検査モードを設定する旨の要求がなされた場合、駆動切替手段241は、検査モードを線間リーク検査モードに切り替える(ステップS201)。
この線間リーク検査モードでは、駆動切替手段241は、プローブ制御手段214を制御してソースプローブ213Cをソース線Sから離隔する方向に移動させ、切断状態とする(ステップS202)。
When the inspection apparatus 2 is requested to set the inter-line leak inspection mode as the inspection mode, for example, by an operator setting input, the drive switching unit 241 switches the inspection mode to the inter-line leak inspection mode ( Step S201).
In this line-to-line leak inspection mode, the drive switching unit 241 controls the probe control unit 214 to move the source probe 213C in a direction away from the source line S to be in a disconnected state (step S202).

この後、駆動電圧制御手段242は、駆動部22を制御して、図5に示すようなパターン電圧を各検査端子に印加する(ステップS203)。この時、検査対象となるソース線Sに対応する共通電極検査端子を、スイッチング処理により測定部23に接続する。
例えば、図5に示すように、Gソース線Sgに流れ込むリーク電流を測定する場合、G共通電極検査端子VcomGcを測定部23に接続する。そして、駆動電圧制御手段242は、Lゲート検査端子GLcおよびRゲート検査端子GRcに、オン電圧を印加し、R共通電極検査端子VcomRcおよびB共通電極検査端子VcomBcに、交流電圧を印加する。
Thereafter, the drive voltage control unit 242 controls the drive unit 22 to apply a pattern voltage as shown in FIG. 5 to each inspection terminal (step S203). At this time, the common electrode inspection terminal corresponding to the source line S to be inspected is connected to the measurement unit 23 by switching processing.
For example, as shown in FIG. 5, when measuring the leakage current flowing into the G source line Sg, the G common electrode inspection terminal VcomGc is connected to the measurement unit 23. Then, the drive voltage control unit 242 applies an ON voltage to the L gate inspection terminal GLc and the R gate inspection terminal GRc, and applies an AC voltage to the R common electrode inspection terminal VcomRc and the B common electrode inspection terminal VcomBc.

また、欠陥検出手段243は、ステップS203の処理により測定部23に流れるリーク電流が検出されたか否かを判断する(ステップS204)。このステップS204において、共通電極検査端子に印加された交流電圧に応じた波形の電流が検出された場合、線間リーク欠陥があると判断する(ステップS205)。一方、ステップS204において、電流値が検出されない場合、線間リーク欠陥がないと判断する(ステップS206)。
そして、結果出力手段244は、このステップS205およびステップS206の線間リーク欠陥の検査結果を例えば表示手段に表示させる(ステップS207)。
Further, the defect detection means 243 determines whether or not a leakage current flowing through the measurement unit 23 has been detected by the process of step S203 (step S204). In step S204, if a current having a waveform corresponding to the AC voltage applied to the common electrode inspection terminal is detected, it is determined that there is a line-to-line leak defect (step S205). On the other hand, if no current value is detected in step S204, it is determined that there is no line leakage defect (step S206).
Then, the result output unit 244 causes the display unit to display the inspection result of the line-to-line leak defect in step S205 and step S206 (step S207).

