JP2010014917A - Electrochromic element and method for manufacturing the same - Google Patents
Electrochromic element and method for manufacturing the same Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010014917A JP2010014917A JP2008174210A JP2008174210A JP2010014917A JP 2010014917 A JP2010014917 A JP 2010014917A JP 2008174210 A JP2008174210 A JP 2008174210A JP 2008174210 A JP2008174210 A JP 2008174210A JP 2010014917 A JP2010014917 A JP 2010014917A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal
- conductive film
- electrochromic device
- film
- pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
Description
本発明は、電圧の印加により発色又は消色して光の透過率を変化させることができるエレクトロクロミック素子とその製造方法に関し、更に詳述すると、10000mm2以上の大面積化に対しても、スイッチング時間の大幅な延長を招くことなく、良好な応答性が得られるエレクトロクロミック素子、及びその製造方法に関する。 The present invention relates to an electrochromic device capable of changing the light transmittance by color development or decoloration by application of a voltage and a manufacturing method thereof, and more specifically, even for a large area of 10000 mm 2 or more, The present invention relates to an electrochromic device capable of obtaining good responsiveness without causing a significant increase in switching time, and a method for manufacturing the same.
近年、電圧の印加により電気化学的な酸化還元反応を誘起し、着色及び消色を生じさせるエレクトロクロミック素子について、ディスプレイや調光窓材などへの適用が期待されている。 In recent years, an electrochromic element that induces an electrochemical redox reaction by applying a voltage to cause coloring and decoloring is expected to be applied to a display, a light control window material, and the like.
通常、エレクトロクロミック素子は、図3に示したように、電解層1を挟んで一方の面に酸化発色層2、他方の面に還元発色層3を積層し、これらを透明導電膜(電極膜)4,4が形成された透明基材5,5間に挟みこんだ構成とされている。そして、両透明導電膜(電極膜)4,4間に電圧を印加することによって上記両発色層2,3が発色して光透過率が減少し、逆方向の電圧を印加することにより両発色層が消色して光透過率が増大し、調光性能を発揮することができるものである。なお、上記電解層1として上記両発色層2,3間に電解質を封入した液体電解層が用いられる場合もある。また、一方の透明基材5が省略されたものもある。
Usually, as shown in FIG. 3, an electrochromic element is formed by laminating an
このような従来のエレクトロクロミック素子として具体的には、下記特許文献1(特開2007−187993号公報)に記載のエレクトロクロミック素子を例示することができる。 Specific examples of such conventional electrochromic elements include the electrochromic elements described in the following Patent Document 1 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-187993).
しかしながら、このような従来のエレクトロクロミック素子を調光窓材として用いるために、10000mm2以上にもなる大面積化を行うと、スイッチングスピードが遅くなって、発色/消色の応答性が悪くなり使い勝手の悪い窓材となってしまい、これが窓材としての適用に対しては大きな欠点となっている。 However, in order to use such a conventional electrochromic device as dimming window material, when a larger area is also made to 10000 mm 2 or more, the switching speed is too slow, coloring / decoloring response becomes worse It becomes a window material which is not easy to use, and this is a great drawback for application as a window material.
本発明は、上記事情に鑑みなされたもので、大面積とした場合でもスイッチングスピードの低下を可及的に防止し得、良好な応答性を有する大面積の調光窓材を得ることができるエレクトロクロミック素子を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and even when the area is large, a reduction in switching speed can be prevented as much as possible, and a large-area light control window material having good responsiveness can be obtained. An object is to provide an electrochromic device.
本発明者は、上記目的を達成するため鋭意検討を行った結果、基板上に、第1透明導電膜、酸化発色層、電解層、還元発色層及び第2透明導電膜を順次又は逆順に積層形成してエレクトロクロミック素子を作製する場合、あるいは第1の基板の内面側に透明導電膜及び酸化発色層を順次積層形成すると共に、第2の基板の内面側に透明導電膜及び還元発色層を順次積層形成し、これら第1基板と第2基板の上記酸化発色層と上記還元発色層との間に電解層を挟み込んでエレクトロクロミック素子作製する場合に、上記透明導電膜に金属製のグリッド電極を配設することにより、透明導電膜の表面抵抗が下がり、大面積化した場合でも透明導電膜の抵抗値増大によるスイッチングスピードの低下を招くことなく、良好なスイッチングスピードが得られ、応答性に優れた大面積の調光窓材が得られること、更にこの場合に、触媒粒子を含有するインクで上記透明基材上に印刷し、このパターンにめっき法により金属を析出させて上記金属グリッド電極を成形することにより、線幅の細い微細なグリッドを精度よく確実に形成することができ、開口率を大きく低下させることなく、良好な透明性を維持した上で、良好な応答性を有するエレクトロクロミック素子が得られることを見い出し、本発明を完成したものである。 As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventor laminated a first transparent conductive film, an oxidation coloring layer, an electrolytic layer, a reducing coloring layer, and a second transparent conductive film on the substrate in order or in reverse order. When forming an electrochromic device by forming, a transparent conductive film and an oxidation coloring layer are sequentially laminated on the inner surface side of the first substrate, and a transparent conductive film and a reducing coloring layer are formed on the inner surface side of the second substrate. When an electrochromic device is manufactured by sequentially laminating and interposing an electrolytic layer between the oxidation coloring layer and the reduction coloring layer of the first substrate and the second substrate, a metal grid electrode is formed on the transparent conductive film. Therefore, even when the surface resistance of the transparent conductive film is reduced and the area is increased, a good switching speed is achieved without causing a decrease in switching speed due to an increase in the resistance value of the transparent conductive film. In addition, in this case, printing is performed on the transparent base material with ink containing catalyst particles, and a metal is deposited on the pattern by plating. By forming the above metal grid electrode, a fine grid with a narrow line width can be accurately and reliably formed, and a good transparency is maintained without greatly reducing the aperture ratio. The inventors have found that an electrochromic device having responsiveness can be obtained, and completed the present invention.
