JP2010104190A - 振動アクチュエータ、レンズ鏡筒およびカメラ - Google Patents

Abstract

【課題】小型化を損なわず、異物侵入に対処し、かつモータの駆動による温度上昇を低減した振動アクチュエータを提供する。
【解決手段】本発明の振動アクチュエータ（２０１，２０２，２０３，２０４）は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気機械変換素子（１３）により振動波を生じる振動体（１２）と、該前記振動体（１２）と加圧接触する接触面（１５ａ）を有し、前記振動波によって前記接触面（１５ａ）が駆動されることにより前記振動体（１２）に対して回転移動する第１の回転移動部材（１５）と、前記第１の回転移動部材（１５）の回転に応じて回転し、かつ前記接触面（１５ａ）の外周側を覆うカバー部材（３０，４０，５０，６０，７０）と、を備えること、を特徴とする。
【選択図】図２

Description

本発明は、圧電体の伸縮を利用して移動子を駆動する振動アクチュエータおよびそれを備えたレンズ鏡筒、カメラに関するものである。

振動アクチュエータは、圧電体の伸縮を利用して弾性体の駆動面に進行性振動波（以下、進行波という）を発生させ、この進行波によって駆動面に楕円運動を生じさせ、楕円運動の波頭に加圧接触した移動子を駆動するものである。このような振動アクチュエータは、低回転でも高トルクを有するという特徴があるため、駆動装置に搭載した場合に、駆動装置のギアを省略することができる。このため、ギアによる騒音をなくすことで静寂化が達成可能であり、また位置決め精度が向上されるといった利点もある。

近年、この振動アクチュエータにおいて、径を従来の１／３〜１／５倍程度とする小型化、軽量化が進んでいる。そして、小型化された振動アクチュエータに対して、駆動効率や駆動性能の向上が様々に検討されている。

この小型化された振動アクチュエータにおける第一の課題点として、異物の侵入の影響が大きいことがあげられる。小型振動アクチュエータは、摺動径が小さいため、弾性体と移動子との接触面積が、大型の物より小さくなり、大型タイプでは問題ならない程度の異物や液体の駆動面への侵入でも、駆動性能が劣化したり、駆動停止したりする場合があるからである。そのため、異物の侵入対策を施す必要があり、これに対して、従来、振動アクチュエータ全体をカバーする技術が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
特開平６−３２７２７２号公報

しかし、振動アクチュエータ全体をカバーすると、全体としての大きさがカバー分大きくなり、小型化を阻害することとなる。
また、小型化された振動アクチュエータにおいての第二の課題点として、弾性体および移動子の駆動による温度上昇があげられる。小型振動アクチュエータは、体積が小さくなるため、弾性体と移動子との摩擦駆動による摩擦熱がこもりやすく、かつ放熱されにくいからである。弾性体および移動子が温度上昇すると、駆動信号を一定周波数として定速駆動させようとしても、雰囲気温度よりも高い温度で駆動された場合と同じになり、回転数が下がり、駆動制御に影響する。そのため、温度上昇を低減する対策を施す必要がある。
しかし、上記従来技術のように振動アクチュエータ全体をカバーすると、カバー内にこもった空気により、小型の振動アクチュエータの温度上昇を併発する。

