JP2010025888A - Linear gauge - Google Patents

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Michiyasu Shimazaki
導康 島▲崎▼
Hideo Kobayashi
秀雄 小林
Noriaki Yamamoto
規彰 山元
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a linear gauge having further improved low friction properties. <P>SOLUTION: A linear ball bearing 35 is fixed to a frame 31 while a shaft 34 in which a measuring probe 32 and a contacting pin 33 are fixed to both the ends is being inserted. A base 361 of a linear ball slider 36 is fixed to the frame 31 so that the linear movement direction of a slider 362 is in the axial direction of the shaft 34. Also, an energization unit 37 is fixed to the frame 31 to energize a slit holder 372 fixed onto the upper surface of the slider 362 in the direction of the side of the measuring probe of the shaft 34 by a spring 373, and hence maintains contact between one end of the slit holder 372 and the contacting pin 33 at the tip in the axial direction of the shaft 34 regardless of the displacement of the shaft 34. Then, a slit plate 38 for detecting displacement is fixed to the upper surface of the slit holder 372 displaced in the axial direction of the shaft 34 in linking with the shaft 34 in this manner. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、被計測物の直動方向の変位を測定するリニアゲージの構造に関するものである。   The present invention relates to a structure of a linear gauge that measures a displacement in a linear motion direction of an object to be measured.

リニアゲージにおいて、測定子が先端に設けられたシャフトを支持する構造としては、シャフトを摺動可能に支持する構造(たとえば、特許文献1)や、シャフトをリニアボールベアリングを用いて支持する構造が知られている(たとえば、特許文献2)。ここで、この特許文献2記載のリニアゲージでは、シャフトの測定子側端と反対側の端と摺動し合うテーパ部を備えた移動部材を設け、当該移動部材のシャフトの変位に伴って生じる変位を検出することにより、シャフトの変位を検出している。   In a linear gauge, as a structure for supporting a shaft provided with a probe at the tip, there is a structure for supporting the shaft in a slidable manner (for example, Patent Document 1) or a structure for supporting the shaft using a linear ball bearing. Known (for example, Patent Document 2). Here, in the linear gauge described in Patent Document 2, a moving member having a tapered portion that slides on the end opposite to the probe side end of the shaft is provided, and is generated in accordance with the displacement of the shaft of the moving member. By detecting the displacement, the displacement of the shaft is detected.

また、リニアゲージにおける変位検出の技術としては、シャフトに固定したスリット板に照射した光の反射光や透過光より、シャフトの変位の検出を行う技術も知られている(たとえば、特許文献3)。
特開2003-28602号公報 特開平8-278121号公報 特開2000-193491号公報
Further, as a technique for detecting displacement in a linear gauge, a technique for detecting displacement of a shaft from reflected light or transmitted light of light irradiated on a slit plate fixed to the shaft is also known (for example, Patent Document 3). .
Japanese Patent Laid-Open No. 2003-28602 JP-A-8-278121 JP 2000-193491 A

被計測物の変位に従って直動させるシャフトをリニアボールベアリングを用いて支持する構造は、シャフトを摺動可能に支持する構造に比べ、低摩擦性に優れるため、測定精度を向上する上で好ましい。
しかし、リニアボールベアリングは、シャフトに対して、直動運動の他に、直動方向を軸とする回転運動も許容するために、前記特許文献3のようにシャフトに固定したスリット板を用いて変位の検出を行う場合には、スリット板をシャフトと共に回転させてしまい正常な変位の検出を阻害してしまう。一方、前記特許文献2のように、シャフトの端と摺動するテーパ部を備えた移動部材を設けると、当該摺動による摩擦によって、測定精度が劣化してしまうことになる。
The structure in which the shaft that is linearly moved according to the displacement of the object to be measured is supported by using a linear ball bearing is preferable in terms of improving measurement accuracy because it is excellent in low friction as compared with the structure in which the shaft is slidably supported.
However, the linear ball bearing uses a slit plate fixed to the shaft as described in Patent Document 3 in order to allow a rotational motion about the linear motion direction as well as a linear motion relative to the shaft. When detecting displacement, the slit plate is rotated together with the shaft, and normal displacement detection is hindered. On the other hand, when a moving member having a tapered portion that slides with the end of the shaft is provided as in Patent Document 2, the measurement accuracy deteriorates due to friction caused by the sliding.

そこで、本発明は、より低摩擦性に優れたリニアゲージを提供することを課題とする。   Then, this invention makes it a subject to provide the linear gauge excellent in the low friction property.

