JP2010101751A - Probing inspection device and probing inspection method - Google Patents

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Masataka Deguchi
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a probing inspection device and a probing inspection method which prevent the reduction of a contact area and can secure measuring accuracy and the stability of inspection by securing the parallelism of the tip of an inspection probe with a bus bar. <P>SOLUTION: A screw 12 which projects from a contact surface 11a coming into contact with the bus bar 21 and has a chased portion 12a is formed in an inspection probe 11 while a screwing object 22 which has a chased portion 22a in a contacting object surface 21a with which the inspection probe 11 is brought into contact so that it can be fitted to the chased portion 12a so as to be screwable, and into which the screw 12 can be inserted in a close contact state is opened beforehand in the bus bar 21. The screw 12 is screwed into the screwing object 22 when the inspection probe 11 is brought into contact with the bus bar 21, and by the inspection probe 11 pressed against the bus bar 21, the contact surface 11a is brought into contact with the contacting object surface 21a. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、プロービング検査装置、及び、プロービング検査方法に関し、より詳しくは、プロービング検査の精度を向上させる技術に関する。   The present invention relates to a probing inspection apparatus and a probing inspection method, and more particularly to a technique for improving the accuracy of probing inspection.

従来、ハイブリッド車用ＰＣＵ（パワーコントロールユニット）等の回路基板の検査対象に検査プローブを当接し、該検査プローブを介して印加することによって導通検査を行うプロービング検査が行われている（例えば、特許文献１）。
特開２００７−１７８３１１号公報 2. Description of the Related Art Conventionally, a probing inspection has been performed in which an inspection probe is brought into contact with an inspection target of a circuit board such as a hybrid vehicle PCU (power control unit) and applied through the inspection probe (for example, a patent) Reference 1).
JP 2007-178311 A

従来技術に係る前記プロービング検査において、図６及び図７を用いて説明する。図６は従来技術に係るプロービング検査装置の概略図、図７（ａ）は同じくバスバーが傾斜した場合のプロービング検査装置の使用前における拡大図、図７（ｂ）は同じく使用時における拡大図である。   The probing inspection according to the prior art will be described with reference to FIGS. FIG. 6 is a schematic diagram of a probing inspection apparatus according to the prior art, FIG. 7A is an enlarged view of the probing inspection apparatus when the bus bar is inclined, and FIG. 7B is an enlarged view of the same in use. is there.

図６に示すように、従来技術に係るプロービング検査装置は、検査プローブを備えるものであり、該検査プローブは検査対象であるバスバーと、電圧発生手段である電源及び電流測定手段である電流計を間に介装して、電気的に接続されている。そして、前記検査プローブを図６中矢印Ａ０の方向に移動して前記バスバーに当接させ、高圧印加することで、バスバーに流れる電流量を測定するプロービング検査を行うのである。   As shown in FIG. 6, the probing inspection apparatus according to the prior art includes an inspection probe, and the inspection probe includes a bus bar to be inspected, a power source as voltage generation means, and an ammeter as current measurement means. It is electrically connected with a gap in between. Then, the probe is moved in the direction of arrow A0 in FIG. 6 and brought into contact with the bus bar, and a high voltage is applied to perform a probing test to measure the amount of current flowing through the bus bar.

