JP2008221697A - Screen plate for seal printing, seal printing method and liquid crystal panel manufactured by using them - Google Patents

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Kohei Banya
耕平 番家
Takeshi Kubota
健 久保田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a screen plate capable of stabilizing a coating amount of a sealing agent without leaving a damage due to a mesh like sheet of a screen plate on a surface of material to be printed at seal printing. <P>SOLUTION: This substrate processor is composed of a mesh like sheet 2, a first emulsion layer 4 having a prescribed pattern opening part 3 so formed to cover a side surface of the mesh like sheet 2, and a second emulsion layer 5 which is lower in hardness than a first emulsion layer 4 so formed to cover an opposite side surface to the mesh like sheet 2 of the first emulsion layer 4 by being formed like covering a surface on an opposite side to the mesh like sheet 2 of the first emulsion layer 4. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は液晶パネルを製造する際のシールパターンを形成するシール印刷方法及び使用するスクリーン版に関するものである。 The present invention relates to a seal printing method for forming a seal pattern in manufacturing a liquid crystal panel and a screen plate to be used.

一般的な液晶パネルの製造プロセスにおけるパネル組み立ての工程は、主にガラス基板を元に作成された液晶を駆動するスイッチング素子を載せたスイッチング素子基板とカラーフィルタの役割であるカラーフィルタ基板について、其々の基板表面に配向膜を塗布し、ラビング処理する工程と、シールパターンを介して間隔をあけて貼り合わせる工程と、所定のパネルサイズに切断する工程と、その間隔内に液晶を注入する工程からなっている。 The panel assembling process in a general liquid crystal panel manufacturing process is mainly performed on a switching element substrate on which a switching element for driving a liquid crystal produced based on a glass substrate is mounted and a color filter substrate which is a role of a color filter. A process of applying an alignment film on the surface of various substrates and performing a rubbing process, a process of bonding with a gap through a seal pattern, a process of cutting to a predetermined panel size, and a process of injecting liquid crystal within the interval It is made up of.

基板を貼り合せる為には、スイッチング素子基板或いはカラーフィルタ基板上に、パネルの表示部分を囲むような形状にシールパターンを形成する。方法としては、スクリーン版に形成されたシールパターンの開口部からシール剤を押し出すスクリーン印刷方式とノズル走査によってパターンを描くシールディスペンス方式の二つが一般的である。両者のうちスクリーン印刷方式は基板あたりのパネル数が多い場合においても生産性に優れるなどの点から広く採用されている。 In order to bond the substrates, a seal pattern is formed on the switching element substrate or the color filter substrate so as to surround the display portion of the panel. There are two general methods: a screen printing method in which a sealant is pushed out from an opening of a seal pattern formed on a screen plate, and a seal dispensing method in which a pattern is drawn by nozzle scanning. Among them, the screen printing method is widely adopted because it is excellent in productivity even when the number of panels per substrate is large.

この様なスクリーン印刷方式を用いたシールパターン形成工程においては、通常、SUS製のメッシュ状シートに感光性乳剤層を塗布し露光によりシールパターンの開口部を形成したスクリーン版が用いられる。この乳剤層の役割はパターンを形成する役割の他に印刷時のメッシュ状シートの凹凸による圧力を分散させる役割や被印刷物に密着しシール剤の塗布を安定させる役割がある。 In the seal pattern forming process using such a screen printing method, a screen plate is generally used in which a photosensitive emulsion layer is applied to a mesh sheet made of SUS and an opening of the seal pattern is formed by exposure. In addition to the role of forming a pattern, the emulsion layer has a role of dispersing the pressure caused by the unevenness of the mesh sheet during printing and a role of adhering to the printing material and stabilizing the application of the sealant.

しかし、近年、液晶パネルへの要求は高精細化、狭額縁化へと高度化している。狭額縁化の為、シール剤の塗布を安定させようと乳剤層を柔軟にすると、スキージの圧力を分散させる事が出来ず基板表面の配向膜はメッシュ状シートの凹凸によるダメージを受け易くなる。特に高精細の液晶パネルにおいては、この配向膜のダメージは表示ムラとして視認され易い。また、逆にスキージの圧力を分散させようと乳剤層を厚くしたり硬くしたりすると、シール剤の塗布量が不安定になる。結果としてシールパターン幅がバラツクことから狭額縁化に対応できなくなる。以上の様に、従来から通常用いられる乳剤層よりなるスクリーン版では、液晶パネル高精細化、狭額縁化などの要求に十分に対応することはできなかった。 However, in recent years, the demand for liquid crystal panels has been advanced to higher definition and narrower frames. If the emulsion layer is made flexible so as to stabilize the application of the sealant for narrowing the frame, the pressure of the squeegee cannot be dispersed, and the alignment film on the substrate surface is easily damaged by the unevenness of the mesh sheet. Particularly in a high-definition liquid crystal panel, the damage of the alignment film is easily visually recognized as display unevenness. Conversely, if the emulsion layer is thickened or hardened to disperse the squeegee pressure, the coating amount of the sealing agent becomes unstable. As a result, the width of the seal pattern varies, making it impossible to cope with a narrow frame. As described above, a screen plate made of an emulsion layer that has been conventionally used has not been able to sufficiently meet the demands for high definition and narrowing of the liquid crystal panel.

この様な従来の乳剤層を用いたスクリーン版で起こる問題を解決すべく、特許文献1においては複数の材料により構成されるスクリーン版として、メッシュ状シートに金属の薄膜をパターンニングし貼り合わせ、更に表面にシリコーン樹脂を積層したスクリーン版が開示されている。 In order to solve the problems that occur in a screen plate using such a conventional emulsion layer, in Patent Document 1, as a screen plate composed of a plurality of materials, a metal thin film is patterned and bonded to a mesh sheet, Furthermore, a screen plate in which a silicone resin is laminated on the surface is disclosed.

特開平10−315649号公報JP 10-315649 A

上記説明の様な特許文献1のスクリーン版においては、乳剤層に比べ膜厚のバラツキが大きいためシール剤の塗布量が不安定になる点や収縮可能なメッシュ状シートと伸びの少ない硬い金属の薄膜との密着性が悪く剥がれ易い点などの問題点がある。 In the screen plate of Patent Document 1 as described above, the coating thickness of the sealant becomes unstable due to the large variation in film thickness compared to the emulsion layer, and a shrinkable mesh sheet and a hard metal with little elongation. There are problems such as poor adhesion to the thin film and easy peeling.

本発明は上記の様な課題を解決するためになされたものであり、高精細狭額縁の高品位な液晶パネルの安定した製造を可能にするスクリーン版を提供することを目的としている。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a screen plate that enables stable production of a high-quality liquid crystal panel having a high-definition narrow frame.

本発明のスクリーン版においては、メッシュ状シートと、該メッシュ状シートの片面を覆うように形成され所定のパターン開口部を有する第一の乳剤層と、該第一の乳剤層の前記メッシュ状シートと反対側の表面を覆うように形成され前記第一の乳剤層よりも硬度の低い第二の乳剤層とよりなるものである。 In the screen plate of the present invention, a mesh sheet, a first emulsion layer formed so as to cover one side of the mesh sheet and having a predetermined pattern opening, and the mesh sheet of the first emulsion layer The second emulsion layer is formed so as to cover the surface opposite to the first emulsion layer and has a lower hardness than the first emulsion layer.

本発明はシール印刷時において被印刷物の表面にスクリーン版のメッシュ状シートによるダメージを残さずシール剤の塗布量も安定させることができる。 The present invention can stabilize the coating amount of the sealant without leaving any damage due to the mesh-like sheet of the screen plate on the surface of the printing material during seal printing.

実施の形態1.
本実施の形態1におけるスクリーン版について図1を用いて説明する。ここで、図1(a)はスクリーン版全体を示した斜視図、図1(b)は図1(a)において示されたAの部分での断面図である。なお、図は、模式的なものであり、示された構成要素の正確な大きさなどを反映するものではない。また、図中、既出の図において説明したものと同一の構成には同一の符号を付し、その説明を省略する。以下、その他の図においても同様とする。
Embodiment 1 FIG.
A screen plate according to the first embodiment will be described with reference to FIG. Here, FIG. 1A is a perspective view showing the entire screen plate, and FIG. 1B is a cross-sectional view at a portion A shown in FIG. Note that the drawings are schematic and do not reflect the exact size of the components shown. Further, in the figure, the same components as those described in the previous drawings are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted. Hereinafter, the same applies to other drawings.

