JP2010018740A - Apparatus and method for lamination - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、第1の部材の上に可撓性を有するシート状(パネル状又はフィルム状)の第2の部材を貼り合わせる貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法に関する。 The present invention relates to a laminating apparatus and a laminating method for laminating a flexible sheet-like (panel-like or film-like) second member on a first member.
電子機器の製造工程には、シート状の部材を貼り合わせる工程が種々存在する。例えばテレビやコンピュータのディスプレイに使用される液晶表示装置では、表示パネルの上に光学フィルムを貼り合わせる工程が存在する。また、カラー表示が可能なコレステリック液晶表示装置は、赤色用表示パネル、緑色用表示パネル及び青色用表示パネルの3枚の表示パネルを接着剤で貼り合わせて作製される。この種の電子機器では、接合部に気泡が入ると表示品質が著しく損なわれる。そのため、シート状の部材の接合は、気泡が入らないように注意して行われる。 There are various processes for bonding sheet-like members in the manufacturing process of electronic devices. For example, in a liquid crystal display device used for a display of a television or a computer, there is a step of attaching an optical film on a display panel. A cholesteric liquid crystal display device capable of color display is manufactured by bonding three display panels of a red display panel, a green display panel, and a blue display panel with an adhesive. In this type of electronic device, the display quality is significantly impaired when air bubbles enter the joint. Therefore, the sheet-like members are joined with care so that bubbles do not enter.
従来、接着剤(シール材)を付着した一対の基板をエアーにより浮上させながら接合する技術や、対向して配置された一対のドーム形状の支持部材の表面にそれぞれウェハを支持し、エアーによりウェハを押し出して接合する技術が知られている。
接合部に気泡が入らないようにするためには、例えばシート状の部材を貼り合わせるときに、シートの上をローラーで押圧して気泡を接合部から押し出すことが考えられる。しかし、その場合は気泡とともに余剰の接着剤も接合部の外側に押し出してしまう。 In order to prevent bubbles from entering the joint portion, for example, when a sheet-like member is bonded, it is conceivable to press the top of the sheet with a roller to push out the bubbles from the joint portion. However, in that case, excess adhesive is pushed out to the outside of the joint as well as bubbles.
液晶表示装置の場合、表示パネルの端部には駆動回路と接続するための端子が設けられているものがあり、これらの端子が接着剤に覆われると駆動回路と電気的に接続することができなくなる。そのため、端子に付着した接着剤を除去する工程が必要になる。また、ローラーの回転に巻き込まれて接合部に気泡が残ってしまうこともある。従って、接着剤がはみ出しにくく、気泡をより確実に除去できる貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法が要望されている。 In the case of a liquid crystal display device, there is a display panel provided with terminals for connection to a drive circuit at the end of the display panel. When these terminals are covered with an adhesive, the display panel may be electrically connected to the drive circuit. become unable. Therefore, the process of removing the adhesive agent adhering to a terminal is needed. In addition, air bubbles may remain in the joint due to the rotation of the roller. Therefore, there is a demand for a bonding apparatus and a bonding method that prevent adhesives from sticking out and more reliably remove bubbles.
一観点によれば、第1の部材、接着剤及び可撓性を有するシート状の第2の部材を積層してなる被処理物を支持する支持部と、相互に離隔して配列された複数の圧力印加部材を備え、前記圧力印加部材により前記被処理物の前記第2の部材に前記支持部と反対側から圧力を印加する押さえ治具と、前記押さえ治具を前記被処理物に沿って相対的に移動させる移動部とを有する貼り合わせ装置が提供される。 According to one aspect, a plurality of support members that support a workpiece formed by stacking a first member, an adhesive, and a flexible sheet-like second member, and a plurality of the support members that are spaced apart from each other. A pressing jig that applies pressure to the second member of the object to be processed from the side opposite to the support portion by the pressure applying member; and the pressing jig along the object to be processed And a moving unit that relatively moves the bonding device.
また、他の一観点によれば、第1の部材、接着剤及び可撓性を有するシート状の第2の部材を積層してなる被処理物を支持部上に配置する工程と、相互に離隔して配列された複数の圧力印加部材を備えた押さえ治具により前記被処理物の前記第2の部材に前記支持部と反対側から圧力を印加する工程と、前記押さえ治具を前記被処理物に沿って相対的に移動する工程とを有する貼り合わせ方法が提供される。 Moreover, according to another one viewpoint, the process which arrange | positions the to-be-processed object formed by laminating | stacking the 1st member, an adhesive agent, and the flexible sheet-like 2nd member on a support part, and mutual A step of applying pressure to the second member of the object to be processed from the side opposite to the support portion by a pressing jig provided with a plurality of pressure applying members arranged apart from each other; and There is provided a bonding method including a step of relatively moving along a processed object.
更に、他の一観点によれば、第1の部材、接着剤及び可撓性を有するシート状の第2の部材を積層してなる被処理物を支持する支持部と、前記第1の部材と前記第2の部材との接合部に対応する領域に複数の圧力印加部材が配列して設けられた押さえ治具と、前記押さえ治具の前記圧力印加部材を所定の順番で駆動して前記被処理物に圧力を印加する圧力印加部材駆動部と、前記圧力印加部材駆動部を制御する制御部とを有する貼り合わせ装置が提供される。 Further, according to another aspect, the first member, an adhesive, and a support portion that supports an object to be processed formed by laminating a flexible sheet-like second member; and the first member And a pressing jig provided with a plurality of pressure applying members arranged in a region corresponding to a joint portion between the second member and the pressure member, and driving the pressure applying members of the pressing jig in a predetermined order. There is provided a bonding apparatus including a pressure application member driving unit that applies pressure to an object to be processed and a control unit that controls the pressure application member driving unit.
