JP2010054777A - Forming method of thin film and color filter - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a forming method of thin film capable of forming pixel areas of a color filter or the like onto a plurality of prescribed areas according to an inkjet method without forming a bank. <P>SOLUTION: The forming method of thin film comprises: a step of ejecting color filter ink 25 containing UV curable resin to a number of pixel areas which form patterns by using an inkjet recording head 30; a step of performing pinning P by irradiating the color filter ink 25 with UV rays 26 to temporarily cure a margin of the color filter ink 25 corresponding to each pixel area; and a step of primarily curing the color filter ink 25 by irradiating the color filter ink again with the UV rays 26 when the color filter ink 25 is flattened. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は薄膜の製造方法及びカラーフィルタに関し、特にインクジェット方式で液晶等のカラーフィルタを製造する場合に適用して有用なものである。   The present invention relates to a method for producing a thin film and a color filter, and is particularly useful when applied to the production of a color filter such as a liquid crystal by an ink jet method.

液晶表示装置に用いられるカラーフィルタを製造する方法として、従来から印刷法、電着法、染色法または顔料分散法等が知られている。ただ、印刷法は、工程が簡単であるものの、平坦性に劣るという問題があり、電着法はモザイクパターンのようなカラー配列を形成することが困難であるという問題があり、染色法は耐候性、耐光性、耐熱性および吸湿性に劣るという問題があり、さらに顔料分散法は使用される感光性樹脂の多くが除去、廃棄されることになり、材料の利用効率が悪いという問題がある。   As a method for producing a color filter used in a liquid crystal display device, a printing method, an electrodeposition method, a dyeing method, a pigment dispersion method, and the like are conventionally known. However, the printing method has a problem that the process is simple, but the flatness is inferior. The electrodeposition method has a problem that it is difficult to form a color array such as a mosaic pattern, and the dyeing method has a weather resistance. In addition, the pigment dispersion method has a problem that most of the used photosensitive resin is removed and discarded, and the utilization efficiency of the material is poor. .

このように、従来のカラーフィルタの製造方法はそれぞれ固有の問題を有している。そこで、これらの問題を解決するため、近年インクジェット方式によるカラーフィルタの製造方法が提案されている。   Thus, each conventional color filter manufacturing method has its own problems. In order to solve these problems, a method for manufacturing a color filter by an ink jet method has been proposed in recent years.

インクジェット方式とは、いわゆるインクジェットプリンタでよく知られているカラー印刷技術であり、インクジェットヘッドから多数のカラーフィルタインクの液滴を透明基板上に吐出させて定着させ、カラーフィルタの着色層である画素領域を形成するものである。インクジェット方式によれば、微細な領域にカラーフィルタインクの液滴を正確に吐出できるので、フォトリソグラフィーを行うことなく、所望の画素領域に直接カラーフィルタインクを定着させることができる。したがって、材料の無駄も発生せず、製造コストの低減も図ることができ、非常に合理的な所望のカラーフィルタを製造することができる。   The ink jet method is a color printing technique well known for so-called ink jet printers, and a pixel that is a colored layer of a color filter by discharging and fixing a large number of color filter ink droplets from an ink jet head onto a transparent substrate. A region is formed. According to the ink jet method, since the droplets of the color filter ink can be accurately ejected to a fine area, the color filter ink can be directly fixed to a desired pixel area without performing photolithography. Therefore, no waste of material occurs, the manufacturing cost can be reduced, and a very rational desired color filter can be manufactured.

この種のインクジェット方式によるカラーフィルタ形成方法の一種として透明基板上に各種ポリマー等からなるカラーフィルタインク受容層であるバンクを設け、このバンク内にカラーフィルタインクを吐出するとともに固化させる製造方法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。   As a kind of color filter forming method by this type of ink jet method, a manufacturing method is proposed in which a bank which is a color filter ink receiving layer made of various polymers is provided on a transparent substrate, and the color filter ink is discharged and solidified in this bank. (For example, refer to Patent Document 1).