図1(a)及び図1(b)に示す様に、本実施の形態1のスクリーン版100は、アルミなどの金属からなるフレーム1内に張られた金属により構成されたメッシュ状シート2と、メッシュ状シート2の片面を覆うように形成され所定のパターン開口部3が形成された感光性樹脂よりなる第一の乳剤層である乳剤層4と、乳剤層4のメッシュ状シート2と反対側の表面に形成された感光性樹脂よりなる第二の乳剤層である乳剤層5より構成されている。また、乳剤層5は乳剤層4と比較して硬度の低い、即ち柔らかい乳剤層を用いている。ここで言う硬度の低いとは、弾性率が低い、即ち単位面積あたりに加わる力に対し変形し易いことを示している。 As shown in FIGS. 1 (a) and 1 (b), a screen plate 100 according to the first embodiment includes a mesh sheet 2 made of metal stretched in a frame 1 made of metal such as aluminum, and the like. The emulsion layer 4 which is a first emulsion layer made of a photosensitive resin formed so as to cover one side of the mesh sheet 2 and having a predetermined pattern opening 3 formed thereon is opposite to the mesh sheet 2 of the emulsion layer 4 The emulsion layer 5 is a second emulsion layer made of a photosensitive resin formed on the side surface. The emulsion layer 5 is a soft emulsion layer having a lower hardness than the emulsion layer 4, that is, a soft emulsion layer. Here, the low hardness means that the elastic modulus is low, that is, it is easily deformed with respect to the force applied per unit area.

更に、図1(b)のパターン開口部3a近傍(図1(a)中のAの部分)の断面図から判る様に、乳剤層4に設けられたパターン開口部3の端面は、乳剤層5により覆われ、パターン開口部3aを形成している。従って、本実施の形態1におけるスクリーン版100の実際のパターン開口幅はパターン開口部3aにより決定される。また、乳剤層4はメッシュ状シート2と一体となる様に形成されている。ここで言うメッシュ状シート2と乳剤層4が一体となる様とは、乳剤層4が少なくともメッシュ状シート2の網目内にまで入りこみ一体化された状態を言う。 Further, as can be seen from the cross-sectional view in the vicinity of the pattern opening 3a in FIG. 1B (the portion A in FIG. 1A), the end face of the pattern opening 3 provided in the emulsion layer 4 is the emulsion layer. 5 to form a pattern opening 3a. Therefore, the actual pattern opening width of the screen plate 100 according to the first embodiment is determined by the pattern opening 3a. The emulsion layer 4 is formed so as to be integrated with the mesh sheet 2. The mesh sheet 2 and the emulsion layer 4 referred to here are in a state in which the emulsion layer 4 penetrates at least into the mesh of the mesh sheet 2 and is integrated.

続いて、本実施の形態1におけるスクリーン版100の製造方法について図2〜図5を用いて説明する。アルミなどの金属からなるフレーム1(図2(a)の全体を示す斜視図参照)に所定の張力が付与されたメッシュ状シート2が、接着剤を用いてフレームの一面に接着される(図2(b)の全体を示す斜視図参照)。続いて、メッシュ状シート2のフレーム1との接着面と反対側の面に、例えばUV硬化型樹脂を塗布し乾燥処理を行う工程を繰り返し行うことにより、所定の厚さの乳剤層4が設けられる(図3(a)の全体を示す斜視図参照)。順次塗布を繰り返すことにより、メッシュ状シート2の網目内にまで乳剤層4が入りこみメッシュ状シート2と乳剤層4が一体となる様に形成される(図3(b)の全体を示す斜視図参照)。 Then, the manufacturing method of the screen plate 100 in this Embodiment 1 is demonstrated using FIGS. A mesh sheet 2 having a predetermined tension applied to a frame 1 made of a metal such as aluminum (see a perspective view showing the whole of FIG. 2A) is bonded to one surface of the frame using an adhesive (see FIG. 2 (b) is a perspective view showing the whole). Subsequently, the emulsion layer 4 having a predetermined thickness is provided by repeatedly performing, for example, a step of applying a UV curable resin and performing a drying process on the surface of the mesh sheet 2 opposite to the surface to be bonded to the frame 1. (See the perspective view of FIG. 3A as a whole). By repeating the coating sequentially, the emulsion layer 4 enters the mesh of the mesh sheet 2 and is formed so that the mesh sheet 2 and the emulsion layer 4 are integrated (a perspective view showing the whole of FIG. 3B). reference).

上記の塗布工程に続いて、図4(a)に示す様に、遮光マスク6を用いた選択的な露光によって乳剤層4を硬化する。その後、現像処理を行い未硬化部分が除去されることにより乳剤層4にパターン開口部3が形成される(図4(b)参照)。更に図5(a)に示す様に、乳剤層4上を覆うように乳剤層4と同様のUV硬化型樹脂を繰り返し塗布することにより所定の厚さの乳剤層5が設けられる。続いて、図5(b)に示す様に、乳剤層4を硬化した条件よりも露光量を下げ、遮光マスク6aを用いた選択的な露光により乳剤層5を硬化する。その後、現像処理により未硬化部分を除去することにより乳剤層5にパターン開口部3aが形成される(図5(c)参照)。この様にして、乳剤層5が乳剤層4と比較して柔らかいスクリーン版が製造される。 Subsequent to the coating step, the emulsion layer 4 is cured by selective exposure using a light shielding mask 6 as shown in FIG. Thereafter, development processing is performed to remove the uncured portion, whereby a pattern opening 3 is formed in the emulsion layer 4 (see FIG. 4B). Further, as shown in FIG. 5A, the emulsion layer 5 having a predetermined thickness is provided by repeatedly coating the same UV curable resin as the emulsion layer 4 so as to cover the emulsion layer 4. Subsequently, as shown in FIG. 5B, the exposure amount is lowered below the conditions for curing the emulsion layer 4, and the emulsion layer 5 is cured by selective exposure using the light shielding mask 6a. Thereafter, pattern openings 3a are formed in the emulsion layer 5 by removing uncured portions by development processing (see FIG. 5C). In this way, a screen plate in which the emulsion layer 5 is softer than the emulsion layer 4 is produced.

次に、本実施の形態1におけるスクリーン版100を液晶パネルのシール塗布工程に用いたシール印刷方法について説明する。図6に示す様にスクリーン版100の下部にはシール印刷装置のステージ7に保持された被印刷物である処理基板8が配置され、この処理基板8の主面に有機樹脂等のペーストからなるシール剤9を印刷塗布する。シール剤9はスキージ10がスクリーン版100上を走査することによりパターン開口部3aを介して処理基板8上に塗布される。印刷は、スクリーン版100のメッシュ状シート2を上面として行い、乳剤層5が処理基板8の主面である表面に対向して行われる。また、実際のスキージ10の走査前にはスクリーン版100或いはステージ7が下降或いは上昇動作し、スクリーン版100の表面とステージ7が近接した状態でスキージ10の走査が開始される。 Next, a seal printing method in which the screen plate 100 according to the first embodiment is used in a liquid crystal panel seal coating process will be described. As shown in FIG. 6, a processing substrate 8, which is a substrate to be printed, held on the stage 7 of the seal printing apparatus is disposed below the screen plate 100, and a seal made of a paste such as an organic resin is provided on the main surface of the processing substrate 8. Agent 9 is applied by printing. The sealant 9 is applied onto the processing substrate 8 through the pattern opening 3 a as the squeegee 10 scans the screen plate 100. Printing is performed with the mesh sheet 2 of the screen plate 100 as the upper surface, and the emulsion layer 5 is opposed to the surface which is the main surface of the processing substrate 8. Further, before the actual scanning of the squeegee 10, the screen plate 100 or the stage 7 is moved down or up, and the scanning of the squeegee 10 is started in a state where the surface of the screen plate 100 and the stage 7 are close to each other.