更にまた、他の一観点によれば、第1の部材、接着剤及び可撓性を有するシート状の第2の部材を積層してなる被処理物を支持する支持部と、圧力印加部材を備え、前記圧力印加部材により前記被処理物の前記第2の部材に前記支持部と反対側から圧力を印加する押さえ治具と、前記押さえ治具を前記被処理物に沿って走査して前記第1の部材と前記第2の部材との接合部全体に圧力を印加する走査部と、前記走査部を制御する制御部とを有する貼り合わせ装置が提供される。 Still further, according to another aspect, a support portion for supporting an object to be processed formed by laminating a first member, an adhesive, and a flexible sheet-like second member, and a pressure applying member. And a pressing jig for applying pressure to the second member of the object to be processed from the side opposite to the support portion by the pressure applying member, and scanning the pressing jig along the object to be processed. A bonding apparatus is provided that includes a scanning unit that applies pressure to the entire joint portion between the first member and the second member, and a control unit that controls the scanning unit.
更にまた、他の一観点によれば、第1の部材、接着剤及び可撓性を有するシート状の第2の部材を積層してなる被処理物を支持部上に配置する工程と、圧力印加部材を備えた押さえ治具により前記被処理物の前記第2の部材に圧力を印加する工程と、前記押さえ治具を前記被処理物に沿って走査して前記第1の部材と前記第2の部材との接合部全体に圧力を印加する工程とを有する貼り合わせ方法が提供される。 Still further, according to another aspect, the step of placing on the supporting portion a workpiece formed by laminating the first member, the adhesive, and the flexible sheet-like second member, and pressure Applying a pressure to the second member of the object to be processed by a pressing jig provided with an applying member; scanning the pressing jig along the object to be processed; And a step of applying pressure to the entire joint with the two members.
上記一観点の貼り合せ装置及び貼り合せ方法においては、相互に離隔して配置された複数の圧力印加部材を有する押さえ治具を使用する。この押さえ治具を、第1の部材、接着剤及び第2の部材を積層してなる被処理部材の上に配置し、被処理物に沿って移動する。第1の部材と第2の部材との間に気泡がある場合、気泡は、圧力印加部材により圧力が加えられた接着剤に押されて、押さえ治具の移動とともに移動する。そして、最終的に、接合部の外側に押し出される。このようにして、第1の部材と第2の部材との間の気泡が除去される。 In the bonding apparatus and the bonding method according to the one aspect, a pressing jig having a plurality of pressure application members arranged apart from each other is used. This holding jig is arranged on a member to be processed formed by laminating a first member, an adhesive, and a second member, and moves along the object to be processed. When there is a bubble between the first member and the second member, the bubble is pushed by the adhesive applied with pressure by the pressure application member, and moves with the movement of the holding jig. And finally, it is pushed out of the joint. In this way, bubbles between the first member and the second member are removed.
また、押さえ治具には複数の圧力印加部材が相互に離隔して配置されているので、第1の部材及び第2の部材間の接着剤は押さえ治具が移動したときに圧力印加部材の間の隙間を通り抜ける。このため、押さえ治具の移動方向に移動する接着剤の量が少なく、その結果接合部の外側に押し出される接着剤の量も少なくなる。 In addition, since the pressure jig includes a plurality of pressure application members that are spaced apart from each other, the adhesive between the first member and the second member is applied to the pressure application member when the pressure jig moves. Go through the gap between them. For this reason, the amount of the adhesive that moves in the moving direction of the pressing jig is small, and as a result, the amount of the adhesive that is pushed out to the outside of the joint is also small.
上記他の観点の貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法においては、圧力印加部材を備えた押さえ治具を被処理物に沿って走査して、接合部全体に圧力を印加する。この場合、第1の部材と第2の部材との間に気泡があると、押さえ治具に移動にともなって気泡が移動し、最終的に気泡は接合部の外側に押し出される。一方、圧力印加部材の近傍の接着剤は圧力印加部材の周囲を通って圧力印加部材の移動方向の後側に容易に移動する。このため、接合部の外側に押し出される接着剤の量が少なくなる。 In the bonding apparatus and the bonding method according to the other aspect described above, a pressure jig provided with a pressure application member is scanned along the workpiece to apply pressure to the entire joint. In this case, if there is a bubble between the first member and the second member, the bubble moves with the movement of the holding jig, and the bubble is finally pushed out of the joint. On the other hand, the adhesive in the vicinity of the pressure application member easily moves to the rear side in the movement direction of the pressure application member through the periphery of the pressure application member. For this reason, the quantity of the adhesive agent extruded to the outer side of a junction part decreases.
以下、実施形態について、添付の図面を参照して説明する。 Hereinafter, embodiments will be described with reference to the accompanying drawings.