特開2001−100022号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2001-100022

上述したように、カラーフィルタを製造する場合にインクジェット方式を用いると、多くの利点が得られるが、カラーフィルタインク受容層としてのバンクを別途形成する必要がある。バンクは通常リソグラフィー法により形成する。したがって、リソグラフィー法がカラーフィルタの画素領域を形成する方法としてはコスト的に問題がある点に鑑みて代替案として提案されたインクジェット法の特長を減殺することになる。画素領域はインクジェット法で形成してもバンクはリソグラフィー法により形成する必要があるからである。   As described above, when an ink jet method is used in manufacturing a color filter, many advantages are obtained, but it is necessary to separately form a bank as a color filter ink receiving layer. The bank is usually formed by a lithography method. Therefore, the feature of the inkjet method proposed as an alternative in view of the problem that the lithography method forms the pixel region of the color filter is problematic in terms of cost. This is because even if the pixel region is formed by the ink jet method, the bank needs to be formed by the lithography method.

一方、バンクを形成することなく直接透明基板上にインクジェット方式でカラーフィルタインクを吐出させた場合には周縁部でカラーフィルタインクが広がってしまい、所定の領域内に高精度に画素領域を形成することが困難になる。   On the other hand, when color filter ink is directly ejected onto a transparent substrate without forming a bank by the ink jet method, the color filter ink spreads at the peripheral portion and forms a pixel region in a predetermined region with high accuracy. It becomes difficult.

本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み、バンクを形成することなく所定の複数領域にインクジェット方式によりカラーフィルタ等の画素領域を形成することができる薄膜の製造方法及びカラーフィルタを提供することを目的とする。   In view of the above-described problems of the conventional technology, the present invention provides a thin film manufacturing method and a color filter capable of forming a pixel region such as a color filter in a predetermined plurality of regions by an inkjet method without forming a bank. With the goal.

上記の目的を達成するための本発明の態様は、所定のパターンを形成する多数の領域に、紫外線硬化樹脂を含有するインクを含む溶液をインクジェットプリンタにより吐出する工程と、前記溶液に紫外線を照射して前記各領域に対応する溶液の縁部を仮硬化させてピニングする工程と、前記溶液が平坦化する際に前記溶液に再度紫外線を照射して本硬化させる工程とを有することを特徴とする薄膜の製造方法にある。   In order to achieve the above object, an embodiment of the present invention includes a step of ejecting a solution containing an ink containing an ultraviolet curable resin to a large number of regions forming a predetermined pattern by an inkjet printer, and irradiating the solution with ultraviolet rays. And a step of pre-curing and pinning the edge of the solution corresponding to each region, and a step of performing main curing by irradiating the solution with ultraviolet rays again when the solution is flattened. There is a method for manufacturing a thin film.

本態様によれば、溶液を仮硬化させてその縁部をピニング(溶液を仮硬化させて縁部の位置を固定することを言う;以下同じ)させた状態で溶液の溶媒を蒸発させて最終的な薄膜を形成することができるので、バンクがなくても途中で型崩れやにじみ等を生起することなく所定の精度で所定の領域に薄膜を作成することができる。   According to this aspect, the solvent of the solution is evaporated in a state where the solution is temporarily cured and the edge portion is pinned (referred to as fixing the position of the edge portion by temporarily curing the solution; hereinafter the same). Since a typical thin film can be formed, even if there is no bank, the thin film can be formed in a predetermined region with a predetermined accuracy without causing loss of shape or bleeding in the middle.

また、溶媒の蒸発は溶液の縁部がピニングされた状態で行われ、最終的に紫外線照射により本硬化させている。この結果、溶媒の蒸発による溶液の平坦化の過程で均一なレベルが維持される。したがって、この状態で本硬化させた溶液は良好なレベリング性を有するものとなり、薄膜の膜厚の均一性の向上、ひいてはこれを適用する液晶装置等の品質の向上に資することができる。   The solvent is evaporated in a state where the edge of the solution is pinned, and finally hardened by ultraviolet irradiation. As a result, a uniform level is maintained in the process of flattening the solution by evaporation of the solvent. Therefore, the solution that has been fully cured in this state has a good leveling property, and can contribute to the improvement of the uniformity of the film thickness of the thin film and the improvement of the quality of the liquid crystal device to which this is applied.

