JP2010153510A - 素子実装装置及び素子実装方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】被搭載素子と被搭載基板との加圧力を、直接測定することなく、簡易かつ高精度に制御する。
【解決手段】被搭載素子と被搭載基板との加圧工程において、搭載ヘッドの位置とVCM電流との関係を示すデータを取得し、搭載ヘッドが上限位置で保持される第1の区間と、VCM電流の変化に伴って位置が変化する第2の区間と、第2の区間よりも位置の変化が小さい第3の区間の各々で取得したデータを直線近似し、第2の区間の近似直線と第3の区間の近似直線との交点から被搭載素子と被搭載基板とが接触した状態における搭載ヘッドの基準位置を特定し、第3の区間の近似直線に基づいて所望の加圧力に対する基準位置からの搭載ヘッドの変位量を求め、第2の区間の近似直線に基づいて搭載ヘッドの変位量から計算できる弾性案内の復元力を補償するようにVCM電流を規定することによって加圧力を制御する。
【選択図】図6
【解決手段】被搭載素子と被搭載基板との加圧工程において、搭載ヘッドの位置とVCM電流との関係を示すデータを取得し、搭載ヘッドが上限位置で保持される第1の区間と、VCM電流の変化に伴って位置が変化する第2の区間と、第2の区間よりも位置の変化が小さい第3の区間の各々で取得したデータを直線近似し、第2の区間の近似直線と第3の区間の近似直線との交点から被搭載素子と被搭載基板とが接触した状態における搭載ヘッドの基準位置を特定し、第3の区間の近似直線に基づいて所望の加圧力に対する基準位置からの搭載ヘッドの変位量を求め、第2の区間の近似直線に基づいて搭載ヘッドの変位量から計算できる弾性案内の復元力を補償するようにVCM電流を規定することによって加圧力を制御する。
【選択図】図6
Description
本発明は、素子実装装置及び素子実装方法に関し、特に、アームに保持した素子を基板上に位置合わせした後に加圧して実装する素子実装装置及び素子実装方法に関する。
光半導体素子の実装においては、非常に高精度な位置合わせを必要とすることが多く、その精度がサブミクロンとなる場合もある。高精度な位置合わせが要求される実装では、被搭載素子と被搭載基板とを位置合わせした後、接合が完了するまで、位置ズレを抑えなければならない。その位置ズレ原因の一つが、高さ方向の変位動作である。高さ方向の変位動作は、平面方向に位置合わせした後、被搭載素子と被搭載基板とを密着させる際に必要となる。高さ方向に変位させる際、位置ズレの発生が小さい最も有用な手段の1つが、平行板バネで構成された弾性案内を使用した片持ち式の搭載アームである。
このような半導体素子の実装装置に関して、例えば、下記特許文献1には、半導体素子を基板に加圧するアームを平行板バネで構成した弾性案内に取り付け、アームの移動量を測長器で測定し、加圧量をボイスコイルモータで与え、コイルに流す電流を電流調節器で調節することにより加圧力の調節を行う素子実装装置が開示されている。
また、本願とは構造が異なるが、下記特許文献2には、装着ヘッドに装備され、電子部品を吸着する吸着ノズルと、吸着ノズルを移動可能に支持すると共に、吸着ノズルに加えられる押圧力を検知する検知手段と、検知手段を上下方向に沿って移動可能に支持する支持部材と、装着ヘッドに固定され、支持部材を介して、検知手段と前記吸着ノズルを上下動するZ軸モータと、本体部が支持部材に固定され、移動部が検知手段に連結され、駆動により、検知手段と吸着ノズルを上下動させる駆動モータと、を備える電子部品圧着搭載装置が開示されている。
しかしながら、上述した弾性案内では、変位に応じて板バネ変形による復元力が発生する。この復元力は、被搭載素子と被搭載基板との高精度な加圧力の調整を阻害する。特に、光半導体素子の実装では、光半導体素子に加える加圧力が光モジュールの特性に影響するため、加圧力を安定させることが重要である。
上記加圧力を安定させるためには、弾性案内の復元力を考慮して所望の加圧力になるように駆動手段への供給電流を調整する必要がある。この問題に対して、特許文献2のように、加圧力を直接測定するための検知手段を配置する方法があるが、このような検知手段を搭載アームに設置すると低イナーシャ化の妨げになることになるため、片持ち式の搭載アームを使用する構造の素子実装装置に適用するのは困難である。そこで、被搭載素子と被搭載基板とが圧力が加わらずに接触した基準位置を特定し、その基準位置からの弾性案内の変位量を規定することが重要になる。
