JP2010145103A - Surface inspection device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To constitute inexpensively a surface inspection device 100 by using a USB camera 3, and to solve a deficiency occurring when using the USB camera 3. <P>SOLUTION: This device is equipped with: the USB camera 3 for imaging the surface of an inspection object W; a memory part 43 for performing at any time, overwrite updation of image data outputted from the USB camera 3 by API (Application Program Interface) of a GPU (Graphic Processing Unit) 42; and an image processing part 442 for acquiring image data of the inspection object W from the memory part 43, and processing the data. When acquiring image data before and after change of the inspection object W, the image processing part 442 acquires in a plurality of times, image data from the memory part 43 after the changing time, and uses the image data as image data after the change, when acquiring image data different from image data acquired in the first place after the changing time. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、USBポートに接続されるUSBカメラを用いた表面検査装置に関するものである。   The present invention relates to a surface inspection apparatus using a USB camera connected to a USB port.

従来、表面検査装置としては、例えば特許文献1に示すように、検査対象物に検査光を照射する光源と、検査光が検査対象物にある傷等の欠陥により生じる散乱光を撮像する撮像部と、当該撮像部からの画像データを取得して上書き更新されるメモリ部と、当該メモリ部から画像データを取得して画像処理を行う画像処理部と、を備えたものがある。ここで、撮像部は、トリガー送信機能を有し、撮像時刻情報を含む画像データを出力するカメラが用いられ、メモリ部内に既に記憶されている画像データを消去するためのトリガー信号を出力して、メモリ部内の画像データを消去した後に、新しい画像データを送信するものである。   Conventionally, as a surface inspection apparatus, for example, as shown in Patent Document 1, a light source that irradiates an inspection object with inspection light and an imaging unit that images scattered light caused by defects such as scratches on the inspection object. And a memory unit that obtains image data from the imaging unit and overwrites and updates, and an image processing unit that obtains image data from the memory unit and performs image processing. Here, the imaging unit has a trigger transmission function and uses a camera that outputs image data including imaging time information, and outputs a trigger signal for erasing image data already stored in the memory unit. After erasing the image data in the memory unit, new image data is transmitted.

しかしながら、このトリガー送信機能を有するカメラは高価であり、その結果装置全体として高価なものになってしまうという問題がある。   However, a camera having this trigger transmission function is expensive, and as a result, there is a problem that the entire apparatus becomes expensive.

このようなことから、トリガー送信機能を有さない比較的安価なUSBカメラを用いて表面検査装置を構成することが考えられる。   For this reason, it is conceivable to configure the surface inspection apparatus using a relatively inexpensive USB camera that does not have a trigger transmission function.

しかしながら、USBカメラは、USBポート等のコネクタポートによりコンピュータに接続されており、USBカメラにより得られた画像データをメモリ部に記憶させる制御は、CPUとは別に設けられたGPUのAPI(例えばWindows(登録商標)のDirectX)により制御されている。このとき、コネクタポートにその他の機器が接続されている場合などには、USBカメラから随時送信される各画像データが常にメモリ部に送信されるわけではなく、USBカメラから画像データが送信される毎にメモリ部の画像データが更新されない場合がある。   However, a USB camera is connected to a computer via a connector port such as a USB port, and control for storing image data obtained by the USB camera in a memory unit is performed by using a GPU API (for example, Windows) provided separately from the CPU. (Registered Trademark) DirectX). At this time, when other devices are connected to the connector port, each image data transmitted from the USB camera is not always transmitted to the memory unit, and the image data is transmitted from the USB camera. The image data in the memory unit may not be updated every time.

一方、表面検査に必要な画像処理は、CPUの制御によりメモリ部から画像データを取得するが、このとき、メモリ部に格納されている画像データが最新の画像データか否か等、画像データの撮像時刻がCPUからは判断できないという問題がある。そうすると、CPUが所定時刻の画像データを取得したとしても、実際には所定時刻以前の画像データである可能性があり、表面検査の検査結果の信頼性が失われてしまうという問題がある。
特開2007−285911号公報
On the other hand, the image processing necessary for the surface inspection acquires image data from the memory unit under the control of the CPU. At this time, whether the image data stored in the memory unit is the latest image data or the like. There is a problem that the imaging time cannot be determined from the CPU. Then, even if the CPU acquires image data at a predetermined time, there is a possibility that the image data may actually be image data before the predetermined time, and the reliability of the inspection result of the surface inspection is lost.
JP 2007-285911 A

そこで本発明は、上記問題点を一挙に解決するためになされたものであり、USBカメラを用いて表面検査装置を安価に構成すると共に、USBカメラを用いた際に生じる不具合を解決することをその主たる所期課題とするものである。   Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems all at once, and is intended to solve a problem caused when a USB camera is used while configuring a surface inspection apparatus at a low cost using a USB camera. This is the main desired issue.