ここで、前記溶液をピニングした後、前記溶液を加熱し、その後紫外線の再照射を行っても良い。この場合には、加熱によりその分溶媒の蒸発を促進させることができるので、製造時間の短縮に寄与させることができる。また、前記溶液をピニングした後、前記溶液を加熱して本硬化を行っても良い。この場合も同様の効果を得る。なお、この場合の溶液は構成上、紫外線硬化と熱硬化との機能を兼備するものとする。さらにインクジェットプリンタによる前記溶液の吐出は前記各領域につき複数回行うとともに、前記溶液の吐出完了毎に前記溶液の縁部を仮硬化させてピニングする工程を有するようにしても良い。この場合には、任意の膜厚の薄膜を良好に製造することができる。   Here, after pinning the solution, the solution may be heated and then re-irradiated with ultraviolet rays. In this case, since the evaporation of the solvent can be promoted by heating, the production time can be shortened. Moreover, after pinning the solution, the solution may be heated to perform main curing. In this case, the same effect is obtained. In addition, the solution in this case shall have a function of ultraviolet curing and thermal curing due to its structure. Further, the ejection of the solution by the ink jet printer may be performed a plurality of times for each region, and a step of temporarily curing and pinning the edge of the solution every time the ejection of the solution is completed may be provided. In this case, a thin film having an arbitrary thickness can be manufactured satisfactorily.

さらに、前記薄膜はカラーフィルタの画素領域に形成するものであっても良い。このことにより、カラーフィルタの画素領域をインクジェット方式で、且つバンクを必要とすることなく形成することができる。   Furthermore, the thin film may be formed in the pixel region of the color filter. As a result, the pixel region of the color filter can be formed by an inkjet method and without requiring a bank.

本発明の他の態様は上記薄膜の製造方法により製造したことを特徴とするカラーフィルタにある。かかるカラーフィルタはバンクを必要とせず安価に製造することができる。しかも画素領域の縁部の形状の崩れもない。   Another aspect of the present invention is a color filter manufactured by the method for manufacturing a thin film. Such a color filter does not require a bank and can be manufactured at low cost. Moreover, the shape of the edge of the pixel region is not broken.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づき詳細に説明する。
図1は本形態に係るカラーフィルタの製造方法により製造したカラーフィルタを有する装置の一例である液晶表示装置を示す概略構成図である。同図に示す液晶表示装置1は、画素電極2及びその画素電極2のスイッチング素子である薄膜トランジスタ3(Thin Film Tranistor; 以下、TFTと略記する)がマトリクス状に配置されたTFTアレイ基板4と、R,G,Bの各画素領域に対応する画素領域5が所望の色配置パターンに配置されたカラーフィルタ6及び対向電極7を備えた対向基板8とを有している。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a liquid crystal display device which is an example of a device having a color filter manufactured by the color filter manufacturing method according to the present embodiment. The liquid crystal display device 1 shown in FIG. 1 includes a TFT array substrate 4 in which pixel electrodes 2 and thin film transistors 3 (Thin Film Transistors; hereinafter abbreviated as TFTs) that are switching elements of the pixel electrodes 2 are arranged in a matrix, A pixel region 5 corresponding to each of the R, G, and B pixel regions has a color filter 6 arranged in a desired color arrangement pattern and a counter substrate 8 provided with a counter electrode 7.

ここで、TFTアレイ基板4上の画素電極2で規定される各画素領域9とカラーフィルタ6の各画素領域5とでは、横寸法、縦寸法、隣接する領域間の寸法の全てが同一に設定されており、両領域5,9が対応するように位置合わせされている。   Here, in each pixel area 9 defined by the pixel electrode 2 on the TFT array substrate 4 and each pixel area 5 of the color filter 6, all of the horizontal dimension, the vertical dimension, and the dimension between adjacent areas are set to be the same. The two regions 5 and 9 are aligned so as to correspond to each other.

対向基板8には、TFTアレイ基板4側と同様の透明基板22の上面にカラーフィルタ6が形成されている。カラーフィルタ6は、R,G,Bの各画素領域5を格子状に区画するとともに各画素領域5間を遮光する遮光層、いわゆるブラックマトリクス23が透明基板22上に形成されており、各画素領域5内にR,G,Bの各色のカラーフィルタインクが定着されることにより各画素が形成される。   In the counter substrate 8, the color filter 6 is formed on the upper surface of the transparent substrate 22 similar to the TFT array substrate 4 side. In the color filter 6, R, G, and B pixel regions 5 are partitioned in a lattice pattern, and a light-shielding layer that shields light between the pixel regions 5, a so-called black matrix 23, is formed on the transparent substrate 22. Each pixel is formed by fixing the color filter inks of R, G, and B in the region 5.