続いて、図7の印刷状態を示すパターン開口部3a近傍での断面図を用い、スクリーン版100上のシール剤9がパターン開口部3aを介して処理基板8の主面に所定のパターン形状に塗布される様子について説明する。図7(a)はスキージ10が走査中のパターン開口部3a近傍での断面図である。この様に、スキージ10の走査部分においては、スクリーン版100は、スキージ10により処理基板8側に近接され、処理基板8表面に乳剤層5が密着させる様にスキージ10は走査される。その結果、スクリーン版100に設けられたパターン開口部3a内に、シール剤9は充填される。その後、図7(b)のスキージ10が通り過ぎた後の状態を示す断面図に示す様に、スクリーン版100は矢印に示す方向へ剥がれシール剤9が処理基板8上に転写される。 Subsequently, using the cross-sectional view in the vicinity of the pattern opening 3a showing the printing state of FIG. 7, the sealing agent 9 on the screen plate 100 has a predetermined pattern shape on the main surface of the processing substrate 8 through the pattern opening 3a. The manner of application will be described. FIG. 7A is a cross-sectional view in the vicinity of the pattern opening 3a while the squeegee 10 is scanning. As described above, in the scanning portion of the squeegee 10, the screen plate 100 is brought close to the processing substrate 8 side by the squeegee 10, and the squeegee 10 is scanned so that the emulsion layer 5 is in close contact with the surface of the processing substrate 8. As a result, the sealing agent 9 is filled into the pattern opening 3 a provided in the screen plate 100. Thereafter, as shown in the sectional view of the state after the squeegee 10 of FIG. 7B passes, the screen plate 100 is peeled in the direction indicated by the arrow, and the sealant 9 is transferred onto the processing substrate 8.

続いて、本実施の形態1におけるスクリーン版100及びシール印刷方法を液晶パネルのシールパターンを形成するシール塗布工程に用いた場合の作用について説明する。図6及び図7において説明した様に印刷が行われた場合において、メッシュ状シート2と処理基板8の間には比較的硬い乳剤層4を介して印刷が行われる。この為、スキージ10によってスクリーン版が処理基板8の表面に押し付けられた際におけるメッシュ状シート2の凹凸、特に網の交点による圧力が比較的硬い乳剤層4により分散され均一化される。また、圧力を分散させる効果の点から、メッシュ状シート2と乳剤層4とは図1にも示した様に一体となる様に形成されていることが望ましい。また、比較的硬い乳剤層4は柔軟性が少なくメッシュ状シート2から剥離し易いことから、版の耐久性向上の観点においてもメッシュ状シート2と乳剤層4が一体となる様に形成されていることが望ましい。 Next, the operation when the screen plate 100 and the seal printing method according to the first embodiment are used in a seal coating process for forming a seal pattern of a liquid crystal panel will be described. When printing is performed as described with reference to FIGS. 6 and 7, printing is performed between the mesh sheet 2 and the processing substrate 8 via the relatively hard emulsion layer 4. Therefore, the unevenness of the mesh-like sheet 2 when the screen plate is pressed against the surface of the processing substrate 8 by the squeegee 10, in particular, the pressure due to the intersection of the nets is dispersed and made uniform by the relatively hard emulsion layer 4. From the viewpoint of the effect of dispersing the pressure, it is desirable that the mesh sheet 2 and the emulsion layer 4 are integrally formed as shown in FIG. In addition, since the relatively hard emulsion layer 4 is less flexible and easily peels off from the mesh sheet 2, the mesh sheet 2 and the emulsion layer 4 are formed so as to be integrated from the viewpoint of improving the durability of the plate. It is desirable.

また、液晶パネルに使われる処理基板8の表面には、配向膜が形成されており(図示せず)、配向膜表面にはラビング処理により細かい筋が入っている。液晶パネルにおいては、この配向膜表面の細かい筋により液晶の配向が制御され、この筋の形状が僅かでも変わると液晶の配向も乱れ表示ムラとして視認される様になる。本実施の形態1では、メッシュ状シート2の網の交点による圧力が分散されることから配向膜表面、特にラビング処理による筋へのダメージを与えずにシールパターンを形成することが可能となる。その結果として、表示ムラの無い表示品位の高い液晶パネルを得ることができる。 An alignment film is formed on the surface of the processing substrate 8 used for the liquid crystal panel (not shown), and fine lines are formed on the alignment film surface by rubbing treatment. In the liquid crystal panel, the alignment of the liquid crystal is controlled by the fine streaks on the surface of the alignment film. If the shape of the streaks changes even slightly, the alignment of the liquid crystals is disturbed and is visually recognized as display unevenness. In the first embodiment, since the pressure due to the intersection of the meshes of the mesh sheet 2 is dispersed, it is possible to form a seal pattern without damaging the alignment film surface, particularly the streaks due to the rubbing treatment. As a result, a liquid crystal panel having high display quality without display unevenness can be obtained.

また、処理基板8に接するスクリーン版100の表面には比較的柔らかい材料からなる乳剤層5が塗布されていることから、処理基板8の表面の凹凸にも馴染み、不要な隙間を生ずることなく密着した状態で印刷処理が行われる。この為、シール剤9のニジミ等が発生せず安定した塗布量で印刷を行うことができる。更に、乳剤層4に設けられたパターン開口部3の端面は乳剤層5により覆われることから、パターン開口部3内のシール剤9の抜けが良く、パターン開口部3付近での処理基板8の表面との密着性も向上し、更に塗布量を安定させることができる。 In addition, since the emulsion layer 5 made of a relatively soft material is applied to the surface of the screen plate 100 in contact with the processing substrate 8, the surface of the processing substrate 8 becomes familiar with the unevenness of the surface and adheres without causing unnecessary gaps. In this state, the printing process is performed. For this reason, it is possible to perform printing with a stable coating amount without occurrence of blurring or the like of the sealant 9. Further, since the end face of the pattern opening 3 provided in the emulsion layer 4 is covered with the emulsion layer 5, the sealing agent 9 in the pattern opening 3 can be easily removed, and the processing substrate 8 near the pattern opening 3 can be removed. Adhesion with the surface is also improved, and the coating amount can be stabilized.

以上説明した実施の形態1においては、メッシュ状シート2と、メッシュ状シート2の片面を覆うように塗布形成された乳剤層4と、乳剤層4のメッシュ状シート2と反対側の表面を覆うように塗布形成された乳剤層4と比較し柔らかい乳剤層5により構成されたスクリーン版100を液晶パネルの製造方法として用いることにより、表示ムラのない高品位な液晶パネルをシールパターン幅のバラツキが少なく高歩留まりで製造することができる有用なスクリーン版を得ることが可能である。 In the first embodiment described above, the mesh sheet 2, the emulsion layer 4 formed so as to cover one side of the mesh sheet 2, and the surface of the emulsion layer 4 opposite to the mesh sheet 2 are covered. By using the screen plate 100 composed of the soft emulsion layer 5 as compared with the coated emulsion layer 4 as described above as a method for producing a liquid crystal panel, a high-quality liquid crystal panel without display unevenness has a variation in seal pattern width. It is possible to obtain a useful screen plate that can be manufactured with a small and high yield.

本実施の形態1においては、乳剤層5を乳剤層4よりも柔らかくする方法として、乳剤層4に対する露光量を乳剤層5に対する露光量よりも相対的に強く設定する方法を用いた。しかし、乳剤層5の塗布前に乳剤層4を更に硬化させる加熱ベークなどを適宜追加しても良いし、選定する樹脂材料を乳剤層4と乳剤層5で異なるものを選定しても構わない。また、ここでは、乳剤層としてUV硬化樹脂を選定した為、ポジ型の感光樹脂であったが、ネガ型の感光樹脂を用いても構わない。その場合には、本実施の形態1で説明した遮光マスク6から遮光部と透過部を反転したネガ型に対応したものを用いることになる。 In the first embodiment, as a method of making the emulsion layer 5 softer than the emulsion layer 4, a method of setting the exposure amount for the emulsion layer 4 relatively stronger than the exposure amount for the emulsion layer 5 was used. However, a heating bake for further curing the emulsion layer 4 may be appropriately added before coating the emulsion layer 5, or different resin materials may be selected for the emulsion layer 4 and the emulsion layer 5. . Here, since a UV curable resin is selected as the emulsion layer, it is a positive photosensitive resin, but a negative photosensitive resin may be used. In that case, the one corresponding to the negative type in which the light shielding portion and the transmission portion are reversed from the light shielding mask 6 described in the first embodiment is used.

実施の形態2.
実施の形態2では、上記説明した実施の形態1より、特に乳剤層5の膜厚について乳剤層4の膜厚に比べて薄くした変形例について説明する。
Embodiment 2. FIG.
In the second embodiment, a modification in which the film thickness of the emulsion layer 5 is made thinner than the film thickness of the emulsion layer 4 from the first embodiment described above will be described.

