JP2010028051A - Method of manufacturing multilayered printed wiring board - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing a multilayered printed wiring board capable of providing a multilayered printed wiring board to reduce a resistance value between substrate sheets with conductive bumps sandwiching a nonconductive sheet and connected to each other through the conductive bumps smashing into the nonconductive sheet. <P>SOLUTION: In manufacturing the multilayered printed wiring board 50, recessed parts 12 are first previously formed at respective parts at which the respective conductive bumps 14 should be formed in the substrate sheet 10. The conductive bumps 14 are formed on the respective recessed parts 12 of the substrate sheet 10, thereafter the substrate sheet 10 with the conductive bumps 14 and the nonconductive sheet 40 are superposed on each other, and the respective recessed parts 12 of the substrate sheet 10 with the conductive bumps 14 formed thereon are each deformed into a projecting part 16 when sandwiching and pressing the superposed body. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、多層プリント配線板を製造するための多層プリント配線板製造方法に関する。   The present invention relates to a multilayer printed wiring board manufacturing method for manufacturing a multilayer printed wiring board.

従来より、銅箔等の基板シートの表面に複数の略円錐状の導電性バンプが形成された導電性バンプ付基板シートと、プリプレグ等の非導電性シート(絶縁シート)とを交互に重ね合わせることにより形成される多層プリント配線板が知られている。このような多層プリント配線板において、基板シートの表面に形成された導電性バンプが絶縁シートを貫通することによって、当該絶縁シートの両側にある基板シート同士が導電性バンプによって電気的に接続されるようになっている(例えば、特許文献1乃至3等参照)。   Conventionally, a substrate sheet with conductive bumps, in which a plurality of substantially conical conductive bumps are formed on the surface of a substrate sheet such as copper foil, and a non-conductive sheet (insulating sheet) such as a prepreg are alternately stacked. A multilayer printed wiring board formed by this method is known. In such a multilayer printed wiring board, when the conductive bump formed on the surface of the substrate sheet penetrates the insulating sheet, the substrate sheets on both sides of the insulating sheet are electrically connected by the conductive bump. (See, for example, Patent Documents 1 to 3).

導電性バンプ付基板シートの形成方法について、図13および図14を用いて説明する。基板シートに複数の導電性バンプを形成するにあたり、例えばメタルマスク版等からなるスクリーン版92、およびスキージ96を用いるようなスクリーン印刷方法(孔版印刷方法)が用いられる。   A method for forming the substrate sheet with conductive bumps will be described with reference to FIGS. In forming a plurality of conductive bumps on the substrate sheet, a screen printing method (stencil printing method) using a screen plate 92 made of, for example, a metal mask plate and a squeegee 96 is used.

具体的には、まず、図13に示すような平板状の基板シート80を印刷定盤90上に載置し、この平板状の基板シート80の上方にわずかな距離を隔ててスクリーン版92を設置する。この際に、印刷定盤90上に載置された基板シート80に対してスクリーン版92の位置合わせをCCDカメラ(図示せず)等により行い、このスクリーン版92の両端部を保持部材94により保持する。また、図14に示すようにスクリーン版92には、基板シート80に導電性バンプ82が形成されるべき位置に対応して複数の貫通穴(版孔)92aが形成されている。そして、図13および図14に示すように、スキージ96により導電性ペースト98の塗工を行い、この際に図14に示すようにスキージ96がスクリーン版92を下方に押圧してこのスクリーン版92と基板シート80とを当接させることにより、導電性ペースト98はスクリーン版92の貫通穴92aを通過して平板状の基板シート80上に付着する。   Specifically, first, a flat substrate sheet 80 as shown in FIG. 13 is placed on a printing surface plate 90, and a screen plate 92 is placed above the flat substrate sheet 80 with a slight distance therebetween. Install. At this time, the screen plate 92 is aligned with the substrate sheet 80 placed on the printing surface plate 90 by a CCD camera (not shown) or the like, and both ends of the screen plate 92 are held by the holding members 94. Hold. Further, as shown in FIG. 14, the screen plate 92 has a plurality of through holes (plate holes) 92 a corresponding to positions where the conductive bumps 82 are to be formed on the substrate sheet 80. Then, as shown in FIGS. 13 and 14, the conductive paste 98 is applied with the squeegee 96. At this time, the squeegee 96 presses the screen plate 92 downward as shown in FIG. And the substrate sheet 80 are brought into contact with each other, the conductive paste 98 passes through the through hole 92 a of the screen plate 92 and adheres to the flat substrate sheet 80.

ここで、スキージ96によるスクリーン版92を介した導電性ペースト98の塗工原理についてより詳細に説明すると、導電性ペースト98はスキージ96によってスクリーン版92の表面に沿って移動させられるが、スクリーン版92に貫通穴92aが形成されている箇所においてはこの貫通穴92aに導電性ペースト98が入り込む。そして、図14に示すようにスキージ96がスクリーン版92を基板シート80に向かって押圧することによって、貫通穴92aに入った導電性ペースト98の一部が基板シート80上に付着することとなる。   Here, the principle of applying the conductive paste 98 via the screen plate 92 by the squeegee 96 will be described in more detail. The conductive paste 98 is moved along the surface of the screen plate 92 by the squeegee 96. In a portion where the through hole 92a is formed in 92, the conductive paste 98 enters the through hole 92a. Then, as shown in FIG. 14, when the squeegee 96 presses the screen plate 92 toward the substrate sheet 80, a part of the conductive paste 98 that has entered the through hole 92 a adheres onto the substrate sheet 80. .

スキージ96を用いたスクリーン印刷方法により基板シート80上に導電性ペースト98を付着させた後、この基板シート80の乾燥を行う。このことにより、図15に示すように基板シート80上の導電性ペースト98が熱硬化して略円錐状の導電性バンプ82が形成されることとなる。   After the conductive paste 98 is adhered on the substrate sheet 80 by the screen printing method using the squeegee 96, the substrate sheet 80 is dried. As a result, as shown in FIG. 15, the conductive paste 98 on the substrate sheet 80 is thermally cured to form a substantially conical conductive bump 82.

ここで、基板シート80に形成される導電性バンプ82は、当該基板シート80の厚さ方向(図15の上下方向)において絶縁シート(図示せず)を貫通させるのに十分な高さが必要とされる。また、多層プリント配線板のファインピッチ化を行う場合には、略円錐状の導電性バンプ82について、同じ高さであっても底面積が小さくなるような形状、すなわちいわゆるアスペクト比の高い略円錐状とする必要がある。   Here, the conductive bumps 82 formed on the substrate sheet 80 need to be high enough to penetrate an insulating sheet (not shown) in the thickness direction of the substrate sheet 80 (vertical direction in FIG. 15). It is said. In addition, when the fine pitch of the multilayer printed wiring board is to be achieved, the substantially conical conductive bump 82 has a shape that reduces the bottom area even at the same height, that is, a substantially conical shape having a high aspect ratio. It is necessary to make it.

また、他のスクリーン印刷方法としては、例えば特許文献4等に示すようなものが知られている。特許文献4に開示されるスクリーン印刷方法においては、表面に凹凸のある印刷基板の凸部頂点にのみペースト類を転写するようになっている。具体的には、スクリーン版と印刷基板との間に、ゴムまたは軟質樹脂で形成された弾性ロールを介在させ、スクリーン版上のペースト類をいったん弾性ロールに転写し、弾性ロールを回転させながら当該弾性ロールに転写されたペースト類を印刷基板の凸部頂点に転写するようになっている。   Further, as another screen printing method, for example, the one shown in Patent Document 4 is known. In the screen printing method disclosed in Patent Document 4, pastes are transferred only to the vertices of convex portions of a printed board having a concavo-convex surface. Specifically, an elastic roll formed of rubber or a soft resin is interposed between the screen plate and the printing substrate, the paste on the screen plate is once transferred to the elastic roll, and the elastic roll is rotated while the elastic roll is rotated. The paste transferred to the elastic roll is transferred to the apex of the convex portion of the printing substrate.