(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態に係る貼り合わせ装置の構成を示す模式図である。また、図2(a)はその貼り合わせ装置の押さえ治具22を下側から見た平面図(下面図)、図2(b)は同じくその押さえ治具22の正面図である。更に、図3は第1の実施形態に係る貼り合わせ装置を使用した貼り合わせ方法を示す模式図である。
(First embodiment)
FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a configuration of a bonding apparatus according to the first embodiment. FIG. 2A is a plan view (bottom view) of the
図1に示すように、本実施形態に係る貼り合わせ装置は、テーブル(支持部)21と、押さえ治具22と、ガイドレール23と、押さえ治具駆動部(移動部)24と、制御部25とを有している。
As shown in FIG. 1, the bonding apparatus according to the present embodiment includes a table (supporting portion) 21, a
テーブル21は例えば表面が平坦なガラス板により形成されている。貼り合せる2枚のシート31,32(第1の部材及び第2の部材)は、後述するように一方のシート31の上側の面に接着剤が塗布されてテーブル21上に載置される。
The table 21 is formed of a glass plate having a flat surface, for example. The two
テーブル21の上方には押さえ治具22が配置されている。この押さえ治具22は押さえ治具駆動部24により駆動され、ガイドレール23に沿ってテーブル21に平行な方向に移動する。制御部25は、押さえ治具駆動部24を介して押さえ治具22の移動を制御する。
A
図2(a),(b)に示すように、押さえ治具22の下面側には複数の円柱状の突起22aが千鳥状に配置されている。これらの突起22aの下端側は半球状に形成されている。なお、図2(a)のY軸方向が貼り合わせ時の押さえ治具22の移動方向である。
As shown in FIGS. 2A and 2B, a plurality of
突起22aは例えばPOM(ポリアセタール)等のようにすべり摩擦が小さい樹脂により形成されている。突起22aの直径は例えば1mm、縦方向及び横方向(図2(a)のX軸方向及びY軸方向)の配列ピッチは例えば5mmである。押さえ治具22には、図2(b)に模式的に示すように、突起22aをシート31,32に向けて適度の圧力で押し付けるばね22b(付勢部材)が設けられていることが好ましい。押さえ治具22の幅(X軸方向の長さ)は、接合するシート31,32の幅と同じか又はそれよりも若干大きく設定されている。
The
図3に示すように、一方のシート31の上側の面には接着剤33が塗布されており、その上に他方のシート32を接合する。少なくとも上側のシート32は可撓性を有しており、シート31に接合するときには図3に示すように上側に若干湾曲又は傾斜させて配置する。そして、シート32の上に押さえ治具22を配置してシート32に圧力を印加し、この押さえ治具22を一方の側から他方の側に向けて徐々に移動する。使用する接着剤にもよるが、押さえ治具22の移動速度は、1〜5mm/秒程度とすることが好ましい。
As shown in FIG. 3, an
図4は、押さえ治具22の移動にともなう接着剤の移動を示す模式図である。押さえ治具22によりシート32に圧力を印加すると、シート32のうち突起22aに接触している部分がたわみ、接着剤33に圧力が伝達される。図4において、符号51で示す部分は突起22aにより圧力を最も強く受ける領域を示し、符号52で示す部分は領域51の周囲であって突起22aにより圧力をやや強く受ける領域を示している。また、符号53で示す部分は領域52の周囲であって突起22aにより圧力を強く受ける領域を示し、符号54は領域53の周囲であって突起22aにより圧力を弱く受ける領域を示している。更に、符号55は押圧治具22の突起22aによる圧力が実質的に伝わっていない領域を示している。
FIG. 4 is a schematic diagram showing the movement of the adhesive accompanying the movement of the holding
本実施形態では、押さえ治具22の突起22aが千鳥状に配列されており、適度の圧力でシート32を押圧する。従って、図4に示すように押さえ治具22の移動により突起22aの移動方向の前方の接着剤に圧力が加えられ、その接着剤の圧力により気泡33aが押されてシート31,32の接合部の端部に向けて移動する。そして、最終的に、気泡33aはシート31,32の接合部の外側に押し出される。これにより、シート31,32間に気泡33aが残らないようにすることができる。
In the present embodiment, the
また、押さえ治具22の移動により突起22aの移動方向の前方の接着剤33に圧力が加えられるので、接着剤33は圧力が低いほうに移動する。本実施形態においては、突起22aが千鳥状に配置されているので、接着剤33の一部は図4中に黒矢印で示すように、突起22aの間の圧力が低い領域を通って押さえ治具22の移動方向後方に移動する。これにより、押さえ治具22の移動方向前方の接着剤の量が少なくなり、シート31,32の接合部の外側に押し出される接着剤の量が著しく減少する。従って、シート31,32の端部に配置された端子が接着剤に覆われることがなく、端子に付着した接着剤を除去する工程を省略することができる。
Further, since the pressure is applied to the adhesive 33 in front of the movement direction of the
なお、上記実施形態では押さえ治具22がシート31,32の上を移動する場合について説明したが、押さえ治具22の位置が固定され、シート31,32が移動するようにしてもよい。また、押さえ治具22及びシート31,32の双方が移動するようにしてもよい。
In the above embodiment, the case where the holding
(液晶表示装置)
カラー表示が可能なコレステリック液晶表示装置は、赤色用表示パネル、緑色用表示パネル及び青色用表示パネルを接着剤で張り合わせて作製される。この場合、表示パネル間に気泡が入ると、表示品質は著しく損なわれる。
(Liquid crystal display device)
A cholesteric liquid crystal display device capable of color display is manufactured by bonding together a red display panel, a green display panel, and a blue display panel with an adhesive. In this case, if bubbles enter between the display panels, the display quality is significantly impaired.
図5(a)はコレステリック液晶表示装置の表示パネルの一例を示す平面図、図5(b)は同じくその断面図である。 FIG. 5A is a plan view showing an example of a display panel of a cholesteric liquid crystal display device, and FIG. 5B is a sectional view of the same.