先ず、本実施の形態2におけるスクリーン版の構成について図8の断面図を用いて説明する。図8は、実施の形態1における図1(b)のパターン開口部3近傍の断面図に対応する。本実施の形態2では、図8にも示される様に、メッシュ状シート2の片面を覆うように形成され所定のパターン開口部3が形成された感光性樹脂よりなる第一の乳剤層である乳剤層4aと乳剤層4aのメッシュ状シート2と反対側の表面に形成された感光性樹脂よりなる第二の乳剤層である乳剤層5aより構成されている。特に、本実施の形態2においては、乳剤層5aの膜厚について乳剤層4aの膜厚に比べて薄くなる様に形成されている点、乳剤層4aは乳剤層5aと比較して遮光性の高い材料より形成されている点、及び乳剤層5aがネガ型の感光樹脂を用いた点が実施の形態1と異なっている。この変更以外の構成については、乳剤層5aは乳剤層4aと比較して柔らかい乳剤層を用いている点や、乳剤層4aに設けられたパターン開口部3の端面が乳剤層5aにより覆われている点、及びメッシュ状シート2の網目内にまで乳剤層4bが入りこみメッシュ状シート2と乳剤層4bが一体となる様に形成されている点など実施の形態1と同様である為、詳細な説明は省略する。 First, the configuration of the screen plate according to the second embodiment will be described with reference to the cross-sectional view of FIG. FIG. 8 corresponds to a cross-sectional view of the vicinity of the pattern opening 3 in FIG. In the second embodiment, as shown in FIG. 8, the first emulsion layer is formed of a photosensitive resin formed so as to cover one side of the mesh sheet 2 and having a predetermined pattern opening 3 formed therein. The emulsion layer 4a is composed of an emulsion layer 5a which is a second emulsion layer made of a photosensitive resin formed on the surface of the emulsion layer 4a opposite to the mesh-like sheet 2. In particular, in the second embodiment, the emulsion layer 5a is formed so as to be thinner than the emulsion layer 4a. The emulsion layer 4a is light-shielding compared to the emulsion layer 5a. The second embodiment is different from the first embodiment in that it is formed of a high material and the emulsion layer 5a uses a negative photosensitive resin. Regarding the configuration other than this change, the emulsion layer 5a uses a soft emulsion layer as compared with the emulsion layer 4a, and the end face of the pattern opening 3 provided in the emulsion layer 4a is covered with the emulsion layer 5a. This is the same as in the first embodiment in that the emulsion layer 4b penetrates into the mesh of the mesh sheet 2 and the mesh sheet 2 and the emulsion layer 4b are integrated. Description is omitted.

続いて、本実施の形態2におけるスクリーン版の製造方法について図9を用いて説明する。図9(a)は実施の形態1における製造方法の説明図である図5(a)に対応する。ここまでの製造工程については、実施の形態1の図3、図4において、乳剤層4を乳剤層5aと比較して遮光性の高い材料により形成された乳剤層4aと変更した点以外は同様であるので詳細な説明を省略する。図3、図4と同様に形成された乳剤層4a上を覆うようにネガ型の感光性樹脂を繰り返し塗布し、図9(a)に示す様に、乳剤層4aの膜厚に比べて薄くなる様に乳剤層5aを形成する。また、乳剤層5aを構成するネガ型の感光性樹脂は硬化した際において乳剤層4aよりも柔らかくなる材料を選定している。 Next, a method for manufacturing a screen plate in the second embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 9A corresponds to FIG. 5A, which is an explanatory diagram of the manufacturing method in the first embodiment. The manufacturing process up to this point is the same as that in FIG. 3 and FIG. 4 of the first embodiment except that the emulsion layer 4 is changed to an emulsion layer 4a formed of a material having a higher light shielding property than the emulsion layer 5a. Therefore, detailed description is omitted. A negative photosensitive resin is repeatedly applied so as to cover the emulsion layer 4a formed in the same manner as in FIGS. 3 and 4, and as shown in FIG. 9A, it is thinner than the film thickness of the emulsion layer 4a. An emulsion layer 5a is formed as described above. For the negative photosensitive resin constituting the emulsion layer 5a, a material that becomes softer than the emulsion layer 4a when cured is selected.

次に、図9(b)に示す様に、本実施の形態2においては、実施の形態1とは反対にメッシュ状シート2側より露光を行う。その際には、遮光マスクを用いずに光を散乱させる散乱板DIFを介して散乱光として照射することにより露光を行う。本実施の形態2においては、乳剤層4aが乳剤層5aと比較して遮光性の高い材料より形成されていることから、乳剤層4aの陰になる部分の乳剤層5aについては遮光され殆ど露光されない。従って、乳剤層4aに形成されたパターン開口部3の下の領域における乳剤層5aが重点的に露光される。また、散乱光を用いていることから、パターン開口部3の端面付近に形成された乳剤層5aにおいても、光の散乱成分については乳剤層4aの陰になりパターン開口部3の中央部に比べて露光されにくい。 Next, as shown in FIG. 9B, in the second embodiment, exposure is performed from the mesh-like sheet 2 side as opposed to the first embodiment. In that case, exposure is performed by irradiating the light as scattered light via a scattering plate DIF that scatters light without using a light shielding mask. In the second embodiment, since the emulsion layer 4a is formed of a material having a higher light-shielding property than the emulsion layer 5a, the portion of the emulsion layer 5a that is behind the emulsion layer 4a is shielded from light and almost exposed. Not. Accordingly, the emulsion layer 5a in the region below the pattern opening 3 formed in the emulsion layer 4a is intensively exposed. Further, since scattered light is used, the light scattering component is also hidden behind the emulsion layer 4a in the emulsion layer 5a formed near the end face of the pattern opening 3, and compared to the central part of the pattern opening 3. It is difficult to be exposed.

最後に、乳剤層5aの現像処理を行うが、本実施の形態2の乳剤層5aはネガ型の感光性樹脂を用いていることから露光部が除去される。従って重点的に露光されたパターン開口部3における乳剤層5aが主に除去され、図8に示す様に乳剤層5にパターン開口部3aが形成される。また、パターン開口部3の端面についても、露光されずに残存した乳剤層5aにより覆われている。 Finally, development processing of the emulsion layer 5a is performed. Since the emulsion layer 5a of Embodiment 2 uses a negative photosensitive resin, the exposed portion is removed. Therefore, the emulsion layer 5a in the pattern opening 3 that has been intensively exposed is mainly removed, and the pattern opening 3a is formed in the emulsion layer 5 as shown in FIG. The end face of the pattern opening 3 is also covered with the emulsion layer 5a remaining without being exposed.

以上説明した実施の形態2においても、実施の形態1と同様にメッシュ状シート2と、メッシュ状シート2の片面を覆うように塗布形成された乳剤層4aと、乳剤層4aのメッシュ状シート2と反対側の表面を覆うように塗布形成された乳剤層4aと比較し柔らかい乳剤層5aにより構成されたスクリーン版であることから、図6において説明した液晶パネルの製造方法として用いることにより、表示ムラのない高品位な液晶パネルをシールパターン幅のバラツキが少なく高歩留まりで製造することが可能である。また、乳剤層4aに設けられたパターン開口部3の端面は乳剤層5により覆われることから、パターン開口部3a内のシール剤9の抜けが良く、パターン開口部3付近での処理基板8の表面との密着性も向上することから塗布量を安定させる効果を向上することができる。更に、メッシュ状シート2と乳剤層4aが一体となる様に形成されていることから版の耐久性も良好である。 Also in the second embodiment described above, as in the first embodiment, the mesh sheet 2, the emulsion layer 4 a formed so as to cover one side of the mesh sheet 2, and the mesh sheet 2 of the emulsion layer 4 a Since the screen plate is composed of a soft emulsion layer 5a as compared with the emulsion layer 4a coated and formed so as to cover the surface opposite to the surface, it can be used as a method for manufacturing the liquid crystal panel described in FIG. A high-quality liquid crystal panel with no unevenness can be manufactured with a high yield with little variation in the seal pattern width. Further, since the end face of the pattern opening 3 provided in the emulsion layer 4 a is covered with the emulsion layer 5, the sealing agent 9 in the pattern opening 3 a can be easily removed, and the processing substrate 8 near the pattern opening 3 can be removed. Since the adhesion with the surface is also improved, the effect of stabilizing the coating amount can be improved. Further, since the mesh sheet 2 and the emulsion layer 4a are integrally formed, the durability of the plate is good.

また、本実施の形態2においては、遮光マスクが必要ないこと、パターン開口部3をマスクとして自己整合的にパターン開口部3aの位置や幅が決まること、及び位置併せも不要なこと等から、使用する露光装置においてステッパーなどのアライメント機能付きの高価な装置を用いる必要がなくUV照射装置などの簡易な装置を用いることができる。また、パターン開口部3aが自己整合的に決まることから開口幅精度も向上可能である。 In the second embodiment, since a light shielding mask is not necessary, the position and width of the pattern opening 3a are determined in a self-aligning manner using the pattern opening 3 as a mask, and alignment is unnecessary. It is not necessary to use an expensive apparatus with an alignment function such as a stepper in the exposure apparatus to be used, and a simple apparatus such as a UV irradiation apparatus can be used. Further, since the pattern opening 3a is determined in a self-aligning manner, the opening width accuracy can be improved.

