JP2008170844A - Manufacturing method of liquid crystal display device and droplet discharge device - Google Patents
Manufacturing method of liquid crystal display device and droplet discharge device Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008170844A JP2008170844A JP2007005461A JP2007005461A JP2008170844A JP 2008170844 A JP2008170844 A JP 2008170844A JP 2007005461 A JP2007005461 A JP 2007005461A JP 2007005461 A JP2007005461 A JP 2007005461A JP 2008170844 A JP2008170844 A JP 2008170844A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- transparent substrate
- alignment film
- alignment
- crystal display
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
Description
本発明は、液晶表示装置の製造方法及び液滴吐出装置に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a liquid crystal display device and a droplet discharge device.
液晶表示装置は、液晶分子の配向状態を規定するため、液晶分子を封入する透明基板の
内側面に突起や配向膜などを設けている(例えば、特許文献1)。配向膜の製造方法とし
ては、配向膜材料の塗布されたフレキソ版を透明基板に押し当て、フレキソ版の配向膜材
料を透明基板に転写させるフレキソ印刷法が利用される。フレキソ印刷法は、フレキソ版
に応じた形状の配向膜を透明基板の上に形成させるため、透明基板の大型化に伴い、フレ
キソ版の交換作業に多大な時間を要する。また、フレキソ印刷法は、フレキソ版の全体に
配向膜材料を塗布させるため、配向膜材料の使用効率が低くなってしまう。
In the liquid crystal display device, in order to define the alignment state of liquid crystal molecules, a protrusion, an alignment film, and the like are provided on the inner surface of a transparent substrate that encloses the liquid crystal molecules (for example, Patent Document 1). As a method for producing the alignment film, a flexographic printing method is used in which the flexographic plate coated with the alignment film material is pressed against a transparent substrate, and the alignment film material of the flexographic plate is transferred to the transparent substrate. In the flexographic printing method, an alignment film having a shape corresponding to the flexographic plate is formed on the transparent substrate. Therefore, as the transparent substrate increases in size, it takes a lot of time to replace the flexographic plate. Further, since the flexographic printing method applies the alignment film material to the entire flexographic plate, the use efficiency of the alignment film material becomes low.
そこで、配向膜の製造方法では、従来から、上記生産上の問題を解決するための提案が
なされている。特許文献2は、配向膜形成液を液滴にして基板に吐出し、基板に着弾した
液滴を乾燥させて配向膜を形成する、いわゆるインクジェット法を提案する。
Therefore, in the method of manufacturing the alignment film, proposals have conventionally been made to solve the above production problems. Patent Document 2 proposes a so-called inkjet method in which alignment film forming liquid is discharged as droplets onto a substrate, and droplets that have landed on the substrate are dried to form an alignment film.
インクジェット法は、配向膜形成液をノズルから吐出させるため、フレキソ印刷法で利
用する配向膜形成液の溶剤成分を多くし、配向膜形成液の粘度を10mPa・s以下にし
なければならない。こうした低粘度の液状体は、液滴を乾燥させる際、吐出領域の中央部
と周辺部との間において、溶剤の蒸気圧に大きな差を来たす。すなわち、蒸気圧の低い吐
出領域の周辺部は、吐出領域の中央部に比べて、配向膜材料の濃度が高くなり、配向膜材
料の表面張力が高くなる。この結果、中央部に吐出された配向膜形成液が周辺部に流動し
、中央部の膜厚が周辺部の膜厚よりも薄くなってしまう。
In the inkjet method, since the alignment film forming liquid is ejected from the nozzle, the solvent component of the alignment film forming liquid used in the flexographic printing method must be increased, and the viscosity of the alignment film forming liquid must be 10 mPa · s or less. Such a low-viscosity liquid material causes a large difference in the vapor pressure of the solvent between the central portion and the peripheral portion of the discharge region when the droplets are dried. That is, the peripheral portion of the discharge region with a low vapor pressure has a higher concentration of the alignment film material and a higher surface tension of the alignment film material than the central portion of the discharge region. As a result, the alignment film forming liquid discharged to the central part flows to the peripheral part, and the film thickness of the central part becomes thinner than the film thickness of the peripheral part.
上記の膜厚差は、吐出ヘッドを改行走査させる場合に、さらに顕著になる。すなわち、
吐出領域の幅が吐出ヘッドの幅よりも大きい場合、吐出ヘッドが、吐出領域の上で数回に
わたり改行走査される。先行走査によって吐出された液滴は、後続走査によって吐出され
る液滴よりも早く乾燥し始めて低粘度化する。この結果、後続走査によって吐出された液
滴が、先行走査によって吐出された液滴の方に流動し、吐出ヘッドを改行させるたびに、
先行走査と後続走査との境界に膜厚の段差(改行スジ)を生じてしまう。
The film thickness difference becomes more prominent when the ejection head is scanned for line feed. That is,
When the width of the discharge area is larger than the width of the discharge head, the discharge head is scanned for line feed several times over the discharge area. The droplets ejected by the preceding scan begin to dry faster than the droplets ejected by the subsequent scan, and the viscosity is lowered. As a result, every time the liquid droplets ejected by the subsequent scan flow toward the liquid droplets ejected by the preceding scan,
A step in the film thickness (return line streak) occurs at the boundary between the preceding scan and the subsequent scan.
特許文献2は、上記問題を解決するため、液滴を吐出する吐出ヘッドに複数のノズル列
を設け、ノズル列ごとに異なる濃度の配向膜形成液を吐出する。すなわち、吐出領域ある
いは走査領域の中央部に高い濃度の配向膜形成液を吐出し、吐出領域あるいは走査領域の
周辺部に低い濃度の配向膜形成液を吐出する。これによって、配向膜形成液の流動にとも
なう濃度分布を補償させることができ、配向膜の膜厚均一性を向上させることができる。
しかしながら、特許文献2は、異なる濃度の配向膜形成液を必要とするため、配向膜形
成液の調整や配向膜形成液の濃度管理が煩雑になる。また、吐出領域のサイズや形状を変
更するたびに、各配向膜形成液の濃度、吐出位置、吐出量など、各種の吐出条件を最適化
させなければならない。この結果、上記インクジェット法は、汎用性を得難いものであっ
た。
However, since Patent Document 2 requires alignment film forming liquids having different concentrations, adjustment of the alignment film forming liquid and concentration management of the alignment film forming liquid become complicated. Further, every time the size or shape of the discharge region is changed, various discharge conditions such as the concentration of each alignment film forming liquid, the discharge position, and the discharge amount must be optimized. As a result, the inkjet method is difficult to obtain versatility.
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、配向膜の膜厚
段差に起因する表示ムラを低減させた液晶表示装置の製造方法及び液滴吐出装置を提供す
ることである。
The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a liquid crystal display device and a droplet discharge device in which display unevenness due to a film thickness difference of an alignment film is reduced. That is.
