JP2010032448A - 3次元形状測定装置 - Google Patents
3次元形状測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010032448A JP2010032448A JP2008197135A JP2008197135A JP2010032448A JP 2010032448 A JP2010032448 A JP 2010032448A JP 2008197135 A JP2008197135 A JP 2008197135A JP 2008197135 A JP2008197135 A JP 2008197135A JP 2010032448 A JP2010032448 A JP 2010032448A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- striped pattern
- phase
- image
- pattern
- striped
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
【課題】被測定物の測定精度を低下させることなく、被測定物に縞状パターンを投影する投影機の構成を簡単にすることができ、結果として経済性および操作性に優れた3次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】3次元形状測定装置は、投影機10、撮像機20およびコンピュータ装置30を備えている。投影機10は、明部と暗部とが正弦波状に変化した縞状パターンZPを投影レンズ15に対して変位させるフォーカスシフター15を備え、ワークWK上に互いに周期の異なる縞状パターンZPを投影する。撮像機20は、ワークWKに投影された64周期、63周期および56周期の縞状パターンZPを撮像して、それぞれ縞状パターン画像Gnを取得する。コンピュータ装置30は、64周期、63周期および56周期の縞状パターンZPを用いて、ワークWKを表す各画素の位相が一意に特定される第2の位相の絶対値を計算して、三角測量法を用いてワークWKの3次元形状を算出する。
【選択図】 図1
【解決手段】3次元形状測定装置は、投影機10、撮像機20およびコンピュータ装置30を備えている。投影機10は、明部と暗部とが正弦波状に変化した縞状パターンZPを投影レンズ15に対して変位させるフォーカスシフター15を備え、ワークWK上に互いに周期の異なる縞状パターンZPを投影する。撮像機20は、ワークWKに投影された64周期、63周期および56周期の縞状パターンZPを撮像して、それぞれ縞状パターン画像Gnを取得する。コンピュータ装置30は、64周期、63周期および56周期の縞状パターンZPを用いて、ワークWKを表す各画素の位相が一意に特定される第2の位相の絶対値を計算して、三角測量法を用いてワークWKの3次元形状を算出する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、明部と暗部とが周期的に変化する縞状パターンを、位相をずらしながら被測定物に投影し、互いに異なる位相ごとに撮像した縞状パターン画像における位相のずれを用いて被測定物の3次元形状を測定する3次元形状測定装置に関する。
従来から、明部と暗部とで構成された縞状パターンを被測定物の表面に投影するとともに、同投影した縞状パターンの位相を一定の角度ずつすらしながら撮像して各撮像画像における縞状パターンの変形量(位相ずれ)を用いて被測定物の3次元形状を測定する3次元形状測定装置が知られている。例えば、下記特許文献1には、被測定物の表面に光の強度(輝度)分布が正弦波状に変化する縞状パターンを1/4周期(すなわち、π/2ずつ)ごとに投影する投影機と、被測定物の表面に投影された各縞状パターンをそれぞれ撮像する撮像機と、同撮像された縞状パターン画像を演算処理して被測定物の3次元形状を算出する演算処理装置とを備えた3次元形状測定装置が開示されている。
特開平11−83454号公報
そして、上記3次元形状測定装置における演算処理装置は、1/4周期(0,π/2,π,3π/2)ごとに撮像した縞状パターンの撮像画像における同一画素の画素値(輝度)を逆正接関数で演算処理することにより縞状パターンにおける各画素ごとの位相を計算して被測定物の3次元形状を測定している。すなわち、縞状パターンにおける各画素ごとに計算された位相は、被測定物に投影された縞状パターンの投影角度を表しているため、同投影角度と撮像機の撮像角度とにより三角測量法の原理を用いて被測定物の3次元形状を測定している。
ところで、このような3次元形状測定装置においては、ガラス基板上に縞状パターンが形成された縞状パターン体、各種液晶素子またはDMD(Digital Micromirror Device)などを用いて被測定物に縞状パターンを投影している。しかしながら、被測定物に縞状パターンを投影するこれらの縞状パターン体、各種液晶素子およびDMDにおいては種々の問題がある。
すなわち、縞状パターン体においては、ガラス基板上に正弦波状に光の透過率が変化する縞状パターンを正確に形成することが困難でるため、周期の異なる複数種類の縞状パターンを用いる場合(例えば、空間コード法を用いる場合)には、縞状パターン体を周期の種類ごとに製作しなければならず縞状パターン体の製作工数およびコストが増大するという問題がある。また、被測定物の3次元形状の測定時においては、周期の異なる縞状パターンごとに縞状パターン体を投影機に付け替えなければならず作業工数が増加するとともに、各縞状パターン体の位置合わせ作業が煩雑であるという問題もある。
一方、各種液晶素子およびDMDにおいては、各種液晶素子およびDMDにおける各画素の出力特性のリニアリティー(入力に対する出力が直線的に変化)に少なからずバラツキが存在するため、正確な正弦波形状の縞状パターンの投影が困難であり被測定物の3次元形状測定の測定精度が低下するという問題がある。また、各種液晶素子およびDMDを用いることにより投影機の構成が複雑化するとともに3次元形状測定装置が高価なものになるという問題もある。
本発明は上記問題に対処するためなされたもので、その目的は、被測定物の測定精度を低下させることなく、被測定物に縞状パターンを投影する投影機の構成を簡単にすることができ、結果として経済性および操作性に優れた3次元形状測定装置を提供することにある。
上記目的を達成するため、請求項1に係る発明の特徴は、明部と暗部とが周期的に変化する縞状パターンにおける1周期より短い間隔で少なくとも2回以上シフトさせて同縞状パターンを1周期分シフトさせながら同縞状パターンに光を照射して被測定物に投影する投影手段と、光電変換する受光素子からなる複数の画素を有し、縞状パターンの位相シフトごとに被測定物に投影された縞状パターンを投影手段の光軸とは異なる方向から撮像して、縞状パターンの位相シフトごとの縞状パターン画像をそれぞれ取得する縞状パターン撮像手段と、縞状パターン画像を用いて前記複数の画素ごとの位相をそれぞれ計算する位相計算手段と、前記複数の画素ごとに計算した位相を用いて被測定物の3次元形状を測定する形状測定手段とを備える3次元形状測定装置において、投影手段は、縞状パターンが形成された縞状パターン体と縞状パターンを被測定物に投影するための投影レンズとを有するとともに、縞状パターン体と投影レンズとの光学的な距離を相対的に変位させることにより被測定物に投影される縞状パターンを拡大して、同一の投影範囲内にて前記縞状パターンよりも少なくとも1周期少ない周期の周期減縞状パターンを投影するための光軸方向変位手段を有し、縞状パターン撮像手段は、被測定物に投影された周期減縞状パターンを位相シフトごとに撮像して、同周期減縞状パターンの位相シフトごとの縞状パターン画像である周期減縞状パターン画像をそれぞれ取得し、位相計算手段は、周期減縞状パターン画像を用いて前記複数の画素ごとの位相をそれぞれ計算し、形状測定手段は、縞状パターン画像に基づく前記複数の画素ごとの位相と周期減縞状パターン画像に基づく前記複数の画素ごとの位相との位相差を第1の位相差として計算する位相差計算手段を備えることにある。