前記課題達成のために、本発明は、被計測物の一軸方向の変位を計測するリニアゲージを、フレームと、前記フレームに固定された、リニアボールベアリングと、一端に測定子が他端に当接部が設けられた、前記リニアボールベアリングによって直動可能に支持されたシャフトと、前記フレームに固定されたベースと、前記ベースに転がり軸受を介して支持された前記ベースに対して前記一軸方向に直動するスライド部材と、前記スライド部材に固定されたゲージと、前記スライド部材を付勢する付勢部材と、前記ゲージの前記一軸方向の移動を非接触で検出する移動検出部とを含めて構成し、前記スライド部材が、前記付勢部材の付勢力によって、前記シャフトの当接部と前記一軸方向に当接すると共に、当該当接を維持したまま前記シャフトの前記一軸方向の変位に伴って前記一軸方向に変位するようにしたものである。   In order to achieve the above object, the present invention provides a linear gauge for measuring a uniaxial displacement of an object to be measured, a frame, a linear ball bearing fixed to the frame, and a probe at one end against the other end. A shaft that is supported by the linear ball bearing so as to be linearly movable, a base that is fixed to the frame, and a uniaxial direction with respect to the base that is supported by the base via a rolling bearing. A slide member that moves linearly, a gauge that is fixed to the slide member, a biasing member that biases the slide member, and a movement detector that detects the movement of the gauge in the uniaxial direction in a non-contact manner. The sliding member is in contact with the abutting portion of the shaft in the uniaxial direction by the urging force of the urging member, and the shaft is maintained while maintaining the abutting. It is obtained so as to displace in the axial direction along with the axial direction of the displacement of the bets.

このようなリニアゲージによれば、リニアボールベアリングによってシャフトを直動可能に支持しつつ、ベースと当該ベースに転がり軸受を介して支持されたスライド部材によってゲージを直動可能に支持し、当該ゲージがシャフトと連動して両者の一軸方向に直動するようにしている。すなわち、各部の直動は、全て転がり軸受を用いた機構によって実現されるので、各部の直動に対する優れた低摩擦性を実現することができる。また、シャフトとゲージとは固定されておらず、両者の一軸方向の直動の連動は、シャフトの当接部と、ゲージを固定したスライド部材との前記一軸方向の当接のみによって実現されているため、シャフトが当該シャフトの軸回りに回転しても、この回転はスライド部材に伝わらず、スライド部材に固定されたたゲージが回転することはない。   According to such a linear gauge, while the shaft is supported by the linear ball bearing so as to be linearly movable, the gauge is supported by the base and the slide member supported by the base via the rolling bearing so as to be linearly movable. Is interlocked with the shaft so as to move in one axial direction. That is, since the linear motion of each part is realized by a mechanism using a rolling bearing, it is possible to realize excellent low friction with respect to the linear motion of each part. Also, the shaft and the gauge are not fixed, and the uniaxial linear movement of both is realized only by the contact of the shaft and the slide member with the gauge fixed in the uniaxial direction. Therefore, even if the shaft rotates around the axis of the shaft, this rotation is not transmitted to the slide member, and the gauge fixed to the slide member does not rotate.

よって、低摩擦性を維持しつつ、正常に変位の検出を行うことができる。
なお、このようなリニアゲージは、前記スライド部材を、前記ベースに転がり軸受を介して支持された前記ベースに対して直動するスライダと、前記スライダに固定された、ゲージホルダとより構成すると共に、前記ゲージを、前記ゲージホルダに固定し、前記付勢部材は、一端が前記フレームに固定され他端が前記ゲージホルダに連結されたバネとし、前記当接部を、前記ゲージホルダと前記一軸方向に当接させるように構成してもよい。
Therefore, it is possible to detect displacement normally while maintaining low friction.
In this linear gauge, the slide member is composed of a slider that moves linearly with respect to the base supported on the base via a rolling bearing, and a gauge holder that is fixed to the slider. The gauge is fixed to the gauge holder, the biasing member is a spring having one end fixed to the frame and the other end connected to the gauge holder, and the abutting portion is uniaxial with the gauge holder. You may comprise so that it may contact | abut to a direction.

以上のように、本発明によれば、より低摩擦性に優れたリニアゲージを提供することができる。   As described above, according to the present invention, it is possible to provide a linear gauge that is more excellent in low friction.