本発明の液晶表示装置の製造方法は、透明基板上に配向膜を有した液晶表示装置の製造
方法であって、一方向に配列された複数のノズルを有する吐出ヘッドと、前記透明基板と
を前記一方向と交差する他方向に沿って相対移動させ、前記複数のノズルから前記透明基
板に向けて配向膜材料を含む複数の液滴を吐出し、前記透明基板に着弾した前記複数の液
滴を乾燥する工程と、前記透明基板上に前記他方向と交差する方向に延びる段差部を形成
する工程と、を備えた。
The method for producing a liquid crystal display device of the present invention is a method for producing a liquid crystal display device having an alignment film on a transparent substrate, the discharge head having a plurality of nozzles arranged in one direction, and the transparent substrate. The plurality of droplets that are relatively moved along the other direction intersecting the one direction, ejecting a plurality of droplets containing an alignment film material from the plurality of nozzles toward the transparent substrate, and landed on the transparent substrate And a step of forming a step portion extending in a direction crossing the other direction on the transparent substrate.
本発明の液晶表示装置の製造方法によれば、相対移動方向に沿った膜厚段差による液晶
分子の配向分割を、段差部によって分断されることができる。したがって、配向膜の膜厚
段差に起因した表示ムラを低減させることができる。
According to the manufacturing method of the liquid crystal display device of the present invention, the alignment division of the liquid crystal molecules due to the film thickness step along the relative movement direction can be divided by the step portion. Therefore, display unevenness due to the film thickness difference of the alignment film can be reduced.
この液晶表示装置の製造方法は、前記段差部を形成した後に、前記配向膜材料を含む前
記複数の液滴を前記透明基板に向けて吐出し、前記透明基板に着弾した前記複数の液滴を
乾燥して配向処理を施してもよい。
In this method of manufacturing a liquid crystal display device, after the step portion is formed, the plurality of droplets containing the alignment film material are ejected toward the transparent substrate, and the plurality of droplets landed on the transparent substrate are discharged. You may dry and perform an orientation process.
この液晶表示装置の製造方法によれば、段差部の近傍に着弾した液滴が段差部に導かれ
て拡散するため、相対移動方向に沿う膜厚段差を段差部の方向に分散させることができる
。しかも、相対移動方向に沿った膜厚段差による液晶分子の配向分割を、段差部によって
分断さることができる。したがって、液晶表示装置の表示ムラを、さらに低減させること
ができる。
According to this method of manufacturing a liquid crystal display device, since the droplets that have landed near the stepped portion are guided to the stepped portion and diffused, the film thickness step along the relative movement direction can be dispersed in the direction of the stepped portion. . Moreover, the alignment division of the liquid crystal molecules due to the film thickness step along the relative movement direction can be divided by the step portion. Accordingly, display unevenness of the liquid crystal display device can be further reduced.
この液晶表示装置の製造方法は、前記段差部を形成する前に、前記配向膜材料を含む前
記複数の液滴を前記透明基板に向けて吐出し、前記透明基板に着弾した前記複数の液滴を
乾燥して配向処理を施してもよい。
In this method of manufacturing a liquid crystal display device, before forming the stepped portion, the plurality of droplets containing the alignment film material are ejected toward the transparent substrate and landed on the transparent substrate. May be dried for orientation treatment.
この液晶表示装置の製造方法によれは、配向膜の下地に段差部を有しない分だけ、より
平坦な配向膜に対しラビング処理などの配向処理を施すことができる。したがって、配向
膜の配向処理を、より均一に施すことができ、液晶表示装置の表示ムラを、より確実に低
減させることができる。
According to this method for manufacturing a liquid crystal display device, an alignment process such as a rubbing process can be performed on a flatter alignment film as much as there is no step portion on the base of the alignment film. Therefore, the alignment treatment of the alignment film can be performed more uniformly, and the display unevenness of the liquid crystal display device can be reduced more reliably.
この液晶表示装置の製造方法は、前記段差部が、液晶分子の配向方向を規制する凸部で
あってもよい。
本発明の液滴吐出装置は、一方向に配列された複数のノズルを有し、前記複数のノズル
の各々から配向膜材料を含む液滴を吐出する吐出ヘッドと、他方向に延びる段差部を有し
た透明基板と、前記吐出ヘッドとを前記他方向と交差する方向に相対移動させる相対移動
手段と、前記相対移動手段を駆動して前記透明基板と前記吐出ヘッドとを相対移動させ、
前記吐出ヘッドを駆動して前記複数のノズルの各々から前記透明基板に向けて複数の前記
液滴を吐出させる制御部と、を備えた。
In this method of manufacturing a liquid crystal display device, the stepped portion may be a convex portion that regulates the alignment direction of liquid crystal molecules.
The droplet discharge device of the present invention includes a plurality of nozzles arranged in one direction, a discharge head that discharges droplets containing alignment film material from each of the plurality of nozzles, and a stepped portion that extends in the other direction. A relative movement means for relatively moving the transparent substrate having the discharge head in a direction intersecting the other direction, and driving the relative movement means to relatively move the transparent substrate and the discharge head;
And a controller that drives the discharge head to discharge the plurality of droplets from each of the plurality of nozzles toward the transparent substrate.
本発明の液滴吐出装置によれば、段差部の近傍に着弾した液滴が段差部に導かれて拡散
するため、相対移動方向に沿う膜厚段差を段差部の方向に分散させることができる。しか
も、相対移動方向に沿った膜厚段差による液晶分子の配向分割を、段差部によって分断さ
ることができる。したがって、配向膜の膜厚段差によって生じる表示ムラを低減させるこ
とができる。
According to the droplet discharge device of the present invention, the droplets that have landed in the vicinity of the stepped portion are guided to the stepped portion and diffused, so that the film thickness step along the relative movement direction can be dispersed in the direction of the stepped portion. . Moreover, the alignment division of the liquid crystal molecules due to the film thickness step along the relative movement direction can be divided by the step portion. Therefore, display unevenness caused by the film thickness difference of the alignment film can be reduced.
この液滴吐出装置は、前記相対移動手段が、前記透明基板を載置して前記透明基板を前
記一方向と直交する方向に移動する基板ステージであってもよい。
この液滴吐出装置によれば、基板ステージによる走査が、配向膜の膜厚段差によって生
じる表示ムラを低減させる。
In this droplet discharge device, the relative movement unit may be a substrate stage on which the transparent substrate is placed and the transparent substrate is moved in a direction orthogonal to the one direction.
According to this droplet discharge device, scanning by the substrate stage reduces display unevenness caused by the film thickness step of the alignment film.
この液滴吐出装置は、前記段差部が、液晶分子の配向方向を規制する凸部であってもよ
い。
In this droplet discharge device, the stepped portion may be a convex portion that regulates the alignment direction of liquid crystal molecules.
(第一実施形態)
以下、本発明を具体化した一実施形態を図1〜図8に従って説明する。まず、液晶表示
装置10について説明する。図1は、液晶表示装置10を示す斜視図である。
(First embodiment)
Hereinafter, an embodiment embodying the present invention will be described with reference to FIGS. First, the liquid
図1において、液晶表示装置10は、例えば、MVA(Multi domain Vertical Alignm
ent )方式の液晶表示装置であって、バックライト11と液晶パネル12とを有する。バ
ックライト11は、LEDなどの光源13出射された光を液晶パネル12の全面に照射す
る。液晶パネル12には、相対向する透明基板(素子基板14と対向基板15)が備えら
れている。素子基板14と対向基板15は、四角枠状のシール材16により貼り合わされ
て、その間隙に液晶LCを封入する。液晶LCは、例えばVA(Vertical Alignment )
方式の液晶であって、配向分割技術(マルチドメイン)を利用可能にするものである。
In FIG. 1, a liquid
ent) type liquid crystal display device having a backlight 11 and a liquid crystal panel 12. The backlight 11 irradiates the entire surface of the liquid crystal panel 12 with light emitted from the
This is a liquid crystal of the type, which makes it possible to use an alignment division technique (multi-domain).
