JP2010131477A - 超音波発振器及びプログラム書き込み方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る超音波発振器は、超音波素子に超音波振動用信号を発振させるための超音波発振器において、信号を発生させる信号発生回2dを有するプログラマブルマルチ制御回路2と、前記プログラマブルマルチ制御回路からの信号の出力を調整する出力調整回路5とを具備し、前記プログラマブルマルチ制御回路は、前記出力調整回路に電気的に接続された電力制御回路2aと、前記出力調整回路に電気的に接続された位相比較回路2bと、前記位相比較回路に電気的に接続された周波数制御回路2cと、前記周波数制御回路に前記信号発生回路を介して電気的に接続された信号変調回路2eと、を有することを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
信号を発生させる信号発生回路を有するプログラマブルマルチ制御回路と、
前記プログラマブルマルチ制御回路からの信号の出力を調整する出力調整回路と、
を具備することを特徴とする。
前記プログラマブルマルチ制御回路は電力制御回路を有し、
前記電力制御回路は、前記電圧検出回路及び前記電流検出回路によって検出された電圧波形及び電流波形から電圧実効値、電流実効値及び位相差を検出し、必要な電力と現在出力されている電力を比較し、その比較結果を用いて前記電源回路からの電源出力を調整するものであることが好ましい。
前記プログラマブルマルチ制御回路は、位相比較回路及び周波数制御回路を有し、
前記位相比較回路は、前記電圧検出回路及び前記電流検出回路によって検出された電圧波形及び電流波形から位相を算出し、この算出結果を用いて前記超音波素子の最適周波数に対して現在出力されている周波数の高低を判断し、この判断結果を用いて前記周波数制御回路によって前記信号発生回路から発生させる信号の周波数を調整するものであることが好ましい。
前記出力調整回路に電気的に接続された電力制御回路と、
前記出力調整回路に電気的に接続された位相比較回路と、
前記位相比較回路に電気的に接続された周波数制御回路と、
前記周波数制御回路に前記信号発生回路を介して電気的に接続された信号変調回路と、
を有することが好ましい。
前記電力増幅回路は前記出力調整回路に電気的に接続されており、
前記電力制御回路は前記電源回路に電気的に接続されていることが好ましい。
前記プログラマブルマルチ制御回路に電子端末機器(例えばパーソナルコンピュータ)を接続し、前記電子端末機器からデータを入力することにより前記プログラマブルマルチ制御回路にプログラムを書き込むことを特徴とする。
前記プログラマブルマルチ制御回路にサブICを介して記録媒体を接続し、前記記録媒体からデータを前記サブICを介して入力することにより前記プログラマブルマルチ制御回路にプログラムを書き込むことを特徴とする。
図1(A)は、本発明の実施形態による超音波振動装置の構成を示す概略図であり、図1(B)は、図1(A)に示す超音波振動装置の構成を詳細に示す概略図である。
このウエハ洗浄装置9は、ウエハ10に超音波洗浄を行う装置であって、発振器本体1と、超音波素子8と、この超音波素子8から超音波が出力される洗浄液が入れられた洗浄槽11とを有している。
2…プログラマブルマルチ制御回路
2a…電力制御回路
2b…位相比較回路
2c…周波数制御回路
2d…信号発生回路
2e…信号変調回路
3…信号増幅回路
4…電力増幅回路
5…出力調整回路
5a…接続ユニット(出力調整回路)
6…電源回路
8…超音波素子
9…ウエハ洗浄装置
10…ウエハ
11…洗浄槽
12…電子端末機器
13…サブIC
14…USB、フロッピー(登録商標)等の記録媒体
Claims (8)
- 超音波素子に超音波振動用信号を発振させるための超音波発振器において、
信号を発生させる信号発生回路を有するプログラマブルマルチ制御回路と、
前記プログラマブルマルチ制御回路からの信号の出力を調整する出力調整回路と、
を具備することを特徴とする超音波発振器。 - 請求項1において、前記プログラマブルマルチ制御回路から出力された信号に電力を供給する電源回路と、前記出力調整回路から前記超音波素子へ出力される信号の電圧波形及び電流波形を検出する電圧検出回路及び電流検出回路とをさらに具備し、
前記プログラマブルマルチ制御回路は電力制御回路を有し、
前記電力制御回路は、前記電圧検出回路及び前記電流検出回路によって検出された電圧波形及び電流波形から電圧実効値、電流実効値及び位相差を検出し、必要な電力と現在出力されている電力を比較し、その比較結果を用いて前記電源回路からの電源出力を調整するものであることを特徴とする超音波発振器。 - 請求項1において、前記出力調整回路から前記超音波素子へ出力される信号の電圧波形及び電流波形を検出する電圧検出回路及び電流検出回路をさらに具備し、
前記プログラマブルマルチ制御回路は、位相比較回路及び周波数制御回路を有し、
前記位相比較回路は、前記電圧検出回路及び前記電流検出回路によって検出された電圧波形及び電流波形から位相を算出し、この算出結果を用いて前記超音波素子の最適周波数に対して現在出力されている周波数の高低を判断し、この判断結果を用いて前記周波数制御回路によって前記信号発生回路から発生させる信号の周波数を調整するものであることを特徴とする超音波発振器。 - 請求項1において、外部指令によってバーストのON・OFF、バースト波形そのもののパラメータが前記プログラマブルマルチ制御回路に入力され、前記プログラマブルマルチ制御回路において、前記外部指令を元にバースト波形のパラメータが設定され、バーストの基準波形が生成され、この生成されたバースト波形が前記出力調整回路を介して前記超音波素子に出力されることを特徴とする超音波発振器。
- 請求項1において、前記プログラマブルマルチ制御回路は、
前記出力調整回路に電気的に接続された電力制御回路と、
前記出力調整回路に電気的に接続された位相比較回路と、
前記位相比較回路に電気的に接続された周波数制御回路と、
前記周波数制御回路に前記信号発生回路を介して電気的に接続された信号変調回路と、
を有することを特徴とする超音波発振器。 - 請求項5において、前記信号変調回路から出力された信号を増幅させる信号増幅回路と、前記信号増幅回路から出力された信号に電力を入力する電源回路と、前記電源回路から入力された電力を増幅させる電力増幅回路とをさらに具備し、
前記電力増幅回路は前記出力調整回路に電気的に接続されており、
前記電力制御回路は前記電源回路に電気的に接続されていることを特徴とする超音波発振器。 - 請求項1乃至6のいずれか一項の超音波発振器における前記プログラマブルマルチ制御回路にプログラムを書き込む方法であって、
前記プログラマブルマルチ制御回路に電子端末機器を接続し、前記電子端末機器からデータを入力することにより前記プログラマブルマルチ制御回路にプログラムを書き込むことを特徴とするプログラム書き込み方法。 - 請求項1乃至6のいずれか一項の超音波発振器における前記プログラマブルマルチ制御回路にプログラムを書き込む方法であって、
前記プログラマブルマルチ制御回路にサブICを介して記録媒体を接続し、前記記録媒体からデータを前記サブICを介して入力することにより前記プログラマブルマルチ制御回路にプログラムを書き込むことを特徴とするプログラム書き込み方法。
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