以下、本発明の実施形態を説明する。
図1aに本実施形態に係るリニアゲージの分解図を、図1bにリニアゲージの組立図を示す。
図示するように、リニアゲージは、大別して、検出ブロック1、連結ステイ2、可動機構ブロック3、ケース4とより構成される。
そして、検出ブロック1は、投光ブロック11と、受光測定ブロック12とより構成される。投光ブロック11は、光学ホルダ111に、LED112とレンズ113とを、スペーサ114や固定蓋115を用いて組み付けて構成される。また、受光測定ブロック12は、受光素子や信号処理回路を搭載した回路基盤121に、固定スリット板122を装着した固定ホルダ123をネジ124で固定することにより構成される。また、このネジ124によって、併せて、光学ホルダ111を回路基盤121に固定することにより、検出ブロック1の全体が一体化される。ここで、光学ホルダ111は、回路基盤121に固定された状態で、固定スリット板122と、光学ホルダ111に固定されたレンズ113との間に、間隙が生じる形状を有しており、LED112から出射された光はレンズ113、固定スリット板122とレンズ113との間の間隙、固定スリット板122を順次通過して、回路基盤121の受光素子に入射する。
Embodiments of the present invention will be described below.
FIG. 1a shows an exploded view of the linear gauge according to this embodiment, and FIG. 1b shows an assembly view of the linear gauge.
As shown in the figure, the linear gauge is roughly composed of a detection block 1, a connecting stay 2, a movable mechanism block 3, and a case 4.
The detection block 1 includes a light projecting block 11 and a light receiving measurement block 12. The light projecting block 11 is configured by assembling an LED 112 and a lens 113 to an optical holder 111 using a spacer 114 and a fixed lid 115. The light receiving measurement block 12 is configured by fixing a fixing holder 123 with a fixing slit plate 122 to a circuit board 121 on which a light receiving element and a signal processing circuit are mounted with screws 124. Further, the entire detection block 1 is integrated by fixing the optical holder 111 to the circuit board 121 together with the screw 124. Here, the optical holder 111 has a shape in which a gap is generated between the fixed slit plate 122 and the lens 113 fixed to the optical holder 111 while being fixed to the circuit board 121. The emitted light sequentially passes through the lens 113, the gap between the fixed slit plate 122 and the lens 113, and the fixed slit plate 122, and enters the light receiving element of the circuit board 121.

次に、可動機構ブロック3は、フレーム31と、測定子32が一端に他端に当接ピン33が固定されたシャフト34と、シャフト34の直動を案内する、ミニチュアストロークベアリングなどの高精度のリニアボールベアリング35と、ボールベアリングを用いたリニアガイドであるリニアボールスライド36と、付勢ユニット37と、スリット板38と、Oリング39と、固定ネジ40とより構成される。   Next, the movable mechanism block 3 includes a frame 31, a shaft 34 having a measuring element 32 at one end and a contact pin 33 fixed at the other end, and a high precision such as a miniature stroke bearing that guides the linear movement of the shaft 34. Linear ball bearing 35, linear ball slide 36 that is a linear guide using the ball bearing, urging unit 37, slit plate 38, O-ring 39, and fixing screw 40.

そして、リニアボールベアリング35は、各端に測定子32と当接ピン33が固定されたシャフト34が挿入された状態で、防塵密閉用のOリング39を介してフレーム31に固定され、これによりシャフト34は、シャフト34の軸方向に直動可能にフレーム31に組み付けられる。なお、リニアボールベアリング35には、シャフト34がリニアボールベアリング35から抜け落ちないようにするための抜け止めも設けられている。   The linear ball bearing 35 is fixed to the frame 31 via the dust-proof hermetic O-ring 39 with the shaft 34 having the measuring element 32 and the contact pin 33 fixed at each end. The shaft 34 is assembled to the frame 31 so as to be linearly movable in the axial direction of the shaft 34. The linear ball bearing 35 is also provided with a stopper for preventing the shaft 34 from falling off the linear ball bearing 35.

ここで、リニアボールスライド36は、図2a1に示すように、ベース361と、ベース361に組み込まれたボールベアリングを介してベース361に支持され、図2a2に示すようにベース361に対して直動するスライダ362とを有する。なお、ベース361には、スライダ362がベース361から抜け落ちないようにするための抜け止めも設けられている。なお、このようなリニアボールスライド36において、スライダ362は、ころ軸受け等の他の転がり軸受けによってベース361に支持されるものであってもよい。   Here, the linear ball slide 36 is supported by the base 361 via a base 361 and a ball bearing incorporated in the base 361 as shown in FIG. 2a1, and linearly moves with respect to the base 361 as shown in FIG. 2a2. And a slider 362. Note that the base 361 is also provided with a stopper for preventing the slider 362 from falling off the base 361. In such a linear ball slide 36, the slider 362 may be supported on the base 361 by another rolling bearing such as a roller bearing.