しかし、図７（ａ）に示すように、例えば検査プローブが当接する部分においてバスバーが傾斜しているような場合は、図７（ｂ）の接触部分Ｂ０の拡大図に示すように、検査プローブ先端とバスバーとの平行度が悪くなり、接触面積が小さくなる。これによって、接触抵抗が増加するために流れる電流量が小さくなり、測定精度が悪くなるという問題があった。また、検査プローブ先端とバスバーとの間隙にスパッタが発生し、スパークによってバスバーが損傷し、内部素子が破壊されるという問題があった。
即ち、上記のように検査プローブ先端とバスバーとの接触面積が小さくなると、プロービング検査の精度悪化に繋がる上に、損傷品の発生によるラインの停止や廃棄損の発生というコスト面での悪影響が大きかったのである。なお、この接触面積の減少は、上記のようにバスバーの傾斜の場合のみならず、検査プローブの経年劣化による摩耗や、組付時における誤差等、その他の原因によって発生する場合もある。 However, as shown in FIG. 7A, for example, when the bus bar is inclined at the portion where the inspection probe abuts, as shown in the enlarged view of the contact portion B0 in FIG. The parallelism between the tip and the bus bar is deteriorated, and the contact area is reduced. As a result, there is a problem in that the amount of current flowing due to the increase in contact resistance is reduced, resulting in poor measurement accuracy. Further, there is a problem that spatter is generated in the gap between the tip of the inspection probe and the bus bar, the bus bar is damaged by the spark, and the internal element is destroyed.
That is, if the contact area between the tip of the inspection probe and the bus bar is reduced as described above, the accuracy of the probing inspection is deteriorated, and the cost is adversely affected by the stoppage of the line due to the occurrence of damaged products and the generation of disposal loss. It was. Note that this reduction in the contact area may occur not only due to the inclination of the bus bar as described above, but also due to other causes such as wear due to aging of the inspection probe, errors during assembly, and the like.

そこで本発明では、上記現状に鑑み、検査プローブ先端とバスバーとの平行度を確保することで接触面積の減少を防止し、測定精度、及び、検査の安定性を確保することができる、プロービング検査装置、及び、プロービング検査方法を提供するものである。   Accordingly, in the present invention, in view of the above situation, the probing inspection can prevent the reduction of the contact area by ensuring the parallelism between the inspection probe tip and the bus bar, and can ensure the measurement accuracy and the stability of the inspection. An apparatus and a probing inspection method are provided.

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。   The problems to be solved by the present invention are as described above. Next, means for solving the problems will be described.

即ち、請求項１においては、検査対象に当接して高圧印加する検査プローブを備える、プロービング検査装置であって、前記検査プローブには、前記検査対象に当接する当接面から突出する挿入部が形成され、前記検査対象には、前記検査プローブが当接される被当接面に、前記挿入部を密着した状態で挿入可能な被挿入部があらかじめ開口され、前記挿入部が前記被挿入部に挿入され、前記検査プローブが前記検査対象に押圧されることで、前記当接面が前記被当接面に当接されるものである。   That is, in claim 1, a probing inspection apparatus comprising an inspection probe that abuts against an inspection object and applies a high voltage, wherein the inspection probe has an insertion portion that protrudes from an abutment surface that contacts the inspection object. The insertion target is formed in advance and has an insertion portion that can be inserted in a state where the insertion portion is in close contact with a contacted surface on which the inspection probe is contacted, and the insertion portion is the insertion target portion. When the inspection probe is pressed against the inspection object, the contact surface comes into contact with the contacted surface.

請求項２においては、前記挿入部は、ねじ切り部が形成された螺合部であり、前記被挿入部は、前記ねじ切り部と螺合可能なねじ切り部が形成された被螺合部であって、前記螺合部は、前記検査プローブの前記検査対象への当接時に前記被螺合部に螺入されるものである。   According to a second aspect of the present invention, the insertion part is a threaded part in which a threaded part is formed, and the inserted part is a threaded part in which a threaded part that can be screwed with the threaded part is formed. The screwing portion is screwed into the screwed portion when the inspection probe comes into contact with the inspection object.