すなわち本発明に係る表面検査装置は、検査対象物の表面を撮像し、それによって得られた画像により前記検査対象物の表面検査を行う表面検査装置であって、前記検査対象物の表面を撮像するUSBカメラと、前記USBカメラから出力される画像データが、グラフィックプロセッシングユニット(GPU)のアプリケーションプログラムインターフェース(API)により随時上書き更新されるメモリ部と、前記検査対象物の画像データを前記メモリ部から取得して処理する画像処理部と、を具備し、前記画像処理部が、前記検査対象物の変化前後の画像データを取得するにあたり、その変化時刻後に前記メモリ部から画像データを複数回取得し、変化時刻後最初に取得した画像データと異なる画像データを取得した場合に、当該画像データを変化後の画像データとすることを特徴とする。   That is, the surface inspection apparatus according to the present invention is a surface inspection apparatus that images the surface of an inspection object and inspects the surface of the inspection object by an image obtained thereby, and images the surface of the inspection object. A USB camera, a memory unit in which image data output from the USB camera is overwritten and updated at any time by an application program interface (API) of a graphic processing unit (GPU), and image data of the inspection object is stored in the memory unit An image processing unit that acquires and processes image data from the memory unit a plurality of times after the change time when the image processing unit acquires image data before and after the change of the inspection object. When image data different from the image data acquired first after the change time is acquired, Characterized in that the image data after changing the data.

このようなものであれば、USBカメラを用いて表面検査装置を安価に構成すると共に、画像処理部が、変化時刻後最初に取得した画像データと異なる画像データを取得した場合に、当該画像データを変化後の画像データとしているので、変化時刻前の画像データを取得して、当該画像データを変化後の画像データと判断することなく、USBカメラを用いた際に生じる不具合を解決することができる。   In such a case, when the surface inspection apparatus is configured at low cost using a USB camera and the image processing unit acquires image data different from the image data acquired first after the change time, the image data Is used as the image data after the change, so that it is possible to solve the problem that occurs when the USB camera is used without acquiring the image data before the change time and determining that the image data is the image data after the change. it can.

また、検査対象物の自動に変化させて、検査対象物の連続検査を可能にするためには、前記検査対象物の姿勢を変化させる姿勢変化機構と、前記姿勢変化機構を制御する機構制御部と、をさらに備え、前記機構制御部が、前記画像処理部に姿勢変化させた時刻を示す時刻信号を前記画像処理部に送信し、前記画像処理部が、その時刻信号により変化時刻を認識するものであることが望ましい。   In addition, in order to change the inspection object automatically and enable continuous inspection of the inspection object, a posture change mechanism that changes the posture of the inspection object and a mechanism control unit that controls the posture change mechanism And the mechanism control unit transmits to the image processing unit a time signal indicating the time when the attitude of the image processing unit is changed, and the image processing unit recognizes the change time based on the time signal. It is desirable to be a thing.

前記検査対象物が、回転体形状をなすものであり、前記姿勢変化機構が、前記検査対象物を中心軸周りに回転させるものである場合に、一見して画像の区別が付きにくく上気問題点が顕著になるところ、本発明によれば、この問題点を好適に解決することができる。   When the inspection object has a rotating body shape and the posture change mechanism rotates the inspection object around a central axis, it is difficult to distinguish images at first glance. Where the point becomes remarkable, according to the present invention, this problem can be preferably solved.

このように本発明によれば、USBカメラを用いて表面検査装置を安価に構成すると共に、USBカメラを用いた際に生じる不具合を解決することができる。   As described above, according to the present invention, the surface inspection apparatus can be configured at a low cost using a USB camera, and problems caused when the USB camera is used can be solved.