また、付勢ユニット37は、図2b1に示すように、アンカ部371と、スリットホルダ372と、アンカ部371とスリットホルダ372とを連結するバネ373とを有し、図2b2に示すように、スリットホルダ372は、バネ373によってアンカ部方方向に付勢された状態で、アンカ部371に対して移動可能に設けられている。   Further, as shown in FIG. 2b1, the urging unit 37 has an anchor portion 371, a slit holder 372, and a spring 373 that couples the anchor portion 371 and the slit holder 372. As shown in FIG. The slit holder 372 is provided so as to be movable with respect to the anchor portion 371 in a state in which the slit holder 372 is biased in the direction of the anchor portion by the spring 373.

そして、図1aに示すように、スリット板38は、付勢ユニット37のスリットホルダ372の上面に接着材などを用いて固定され、付勢ユニット37のスリットホルダ372は、リニアボールスライド36のスライダ362の上面に接着材などを用いて固定される。
そして、リニアボールスライド36のベース361は、図2c1に示すように、リニアボールスライド36のスライダ362の直動方向が、フレーム31に上述のように組み付けられたシャフト34の軸方向となるように、フレーム31に固定ネジ40によって固定される。また、リニアボールスライド36のベース361は、シャフト34を測定子32側に最大量移動させた状態において、シャフト34の先端の当接ピン33と、スライダ362に固定したスリットホルダ372の直動方向の一端が、シャフト34の軸方向に当接し、かつ、その状態からスライダ362とスリットホルダ372とが、当接ピン33と当接させた一端の逆側の端方向に直動できるようにするように、フレーム31に固定される。また、付勢ユニット37のアンカ部371は、バネ373の縮み方向がシャフト34の測定子側方向となるように、リニアボールスライド36よりもシャフト34の測定子32側において、フレーム31に固定ネジ40によって固定される。
As shown in FIG. 1 a, the slit plate 38 is fixed to the upper surface of the slit holder 372 of the biasing unit 37 using an adhesive or the like, and the slit holder 372 of the biasing unit 37 is a slider of the linear ball slide 36. The upper surface of 362 is fixed using an adhesive or the like.
As shown in FIG. 2 c 1, the base 361 of the linear ball slide 36 is arranged so that the linear movement direction of the slider 362 of the linear ball slide 36 is the axial direction of the shaft 34 assembled to the frame 31 as described above. The frame 31 is fixed by a fixing screw 40. Further, the base 361 of the linear ball slide 36 has a linear movement direction of the contact pin 33 at the tip of the shaft 34 and the slit holder 372 fixed to the slider 362 in a state where the shaft 34 is moved to the measuring element 32 by the maximum amount. One end of the slider 34 abuts in the axial direction of the shaft 34, and from this state, the slider 362 and the slit holder 372 can linearly move in the end direction opposite to the one end abutted on the abutting pin 33. Thus, the frame 31 is fixed. Further, the anchor portion 371 of the urging unit 37 is fixed to the frame 31 on the probe 32 side of the shaft 34 with respect to the linear ball slide 36 so that the contraction direction of the spring 373 becomes the probe side direction of the shaft 34. 40 is fixed.

この結果、図2c1、c2に示すように、シャフト34の軸方向の直動に連動して、付勢ユニット37のスリットホルダ372がスリット板38共々、バネ373による付勢力によって、当接ピン33との接触を維持しながら、シャフト34の軸方向に移動することになる。一方、当接ピン33とスリットホルダ372とは固定されていないので、シャフト34がシャフト34の軸回りに回転しても、これに伴って、スリットホルダ372やスリット板38が回転しまうことはなく、シャフト34の軸回りのスリット板38の角度は一定に保たれる。   As a result, as shown in FIGS. 2 c 1 and c 2, the slit holder 372 of the urging unit 37 is moved together with the slit plate 38 by the urging force of the spring 373 in conjunction with the axial movement of the shaft 34. It moves in the axial direction of the shaft 34 while maintaining the contact. On the other hand, since the contact pin 33 and the slit holder 372 are not fixed, even if the shaft 34 rotates around the axis of the shaft 34, the slit holder 372 and the slit plate 38 do not rotate accordingly. The angle of the slit plate 38 around the axis of the shaft 34 is kept constant.