素子基板14の下面には、偏光板や位相差板などの光学基板17が貼り合わされている
。光学基板17は、所定の方向に透過軸を有し、バックライト11からの光を液晶LCに
向けて透過可能にする。
An
素子基板14の上面(以下単に、素子形成面14aという。)には、一方向に延びる複
数の走査線Lxが配列形成されている。各走査線Lxは、それぞれ素子基板14の一側に
配設される走査線駆動回路19に接続されている。各走査線Lxには、走査線駆動回路1
9からの走査信号が所定のタイミングで入力される。
On the upper surface of the element substrate 14 (hereinafter simply referred to as an
9 is input at a predetermined timing.
素子形成面14aには、走査線Lxと直交する方向に延びる複数のデータ線Lyが配列
形成されている。各データ線Lyは、それぞれ素子基板14の他側に配設されるデータ線
駆動回路18に接続されている。各データ線Lyには、データ線駆動回路18からの表示
データに基づくデータ信号が所定のタイミングで入力される。
On the
ここで、走査線Lxの延びる方向をX方向とし、データ線Lyの延びる方向をY方向と
いう。
図2において、素子基板14の素子形成面14aには、走査線Lxとデータ線Lyとに
よって区画形成された複数の画素20が形成されている。各画素20には、それぞれTF
Tからなるスイッチング素子21と、光透過性の画素電極22が備えられている。
Here, the direction in which the scanning line Lx extends is referred to as the X direction, and the direction in which the data line Ly extends is referred to as the Y direction.
In FIG. 2, a plurality of
A switching
各画素電極22には、複数のスリット22Sが形成されている。各スリット22Sは、
それぞれ対応する画素電極22に形成された凹溝である。各スリット22Sは、それぞれ
Y方向の各画素電極22を断続的に跨ぐ九十九折状に形成され、Y方向に対して傾斜角θ
(90>θ≧0)だけ傾斜する方向に沿って形成されている。
Each
Each is a concave groove formed in the
It is formed along a direction inclined by (90> θ ≧ 0).
各画素電極22の上側には、その全体にわたりラビング処理などの配向処理を施された
配向膜23が積層されている。配向膜23は、配向性ポリイミドなどの配向性高分子から
なる薄膜であって、対応する画素電極22の近傍で液晶LCの配向状態を規制する。配向
膜23は、配向膜材料(例えば、配向性高分子)の分散した配向膜用インクを液滴にして
各画素20の上側全体に吐出し、複数の液滴からなる液状膜を乾燥させて形成される。
On the upper side of each
図1において、対向基板15の上面には、偏光板24が配設されている。偏光板24は
、所定の方向に透過軸を有して液晶LCからの光を透過可能にする。
図3において、対向基板15の下面(素子基板14側の面:電極形成面15a)には、
ブラックマトリックス25が形成されている。ブラックマトリックス25は、素子基板1
4側からの光を遮光する遮光部材であって、走査線Lx及びデータ線Lyと対向する格子
状に形成されている。電極形成面15aであって、ブラックマトリックス25で区画され
た領域、すなわち、画素電極22と対向する領域には、それぞれカラーフィルタ26が形
成されている。カラーフィルタ26は、液晶LCからの光の中から特定波長の光を透過し
、バックライト11からの光を有色の光に変換する。
In FIG. 1, a
In FIG. 3, on the lower surface of the counter substrate 15 (surface on the
A
4 is a light shielding member that shields light from the four sides, and is formed in a lattice shape facing the scanning lines Lx and the data lines Ly.
ブラックマトリックス25及びカラーフィルタ26の下側には、共通するオーバーコー
ト層27が積層されている。オーバーコート層27は、素子基板14側からの光を透過す
る光透過性樹脂からなる薄膜であって、対向基板15の表面全体を平坦にする。オーバー
コート層27の下側には、光透過性の対向電極28が積層されている。対向電極28は、
走査線駆動回路19に接続されて所定の共通電位を受ける。
A
It is connected to the scanning
対向電極28の下側には、凸部としての複数のリブ30が形成されている。各リブ30
は、それぞれ対向電極28の略全体にわたり形成された凸溝であり、対向基板15の法線
方向(反Z方向)から見て、各スリット22S(図3の二点鎖線)に沿うように形成され
ている。すなわち、各リブ30は、それぞれY方向に沿って九十九折状に形成され、Y方
向に対して傾斜角θ(90>θ≧0)だけ傾斜する方向に沿って形成されている。
A plurality of
Are convex grooves formed over substantially the
各リブ30は、それぞれ対向電極28の表面から突出する斜面によって、近傍に位置す
る液晶分子の配向状態を分割する。すなわち、液晶分子が対向電極28に対して垂直に配
向する状態と水平に配向する状態との間の配向状態のとき、各リブ30は、それぞれ液晶
分子の傾く方向を対向電極28の上側で分割させる。例えば、リブ30は、その右側の領
域では液晶分子を右に傾け、その左側の領域では液晶分子を左側に傾ける。これにより、
液晶表示装置10は、液晶分子の配向状態を分割させる分だけ、その視野角を拡大させる
ことができる。
Each
The liquid
対向電極28及び各リブ30の上側には、配向膜31が積層されている。配向膜31は
、配向膜23と同じく、配向性ポリイミドなどの配向性高分子からなる薄膜であって、対
応するカラーフィルタ26の近傍で液晶LCの配向状態を規定する。配向膜31は、配向
性高分子の分散した配向膜用インクを液滴にして対向電極28及びリブ30の上側全体に
吐出し、複数の液滴からなる液状膜を乾燥させて形成される。
An
配向膜31の一部には、Y方向に延びる段差部としての隆起部FLO(図3においてグ
ラデーションを付した領域)がリブ30と交差するように形成されている。隆起部FLO
は、周囲の配向膜31から隆起する段差部であって、交差するリブ30に沿って広がるよ
うに形成されている。
In a part of the
Is a stepped portion protruding from the surrounding
隆起部FLOは、周囲から隆起する斜面によって、近傍に位置する液晶分子の配向を分
割する。Y方向に延びる隆起部FLOは、Y方向に沿って液晶分子の傾く方向を分割させ
るとともに、交差するリブ30によって、その液晶分子の配向分割が分断される。したが
って、隆起部FLOは、液晶分子の配向状態をリブ30と異なる方向に分割させて、液晶
表示装置10の視野角を拡大させる。しかも、隆起部FLOは、リブ30に対して傾斜角
θで交差することにより、Y方向に沿う連続的な配向分割を回避させ、液晶表示装置10
のY方向に沿う表示ムラを低減させる。
The raised portion FLO divides the alignment of liquid crystal molecules located in the vicinity by an inclined surface raised from the periphery. The raised portion FLO extending in the Y direction divides the direction in which the liquid crystal molecules incline along the Y direction, and the alignment division of the liquid crystal molecules is divided by the intersecting
Display unevenness along the Y direction.
