JP2010063271A - 平面モータ装置およびこの平面モータ装置を用いた位置決め装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】モータ電流指令値と実際電流との偏差が大きくても、加減速時など正常なドライバ動作時には電流偏差信号過大と認識しない、安定したインタロック機能を備えた平面モータおよびこの平面モータを用いた位置決め装置を実現する。
【解決手段】移動面に形成された固定子と、前記移動面に沿って移動する可動子とを備えた平面モータ装置において、前記可動子のモータ部10,11,12と、電流指令値Imu*,Imv*,Imw*が入力され、これらの電流指令値に応じたモータ電流Imu,Imv,Imwをモータ部に供給するドライバ部20,21,22と、電流指令値とモータ部に流れるモータ電流との電流偏差信号ΔImu,ΔImv,ΔImwが所定の閾値を超えたときにモータ部の駆動を制限する検出部30,31,32とを備え、検出部は、モータ部の加速度に応じ前記閾値を変化させる。
【選択図】図2
【解決手段】移動面に形成された固定子と、前記移動面に沿って移動する可動子とを備えた平面モータ装置において、前記可動子のモータ部10,11,12と、電流指令値Imu*,Imv*,Imw*が入力され、これらの電流指令値に応じたモータ電流Imu,Imv,Imwをモータ部に供給するドライバ部20,21,22と、電流指令値とモータ部に流れるモータ電流との電流偏差信号ΔImu,ΔImv,ΔImwが所定の閾値を超えたときにモータ部の駆動を制限する検出部30,31,32とを備え、検出部は、モータ部の加速度に応じ前記閾値を変化させる。
【選択図】図2
Description
本発明は平面モータ装置およびこの平面モータ装置を用いた位置決め装置に関し、詳しくは、移動面が形成された固定子と、前記移動面に沿って移動する可動子とを備えた平面モータ装置およびこの平面モータ装置を用いた位置決め装置における駆動制御の改良に関するものである。
図6は、従来の平面モータ装置の一例を示す構成図である。
固定子であるプラテン100上に、エアベアリングを介して可動子であるスライダ101が搭載されている。スライダ101には、X軸方向およびY軸方向のそれぞれの方向に推力を発生させる複数のモータ部が搭載されているが図示しない。なお、各モータ部は3相のステッピングモータで構成されている。各モータ部には、制御部102からケーブル103を通して駆動に必要なモータ電流が供給され、スライダ101はプラテン100上でX,Yおよびθ軸方向に位置制御される。
固定子であるプラテン100上に、エアベアリングを介して可動子であるスライダ101が搭載されている。スライダ101には、X軸方向およびY軸方向のそれぞれの方向に推力を発生させる複数のモータ部が搭載されているが図示しない。なお、各モータ部は3相のステッピングモータで構成されている。各モータ部には、制御部102からケーブル103を通して駆動に必要なモータ電流が供給され、スライダ101はプラテン100上でX,Yおよびθ軸方向に位置制御される。
図7は、制御部102の制御ブロック図であり、図7の(a)はモータ部のU相、(b)はV相、(c)はW相に対応している。
図7の(a)において、U相モータ10は、モータ電流Imuの供給を受けて、スライダ101を移動させるための推力を発生する。インバータ20aはこのモータ部10を駆動するインバータ電圧Vuを出力し、モータフィルタ20bはこのインバータ電圧Vuに応じたモータ電流Imuをモータ部10に供給する。
電流制御部20cは、電流指令値Imu*と、モータ部10に実際に流れるモータ電流Imuのフィードバック信号との電流偏差信号ΔImuに基づいて、インバータ電圧Vuの目標値である電圧指令値Vu*を出力する。モータ電流Imuのフィードバック信号は、モータフィルタ20bの出力をA/D変換器20fでデジタル化し、ゲイン調整部20hでゲイン調整をかけて生成される。
電圧制御部20dは、電圧指令値Vu*と、実際にインバータ21から出力されるインバータ電圧Vuのフィードバック信号との偏差に基づいて、インバータ20aを制御する。インバータ電圧Vuのフィードバック信号は、インバータ20aの出力をA/D変換器20eでデジタル化し、ゲイン調整部20gでゲイン調整をかけて生成される。