表示パネル35は、図5(b)の断面図に示すように、下側透明基板11と上側透明基板15との間にコレステリック液晶の層13を挟んだ構造を有している。下側透明基板11及び上側透明基板15は、いずれも柔軟性を有する樹脂フィルム等により形成されている。また、透明基板11,15間にはスペーサ(図示せず)が配置されており、透明基板11,15間の間隔を一定に維持している。
The
図5(a),(b)に示すように、透明基板11の上側の面(液晶側の面)には横方向に延びる複数の行電極12が縦方向に一定のピッチで並んで配置されている。また、透明基板15の下側の面(液晶側の面)には、縦方向に延びる複数の列電極14が横方向に一定のピッチで並んで配置されている。
As shown in FIGS. 5A and 5B, a plurality of
行電極12及び列電極14は、表示部(図5中に一点鎖線で示す)の外側まで延び、その先端部は駆動回路に接続する端子となっている。行電極12及び列電極14は、ITO(Indium-Tin Oxide)等の透明導電体からなる。行電極12と列電極14とが交差する部分がそれぞれ画素となっている。各画素毎にコレステリック液晶の状態を電気的に制御することにより、表示パネル32に画像を表示することができる。
The
表示パネル32の表示色は液晶分子の捩じれピッチに関係する。上述した第1の実施形態及び後述する第2〜第4の実施形態のいずれかの貼り合わせ装置を使用して、赤色用表示パネル、緑色用表示パネル及び青色用表示パネルを重ね合わせて接合することにより、カラー表示(多色表示)が可能な表示装置が作製される。
The display color of the
なお、上述した第1の実施形態及び後述する第2〜第4の実施形態の貼り合わせ装置は、液晶パネルの貼り合わせだけでなく、その他のシート状の部材の貼り合わせに使用できることは勿論である。 In addition, it cannot be overemphasized that the bonding apparatus of 1st Embodiment mentioned above and the 2nd-4th embodiment mentioned later can be used not only for bonding of a liquid crystal panel but for bonding of other sheet-like members. is there.
(変形例)
図6(a),(b)は、押さえ治具の変形例1を示す下面図及び正面図である。また、図7(a),(b)は、押さえ治具の変形例2を示す下面図及び正面図である。
(Modification)
6A and 6B are a bottom view and a front view showing Modification 1 of the holding jig. Moreover, Fig.7 (a), (b) is the bottom view and front view which show the modification 2 of a pressing jig.
図6(a),(b)に示す変形例1では、2つの治具ユニット62a,62bを並列に配置して押さえ治具61としている。治具ユニット62aには、複数の突起63aが治具ユニット62aの長手方向に一定のピッチで直線状に並んで配置されている。また、治具ユニット62bにも、複数の突起63bが治具ユニット62bの長手方向に一定のピッチで直線状に並んで配置されている。但し、治具ユニット62aの突起63aの配列を治具ユニット62bの突起63bの配列から1/2ピッチ分ずらして、突起63a,63bが千鳥状に並ぶようにしている。突起63a,63bはPOM等の樹脂により直径が1mmの円柱状に形成されており、その先端は半球状になっている。
In Modification 1 shown in FIGS. 6A and 6B, two
また、図7(a),(b)に示す変形例2では、POM等の樹脂からなる円柱状の突起64aが1個だけ設けられた治具ユニット64を横方向及び縦方向に所定の数だけ並べて押さえ治具65としている。この場合も、突起64aが千鳥状に並ぶようにしている。
7 (a) and 7 (b), a predetermined number of
これらの変形例1,2においては、接合する部材(シート)の大きさ等に応じて複数の治具ユニット(治具ユニット62a,62b,64)を組み合わせて押さえ治具(押さえ治具61,65)とする。従って、種々の大きさのシートの貼り合せに対応することができる。
In these modified examples 1 and 2, a plurality of jig units (
図8は押さえ治具の変形例3を示す下面図、図9(a),(b)はその動作を示す図である。 FIG. 8 is a bottom view showing a third modification of the holding jig, and FIGS. 9A and 9B are views showing the operation thereof.
変形例3の押さえ治具68は、変形例1の押さえ治具61と同様に、並列に配置した2つの治具ユニット62a,62bを有している。これらの治具ユニット62a,62bは、制御部25から供給される信号により駆動するアクチュエータ69a,69bにより上下方向に移動する。
Similar to the holding
図10は、制御部25からアクチュエータ69a,69bに供給される信号のタイミングチャートである。このタイミングチャートにおいて、信号が“H”レベルのときは、治具ユニット62a(又は、治具ユニット62b)が下方に移動して、図9(a)に示すように突起63a(又は、突起63b)がシート32を押圧する。また、信号が“L”レベルのときは、治具ユニット62a(又は治具ユニット62b)が上方に移動して、図9(b)に示すように突起63a(又は、突起63b)がシート32から離れる。なお、押さえ治具ユニット62a,62bを上下させるタイミングは、押さえ治具68の移動速度や接着剤の粘度等に応じて設定する。
FIG. 10 is a timing chart of signals supplied from the
前述したように、第1の実施形態(図1〜図4参照)では、押さえ治具22の移動にともない、接着剤33が突起22aの間の隙間を通って移動方向の後方側に移動する。変形例3では、図9,図10に示すように押さえ治具ユニット62a,62bを順番に上下方向に移動させるので、接着剤33が突起63a,63bの間を通り抜けしやすくなる。これにより、シート31,32の端部への接着剤33のはみ出し量がより一層低減される。
As described above, in the first embodiment (see FIGS. 1 to 4), as the
(第2の実施形態)
図11は、第2の実施形態に係る貼り合わせ装置の構成を示す模式図である。また、図12は、その貼り合わせ装置の押さえ治具72を下から見たときの平面図(下面図)である。
(Second Embodiment)
FIG. 11 is a schematic diagram illustrating a configuration of a bonding apparatus according to the second embodiment. FIG. 12 is a plan view (bottom view) when the