走査線駆動回路19は、各走査線Lxを線順次走査に基づいて1本ずつ所定のタイミン
グで選択し、各画素20の制御素子をそれぞれ選択期間中だけオン状態にする。オン状態
のスイッチング素子21は、表示データに基づくデータ信号をデータ線Lyから受けて、
対応する画素電極22にデータ信号を出力する。各画素電極22は、それぞれ画素電極2
2と対向電極28との間の電位差に基づいて、対応する液晶LCの配向状態を変調し、光
学基板17からの光の偏光状態を画素20ごとに変調させる。変調された光は、対応する
カラーフィルタ26によって有色の光に変換されて、表示ムラの無いフルカラーの画像を
表示する。
The scanning
A data signal is output to the
2 and the
次に、上記液晶表示装置10の製造方法について図4〜8に従って説明する。
まず、配向膜23,31を形成するための液滴吐出装置35について説明する。なお、
配向膜23と配向膜31は、それぞれ同じ製造方法を用いて製造されるため、説明の便宜
上、以下では配向膜31を製造する形態について説明する。
Next, a method for manufacturing the liquid
First, the
Since the
図4において、液滴吐出装置35には、直方体形状に形成された基台36が備えられて
いる。基台36の上面には、その長手方向(Y方向)に沿って延びる一対の案内溝37が
形成されている。一対の案内溝37には、基台36に内設されたY軸モータの出力軸に駆
動連結される基板ステージ38が取着されている。
In FIG. 4, the
基板ステージ38は、対向電極28を上側にした状態で対向基板15を位置決め固定す
る。基板ステージ38は、Y軸モータが正転又は逆転するとき、案内溝37に沿って所定
の速度でY方向又は反Y方向に移動し、位置決め固定した対向基板15をY方向又は反Y
方向に走査する。
The
Scan in the direction.
基台36の上方には、門型に形成されたガイド部材39が架設されている。ガイド部材
39の上側には、インクタンク41が配設されている。インクタンク41は、配向膜用イ
ンクIkを収容し、所定の圧力に調整した配向膜用インクIkを吐出ヘッドに向けて供給
する。
A
ガイド部材39には、X方向に延びる上下一対のガイドレール42が形成されている。
上下一対のガイドレール42には、ガイド部材39に内設されたX軸モータMXの出力軸
に駆動連結されるキャリッジ43が取着されている。キャリッジ43の下側には、X方向
に延びる略直方体形状の吐出ヘッドHが搭載されている。キャリッジ43は、X軸モータ
が正転又は逆転するとき、ガイドレール42に沿ってX方向又は反X方向に移動し、搭載
する吐出ヘッドHをX方向又は反X方向に走査する。
The
A pair of upper and
図5は、吐出ヘッドHを下方(対向基板15)から見た図である。図6は、吐出ヘッド
HをY方向から見た図である。
図5において、吐出ヘッドHの上側(基板ステージ38側)には、ノズルプレート44
が備えられている。ノズルプレート44の上面には、対向基板15と平行のノズル形成面
44aが形成され、そのノズル形成面44aには、ノズル形成面44aの法線方向に貫通
する複数のノズルNがX方向に沿って等間隔に配列され、1列のノズル列を構成している
。吐出ヘッドHの下側には、ヘッド基板45が設けられ、そのヘッド基板45の一側端に
は、入力端子45aが設けられている。入力端子45aには、吐出ヘッドHを駆動するた
めの所定の駆動波形信号が入力される。
FIG. 5 is a view of the ejection head H as viewed from below (the counter substrate 15). FIG. 6 is a view of the ejection head H as seen from the Y direction.
In FIG. 5, a
Is provided. A
図6において、吐出ヘッドHは、各ノズルNの上側に、それぞれインクタンク41に連
通するキャビティ46を有している。各キャビティ46は、それぞれインクタンク41が
導出する配向膜用インクIkを対応するノズルNに供給する。各キャビティ46の上側に
は、上下方向に振動可能な振動板47が貼り付けられて、対応するキャビティ46の容積
を拡大・縮小可能にする。振動板47の上側には、各ノズルNに対応する圧電素子PZが
配設されている。各圧電素子PZは、それぞれ圧電素子PZを駆動するための駆動波形信
号を受けるとき、上下方向に収縮・伸張し、対応する振動板47を振動させる。キャビテ
ィ46は、対応する振動板47が振動するとき、対応するノズルNの内部のメニスカスを
上下方向に振動させ、所定重量の配向膜用インクIkをノズルNから液滴Dとして吐出さ
せる。吐出された液滴Dは、対向基板15に向かって飛行して対向電極28の上面(以下
単に、吐出面28aという。)に着弾する。
In FIG. 6, the ejection head H has
図6において、吐出面28aは、一点鎖線で示すドットパターン格子によって仮想分割
されている。ドットパターン格子とは、Y方向の吐出ピッチPyと、X方向の吐出ピッチ
Pxとによって規定された格子である。吐出ピッチPyは、液滴Dの吐出周波数と基板ス
テージ38の走査速度とに基づいて規定される値であって、Y方向に沿って規定される液
滴Dの最小の吐出間隔である。吐出ピッチPxは、ノズルNの形成ピッチと同じサイズで
規定される。液滴Dの吐出・非吐出は、このドットパターン格子の格子点Pごとに規定さ
れる。液滴Dを吐出するノズルNは、格子点Pの上方を通過するノズルNに規定されてい
る。
In FIG. 6, the
吐出ヘッドHは、対向基板15がY方向に走査されるとき、格子点PがノズルNの直下
に位置するたびに、各圧電素子PZをそれぞれ駆動させて対応するノズルNから液滴Dを
吐出させる。吐出された各液滴Dは、それぞれ対向電極28の上に着弾して吐出面28a
の面方向に沿って濡れ広がり、対向基板15のY方向略全幅にわたって延びる帯状の第1
液状膜FL1を形成する。
When the
The first belt-shaped first layer extending in the Y direction of the
A liquid film FL1 is formed.
この際、第1液状膜FL1は、その端部に位置する配向膜用インクIkが各リブ30に
導かれ、その外縁を各リブ30の延びる方向に分散させる。
図7において、吐出ヘッドHは、第1液状膜FL1を有した対向基板15が反Y方向に
走査されるとき、X方向に改行されて、格子点Pが再びノズルNの直下に位置するたびに
、各圧電素子PZをそれぞれ駆動させて対応するノズルNから液滴Dを吐出させる。吐出
された各液滴Dは、それぞれ対向電極28の上に着弾して吐出面28aの面方向に沿って
濡れ広がり、対向基板15のY方向略全幅にわたって延びる帯状の第2液状膜FL2を形
成する。
At this time, in the first liquid film FL1, the alignment film ink Ik positioned at the end thereof is guided to each
In FIG. 7, when the
この際、第1液状膜FL1と第2液状膜FL2との境界は、乾燥状態の差異に従って、
周囲から隆起する隆起部FLOをY方向に沿って形成させる。一方、第1液状膜FL1と
第2液状膜FL2との境界であって、リブ30と交差する境界は、配向膜用インクIkが
各リブ30に導かれ、その隆起をリブ30の延びる方向に分散させる。そのため、第1液
状膜FL1と第2液状膜FL2の境界は、各リブ30が配向膜用インクIkを導く分だけ
、膜厚の段差を軽減させて隆起部FLOの領域を分散させる。
At this time, the boundary between the first liquid film FL1 and the second liquid film FL2 is in accordance with the difference in the dry state.