特許第3167840号Japanese Patent No. 3167840 特開平6−342977号公報JP-A-6-342977 特開2002−305376号公報JP 2002-305376 A 特開2004−268266号公報JP 2004-268266 A

しかしながら、従来の導電性バンプ付基板シートの製造方法においては、平板状の基板シート80上に導電性バンプ82を形成するにあたり、スクリーン印刷工程1回あたりの基板シート80に付着する導電性ペースト98の量はスクリーン版92の貫通穴92aにより定められるため、この導電性ペースト98の量が十分ではなく1回のスクリーン印刷工程では導電性バンプ82の高さが絶縁シートを貫通させるのに十分な高さに達しない場合が多い。図面を用いてより詳細に説明すると、図15(a)〜(d)は、従来の方法により基板シート80に導電性バンプ82が形成される過程を示す図であって、(a)は1回目のスクリーン印刷工程および乾燥工程後の導電性バンプ82の形状を示し、(b)は2回目のスクリーン印刷工程および乾燥工程後の導電性バンプ82の形状を示している。また、図15(c)は3回目のスクリーン印刷工程および乾燥工程後の導電性バンプ82の形状を示し、(d)は4回目のスクリーン印刷工程および乾燥工程後の導電性バンプ82の形状を示している。   However, in the conventional method of manufacturing a substrate sheet with conductive bumps, when forming the conductive bumps 82 on the flat substrate sheet 80, the conductive paste 98 attached to the substrate sheet 80 per screen printing step. Is determined by the through hole 92a of the screen plate 92, the amount of the conductive paste 98 is not sufficient, and the height of the conductive bump 82 is sufficient to penetrate the insulating sheet in one screen printing process. Often does not reach the height. Describing in more detail with reference to the drawings, FIGS. 15A to 15D are views showing a process in which the conductive bumps 82 are formed on the substrate sheet 80 by a conventional method. FIG. The shape of the conductive bump 82 after the second screen printing step and the drying step is shown, and (b) shows the shape of the conductive bump 82 after the second screen printing step and the drying step. 15C shows the shape of the conductive bump 82 after the third screen printing step and the drying step, and FIG. 15D shows the shape of the conductive bump 82 after the fourth screen printing step and the drying step. Show.

ここで、導電性バンプ82により絶縁シートを貫通させる際に、図15(d)に示すような高さを有する略円錐状の導電性バンプ82が求められる。このため、図13に示すようなスクリーン印刷工程を複数回、具体的には例えば4回繰り返して行うことが必要とされる。しかしながら、スクリーン印刷工程を1回行うたびに基板シート80の乾燥工程およびCCDカメラ等によるスクリーン版92の位置合わせ工程が必要となり、十分な高さの導電性バンプ82が形成されるまでこれらの工程を何度も繰り返す必要があった。また、上述のようなスクリーン印刷工程の回数を減らした場合には、基板シート80に形成された導電性バンプ82の先端形状が細くなり、基板シート80と絶縁シートとを交互に重ね合わせたときに、絶縁シートを突き破った導電性バンプ82の先端部分とこの絶縁シートに当接する他の基板シートとが接触する面積が小さくなり、この導電性バンプ82を介して接続される絶縁シートを挟んだ2つの基板シート間における抵抗値が大きくなるという問題があった。   Here, when the insulating sheet is penetrated by the conductive bump 82, a substantially conical conductive bump 82 having a height as shown in FIG. For this reason, it is necessary to repeat the screen printing process as shown in FIG. 13 a plurality of times, specifically, for example, four times. However, each time the screen printing process is performed once, a drying process of the substrate sheet 80 and a positioning process of the screen plate 92 by a CCD camera or the like are necessary, and these processes are performed until a sufficiently high conductive bump 82 is formed. Had to be repeated many times. In addition, when the number of screen printing steps as described above is reduced, the tip shape of the conductive bump 82 formed on the substrate sheet 80 becomes thin, and the substrate sheet 80 and the insulating sheet are alternately stacked. In addition, the contact area between the tip portion of the conductive bump 82 that has broken through the insulating sheet and the other substrate sheet that contacts the insulating sheet is reduced, and the insulating sheet connected via the conductive bump 82 is sandwiched. There was a problem that the resistance value between two substrate sheets became large.

本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、非導電性シートを突き破った導電性バンプの先端部分とこの非導電性シートに当接する他の導電性バンプ付基板シートとが接触する面積が大きくなり、このため導電性バンプを介して接続される非導電性シートを挟んだ導電性バンプ付基板シート間の抵抗値が小さくなるような多層プリント配線板を製造することができる多層プリント配線板製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in consideration of such points, and the tip portion of the conductive bump that broke through the non-conductive sheet and the other conductive bump-attached substrate sheet that contacts the non-conductive sheet are provided. A multilayer printed wiring board can be manufactured in which the contact area is large, and therefore the resistance value between the conductive bump-attached substrate sheets sandwiching the nonconductive sheet connected via the conductive bumps is small. It aims at providing the manufacturing method of a multilayer printed wiring board.

本発明は、複数の導電性バンプが表面に形成された導電性バンプ付基板シートと、非導電性シートとが交互に重ね合わせられており、前記導電性バンプが前記非導電性シートを貫通することにより当該非導電性シートの両側にある導電性バンプ付基板シート同士が前記導電性バンプによって電気的に接続されているような多層プリント配線板を製造するための多層プリント配線板製造方法であって、平板状の基板シートを準備する工程と、前記各導電性バンプが形成されるべき各々の箇所において前記平板状の基板シートを変形させることにより、この基板シートにおいて前記各導電性バンプが形成されるべき各々の箇所にそれぞれ凹部を形成する工程と、複数の凹部が形成された前記基板シートの表面において当該各凹部に導電性バンプを形成させて導電性バンプ付基板シートを製造する工程と、前記導電性バンプ付基板シートと、前記非導電性シートとを重ね合わせ、この重ね合わせ体を挟圧し、この際に前記導電性バンプ付基板シートにおける前記基板シートに形成された前記各凹部をそれぞれ凸部に変形させ、このようにして前記導電性バンプ付基板シートの前記導電性バンプが前記非導電性シートを突き破るようにする工程と、前記導電性バンプが前記非導電性シートを突き破ったような前記重ね合わせ体を積層することにより多層プリント配線板を製造する工程と、を備えたことを特徴とする多層プリント配線板製造方法である。   In the present invention, the substrate sheet with conductive bumps on the surface of which a plurality of conductive bumps are formed and the nonconductive sheet are alternately superposed, and the conductive bumps penetrate the nonconductive sheet. A multilayer printed wiring board manufacturing method for manufacturing a multilayer printed wiring board in which the conductive bump-equipped board sheets on both sides of the nonconductive sheet are electrically connected by the conductive bumps. The step of preparing a flat substrate sheet and the step of forming the conductive bumps on the substrate sheet by deforming the flat plate substrate sheet at each location where the conductive bumps are to be formed. A step of forming a recess at each location to be formed, and a conductive bump on each recess on the surface of the substrate sheet on which a plurality of recesses are formed. The step of manufacturing the substrate sheet with conductive bumps, the substrate sheet with conductive bumps, and the non-conductive sheet are overlapped, and the overlapped body is sandwiched, and at this time, the conductive bumps attached A step of deforming each concave portion formed on the substrate sheet in the substrate sheet into a convex portion, and thus allowing the conductive bumps of the substrate sheet with conductive bumps to break through the non-conductive sheet; And a step of producing a multilayer printed wiring board by laminating the superposed body in which the conductive bumps break through the non-conductive sheet. is there.