本発明は、小型化を損なわず、異物侵入に対処し、かつ振動アクチュエータの駆動による温度上昇を低減した振動アクチュエータを提供することを目的とする。

本発明は、以下のような解決手段により前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。
請求項１に記載の発明は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気機械変換素子（１３）により振動波を生じる振動体（１２）と、前記振動体（１２）と加圧接触する接触面（１５ａ）を有し、前記振動波によって前記接触面（１５ａ）が駆動されることにより前記振動体（１２）に対して回転移動する第１の回転移動部材（１５）と、前記第１の回転移動部材（１５）の回転に応じて回転し、かつ前記接触面（１５ａ）の外周側を覆うカバー部材（３０，４０，５０，６０，７０）と、を備えること、を特徴とする振動アクチュエータ（２０１，２０２，２０３，２０４）である。
請求項２に記載の発明は、請求項１記載の振動アクチュエータ（２０１，２０２，２０３，２０４）において、前記第１の回転移動部材（１５）に結合され、前記第１の回転部材の回転により回転駆動される第２の回転部材（１８）を備え、前記カバー部材（３０，４０，５０，６０，７０）は、前記第２の回転部材（１８）に結合されていること、を特徴とする振動アクチュエータ（２０１，２０２，２０３，２０４）である。
請求項３に記載の発明は、請求項２記載の振動アクチュエータ（２０１，２０２，２０３，２０４）において、前記カバー部材（３０，４０，５０，６０，７０）は、前記第１の回転部材（１５）の前記接触面側と反対側の位置において、前記第２の回転部材（１８）と結合されていること、を特徴とする振動アクチュエータ（２０１，２０２，２０３，２０４）である。
請求項４に記載の発明は、請求項１から３のいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（２０１，２０２，２０３，２０４）において、前記カバー部材（３０，４０，５０，６０，７０）は、前記第１の回転部材（１５）の前記接触面側と反対側の位置から前記接触面の外周側へと延びた部分を有すること、を特徴とする振動アクチュエータ（２０１，２０２，２０３，２０４）である。
請求項５に記載の発明は、請求項１から４までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（２０１，２０２，２０３，２０４）において、前記カバー部材（３０，４０，５０，６０，７０）は、前記第１の回転移動部材（１５）および前記振動体（１２）と非接触であること、を特徴とする振動アクチュエータ（２０１，２０２，２０３，２０４）である。
請求項６に記載の発明は、請求項１から５までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（２０１，２０２，２０３，２０４）において、前記第１の回転移動部材（１５）と前記第２の回転移動部材（１８）とは、同一の回転軸Ｃを中心に回転移動すること、を特徴とする振動アクチュエータで（２０１，２０２，２０３，２０４）ある。
請求項７に記載の発明は、請求項１から６までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（２０１，２０２，２０３，２０４）において、該振動アクチュエータ（２０１，２０２，２０３，２０４）は、他部材に固定される固定部（１６）を備え、該固定部（１６）の外周側は前記カバー部材（３０，４０，５０，６０，７０）の被覆領域外であること、を特徴とする振動アクチュエータ（２０１，２０２，２０３，２０４）である。
請求項８に記載の発明は、請求項１から７までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（２０２）において、前記カバー部材（４０）は、前記加圧接触面（１５ａ）の前記外周側を囲む部分の内周面に突起（４１）を有すること、を特徴とする振動アクチュエータ（２０２）である。
請求項９に記載の発明は、請求項１から６までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、前記カバー部材（５０）における前記接触面（１５ａ）の前記外周を囲む部分には、回転移動方向と交差する方向に貫通する開口部分が設けられていること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項１０に記載の発明は、請求項１から９までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータ（２０３）において、前記カバー部材（６０）は、前記加圧接触面（１５ａ）の前記外周側を囲む部分の内周面に異物付着構造（６１）を有すること、を特徴とする振動アクチュエータ（２０３）である。
請求項１１に記載の発明は、請求項１から１０までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備えたレンズ鏡筒である。
請求項１２に記載の発明は、請求項１から１０までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備えたカメラである。

なお、符号を付して説明した構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。

本発明によれば、小型化を損なわず、異物侵入に対処し、かつ振動アクチュエータの駆動による温度上昇を低減した振動アクチュエータを提供することができる。

以下、本発明にかかる振動アクチュエータの実施形態について、添付図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下の実施形態では、振動アクチュエータとして、超音波の振動域を利用した超音波モータを例にして説明する。

（第１実施形態）
図１は、第１実施形態の超音波モータ２０１を備えるカメラ１の概略図である。カメラ１は、撮像素子を有するカメラボディ２と、レンズ７を有するレンズ鏡筒３とを備えている。レンズ鏡筒３は、カメラボディ２に着脱可能な交換レンズである。なお、本実施形態では、レンズ鏡筒３は、交換レンズである例を示したが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒としてもよい。

レンズ鏡筒３は、レンズ７、カム筒６、ギア４，５、超音波モータ２０１等を備えている。本実施形態では、超音波モータ２０１は、カメラ１のフォーカス動作時にレンズ７を駆動する駆動源として用いられている。超音波モータ２０１から得られた駆動力は、ギア４，５を介してカム筒６に伝えられる。レンズ７は、カム筒６に保持されており、超音波モータ２０１の駆動力により、光軸方向Ｌに略平行に移動して、焦点調節を行うフォーカスレンズである。