さて、図1に戻り、リニアゲージの全体は、可動機構ブロック3のフレーム31と検出ブロック1の光学ホルダ111とを、連結ステイ2によって連結して、ケース4に収容することにより一体として構成される。
また、可動機構ブロック3のフレーム31と検出ブロック1との間隔は、図3a、bに示すように、スリット板38の一部が、上述した固定スリット板122とレンズ113との間の間隙に挿入され、シャフト34の直動に伴ってスリット板38が、固定スリット板122とレンズ113との間で直動するように設定されている。
Now, referring back to FIG. 1, the entire linear gauge is integrally formed by connecting the frame 31 of the movable mechanism block 3 and the optical holder 111 of the detection block 1 by the connecting stay 2 and housing the case in the case 4. The
In addition, as shown in FIGS. 3A and 3B, the gap between the frame 31 of the movable mechanism block 3 and the detection block 1 is such that a part of the slit plate 38 is in the gap between the fixed slit plate 122 and the lens 113 described above. Inserted and set so that the slit plate 38 linearly moves between the fixed slit plate 122 and the lens 113 as the shaft 34 moves linearly.

ここで、スリット板38には複数のスリットが設けられており、当該スリットで、スリット板38を透過する光を、スリット板38の変位量に応じて空間的にエンコードすることによりゲージの役割を果たす。また、固定スリット板122には、スリット板38で空間的にエンコードされた後に固定スリット板122を透過する光を、スリット板38の変位量を強度で、スリット板38の移動方向を位相で表す光にデコードするための複数のスリットが設けられている。
そして、回路基盤121に搭載された信号処理回路は、LED112から出射され、スリット板38、固定スリット板122を透過した光を、受光素子で検出し、検出した光よりスリット板38の移動速度や移動方向を検出する。
したがって、以上のような構成によれば、測定子32を測定対象物に当接させると、測定対象物の測定子32との当接箇所のシャフト34の軸方向の変位に倣ってスリット板38がシャフト34の軸方向に変位し、この変位が、回路基盤121に搭載された信号処理回路で測定されることになる。
Here, the slit plate 38 is provided with a plurality of slits, and the role of the gauge is obtained by spatially encoding light transmitted through the slit plate 38 in accordance with the amount of displacement of the slit plate 38. Fulfill. The fixed slit plate 122 expresses light that is spatially encoded by the slit plate 38 and then passes through the fixed slit plate 122. The displacement amount of the slit plate 38 is expressed by intensity, and the moving direction of the slit plate 38 is expressed by phase. A plurality of slits are provided for decoding light.
The signal processing circuit mounted on the circuit board 121 detects the light emitted from the LED 112 and transmitted through the slit plate 38 and the fixed slit plate 122 by the light receiving element. Detect the moving direction.
Therefore, according to the configuration as described above, when the probe 32 is brought into contact with the measurement object, the slit plate 38 follows the axial displacement of the shaft 34 at the contact point of the measurement object with the measurement element 32. Is displaced in the axial direction of the shaft 34, and this displacement is measured by a signal processing circuit mounted on the circuit board 121.

以上、本発明の実施形態について説明した。
以上のように、本実施形態によれば、リニアボールベアリング35によってシャフト34を直動可能に支持しつつ、スリット板38をリニアボールスライド36で直動可能に支持する。すなわち、各部の直動は、全てボールベアリングやころ軸受等の転がり軸受を用いた機構によって実現されるので、各部の直動に対する優れた低摩擦性を実現することができる。また、シャフト34とスリット板38とは固定されておらず、両者の一軸方向の移動の連動は、シャフト34の当接ピン33とスリットホルダ372との当接のみによって実現されているため、シャフト34が当該シャフト34の軸回りに回転しても、この回転はスリットホルダ372には伝わらず、スリットホルダ372に固定されたたスリット板38が回転することはない。よって、低摩擦性を維持しつつ、正常に変位の検出を行うことができる。
The embodiment of the present invention has been described above.
As described above, according to this embodiment, the slit plate 38 is supported by the linear ball slide 36 so as to be linearly movable while the shaft 34 is supported by the linear ball bearing 35 so as to be linearly movable. That is, since the linear motion of each part is realized by a mechanism using a rolling bearing such as a ball bearing or a roller bearing, it is possible to realize excellent low friction with respect to the linear motion of each part. Further, the shaft 34 and the slit plate 38 are not fixed, and the uniaxial movement of both is realized only by the contact between the contact pin 33 of the shaft 34 and the slit holder 372. Even if 34 rotates around the axis of the shaft 34, this rotation is not transmitted to the slit holder 372, and the slit plate 38 fixed to the slit holder 372 does not rotate. Therefore, it is possible to detect displacement normally while maintaining low friction.