なお、電流指令値Imu*はスライダ101に与える加速度に応じて変化する値である。そのため、この電流指令値Imu*に基づいて生成される電圧指令値Vu*も、スライダ101の加速度に応じた値となる。
ところで、モータ電流Imuと電流指令値Imu*との偏差が大きい場合には、平面モータ装置が損傷してしまう場合がある。そこで従来より、電流偏差信号ΔImuの大きさを監視する検出部300を設けている。検出部300は、電流偏差信号過大を検出した場合にモータ部のドライバ動作を停止させる異常信号Suを出力し、平面モータ装置の安全装置としての機能を果たしている。
検出部300は、ゲイン調整部300aとコンパレータ300bから構成されている。ゲイン調整部300aは、電流偏差信号ΔImuに所定のゲインを乗じて比較信号Vcuを生成し、コンパレータ300bに出力する。コンパレータ300bは、この比較信号Vcuを所定の閾値Vthと比較し、閾値Vthを超えた場合には電流偏差信号が過大になっていると認識し、異常信号Suを出力する。
なお、実際には電流指令値Imu*およびモータ電流Imuは交流信号が用いられるため、コンパレータ300bは、閾値Vthを、正側の閾値+Vthと負側の閾値−Vthに分けて比較信号Vcuと比較する。すなわち、コンパレータ300bは、比較信号Vcuが+Vthを上回った場合、あるいは比較信号Vcuが−Vthを下回った場合に、異常信号Suを出力する。以下、閾値±Vthを代表して、単に閾値Vthと表記する。
図7の(a)において、電流制御部20c、電圧制御部20d、A/D変換器20e,20f、ゲイン調整部20g,20h、検出部300は、プログラムがダウンロードされたマイコンやFPGAなどの演算装置で構成され、デジタル的に計算処理される。
また、電流制御部20c、電圧制御部20d、インバータ20a、モータフィルタ20b、A/D変換器20e,20f、ゲイン調整部20g,20h、検出部300で、モータ10のドライバ部20を構成している。
また、電流制御部20c、電圧制御部20d、インバータ20a、モータフィルタ20b、A/D変換器20e,20f、ゲイン調整部20g,20h、検出部300で、モータ10のドライバ部20を構成している。
図7の(b),(c)に示すV相、W相についても、図7の(a)に示すU相と同様に構成されている。
図7の(b)において、電流制御部21cは、電流指令値Imv*と実際にモータ11に流れるモータ電流Imvのフィードバック信号との電流偏差信号ΔImvに基づいて、インバータ21aの電圧指令値Vv*を出力する。電圧制御部21dは、電圧指令値Vv*と、実際にインバータ21aから出力されるインバータ電圧Vvのフィードバック信号との偏差に基づいて、インバータ21aを制御する。検出部310には電流偏差信号ΔImvが入力され、この電流偏差信号ΔImvが所定の閾値を超えた場合には、異常信号Svを出力する。
図7の(c)において、電流制御部22cは、電流指令値Imw*と実際にモータ12に流れるモータ電流Imwのフィードバック信号との電流偏差信号ΔImwに基づいて、インバータ22aの電圧指令値Vw*を出力する。電圧制御部22dは、電圧指令値Vw*と、実際にインバータ22aから出力されるインバータ電圧Vwのフィードバック信号との偏差に基づいて、インバータ22aを制御する。検出部320には電流偏差信号ΔImwが入力され、この電流偏差信号ΔImwが所定の閾値を超えた場合には、異常信号Swを出力する。
これら異常信号Su,Sv,Swのいずれかが出力されると、モータ部全体のドライバ動作が停止される。
このような平面モータを利用して、対象物を2次元方向に位置制御する位置決め装置を構成することができる。位置決め装置を液晶製造装置や半導体露光装置に利用した場合には、液晶製造装置や半導体露光装置のスループット向上のため、スライダ101を高推力、高加速度で駆動することが要求される。
下記特許文献1には、移動面が形成された固定子と、この移動面に沿って移動する可動子とを備えた平面モータ装置が記載されている。