図１において、レンズ鏡筒３内に設けられたレンズ群（レンズ７を含む）によって、撮像素子８の撮像面に被写体像が結像される。撮像素子８によって、結像された被写体像は電気信号に変換され、その信号をＡ／Ｄ変換することによって、画像データが得られる。

図２は、第１実施形態の超音波モータ２０１の断面図である。超音波モータ２０１は、例えばφ１５以下の小型の超音波モータ２０１であり、振動子１１、移動子１５、出力軸１８、加圧部材１９等を備え、振動子１１側を固定とし、移動子１５を回転駆動する形態となっている。

振動子１１は、電気一機械変換素子（以下、圧電体と称する）１３と、圧電体１３が接合された弾性体１２とを有する略円環形状の部材である。弾性体１２は、共振先鋭度が大きな金属材料によって形成され、その形状は、略円環形状である。この弾性体１２は、櫛歯部１２ａ、ベース部１２ｂ、フランジ部１２ｃを有する。

櫛歯部１２ａは、圧電体１３が接合される面とは反対側の面に、複数の溝を切って形成され、この櫛歯部１２ａの先端面は、移動子１５の加圧接触面１５ａに加圧接触され、移動子１５を駆動する駆動面１２ｄとなる。この駆動面１２ｄには、Ｎｉ−Ｐ（ニッケル−リン）メッキ等の潤滑性の表面処理が施されている。櫛歯部１２ａを設ける理由は、圧電体１３の伸縮により駆動面１２ｄに生じる進行波の中立面をできる限り圧電体１３側へ近づけ、これにより駆動面１２ｄの進行波の振幅を増幅させるためである。

ベース部１２ｂは、弾性体１２の周方向に連続した部分であり、ベース部１２ｂの櫛歯部１２ａとは反対側の面である接合面１２ｅに、圧電体１３が接合されている。フランジ部１２ｃは、弾性体１２の内径方向に突出した鍔状の部分である。このフランジ部１２ｃにより、振動子１１は、固定部材１６に固定されている。

圧電体１３は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気機械変換素子である。本実施形態では、圧電体１３として圧電素子を用いたが、電歪素子等を用いてもよい。圧電体１３は、略円環形状の部材であり、弾性体１２の周方向に沿って２つの相（Ａ相、Ｂ相）の電気信号が入力される範囲に分かれている。各相には、１／２波長毎に分極が交互となった要素が並べられている。Ａ相とＢ相との間には、１／４波長分の間隔が空けられている。この圧電体１３は、接着材等を用いて弾性体１２と接合されている。

フレキシブルプリント基板１４は、その配線が圧電体１３の各相の電極に接続されている。フレキシブルプリント基板１４には、後述の増幅部１０４，１０５（図３参照）から駆動信号が供給され、この駆動信号によって、圧電体１３が伸縮する。振動子１１には、この圧電体１３の伸縮により、弾性体１２の駆動面に進行波が発生する。本実施形態では、４波の進行波が発生している。

移動子１５は、後述するが、弾性体１２の駆動面１２ｄに生じる進行波によって回転駆動される部材である。出力軸１８は、略円柱形状の部材である。出力軸１８は、一方の端部がゴム部材２３を介して移動子１５に接しており、移動子１５と一体に回転軸Ｃを中心として回転するように設けられている。ゴム部材２３は、ゴムにより形成された略円環形状の部材である。このゴム部材２３は、ゴムによる粘弾性で移動子１５と出力軸１８とを一体に回転可能とする機能と、移動子１５からの振動を出力軸１８へ伝えないように振動を吸収する機能とを有しており、ブチルゴム、シリコンゴム、プロピレンゴム等が用いられている。

加圧部材１９は、振動子１１と移動子１５とを加圧接触させる加圧力を発生する部材であり、ギア部材２０とベアリング受け部材２１との間に設けられている。本実施形態では、加圧部材１９は、圧縮コイルバネを用いているが、これに限定されるものではない。ギア部材２０は、出力軸１８のＤカットに嵌まるように挿入され、Ｅリング等のストッパ２２で固定され、回転方向および軸方向に出力軸１８と一体となるように設けられている。ギア部材２０は、本実施形態では、図１のギア４と同一の部材であり、出力軸１８の回転とともに回転することにより、ギア５（図１参照）に駆動力を伝達する。