このような多層プリント配線板製造方法によれば、基板シートにおいて各導電性バンプが形成されるべき各々の箇所にそれぞれ凹部を予め形成しておき、この基板シートの各凹部の中に導電性バンプを形成し、その後、導電性バンプ付基板シートと、非導電性シートとを重ね合わせ、この重ね合わせ体を挟圧するときに、導電性バンプが形成された基板シートの各凹部をそれぞれ凸部に変形させるようにしている。そして、導電性バンプ付基板シートと非導電性シートとの重ね合わせ体を挟圧することにより導電性バンプ付基板シートの導電性バンプが非導電性シートを突き破るようにし、導電性バンプが非導電性シートを突き破ったような重ね合わせ体を積層することにより多層プリント配線板を製造している。ここで、導電性バンプが形成された基板シートの各凹部をそれぞれ凸部に変形させたときに、凹部の中に形成された導電性バンプが基板シートの表面からより一層突き出るようになる。このため、非導電性シートを突き破った導電性バンプの先端部分とこの非導電性シートに当接する他の導電性バンプ付基板シートとが接触する面積が大きくなる。このことにより、導電性バンプを介して接続される非導電性シートを挟んだ導電性バンプ付基板シート間における抵抗値が小さくなるような多層プリント配線板を製造することができるようになる。   According to such a multilayer printed wiring board manufacturing method, a concave portion is formed in advance in each portion where each conductive bump is to be formed in the substrate sheet, and the conductive bump is formed in each concave portion of the substrate sheet. After that, the substrate sheet with conductive bumps and the non-conductive sheet are overlapped, and when the stacked body is sandwiched, each concave portion of the substrate sheet on which the conductive bumps are formed is formed as a convex portion. I am trying to deform. Then, the conductive bump of the substrate sheet with conductive bumps breaks through the non-conductive sheet by sandwiching the laminated body of the substrate sheet with conductive bumps and the non-conductive sheet, and the conductive bumps are non-conductive. A multilayer printed wiring board is manufactured by laminating superposed bodies that break through sheets. Here, when each concave portion of the substrate sheet on which the conductive bump is formed is deformed into a convex portion, the conductive bump formed in the concave portion further protrudes from the surface of the substrate sheet. For this reason, the area which the front-end | tip part of the conductive bump which broke through the nonelectroconductive sheet and the board | substrate sheet | seat with another electroconductive bump contact | abutted to this nonelectroconductive sheet contacts becomes large. This makes it possible to manufacture a multilayer printed wiring board in which the resistance value between the substrate sheets with conductive bumps sandwiching the nonconductive sheet connected via the conductive bumps becomes small.

本発明の多層プリント配線板製造方法においては、複数の突起が表面に形成された平板状部材を準備する工程を更に備え、前記導電性バンプ付基板シートと前記非導電性シートとの重ね合わせ体を挟圧する際に、前記平板状部材における前記各突起が設けられた面に前記導電性バンプ付基板シートを載せ、この際に前記平板状部材における前記各突起が設けられた面と前記導電性バンプ付基板シートにおける前記導電性バンプが形成されていない面とが当接するようにし、これらの平板状部材、導電性バンプ付基板シートおよび非導電性シートを一体的に挟圧することにより、前記平板状部材に設けられた前記各突起により前記導電性バンプ付基板シートにおける前記基板シートに形成された前記各凹部をそれぞれ凸部に変形させることが好ましい。この際に、前記平板状部材には、当該平板状部材に載せられるべき前記導電性バンプ付基板シートにおける前記基板シートに形成された前記各凹部と位置が合うよう、各突起が設けられていることがより一層好ましい。   In the multilayer printed wiring board manufacturing method of the present invention, the method further comprises a step of preparing a flat plate member having a plurality of protrusions formed on the surface thereof, and a laminate of the substrate sheet with conductive bumps and the non-conductive sheet When the substrate is clamped, the substrate sheet with conductive bumps is placed on the surface of the flat plate member on which the protrusions are provided. At this time, the surface of the flat plate member on which the protrusions are provided and the conductive material The flat plate is formed by bringing the flat plate member, the conductive bump-equipped substrate sheet, and the non-conductive sheet together into pressure contact so that the surface on which the conductive bump is not formed in the substrate sheet with bump is brought into contact. Preferably, each of the concave portions formed on the substrate sheet of the conductive bump-equipped substrate sheet is deformed into a convex portion by the projections provided on the shaped member. Arbitrariness. At this time, the flat plate member is provided with projections so as to be aligned with the concave portions formed in the substrate sheet of the conductive bump-equipped substrate sheet to be placed on the flat plate member. It is even more preferable.

本発明の多層プリント配線板製造方法によれば、非導電性シートを突き破った導電性バンプの先端部分とこの非導電性シートに当接する他の導電性バンプ付基板シートとが接触する面積が大きくなり、このため導電性バンプを介して接続される非導電性シートを挟んだ導電性バンプ付基板シート間における抵抗値が小さくなるような多層プリント配線板が得られる。   According to the multilayer printed wiring board manufacturing method of the present invention, the contact area between the leading end portion of the conductive bump that has broken through the non-conductive sheet and the other conductive bump-attached substrate sheet that contacts the non-conductive sheet is large. Therefore, a multilayer printed wiring board is obtained in which the resistance value between the conductive bump-equipped board sheets sandwiching the non-conductive sheet connected via the conductive bumps becomes small.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1乃至図12は、本発明による多層プリント配線板の製造方法の一の実施の形態を示す図である。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 to 12 are diagrams showing an embodiment of a method for producing a multilayer printed wiring board according to the present invention.

このうち、図1は、導電性バンプ付基板シートの製造方法において、平板状の基板シート、および複数の突起が表面に形成された平板状部材を準備したときの状態を示す側面図であり、図2は、図1に示す平板状の基板シートおよび平板状部材を当接させてこの組合せ体を挟圧する方法を示す側面図であり、図3は、図2に示す方法により製造された、複数の凹部が表面に形成された基板シートを示す側面図である。また、図4は、図1に示す平板状の基板シートおよび平板状部材を当接させてこの組合せ体を挟圧する他の方法を示す側面図である。   Among these, FIG. 1 is a side view showing a state when preparing a flat plate-like substrate sheet and a flat plate-like member having a plurality of protrusions formed on the surface in the method of manufacturing a substrate sheet with conductive bumps, FIG. 2 is a side view showing a method of pressing the combined body by bringing the flat substrate sheet and the flat member shown in FIG. 1 into contact with each other, and FIG. 3 is manufactured by the method shown in FIG. It is a side view which shows the board | substrate sheet | seat in which the several recessed part was formed in the surface. FIG. 4 is a side view showing another method of pressing the combined body by bringing the flat substrate sheet and the flat member shown in FIG. 1 into contact with each other.