〔本実施の形態の作用効果〕
上述したように、液晶パネル1は、各ソース線Sに対応して設けられる共通電極線を、基本色毎に分割し、共通電極検査線で結線している。
一般に、解像度の大きい液晶パネルでは、ゲート線Gやソース線Sの数も多く、例えば画像サイズが小さいQVGA(Quarter Video Graphics Array)であっても、320本のゲート線、720本(240×3)のソース線が必要となるが、これらのゲート線Gやソース線Sのそれぞれに対してプローブを接続させる構成では、構成の複雑化やコストの高騰を引き起こす。これに対して、上記液晶パネル1では、検査時に、全ゲート線Gを、Lゲート線、Rゲート線の2種に分割し、Lゲート線Glを一括短絡させるLゲートプローブ213A、Rゲート線Grを一括短絡させるRゲートプローブ213Bを用い、全ソース線Sを一括短絡させるソースプローブ213Cを用いるため、プローブ構成を簡単にすることができ、検査装置2にかかるコストも低減させることができる。
また、このように各ゲート線G、各ソース線Sを一括短絡させる構成であっても、複数相に分割された共通電極検査線に接続される共通電極検査端子に印加する電圧を図4や図5に示すように制御することで、画素間リークなどの画素欠陥の検査、および線間リーク欠陥の検査を実施することができる。
また、液晶パネル1内において、各ゲート線Gおよび各ソース線Sがそれぞれ独立して配線されているため、液晶パネル1の欠陥検査終了後に、液晶パネル1の表示領域部分のみをレーザーカットなどにより切断する必要がなく、そのままモジュールに組み込むことができる。
以上により、液晶パネル1の切断工程などが不要であるため、製造効率が低下することなく、簡単で安価なプローブ構成で精度よく液晶パネル1内に画素間リーク欠陥や線間リーク欠陥を検出することができる。
[Effects of the present embodiment]
As described above, the liquid crystal panel 1 divides the common electrode lines provided corresponding to the source lines S for each basic color and connects them with the common electrode inspection lines.
In general, a liquid crystal panel having a high resolution has a large number of gate lines G and source lines S. For example, even in a QVGA (Quarter Video Graphics Array) having a small image size, 320 gate lines and 720 lines (240 × 3). However, in the configuration in which the probe is connected to each of the gate line G and the source line S, the configuration becomes complicated and the cost increases. On the other hand, in the liquid crystal panel 1, at the time of inspection, the entire gate line G is divided into two types, an L gate line and an R gate line, and an L gate probe 213A and an R gate line that collectively short-circuit the L gate line Gl. Since the R gate probe 213B that collectively short-circuits Gr and the source probe 213C that collectively short-circuits all the source lines S are used, the probe configuration can be simplified and the cost of the inspection apparatus 2 can be reduced.
Further, even in such a configuration in which each gate line G and each source line S are short-circuited together, the voltage applied to the common electrode inspection terminal connected to the common electrode inspection line divided into a plurality of phases is shown in FIG. By controlling as shown in FIG. 5, it is possible to perform inspection of pixel defects such as inter-pixel leakage and inspection of inter-line leakage defects.
In addition, since each gate line G and each source line S are wired independently in the liquid crystal panel 1, after the defect inspection of the liquid crystal panel 1 is completed, only the display area portion of the liquid crystal panel 1 is subjected to laser cutting or the like. There is no need to cut, and it can be incorporated into the module as it is.
As described above, since the cutting step of the liquid crystal panel 1 is unnecessary, the pixel-to-pixel leak defect and the line-to-line leak defect are accurately detected in the liquid crystal panel 1 with a simple and inexpensive probe configuration without reducing the manufacturing efficiency. be able to.

また、液晶パネル1は、各基本色に対応して、R共通電極検査線14r、G共通電極検査線14g、およびB共通電極検査線14bに分割されている。このため、液晶パネル1の検査モードがパターン表示モードに設定された際に、図4に示すように、各共通電極検査端子のうち、表示させたい基本色に対応した共通電極端子にソース検査端子Scを同じパターンCの交流電圧を印加することで、容易に基本色に対応したパターン画像を表示させることができ、各基本色毎に、画素間リーク欠陥を検査することができる。また、線間リーク検査モードにおいても同様であり、各基本色に対応したソース線S毎に、線間リーク欠陥を検査することができる。したがって、リーク欠陥があった場合に、欠陥がある画素位置や線間を容易に検出することができ、検出精度も向上させることができる。   The liquid crystal panel 1 is divided into an R common electrode inspection line 14r, a G common electrode inspection line 14g, and a B common electrode inspection line 14b corresponding to each basic color. For this reason, when the inspection mode of the liquid crystal panel 1 is set to the pattern display mode, as shown in FIG. 4, among the common electrode inspection terminals, the common electrode terminal corresponding to the basic color to be displayed is connected to the source inspection terminal. By applying an alternating voltage of the same pattern C to Sc, a pattern image corresponding to the basic color can be easily displayed, and an inter-pixel leak defect can be inspected for each basic color. The same applies to the inter-line leak inspection mode, and inter-line leak defects can be inspected for each source line S corresponding to each basic color. Therefore, when there is a leak defect, it is possible to easily detect a pixel position or a line having a defect, and to improve detection accuracy.