図11に示すように、本実施形態に係る貼り合わせ装置は、テーブル71と、多数の治具ユニットを備えた押さえ治具72と、各治具ユニットを個別に上下動させる多数のアクチュエータからなるアクチュエータ群(圧力印加部材駆動部)74と、水平移動ステージ(XYステージ)75と、垂直移動ステージ(Zステージ)76と、制御部77とを有している。
As shown in FIG. 11, the bonding apparatus according to this embodiment includes a table 71, a holding
テーブル71は、例えば表面が平坦なガラス板により形成されている。このテーブル71の上に、貼り合わせする2枚のシート31,32を接着剤を挟んで載置する。テーブル71の上方には押さえ治具72が配置されている。この押さえ治具72は、下側に突起73が設けられた多数の治具ユニットを有している。押さえ治具72は、シート31,32の接合部と同じ大きさの領域に突起73が一定のピッチ(例えば5mm)で2次元方向に配列していることが必要である。
The table 71 is formed of, for example, a glass plate having a flat surface. On the table 71, the two
ここでは、説明を簡単にするために、図12に示すように、押さえ治具72には4つの治具ユニット72a〜72dが設けられているものとする。この場合、アクチュエータ群74は4つのアクチュエータ74a〜74dからなる。また、治具ユニット72a〜72dは、図12に模式的に示すように、それぞれアクチュエータ74a〜74dに個別に接続されている。治具ユニット72a〜72dは、これらのアクチュエータ74a〜74dより個別に駆動されて上下方向に移動する。
Here, in order to simplify the description, it is assumed that four
治具ユニット72a〜72dの下面側の突起73はPOM等の樹脂により円柱状に形成されており、治具ユニット72a〜72dの長手方向に沿って一定のピッチで直線状に配列している。但し、隣合う治具ユニット72a〜72dでは、突起73を1/2ピッチ分ずらして配置している。これらの突起73の先端も、半球状に形成されている。
The
図11に示すように、押さえ治具72及びアクチュエータ群74(アクチュエータ74a〜74d)は、水平移動ステージ75の下側に水平方向に移動可能に支持されている。また、水平移動ステージ75は、垂直移動ステージ76により垂直方向に移動可能に支持されている。制御部77は、アクチュエータ74a〜74d、水平移動ステージ75及び垂直移動ステージ76を制御する。なお、押さえ治具72を水平移動ステージ75及び垂直移動ステージ76により移動させる替わりに、押さえ治具72の位置を固定し、テーブル71を水平方向及び垂直方向に移動させるようにしてもよい。
As shown in FIG. 11, the holding
図13(a),(b)は治具ユニット74aの動作を示す模式図である。また、図14は、制御部76からアクチュエータ74a〜74dに供給される信号のタイミングチャートである。
13A and 13B are schematic views showing the operation of the
アクチュエータ74aは、信号が“H”レベルのときに、治具ユニット72aを下方に移動する。これにより、図13(a)に示すように、突起73がシート32を押圧する。また、アクチュエータ74aは、信号が“L”レベルのときに、治具ユニット72aを上方に移動する。これにより、図13(b)に示すように、突起73がシート32から離れる。図13(a),(b)では治具ユニット72aを例にとって動作を説明したが、他の治具ユニット72b〜72dの動作も治具ユニット72aと同様である。
The
図12中の矢印は、アクチュエータ74a〜74dの駆動順序を示している。治具ユニット72a〜72dの突起73は、この矢印に示す順番でシート32を押圧する。
The arrows in FIG. 12 indicate the driving order of the
本実施形態では、治具ユニット72a〜72dを図12,図14に示す駆動順序で上下動させる。これにより、シート31,32間の接着剤の一部は突起73により押圧されて図12中に矢印で示す駆動順序方向に移動する。この接着剤の移動にともなって、シート31,32間に存在する気泡も駆動順序方向に移動し、シート31,32の接合部の端部から外側に押し出される。
In the present embodiment, the
また、本実施形態では、シート32を押圧する突起73間に隙間が存在するので、突起73により押圧された接着剤の一部は突起73間の隙間を通って図12の矢印と逆方向に移動する。従って、第1の実施形態と同様に、シート31,32の端部への接着剤のはみ出し量が少なくなる。これにより、シート31,32の端子に接着剤が付着することが防止される。
In this embodiment, since there is a gap between the
なお、第1及び第2の実施形態ではいずれも突起(突起22a,63a,63b,64a,73)の先端が半球状であるものとしているが、図15(a)に示すように突起の先端がローラー状であってもよく、図15(b)に示すように回転可能なボールを有するものであってもよい。
In both the first and second embodiments, the tips of the projections (
(第3の実施形態)
図16は、第3の実施形態に係る貼り合わせ装置の構成を示す模式図である。また、図17(a)はその貼り合わせ装置の押さえ治具81を下側から見た平面図(下面図)、図17(b)は同じくその押さえ治具81の正面図である。なお、図16において、図1と同一物には同一符号を付している。
(Third embodiment)
FIG. 16 is a schematic diagram illustrating a configuration of a bonding apparatus according to the third embodiment. FIG. 17A is a plan view (bottom view) of the
第1の実施形態では押さえ治具22の下面側に突起22aが千鳥状に配列している(図1参照)のに対し、本実施形態では押さえ治具81の下面側にエアーノズル82が千鳥状に配列している(図17(b)参照)。エアーノズル82の開口径は例えば2.5〜4mmである。また、エアーノズル82の横方向及び縦方向に配列ピッチは例えば5mmである。これらのエアーノズル82はエアー供給源(図示せず)に接続されおり、制御部25からの信号に応じて高圧のエアーを噴射する。なお、エアーに替えて、ノズル82から窒素ガス又はその他の流体を噴射するようにしてもよい。
In the first embodiment, the
押さえ治具81は、第1の実施形態と同様にガイドレール23に支持され、押さえ治具駆動部24によりガイドレール23に沿ってテーブル21に平行な方向に移動する。
The holding