また、図5乃至図8は、図3に示す基板シートに導電性バンプを形成する動作の一連の流れを順に示す側面図であり、図9は、図7の部分拡大側面図である。また、図10は、図5乃至図8に示す方法により製造された導電性バンプ付基板シートを示す側面図である。
また、図11は、多層プリント配線板の製造方法において、複数の突起が表面に形成された平板状部材の上に図10に示す導電性バンプ付基板シートおよび非導電性シートを載せ、これらの平板状部材、導電性バンプ付基板シートおよび非導電性シートを挟圧することにより導電性バンプ付基板シートの導電性バンプが非導電性シートを突き破るようにする処理を示す側面図であり、図12は、図11に示す処理により形成される、導電性バンプが非導電性シートを突き破ったような重ね合わせ体を積層することにより製造される多層プリント配線板を示す側面図である。
5 to 8 are side views sequentially showing a series of operations for forming conductive bumps on the substrate sheet shown in FIG. 3, and FIG. 9 is a partially enlarged side view of FIG. FIG. 10 is a side view showing a substrate sheet with conductive bumps manufactured by the method shown in FIGS.
Further, FIG. 11 shows a method for manufacturing a multilayer printed wiring board, in which a substrate sheet with conductive bumps and a non-conductive sheet shown in FIG. 10 are placed on a flat plate member having a plurality of protrusions formed on the surface thereof. FIG. 12 is a side view showing a process in which the conductive bumps of the substrate sheet with conductive bumps break through the non-conductive sheet by sandwiching the flat plate member, the substrate sheet with conductive bumps and the non-conductive sheet; These are side views which show the multilayer printed wiring board manufactured by laminating | stacking the laminated body which the conductive bump formed through the process shown in FIG. 11 and pierced the nonelectroconductive sheet.

以下、導電性バンプ付基板シートの製造方法および多層プリント配線板の製造方法について順次説明する。   Hereinafter, a method for manufacturing a substrate sheet with conductive bumps and a method for manufacturing a multilayer printed wiring board will be sequentially described.

〔導電性バンプ付基板シートの製造方法〕
まず、図1に示すように、平板状の銅箔等の導電性の金属シートからなる基板シート10、および複数の突起22が形成された平板状部材20を準備する。ここで、平板状部材20は、銅、ステンレス、アルミニウム等の金属シートや、PET、PP、PE等のフィルム、あるいは樹脂シート等から構成されている。また、各突起22は、金属や樹脂等から構成されており、平板状部材20に対して後述するスクリーン印刷や、光造型法、エッチング、電鋳加工等を行うことにより形成されるようになっている。平板状部材20における各突起22が形成される位置は、基板シート10に導電性バンプ14(後述)が形成されるべき位置と略同一となるようにする。なお、平板状部材20に対して後述するスクリーン印刷方法(図5乃至図9に示すスクリーン印刷方法と類似の印刷方法)により各突起22を形成した場合は、導電性バンプ14(後述)が形成されるべき位置に対するこの突起22の見当合わせを容易に行うことができるようになる。
[Method of manufacturing substrate sheet with conductive bumps]
First, as shown in FIG. 1, a substrate sheet 10 made of a conductive metal sheet such as a flat copper foil and a flat member 20 on which a plurality of protrusions 22 are formed are prepared. Here, the flat plate member 20 is composed of a metal sheet such as copper, stainless steel, or aluminum, a film such as PET, PP, or PE, or a resin sheet. Each protrusion 22 is made of metal, resin, or the like, and is formed by performing screen printing, photomolding, etching, electroforming, or the like, which will be described later, on the flat member 20. ing. The positions where the protrusions 22 are formed on the flat plate member 20 are made substantially the same as the positions where the conductive bumps 14 (described later) are to be formed on the substrate sheet 10. In addition, when each protrusion 22 is formed on the flat member 20 by a screen printing method (printing method similar to the screen printing method shown in FIGS. 5 to 9) described later, conductive bumps 14 (described later) are formed. This projection 22 can be easily registered with respect to the position to be formed.

次に、平板状の基板シート10の表面(図1における基板シート10の上側の面)と平板状部材20における複数の突起22が形成された表面(図1における平板状部材20の下側の面)とを当接させる。そして、図2に示すように、この基板シート10および平板状部材20の組合せ体を、一対のゴムロール(挟圧ロール)24、26の間で挟圧する。具体的には、各々が連続的に回転する一対のゴムロール24、26の間に基板シート10および平板状部材20の組合せ体を搬送し、図2の矢印に示す方向に当該組合せ体を移動させることにより、基板シート10および平板状部材20の組合せ体は上下方向から挟圧されることとなる。このことにより、基板シート10の表面(図2における基板シート10の下側の面)が平板状部材20の各突起22に押圧され、基板シート10が変形し、図3に示すように基板シート10の表面に複数の凹部12が形成されるようになる。ここで、平板状部材20における各突起22が形成される位置は、基板シート10に導電性バンプ14が形成されるべき位置と略同一になっているので、基板シート10に形成される各凹部12の位置も、当該基板シート10に導電性バンプ14が形成されるべき位置と略同一になる。   Next, the surface of the flat substrate sheet 10 (the upper surface of the substrate sheet 10 in FIG. 1) and the surface on which the plurality of protrusions 22 of the flat member 20 are formed (the lower side of the flat member 20 in FIG. 1). Surface). Then, as shown in FIG. 2, the combination of the substrate sheet 10 and the flat plate member 20 is clamped between a pair of rubber rolls (clamping rolls) 24 and 26. Specifically, the combination of the substrate sheet 10 and the flat plate member 20 is transported between a pair of rubber rolls 24 and 26 that are continuously rotated, and the combination is moved in the direction indicated by the arrow in FIG. As a result, the combination of the substrate sheet 10 and the flat plate member 20 is sandwiched from above and below. As a result, the surface of the substrate sheet 10 (the lower surface of the substrate sheet 10 in FIG. 2) is pressed by the protrusions 22 of the flat plate member 20, and the substrate sheet 10 is deformed, as shown in FIG. A plurality of recesses 12 are formed on the surface of 10. Here, since the position where each projection 22 is formed on the flat plate member 20 is substantially the same as the position where the conductive bump 14 is to be formed on the substrate sheet 10, each recess formed on the substrate sheet 10. The position 12 is substantially the same as the position where the conductive bumps 14 are to be formed on the substrate sheet 10.

なお、基板シート10を変形させて複数の凹部12を形成する方法は、図2に示すような方法に限定されることはなく、他の様々な方法を用いることができる。例えば、図4に示すように、基板シート10および平板状部材20の組合せ体を印刷定盤28に乗せ、加圧ロール29によりこの印刷定盤28上に載置された基板シート10が下方に押圧されるように印刷定盤28を図4の左右方向に移動させることによって、基板シート10における平板状部材20の各突起22が当接する箇所に複数の凹部12が形成されるようになる。このように、平板状の基板シート10の表面と平板状部材20における各突起22が形成された表面とを当接させてこの組合せ体を挟圧することにより、平板状の基板シート10に凹部12を形成することができるようになる。   Note that the method of forming the plurality of recesses 12 by deforming the substrate sheet 10 is not limited to the method shown in FIG. 2, and various other methods can be used. For example, as shown in FIG. 4, the combination of the substrate sheet 10 and the flat plate member 20 is placed on the printing surface plate 28, and the substrate sheet 10 placed on the printing surface plate 28 by the pressure roll 29 is moved downward. By moving the printing surface plate 28 in the left-right direction in FIG. 4 so as to be pressed, a plurality of recesses 12 are formed at locations where the projections 22 of the flat plate member 20 in the substrate sheet 10 abut. In this way, the surface of the flat substrate sheet 10 and the surface of the flat member 20 on which the projections 22 are formed are brought into contact with each other to sandwich the combination, whereby the recess 12 is formed in the flat substrate sheet 10. Can be formed.