次に、本発明に係る表面検査装置100について図面を参照して説明する。なお、図1は本実施形態に係る表面検査装置100の構成を示す模式図、図2は表面検査装置100におけるUSBカメラ3及び偏光板の具体的な配置を示す図、図3は表面検査装置100の機器構成を示す模式図、図4はUSBカメラ3の画像データ送信タイミング、メモリ部43の記憶タイミング及び画像処理部442の画像取得タイミングを示す図である。   Next, the surface inspection apparatus 100 according to the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is a schematic diagram illustrating the configuration of the surface inspection apparatus 100 according to the present embodiment, FIG. 2 is a diagram illustrating a specific arrangement of the USB camera 3 and the polarizing plate in the surface inspection apparatus 100, and FIG. 3 is a surface inspection apparatus. FIG. 4 is a diagram showing the image data transmission timing of the USB camera 3, the storage timing of the memory unit 43, and the image acquisition timing of the image processing unit 442.

<装置構成>
本実施形態に係る表面検査装置100は、回転体形状をなす例えば円柱状の鉄材等の検査対象物Wの表面の傷W1等の有無を検出するものであり、図1に示すように、検査対象物Wに対して検査光L1を照射する光照射部2と、当該検査光L1が照射された検査対象物Wから生じる散乱光L2を撮像するUSBカメラ3と、検査対象物Wの姿勢を変化させる姿勢変化機構(不図示)と、当該USBカメラ3がUSBポートを介して接続されるとともに、姿勢変化機構の制御を行う情報処理装置(コンピュータ)4とを備えている。
<Device configuration>
The surface inspection apparatus 100 according to the present embodiment detects the presence or absence of a scratch W1 or the like on the surface of an inspection object W such as a columnar iron material having a rotating body shape. As shown in FIG. The light irradiation unit 2 that irradiates the inspection object L1 to the object W, the USB camera 3 that images the scattered light L2 generated from the inspection object W irradiated with the inspection light L1, and the posture of the inspection object W A posture changing mechanism (not shown) to be changed, and the USB camera 3 are connected via a USB port, and an information processing device (computer) 4 that controls the posture changing mechanism.

以下に各部について説明する。   Each part will be described below.

光照射部2は、検査対象物Wに対して平行光を照射するものであり、光源である高輝度LED等のLED21と、当該LED21から射出される光を平行光に変換するフレネルレンズ22とを備えている。また、フレネルレンズ22の光射出側前方には、偏光板5が設けられている。また、光照射部2は、後述する複数のUSBカメラ3それぞれに対応して1つずつ設けられている。   The light irradiation unit 2 irradiates the inspection object W with parallel light, and is an LED 21 such as a high-intensity LED that is a light source, and a Fresnel lens 22 that converts light emitted from the LED 21 into parallel light. It has. A polarizing plate 5 is provided in front of the light emission side of the Fresnel lens 22. Moreover, the light irradiation part 2 is provided 1 each corresponding to each of several USB camera 3 mentioned later.

USBカメラ3は、検査対象物Wの外側周上面を撮像して、例えば周波数60Hzで随時画像データを情報処理装置4に出力する例えばWEBカメラであり、検査対象物Wの上方において、当該検査対象物Wを囲むように複数個設けられている。具体的には、図2に示すように、検査対象物Wの外側周上面を撮像するために、等角度間隔に8個設けられている。つまり、USBカメラ3は、検査対象物Wを囲むように45度間隔で設けられている。また、USBカメラ3の前方には、検査光L1が照射された検査対象物Wで反射された反射光L3を撮像せず、散乱光L2のみを撮像するために、偏光板6が設けられている。各vカメラ3は、情報処理装置4にUSBコネクタ41により接続されている。   The USB camera 3 is, for example, a WEB camera that images the outer peripheral upper surface of the inspection target W and outputs image data to the information processing apparatus 4 at any time, for example, at a frequency of 60 Hz, and above the inspection target W, the inspection target A plurality are provided so as to surround the object W. Specifically, as shown in FIG. 2, in order to image the outer peripheral upper surface of the inspection object W, eight are provided at equiangular intervals. That is, the USB camera 3 is provided at 45 degree intervals so as to surround the inspection object W. In addition, a polarizing plate 6 is provided in front of the USB camera 3 to capture only the scattered light L2 without imaging the reflected light L3 reflected by the inspection object W irradiated with the inspection light L1. Yes. Each v camera 3 is connected to the information processing apparatus 4 by a USB connector 41.