また、カラーフィルタ6上の全面にはITO等の透明導電膜からなる対向電極7が形成されている。さらに、対向基板8側にもポリイミド等からなる配向膜(図示略)が形成されている。   A counter electrode 7 made of a transparent conductive film such as ITO is formed on the entire surface of the color filter 6. Further, an alignment film (not shown) made of polyimide or the like is also formed on the counter substrate 8 side.

かかる液晶表示装置のカラーフィルタ6の製造方法を図2に基づき詳細に説明する。   A method for manufacturing the color filter 6 of the liquid crystal display device will be described in detail with reference to FIG.

先ず、図2(a)に示すように、ブラックマトリクス23を形成したガラス製の透明基板22上の画素領域に、紫外線硬化樹脂を含有する液体の一種であるカラーフィルタインク25をインクジェット式記録ヘッド30により吐出する。このカラーフィルタインク25には、硬化開始剤とモノマーとからなる紫外線硬化樹脂を微量含有させてある。ここで、画素領域に吐出された前記カラーフィルタインク25に紫外線26を照射し、その縁部を仮硬化させてピニング(このピニング部分に図中で「P」の符号を付す。;以下同じ。)する。このピニングは紫外線26を照射した状態でカラーフィルタインク25を吐出させるタイミングで行っても良いし、また吐出の直後でも良い。要は、カラーフィルタインク25が濡れて移動し画素領域の縁部でそれを超える領域へのカラーフィルタインク25の流出を阻止することができれば良い。   First, as shown in FIG. 2A, a color filter ink 25, which is a kind of liquid containing an ultraviolet curable resin, is applied to a pixel region on a glass transparent substrate 22 on which a black matrix 23 is formed. 30. The color filter ink 25 contains a trace amount of an ultraviolet curable resin composed of a curing initiator and a monomer. Here, the color filter ink 25 ejected to the pixel region is irradiated with ultraviolet rays 26, and the edge portion thereof is temporarily cured and pinned (the pinning portion is given the symbol “P” in the figure; the same applies hereinafter). ) This pinning may be performed at the timing when the color filter ink 25 is ejected in the state where the ultraviolet ray 26 is irradiated, or may be immediately after the ejection. In short, it is only necessary that the color filter ink 25 is wet and moves, and the color filter ink 25 can be prevented from flowing out to an area beyond the edge of the pixel area.

さらに、ピニングは、カラーフィルタインク25の縁部に選択的に紫外線を照射することにより行うこともできる。この場合には必要な部分が選択的にピニングされるので、仮硬化も限定的になされる。   Further, pinning can be performed by selectively irradiating the edge of the color filter ink 25 with ultraviolet rays. In this case, since necessary portions are selectively pinned, provisional curing is also limited.

図2(b)に示すように、画素領域の形成においてカラーフィルタインク25を複数層に塗り分ける場合には、図2(a)と同様の工程を繰り返す。すなわち、下層のカラーフィルタインク25上に上層のカラーフィルタインク25を吐出させて縁部をピニングする。かかる工程を必要回数繰り返すことで所望の膜厚の画素領域を形成する。   As shown in FIG. 2B, when the color filter ink 25 is separately applied to a plurality of layers in the formation of the pixel region, the same process as in FIG. 2A is repeated. That is, the upper color filter ink 25 is ejected onto the lower color filter ink 25 to pin the edge. By repeating this process as many times as necessary, a pixel region having a desired film thickness is formed.