A raised portion FLO protruding from the periphery is formed along the Y direction. On the other hand, the boundary between the first liquid film FL1 and the second liquid film FL2 that intersects the
次に、上記のように構成した液滴吐出装置35の電気的構成を図8に従って説明する。
図8において、制御部51には、CPU、ROM、RAMなどが備えられている。制御
部51は、RAMやROMなどに格納された各種データ及び各種プログラムに従って、基
板ステージ38及びキャリッジ43を移動させるとともに、吐出ヘッドHを駆動制御させ
る。
Next, the electrical configuration of the
In FIG. 8, the
制御部51には、起動スイッチ、停止スイッチ等の操作スイッチを有した入出力装置5
2が接続されている。入出力装置52は、例えばCPU、RAM、ROM、ハードディス
ク、液晶ディスプレイなどを有した外部コンピュータである。入出力装置52は、ROM
又はハードディスクに記憶された制御プログラムに従って液滴吐出装置35を駆動させる
ための各種の制御信号を制御部51に出力する。制御部51は、配向膜31(第1液状膜
FL1及び第2液状膜FL2)を描画するための描画データIpを入出力装置52から受
信する。
The
2 is connected. The input /
Alternatively, various control signals for driving the
制御部51は、入出力装置52からの描画データIpをドットパターンデータPDに展
開して格納する。ここで、ドットパターンデータPDは、X方向の吐出ピッチPxとY方
向(リブ30の長手方向に対し傾斜角θだけ傾斜する方向)の吐出ピッチPyとからなる
ドットパターン格子を規定する。ドットパターンデータPDは、ドットパターン格子の各
格子点Pにそれぞれ各ビットの値(0あるいは1)を対応させるためのデータであって、
各ビットの値に応じて、それぞれ圧電素子PZのオンあるいはオフを規定するものである
。すなわち、ドットパターンデータPDは、対向基板15がY方向又は反Y方向に走査さ
れるとき、吐出ピッチPyに応じた所定の吐出周波数ごとに圧電素子PZのオンあるいは
オフを規定するものである。
The
The piezoelectric element PZ is turned on or off according to the value of each bit. That is, the dot pattern data PD defines ON or OFF of the piezoelectric element PZ for each predetermined ejection frequency according to the ejection pitch Py when the
制御部51は、基板ステージ38の1走査分に相当するドットパターンデータPDを展
開すると、ドットパターンデータPDを利用して所定の転送クロックに同期したシリアル
パターンデータSIを生成し、ヘッド駆動回路58にシリアル転送する。シリアルパター
ンデータSIは、液滴Dの吐出・非吐出を規定するためのビットの値をノズルNの数量分
だけ有し、吐出周期ごとに順次生成される。
When the dot pattern data PD corresponding to one scan of the
制御部51は、X軸モータ駆動回路53に接続されて、X軸モータ駆動回路53に対応
する駆動制御信号を出力する。X軸モータ駆動回路53は、制御部51からの駆動制御信
号に応答してX軸モータMXを正転又は逆転させ、キャリッジ43をX方向又は反X方向
に走査する。
The
制御部51は、Y軸モータ駆動回路54に接続されて、Y軸モータ駆動回路54に対応
する駆動制御信号を出力する。Y軸モータ駆動回路54は、制御部51からの駆動制御信
号に応答してY軸モータMYを正転又は逆転させ、基板ステージ38をY方向又は反Y方
向に走査する。
The
制御部51は、X軸モータ回転検出器55に接続されて、X軸モータ回転検出器55か
ら検出信号を受ける。制御部51は、X軸モータ回転検出器55からの検出信号に基づい
て、キャリッジ43の移動方向及び移動量、すなわち、吐出ヘッドHの移動方向及び移動
量を演算する。制御部51は、演算結果に基づいて、各ノズルNをそれぞれ格子点Pの走
査経路上に配置させる。
The
制御部51は、Y軸モータ回転検出器56に接続されて、Y軸モータ回転検出器56か
ら検出信号を受ける。制御部51は、Y軸モータ回転検出器56からの検出信号に基づい
て、基板ステージ38の移動方向及び移動量、すなわち、対向基板15の移動方向及び移
動量を演算する。制御部51は、演算結果に基づいて、各格子点Pが対応するノズルNの
直下に位置するときに吐出タイミング信号LPを出力する。
The
制御部51は、対向基板15の端縁を検出する基板検出装置57に接続されて、基板検
出装置57から検出信号を受ける。制御部51は、基板検出装置57からの検出信号に基
づいて、対向基板15の初期位置を演算する。
The
制御部51は、ヘッド駆動回路58に接続されて、ヘッド駆動回路58にラッチ信号L
ATと吐出タイミング信号LPを入力する。また、制御部51は、圧電素子PZを駆動す
るための駆動波形信号COMを吐出タイミング信号LPに同期させてヘッド駆動回路58
に入力する。
The
AT and discharge timing signal LP are input. In addition, the
To enter.
ヘッド駆動回路58は、ラッチ信号LATを受けるたびに、制御部51からのシリアル
パターンデータSIをラッチしてシリアル/パラレル変換する。ヘッド駆動回路58は、
制御部51からの吐出タイミング信号LPを受けるとき、シリアル/パラレル変換したデ
ータに基づいて選択される圧電素子PZにそれぞれ駆動波形信号COMを供給する。
The
When receiving the ejection timing signal LP from the
次に、液滴吐出装置35を利用して配向膜31を形成する方法について説明する。
まず、図4に示すように、対向電極28を上側にした対向基板15が、基板ステージ3
8に載置固定され、キャリッジ43の反Y方向に配置される。次いで、制御部51は、入
出力装置52からの描画データIpを受信し、描画データIpをドットパターンデータP
Dに展開して格納する。また、制御部51は、X軸モータ駆動回路53を介してX軸モー
タMXを駆動制御し、第1液状膜FL1に対応する各格子点Pの走査径路上に各ノズルN
を配置させる、すなわち、キャリッジ43を第1液状膜FL1用にセットする。
Next, a method for forming the
First, as shown in FIG. 4, the
8 and placed in the anti-Y direction of the carriage 43. Next, the
Expand to D and store. In addition, the
In other words, the carriage 43 is set for the first liquid film FL1.
制御部51は、キャリッジ43をセットすると、Y軸モータ駆動回路54を介してY軸
モータMYを駆動制御し、対向基板15のY方向への走査を開始する。制御部51は、対
向基板15のY方向の走査を開始すると、基板検出装置57及びY軸モータ回転検出器5
6からの検出信号に基づいて、各格子点PがそれぞれノズルNの直下に到達したか否か判
断する。
When the carriage 43 is set, the
Based on the detection signal from 6, it is determined whether or not each lattice point P has reached directly below the nozzle N.