続いて、実施の形態2におけるスクリーン版の変形例について図10の断面図を用いて説明する。図10(a)は実施の形態2におけるスクリーン版の製造方法の説明図である図9(a)に対応する。この変形例においては、図10(a)に示す様に、メッシュ状シート2の片面を覆うように形成され所定のパターン開口部3が形成された感光性樹脂よりなる第一の乳剤層である乳剤層4bに対して、乳剤層4b上を覆うようにネガ型の感光性樹脂をごく薄く塗布し、乳剤層5bを形成する。また、乳剤層5bを構成するネガ型の感光性樹脂については、実施の形態2と同様に硬化した際において乳剤層4bよりも柔らかくなる材料を選定しており、塗布膜厚は、印刷する場合における処理基板の表面の凹凸に馴染む程度の最低限の膜厚を設定した。 Subsequently, a modification of the screen plate in the second embodiment will be described with reference to the cross-sectional view of FIG. FIG. 10A corresponds to FIG. 9A, which is an explanatory diagram of the method for manufacturing the screen plate in the second embodiment. In this modification, as shown in FIG. 10A, the first emulsion layer is formed of a photosensitive resin formed so as to cover one surface of the mesh sheet 2 and having a predetermined pattern opening 3 formed therein. A negative photosensitive resin is coated very thinly on the emulsion layer 4b so as to cover the emulsion layer 4b, thereby forming an emulsion layer 5b. In addition, for the negative photosensitive resin constituting the emulsion layer 5b, a material that becomes softer than the emulsion layer 4b when cured as in the second embodiment is selected, and the coating film thickness is the case of printing. The minimum film thickness was set so as to be compatible with the unevenness of the surface of the processed substrate.

続いて、図10(b)に示す様に、この変形例においては、実施の形態2と同様にメッシュ状シート2側より露光を行う。その際には、実施の形態1で用いた遮光マスクや実施の形態2で用いた散乱板DIFを用いずに通常の平行光による露光を行う。また露光はパターン開口部3に形成されたごく薄い乳剤層5bが露光でき除去できれば良いことから、ごく弱い露光量となる条件で行った。 Subsequently, as shown in FIG. 10B, in this modified example, exposure is performed from the mesh-like sheet 2 side as in the second embodiment. In that case, exposure with normal parallel light is performed without using the light shielding mask used in the first embodiment and the scattering plate DIF used in the second embodiment. The exposure is performed under the condition that the exposure amount is very weak because it is sufficient that the very thin emulsion layer 5b formed in the pattern opening 3 can be exposed and removed.

最後に、乳剤層5aの現像処理を行うことにより、図10(c)に示す様に乳剤層5bにパターン開口部3aが形成される。この変形例においては、特に乳剤層4aに遮光性の高い材料などを用いなかったが、この様にごく弱い露光量となる条件であることから、乳剤層4aの陰になる部分の乳剤層5bまで露光されることはなく、パターン開口部3の端面付近に形成された乳剤層5bにおいても、殆ど露光されることは無い。従ってパターン開口部3における乳剤層5aが主に除去され、図10(c)に示す様に乳剤層5にパターン開口部3aが形成される。また、パターン開口部3の端面についても残存した乳剤層5aにより覆われている。以上説明した変形例についても、実施の形態2と同様の効果を得ることができる。 Finally, by developing the emulsion layer 5a, a pattern opening 3a is formed in the emulsion layer 5b as shown in FIG. 10 (c). In this modified example, a material having a high light-shielding property is not used for the emulsion layer 4a. However, because of such a very weak exposure amount, the portion of the emulsion layer 5b that is in the shadow of the emulsion layer 4a is used. The emulsion layer 5b formed in the vicinity of the end face of the pattern opening 3 is hardly exposed. Therefore, the emulsion layer 5a in the pattern opening 3 is mainly removed, and the pattern opening 3a is formed in the emulsion layer 5 as shown in FIG. The end face of the pattern opening 3 is also covered with the remaining emulsion layer 5a. The same effects as those of the second embodiment can be obtained for the modification described above.

また、この変形例において、乳剤層5bの塗布厚を更に薄くし、メッシュ状シート2の網目内に入り込まない程度と変更することによって、露光現像処理についても省略することが可能である。この様な場合には、乳剤層5bについて特に感光性樹脂である必要がなく様々な種類の柔らかく印刷性の良い材料から選定することが可能である。この変形例についても、実施の形態2と同様の効果を得ることができる。 Further, in this modification, the exposure and development processing can be omitted by further reducing the coating thickness of the emulsion layer 5b so that it does not enter the mesh of the mesh sheet 2. In such a case, the emulsion layer 5b does not need to be a photosensitive resin and can be selected from various types of soft and printable materials. Also in this modification, the same effect as in the second embodiment can be obtained.

実施の形態3.
上記説明した実施の形態1、実施の形態2、及びそれら変形例においては、比較的硬い乳剤層に設けられたパターン開口部の端面が比較的柔らかい乳剤層により覆われる形状としたが、比較的硬い乳剤層と比較的柔らかい乳剤層の両者ともパターン開口部の端面において露出する構成とした実施の形態3について説明する。
Embodiment 3 FIG.
In the first embodiment, the second embodiment, and the modifications described above, the end face of the pattern opening provided in the relatively hard emulsion layer is covered with the relatively soft emulsion layer. Embodiment 3 will be described in which both a hard emulsion layer and a relatively soft emulsion layer are exposed at the end face of the pattern opening.

先ず、本実施の形態3におけるスクリーン版の構成について図11の断面図を用いて説明する。図11は、実施の形態1におけるスクリーン版の図1(b)のパターン開口部3近傍の断面図に対応する。本実施の形態2では、図11にも示される様に、メッシュ状シート2の片面を覆うように形成され所定のパターン開口部3が形成された感光性樹脂よりなる第一の乳剤層である乳剤層4cと乳剤層4cのメッシュ状シート2と反対側の表面に形成された感光性樹脂よりなる第二の乳剤層である乳剤層5cより構成されている。特に本実施の形態3においては、乳剤層4cに形成されたパターン開口部3の端面が乳剤層5cにより覆われていない構成であり、乳剤層5cに形成されたパターン開口部3aと乳剤層4cに形成されたパターン開口部3は連続的に形成された構造となっている。 First, the configuration of the screen plate according to the third embodiment will be described with reference to the cross-sectional view of FIG. FIG. 11 corresponds to a cross-sectional view in the vicinity of the pattern opening 3 in FIG. In the second embodiment, as shown in FIG. 11, the first emulsion layer is formed of a photosensitive resin formed so as to cover one side of the mesh sheet 2 and having a predetermined pattern opening 3 formed therein. The emulsion layer 4c is composed of an emulsion layer 5c which is a second emulsion layer made of a photosensitive resin formed on the surface of the emulsion layer 4c opposite to the mesh-like sheet 2. Particularly in Embodiment 3, the end face of the pattern opening 3 formed in the emulsion layer 4c is not covered by the emulsion layer 5c, and the pattern opening 3a and the emulsion layer 4c formed in the emulsion layer 5c are configured. The pattern opening 3 formed in the above has a structure formed continuously.

続いて、本実施の形態3におけるスクリーン版の製造方法について図12を用いて説明する。図12(a)は実施の形態1におけるスクリーン版の製造方法の説明図である図3(b)に対応する。本実施の形態3においては、メッシュ状シート2のフレーム1との接着面と反対側の面に、例えばネガ型の感光性樹脂を塗布し乾燥処理を行う工程を繰り返し行うことにより、所定の厚さの乳剤層4cを形成し、更に、連続して乳剤層4cとは異なる種類のネガ型の感光性樹脂を塗布し乾燥処理を行う工程を繰り返し行うことにより乳剤層5cを形成する。乳剤層5cとしたネガ型の感光性樹脂については、硬化した際において乳剤層4cよりも柔らかくなる材料を選定している。また順次塗布を繰り返し形成したことにより、メッシュ状シート2の網目内にまで乳剤層4cが入りこみメッシュ状シート2と乳剤層4cが一体となる様に形成される。 Next, a method for manufacturing a screen plate according to the third embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 12A corresponds to FIG. 3B, which is an explanatory diagram of the method for manufacturing the screen plate in the first embodiment. In the present third embodiment, for example, a negative photosensitive resin is applied to the surface of the mesh sheet 2 opposite to the surface to be bonded to the frame 1 and a drying process is repeated to perform a predetermined thickness. The emulsion layer 4c is formed, and the emulsion layer 5c is formed by repeating the steps of successively applying a negative photosensitive resin of a different type from the emulsion layer 4c and performing a drying process. For the negative photosensitive resin used as the emulsion layer 5c, a material that is softer than the emulsion layer 4c when cured is selected. In addition, by repeating the sequential application, the emulsion layer 4c enters the mesh of the mesh sheet 2 so that the mesh sheet 2 and the emulsion layer 4c are integrated.