従って、本発明は、基板上に、第1透明導電膜、酸化発色層、電解層、還元発色層及び第2透明導電膜が順次又は逆順に積層形成されたエレクトロクロミック素子、あるいは内面側に透明導電膜及び酸化発色層を順次積層形成した第1の基板と、内面側に透明導電膜及び還元発色層を順次積層形成した第2の基板との間に、上記酸化発色層と上記還元発色層とに挟まれた状態で電解層が形成されているエレクトロクロミック素子において、少なくとも一方の透明導電膜中に金属グリッド電極を有することを特徴とするエレクトロクロミック素子、及び、
透明基材に金属グリッド電極を有する透明導電膜を積層し、更に該透明導電膜上に発色層、電解層を積層してエレクトロクロミック素子を作製する場合に、上記透明基材上に触媒粒子を含有するインクで電極のパターンを印刷し、このパターン上にめっき法に金属膜を析出成形させて上記金属グリッド電極を形成し、この金属グリッド電極が形成された透明基材上に透明導電膜を形成して電極付の透明導電膜を成形することを特徴とするエレクトロクロミック素子の製造方法を提供するものである。
Accordingly, the present invention provides an electrochromic device in which a first transparent conductive film, an oxidation coloring layer, an electrolytic layer, a reduction coloring layer, and a second transparent conductive film are laminated on a substrate in order or in reverse order, or transparent on the inner surface side. Between the first substrate in which the conductive film and the oxidation coloring layer are sequentially laminated and the second substrate in which the transparent conductive film and the reduction coloring layer are sequentially laminated on the inner surface side, the oxidation coloring layer and the reduction coloring layer In an electrochromic element in which an electrolytic layer is formed in a state sandwiched between, an electrochromic element having a metal grid electrode in at least one transparent conductive film, and
When a transparent conductive film having a metal grid electrode is laminated on a transparent substrate, and further, a coloring layer and an electrolytic layer are laminated on the transparent conductive film to produce an electrochromic device, catalyst particles are placed on the transparent substrate. An electrode pattern is printed with the contained ink, a metal film is deposited on the pattern by a plating method to form the metal grid electrode, and a transparent conductive film is formed on the transparent substrate on which the metal grid electrode is formed. The present invention provides a method for producing an electrochromic device, which is characterized by forming a transparent conductive film with electrodes.
本発明のエレクトロクロミック素子によれば、10000mm2以上もの大面積に形成しても、スイッチングスピードが大幅に低下することなく、良好なスイッチングスピードを発揮して応答性よく調光操作を行うことができ、調光窓材の大面積化を達成することができるものである。 According to the electrochromic device of the present invention, even if it is formed in a large area of 10000 mm 2 or more, the dimming operation can be performed with good responsiveness while exhibiting a good switching speed without significantly reducing the switching speed. The area of the light control window material can be increased.
以下、本発明につき更に詳しく説明する。
本発明のエレクトロクロミック素子は、例えば図1に示したように、電解層1を挟んで一方の面に酸化発色層2、他方の面に還元発色層3が積層され、更にこの両発色層2,3の外側にそれぞれ透明導電膜4,4が積層され、これらが一対の透明基材(基板)5,5間に積層されており、かつ上記透明導電膜4,4が金属グリッド電極6を有するものである。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail.