この間、制御部51は、1走査分に相当するドットパターンデータPDを展開して転送
クロックに同期したシリアルパターンデータSIを順次生成し、ヘッド駆動回路58にシ
リアル転送する。また、制御部51は、シリアルパターンデータSIを転送するたびに、
ヘッド駆動回路58に対してラッチ信号LATを入力し、ヘッド駆動回路58にシリアル
パターンデータSIをシリアル/パラレル変換させる。そして、制御部51は、各格子点
PがノズルNの直下に到達するたびに、ヘッド駆動回路58に対して吐出タイミング信号
LPと駆動波形信号COMを入力する。
During this time, the
The latch signal LAT is input to the
制御部51は、吐出タイミング信号LPと駆動波形信号COMをヘッド駆動回路58に
入力するたびに、ヘッド駆動回路58を介し、シリアルパターンデータSIに基づいて選
択される各圧電素子PZに、それぞれ駆動波形信号COMを供給する。そして、制御部5
1は、ドットパターンデータPDに基づいて選択されるノズルNから対応する格子点Pに
向けて一斉に液滴Dを吐出させ、リブ30と交差する方向に沿って帯状の第1液状膜FL
1を形成する。
Whenever the ejection timing signal LP and the drive waveform signal COM are input to the
1 indicates that the droplets D are simultaneously ejected from the nozzles N selected based on the dot pattern data PD toward the corresponding lattice points P, and the first liquid film FL in a band shape along the direction intersecting the
1 is formed.
制御部51は、対向基板15のY方向への走査を終了すると、X軸モータ駆動回路53
を介してX軸モータMXを駆動制御し、第2液状膜FL2に対応する各格子点Pの走査径
路上に各ノズルNを配置させる、すなわち、キャリッジ43を第2液状膜FL2用にセッ
トする。
When the
The X-axis motor MX is driven and controlled, and each nozzle N is arranged on the scanning path of each lattice point P corresponding to the second liquid film FL2, that is, the carriage 43 is set for the second liquid film FL2. .
制御部51は、キャリッジ43をセットすると、Y軸モータ駆動回路54を介してY軸
モータMYを駆動制御し、対向基板15の反Y方向への走査を開始する。制御部51は、
対向基板15の反Y方向の走査を開始すると、基板検出装置57及びY軸モータ回転検出
器56からの検出信号に基づいて、各格子点PがそれぞれノズルNの直下に到達したか否
か判断する。
When the carriage 43 is set, the
When scanning of the
この間、制御部51は、1走査分に相当するドットパターンデータPDを展開して転送
クロックに同期したシリアルパターンデータSIを順次生成し、ヘッド駆動回路58にシ
リアル転送する。また、制御部51は、シリアルパターンデータSIを転送するたびに、
ヘッド駆動回路58に対してラッチ信号LATを入力し、ヘッド駆動回路58にシリアル
パターンデータSIをシリアル/パラレル変換させる。そして、制御部51は、各格子点
PがノズルNの直下に到達するたびに、吐出タイミング信号LPと駆動波形信号COMを
ヘッド駆動回路58に入力する。
During this time, the
The latch signal LAT is input to the
制御部51は、吐出タイミング信号LPと駆動波形信号COMをヘッド駆動回路58に
入力するたびに、ヘッド駆動回路58を介し、シリアルパターンデータSIに基づいて選
択される各圧電素子PZにそれぞれ駆動波形信号COMを供給する。そして、制御部51
は、ドットパターンデータPDに基づいて選択されるノズルNから対応する格子点Pに向
けて一斉に液滴Dを吐出させ、リブ30と交差する方向に沿って、第1液状膜FL1と重
なる帯状の第2液状膜FL2を形成する。これによって、第1液状膜FL1と第2液状膜
FL2との境界に、リブ30と交差する隆起部FLOを形成される。
Each time the
The droplets D are simultaneously ejected from the nozzles N selected based on the dot pattern data PD toward the corresponding lattice points P, and overlap with the first liquid film FL1 along the direction intersecting the
以後、同様に、制御部51は、Y方向の走査によって形成する第1液状膜FL1と反Y
方向の走査によって形成する第2液状膜FL2とを交互に重ね合わせ、リブ30と交差す
る隆起部FLOを有した液状膜を吐出面28aの全体に形成する。そして、この液状膜を
乾燥させてラビング処理を施すことにより、表示ムラを低減させる配向膜31を形成する
ことができる。
Thereafter, similarly, the
The second liquid film FL2 formed by scanning in the direction is alternately overlapped to form a liquid film having a raised portion FLO intersecting the
次に、上記のように構成した本実施形態の効果を以下に記載する。
(1)上記実施形態によれば、対向基板15をY方向に走査して、リブ30と交差する
方向に沿う第1液状膜FL1を形成した。また、キャリッジ43をX方向に改行し対向基
板15を反Y方向に走査して、リブ30と交差する方向に沿う第2液状膜FL2を形成し
た。そして、第1液状膜FL1と第2液状膜FL2とが重なり合う隆起部FLOをリブ3
0と交差する方向に沿って形成した。
Next, effects of the present embodiment configured as described above will be described below.
(1) According to the embodiment, the
It was formed along the direction crossing zero.
したがって、隆起部FLOは、液晶分子の配向状態をY方向に沿って分割させる分だけ
、液晶表示装置10の視野角を拡大させることができ、かつ、リブ30と交差する分だけ
、Y方向に沿う連続的な配向分割を回避させることができる。この結果、液晶表示装置1
0の表示ムラを低減させることができる。
Therefore, the raised portion FLO can expand the viewing angle of the liquid
The display unevenness of 0 can be reduced.
(2)しかも、リブ30と交差する隆起部FLOは、その配向膜用インクIkが各リブ
30に導かれ、リブ30の延びる方向に隆起を分散させる。すなわち、各リブ30が配向
膜用インクIkを導く分だけ、配向膜31の膜厚段差を軽減させて隆起部FLOの領域を
分散させることができる。しがたって、Y方向に沿う連続的な配向分割を、さらに解消さ
せることができ、液晶表示装置10の表示ムラを、より確実に低減させることができる。
(2) In addition, the raised portion FLO intersecting with the
(第二実施形態)
以下、本発明を具体化した第二実施形態を図9に従って説明する。第二実施形態は、第
一実施形態のリブ30と配向膜31を変更したものである。そのため、以下では、その変
更点について詳細に説明する。
(Second embodiment)
Hereinafter, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the second embodiment, the
図9において、対向電極28の下側には、配向膜31が形成され、配向膜31の下側に
は、配向膜31から突出するリブ30が形成されている。
配向膜31は、第一実施形態と同じく、配向性ポリイミドなどの配向性高分子からなる
薄膜であって、液晶分子の配向状態を規定する。配向膜31は、対向基板15のY方向全
幅にわたって連続的に隆起する隆起部FLO(図9においてグラデーションを付した領域
)を有している。
In FIG. 9, an
Similar to the first embodiment, the
配向膜31は、第一実施形態に示す液滴吐出装置35を用い、リブ30を有しない状態
の対向電極28に対し、配向膜用インクIkからなる第1液状膜FL1と、同じく配向膜
用インクIkからなる第2液状膜FL2とを順次描画させることによって形成されている
。配向膜31は、これらの液状膜を乾燥させた後、リブ30を有しない状態でラビング処
理が施されている。これにより、配向膜31は、リブ30を有する状態でラビング処理が
施される場合に比べ、そのラビング状態を安定させることができ、液晶分子の配向状態を
安定させることができる。
The
各リブ30は、それぞれ対向基板15の法線方向(反Z方向)から見て、隆起部FLO
と交差するように、Y方向に沿って九十九折状に形成されている。各リブ30は、それぞ
れラビング処理の施された配向膜31の全面に、例えば感光性樹脂材料からなる塗布膜を
形成し、この塗布膜を露光・現像することによって形成されている。
Each
Is formed in a 99-fold shape along the Y direction. Each
各リブ30は、それぞれ配向膜31の表面から突出する斜面によって、近傍に位置する
液晶分子の配向状態を分割させる。すなわち、各リブ30は、第一実施形態と同じく、そ
れぞれ液晶分子の傾く方向を配向膜31の上側で分割させ、液晶表示装置10の視野角を
拡大させる。
Each
この構成においても、隆起部FLOは、周囲の配向膜31から隆起する斜面によって、
近傍に位置する液晶分子の配向を分割する。Y方向に延びる隆起部FLOは、Y方向に沿
って液晶分子の傾く方向を分割させるとともに、交差するリブ30によって、液晶分子の
配向分割を分断させる。したがって、隆起部FLOは、液晶分子の配向状態を分割させる
分だけ、その視野角を拡大させ、かつ、リブ30と交差する分だけ、Y方向に沿う連続的
な配向分割を回避させ、液晶表示装置10の表示ムラを低減させることができる。
Even in this configuration, the raised portion FLO is formed by the inclined surface raised from the surrounding
The alignment of liquid crystal molecules located in the vicinity is divided. The raised portion FLO extending in the Y direction divides the direction in which the liquid crystal molecules incline along the Y direction, and divides the alignment division of the liquid crystal molecules by the intersecting
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記第一実施形態では、リブ30を有した対向基板15を用い配向膜31を形成する
形態について説明した。これに限らず、例えばスリット22Sを有した素子基板14を用
い配向膜23を形成する構成してもよい。すなわち、素子基板14が基板ステージ38に
載置されるとき、スリット22Sの延びる方向をY方向に対し傾斜角θだけ傾斜させ、ノ
ズルNの走査方向(Y方向)に対し交差させる構成にしてもよい。
In addition, you may change the said embodiment as follows.