また、検査装置2は、各ソース線Sから接離移動可能に設けられるソースプローブ213Cを備えている。そして、駆動切替手段241により検査モードが切り替えられると、プローブ制御手段214を制御して、ソースプローブ213Cを移動させる。すなわち、駆動切替手段241は、パターン表示モードでは、ソースプローブ213Cと各ソース線Sとを接続状態に、線間リーク検査モードでは、ソースプローブ213Cと各ソース線Sとを切断状態に切り替える。
このため、パターン表示モードでは、ソース線Sから各画素11に駆動電圧を印加させることで、液晶パネル1を駆動させて所定のパターン画像を表示させることができる。また、線間リーク検査モードでは、ソースプローブ213Cと各ソース線とを切断状態にして、共通電極検査端子に交流電圧を印加し、各画素11の液晶セルLVや保持キャパシタCVにおいて、電荷の充電および放電を実施することにより、検査対象となるソース線Sに流れる線間リークを容易に検査することができる。
Further, the inspection apparatus 2 includes a source probe 213C provided so as to be movable toward and away from each source line S. When the inspection mode is switched by the drive switching unit 241, the probe control unit 214 is controlled to move the source probe 213C. That is, the drive switching unit 241 switches the source probe 213C and each source line S to the connected state in the pattern display mode, and switches the source probe 213C and each source line S to the disconnected state in the inter-line leak inspection mode.
For this reason, in the pattern display mode, by applying a driving voltage from the source line S to each pixel 11, the liquid crystal panel 1 can be driven to display a predetermined pattern image. In the line-to-line leak inspection mode, the source probe 213C and each source line are disconnected, an AC voltage is applied to the common electrode inspection terminal, and charge is charged in the liquid crystal cell LV and the holding capacitor CV of each pixel 11. Further, by performing the discharge, it is possible to easily inspect the leak between lines flowing through the source line S to be inspected.

また、ゲート線Gは、Lゲート線GlおよびRゲート線Grを備え、Lゲート線GlはLゲートプローブ213Aに接触してLゲート検査端子GLcに接続され、Rゲート線Grは、Rゲートプローブに接触してRゲート検査端子GRcに接続されている。このため、パターン表示モードにおいて、Lゲート検査端子GLcおよびRゲート検査端子GRcに印加する駆動電圧を交互に切り替えることで、液晶パネル1のLゲート線Glにより制御される画素11と、Rゲート線Grにより制御される画素11とを交互に駆動させることができる。したがって、駆動していない画素11に輝点などの不都合が現れるか否かを観察することにより、容易に画素間リークなどの画素欠陥を検査することができ、検査精度を向上させることができる。   The gate line G includes an L gate line Gl and an R gate line Gr. The L gate line Gl contacts the L gate probe 213A and is connected to the L gate inspection terminal GLc. The R gate line Gr is an R gate probe. Is connected to the R gate inspection terminal GRc. For this reason, in the pattern display mode, the pixel 11 controlled by the L gate line Gl of the liquid crystal panel 1 and the R gate line are switched by alternately switching the drive voltage applied to the L gate inspection terminal GLc and the R gate inspection terminal GRc. The pixels 11 controlled by Gr can be driven alternately. Therefore, by observing whether or not inconveniences such as bright spots appear in the pixels 11 that are not driven, pixel defects such as inter-pixel leakage can be easily inspected, and inspection accuracy can be improved.

〔他の実施の形態〕
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
[Other Embodiments]
It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and modifications, improvements, and the like within the scope that can achieve the object of the present invention are included in the present invention.

