JP2010071716A - Qcmデバイスとその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】QCMデバイスは、ニオイ吸着膜として有機ポリマー膜が用いられ、前記有機ポリマー膜が水晶振動子の少なくとも片方の面に形成され、前記有機ポリマー膜の表面がフッ素で改質されている。
【選択図】図1
Description
図1は、本実施形態であるQCMデバイスの例としてニオイセンサを示している概略図である。図1(a)は、ニオイセンサの概略平面図であり、図1(b)は、(a)のA−A断面を示す概略断面図である。図2は、本実施形態であるQCMデバイスの製造方法の例を示している。
以下、QCMデバイスとして、ニオイセンサを一例に挙げて説明する。
図1に示すように、本実施形態のニオイセンサ1は、ATカット水晶振動子2と、有機ポリマー膜としてのニオイ吸着膜3とを備えている。ニオイ吸着膜3の表面には、フッ素改質層6を有している。ATカット水晶振動子2は、水晶基板4と、電極5を備えている。1つのATカット水晶振動子2(圧電振動子)の片面に、ニオイ吸着膜3の表面がフッ素改質されたフッ素改質層6ニオイ吸着膜3が形成されている。ATカット水晶振動子2は、水晶基板4の表裏に対向するように形成した2つの電極5に電圧を印加すると表面および裏面が互いに逆方向へスライドするように変形する現象を利用した厚みすべり振動子である。その共振周波数f0は励振電極部の水晶基板4の厚さに反比例する。ここでは共振周波数f0が、9MHzのATカット水晶振動子2を用いた。
また、図1から図3において、水晶基板4を円形の面を有する円盤形状に示したが、これに限るものではなく、たとえば矩形、多角形、または楕円形などの面を有する形状などであってもよい。また、電極5を円形に示したが、これに限るものではなく、たとえば矩形、多角形、または楕円形などであってもよい。
Claims (5)
- 水晶基板と、
前記水晶基板の第1の面及び前記水晶基板に対して反対側の第2の面に形成された2つの電極と、前記電極に接続された引き出し線と、
前記水晶基板の少なくとも一方の面に形成された有機ポリマー膜とを備え
前記有機ポリマー膜の表面にフッ素を含有するフッ素改質層を有していることを特徴とするQCMデバイス。 - 前記有機ポリマー膜の表面の純水に対する接触角が90°以上であることを特徴とする請求項1に記載のQCMデバイス。
- 前記有機ポリマー膜の表面から深さ20nm以内のフッ素原子の濃度が前記有機ポリマー膜内部のフッ素原子濃度より高いことを特徴とする請求項1に記載のQCMデバイス。
- 前記有機ポリマー膜の表面から深さ20nm以内のフッ素原子の濃度が1%以上であることを特徴とする請求項1に記載のQCMデバイス。
- 水晶振動子の少なくとも片方の面に有機ポリマー膜が形成されたQCMデバイスの製造方法であって、
前記水晶振動子の電極の少なくとも片面に液状の有機ポリマー溶液を塗布する工程と、
前記有機ポリマー溶液を乾燥して有機ポリマー膜を形成する工程と、
前記有機ポリマー膜表面に対してフッ素またはフッ素化合物を含むガスを用いてプラズマ処理を行う工程と、を備えることを特徴とするQCMデバイスの製造方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011237295A (ja) * | 2010-05-11 | 2011-11-24 | Osaka Prefecture Univ | 水晶振動子用コーティング液、ガス検出素子、エチレン検出素子およびガス検出素子の製造方法 |
JP2013044579A (ja) * | 2011-08-23 | 2013-03-04 | Nagoya Institute Of Technology | 金属錯体内包ゼオライトの疎水化方法およびそれによって得られたセンサー |
WO2018221283A1 (ja) * | 2017-05-31 | 2018-12-06 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 低吸湿性材料からなるナノメカニカルセンサ用受容体及びそれを受容体として使用するナノメカニカルセンサ |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05312707A (ja) * | 1992-05-06 | 1993-11-22 | Nippon Soken Inc | ガスセンサ |
JPH06308008A (ja) * | 1993-04-26 | 1994-11-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 混合ガス成分判別および定量方法ならびに装置 |
JP2001013055A (ja) * | 1999-04-27 | 2001-01-19 | Mitsubishi Electric Corp | ガス検出装置およびその感応膜材料とその成膜方法 |
WO2006025358A1 (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-09 | Japan Science And Technology Agency | 化学センサ装置用の検出子およびその利用 |
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2008
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05312707A (ja) * | 1992-05-06 | 1993-11-22 | Nippon Soken Inc | ガスセンサ |
JPH06308008A (ja) * | 1993-04-26 | 1994-11-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 混合ガス成分判別および定量方法ならびに装置 |
JP2001013055A (ja) * | 1999-04-27 | 2001-01-19 | Mitsubishi Electric Corp | ガス検出装置およびその感応膜材料とその成膜方法 |
WO2006025358A1 (ja) * | 2004-08-31 | 2006-03-09 | Japan Science And Technology Agency | 化学センサ装置用の検出子およびその利用 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011237295A (ja) * | 2010-05-11 | 2011-11-24 | Osaka Prefecture Univ | 水晶振動子用コーティング液、ガス検出素子、エチレン検出素子およびガス検出素子の製造方法 |
JP2013044579A (ja) * | 2011-08-23 | 2013-03-04 | Nagoya Institute Of Technology | 金属錯体内包ゼオライトの疎水化方法およびそれによって得られたセンサー |
WO2018221283A1 (ja) * | 2017-05-31 | 2018-12-06 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 低吸湿性材料からなるナノメカニカルセンサ用受容体及びそれを受容体として使用するナノメカニカルセンサ |
JPWO2018221283A1 (ja) * | 2017-05-31 | 2020-03-19 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 低吸湿性材料からなるナノメカニカルセンサ用受容体及びそれを受容体として使用するナノメカニカルセンサ |
US11215585B2 (en) | 2017-05-31 | 2022-01-04 | National Institute For Materials Science | Nanomechanical sensor receptor made of low-hygroscopic material and nanomechanical sensor using the same as receptor |
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Publication number | Publication date |
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