In the first embodiment, the form in which the
この構成によれば、画素電極22に着弾する液滴Dがスリット22Sの内部に沿って導
かれ、配向膜用インクIkの外縁がスリット22Sの延びる方向に分散される。そのため
、第1液状膜FL1と第2液状膜FL2の境界は、各スリット22Sが配向膜用インクI
kを導く分だけ、膜厚の段差を軽減させて隆起部FLOの領域を分散させる。したがって
、配向膜23に起因する表示ムラを低減させることができ、ひいては液晶表示装置10の
表示ムラを、さらに低減させることができる。
According to this configuration, the droplets D that land on the
The step of the film thickness is reduced by the amount corresponding to k, and the region of the raised portion FLO is dispersed. Therefore, display unevenness due to the
・上記実施形態では、液滴吐出装置35に1つの吐出ヘッドHを設け、吐出ヘッドHを
改行走査させる構成にした。これに限らず、例えば複数の吐出ヘッドHをX方向に配列さ
せ、複数の吐出ヘッドHを対向基板15に対して1回だけ走査させる構成にしてもよい。
すなわち、図10に示すように、基板ステージ38から見て、複数の吐出ヘッドHをX方
向に沿う千鳥状に配列させ、複数の吐出ヘッドHを対向基板15に対して1回だけ走査さ
せる構成にしてもよい。あるいは、図11に示すように、基板ステージ38から見て、複
数の吐出ヘッドHを階段状に配列させ、複数の吐出ヘッドHを対向基板15に対して1回
だけ走査させる構成にしてもよい。
In the above embodiment, the
That is, as shown in FIG. 10, when viewed from the
この構成によれば、基板ステージをY方向に走査させるとき、相対的に反Y方向に位置
する吐出ヘッドHが、他の吐出ヘッドHに比べて、先行して液状膜を形成させる。また、
相対的にY方向に位置する吐出ヘッドHが、他の吐出ヘッドHに比べて、後続して液状膜
を形成させる。そして、先行する液状膜と後続する液状膜とが重なる領域(重畳領域S)
に、隆起部FLOが形成され、その隆起部FLOがリブ30によって分散かつ分断され
る。
According to this configuration, when the substrate stage is scanned in the Y direction, the discharge head H positioned relatively in the anti-Y direction forms a liquid film in advance compared to the other discharge heads H. Also,
The ejection head H relatively positioned in the Y direction subsequently forms a liquid film as compared with the other ejection heads H. And the area | region (superimposition area | region S) where the preceding liquid film and the subsequent liquid film overlap
In addition, the raised portion FLO is formed, and the raised portion FLO is dispersed and divided by the
・上記実施形態では、リブ30を九十九折状に具体化した。これに限らず、例えばリブ
30を、Y方向と交差する線状に具体化してもよく、ノズルNの走査方向に対し交差する
方向に延びる形状であればよい。
In the above embodiment, the
・上記実施形態では、相対移動手段を基板ステージ38に具体化した。これに限らず、
例えば、相対移動手段をキャリッジ43、あるいは基板ステージ38とキャリッジ43の
双方に具体化してもよい。すなわち、スリット22Sあるいはリブ30に対するノズルN
の走査方向が、スリット22Sあるいはリブ30の延びる方向と交差する構成であればよ
い。
In the above embodiment, the relative movement unit is embodied in the
For example, the relative movement means may be embodied in the carriage 43 or both the
The scanning direction may be any configuration that intersects the direction in which the
・上記実施形態では、吐出ヘッドHが1列だけノズル列を有する構成にした。これに限
らず、例えば吐出ヘッドHが2列以上のノズル列を有する構成にしてもよい。
In the above embodiment, the ejection head H has a single nozzle row. For example, the ejection head H may have two or more nozzle rows.
D…液滴、FLO…段差部としての隆起部、H…吐出ヘッド、N…ノズル、10…液晶表
示装置、15…透明基板としての対向基板、23,31…配向膜、35…液滴吐出装置、
38…相対移動手段を構成する基板ステージ、51…制御部。
D: Droplet, FLO: Raised portion as stepped portion, H ... Discharge head, N ... Nozzle, 10 ... Liquid crystal display device, 15 ... Counter substrate as transparent substrate, 23, 31 ... Alignment film, 35 ... Droplet discharge apparatus,
38 ... Substrate stage constituting relative movement means, 51 ... control unit.
Claims (7)
一方向に配列された複数のノズルを有する吐出ヘッドと、前記透明基板とを、前記一方
向と交差する他方向に沿って相対移動させ、前記複数のノズルから前記透明基板に向けて
配向膜材料を含む複数の液滴を吐出し、前記透明基板に着弾した前記複数の液滴を乾燥す
る工程と、
前記透明基板上に前記他方向と交差する方向に延びる段差部を形成する工程と、
を備えたことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 A method of manufacturing a liquid crystal display device having an alignment film on a transparent substrate,
An alignment head material having a plurality of nozzles arranged in one direction and the transparent substrate are relatively moved along another direction intersecting the one direction, and the alignment film material is directed from the plurality of nozzles toward the transparent substrate. A step of discharging a plurality of liquid droplets containing, and drying the plurality of liquid droplets landed on the transparent substrate;
Forming a stepped portion extending in a direction crossing the other direction on the transparent substrate;
A method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising:
前記段差部を形成した後に、前記配向膜材料を含む前記複数の液滴を前記透明基板に向
けて吐出し、前記透明基板に着弾した前記複数の液滴を乾燥して配向処理を施すこと、
を特徴とする液晶表示装置の製造方法。 It is a manufacturing method of the liquid crystal display device according to claim 1,
After forming the stepped portion, discharging the plurality of droplets containing the alignment film material toward the transparent substrate, drying the plurality of droplets that have landed on the transparent substrate, and performing an alignment treatment;
A method for manufacturing a liquid crystal display device.