請求項３においては、検査プローブを検査対象に当接し、高圧印加することでプロービング検査を行うプロービング検査方法であって、前記検査プローブには、前記検査対象に当接する当接面から突出する挿入部が形成され、前記検査対象には、前記検査プローブが当接される被当接面に、前記挿入部が密着した状態で挿入可能な被挿入部があらかじめ開口され、前記挿入部を前記被挿入部に挿入し、前記検査プローブを前記検査対象に押圧することで、前記当接面を前記被当接面に当接させて、プロービング検査を行うものである。   The probing inspection method according to claim 3, wherein a probing inspection is performed by abutting an inspection probe against an inspection object and applying a high voltage to the inspection probe, wherein the inspection probe is inserted from a contact surface contacting the inspection object. An insertion portion that can be inserted in a state in which the insertion portion is in close contact with a contacted surface with which the inspection probe is in contact is opened in advance, and the insertion portion is in contact with the inspection target. By inserting the probe into the insertion portion and pressing the inspection probe against the object to be inspected, the contact surface is brought into contact with the contacted surface to perform a probing inspection.

請求項４においては、前記挿入部は、ねじ切り部が形成された螺合部であり、前記被挿入部は、前記ねじ切り部と螺合可能にねじ切り部が形成された被螺合部であって、前記検査プローブの前記検査対象への当接時に、前記螺合部を前記被螺合部に螺入して、プロービング検査を行うものである。   According to a fourth aspect of the present invention, the insertion part is a threaded part in which a threaded part is formed, and the inserted part is a threaded part in which a threaded part is formed so as to be screwable with the threaded part. When the inspection probe is brought into contact with the inspection object, the screwing portion is screwed into the screwed portion to perform a probing inspection.

本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。   As effects of the present invention, the following effects can be obtained.

本発明により、検査プローブ先端とバスバーとの平行度を確保することで接触面積の減少を防止し、測定精度、及び、検査の安定性を確保することができる。   According to the present invention, by ensuring the parallelism between the tip of the inspection probe and the bus bar, the contact area can be prevented from decreasing, and the measurement accuracy and the stability of the inspection can be ensured.

次に、発明の実施の形態を説明する。
図１は本発明に係るプロービング検査装置の概略図である。
図２（ａ）は平常時のプロービング検査装置の使用前における拡大図、（ｂ）は同じく使用時における拡大図である。
図３（ａ）はバスバーが傾斜した場合のプロービング検査装置の使用前における拡大図、（ｂ）は同じく使用時における拡大図である。
図４（ａ）は第一の実施形態における検査プローブを示した平面図、（ｂ）は同じく検査プローブを示した正面図である。
図５は第二の実施形態における検査プローブを示した正面図である。
図６は従来技術に係るプロービング検査装置の概略図である。
図７（ａ）は同じくバスバーが傾斜した場合のプロービング検査装置の使用前における拡大図、（ｂ）は同じく使用時における拡大図である。 Next, embodiments of the invention will be described.
FIG. 1 is a schematic view of a probing inspection apparatus according to the present invention.
FIG. 2 (a) is an enlarged view of the normal probing inspection apparatus before use, and FIG. 2 (b) is an enlarged view of the same in use.
FIG. 3A is an enlarged view of the probing inspection device before use when the bus bar is inclined, and FIG. 3B is an enlarged view of the same in use.
FIG. 4A is a plan view showing the inspection probe in the first embodiment, and FIG. 4B is a front view showing the inspection probe.
FIG. 5 is a front view showing an inspection probe in the second embodiment.
FIG. 6 is a schematic diagram of a probing inspection apparatus according to the prior art.
FIG. 7A is an enlarged view of the probing inspection apparatus when the bus bar is inclined, and FIG. 7B is an enlarged view of the same in use.