例えば、上記において、ゲート線Gは、Lゲート線GlおよびRゲート線Grを備え、それぞれプローブによりLゲート検査端子GLcおよびRゲート検査端子GRcに接続する構成としたが、例えばゲート線Gに対して、3つ以上のプローブでそれぞれ異なるゲート検査端子GLに接続される構成としてもよい。また、ソース線Sに対しても同様であり、全ソース線Sに対して一括短絡させるソースプローブ213Cを例示したが、ソース線Sを2つ以上のグループに分割し、一方のグループには第一のソースプローブ、他方のグループには第二のソースプローブが接触可能な構成としてもよい。   For example, in the above, the gate line G includes the L gate line Gl and the R gate line Gr, and is configured to be connected to the L gate inspection terminal GLc and the R gate inspection terminal GRc by a probe. Further, it may be configured such that three or more probes are connected to different gate inspection terminals GL. The same applies to the source line S, and the source probe 213C that short-circuits all the source lines S is illustrated. However, the source line S is divided into two or more groups, and one group includes One source probe and the second group may be in contact with the other group.

また、上記実施の形態において、各基本色に対応して、共通電極線を3相に分割する構成としたが、2相に分割する構成や、4層以上に分割する構成などとしてもよい。   In the above embodiment, the common electrode line is divided into three phases corresponding to each basic color. However, the common electrode line may be divided into two phases, or may be divided into four or more layers.

その他、本発明の実施の際の具体的な構造および手順は、本発明の目的を達成できる範囲で他の構造などに適宜変更できる。   In addition, the specific structure and procedure for carrying out the present invention can be appropriately changed to other structures and the like within a range in which the object of the present invention can be achieved.

本発明の一実施の形態に係る液晶パネルの概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the liquid crystal panel which concerns on one embodiment of this invention. 本発明に係る一実施の形態の検査装置の概略構成を示すブロック図である。It is a block diagram showing a schematic structure of an inspection device of one embodiment concerning the present invention. 検査装置の接続部の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the connection part of a test | inspection apparatus. パターン表示モードにおける電圧の印加パターンおよびタイミングを示す図である。It is a figure which shows the application pattern and timing of a voltage in pattern display mode. 線間リーク検査モードにおける電圧印加パターンおよび検出される電流を示す図である。It is a figure which shows the voltage application pattern and the detected electric current in line | wire leak test | inspection mode. 本実施の形態の検査装置の動作におけるパターン表示モードのフローチャートである。It is a flowchart of the pattern display mode in operation | movement of the test | inspection apparatus of this Embodiment. 本実施の形態の検査装置の動作における線間リーク検査モードのフローチャートである。It is a flowchart in the line | wire leak test | inspection mode in operation | movement of the test | inspection apparatus of this Embodiment.

1…表示体としての液晶パネル、2…検査装置、12…スイッチング素子としてのTFT、13r…R共通電極線、13g…G共通電極線、13b…B共通電極線、14r…R共通電極検査線、14g…G共通電極検査線、14b…B共通電極検査線、22…交流電圧印加手段を構成する駆動部、23…電流検出手段としての測定部、213A…Lゲートプローブ、213B…Rゲートプローブ、213C…ソースプローブ、213D…R共通電極プローブ、213E…G共通電極プローブ、213F…B共通電極プローブ、214…ソース接続切替手段としてのプローブ制御手段、242…交流電圧印加手段を構成する駆動電圧制御手段、S…ソース線、Sr…Rソース線、Sg…Gソース線、Sb…Bソース線、G…ゲート線、PE…画素電極。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Liquid crystal panel as a display body, 2 ... Inspection apparatus, 12 ... TFT as switching element, 13r ... R common electrode line, 13g ... G common electrode line, 13b ... B common electrode line, 14r ... R common electrode inspection line , 14 g... G common electrode inspection line, 14 b... B common electrode inspection line, 22... Drive unit constituting AC voltage application means, 23... Measurement part as current detection means, 213 A. 213C ... source probe, 213D ... R common electrode probe, 213E ... G common electrode probe, 213F ... B common electrode probe, 214 ... probe control means as source connection switching means, 242 ... driving voltage constituting AC voltage application means Control means, S ... source line, Sr ... R source line, Sg ... G source line, Sb ... B source line, G ... gate line, PE ... image Electrode.