本来、上記の検出器300は、発振や地絡、短絡などによりモータ10に異常な電流が流れたときにドライバ動作を停止させるインタロック機能を目的として設けられたものである。
しかしながら、上記のような平面モータでは、正常なドライバ動作であるにもかかわらず検出部300で電流偏差信号過大を検出してしまい、不必要にドライバ動作が停止してしまうという問題があった。
すなわち、モータ電流Imuのフィードバック信号は電流指令値Imu*に対して遅れるため、モータ電流指令値Imu*を変化させた際に電流偏差信号ΔImuが大きくなり、検出部300で電流偏差信号過大と判断してしまう場合があった。
この問題は、スライダ101の加速度が変化する瞬間、すなわちジャーク(加加速度)が大きくなる瞬間に多発していた。さらに、この問題は、スライダ101を高推力、高加速度で駆動しようとするほど顕著であった。
本発明は、このような従来装置の問題をなくし、モータ電流指令値と実際のモータ電流との間に生じた偏差が大きくても、スライダの加減速時など正常なドライバ動作時には電流偏差信号過大と認識することなく動作する安定したインタロック機能を備えた平面モータおよびこの平面モータを用いた位置決め装置を実現することを目的とする。
上記のような目的を達成するために、請求項1の発明は、
移動面が形成された固定子と、移動面に沿って移動する可動子とを備えた平面モータ装置において、
可動子を移動させるモータ部と、
電流指令値が入力され、この電流指令値に応じたモータ電流をモータ部に供給するドライバ部と、
電流指令値とモータ部に実際に流れるモータ電流との電流偏差信号が所定の閾値を超えたときにモータ部の駆動を制限する検出部とを備え、
検出部は、モータ部の加速度に応じて閾値を変化させることを特徴とする。
移動面が形成された固定子と、移動面に沿って移動する可動子とを備えた平面モータ装置において、
可動子を移動させるモータ部と、
電流指令値が入力され、この電流指令値に応じたモータ電流をモータ部に供給するドライバ部と、
電流指令値とモータ部に実際に流れるモータ電流との電流偏差信号が所定の閾値を超えたときにモータ部の駆動を制限する検出部とを備え、
検出部は、モータ部の加速度に応じて閾値を変化させることを特徴とする。
請求項2の発明は、請求項1に記載の平面モータ装置において、
ドライバ部は、モータ部を駆動するインバータを備えるとともに、電流偏差信号に基づいてインバータが出力すべきインバータ電圧の電圧指令値を生成し、
検出部は、この電圧指令値に基づいて閾値を変化させることを特徴とする。
ドライバ部は、モータ部を駆動するインバータを備えるとともに、電流偏差信号に基づいてインバータが出力すべきインバータ電圧の電圧指令値を生成し、
検出部は、この電圧指令値に基づいて閾値を変化させることを特徴とする。
請求項3の発明は、
移動面が形成された固定子と、移動面に沿って移動する可動子とを備えた平面モータ装置において、
モータ電流が供給され、可動子を移動させるモータ部と、
モータ部を駆動するインバータと、
このインバータから出力されるインバータ電圧に基づいてモータ部にモータ電流を供給するモータフィルタと、
インバータが出力すべきインバータ電圧の電圧指令値とインバータから実際に出力されたインバータ電圧との偏差が入力され、この電圧偏差に基づいてインバータを制御する電圧制御部と、
モータ電流の電流指令値と、モータ部に実際に流れるモータ電流との偏差が入力され、この電流偏差信号に基づいて電圧指令値を生成する電流制御部と、
電流偏差信号が所定の閾値を超えたときにモータ部の駆動を制限する検出部とを備え、
検出部は、
電流偏差信号に応じた比較信号を出力するゲイン調整部と、
電圧指令値に応じて閾値を変化させる閾値生成部と、
ゲイン調整部から出力される比較信号が、閾値生成部から出力される閾値を超えたときに異常信号を出力するコンパレータと、
を備えたことを特徴とする。
移動面が形成された固定子と、移動面に沿って移動する可動子とを備えた平面モータ装置において、
モータ電流が供給され、可動子を移動させるモータ部と、
モータ部を駆動するインバータと、
このインバータから出力されるインバータ電圧に基づいてモータ部にモータ電流を供給するモータフィルタと、