前記段差部を形成する前に、前記配向膜材料を含む前記複数の液滴を前記透明基板に向
けて吐出し、前記透明基板に着弾した前記複数の液滴を乾燥して配向処理を施すこと、
を特徴とする液晶表示装置の製造方法。 It is a manufacturing method of the liquid crystal display device according to claim 1,
Before forming the stepped portion, the plurality of droplets containing the alignment film material are ejected toward the transparent substrate, and the plurality of droplets that have landed on the transparent substrate are dried and subjected to alignment treatment. ,
A method for manufacturing a liquid crystal display device.
前記段差部は、液晶分子の配向方向を規制する凸部であること、
を特徴とする液晶表示装置の製造方法。 It is a manufacturing method of the liquid crystal display device according to any one of claims 1 to 3,
The step portion is a convex portion that regulates the alignment direction of liquid crystal molecules;
A method for manufacturing a liquid crystal display device.
む液滴を吐出する吐出ヘッドと、
他方向に延びる段差部を有した透明基板と、前記吐出ヘッドとを、前記他方向と交差す
る方向に相対移動させる相対移動手段と、
前記相対移動手段を駆動して前記透明基板と前記吐出ヘッドとを相対移動させ、前記吐
出ヘッドを駆動して前記複数のノズルの各々から前記透明基板に向けて複数の前記液滴を
吐出させる制御部と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。 An ejection head having a plurality of nozzles arranged in one direction, and ejecting droplets containing alignment film material from each of the plurality of nozzles;
A relative movement means for relatively moving the transparent substrate having a stepped portion extending in the other direction and the ejection head in a direction intersecting the other direction;
Control for driving the relative movement means to move the transparent substrate and the discharge head relative to each other, and driving the discharge head to discharge a plurality of droplets from each of the plurality of nozzles toward the transparent substrate. And
A droplet discharge apparatus comprising:
前記相対移動手段は、
前記透明基板を載置して前記透明基板を前記一方向と直交する方向に移動する基板ステ
ージであること、
を特徴とする液滴吐出装置。 The droplet discharge device according to claim 5,
The relative moving means is
A substrate stage on which the transparent substrate is placed and the transparent substrate is moved in a direction perpendicular to the one direction;
A droplet discharge device characterized by the above.
前記段差部は、液晶分子の配向方向を規制する凸部であること、
を特徴とする液滴吐出装置。 The droplet discharge device according to claim 5 or 6,
The step portion is a convex portion that regulates the alignment direction of liquid crystal molecules;
A droplet discharge device characterized by the above.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007005461A JP2008170844A (en) | 2007-01-15 | 2007-01-15 | Manufacturing method of liquid crystal display device and droplet discharge device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007005461A JP2008170844A (en) | 2007-01-15 | 2007-01-15 | Manufacturing method of liquid crystal display device and droplet discharge device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008170844A true JP2008170844A (en) | 2008-07-24 |
Family
ID=39698968
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007005461A Withdrawn JP2008170844A (en) | 2007-01-15 | 2007-01-15 | Manufacturing method of liquid crystal display device and droplet discharge device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008170844A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009004913A1 (en) * | 2007-06-29 | 2009-01-08 | Ulvac, Inc. | Coat forming method |
WO2018198863A1 (en) * | 2017-04-28 | 2018-11-01 | 東京エレクトロン株式会社 | Coating treatment device, coating treatment method, and optical film formation device |
-
2007
- 2007-01-15 JP JP2007005461A patent/JP2008170844A/en not_active Withdrawn
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009004913A1 (en) * | 2007-06-29 | 2009-01-08 | Ulvac, Inc. | Coat forming method |
JPWO2009004913A1 (en) * | 2007-06-29 | 2010-08-26 | 株式会社アルバック | Film formation method |
JP5412282B2 (en) * | 2007-06-29 | 2014-02-12 | 株式会社アルバック | Film formation method |
US8685498B2 (en) | 2007-06-29 | 2014-04-01 | Ulvac, Inc. | Coated film forming method |
WO2018198863A1 (en) * | 2017-04-28 | 2018-11-01 | 東京エレクトロン株式会社 | Coating treatment device, coating treatment method, and optical film formation device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7851020B2 (en) | Droplet discharge method, electro-optic device, and electronic apparatus | |
JP2007152339A (en) | Ejection method, manufacturing method of color filter, electro-optical device and electronic equipment | |
JP4306730B2 (en) | Pattern formation method | |
JP4389953B2 (en) | Pattern formation method | |
JP2007029946A (en) | Droplet discharge method, electro-optical device and electronic device | |
KR100954369B1 (en) | Forming method for predetermined pattern, forming method for colored layer, and manufacturing method for electro-optical device | |
US7542126B2 (en) | Droplet ejection apparatus, method for forming functional film, apparatus for forming liquid crystal alignment film, method for forming liquid crystal alignment film of liquid crystal display, and liquid crystal display | |
JP2008170844A (en) | Manufacturing method of liquid crystal display device and droplet discharge device | |
JP2008221697A (en) | Screen plate for seal printing, seal printing method and liquid crystal panel manufactured by using them | |
US7370926B2 (en) | Liquid droplet ejection method, head unit, liquid droplet ejection device, electro-optical device, and electronic equipment | |
JP4214876B2 (en) | Color filter substrate, method for manufacturing color filter substrate, device for manufacturing color filter substrate, liquid crystal device, and method for manufacturing liquid crystal device | |
JP2011148145A (en) | Screen printing apparatus, method for screen printing, and method for manufacturing liquid crystal panel | |
JP2005221848A (en) | Film forming method, electrooptical device, and electronic equipment | |
US20100255222A1 (en) | Display element | |
JP2008175855A (en) | Manufacturing method and system of liquid crystal display device | |
JP2008221131A (en) | Liquid droplet discharge apparatus and liquid crystal display device | |
JP2008229481A (en) | Droplet discharge device and liquid crystal display device | |
JP2004298844A (en) | Coating application method for droplet, computer program, method for manufacturing organic el panel, method for manufacturing electro-optic panel, and method for manufacturing electronic device as well as coating applicator for droplet, electro-optic panel, electro-optic device and electronic equipment | |
JP4779616B2 (en) | Color filter, color filter manufacturing method, liquid crystal display device, electronic device | |
JP2008100162A (en) | Thin film forming method, droplet discharge device and electro-optic device | |
JP2008164938A (en) | Manufacturing method of liquid crystal panel and liquid crystal panel | |
JP2008175854A (en) | Manufacturing method of liquid crystal display device and manufacturing system of same | |
JP2010036551A (en) | Screen printing device, screen printing method, and manufacturing method of liquid crystal panel | |
JP2002365425A (en) | Color liquid crystal display device and method for manufacturing the same | |
JP2008221132A (en) | Thin film deposition method, liquid droplet-discharging device, and liquid crystal display device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20100406 |