また、ベアリング受け部材２１は、ベアリング１７の内径側に配置され、ベアリング１７は、固定部材１６の内径側に配置された構造となっている。加圧部材１９は、振動子１１を移動子１５側へ、出力軸１８の軸Ｃ方向に加圧しており、この加圧力によって、移動子１５の加圧接触面１５ａは、振動子１１の駆動面１２ｄに加圧接触し、移動子１５は回転駆動される。なお、加圧部材１９とベアリング受け部材２１との間には、加圧力調整ワッシャーを設けて、超音波モータ２０１の駆動に適正な加圧力が得られるようにしてもよい。

本実施形態において超音波モータ２０１は、カバー部材３０を備えている。カバー部材３０は、出力軸１８におけるゴム部材２３が配置されている部分よりもさらに端部に、出力軸１８に対して接着又は嵌め込み式で取り付けられ、出力軸１８とともに回転する。カバー部材３０は、出力軸１８の外周から外径側に延び、移動子１５の形状に沿って、移動子１５の加圧接触面１５ａ及び弾性体の駆動面１２ｄの外周側を覆って振動子１１の櫛歯部１２ａまで延びるが、移動子１５や弾性体１２とは接触しないように配置されている。

図３は、第１実施形態の超音波モータ２０１の駆動装置１００を説明するブロック図である。超音波モータ２０１の駆動装置１００は、発振部１０１と、制御部１０２と、移相部１０３と、増幅部１０４，１０５と、検出部１０６とを有する。発振部１０１は、制御部１０２の指令により所望の周波数の駆動信号を発生する部分である。移相部１０３は、発振部１０１で発生した駆動信号を、９０°位相の異なる２つの駆動信号に分ける部分である。

増幅部１０４，１０５は、移相部１０３によって分けられた２つの駆動信号を、それぞれ所望の電圧に昇圧する部分である。増幅部１０４，１０５からの駆動信号は、超音波モータ２０１に伝達され、この駆動信号の印加により振動子１１に進行波が発生し、移動子１５が駆動される。

検出部１０６は、光学式エンコーダや磁気エンコーダ等により構成され、移動子１５の駆動によって駆動されたレンズ７の位置や速度を検出する部分である。制御部１０２は、カメラボディ２に設けられた不図示のＣＰＵからの駆動指令を基に、超音波モータ２０１の駆動を制御する部分である。制御部１０２は、検出部１０６からの検出信号を受け、その値を基に、位置情報と速度情報を得て、目標位置に位置決めされるように発振部１０１が発生する駆動信号の駆動周波数を制御する。

本実施形態の超音波モータ１０は、以下のように動作する。まず、制御部１０２に目標位置が伝達される。発振部１０１からは、駆動信号が発生し、その信号から、移相部１０３により９０°位相の異なる２つの駆動信号が生成され、増幅部１０４，１０５により所望の電圧に増幅される。

駆動信号は、超音波モータ１０の圧電体１３に印加され、圧電体１３が励振され、その励振によって、弾性体１２には、４次の曲げ振動が発生する。駆動信号は、それぞれ圧電体１３のＡ相とＢ相とに印加される。Ａ相から発生する４次曲げ振動とＢ相から発生する４次曲げ振動とは、位置的な位相が１／４波長ずれるようになっており、また、Ａ相駆動信号とＢ相駆動信号とは、９０°位相がずれているため、２つの曲げ振動は、合成され、４波の進行波となる。

圧電体１３によって上述したように弾性体１２に進行波が発生すると、進行波の波頭には、楕円運動が生じる。弾性体１２の駆動面１２ｄと剛性補強部３０の摺動面３２ａは加圧接触されているので、移動子１５は、この楕円運動によって摩擦駆動されて回転する。移動子１５が回転すると、その回転はゴム部材２３により出力軸１８に伝達され、出力軸１８が回転する。出力軸１８の回転よりギア部材２０が回転され、ギア４，５を介してカム筒６が回転し、レンズ７が移動される。そして、出力軸１８の回転とともに、出力軸１８に取り付けられたカバー部材３０も回転する。