In the electrochromic device of the present invention, for example, as shown in FIG. 1, an
上記電解層1、酸化発色層2、還元発色層3、透明導電膜4及び透明基材5は、エレクトロクロミック素子のこれらの部位の材料として公知の材料を用いて形成することができる。具体的には、上記透明基材5としては、ガラス板、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリカーボネート(PC)、アクリル樹脂、トリアセチルセルロース(TAC)、ポリイミド樹脂等のプラスチック板や高分子フィルムなどを用いることができる。この透明基材5の厚さは、その材質にもよるが、通常は0.05〜5mm、特に0.1〜3mm程度とされる。なお、2枚の透明基材5,5は、互いに同一の材料であっても異なる材料であってもよい。
The electrolytic layer 1, the
上記透明導電膜4としては、酸化インジウム錫(ITO)、酸化インジウム亜鉛(IZO)、アルミニウム添加酸化亜鉛(AZO)、ガリウム添加酸化亜鉛(GZO)、アルミニウム・ガリウム添加酸化亜鉛(AGZO)、酸化インジウム−タングステン(IWO)、酸化アンチモン錫(ATO)などが例示され、これらの1種又は2種以上を用いることができる。この透明導電膜4の厚さは、特に制限されるものではないが、通常は0.05〜2μm、特に0.1〜1μmとすることができる。
Examples of the transparent
上記酸化発色層2としては、酸化ニッケル(NiO)、酸化イリジウム(IrOX)などが例示され、また上記還元発色層3としては、酸化タングステン(WO3)、酸化モリブデン(MoO3)、酸化バナジウム(VO)などが例示される。この酸化発色層2の厚さは、特に制限されるものではないが、通常は0.1〜2μm、特に0.3〜1μmとすることができる。
Examples of the
上記電解層1としては、Ta2O5、ZrO2、SiO2、Nb2O5、Cr2O3・V2O5、HfO2等の金属酸化物膜やMgF2の金属フッ化物膜からなる固体層;プロピレンカーボネート又はγ−ブチルラクトンにLiClO4を溶解した液体を封入した液体層などを例示することができる。この電解層1の厚さは、特に制限されるものではないが、通常は固体電解質の場合0.1〜2μm、特に0.3〜1μm、液体電解質の場合5〜500μm、特に20〜200μmとすることができる。
As the electrolyte layer 1, a Ta 2 O 5, ZrO 2,
本発明では、上記透明導電膜4に金属グリッド電極6を付設したものであり、この金属グリッド電極6を形成する金属としては、Cu、Ni、Au、Ag、Al、Sn、Co、Znなどが例示され、これらの1種又は2種以上の金属を主成分する電極とすることができる。
In the present invention, the metal grid electrode 6 is attached to the transparent
この金属グリット電極は、めっき法により上記透明基材5上に形成することができ、その上に上記透明導電膜4形成することにより金属グリッド電極6を有する透明導電膜4を形成することができる。めっき法による方法として具体的には、まず触媒粒子を含有するインクでグリッド電極のパターンを印刷し、このパターン上に無電解めっき法により上記金属を析出させ、更に必要に応じて更に電気めっきを行って金属膜を更に成長させ、金属グリッド電極6を形成することができる。
This metal grit electrode can be formed on the
ここで、上記触媒粒子は、無電解めっきの触媒となり得るものであればよく、無電解めっきにより析出させる金属の種類や用いるめっき液に応じて選択され、例えばPdTiO3・6H2O(金属酸化物水和物)微粒子や、酸化チタンなどの金属酸化物にPdを担持させた微粒子などが例示される。 Here, the catalyst particles may be any catalyst that can serve as a catalyst for electroless plating, and are selected according to the type of metal to be deposited by electroless plating and the plating solution used. For example, PdTiO 3 .6H 2 O (metal oxide) Hydrate) fine particles, fine particles in which Pd is supported on a metal oxide such as titanium oxide, and the like.
この触媒粒子を含有するインクは、例えば有機溶剤にポリエステル樹脂などの樹脂を溶解させたものに上記触媒粒子を混合分散させることにより調製することができる。このインクを用いた印刷法は、特に制限されず適宜な印刷法を採用すればよく、例えばスクリーン印刷、グラビア印刷、フレキソ印刷、オフセット印刷、インクジェット印刷などの印刷法を採用することができるが、通常はスクリーン印刷やグラビア印刷が好ましく採用され、特にグラビア印刷はより細かく微細な印刷が可能であることから好ましく採用される。 The ink containing the catalyst particles can be prepared, for example, by mixing and dispersing the catalyst particles in an organic solvent in which a resin such as a polyester resin is dissolved. The printing method using this ink is not particularly limited, and an appropriate printing method may be adopted.For example, printing methods such as screen printing, gravure printing, flexographic printing, offset printing, and ink jet printing may be adopted. Usually, screen printing and gravure printing are preferably employed, and gravure printing is particularly preferably employed since finer and finer printing is possible.