次に、図5乃至図8に示すように、複数の凹部12が形成された基板シート10に対してスクリーン印刷を行う。
このようなスクリーン印刷を行う印刷装置は、基板シート10を吸引孔(図示せず)からの吸引力によって保持する印刷定盤30と、所定のパターンからなる複数の貫通穴(版孔)32aが設けられたメタルマスク等のスクリーン版32と、このスクリーン版32を保持する保持部材34とを備えている。ここで、各貫通穴32aは、基板シート10に導電性バンプ14が形成されるべき位置に対応するようスクリーン版32に形成されている。また、印刷装置は、スクリーン版32上で走査し、スクリーン版32に載置された銀ペースト、半田ペーストなどの導電性ペースト38を貫通穴32aを介して基板シート10上に転移させるスキージ36と、スキージ36を支持する支持部材33と、支持部材33を水平方向(図5の左右方向)に移動させるよう案内を行うガイド部材31とを備えている。支持部材33は、スキージ36を図5の下方に進出させたり上方に退避させたりすることができるようになっている。さらに、印刷装置は、印刷定盤30上にある基板シート10の表面の撮像を行うCCDカメラ39を備えている。また、印刷定盤30の下方にはガイド部材30aが配置されている。印刷定盤30は、ガイド部材30aに沿って水平方向(図5の左右方向)に移動可能となっている。
Next, as shown in FIGS. 5 to 8, screen printing is performed on the substrate sheet 10 on which the plurality of recesses 12 are formed.
A printing apparatus that performs such screen printing includes a printing platen 30 that holds the substrate sheet 10 by a suction force from a suction hole (not shown), and a plurality of through holes (plate holes) 32a having a predetermined pattern. A screen plate 32 such as a provided metal mask and a holding member 34 for holding the screen plate 32 are provided. Here, each through hole 32 a is formed in the screen plate 32 so as to correspond to a position where the conductive bump 14 is to be formed on the substrate sheet 10. The printing apparatus scans on the screen plate 32, and transfers a conductive paste 38 such as silver paste or solder paste placed on the screen plate 32 onto the substrate sheet 10 through the through holes 32a. A support member 33 that supports the squeegee 36 and a guide member 31 that guides the support member 33 to move in the horizontal direction (left-right direction in FIG. 5). The support member 33 can move the squeegee 36 downward in FIG. 5 or retract upward. Further, the printing apparatus includes a CCD camera 39 that images the surface of the substrate sheet 10 on the printing surface plate 30. A guide member 30 a is disposed below the printing surface plate 30. The printing surface plate 30 is movable in the horizontal direction (left and right direction in FIG. 5) along the guide member 30a.

次に、上述のような印刷装置によるスクリーン印刷方法について説明する。まず、図5に示すように、印刷定盤30の上に基板シート10を載置し、吸引孔(図示せず)からの吸引力によって印刷定盤30上に基板シート10を保持させる。このときに、基板シート10に位置合わせマークを予め設けておくことにより、この位置合わせマークをCCDカメラ39で撮像し、撮像された画像における位置合わせマークに基づいて印刷定盤30の位置を微調整することにより、基板シート10に形成された各凹部12の位置と、スクリーン版32の貫通穴32aの位置とを容易に位置合わせすることができるようになる。   Next, a screen printing method using the above printing apparatus will be described. First, as shown in FIG. 5, the substrate sheet 10 is placed on the printing surface plate 30, and the substrate sheet 10 is held on the printing surface plate 30 by a suction force from a suction hole (not shown). At this time, by providing an alignment mark in advance on the substrate sheet 10, the alignment mark is captured by the CCD camera 39, and the position of the printing surface plate 30 is finely determined based on the alignment mark in the captured image. By adjusting, the position of each recess 12 formed in the substrate sheet 10 and the position of the through hole 32a of the screen plate 32 can be easily aligned.

そして、図6に示すように、印刷定盤30をガイド部材30aに沿って水平方向(図5の右方)に移動させ、この印刷定盤30をスクリーン版32の下方に位置させる。この際に、スクリーン版32の各貫通穴32aが基板シート10の各凹部12に向き合うようになる。   Then, as shown in FIG. 6, the printing surface plate 30 is moved in the horizontal direction (rightward in FIG. 5) along the guide member 30 a, and the printing surface plate 30 is positioned below the screen plate 32. At this time, the through holes 32 a of the screen plate 32 face the concave portions 12 of the substrate sheet 10.

そして、図7に示すように、スキージ36が支持部材33から下方に進出し、このスキージ36がスクリーン版32を下方に押してスクリーン版32が印刷定盤30上の基板シート10の表面に当接する。そして、図7および図9に示すように、支持部材33をガイド部材31に沿って水平方向(図7の左方向)に移動させることによりスキージ36を水平方向(図7の左方向)に移動させ、このときにスキージ36がスクリーン版32を下方に押し続けるようにする。この際に、導電性ペースト38はスクリーン版32の貫通穴32aを通過して基板シート10の凹部12の中に付着する。   Then, as shown in FIG. 7, the squeegee 36 advances downward from the support member 33, the squeegee 36 pushes the screen plate 32 downward, and the screen plate 32 comes into contact with the surface of the substrate sheet 10 on the printing surface plate 30. . 7 and 9, the squeegee 36 is moved in the horizontal direction (left direction in FIG. 7) by moving the support member 33 along the guide member 31 in the horizontal direction (left direction in FIG. 7). At this time, the squeegee 36 keeps pushing the screen plate 32 downward. At this time, the conductive paste 38 passes through the through hole 32 a of the screen plate 32 and adheres to the recess 12 of the substrate sheet 10.

ここで、スキージ36によるスクリーン版32を介した導電性ペースト38の塗工原理についてより詳細に説明すると、導電性ペースト38はスキージ36によってスクリーン版32の表面を移動させられるが、スクリーン版32に貫通穴32aが形成されている箇所においてはこの貫通穴32aに導電性ペースト38が入り込む。そして、図9等に示すようにスクリーン版32の貫通穴32aは基板シート10の凹部12に対応して設けられているので、スキージ36がスクリーン版32を基板シート10に向かって押圧することによって、貫通穴32aに入った導電性ペースト38の一部が基板シート10の凹部12の中に付着することとなる。   Here, the principle of application of the conductive paste 38 via the screen plate 32 by the squeegee 36 will be described in more detail. The conductive paste 38 can be moved on the surface of the screen plate 32 by the squeegee 36. In the place where the through hole 32a is formed, the conductive paste 38 enters the through hole 32a. As shown in FIG. 9 and the like, the through holes 32a of the screen plate 32 are provided corresponding to the recesses 12 of the substrate sheet 10, so that the squeegee 36 presses the screen plate 32 toward the substrate sheet 10. A part of the conductive paste 38 that has entered the through hole 32 a adheres to the recess 12 of the substrate sheet 10.

そして、図8に示すようにスキージ36による導電性ペースト38の塗工が終了したら、スキージ36が図8の上方に退避し、スクリーン版32が基板シート10から隔離される。   When the application of the conductive paste 38 by the squeegee 36 is completed as shown in FIG. 8, the squeegee 36 is retracted upward in FIG. 8 and the screen plate 32 is isolated from the substrate sheet 10.