姿勢変化機構は、回転体形状をなす検査対象物Wを中心軸周りに回転させることにより検査対象物Wの姿勢を変化させるものであり、検査対象物Wの例えば両端面を支持する支持部材と、当該支持部材を回転駆動することにより検査対象物Wを中心軸周りに回転させるモータ等のアクチュエータと、を備えている。   The posture change mechanism changes the posture of the inspection object W by rotating the inspection object W having a rotating body shape around the central axis, and supports, for example, both end faces of the inspection object W; And an actuator such as a motor for rotating the inspection object W around the central axis by rotationally driving the support member.

情報処理装置4は、USBカメラ3から随時送信される画像データを取得して、得られた画像データを用いて検査対象物Wの表面検査を行うとともに、姿勢変化機構の制御を行うものであり、その具体的な機器構成は、図3に示すように、USBコネクタ41、AD変換器(不図示)、グラフィックプロセッシングユニット(GPU)42、メモリ部43、中央演算ユニット(CPU)44及びディスプレイ45等を備えた汎用乃至専用のコンピュータである。そして、図示しないメインメモリの所定領域に記憶された所定プログラムにしたがって、CPU44、周辺機器を協働させることにより、機構制御部441、画像処理部442等としての機能を発揮する。   The information processing apparatus 4 acquires image data transmitted from the USB camera 3 as needed, performs surface inspection of the inspection object W using the obtained image data, and controls the posture change mechanism. As shown in FIG. 3, the specific device configuration includes a USB connector 41, an AD converter (not shown), a graphic processing unit (GPU) 42, a memory unit 43, a central processing unit (CPU) 44, and a display 45. It is a general purpose or dedicated computer equipped with the above. Then, in accordance with a predetermined program stored in a predetermined area of the main memory (not shown), the CPU 44 and peripheral devices cooperate to exert functions as the mechanism control unit 441, the image processing unit 442, and the like.

GPU42は、USBコネクタ41に接続されたUSBカメラ3から随時送信される画像データを例えばWindows(登録商標)が提供するDirectX等のアプリケーションプログラムインターフェース(API)によりメモリ部43に送信する。   The GPU 42 transmits image data transmitted as needed from the USB camera 3 connected to the USB connector 41 to the memory unit 43 through an application program interface (API) such as DirectX provided by Windows (registered trademark).

メモリ部43は、例えばDRAM又はVRAM等の揮発性メモリであり、GPU42から送信される画像データをその都度上書き更新して記憶する。また、メモリ部43は、各USBカメラ3に対応して複数個設けられている。   The memory unit 43 is a volatile memory such as DRAM or VRAM, for example, and overwrites and stores the image data transmitted from the GPU 42 each time. A plurality of memory units 43 are provided corresponding to the respective USB cameras 3.

機構制御部441は、姿勢変化機構のアクチュエータを制御するものであり、当該アクチュエータに駆動信号を出力すると共に、当該アクチュエータを駆動した時刻(具体的には、検査対象物Wの回転が終了した時刻)を示す時刻信号を画像処理部442に送信する。   The mechanism control unit 441 controls the actuator of the posture change mechanism, outputs a drive signal to the actuator, and drives the actuator (specifically, the time when the rotation of the inspection object W ends). ) Is transmitted to the image processing unit 442.

画像処理部442は、メモリ部43に記憶されている画像データを取得して、表面検査を行うためのものである。具体的に画像処理部442は、各姿勢における検査対象物Wの表面の画像データを取得して、各姿勢における検査対象物Wの表面検査を行うための画像処理を行うものである。より詳細には、画像処理部442は、各姿勢における画像データを複数取得して、複数の画像データを積分して、傷W1により生じた散乱光L2の輝度を高めると共にノイズ除去を行い、その画像データをディスプレイ45に出力する。これにより、検査対象物の外側周上面の画像が表示され、傷W1がある場合には、当該傷W1が強調して表示され、外側周上面の傷W1を検査することができる。   The image processing unit 442 is for obtaining image data stored in the memory unit 43 and performing surface inspection. Specifically, the image processing unit 442 acquires image data of the surface of the inspection target W in each posture and performs image processing for performing a surface inspection of the inspection target W in each posture. More specifically, the image processing unit 442 acquires a plurality of pieces of image data in each posture, integrates the plurality of pieces of image data, increases the luminance of the scattered light L2 generated by the scratch W1, and removes noise. The image data is output to the display 45. Thereby, an image of the outer peripheral upper surface of the inspection object is displayed, and when there is a scratch W1, the scratch W1 is displayed with emphasis, and the scratch W1 on the outer peripheral upper surface can be inspected.