透明基材5上に印刷された電極のパターン上に上記金属膜を析出させる無電解めっき、更にその上に金属膜を析出させて成長させる電気めっきは、従来から公知の通常の方法及び条件で行えばよい。
The electroless plating for depositing the metal film on the electrode pattern printed on the
ここで、この金属グリッド電極6は、特に制限されるものではないが、厚さ1〜10μm、特に1〜7μm、幅10〜1000μm、特に10〜50μm、グリッドのピッチ(電極間の幅)0.1〜20μm、特に0.1〜10μmとすることが好ましく、これにより十分な開口率を維持して良好な透明性を確保すると共に、良好な応答性を得ることができる。なお、グリッドの形態は、縦格子状、横格子状、斜め格子状などのストライプ状や十字格子等の網目状やその他の格子状など、種々の形態とすることができる。 Here, the metal grid electrode 6 is not particularly limited, but has a thickness of 1 to 10 μm, particularly 1 to 7 μm, a width of 10 to 1000 μm, particularly 10 to 50 μm, and a grid pitch (width between electrodes) of 0. 0.1 to 20 μm, particularly 0.1 to 10 μm is preferable, whereby a sufficient aperture ratio can be maintained to ensure good transparency and good responsiveness can be obtained. The form of the grid can be various forms such as a stripe form such as a vertical lattice form, a horizontal lattice form, an oblique lattice form, a mesh form such as a cross lattice, and other lattice forms.
このように、上記のようにスクリーン印刷やグラビア印刷などの印刷によりパターンの形成を行って、そのパターン上にめっき法により金属電極を析出形成することにより、上記のように線幅の細く微細な金属グリット電極6を形成することができ、これにより開口率を低減させることなく、良好なスイッチングスピードを得ることができるものである。なお、この金属グリッド電極6の形成方法は、上記方法に限定されるものではなく、例えば以下の方法により形成することも可能である。例えば、(a)上記透明基材(基板)5上に水溶性インクで所定のパターンを印刷し、その上に導電膜を積層形成し、水洗にて上記水溶性インク印刷パターン部分を除去して導電膜をパターン化し(反転印刷法)、その導電膜上に電気めっき法により金属膜を析出させる方法や、(b)上記透明基材(基板)5上に導電性インクでパターンを印刷し、そのパターン上に電気めっき法により金属膜を析出させる方法などにより、金属グリッド電極6を形成することもできる。更に場合によっては、上記(b)の方法において、電気めっき法による金属膜の析出操作を省略して、水洗後に得られた反転印刷法によりパターン化した導電膜をそのまま金属グリット電極6とすることも可能であり、また(b)の方法においても電気めっき法による金属膜の析出操作を省略して、パターンを印刷した導電性インクを金属グリット電極6とすることが可能である。なお、これらの方法で得られる反転印刷法によりパターン化した導電膜や導電性インクで印刷されたパターンは、その材質が正確には金属ではない場合もあるが、これらについても本発明では便宜的に「金属グリット電極」という。 Thus, by forming a pattern by printing such as screen printing or gravure printing as described above, and depositing a metal electrode on the pattern by plating, the line width is thin and fine as described above. The metal grit electrode 6 can be formed, whereby a good switching speed can be obtained without reducing the aperture ratio. In addition, the formation method of this metal grid electrode 6 is not limited to the said method, For example, it can also form by the following method. For example, (a) a predetermined pattern is printed with water-soluble ink on the transparent substrate (substrate) 5, a conductive film is formed thereon, and the water-soluble ink print pattern portion is removed by washing with water. Patterning the conductive film (reverse printing method), a method of depositing a metal film on the conductive film by electroplating, or (b) printing a pattern with conductive ink on the transparent substrate (substrate) 5, The metal grid electrode 6 can also be formed by a method of depositing a metal film on the pattern by electroplating. Further, in some cases, in the method (b), the metal film deposition operation by electroplating is omitted, and the conductive film patterned by the reverse printing method obtained after washing with water is used as the metal grit electrode 6 as it is. In the method (b), it is possible to omit the metal film deposition operation by electroplating and use the conductive ink printed with the pattern as the metal grit electrode 6. The conductive film patterned by the reversal printing method obtained by these methods and the pattern printed with the conductive ink may not be exactly the metal material, but these are also convenient for the present invention. It is called “metal grit electrode”.
上記電解層1(固体電解質の場合)、酸化発色層2、還元発色層3及び透明導電膜4の形成方法に特に制限はなく、公知の方法により形成すればよく、通常はスパッタ法や蒸着法により形成することができるが、特に通常のプレーナー型マグネトロンスパッタ法や近年注目されているガスフロースパッタリング法などのスパッタ法が好ましく採用され、中でもガスフロースパッタリング法は短時間で安価に成膜することができることから好適であり、特に電解層1(固体電解質の場合)、酸化発色層2、還元発色層3の形成に好適に採用される。
The method for forming the electrolytic layer 1 (in the case of a solid electrolyte), the
即ち、このガスフロースパッタリング法は、比較的高い圧力下でスパッタリングを行い、スパッタ粒子をガスの強制流により成膜対象基板まで輸送して堆積させる方法である。
このガスフロースパッタリング法は、高真空排気が不要であることから、従来の通常のスパッタ法のような大掛かりな排気装置を用いることなく、メカニカルなポンプ排気で成膜することが可能であり、従って、安価な設備で実施できる。しかも、ガスフロースパッタリング法は、通常のスパッタ法の10〜1000倍の高速成膜が可能である。従って、このガスフロースパッタリング法を採用することによる設備費の低減、成膜時間の短縮により、本発明の調光窓材を安価に製造することが可能となる。しかも、ガスフロースパッタリング法であれば、基板に対する密着性も良好な膜を成膜することができ、高品質のエレクトロクロミック素子からなる調光窓材を製造することができるものである。
That is, this gas flow sputtering method is a method in which sputtering is performed under a relatively high pressure, and sputtered particles are transported to a deposition target substrate by a forced flow of gas and deposited.