［プロービング検査装置１０］
まず始めに、本発明に係るプロービング検査装置１０について、図１から図３を用いて説明をする。
図１に示す如く、プロービング検査装置１０は、従来技術と同様に、検査対象であるバスバー２１に当接する検査プローブ１１を備えるものであり、該検査プローブ１１はバスバー２１と、電圧発生手段である電源３１、及び、電流測定手段である電流計４１を間に介装して電気的に接続されている。そして、前記検査プローブ１１を図１中矢印Ａ１の方向に移動して前記バスバー２１に当接させ、高圧印加することで、バスバー２１に流れる電流量を測定する検査を行うのである。 [Probing inspection device 10]
First, a probing inspection apparatus 10 according to the present invention will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 1, the probing inspection apparatus 10 includes an inspection probe 11 that abuts on a bus bar 21 to be inspected, as in the prior art, and the inspection probe 11 is a bus bar 21 and voltage generating means. A power source 31 and an ammeter 41, which is a current measuring means, are interposed and electrically connected. Then, the inspection probe 11 is moved in the direction of arrow A1 in FIG. 1 and brought into contact with the bus bar 21, and a high voltage is applied to perform an inspection for measuring the amount of current flowing through the bus bar 21.

また、図２（ａ）に示すように、本発明に係る検査プローブ１１には、バスバー２１に当接する当接面１１ａに、該当接面１１ａから突出する螺合部１２が形成されており、前記螺合部１２には、ねじ切り部１２ａが形成されている。
さらに、前記バスバー２１には、前記検査プローブ１１が当接される被当接面２１ａに、前記ねじ切り部１２ａと螺合可能なねじ切り部２２ａが形成され、前記螺合部１２を密着した状態で挿入可能な被螺合部２２があらかじめ開口されている。 Further, as shown in FIG. 2A, the inspection probe 11 according to the present invention is formed with a screwing portion 12 protruding from the corresponding contact surface 11a on the contact surface 11a that contacts the bus bar 21, The threaded portion 12 has a threaded portion 12a.
Further, the bus bar 21 is formed with a threaded portion 22a that can be screwed with the threaded portion 12a on the abutted surface 21a with which the inspection probe 11 is abutted, and the screwed portion 12 is in close contact with the bus bar 21. The insertable threaded portion 22 is opened in advance.

そして、前記検査プローブ１１が図２（ａ）中矢印αの方向に回転されながら矢印Ａ１の方向に移動することで、前記螺合部１２が前記被螺合部２２に螺入され、前記被螺合部２２に螺入された前記螺合部１２に生じる軸力により、前記検査プローブ１１が前記バスバー２１に押圧される。これにより、図２（ｂ）に示す如く前記当接面１１ａが前記被当接面２１ａに当接されるのである。   Then, the inspection probe 11 is moved in the direction of arrow A1 while being rotated in the direction of arrow α in FIG. 2A, so that the screwed portion 12 is screwed into the screwed portion 22, The inspection probe 11 is pressed against the bus bar 21 by the axial force generated in the screwing part 12 screwed into the screwing part 22. As a result, as shown in FIG. 2B, the contact surface 11a contacts the contacted surface 21a.

即ち、本発明に係るプロービング検査方法は、検査プローブ１１をバスバー２１に当接し、高圧印加するものであって、前記検査プローブ１１には、前記バスバー２１に当接する当接面１１ａに、ねじ切り部１２ａが形成された螺合部１２が形成され、前記バスバー２１には、前記検査プローブ１１が当接される被当接面２１ａに、前記ねじ切り部１２ａと螺合可能にねじ切り部２２ａが形成されて、前記螺合部１２が密着した状態で挿入可能な被螺合部２２があらかじめ開口されている。
そして、前記螺合部１２を、前記検査プローブ１１の前記バスバー２１への当接時に前記被螺合部２２に螺入し、前記検査プローブ１１を前記バスバー２１に押圧することで、前記当接面１１ａを前記被当接面２１ａに当接させて、プロービング検査を行うものである。 That is, in the probing inspection method according to the present invention, the inspection probe 11 is brought into contact with the bus bar 21 and a high voltage is applied. The inspection probe 11 has a threaded portion on the contact surface 11a in contact with the bus bar 21. The bus bar 21 is formed with a threaded portion 22a on the abutted surface 21a with which the inspection probe 11 is abutted so as to be screwable with the threaded portion 12a. Thus, a screwed portion 22 that can be inserted in a state where the screwed portion 12 is in close contact is opened in advance.
Then, the screwing portion 12 is screwed into the screwed portion 22 when the inspection probe 11 is in contact with the bus bar 21, and the inspection probe 11 is pressed against the bus bar 21, thereby the contact. The probing inspection is performed by bringing the surface 11a into contact with the contacted surface 21a.

