JP2010034592A - 半導体製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ウエハ毎に搬送レシピを指定した搬送テーブル29と、搬送レシピ毎にウエハの位置情報を格納する位置管理テーブル22a〜22cと、ウエハNo.毎に位置情報とプロセス状況を格納する状況テーブル25´を設け、位置情報監視手段21´が、個々のウエハについて位置及びプロセス状況を監視し、ウエハ毎に異なる搬送レシピを設定した場合にも、ウエハ毎のプロセス進捗状況を表示する半導体製造装置である。
【選択図】 図13
Description
本発明の実施の形態に係る枚葉式CVD装置は、モニタ画面に装置イメージを描画し、装置イメージの内部に、ウエハの搬送路上に設けられた各検出ポイントに対応する複数の表示エリアを設け、更に、表示エリアを各プロセスに対応するように分割し、各検出ポイントにおけるウエハの有無だけでなく、ウエハ毎のプロセス進捗状況を色によって分かりやすく表示するようにしたものである。
Claims (1)
- ウエハ毎に搬送レシピ及びプロセスレシピを選択して処理を行う制御部を備えた半導体製造装置であって、
前記制御部は、前記ウエハ毎に前記搬送レシピが設定されると、各搬送レシピに対応する位置管理テーブルと状況テーブルを複数設け、前記ウエハ毎に前記状況テーブルを参照して前記ウエハの有無と前記ウエハのプロセス進捗状況を表示させることを特徴とする半導体製造装置。
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