このように構成した請求項1に係る発明の特徴によれば、3次元形状測定装置は、明部と暗部とが周期的に変化する縞状パターンを被測定物に投影するための縞状パターン体および投影レンズの光学的な距離を相対的に変化させる光軸方向変位手段を投影手段に備えている。これにより、3次元形状測定装置は、被測定物に縞状パターンおよび同縞状パターンを同一の投影範囲内で拡大させて同縞状パターンより1周期少ない周期減縞状パターンをそれぞれ投影して縞状パターン画像および周期減縞状パターン画像をそれぞれ取得する。そして、3次元画像形成装置は、形状測定手段における位相差計算手段によって縞状パターン画像に基づく各画素ごとの位相と周期減縞状パターン画像に基づく各画素ごとの位相との位相差を第1の位相差として計算する。この場合、第1の位相差は、撮像手段で撮像された被測定物を各画素ごとに0〜2πの範囲の位相の絶対値で表したものである。このため、3次元形状測定装置は、この位相の絶対値である第1の位相差を用いて被測定対象物の3次元形状を測定することができる。すなわち、本発明に係る3次元形状測定装置は、縞状パターンが形成された1つの縞状パターン体の投影レンズに対する距離を相対的に変化させることにより周期の異なる2つの縞状パターンを被測定物にそれぞれ投影することができる。このため、周期の異なる複数種類の縞状パターンごとに縞状パターン体を形成する必要がないとともに各種液晶素子やDMDなどの高価な機器も不要である。これらの結果、被測定物の測定精度を低下させることなく、被測定物に縞状パターンを投影する投影機の構成を簡単にすることができ、3次元形状測定装置を経済的かつ良好な操作性で構成することができる。
また、請求項2に係る本発明の他の特徴は、前記3次元形状測定装置において、縞状パターン撮像手段は、前記同一の投影範囲内にて前記縞状パターンよりも2周期以上少ない周期の周期減縞状パターンの位相シフトごとの周期減縞状パターン画像をそれぞれ取得し、位相計算手段は、縞状パターンよりも2周期以上少ない周期の周期減縞状パターンに対応する周期減縞状パターン画像を用いて前記複数の画素ごとの位相をそれぞれ計算し、形状測定手段における位相差計算手段は、縞状パターン画像に基づく前記複数の画素ごとの位相と縞状パターンよりも2周期以上少ない周期の周期減縞状パターンに対応する周期減縞状パターン画像に基づく前記複数の画素ごとの位相との位相差を第2の位相差として計算し、形状測定手段は、第1の位相差を用いて第2の位相差における各値を連続的な位相分布として前記複数の画素ごとの位相を一意的に特定するための第1の位相の絶対値を計算する絶対値計算手段を備えることにある。
このように構成した請求項2に係る本発明の他の特徴によれば、3次元形状測定装置は、縞状パターンよりも2周期以上少ない周期の周期減縞状パターンを被測定物に投影して周期減縞状パターン画像を取得し、各画素ごとの位相をそれぞれ計算している。そして、3次元画像形成装置は、縞状パターン画像に基づく各画素ごとの位相と縞状パターンよりも2周期以上少ない周期の周期減縞状パターンに対応する周期減縞状パターン画像に基づく各画素ごとの位相との位相差を第2の位相差として計算し、前記第1の位相差を用いてこの第2の位相差における各位相値を連続的な位相分布に変換して第1の位相の絶対値を計算している。この場合、第1の位相の絶対値の位相の範囲は、0〜(n×2π)(nは縞状パターンと周期減縞状パターンの周期の差)で表される。すなわち、第1の位相の絶対値は、同じく位相の絶対値を表す前記第1の位相差に比べて位相の範囲が広くなるため、より高精度に被測定対象物の3次元形状を測定することができる。
また、請求項3に係る本発明の他の特徴は、前記3次元形状測定装置において、記形状測定手段における絶対値計算手段は、第1の位相の絶対値を用いて縞状パターン画像に基づく前記複数の画素ごとの位相における各値を連続的な位相分布として前記複数の画素ごとの位相を一意的に特定するための第2の位相の絶対値を計算することにある。
このように構成した請求項3に係る本発明の他の特徴によれば、3次元形状測定装置は、前記第1の位相の絶対値を用いて縞状パターン画像に基づく前記複数の画素ごとの位相における各位相値を連続的な位相分布として、前記複数の画素ごとの位相を一意的に特定するための第2の位相の絶対値を計算する。この場合、第2の位相の絶対値の位相の範囲は、0〜(N×2π)(Nは縞状パターンの周期の数)で表される。すなわち、第2の位相の絶対値は、同じく位相の絶対値を表す前記第1の位相差および第1の位相の絶対値に比べて位相の範囲が広くなるため、より高精度に被測定対象物の3次元形状を測定することができる。
また、請求項4に係る本発明の他の特徴は、前記3次元形状測定装置において、縞状パターンは、明部および暗部の2つの階調のみで構成されており、互いに異なる少なくとも3つの位相で構成され、変調値が縞状パターンにおける1周期と同じ周期で連続的に変化する各変調信号ごとに、各縞状パターン画像に表された縞状パターンにおける位相シフトの割合に対応する変調値を用いて各縞状パターン画像を変調する縞状パターン画像変調手段と、前記変調された各縞状パターン画像を各変調信号ごとに合成して縞状パターン合成画像をそれぞれ生成する縞状パターン画像合成手段と、互いに異なる少なくとも3つの位相で構成され、変調値が周期減縞状パターンにおける1周期と同じ周期で連続的に変化する各変調信号ごとに、各周期減縞状パターン画像に表された周期減縞状パターンにおける位相シフトの割合に対応する変調値を用いて各周期減縞状パターン画像を変調する周期減縞状パターン画像変調手段と、前記変調された各周期減縞状パターン画像を各変調信号ごとに合成して周期減縞状パターン合成画像をそれぞれ生成する周期減縞状パターン画像合成手段とを備え、位相計算手段は、縞状パターン合成画像を用いて前記複数の画素ごとの位相をそれぞれ計算するとともに、周期減縞状パターン合成画像を用いて前記複数の画素ごとの位相をそれぞれ計算することにある。
このように構成した請求項4に係る本発明の他の特徴によれば、明部および暗部のみの2階調で1周期が構成された縞状パターン(周期減縞状パターンを含む)を被測定物にそれぞれ投影するとともに、同投影した縞状パターンを一定の間隔で1周期分ずらしながら撮像して縞状パターン画像(周期減縞状パターン画像を含む)をそれぞれ取得している。そして、3次元形状測定装置は、取得された各縞状パターン画像を互いに異なる少なくとも3つの位相の変調信号によってそれぞれ変調して合成している。これにより、少なくとも3つの位相ごとに、変調信号に対応する振幅変化で構成された縞状パターン合成画像(周期減縞状パターン合成画像を含む)が生成される。すなわち、本発明に係る3次元形状測定装置は、被測定物に投影する投影画像を明部および暗部の2値で構成した縞状パターンを用いている。このため、3次元形状測定装置は、被測定物に投影された縞状パターンにおける明部と暗部とを検出できればよいため、投影機および撮像機における出力特性のリニアリティーの影響が少ない状態で被測定物の形状を表わす縞状パターン画像を取得することができる。このことは、撮像機における飽和現象(受光光量の変化に対して出力電圧信号が一定値となる現象)に影響されることなく縞状パターン画像を取得することができることを意味している。
また、取得された各縞状パターン画像における各画像値は、変調値が理想的に連続変化する変調信号によって変調される。換言すれば、縞状パターン合成画像における画像値は、投影機および撮像機における出力特性のリニアリティーに影響されることなく連続的に変化する値となる。すなわち、本発明においては、被測定物に投影して撮像される縞状パターン画像における光強度の連続的な変化については、出力特性にバラツキが存在する投影機や撮像機による検出を行わず、光強度の理想的な連続変化に相当する変調信号を用いて画像値が理想的に連続変化する縞状パターン合成画像を取得している。この結果、投影機および撮像機における出力特性のリニアリティーに依存することなく、被測定物の3次元形状測定を高精度に行うことができる。
(第1実施形態)
以下、本発明に係る3次元形状測定装置の第1実施形態について図面を参照しながら説明する。図1は、本発明に係る3次元形状測定装置の全体構成を模式的に示すブロック図である。なお、本明細書において参照する各図は、本発明の理解を容易にするために一部の構成要素を誇張して表わすなど模式的に表している。このため、各構成要素間の寸法や比率などは異なっていることがある。
以下、本発明に係る3次元形状測定装置の第1実施形態について図面を参照しながら説明する。図1は、本発明に係る3次元形状測定装置の全体構成を模式的に示すブロック図である。なお、本明細書において参照する各図は、本発明の理解を容易にするために一部の構成要素を誇張して表わすなど模式的に表している。このため、各構成要素間の寸法や比率などは異なっていることがある。
(3次元形状測定装置の構成)
3次元形状測定装置は、投影機10、撮像機20およびコンピュータ装置30をそれぞれ備えている。投影機10は、被測定物であるワークWKの表面に縞状パターンZPを投影するための投影機であり、主として、光源11、縞状パターン体12、位相シフター13、フォーカスシフター14および投影レンズ15をそれぞれ備えて構成されている。