しかして本実施形態の画像処理部442は、検査対象物Wの変化前後の画像データを取得するにあたり、その変化時刻後にメモリ部43から画像データを複数回取得し、変化時刻後最初に取得した画像データと異なる画像データを取得した場合に、当該画像データを変化後の画像データとする。   Therefore, when acquiring the image data before and after the change of the inspection object W, the image processing unit 442 of the present embodiment acquires the image data from the memory unit 43 a plurality of times after the change time, and first acquires the image data after the change time. When image data different from the image data is acquired, the image data is set as image data after change.

具体的には、図4に示すように、画像処理部442は、回転前の複数の異なる画像データを取得する共に、機構制御部441から時刻信号を受け付けた後は、回転後の複数の異なる画像データを取得する。このとき、画像処理部442は、時刻信号を受け付けた後に、取得した画像データのうち、最初に取得した画像データ(図4中では(i)のタイミングに取得した画像データ)と、それ以降に取得した画像データとを比較して、最初に取得した画像データと異なる画像データが得られた場合(図4中では(ii)のタイミングに取得した画像データ)には、それ以降に取得した画像データを回転後の画像データとする。   Specifically, as illustrated in FIG. 4, the image processing unit 442 acquires a plurality of different image data before rotation, and after receiving a time signal from the mechanism control unit 441, a plurality of different image data after rotation. Get image data. At this time, after receiving the time signal, the image processing unit 442 first acquires the image data (image data acquired at the timing (i) in FIG. 4) among the acquired image data, and thereafter When image data different from the first acquired image data is obtained by comparing with the acquired image data (image data acquired at the timing (ii) in FIG. 4), the image acquired after that is acquired. The data is the rotated image data.

<本実施形態の効果>
このように構成した本実施形態に係る表面検査装置100によれば、USBカメラ3を用いて表面検査装置100を安価に構成すると共に、画像処理部442が、変化時刻後最初に取得した画像データと異なる画像データを取得した場合に、当該画像データを変化後の画像データとしているので、変化時刻前の画像データを取得して、当該画像データを変化後の画像データと判断することなく、USBカメラ3を用いた際に生じる不具合を解決することができる。
<Effect of this embodiment>
According to the surface inspection apparatus 100 according to the present embodiment configured as described above, the surface inspection apparatus 100 is configured at low cost using the USB camera 3, and the image data first acquired by the image processing unit 442 after the change time is obtained. When the image data different from the image data is acquired, the image data is used as the image data after the change. Therefore, the image data before the change time is acquired, and the image data is not determined as the image data after the change. Problems caused when the camera 3 is used can be solved.

<その他の変形実施形態>
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
<Other modified embodiments>
The present invention is not limited to the above embodiment.

例えば、前記実施形態の検査対象物Wの回転は、姿勢変化機構により、検査対象物Wを中心軸周りに回転させるものであったが、その他の回転態様であっても良い。   For example, the rotation of the inspection object W in the embodiment is to rotate the inspection object W around the central axis by the posture change mechanism, but other rotation modes may be used.

また、前記実施形態の検査対象物Wの変化は、姿勢変化機構による検査対象物Wの姿勢変化であったが、その他、ベルトコンベアなどの搬送機構により複数の検査対象物Wを搬送することによって、検査対象物W自体を変化させるものであっても良い。   In addition, the change in the inspection object W in the above embodiment is a change in the posture of the inspection object W by the attitude change mechanism. In addition, by conveying a plurality of inspection objects W by a conveyance mechanism such as a belt conveyor. The inspection object W itself may be changed.

また、USBカメラ3の個数及び配置態様は、検査対象物Wの表面を撮像できるものであれば、前記実施形態に限定されない。   Further, the number and arrangement of the USB cameras 3 are not limited to the above embodiment as long as the surface of the inspection object W can be imaged.