Claims (4)

互いに対向する駆動基板および対向基板と、
これらの駆動基板および対向基板の間に封入される電気光学材料と、
前記駆動基板に設けられるとともに、互いに直交する複数のソース線および複数のゲート線と、
前記複数のソース線および前記複数のゲート線との交差部近傍に設けられ、前記ソース線に出力された電荷を前記電気光学材料に印加する複数の画素電極と、
前記ゲート線、前記ソース線、および前記画素電極に接続されるとともに、前記ゲート線から入力されるゲート信号に応じて、前記ソース線から前記画素電極への電荷の印加状態を切り替えるスイッチング素子と、
前記対向基板に設けられるとともに、前記画素電極に接続される複数の共通電極線と、
複数の前記共通電極線を2相以上に分割し、これら各相の前記共通電極線をそれぞれ結線する複数の共通電極検査線と、
を具備したことを特徴とする表示体。
A drive substrate and a counter substrate facing each other;
An electro-optic material encapsulated between the drive substrate and the counter substrate;
A plurality of source lines and a plurality of gate lines provided on the driving substrate and orthogonal to each other;
A plurality of pixel electrodes provided in the vicinity of intersections of the plurality of source lines and the plurality of gate lines, and applying an electric charge output to the source lines to the electro-optic material;
A switching element that is connected to the gate line, the source line, and the pixel electrode, and switches a charge application state from the source line to the pixel electrode in accordance with a gate signal input from the gate line;
A plurality of common electrode lines provided on the counter substrate and connected to the pixel electrodes;
Dividing the plurality of common electrode lines into two or more phases, and connecting a plurality of common electrode inspection lines for connecting the common electrode lines of each phase;
The display body characterized by comprising.
請求項1に記載の表示体において、
前記ソース線は、赤色用ソース信号が入力されるRソース線、緑色用ソース信号が入力されるGソース線、および青色用ソース信号が入力されるBソース線を備え、
前記共通電極線は、各色ソース線に対応してそれぞれ設けられる、R共通電極線、G共通電極線、およびB共通電極線を備え、
前記共通電極検査線は、R共通電極線同士、G共通電極線同士、およびB共通電極線同士をそれぞれ結線する
ことを特徴とする表示体。
The display body according to claim 1,
The source line includes an R source line to which a red source signal is input, a G source line to which a green source signal is input, and a B source line to which a blue source signal is input.
The common electrode line includes an R common electrode line, a G common electrode line, and a B common electrode line, which are respectively provided corresponding to the color source lines.
The display body, wherein the common electrode inspection line connects R common electrode lines, G common electrode lines, and B common electrode lines.
互いに対向する駆動基板および対向基板と、これらの駆動基板および対向基板の間に封入される電気光学材料と、前記駆動基板に設けられるとともに、互いに直交する複数のソース線および複数のゲート線と、前記複数のソース線および前記複数のゲート線との交差部近傍に設けられ、前記ソース線に出力された電荷を前記電気光学材料に印加する複数の画素電極と、前記ゲート線、前記ソース線、および前記画素電極に接続されるとともに、前記ゲート線から入力されるゲート信号に応じて、前記ソース線から前記画素電極への電荷の印加状態を切り替えるスイッチング素子と、前記対向基板に設けられるとともに、前記画素電極に接続される複数の共通電極線と、複数の前記共通電極線を2相以上に分割し、これら各相の前記共通電極線をそれぞれ結線する複数の共通電極検査線と、を具備した表示体におけるリーク欠陥を検査する検査装置であって、
複数の前記ゲート線に接触して、これらの接触した複数のゲート線を一括短絡させるとともに、ゲート検査端子に接続されるゲートプローブと、
複数の前記ソース線に接触して、これらの接触した複数のソース線を一括短絡させるとともに、ソース検査端子に接続されるソースプローブと、
各共通電極検査線に接続されるとともに、共通電極検査端子に接続される複数の共通電極プローブと、
前記ソースプローブと前記ソース線との接続状態を、切断および接続のうち少なくともいずれか一方に切り替えるソース接続切替手段と、
前記共通電極検査端子のうち、検査対象以外の共通電極検査端子に交流電圧を印加する交流電圧印加手段と、
検査対象となる前記共通電極検査端子に流れるリーク電流を検出する電流検出手段と、
を備えたことを特徴とする検査装置。
A driving substrate and a counter substrate facing each other, an electro-optical material sealed between the driving substrate and the counter substrate, a plurality of source lines and a plurality of gate lines provided on the driving substrate and orthogonal to each other; A plurality of pixel electrodes provided in the vicinity of intersections of the plurality of source lines and the plurality of gate lines and applying an electric charge output to the source lines to the electro-optic material; the gate lines; the source lines; And a switching element that is connected to the pixel electrode and switches a charge application state from the source line to the pixel electrode in accordance with a gate signal input from the gate line, and is provided on the counter substrate, A plurality of common electrode lines connected to the pixel electrode and a plurality of the common electrode lines are divided into two or more phases, and the common electrode lines of each phase Each An inspection apparatus for inspecting the leak defects in the display body which is provided with a plurality of common electrodes test line for connecting the,