次に、図12(b)に示す様に、本実施の形態3においては、メッシュ状シート2と反対側の表面より乳剤層5c及び乳剤層4cに対し露光を行う。その際には、遮光マスク6cを用いた選択的な露光によって乳剤層5c及び乳剤層4cを同時に露光する。 Next, as shown in FIG. 12B, in the third embodiment, the emulsion layer 5c and the emulsion layer 4c are exposed from the surface opposite to the mesh sheet 2. At that time, the emulsion layer 5c and the emulsion layer 4c are simultaneously exposed by selective exposure using the light shielding mask 6c.

最後に、現像処理を行うことにより、本実施の形態3の乳剤層5c及び乳剤層4cはネガ型の感光性樹脂を用いていることから、乳剤層5c及び乳剤層4cの双方の露光部が同時に除去される。その結果、図11に示す様に乳剤層5c及び乳剤層4cの両者ともパターン開口部の端面において露出する構造、即ち乳剤層5cに形成されたパターン開口部3aと乳剤層4cに形成されたパターン開口部3が端面において連続した構造が形成される。 Finally, by carrying out development processing, since the emulsion layer 5c and the emulsion layer 4c of Embodiment 3 use a negative photosensitive resin, the exposed portions of both the emulsion layer 5c and the emulsion layer 4c are Removed at the same time. As a result, as shown in FIG. 11, both the emulsion layer 5c and the emulsion layer 4c are exposed at the end face of the pattern opening, that is, the pattern opening 3a formed in the emulsion layer 5c and the pattern formed in the emulsion layer 4c. A structure in which the opening 3 is continuous at the end face is formed.

以上説明した実施の形態3においても、実施の形態1と同様にメッシュ状シート2と、メッシュ状シート2の片面を覆うように塗布形成された乳剤層4cと、乳剤層4cのメッシュ状シート2と反対側の表面を覆うように塗布形成された乳剤層4cと比較し柔らかい乳剤層5aにより構成されたスクリーン版を図6において説明した液晶パネルの製造方法として用いることにより、表示ムラのない高品位な液晶パネルをシールパターン幅のバラツキが少なく高歩留まりで製造することができる有用なスクリーン版を得ることが可能である。更に、メッシュ状シート2と乳剤層4cが一体となる様に形成されていることから版の耐久性も良好である。 Also in the third embodiment described above, similarly to the first embodiment, the mesh sheet 2, the emulsion layer 4c formed so as to cover one side of the mesh sheet 2, and the mesh sheet 2 of the emulsion layer 4c are provided. By using the screen plate constituted by the soft emulsion layer 5a as compared with the emulsion layer 4c coated and formed so as to cover the surface opposite to the surface, the method for manufacturing the liquid crystal panel described in FIG. It is possible to obtain a useful screen plate capable of manufacturing a high-quality liquid crystal panel with a high yield with little variation in the seal pattern width. Furthermore, since the mesh sheet 2 and the emulsion layer 4c are formed so as to be integrated, the durability of the plate is also good.

また、本実施の形態3においては、乳剤層5c及び乳剤層4cへの開口部形成を一括して行うことが可能な為、露光や現像工程が一回に簡略化できる点、パターン開口部3とパターン開口部3a間での位置併せが必要ないことから露光装置についてマスクを用いたUV照射装置などの簡易な装置で良くなる点など、製造装置及び製造工程を簡略化でき結果として低コスト化を実現可能である。 In Embodiment 3, openings can be formed in the emulsion layer 5c and the emulsion layer 4c all at once, so that the exposure and development processes can be simplified at one time. The pattern opening 3 Since the alignment between the pattern opening 3a and the pattern opening 3a is not necessary, it is possible to simplify the manufacturing apparatus and the manufacturing process, such as the fact that a simple apparatus such as a UV irradiation apparatus using a mask can be used for the exposure apparatus. Is feasible.

実施の形態4.
続いて、図13を用いて、本実施の形態4における液晶パネルの構成について説明する。なお、ここでは、一例としてTFT(hin ilm ransistor)方式の液晶パネルについて説明する。この液晶パネル200は、図に示される様に、スイッチング素子基板210、カラーフィルタ基板220、及びスイッチング素子基板210とカラーフィルタ基板220との間に充填された液晶230から構成されている。
Embodiment 4 FIG.
Next, the configuration of the liquid crystal panel according to the fourth embodiment will be described with reference to FIG. Here, the TFT (T hin F ilm T ransistor ) mode liquid crystal panel will be described as an example. As shown in the figure, the liquid crystal panel 200 includes a switching element substrate 210, a color filter substrate 220, and a liquid crystal 230 filled between the switching element substrate 210 and the color filter substrate 220.

上述のスイッチング素子基板210は、ガラス基板211の一方の面に液晶230を配向させる配向膜212、配向膜212の下部に設けられ液晶230を駆動する電圧を印加する画素電極213、画素電極213に電圧を供給するTFTなどのスイッチング素子214、スイッチング素子214を覆う絶縁膜215、スイッチング素子214に供給される信号を外部から受け入れる端子216、端子216から入力された信号を対向電極へ伝達する為のトランスファ電極217等を有している。また、ガラス基板211の他方の面には偏光板231を有している。 The switching element substrate 210 includes an alignment film 212 that aligns the liquid crystal 230 on one surface of the glass substrate 211, a pixel electrode 213 that is provided below the alignment film 212 and applies a voltage for driving the liquid crystal 230, and the pixel electrode 213. A switching element 214 such as a TFT for supplying a voltage, an insulating film 215 covering the switching element 214, a terminal 216 for receiving a signal supplied to the switching element 214 from the outside, and a signal input from the terminal 216 to the counter electrode A transfer electrode 217 and the like are included. In addition, a polarizing plate 231 is provided on the other surface of the glass substrate 211.

一方、上述のカラーフィルタ基板220は、ガラス基板221の一方の面に液晶230を配向させる配向膜222、配向膜222の下部に配置され、スイッチング素子基板210上の画素電極213との間に電界を生じ液晶230を駆動する共通電極223、共通電極223下部に設けられるカラーフィルタ224及び遮光層225等を有している。また、ガラス基板221の他方の面には偏光板232を有している。 On the other hand, the above-described color filter substrate 220 is disposed under one of the alignment film 222 for aligning the liquid crystal 230 on one surface of the glass substrate 221 and the alignment film 222, and an electric field between the pixel electrode 213 on the switching element substrate 210. A common electrode 223 for driving the liquid crystal 230, a color filter 224 provided under the common electrode 223, a light shielding layer 225, and the like. In addition, a polarizing plate 232 is provided on the other surface of the glass substrate 221.

また、スイッチング素子基板210とカラーフィルタ基板220はシール233を介して貼り合わされている。更にトランスファ電極217と共通電極223は、トランスファ材234により電気的に接続されており、端子216から入力された信号が共通電極223に伝達される。この他に、液晶パネル200は駆動信号を発生する制御基板235、制御基板235を端子216に電気的に接続するFPC(lexible rinted ircuit)236、光源となるバックライトユニット(図示せず)等を備えている。 Further, the switching element substrate 210 and the color filter substrate 220 are bonded together via a seal 233. Further, the transfer electrode 217 and the common electrode 223 are electrically connected by a transfer material 234, and a signal input from the terminal 216 is transmitted to the common electrode 223. In addition, the control board 235 liquid crystal panel 200 for generating a drive signal, FPC for electrically connecting the control board 235 to the terminal 216 (F lexible P rinted C ircuit ) 236, without a backlight unit (shown as a light source ) Etc.