この第１実施形態によると、以下の効果を有する。
超音波モータ２０１はレンズ鏡筒１に組み込まれる。レンズ鏡筒１には様々な部品の摺動部があり、その摺動部には潤滑油を用いることがある。その潤滑油が何らかの衝撃等で飛散する場合がある。また、非潤滑の摺動部からは、摩擦磨耗による磨耗粉の発在があり、その磨耗粉が、何らかの衝撃等で飛散する場合がある。

これらの潤滑油や磨耗粉が、超音波モータ２０１の駆動面１２ｄと加圧接触面１５ａとの間に侵入すると、駆動性能が劣化したり、駆動停止したりする可能性がある。また、潤滑油が侵入した場合には、高温高湿下の環境にさらされた場合に、弾性体１２と移動子１５とが固着結合する可能性がある。

特に、本実施形態のような、φ１５以下の小型超音波モータは、摺動径が小さいため、駆動面１２ｄと加圧接触面１５ａとの間の接触面積が、大型の物より小さくなり、φ５０以上の大型タイプでは問題ならない程度の異物や液体であっても、駆動面１２ｄと加圧接触面１５ａとの間に侵入すると、駆動性能や固着結合に影響する場合がある。

本実施形態では、カバー部材３０を弾性体１２の駆動面１２ｄ、すなわち移動子１５の加圧接触面１５ａの外側を覆うように配置したため、超音波モータ２０１以外のレンズ鏡筒１から発生する潤滑油や磨耗粉の駆動面侵入を防止することができ、駆動性能の劣化を防止することができる。また、カバー部材３０は、超音波モータ２０１の全体ではなく、移動子１５全体と移動子１５の一部を覆う部分的なカバーであるため、小型化という特長を損なうことがない。

（第２実施形態）
図４および図５は、本発明の第２実施形態の超音波モータ２０２を示した図である。図４は図２に対応している。図５は、カバー部材４０の断面図である。第２実施形態が第１実施形態と異なる点は、カバー部材４０の内周側に突起部４１が設けられている点である。カバー部材４０に突起部４１が設けられている以外、第１実施形態と同様であるので、同様な部分の説明は省略する。

カバー部材４０の突起部４１は、図５に示すように、カバー部材４０の内周側に、等間隔で複数形成されている。個々の突起部４１は、図４に示すようにカバー部材４０における、移動子１５の加圧接触面１５ａと弾性体１２の駆動面１２ｄとの外周を覆う部分に、軸Ｃ方向に延びるように設けられている。

第２実施形態の超音波モータ２０２も第１実施形態の超音波モータ２０１と同様に、駆動装置１００により超音波モータ２０２が駆動される。その際、出力軸１８とともに、出力軸１８に取り付けられたカバー部材４０が回転する。

第２実施形態によると、第１実施形態の効果に加え、以下の効果を有する。超音波モータ２０２が小型の場合、体積が小さいため、弾性体１２の駆動面１２ｄと移動子１５の加圧接触面１５ａとの間の摩擦駆動により、弾性体１２における駆動面１２ｄ近傍および移動子１５の加圧接触面１５ａ近傍に摩擦熱がこもりやすく、かつ放熱されにくい。しかし、第２実施形態によると、カバー部材４０の回転により、カバー部材４０の内周側の突起部４１は、大気の流動を発生させ、その大気の流動は、弾性体１２の外周面、櫛歯部１２ａの壁面、および移動子１５の外周面にあたり、超音波モータ２０２の摩擦駆動による熱を大気中に放熱する作用が促進される。

また、摩擦熱は、回転速度が速くなるほど大きくなるため、本実施形態のように出力軸１８にカバー部材４０を結合しておくと、カバー部材４０内側の突起部４１の動きも回転速度とともに大きくなり、摩擦熱が大きくなる際に、より大きな放熱効果が生じる。

なお、カバー部材４０を移動子１５に固定する方法も考えられるが、移動子１５に余計な質量を付加すると（特にハンマー部や摺動部）、移動子１５の振動の固有値が大きく変わってしまう。これにより周波数一回転数特性や最大トルク性能等の駆動性能が大きく変わってしまう可能性がある。しかし、本実施形態では、カバー部材４０を出力軸１８に結合する方法としたため、超音波モータ２０２の駆動性能への影響がない。