3次元形状測定装置は、投影機10、撮像機20およびコンピュータ装置30をそれぞれ備えている。投影機10は、被測定物であるワークWKの表面に縞状パターンZPを投影するための投影機であり、主として、光源11、縞状パターン体12、位相シフター13、フォーカスシフター14および投影レンズ15をそれぞれ備えて構成されている。
光源11は、主として緑色の可視光を発光するLEDによって構成された照明装置である。この光源11の光軸L1上には、縞状パターン体12および投影レンズ15が配置されている。縞状パターン体12は、透明なガラス基板上にワークWK上に投影する縞状パターンZPがクローム鍍金で形成された板状体である。縞状パターンZPは、図2に示すように、明部と暗部とが連続的に変化、より具体的には、光の透過率が0〜100%の範囲で正弦波状に変化した縦縞状に構成されている。本実施形態においては、撮像機20の撮像範囲内に64本の縞画像を常時投影可能としている。なお、図2においては、理解を助けるために縞状パターンZPの一部を拡大して示している。
縞状パターン体12は、位相シフター13およびフォーカスシフター14によって支持されている。位相シフター13は、ワークWKの表面に投影される縞状パターンZPの1周期より短い間隔で縞状パターン体12を縞状パターンZPにおける縞画像に直交する方向(図示左右方向)(以下、「周期方向」という)にシフトさせるアクチュエータである。本実施形態においては、ステッピングモータを用いて縞状パターン体12を前記周期方向に変位させる。フォーカスシフター14は、縞状パターン体12を光源11の光軸L1方向(図示上下方向)にシフトさせるアクチュエータである。本実施形態においては、ステッピングモータを用いて縞状パターン体12を前記光軸L1方向に変位させる。投影レンズ15は、ワークWKの表面に縞状パターンZPを投影するための光学レンズである。
撮像機20は、光エネルギーを電気エネルギーに変換(光電変換)するフォトダイオードからなる複数の受光素子を備え、ワークWKの表面に投影された縞状パターンZPを撮像して同縞状パターンZPを表わす縞状パターン画像を取得する撮像装置である。本実施形態においては、画素数が1280×1024画素のCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)センサを用いている。この撮像機20は、撮像機20の光軸L2が前記投影機10の光軸L1とは異なる向きで配置されている。すなわち、撮像機20は、投影機10の光軸L1とは異なる方向からワークWKを撮像するように配置されている。
コンピュータ装置30は、CPU、ROM、RAM、ハードディスクなどからなるマイクロコンピュータによって構成されたコンピュータ本体31と、キーボードおよびマウスからなる入力装置32と、液晶ディスプレイからなる表示装置33とを備えたパーソナルコンピュータ(所謂パソコン)である。このコンピュータ装置30は、前記投影機10および撮像機20にそれぞれ接続されており、図3に示す3次元形状測定プログラムを実行することにより投影機10および撮像機20の各作動を制御してワークWKの3次元形状を測定する。この場合、3次元形状測定プログラムは、作業者により予め前記コンピュータ本体31におけるハードディスクに記憶されている。なお、コンピュータ装置30は、投影機10および撮像機20などの作動を制御することができれば、どのような形式のコンピュータ装置であってもよい。
(3次元形状測定装置の作動)
次に、このように構成した3次元形状測定装置の作動について説明する。まず、作業者は、3次元形状測定装置における測定エリア内にワークWKを配置する。この場合、作業者は、ワークWKにおける測定対象面を投影機10側に向けて配置する。次に、作業者は、投影機10、撮像機20およびコンピュータ装置30における図示しない電源をそれぞれ投入する。これにより、投影機10および撮像機20は、図示しない所定のプログラムを実行することによりコンピュータ装置30からの指令の入力を待つ待機状態となる。また、コンピュータ装置30は、図示しない所定のプログラムを実行することにより作業者からの指令の入力を待つ待機状態となる。
次に、このように構成した3次元形状測定装置の作動について説明する。まず、作業者は、3次元形状測定装置における測定エリア内にワークWKを配置する。この場合、作業者は、ワークWKにおける測定対象面を投影機10側に向けて配置する。次に、作業者は、投影機10、撮像機20およびコンピュータ装置30における図示しない電源をそれぞれ投入する。これにより、投影機10および撮像機20は、図示しない所定のプログラムを実行することによりコンピュータ装置30からの指令の入力を待つ待機状態となる。また、コンピュータ装置30は、図示しない所定のプログラムを実行することにより作業者からの指令の入力を待つ待機状態となる。
次に、作業者は、ワークWKの3次元形状を測定するための準備作業を行う。具体的には、作業者は、投影機10、撮像機20およびワークWKにおける互いの位置および向きを調整するとともに投影機10および撮像機20の焦点位置を調整して、投影機10からの投影画像が正確にワークWK上に投影されるとともに同投影された投影画像が撮像機20により正確に撮像できる状態にする。この場合、作業者は、投影機10の光軸L1に対する撮像機20の光軸L2の角度である撮像角度を検出しておく。
次に、作業者は、ワークWKの3次元形状測定をコンピュータ装置30に実行させる。具体的には、作業者は、コンピュータ装置30の入力装置32を操作してワークWKの3次元形状測定をコンピュータ本体31に指示する。この指示に応答して、コンピュータ装置30(コンピュータ本体31)は、図3に示す3次元形状測定プログラムの実行をステップS100にて開始して、ステップS102にて3次元形状の測定条件の入力を待つ。このステップS102における3次元形状の測定条件は、縞状パターンZPを位相シフトさせるためのパラメータおよび撮像機20の撮像角度などである。したがって、作業者は、これらの各種パラメータおよび各種設定値を入力装置32を介してコンピュータ本体31に入力する。
次に、コンピュータ装置30は、ステップS104にて、縞状パターン体12のフォーカス位置を調整する。この場合、縞状パターン体12のフォーカス位置は、光源11の光軸L1上における縞状パターン12の位置であり、ワークWK上における撮像機20の測定対象範囲内に縞状パターンZPの64本の縞画像を投影するための位置である。したがって、コンピュータ装置30は、投影機10のフォーカスシフター14の作動を制御して光軸L1上における縞状パターン12の位置を縞状パターンZPの64本の縞画像が撮像機20の測定対象範囲内に投影される位置に調整する。
次に、コンピュータ装置30は、ステップS106にて、64周期の縞状パターンZPをワークWKに投影した際の位相を計算する。このステップS106にて計算される位相とは、ワークWKに投影され投影機20にて撮像された64本の縞画像からなる縞状パターンZPを用いて、同撮像機20で撮像されたワークWKの各画素ごとの位相値である。このステップS104における位相の計算処理は、図4に示す位相計算プログラムを実行することにより行われる。すなわち、コンピュータ装置30は、図4に示す位相計算プログラムの実行をステップS200にて開始する。
次に、コンピュータ装置30は、ステップS202にて、縞状パターンZPをワークWK上に投影する。具体的には、コンピュータ装置30は、投影機10の作動を制御して光源11を発光させる。これにより、ワークWK上には、縞状パターンZPが投影される。この場合、ワークWK上における撮像機20の測定対象範囲内には、縞状パターンZPにおける64本の縞画像が投影される。次に、コンピュータ装置30は、ステップS204にて、ワークWK上に投影された縞状パターンZPを撮像する。具体的には、コンピュータ装置30は、撮像機20の作動を制御することによりワークWKの表面に投影された縞状パターンZPを撮像して同縞状パターンZPがデジタル値によって表された縞状パターン画像を取得してコンピュータ装置本体31に内蔵するハードディスク(記憶装置)に記憶する。