スキージ36を用いたスクリーン印刷方法により基板シート10の各凹部12の中に導電性ペースト38を付着させた後、この基板シート10の乾燥を行う。このことにより、図10に示すように基板シート10の各凹部12の中に付着した導電性ペースト38が熱硬化して略円錐状の導電性バンプ14が形成されることとなる。   After the conductive paste 38 is adhered in each recess 12 of the substrate sheet 10 by a screen printing method using the squeegee 36, the substrate sheet 10 is dried. As a result, as shown in FIG. 10, the conductive paste 38 attached in each recess 12 of the substrate sheet 10 is thermally cured to form a substantially conical conductive bump 14.

〔多層プリント配線板の製造方法〕
次に、図11および図12を用いて多層プリント配線板の製造方法について説明する。図11は、複数の突起62が表面に形成された平板状部材60の上に図10に示す導電性バンプ14付きの基板シート10およびプリプレグ等の非導電性シート(絶縁シート)40を載せ、これらの平板状部材60、導電性バンプ14付きの基板シート10および非導電性シート40を挟圧することにより導電性バンプ14が非導電性シート40を突き破るようにする処理を示す側面図であり、図12は、図11に示す処理により形成される、導電性バンプ14が非導電性シート40を突き破ったような重ね合わせ体を積層することにより製造される多層プリント配線板50を示す側面図である。
[Manufacturing method of multilayer printed wiring board]
Next, the manufacturing method of a multilayer printed wiring board is demonstrated using FIG. 11 and FIG. 11, the substrate sheet 10 with the conductive bumps 14 and the non-conductive sheet (insulating sheet) 40 such as a prepreg shown in FIG. 10 are placed on the flat member 60 having a plurality of protrusions 62 formed on the surface. It is a side view showing a process of making the conductive bumps 14 break through the non-conductive sheet 40 by sandwiching the flat plate member 60, the substrate sheet 10 with the conductive bumps 14 and the non-conductive sheet 40, FIG. 12 is a side view showing a multilayer printed wiring board 50 manufactured by laminating an overlapping body formed by the process shown in FIG. 11 and in which the conductive bumps 14 break through the non-conductive sheet 40. is there.

多層プリント配線板の製造方法において、まず、複数の突起62が表面に形成された平板状部材60を準備する。ここで、図11に示すように、平板状部材60には、当該平板状部材60に載せられるべき導電性バンプ14付きの基板シート10における各凹部12と位置が合うよう、各突起62が設けられている。   In the method of manufacturing a multilayer printed wiring board, first, a flat plate member 60 having a plurality of protrusions 62 formed on the surface is prepared. Here, as shown in FIG. 11, each flat member 60 is provided with each protrusion 62 so as to be aligned with each concave portion 12 in the substrate sheet 10 with the conductive bumps 14 to be placed on the flat member 60. It has been.

更に具体的には、平板状部材60は、銅、ステンレス、アルミニウム等の金属シートや、PET、PP、PE等のフィルム、あるいは樹脂シート等から構成されている。また、各突起62は、金属や樹脂等から構成されており、平板状部材60に対して図5乃至図9に示すようなスクリーン印刷や、光造型法、エッチング、電鋳加工等を行うことにより形成されるようになっている。前述のように、平板状部材60における各突起62が形成される位置は、基板シート10に凹部12が形成された位置と略同一となるようにしているが、平板状部材60に対して図5乃至図9に示すようなスクリーン印刷方法により各突起62を形成した場合は、基板シート10における凹部12が形成された位置に対するこの突起62の見当合わせを容易に行うことができるようになる。   More specifically, the flat plate member 60 is made of a metal sheet such as copper, stainless steel, or aluminum, a film such as PET, PP, or PE, or a resin sheet. Each projection 62 is made of metal, resin, or the like, and is subjected to screen printing, photomolding, etching, electroforming, or the like as shown in FIGS. Is formed. As described above, the positions where the projections 62 are formed on the flat plate member 60 are substantially the same as the positions where the recesses 12 are formed on the substrate sheet 10. When the projections 62 are formed by the screen printing method as shown in FIGS. 5 to 9, the projections 62 can be easily registered with respect to the positions where the recesses 12 are formed in the substrate sheet 10.

そして、図11に示すように、複数の突起62が表面に形成された平板状部材60と、導電性バンプ14付きの基板シート10と、非導電性シート40と、緩衝材42とを重ね合わせ、この重ね合わせ体を一対のゴムローラ(挟圧ローラ)52、54の間で非常に大きな力で挟圧する。ここで、各部材を重ね合わせる際に、平板状部材60における各突起62が設けられた面と基板シート10における導電性バンプ14が設けられていない面とが当接するようにし、しかも、平板状部材における各突起62と基板シート10における各凹部12との位置合わせを行うようにする。   Then, as shown in FIG. 11, the flat plate member 60 having a plurality of protrusions 62 formed on the surface, the substrate sheet 10 with the conductive bumps 14, the nonconductive sheet 40, and the buffer material 42 are overlapped. The superposed body is clamped with a very large force between a pair of rubber rollers (clamping rollers) 52 and 54. Here, when the respective members are overlapped, the surface of the flat plate member 60 provided with the projections 62 is brought into contact with the surface of the substrate sheet 10 where the conductive bumps 14 are not provided. Position alignment between each protrusion 62 in the member and each recess 12 in the substrate sheet 10 is performed.

また、上述の重ね合わせ体を挟圧するときに、図示しないヒータにより例えば100℃〜150℃で加熱も行うようにする。   Further, when sandwiching the above-described superposed body, heating is performed at, for example, 100 ° C. to 150 ° C. by a heater (not shown).

図11に示すように、上述の重ね合わせ体を挟圧したときに、平板状部材60に設けられた各突起62により、基板シート10に形成された各凹部12がそれぞれ凸部16に変形する。具体的には、平板状部材60には、当該平板状部材60に載せられるべき導電性バンプ14付きの基板シート10における各凹部12と位置が合うよう、各突起62が設けられているので、重ね合わせ体が挟圧されたときに、基板シート10はその裏面(図11における下側の面)から各突起62により上方に押圧され、基板シート10における各突起62に押圧された部分が図11の上方に向かって凸形状となり、このようにして基板シート10に形成された各凹部12がそれぞれ凸部16に変形する。   As shown in FIG. 11, when the above-described stacked body is clamped, the respective recesses 12 formed on the substrate sheet 10 are deformed into the projections 16 by the respective protrusions 62 provided on the flat plate member 60. . Specifically, the flat member 60 is provided with the protrusions 62 so as to be aligned with the concave portions 12 in the substrate sheet 10 with the conductive bumps 14 to be placed on the flat plate member 60. When the stacked body is clamped, the substrate sheet 10 is pressed upward by the projections 62 from the back surface (the lower surface in FIG. 11), and the portions pressed by the projections 62 in the substrate sheet 10 are illustrated. 11, the concave portions 12 formed in the substrate sheet 10 are deformed into convex portions 16, respectively.

上述の重ね合わせ体が上下方向から挟圧されるとともに加熱され、しかも基板シート10に形成された各凹部12がそれぞれ凸部16に変形することにより、非導電性シート40の裏面(図11の下側の面)がその下方に設けられた基板シート10の導電性バンプ14の先端部分に押圧され、この非導電性シート40における押圧された箇所が破断される。このことにより導電性バンプ14が非導電性シート40を貫通する。   The above-described superposed body is sandwiched and heated from above and below, and each concave portion 12 formed in the substrate sheet 10 is transformed into the convex portion 16, whereby the back surface of the nonconductive sheet 40 (in FIG. 11). The lower surface) is pressed against the tip of the conductive bump 14 of the substrate sheet 10 provided therebelow, and the pressed portion of the non-conductive sheet 40 is broken. As a result, the conductive bumps 14 penetrate the non-conductive sheet 40.