しかしながら、特許文献1の技術は、アームの加圧方向の変位を測長器で測定するだけであり、基準位置を正確に特定しておらず、また、加圧力の調節に際して弾性案内の復元力を考慮していないため、加圧力を高精度に制御することができないという問題がある。
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであって、その主たる目的は、平行板バネで構成された弾性案内を使用した片持ち式の搭載アームを使用する場合であっても、被搭載素子と被搭載基板との加圧力を、直接測定することなく、簡易かつ高精度に制御することができる素子実装装置及び素子実装方法を提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明は、板バネを含む弾性案内と、前記弾性案内をZ軸方向に移動させる駆動手段と、前記弾性案内のZ軸方向の位置を検出する変位センサと、前記弾性案内に一端が固定され、他端で被搭載素子を保持する搭載アームと、被搭載基板を保持する搭載ステージと、前記変位センサで検出した前記弾性案内の位置を取得すると共に前記駆動手段に供給する電流を制御する制御部と、を少なくとも備える素子実装装置において、前記制御部は、前記被搭載素子及び前記被搭載基板が保持されている保持状態で、前記弾性案内の位置と前記駆動手段に供給する電流との関係を示すデータを取得し、前記弾性案内が上限位置で保持される第1の区間と、前記電流の変化に伴って前記位置が変化する第2の区間と、前記第2の区間よりも前記位置の変化が小さい第3の区間の各々に対して、前記データを直線近似し、前記第2の区間における前記データの近似直線と、前記第3の区間における前記データの近似直線との交点位置に基づいて、前記被搭載素子と前記被搭載基板とが接触した状態における前記弾性案内の基準位置を特定するものである。
本発明の素子実装装置及び素子実装方法によれば、平行板バネで構成された弾性案内を使用した片持ち式の搭載アームを使用する場合であっても、被搭載素子と被搭載基板との加圧力を、直接測定することなく、簡易かつ高精度に制御することができる。
その理由は、被搭載素子と被搭載基板との加圧工程において、搭載ヘッド(搭載アーム保持部)の位置とVCM電流との関係を示すデータを取得し、搭載ヘッドが上限位置で保持される(搭載ヘッドが上ストッパに接触している)第1の区間と、VCM電流の変化に伴って位置が変化する(搭載ヘッドが浮遊している)第2の区間と、第2の区間よりも位置の変化が小さい(被搭載素子と被搭載基板とが接触している)第3の区間の各々に対して取得したデータを直線近似し、第2の区間における近似直線と第3の区間における近似直線との交点から被搭載素子と被搭載基板とが接触した状態における搭載ヘッドの基準位置を特定し、第3の区間の近似直線と第2の区間の近似直線とに基づいて所望の加圧力に対する前記基準位置からの前記弾性案内の変位による復元力を補償するようにVCM電流を規定することによって加圧力を制御しているからである。
背景技術で示したように、被搭載素子と被搭載基板とを位置合わせした後の位置ズレの発生を抑制する手段として、平行板バネで構成された弾性案内を使用した片持ち式の搭載アームを使用する方法が用いられている。このような弾性案内では、変位に応じて板バネ変形による復元力が発生することから、加圧力の制御に際して復元力を考慮する必要がある。そのための手法として、加圧力を直接測定する検知手段を用いる方法と、所望の加圧力に相当するように予め求めていた電流を付加する方法とがある。
しかしながら、特許文献2のような検知手段を片持ち式の搭載アームを使用する構造の素子実装装置に適用するのは困難である。また、特許文献1のように、アームの加圧方向の変位を測長器で測定するだけでは、基準位置を正確に特定することができない。
そこで、本発明では、加圧力を直接測定する検知手段を用いることなく、簡易な方法で基準位置を正確に特定して加圧力を高精度に制御できるようにする。具体的には、被搭載素子と被搭載基板との加圧工程において、搭載ヘッドの位置とVCM電流データを取得し、取得したデータを加圧状態ごとに直線近似する。そして、被搭載素子と被搭載基板の接触した点が、被搭載素子が被搭載基板に対して浮いた状態の特徴を表す近似直線と、被搭載素子と被搭載基板とが加圧されている状態の近似直線との境界にあることから、それらの近似直線の交点に基づいて、被搭載素子と被搭載基板とが接触する状態における搭載ヘッドの基準位置を特定し、被搭載素子と被搭載基板とが加圧されている状態の近似直線と被搭載素子が被搭載基板に対して浮いた状態の特徴を表す近似直線とに基づいて、所望の加圧力を付加した場合の前記基準位置からの前記弾性案内の変位による復元力を補償するようにVCM電流を決定する。