（第３実施形態）
図６は、第３実施形態のカバー部材５０を示す図であり、（ａ）はカバー部材５０の断面図、（ｂ）はカバー部材５０の部分斜視図を示す。第３実施形態が第１実施形態と異なる点は、カバー部材５０の端部に内周から外周にかけて斜め（すなわち、内周面あるいは外周面と直交する方向に交差する方向）に形成され、且つ軸Ｃ方向に延びる貫通孔５１が設けられている点である。貫通孔５１は、カバー部材５０における、移動子１５の加圧接触面１５ａと弾性体１２の駆動面１２ｄとの外周を覆う部分に設けられている。カバー部材５０に貫通孔５１が設けられている以外、第１実施形態と同様であるので、同様な部分の説明は省略する。

第３実施形態の超音波モータも第１実施形態の超音波モータ２０１と同様に、駆動装置１００により超音波モータが駆動される。その際、出力軸１８とともに、出力軸１８に取り付けられたカバー部材５０も回転する。

第３実施形態によると、第１実施形態の効果に加え、以下の効果を有する。図６（ａ）に示すように、カバー部材５０がＣＷ方向に回転すると、空気はカバー部材５０の中から外へ流れる。カバー部材５０がＣＣＷ方向に回転すると、空気はカバー部材５０の外から中へ流れる。レンズ鏡筒３に組み込まれた超音波モータは、ＣＷ回転、ＣＣＷ回転を繰り返すため、外から中、中から外と万遍無く空気の流れが発生する。これにより、超音波モータの摩擦駆動による熱を大気中に放熱する作用がさらに促進される。

（第４実施形態）
図７は、本発明の第４実施形態を示した図である。図７は図２に対応している。第４実施形態が第１実施形態と異なる点は、カバー部材６０の駆動面近傍の内周側に粘着テープ６１が貼着されている点である。カバー部材６０に粘着テープ６１が塗布されている以外、第１実施形態と同様であるので、同様な部分の説明は省略する。

第４実施形態の超音波モータ２０３も第１実施形態の超音波モータ２０１と同様に、駆動装置１００により駆動され、その際、出力軸１８とともに、出力軸１８に取り付けられたカバー部材６０も回転する。

第４実施形態によると、第１実施形態の効果に加え、以下の効果を有する。超音波モータ２０３の駆動面の摩擦磨耗による摩擦粉をカバー部材６０の内側に粘着テープ６１に粘着させ、これにより、超音波モータ２０３からレンズ鏡筒３への磨耗粉の飛散が防止される。一方、カバー部材６０は、レンズ鏡筒３の他の部分から発生された異物の、加圧接触面１５ａと駆動面１２ｄとの間への侵入を防止する。このように、超音波モータ２０３とレンズ鏡筒３とは、互いに異物が飛散し合うことを防止することができる。

（第５実施形態）
図８は、本発明の第５実施形態の図である。第５実施形態では、ギア部材２０’が出力軸１８と一体化している。移動子１５とカバー部材７０は、ゴム部材２３により結合されている。カバー部材７０は、出力軸１８のＤカット２４にはまるように挿入され、Ｅクリップ等のストッパー２５で固定され、回転方向および軸方向に軸と一体になるようにされている。

図９は、図８に示す第５実施形態に対する比較形態の超音波モータ２０５を示す図である。比較形態において、移動子１５はゴム部材２３により、出力軸１８のＤカット２４に嵌合された結合部材２７に結合されている。結合部材２７はＥクリップ等のストッパー２５で固定されている。これによって移動子１５は、回転軸１８と一体となって回転する。

第５実施形態は、比較形態の構成に比べ、結合部材２７がカバー部材７０に置き換わっているだけで他は同様である。すなわち、第５実施形態によると、比較形態に対して、部品点数や組立工数を増加することなく、結合部材２７をカバー部材７０に変えるというわずかなコストの増加で本発明の効果が得られる。