Since this gas flow sputtering method does not require high vacuum evacuation, it is possible to form a film by mechanical pump evacuation without using a large evacuation device like the conventional normal sputtering method. It can be implemented with inexpensive equipment. Moreover, the gas flow sputtering method can form a film 10 to 1000 times faster than the usual sputtering method. Therefore, the light control window material of the present invention can be manufactured at low cost by reducing the equipment cost and the film formation time by adopting this gas flow sputtering method. And if it is a gas flow sputtering method, the film | membrane with favorable adhesiveness with respect to a board | substrate can be formed, and the light control window material which consists of a high quality electrochromic element can be manufactured.
更に、上記電解層1(固体電解質)の形成に際しては、成膜速度が非常に速いことから、成膜時に容易に空隙を設けることができ、イオン導電性に優れた電解層を形成することができる。また、ターゲット下部に磁石を設けるものではないため、Niのような強磁性体をターゲットとする場合でも、その厚さに制約を受けることがない。 Furthermore, when the electrolytic layer 1 (solid electrolyte) is formed, the film formation rate is very fast, so that voids can be easily formed during film formation, and an electrolytic layer excellent in ionic conductivity can be formed. it can. Further, since a magnet is not provided under the target, even when a ferromagnetic material such as Ni is used as a target, there is no restriction on the thickness thereof.
上記透明導電膜4、酸化発色層2、電解層1、還元発色層3を透明基材5に積層して、本発明のエレクトロクロミック素子を作製する具体的手順に特に制限はないが、一例を示せば次のように各層を積層形成すればよい。例えば、まず透明基材5上に上記のようにグリッド電極のパターンを印刷し、無電解めっき、電気めっきを順次施して金属グリッド電極6を形成する。次に、この透明基材5の金属グリッド電極6の形成面上に通常のDCスパッタ法により上記第1の透明導電膜4を成膜形成して金属グリッド電極6を有する透明導電膜4を形成する。更にこの透明導電膜4上に上記酸化発色層2、電解層1及び還元発色層3を順次ガスフロースパッタリング法により成膜形成し、その上に通常のDCスパッタ法で第2の透明導電膜4を形成し、最後にグリット電極を形成すればよい。この場合、一方の透明基材5は省略することができるが、両面に透明基材を配設する場合には、上記と同様にして金属グリット電極6を有する透明導電膜4を積層した透明基材を上記還元発色層3上に接合すればよい。また、一方の透明基材を省略する場合には、上記透明基材5上に第1の透明導電膜4、酸化発色層2、電解層1、還元発色層3及び第2の透明導電膜4を逆順に積層形成したエレクトロクロミック素子とすることもできる。
There are no particular restrictions on the specific procedure for producing the electrochromic device of the present invention by laminating the transparent
また、上記電解層1として液体電解質を用いる場合には、金属グリッド電極6を有する透明導電膜4を積層形成した一対の透明基材を上記同様にして作製し、一方の透明導電膜4上に上記酸化発色層2をガスフロースパッタリング法で成膜すると共に、他方の透明導電膜4上に上記還元発色層3を成膜し、これらの間に封止材を用いて上記液体電解質を封入して電解層1を形成すればよい。
When a liquid electrolyte is used as the electrolytic layer 1, a pair of transparent base materials in which a transparent
なお、DCスパッタやガスフロースパッタの条件等は、ターゲット材料の種類や成膜の面積、厚さなどに応じて通常の条件に適宜設定すればよい。また、上記金属グリッド電極6は、必ずしも第1及び第2透明導電膜4の両方に設ける必要はなく、場合によっては一方の透明導電膜4の金属グリット電極6は省略することもできる。
Note that the conditions for DC sputtering and gas flow sputtering may be appropriately set to normal conditions according to the type of target material, the area of film formation, the thickness, and the like. Further, the metal grid electrode 6 is not necessarily provided on both the first and second transparent
以下、実施例,比較例を示し、本発明をより具体的に説明するが、本発明は下記実施例に制限されるものではない。 EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example are shown and this invention is demonstrated more concretely, this invention is not restrict | limited to the following Example.
[実施例]
以下の手順で図1に示された構成の調光窓材を作製した。この場合、同様の方法によって、通常面積(50mm×50mm)と大面積(500mm×500mm)の2種類のエレクトロクロミック素子を作製した。
[Example]
The light control window material of the structure shown by FIG. 1 was produced in the following procedures. In this case, two types of electrochromic elements having a normal area (50 mm × 50 mm) and a large area (500 mm × 500 mm) were produced by the same method.