インバータが出力すべきインバータ電圧の電圧指令値とインバータから実際に出力されたインバータ電圧との偏差が入力され、この電圧偏差に基づいてインバータを制御する電圧制御部と、
モータ電流の電流指令値と、モータ部に実際に流れるモータ電流との偏差が入力され、この電流偏差信号に基づいて電圧指令値を生成する電流制御部と、
電流偏差信号が所定の閾値を超えたときにモータ部の駆動を制限する検出部とを備え、
検出部は、
電流偏差信号に応じた比較信号を出力するゲイン調整部と、
電圧指令値に応じて閾値を変化させる閾値生成部と、
ゲイン調整部から出力される比較信号が、閾値生成部から出力される閾値を超えたときに異常信号を出力するコンパレータと、
を備えたことを特徴とする。
請求項4の発明は、
対象物を2次元方向に位置決めする位置決め装置において、
請求項1〜3に記載の平面モータ装置を備え、
可動子は対象物が搭載されるスライダであり、
固定子はスライダが2次元方向に移動可能なプラテンであり、
スライダをプラテン上で移動させることにより対象物を位置決めすることを特徴とする。
対象物を2次元方向に位置決めする位置決め装置において、
請求項1〜3に記載の平面モータ装置を備え、
可動子は対象物が搭載されるスライダであり、
固定子はスライダが2次元方向に移動可能なプラテンであり、
スライダをプラテン上で移動させることにより対象物を位置決めすることを特徴とする。
本発明によれば、
前記モータ部の加速度に応じて検出部の閾値を変化させることにより、駆動電流指令値と実際の駆動電流との間に生じた偏差が大きくても、スライダの加減速時など正常なドライバ動作時には電流偏差信号過大と認識することなく動作する安定したインタロック機能を備えた平面モータを実現できる。
また、このような平面モータの可動子に対象物を搭載して位置制御することにより、安定したインタロック機能を備えた位置決め装置を実現できる。
前記モータ部の加速度に応じて検出部の閾値を変化させることにより、駆動電流指令値と実際の駆動電流との間に生じた偏差が大きくても、スライダの加減速時など正常なドライバ動作時には電流偏差信号過大と認識することなく動作する安定したインタロック機能を備えた平面モータを実現できる。
また、このような平面モータの可動子に対象物を搭載して位置制御することにより、安定したインタロック機能を備えた位置決め装置を実現できる。
図1は、本発明の平面モータ装置の一実施例を示す構成図である。
固定子であるプラテン100上に、エアベアリングを介して可動子であるスライダ101が搭載されている。スライダ101には、X軸方向およびY軸方向のそれぞれの方向に推力を発生させる複数のモータ部が搭載されているが図示しない。各モータ部は3相のステッピングモータで構成されている。各モータ部には、制御部200からケーブル103を通して駆動に必要なモータ電流が供給され、スライダ101はプラテン100上でX,Yおよびθ軸方向に位置制御される。
固定子であるプラテン100上に、エアベアリングを介して可動子であるスライダ101が搭載されている。スライダ101には、X軸方向およびY軸方向のそれぞれの方向に推力を発生させる複数のモータ部が搭載されているが図示しない。各モータ部は3相のステッピングモータで構成されている。各モータ部には、制御部200からケーブル103を通して駆動に必要なモータ電流が供給され、スライダ101はプラテン100上でX,Yおよびθ軸方向に位置制御される。
図2は制御部200の制御ブロック図であり、図2の(a)はモータ部のU相、(b)はV相、(c)はW相に対応している。従来例と同じ構成要素には同じ符号を付して説明を省略する。
検出部30は、電流指令値Imu*と実際のモータ電流Imuとの電流偏差信号ΔImuが過大となったときに異常信号Suを出力する。検出部31は、電流指令値Imv*と実際のモータ電流Imvとの電流偏差信号ΔImvが過大となったときに異常信号Svを出力する。検出部32は、電流指令値Imw*と実際のモータ電流Imwとの電流偏差信号ΔImwが過大となったときに異常信号Swを出力する。