上記のように構成することにより、検査プローブ１１の当接面１１ａは、バスバー２１の被当接面２１ａに対して、単純に押圧されるだけでなく、螺合部１２と被螺合部２２との結合による軸力で強く密着することになる。即ち、前記当接面１１ａと前記被当接面２１ａとを確実に接触させることができ、接触面積の減少に伴う測定精度の悪化や、検査プローブ１１とバスバー２１との間隙におけるスパッタの発生を防止することができるのである。   By configuring as described above, the contact surface 11 a of the inspection probe 11 is not simply pressed against the contacted surface 21 a of the bus bar 21, but also the screwed portion 12 and the screwed portion 22. It will be in close contact with the axial force due to the coupling. That is, the abutting surface 11a and the abutted surface 21a can be reliably brought into contact with each other, so that the measurement accuracy is deteriorated due to the reduction in the contact area, and spatter is generated in the gap between the inspection probe 11 and the bus bar 21. It can be prevented.

さらに、図３（ａ）に示すように、例えば検査プローブ１１が当接する部分においてバスバー２１が傾斜している場合であっても、前記螺合部１２が前記被螺合部２２に螺入されることにより、検査プローブ先端１１ｂとバスバー２１との平行度を回復することができるのである。つまり、図３（ｂ）の接触部分Ｂ１の拡大図に示すように、前記当接面１１ａと前記被当接面２１ａの接触面積を確保することができるため、接触抵抗が増加しないために流れる電流量に影響を与えず、測定精度を確保することが可能となるのである。また、検査プローブ先端１１ｂとバスバー２１との間に間隙が生じないのでスパッタが発生することなく、バスバー２１が損傷し、内部素子が破壊されるという問題を防ぐことができるのである。
即ち、上記のように検査プローブ先端１１ｂとバスバー２１との接触面積を確保することにより、検査プローブ１１とバスバー２１との間での通電状態を安定させることができ、プロービング検査の精度を確保すると共に、ラインが停止するリスクを低減させることが可能となるのである。 Further, as shown in FIG. 3A, for example, even when the bus bar 21 is inclined at the portion where the inspection probe 11 abuts, the screwed portion 12 is screwed into the screwed portion 22. Thus, the parallelism between the inspection probe tip 11b and the bus bar 21 can be recovered. That is, as shown in the enlarged view of the contact portion B1 in FIG. 3B, the contact area between the contact surface 11a and the contacted surface 21a can be secured, so that the contact resistance does not increase. It is possible to ensure measurement accuracy without affecting the amount of current. Further, since no gap is generated between the inspection probe tip 11b and the bus bar 21, it is possible to prevent the problem that the bus bar 21 is damaged and the internal elements are destroyed without causing sputtering.
That is, by ensuring the contact area between the inspection probe tip 11b and the bus bar 21 as described above, the energization state between the inspection probe 11 and the bus bar 21 can be stabilized, and the accuracy of the probing inspection is ensured. At the same time, it is possible to reduce the risk that the line stops.