さらに、前記実施形態では、回転体形状をなす検査対象物Wを検査するものであったが、その他、曲面状表面を検査するものであっても良いし、平面状表面を検査するものであっても良い。   Furthermore, in the above-described embodiment, the inspection object W having a rotating body shape is inspected. However, in addition, a curved surface may be inspected, and a planar surface may be inspected. May be.

その他、前述した実施形態や変形実施形態の一部又は全部を適宜組み合わせてよいし、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であることは言うまでもない。   In addition, some or all of the above-described embodiments and modified embodiments may be combined as appropriate, and the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. .

本実施形態に係る表面検査装置の構成を示す模式図。The schematic diagram which shows the structure of the surface inspection apparatus which concerns on this embodiment. 同実施形態のUSBカメラ及び偏光板の具体的な配置を示す図。The figure which shows the specific arrangement | positioning of the USB camera and polarizing plate of the embodiment. 同実施形態の表面検査装置の機器構成を示す模式図。The schematic diagram which shows the apparatus structure of the surface inspection apparatus of the embodiment. USBカメラの画像データ送信タイミング、メモリ部の記憶タイミング及び画像取得部の画像取得タイミングを示す図。The figure which shows the image data transmission timing of a USB camera, the storage timing of a memory part, and the image acquisition timing of an image acquisition part.

符号の説明Explanation of symbols

100・・・表面検査装置
W ・・・検査対象物
3 ・・・USBカメラ
42 ・・・グラフィックプロセッシングユニット(GPU)
43 ・・・メモリ部
441・・・機構制御部
442・・・画像処理部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 ... Surface inspection apparatus W ... Inspection object 3 ... USB camera 42 ... Graphic processing unit (GPU)
43: Memory unit 441: Mechanism control unit 442: Image processing unit

Claims (3)

検査対象物の表面を撮像し、それによって得られた画像により前記検査対象物の表面検査を行う表面検査装置であって、
前記検査対象物の表面を撮像するUSBカメラと、
前記USBカメラから出力される画像データが、グラフィックプロセッシングユニットのアプリケーションプログラムインターフェースにより随時上書き更新されるメモリ部と、
前記検査対象物の画像データを前記メモリ部から取得して処理する画像処理部と、を具備し、
前記画像処理部が、前記検査対象物の変化前後の画像データを取得するにあたり、その変化時間以後に前記メモリ部から画像データを複数回取得し、変化時刻後最初に取得した画像データと異なる画像データを取得した場合に、当該画像データを変化後の画像データとする、表面検査装置。
A surface inspection device that images the surface of an inspection object and inspects the surface of the inspection object by an image obtained thereby,
A USB camera that images the surface of the inspection object;
A memory unit in which image data output from the USB camera is overwritten and updated at any time by an application program interface of the graphic processing unit;
An image processing unit that acquires and processes image data of the inspection object from the memory unit, and
When the image processing unit acquires the image data before and after the change of the inspection object, the image processing unit acquires the image data from the memory unit a plurality of times after the change time, and is different from the image data acquired first after the change time. A surface inspection apparatus that, when data is acquired, sets the image data as changed image data.
前記検査対象物の姿勢を変化させる姿勢変化機構と、
前記姿勢変化機構を制御する機構制御部と、をさらに備え、
前記機構制御部が、前記画像処理部に姿勢変化させた時刻を示す時刻信号を前記画像処理部に送信し、
前記画像処理部が、その時刻信号により変化時刻を認識するものである請求項1記載の表面検査装置。
A posture change mechanism for changing the posture of the inspection object;
A mechanism control unit that controls the posture change mechanism;
The mechanism control unit transmits a time signal indicating the time when the attitude of the image processing unit is changed to the image processing unit,
The surface inspection apparatus according to claim 1, wherein the image processing unit recognizes a change time from the time signal.
前記検査対象物が、回転体形状をなすものであり、
前記姿勢変化機構が、前記検査対象物を中心軸周りに回転させるものである請求項2記載の表面検査装置。
The inspection object has a rotating body shape,
The surface inspection apparatus according to claim 2, wherein the posture changing mechanism rotates the inspection object around a central axis.
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