検出部30,31,32には、それぞれ電流偏差信号ΔImu,ΔImv,ΔImwが入力される。さらに、U相の検出部30には、電圧指令値Vu*と、他相の電圧指令値Vv*とVw*が入力される。同様に、V相の検出部31には電圧指令値Vu*,Vv*,Vw*が入力され、W相の検出部32には電圧指令値Vu*,Vv*,Vw*が入力される。
図3は各相の検出部30〜32の具体例を示す構成図である。
図3の(a)において、U相の検出部30は、ゲイン調整部30aと、このゲイン調整部30aからの出力を閾値Vthと比較するコンパレータ30bと、閾値Vthを生成する閾値生成部30cから構成されている。なお、ゲイン調整部30aとコンパレータ30bは、従来例の図7におけるゲイン調整部300aおよびコンパレータ300bに相当する。
図3の(a)において、U相の検出部30は、ゲイン調整部30aと、このゲイン調整部30aからの出力を閾値Vthと比較するコンパレータ30bと、閾値Vthを生成する閾値生成部30cから構成されている。なお、ゲイン調整部30aとコンパレータ30bは、従来例の図7におけるゲイン調整部300aおよびコンパレータ300bに相当する。
閾値生成部30cは、電圧指令値Vu*,Vv*,Vw*に基づいて閾値Vthを生成する。閾値Vthは、電流偏差信号過大を検出する閾値として、コンパレータ30bに出力される。閾値Vthの生成要領については後述する。
ゲイン調整部30aは、電流偏差信号ΔImuに所定のゲインを乗じた比較信号Vcuを生成し、コンパレータ30bに出力する。コンパレータ30bは、この比較信号Vcuと閾値Vthとを比較する。コンパレータ30bは、比較信号Vcuが閾値Vthを超えた場合に電流偏差信号ΔImuが過大であると認識し、異常信号Suを出力する。
図3の(b)、(c)に示す検出部31,32も、検出部30と同様に構成されている。検出部31には電流偏差信号ΔImvが入力され、ゲイン調整部31aにより比較信号Vcvが生成される。コンパレータ31bは、比較信号Vcvと閾値Vthを比較し、比較信号Vcvが閾値Vthを超えた場合に異常信号Svを出力する。
検出部32には電流偏差信号ΔImwが入力され、ゲイン調整部32aにより比較信号Vcwが生成される。コンパレータ32bは、比較信号Vcwと閾値Vthを比較し、比較信号Vcwが閾値Vthを超えた場合に異常信号Swを出力する。
検出部32には電流偏差信号ΔImwが入力され、ゲイン調整部32aにより比較信号Vcwが生成される。コンパレータ32bは、比較信号Vcwと閾値Vthを比較し、比較信号Vcwが閾値Vthを超えた場合に異常信号Swを出力する。
図4は閾値生成部30cの具体例を示す構成図である。閾値生成部30cは、加算器30c1,30c2,30c5と、ゲイン調整部30c3と、フィルタ30c4と、反転回路30c6から構成されている。
閾値生成部30cに入力された電圧指令値Vu*,Vv*,Vw*は、まず絶対値が求められる。電圧指令値Vu*,Vv*,Vw*の絶対値|Vu*|,|Vv*|,|Vw*|は、加算器30c1,30c2によりすべて加算され、ゲイン調整部30c3に出力される。以下、|Vu*|+|Vv*|+|Vw*|を電圧指令値Vo*と表現する。電圧指令値Vo*は交流成分が含まれている。電圧指令値Vo*は、ゲイン調整部30c3によりゲイン調整が行われ、さらにフィルタ30c4により直流量に整流される。
フィルタ30c4の出力は、加算器30c5に出力される。閾値生成部30cには、あらかじめ閾値Vthの初期値Vthiを保持させておく。加算器30c5は、フィルタ30c4の出力とこの初期値Vthiを加算する。加算器30c5の出力は、電圧指令値Vo*に比例して変化する値となる。加算器30c5の出力は、正側の閾値+Vthとして、コンパレータ30bに出力される。また、加算器30c5の出力を反転回路30c6に入力し、極性を反転させる。反転回路30c6の出力は、負側の閾値−Vthとして、コンパレータ30bに出力される。なお、閾値生成部31c,32cも、閾値生成部30cと同様の構成である。
このように構成された閾値生成部30c,31c,32cでは、電圧指令値Vo*に応じて閾値Vthが自動設定される。電圧指令値Vo*は加速度に比例するため、閾値Vthはスライダ101に与えられる加速度に応じて自動設定される。