［検査プローブ１１の回転駆動機構の実施形態］
次に、検査プローブ１１の回転駆動機構の、第一の実施形態について、図４（ａ）、（ｂ）を用いて説明する。
前記検査プローブ１１は、前述のように、前記バスバー２１に当接する当接面１１ａに螺合部１２が形成されていて、前記検査プローブ１１を回転することによって前記螺合部１２をバスバー２１の被螺合部２２に螺入するように構成している。
本実施形態においては図４（ａ）、（ｂ）に示す如く、検査プローブ１１はトルク伝達ベルト５１及びプーリ５２によって伝達される回転駆動力により回転駆動されるように構成されている。即ち、前記トルク伝達ベルト５１が図４（ａ）中矢印βの方向に移動することにより、プーリ５２がトルク伝達ベルト５１の移動方向に回転するのである。これによって検査プローブ１１が図４（ｂ）中矢印αの方向に回転し、螺合部１２が前記被螺合部２２に螺入されるのである。なお、本実施形態においては回転の伝達手段としてトルク伝達ベルト５１を用いたが、チェーンやギヤ等、他の回転伝達手段によるものでもよく、本実施形態に限定されるものではない。 [Embodiment of Rotation Drive Mechanism of Inspection Probe 11]
Next, a first embodiment of the rotation drive mechanism of the inspection probe 11 will be described with reference to FIGS.
As described above, the inspection probe 11 is formed with the screwing portion 12 on the contact surface 11 a that contacts the bus bar 21. By rotating the inspection probe 11, the screwing portion 12 is moved to the bus bar 21. It is configured to be screwed into the screwed portion 22.
In this embodiment, as shown in FIGS. 4A and 4B, the inspection probe 11 is configured to be rotationally driven by the rotational driving force transmitted by the torque transmission belt 51 and the pulley 52. That is, when the torque transmission belt 51 moves in the direction of arrow β in FIG. 4A, the pulley 52 rotates in the moving direction of the torque transmission belt 51. As a result, the inspection probe 11 rotates in the direction of the arrow α in FIG. 4B, and the screwing portion 12 is screwed into the screwed portion 22. In this embodiment, the torque transmission belt 51 is used as the rotation transmission means. However, other rotation transmission means such as a chain and a gear may be used, and the present invention is not limited to this embodiment.

次に、検査プローブ１１の回転駆動機構の、第二の実施形態について、図５を用いて説明する。
本実施形態においては、検査プローブ１１はモータ６１によって直接回転駆動させられる。即ち、前記モータ６１の駆動により検査プローブ１１が図５中矢印αの方向に回転することにより、螺合部１２が前記被螺合部２２に螺入されるのである。 Next, a second embodiment of the rotation drive mechanism of the inspection probe 11 will be described with reference to FIG.
In the present embodiment, the inspection probe 11 is directly rotated by a motor 61. That is, when the inspection probe 11 is rotated in the direction of arrow α in FIG. 5 by driving the motor 61, the screwing portion 12 is screwed into the screwed portion 22.

本発明に係るプロービング検査装置の概略図。1 is a schematic diagram of a probing inspection apparatus according to the present invention. （ａ）は平常時のプロービング検査装置の使用前における拡大図、（ｂ）は同じく使用時における拡大図。(A) is an enlarged view before using the probing inspection apparatus in normal times, and (b) is an enlarged view at the same time in use. （ａ）はバスバーが傾斜した場合のプロービング検査装置の使用前における拡大図、（ｂ）は同じく使用時における拡大図。(A) is an enlarged view before use of the probing inspection apparatus when the bus bar is inclined, and (b) is an enlarged view at the same time of use. （ａ）は第一の実施形態における検査プローブを示した平面図、（ｂ）は同じく検査プローブを示した正面図。(A) is the top view which showed the test | inspection probe in 1st embodiment, (b) is the front view which similarly showed the test | inspection probe. 第二の実施形態における検査プローブを示した正面図。The front view which showed the test | inspection probe in 2nd embodiment. 従来技術に係るプロービング検査装置の概略図。Schematic of the probing inspection apparatus according to the prior art. （ａ）は同じくバスバーが傾斜した場合のプロービング検査装置の使用前における拡大図、（ｂ）は同じく使用時における拡大図。(A) is an enlarged view before use of the probing inspection apparatus when the bus bar is inclined, and (b) is an enlarged view at the same time of use.