図18は、本実施形態の貼り合せ装置を用いたシートの貼り合せ方法を示す模式図である。この図18に示すように、シート31の上側の面には接着剤33が塗布されており、その上にシート32を接合する。少なくとも上側のシート32は可撓性を有しており、シート31に接合するときには図18に示すように上側に若干湾曲又は傾斜させて配置する。そして、シート32の上に押さえ治具81を配置し、エアーノズル82からエアーを噴射してシート32に圧力を印加する。エアーの圧力は、エアーの噴射によりシート32にたわみが発生して接着剤33に圧力を印加できる程度とする。
FIG. 18 is a schematic diagram illustrating a sheet bonding method using the bonding apparatus of the present embodiment. As shown in FIG. 18, an adhesive 33 is applied to the upper surface of the
このようにエアーノズル82からエアーを噴射した状態で押さえ治具81を一方の側から他方の側に向けて徐々に移動する。この場合、接着剤33中の圧力分布は図4に示すようになる。従って、第1の実施形態と同様に、シート31,32間に存在する気泡33aを押さえ治具81の移動とともに移動させ、シート接合部の端部から外部に押し出すことができる。
In this manner, the holding
また、エアーノズル82間の領域の接着剤33の圧力はエアーノズル82の直下の領域の接着剤33の圧力よりも低いので、押さえ治具81の移動方向前方の接着剤33の一部はエアーノズル82間の圧力が低い領域を通って押さえ治具81の移動方向後方に移動する(図4の黒矢印参照)。これにより、シート接合部の端部からの接着剤33のはみ出し量が削減され、シート31,32の端部に配置された端子に接着剤33が付着することが防止される。
Further, since the pressure of the adhesive 33 in the area between the
本実施形態においては、第1の実施形態と同様の効果が得られるのに加えて、押さえ治具81がシート31,32に接触しないので、シート31,32に疵をつけるおそれがないという効果もある。
In the present embodiment, in addition to the same effects as those of the first embodiment, since the
(第4の実施形態)
図19は第4の実施形態に係る貼り合わせ装置の構成を示す模式図である。この図19に示すように、本実施形態に係る貼り合わせ装置は、テーブル91と、エアー噴射部92と、X方向移動部(走査部)93と、Y方向移動部(走査部)94と、垂直方向(Z方向)移動部95と、制御部96とを有している。
(Fourth embodiment)
FIG. 19 is a schematic diagram illustrating a configuration of a bonding apparatus according to the fourth embodiment. As shown in FIG. 19, the bonding apparatus according to the present embodiment includes a table 91, an
貼り合わせるシート31,32は、テーブル91の上に配置される。テーブル91の上方には、エアーノズル92aを有するエアー噴射部92が配置されている。エアー噴射部92はエアー供給源(図示せず)に接続されており、制御部96からの信号に応じてエアーノズル92aから高圧のエアーをシート31,32に向けて噴射する。
The
エアー噴射部92はX方向移動部93によりX方向(テーブル91の上面に平行な方向)に移動可能に支持されている。また、X方向移動部93は、Y方向移動部94によりY方向(テーブル91の上面に平行な方向であってX方向に直交する方向)に移動可能に支持されている。更に、Y方向移動部94は、垂直方向移動部95により垂直方向に移動可能に支持されている。これらのX方向移動部93、Y方向移動部94及び垂直方向移動部95は、制御部96により駆動制御される。
The
図20は、本実施形態の貼り合わせ装置を用いたシートの貼り合わせ方法を示す模式図である。図19,図20を参照して、本実施形態に係る貼り合わせ装置を使用した貼り合わせ方法を説明する。 FIG. 20 is a schematic diagram illustrating a sheet bonding method using the bonding apparatus of the present embodiment. With reference to FIG. 19, FIG. 20, the bonding method using the bonding apparatus which concerns on this embodiment is demonstrated.
まず、上側の面に接着剤を塗布したシート31をテーブル91上に配置し、その上にシート32を配置する。その後、垂直移動部95を制御して、エアーノズル92aとシート32との間隔を所定の値とする。また、X方向移動部93及びY方向移動部94を制御して、図20に示すようにエアーノズル92aをシート32の角部のうちの一つに配置する。
First, the
次に、エアーノズル92aからエアーを噴射する。このエアー噴射によりシート32は部分的にたわみ、シート31,32間の接着剤に圧力が加えられる。その後、制御部96は、X方向移動部93及びY方向移動部94を制御して、エアーノズル92aを図20に矢印で示すようにX方向に一定の速度で移動する。そして、エアーノズル92aがシート32の端部まで移動したら、Y方向に一定の距離(例えば5mm)だけ移動した後、今度は−X方向に一定の速度で移動する。このようにしてX方向、Y方向、−X方向の移動を順次繰り返し、エアーによりシート32の全面に圧力を印加する。
Next, air is jetted from the
この場合、シート31,32間に気泡があると、エアー噴射で圧力が印加された接着剤により気泡が押されて、エアー噴射部から離れる方向に移動する。従って、エアーノズル92を図20に示すようにジグザグに移動(走査)することにより、気泡をシート接合部の外側に追い出すことができる。
In this case, if there is a bubble between the
本実施形態では、エアーを噴射するエアーノズル92aを図20に示すようにジグザグに移動(走査)させてシート31,32間の接着剤に圧力を印加するので、接着剤がエアーノズル92aの周囲を容易に移動する。このため、シート31,32の接合部からはみ出す接着剤の量を著しく削減できるという効果を奏する。
In this embodiment, the
また、本実施形態では、エアーノズルの数が1つだけであるので、第3の実施形態に比べてエアーノズルから噴射するエアーの圧力を高くすることが容易であるという利点もある。 Further, in the present embodiment, since there is only one air nozzle, there is an advantage that it is easy to increase the pressure of air ejected from the air nozzle as compared with the third embodiment.