次に、コンピュータ装置30は、ステップS206にて、縞状パターンZPを位相シフトする。このステップS206における縞状パターンZPの位相シフトは、前記ステップS102にて入力した縞状パターンZPを位相シフトさせるパラメータに基づき縞状パターンZPを周期方向に変位させるものである。本実施形態においては、縞状パターンZPの1周期を4分割した1分割分、すなわち、π/2だけ縞状パターンZPを周期方向に変位させるものである。具体的には、コンピュータ装置30は、投影機10の位相シフター13の作動を制御して縞状パターン体12を周期方向に前記π/2の位相に相当する量だけ変位させる。これにより、ワークWKに投影される縞状パターンZPは、縞状パターン体12のシフト量およびシフト方向に対応した量および方向に変位する。
次に、コンピュータ装置30は、ステップS208にて、縞状パターンZPの位相シフトを同縞状パターンZPの1周期分行ったか否かを判定する。このステップS208における判定処理においては、縞状パターンZPの位相シフトを同縞状パターンZPの1周期分行っていない場合には「NO」と判定してステップS204に戻る。すなわち、ステップS204およびステップS206の各処理を再度実行して縞状パターンZPの位相シフトごとの縞状パターン画像Gn(n=1〜4)を取得する。本実施形態においては、縞状パターンZPの1周期を4分割しているため縞状パターンZPを3回位相シフトして4つの縞状パターン画像Gn(n=1〜4)を取得する、ステップS204〜ステップS208の各処理が繰り返し実行される。
一方、縞状パターンZPの位相シフトを同縞状パターンZPの1周期分行った場合には、コンピュータ装置30は、同ステップS208にて「YES」と判定してステップS210に進む。次に、コンピュータ装置30は、ステップS210にて、撮像機20で撮像されたワークWKの各画素ごとの位相を計算する。具体的には、コンピュータ装置30は、縞状パターン画像Gn(n=1〜4)における同一位置の位相φ(x,y)は、同同一位置における各縞状パターン画像Gn(n=1〜4)の画像値I1,I2,I3,I4を用いて下記数1によって計算することができる。これにより、縞状パターン画像Gn(n=1〜4)におけるすべての画像値に対して位相φ(x,y)を計算することができる。
このステップS210における位相の計算による位相の分布を図5に示す。図5において、横軸は撮像機20の測定対象範囲における水平方向の画素の一部を表し、縦軸は位相φ(x,y)の値を表している。この場合、位相φ(x,y)は、Arctan関数を用いて計算されるため、−π〜πの範囲で折り畳まれた不連続な位相の分布となる。そして、コンピュータ装置30は、ステップS212にて、この位相計算プログラムの実行を終了して、3次元形状測定プログラムにおけるステップS106に戻る。
次に、コンピュータ装置30は、ステップS108にて、縞状パターン体12のフォーカス位置を調整する。この場合、縞状パターン体12のフォーカス位置は、ワークWK上における撮像機20の測定対象範囲内に縞状パターンZPの63本の縞画像を投影するための位置である。したがって、コンピュータ装置30は、投影機10のフォーカスシフター14の作動を制御して光軸L1上における縞状パターン12の位置を縞状パターンZPの63本の縞画像が撮像機20の測定対象範囲内に投影される位置に調整する。すなわち、投影機10は、縞状パターンZPを拡大表示することにより、ワークWK上における撮像機20の同一の投影範囲内に63本の縞画像からなる縞状パターンZPを投影する。このフォーカスシフター14が、本発明に係る光軸方向変位手段に相当する。
次に、コンピュータ装置30は、ステップS110にて、63周期の縞状パターンZPをワークWKに投影した際の位相を計算する。このステップS110にて計算される位相とは、ワークWKに投影され投影機20にて撮像された63本の縞画像からなる縞状パターンZPを用いて、同撮像機20で撮像されたワークWKの各画素ごとの位相値である。このステップS110における位相の計算処理は、前記図4に示す位相計算プログラムを実行することにより行われる。この位相計算プログラムの実行による63周期の縞状パターンZPを用いたワークWKの位相を計算処理は、前記64周期の縞状パターンZPを用いたワークWKの位相を計算処理と同様であるので、その説明は省略する。なお、このステップS110にて用いられる63周期の縞状パターンZPが、本発明に係る周期減縞状パターンであり、ワークWKに投影された63周期の縞状パターンZPを撮像して同縞状パターンZPがデジタル値によって表された縞状パターン画像が、本発明に係る周期減縞状パターン画像に相当する。
次に、コンピュータ装置30は、ステップS112にて、縞状パターン体12のフォーカス位置を調整する。この場合、縞状パターン体12のフォーカス位置は、ワークWK上における撮像機20の測定対象範囲内(同一の投影範囲内)に縞状パターンZPの56本の縞画像を投影するための位置である。したがって、コンピュータ装置30は、投影機10のフォーカスシフター14の作動を制御して光軸L1上における縞状パターン12の位置を縞状パターンZPの56本の縞画像が撮像機20の測定対象範囲内に投影される位置に調整する。すなわち、投影機10は、縞状パターンZPを拡大表示することにより、ワークWK上における撮像機20の測定対象範囲内に56本の縞画像からなる縞状パターンZPを投影する。
次に、コンピュータ装置30は、ステップS114にて、56周期の縞状パターンZPをワークWKに投影した際の位相を計算する。このステップS114にて計算される位相とは、ワークWKに投影され投影機20にて撮像された56本の縞画像からなる縞状パターンZPを用いて、同撮像機20で撮像されたワークWKの各画素ごとの位相値である。このステップS114における位相の計算処理は、前記図4に示す位相計算プログラムを実行することにより行われる。この位相計算プログラムの実行による56周期の縞状パターンZPを用いたワークWKの位相を計算処理は、前記64周期および63周期の各縞状パターンZPを用いたワークWKの位相を計算処理と同様であるので、その説明は省略する。なお、このステップS110にて用いられる63周期の縞状パターンZPが、本発明に係る周期減縞状パターンであり、ワークWKに投影された63周期の縞状パターンZPを撮像して同縞状パターンZPがデジタル値によって表された縞状パターン画像が、本発明に係る周期減縞状パターン画像に相当する。
次に、コンピュータ装置30は、ステップS116にて、第1の位相差を計算する。具体的には、コンピュータ装置30は、前記ステップS106にて64周期の縞状パターンZPを用いて計算した位相と前記ステップS110にて63周期の縞状パターンZPを用いて計算した位相との差を計算する。この場合、位相差がマイナスの値となった場合には、同マイナスの位相差にπ/2を加算して位相差をプラスの値とする。これにより、図6に示すように、撮像機20で撮像されたワークWKを表す各画素に対して0〜2πの範囲でかつ互いに重複しない位相値、すなわち、位相の絶対値が計算される。
次に、コンピュータ装置30は、ステップS118にて、第2の位相差を計算する。具体的には、コンピュータ装置30は、前記ステップS106にて64周期の縞状パターンZPを用いて計算した位相と前記ステップS114にて56周期の縞状パターンZPを用いて計算した位相との差を計算する。この場合、位相差がマイナスの値となった場合には、同マイナスの位相差にπ/2を加算して位相差をプラスの値とする。これにより、図7に示すように、撮像機20で撮像されたワークWKを表す各画素に対して0〜2πの範囲の位相値が計算される。この場合、64周期と56周期とでは8周期の周期差があるため、ある1つの位相値に対して8つの画素が重複して対応することになる。
次に、コンピュータ装置30は、ステップS120にて、第1の位相の絶対値を計算する。このステップS120における第1の位相の絶対値の計算は、8つの不連続な直線状の位相分布として計算された前記第2の位相差の各値を、前記ステップS116にて計算した第1の位相差を用いて連続的な位相分布となるように繋げる処理である。具体的には、コンピュータ装置30は、第1の位相差の位相値の範囲(0〜2π)を8等分した8つの位相の範囲(0〜1/8,1/8〜2/8,2/8〜3/8,3/8〜4/8,4/8〜5/8,5/8〜6/8,6/8〜7/8,7/8〜8/8)のうち、7つの位相の範囲(1/8〜2/8,2/8〜3/8,3/8〜4/8,4/8〜5/8,5/8〜6/8,6/8〜7/8,7/8〜8/8)ごとに同範囲に含まれる画素を特定し、同一の位相の範囲に含まれる画素単位で同画素に対応する第2の位相差の位相値にπ/2を順次累積的に加算する。これにより、図8に示すように、撮像機20で撮像されたワークWKを表す各画素に対して0〜16πの範囲でかつ互いに重複しない位相値、すなわち、位相の絶対値が計算される。