その後、上述の重ね合わせ体から平板状部材60および緩衝材42を取り除く。そして、導電性バンプ14が非導電性シート40を突き破ったような重ね合わせ体を何層にも重ねることにより、図12に示すような多層プリント配線板50が製造される。ここで、このように製造される多層プリント配線板50において、導電性バンプ14が非導電性シート40を貫通することにより、当該非導電性シート40の両側にある基板シート10同士が導電性バンプ14によって電気的に接続されることとなる。   Thereafter, the flat plate member 60 and the buffer material 42 are removed from the above-described stacked body. Then, a multilayer printed wiring board 50 as shown in FIG. 12 is manufactured by stacking an overlapping body in which the conductive bumps 14 break through the non-conductive sheet 40. Here, in the multilayer printed wiring board 50 manufactured in this way, when the conductive bumps 14 penetrate the non-conductive sheet 40, the substrate sheets 10 on both sides of the non-conductive sheet 40 are electrically connected to each other. 14 to be electrically connected.

以上のように本実施の形態の多層プリント配線板50の製造方法によれば、基板シート10において各導電性バンプ14が形成されるべき各々の箇所にそれぞれ凹部12を予め形成しておき、この基板シート10の各凹部12の中に導電性バンプ14を形成し、その後、導電性バンプ14付きの基板シート10と、非導電性シート40とを重ね合わせ、この重ね合わせ体を挟圧するときに、導電性バンプ14が形成された基板シート10の各凹部12をそれぞれ凸部16に変形させるようにしている。そして、導電性バンプ14付きの基板シート10と非導電性シート40との重ね合わせ体を挟圧することにより基板シート10の導電性バンプ14が非導電性シート40を突き破るようにし、導電性バンプ14が非導電性シート40を突き破ったような重ね合わせ体を積層することにより多層プリント配線板50を製造している。ここで、導電性バンプ14が形成された基板シート10の各凹部12をそれぞれ凸部16に変形させたときに、凹部12の中に形成された導電性バンプ14が基板シート10の表面からより一層突き出るようになる。このため、非導電性シート40を突き破った導電性バンプ14の先端部分とこの非導電性シート40に当接する他の基板シート10とが接触する面積が大きくなる。このことにより、導電性バンプ14を介して接続される非導電性シート40を挟んだ基板シート10間における抵抗値が小さくなるような多層プリント配線板50が得られる。このため、多層プリント配線板50の製造において、高抵抗値を有するような不良品の発生を抑制し、歩留まり率を向上させることができる。   As described above, according to the method for manufacturing the multilayer printed wiring board 50 of the present embodiment, the recesses 12 are formed in advance in the respective locations where the respective conductive bumps 14 are to be formed on the substrate sheet 10. When the conductive bumps 14 are formed in the respective recesses 12 of the substrate sheet 10, and then the substrate sheet 10 with the conductive bumps 14 and the non-conductive sheet 40 are overlapped, and the stacked body is clamped. The concave portions 12 of the substrate sheet 10 on which the conductive bumps 14 are formed are deformed into convex portions 16, respectively. Then, the conductive bump 14 of the substrate sheet 10 breaks through the non-conductive sheet 40 by sandwiching the superposed body of the substrate sheet 10 with the conductive bump 14 and the non-conductive sheet 40, and the conductive bump 14. The multi-layer printed wiring board 50 is manufactured by laminating stacked bodies that break through the non-conductive sheet 40. Here, when each recessed part 12 of the board | substrate sheet | seat 10 in which the conductive bump 14 was formed was each deform | transformed into the convex part 16, the conductive bump 14 formed in the recessed part 12 is more from the surface of the board | substrate sheet | seat 10. It comes out more. For this reason, the area where the tip portion of the conductive bump 14 that broke through the nonconductive sheet 40 and the other substrate sheet 10 that contacts the nonconductive sheet 40 is increased. As a result, a multilayer printed wiring board 50 is obtained in which the resistance value between the substrate sheets 10 sandwiching the non-conductive sheet 40 connected via the conductive bumps 14 is reduced. For this reason, in the manufacture of the multilayer printed wiring board 50, it is possible to suppress the occurrence of defective products having a high resistance value and to improve the yield rate.

平板状の基板シート、および複数の突起が表面に形成された平板状部材を準備したときの状態を示す側面図である。It is a side view which shows a state when preparing a flat board | substrate sheet | seat and the flat member in which several protrusion was formed in the surface. 図1に示す平板状の基板シートおよび平板状部材を当接させてこの組合せ体を挟圧する方法を示す側面図である。It is a side view which shows the method of making the flat board | substrate sheet | seat shown in FIG. 1 and a flat plate member contact | abut, and pressing this combination body. 図2に示す方法により製造された、複数の凹部が表面に形成された基板シートを示す側面図である。It is a side view which shows the board | substrate sheet | seat with which the several recessed part was manufactured by the method shown in FIG. 図1に示す平板状の基板シートおよび平板状部材を当接させてこの組合せ体を挟圧する他の方法を示す側面図である。It is a side view which shows the other method which abuts the flat board | substrate sheet | seat shown in FIG. 1, and a flat member, and clamps this combination body. 図3に示す基板シートに導電性バンプを形成する動作の流れを示す側面図である。It is a side view which shows the flow of operation | movement which forms a conductive bump in the board | substrate sheet | seat shown in FIG. 図5に示す状態に引き続く、基板シートに導電性バンプを形成する動作の流れを示す側面図である。FIG. 6 is a side view showing a flow of an operation of forming conductive bumps on the substrate sheet following the state shown in FIG. 5. 図6に示す状態に引き続く、基板シートに導電性バンプを形成する動作の流れを示す側面図である。FIG. 7 is a side view showing a flow of operations for forming conductive bumps on the substrate sheet following the state shown in FIG. 6. 図7に示す状態に引き続く、基板シートに導電性バンプを形成する動作の流れを示す側面図である。FIG. 8 is a side view showing a flow of an operation of forming conductive bumps on the substrate sheet following the state shown in FIG. 7. 図7の部分拡大側面図である。FIG. 8 is a partially enlarged side view of FIG. 7. 図5乃至図8に示す方法により製造された導電性バンプ付基板シートを示す側面図である。It is a side view which shows the board | substrate sheet | seat with an electroconductive bump manufactured by the method shown in FIG. 5 thru | or FIG. 多層プリント配線板の製造方法において、複数の突起が表面に形成された平板状部材の上に図10に示す導電性バンプ付基板シートおよび非導電性シートを載せ、これらの平板状部材、導電性バンプ付基板シートおよび非導電性シートを挟圧することにより導電性バンプ付基板シートの導電性バンプが非導電性シートを突き破るようにする処理を示す側面図である。In the method for producing a multilayer printed wiring board, the substrate sheet with conductive bumps and the non-conductive sheet shown in FIG. 10 are placed on a flat plate member having a plurality of protrusions formed on the surface, and these flat plate member, conductive material It is a side view which shows the process which makes the conductive bump of a board | substrate sheet | seat with a conductive bump pierce a nonelectroconductive sheet | seat by pinching a board | substrate with a bump and a nonelectroconductive sheet | seat. 図11に示す処理により形成される、導電性バンプが非導電性シートを突き破ったような重ね合わせ体を積層することにより製造される多層プリント配線板を示す側面図である。It is a side view which shows the multilayer printed wiring board manufactured by laminating | stacking the laminated body which the conductive bump formed through the process shown in FIG. 11 and pierced the nonelectroconductive sheet. 基板シートに導電性バンプを形成する従来の方法を示す側面図である。It is a side view which shows the conventional method of forming a conductive bump in a board | substrate sheet | seat. 図13の部分拡大側面図である。FIG. 14 is a partially enlarged side view of FIG. 13. (a)〜(d)は、従来の方法により基板シートに導電性バンプが形成される過程を示す図であって、(a)は1回目のスクリーン印刷工程および乾燥工程後の導電性バンプの形状を示し、(b)は2回目のスクリーン印刷工程および乾燥工程後の導電性バンプの形状を示し、(c)は3回目のスクリーン印刷工程および乾燥工程後の導電性バンプの形状を示し、(d)は4回目のスクリーン印刷工程および乾燥工程後の導電性バンプの形状を示す。(A)-(d) is a figure which shows the process in which a conductive bump is formed in a board | substrate sheet | seat by the conventional method, (a) is the conductive bump after the 1st screen printing process and a drying process. (B) shows the shape of the conductive bump after the second screen printing step and drying step, (c) shows the shape of the conductive bump after the third screen printing step and drying step, (D) shows the shape of the conductive bump after the fourth screen printing step and drying step.