なお、上記第4の実施形態ではテーブル91の位置を固定してエアー噴射部92を移動する場合について説明したが、エアー噴射部92の位置を固定してテーブル91を移動させる構成としてもよい。また、エアー噴射部92及びテーブル91の双方を移動させる構成としてもよい。更に、エアー噴射部92に替えて、シート32に接触する突起を有する押さえ治具を使用してもよい。
In the fourth embodiment, the case where the position of the table 91 is fixed and the
上記した実施形態を含む諸態様に関し、更に以下の付記を開示する。 The following additional notes are further disclosed with respect to various aspects including the above-described embodiment.
(付記1)第1の部材、接着剤及び可撓性を有するシート状の第2の部材を積層してなる被処理物を支持する支持部と、
相互に離隔して配列された複数の圧力印加部材を備え、前記圧力印加部材により前記被処理物の前記第2の部材に前記支持部と反対側から圧力を印加する押さえ治具と、
前記押さえ治具を前記被処理物に沿って相対的に移動させる移動部と
を有することを特徴とする貼り合わせ装置。
(Supplementary Note 1) A support part for supporting an object to be processed by laminating a first member, an adhesive, and a flexible sheet-like second member;
A pressing jig that includes a plurality of pressure applying members arranged apart from each other, and applies pressure to the second member of the object to be processed from the side opposite to the support portion by the pressure applying member;
And a moving unit that relatively moves the pressing jig along the object to be processed.
(付記2)前記圧力印加部材が、前記被処理物に接触する柱状の部材、及び前記被処理物に対し流体を噴射するノズルのいずれかであることを特徴とする付記1に記載の貼り合わせ装置。 (Appendix 2) The bonding according to appendix 1, wherein the pressure application member is one of a columnar member that contacts the object to be processed and a nozzle that ejects fluid to the object to be processed. apparatus.
(付記3)前記押さえ治具が、1又は複数の前記圧力部材を有する治具ユニットを前記被処理物の大きさに応じて複数個組み合わせたものであることを特徴とする付記1又は2に記載の貼り合わせ装置。 (Supplementary note 3) The supplementary note 1 or 2, wherein the pressing jig is a combination of a plurality of jig units each having one or a plurality of pressure members according to the size of the object to be processed. The bonding apparatus as described.
(付記4)第1の部材、接着剤及び可撓性を有するシート状の第2の部材を積層してなる被処理物を支持部上に配置する工程と、
相互に離隔して配列された複数の圧力印加部材を備えた押さえ治具により前記被処理物の前記第2の部材に前記支持部と反対側から圧力を印加する工程と、
前記押さえ治具を前記被処理物に沿って相対的に移動させる工程と
を有することを特徴とする貼り合わせ方法。
(Additional remark 4) The process of arrange | positioning the to-be-processed object formed by laminating | stacking the 1st member, an adhesive agent, and the flexible sheet-like 2nd member on a support part,
Applying pressure to the second member of the object to be processed from the opposite side to the second member by a pressing jig provided with a plurality of pressure applying members arranged apart from each other;
A step of relatively moving the pressing jig along the object to be processed.
(付記5)第1の部材、接着剤及び可撓性を有するシート状の第2の部材を積層してなる被処理物を支持する支持部と、
前記第1の部材と前記第2の部材との接合部に対応する領域に複数の圧力印加部材が配列して設けられた押さえ治具と、
前記押さえ治具の前記圧力印加部材を所定の順番で駆動して前記被処理物に圧力を印加する圧力印加部材駆動部と、
前記圧力印加部材駆動部を制御する制御部と
を有することを特徴とする貼り合わせ装置。
(Additional remark 5) The support part which supports the to-be-processed object formed by laminating | stacking the 1st member, an adhesive agent, and the sheet-like 2nd member which has flexibility,
A holding jig in which a plurality of pressure applying members are arranged in a region corresponding to a joint portion between the first member and the second member;
A pressure application member driving unit that drives the pressure application members of the holding jig in a predetermined order to apply pressure to the workpiece;
And a control unit that controls the pressure application member driving unit.
(付記6)第1の部材、接着剤及び可撓性を有するシート状の第2の部材を積層してなる被処理物を支持部上に支持する工程と、
前記第1の部材と前記第2の部材との接合予定領域に対応する領域に複数の圧力印加部材が配列して設けられた押さえ治具を前記被処理物の上方に配置する工程と、
前記押さえ治具の前記圧力印加部材を所定の順番で駆動して前記被処理物に圧力を印加する工程と
を有することを特徴とする貼り合わせ方法。
(Additional remark 6) The process of supporting the to-be-processed object formed by laminating | stacking the 1st member, an adhesive agent, and the flexible sheet-like 2nd member on a support part,
Arranging a pressing jig provided with a plurality of pressure applying members arranged in a region corresponding to a region where the first member and the second member are to be joined above the workpiece;
A step of driving the pressure applying members of the pressing jig in a predetermined order to apply pressure to the object to be processed.