この液晶パネル200は次の様に動作する。例えば、制御基板235から電気信号が入力されると、画素電極213及び共通電極223に駆動電圧が加わり、駆動電圧に合わせて液晶230の分子の方向が変わる。そして、バックライトユニットの発する光がスイッチング素子基板210、液晶230及びカラーフィルタ基板220を介して外部へ透過或いは遮断されることにより、液晶パネル200に映像等が表示される。 The liquid crystal panel 200 operates as follows. For example, when an electric signal is input from the control substrate 235, a driving voltage is applied to the pixel electrode 213 and the common electrode 223, and the molecular direction of the liquid crystal 230 is changed in accordance with the driving voltage. The light emitted from the backlight unit is transmitted or blocked outside through the switching element substrate 210, the liquid crystal 230, and the color filter substrate 220, whereby an image or the like is displayed on the liquid crystal panel 200.

なお、この液晶パネル200は、一例であり他の構成でもよい。液晶パネル200の動作モードは、TN(wisted ematic)モードや、STN(upper wisted ematic)モード、強誘電性液晶モード等でもよく、駆動方法は、単純マトリックスやアクティブマトリックス等でもよく、カラーフィルタ基板220に設けた共通電極223をスイッチング素子基板210側に設置して、画素電極213との間に横方向に液晶230に対して電界をかける横電界方式を用いた液晶パネルでもよい。 The liquid crystal panel 200 is an example and may have other configurations. Operation mode of the liquid crystal panel 200, and TN (T wisted N ematic) mode, STN (S upper T wisted N ematic) mode may be a ferroelectric liquid crystal mode, etc., the driving method may be a simple matrix or an active matrix, etc. Alternatively, a liquid crystal panel using a horizontal electric field method in which the common electrode 223 provided on the color filter substrate 220 is installed on the switching element substrate 210 side and an electric field is applied to the liquid crystal 230 in the horizontal direction between the pixel electrode 213 and the liquid crystal panel. .

次に、本実施の形態4における液晶パネルの製造方法について説明する。スイッチング素子基板210及びカラーフィルタ基板220の製造方法については一般的な方法を用いる為、簡単に説明する。スイッチング素子基板210は、ガラス基板211の一方の面に、成膜、フォトリソグラフィー法によるパターンニング、エッチング等のパターン形成工程を繰り返し用いてスイッチング素子214や画素電極213、端子216、トランスファ電極217を形成することにより製造される。また、カラーフィルタ基板220は、同様に、ガラス基板221の一方の面に、カラーフィルタ224や共通電極223を形成することにより製造される。 Next, a method for manufacturing the liquid crystal panel in the fourth embodiment will be described. Since a general method is used for manufacturing the switching element substrate 210 and the color filter substrate 220, a brief description will be given. The switching element substrate 210 has a switching element 214, a pixel electrode 213, a terminal 216, and a transfer electrode 217 formed on one surface of the glass substrate 211 by repeatedly using a pattern forming process such as film formation, patterning by photolithography, and etching. Manufactured by forming. Similarly, the color filter substrate 220 is manufactured by forming the color filter 224 and the common electrode 223 on one surface of the glass substrate 221.

続いて、本実施の形態4において特徴的な組み立て工程について図14に示すフローチャートにしたがって説明する。まず、基板洗浄工程において、画素電極213が形成されているスイッチング素子基板210を洗浄する(S1)。次に、配向膜形成工程において、スイッチング素子基板210の一方の面に、配向膜212を形成する(S2)。この工程は、例えば、印刷法により有機膜からなる配向膜212を塗布し、ホットプレートなどにより焼成処理し乾燥させる。その後、ラビング工程において配向膜212にラビングを行い、配向膜212を配向させる(S3)。また、S1からS3と同様に、共通電極223が形成されているカラーフィルタ基板220についても、洗浄、配向膜222の形成、及びラビングを行う。 Subsequently, a characteristic assembly process in the fourth embodiment will be described with reference to a flowchart shown in FIG. First, in the substrate cleaning process, the switching element substrate 210 on which the pixel electrode 213 is formed is cleaned (S1). Next, in the alignment film forming step, an alignment film 212 is formed on one surface of the switching element substrate 210 (S2). In this step, for example, an alignment film 212 made of an organic film is applied by a printing method, and is baked and dried by a hot plate or the like. Thereafter, in the rubbing step, the alignment film 212 is rubbed to align the alignment film 212 (S3). Similarly to S1 to S3, the color filter substrate 220 on which the common electrode 223 is formed is also cleaned, formed with the alignment film 222, and rubbed.

続いて、シールパターンを形成するシール塗布工程において、実施の形態1で説明したスクリーン版及びシール印刷方法を用いることによりスイッチング素子基板210或いはカラーフィルタ基板220の一方の面にシール233の塗布処理を行う(S4)。また、シール233には、例えばエポキシ系接着剤等の熱硬化型樹脂や紫外線硬化型樹脂を用いた。この実施の形態1で説明したスクリーン版及びシール印刷装置を用いたことによって、スクリーン版のメッシュ状シートにおける網の交点による圧力が分散され均一化されることから配向膜212或いは配向膜222表面へのダメージを抑えることができ、更に処理基板の凹凸にスクリーン版が馴染むことから安定した塗布量で印刷をすることができる。 Subsequently, in the seal coating process for forming a seal pattern, the seal plate 233 is coated on one surface of the switching element substrate 210 or the color filter substrate 220 by using the screen plate and the seal printing method described in the first embodiment. Perform (S4). For the seal 233, for example, a thermosetting resin such as an epoxy adhesive or an ultraviolet curable resin is used. By using the screen plate and the seal printing apparatus described in the first embodiment, the pressure due to the intersection of the meshes in the mesh sheet of the screen plate is dispersed and uniformed, so that the surface of the alignment film 212 or the alignment film 222 is obtained. In addition, since the screen plate is adapted to the unevenness of the treated substrate, printing can be performed with a stable coating amount.

次に、トランスファ材塗布工程において、スイッチング素子基板210或いはカラーフィルタ基板220の一方の面にトランスファ材234の塗布処理を行う(S5)。そして、スペーサ散布工程において、スイッチング素子基板210或いはカラーフィルタ基板220の一方の面にスペーサを散布する(S6)。この工程は、例えば、湿式法や乾式法によりスペーサを分散させることにより行われる。 Next, in the transfer material application process, the transfer material 234 is applied to one surface of the switching element substrate 210 or the color filter substrate 220 (S5). In the spacer spraying step, spacers are sprayed on one surface of the switching element substrate 210 or the color filter substrate 220 (S6). This step is performed, for example, by dispersing the spacers by a wet method or a dry method.

その後、貼り合わせ工程において、スイッチング素子基板210とカラーフィルタ基板220を貼り合わせる(S7)。続いて、シール硬化工程において、スイッチング素子基板210とカラーフィルタ基板220を貼り合わせた状態で、シール233を完全に硬化させる(S8)。この工程は、例えば、シール233の材質に合わせて熱を加えることや、紫外線を照射することにより行われる。次に、セル分断工程において、貼り合わせた基板を個別セルに分解する(S9)。そして、液晶注入工程において、液晶注入口から液晶を注入する(S10)。この工程は、例えば、液晶230を液晶注入口から真空注入により充填することにより行われる。更に、封止工程において、液晶注入口を封止する(S11)。この工程は、例えば、光硬化型樹脂で封じ、光を照射することにより行われる。 Thereafter, in the bonding step, the switching element substrate 210 and the color filter substrate 220 are bonded together (S7). Subsequently, in the seal curing step, the seal 233 is completely cured with the switching element substrate 210 and the color filter substrate 220 bonded together (S8). This step is performed, for example, by applying heat according to the material of the seal 233 or by irradiating ultraviolet rays. Next, in the cell dividing step, the bonded substrates are disassembled into individual cells (S9). In the liquid crystal injection step, liquid crystal is injected from the liquid crystal injection port (S10). This step is performed, for example, by filling the liquid crystal 230 by vacuum injection from the liquid crystal injection port. Further, in the sealing step, the liquid crystal inlet is sealed (S11). This step is performed, for example, by sealing with a photocurable resin and irradiating with light.

以上のS7〜S13の貼り合わせから液晶封止までの工程については、通常の注入口からの液晶注入方法を一例として説明した。しかし、別の液晶注入方法として、シール233を注入口の無いパターン形状とし、液晶230をスイッチング素子基板210或いはカラーフィルタ基板220の上に液滴状態で滴下して形成し、この滴下した液晶230を挟む様にスイッチング素子基板210とカラーフィルタ基板220を貼り合わせた後にシール233を硬化させる方法、所謂、滴下注入方式を用いても構わない。 About the process from bonding of the above S7-S13 to liquid crystal sealing, the liquid crystal injection method from the normal injection port was demonstrated as an example. However, as another liquid crystal injection method, the seal 233 has a pattern shape without an injection port, and the liquid crystal 230 is formed in a droplet state on the switching element substrate 210 or the color filter substrate 220. A method in which the seal 233 is cured after the switching element substrate 210 and the color filter substrate 220 are bonded so as to sandwich the substrate, a so-called drop injection method may be used.