これにより、平行板バネで構成された弾性案内を使用した片持ち式の搭載アームを使用する場合であっても、被搭載素子と被搭載基板との加圧力を高精度に制御することができる。
上記した本発明の実施の形態についてさらに詳細に説明すべく、本発明の第1の実施例に係る素子実装装置及び素子実装方法について、図1乃至図7を参照して説明する。
図1を参照すると、本発明の第1の実施例としての素子実装装置1が示されている。
素子実装装置1には、被搭載素子13を保持する搭載ヘッドと、被搭載基板14を保持する搭載ステージ12が含まれている。
搭載ヘッドは、Zステージ2、弾性案内3、搭載アーム11、弾性案内3をZ軸方向に駆動する駆動手段(例えば、ボイスコイルモータ(VCM)10)および図示しない制御部などで構成される。また、弾性案内3は、板バネ保持部4、平行板バネ5、搭載アーム保持部6、上ストッパ7、下ストッパ8、変位センサ9などで構成される。また、制御部は、変位センサ9に接続され、変位センサ9で検出した搭載ヘッド(搭載アーム保持部6)のZ軸方向の変位量を取得すると共に、ボイスコイルモータ(VCM)10に接続され、搭載ヘッド(搭載アーム保持部6)をZ軸方向に変位させるための電流の供給を制御する。
そして、搭載ヘッドは、真空吸着などによって被搭載素子13を保持し、搭載ステージ12に保持された被搭載基板14に対して加圧を行う。
次に、図1の素子実装装置1の動作を説明する。なお、VCM電流と搭載ヘッド(搭載アーム保持部6)の変位の関係を示すデータの取得、当該データの直線近似、近似した直線に基づく搭載ヘッド(搭載アーム保持部6)の位置の特定、所定の加圧力を生じさせるVCM電流の決定等の処理は制御部によって実行される。
図2を参照すると、VCM10に流す電流(VCM電流)と搭載ヘッド(搭載アーム保持部6)の変位の関係が示されている。
搭載アーム11に被搭載素子13を保持していない状態で、VCM電流を変化させると、図2のプロット1のようなデータを取得できる。すなわち、搭載アーム保持部6が、上ストッパ7に接触した状態から、浮遊した状態、下ストッパ8に接触した状態の3つの状態の電流と、搭載アーム位置の関係を得ることができる。
浮遊状態では、VCM電流によって発生するVCM推力と、弾性案内3を構成する平行板バネ5の復元力とがつりあう位置が取得される。VCM推力はVCM電流に比例し、平行板バネ5の弾性変形量はVCM推力に比例するため、浮遊状態はVCM電流に比例し、図7の直線1として表現できる。
直線1の直線近似においては、取得した図2のプロット1を、図3のような3区間に分割する。その際、区間を分割した後に区間ごとに直線近似するのではなく、3直線を同時に最小二乗法でフィッティングすることが好ましい。すなわち、プロット1を3区間に分割して、それぞれの区間ごとに直線近似し、全区間での残差の2乗和を求める。これを繰り返して、最も残差の2乗和の小さかった分割パターンを使用する。
例えば、図4には、サンプリングが8点の場合の分割パターンが示されている。各区間に最低2点を含むように分割すると、分割パターンは6通りある。この中で、図5のような残差の2乗和が最も小さい分割パターンが最良のフィッティングおよび区間分割として選ばれる。さらに、サンプリングがN点の場合は、(N−5)×(N−4)/2通りの分割パターンとなる。
この直線近似においては、上ストッパ接触状態の直線および下ストッパ接触状態の直線は、傾きがほぼ0という条件が既知なので、フィッティングの条件として適用できる。また、上ストッパ接触と浮遊状態の境界および浮遊状態と下ストッパ接触の境界、すなわち搭載アーム11が下降し始める点および下降が終了する点は、求められた直線の交点となるので、データのサンプリング間隔より詳細に求めることができる。
次に、搭載アーム11に被搭載素子13を保持し、搭載ステージ12に被搭載基板14を保持した状態で、VCM電流を変化させると、図6のプロット2のようなデータを取得できる。すなわち、搭載アーム保持部6が、上ストッパ7に接触した状態から、浮遊した状態、被搭載素子13と被搭載基板14とが接触した状態(素子基板接触状態)の3つの状態の電流と、搭載アーム位置の関係を得ることができる。
片持ち式の搭載アーム11で被搭載素子13に荷重を加える場合、搭載アーム11の弾性変形は無視できない。そのため、片持ち式の搭載アーム11の根元に配置された変位センサ9で取得されるデータには、搭載アーム11の弾性変形量も含まれる。搭載アーム11の弾性変形は、被搭載素子13に加えられる荷重に比例するため、図7の直線2のように取得される。直線2のフィッティングは、前記の直線1と同様に行えばよい。