まず、シクロヘキサノンにポリエステル樹脂を固形分として15質量%溶解し、これにPdTiO3・6H2O(金属酸化物水和物)微粒子を樹脂固形分対比で60質量%混合分散し、レオロジー剤にて粘度調整を行ってインクを調製した。このインクを用いて厚さ1mmのガラス板からなる透明基材5上にスクリーン印刷によりストライプ状のパターンを印刷した。このパターンの寸法は線幅25μm、線高1μm、ピッチ0.5mmである。
First, 15% by mass of a polyester resin as a solid content is dissolved in cyclohexanone, and 60% by mass of PdTiO 3 .6H 2 O (metal oxide hydrate) fine particles are mixed and dispersed in the rheology agent. The ink was prepared by adjusting the viscosity. A stripe pattern was printed by screen printing on the
上記透明基材5を50℃に加温した無電解銅めっき液(メルテックス(株)製「メルプレート CU−5100」)に浸漬して、厚さ10μmの金属銅を上記インクの印刷パターン上に析出させた。次いで、純水:硫酸銅:硫酸:塩酸=10:1:2:0.002(質量比)の電気めっき浴を建浴し、このめっき浴を30℃に加温保持して上記透明基材5を浸漬し、整流器により2A/dm2の電流を流して厚さ4μmの金属銅を上記パターン上に析出させて、銅からなるストライプ状のグリッド電極6を形成した。
The
次に、この透明基材5を真空チャンバー内にセットしマグネトロンスパッタ装置を用いて厚さ0.1μmのITO薄膜を成膜し、透明基材5上に金属グリッド電極6付の透明導電膜4を形成した。なお、スパッタ条件は下記の通りである。
(スパッタ条件)
DCマグネトロンスパッタ装置
ターゲット:セラミックスITO
成膜圧力: 0.5Pa
導入ガス: Ar=200sccm、O2=4sccm
投入電力: 4W/cm2
基板温度: 室温
Next, this
(Sputtering conditions)
DC magnetron sputtering target: Ceramic ITO
Deposition pressure: 0.5Pa
Introduced gas: Ar = 200 sccm, O 2 = 4 sccm
Input power: 4W / cm 2
Substrate temperature: Room temperature
図2に示したガスフロースパッタ装置を用い、上記透明基材5の透明導電膜4上に酸化発色層2(NiO、厚さ500μm)、電解層1(Ta2O5、厚さ500μm)及び還元発色層3(WO3、厚さ500μm)を順次成膜した。即ち、真空チャンバーに上記透明基材5をセットし、荒引きポンプ(ロータリーポンプ+メカニカルブースターポンプ)で1×10-1Paまで排気した後、下記条件で上記3層の多層膜を成膜した。このとき、目的の膜厚を得るために、基板移動速度を調節して多層膜の作製を行った。
Using the gas flow sputtering apparatus shown in FIG. 2, an oxidation coloring layer 2 (NiO, thickness 500 μm), an electrolytic layer 1 (Ta 2 O 5 , thickness 500 μm) and a transparent
(成膜条件)
[ガスフロースパッタ装置]
・カソード形状:平行平板(ターゲットを2枚平行に対向させて配置、距離30mm)
・基板温度:室温(基板加熱なし)
・基板移動速度:0.1〜10M/min可変
・基板位置:カソード端部と基板間距離50mm)
[成膜条件]
アルゴンガス:3000sccm
酸素ガス:30sccm
成膜圧力:40Pa
膜厚:500nm
ターゲット:酸化発色層(Ni)、電解質層(Ta)、還元発色層(W)
(Deposition conditions)
[Gas flow sputtering equipment]
・ Cathode shape: Parallel flat plate (disposed with two targets facing each other in parallel, distance 30 mm)
-Substrate temperature: Room temperature (no substrate heating)
・ Substrate moving speed: 0.1 to 10 M / min variable ・ Substrate position: Distance between cathode end and substrate 50 mm)
[Film formation conditions]
Argon gas: 3000sccm
Oxygen gas: 30 sccm
Deposition pressure: 40 Pa
Film thickness: 500nm
Target: oxidation coloring layer (Ni), electrolyte layer (Ta), reduction coloring layer (W)
上記還元発色層上に0.1μmのITO薄膜(第2の透明導電膜4)及びグリッド電極6を上記と同様にして形成し、エレクトロクロミック素子を得た。 An ITO thin film (second transparent conductive film 4) and a grid electrode 6 having a thickness of 0.1 μm were formed in the same manner as described above on the reduced coloring layer to obtain an electrochromic device.