次に、コンピュータ装置30は、ステップS122にて、第2の位相の絶対値を計算する。このステップS122における第2の位相の絶対値の計算は、前記ステップS106にて64の不連続な直線状の位相分布として計算された位相の各値を、前記ステップS206にて計算した第1の位相の絶対値を用いて連続的な位相分布となるように繋げる処理である。具体的には、コンピュータ装置30は、前記と同様に、第2の位相の絶対値の位相値の範囲(0〜16π)を64等分した64の位相の範囲(0〜1/64から63/64までの範囲)のうち、63の位相の範囲(1/64〜2/64から63/64〜64/64までの範囲)ごとに同範囲に含まれる画素を特定し、同一の位相の範囲に含まれる画素単位で同画素に対応する第2の位相の絶対値の位相値にπ/2を順次累積的に加算する。これにより、図9に示すように、撮像機20で撮像されたワークWKを表す各画素に対して0〜128πの範囲でかつ互いに重複しない位相値、すなわち、位相の絶対値が計算される。
次に、コンピュータ装置30は、ステップS124にて、ワークWKの3次元形状を計算する。具体的には、コンピュータ装置30は、前記第2の位相の絶対値を用いてワークWKの形状を計算する。この場合、第2の位相の絶対値は、同第2の位相の絶対値に対応する投影機10の画素の投影角をそれぞれ表している。したがって、コンピュータ装置30は、投影機10における各画素の投影角、および前記ステップS102にて入力した撮像機20の撮像角度を用いて三角測量法の原理によりワークWKの表面までの距離、すなわち、ワークWKの3次元形状を計算することができる。
次に、コンピュータ装置30は、ステップS126にて、前記ステップS124にて計算したワークWKの3次元形状を表示装置33に表示させる。これにより、作業者は、表示装置33による表示画像によってワークWKの3次元形状を視覚的に認識することができる。そして、コンピュータ装置30は、ステップS128にて、この3次元形状測定プログラムの実行を終了する。
上記作動説明からも理解できるように、上記実施形態によれば、3次元形状測定装置は、縞状パターンZPが形成された1つの縞状パターン体12の投影レンズ15に対する光学的距離を変化させることにより周期の異なる3つの縞状パターンZPをワークWKにおける同一の投影範囲内にそれぞれ投影している。このため、周期の異なる複数種類の縞状パターンZPごとに縞状パターン体12を形成する必要がないとともに各種液晶素子やDMDなどの高価な機器も不要である。これらの結果、ワークWKの測定精度を低下させることなく、ワークWKに縞状パターンZPを投影する投影機の構成を簡単にすることができ、3次元形状測定装置を経済的かつ良好な操作性で構成することができる。
(第2実施形態)
以下、本発明に係る3次元形状測定装置の第2実施形態について説明する。この第2実施形態においては、光の透過率が正弦波状に変化する縞状パターンZPが形成された縞状パターン体12に代えて、図10(A)に示すように、明部Rと暗部Dの2階調のみで1周期が構成された縞状パターンZP’が形成された縞状パターン体16を用いてワークWKの形状を測定する。この縞状パターン体16は、撮像機20の撮像範囲内に64本の縞画像を常時投影可能とするために70本の縞が形成されている。なお、図10(A)においては、理解を助けるために縞状パターンZP’の一部を拡大して示している。その他の3次元形状測定装置の構成は、上記第1実施形態と同様であるため、その説明を省略する。
以下、本発明に係る3次元形状測定装置の第2実施形態について説明する。この第2実施形態においては、光の透過率が正弦波状に変化する縞状パターンZPが形成された縞状パターン体12に代えて、図10(A)に示すように、明部Rと暗部Dの2階調のみで1周期が構成された縞状パターンZP’が形成された縞状パターン体16を用いてワークWKの形状を測定する。この縞状パターン体16は、撮像機20の撮像範囲内に64本の縞画像を常時投影可能とするために70本の縞が形成されている。なお、図10(A)においては、理解を助けるために縞状パターンZP’の一部を拡大して示している。その他の3次元形状測定装置の構成は、上記第1実施形態と同様であるため、その説明を省略する。
(3次元形状測定装置の作動)
次に、このように構成した3次元形状測定装置の作動について説明する。なお、この第2実施形態における作動説明においては、上記第1実施形態と重複する部分の説明は適宜省略する。作業者は、3次元形状測定装置における測定エリア内にワークWKを配置した後、3次元形状測定装置の電源を投入してワークWKの3次元形状測定を開始する。すなわち、コンピュータ装置30は、作業者からの指示に応答して図3に示す3次元形状測定プログラムの実行をステップS100にて開始して、ステップS102にて3次元形状の測定条件の入力を待つ。この場合、作業者は、縞状パターンZPを位相シフトさせるためのパラメータに代えて、縞状パターンZP’を位相シフトさせるためのパラメータおよび撮像機20で撮像した画像を変調する位相に関するパラメータをコンピュータ本体31に入力する。
次に、このように構成した3次元形状測定装置の作動について説明する。なお、この第2実施形態における作動説明においては、上記第1実施形態と重複する部分の説明は適宜省略する。作業者は、3次元形状測定装置における測定エリア内にワークWKを配置した後、3次元形状測定装置の電源を投入してワークWKの3次元形状測定を開始する。すなわち、コンピュータ装置30は、作業者からの指示に応答して図3に示す3次元形状測定プログラムの実行をステップS100にて開始して、ステップS102にて3次元形状の測定条件の入力を待つ。この場合、作業者は、縞状パターンZPを位相シフトさせるためのパラメータに代えて、縞状パターンZP’を位相シフトさせるためのパラメータおよび撮像機20で撮像した画像を変調する位相に関するパラメータをコンピュータ本体31に入力する。
次に、コンピュータ装置30は、ステップS104を実行した後、ステップS106にて、64周期の縞状パターンZPをワークWKに投影した際の位相を計算する。このステップS106における位相の計算処理は、図11に示す位相計算プログラムを実行することにより行われる。すなわち、コンピュータ装置30は、図11に示す位相計算プログラムの実行をステップS300にて開始して、ステップS302にて、縞状パターンZP’をワークWK上に投影する。これにより、ワークWK上には、縞状パターンZP’が投影される。
次に、コンピュータ装置30は、ステップS304にて、ワークWKの表面に投影された縞状パターンZP’を撮像する。この場合、コンピュータ装置30は、ワークWKの表面に投影された縞状パターンZP’がデジタル値によって表された縞状パターン画像DG1を取得してコンピュータ装置本体31に内蔵するハードディスク(記憶装置)に記憶する。また、この場合、取得した縞状パターン画像DG1における周期方向の光の強度(輝度)のプロファイルは、図12に示すように、略矩形波となる。なお、図12において、縦軸は検出された光の強度の大きさ、横軸は撮像機20において周期方向に平行な画素の100画素分を示している。また、図12に示す光の強度のプロファイルは、ワークWKにおいて平らな部分に投影された縞状パターンZP’を撮像した縞状パターン画像DG1の一例を示している。
次に、コンピュータ装置30は、ステップS306にて、縞状パターンZP’の位相をシフトする。具体的には、図10(B)に示すように、コンピュータ装置30は、投影機10における位相シフター13の作動を制御して前記ステップS102にて入力した縞状パターンZP’を位相シフトさせるためのパラメータによるシフト量だけ縞状パターン体16を縞状パターンZP’の周期方向にシフトさせる。本実施形態においては、1μmだけ図示右方向に縞状パターン体16をシフトさせる。
次に、コンピュータ装置30は、ステップS308にて、縞状パターンZP’の位相シフトを同縞状パターンZP’の1周期分行ったか否かを判定する。このステップS308における判定処理においては、縞状パターンZP’の位相シフトを同縞状パターンZP’の1周期分行っていない場合には「NO」と判定してステップS304に戻る。すなわち、ステップS304およびステップS306の各処理を再度実行して縞状パターンZP’の位相シフトごとの縞状パターン画像DGn(nは自然数)を取得する。本実施形態においては、縞状パターンZP’の1周期が224μmで構成されているため、224枚の縞状パターン画像Gn(n=1〜224)を取得するまで、ステップS304およびステップS306の各処理が繰り返し実行される。