このように、被搭載素子13と被搭載基板14との接触点は、図7において、直線1と直線2との交点として、データサンプリング間隔以下の高い精度で求めることができる。
なお、直線1は、搭載アーム11に被搭載素子13を保持していない状態(初期状態)で取得したデータに基づく近似直線を用いてもよいし、搭載アーム11に被搭載素子13を保持し、搭載ステージ12に被搭載基板14を保持した状態(保持状態)で取得したデータで浮遊状態が十分に近似できる場合は、保持状態で取得したデータに基づく近似直線を用いてもよい。後者の近似直線を用いる場合は、搭載アーム11に被搭載素子13を保持していない状態(初期状態)でのデータの取得及び直線近似は省略することが可能である。
被搭載素子13と被搭載基板14とを一定の圧力で高精度に加圧するために、被搭載素子13と被搭載基板14との接触点を基点としてVCM電流を決定する。すなわち、接触点でのVCM電流に所望の加圧力となるVCM推力相当の電流を加える。ただし、片持ち式の搭載アーム11では、前記のように加圧によって搭載アーム11が弾性変形するため、搭載アーム保持部6は前記の接触点よりも下降していることになる。そのため、搭載アーム11の弾性変形量すなわち搭載アーム保持部6の下降量だけ、弾性案内3を構成する平行板バネ5から追加の復元力を受けることになる。しかしながら、直線2から所望の加圧力に対する搭載アーム保持部6の下降量を計算できるので、さらに直線1から搭載アーム保持部6の下降量に対する追加の復元力を求めることで、加圧力の損失を補償できる。
なお、本実施例は、弾性案内3を使用した片持ち式の搭載アーム11について詳細に述べたが、搭載ヘッド(搭載アーム保持部6)が、上ストッパ接触状態、浮遊状態、下ストッパ接触状態(又は素子基板接触状態)の3つの状態を持つ素子搭載装置であれば、いかなるものでも良い。
次に、本発明の第2の実施例に係る素子実装装置及び素子実装方法について、図8を参照して説明する。
第2の実施例は、図3のような取得データのフィッティングにおいて、計算高速化のために計算回数を減らすものである。図4のように全ての分割パターンを施行する場合、その分割パターンはサンプリング点数Nに対して、(N−5)×(N−4)/2通りとなる。例えば、サンプリング点数が100点の場合、4560通りの3直線のフィッティングおよび残差の2乗和の計算をすることになる。サンプリング点数が100点程度の場合、この処理は数秒で完了するが、さらにサンプリング点数を増やした場合や、実行時間が問題となる場合には、次のようにしてもよい。
図3において、上ストッパ接触状態や下ストッパ接触状態では、搭載アーム11の機械的な振動が殆どなく1μm以下で安定している。そこで、図8に示すように、VCM電流を変化させた際、搭載ヘッド(搭載アーム保持部6)の位置が上ストッパ接触状態から一定値、例えば10μm降下した位置のVCM電流を区間[1]の分割特徴点[1]とし、逆に搭載ヘッド(搭載アーム保持部6)の位置が下ストッパ接触状態から一定値、例えば10μm上昇した位置のVCM電流を区間[3]の分割特徴点[3]とする。
区間[1]の範囲が分割特徴点[1]上にあるとき、区間[1]の範囲は最大となる。同様に、区間[3]の範囲が分割特徴点[3]上にあるとき、区間[3]の範囲は最大となる。フィッティングにおいては、求めた区間[1]の最大範囲および区間[3]の最大範囲から範囲を縮小する方向に区間の範囲を変化させればよい。こうすることで、区間分割のパターンを減らせば計算量を減らすことができ、計算を高速化できる。
なお、上記手法は一例であり、特徴点を求めて、その特徴点に基づいて区間分割し、計算量を減らす方法であれば、どのような方法でも良い。
また、上記各実施例では、本発明の手法を半導体素子の実装に適用する場合について記載したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、高い精度で加圧力を制御することが求められる任意の機器の実装に対して同様に適用することができる。
本発明は、片持ち式の搭載アームを使用する構造を持つ素子搭載装置及びその素子搭載装置を用いた素子実装方法に利用可能である。
1 素子実装装置
2 Zステージ
3 弾性案内
4 板バネ保持部
5 平行板バネ
6 搭載アーム保持部
7 上ストッパ
8 下ストッパ
9 変位センサ
10 ボイスコイルモータ
11 搭載アーム
12 搭載ステージ
13 被搭載素子
14 被搭載基板