最後に、偏光板貼付工程において、セルに偏光板231、232を貼り付け(S12)、制御基板実装工程において、制御基板235を実装する(S13)ことによって、液晶パネル200が完成する。 Finally, in the polarizing plate attaching step, the polarizing plates 231 and 232 are attached to the cell (S12), and in the control substrate mounting step, the control substrate 235 is mounted (S13), thereby completing the liquid crystal panel 200.

以上説明した実施の形態4における液晶パネルにおいては、上述の通り、メッシュ状シートと、メッシュ状シートの片面を覆うように塗布形成された乳剤層と、乳剤層のメッシュ状シート2と反対側の表面を覆うように塗布形成された乳剤層と比較し柔らかい乳剤層により構成されたスクリーン版を液晶パネルの製造方法として用いることにより表示ムラのない高品位な液晶パネルをシールパターン幅のバラツキが少なく高歩留まりで製造することができる。また、本実施の形態4においては、実施の形態1のスクリーン版及びシール印刷方法をシール塗布工程に用いた液晶表示パネルについて説明した。然しながら実施の形態1のスクリーン版に代えて他の実施の形態2〜3及びそれらの変形例において説明したスクリーン版を用いた場合においても本実施の形態4と同様の効果を得ることができる。 In the liquid crystal panel according to Embodiment 4 described above, as described above, the mesh sheet, the emulsion layer coated and formed so as to cover one side of the mesh sheet, and the emulsion layer on the side opposite to the mesh sheet 2 are provided. Compared with the emulsion layer coated to cover the surface, a screen plate composed of a soft emulsion layer is used as a method for producing a liquid crystal panel, so that a high-quality liquid crystal panel without display unevenness has less variation in seal pattern width. It can be manufactured with a high yield. In the fourth embodiment, the liquid crystal display panel using the screen plate and the seal printing method of the first embodiment in the seal coating process has been described. However, the same effects as those of the fourth embodiment can be obtained even when the screen plates described in the second to third embodiments and their modifications are used in place of the screen plate of the first embodiment.

本発明の実施の形態1におけるスクリーン版を示した斜視図及び断面図である。It is the perspective view and sectional drawing which showed the screen plate in Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1におけるスクリーン版の製造工程における斜視図である。It is a perspective view in the manufacturing process of the screen plate in Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1におけるスクリーン版の製造工程における斜視図及び断面図である。It is the perspective view and sectional drawing in the manufacturing process of the screen plate in Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1におけるスクリーン版の製造工程における断面図である。It is sectional drawing in the manufacturing process of the screen plate in Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1におけるスクリーン版の製造工程における断面図である。It is sectional drawing in the manufacturing process of the screen plate in Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1におけるスクリーン版を用いたシール印刷工程における斜視図である。It is a perspective view in the seal | sticker printing process using the screen plate in Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1におけるスクリーン版の印刷状態を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the printing state of the screen plate in Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態2におけるスクリーン版を示した断面図である。It is sectional drawing which showed the screen plate in Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態2におけるスクリーン版の製造工程における断面図である。It is sectional drawing in the manufacturing process of the screen plate in Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態2におけるスクリーン版の製造工程における断面図である。It is sectional drawing in the manufacturing process of the screen plate in Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態3におけるスクリーン版を示した断面図である。It is sectional drawing which showed the screen plate in Embodiment 3 of this invention. 本発明の実施の形態3におけるスクリーン版の製造工程における断面図である。It is sectional drawing in the manufacturing process of the screen plate in Embodiment 3 of this invention. 本発明の実施の形態4における液晶パネルの断面図である。It is sectional drawing of the liquid crystal panel in Embodiment 4 of this invention. 本発明の実施の形態4における液晶パネルの製造方法における組み立て工程を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the assembly process in the manufacturing method of the liquid crystal panel in Embodiment 4 of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

2 メッシュ状シート、3 パターン開口部、4,4a,4b,4c,5,5a,5b,5c 乳剤層、8 処理基板、9 シール剤、10スキージ、100 スクリーン版、200 液晶パネル。 2 mesh sheet, 3 pattern opening, 4, 4a, 4b, 4c, 5, 5a, 5b, 5c emulsion layer, 8 treated substrate, 9 sealant, 10 squeegee, 100 screen version, 200 liquid crystal panel.

Claims (10)

メッシュ状シートと、該メッシュ状シートの片面を覆うように形成され所定のパターン開口部を有する第一の乳剤層と、該第一の乳剤層の前記メッシュ状シートと反対側の表面を覆うように形成され前記第一の乳剤層よりも硬度の低い第二の乳剤層とよりなるシール印刷用スクリーン版。 A mesh sheet, a first emulsion layer formed so as to cover one side of the mesh sheet and having a predetermined pattern opening, and a surface of the first emulsion layer opposite to the mesh sheet A screen plate for seal printing, comprising a second emulsion layer having a lower hardness than the first emulsion layer. 第一の乳剤層と第二の乳剤層は異なる露光条件或いは加熱条件により硬化されたことを特徴とする請求項1に記載のシール印刷用スクリーン版。 The screen plate for seal printing according to claim 1, wherein the first emulsion layer and the second emulsion layer are cured under different exposure conditions or heating conditions. 第一の乳剤層はメッシュ状スクリーン版と一体となる様に形成されることを特徴とする請求項1或いは請求項2の何れかに記載のシール印刷用スクリーン版。 3. The screen plate for seal printing according to claim 1, wherein the first emulsion layer is formed so as to be integrated with the mesh screen plate. パターン開口部の端面は第二の乳剤層により覆われていることを特徴とする請求項1〜請求項3の何れかに記載のシール印刷用スクリーン版。 The screen plate for seal printing according to any one of claims 1 to 3, wherein an end face of the pattern opening is covered with a second emulsion layer. 第一の乳剤層は第二の乳剤層と比較して遮光性の高い材料よりなることを特徴とする請求項4に記載のシール印刷用スクリーン版。 The screen plate for seal printing according to claim 4, wherein the first emulsion layer is made of a material having a higher light-shielding property than the second emulsion layer. メッシュ状シートと、該メッシュ状シートの片面を覆うように形成され所定のパターン開口部を有する第一の乳剤層と、該第一の乳剤層の前記メッシュ状シートと反対側の表面を覆うように形成され前記第一の乳剤層よりも硬度の低い第二の乳剤層とよりなるスクリーン版を、前記第二の乳剤層が前記基板の主面と対向する様に配置し、
前記スクリーン版上のシール剤を移動すると共に、前記第二の乳剤層を前記基板の主面に密着させる様にスキージを走査することにより前記スクリーン版上のシール剤を前記スクリーン版に設けられた前記パターン開口部を介して前記スクリーン版の下部に配置された基板の主面に塗布することによりシールを印刷することを特徴とするシール印刷方法。
A mesh sheet, a first emulsion layer formed so as to cover one side of the mesh sheet and having a predetermined pattern opening, and a surface of the first emulsion layer opposite to the mesh sheet A screen plate formed of a second emulsion layer having a lower hardness than the first emulsion layer is disposed so that the second emulsion layer faces the main surface of the substrate,
The sealant on the screen plate was provided on the screen plate by moving the sealant on the screen plate and scanning the squeegee so that the second emulsion layer was in close contact with the main surface of the substrate. A sticker printing method, wherein a sticker is printed by applying to a main surface of a substrate disposed under the screen plate through the pattern opening.
第一の乳剤層はメッシュ状スクリーン版と一体となる様に形成されることを特徴とする請求項6に記載のシール印刷方法。 7. The seal printing method according to claim 6, wherein the first emulsion layer is formed so as to be integrated with the mesh screen plate. パターン開口部の端面は第二の乳剤層により覆われていることを特徴とする請求項6或いは請求項7の何れかに記載のシール印刷方法。 8. The seal printing method according to claim 6, wherein an end face of the pattern opening is covered with a second emulsion layer. 請求項1〜請求項5のいずれかに記載のスクリーン版を用いて製造された液晶パネル。 The liquid crystal panel manufactured using the screen plate in any one of Claims 1-5. 請求項6〜請求項8のいずれかに記載のシール印刷方法を用い製造された液晶パネル。 A liquid crystal panel manufactured using the seal printing method according to claim 6.
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