（変形形態）
以上、説明した実施形態に限定されることなく、以下に示すような種々の変形や変更が可能であり、それらも本発明の範囲内である。
（１）第２実施形態では、カバー部材４０に設けられた突起部４１は、軸Ｃ方向に対して垂直な断面において三角形状であったが、本発明はこれに限定されない。例えば、軸方向と垂直な断面において突起部は、矩形であってもよく、また半円形であってもよい。
（２）第３実施形態では、貫通孔５１の軸方向断面は、図６（ｂ）に示すように軸Ｃ方向に延びる長方形であったが、本発明はこれに限定されない。軸方向断面は、直方体、円形、楕円形等の種々の形状であってもよい。また、貫通孔５１は、カバー部材５０の内周面あるいは外周面内で閉じた形状である必要はなく、たとえばカバー部材の端部（図６（ｂ）における下方の端部）まで延びた溝状の、下端が閉じていない形状であってもよい。
（３）第４実施形態では、カバー部材６０の内面の全周に粘着テープ６１を貼着したが、本発明はこれに限定されない。例えば粘着材を塗布してもよい。また、粘着テープは円周に沿って断続的に貼着してもよい。
（４）また、第４実施形態においてカバー部材６０の内面に粘着テープや粘着材以外の、例えば静電気によりゴミを吸着するような異物付着構造を設けてもよい。
なお、実施形態および変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。また、本発明は以上説明した実施形態によって限定されることはない。

第１実施形態の超音波モータを備えるカメラの概略図である。 第１実施形態の超音波モータの断面図である。 超音波モータの駆動装置を説明するブロック図である。 第２実施形態の超音波モータの断面図である。 カバー部材の断面図である。 第３実施形態のカバー部材を示す図である 第４実施形態の超音波モータの断面図である。 第５実施形態の超音波モータの断面図である。 比較形態の超音波モータの断面図である。

符号の説明

１１：振動子、１２：弾性体、１３：圧電体、１５：移動子、１６：固定子、１８：出力軸、３０，４０，５０，６０，７０：カバー部材、４１：突起部、５１：貫通孔、６１：粘着テープ

Claims (12)

1. 電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気機械変換素子により振動波を生じる振動体と、
   前記振動体と加圧接触する接触面を有し、前記振動波によって前記接触面が駆動されることにより前記振動体に対して回転移動する第１の回転移動部材と、
   前記第１の回転移動部材の回転に応じて回転し、かつ前記接触面の外周側を覆うカバー部材と、
   を備えること、を特徴とする振動アクチュエータ。
2. 請求項１記載の振動アクチュエータにおいて、
   前記第１の回転移動部材に結合され、前記第１の回転部材の回転により回転駆動される第２の回転部材を備え、
   前記カバー部材は、前記第２の回転部材に結合されていること、
   を特徴とする振動アクチュエータ。
3. 請求項２記載の振動アクチュエータにおいて、
   前記カバー部材は、前記第１の回転部材の前記接触面側と反対側の位置において、前記第２の回転部材と結合されていること、
   を特徴とする振動アクチュエータ。
4. 請求項１から３のいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、
   前記カバー部材は、前記第１の回転部材の前記接触面側と反対側の位置から前記接触面の外周側へと延びた部分を有すること、
   を特徴とする振動アクチュエータ。
5. 請求項１から４までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、
   前記カバー部材は、前記第１の回転移動部材および前記振動体と非接触であること、
   を特徴とする振動アクチュエータ。
6. 請求項１から５までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、
   前記第１の回転移動部材と前記第２の回転移動部材とは、同一の回転軸を中心に回転移動すること、を特徴とする振動アクチュエータ。
7. 請求項１から６までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、
   該振動アクチュエータは、他部材に固定される固定部を備え、
   該固定部の外周側は前記カバー部材の被覆領域外であること、
   を特徴とする振動アクチュエータ。
8. 請求項１から７までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、
   前記カバー部材は、前記加圧接触面の前記外周側を囲む部分の内周面に突起を有すること、
   を特徴とする振動アクチュエータ。
9. 請求項１から６までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、
   前記カバー部材における前記接触面の前記外周を囲む部分には、回転移動方向と交差する方向に貫通する開口部分が設けられていること、
   を特徴とする振動アクチュエータ。
10. 請求項１から９までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータにおいて、
    前記カバー部材は、前記加圧接触面の前記外周側を囲む部分の内周面に異物付着構造を有すること、
    を特徴とする振動アクチュエータ。
11. 請求項１から１０までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備えたレンズ鏡筒。
12. 請求項１から１０までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備えたカメラ。

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