2 Zステージ
3 弾性案内
4 板バネ保持部
5 平行板バネ
6 搭載アーム保持部
7 上ストッパ
8 下ストッパ
9 変位センサ
10 ボイスコイルモータ
11 搭載アーム
12 搭載ステージ
13 被搭載素子
14 被搭載基板
Claims (8)
- 板バネを含む弾性案内と、前記弾性案内をZ軸方向に移動させる駆動手段と、前記弾性案内のZ軸方向の位置を検出する変位センサと、前記弾性案内に一端が固定され、他端で被搭載素子を保持する搭載アームと、被搭載基板を保持する搭載ステージと、前記変位センサで検出した前記弾性案内の位置を取得すると共に前記駆動手段に供給する電流を制御する制御部と、を少なくとも備える素子実装装置において、
前記制御部は、
前記被搭載素子及び前記被搭載基板が保持されている保持状態で、前記弾性案内の位置と前記駆動手段に供給する電流との関係を示すデータを取得し、前記弾性案内が上限位置で保持される第1の区間と、前記電流の変化に伴って前記位置が変化する第2の区間と、前記第2の区間よりも前記位置の変化が小さい第3の区間の各々に対して、前記データを直線近似し、
前記第2の区間における前記データの近似直線と、前記第3の区間における前記データの近似直線との交点位置に基づいて、前記被搭載素子と前記被搭載基板とが接触した状態における前記弾性案内の基準位置を特定する、ことを特徴とする素子実装装置。 - 前記制御部は、
更に、前記被搭載素子及び前記被搭載基板が保持されていない初期状態で前記データの取得及び直線近似を行い、
前記初期状態の前記第2の区間における前記データの近似直線と、前記保持状態の前記第3の区間における前記データの近似直線との交点位置に基づいて、前記基準位置を特定する、ことを特徴とする請求項1に記載の素子実装装置。 - 前記制御部は、
前記保持状態の前記第3の区間における前記データの近似直線と、前記第2の区間における前記データの近似直線とに基づいて、所望の加圧力に対する前記基準位置からの前記弾性案内の変位による復元力を補償するように、前記駆動手段に供給する電流を決定する、ことを特徴とする請求項1又は2に記載の素子実装装置。 - 前記制御部は、
前記3つの区間における前記データと前記近似直線との誤差の総和が最小となるように近似を行う、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一に記載の素子実装装置。 - 板バネを含む弾性案内と、前記弾性案内をZ軸方向に移動させる駆動手段と、前記弾性案内のZ軸方向の位置を検出する変位センサと、前記弾性案内に一端が固定され、他端で被搭載素子を保持する搭載アームと、被搭載基板を保持する搭載ステージと、を少なくとも備える素子実装装置における素子実装方法であって、
前記被搭載素子及び前記被搭載基板が保持されている保持状態で、
前記弾性案内の位置と前記駆動手段に供給する電流との関係を示すデータを取得する第1のステップと、
前記弾性案内が上限位置で保持される第1の区間と、前記電流の変化に伴って前記位置が変化する第2の区間と、前記第2の区間よりも前記位置の変化が小さい第3の区間の各々に対して、前記データを直線近似する第2のステップと、
前記第2の区間における前記データの近似直線と、前記第3の区間における前記データの近似直線との交点位置に基づいて、前記被搭載素子と前記被搭載基板とが接触した状態における前記弾性案内の基準位置を特定する第3のステップと、を少なくとも実行することを特徴とする素子実装方法。 - 更に、前記被搭載素子及び前記被搭載基板が保持されていない初期状態で、前記第1及び第2のステップを実行し、
前記第3のステップでは、前記初期状態の前記第2の区間における前記データの近似直線と、前記保持状態の前記第3の区間における前記データの近似直線との交点位置に基づいて、前記基準位置を特定する、ことを特徴とする請求項5に記載の素子実装方法。 - 前記保持状態の前記第3の区間における前記データの近似直線と、前記第2の区間における前記データの近似直線とに基づいて、所望の加圧力に対する前記基準位置からの前記弾性案内の変位による復元力を補償するように、前記駆動手段に供給する電流を決定する第4のステップを更に実行する、ことを特徴とする請求項5又は6に記載の素子実装方法。
- 前記第2のステップでは、前記3つの区間における前記データと前記近似直線との誤差の総和が最小となるように近似を行う、ことを特徴とする請求項5乃至7のいずれか一に記載の素子実装方法。
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