一方、縞状パターンZP’の位相シフトを同縞状パターンZP’の1周期分行った場合には、コンピュータ装置30は、同ステップS308にて「YES」と判定してステップS310に進む。この場合、縞状パターン画像DGn(n=1〜224)の1画素における位相シフト1周期分の光の強度(画素値)のプロファイルは、図13に示すように、略矩形波状となる。なお、図13において、縦軸は検出された光の強度の大きさ、横軸は位相シフト1周期分を示している。また、図13に示す光の強度のプロファイルは、前記図12と同様に、ワークWKの平らな部分に投影された縞状パターンZP’を撮像した縞状パターン画像Gn(n=1〜224)の1画素値の一例を示している。
次に、コンピュータ装置30は、ステップS310にて、縞状パターン画像DGn(n=1〜224)をそれぞれ変調する。このステップS310における変調処理は、縞状パターン画像DGn(n=1〜224)において各画素の光強度を表す値、すなわち、画素値を互いに異なる4つの位相の変調信号を用いて行う。変調信号は、縞状パターン画像DGn(n=1〜224)を変調するための変調値が縞状パターンZP’の1周期と同じ周期で連続的に変化する信号であり、本実施形態においては、0,π/2,π,3π/4の4つの互いに異なる位相の4つのサインカーブ(正弦波)を用いる。具体的には、下記数2を計算することにより縞状パターン画像DGn(n=1〜224)の変調を4つのサインカーブごとに行う。
上記数2において、Al,p(x,y)は縞状パターン画像DGn(n=1〜224)の画素値、Bl,p(x,y)は変調された縞状パターン画像DGn(n=1〜224)の画像値、lは縞状パターンZP’のシフト量(μm)、pはサインカーブの位相量、Lは縞状パターンZP’の1周期分のシフト量(μm)である。また、上記数2において、sin値に対して「1」を加算する理由は、sin値が負数になることを避けるためである。なお、上記数2において、縞状パターン画像DGn(n=1〜224)の画素値Al,p(x,y)から撮像機20の各画素における漏れ電流による光電流の増加分を補正する補正値Aoffset(x,y)を減算することにより、より正確に変調された縞状パターン画像DGn(n=1〜224)の画像値Bl,p(x,y)を計算することもできる。
このステップS310においては、4つのサインカーブごとに縞状パターン画像DGn(n=1〜224)のすべての画素値Al,p(x,y)について変調を行う。位相量pが「0」のサインカーブを用いて縞状パターン画像DGn(n=1〜224)を変調した際における画像値Bl,0(x,y)(画素値が変調された値)の変化のプロファイルを図14に示す。図14は、15個の各縞状パターン画像DGn(n=1〜224)における各画像値Bl,0(x,y)の変化の一例を撮像機20において周期方向に平行な画素の100画素分に相当する範囲で示している。すなわち、図14において、縦軸は画像値Bl,0(x,y)の大きさ、横軸は撮像機20において周期方向に平行な画素の100画素分を示している。また、図14に示す画像値Bl,0(x,y)のプロファイルは、ワークWKにおける平らな部分に投影された縞状パターンZP’を撮像した縞状パターン画像DGn(n=1〜224)の変調例を示している。
次に、コンピュータ装置30は、ステップS312にて、前記ステップS310にて変調された縞状パターン画像DGn(n=1〜224)の合成を行う。具体的には、コンピュータ装置30は、下記数3を用いて4つのサインカーブごとに、縞状パターン画像DGn(n=1〜224)の各画像値Bn,m(x,y)をそれぞれ積算した画像値Cp(x,y)によって構成される縞状パターン合成画像SDGk(k=1〜4)を生成する。
位相量pが「0」のサインカーブを用いて変調した後合成した縞状パターン合成画像SDG1における画像値C0(x,y)の変化のプロファイルを図15に示すとともに、同縞状パターン合成画像SDG1の一部を図16に示す。図15は、合成された縞状パターン合成画像SDG1における画像値C0(x,y)の変化の一例を、撮像機20において周期方向に平行な画素の100画素分に相当する範囲で示している。すなわち、図15において、縦軸は画像値C0(x,y)の大きさ、横軸は撮像機20において周期方向に平行な画素の100画素分を示している。また、図15に示す画像値C0(x,y)のプロファイルは、ワークWKにおける平らな部分に投影された縞状パターンZP’を撮像した縞状パターン画像DGn(n=1〜224)に対応する縞状パターン合成画像SDG1の合成例を示している。
図15および図16から明らかなように、サインカーブによって変調された縞状パターン合成画像SDGk(k=1〜4)における各画像値Cp(x,y)は略正弦波状に変化する。すなわち、このステップS312の処理によって生成される4つの縞状パターン合成画像SDGk(k=1〜4)は、従来の位相シフト法に係る縞状パターン、具体的には、正弦波状に光の強度が変化する縞状パターンを0,π/2,π,3π/2の4つの互いに異なる位相ごとに被測定物に投影して、各位相ごとに撮像した4つの縞状パターン画像に相当するとともに、上記第1実施形態における縞状パターンZPの位相シフト(0,π/2,π,3π/2)ごとの縞状パターン画像Gn(n=1〜4)に相当する。
なお、図15から明らかなように、縞状パターン合成画像SDGk(k=1〜4)における各画像値の周期方向の変化は、厳密には理想的な正弦波状にはならない。これは、主として、撮像機20の各画素ごとの感度にバラツキが存在することに起因している。しかし、サインカーブの位相量pに対する縞状パターン合成画像SDGk(k=1〜4)における1つの画像値Cp(x,y)の変化は、同画素値Cp(x,y)がサインカーブによって変調されているため理想的な正弦波状に変化している。
次に、コンピュータ装置30は、ステップS314にて、撮像機20で撮像されたワークWKの各画素ごとの位相を計算する。このステップS314における位相の計算処理は、上記第1実施形態におけるステップS210と同様の計算処理にて行われる。すなわち、縞状パターン合成画像SDGk(k=1〜4)における同一位置の位相φ(x,y)は、同同一位置における各縞状パターン合成画像SDGk(k=1〜4)の画像値I1,I2,I3,I4を用いて前記数1によって計算することができる。これにより、縞状パターン合成画像SDGk(k=1〜4)におけるすべての画像値Cp(x,y)に対して位相φ(x,y)を計算することができる。そして、コンピュータ装置30は、ステップS316にて、この位相計算プログラムの実行を終了して、3次元形状測定プログラムにおけるステップS106に戻る。
次に、コンピュータ装置30は、ステップS108にて、縞状パターン体16のフォーカス位置を調整する。このステップS108における縞状パターン体16のフォーカス位置の調整は、上記第1実施形態と同様である。すなわち、コンピュータ装置30は、投影機10のフォーカスシフター14の作動を制御して光軸L1上における縞状パターン16の位置を縞状パターンZP’の63本の縞画像が撮像機20の測定対象範囲内に投影される位置に調整する。
次に、コンピュータ装置30は、ステップS110にて、63周期の縞状パターンZP’をワークWKに投影した際の位相を計算する。このステップS110における位相の計算処理は、前記図11に示す位相計算プログラムを実行することにより行われる。この位相計算プログラムの実行による位相の計算処理は、前記64周期の縞状パターンZP’を用いた位相の計算処理と同様であるので、その説明は省略する。なお、このステップS110にて用いられる63周期の縞状パターンZP’が、本発明に係る周期減縞状パターンであり、ワークWKに投影された63周期の縞状パターンZP’を撮像して同縞状パターンZP’がデジタル値によって表された縞状パターン画像が、本発明に係る周期減縞状パターン画像であり、周期縞状パターン画像を4つの変調信号で変調して合成した画像が、本発明に係る周期減縞状パターン合成画像に相当する。
そして、コンピュータ装置30は、ステップS112における縞状パターン体16のフォーカス位置の調整、およびステップS114における56周期の縞状パターンZP’をワークWKに投影した際の位相の計算もそれぞれステップS104〜ステップS110と同様に実行した後、ステップS116〜ステップS128の各処理を上記第1実施形態と同様に実行してワークWKの3次元形状を測定する。これらの各処理は、上記第1実施形態と前記と同様であるので、その説明はいずれも省略する。