図2(a)及び図2(b)の工程で使用するインクジェット式プリンタの形式に特別な限定はないが、その一例を図3に基づき説明しておく。同図に示すように、当該インクジェット式記録ヘッド30は、カラーフィルタインクを噴射するノズル開口32に連通する圧力発生室33と、圧力発生室33と図示しないインクカートリッジとを連通させる流路34と、圧力発生室33に対向して設けられた振動板35と、振動板35を介して圧力発生室33に圧力変化を発生させる圧電素子31とを備えている。圧電素子31は、ケース36に、固定板37を介して固定されている。圧電素子31の基端部近傍には、固定板37とは反対側の面に、各圧電素子31を駆動するための駆動信号を供給する配線38が設けられている。この配線38がヘッド制御部(図示せず)に接続されている。   Although there is no particular limitation on the type of the ink jet printer used in the steps of FIGS. 2A and 2B, an example will be described with reference to FIG. As shown in the drawing, the ink jet recording head 30 includes a pressure generation chamber 33 that communicates with a nozzle opening 32 that ejects color filter ink, and a flow path 34 that communicates the pressure generation chamber 33 with an ink cartridge (not shown). A vibration plate 35 provided to face the pressure generation chamber 33 and a piezoelectric element 31 for generating a pressure change in the pressure generation chamber 33 via the vibration plate 35 are provided. The piezoelectric element 31 is fixed to the case 36 via a fixing plate 37. In the vicinity of the base end portion of the piezoelectric element 31, wiring 38 for supplying a drive signal for driving each piezoelectric element 31 is provided on the surface opposite to the fixed plate 37. This wiring 38 is connected to a head controller (not shown).

かかるインクジェット式記録ヘッド30では、ヘッド制御部から駆動信号が配線38を介してインクジェット式記録ヘッド30に送出され、圧電素子31に駆動信号が印加される。圧電素子31は、駆動信号に応じて、充電・放電を繰り返して伸縮することで振動板35を変形させて、圧力発生室33の容積を変化させる。この圧力発生室33の容積変化により、所定のノズル開口32からカラーフィルタインク滴が吐出される。   In the ink jet recording head 30, a driving signal is sent from the head control unit to the ink jet recording head 30 via the wiring 38, and the driving signal is applied to the piezoelectric element 31. The piezoelectric element 31 changes the volume of the pressure generating chamber 33 by deforming the diaphragm 35 by repeatedly expanding and contracting by repeatedly charging and discharging according to the drive signal. Due to the change in volume of the pressure generating chamber 33, color filter ink droplets are ejected from the predetermined nozzle openings 32.

図2(b)に示す工程でインクジェット式記録ヘッド30から吐出されたカラーフィルタインク25はその縁部でピニングされ、表面張力により中央部が盛り上がった状態となるが、次工程では透明基板22とともに加熱炉(図示せず)に入れて加熱することによりカラーフィルタインク25の溶剤を蒸発させる。ここで、カラーフィルタインク25ではその縁部の位置がピニングにより規制された状態で溶媒の蒸発が進行する。この結果、溶媒の蒸発によるカラーフィルタインク25の平坦化の過程で均一な膜厚レベルが維持される。   The color filter ink 25 ejected from the ink jet recording head 30 in the step shown in FIG. 2B is pinned at the edge thereof, and the central portion rises due to the surface tension. The solvent of the color filter ink 25 is evaporated by heating in a heating furnace (not shown). Here, in the color filter ink 25, the evaporation of the solvent proceeds in a state where the position of the edge is regulated by the pinning. As a result, a uniform film thickness level is maintained in the process of flattening the color filter ink 25 by evaporation of the solvent.

なお、かかる加熱工程は必ずしも必要ではない。場合によっては自然乾燥により溶剤を蒸発させて平坦化を進行させても良い。   Such a heating step is not always necessary. In some cases, planarization may be performed by evaporating the solvent by natural drying.

最後に、図2(c)に示すように、各画素領域のカラーフィルタインク25が平坦化された状態でカラーフィルタインク25に再度紫外線を照射して本硬化させる。   Finally, as shown in FIG. 2 (c), the color filter ink 25 is irradiated with ultraviolet rays again in a state where the color filter ink 25 in each pixel region is flattened to be fully cured.

かくして最終的に本硬化させたカラーフィルタインクは良好なレベリング性を有するものとなり、カラーフィルタの性能の向上、ひいてはこれを適用する液晶装置等の品質の向上に資することができる。   Thus, the finally cured color filter ink has a good leveling property, and can contribute to the improvement of the performance of the color filter and the improvement of the quality of the liquid crystal device to which this is applied.