符号の説明Explanation of symbols

10 基板シート
12 凹部
14 導電性バンプ
16 凸部
20 平板状部材
22 突起
24、26 一対のゴムロール
28 印刷定盤
29 加圧ロール
30 印刷定盤
30a ガイド部材
31 ガイド部材
32 スクリーン版
32a 貫通穴
33 支持部材
34 保持部材
36 スキージ
38 導電性ペースト
39 CCDカメラ
40 非導電性シート
42 緩衝材
50 多層プリント配線板
52、54 一対のゴムローラ
60 平板状部材
62 突起
80 基板シート
82 導電性バンプ
90 印刷定盤
92 スクリーン版
92a 貫通穴
94 保持部材
96 スキージ
98 導電性ペースト
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Substrate sheet | seat 12 Concave part 14 Conductive bump 16 Convex part 20 Flat member 22 Protrusion 24, 26 A pair of rubber roll 28 Printing surface plate 29 Pressure roll 30 Printing surface plate 30a Guide member 31 Guide member 32 Screen plate 32a Through-hole 33 Support Member 34 Holding member 36 Squeegee 38 Conductive paste 39 CCD camera 40 Non-conductive sheet 42 Buffer material 50 Multilayer printed wiring board 52, 54 A pair of rubber rollers 60 Flat plate member 62 Projection 80 Substrate sheet 82 Conductive bump 90 Print surface plate 92 Screen plate 92a Through hole 94 Holding member 96 Squeegee 98 Conductive paste

Claims (3)

複数の導電性バンプが表面に形成された導電性バンプ付基板シートと、非導電性シートとが交互に重ね合わせられており、前記導電性バンプが前記非導電性シートを貫通することにより当該非導電性シートの両側にある導電性バンプ付基板シート同士が前記導電性バンプによって電気的に接続されているような多層プリント配線板を製造するための多層プリント配線板製造方法であって、
平板状の基板シートを準備する工程と、
前記各導電性バンプが形成されるべき各々の箇所において前記平板状の基板シートを変形させることにより、この基板シートにおいて前記各導電性バンプが形成されるべき各々の箇所にそれぞれ凹部を形成する工程と、
複数の凹部が形成された前記基板シートの表面において当該各凹部に導電性バンプを形成させて導電性バンプ付基板シートを製造する工程と、
前記導電性バンプ付基板シートと、前記非導電性シートとを重ね合わせ、この重ね合わせ体を挟圧し、この際に前記導電性バンプ付基板シートにおける前記基板シートに形成された前記各凹部をそれぞれ凸部に変形させ、このようにして前記導電性バンプ付基板シートの前記導電性バンプが前記非導電性シートを突き破るようにする工程と、
前記導電性バンプが前記非導電性シートを突き破ったような前記重ね合わせ体を積層することにより多層プリント配線板を製造する工程と、
を備えたことを特徴とする多層プリント配線板製造方法。
A substrate sheet with conductive bumps having a plurality of conductive bumps formed on the surface and a non-conductive sheet are alternately superposed, and the non-conductive sheet penetrates the non-conductive sheet. A multilayer printed wiring board manufacturing method for manufacturing a multilayer printed wiring board in which the conductive bumped substrate sheets on both sides of the conductive sheet are electrically connected by the conductive bumps,
A step of preparing a flat substrate sheet;
The step of forming a concave portion at each location where each conductive bump is to be formed on the substrate sheet by deforming the flat substrate sheet at each location where each conductive bump is to be formed. When,
Producing a conductive bump-equipped substrate sheet by forming conductive bumps in the concave portions on the surface of the substrate sheet on which a plurality of concave portions are formed;
The substrate sheet with conductive bumps and the non-conductive sheet are overlapped, and the overlapped body is sandwiched between the respective concave portions formed on the substrate sheet in the substrate sheet with conductive bumps. Deforming into a convex portion, and thus making the conductive bumps of the substrate sheet with conductive bumps break through the non-conductive sheet;
A step of producing a multilayer printed wiring board by laminating the superposed body such that the conductive bumps break through the non-conductive sheet;
A multilayer printed wiring board manufacturing method characterized by comprising:
複数の突起が表面に形成された平板状部材を準備する工程を更に備え、
前記導電性バンプ付基板シートと前記非導電性シートとの重ね合わせ体を挟圧する際に、前記平板状部材における前記各突起が設けられた面に前記導電性バンプ付基板シートを載せ、この際に前記平板状部材における前記各突起が設けられた面と前記導電性バンプ付基板シートにおける前記導電性バンプが形成されていない面とが当接するようにし、これらの平板状部材、導電性バンプ付基板シートおよび非導電性シートを一体的に挟圧することにより、前記平板状部材に設けられた前記各突起により前記導電性バンプ付基板シートにおける前記基板シートに形成された前記各凹部をそれぞれ凸部に変形させることを特徴とする請求項1記載の多層プリント配線板製造方法。
Further comprising a step of preparing a plate-like member having a plurality of protrusions formed on the surface,
When sandwiching the overlapped body of the substrate sheet with conductive bumps and the non-conductive sheet, the substrate sheet with conductive bumps is placed on the surface of the flat plate member on which the projections are provided. So that the surface of the flat plate member on which the projections are provided and the surface of the substrate sheet with conductive bumps on which the conductive bumps are not formed are in contact with each other. By projecting the substrate sheet and the non-conductive sheet together, the respective protrusions formed on the substrate sheet in the substrate sheet with the conductive bumps are projected by the projections provided on the flat plate member. The multilayer printed wiring board manufacturing method according to claim 1, wherein the multilayer printed wiring board is deformed.
前記平板状部材には、当該平板状部材に載せられるべき前記導電性バンプ付基板シートにおける前記基板シートに形成された前記各凹部と位置が合うよう、各突起が設けられていることを特徴とする請求項2記載の多層プリント配線板製造方法。   The flat plate member is provided with projections so as to be aligned with the concave portions formed in the substrate sheet of the conductive bump-equipped substrate sheet to be placed on the flat plate member. The method for producing a multilayer printed wiring board according to claim 2.
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