上記作動説明からも理解できるように、上記第2実施形態によれば、3次元形状測定装置は、明部Rおよび暗部Dのみの2階調で1周期が構成された縞状パターンZP’および周期減縞状パターンをワークWKにそれぞれ投影するとともに、同投影した縞状パターンZP’(周期減縞状パターンを含む)を一定の間隔で1周期分ずらしながら撮像して縞状パターン画像DGn(n=1〜224)(周期減縞状パターン画像を含む)をそれぞれ取得している。そして、3次元形状測定装置は、取得された各縞状パターン画像DGn(n=1〜224)を互いに異なる3つの位相の変調信号によってそれぞれ変調して合成している。これにより、3つの位相ごとに、変調信号に対応する振幅変化で構成された縞状パターン合成画像SDGk(k=1〜4)(周期減縞状パターン合成画像を含む)が生成される。すなわち、本発明に係る3次元形状測定装置は、ワークWKに投影する投影画像を明部Rおよび暗部Dの2値で構成した縞状パターンZP’を用いている。このため、3次元形状測定装置は、ワークWKに投影された縞状パターンZP’における明部Rと暗部Dとを検出できればよいため、投影機10および撮像機20における出力特性のリニアリティーの影響が少ない状態でワークWKの形状を表わす縞状パターン画像DGn(n=1〜224)を取得することができる。このことは、撮像機10における飽和現象(受光光量の変化に対して出力電圧信号が一定値となる現象)に影響されることなく縞状パターン画像DGn(n=1〜224)を取得することができることを意味している。
また、取得された各縞状パターン画像DGn(n=1〜224)における各画像値Bl,p(x,y)は、変調値が理想的に連続変化する変調信号によって変調される。換言すれば、縞状パターン合成画像SDGk(k=1〜4)における画像値Cp(x,y)は、投影機10および撮像機20における出力特性のリニアリティーに影響されることなく連続的に変化する値となる。すなわち、本発明においては、ワークWKに投影して撮像される縞状パターン画像DGn(n=1〜224)における光強度の連続的な変化については、出力特性にバラツキが存在する投影機10や撮像機20による検出を行わず、光強度の理想的な連続変化に相当する変調信号を用いて画像値Cp(x,y)が理想的に連続変化する縞状パターン合成画像SDGk(k=1〜4)を取得している。この結果、投影機10および撮像機20における出力特性のリニアリティーに依存することなく、ワークWKの3次元形状測定を高精度に行うことができる。
さらに、本発明の実施にあたっては、上記第1実施形態および上記第2実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。
例えば、上記第1実施形態および上記第2実施形態においては、各画素に対して0〜128πの範囲で一意の位相が特定される第2の位相の絶対値を用いてワークWKの3次元形状を測定するように構成した。しかし、撮像機20で撮像されたワークWKを表す各画素に対して位相の値が一意に特定される所謂位相の絶対値を用いれば、特定される位相の範囲は必ずしも0〜128πの範囲である必要はない。例えば、第1の位相差(0〜2π)、第1の位相の絶対値(0〜16π)を用いてワークWKの3次元形状を測定するように構成してもよい。ただし、位相の絶対値がとる位相の範囲が広い方が、当然、ワークWKの測定精度は向上する。
また、上記第1実施形態および第2実施形態においては、64周期、63周期および56周期の縞状パターンZP,ZP’をワークWK上に投影してワークWKの3次元形状測定を行った。しかし、ワークWK上に投影する縞状パターンZP,ZP’の周期の数は、当然、上記各実施形態に限定されるものではない。すなわち、縞状パターンZP,ZP’は、ワークWK上に投影された際、撮像機20にて縞状パターンZP,ZP’の明暗が判別できる周期であればよい。
また、上記第1実施形態および第2実施形態においては、フォーカスシフター14により投影レンズ15に対して縞状パターン体12,16を変位させるように構成した。しかし、縞状パターン体12,16の投影レンズ15に対する光学的な距離関係は相対的なものである。したがって、縞状パターン体12,16に代えて、または加えて、投影レンズ15を縞状パターン体12,16に対して変位するように構成してもよいことは当然である。これによっても、上記各実施形態と同様の効果が期待できる。
また、上記第2実施形態においては、互いに異なる4つのサインカーブを用いて縞状パターン画像DGn(n=1〜224)(周期減縞状パターン画像を含む)を変調するように構成した。しかし、縞状パターン合成画像SDGk(k=1〜4)(周期減縞状パターン合成画像を含む)における同一位置上の位相を計算することができる縞状パターン画像DGn(n=1〜224)を用意できれば、縞状パターン画像DGn(n=1〜224)を変調するための変調信号の数や変調値の変化の態様は、上記第2実施形態に限定されるものではない。すなわち、明暗縞状パターン画像Gn(n=1〜224)を変調するための変調信号は、互いに異なる少なくとも3つの位相であって、変調値が連続的に変化するものであればよい。例えば、コサインカーブ(余弦波)や三角波を3つまたは5つ以上用いて縞状パターン画像DGn(n=1〜224)を変調してもよい。これらによっても、上記第2実施形態と同様の効果が期待できる。
また、上記第2実施形態においては、明部Rと暗部Dとが交互に連続した縦縞状の縞状パターンZP’を用いてワークWKの3次元形状を測定した。しかし、縞状パターンZP’の形状は、同縞状パターンZP’を位相シフトさせる方向に対して交わる方向に形成した縞状の画像であれば、上記第2実施形態に限定されるものではない。例えば、上記縞状パターンZP’を傾斜させて斜線状に形成してもよいし、明部Rおよび暗部Dをリング状に形成して明部Rと暗部Dとを同心円上に交互に連続して配置した縞状パターンZP’を用いてもよい。また、縞状パターンZP’を構成する明部Rおよび暗部Dの数も少なくとも各1本ずつ形成されていれば、必ずしも複数本の明部Rと暗部Dとを連続して配置する必要はない。これらによっても、上記第2実施形態と同様の効果が期待できる。
WK…ワーク(被測定物)、10…投影機、11…光源、12…縞状パターン体、13…位相シフター、14…フォーカスシフター、15…投影用レンズ、20…撮像機、30…コンピュータ装置、31…コンピュータ本体、32…入力装置、33…表示装置。
Claims (4)
- 明部と暗部とが周期的に変化する縞状パターンにおける1周期より短い間隔で少なくとも2回以上シフトさせて同縞状パターンを1周期分シフトさせながら同縞状パターンに光を照射して被測定物に投影する投影手段と、
光電変換する受光素子からなる複数の画素を有し、前記縞状パターンの位相シフトごとに前記被測定物に投影された前記縞状パターンを前記投影手段の光軸とは異なる方向から撮像して、前記縞状パターンの位相シフトごとの縞状パターン画像をそれぞれ取得する縞状パターン撮像手段と、
前記縞状パターン画像を用いて前記複数の画素ごとの位相をそれぞれ計算する位相計算手段と、
前記複数の画素ごとに計算した位相を用いて前記被測定物の3次元形状を測定する形状測定手段とを備える3次元形状測定装置において、
前記投影手段は、前記縞状パターンが形成された縞状パターン体と前記縞状パターンを前記被測定物に投影するための投影レンズとを有するとともに、前記縞状パターン体と前記投影レンズとの光学的な距離を相対的に変位させることにより前記被測定物に投影される前記縞状パターンを拡大して、同一の投影範囲内にて前記縞状パターンよりも少なくとも1周期少ない周期の周期減縞状パターンを投影するための光軸方向変位手段を有し、
前記縞状パターン撮像手段は、前記被測定物に投影された前記周期減縞状パターンを位相シフトごとに撮像して、同周期減縞状パターンの位相シフトごとの縞状パターン画像である周期減縞状パターン画像をそれぞれ取得し、
前記位相計算手段は、前記周期減縞状パターン画像を用いて前記複数の画素ごとの位相をそれぞれ計算し、
前記形状測定手段は、前記縞状パターン画像に基づく前記複数の画素ごとの位相と前記周期減縞状パターン画像に基づく前記複数の画素ごとの位相との位相差を第1の位相差として計算する位相差計算手段を備えることを特徴とする3次元形状測定装置。 - 請求項1に記載した3次元形状測定装置において、
前記縞状パターン撮像手段は、前記同一の投影範囲内にて前記縞状パターンよりも2周期以上少ない周期の周期減縞状パターンの位相シフトごとの周期減縞状パターン画像をそれぞれ取得し、
前記位相計算手段は、前記縞状パターンよりも2周期以上少ない周期の周期減縞状パターンに対応する前記周期減縞状パターン画像を用いて前記複数の画素ごとの位相をそれぞれ計算し、
前記形状測定手段における位相差計算手段は、前記縞状パターン画像に基づく前記複数の画素ごとの位相と前記縞状パターンよりも2周期以上少ない周期の周期減縞状パターンに対応する前記周期減縞状パターン画像に基づく前記複数の画素ごとの位相との位相差を第2の位相差として計算し、