A gate probe connected to the gate inspection terminal, in contact with a plurality of the gate lines, and collectively short-circuiting the contacted gate lines,
A source probe connected to a plurality of the source lines and short-circuiting the contacted source lines together and connected to a source inspection terminal;
A plurality of common electrode probes connected to each common electrode inspection line and connected to a common electrode inspection terminal;
Source connection switching means for switching the connection state between the source probe and the source line to at least one of disconnection and connection;
Among the common electrode inspection terminals, AC voltage application means for applying an AC voltage to the common electrode inspection terminals other than the inspection target,
Current detection means for detecting a leakage current flowing through the common electrode inspection terminal to be inspected;
An inspection apparatus comprising:
互いに対向する駆動基板および対向基板と、これらの駆動基板および対向基板の間に封入される電気光学材料と、前記駆動基板に設けられるとともに、互いに直交する複数のソース線および複数のゲート線と、前記複数のソース線および前記複数のゲート線との交差部近傍に設けられ、前記ソース線に出力された電荷を前記電気光学材料に印加する複数の画素電極と、前記ゲート線、前記ソース線、および前記画素電極に接続されるとともに、前記ゲート線から入力されるゲート信号に応じて、前記ソース線から前記画素電極への電荷の印加状態を切り替えるスイッチング素子と、前記対向基板に設けられるとともに、前記画素電極に接続される複数の共通電極線と、複数の前記共通電極線を2相以上に分割し、これら各相の前記共通電極線をそれぞれ結線する複数の共通電極検査線と、を具備した表示体におけるリーク欠陥を検査する検査方法であって、
ゲート検査端子に接続されるゲートプローブを複数の前記ゲート線に接触させて、これらの接触した複数のゲート線を一括短絡させ、
ソース検査端子に接続されるソースプローブを、複数の前記ソース線から離隔させて各ソース線をオープン状態とし、
共通電極検査端子に接続される共通電極プローブを各共通電極検査線に接続し、
前記共通電極検査端子のうち、検査対象以外の共通電極検査端子に交流電圧を印加し、
検査対象となる前記共通電極検査端子に流れるリーク電流を検出する
ことを特徴とする検査方法。
A driving substrate and a counter substrate facing each other, an electro-optical material sealed between the driving substrate and the counter substrate, a plurality of source lines and a plurality of gate lines provided on the driving substrate and orthogonal to each other; A plurality of pixel electrodes provided in the vicinity of intersections of the plurality of source lines and the plurality of gate lines and applying an electric charge output to the source lines to the electro-optic material; the gate lines; the source lines; And a switching element that is connected to the pixel electrode and switches a charge application state from the source line to the pixel electrode in accordance with a gate signal input from the gate line, and is provided on the counter substrate, A plurality of common electrode lines connected to the pixel electrode and a plurality of the common electrode lines are divided into two or more phases, and the common electrode lines of each phase Each An inspection method for inspecting the leak defects in the display body which is provided with a plurality of common electrodes test line for connecting the,
A gate probe connected to a gate inspection terminal is brought into contact with a plurality of the gate lines, and the plurality of contacted gate lines are collectively short-circuited,
A source probe connected to a source inspection terminal is separated from a plurality of the source lines to open each source line,
Connect the common electrode probe connected to the common electrode inspection terminal to each common electrode inspection line,
Among the common electrode inspection terminals, an AC voltage is applied to a common electrode inspection terminal other than the inspection target,
An inspection method, comprising: detecting a leak current flowing through the common electrode inspection terminal to be inspected.
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