得られたエレクトロクロミック素子の両電極間に電圧を印加(還元発色層側をマイナス、酸化発色層側をプラスとして両電極間に1.5Vの電圧を印加)したところ、両発色層が着色し、透過率が75%から10%へと変化した。一方、逆方向に同様に電圧を印加したところ両発色層が消色して逆に10%から75%へと透過率が変化し、可逆性の調光性能が確認された。その際の応答速度を測定した。結果を表1に示す。 When a voltage was applied between the electrodes of the obtained electrochromic device (a voltage of 1.5 V was applied between the electrodes with the reduction color layer side being negative and the oxidation color layer side being positive), both color layers were colored. The transmittance changed from 75% to 10%. On the other hand, when a voltage was applied in the opposite direction in the same manner, both the colored layers were decolored, and the transmittance was changed from 10% to 75%, confirming reversible light control performance. The response speed at that time was measured. The results are shown in Table 1.
[比較例]
銅グリッド電極を形成しない以外は、実施例と同様にしてエレクトロクロミック素子を作製した。この際、上記実施例と同様に、通常面積(50mm×50mm)と大面積(500mm×500mm)の2種類の調光窓材を作製した。得られたエレクトロクロミック素子につき上記実施例と同様にして電圧印加を行ったところ、透過率75%⇔10%の間で可逆的に変化し調光性能が得られた。この際の応答速度を測定した。結果を表1に併記する。
[Comparative example]
An electrochromic device was fabricated in the same manner as in the example except that the copper grid electrode was not formed. At this time, similar to the above-described example, two kinds of light control window materials having a normal area (50 mm × 50 mm) and a large area (500 mm × 500 mm) were produced. When voltage was applied to the obtained electrochromic device in the same manner as in the above example, the transmittance was reversibly changed between 75% and 10%, and light control performance was obtained. The response speed at this time was measured. The results are also shown in Table 1.
表1の通り、本発明のエレクトロクロミック素子は、大面積化してもスイッチングスピードの低下幅が小さく、良好なスイッチングスピードを維持して、良好な応答速度を発揮し得、大面積の調光窓材として好適に使用し得ることが確認された。 As shown in Table 1, the electrochromic device of the present invention has a small decrease in switching speed even when the area is increased, can maintain a good switching speed and can exhibit a good response speed, and has a large area dimming window. It was confirmed that it can be suitably used as a material.
1 電解層
2 酸化発色層
3 還元発色層
4 透明導電膜
5 透明基材
6 金属グリッド電極
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (19)
少なくとも一方の透明導電膜中に金属グリッド電極を有することを特徴とするエレクトロクロミック素子。 An electrochromic element in which a first transparent conductive film, an oxidation coloring layer, an electrolytic layer, a reduction coloring layer, and a second transparent conductive film are sequentially or reversely stacked on a substrate, or a transparent conductive film and an oxidation coloring layer on the inner surface side. Is sandwiched between the oxidation coloring layer and the reduction coloring layer between the first substrate in which the transparent coloring layer and the reduction coloring layer are sequentially laminated on the inner surface side. In an electrochromic device in which an electrolytic layer is formed in
An electrochromic device comprising a metal grid electrode in at least one transparent conductive film.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008174210A JP2010014917A (en) | 2008-07-03 | 2008-07-03 | Electrochromic element and method for manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008174210A JP2010014917A (en) | 2008-07-03 | 2008-07-03 | Electrochromic element and method for manufacturing the same |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010014917A true JP2010014917A (en) | 2010-01-21 |
Family
ID=41701090
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008174210A Withdrawn JP2010014917A (en) | 2008-07-03 | 2008-07-03 | Electrochromic element and method for manufacturing the same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010014917A (en) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101474976B1 (en) * | 2014-04-23 | 2014-12-22 | 한국기계연구원 | Variable transmitting light substrate using electric conductivity and manufacturing method of the same |
EP3045968A1 (en) | 2015-01-16 | 2016-07-20 | Ricoh Company, Ltd. | Electrochromic apparatus, electrochromic element, and method of manufacturing electrochromic element |
EP3182198A1 (en) | 2015-12-16 | 2017-06-21 | Ricoh Company, Ltd. | Electrochromic device and electrochromic dimming device |
WO2017155373A1 (en) * | 2015-12-11 | 2017-09-14 | 애드크로 주식회사 | Electrochromic device, electrode structure therefor, and manufacturing method thereof |
JP2018040891A (en) * | 2016-09-06 | 2018-03-15 | 大日本印刷株式会社 | Dimming film and production method of dimming film |
JP2018138969A (en) * | 2017-02-24 | 2018-09-06 | 株式会社カネカ | Electrochromic device |
WO2019097895A1 (en) * | 2017-11-14 | 2019-05-23 | ソニー株式会社 | Light control device, image display device, and display device |
JP2019526834A (en) * | 2016-08-24 | 2019-09-19 | キネストラル・テクノロジーズ・インコーポレイテッドKinestral Technologies,Inc. | Boost circuit for electrochromic devices |
WO2019228303A1 (en) * | 2018-05-29 | 2019-12-05 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | Solid-state ionic conduction layer and solid-state electrochromic device having solid-state ionic conduction layer |
WO2020056704A1 (en) | 2018-09-21 | 2020-03-26 | 弘正科技股份有限公司 | Clutch for increasing torque and preventing lockup |