図5は、閾値Vthと電圧指令値Vo*(加速度)の関係を示す特性例図である。
スライダ101の加減速時など、スライダ101に大きな加速度を発生させる場合には、モータ10に多くのモータ電流を供給する必要がある。そのため、電流指令値Imu*,Imv*,Imw*は大きな値となり、これに比例して電圧指令値Vo*も大きな値となる。これにより、閾値Vthは大きな値に設定される。
スライダ101の加減速時など、スライダ101に大きな加速度を発生させる場合には、モータ10に多くのモータ電流を供給する必要がある。そのため、電流指令値Imu*,Imv*,Imw*は大きな値となり、これに比例して電圧指令値Vo*も大きな値となる。これにより、閾値Vthは大きな値に設定される。
一方、スライダ101を等速移動させる場合など、スライダ101に大きな加速度を発生させる必要がない場合には、電流指令値Imu*,Imv*,Imw*は小さな値となっている。そのため、電圧指令値Vo*も小さな値となり、閾値Vthは初期値Vthiに近い小さな値に設定される。
閾値Vthを加速度に応じて変化させることにより、モータ部やドライバ部に異常が発生した時以外に電流偏差信号過大が発生しなくなり、これまでのように不必要にドライバ動作が停止してしまうことを防止できる。
本実施例は以上のように構成され、
モータ部の加速度に応じて検出部30,31,32の閾値Vthを変化させることにより、電流偏差信号ΔImu,ΔImv,ΔImwが大きくても、スライダ101の加減速時など正常なドライバ動作時には電流偏差信号過大と認識しない、安定したインタロック機能を備えた平面モータ装置を実現できる。
また、このような平面モータ装置の可動子に対象物を搭載して位置制御することにより、安定したインタロック機能を備えた位置決め装置を実現できる。
モータ部の加速度に応じて検出部30,31,32の閾値Vthを変化させることにより、電流偏差信号ΔImu,ΔImv,ΔImwが大きくても、スライダ101の加減速時など正常なドライバ動作時には電流偏差信号過大と認識しない、安定したインタロック機能を備えた平面モータ装置を実現できる。
また、このような平面モータ装置の可動子に対象物を搭載して位置制御することにより、安定したインタロック機能を備えた位置決め装置を実現できる。
なお、本発明は2次元方向に可動子が移動可能な平面モータ装置に限らず、リニアモータや回転型モータにも適用可能である。
また、本実施例では、たとえばドライバ部20についていえば、電流制御部20c、電圧制御部20d、A/D変換器20e,20f、ゲイン調整部20g,20h、検出部30をデジタル的に構成されているものとしたが、アナログ回路で構成してもよい。
100 プラテン
101 スライダ
103 ケーブル
200 制御部
10 モータ
20 ドライバ部
20a インバータ
20b モータフィルタ
20c 電流制御部
20d 電圧制御部
30 検出部
30a ゲイン調整部
30b コンパレータ
30c 閾値生成部
30c1,30c2,30c5 加算器
30c3 ゲイン調整部
30c4 フィルタ
30c6 反転回路
Imu*,Imv*,Imw* 電流指令値
Vu*,Vv*,Vw* 電圧指令値
Vth 閾値
101 スライダ
103 ケーブル
200 制御部
10 モータ
20 ドライバ部
20a インバータ
20b モータフィルタ
20c 電流制御部
20d 電圧制御部
30 検出部
30a ゲイン調整部
30b コンパレータ
30c 閾値生成部
30c1,30c2,30c5 加算器
30c3 ゲイン調整部
30c4 フィルタ
30c6 反転回路
Imu*,Imv*,Imw* 電流指令値
Vu*,Vv*,Vw* 電圧指令値
Vth 閾値
Claims (4)
- 移動面が形成された固定子と、前記移動面に沿って移動する可動子とを備えた平面モータ装置において、
前記可動子を移動させるモータ部と、
電流指令値が入力され、この電流指令値に応じたモータ電流を前記モータ部に供給するドライバ部と、
前記電流指令値と前記モータ部に実際に流れるモータ電流との電流偏差信号が所定の閾値を超えたときに前記モータ部の駆動を制限する検出部とを備え、
