JP2010086034A - オリフィス板及び流量制御装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】オリフィス板101は、両面に形成された電極111,112及び圧電体110からなり、面内方向に伸縮する圧電素子から構成してある。オリフィス板1は、孔部113及び孔部113の周縁から放射状に径方向外側に向かって延びる複数の切欠部114,114,…からなる流路部115を備える。電極111,112に電圧を印加して圧電体10を面内方向に伸長させた場合、流路部115の流路面積が減少する。電極111,112に印加する電圧を調整することにより、流路面積が可変となる。
【選択図】図3
Description
以下、本発明をその実施の形態を示す図面を参照して具体的に説明する。図1は、実施の形態1に係るオリフィス装置の構造例を示す模式的断面図である。図中2は、流体が流れる流路を備えたオリフィス装置を示す。図中白抜矢印は、流体が流れる方向を示す。オリフィス装置2は、管内に流路を有する上流側管部21及び下流側管部22と、上流側管部21及び下流側管部22によりOリング23,24を介して挟持されており、流路に介挿されたオリフィス板1を備えている。オリフィス板1は、厚み方向に分極してある圧電セラミック等の円板状の圧電体10と、圧電体10の両面にスパッタ法等により金属が蒸着された電極11,12とからなる。
図6は、実施の形態2に係るオリフィス装置の構造例を示す模式的断面図である。本実施の形態2は、実施の形態1がオリフィス板を面内方向に伸長する直線変位型圧電素子から構成してあるのに対して、法線方向に屈曲するバイモルフ型圧電素子から構成してある。図中4は、流体が流れる流路を備えたオリフィス装置を示す。図中白抜矢印は、流体の流れる方向を示す。オリフィス装置4は、上流側管部41及び下流側管部42によりOリング43,44,45,46を介して挟持されており、流路に介挿されたオリフィス板3を備えている。
図8は、実施の形態3に係る流量制御装置の内部構成を示すブロック図である。流量制御装置は、オリフィス装置2を備えた流量調整部5及び当該流量調整部5を制御する制御装置6からなり、上流側(1次側)から供給されるガス(流体)の流量を制御して下流側(2次側)に排出するようにしてある。制御装置6は、流量調整部5の温度測定端子Tから与えられる信号により1次側のガス温度を測定する温度測定部69と、流量調整部5の1次圧測定端子Pmから与えられる信号により1次圧を測定する1次圧測定部67と、1次圧測定部67が測定した1次圧を1次側のガス温度を用いて補正する1次圧補正部68と、流量調整部5の1次圧設定端子Psに制御信号を与えて1次圧を制御する1次圧制御部(圧力制御手段)70と、流量調整部5の電圧端子Vに電圧を印加するための電圧可変の電源部(可変電圧電源)71とを備える。
図11は、実施の形態4に係る流量制御装置の内部構成を示すブロック図である。本実施の形態4は、実施の形態3がオリフィス装置2の電圧端子Vに印加する電圧を調整して流量を制御するのに対して、1次圧を調整して流量を制御し、1次圧が圧力条件を満たすよう電圧を調整するようにしてある。図中8は、2次圧を受付ける2次圧受付部81と、複数の異なる電圧値夫々に対応した1次圧対応表831,831,…が記憶してある記憶部83とを備えた制御装置を示す。1次圧対応表831,831,…は、複数の異なる電圧値、すなわち複数の異なる流路面積夫々に対して流量及び1次圧の対応関係を示したテーブルからなり、予め実験的に求めて記憶部83に記憶してある。
2,4 オリフィス装置
5 流量調整部
6,8 制御装置
10,110,30a,30b 圧電体
11,12,111,112,211,31,32 電極
13,113,213 孔部
14,114,214,34 切欠部
15,115,215,35 流路部
21,41 上流側管部
22,42 下流側管部
23,24,43,44,45,46 Oリング
33 中間電極
50 供給口
51 保護メッシュ
52 1次圧調整弁
53 1次圧検出部
54 温度検出部
55 排出口
60 CPU
60a バス
61 ROM
62 RAM
63,83 記憶部
64 流量受付部
65 1次圧受付部
67 1次圧測定部
68 1次圧補正部
69 温度測定部
70 1次圧制御部
71 電源部
81 2次圧受付部
210,221,411,421 フランジ部
631 電圧対応表
831 1次圧対応表
V,V1,V2,V3 電圧端子
T 温度測定端子
Ps 1次圧設定端子
Pm 1次圧測定端子
Claims (7)
- 面内方向に伸縮する板状の圧電素子からなり、
その略中央に配された孔部及び該孔部の周縁から放射状に延びる複数の切欠部からなる流路部
を備えることを特徴とするオリフィス板。 - 前記複数の切欠部夫々は、外周縁へ向けて幅が狭まっていることを特徴とする請求項1に記載のオリフィス板。
- 前記圧電素子は、
回転対称形状であり、
前記複数の切欠部夫々は、
略二等辺三角形状であり、
前記圧電素子の回転対称軸を中心とする円周上に頂点を等配してある
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のオリフィス板。 - 略中央から放射状に延びる複数の切欠部からなる流路部
を備え、
外周縁を基端として法線方向に屈曲する板状の圧電素子からなる
ことを特徴とするオリフィス板。 - 請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載のオリフィス板を備え、オリフィス板下流側の流量を制御する流量制御装置であって、
前記圧電素子に電圧を印加する可変電圧電源
を備えることを特徴とする流量制御装置。 - オリフィス板上流側の圧力を所定値に制御する圧力制御手段を備えることを特徴とする請求項5に記載の流量制御装置。
- 請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載のオリフィス板と、前記オリフィス板上流側の圧力を調整する圧力調整手段とを備え、前記圧力を調整して前記オリフィス板下流側の流量を制御する流量制御装置であって、
圧力及び電圧の対応関係を記憶してある記憶手段と、
前記記憶手段に記憶してある前記対応関係に基づいて前記圧力調整手段が調整する圧力に対応する電圧を決定する電圧決定手段と、
前記圧電素子に前記電圧決定手段が決定した電圧を印加する電源と
を備えることを特徴とする流量制御装置。
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JP2008251153A JP5097666B2 (ja) | 2008-09-29 | 2008-09-29 | オリフィス板及び流量制御装置 |
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JP5097666B2 JP5097666B2 (ja) | 2012-12-12 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010150806A1 (ja) | 2009-06-23 | 2010-12-29 | 株式会社エヌ・ティ・ティ・ドコモ | 移動端末装置、無線基地局装置および通信制御方法 |
KR20160066844A (ko) * | 2014-12-03 | 2016-06-13 | 현대자동차주식회사 | 유로 가변형 댐퍼 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH04180106A (ja) * | 1990-11-15 | 1992-06-26 | Japan Electron Control Syst Co Ltd | 流量制御弁装置 |
JPH04263953A (ja) * | 1991-02-19 | 1992-09-18 | Citizen Watch Co Ltd | 液滴噴射記録装置 |
JP2000190490A (ja) * | 1998-12-24 | 2000-07-11 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法 |
-
2008
- 2008-09-29 JP JP2008251153A patent/JP5097666B2/ja not_active Expired - Fee Related
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KR102131013B1 (ko) * | 2014-12-03 | 2020-07-07 | 현대자동차 주식회사 | 유로 가변형 댐퍼 |
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