-
2008
- 2008-07-03 JP JP2008174210A patent/JP2010014917A/en not_active Withdrawn
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101474976B1 (en) * | 2014-04-23 | 2014-12-22 | 한국기계연구원 | Variable transmitting light substrate using electric conductivity and manufacturing method of the same |
EP3045968A1 (en) | 2015-01-16 | 2016-07-20 | Ricoh Company, Ltd. | Electrochromic apparatus, electrochromic element, and method of manufacturing electrochromic element |
US9869918B2 (en) | 2015-01-16 | 2018-01-16 | Ricoh Company, Ltd. | Electrochromic apparatus, electrochromic element, and method of manufacturing electrochromic element |
WO2017155373A1 (en) * | 2015-12-11 | 2017-09-14 | 애드크로 주식회사 | Electrochromic device, electrode structure therefor, and manufacturing method thereof |
EP3182198A1 (en) | 2015-12-16 | 2017-06-21 | Ricoh Company, Ltd. | Electrochromic device and electrochromic dimming device |
US10126623B2 (en) | 2015-12-16 | 2018-11-13 | Ricoh Company, Ltd. | Electrochromic device and electrochromic dimming device |
JP2019526834A (en) * | 2016-08-24 | 2019-09-19 | キネストラル・テクノロジーズ・インコーポレイテッドKinestral Technologies,Inc. | Boost circuit for electrochromic devices |
JP2018040891A (en) * | 2016-09-06 | 2018-03-15 | 大日本印刷株式会社 | Dimming film and production method of dimming film |
JP2018138969A (en) * | 2017-02-24 | 2018-09-06 | 株式会社カネカ | Electrochromic device |
WO2019097895A1 (en) * | 2017-11-14 | 2019-05-23 | ソニー株式会社 | Light control device, image display device, and display device |
CN111316158A (en) * | 2017-11-14 | 2020-06-19 | 索尼公司 | Light control device, image display device, and display device |
JPWO2019097895A1 (en) * | 2017-11-14 | 2021-01-28 | ソニー株式会社 | Dimming device, image display device and display device |
JP7230823B2 (en) | 2017-11-14 | 2023-03-01 | ソニーグループ株式会社 | Light control device, image display device and display device |
CN111316158B (en) * | 2017-11-14 | 2024-04-12 | 索尼公司 | Dimming device, image display device, and display device |
WO2019228303A1 (en) * | 2018-05-29 | 2019-12-05 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | Solid-state ionic conduction layer and solid-state electrochromic device having solid-state ionic conduction layer |
WO2020056704A1 (en) | 2018-09-21 | 2020-03-26 | 弘正科技股份有限公司 | Clutch for increasing torque and preventing lockup |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2010014917A (en) | Electrochromic element and method for manufacturing the same | |
TWI646870B (en) | Conductive substrate, method of building conductive substrate | |
JP5245112B2 (en) | Transparent conductive film, transparent conductive film, and flexible transparent electrode | |
CN107210092B (en) | Substrate, touch panel with the conductive layer substrate with transparent electrode and their manufacturing method | |
KR101844134B1 (en) | Conductive structure body, method for manufacturing thereof and electrode comprising conductive structure body | |
US8642118B2 (en) | Pattern electrode manufacturing method and pattern electrode | |
US11293088B2 (en) | Conductive structure, method for manufacturing same, and electrode comprising conductive structure | |
CN106229080B (en) | Low resistance electrically conducting transparent network film for flexible electronic device and preparation method thereof | |
JP6201804B2 (en) | Thin line pattern forming method and conductive substrate manufacturing method | |
CN108027688B (en) | Conductive substrate | |
TW201719360A (en) | Conductive substrate, and method for producing conductive substrate | |
JP6627551B2 (en) | Laminated substrate, conductive substrate, method for producing laminated substrate, method for producing conductive substrate | |
KR102601854B1 (en) | Conductive substrate and conductive substrate manufacturing method | |
CN107533403B (en) | Conductive substrate and liquid crystal touch panel | |
WO2017130865A1 (en) | Blackening plating solution and method for manufacturing conductive substrate | |
JP3684720B2 (en) | Transparent conductive substrate for liquid crystal display and method for forming transparent electrode | |
CN107709000B (en) | Laminate substrate, conductive substrate, method for producing laminate substrate, and method for producing conductive substrate | |
TWI701580B (en) | Conductive substrate and manufacturing method of conductive substrate | |
TW201710564A (en) | Blackening plating solution and conductive substrate | |
JP2017222907A (en) | Plating device | |
TWI713591B (en) | Laminate substrate, conductive substrate, manufacturing method of multilayer substrate, manufacturing method of conductive substrate | |
TWI791429B (en) | Blackening plating solution and method of manufacturing conductive substrate | |
JP2007187993A (en) | Electrochromic element and method for manufacturing the same | |
JP2017066493A (en) | Blackening plating solution and electric conductive substrate | |
KR20160143535A (en) | Electrically conductive substrate and manufacturing method thereof |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110630 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20121012 |