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Abstract
【解決手段】スイッチ部またはバッファ部と、論理回路部と、画素部と、を有する表示装置において、画素部は、第1の逆スタガ型薄膜トランジスタと、第1の逆スタガ型薄膜トランジスタの配線に接続する画素電極と、を有し、スイッチ部またはバッファ部は、第1の絶縁層、半導体層、及び第2の絶縁層を挟む第1のゲート電極及び第2のゲート電極を有する第2の逆スタガ型薄膜トランジスタを有し、論理回路部は、第3の逆スタガ型薄膜トランジスタ及び第4の逆スタガ型薄膜トランジスタにより構成されるインバータ回路を有し、第1の逆スタガ型薄膜トランジスタ乃至第4の逆スタガ型薄膜トランジスタは、同じ極性とする。インバータ回路はEDMOS回路である。
【選択図】図7
Description
本実施の形態では、本発明の一形態である表示装置について、ブロック図等を参照して説明する。
本実施の形態では、実施の形態1にて説明した表示装置の駆動回路の回路図等について図3乃至図6を参照して説明する。
本実施の形態においては、実施の形態1及び実施の形態2に示す表示装置において、論理回路部、スイッチ部、及び画素部の薄膜トランジスタの構造について示す。表示装置に用いる薄膜トランジスタは、p型よりもn型の方が、キャリアの移動度が高い。また、同一の基板上に形成する薄膜トランジスタを全て同じ極性に統一すると、工程数を抑えることができ、好ましい。そのため、本実施の形態では、n型の薄膜トランジスタについて説明する。
ここでは、図7示す表示装置の作製方法について、図15乃至図18を用いて示す。本実施の形態では、n型の薄膜トランジスタの作製方法(「方法1」)について説明する。
本実施の形態では、本発明の一形態である表示装置に設けられる保護回路について図面を参照して説明する。実施の形態1の図2における保護回路134〜136に用いられる保護回路の具体的な回路構成の例について、図24を参照して説明する。以下の説明ではn型トランジスタを設ける場合についてのみ説明するが、本発明はこれに限定されない。
本実施の形態では、本発明の表示装置の端子部について図25を参照して説明する。
次に、上記実施の形態にて説明した液晶表示装置及び発光表示装置に搭載する表示パネル又は発光パネルの一形態について、図面(断面図)を参照して説明する。
本発明に係る薄膜トランジスタを有する半導体装置は、さまざまな電子機器(遊技機も含む)に適用することができる。電子機器としては、例えば、テレビジョン装置(テレビ、またはテレビジョン受信機ともいう)、コンピュータ用のモニタ、電子ペーパー、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機(携帯電話、携帯電話装置ともいう)、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、パチンコ機等の大型ゲーム機等が挙げられる。
Claims (8)
- スイッチ部またはバッファ部と、論理回路部と、画素部と、を有し、
前記画素部は、第1の逆スタガ型薄膜トランジスタと、前記第1の逆スタガ型薄膜トランジスタの配線に接続する画素電極と、を有し、
前記スイッチ部またはバッファ部は、第2の逆スタガ型薄膜トランジスタを有し、
前記論理回路部は、第3の逆スタガ型薄膜トランジスタ及び第4の逆スタガ型薄膜トランジスタにより構成されるインバータ回路を有し、
前記第1の逆スタガ型薄膜トランジスタ乃至第4の逆スタガ型薄膜トランジスタは、同じ極性であり、
前記第1の逆スタガ型薄膜トランジスタ乃至第4の逆スタガ型薄膜トランジスタは、ゲート電極と、前記ゲート電極上に形成される第1のゲート絶縁層と、前記第1のゲート絶縁層上に形成される第1の微結晶半導体層と、前記第1の微結晶半導体層上に形成される錐形状の突起を複数有する第2の微結晶半導体層と、前記第2の微結晶半導体層上に形成される一対の非晶質半導体層と、前記一対の非晶質半導体層上に形成される一対の不純物半導体層とを有し、
前記第2の逆スタガ型薄膜トランジスタは、前記第2の微結晶半導体層及び前記一対の非晶質半導体層上に形成される第2のゲート絶縁層と、前記ゲート電極に重畳し、且つ前記第2のゲート絶縁層に接するバックゲート電極と、を有することを特徴とする表示装置。 - スイッチ部またはバッファ部と、論理回路部と、画素部と、を有し、
前記画素部は、第1の逆スタガ型薄膜トランジスタと、前記第1の逆スタガ型薄膜トランジスタの配線に接続する画素電極と、を有し、
前記スイッチ部またはバッファ部は、第2の逆スタガ型薄膜トランジスタを有し、
前記論理回路部は、第3の逆スタガ型薄膜トランジスタ及び第4の逆スタガ型薄膜トランジスタにより構成されるEDMOS回路を有し、
前記第1の逆スタガ型薄膜トランジスタ乃至第4の逆スタガ型薄膜トランジスタは、同じ極性であり、
前記第1の逆スタガ型薄膜トランジスタ乃至第4の逆スタガ型薄膜トランジスタは、ゲート電極と、前記ゲート電極上に形成される第1のゲート絶縁層と、前記第1のゲート絶縁層上に形成される第1の微結晶半導体層と、前記第1の微結晶半導体層上に形成される錐形状の突起を複数有する第2の微結晶半導体層と、前記第2の微結晶半導体層上に形成される一対の非晶質半導体層と、前記一対の非晶質半導体層上に形成される一対の不純物半導体層とを有し、
前記第2の逆スタガ型薄膜トランジスタに形成される前記第1の微結晶半導体層は、ドナーとなる不純物元素を含むことを特徴とする表示装置。 - 請求項1または請求項2において、
前記第3の逆スタガ型薄膜トランジスタは、前記第2の微結晶半導体層及び前記一対の非晶質半導体層上に形成される第2のゲート絶縁層と、前記ゲート電極に重畳し、且つ前記第2のゲート絶縁層に接するバックゲート電極と、を有することを特徴とする表示装置。 - 請求項1または請求項2において、
前記第3の逆スタガ型薄膜トランジスタは、デプレッション型の薄膜トランジスタであることを特徴とする表示装置。 - 請求項4において、
前記第3の逆スタガ型薄膜トランジスタは、前記第1の微結晶半導体層に、ドナーとなる不純物元素を含むことを特徴とする表示装置。 - 請求項1または請求項2において、
前記第3の逆スタガ型薄膜トランジスタは、エンハンスメント型の薄膜トランジスタであることを特徴とする表示装置。 - 請求項6において、
前記第3の逆スタガ型薄膜トランジスタは、前記第1の微結晶半導体層に、アクセプタとなる不純物元素を含むことを特徴とする表示装置。 - 請求項1乃至請求項7のいずれか一項において、前記第1の逆スタガ型薄膜トランジスタ乃至第4の逆スタガ型薄膜トランジスタが有する錐形状の突起を複数有する第2の微結晶半導体層は、一方の面が前記第1の微結晶半導体層に接し、他方の面が絶縁層に接することを特徴とする表示装置。
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