本発明の実施形態に係るリニアゲージの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the linear gauge which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るリニアゲージの可動機構を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the movable mechanism of the linear gauge which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るリニアゲージの測定の仕組を示す図である。It is a figure which shows the structure of the measurement of the linear gauge which concerns on embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1…検出ブロック、2…連結ステイ、3…可動機構ブロック、4…ケース、11…投光ブロック、12…受光測定ブロック、31…フレーム、32…測定子、33…当接ピン、34…シャフト、35…リニアボールベアリング、36…リニアボールスライド、37…付勢ユニット、38…スリット板、39…Oリング、40…固定ネジ、111…光学ホルダ、112…LED、113…レンズ、114…スペーサ、115…固定蓋、121…回路基盤、122…固定スリット板、123…固定ホルダ、124…ネジ、361…ベース、362…スライダ、371…アンカ部、372…スリットホルダ、373…バネ。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Detection block, 2 ... Connection stay, 3 ... Movable mechanism block, 4 ... Case, 11 ... Light emission block, 12 ... Light reception measurement block, 31 ... Frame, 32 ... Measuring element, 33 ... Contact pin, 34 ... Shaft 35 ... Linear ball bearing, 36 ... Linear ball slide, 37 ... Biasing unit, 38 ... Slit plate, 39 ... O-ring, 40 ... Fixing screw, 111 ... Optical holder, 112 ... LED, 113 ... Lens, 114 ... Spacer 115, fixed lid, 121, circuit board, 122, fixed slit plate, 123, fixed holder, 124, screw, 361, base, 362, slider, 371, anchor portion, 372, slit holder, 373, spring.

Claims (2)

被計測物の一軸方向の変位を計測するリニアゲージであって、
フレームと、
前記フレームに固定された、リニアボールベアリングと、
一端に測定子が他端に当接部が設けられた、前記リニアボールベアリングによって直動可能に支持されたシャフトと、
前記フレームに固定されたベースと、
前記ベースに転がり軸受を介して支持された前記ベースに対して前記一軸方向に直動するスライド部材と、
前記スライド部材に固定されたゲージと、
前記スライド部材を付勢する付勢部材と、
前記ゲージの前記一軸方向の移動を非接触で検出する移動検出部とを有し、
前記スライド部材は、前記付勢部材の付勢力によって、前記シャフトの当接部と前記一軸方向に当接すると共に、当該当接を維持したまま前記シャフトの前記一軸方向の変位に伴って前記一軸方向に変位することを特徴とするリニアゲージ。
A linear gauge that measures the displacement in one axis direction of the measured object,
Frame,
A linear ball bearing fixed to the frame;
A shaft having a measuring element at one end and a contact portion at the other end, and supported by the linear ball bearing so as to be linearly movable;
A base fixed to the frame;
A sliding member that linearly moves in the uniaxial direction with respect to the base supported by the base via a rolling bearing;
A gauge fixed to the slide member;
A biasing member for biasing the slide member;
A movement detector for detecting the movement of the gauge in the uniaxial direction without contact;
The sliding member is in contact with the abutting portion of the shaft in the uniaxial direction by the urging force of the urging member, and the uniaxial direction is accompanied by the uniaxial displacement of the shaft while maintaining the abutting. A linear gauge characterized by displacement.
請求項1記載のリニアゲージであって、
前記スライド部材は、
前記ベースに転がり軸受を介して支持された前記ベースに対して直動するスライダと、
前記スライダに固定された、ゲージホルダとより構成され、
前記ゲージは、前記ゲージホルダに固定され、
前記付勢部材は、一端が前記フレームに固定され他端が前記ゲージホルダに連結されたバネであり、
前記当接部は、前記ゲージホルダと前記一軸方向に当接していることを特徴とするリニアゲージ。
The linear gauge according to claim 1,
The slide member is
A slider that moves linearly with respect to the base supported by a rolling bearing on the base;
It is composed of a gauge holder fixed to the slider,
The gauge is fixed to the gauge holder,
The biasing member is a spring having one end fixed to the frame and the other end connected to the gauge holder,
The linear gauge, wherein the contact portion is in contact with the gauge holder in the uniaxial direction.
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