なお、カラーフィルタインク等の溶液が紫外線硬化と熱硬化との性質を兼備するものであれば前記溶液をピニングした後、溶液を加熱して本硬化を行うようにしても良い。この場合にも紫外線硬化により本硬化を行った場合と同様の効果を得る。また、溶液としては、カラーフィルタインク25以外に、有機EL発光層を含むインク、銀等の導電性の成分を含むインク等も使用することができる。   If the solution such as the color filter ink has both the properties of ultraviolet curing and heat curing, after the solution is pinned, the solution may be heated to perform the main curing. In this case, the same effect as that obtained when the main curing is performed by ultraviolet curing is obtained. As the solution, in addition to the color filter ink 25, an ink containing an organic EL light emitting layer, an ink containing a conductive component such as silver, or the like can be used.

また、上述の実施の形態はカラーフィルタの製造方法として説明したが、これに限るものではない。所定のパターンを形成する多数の領域をインクジェットプリンティングを用いて製造する場合には一般に適用できる。   Further, although the above embodiment has been described as a method for manufacturing a color filter, the present invention is not limited to this. In general, the present invention can be applied to a case where a large number of regions for forming a predetermined pattern are manufactured using ink jet printing.

カラーフィルタを有する液晶表示装置を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the liquid crystal display device which has a color filter. 実施の形態に係るカラーフィルタの製造方法の各工程を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows each process of the manufacturing method of the color filter which concerns on embodiment. インクジェット式記録ヘッドの一例を示す概略構成図である。1 is a schematic configuration diagram illustrating an example of an ink jet recording head.

符号の説明Explanation of symbols

1 液晶表示装置
5 画素領域
6 カラーフィルタ
22 透明基板
25 カラーフィルタインク
26 紫外線
30 インクジェット式記録ヘッド
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Liquid crystal display device 5 Pixel area | region 6 Color filter 22 Transparent substrate 25 Color filter ink 26 Ultraviolet ray 30 Inkjet recording head

Claims (6)

所定のパターンを形成する多数の領域に、紫外線硬化樹脂を含有するインクを含む溶液をインクジェットプリンタにより吐出する工程と、
前記溶液に紫外線を照射して前記各領域に対応する溶液の縁部を仮硬化させてピニングする工程と、
前記溶液が平坦化する際に前記溶液に再度紫外線を照射して本硬化させる工程とを有することを特徴とする薄膜の製造方法。
Discharging a solution containing an ink containing an ultraviolet curable resin to a large number of regions forming a predetermined pattern by an inkjet printer;
Irradiating the solution with ultraviolet light to temporarily cure the edge of the solution corresponding to each region and pinning;
A method of producing a thin film, comprising the step of irradiating the solution again with ultraviolet rays and performing main curing when the solution is flattened.
請求項1に記載する薄膜の製造方法において、
前記溶液をピニングした後、前記溶液を加熱し、その後紫外線の再照射を行うことを特徴とする薄膜の製造方法。
In the manufacturing method of the thin film of Claim 1,
A method for producing a thin film, comprising: pinning the solution, heating the solution, and then performing re-irradiation with ultraviolet rays.
請求項1に記載する薄膜の製造方法において、
前記溶液をピニングした後、前記溶液を加熱して本硬化を行うことを特徴とする薄膜の製造方法。
In the manufacturing method of the thin film of Claim 1,
After pinning the solution, the solution is heated to perform main curing.
請求項1又は請求項2に記載する薄膜の製造方法において、
インクジェットプリンタによる前記溶液の吐出は前記各領域につき複数回行うとともに、前記溶液の吐出完了毎に前記溶液の縁部を仮硬化させてピニングする工程を有することを特徴とする薄膜の製造方法。
In the manufacturing method of the thin film of Claim 1 or Claim 2,
A method for producing a thin film, comprising: performing ejection of the solution by an ink jet printer a plurality of times for each region, and performing pinning by temporarily curing an edge of the solution every time the ejection of the solution is completed.
請求項1乃至請求項4の何れか一つに記載する薄膜の製造方法において、
前記薄膜はカラーフィルタの画素領域に形成するものであることを特徴とする薄膜の製造方法。
In the manufacturing method of the thin film as described in any one of Claim 1 thru | or 4,
The method for producing a thin film, wherein the thin film is formed in a pixel region of a color filter.
請求項1乃至請求項5の何れか一つに記載する薄膜の製造方法により製造したことを特徴とするカラーフィルタ。
A color filter manufactured by the method for manufacturing a thin film according to any one of claims 1 to 5.
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