(付記7)第1の部材、接着剤及び可撓性を有するシート状の第2の部材を積層してなる被処理物を支持する支持部と、
圧力印加部材を備え、前記圧力印加部材により前記被処理物の前記第2の部材に前記支持部と反対側から圧力を印加する押さえ治具と、
前記押さえ治具を前記被処理物に沿って走査して前記第1の部材と前記第2の部材との接合部全体に圧力を印加する走査部と、
前記走査部を制御する制御部と
を有することを特徴とする貼り合わせ装置。
(Supplementary Note 7) A support unit for supporting an object to be processed by laminating a first member, an adhesive, and a flexible sheet-like second member;
A pressing jig that includes a pressure applying member, and applies pressure to the second member of the object to be processed from the side opposite to the support portion by the pressure applying member;
A scanning unit that scans the pressing jig along the object to be processed and applies pressure to the entire joint portion of the first member and the second member;
And a control unit that controls the scanning unit.
(付記8)第1の部材、接着剤及び可撓性を有するシート状の第2の部材を積層してなる被処理物を支持部上に配置する工程と、
圧力印加部材を備えた押さえ治具により前記被処理物の前記第2の部材に圧力を印加する工程と、
前記押さえ治具を前記被処理物に沿って走査して前記第1の部材と前記第2の部材との接合部全体に圧力を印加する工程と
を有することを特徴とする貼り合わせ方法。
(Additional remark 8) The process of arrange | positioning the to-be-processed object formed by laminating | stacking the 1st member, the adhesive agent, and the flexible sheet-like 2nd member on a support part,
Applying pressure to the second member of the object to be processed by a pressing jig provided with a pressure applying member;
And a step of scanning the pressing jig along the object to be processed and applying pressure to the entire joint portion of the first member and the second member.
(付記9)前記第1の部材及び前記第2の部材がいずれも液晶表示パネルであることを特徴とする付記4,6,8のいずれか1項に記載の貼り合わせ方法。
(Supplementary note 9) The bonding method according to any one of
11,15…透明基板、12…行電極、13…液晶の層、14…列電極、21…テーブル、22…押さえ治具、22a…突起、22b…ばね、23…ガイドレール、24…押さえ治具駆動部、25…制御部、31,32…シート、33…接着剤、33a…気泡、35…表示パネル、61,65,68…押さえ治具、62a,62b,64…治具ユニット、63a,63b,64a…突起、69a,69b…アクチュエータ、71…テーブル、72…押さえ治具、72a〜72d…治具ユニット、73…突起74…アクチュエータ群、74a〜74d…アクチュエータ、75…水平移動ステージ、76…垂直移動ステージ、77…制御部、81…押さえ治具、82…エアーノズル、91…テーブル、92…エアー噴射部、92a…ノズル、93…X方向移動部、94…Y方向移動部、95…垂直方向移動部、96…制御部。
DESCRIPTION OF
Claims (5)
相互に離隔して配列された複数の圧力印加部材を備え、前記圧力印加部材により前記被処理物の前記第2の部材に前記支持部と反対側から圧力を印加する押さえ治具と、
前記押さえ治具を前記被処理物に沿って相対的に移動させる移動部と
を有することを特徴とする貼り合わせ装置。 A support part for supporting an object to be processed formed by laminating a first member, an adhesive, and a flexible sheet-like second member;
A pressing jig that includes a plurality of pressure applying members arranged apart from each other, and applies pressure to the second member of the object to be processed from the side opposite to the support portion by the pressure applying member;
And a moving unit that relatively moves the pressing jig along the object to be processed.
相互に離隔して配列された複数の圧力印加部材を備えた押さえ治具により前記被処理物の前記第2の部材に前記支持部と反対側から圧力を印加する工程と、
前記押さえ治具を前記被処理物に沿って相対的に移動させる工程と
を有することを特徴とする貼り合わせ方法。 A step of disposing an object to be processed on a support portion by laminating a first member, an adhesive, and a flexible sheet-like second member;
Applying pressure to the second member of the object to be processed from the opposite side to the second member by a pressing jig provided with a plurality of pressure applying members arranged apart from each other;
A step of relatively moving the pressing jig along the object to be processed.
前記第1の部材と前記第2の部材との接合部に対応する領域に複数の圧力印加部材が配列して設けられた押さえ治具と、
前記押さえ治具の前記圧力印加部材を所定の順番で駆動して前記被処理物に圧力を印加する圧力印加部材駆動部と、
前記圧力印加部材駆動部を制御する制御部と
を有することを特徴とする貼り合わせ装置。 A support part for supporting an object to be processed formed by laminating a first member, an adhesive, and a flexible sheet-like second member;
A holding jig in which a plurality of pressure applying members are arranged in a region corresponding to a joint portion between the first member and the second member;
A pressure application member driving unit that drives the pressure application members of the holding jig in a predetermined order to apply pressure to the workpiece;
And a control unit that controls the pressure application member driving unit.
圧力印加部材を備え、前記圧力印加部材により前記被処理物の前記第2の部材に前記支持部と反対側から圧力を印加する押さえ治具と、
前記押さえ治具を前記被処理物に沿って走査して前記第1の部材と前記第2の部材との接合部全体に圧力を印加する走査部と、
前記走査部を制御する制御部と
を有することを特徴とする貼り合わせ装置。 A support part for supporting an object to be processed formed by laminating a first member, an adhesive, and a flexible sheet-like second member;
A pressing jig that includes a pressure applying member, and applies pressure to the second member of the object to be processed from the side opposite to the support portion by the pressure applying member;
A scanning unit that scans the pressing jig along the object to be processed and applies pressure to the entire joint portion of the first member and the second member;
And a control unit that controls the scanning unit.
圧力印加部材を備えた押さえ治具により前記被処理物の前記第2の部材に圧力を印加する工程と、
前記押さえ治具を前記被処理物に沿って走査して前記第1の部材と前記第2の部材との接合部全体に圧力を印加する工程と
を有することを特徴とする貼り合わせ方法。 A step of disposing an object to be processed on a support portion by laminating a first member, an adhesive, and a flexible sheet-like second member;
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