JP2010033738A - 撮像デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】導電面を有する透光性基板と、前記導電面上に形成される光導電部と、前記光導電部に走査用の電子ビームを発射する電子ビーム源と、前記光導電部に電気的に接続され、前記電子ビームの走査によって得る撮像信号を読み出すための信号読み出し部とを具え、前記光導電部は、前記導電面から前記電子ビーム源に向かう方向に順次積層された、正孔注入阻止層、光導電層、及び電子ビームランディング層を含み、前記正孔注入阻止層は、密度が6.5g/cm3以上の酸化セリウムで構成される。
【選択図】図1
Description
テレビジョン学会全国大会講演予稿集、33〜34頁、1989年
図1は、実施の形態1の撮像デバイスの構成を示す図であり、(a)は側断面図、(b)は撮像デバイスを(a)のA−A矢視断面で示す図である。
透光性基板1は、被写体から得られる反射光を透過して光導電部2に誘導する透明な基板であり、例えば、透光性ガラス製の直径18mmの円板状の基板で構成される。この透光性基板1の一方の面には、酸化インジウムを主体とする直径14mm、膜厚30nmの導電膜1Aがスパッタ蒸着法により形成される。
図2は、実施の形態1の撮像デバイスの光導電部2の構成を詳細に示す断面図である。
このような光導電部2は次のようにして作製される。まず、導電膜1A上へ真空蒸着法により直径14mm、膜厚10nmの酸化セリウムからなる正孔注入阻止層2aを形成する。この際、真空蒸着装置内に設けた加熱機構を用いて、透光性基板1の温度を220℃に保持すると、正孔注入阻止層2aを構成する酸化セリウムの密度は、6.7〜6.8g/cm3程度になる。
また、図4は、表1の結果を特性として示す図である。この測定結果では、透光性基板1の温度を100℃以上とした場合に、正孔注入阻止層2aの酸化セリウムの密度は、6.5g/cm3以上の値が得られた。なお、設定温度が25℃の撮像デバイスは、室温で作製したものであり、従来の撮像デバイスに相当するものである。
図5は、実施の形態2の撮像デバイスの断面構造を示す図である。実施の形態2の撮像デバイスは、X線画像用撮像デバイスに好適であり、電子ビーム源としての電子放出源アレイ20を備える点が実施の形態1の撮像デバイスと主に相違する。この電子放出源アレイ20は、複数の微小なカソードがマトリクス状に配列されたものであり、任意のカソードを選択して電子ビームを発射させることができる。このため、実施の形態1の撮像デバイスのように、第1グリッド電極6、第2グリッド電極7、第3グリッド電極8、偏向コイル、及び集束コイルは備えない。
1A 導電膜
1B 金属製ピン
2 光導電部
2a 正孔注入阻止層
2A 走査面
2b 光導電層
2B 入射面
2c 電子ビームランディング層
2C 走査領域
3 インジウムリング
4 ガラス管
4A 開口部
5 電子ビーム源
5A、20A 電子ビーム
6 第1グリッド電極
7 第2グリッド電極
8 第3グリッド電極
9 メッシュ電極
11 電源
12 読み出し部
20 電子放出源アレイ
Claims (3)
- 導電面を有する透光性基板と、
前記導電面上に形成される光導電部と、
前記光導電部に走査用の電子ビームを発射する電子ビーム源と、
前記光導電部に電気的に接続され、前記電子ビームの走査によって得る撮像信号を読み出すための信号読み出し部と
を具え、
前記光導電部は、前記導電面から前記電子ビーム源に向かう方向に順次積層された、正孔注入阻止層、光導電層、及び電子ビームランディング層を含み、前記正孔注入阻止層は、密度が6.5g/cm3以上の酸化セリウムで構成される、撮像デバイス。 - 前記光導電層は、セレンを主体とする非晶質半導体層で構成される光導電膜を含む、請求項1に記載の撮像デバイス。
- 前記光導電部には、当該光導電部内にアバランシェ増倍現象を生じさせる電圧が印加される、請求項1又は2に記載の撮像デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008191823A JP5111276B2 (ja) | 2008-07-25 | 2008-07-25 | 撮像デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008191823A JP5111276B2 (ja) | 2008-07-25 | 2008-07-25 | 撮像デバイス |
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Publication Number | Publication Date |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
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JP (1) | JP5111276B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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