前記形状測定手段は、前記第1の位相差を用いて前記第2の位相差における各値を連続的な位相分布として前記複数の画素ごとの位相を一意的に特定するための第1の位相の絶対値を計算する絶対値計算手段を備えることを特徴とする3次元形状測定装置。 - 請求項2に記載した3次元形状測定装置において、
前記形状測定手段における絶対値計算手段は、前記第1の位相の絶対値を用いて前記縞状パターン画像に基づく前記複数の画素ごとの位相における各値を連続的な位相分布として前記複数の画素ごとの位相を一意的に特定するための第2の位相の絶対値を計算することを特徴とする3次元形状測定装置。 - 請求項1ないし請求項3のうちのいずれか1つに記載した3次元形状測定装置において、
前記縞状パターンは、明部および暗部の2つの階調のみで構成されており、
互いに異なる少なくとも3つの位相で構成され、変調値が前記縞状パターンにおける1周期と同じ周期で連続的に変化する各変調信号ごとに、前記各縞状パターン画像に表された前記縞状パターンにおける前記位相シフトの割合に対応する前記変調値を用いて前記各縞状パターン画像を変調する縞状パターン画像変調手段と、
前記変調された前記各縞状パターン画像を前記各変調信号ごとに合成して縞状パターン合成画像をそれぞれ生成する縞状パターン画像合成手段と、
互いに異なる少なくとも3つの位相で構成され、変調値が前記周期減縞状パターンにおける1周期と同じ周期で連続的に変化する各変調信号ごとに、前記各周期減縞状パターン画像に表された前記周期減縞状パターンにおける前記位相シフトの割合に対応する前記変調値を用いて前記各周期減縞状パターン画像を変調する周期減縞状パターン画像変調手段と、
前記変調された前記各周期減縞状パターン画像を前記各変調信号ごとに合成して周期減縞状パターン合成画像をそれぞれ生成する周期減縞状パターン画像合成手段とを備え、
前記位相計算手段は、前記縞状パターン合成画像を用いて前記複数の画素ごとの位相をそれぞれ計算するとともに、前記周期減縞状パターン合成画像を用いて前記複数の画素ごとの位相をそれぞれ計算することを特徴とする3次元形状測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008197135A JP2010032448A (ja) | 2008-07-31 | 2008-07-31 | 3次元形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008197135A JP2010032448A (ja) | 2008-07-31 | 2008-07-31 | 3次元形状測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010032448A true JP2010032448A (ja) | 2010-02-12 |
Family
ID=41737085
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008197135A Pending JP2010032448A (ja) | 2008-07-31 | 2008-07-31 | 3次元形状測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010032448A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103868471A (zh) * | 2012-12-12 | 2014-06-18 | 佳能株式会社 | 三维形状测量装置及其控制方法 |
KR20160030840A (ko) * | 2014-09-11 | 2016-03-21 | 삼성전자주식회사 | 보조광 투광 장치 및 이를 포함하는 촬상 장치 |
CN112995521A (zh) * | 2021-04-21 | 2021-06-18 | 征图新视(江苏)科技股份有限公司 | 基于正弦条纹的线阵相机高精度自动调焦方法 |
-
2008
- 2008-07-31 JP JP2008197135A patent/JP2010032448A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103868471A (zh) * | 2012-12-12 | 2014-06-18 | 佳能株式会社 | 三维形状测量装置及其控制方法 |
US10066934B2 (en) | 2012-12-12 | 2018-09-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Three-dimensional shape measuring apparatus and control method thereof |
KR20160030840A (ko) * | 2014-09-11 | 2016-03-21 | 삼성전자주식회사 | 보조광 투광 장치 및 이를 포함하는 촬상 장치 |
KR102334210B1 (ko) * | 2014-09-11 | 2021-12-02 | 삼성전자주식회사 | 보조광 투광 장치 및 이를 포함하는 촬상 장치 |
CN112995521A (zh) * | 2021-04-21 | 2021-06-18 | 征图新视(江苏)科技股份有限公司 | 基于正弦条纹的线阵相机高精度自动调焦方法 |
CN112995521B (zh) * | 2021-04-21 | 2021-07-30 | 征图新视(江苏)科技股份有限公司 | 基于正弦条纹的线阵相机高精度自动调焦方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5443303B2 (ja) | 外観検査装置及び外観検査方法 | |
JP5123522B2 (ja) | 3次元計測方法及びそれを用いた3次元形状計測装置 | |
JP4830871B2 (ja) | 3次元形状計測装置及び3次元形状計測方法 | |
JP5032943B2 (ja) | 3次元形状計測装置及び3次元形状計測方法 | |
JP6016912B2 (ja) | 3次元計測装置と3次元計測方法 | |
CN104697469B (zh) | 利用谐波幅值判定饱和的高动态三维测量方法 | |
JP2017110991A (ja) | 計測システム、計測方法、ロボット制御方法、ロボット、ロボットシステムおよびピッキング装置 | |
KR101562467B1 (ko) | 스마트 폰을 이용한 3차원 형상 측정 장치 | |
US20180180407A1 (en) | Image processing apparatus and image processing method | |
JP2009025189A (ja) | 計測器 | |
JP2009180689A (ja) | 三次元形状測定装置 | |
JP2010032448A (ja) | 3次元形状測定装置 | |
JP2009210509A (ja) | 3次元形状測定装置および3次元形状測定コンピュータプログラム | |
CN108548490B (zh) | 用于确定光栅像在成像平面上的移位的方法和设备和用于确定物体高度的方法和设备 | |
JP5683002B2 (ja) | 3次元測定装置、3次元測定方法及びプログラム | |
JP4797109B2 (ja) | 三次元形状計測装置及び三次元形状計測方法 | |
JP2011002416A (ja) | 三次元形状測定装置 | |
JP2011021970A (ja) | 三次元形状測定装置および三次元形状測定方法 | |
JP2017125707A (ja) | 計測方法および計測装置 | |
KR102122275B1 (ko) | 배광 특성 측정 장치 및 배광 특성 측정 방법 | |
JP2006084286A (ja) | 3次元計測方法とその計測装置 | |
JP2008216039A (ja) | 形状測定方法および形状測定装置 | |
JP2011002401A (ja) | 輝度測定装置における補正係数算出方法および輝度測定装置 | |
JP2014035198A (ja) | 形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、及び形状測定プログラム | |
KR101549310B1 (ko) | 투명체의 결함검출을 위한 위상천이 영사장치 및 그 방법 |