符号の説明Explanation of symbols

１０ プロービング検査装置
１１ 検査プローブ
１１ａ 当接面
１２ 螺合部
２１ バスバー
２１ａ 被当接面
２２ 被螺合部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Probing inspection apparatus 11 Inspection probe 11a Contact surface 12 Screwing part 21 Bus bar 21a Contacted surface 22 Screwed part

Claims (4)

検査対象に当接して高圧印加する検査プローブを備える、プロービング検査装置であって、
前記検査プローブには、前記検査対象に当接する当接面から突出する挿入部が形成され、
前記検査対象には、前記検査プローブが当接される被当接面に、前記挿入部を密着した状態で挿入可能な被挿入部があらかじめ開口され、
前記挿入部が前記被挿入部に挿入され、前記検査プローブが前記検査対象に押圧されることで、前記当接面が前記被当接面に当接される、
ことを特徴とする、プロービング検査装置。 A probing inspection device comprising an inspection probe that abuts against an inspection object and applies a high voltage,
The inspection probe is formed with an insertion portion protruding from a contact surface that contacts the inspection object,
In the inspection object, an inserted portion that can be inserted in a state in which the insertion portion is in close contact with a contacted surface on which the inspection probe is contacted, is opened in advance,
When the insertion portion is inserted into the inserted portion and the inspection probe is pressed against the inspection target, the contact surface comes into contact with the contacted surface.
Probing inspection apparatus characterized by the above. 前記挿入部は、ねじ切り部が形成された螺合部であり、
前記被挿入部は、前記ねじ切り部と螺合可能なねじ切り部が形成された被螺合部であって、
前記螺合部は、前記検査プローブの前記検査対象への当接時に前記被螺合部に螺入される、
ことを特徴とする、請求項１に記載のプロービング検査装置。 The insertion part is a threaded part in which a threaded part is formed,
The inserted portion is a threaded portion in which a threaded portion capable of being screwed with the threaded portion is formed,
The screwing portion is screwed into the screwed portion when the inspection probe contacts the inspection object.
The probing inspection apparatus according to claim 1, wherein: 検査プローブを検査対象に当接し、高圧印加することでプロービング検査を行うプロービング検査方法であって、
前記検査プローブには、前記検査対象に当接する当接面から突出する挿入部が形成され、
前記検査対象には、前記検査プローブが当接される被当接面に、前記挿入部が密着した状態で挿入可能な被挿入部があらかじめ開口され、
前記挿入部を前記被挿入部に挿入し、前記検査プローブを前記検査対象に押圧することで、前記当接面を前記被当接面に当接させて、プロービング検査を行う、
ことを特徴とする、プロービング検査方法。 A probing inspection method in which an inspection probe is brought into contact with an object to be inspected and a probing inspection is performed by applying a high voltage,
The inspection probe is formed with an insertion portion protruding from a contact surface that contacts the inspection object,
The object to be inspected is pre-opened with an insertion portion that can be inserted in a state where the insertion portion is in close contact with a contact surface with which the inspection probe is in contact,
Inserting the insertion part into the inserted part and pressing the inspection probe against the inspection object, the contact surface is brought into contact with the contacted surface, and a probing inspection is performed.
Probing inspection method characterized by the above. 前記挿入部は、ねじ切り部が形成された螺合部であり、
前記被挿入部は、前記ねじ切り部と螺合可能にねじ切り部が形成された被螺合部であって、
前記検査プローブの前記検査対象への当接時に、前記螺合部を前記被螺合部に螺入して、プロービング検査を行う、
ことを特徴とする、請求項３に記載のプロービング検査方法。 The insertion part is a threaded part in which a threaded part is formed,
The inserted portion is a threaded portion in which a threaded portion is formed so as to be screwable with the threaded portion,
When the inspection probe is brought into contact with the inspection object, the screwing portion is screwed into the screwed portion to perform a probing inspection.
The probing inspection method according to claim 3, wherein:
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