前記検出部は、前記モータ部の加速度に応じて前記閾値を変化させることを特徴とする平面モータ装置。 - 前記ドライバ部は、前記モータ部を駆動するインバータを備えるとともに、前記電流偏差信号に基づいて前記インバータが出力すべきインバータ電圧の電圧指令値を生成し、
前記検出部は、この電圧指令値に基づいて前記閾値を変化させることを特徴とする請求項1に記載の平面モータ装置。 - 移動面が形成された固定子と、前記移動面に沿って移動する可動子とを備えた平面モータ装置において、
モータ電流が供給され、前記可動子を移動させるモータ部と、
前記モータ部を駆動するインバータと、
このインバータから出力されるインバータ電圧に基づいて前記モータ部に前記モータ電流を供給するモータフィルタと、
前記インバータが出力すべきインバータ電圧の電圧指令値と前記インバータから実際に出力されたインバータ電圧との偏差が入力され、この電圧偏差に基づいて前記インバータを制御する電圧制御部と、
前記モータ電流の電流指令値と、前記モータ部に実際に流れるモータ電流との偏差が入力され、この電流偏差信号に基づいて前記電圧指令値を生成する電流制御部と、
前記電流偏差信号が所定の閾値を超えたときに前記モータ部の駆動を制限する検出部とを備え、
前記検出部は、
前記電流偏差信号に応じた比較信号を出力するゲイン調整部と、
前記電圧指令値に応じて前記閾値を変化させる閾値生成部と、
前記ゲイン調整部から出力される比較信号が、前記閾値生成部から出力される閾値を超えたときに異常信号を出力するコンパレータと、
を備えたことを特徴とする平面モータ装置。 - 対象物を2次元方向に位置決めする位置決め装置において、
請求項1〜3に記載の平面モータ装置を備え、
前記可動子は対象物が搭載されるスライダであり、
前記固定子は前記スライダが2次元方向に移動可能なプラテンであり、
前記スライダを前記プラテン上で移動させることにより前記対象物を位置決めすることを特徴とする位置決め装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008226585A JP2010063271A (ja) | 2008-09-04 | 2008-09-04 | 平面モータ装置およびこの平面モータ装置を用いた位置決め装置 |
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JP2008226585A JP2010063271A (ja) | 2008-09-04 | 2008-09-04 | 平面モータ装置およびこの平面モータ装置を用いた位置決め装置 |
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JP2010063271A true JP2010063271A (ja) | 2010-03-18 |
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JP2008226585A Pending JP2010063271A (ja) | 2008-09-04 | 2008-09-04 | 平面モータ装置およびこの平面モータ装置を用いた位置決め装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015119571A (ja) * | 2013-12-19 | 2015-06-25 | キヤノン株式会社 | ステッピングモータ制御装置、ステッピングモータ制御プログラム、光学機器および交換レンズ |
-
2008
- 2008-09-04 JP JP2008226585A patent/JP2010063271A/ja active Pending
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JP2015119571A (ja) * | 2013-12-19 | 2015-06-25 | キヤノン株式会社 | ステッピングモータ制御装置、ステッピングモータ制御プログラム、光学機器および交換レンズ |
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